JP4854015B2 - Screen printing inspection method and screen printing inspection apparatus - Google Patents
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- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 title claims description 52
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 38
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 135
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 72
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 46
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 38
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Image Processing (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
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Description
本発明は、スクリーン印刷装置で回路基板にスクリーン印刷した印刷部分の印刷状態を検査するスクリーン印刷検査方法及びスクリーン印刷検査装置に関する発明である。 The present invention relates to a screen printing inspection method and a screen printing inspection apparatus for inspecting a printing state of a printed portion screen-printed on a circuit board by a screen printing apparatus.
スクリーン印刷装置で回路基板にスクリーン印刷した印刷部分の印刷状態を検査する場合、特許文献1(特開平6−238867号公報)に記載されているように、レーザ変位センサとCCDカメラを使用し、スクリーン印刷前にCCDカメラでスクリーンマスクを撮像して該スクリーンマスクの開口部の位置、面積及び体積の基準データを作成し、スクリーン印刷後、プリント基板に印刷されたクリーム状半田の位置と高さをレーザ変位センサにより検出し、このレーザ変位センサの検出データと上記基準データとを比較して印刷不良の有無を判定するようにしたものがある。
しかしながら、上記特許文献1のスクリーン印刷検査方法では、CCDカメラの他に、高価なレーザ変位センサを必要とするため、検査システムの製造コストが高くなってしまい、低コスト化の要求を満たすことができない。
However, since the screen printing inspection method of
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、回路基板のスクリーン印刷部分の印刷状態をカメラのみで検査することができ、検査システムの低コスト化を実現できるスクリーン印刷検査方法及びスクリーン印刷検査装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances. Therefore, the object of the present invention is to be able to inspect the printing state of the screen printed portion of the circuit board only with a camera, and to realize cost reduction of the inspection system. It is to provide a screen printing inspection method and a screen printing inspection apparatus.
上記目的を達成するために、本発明は、スクリーンマスクをカメラで撮像して該スクリーンマスクの開口部(以下「マスク開口部」という)の画像を取り込む工程と、スクリーン印刷前に前記回路基板の印刷対象面をカメラで撮像して印刷前基板画像を取り込む工程と、スクリーン印刷後に前記回路基板の印刷済み面を前記カメラで撮像して印刷後基板画像を取り込む工程と、前記印刷前基板画像から前記印刷後基板画像を差し引いた差分画像を作成する工程と、前記差分画像と前記マスク開口部の画像とを比較して前記印刷部分の印刷状態を検査する検査工程とを含み、前記検査工程において、前記差分画像と前記マスク開口部の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷されるべき部分に印刷されていない“印刷の欠け”の有無と、印刷されるべきでない部分にはみ出して印刷された“印刷のはみ出し”の有無を画素毎に判定して前記印刷部分の印刷状態を検査することを特徴とするものである。この場合、印刷前基板画像と印刷後基板画像との相違は、印刷部分の有無のみであるため、両者の差分画像は、印刷部分の画像に相当する。従って、差分画像(印刷部分の画像に相当)とマスク開口部の画像とを比較すれば、両者の一致度合いによって印刷部分の印刷状態の良否を検査することができる。つまり、差分画像とマスク開口部の画像との一致度合いが高くなるほど(換言すれば両者の相違が少なくなるほど)、印刷部分の印刷状態が良いと判断できる。このようなスクリーン印刷検査方法は、高価なレーザ変位センサを必要とせず、カメラのみで検査できるため、高価なレーザ変位センサを必要とする従来のスクリーン印刷検査方法と比較して、検査システムの低コスト化を実現できる。 In order to achieve the above object, the present invention includes a step of capturing an image of a screen mask with a camera and capturing an image of an opening of the screen mask (hereinafter referred to as “mask opening”); From the step of capturing a preprinted substrate image by capturing a surface to be printed with a camera, the step of capturing the printed surface of the circuit board by the camera after screen printing and capturing the postprinted substrate image, and from the preprinted substrate image wherein the step of creating a difference image by subtracting the post-printing substrate image, viewing including an inspection process by comparing the image of the said difference image mask opening to inspect the print state of the printed portion, the inspection process The difference image and the image of the mask opening are subjected to processing for each pixel, and the presence or absence of “missing printing” not printed on the portion to be printed, It is characterized in that the presence or absence of printed protrudes at a portion not to be printed "protrusion of printing" is determined for each pixel to inspect the print state of the printed portion. In this case, since the difference between the pre-printing substrate image and the post-printing substrate image is only the presence or absence of the printed portion, the difference image between them corresponds to the image of the printed portion. Therefore, if the difference image (corresponding to the image of the print portion) and the image of the mask opening are compared, the quality of the print state of the print portion can be inspected based on the degree of coincidence between them. That is, it can be determined that the higher the degree of matching between the difference image and the image of the mask opening (in other words, the smaller the difference between the two), the better the printing state of the printed portion. Since such a screen printing inspection method does not require an expensive laser displacement sensor and can be inspected only by a camera, the inspection system has a lower inspection system than a conventional screen printing inspection method that requires an expensive laser displacement sensor. Cost reduction can be realized.
この場合、カメラは、回路基板の基準位置マークを撮像する基板認識用カメラを使用すれば良いが、従来の基板認識用カメラの照明光源は、回路基板のほぼ上方から照明する通常の光源(落射光源、側射光源)のみである。この通常の光源による回路基板のほぼ上方からの照明では、回路基板のパッド等の印刷対象部と半田等のペーストとの濃淡差(基板画像の印刷対象部の印刷前後の濃淡差)が小さい部分が生じることがあり、印刷部分の外形を精度良く認識できない可能性がある。 In this case, the camera may be a board recognition camera that captures the reference position mark on the circuit board. However, an illumination light source of a conventional board recognition camera is a normal light source that illuminates from almost above the circuit board (an incident light). Light source, side light source). In the illumination from almost above the circuit board by this normal light source, a portion where the density difference between the print target part such as the circuit board pad and the paste such as solder (the density difference before and after printing the print target part of the board image) is small. May occur, and the outline of the printed portion may not be recognized with high accuracy.
この対策として、回路基板のほぼ上方から照明する通常の光源(落射光源、側射光源)に加えて、斜め上方から照明するサイド光源を設け、前記印刷前基板画像を取り込む工程は、前記通常の光源を点灯して印刷前基板画像A1を取り込む工程と、前記サイド光源を点灯して印刷前基板画像A2を取り込む工程とを含み、前記印刷後基板画像を取り込む工程は、前記通常の光源を点灯して印刷後基板画像B1を取り込む工程と、前記サイド光源を点灯して印刷後基板画像B2を取り込む工程とを含み、前記差分画像を作成する工程は、前記印刷前基板画像A1から前記印刷後基板画像B1を差し引いた差分画像C1(=A1−B1)を作成する工程と、前記印刷前基板画像A2から前記印刷後基板画像B2を差し引いた差分画像C2(=A2−B2)を作成する工程と、前記差分画像C1と前記差分画像C2を合成して新たな差分画像C3(=C1+C2)を作成する工程とを含み、検査工程において、前記差分画像C3と前記マスク開口部の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷の欠けと印刷のはみ出しの有無を画素毎に判定して前記印刷部分の印刷状態を検査するようにすると良い。このように、通常の光源による回路基板のほぼ上方からの照明で得られた差分画像C1と、サイド光源による回路基板の斜め上方からの照明で得られた差分画像C2とを合成して差分画像C3を作成すれば、この差分画像C3から印刷部分の外形を精度良く認識することができ、印刷状態の検査精度を向上させることができる。 As a countermeasure, in addition to a normal light source (an epi-illumination light source, a side light source) that illuminates from substantially above the circuit board, a side light source that illuminates from obliquely above is provided, The step of turning on the light source and capturing the pre-printing substrate image A1 and the step of turning on the side light source and capturing the pre-printing substrate image A2 include the step of capturing the post-printing substrate image A. The step of capturing the post-printing substrate image B1 and the step of capturing the post-printing substrate image B2 by turning on the side light source, and the step of creating the difference image after the printing from the pre-printing substrate image A1 A step of creating a difference image C1 (= A1-B1) obtained by subtracting the substrate image B1, and a difference image C2 (= A2) obtained by subtracting the post-printing substrate image B2 from the pre-printing substrate image A2. Wherein the step of creating B2), and a step of generating the differential image C1 and the difference image C2 and by synthesizing new differential image C3 (= C1 + C2), in the inspection process, the mask opening and the difference image C3 It is preferable to perform a process of comparing the image with the image for each pixel, and to check the print state of the print portion by determining for each pixel whether or not printing is missing and protruding . In this way, the difference image C1 obtained by illumination from almost the upper side of the circuit board with the normal light source and the difference image C2 obtained by illumination from the upper side of the circuit board with the side light source are synthesized to obtain the difference image. If C3 is created, the outer shape of the printed part can be recognized with high accuracy from the difference image C3, and the inspection accuracy of the printing state can be improved.
また、本発明は、印刷部分の印刷状態を検査する検査工程において、印刷の欠けと判定された画素の合計数に基づいてスクリーンマスク上へのペースト補給の必要有り/無しを判定し、印刷のはみ出しと判定された画素の合計数に基づいて前記スクリーンマスクのクリーニングの必要有り/無しを判定するようにすると良い。このようにすれば、スクリーンマスク上へのペースト補給の必要有り/無しとスクリーンマスクのクリーニングの必要有り/無しをそれぞれ精度良く判定することができる。
The present invention, in the inspection step of inspecting the printed state of the printing section, to determine the need / without paste supply onto the screen mask on the basis of the total number of missing and pixels determined to be the printing, printing It is preferable to determine whether the screen mask needs to be cleaned or not based on the total number of pixels determined to protrude. In this way, it is possible to accurately determine whether or not paste replenishment on the screen mask is necessary and whether or not the screen mask needs to be cleaned.
以下、本発明を実施するための最良の形態を具体化した一実施例を説明する。
まず、図1に基づいてスクリーン印刷検査装置の構成を説明する。
Hereinafter, an embodiment embodying the best mode for carrying out the present invention will be described.
First, the configuration of the screen printing inspection apparatus will be described with reference to FIG.
回路基板11とスクリーンマスク12を撮像するカメラ13は、回路基板11の基準位置マークを撮像する基板認識用のCCDカメラを使用する。このカメラ13は、XY軸移動機構(図示せず)にXY軸方向に移動可能に支持され、スクリーン印刷前にスクリーンマスク12を回路基板11の上方に退避させた状態で、カメラ13を回路基板11とスクリーンマスク12との間に移動させて回路基板11の印刷対象面とスクリーンマスク12を撮像した後、カメラ13を回路基板11の外側へ退避させて、回路基板11を上昇させて(又はスクリーンマスク12を下降させて)、回路基板11上にスクリーンマスク12を被せた状態にしてスクリーン印刷を行い、スクリーン印刷後に、回路基板11を下降させて(又はスクリーンマスク12を上昇させて)、カメラ13を回路基板11とスクリーンマスク12との間に移動させて回路基板11の印刷済み面を撮像する。
The
カメラ13には、レンズ14、スクリーンマスク用ミラー装置15、スクリーンマスク用照明装置16、回路基板用ミラー装置17、回路基板用照明装置18が搭載されている。スクリーンマスク用ミラー装置15は、ハーフミラー21,22等により構成され、スクリーンマスク用照明装置16は、落射光源23と側射光源24とから構成されている。落射光源23は、図2に示すように、LED等の発光素子25の光をハーフミラー22によってほぼ直角にスクリーンマスク12側に反射してスクリーンマスク12を照明し、側射光源24は、環状に配列されたLED等の発光素子27の光を反射部材28によりスクリーンマスク12側に反射してスクリーンマスク12を照明する。
The
一方、回路基板用ミラー装置17は、ミラー31,32,33とハーフミラー34により構成され、回路基板用照明装置18は、落射光源35と側射光源36とサイド光源37とから構成されている。落射光源35は、図2に示すように、LED等の発光素子38の光をハーフミラー34によってほぼ直角に回路基板11側に反射して回路基板11を照明し、側射光源36は、環状に配列されたLED等の発光素子39の光を反射部材40により回路基板11側に反射して回路基板11を照明する。
On the other hand, the circuit
サイド光源37は、多数の白色又はオレンジ色のLED41を環状に配列して構成したものであり、図3に示すように、回路基板用照明装置18の形状が四角形状の場合は、サイド光源37が回路基板用照明装置18の四辺を取り巻くように配置され、図4に示すように、回路基板用照明装置18の形状が円形状の場合は、サイド光源37が回路基板用照明装置18の外周を取り巻くように円環状に配置されている。更に、図1に示すように、サイド光源37の各LED41は、斜め下向きに取り付けられ、各LED41の光によって回路基板11を斜め上方から照明するようになっている。各LED41の傾斜角度θは水平線に対して例えば10°〜20°に設定されている。
The
スクリーン印刷を行う場合は、スクリーンマスク12を回路基板11上に被せて、スクリーンマスク12上に供給した半田ペーストをスキージ(図示せず)で押し広げて、該スクリーンマスク12のマスク開口部42から半田ペーストを押し出して回路基板11のパッド43(図5参照)等の印刷対象部に印刷する。
When screen printing is performed, the
このスクリーン印刷が正常に行われれば、回路基板11にスクリーン印刷された部分(以下「半田印刷部分」という)44の形状がマスク開口部42の形状とほぼ合致するが、例えば、スクリーンマスク12上の半田ペースト量が不足すると、マスク開口部42から押し出される半田ペースト量が不足して、図5(c)に示すように、印刷されるべき部分に印刷されていない“印刷の欠け”が生じるようになる。また、スクリーンマスク12の下面が半田ペーストで汚れてくると、印刷されるべきでない部分にはみ出して印刷された“印刷のはみ出し”が生じるようになる。
If this screen printing is performed normally, the shape of the portion 44 (hereinafter referred to as “solder printing portion”) 44 printed on the
そこで、本実施例では、基板認識用のカメラ13を使用して、画像処理技術によりスクリーン印刷した半田印刷部分44の印刷状態を次のような手順で検査する。
Therefore, in this embodiment, the printed state of the
(1)スクリーンマスク12上に半田ペーストを供給する前に、該スクリーンマスク12をカメラ13で撮像してマスク開口部42の画像[図5(b)参照]を画像処理用のコンピュータ(画像処理手段)に取り込む。この画像処理用のコンピュータは、スクリーン印刷装置の制御コンピュータを使用すれば良いが、画像処理専用のコンピュータを設けても良いことは言うまでもない。
(1) Before supplying the solder paste onto the
(2)スクリーン印刷前に回路基板11の印刷対象面をカメラ13で撮像して印刷前基板画像[図5(a)参照]をコンピュータに取り込む。
(2) Before the screen printing, the surface to be printed of the
(3)スクリーン印刷後に回路基板11の印刷済み面をカメラ13で撮像して印刷後基板画像[図5(c)参照]をコンピュータに取り込む。
この場合、印刷前基板画像と印刷後基板画像を取り込む工程では、カメラ13と回路基板11との位置関係が予め決められた一定の位置関係となるように(換言すれば印刷後基板画像のパッド43の位置が印刷前基板画像のパッド43の位置と合致するように)、カメラ13及び/又は回路基板11の位置を調整する。また、マスク開口部42の画像を取り込む工程でも、カメラ13で撮像したマスク開口部42の位置が印刷前後の基板画像のパッド43(印刷対象部)の位置と合致するようにカメラ13及び/又はスクリーンマスク12の位置を調整する。尚、回路基板11、スクリーンマスク12、カメラ13のいずれかの位置の調整に加えて(又はこの調整に代えて)、撮像した各画像のデータ自体を位置補正するようにしても良い。
(3) After the screen printing, the printed surface of the
In this case, in the step of capturing the pre-printing substrate image and the post-printing substrate image, the positional relationship between the
(4)印刷前基板画像から印刷後基板画像を差し引いた差分画像を作成する。印刷前基板画像と印刷後基板画像との相違は、半田印刷部分44の有無のみであるため、両者の差分画像は、半田印刷部分44の画像に相当する。
(4) A difference image is created by subtracting the post-printing substrate image from the pre-printing substrate image. Since the difference between the pre-printing board image and the post-printing board image is only the presence or absence of the
(5)差分画像(半田印刷部分44の画像)とマスク開口部42の画像とを比較して、両者の一致度合いによって半田印刷部分44の印刷状態を検査する。つまり、差分画像(半田印刷部分44の画像)とマスク開口部42の画像との一致度合いが高くなるほど(換言すれば両者の相違が少なくなるほど)、半田印刷部分44の印刷状態が良いと判定される。例えば、マスク開口部42の領域から半田印刷部分44の一部又は全部がはみ出していれば、“印刷のはみ出し”と判定される。また、半田印刷部分44がマスク開口部42の領域からはみ出していない場合は、半田印刷部分44の領域がマスク開口部42の領域とほぼ合致していれば、正常な印刷状態と判定され、半田印刷部分44の領域がマスク開口部42の領域よりも許容誤差以上に小さければ、“印刷の欠け”と判定される。
(5) The difference image (the image of the solder print portion 44) is compared with the image of the
本実施例では、半田印刷部分44を撮像するカメラ13として、回路基板11の基準位置マークを撮像する基板認識用カメラを使用するようにしているが、従来の基板認識用カメラの照明光源は、回路基板11のほぼ上方から照明する通常の光源(落射光源35、側射光源36)のみである。この通常の光源による回路基板11のほぼ上方からの照明では、回路基板11のパッド43等の印刷対象部と半田ペーストとの濃淡差(基板画像の印刷対象部の印刷前後の濃淡差)が小さい部分が生じることがあり、半田印刷部分44の外形を精度良く認識できない可能性がある。
In this embodiment, as the
この対策として、本実施例では、回路基板11のほぼ上方から照明する通常の光源(落射光源35、側射光源36)に加えて、斜め上方から照明するサイド光源37を追加している。本発明者は、様々な照明条件で印刷前後の基板画像(濃淡画像)を採取し、印刷前後の基板画像の各部の明暗(濃度)を3段階(明:○、中間:△、暗:×)で評価したので、その評価結果を図6に示す。この評価試験では、全点灯(落射光源35と側射光源36の両方の点灯)、側射光源36のみの点灯、落射光源35のみの点灯、サイド光源37のみの点灯のそれぞれについて、半田印刷部分44の中央と周縁、回路基板11のパッド43の中央と周縁、回路基板11の地肌(緑部)のぞれぞれの画像の明暗(濃度)を3段階(明:○、中間:△、暗:×)で評価した。
As a countermeasure, in this embodiment, a side
半田印刷部分44とパッド43との明暗(濃度)の差が大きくなるほど、半田印刷部分44とパッド43とを区別しやすくなる。サイド光源37のみを点灯した場合は、半田印刷部分44の中央と周縁及びパッド43の周縁の明暗評価が「明:○」となり、パッド43の中央と回路基板11の地肌(緑部)の明暗評価が「暗:×」となる。
The greater the difference in brightness (density) between the
また、この評価試験では、全点灯(落射光源35と側射光源36の両方の点灯)、側射光源36のみの点灯、落射光源35のみの点灯、サイド光源37のみの点灯のそれぞれについて、印刷前後の基板画像の差分を取った差分画像の明暗(濃度)を3段階(明:○、中間:△、暗:×)で評価したので、その評価結果を図7に示す。差分画像の半田印刷部分44の中央の明暗評価は、印刷後基板画像の半田印刷部分44の中央と印刷前基板画像のパッド43の中央との差分画像の明暗評価であり、半田印刷部分44の周縁の明暗評価は、印刷後基板画像の半田印刷部分44の周縁と印刷前基板画像のパッド43の中央・周縁との差分画像の明暗評価である。
In this evaluation test, printing is performed for all lighting (both the incident
これら図6、図7の評価結果を考慮して、本実施例では、全点灯(落射光源35と側射光源36の両方)又は側射光源36のみの照明で差分画像C1を作成すると共に、サイド光源37のみの照明で差分画像C2を作成した後、これら2つの差分画像C1,C2を合成して最終的な差分画像C3(=C1+C2)を作成する。
In consideration of the evaluation results of FIGS. 6 and 7, in the present embodiment, the difference image C1 is created with all lighting (both the incident
具体的には、印刷前基板画像を取り込む工程では、全点灯又は側射光源36のみの照明で印刷前基板画像A1を取り込む工程と、サイド光源37のみの照明で印刷前基板画像A2を取り込む工程とを実行する。そして、印刷後基板画像を取り込む工程では、全点灯又は側射光源36のみの照明で印刷後基板画像B1を取り込む工程と、サイド光源37のみの照明で印刷後基板画像B2を取り込む工程とを実行する。その後、前記差分画像を作成する工程では、前記印刷前基板画像A1から前記印刷後基板画像B1を差し引いた差分画像C1(=A1−B1)を作成する工程と、前記印刷前基板画像A2から前記印刷後基板画像B2を差し引いた差分画像C2(=A2−B2)を作成する工程を実行し、これら2つの差分画像C1,C2を合成して最終的な差分画像C3(=C1+C2)を作成する。そして、この最終的な差分画像C3とマスク開口部42の画像Dとを比較して半田印刷部分44の印刷状態を検査する。
Specifically, in the step of taking in the pre-printing substrate image, the step of taking in the pre-printing substrate image A1 with illumination of only the full lighting or the side
この検査工程において、差分画像C3とマスク開口部42の画像Dとを比較する処理を画素毎に行い、印刷されるべき部分に印刷されていない“印刷の欠け”の有無と、印刷されるべきでない部分にはみ出して印刷された“印刷のはみ出し”の有無を画素毎に判定する(図8参照)。具体的には、差分画像C3とマスク開口部42の画像Dをそれぞれ2値画像に変換し、差分画像C3では、半田印刷部分44を“1”で表し、それ以外を“0”で表し、マスク開口部42の画像Dでは、マスク開口部42を“1”で表し、それ以外を“0”で表す。そして、画素毎に差分画像C3とマスク開口部42の画像Dとの差分値E(=C3−D)を比較値Eとして算出し、この比較値Eが“0”であれば、正常な印刷と判定し、比較値Eが“−1”であれば、“印刷の欠け”と判定し、比較値Eが“1”であれば、“印刷のはみ出し”と判定する。
In this inspection process, a process for comparing the difference image C3 and the image D of the
その後、印刷の欠け(E=−1)と判定された画素の合計数が所定の判定値以上であるか否かでスクリーンマスク12上への半田ペースト補給の必要有り/無しを判定し、印刷のはみ出し(E=1)と判定された画素の合計数が所定の判定値以上であるか否かでスクリーンマスク12のクリーニングの必要有り/無しを判定する。
Thereafter, whether or not the solder paste needs to be replenished on the
以上説明した本実施例のスクリーン印刷検査は、画像処理用のコンピュータ(スクリーン印刷装置の制御コンピュータ)によって図9及び図10のスクリーン印刷検査プログラムに従って実行される。以下、図9及び図10のスクリーン印刷検査プログラムの処理内容を説明する。 The screen printing inspection of the present embodiment described above is executed by an image processing computer (control computer of the screen printing apparatus) according to the screen printing inspection program shown in FIGS. The processing contents of the screen printing inspection program shown in FIGS. 9 and 10 will be described below.
図9及び図10のスクリーン印刷検査プログラムが起動されると、まず、ステップ101で、現在使用しているスクリーンマスク12のマスク開口部42の画像Dを画像処理用のコンピュータに取り込み済みであるか否かを判定し、取り込み済みであれば、ステップ103に進むが、まだ取り込んでいなければ、ステップ102に進み、スクリーンマスク12上に半田ペーストを供給する前に、該スクリーンマスク12をカメラ13で撮像してマスク開口部42の画像Dを取り込む。この際、カメラ13で撮像したマスク開口部42の位置が印刷前後の基板画像のパッド43の位置と合致するようにカメラ13及び/又はスクリーンマスク12の位置を調整した上で、マスク開口部42の画像Dを取り込む。上記ステップ101、102の処理により、スクリーンマスク12が取り替えられる毎に、マスク開口部42の画像Dの取り込みが1回のみ行われる。但し、本発明は、スクリーン印刷を行う毎に、毎回、印刷直前のマスク開口部42の画像Dの取り込みを行うようにしても良いことは言うまでもない。
When the screen printing inspection program shown in FIGS. 9 and 10 is started, first, in
そして、次のステップ103で、スクリーン印刷装置に搬入されてくる回路基板11をクランプ装置(図示せず)でクランプした後、カメラ13と回路基板11との位置関係が予め決められた一定の位置関係となるように、回路基板11の位置を補正する(又はカメラ13の位置を補正する)。この後、ステップ104に進み、スクリーン印刷前に全点灯又は側射光源36のみの照明で、回路基板11の印刷対象面をカメラ13で撮像して印刷前基板画像A1を取り込む。
In the
この後、ステップ105に進み、スクリーン印刷前にサイド光源37のみの照明で回路基板11の印刷対象面をカメラ13で撮像して印刷前基板画像A2を取り込む。そして、次のステップ106で、カメラ13を回路基板11の外側へ退避させて、回路基板11を上昇させて(又はスクリーンマスク12を下降させて)、回路基板11上にスクリーンマスク12を被せた状態にしてスクリーン印刷を実行する。
Thereafter, the process proceeds to step 105, and the printing target surface of the
スクリーン印刷後、ステップ107に進み、スクリーンマスク12を回路基板11の上方に退避させて、カメラ13を回路基板11とスクリーンマスク12との間に移動させ、カメラ13と回路基板11との位置関係が予め決められた一定の位置関係となるように、回路基板11の位置を補正すると共に、検査位置(カメラ13の位置)を補正する。
After screen printing, the process proceeds to step 107, the
この後、ステップ108に進み、全点灯又は側射光源36のみの照明で回路基板11の印刷済み面をカメラ13で撮像して印刷後基板画像B1を取り込む。更に、次のステップ109で、サイド光源37のみの照明で回路基板11の印刷済み面をカメラ13で撮像して印刷後基板画像B2を取り込む。
Thereafter, the process proceeds to step 108, and the printed surface of the
この後、ステップ110に進み、全点灯又は側射光源36のみの照明で得られた印刷前基板画像A1から印刷後基板画像B1を差し引いた差分画像C1(=A1−B1)を作成した後、ステップ111に進み、サイド光源37のみの照明で得られた印刷前基板画像A2から印刷後基板画像B2を差し引いた差分画像C2(=A2−B2)を作成する。そして、次のステップ112で、2つの差分画像C1,C2を合成して最終的な差分画像C3(=C1+C2)を作成する。
After this, the process proceeds to step 110, and after creating the difference image C1 (= A1-B1) obtained by subtracting the post-printing substrate image B1 from the pre-printing substrate image A1 obtained by full lighting or illumination of only the side
この後、図10のステップ113に進み、画素毎に差分画像C3とマスク開口部42の画像Dとの差分値E(=C3−D)を比較値Eとして算出し、次のステップ114で、比較値E=−1(印刷の欠け)の画素の合計数Fを算出する。この後、ステップ115に進み、E=−1の画素の合計数Fを所定の判定値K1と比較し、E=−1の画素の合計数Fが判定値K1を越えていれば、スクリーンマスク12上の半田ペースト量が不足していると判断して、スクリーンマスク12上への半田ペースト補給の必要有りと判定し(ステップ116)、E=−1の画素の合計数Fが判定値K1以下であれば、半田ペースト補給の必要無しと判定する(ステップ117)。
Thereafter, the process proceeds to step 113 in FIG. 10, and a difference value E (= C3−D) between the difference image C3 and the image D of the
この後、ステップ118に進み、比較値E=1(印刷のはみ出し)の画素の合計数Fを算出する。この後、ステップ119に進み、E=1の画素の合計数Gを所定の判定値K2と比較し、E=1の画素の合計数Gが判定値K2を越えていれば、スクリーンマスク12の下面が半田ペーストで汚れていると判断して、スクリーンマスク12のクリーニングの必要有りと判定し(ステップ120)、E=1の画素の合計数Gが判定値K2以下であれば、スクリーンマスク12のクリーニングの必要無しと判定する(ステップ121)。
Thereafter, the process proceeds to step 118, and the total number F of pixels having the comparison value E = 1 (printing protrusion) is calculated. Thereafter, the process proceeds to step 119, where the total number G of pixels with E = 1 is compared with a predetermined determination value K2. If the total number G of pixels with E = 1 exceeds the determination value K2, the
以上説明した本実施例によれば、スクリーン印刷前後の基板画像の差分画像(半田印刷部分44の画像に相当)とマスク開口部42の画像とを比較して回路基板11の半田印刷部分44の印刷状態の良否を検査するようにしたので、高価なレーザ変位センサを必要とせず、カメラ13のみで印刷状態を検査することが可能となり、高価なレーザ変位センサを必要とする従来のスクリーン印刷検査方法と比較して、検査システムの低コスト化を実現することができる。
According to the present embodiment described above, the difference image (corresponding to the image of the solder print portion 44) of the substrate image before and after screen printing is compared with the image of the
しかも、本実施例では、回路基板11のほぼ上方から照明する通常の光源(落射光源35、側射光源36)に加えて、斜め上方から照明するサイド光源37を追加し、全点灯又は側射光源36のみの照明で得られた印刷前基板画像A1から印刷後基板画像B1を差し引いた差分画像C1(=A1−B1)と、サイド光源37のみの照明で得られた印刷前基板画像A2から印刷後基板画像B2を差し引いた差分画像C2(=A2−B2)とを合成して最終的な差分画像C3(=C1+C2)を作成するようにしたので、この差分画像C3から半田印刷部分44の外形を精度良く認識することができ、印刷状態の検査精度を向上させることができる。
In addition, in this embodiment, in addition to the normal light source (the epi-
更に、本実施例では、差分画像C3とマスク開口部42の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷されるべき部分に印刷されていない“印刷の欠け”の有無と、印刷されるべきでない部分にはみ出して印刷された“印刷のはみ出し”の有無を画素毎に判定し、印刷の欠けと判定された画素の合計数Fに基づいてスクリーンマスク12上への半田ペースト補給の必要有り/無しを判定し、印刷のはみ出しと判定された画素の合計数Gに基づいてスクリーンマスク12のクリーニングの必要有り/無しを判定するようにしたので、スクリーンマスク12上への半田ペースト補給の必要有り/無しとスクリーンマスク12のクリーニングの必要有り/無しをそれぞれ精度良く判定することができる。
Further, in this embodiment, the process of comparing the difference image C3 and the image of the
尚、本実施例では、印刷前後の基板画像とマスク開口部42の画像を作成する際に、回路基板11の位置、スクリーンマスク12の位置、カメラ13の位置のいずれかを補正するようにしたが、この補正に加えて(又はこの補正に代えて)、撮像した各画像のデータ自体を位置補正して差分画像を作成するようにしても良い。
In this embodiment, when the substrate image before and after printing and the image of the
また、本実施例では、回路基板11に半田ペーストをスクリーン印刷するようにしたが、半田以外の導体ペーストや抵抗体ペーストをスクリーン印刷する場合でも、本発明を適用して印刷状態の良否を検査することができる。
In this embodiment, the solder paste is screen-printed on the
その他、本発明は、カメラ13の光学系や照明装置(光源)等の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。
In addition, the present invention can be implemented with various modifications within a range not departing from the gist, such as the configuration of the optical system, illumination device (light source), and the like of the
11…回路基板、12…スクリーンマスク、13…カメラ、14…レンズ、15…スクリーンマスク用ミラー装置、16…スクリーンマスク用照明装置、17…回路基板用ミラー装置、18…回路基板用照明装置、35…落射光源、36…側射光源、37…サイド光源、40…反射部材、42…マスク開口部、43…パッド、44…半田印刷部分
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記スクリーンマスクをカメラで撮像して該スクリーンマスクの開口部(以下「マスク開口部」という)の画像を取り込む工程と、
スクリーン印刷前に前記回路基板の印刷対象面をカメラで撮像して印刷前基板画像を取り込む工程と、
スクリーン印刷後に前記回路基板の印刷済み面を前記カメラで撮像して印刷後基板画像を取り込む工程と、
前記印刷前基板画像から前記印刷後基板画像を差し引いた差分画像を作成する工程と、 前記差分画像と前記マスク開口部の画像とを比較して前記印刷部分の印刷状態を検査する検査工程と
を含み、
前記検査工程において、前記差分画像と前記マスク開口部の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷されるべき部分に印刷されていない“印刷の欠け”の有無と、印刷されるべきでない部分にはみ出して印刷された“印刷のはみ出し”の有無を画素毎に判定して前記印刷部分の印刷状態を検査することを特徴とするスクリーン印刷検査方法。 In a screen printing inspection method for inspecting a printing state of a printed portion that is screen-printed by covering a circuit board with a screen mask,
Capturing the image of the screen mask with a camera and capturing an image of an opening of the screen mask (hereinafter referred to as “mask opening”);
Capturing a pre-printing board image by imaging a print target surface of the circuit board with a camera before screen printing; and
Capturing the printed surface of the circuit board with the camera after screen printing and capturing the printed substrate image; and
A step of creating a differential image obtained by subtracting the post-printing substrate image from the pre-printing substrate image; and an inspection step of inspecting the printing state of the printed portion by comparing the differential image with the image of the mask opening. seen including,
In the inspection step, the process of comparing the difference image and the image of the mask opening is performed for each pixel, and whether or not there is a “missing print” that is not printed in a portion to be printed, and should be printed A screen printing inspection method, wherein the presence or absence of “printing out” printed out of a non-printed portion is determined for each pixel and the printing state of the printing portion is checked.
前記印刷前基板画像を取り込む工程は、前記通常の光源を点灯して印刷前基板画像A1を取り込む工程と、前記サイド光源を点灯して印刷前基板画像A2を取り込む工程とを含み、
前記印刷後基板画像を取り込む工程は、前記通常の光源を点灯して印刷後基板画像B1を取り込む工程と、前記サイド光源を点灯して印刷後基板画像B2を取り込む工程とを含み、
前記差分画像を作成する工程は、前記印刷前基板画像A1から前記印刷後基板画像B1を差し引いた差分画像C1を作成する工程と、前記印刷前基板画像A2から前記印刷後基板画像B2を差し引いた差分画像C2を作成する工程と、前記差分画像C1と前記差分画像C2を合成して新たな差分画像C3を作成する工程とを含み、
前記検査工程において、前記差分画像C3と前記マスク開口部の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷の欠けと印刷のはみ出しの有無を画素毎に判定して前記印刷部分の印刷状態を検査することを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷検査方法。 The camera uses a substrate recognition camera that images a reference position mark of the circuit board, and in addition to a normal light source that illuminates from substantially above the circuit board, a side light source that illuminates from obliquely above is provided.
The step of capturing the pre-printing substrate image includes the step of capturing the pre-printing substrate image A1 by turning on the normal light source, and the step of capturing the pre-printing substrate image A2 by turning on the side light source,
The step of capturing the printed substrate image includes turning on the normal light source to capture the printed substrate image B1, and turning on the side light source to capture the printed substrate image B2.
The step of creating the difference image includes a step of creating a difference image C1 obtained by subtracting the post-printing substrate image B1 from the pre-printing substrate image A1, and a step of subtracting the post-printing substrate image B2 from the pre-printing substrate image A2. Creating a difference image C2, and synthesizing the difference image C1 and the difference image C2 to create a new difference image C3;
In the inspection step, a process of comparing the difference image C3 and the image of the mask opening is performed for each pixel, and the presence or absence of printing defect and printing protrusion is determined for each pixel, and the printing state of the print portion The screen printing inspection method according to claim 1, wherein:
前記回路基板を撮像するカメラと、
前記カメラで撮像した画像を処理する画像処理手段とを備え、
前記画像処理手段は、
前記スクリーンマスクを前記カメラで撮像して該スクリーンマスクの開口部(以下「マスク開口部」という)の画像を取り込む手段と、
スクリーン印刷前に前記回路基板の印刷対象面をカメラで撮像して印刷前基板画像を取り込む手段と、
スクリーン印刷後に前記回路基板の印刷済み面を前記カメラで撮像して印刷後基板画像を取り込む手段と、
前記印刷前基板画像から前記印刷後基板画像を差し引いた差分画像を作成する手段と、 前記差分画像と前記マスク開口部の画像とを比較して前記印刷部分の印刷状態を検査する検査手段と
を含み、
前記検査手段は、前記差分画像と前記マスク開口部の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷されるべき部分に印刷されていない“印刷の欠け”の有無と、印刷されるべきでない部分にはみ出して印刷された“印刷のはみ出し”の有無を画素毎に判定して前記印刷部分の印刷状態を検査することを特徴とするスクリーン印刷検査装置。 In a screen printing inspection apparatus that inspects the printing state of a printed part that is screen-printed by covering a circuit board with a screen mask,
A camera for imaging the circuit board;
Image processing means for processing an image captured by the camera,
The image processing means includes
Means for capturing the image of the screen mask with the camera and capturing an image of the opening of the screen mask (hereinafter referred to as “mask opening”);
Means for capturing a pre-printing board image by imaging a printing target surface of the circuit board with a camera before screen printing;
Means for capturing the printed surface of the circuit board after screen printing with the camera and capturing the printed board image;
Means for creating a difference image obtained by subtracting the substrate image after printing from the substrate image before printing, and inspection means for comparing the difference image with the image of the mask opening to inspect the printing state of the printed portion. seen including,
The inspection means performs a process for comparing the difference image and the image of the mask opening for each pixel, and whether or not there is a “printing defect” that is not printed in a portion to be printed. A screen printing inspection apparatus for inspecting the printing state of the printed portion by determining, for each pixel, the presence or absence of “printing out of printing” printed out of the non-printing portion .
前記印刷前基板画像を取り込む手段は、前記通常の光源を点灯して印刷前基板画像A1を取り込む手段と、前記サイド光源を点灯して印刷前基板画像A2を取り込む手段とを含み、
前記印刷後基板画像を取り込む手段は、前記通常の光源を点灯して印刷後基板画像B1を取り込む手段と、前記サイド光源を点灯して印刷後基板画像B2を取り込む手段とを含み、
前記差分画像を作成する手段は、前記印刷前基板画像A1から前記印刷後基板画像B1を差し引いた差分画像C1を作成する手段と、前記印刷前基板画像A2から前記印刷後基板画像B2を差し引いた差分画像C2を作成する手段と、前記差分画像C1と前記差分画像C2を合成して新たな差分画像C3を作成する手段とを含み、
前記検査手段は、前記差分画像C3と前記マスク開口部の画像とを比較する処理を画素毎に行って、印刷の欠けと印刷のはみ出しの有無を画素毎に判定して前記印刷部分の印刷状態を検査することを特徴とする請求項4に記載のスクリーン印刷検査装置。 The camera uses a substrate recognition camera that images a reference position mark of the circuit board, and in addition to a normal light source that illuminates from substantially above the circuit board, a side light source that illuminates from obliquely above is provided.
The means for capturing the pre-printing substrate image includes means for capturing the pre-printing substrate image A1 by turning on the normal light source, and means for capturing the pre-printing substrate image A2 by turning on the side light source,
The means for capturing the substrate image after printing includes means for capturing the substrate image B1 after printing by turning on the normal light source, and means for capturing the substrate image B2 after printing by lighting the side light source,
The means for creating the difference image is a means for creating a difference image C1 obtained by subtracting the post-print board image B1 from the pre-print board image A1, and a post-print board image B2 from the pre-print board image A2. Means for creating a difference image C2, and means for synthesizing the difference image C1 and the difference image C2 to create a new difference image C3;
The inspection means performs a process for comparing the difference image C3 and the image of the mask opening for each pixel, and determines for each pixel whether or not there is a printing defect and printing protrusion, and the printing state of the print portion The screen printing inspection apparatus according to claim 4, wherein the screen printing inspection apparatus is inspected.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006259890A JP4854015B2 (en) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | Screen printing inspection method and screen printing inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006259890A JP4854015B2 (en) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | Screen printing inspection method and screen printing inspection apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008082714A JP2008082714A (en) | 2008-04-10 |
JP4854015B2 true JP4854015B2 (en) | 2012-01-11 |
Family
ID=39353753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006259890A Active JP4854015B2 (en) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | Screen printing inspection method and screen printing inspection apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4854015B2 (en) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5930284B2 (en) * | 2012-01-31 | 2016-06-08 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | Illumination apparatus, imaging apparatus, screen printing apparatus, alignment method, and substrate manufacturing method |
JP2013201323A (en) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Panasonic Corp | Inspection reference image data creation device and inspection reference image data creation method |
JP2014091247A (en) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Panasonic Corp | Solder printer and method for inspecting solder bleeding of solder printer |
JP6037580B2 (en) * | 2013-05-13 | 2016-12-07 | 富士機械製造株式会社 | Component mounter |
EP3566872B1 (en) * | 2017-01-06 | 2022-06-01 | FUJI Corporation | Screen printer |
CN106979759A (en) * | 2017-04-16 | 2017-07-25 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | A kind of measurement apparatus and its measuring method of half tone plate-making silk screen angle |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5671173A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Hitachi Ltd | Pattern detection method of printed circuit substrate |
JP3285244B2 (en) * | 1993-02-13 | 2002-05-27 | 富士機械製造株式会社 | Printing result inspection method and inspection device for screen printing machine |
JPH11344449A (en) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Shimu:Kk | Appearance inspecting method |
JP4187332B2 (en) * | 1998-12-24 | 2008-11-26 | 松下電器産業株式会社 | Screen printing inspection method and screen printing apparatus |
JP2004063542A (en) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method for forming printing checking data |
-
2006
- 2006-09-26 JP JP2006259890A patent/JP4854015B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008082714A (en) | 2008-04-10 |
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