JP4880427B2 - Cleaning method and cleaning apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、電子、機械、医療関連等の部品および器具を浸漬超音波洗浄によって洗浄する洗浄方法および洗浄装置に関し、特に、管状物の洗浄に好適な洗浄方法および洗浄装置に関する。 The present invention relates to a cleaning method and a cleaning apparatus for cleaning electronic and mechanical parts, instruments and the like related to immersion ultrasonic cleaning, and more particularly to a cleaning method and a cleaning apparatus suitable for cleaning tubular objects.
被洗浄物を洗浄液に浸漬した状態で、洗浄液に超音波による振動を付加することにより、被洗浄物を洗浄する浸漬超音波洗浄は、電子、機械、医療関連等の部品および器具等の洗浄に広く採用されている。 Immersion ultrasonic cleaning that cleans an object to be cleaned by adding ultrasonic vibration to the cleaning liquid while the object to be cleaned is immersed in the cleaning liquid is used for cleaning electronic parts, machinery, medical-related parts and instruments, etc. Widely adopted.
電子、機械部品等の洗浄には、フロンまたはトリクロロエタン等の塩素系溶剤による洗浄が広く行なわれていたが、環境保護のためにフロンが全廃されて以来、代替溶剤を用いる洗浄方法が種々提案され、界面活性剤を主成分とするいわゆる水系洗浄液を用いた洗浄が広く行なわれるようになってきた。また、医療用部品および器具の洗浄においても界面活性剤入りの中性洗浄液を用いた水系洗浄が行われている。水系洗浄液を用いる場合であっても浸漬超音波洗浄は有用であり、大気圧下で行うだけでなく、減圧下で行うことも提案されている。 For cleaning electronic parts and machine parts, chlorofluorocarbon solvents such as chlorofluorocarbon or trichloroethane were widely used. However, since chlorofluorocarbon was completely abolished for environmental protection, various cleaning methods using alternative solvents have been proposed. Cleaning using a so-called aqueous cleaning liquid containing a surfactant as a main component has been widely performed. Also, in the cleaning of medical parts and instruments, aqueous cleaning using a neutral cleaning liquid containing a surfactant is performed. Even when an aqueous cleaning solution is used, immersion ultrasonic cleaning is useful, and it has been proposed to perform not only under atmospheric pressure but also under reduced pressure.
水系洗浄では、洗浄剤自体の汚れに対する溶解能力が低いため、超音波のキャビテーションを用いた超音波洗浄または、洗浄液中にガスを溶解させ、気泡を発生させるバブリング洗浄等を併せて行い、物理的な液流動を発生させ洗浄力を向上させている。 In water-based cleaning, the cleaning agent itself has a low ability to dissolve dirt, so ultrasonic cleaning using ultrasonic cavitation or bubbling cleaning that dissolves gas in the cleaning liquid and generates bubbles is performed physically. The liquid flow is improved and the cleaning power is improved.
従来の浸漬超音波洗浄方法の1例を図6に示す。洗浄槽1に貯溜された洗浄液2に被洗浄物21を浸漬し、超音波振動子ユニット4より照射される超音波によって洗浄液2に超音波振動が付加され、被洗浄物21の表面に付着した汚れを除去する。
An example of a conventional immersion ultrasonic cleaning method is shown in FIG. The object to be cleaned 21 is immersed in the cleaning
次に、気泡により洗浄液を撹拌して被洗浄物を洗浄する従来のエアバブリング洗浄方法の1例を図7に示す。 Next, FIG. 7 shows an example of a conventional air bubbling cleaning method for cleaning an object to be cleaned by stirring the cleaning liquid with bubbles.
洗浄槽1に貯溜された洗浄液2に被洗浄物21を浸漬し、洗浄液2中に設置されたノズル(多孔質体)22に圧縮空気を送り込み、気泡を発生させることによって、被洗浄物21の表面に付着した汚れを除去する。
The
特許文献1記載の脱脂洗浄装置は、超音波洗浄とエアバブリング洗浄の2つの機能を有している。気体加圧混入手段5により入口側から洗浄液およびすすぎ液を吸引すると同時に空気または窒素ガスを吸引し、加圧しながら吐出する。そしてガスを溶解又は微細気泡の状態で多量に含有する洗浄液が洗浄槽1に供給され、ノズル7で減圧され発泡し、液中に分散する。ついで被洗物10を槽内に浸漬し、同時に超音波発振手段を励起して槽内に配置した超音波加振手段3を駆動し洗浄液に超音波を間欠的に照射する。超音波照射の休止中に被洗物を大気中に引上げたのち再び液中に浸漬し超音波を照射する。この手順を繰返して洗浄を終了する。
The degreasing and cleaning apparatus described in
上記のような従来の浸漬超音波洗浄方法では、水系洗浄液の表面張力が溶剤に比べて大きいため、大気圧下で洗浄を行うと、被洗浄物の表面に有る袋穴や溝等の微細構造の部分に洗浄液が入り込みにくく、気泡が残り、部分的に十分な洗浄ができないことがある。また、被洗浄物の表面が平滑であっても、被洗浄物同士が平滑面で接触していると、そこには洗浄液が入り込みにくく、やはり洗浄が不十分になることがある。特に、被洗浄物が細長い管状物の場合は、その内部に洗浄液が入り込まず、洗浄できない場合が多い。 In the conventional immersion ultrasonic cleaning method as described above, since the surface tension of the aqueous cleaning liquid is larger than that of the solvent, when cleaning is performed under atmospheric pressure, a fine structure such as a bag hole or a groove on the surface of the object to be cleaned It may be difficult for the cleaning liquid to enter the part of this area, air bubbles may remain, and partial cleaning may not be possible. Further, even if the surfaces of the objects to be cleaned are smooth, if the objects to be cleaned are in contact with each other on a smooth surface, the cleaning liquid is difficult to enter there, and cleaning may be insufficient. In particular, when the object to be cleaned is an elongated tubular object, the cleaning liquid does not enter the inside of the object and often cannot be cleaned.
減圧下で洗浄を行うと、袋穴や管状洗浄物の内部に残った気泡を取り除き、微細構造部分にも洗浄液を入り込ませることはできる。しかし、水の表面張力が大きいため、一度微細構造部分に入ってしまった洗浄液が除去できず、洗浄液が置換されないため、汚れが微細構造部分内に残ったままとなる。 When cleaning is performed under reduced pressure, bubbles remaining in the bag hole and the tubular cleaning object can be removed, and the cleaning liquid can be introduced into the fine structure portion. However, since the surface tension of water is large, the cleaning liquid once entering the fine structure portion cannot be removed, and the cleaning liquid is not replaced, so that the dirt remains in the fine structure portion.
また、洗浄槽を真空にするには当然、洗浄槽を始めとする装置の耐圧性が要求されるため、装置の構造や大きさに制約が生じて、一度に洗浄できる被洗浄物の量が限られてしまったり、装置のコスト増を招くことになる。さらに、真空排気に時間を要するため洗浄時間が長くなってしまう。 In addition, since the pressure resistance of the apparatus including the cleaning tank is naturally required to make the cleaning tank vacuum, the structure and size of the apparatus are limited, and the amount of objects to be cleaned at one time can be reduced. It will be limited or it will increase the cost of the device. Furthermore, since time is required for evacuation, the cleaning time becomes long.
また上記のような従来のエアバブリング洗浄方法では、気泡の大きさが0.5mm〜数mmと大きいため、浸漬超音波洗浄と同様に、被洗浄物表面の微細構造部分、管状物の内部の洗浄が不十分になることがある。また、洗浄液全体に均一なエアバブリングを行うことは困難であり、洗浄ムラが生じてしまうほか、気泡を一定時間噴射することで発泡を増大させることになり、連続的な洗浄ができなくなる場合がある。 Further, in the conventional air bubbling cleaning method as described above, since the size of the bubbles is as large as 0.5 mm to several mm, the fine structure portion on the surface of the object to be cleaned, the inside of the tubular object, as in the case of immersion ultrasonic cleaning Insufficient cleaning may occur. In addition, it is difficult to perform uniform air bubbling over the entire cleaning liquid, resulting in uneven cleaning, and foaming is increased by injecting bubbles for a certain period of time, and continuous cleaning may not be possible. is there.
特許文献1記載の脱脂洗浄装置では、微細気泡を含有する洗浄液を発泡させた後に、被洗物10を槽内に浸漬させ、超音波照射を行うので、微細構造部分や管状物の内部に十分に気泡が導入されないまま超音波が照射され、洗浄効果はほとんど上昇しない。
In the degreasing and cleaning apparatus described in
本発明の目的は、被洗浄物をより効果的に洗浄することが可能で、連続的に長時間の洗浄を行うことができる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a cleaning method and a cleaning apparatus capable of cleaning an object to be cleaned more effectively and continuously cleaning for a long time.
本発明は、洗浄槽に貯溜した洗浄液に被洗浄物を浸し、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄する洗浄方法において、
洗浄液に被洗浄物を浸した状態で、1種類以上のガスを溶存させた洗浄液を循環させるとともに、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させて被洗浄物の洗浄を第1所定時間行う循環洗浄工程と、
洗浄液に被洗浄物を浸した状態で、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物の洗浄を第2所定時間行う超音波洗浄工程とを個別に行うことを特徴とする洗浄方法である。
The present invention is a cleaning method of cleaning an object to be cleaned by immersing the object in a cleaning liquid stored in a cleaning tank and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid.
While the cleaning object is immersed in the cleaning liquid, the cleaning liquid in which one or more kinds of gases are dissolved is circulated, and fine bubbles are generated by the gas inside the cleaning tank to clean the cleaning object for a first predetermined time. A circulating cleaning process to be performed;
In the cleaning method, the ultrasonic cleaning process is performed separately for a second predetermined time by applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid in a state where the cleaning target is immersed in the cleaning liquid.
また本発明は、前記超音波洗浄工程は、洗浄槽内部を減圧した状態で洗浄を行うことを特徴とする。 In the present invention, the ultrasonic cleaning step is performed in a state where the inside of the cleaning tank is decompressed.
また本発明は、前記循環洗浄工程と前記超音波洗浄工程とを1サイクルとし、このサイクルを複数回繰り返すことを特徴とする。 Further, the present invention is characterized in that the circulation cleaning step and the ultrasonic cleaning step are one cycle, and this cycle is repeated a plurality of times.
また本発明は、前記循環洗浄工程では、被洗浄物である管状物を保持するホルダーを介して前記洗浄液を管状物の管内に導入することを特徴とする。 Further, the present invention is characterized in that, in the circulation cleaning step, the cleaning liquid is introduced into a tube of the tubular object through a holder that holds the tubular object that is the object to be cleaned.
また本発明は、洗浄槽に貯溜した洗浄液に被洗浄物を浸し、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、
洗浄液を貯留する洗浄槽と、
1種類以上のガスを溶存させた洗浄液を循環させ、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させる循環手段と、
洗浄液に超音波振動を付与する超音波付与手段と、
被洗浄物を洗浄槽内部で保持する保持手段とを有し、
前記循環手段が動作することにより、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させて被洗浄物の洗浄を第1所定時間行う循環洗浄モードと、前記超音波付与手段が動作することにより、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物の洗浄を第2所定時間行う超音波洗浄モードのいずれか1つのモードに切り替え可能に構成されることを特徴とする洗浄装置である。
Further, the present invention provides a cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned by immersing the object to be cleaned in a cleaning liquid stored in a cleaning tank and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid.
A cleaning tank for storing the cleaning liquid;
Circulating means for circulating a cleaning liquid in which one or more kinds of gas are dissolved, and generating fine bubbles by the gas inside the cleaning tank;
Ultrasonic application means for applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid;
Holding means for holding the object to be cleaned inside the cleaning tank,
By operating the circulation means, a circulation cleaning mode in which fine bubbles are generated by the gas inside the cleaning tank and cleaning the object to be cleaned is performed for a first predetermined time, and the ultrasonic wave applying means is operated. The cleaning apparatus is configured to be switchable to any one of an ultrasonic cleaning mode in which cleaning of an object to be cleaned is performed for a second predetermined time by applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid.
また本発明は、前記洗浄槽内部を減圧する減圧手段を有することを特徴とする。
また本発明は、前記保持手段は、中空の容器状を成し、被洗浄物である管状物の開放端部が内部空間に挿入された状態で複数本の管状物を保持することが可能に構成されるとともに、前記循環手段からの洗浄液が前記内部空間に流入するように構成されることを特徴とする。
Further, the present invention is characterized by having a decompression means for decompressing the inside of the cleaning tank.
Further, according to the present invention, the holding means has a hollow container shape, and can hold a plurality of tubular objects in a state where an open end of the tubular object that is an object to be cleaned is inserted into the internal space. The cleaning liquid from the circulation means is configured to flow into the internal space.
また本発明は、前記保持手段は、被洗浄物である管状物を、鉛直方向に平行に保持することを特徴とする。 Further, the present invention is characterized in that the holding means holds a tubular object as an object to be cleaned in parallel with the vertical direction.
また本発明は、前記保持手段は、前記洗浄槽に対して着脱可能に構成されることを特徴とする。 Further, the present invention is characterized in that the holding means is configured to be detachable from the cleaning tank.
本発明によれば、循環洗浄工程では、洗浄液に被洗浄物を浸した状態で、1種類以上のガスを溶存させた洗浄液を循環させるとともに、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させて被洗浄物の洗浄を第1所定時間行う。また、超音波洗浄工程では、洗浄液に被洗浄物を浸した状態で、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物の洗浄を第2所定時間行う。 According to the present invention, in the circulation cleaning step, while the cleaning object is immersed in the cleaning liquid, the cleaning liquid in which one or more kinds of gases are dissolved is circulated, and fine bubbles are generated by the gas inside the cleaning tank. Then, the object to be cleaned is cleaned for a first predetermined time . In the ultrasonic cleaning process, the object to be cleaned is cleaned for a second predetermined time by applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid in a state where the object to be cleaned is immersed in the cleaning liquid.
これにより、循環洗浄工程では、たとえば100μm(0.1mm)以下の微細気泡を含有した洗浄液を循環させることで、物理的な液流動を発生させるとともに、気泡の微細化による摩擦抵抗の減少で、被洗浄物表面の微細な袋穴や溝等の微小構造部分に効果的に微小気泡を導入することができる。 Accordingly, in the circulation cleaning step, for example, a cleaning liquid containing fine bubbles of 100 μm (0.1 mm) or less is circulated, thereby generating a physical liquid flow and reducing frictional resistance due to finer bubbles. Microbubbles can be effectively introduced into the fine structure portions such as fine bag holes and grooves on the surface of the object to be cleaned.
さらに、超音波洗浄工程では、被洗浄物表面の微小構造部分に導入された微細気泡が、超音波のキャビテーションにより破壊され、局所的に激しい液流動が発生し、極めて効果的に洗浄することが可能となる。また、超音波の付加により気泡を破壊することで、洗浄液中の微細気泡が集まり大きな気泡になるのを防ぐことができるので、連続的に長時間の洗浄を行うことができる。 Furthermore, in the ultrasonic cleaning process, the fine bubbles introduced into the fine structure portion of the surface of the object to be cleaned are destroyed by ultrasonic cavitation, and a strong liquid flow is generated locally, which can be cleaned extremely effectively. It becomes possible. Further, by destroying the bubbles by the addition of ultrasonic waves, it is possible to prevent the fine bubbles in the cleaning liquid from collecting and forming large bubbles, so that it is possible to perform cleaning for a long time continuously.
また本発明によれば、前記超音波洗浄工程では、洗浄槽内部を減圧した状態で洗浄を行う。洗浄槽内部を減圧することで、被洗浄物表面の微細構造部分に残った気泡を取り除き、新たな洗浄液を入り込ませることができる。また、洗浄液中の溶存気体が脱気されてキャビテーション発生時の音圧が大きくなり、大気圧下での洗浄よりも強力に洗浄を行うことができる。 According to the invention, in the ultrasonic cleaning step, cleaning is performed in a state where the inside of the cleaning tank is decompressed. By depressurizing the inside of the cleaning tank, bubbles remaining in the fine structure portion on the surface of the object to be cleaned can be removed, and a new cleaning liquid can be introduced. In addition, the dissolved gas in the cleaning liquid is degassed to increase the sound pressure when cavitation occurs, and cleaning can be performed more strongly than cleaning under atmospheric pressure.
また本発明によれば、前記循環洗浄工程と前記超音波洗浄工程とを1サイクルとし、このサイクルを複数回繰り返す。 According to the present invention, the circulation cleaning step and the ultrasonic cleaning step are set as one cycle, and this cycle is repeated a plurality of times.
これにより、洗浄液の流動性、置換効率が向上し、より高い洗浄力を達成することができる。 Thereby, the fluidity | liquidity and substitution efficiency of a washing | cleaning liquid improve, and higher cleaning power can be achieved.
また本発明によれば、前記循環洗浄工程では、被洗浄物である管状物を保持するホルダーを介して前記洗浄液を管状物の管内に導入する。 According to the invention, in the circulation cleaning step, the cleaning liquid is introduced into the tube of the tubular object through the holder that holds the tubular object that is the object to be cleaned.
これにより、管状物の開放端部からその管内に洗浄液を効率良く導入することができる。 Thereby, a washing | cleaning liquid can be efficiently introduce | transduced in the pipe | tube from the open end part of a tubular thing.
また本発明によれば、循環手段が動作することにより、洗浄槽内部で洗浄液に溶存させたガスによる微細な気泡を発生させて被洗浄物の洗浄を第1所定時間行う循環洗浄モードと、超音波付与手段が動作することにより、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物の洗浄を第2所定時間行う超音波洗浄モードのいずれか1つのモードに切り替えて被洗浄物を洗浄する。 According to the present invention, the circulation means operates to generate fine bubbles by the gas dissolved in the washing liquid inside the washing tank to wash the object to be washed for a first predetermined time, By operating the sound wave applying means, the object to be cleaned is cleaned by switching to one of the ultrasonic cleaning modes in which the object to be cleaned is cleaned for a second predetermined time by applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid.
これにより、循環洗浄モードでは、たとえば100μm(0.1mm)以下の微細気泡を含有した洗浄液を循環させることで、物理的な液流動を発生させるとともに、気泡の微細化による摩擦抵抗の減少で、被洗浄物表面の微細な袋穴や溝等の微小構造部分に効果的に微小気泡を導入することができる。 Thereby, in the circulation cleaning mode, for example, by circulating a cleaning liquid containing fine bubbles of 100 μm (0.1 mm) or less, a physical liquid flow is generated, and a frictional resistance is reduced by miniaturization of the bubbles. Microbubbles can be effectively introduced into the fine structure portions such as fine bag holes and grooves on the surface of the object to be cleaned.
さらに、超音波洗浄モードでは、被洗浄物表面の微小構造部分に導入された微細気泡が、超音波のキャビテーションにより破壊され、局所的に激しい液流動が発生し、極めて効果的に洗浄することが可能となる。また、超音波の付加により気泡を破壊することで、洗浄液中の微細気泡が集まり大きな気泡になるのを防ぐことができるので、連続的に長時間の洗浄を行うことができる。 Furthermore, in the ultrasonic cleaning mode, fine bubbles introduced into the fine structure of the surface of the object to be cleaned are destroyed by ultrasonic cavitation, and a strong liquid flow is generated locally, which can be cleaned extremely effectively. It becomes possible. Further, by destroying the bubbles by the addition of ultrasonic waves, it is possible to prevent the fine bubbles in the cleaning liquid from collecting and forming large bubbles, so that it is possible to perform cleaning for a long time continuously.
また本発明によれば、前記洗浄槽内部を減圧する減圧手段を有する。洗浄槽内部を減圧することで、被洗浄物表面の微細構造部分に残った気泡を取り除き、新たな洗浄液を入り込ませることができる。また、洗浄液中の溶存気体が脱気されてキャビテーション発生時の音圧が大きくなり、大気圧下での洗浄よりも強力に洗浄を行うことができる。 Moreover, according to this invention, it has a pressure reduction means which pressure-reduces the inside of the said washing tank. By depressurizing the inside of the cleaning tank, bubbles remaining in the fine structure portion on the surface of the object to be cleaned can be removed, and a new cleaning liquid can be introduced. In addition, the dissolved gas in the cleaning liquid is degassed to increase the sound pressure when cavitation occurs, and cleaning can be performed more strongly than cleaning under atmospheric pressure.
また本発明によれば、前記保持手段は、中空の容器状を成し、被洗浄物である管状物の開放端部が内部空間に挿入された状態で複数本の管状物を保持することが可能に構成されるとともに、前記循環手段からの洗浄液が前記内部空間に流入するように構成される。 Further, according to the present invention, the holding means has a hollow container shape and can hold a plurality of tubular objects in a state where the open end of the tubular object to be cleaned is inserted into the internal space. The cleaning liquid from the circulation means is configured to flow into the internal space.
これにより、保持手段に挿入された管状物の開放端部からその管内に洗浄液を効率良く導入することができる。 Accordingly, the cleaning liquid can be efficiently introduced into the pipe from the open end of the tubular article inserted into the holding means.
また本発明によれば、前記保持手段は、被洗浄物である管状物を、鉛直方向に平行に保持する。 According to the invention, the holding means holds the tubular object that is the object to be cleaned in parallel to the vertical direction.
これにより、微細気泡の上昇運動を妨げることなく管状物の管内を効果的に洗浄を行うことができる。 As a result, the inside of the tubular object can be effectively cleaned without hindering the upward movement of the fine bubbles.
また本発明によれば、前記保持手段は、前記洗浄槽に対して着脱可能に構成される。
これにより、洗浄槽から取り外した状態で被洗浄物を保持手段に保持させることができるので作業性が向上する。
According to the invention, the holding means is configured to be detachable from the cleaning tank.
As a result, the object to be cleaned can be held by the holding means in a state where it is detached from the cleaning tank, so that workability is improved.
図1は、本発明の実施形態である洗浄装置100の構成を示す概略図である。
洗浄装置100は、主に密閉可能な蓋3を有する洗浄槽1、超音波振動子4、バスケット受け10、加熱ヒータ11、超音波発振器5、微細気泡発生ユニット6、フィルター12、真空ポンプ7、圧力計13、温度調節器14、バルブ15を含んで構成される。洗浄槽1の内部空間には、超音波振動子4、バスケット受け10および加熱ヒータ11が配置される。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a
The
バスケット受け10は、被洗浄物である管状物20を保持するための保持手段であるホルダー9を有したバスケット8を収納する。洗浄槽1は上方に開放されており、洗浄槽1との接触部分にパッキンが設けられた蓋3を閉じることで、洗浄槽1を密閉することができる。
The
洗浄槽1に貯溜される洗浄液2は、界面活性剤入りの中性または、アルカリ性の水系洗浄液であり、洗浄槽1内の加熱ヒータ11で加熱され、温度調節器14によって液温が40℃〜60℃の範囲に調節される。洗浄液2は、たとえば、ノニオン系界面活性剤入り中性洗剤の水溶液であって洗剤濃度が0.5重量%のものが好ましい。
The cleaning
微細気泡は、温度に比例して直径が大きくなるが、界面活性剤入りの洗浄液2では、直径が小さくなり、液中の上昇速度が遅くなる、すなわち洗浄にあたっては寿命が長いことがわかっている。なお、洗浄剤の種類、加熱温度については、被洗浄物に応じて選定すればよく、限定されるものではない。
The fine bubbles have a diameter that increases in proportion to the temperature, but in the cleaning
微細気泡発生ユニット6は、パイプを介して洗浄槽1および洗浄槽1内のバスケット受け10に接続されており、内部のポンプを用いて洗浄槽1との間およびバスケット受け10との間で洗浄液2を循環させる循環手段である。洗浄槽1から微細気泡発生ユニット6に戻る経路上には、フィルター12が設置されており、循環する洗浄液2に含まれる異物を捕集して除去することができる。
The fine
微細気泡発生ユニット6には、ガス供給口が設けられ、ここから1種類以上の空気または窒素、オゾン等のガスを供給することで、循環されている洗浄液2中に加圧しながらガスが混合され、過飽和濃度かつ多量の気泡を含んだガス溶解液を生成することができる。この加圧されたガス溶解液が洗浄槽1およびバスケット受け10に送り出されると、圧力が下がり、微細気泡が発生する。本実施形態に用いている微細気泡発生ユニット6は、たとえば、加圧溶解法により直径が100μm(0.1mm)以下の微細気泡の発生が可能となっている。
The fine
洗浄槽1内に収納されたバスケット8のホルダー9には、バスケット受け10を介して微細気泡含有の洗浄液2が供給される。これによりホルダー9にセットされた管状物20の内面に微細気泡含有の洗浄液2が流入し、被洗浄物である管状物20内面を効果的に循環洗浄することができる。
The
超音波振動子4は洗浄槽1の内部空間下部に設置されており、洗浄槽1に貯溜される洗浄液2に超音波振動を付加する。超音波発振器5は、所定周波数の信号を超音波振動子4に与えてこれを振動させ、超音波を発生させる。本実施形態に用いている超音波発振器5は、たとえば、発振周波数が28kHz〜40kHzである。なお、発振周波数については、被洗浄物に応じて選定すればよく、限定されるものではない。超音波振動子4および超音波発振器5は超音波付与手段を構成する。
The
真空ポンプ7は水封式で、パイプを介して洗浄槽1の内部空間上部に接続されており、洗浄槽1内の気体を吸引して外部に排気し、密閉された洗浄槽1の内部を減圧する。本実施形態に用いている真空ポンプ7は、たとえば数千Pa(数十Torr)の真空度に到達可能である。
The
バルブ15は、大気開放バルブ15aおよび真空排気バルブ15bからなる。真空排気バルブ15bは、洗浄槽1と真空ポンプ7とを接続するパイプに設けられており、真空ポンプ7による洗浄槽1からの気体の排出路を開閉する。
The valve 15 includes an
大気開放バルブ15aは、洗浄槽1と真空排気バルブ15bとを接続するパイプの途中から分岐したパイプに設けられており、洗浄槽1への空気の導入路を開閉する。圧力計13は、洗浄槽1と真空排気バルブ15bを接続するパイプの間に取り付けられており、洗浄槽1内部の圧力を測定する。真空ポンプ7およびバルブ15は、減圧手段を構成する。
The
図1に示した洗浄装置100を用いて被洗浄物である管状物20を洗浄する方法について説明する。
A method of cleaning the
まず、被洗浄物である管状物20をバスケット8のホルダー9に複数本配置し、洗浄槽1に洗浄液2を供給する。なお、被洗浄物である管状物20の配置は、洗浄槽1内に収納されたバスケット8のホルダー9に直接配置してもよく、バスケット8を洗浄槽1内のバスケット受け10から取り外し、作業性の良い場所で管状物20をホルダー9に配置し、管状物20が配置されたバスケット8を洗浄槽1内のバスケット受け10に装着してもよい。
First, a plurality of
微細気泡発生ユニット6にて生成した、1種類以上のガスを溶存させた、過飽和濃度かつ多量の気泡を含んだガス溶解液を、洗浄槽1の内部空間下部と、バスケット受け10を介して管状物20が配置されたバスケット8のホルダー9とに供給し、微細気泡含有液による循環洗浄を所定時間行う。
A gas solution containing one or more types of gas generated in the fine
これによりホルダー9に配置された管状物20の管内に微細気泡含有の洗浄液2が流入し、管状物20の内面洗浄が行われる。洗浄槽1の内部空間下部にも同様に微細気泡が発生し、管状物20の外面洗浄が行われる。
As a result, the cleaning
加圧溶解法により生成される100μm(0.1mm)以下の微細気泡を含有した洗浄液2を微細気泡発生ユニット6によって循環させ、微細気泡を連続的に発生させることで、洗浄槽1内の洗浄液2に対して物理的な液流動を発生させるとともに、気泡の微細化による摩擦抵抗の減少で、被洗浄物表面の微細な袋穴や溝等の微小構造部分および管状物20の管内に効果的に微小気泡を導入することができる。
The cleaning
さらに、超音波発振器5により所定周波数の信号を、洗浄槽1内の下部に設置されている超音波振動子4に与えて、洗浄液2に超音波振動を付加する超音波洗浄を所定時間行うことで、被洗浄物表面の微小構造部分や管状物20内部に導入された微細気泡が、超音波のキャビテーションにより破壊され、局所的に激しい液流動が発生し、極めて効果的に洗浄することが可能となる。また、超音波の付加により気泡を破壊することで、洗浄液2中の微細気泡が集まり大きな気泡になるのを防ぐことができるので、連続的に長時間の洗浄を行うことができる。
Further, the
本発明では、超音波洗浄中に、大気開放バルブ15aを閉じ、真空排気バルブ15bを開き、洗浄槽1内の気体を真空ポンプ7にて外部に排気することで減圧超音波洗浄を行うことが可能である。洗浄槽1内部を減圧することで、被洗浄物表面の微細構造部分や管状物20の管内に残った気泡を取り除き、新たな洗浄液2を入り込ませることができる。また、洗浄液2中の溶存気体が脱気されてキャビテーション発生時の音圧が大きくなり、大気圧下での洗浄よりも強力に洗浄を行うことができる。
In the present invention, during the ultrasonic cleaning, the
しかし、洗浄槽1の耐圧性などが要求されるためコストの増加や、洗浄物の量が制限、さらには、真空排気に時間が必要になるため洗浄時間が長くなるなど、減圧によるデメリットもあるため、たとえば、被洗浄物の構造が複雑であったり、表面に微小構造部分が多いなど洗浄が困難な被洗浄物を洗浄するときにのみ減圧超音波洗浄を行うことが望ましい。本実施形態では、上記のように、バルブ15と真空ポンプ7とを必要なときに動作させることで、大気圧超音波洗浄と減圧超音波洗浄とを切り替え可能な構成となっている。
However, the pressure resistance of the
所定時間の減圧超音波洗浄を行った後は、真空排気バルブ15bを閉じ、大気開放バルブ15aを開くことで外気を導入し、洗浄槽1内部を大気圧に戻す。
After performing vacuum ultrasonic cleaning for a predetermined time, outside air is introduced by closing the
以上のように、本発明の洗浄方法は、1種類以上のガスを溶存させた、過飽和濃度かつ多量の気泡を含んだガス溶解液を洗浄液2とし、洗浄槽1内部を大気圧にした状態で、洗浄液2の循環による洗浄を所定時間行う循環洗浄工程と、洗浄槽1内部を大気圧下、または減圧下で洗浄液2に超音波振動を付与する超音波洗浄を所定時間行う超音波洗浄工程とを含むことを特徴とし、循環洗浄工程と超音波洗浄工程の順序は、上記のように、循環洗浄工程後に超音波洗浄工程を行ってもよいし、超音波洗浄工程後に循環洗浄工程を行ってもよい。
As described above, in the cleaning method of the present invention, the gas solution containing a supersaturated concentration and a large amount of bubbles in which one or more kinds of gases are dissolved is used as the cleaning
被洗浄物が比較的内径の大きな管状物であれば、洗浄液2に浸漬するだけで洗浄液2が管内に流入されるため、超音波洗浄工程後に循環洗浄工程を行うほうが効果的である。内径の小さな管状物の管内など狭い所で気泡を破壊すると、激しい液流動が発生するが、内径が大きい管状物の管内など広い所では、洗浄液が管内に入り込めば、超音波によるキャビテーションで内面の汚れを先ず除去し、その後に微細気泡でそれを持ち去るほうが効果的である。被洗浄物の外部に露出した表面を特に洗浄したい場合も先ず超音波洗浄を行い、その後循環洗浄を行うほうが効果的である。
If the object to be cleaned is a tubular object having a relatively large inner diameter, it is more effective to perform the circulation cleaning process after the ultrasonic cleaning process because the cleaning
さらに、循環洗浄工程と超音波洗浄工程との組み合わせを1サイクルとして、このサイクルを複数回繰り返すことで、洗浄液2の流動性、置換効率が向上し、より高い洗浄力を達成することができる。これは、同じ洗浄時間、たとえば10分間と想定した場合、循環洗浄工程を5分間行い、超音波洗浄工程を5分間行う合計10分間の洗浄を行うよりも、1サイクルの洗浄時間を短くして複数回繰り返す、たとえば循環洗浄工程を1分間行い、超音波洗浄工程を1分間行う2分間のサイクルを5回繰り返して合計10分間の洗浄を行うほうが、洗浄液2中の気泡の大径化を防ぐことができるからである。
Furthermore, the combination of the circulation cleaning step and the ultrasonic cleaning step is set as one cycle, and by repeating this cycle a plurality of times, the fluidity and replacement efficiency of the cleaning
循環洗浄工程と超音波洗浄工程とを1サイクルとし、このサイクルを複数回繰り返すことで管状物20の内径など被洗浄物の形状に関係なく良好な洗浄を行うことが可能である。
It is possible to perform good cleaning regardless of the shape of the object to be cleaned such as the inner diameter of the
本発明の洗浄装置100では、被洗浄物を保持するホルダー9を有したバスケット8が、バスケット受け10と着脱可能に構成されており、被洗浄物の配置および回収時に、バスケット8をバスケット受け10から取り外すことで、作業性の良い場所で被洗浄物の配置および回収を行うことができる。
In the
図2は、ホルダー9の構成を示す概略図である。図2(a)は、ホルダー9の上面図を示し、図2(b)は、ホルダー9の側面図を示す。図2に示すように、ホルダー9は、中空の容器状を成し、管状物20の開放端部が内部空間に挿入された状態で複数本(たとえば16本、32本など)まとめて保持することが可能に構成されている。ホルダー9の内部空間には、バスケット受け10を介して微細気泡発生ユニット6からの洗浄液2が流入し、挿入された管状物20の開放端部からその管内に洗浄液2を効率良く導入することが可能な構造となっている。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the
図3は、本発明の他の実施形態である洗浄装置101の構成を示す概略図である。
本実施形態では、ホルダー9が鉛直方向下方に位置するようにバスケット8を搭載する。これにより、ホルダー9に保持された状態の被洗浄物が、ホルダー9の鉛直方向上方に配置されることになり、鉛直方向に平行に保持されるので、微細気泡の上昇運動を妨げることなく管状物20の管内を効果的に洗浄を行うことができる。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a configuration of a
In the present embodiment, the
以下では、主に図1に示した洗浄装置100と異なる構成について説明し、重複する説明については省略する場合がある。
Hereinafter, a configuration different from the
図3に示すように、洗浄槽1内に、超音波振動子4、バスケット受け10を配置し、超音波発振器5、微細気泡発生ユニット6、フィルター12、温度調節器14などを含む。洗浄槽1側部には、オーバーフロー槽16を設け、オーバーフロー槽16内には、加熱ヒータ11を設ける。
As shown in FIG. 3, the
洗浄槽1内部には、被洗浄物である管状物20をセットするためのホルダー9を有したバスケット8を収納し、洗浄液2が供給される。
Inside the
洗浄液2は、上記の洗浄装置100で用いたものと同じで、界面活性剤入りの中性または、アルカリ性の水系洗浄液であり、洗浄槽1内の加熱ヒータ11で加熱され、温度調節器14によって液温が40℃〜60℃の範囲に調節される。なお、洗浄剤の種類、加熱温度については、被洗浄物に応じて選定すればよく、限定されるものではない。
The cleaning
微細気泡発生ユニット6は、パイプを介して洗浄槽1、洗浄槽1内のバスケット受け10およびオーバーフロー槽16に接続されており、内部のポンプを用いてオーバーフロー槽16との間、洗浄槽1との間およびバスケット受け10との間で洗浄液2を循環させている。オーバーフロー槽16から微細気泡発生ユニット6に戻る経路上には、フィルター12が設置されており、循環する洗浄液2に含まれる異物を捕集して除去することができる。
The fine
微細気泡発生ユニット6には、ガス供給口が設けられ、ここから1種類以上の空気または窒素、オゾン等のガスを供給することで、循環されている洗浄液2中に加圧しながらガスが混合され、過飽和濃度かつ多量の気泡を含んだガス溶解液を生成することができる。この加圧されたガス溶解液が洗浄槽1およびバスケット受け10に送り出されると、圧力が下がり、微細気泡が発生する。本実施形態に用いている微細気泡発生ユニット6は、たとえば、加圧溶解法により直径が100μm(0.1mm)以下の微細気泡の発生が可能となっている。
The fine
洗浄槽1内に収納されたバスケット8のホルダー9には、バスケット受け10を介して微細気泡含有の洗浄液2が供給される。これによりホルダー9にセットされた管状物20の内面に微細気泡含有の洗浄液2が流入し、被洗浄物である管状物20内面を効果的に循環洗浄することができる。
The
バスケット8は、ホルダー9が鉛直方向下方に位置するように、洗浄槽1内部のバスケット受け10に装着される。ホルダー9は、中空の容器状を成し、管状物20の開放端部が内部空間に挿入された状態で複数本まとめて保持することが可能に構成されている。ホルダー9の内部空間には、バスケット受け10を介して微細気泡発生ユニット6からの洗浄液2が流入し、挿入された管状物20の開放端部からその管内に洗浄液2を効率良く導入することが可能な構造となっている。
The
このような構造であれば、ホルダー9に保持された状態の被洗浄物が、ホルダー9の鉛直方向上方に配置されることになり、微細気泡の上昇運動を妨げることなく効果的に洗浄を行うことができる。さらに、バスケット8の底面の幅が、ホルダー9の大きさ程度あれば十分であるので、バスケット8の底面の幅を小さくすることができ、洗浄装置101自体の設置面積を小さくすることができる。
With such a structure, the object to be cleaned held in the
なお、気泡の微細化による摩擦抵抗の減少、界面活性剤による気泡径および挙動への影響は、最近の多くの実験により確認されている。たとえば、株式会社シーエムシー出版発行の雑誌「月刊エコインダストリー」平成18年3月号には、界面活性剤による気泡の挙動について(第8頁以降参照)、界面活性剤による気泡径の微小化について(第29頁以降参照)、微細気泡の摩擦抵抗の減少について(第42頁参照)記載されている。
It should be noted that the reduction in frictional resistance due to the refinement of bubbles and the influence of the surfactant on the bubble size and behavior have been confirmed by many recent experiments. For example, in the March 2006 issue of “Monthly Eco Industry” published by CMC Publishing Co., Ltd., the behavior of bubbles by surfactants (see
図1に示した洗浄装置100を用いて実際に洗浄を行った実施例1および図3に示した洗浄装置101を用いて実際に洗浄を行った実施例2について説明する。
Example 1 in which actual cleaning was performed using the
被洗浄物は、材質がステンレスで、外径2.0mm、内径0.8mm、長さ600mmの直管管状物を用い、バスケット8のホルダー9に16本保持した状態でバスケット受け10に装着した。
The object to be cleaned is made of stainless steel, and has a straight tube shape having an outer diameter of 2.0 mm, an inner diameter of 0.8 mm, and a length of 600 mm, and is mounted on the
洗浄液は、ノニオン系界面活性剤入り中性洗剤(商品名M−700L、シャープマニファクチャリングシステム株式会社製)の濃度が0.5重量%となるように水に溶解させたものを用い、比較的低温である40℃となるように調整した。 As the cleaning liquid, a neutral detergent containing a nonionic surfactant (trade name: M-700L, manufactured by Sharp Manufacturing System Co., Ltd.), which was dissolved in water so that the concentration was 0.5% by weight, was compared. The temperature was adjusted to 40 ° C., which is a low temperature.
図4は、実施例1の洗浄方法を示す工程フロー図である。
工程Aは、微細気泡による循環洗浄工程であり、この工程では、微細気泡発生ユニット6の動作条件を洗浄液圧力0.4MPa、流量15L/min、ガス(空気)注入量900mL/minとして循環洗浄を60秒間行った。
FIG. 4 is a process flow diagram illustrating the cleaning method of the first embodiment.
Step A is a circulation cleaning step using fine bubbles. In this step, the circulation cleaning is performed with the operation conditions of the fine
工程Bは、工程B1〜B4からなり、工程B1では、出力600W、周波数40kHzで超音波発振器5を動作させ、超音波振動の付与を開始する。工程B2では、減圧洗浄のため、洗浄槽1内を10kPa(約75Torr)まで減圧し、30秒間真空状態を保持した後、工程B3で大気開放を行う。真空保持時間の30秒間を含め、超音波振動の付与開始から90秒間超音波洗浄を行った。
The process B includes processes B1 to B4. In the process B1, the
工程Aおよび工程Bを1サイクル(150秒間)とし、このサイクルを4回繰り返して合計10分間の洗浄を行った。 Step A and step B were set to one cycle (150 seconds), and this cycle was repeated four times for a total of 10 minutes of washing.
図5は、実施例2の洗浄方法を示す工程フロー図である。
工程Aは、実施例1と同様の微細気泡による循環洗浄工程であり、この工程では、微細気泡発生ユニット6の動作条件を洗浄液圧力0.4MPa、流量15L/min、ガス(空気)注入量900mL/minとして循環洗浄を90秒間行った。
FIG. 5 is a process flow diagram illustrating the cleaning method of the second embodiment.
The process A is a circulating cleaning process using fine bubbles as in the first embodiment. In this process, the operating conditions of the fine
工程Bは、循環洗浄工程後に行われる超音波振動による超音波洗浄工程であり、この工程では、出力300W、周波数40kHzにて超音波洗浄を90秒間行った。 Step B is an ultrasonic cleaning step by ultrasonic vibration performed after the circulation cleaning step. In this step, ultrasonic cleaning was performed for 90 seconds at an output of 300 W and a frequency of 40 kHz.
工程Aおよび工程Bを1サイクル(180秒間)とし、このサイクルを5回繰り返して合計10分間の洗浄を行った。 Process A and process B were set to 1 cycle (180 seconds), and this cycle was repeated 5 times for a total of 10 minutes of washing.
なお、上記実施例では、洗剤の投入、洗浄液の給排水等の動作は、省略している。
比較例として、図1に示した洗浄装置100の循環洗浄を行う構成を有しない、すなわち循環洗浄工程を行わない洗浄装置で洗浄を行った。
In the above embodiment, operations such as introduction of detergent and supply / drainage of cleaning liquid are omitted.
As a comparative example, the
上記に示した被洗浄物である管状物を、擬似血液(羊の血液に、卵黄とムチン(豚の胃のめん膜)を混合したもの)によって汚した後、これを洗浄した。評価は、アミドブラック10Bを用いたたんぱく質検出方法を利用し、洗浄後の残留汚れを検出した。 The tubular article, which is the object to be cleaned, was stained with simulated blood (sheep blood mixed with egg yolk and mucin (pig stomach nuff)), and then washed. For the evaluation, a protein detection method using amide black 10B was used to detect residual stains after washing.
実施例1による洗浄では、洗浄後に残留汚れは検出されず、比較例による洗浄では、洗浄後に残留汚れが検出された。 In the cleaning according to Example 1, residual dirt was not detected after cleaning, and in the cleaning according to the comparative example, residual dirt was detected after cleaning.
1 洗浄槽
2 洗浄液
3 蓋
4 超音波振動子
5 超音波発振器
6 微細気泡発生ユニット
7 真空ポンプ
8 バスケット
9 ホルダー
10 バスケット受け
11 加熱ヒータ
12 フィルター
13 圧力計
14 温度調節器
15a 大気開放バルブ
15b 真空排気バルブ
16 オーバーフロー槽
20 管状物
21 被洗浄物
22 ノズル(多孔質体)
100,101 洗浄装置
DESCRIPTION OF
100, 101 Cleaning device
Claims (9)
洗浄液に被洗浄物を浸した状態で、1種類以上のガスを溶存させた洗浄液を循環させるとともに、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させて被洗浄物の洗浄を第1所定時間行う循環洗浄工程と、
洗浄液に被洗浄物を浸した状態で、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物の洗浄を第2所定時間行う超音波洗浄工程と個別に行うことを特徴とする洗浄方法。 In a cleaning method of cleaning an object to be cleaned by immersing the object in a cleaning liquid stored in a cleaning tank and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid,
While the cleaning object is immersed in the cleaning liquid, the cleaning liquid in which one or more kinds of gases are dissolved is circulated, and fine bubbles are generated by the gas inside the cleaning tank to clean the cleaning object for a first predetermined time. A circulating cleaning process to be performed;
A cleaning method, wherein the cleaning object is separately performed in an ultrasonic cleaning step in which the object to be cleaned is immersed in the cleaning liquid to apply ultrasonic vibration to the cleaning liquid to clean the object to be cleaned for a second predetermined time .
洗浄液を貯留する洗浄槽と、
1種類以上のガスを溶存させた洗浄液を循環させ、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させる循環手段と、
洗浄液に超音波振動を付与する超音波付与手段と、
被洗浄物を洗浄槽内部で保持する保持手段とを有し、
前記循環手段が動作することにより、洗浄槽内部で前記ガスによる微細な気泡を発生させて被洗浄物の洗浄を第1所定時間行う循環洗浄モードと、前記超音波付与手段が動作することにより、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物の洗浄を第2所定時間行う超音波洗浄モードのいずれか1つのモードに切り替え可能に構成されることを特徴とする洗浄装置。 In a cleaning device for cleaning an object to be cleaned by immersing the object in a cleaning liquid stored in a cleaning tank and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid,
A cleaning tank for storing the cleaning liquid;
Circulating means for circulating a cleaning liquid in which one or more kinds of gas are dissolved, and generating fine bubbles by the gas inside the cleaning tank;
Ultrasonic application means for applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid;
Holding means for holding the object to be cleaned inside the cleaning tank,
By operating the circulation means, a circulation cleaning mode in which fine bubbles are generated by the gas inside the cleaning tank and cleaning the object to be cleaned is performed for a first predetermined time, and the ultrasonic wave applying means is operated. A cleaning apparatus configured to be capable of switching to any one of an ultrasonic cleaning mode in which an ultrasonic vibration is applied to a cleaning liquid to clean an object to be cleaned for a second predetermined time.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102725824A (en) * | 2009-12-31 | 2012-10-10 | 朗姆研究公司 | Improved ultrasonic cleaning fluid, method and apparatus |
CN104190669A (en) * | 2014-09-09 | 2014-12-10 | 盐城市华鸥实业有限公司 | Glassware cleaning method |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5078822B2 (en) * | 2008-09-25 | 2012-11-21 | 三菱電機株式会社 | Cleaning method and cleaning device |
WO2010058293A2 (en) * | 2008-11-21 | 2010-05-27 | Insightec Ltd. | Method and apparatus for washing fabrics using focused ultrasound |
JP5014316B2 (en) * | 2008-12-01 | 2012-08-29 | 三菱電機株式会社 | Cleaning device and method for cleaning an object to be cleaned using the cleaning device |
WO2010101036A1 (en) | 2009-03-04 | 2010-09-10 | 日本碍子株式会社 | Ultrasonic cleaning method and ultrasonic cleaning device |
TWI591757B (en) | 2009-03-31 | 2017-07-11 | 蘭研究公司 | Device for treating disc-like articles |
JP5582450B2 (en) * | 2009-05-28 | 2014-09-03 | 三浦工業株式会社 | Cleaning device |
GB2472998A (en) * | 2009-08-26 | 2011-03-02 | Univ Southampton | Cleaning using acoustic energy and gas bubbles |
JP2011072907A (en) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Fujifilm Corp | Ultrasonic cleaning apparatus |
JP5574092B2 (en) * | 2010-04-13 | 2014-08-20 | 三浦工業株式会社 | Cleaning device |
JP5483260B2 (en) * | 2010-05-07 | 2014-05-07 | 三浦工業株式会社 | Cleaning device |
JP2013180265A (en) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Hisanori Makuta | Sonochemistry reaction apparatus |
JP6104109B2 (en) * | 2013-09-12 | 2017-03-29 | 三菱電機株式会社 | Cleaning method and cleaning apparatus |
JP6335461B2 (en) * | 2013-09-26 | 2018-05-30 | パナソニックエイジフリー株式会社 | Cleaning device |
JP6233570B2 (en) * | 2013-10-03 | 2017-11-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Wafer cleaning equipment |
GB2538276B (en) | 2015-05-13 | 2017-05-10 | Univ Southampton | Cleaning apparatus and method |
JP2017209302A (en) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 株式会社ニイタカ | Automatic washer and washing method |
JP2018015747A (en) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 日東精工株式会社 | Microbubble washing device |
JP2019094393A (en) * | 2017-11-20 | 2019-06-20 | 大同メタル工業株式会社 | Cleaning liquid |
JP2019094394A (en) * | 2017-11-20 | 2019-06-20 | 大同メタル工業株式会社 | Cleaning liquid |
JP2019094426A (en) * | 2017-11-22 | 2019-06-20 | 大同メタル工業株式会社 | Cleaning liquid |
GB2569136B (en) | 2017-12-06 | 2022-12-07 | Sloan Water Tech Limited | Apparatus and method for prevention and treatment of marine biofouling |
CN112739465B (en) * | 2018-09-26 | 2022-09-13 | 日本制铁株式会社 | Method and apparatus for cleaning metal pipe |
CN111318514A (en) * | 2020-04-10 | 2020-06-23 | 长江大学 | Ultrasonic cleaning method for cement truck densimeter |
CN113245297B (en) * | 2021-06-15 | 2022-06-10 | 江苏康康同学科技有限公司 | Ultrasonic cleaning equipment for pediatric medical instruments |
CN114871210B (en) * | 2022-07-08 | 2022-10-28 | 深圳市帝迈生物技术有限公司 | Cleaning method of sample analyzer, sample analyzer and control device thereof |
CN115608703A (en) * | 2022-10-14 | 2023-01-17 | 中国科学院金属研究所 | Method for cleaning metal waste |
CN116571504B (en) * | 2023-07-11 | 2023-10-20 | 太原理工大学 | An ultrasonic cavitation self-feedback control system and method for raw material processing |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07278860A (en) * | 1994-04-11 | 1995-10-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Degreasing and washing device for machine parts |
JPH09192615A (en) * | 1996-01-22 | 1997-07-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Washing device for pipe |
JP2000237706A (en) * | 1999-02-24 | 2000-09-05 | Akuatekku:Kk | Vacuum cleaning and drying method using single treating tank and device therefor |
JP3076571B1 (en) * | 1999-07-30 | 2000-08-14 | 株式会社日阪製作所 | Tube cleaning method and apparatus used therefor |
JP2006310456A (en) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Particle removing method and substrate processing equipment |
-
2006
- 2006-11-14 JP JP2006308245A patent/JP4880427B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102725824A (en) * | 2009-12-31 | 2012-10-10 | 朗姆研究公司 | Improved ultrasonic cleaning fluid, method and apparatus |
CN102725824B (en) * | 2009-12-31 | 2016-01-06 | 朗姆研究公司 | The supersonic cleaning liquid, method and the equipment thereof that improve |
CN104190669A (en) * | 2014-09-09 | 2014-12-10 | 盐城市华鸥实业有限公司 | Glassware cleaning method |
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