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JP4893917B2 - Diagnostic equipment - Google Patents

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JP4893917B2
JP4893917B2 JP2005328876A JP2005328876A JP4893917B2 JP 4893917 B2 JP4893917 B2 JP 4893917B2 JP 2005328876 A JP2005328876 A JP 2005328876A JP 2005328876 A JP2005328876 A JP 2005328876A JP 4893917 B2 JP4893917 B2 JP 4893917B2
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Yokogawa Electric Corp
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

本発明は、プロセス流体の圧力を、プロセス隔膜を介して受圧する差圧・圧力伝送器を診断する診断装置に関するものである。   The present invention relates to a diagnostic apparatus for diagnosing a differential pressure / pressure transmitter that receives a pressure of a process fluid through a process diaphragm.

水素が含まれるプロセス流体の差圧・圧力測定を圧力測定カプセルで実施する場合には、圧力測定カプセルのプロセス隔膜(シールダイアフラム)を透過してカプセル内に蓄積される水素による測定誤差や、隔膜損傷等を診断する要求がある。 When differential pressure / pressure measurement of a process fluid containing hydrogen is performed with a pressure measurement capsule, measurement errors due to hydrogen accumulated in the capsule through the process diaphragm (seal diaphragm) of the pressure measurement capsule, and the diaphragm There is a need to diagnose damage and the like.

図7は、特許文献1に開示されている診断機能を備えた差圧測定装置の例を示す機能ブロック図である。この発明は、測定ラインから差圧測定装置を取外すことなく、封入液の漏洩や、封入液への水素ガスの混入を自己診断できる差圧測定装置を提供することを目的としている。   FIG. 7 is a functional block diagram showing an example of a differential pressure measuring device having a diagnostic function disclosed in Patent Document 1. An object of the present invention is to provide a differential pressure measuring device capable of self-diagnosis of leakage of encapsulated liquid and mixing of hydrogen gas into the encapsulated liquid without removing the differential pressure measuring apparatus from the measurement line.

構成上の特徴は、差圧検出部の正規状態において、差圧検出部内の一方のシールダイアフラムに過大圧を印加し他方のシールダイアフラムに大気圧を印加した場合と、他方のシールダイアフラムに過大圧を印加し一方のシールダイアフラムに大気圧を印加した場合との差圧検出部の出力を記憶する記憶回路を備える。   The structural features are that when the differential pressure detector is in the normal state, an excessive pressure is applied to one seal diaphragm in the differential pressure detector and an atmospheric pressure is applied to the other seal diaphragm, and an excessive pressure is applied to the other seal diaphragm. And a memory circuit for storing the output of the differential pressure detector when the atmospheric pressure is applied to one of the seal diaphragms.

診断時には、記憶回路の記憶値と一方のシールダイアフラムに過大圧を印加し他方のシールダイアフラムに大気圧を印加した場合、或いは他方のシールダイアフラムに過大圧を印加し一方のシールダイアフラムに大気圧を印加した場合の差圧検出部の出力とを比較して、封入液の漏れや封入液への水素ガスの混入を判定する診断回路を具備する。   At the time of diagnosis, when an overpressure is applied to the stored value of one memory circuit and one seal diaphragm and an atmospheric pressure is applied to the other seal diaphragm, or an overpressure is applied to the other seal diaphragm and an atmospheric pressure is applied to one seal diaphragm. A diagnostic circuit is provided that compares the output of the differential pressure detection unit when applied with the leakage to determine leakage of the encapsulated liquid and mixing of hydrogen gas into the encapsulated liquid.

図8は、特許文献2に開示されている診断機能を備えた差圧測定装置の例を示す要部構成図である。この発明は、プロセス流体の温度が高い、腐食性が強い、プロセス流体に直接接触する等、ダイアフラムシールの機械的な破損や水素ガスの透過が頻繁に発生する厳しい環境で自己診断できる差圧測定装置を提供することを目的としている。   FIG. 8 is a main part configuration diagram showing an example of a differential pressure measuring device having a diagnostic function disclosed in Patent Document 2. As shown in FIG. This invention is a differential pressure measurement that can self-diagnose in severe environments where mechanical failure of the diaphragm seal and permeation of hydrogen gas frequently occur, such as high temperature of process fluid, strong corrosiveness, direct contact with process fluid, etc. The object is to provide a device.

構成上の特徴は、封入液を具備する差圧測定装置において、封入液を加熱あるいは冷却し、この封入液の内圧を一時的に変化させる加熱冷却手段を設け、この加熱冷却手段の動作時に生じる出力変化のパターンを差圧測定装置の正常時と比較し差圧測定装置のシールダイアフラムの破損や異常、水素の透過を検知する検知手段を具備する。   A structural feature is that, in a differential pressure measuring device having an encapsulated liquid, heating / cooling means for heating or cooling the encapsulated liquid and temporarily changing the internal pressure of the encapsulated liquid is provided, and this occurs when the heating / cooling means is in operation. Comparing the output change pattern with the normal state of the differential pressure measuring device, a detecting means for detecting breakage or abnormality of the seal diaphragm of the differential pressure measuring device and permeation of hydrogen is provided.

特開平8−082566号公報Japanese Patent Laid-Open No. 8-082566

特開2003−156401号公報JP 2003-156401 A

「渦巻式層成容器の耐水素侵食性について」宇都ら、石油学会誌、Vol.14、No. 9、P.685、1971"Hydrogen erosion resistance of spiral stratified containers" Utsu et al., Journal of Petroleum Institute, Vol.14, No. 9, P.685, 1971

従来の診断手法では、次のような問題点がある。
(1)診断のために、差圧・圧力伝送器を一時的にプラント運転状態から切り離すことが必要である。この際に、プラント停止が必要になる場合もある。
Conventional diagnostic methods have the following problems.
(1) For diagnosis, it is necessary to temporarily disconnect the differential pressure / pressure transmitter from the plant operating state. At this time, it may be necessary to stop the plant.

(2)水素透過量を測定するための特別な測定装置を必要とし、診断装置が大掛かりとなり、診断コストが大きく汎用的ではない。 (2) A special measuring device for measuring the hydrogen permeation amount is required, the diagnostic device becomes large, the diagnostic cost is large, and it is not versatile.

本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、差圧・圧力伝送器をオンライン状態のままで、特別な水素透過量の測定装置を必要とせずに水素透過量を予測演算できる診断装置を実現することを目的としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and predicts and calculates the hydrogen permeation amount without requiring a special hydrogen permeation amount measurement device while the differential pressure / pressure transmitter remains on-line. The purpose is to realize a diagnostic device that can be used.

このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
(1)プロセス流体の圧力を、プロセス隔膜を介して受圧する差圧・圧力伝送器を診断する診断装置であって、
前記プロセス流体の温度及び圧力並びに前記プロセス隔膜の水素透過係数に基づき、前記プロセス隔膜の水素透過量を実時間で演算する水素透過量演算手段を備えることを特徴とする診断装置。
In order to achieve such a subject, the present invention has the following configuration.
(1) A diagnostic device for diagnosing a differential pressure / pressure transmitter that receives the pressure of a process fluid via a process diaphragm,
A diagnostic apparatus comprising hydrogen permeation amount calculating means for calculating the hydrogen permeation amount of the process diaphragm in real time based on the temperature and pressure of the process fluid and the hydrogen permeation coefficient of the process diaphragm.

(2)前記水素透過量演算手段は、前記プロセス流体の温度及び圧力並びに前記プロセス隔膜の水素透過係数をパラメータとする、プロセスストレスモデル式
Q_i=κ・A/d・(√P1_i-√P2_i-1)・exp(-Ea/(k・T_i))・t_i
Q_i:水素透過量
A:プロセス隔膜 面積
d:プロセス隔膜 膜厚
T_i:プロセス温度
P1_i:プロセス側圧力
P2_i-1:受圧カプセル内圧力上昇前回値
κ:係数
Ea:活性化エネルギー
k:ボルツマン定数
t_i:時間
に基づいて前記水素透過量を算出することを特徴とする(1)に記載の診断装置。

(2) The hydrogen permeation amount calculation means includes a process stress model equation using the temperature and pressure of the process fluid and the hydrogen permeation coefficient of the process diaphragm as parameters .
Q_i = κ ・ A / d ・ (√P1_i-√P2_i-1) ・ exp (-Ea / (k ・ T_i)) ・ t_i
Q_i: Hydrogen permeation rate
A: Process diaphragm area
d: Process diaphragm thickness
T_i: Process temperature
P1_i: Process side pressure
P2_i-1 : Previous value of pressure increase in pressure-receiving capsule
κ: coefficient
Ea: Activation energy
k: Boltzmann constant
t_i: The diagnostic apparatus according to (1), wherein the hydrogen permeation amount is calculated based on time .

(3)前記水素透過量演算手段による水素透過量に基づき、前記プロセス隔膜の劣化を予測するオンライン診断手段を備えることを特徴とする(1)又は(2)に記載の診断装置。 (3) The diagnostic apparatus according to (1) or (2), further comprising on-line diagnostic means for predicting deterioration of the process diaphragm based on the hydrogen permeation amount by the hydrogen permeation amount calculating means.

(4)前記オンライン診断手段は、診断結果を表示装置と外部機器の少なくとも一方に発信する通知手段を備えることを特徴とする(3)に記載の診断装置。 (4) The diagnostic device according to (3), wherein the online diagnostic unit includes a notification unit that transmits a diagnostic result to at least one of a display device and an external device.

(5)前記水素透過量演算手段による水素透過量に基づき、差圧又は圧力の指示誤差を補正する指示誤差補正手段を備えることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の診断装置。 (5) The apparatus according to any one of (1) to (4), further comprising an instruction error correction unit that corrects a differential pressure or pressure instruction error based on the hydrogen permeation amount by the hydrogen permeation amount calculation unit. Diagnostic device.

(6)前記プロセス流体の受圧を停止させたオフライン状態でのゼロ点ドリフト量に基づき、前記オンライン診断手段の診断結果を補正する、オフライン診断手段を備えることを特徴とする(3)乃至(5)のいずれかに記載の診断装置。 (6) The apparatus includes (3) to (5) an off-line diagnosis unit that corrects a diagnosis result of the on-line diagnosis unit based on a zero-point drift amount in an off-line state in which the pressure of the process fluid is stopped. ) The diagnostic device according to any one of

(7)前記プロセス隔膜の材料毎に前記水素透過係数を測定し、前記水素透過量演算手段にオフラインで渡すパラメータ生成手段を備えることを特徴とする(1)乃至(6)のいずれかに記載の診断装置。 (7) The method according to any one of (1) to (6), further comprising a parameter generation unit that measures the hydrogen permeation coefficient for each material of the process diaphragm and passes the hydrogen permeation amount to the hydrogen permeation amount calculation unit offline. Diagnostic equipment.

以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
(1)差圧・圧力伝送器をオンライン状態で水素透過量を測定できるので、診断のために一時的にプラント運転状態から切り離なす必要がなく、プラント停止が発生するおそれもない。
As is apparent from the above description, the present invention has the following effects.
(1) Since the hydrogen permeation amount can be measured while the differential pressure / pressure transmitter is on-line, there is no need to temporarily disconnect from the plant operating state for diagnosis, and there is no possibility of plant shutdown.

(2)プロセスストレスモデル式に、オンラインの差圧・圧力測定信号及び温度測定信号並びに水素透過係数を与えて水素透過量を推定演算することにより、特別な水素透過量の測定装置を必要とせずに診断できるので、診断コストを大幅に低減し、装置の汎用化に貢献できる。 (2) By providing the on-line differential pressure / pressure measurement signal, temperature measurement signal, and hydrogen permeation coefficient to the process stress model equation to estimate and calculate the hydrogen permeation amount, no special hydrogen permeation amount measuring device is required. Therefore, it is possible to greatly reduce the diagnostic cost and contribute to the generalization of the device.

(3)水素透過による差圧・圧力伝送器の測定誤差をオンラインで補正することができるので、測定精度の維持が容易となる。
(4)プラント稼動時に、プラントの圧力で抑制されていた受圧カプセル内の透過水素が、導圧管の圧力開放時に膨張しプロセス隔膜を塑性変形させて使用不能となることを事前に予測できるようになり、指示誤差発生時の現場でのトラブルシューティング作業と突発事故によるプラント操業への影響を削減できる。
(3) Since the measurement error of the differential pressure / pressure transmitter due to hydrogen permeation can be corrected online, the measurement accuracy can be easily maintained.
(4) It is possible to predict in advance that the permeated hydrogen in the pressure-receiving capsule that has been suppressed by the pressure of the plant during operation of the plant expands when the pressure guiding tube is released and plastically deforms the process diaphragm and becomes unusable. Therefore, it is possible to reduce on-site troubleshooting work when an indication error occurs and the impact on the plant operation due to sudden accidents.

以下、本発明を図面により詳細に説明する。図1は本発明を適用した診断装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。要素1〜22は、一般的な差圧・圧力伝送器の構成要素である。水素透過劣化診断装置100及びパラメータ生成手段200が本発明の特徴部を形成する要素である。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a functional block diagram showing an embodiment of a diagnostic apparatus to which the present invention is applied. Elements 1 to 22 are components of a general differential pressure / pressure transmitter. The hydrogen permeation deterioration diagnosis device 100 and the parameter generation means 200 are elements that form the characterizing portion of the present invention.

図1において、1はプロセス流体Fが移送される管路、2はこの管路に挿入されたオリフィスである。3は、このオリフィス2の上流側圧力を差圧・圧力伝送器10に導く高圧側導圧管である。4は、オリフィス2の下流側圧力を差圧・圧力伝送器10に導く低圧側導圧管である。   In FIG. 1, reference numeral 1 is a pipe line through which the process fluid F is transferred, and 2 is an orifice inserted into the pipe line. Reference numeral 3 denotes a high-pressure side pressure guiding pipe that guides the upstream pressure of the orifice 2 to the differential pressure / pressure transmitter 10. Reference numeral 4 denotes a low pressure side pressure guiding pipe that guides the downstream pressure of the orifice 2 to the differential pressure / pressure transmitter 10.

5は、高圧側導圧管3に挿入された高圧側ストップ弁、6は、低圧側導圧管4に挿入された低圧側ストップ弁、7は均圧弁である。図は、通常のオンライン状態であり、高圧側ストップ弁5及び低圧側ストップ弁6は開に、均圧弁7は閉に操作されている。   5 is a high pressure side stop valve inserted into the high pressure side pressure guiding tube 3, 6 is a low pressure side stop valve inserted into the low pressure side pressure guiding tube 4, and 7 is a pressure equalizing valve. The figure shows a normal online state, in which the high-pressure side stop valve 5 and the low-pressure side stop valve 6 are opened, and the pressure equalizing valve 7 is closed.

差圧・圧力伝送器10において、11は高圧側圧力チャンバーであり、高圧側導圧管3を介してオリフィス2の上流側のプロセス流体Fが導入される。12は低圧側圧力チャンバーであり、低圧側導圧管4を介してオリフィス2の下流側のプロセス流体Fが導入される。   In the differential pressure / pressure transmitter 10, reference numeral 11 denotes a high pressure side pressure chamber, and a process fluid F on the upstream side of the orifice 2 is introduced through the high pressure side pressure guiding tube 3. Reference numeral 12 denotes a low-pressure side pressure chamber, and a process fluid F downstream of the orifice 2 is introduced through the low-pressure side pressure guiding tube 4.

13は受圧カプセルであり、両側部に高圧側圧力チャンバー11のプロセス流体の圧力を受ける高圧側プロセス隔膜14及び低圧側圧力チャンバー12のプロセス流体の圧力を受ける低圧側プロセス隔膜15を備える。   Reference numeral 13 denotes a pressure receiving capsule, which is provided with a high pressure side process diaphragm 14 that receives the pressure of the process fluid in the high pressure side pressure chamber 11 and a low pressure side process diaphragm 15 that receives the pressure of the process fluid in the low pressure side pressure chamber 12.

受圧カプセル13は、内部に差圧・圧力センサ16を形成する可撓膜を備え、この可撓膜と前記高圧側プロセス隔膜14及び低圧側プロセス隔膜15により、封液が充填された高圧側受圧室17及び低圧側受圧室18が形成されている。   The pressure receiving capsule 13 includes a flexible film forming a differential pressure / pressure sensor 16 therein, and the high pressure side pressure receiving pressure filled with a sealing liquid by the flexible film, the high pressure side process diaphragm 14 and the low pressure side process diaphragm 15. A chamber 17 and a low pressure side pressure receiving chamber 18 are formed.

19は、高圧側受圧室17に高圧側プロセス隔膜14を透過して蓄積された水素、20は、低圧側受圧室18に低圧側プロセス隔膜15を透過して蓄積された水素である。受圧室に水素が蓄積されると、カプセル内の水素圧力で正しい差圧・圧力測定ができなくなると共に、水素圧力がある一定の値を超過するとプロセス隔膜14,15が塑性変形を起こし、差圧・圧力伝送器が破損し使用できなくなる。   Reference numeral 19 denotes hydrogen accumulated in the high pressure side pressure receiving chamber 17 through the high pressure side process diaphragm 14, and reference numeral 20 denotes hydrogen accumulated in the low pressure side pressure receiving chamber 18 through the low pressure side process diaphragm 15. When hydrogen is accumulated in the pressure receiving chamber, it becomes impossible to correctly measure the differential pressure / pressure with the hydrogen pressure in the capsule, and when the hydrogen pressure exceeds a certain value, the process diaphragms 14 and 15 undergo plastic deformation, and the differential pressure・ The pressure transmitter is damaged and cannot be used.

21はプロセス流体の温度センサである。22は、受信計器であり、差圧・圧力伝送器10からの差圧・圧力測定信号EP及び温度センサからのプロセス温度測定信号ETを受信し、温度補償された差圧・圧力測定値を指示又は上位装置に発信する。   Reference numeral 21 denotes a process fluid temperature sensor. Reference numeral 22 denotes a receiving instrument that receives the differential pressure / pressure measurement signal EP from the differential pressure / pressure transmitter 10 and the process temperature measurement signal ET from the temperature sensor, and indicates the temperature-compensated differential pressure / pressure measurement value. Or, it transmits to the host device.

100は、本発明の特徴部を形成する水素透過劣化診断装置である。この水素透過劣化診断装置100において、101はデータ収集手段であり、差圧・圧力伝送器10からの差圧・圧力測定信号EP及びプロセス温度測定信号ETを定周期で受信して保持する。   Reference numeral 100 denotes a hydrogen permeation deterioration diagnosis apparatus that forms a feature of the present invention. In this hydrogen permeation deterioration diagnosis apparatus 100, 101 is a data collection means that receives and holds the differential pressure / pressure measurement signal EP and the process temperature measurement signal ET from the differential pressure / pressure transmitter 10 at regular intervals.

102は水素透過量演算手段であり、収集されたプロセス測定値とモデル式格納部103の保持されているプロセスストレスモデル及びオフラインで設定される水素透過係数に基づいて水素透過量及び総水素透過量を実時間で演算する。   Reference numeral 102 denotes a hydrogen permeation amount calculation means, and the hydrogen permeation amount and the total hydrogen permeation amount based on the collected process measurement values, the process stress model held in the model formula storage unit 103, and the hydrogen permeation coefficient set offline. Is calculated in real time.

104はオンライン診断手段であり、水素透過量演算手段102で演算された総水素透過量に基づいて、受圧カプセル13の寿命までに許容される蓄積水素量並びに余命を予測する。   104 is an on-line diagnostic means for predicting the amount of accumulated hydrogen and the life expectancy that are allowed by the lifetime of the pressure-receiving capsule 13 based on the total hydrogen permeation amount calculated by the hydrogen permeation amount calculating means 102.

105は指示誤差補正手段であり、受圧カプセル内の水素による内圧上昇に基づいて差圧・圧力伝送器の測定誤差を推定し、受信計器22の見かけ上の指示値を補正して真の差圧・圧力測定時値に修正する。   An instruction error correction unit 105 estimates a measurement error of the differential pressure / pressure transmitter based on an increase in internal pressure due to hydrogen in the pressure receiving capsule, corrects an apparent instruction value of the receiving instrument 22 and corrects the true differential pressure. • Correct to the pressure measurement value.

106は診断結果表示手段であり、オンライン診断手段104及び指示誤差補正手段105及び後述のオフライン診断手段108の出力をビジュアルに表示する。107は通知手段であり、オンライン診断手段104及び指示誤差補正手段105の出力を診断結果表示手段106に渡し、必要に応じて外部機器に発信する。   A diagnostic result display means 106 visually displays the outputs of the online diagnostic means 104, the instruction error correction means 105, and an offline diagnostic means 108 described later. Reference numeral 107 denotes notification means, which outputs the outputs of the online diagnosis means 104 and the instruction error correction means 105 to the diagnosis result display means 106 and transmits them to an external device as necessary.

108はオフライン診断手段であり、定期的にプロセス流体の受圧を停止させたオフライン状態でのゼロ点ドリフト量に基づき、オンライン診断手段104の診断結果を補正する。オフライン診断手段の目的は、オンライン診断装置の予測の信頼性を向上させるためのものである。   Reference numeral 108 denotes an off-line diagnosis unit that corrects the diagnosis result of the on-line diagnosis unit 104 based on the zero point drift amount in the off-line state in which the process fluid pressure is periodically stopped. The purpose of the off-line diagnostic means is to improve the reliability of prediction of the on-line diagnostic device.

200は、パラメータ生成手段であり、差圧・圧力伝送器10で使用されるプロセス隔膜毎にオフラインで後述する水素透過係数を測定し、水素透過量演算手段102に渡し、プロセスストレスモデル式に代入させる。   200 is a parameter generation means that measures a hydrogen permeation coefficient, which will be described later, offline for each process diaphragm used in the differential pressure / pressure transmitter 10, passes it to the hydrogen permeation amount calculation means 102, and substitutes it into the process stress model equation. Let

図2は、オンライン診断モードにおける各手段の動作を説明する機能ブロック図である。109は共通に設けられたデータベースであり、水素透過量演算手段102及びオンライン診断装置104の演算結果を保持する。   FIG. 2 is a functional block diagram for explaining the operation of each means in the online diagnostic mode. Reference numeral 109 denotes a database provided in common, which holds the calculation results of the hydrogen permeation amount calculation means 102 and the online diagnostic device 104.

図3は、水素透過量演算手段102及びオンライン診断手段104における各演算部での信号処理手順を示すフローチャートであり、ステップS1乃至ステップS4よりなる。以下、図3の各ステップを参照してオンライン診断モードの動作を説明する。   FIG. 3 is a flowchart showing a signal processing procedure in each calculation unit in the hydrogen permeation amount calculation unit 102 and the online diagnosis unit 104, and includes steps S1 to S4. Hereinafter, the operation in the online diagnostic mode will be described with reference to each step of FIG.

データ収集手段101において、101aは定期データサンプリング格納手段であり、差圧・圧力測定信号EP及びプロセス温度測定信号ETを定周期で受信してローカルのデータベース101bに格納保持する。   In the data collection means 101, reference numeral 101a denotes a periodic data sampling storage means that receives the differential pressure / pressure measurement signal EP and the process temperature measurement signal ET at regular intervals, and stores and holds them in the local database 101b.

水素透過量演算手段102において、102aはQ_i演算部であり、図3のステップS1の信号処理を実行する。即ち、データベース101bより取得した差圧・圧力測定信号P1_i及びプロセス温度測定信号T_iのサンプルデータ及び前回の演算で推定された総水素透過量ΣQ_i-1に基づいて計算される受圧カプセル内の圧力上昇値P2_i-1並びにパラメータ生成手段200から取得した水素透過係数を、モデル式格納部103に保持されているプロセスストレスモデル式に代入して、サンプルデータ毎の水素透過量Q_iを推定演算してデータベース109に渡して保持させる。   In the hydrogen permeation amount calculation means 102, reference numeral 102a denotes a Q_i calculation unit, which executes the signal processing in step S1 in FIG. That is, the pressure rise in the pressure receiving capsule calculated based on the sample data of the differential pressure / pressure measurement signal P1_i and the process temperature measurement signal T_i acquired from the database 101b and the total hydrogen permeation amount ΣQ_i-1 estimated in the previous calculation. Substituting the value P2_i-1 and the hydrogen permeation coefficient acquired from the parameter generation means 200 into the process stress model equation held in the model equation storage unit 103, the hydrogen permeation amount Q_i for each sample data is estimated and calculated, and the database 109 to be held.

モデル式格納部103に保持されているプロセスストレスモデル式は、非特許文献1に開示されている「渦巻式層成容器の耐水素侵食性に関するモデル式」に準拠して、水素透過量Q_iを次式で表す。   The process stress model formula held in the model formula storage unit 103 is based on the “model formula relating to the hydrogen erosion resistance of the spiral stratified container” disclosed in Non-Patent Document 1, and the hydrogen permeation amount Q_i is It is expressed by the following formula.

Figure 0004893917
Figure 0004893917

ここで、K及びEaは、水素透過係数として、パラメータ生成手段107により、使用されるプロセス隔膜毎に実験によりオフラインで測定され、Q_i演算部102aに渡されて設定される。   Here, K and Ea are measured off-line by experiment for each process diaphragm used by the parameter generation unit 107 as hydrogen permeation coefficients, and are passed to the Q_i calculation unit 102a and set.

プロセス温度Tは、前回のサンプル値T_i-1と今回サンプル値T_iの平均値T=(T_i
-1+T_i)/2とし、時間tは、前回のサンプル値t_i-1と今回サンプル値t_iの差t=(t_i-1−t_i)とし、プロセス側圧力P1は、前回のサンプル値P1_i-1と今回サンプル値P1_iの平均値P1=(P1_i-1+P1_i)/2に、既知の水素分圧比H2_ratioを乗算した値とする。
The process temperature T is the average value T = (T_i) of the previous sample value T_i-1 and the current sample value T_i.
−1 + T_i) / 2, the time t is the difference between the previous sample value t_i−1 and the current sample value t_i, t = (t_i−1−t_i), and the process side pressure P1 is the previous sample value P1_i−1. This time, the average value P1 = (P1_i-1 + P1_i) / 2 of the sample values P1_i is multiplied by a known hydrogen partial pressure ratio H2_ratio.

更に、カプセル内圧力P2は、前回のサンプリングまでに透過した総水素量ΣQ_iを使用状態の見かけ量に換算し、プロセス隔膜の材質毎に実験で得られる透過量対圧力変化量の係数で内圧上昇を計算する。即ち、製造時の受圧カプセル内の圧力を1気圧とし、その後の水素透過量による圧力上昇(水素透過量1ml当たり10Kpa)をこれに加算して求める。   Furthermore, the capsule internal pressure P2 is calculated by converting the total hydrogen amount ΣQ_i permeated up to the previous sampling into the apparent amount in use, and increasing the internal pressure by the coefficient of permeation amount versus pressure variation obtained for each process diaphragm material. Calculate That is, the pressure in the pressure receiving capsule at the time of manufacture is set to 1 atm, and the subsequent pressure increase due to the hydrogen permeation amount (10 Kpa per 1 ml of hydrogen permeation amount) is added to this.

Q_iの演算に当たっては、前回までのサンプリングで計算されているP2_i-1をデータベース109より取得して実行される。演算は、高圧側,低圧側夫々について計算し、データベース109に渡して保持させる。   In calculating Q_i, P2_i-1 calculated in the previous sampling is acquired from the database 109 and executed. The calculation is performed for each of the high-pressure side and the low-pressure side, and is passed to the database 109 for holding.

水素透過量演算手段102において、102bはQ_now演算部であり、図3のステップS2の信号処理を実行する。データベース109より、Q_i演算部102aの演算結果Q_iを取得し、総水素透過量Q_nowを、Q_now=ΣQ_i(i=1〜n)で高圧側及び低圧側夫々を計算してデータベース109に渡して保持させる。   In the hydrogen permeation amount calculation means 102, 102b is a Q_now calculation unit, which executes the signal processing in step S2 of FIG. The calculation result Q_i of the Q_i calculation unit 102a is acquired from the database 109, and the total hydrogen permeation amount Q_now is calculated by Q_now = ΣQ_i (i = 1 to n) for each of the high pressure side and the low pressure side, and is passed to the database 109 and stored. Let

オンライン診断手段104において、104aは、Q_rest演算部であり、図3のステップS3の信号処理を実行する。データベース109より、Q_now演算部102bの演算結果Q_nowを取得し、受圧カプセルの寿命Q_lifeまでの許容透過水素量Q_restを、Q_rest=Q_life−Q_nowで計算してデータベース109に渡して保持させる。ここで、Q_lifeは、計算及び実験検証で求められるプロセス隔膜が塑性変形に至る生涯水素透過量である。   In the online diagnostic unit 104, reference numeral 104a denotes a Q_rest calculation unit, which executes the signal processing in step S3 in FIG. The calculation result Q_now of the Q_now calculation unit 102b is acquired from the database 109, and the allowable permeated hydrogen amount Q_rest up to the life Q_life of the pressure-receiving capsule is calculated by Q_rest = Q_life−Q_now and transferred to the database 109 to be held. Here, Q_life is the lifetime hydrogen permeation amount that leads to plastic deformation of the process diaphragm obtained by calculation and experimental verification.

オンライン診断手段104において、104bは、t_rest演算部であり、図3のステップS4の信号処理を実行してプロセス隔膜が塑性変形に至る迄の余命t_restを、高圧側及び低圧側夫々を計算してデータベース109に渡して保持させる。計算の手順は、Q_restに最新の差圧・圧力測定信号とプロセス温度測定信号を代入してQ_lifeに至る時間t_restを求める。   In the online diagnostic means 104, 104b is a t_rest calculation unit, which calculates the remaining life t_rest until the process diaphragm reaches plastic deformation by executing the signal processing in step S4 in FIG. It is passed to the database 109 for holding. In the calculation procedure, the latest differential pressure / pressure measurement signal and the process temperature measurement signal are substituted into Q_rest to obtain a time t_rest to reach Q_life.

次に、指示誤差補正手段105及び診断結果表示手段106の動作を説明する。指示誤差補正手段105において、105aは補正演算部であり、データベース109より、高圧側及び低圧側の内圧上昇値P2を取得し、その差を指示誤差値とする。差圧・圧力測定信号とこの指示誤差値との差を誤差補正値とし、高圧側及び低圧側夫々を計算してローカルのデータベース105bに渡して保持する。   Next, operations of the instruction error correction unit 105 and the diagnosis result display unit 106 will be described. In the command error correction means 105, 105a is a correction calculation unit, which acquires the high pressure side and low pressure side internal pressure increase values P2 from the database 109, and uses the difference as the command error value. The difference between the differential pressure / pressure measurement signal and the indicated error value is used as an error correction value, and the high pressure side and the low pressure side are calculated and passed to the local database 105b for holding.

この誤差補正値は、定周期で受信計器22に渡されて指示誤差補正処理が実行される。22aは指示値表示画面であり、補正前と補正後の指示値が対比して表示され、透過水素による指示誤差がビジュアルに把握できる。   This error correction value is passed to the receiving instrument 22 at regular intervals, and an instruction error correction process is executed. 22a is an instruction value display screen, in which the instruction values before and after correction are displayed in comparison, and the instruction error due to permeated hydrogen can be grasped visually.

診断結果表示手段106において、106aは指示誤差トレンド表示画面であり、データベース105bに保持せれるサンプル周期毎の指示誤差値の増加傾向を表示する。これにより、現在の稼動状態で測定信号が要求精度範囲内か否かをビジュアルに把握できる。   In the diagnosis result display means 106, an instruction error trend display screen 106a displays an increasing tendency of the instruction error value for each sample period held in the database 105b. This makes it possible to visually grasp whether or not the measurement signal is within the required accuracy range in the current operating state.

106bは水素透過量トレンド表示画面であり、データベース109に保持されている現在までの総水素透過量Q_nowの増加傾向並びにQ_rest、t_restを高圧側及び低圧側の夫々をビジュアルに表示する。これにより、プロセス隔膜の余命を直感的に把握することが可能となる。   Reference numeral 106b denotes a hydrogen permeation amount trend display screen, which displays an increasing tendency of the total hydrogen permeation amount Q_now held in the database 109 up to now and Q_rest and t_rest on the high pressure side and the low pressure side visually. This makes it possible to intuitively understand the life expectancy of the process diaphragm.

次に、図4乃至図6により、所定の周期で実行されるオフライン診断手段108の機能構成と動作を説明する。図4は、差圧・圧力伝送器10がプロセス流体F5の受圧を停止したオフライン診断モードを示す本発明の他の実施形態の機能ブロック図である。図1との相違点は、高圧側導圧管3に挿入された高圧側ストップ弁5及び低圧側導圧管4に挿入された低圧側ストップ弁6は閉に、均圧弁7は開に操作されている。   Next, the functional configuration and operation of the off-line diagnostic means 108 executed at a predetermined cycle will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a functional block diagram of another embodiment of the present invention showing an off-line diagnostic mode in which the differential pressure / pressure transmitter 10 stops receiving the process fluid F5. The difference from FIG. 1 is that the high pressure side stop valve 5 inserted into the high pressure side pressure guiding tube 3 and the low pressure side stop valve 6 inserted into the low pressure side pressure guiding tube 4 are closed and the pressure equalizing valve 7 is opened. Yes.

図5は、データ収集手段101、オフライン診断手段108、診断結果表示手段106の関連構成を示す機能ブロック図である。オフライン診断手段108において、108aは評価・補正部であり、データ収集手段101のデータベース101aより取得する、オフライン状態での測定信号により、受圧カプセル13のゼロ点移動を測定し、オンライン診断での演算結果の評価及び補正を行い、データベース109に渡して保持させる。   FIG. 5 is a functional block diagram showing a related configuration of the data collection unit 101, the offline diagnosis unit 108, and the diagnosis result display unit 106. In the off-line diagnosis means 108, 108a is an evaluation / correction unit, which measures the zero point movement of the pressure-receiving capsule 13 by the measurement signal in the off-line state acquired from the database 101a of the data collection means 101, and performs the calculation in the on-line diagnosis. The result is evaluated and corrected, and transferred to the database 109 for holding.

図6は、評価・補正部108の演算手順を示す説明図である。(A)に示す前回オフライン診断時のゼロ点と(B)に示す今回オフライン診断時の水素透過によるゼロ点のずれを測定する。このずれ量に基づいて補正値を決定する。   FIG. 6 is an explanatory diagram showing a calculation procedure of the evaluation / correction unit 108. The deviation between the zero point at the previous offline diagnosis shown in (A) and the zero point due to hydrogen permeation at the current offline diagnosis shown in (B) is measured. A correction value is determined based on this deviation amount.

診断結果表示手段106において、106cは総水素透過量補正画面であり、オンライン診断結果の総水素透過量とオフライン診断で補正された総水素透過量がビジュアルに表示される。これにより、オンライン診断の誤差が所定の周期で補正されるので、オンライン診断の信頼性が確保される。   In the diagnosis result display means 106, 106c is a total hydrogen permeation amount correction screen, which visually displays the total hydrogen permeation amount of the online diagnosis result and the total hydrogen permeation amount corrected by the offline diagnosis. As a result, the error of the online diagnosis is corrected at a predetermined cycle, so that the reliability of the online diagnosis is ensured.

図1及び図4で示した差圧・圧力伝送器は、受圧カプセルに直接プロセス隔膜を備える構成であるが、リモートシールダイフラムとキャピラリー配管でプロセスに接続されている、図8に示される構成の差圧・圧力伝送器の水素透過劣化診断にも本発明を適用することができる。   The differential pressure / pressure transmitter shown in FIGS. 1 and 4 has a configuration in which the pressure receiving capsule is directly provided with a process diaphragm, but is connected to the process by a remote seal diaphragm and capillary piping, as shown in FIG. The present invention can also be applied to the hydrogen permeation deterioration diagnosis of the differential pressure / pressure transmitter.

本発明を適用した診断装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows one Embodiment of the diagnostic apparatus to which this invention is applied. オンライン診断モードにおける各手段の動作を説明する機能ブロック図である。It is a functional block diagram explaining operation | movement of each means in online diagnostic mode. 水素透過量演算手段及びオンライン診断手段における各演算部での信号処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the signal processing procedure in each calculating part in a hydrogen permeation amount calculating means and an on-line diagnostic means. オフライン診断モードを示す本発明の他の実施形態の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of other embodiments of the present invention showing an off-line diagnostic mode. データ収集手段、オフライン診断手段、診断結果表示手段の関連構成を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the related structure of a data collection means, an offline diagnostic means, and a diagnostic result display means. オフライン診断手段における評価・補正部の演算手順を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the calculation procedure of the evaluation / correction | amendment part in an offline diagnostic means. 特許文献1に開示されている、診断機能を備えた差圧測定装置の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the differential pressure measuring device provided with the diagnostic function currently disclosed by patent document 1. FIG. 特許文献2に開示されている、診断機能を備えた差圧測定装置の要部構成図である。It is a principal part block diagram of the differential pressure measuring device provided with the diagnostic function currently disclosed by patent document 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 管路
2 オリフィス
3 高圧側導圧管
4 低圧側導圧管
5 高圧側ストップ弁
6 低圧側ストップ弁
7 均圧弁
10 差圧・圧力伝送器
11 高圧側圧力チャンバー
12 低圧側圧力チャンバー
13 受圧カプセル
14 高圧側プロセス隔膜
15 低圧側プロセス隔膜
16 差圧・圧力センサ
17 高圧側受圧室
18 低圧側受圧室
19,20 水素
21 温度センサ
22 受信計器
100 水素透過劣化診断装置
101 データ収集手段
102 水素透過量演算手段
103 モデル式格納部
104 オンライン診断手段
105 指示誤差補正手段
106 診断結果表示手段
107 通知手段
108 オフライン診断手段
200 パラメータ生成手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pipe line 2 Orifice 3 High pressure side pressure guiding tube 4 Low pressure side pressure guiding tube 5 High pressure side stop valve 6 Low pressure side stop valve 7 Pressure equalizing valve 10 Differential pressure / pressure transmitter 11 High pressure side pressure chamber 12 Low pressure side pressure chamber 13 Pressure receiving capsule 14 High pressure Side Process Diaphragm 15 Low Pressure Side Process Diaphragm 16 Differential Pressure / Pressure Sensor 17 High Pressure Side Pressure Receiving Chamber 18 Low Pressure Side Pressure Receiving Chamber 19, 20 Hydrogen 21 Temperature Sensor 22 Receiving Instrument 100 Hydrogen Permeation Deterioration Diagnosis Device 101 Data Collection Unit 102 Hydrogen Permeation Amount Calculation Unit 103 Model Expression Storage Unit 104 Online Diagnosis Unit 105 Instruction Error Correction Unit 106 Diagnosis Result Display Unit 107 Notification Unit 108 Offline Diagnosis Unit 200 Parameter Generation Unit

Claims (7)

プロセス流体の圧力を、プロセス隔膜を介して受圧する差圧・圧力伝送器を診断する診断装置であって、
前記プロセス流体の温度及び圧力並びに前記プロセス隔膜の水素透過係数に基づき、前記プロセス隔膜の水素透過量を実時間で演算する水素透過量演算手段を備えることを特徴とする診断装置。
A diagnostic device for diagnosing a differential pressure / pressure transmitter that receives the pressure of a process fluid through a process diaphragm,
A diagnostic apparatus comprising hydrogen permeation amount calculating means for calculating the hydrogen permeation amount of the process diaphragm in real time based on the temperature and pressure of the process fluid and the hydrogen permeation coefficient of the process diaphragm.
前記水素透過量演算手段は、前記プロセス流体の温度及び圧力並びに前記プロセス隔膜の水素透過係数をパラメータとする、プロセスストレスモデル式
Q_i=κ・A/d・(√P1_i-√P2_i-1)・exp(-Ea/(k・T_i))・t_i
Q_i:水素透過量
A:プロセス隔膜 面積
d:プロセス隔膜 膜厚
T_i:プロセス温度
P1_i:プロセス側圧力
P2_i-1:受圧カプセル内圧力上昇前回値
κ:係数
Ea:活性化エネルギー
k:ボルツマン定数
t_i:時間
に基づいて前記水素透過量を算出することを特徴とする請求項1に記載の診断装置。
The hydrogen permeation amount calculation means includes a process stress model equation using the temperature and pressure of the process fluid and the hydrogen permeation coefficient of the process diaphragm as parameters .
Q_i = κ ・ A / d ・ (√P1_i-√P2_i-1) ・ exp (-Ea / (k ・ T_i)) ・ t_i
Q_i: Hydrogen permeation rate
A: Process diaphragm area
d: Process diaphragm thickness
T_i: Process temperature
P1_i: Process side pressure
P2_i-1 : Previous value of pressure increase in pressure-receiving capsule
κ: coefficient
Ea: Activation energy
k: Boltzmann constant
The diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the hydrogen permeation amount is calculated based on t_i: time .
前記水素透過量演算手段による水素透過量に基づき、前記プロセス隔膜の劣化を予測するオンライン診断手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の診断装置。 The diagnostic apparatus according to claim 1, further comprising an on-line diagnosis unit that predicts deterioration of the process diaphragm based on a hydrogen permeation amount by the hydrogen permeation amount calculation unit. 前記オンライン診断手段は、診断結果を表示装置と外部機器の少なくとも一方に発信する通知手段を備えることを特徴とする請求項3に記載の診断装置。 The diagnostic apparatus according to claim 3, wherein the online diagnostic unit includes a notification unit that transmits a diagnostic result to at least one of a display device and an external device. 前記水素透過量演算手段による水素透過量に基づき、差圧又は圧力の指示誤差を補正する指示誤差補正手段を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の診断装置。 The diagnostic apparatus according to claim 1, further comprising an instruction error correction unit that corrects a differential pressure or pressure instruction error based on a hydrogen permeation amount by the hydrogen permeation amount calculation unit. 前記プロセス流体の受圧を停止させたオフライン状態でのゼロ点ドリフト量に基づき、前記オンライン診断手段の診断結果を補正する、オフライン診断手段を備えることを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の診断装置。 6. The off-line diagnosis unit that corrects a diagnosis result of the on-line diagnosis unit based on a zero point drift amount in an off-line state in which the pressure of the process fluid is stopped is provided. The diagnostic device described. 前記プロセス隔膜の材料毎に前記水素透過係数を測定し、前記水素透過量演算手段にオフラインで渡すパラメータ生成手段を備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の診断装置。 The diagnostic apparatus according to any one of claims 1 to 6, further comprising a parameter generation unit that measures the hydrogen permeation coefficient for each material of the process diaphragm and transfers the hydrogen permeation amount to the hydrogen permeation amount calculation unit offline.
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