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JP4880784B2 - Optical waveguide type optical modulator with output light monitor - Google Patents

Optical waveguide type optical modulator with output light monitor Download PDF

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JP4880784B2 JP2011000250A JP2011000250A JP4880784B2 JP 4880784 B2 JP4880784 B2 JP 4880784B2 JP 2011000250 A JP2011000250 A JP 2011000250A JP 2011000250 A JP2011000250 A JP 2011000250A JP 4880784 B2 JP4880784 B2 JP 4880784B2
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Description

本発明は、出力光モニタ付光導波路型光変調器に関するものであり、特に、本発明はモニタ用出力光として光導波路から放射される放射モード光を適宜の方向において利用し、変調器そのものの実質的構造を変更することなく、簡単なモニタ手段により出力光をモニタし光変調器の動作点をフィードバック制御し、モニタ信号におけるノイズを低減させた出力光モニタ付光導波路型変調器に関するものである。   The present invention relates to an optical waveguide type optical modulator with an output light monitor. In particular, the present invention utilizes radiation mode light emitted from an optical waveguide as output light for monitoring in an appropriate direction, and the modulator itself. It relates to an optical waveguide modulator with an output light monitor that monitors the output light by simple monitoring means without changing the substantial structure, feedback controls the operating point of the optical modulator, and reduces noise in the monitor signal. is there.

一般的に、光導波路素子などを用いた光変調器の出力光を一定出力の状態に維持するためには、光変調器の出力光をモニタし、出力光の変化に対応して、光変調器に印加する変調電圧などの大きさを変化させることが必要である。
光導波路素子などによる光変調器の出力光をモニタする方法として、従来は光導波路素子内に方向性結合器(カプラ)などを配置して、光信号出力用の光導波路とは別に、モニタ光出力用の光導波路を設ける方式が一般的に行なわれている。この方式においては、光導波路素子内に、モニタ光分岐用の光回路を新たに設ける必要があり、またモニタ出力用光ファイバを、光出力信号用光ファイバとは別に光導波路素子に接続する必要がある。
In general, in order to maintain the output light of an optical modulator using an optical waveguide element in a constant output state, the output light of the optical modulator is monitored, and optical modulation is performed in response to changes in the output light. It is necessary to change the magnitude of the modulation voltage applied to the device.
As a method of monitoring the output light of an optical modulator using an optical waveguide element, conventionally, a directional coupler (coupler) or the like is disposed in the optical waveguide element to monitor light separately from the optical waveguide for optical signal output. A method of providing an output optical waveguide is generally performed. In this method, it is necessary to newly provide an optical circuit for monitoring light splitting in the optical waveguide element, and it is necessary to connect the optical fiber for monitor output to the optical waveguide element separately from the optical fiber for optical output signal There is.

また、別のモニタ方式として、特許文献1に開示されているように、光導波路上のクラッド部に傾斜穴をつけるか、あるいは光導波路素子上に回折レンズなどを配置し、光導波路中の信号出力光の一部分を、このレンズ等により素子基板の外に取り出す方式が知られている。この方式においては、光導波路型光導波路素子上に、モニタ光取り出し用レンズ等を、新たに取りつけることが必要であり、また、モニタ光は、光導波路素子の上方に取り出されるため、モニタ光の受光部材は、光導波路型素子を、その収容ケース内に実装した後に、この素子に取りつけなければならず、この取り付けには、かなりの手間を要する。   As another monitoring method, as disclosed in Patent Document 1, an inclined hole is provided in the clad portion on the optical waveguide, or a diffractive lens is disposed on the optical waveguide element, so that the signal in the optical waveguide is A system is known in which a part of the output light is taken out of the element substrate by this lens or the like. In this method, it is necessary to newly attach a monitor light extraction lens or the like on the optical waveguide type optical waveguide element. Since the monitor light is extracted above the optical waveguide element, The light receiving member must be attached to the optical waveguide element after it is mounted in the housing case, and this attachment requires considerable labor.

さらに、特許文献2には、光導波路素子の素子端を斜めに形成し、導波路から出力する光の一部分を斜め方向に反射させ、この反射光をモニタ光として受光する方式が開示されている。この方式においては、素子端面の傾斜形状は、素子からの主出力光に悪影響を与えない範囲内において選定する必要があり、このためこの方式の実用性については問題がある。   Further, Patent Document 2 discloses a method in which the element end of an optical waveguide element is formed obliquely, a part of light output from the waveguide is reflected in an oblique direction, and the reflected light is received as monitor light. . In this method, it is necessary to select the inclined shape of the element end face within a range that does not adversely affect the main output light from the element. Therefore, there is a problem with the practicality of this method.

特許文献3には、光導波路素子上に直接受光素子を設置し、光導波路中の信号出力光の一部を直接受光し、モニタするデバイスが記載されている。このデバイスにおいて、受光素子の取付手段を、光導波路素子上に取りつけることが必要であり、かつ、この取付手段の実装及びそれに受光素子を接続する作業及び調整作業は、光導波路素子を、それを収容するケースに実装した後に行われる。このため、この受光素子の取り付け、調整作業は、かなり難しくなり、光導波路素子にダメージを与える可能性が高くなる。   Patent Document 3 describes a device in which a light receiving element is installed directly on an optical waveguide element, and a part of signal output light in the optical waveguide is directly received and monitored. In this device, it is necessary to mount the light receiving element mounting means on the optical waveguide element, and the mounting of the mounting means and the work for connecting the light receiving element to it and the adjustment work are performed by attaching the optical waveguide element to the optical waveguide element. This is done after mounting in the housing case. For this reason, the attachment and adjustment work of the light receiving element becomes considerably difficult, and the possibility of damaging the optical waveguide element increases.

以上を踏まえ、本出願人は、図1に示すように、特許文献4において、モニタ用出力光として、光導波路2における分岐光導波路部の合一点から放射される放射モード光20を、適宜の方向において利用し、光変調器そのものの実質的な構造を変更することなく、簡単な構造と、優れた加工性及び光ファイバ操作性を有するキャピラリー4を利用したモニタ手段により、出力光の光強度をモニタできる「出力光モニタ付光導波路型変調器」を提案した。図1において、1は誘電体基板、3は光ファイバ、5はキャピラリーに形成された放射モード光20を反射する反射手段、6は放射モード光を受光する受光素子、7は光導波路素子及び前記受光素子などを内蔵する筐体、10は入射光、さらに11は出射光を各々示す。   Based on the above, the present applicant, as shown in FIG. 1, in Patent Document 4, appropriately outputs radiation mode light 20 radiated from the union point of the branched optical waveguide portions in the optical waveguide 2 as output light for monitoring. The light intensity of the output light by the monitoring means using the capillary 4 having a simple structure and excellent workability and optical fiber operability without changing the substantial structure of the light modulator itself. We proposed an "optical waveguide modulator with output light monitor" that can monitor the output. In FIG. 1, 1 is a dielectric substrate, 3 is an optical fiber, 5 is a reflecting means for reflecting radiation mode light 20 formed in a capillary, 6 is a light receiving element for receiving radiation mode light, 7 is an optical waveguide element, and A housing containing a light receiving element or the like, 10 indicates incident light, and 11 indicates outgoing light.

さらに、光導波路型光変調器の基板からは、上述した放射モード光以外にも多様な迷光が漏出しており、キャピラリーの内部に入射した光は、キャピラリーの内面で反射され、それらの一部は光電変換素子に入射することとなり、光検出器からのモニタ信号出力もバックグラウンド・ノイズを多く含む波形となる。このため、本出願人は特許文献5において、キャピラリーの誘電体基板側とは反対の端面には、放射モード光の一部のみを光検出器に向かって反射させる反射手段を設けると共に、該キャピラリーの表面は、該反射手段及び該反射手段による反射光が光検出器に向かう光路上を除いて、光吸収層が形成されている「出力光モニタ付光導波路型光変調器」を提案した。   In addition to the radiation mode light described above, various stray light leaks from the substrate of the optical waveguide type optical modulator, and the light incident on the inside of the capillary is reflected by the inner surface of the capillary and part of them. Is incident on the photoelectric conversion element, and the monitor signal output from the photodetector also has a waveform containing a lot of background noise. For this reason, in the patent document 5, the applicant of the present invention is provided with reflection means for reflecting only a part of the radiation mode light toward the photodetector on the end surface opposite to the dielectric substrate side of the capillary. Proposed an “optical waveguide type optical modulator with an output light monitor” in which a light absorption layer is formed except for the reflection means and the optical path where the light reflected by the reflection means is directed to the photodetector.

他方、光変調周波数の広帯域化を実現するためには、変調信号であるマイクロ波と光波との速度整合を図ることが重要であり、これまでに、様々な方法が考案されている。具体例を挙げれば、バッファ層の厚膜化、電極の高アスペクト化やリッジ構造などがこれにあたる。特に、以下の特許文献6又は7においては、30μm以下の厚みを有する極めて薄い基板(以下、「薄板」という。)に、光導波路並びに変調電極を組み込み、該薄板より誘電率の低い他の基板を接合し、マイクロ波に対する実効屈折率を下げ、マイクロ波と光波との速度整合を図ることが行われている。   On the other hand, in order to realize a broadband optical modulation frequency, it is important to match the speed of the modulation signal microwave and the light wave, and various methods have been devised so far. Specific examples include thicker buffer layers, higher aspect ratios of electrodes, and ridge structures. In particular, in Patent Document 6 or 7 below, an optical waveguide and a modulation electrode are incorporated in an extremely thin substrate (hereinafter referred to as “thin plate”) having a thickness of 30 μm or less, and another substrate having a lower dielectric constant than that of the thin plate. In order to achieve speed matching between the microwave and the light wave, the effective refractive index for the microwave is lowered.

しかしながら、光導波路を形成する基板の厚みが薄くなるに従い、光導波路を伝搬する光波は基板表面に平行な方向(厚み方向に垂直な方向。以下、「横方向」という。)に広がる傾向を示す。このため、光ファイバの横方向の幅よりも、基板から出力される光波の横方向のモード径が広くなるため、図2に示すように光導波路2の出射端からの出力光のうち、光ファイバ3に結合せず外部に漏れ出す光波21(以下、「非結合光」という。)が多くなり、キャピラリー4などの補強部材を伝搬し、光検出器に入射するという不具合を生じる。
なお、以下の図2,3,6,7及び11については、非結合光21の記述を明確にするため、光導波路2の出力端に接続される光ファイバ3の内、キャピラリー4中に保持される部分の記載を省略してある。
However, as the thickness of the substrate forming the optical waveguide becomes thinner, the light wave propagating through the optical waveguide tends to spread in a direction parallel to the substrate surface (a direction perpendicular to the thickness direction, hereinafter referred to as “lateral direction”). . For this reason, since the lateral mode diameter of the light wave output from the substrate is wider than the lateral width of the optical fiber, the light out of the output light from the output end of the optical waveguide 2 as shown in FIG. The light wave 21 (hereinafter referred to as “non-coupled light”) that leaks to the outside without being coupled to the fiber 3 increases, which causes a problem that it propagates through the reinforcing member such as the capillary 4 and enters the photodetector.
2, 3, 6, 7 and 11 below, the optical fiber 3 connected to the output end of the optical waveguide 2 is held in the capillary 4 in order to clarify the description of the uncoupled light 21. Description of the part to be performed is omitted.

図3は、図2に示す光導波路素子の側面図であり、図4に光導波路素子のキャピラリーの側面側(特に図3の点線12の部分)を観察した様子を示す。なお、図3において、1は誘電体基板、2は光導波路、8は接着層、9は補強板を示す。
図4(a)は出射光がON状態の様子を示しており、非結合光及び若干の放射モード光が観察されている。他方、図4(b)は出射光がOFF状態の様子を示しており、放射モード光及び若干の非結合光が観測されている。
FIG. 3 is a side view of the optical waveguide device shown in FIG. 2, and FIG. 4 shows a state where the side surface of the capillary of the optical waveguide device (particularly, the portion indicated by the dotted line 12 in FIG. 3) is observed. In FIG. 3, 1 is a dielectric substrate, 2 is an optical waveguide, 8 is an adhesive layer, and 9 is a reinforcing plate.
FIG. 4A shows a state in which the emitted light is in an ON state, and uncoupled light and some radiation mode light are observed. On the other hand, FIG. 4B shows a state in which the emitted light is in an OFF state, and radiation mode light and some uncoupled light are observed.

図5(a)に示すように、通常は、放射モード光Bは、光変調器から出力される信号光(メイン光)Aとは逆相状態で変化しているが、図4のように非結合光が放射モード光を受光する受光素子に入射すると、図5(b)の波形B’に示すように放射モード光として観測される信号が、信号光Aの逆相状態からシフトする結果となる。ただし、図5の横軸は光導波路素子に印加する電圧の変化量を示し、縦軸は検出される光強度を示す。   As shown in FIG. 5A, normally, the radiation mode light B changes in a phase opposite to the signal light (main light) A output from the optical modulator, but as shown in FIG. When uncoupled light enters a light receiving element that receives radiation mode light, the signal observed as radiation mode light shifts from the reverse phase state of signal light A as shown by waveform B ′ in FIG. It becomes. However, the horizontal axis of FIG. 5 indicates the amount of change in the voltage applied to the optical waveguide element, and the vertical axis indicates the detected light intensity.

図5(b)の波形B’に示すように、位相シフトが発生する原因は、放射モード光が受光素子に到達するまでの光路長と、非結合光が受光素子に到達するまでの光路長とが異なり、両者の光路長の差による位相差が発生するためである。
また、非結合光の影響は上述した位相シフトだけでなく、本来の放射モード光が来ないときに非結合光を受光するため、波形B’の振幅値が減少し、放射モード光の検知に際しての消光比が劣化する原因ともなる。
As shown in the waveform B ′ of FIG. 5B, the cause of the phase shift is that the optical path length until the radiation mode light reaches the light receiving element and the optical path length until the non-coupled light reaches the light receiving element. This is because a phase difference due to the difference in optical path length between the two occurs.
Further, the influence of the uncoupled light is not only the phase shift described above, but also receives the uncoupled light when the original radiation mode light does not come, so that the amplitude value of the waveform B ′ decreases, and the radiation mode light is detected. It also causes the deterioration of the extinction ratio.

モニタ光として放射モード光を受光素子により検出し、受光素子からの検出信号に基づき、光導波路素子に印加するDCバイアス等を調整して、信号光の動作点を制御する場合には、該受光素子が非結合光も併せて受光しているため信号光とモニタ光との関係が逆相状態からシフトし、さらにモニタ出力の消光比が劣化するため制御すべき信号光の状態を正確に判別することが困難となる。   When the radiation mode light is detected by the light receiving element as the monitor light and the operating point of the signal light is controlled by adjusting the DC bias applied to the optical waveguide element based on the detection signal from the light receiving element, Since the element also receives uncoupled light, the relationship between the signal light and the monitor light shifts from the reverse phase state, and the extinction ratio of the monitor output deteriorates, so the state of the signal light to be controlled can be accurately determined Difficult to do.

特開平11−194237号公報JP 11-194237 A 特開平5−34650号公報JP-A-5-34650 特開平5−53086号公報JP-A-5-53086 特開2001−281507号公報JP 2001-281507 A 特開2004−294708号公報JP 2004-294708 A 特開昭64−18121号公報JP-A 64-18121 特開2003−215519号公報JP 2003-215519 A

本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、誘電体基板として薄板を用いた場合においても、モニタ用出力光として光導波路から放射される放射モード光を、より正確に検出するための出力光モニタ付光導波路型光変調器を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to solve the above-described problems, and even when a thin plate is used as a dielectric substrate, the radiation mode light emitted from the optical waveguide as the output light for monitoring is more accurately obtained. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor for detection is provided.

上記課題を解決するため、請求項1に係る発明では、誘電体基板と、該誘電体基板の表面又は裏面に形成され、2つ以上の分岐光導波路部及び該分岐光導波路部の合一点から伸び出ている光導波路出力部を有する光導波路とを備えた光導波路素子と、該光導波路出力部の出力端に接続される光ファイバと、該光導波路出力部の出力端と該光ファイバの端面との接続部を補強する光ファイバ補強部材と、前記分岐光導波路部の合一点から放射され、かつ該光導波路出力部の両側を通って伝搬される放射モード光の一部を、該誘電体基板及び該光ファイバ補強部材を介して受光する光検出器と、を有する出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該光ファイバ補強部材が、該光ファイバの接続端部分を収容する中空部を有し、かつ、該放射モード光を伝搬するキャピラリーであり、該キャピラリーの該誘電体基板側とは反対の端面には、前記放射モード光の一部を該光検出器に向かって反射させる反射手段が形成されており、該中空部には、該光導波路出力部と該光ファイバとの非結合光が該光検出器に入射することを防止する非結合光遮蔽手段が設けられていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, in the invention according to claim 1, the dielectric substrate is formed on the front surface or the back surface of the dielectric substrate. An optical waveguide device including an optical waveguide having an extended optical waveguide output section, an optical fiber connected to an output end of the optical waveguide output section, an output end of the optical waveguide output section, and the optical fiber An optical fiber reinforcing member that reinforces the connection portion with the end face, and a part of the radiation mode light that is radiated from a joint point of the branched optical waveguide portion and propagates through both sides of the optical waveguide output portion. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor having a body substrate and a photodetector for receiving light through the optical fiber reinforcing member, wherein the optical fiber reinforcing member is a hollow housing the connecting end portion of the optical fiber And the radiation module A reflection means for reflecting a part of the radiation mode light toward the photodetector is formed on the end surface of the capillary opposite to the dielectric substrate side, The hollow portion is provided with non-coupled light shielding means for preventing uncoupled light between the optical waveguide output portion and the optical fiber from entering the photodetector.

請求項2に係る発明では、請求項1に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該誘電体基板の厚さは30μm以下であることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the first aspect, the thickness of the dielectric substrate is 30 μm or less.

請求項3に係る発明では、請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該非結合光遮蔽手段は、該キャピラリーの中空部の内面に配置された金属膜、反射膜又は光吸収膜のいずれかであることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the first or second aspect, the non-coupled light shielding means is a metal film disposed on the inner surface of the hollow portion of the capillary, a reflective film It is either a film or a light absorption film.

請求項4に係る発明では、請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該非結合光遮蔽手段は、該キャピラリーの中空部の形状が、該誘電体基板側の端面の穴を拡張するものであることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the first or second aspect, the non-coupled light shielding means has a shape of a hollow portion of the capillary on the dielectric substrate side. It is characterized by expanding the hole on the end face.

請求項5に係る発明では、請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該非結合光遮蔽手段は、該キャピラリーの中空部と該光ファイバと間に挿入された管状挿入材であることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the first or second aspect, the non-coupled light shielding means is inserted between the hollow portion of the capillary and the optical fiber. It is a tubular insertion material.

請求項1に係る発明により、光導波路出力部と光ファイバとの非結合光が光検出器に入射することを防止することが可能となるため、信号光に対して逆相状態のモニタ光をより正確に検出することが可能となる。   According to the first aspect of the present invention, it becomes possible to prevent the uncoupled light between the optical waveguide output section and the optical fiber from entering the photodetector. It becomes possible to detect more accurately.

請求項2に係る発明により、誘電体基板の厚さは30μm以下であるため、非結合光が発生し易い光変調器であるにも拘らず、請求項1の構成を採用することで、放射モード光のみを正確に検出することが可能となる。   According to the second aspect of the present invention, since the thickness of the dielectric substrate is 30 μm or less, the structure of the first aspect is adopted even though the light modulator is likely to generate non-coupled light. Only mode light can be detected accurately.

請求項3に係る発明により、非結合光遮蔽手段は、キャピラリーの中空部の内面に配置された金属膜、反射膜又は光吸収膜のいずれかであるため、光ファイバの近傍を伝搬する非結合光を効果的に遮蔽することが可能となる。   According to the invention of claim 3, the non-coupled light shielding means is any one of a metal film, a reflective film, and a light absorbing film disposed on the inner surface of the hollow portion of the capillary. Light can be effectively shielded.

請求項4に係る発明により、非結合光遮蔽手段は、キャピラリーの中空部の形状が、誘電体基板側の端面の穴を拡張するものであるため、非結合光が出射する光導波路の端部に近接して非結合光遮蔽手段を配置することが可能となり、非結合光が伝搬して広がる前に効率よく遮蔽することが可能となる。また、キャピラリーの中空部の一部を拡張する工程のみで非結合光遮蔽手段を形成することが可能となるため、製造工程の複雑化や高コスト化を抑制することも可能となる。   According to the invention of claim 4, the non-coupled light shielding means is such that the shape of the hollow portion of the capillary expands the hole on the end face on the dielectric substrate side, so that the end portion of the optical waveguide from which uncoupled light is emitted It is possible to dispose the non-coupled light shielding means in the vicinity of the lens and efficiently shield the uncoupled light before it propagates and spreads. Further, since the non-coupled light shielding means can be formed only by the process of expanding a part of the hollow portion of the capillary, it is possible to suppress the manufacturing process from becoming complicated and costly.

請求項5に係る発明により、非結合光遮蔽手段は、キャピラリーの中空部と光ファイバとの間に挿入された管状挿入材であるため、非結合光が出射する光導波路の端部に近接して非結合光遮蔽手段を配置することが可能となり、管状挿入材内に非結合光を選択的に伝搬させることにより、非結合光が伝搬して広がる前に効率よく遮蔽することが可能となる。   According to the invention of claim 5, the non-coupled light shielding means is a tubular insert inserted between the hollow portion of the capillary and the optical fiber, so that it is close to the end of the optical waveguide from which the non-coupled light is emitted. The non-coupled light shielding means can be arranged, and by selectively propagating the non-coupled light in the tubular insert, it becomes possible to efficiently shield the non-coupled light before it propagates and spreads. .

従来の出力光モニタ付光導波路型光変調器の概略図である。It is the schematic of the conventional optical waveguide type optical modulator with an output light monitor. 従来のキャピラリー近傍の状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state of the conventional capillary vicinity. 従来のキャピラリー近傍の状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state of the conventional capillary vicinity. 従来のキャピラリー近傍の状態を示す観察図である。It is an observation figure which shows the state of the conventional capillary vicinity. 信号光と受光素子のモニタ光との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between signal light and the monitor light of a light receiving element. 本発明に係る第1の実施例(参考例)を示す図である。It is a figure which shows the 1st Example (reference example) which concerns on this invention. 本発明に係る第2の実施例(参考例)を示す図である。It is a figure which shows the 2nd Example (reference example) which concerns on this invention. 本発明に係る第3の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd Example based on this invention. 本発明に係る第4の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 4th Example which concerns on this invention. 本発明に係る第5の実施例(参考例)を示す図である。It is a figure which shows the 5th Example (reference example) which concerns on this invention. 本発明に係る第6の実施例(参考例)を示す図である。It is a figure which shows the 6th Example (reference example) which concerns on this invention. 本発明に係る第7の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 7th Example which concerns on this invention.

以下、本発明を好適例を用いて詳細に説明する。
図6は、本発明に係る出力光モニタ付光導波路型光変調器の第1の実施例(参考例)を示す。
本発明は、誘電体基板1と、該誘電体基板の表面又は裏面に形成され、2つ以上の分岐光導波路部及び該分岐光導波路部の合一点から伸び出ている光導波路出力部を有する光導波路2とを備えた光導波路素子と、該光導波路出力部の出力端に接続される光ファイバ3と、該光導波路出力部の出力端と該光ファイバの端面との接続部を補強する光ファイバ補強部材4と、前記分岐光導波路部の合一点から放射され、かつ該光導波路出力部の両側を通って伝搬される放射モード光20の一部を、該誘電体基板及び該光ファイバ補強部材を介して受光する光検出器(不図示)と、を有する出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該光ファイバ補強部材が、該光ファイバの接続端部分を収容する中空部を有し、かつ、該放射モード光を伝搬するキャピラリー4であり、該キャピラリーの該誘電体基板側とは反対の端面には、前記放射モード光の一部を該光検出器に向かって反射させる反射手段が形成されており、該光導波路出力部と該光ファイバとの非結合光21が該光検出器に入射することを防止する非結合光遮蔽手段30が設けられていることを特徴とする。
Hereinafter, the present invention will be described in detail using preferred examples.
FIG. 6 shows a first embodiment (reference example) of an optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention.
The present invention has a dielectric substrate 1, two or more branch optical waveguide portions formed on the front surface or the back surface of the dielectric substrate, and an optical waveguide output portion extending from a joint point of the branch optical waveguide portions. An optical waveguide element including the optical waveguide 2, an optical fiber 3 connected to the output end of the optical waveguide output unit, and a connection part between the output end of the optical waveguide output unit and the end face of the optical fiber are reinforced. A part of the radiation mode light 20 radiated from the converging point of the optical fiber reinforcing member 4 and the branched optical waveguide portion and propagated through both sides of the optical waveguide output portion is transferred to the dielectric substrate and the optical fiber. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor having a photodetector (not shown) that receives light through a reinforcing member, wherein the optical fiber reinforcing member has a hollow portion that accommodates a connection end portion of the optical fiber. And having the radiation mode light propagated Reflecting means for reflecting a portion of the radiation mode light toward the photodetector is formed on the end surface of the capillary opposite to the dielectric substrate side, and the optical waveguide output A non-coupled light shielding means 30 is provided for preventing the uncoupled light 21 between the optical fiber and the optical fiber from entering the photodetector.

特に、本発明が適用される光変調器は、誘電体基板の厚さが30μm以下であり、このような薄板を用いた光変調器においては、光ファイバ3に結合しない非結合光21が増加する傾向にあるため、本発明を効果的に適用することが可能である。   In particular, in the optical modulator to which the present invention is applied, the thickness of the dielectric substrate is 30 μm or less, and in the optical modulator using such a thin plate, uncoupled light 21 that is not coupled to the optical fiber 3 increases. Therefore, the present invention can be effectively applied.

本発明に係る出力光モニタ付光導波路型光変調器の全体構成としては、図1に示す従来の光変調器の構成が採用でき、特に、キャピラリー4などに非結合光遮蔽手段を形成している点を除いて、同様に構成することが可能である。
本発明においても、ケース(筐体)7内に、LiNbOなどの強誘電体からなる基板1を固定する。例えば、その表面部分には、マッハツェンダー型光導波路2が形成されている。このマッハツェンダー型光導波路2は、光導波路入力部、それから分岐した分岐光導波路部、その分岐光導波路部の合波部、及び光導波路出力部を有し、各分岐部上に不図示の制御電極(信号電極及び接地電極など)が配置されている。基板1の入力端部(図1の右側)には、入力側キャピラリーが接合されている。キャピラリーの中空部を通して入力側光ファイバが導入され、その先端面が、光導波路入力部の入力端面に接続されている。
As the overall configuration of the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention, the configuration of the conventional optical modulator shown in FIG. 1 can be adopted. In particular, a non-coupled light shielding means is formed on the capillary 4 or the like. Except for this point, it can be configured similarly.
Also in the present invention, the substrate 1 made of a ferroelectric material such as LiNbO 3 is fixed in the case (housing) 7. For example, the Mach-Zehnder type optical waveguide 2 is formed on the surface portion. This Mach-Zehnder type optical waveguide 2 has an optical waveguide input section, a branched optical waveguide section branched therefrom, a multiplexing section of the branched optical waveguide section, and an optical waveguide output section, and a control (not shown) is provided on each branch section. Electrodes (signal electrodes, ground electrodes, etc.) are arranged. An input-side capillary is joined to the input end (right side in FIG. 1) of the substrate 1. An input-side optical fiber is introduced through the hollow portion of the capillary, and the tip end face thereof is connected to the input end face of the optical waveguide input portion.

光導波路2の出力端側には、同様にして、出力側キャピラリー4、出力側光ファイバ3が接続されている。
光波は、矢印10のように入力側光ファイバから、光導波路入力部に入り、分岐部に分配される。制御電極に、印加電気信号を、例えばケース7の側面に配置されたコネクタ(不図示)を介して印加すると、分岐光導波路部を伝搬する光波の光位相が、印加電気信号に応じて変化する。位相変化を受けた光波は、合波部において合波し、互に干渉して信号光を発生する。この干渉後の信号光は、キャピラリー3により補強された光ファイバ3を通ってケース7の外に、矢印11のように出力される。
Similarly, an output side capillary 4 and an output side optical fiber 3 are connected to the output end side of the optical waveguide 2.
The light wave enters the optical waveguide input section from the input side optical fiber as indicated by an arrow 10 and is distributed to the branch section. When an applied electric signal is applied to the control electrode via, for example, a connector (not shown) disposed on the side surface of the case 7, the optical phase of the light wave propagating through the branch optical waveguide portion changes according to the applied electric signal. . The light waves that have undergone the phase change are multiplexed at the multiplexing unit and interfere with each other to generate signal light. The signal light after the interference passes through the optical fiber 3 reinforced by the capillary 3 and is output to the outside of the case 7 as indicated by an arrow 11.

光導波路合波部6で、基板1内に放射された2つの放射モード光のうち、放射モード光20は、キャピラリー3の内部を通りキャピラリー3の先端面の上半部に形成された反射面5において反射される。キャピラリー3の形状として、略円柱状のものを使用する場合には、該円柱状の周面において放射モード光が集光され、光導波路2の出力部にほぼ直角をなす方向に放射される。この放射モード光20は、受光素子6に入射し、放射モード光の光強度に対応した電気信号を出力することとなる。
なお、光導波路2と光ファイバ3との結合部や、キャピラリーの外周面、さらには受光素子の受光面などで、伝搬する光波(信号光又は放射モード光)が反射し、戻り光とならないように、特許文献4又は5のように伝搬光の進行方向と境界面との成す角度を垂直状態から若干傾けて構成することが好ましい。
Of the two radiation mode lights radiated into the substrate 1 at the optical waveguide multiplexing unit 6, the radiation mode light 20 passes through the inside of the capillary 3 and is a reflection surface formed in the upper half of the tip surface of the capillary 3. 5 is reflected. When a substantially cylindrical shape is used as the capillary 3, the radiation mode light is collected on the cylindrical peripheral surface and is emitted in a direction substantially perpendicular to the output portion of the optical waveguide 2. The radiation mode light 20 enters the light receiving element 6 and outputs an electric signal corresponding to the light intensity of the radiation mode light.
It should be noted that the propagating light wave (signal light or radiation mode light) is reflected at the coupling portion between the optical waveguide 2 and the optical fiber 3, the outer peripheral surface of the capillary, and the light receiving surface of the light receiving element, so that it does not become return light. In addition, it is preferable that the angle formed between the traveling direction of the propagation light and the boundary surface is slightly inclined from the vertical state as in Patent Document 4 or 5.

第1の実施例(参考例)においては、図6に示すように、非結合光遮蔽手段は、キャピラリー4の反射手段5における光ファイバ3に近接する部分の一部30を切除することで構成されている。   In the first embodiment (reference example), as shown in FIG. 6, the non-coupled light shielding means is configured by cutting off a part 30 of the reflecting means 5 of the capillary 4 that is close to the optical fiber 3. Has been.

非結合光遮蔽手段の第2の実施例(参考例)としては、図7に示すように、キャピラリー4から露出した光ファイバ3の表面又は該光ファイバの近傍に位置する該キャピラリーの表面に光吸収材31を配置することができる。特に、キャピラリーの反射面5における非結合光が反射する位置に光吸収材31を配置することが、より効果的である。光吸収材31は、カーボンブラックなどの光吸収材料を含む塗料を、キャピラリー4などの表面に塗布し、乾燥させることにより形成することができる。光吸収材料や形成方法については、このようなものに限らず、当該技術分野において公知の技術を適用することができることは、言うまでもない。   As a second embodiment (reference example) of the non-coupled light shielding means, as shown in FIG. 7, light is applied to the surface of the optical fiber 3 exposed from the capillary 4 or the surface of the capillary located in the vicinity of the optical fiber. An absorbent material 31 can be arranged. In particular, it is more effective to arrange the light absorbing material 31 at a position where the non-coupled light is reflected on the reflecting surface 5 of the capillary. The light absorbing material 31 can be formed by applying a coating material containing a light absorbing material such as carbon black to the surface of the capillary 4 and drying it. Needless to say, the light-absorbing material and the forming method are not limited to those described above, and techniques known in the art can be applied.

非結合光遮蔽手段の第3の実施例としては、図8に示すように、光ファイバ3を貫通させる、キャピラリーの中空部の内面に、32で示した金属膜、反射膜又は光吸収膜のいずれかを配置し、光導波路2と光ファイバ3との接合部から放射される非結合光を中空部の内部に閉じ込め、受光素子の方向に放射されないよう構成する。   As a third embodiment of the non-coupled light shielding means, as shown in FIG. 8, a metal film, a reflection film or a light absorption film indicated by 32 is formed on the inner surface of the hollow portion of the capillary through which the optical fiber 3 passes. Any one of them is arranged so that uncoupled light radiated from the joint portion between the optical waveguide 2 and the optical fiber 3 is confined in the hollow portion and is not radiated in the direction of the light receiving element.

非結合光遮蔽手段の第4の実施例としては、図9に示すように、キャピラリー4の中空部の形状が、誘電体基板1側の端面の穴33を拡張するものである。拡張された穴33の内面により、非結合光がキャピラリーに侵入するのを抑制することが可能である。拡張された穴の内面に必要に応じて光吸収材を塗布することも可能である。このような穴33は、キャピラリーの成形加工時に、容易に形成することが可能なものである。   As a fourth embodiment of the non-coupled light shielding means, as shown in FIG. 9, the shape of the hollow portion of the capillary 4 expands the hole 33 on the end face on the dielectric substrate 1 side. The expanded inner surface of the hole 33 can prevent uncoupled light from entering the capillary. It is also possible to apply a light absorbing material to the inner surface of the expanded hole as required. Such a hole 33 can be easily formed at the time of forming a capillary.

非結合光遮蔽手段の第5の実施例(参考例)としては、図10に示すように、キャピラリー4と誘電体基板1との間に、34のような反射膜又は光吸収膜を形成するものである。反射膜等の形状は、光ファイバへの信号光の伝搬を可能とするため、光ファイバ3と光導波路2との接合部分を除くと共に、受光素子が検出する放射モード光を遮らない範囲で任意の形状を選択することが可能である。   As a fifth embodiment (reference example) of the non-coupled light shielding means, as shown in FIG. 10, a reflection film or light absorption film such as 34 is formed between the capillary 4 and the dielectric substrate 1. Is. The shape of the reflection film or the like is arbitrary so long as it does not block the radiation mode light detected by the light receiving element while excluding the joint portion between the optical fiber 3 and the optical waveguide 2 in order to allow signal light to propagate to the optical fiber. It is possible to select the shape.

非結合光遮蔽手段の第6の実施例(参考例)としては、図11に示すように、キャピラリー4内を伝搬する非結合光が該キャピラリーから外部に放出される位置35に形成される、キャピラリーの切除部分又はキャピラリー表面に設けられた光吸収材である。切除部分の形状は、第1の実施例と同様に、非結合光の受光素子への伝搬を防止するものであれば、任意の形状が選択できる。図4に示すように、非結合光は、キャピラリー4の領域35付近より集中的に放射されており、この領域のキャピラリー表面に遮蔽手段を設けるだけでも、非結合光の遮蔽効果は高くなる。   As a sixth embodiment (reference example) of the non-coupled light shielding means, as shown in FIG. 11, the non-coupled light propagating in the capillary 4 is formed at a position 35 where it is emitted from the capillary to the outside. It is a light absorbing material provided on the cut portion of the capillary or on the capillary surface. As in the first embodiment, the shape of the cut portion can be selected as long as it prevents propagation of uncoupled light to the light receiving element. As shown in FIG. 4, the non-coupled light is radiated intensively from the vicinity of the region 35 of the capillary 4, and the shielding effect of the non-coupled light is enhanced only by providing a shielding means on the capillary surface in this region.

非結合光遮蔽手段の第7の実施例としては、図12に示すように、キャピラリー4の中空部と該光ファイバとの間に挿入された管状挿入材35である。本構成とすることにより、光導波路2と光ファイバ3との接合部から放射される非結合光を管状挿入材35の内部に閉じ込め、受光素子の方向に放射されないよう構成することが可能となる。この管状挿入材35は、あらかじめ光ファイバ3の外周に取り付けておき、その後キャピラリー4を取り付けてもよいし、逆にあらかじめキャピラリー4の中空部内に取り付けておき、該中空挿入材の貫通孔中に光ファイバ3を挿入し固定してもよい。   A seventh embodiment of the non-coupled light shielding means is a tubular insertion member 35 inserted between the hollow portion of the capillary 4 and the optical fiber, as shown in FIG. By adopting this configuration, it becomes possible to confine uncoupled light radiated from the joint between the optical waveguide 2 and the optical fiber 3 in the tubular insertion member 35 so as not to be radiated in the direction of the light receiving element. . The tubular insertion member 35 may be attached to the outer periphery of the optical fiber 3 in advance, and then the capillary 4 may be attached, or conversely, the tubular insertion member 35 is attached in advance to the hollow portion of the capillary 4 and is inserted into the through hole of the hollow insertion member. The optical fiber 3 may be inserted and fixed.

管状挿入材35の寸法及び形状は、受光素子が検出する放射モード光を遮らない範囲で任意に選択することが可能である。ここで、管状挿入材の誘電体基板に接する側とは反対側の端面の位置および形状は、キャピラリーの反射面とは異なるように設けることがのぞましい。特に、図12に示すように、管状挿入材35の長さをキャピラリー4よりも長くしておけば、管状挿入材内を伝搬した非結合光と放射モード光との分離が容易となり、非結合光が光検出器に入射することを、容易に防止することが可能となる。さらに、キャピラリーの中空部の内面、または管状挿入材の外面に、金属膜、反射膜又は光吸収膜のいずれかを配置することにより、非結合光の遮蔽効果をより高めることができる。
また、管状挿入材の屈折率としては、キャピラリーの屈折率と同じか、高い方が望ましい。
The size and shape of the tubular insert 35 can be arbitrarily selected within a range that does not block the radiation mode light detected by the light receiving element. Here, it is preferable that the position and the shape of the end surface of the tubular insertion material opposite to the side in contact with the dielectric substrate are different from the reflecting surface of the capillary. In particular, as shown in FIG. 12, if the length of the tubular insert 35 is made longer than that of the capillary 4, separation of uncoupled light and radiation mode light propagated in the tubular insert is facilitated, and uncoupled. It is possible to easily prevent light from entering the photodetector. Furthermore, by disposing any of a metal film, a reflective film, and a light absorbing film on the inner surface of the hollow portion of the capillary or the outer surface of the tubular insertion member, the shielding effect of non-coupled light can be further enhanced.
The refractive index of the tubular insert is preferably the same as or higher than the refractive index of the capillary.

本発明に係る出力光モニタ付光導波路型光変調器によれば、誘電体基板として薄板を用いた場合においても、モニタ用出力光として光導波路から放射される放射モード光を、より正確に検出するための出力光モニタ付光導波路型光変調器を提供することが可能となる。   According to the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention, even when a thin plate is used as a dielectric substrate, the radiation mode light emitted from the optical waveguide as the output light for monitoring is detected more accurately. Therefore, it is possible to provide an optical waveguide type optical modulator with an output light monitor.

1 誘電体基板
2 光導波路
3 光ファイバ
4 キャピラリー
5 反射手段
6 受光素子
7 筐体
8 接着層
9 補強板
10 入射光
11 出射光(信号光)
20 放射モード光
21 非結合光
30 切除部分
31 光吸収材
32 金属膜等
33 拡張部
34 反射膜等
35 管状挿入材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dielectric substrate 2 Optical waveguide 3 Optical fiber 4 Capillary 5 Reflecting means 6 Light receiving element 7 Case 8 Adhesive layer 9 Reinforcement board 10 Incident light 11 Output light (signal light)
20 radiation mode light 21 non-coupled light 30 excision part 31 light absorbing material 32 metal film etc. 33 extension part 34 reflection film etc. 35 tubular insert

Claims (5)

誘電体基板と、該誘電体基板の表面又は裏面に形成され、2つ以上の分岐光導波路部及び該分岐光導波路部の合一点から伸び出ている光導波路出力部を有する光導波路とを備えた光導波路素子と、
該光導波路出力部の出力端に接続される光ファイバと、
該光導波路出力部の出力端と該光ファイバの端面との接続部を補強する光ファイバ補強部材と、
前記分岐光導波路部の合一点から放射され、かつ該光導波路出力部の両側を通って伝搬される放射モード光の一部を、該誘電体基板及び該光ファイバ補強部材を介して受光する光検出器と、
を有する出力光モニタ付光導波路型光変調器において、
該光ファイバ補強部材が、該光ファイバの接続端部分を収容する中空部を有し、かつ、該放射モード光を伝搬するキャピラリーであり、
該キャピラリーの該誘電体基板側とは反対の端面には、前記放射モード光の一部を該光検出器に向かって反射させる反射手段が形成されており、
該中空部には、該光導波路出力部と該光ファイバとの非結合光が該光検出器に入射することを防止する非結合光遮蔽手段が設けられていることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調器。
A dielectric substrate; and an optical waveguide formed on the front surface or the back surface of the dielectric substrate and having two or more branched optical waveguide portions and an optical waveguide output portion extending from a joint point of the branched optical waveguide portions. Optical waveguide elements,
An optical fiber connected to the output end of the optical waveguide output section;
An optical fiber reinforcing member that reinforces the connection between the output end of the optical waveguide output section and the end face of the optical fiber;
Light that receives a part of the radiation mode light that is radiated from the union point of the branched optical waveguide part and propagates through both sides of the output part of the optical waveguide through the dielectric substrate and the optical fiber reinforcing member A detector;
In an optical waveguide type optical modulator with an output light monitor,
The optical fiber reinforcing member has a hollow portion that accommodates a connection end portion of the optical fiber, and is a capillary that propagates the radiation mode light;
Reflecting means for reflecting a part of the radiation mode light toward the photodetector is formed on the end surface of the capillary opposite to the dielectric substrate side,
An output light monitor characterized in that non-coupled light shielding means for preventing uncoupled light from the optical waveguide output section and the optical fiber from entering the photodetector is provided in the hollow portion. Attached optical waveguide type optical modulator.
請求項1に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該誘電体基板の厚さは30μm以下であることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調器。   2. The optical waveguide type optical modulator with output light monitor according to claim 1, wherein the dielectric substrate has a thickness of 30 [mu] m or less. 請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該非結合光遮蔽手段は、該キャピラリーの中空部の内面に配置された金属膜、反射膜又は光吸収膜のいずれかであることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調器。   3. The optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 1, wherein the non-coupled light shielding means is any one of a metal film, a reflective film, and a light absorbing film disposed on the inner surface of the hollow portion of the capillary. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor. 請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該非結合光遮蔽手段は、該キャピラリーの中空部の形状が、該誘電体基板側の端面の穴を拡張するものであることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調器。   3. The optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 1 or 2, wherein the non-coupled light shielding means is such that a shape of a hollow portion of the capillary extends a hole on an end face on the dielectric substrate side. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor. 請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該非結合光遮蔽手段は、該キャピラリーの中空部と該光ファイバとの間に挿入された管状挿入材であることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調器。   3. The optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 1, wherein the non-coupled light shielding means is a tubular insertion member inserted between the hollow portion of the capillary and the optical fiber. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor.
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