JP4821721B2 - Manufacturing method of radiation image conversion panel - Google Patents
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Description
本発明は、蛍光体を用いた放射線画像変換パネルの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a radiation image conversion panel employing a phosphor.
X線画像のような放射線画像は、病気診断用などの分野で多く用いられている。このX線画像を得る方法としては、被写体を通過したX線を蛍光体層(蛍光スクリーン)に照射し、これにより可視光を生じさせた後、この可視光を通常の写真を撮るときと同様にして、ハロゲン化銀写真感光材料(以下、単に感光材料ともいう。)に照射し、次いで現像処理を施して可視銀画像を得る、いわゆる放射線写真方式が広く利用されている。 Radiation images such as X-ray images are often used in fields such as disease diagnosis. The X-ray image is obtained by irradiating the phosphor layer (phosphor screen) with X-rays that have passed through the subject, thereby generating visible light, and then using this visible light as when taking a normal photograph. Thus, a so-called radiographic method in which a silver halide photographic light-sensitive material (hereinafter also simply referred to as a light-sensitive material) is irradiated and then developed to obtain a visible silver image is widely used.
しかしながら、近年ではハロゲン化銀塩を有する感光材料による画像形成方法に代わり、蛍光体層から直接画像を取り出す新たな方法が進展している。この方法は被写体を透過した放射線を蛍光体に吸収せしめた後、この蛍光体を、例えば、光または熱エネルギーで励起することにより、この蛍光体が上記吸収により蓄積している放射線エネルギーを蛍光として放射せしめ、この蛍光を検出し画像化する方法がある。 However, in recent years, a new method for taking out an image directly from a phosphor layer has been developed instead of an image forming method using a photosensitive material having a silver halide salt. In this method, after the radiation transmitted through the subject is absorbed by the phosphor, the phosphor is excited by light or thermal energy, for example, so that the radiation energy accumulated by the phosphor is absorbed as fluorescence. There is a method of emitting and detecting this fluorescence and imaging.
具体的には、例えば、米国特許第3,859,527号明細書及び特開昭55−12144号公報等に記載されているような輝尽性蛍光体を用いる放射線画像変換方法が知られている。この方法は輝尽性蛍光体を含有する輝尽性蛍光体層を用いる放射線画像変換パネルを使用するもので、この放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層に被写体を透過した放射線を当てて、被写体各部の放射線透過密度に対応する放射線エネルギーを蓄積させて、その後、輝尽性蛍光体を可視光線、赤外線などの電磁波(励起光)で時系列的に励起することにより、輝尽性蛍光体中に蓄積されている放射線エネルギーを輝尽発光として放出させ、この光の強弱による信号を、例えば、光電変換して、電気信号を得て、この信号を感光材料等の記録材料、CRT等の表示装置上に可視像として再生するものである。 Specifically, for example, a radiation image conversion method using a photostimulable phosphor as described in US Pat. No. 3,859,527 and JP-A-55-12144 is known. Yes. This method uses a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor layer containing a stimulable phosphor, and the radiation transmitted through the subject is applied to the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel. , By storing radiation energy corresponding to the radiation transmission density of each part of the subject and then exciting the stimulable phosphor in time series with electromagnetic waves (excitation light) such as visible light and infrared light. Radiation energy accumulated in the body is emitted as stimulated emission, and a signal based on the intensity of this light is photoelectrically converted to obtain an electrical signal, which is used as a recording material such as a photosensitive material, CRT, etc. The image is reproduced as a visible image on the display device.
上記の放射線画像の再生方法によれば、従来の放射線写真フィルムと増感紙との組合せによる放射線写真法と比較して、はるかに少ない被曝線量で情報量の豊富な放射線画像を得ることができるという利点を有している。 According to the above radiographic image reproduction method, a radiographic image with abundant information can be obtained with a much smaller exposure dose as compared with a radiographic method using a combination of a conventional radiographic film and an intensifying screen. Has the advantage.
これらの輝尽性蛍光体を使用した放射線画像変換パネルは、放射線画像情報を蓄積した後、励起光の走査によって蓄積エネルギーを放出するので走査後に再度放射線画像の蓄積を行うことができ、繰返し使用が可能である。つまり、従来の放射線写真法では一回の撮影ごとに放射線写真フィルムを消費するのに対して、この放射線画像変換方法では放射線画像変換パネルを繰り返し使用するので、資源保護、経済効率の面からも有利である。 Radiation image conversion panels using these photostimulable phosphors can store radiation image information after storing radiation image information, and can store radiation images again after scanning. Is possible. In other words, the conventional radiographic method consumes a radiographic film for each radiographing, whereas in this radiographic image conversion method, the radiographic image conversion panel is repeatedly used. It is advantageous.
更に、近年、診断画像の解析においてより高鮮鋭性の放射線画像変換パネルが要求されている。鮮鋭性改善の為の手段として、例えば、形成される輝尽性蛍光体の形状そのものをコントロールし、感度及び鮮鋭性の改良を図る試みがされている。 Furthermore, in recent years, a radiographic image conversion panel with higher sharpness has been required for analysis of diagnostic images. As means for improving the sharpness, for example, an attempt has been made to improve the sensitivity and sharpness by controlling the shape of the photostimulable phosphor itself.
これらの試みの1つとして、例えば、特開昭61−142497号公報に記載されている、微細な凹凸パターンを有する支持体上に輝尽性蛍光体を堆積させ形成した微細な擬柱状ブロックからなる輝尽性蛍光体層を用いる方法がある。 As one of these attempts, for example, from a fine pseudo-columnar block described in JP-A No. 61-142497, which is formed by depositing a photostimulable phosphor on a support having a fine concavo-convex pattern. There is a method using a stimulable phosphor layer.
また、特開昭61−142500号公報に記載のように微細なパターンを有する支持体上に、輝尽性蛍光体を堆積させて得た柱状ブロック間のクラックをショック処理を施して、更に発達させた輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルを用いる方法、更には支持体の面に形成された輝尽性蛍光体層にその表面側から亀裂を生じさせ擬柱状とした放射線画像変換パネルを用いる方法(例えば、特許文献1参照)、更には支持体の上面に蒸着により空洞を有する輝尽性蛍光体層を形成した後、加熱処理によって空洞を成長させ亀裂を設ける方法等も提案されている(例えば、特許文献2参照)。 Further, as described in JP-A-61-142500, a crack between columnar blocks obtained by depositing a photostimulable phosphor on a support having a fine pattern is subjected to shock treatment for further development. Method using a radiation image conversion panel having a photostimulable phosphor layer formed, and further, radiation image conversion in which a photostimulable phosphor layer formed on the surface of a support is cracked from the surface side to form a pseudo columnar shape A method using a panel (see, for example, Patent Document 1), and further a method in which a stimulable phosphor layer having a cavity is formed on the upper surface of a support by vapor deposition, and then a cavity is grown by heat treatment to provide a crack, etc. (For example, refer to Patent Document 2).
更に気相成長法によって、支持体上に支持体の法線方向に対し一定の傾きをもった細長い柱状結晶を形成した輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルが提案されている(例えば、特許文献3参照)。 Further, there has been proposed a radiation image conversion panel having a photostimulable phosphor layer in which elongated columnar crystals having a certain inclination with respect to the normal direction of the support are formed on the support by vapor deposition (for example, And Patent Document 3).
最近では、CsBrなどのハロゲン化アルカリを母体にEuを賦活した輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルが提案され、特にEuを賦活剤とすることで従来得られていなかった高いX線変換効率を導き出すことが可能となった。 Recently, a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor activated with Eu based on an alkali halide such as CsBr has been proposed, and in particular, high X-rays that have not been obtained by using Eu as an activator. It became possible to derive the conversion efficiency.
また、蛍光体の母体成分とEuOXまたはEuOXとEuXmの混合物といった賦活剤成分を含む一以上の蒸発源を所定の酸素分圧の雰囲気下で蒸発させることにより感度の向上を意図した技術も知られている(例えば、特許文献4参照)。 Also known is a technique intended to improve sensitivity by evaporating one or more evaporation sources including a phosphor base material and an activator component such as EuOX or a mixture of EuOX and EuXm in an atmosphere having a predetermined oxygen partial pressure. (For example, see Patent Document 4).
特許文献5は、蛍光体層のpH値A、蛍光体原料のpH値Bがそれぞれ0〜7の範囲であることにより高輝度、高鮮鋭性となることが開示されているが、pH値A、Bの差及び残光特性については触れられておらず本発明とは異なる。
本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、放射線画像変換パネルとして輝度、残光特性、作業性に優れた放射線画像変換パネルの製造方法を提供することである。 The present invention has been made in view of the above situation, the problem to be solved is to provide a radiation image conversion panel brightness, afterglow, a manufacturing method excellent radiation image conversion panel workability .
本発明者らは、種々検討した結果、蛍光体原料の25℃におけるpHが5.3〜5.9であり、且つ該蛍光体原料のpHと蛍光体層のpHとの差が0.1〜0.6になるよう調整すると、輝度向上とともに、残光が低減されることを見い出し、本発明に至った。 As a result of various studies, the present inventors have found that the phosphor raw material has a pH of 5.degree. 3 to 5.9 , and adjusting the difference between the pH of the phosphor material and the pH of the phosphor layer to be 0.1 to 0.6, the afterglow is reduced along with the improvement in luminance. As a result, the present invention has been achieved.
すなわち、本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。 That is, the said subject which concerns on this invention is solved by the following means.
1.蛍光体原料を含む蒸着源を加熱し、発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線画像変換パネルの製造方法において、該蛍光体原料の25℃におけるpHが5.3〜5.9であり、且つ該蛍光体原料のpHと蛍光体層のpHとの差が0.1〜0.6であることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
2.前記蛍光体層が、下記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体を含有することを特徴とする前記第1項に記載の放射線画像変換パネルの製造方法。
一般式(1) M1X・aM2X′・bM3X″:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0≦e≦0.2の範囲の数値を表す。〕
3.前記蛍光体層が、前記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体が、CsBr:Eu蛍光体であることを特徴とする前記第2項に記載の放射線画像変換パネルの製造方法。
1. In a method for manufacturing a radiation image conversion panel including a step of forming a phosphor layer by heating a deposition source containing a phosphor material and depositing a generated substance on a substrate, the pH of the phosphor material at 25 ° C. A method for producing a radiation image conversion panel, which is 5.3 to 5.9, and the difference between the pH of the phosphor material and the pH of the phosphor layer is 0.1 to 0.6.
2. 2. The method for producing a radiation image conversion panel according to item 1, wherein the phosphor layer contains a phosphor based on an alkali halide represented by the following general formula (1).
The general formula (1) M 1 X · aM 2 X '· bM 3 X ": eA
[Wherein, M 1 is at least one alkali metal atom selected from Li, Na, K, Rb and Cs atoms, and M 2 is Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Cu. And at least one divalent metal atom selected from each atom of Ni, and M 3 is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, At least one trivalent metal atom selected from each atom of Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In, and X, X ′ and X ″ are at least selected from each atom of F, Cl, Br and I 1 type of halogen atom, A is Eu, Tb, In, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu and Mg. At least one metal atom selected from each atom; And, a, b, e each represent a number between 0 ≦ a <0.5,0 ≦ b <0.5,0 ≦ e ≦ 0.2.]
3. The phosphor layer, the phosphor of alkali halide represented by the general formula (1) as a matrix is CsBr: radiation image conversion according to prior Symbol second term, which is a Eu phosphor Panel manufacturing method.
本発明の上記手段により、放射線画像変換パネルとして輝度、残光特性、作業性に優れた放射線画像変換パネルの製造方法を提供することができる。 By the means of the present invention, as the radiation image conversion panel luminance afterglow characteristics, it is possible to provide a manufacturing method excellent radiation image conversion panel in workability.
本発明の放射線画像変換パネルの製造方法は、蛍光体原料を含む蒸着源を加熱し、発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線画像変換パネルの製造方法において、該蛍光体原料の25℃におけるpHが5.3〜5.9であり、且つ該蛍光体原料のpHと蛍光体層のpHとの差が0.1〜0.6であることを特徴とする。この特徴は、請求項1〜3に係る発明に共通する技術的特徴である。 The method for producing a radiation image conversion panel of the present invention includes a step of forming a phosphor layer by heating a vapor deposition source containing a phosphor raw material and depositing a generated substance on the substrate. The pH of the phosphor material at 25 ° C. is 5. 3 to 5.9 , and the difference between the pH of the phosphor material and the pH of the phosphor layer is 0.1 to 0.6. This feature is a technical feature common to the inventions according to claims 1 to 3.
(本発明の好ましい態様)
本発明の放射線画像変換パネルの製造方法は、蛍光体原料を含む蒸着源を加熱し、発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線画像変換パネルの製造方法において、該蛍光体原料の25℃におけるpHが5.3〜5.9であり、且つ該蛍光体原料のpHと蛍光体層のpHとの差が0.1〜0.6であることを特徴とするが、前記蛍光体層が前記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体を含有する態様が好ましい。
(Preferred embodiment of the present invention)
The method for producing a radiation image conversion panel of the present invention includes a step of forming a phosphor layer by heating a vapor deposition source containing a phosphor raw material and depositing a generated substance on the substrate. The pH of the phosphor material at 25 ° C. is 5. 3 to 5.9 , and the difference between the pH of the phosphor material and the pH of the phosphor layer is 0.1 to 0.6. An embodiment containing a phosphor having an alkali halide represented by 1) as a base is preferable.
本発明において、前記条件で得られた放射線画像変換パネル中の蛍光体結晶成分は、柱状粒子の透明性が高く、結晶性(格子間)の安定性が増した結晶構造となったことで残光特性が改良されたものと推定している。 In the present invention, the phosphor crystal component in the radiation image conversion panel obtained under the above conditions has a crystal structure in which columnar particles have high transparency and crystallinity (interstitial) stability is increased. It is estimated that the light characteristics have been improved.
なお、蛍光体原料のpH測定は、蛍光体原料を純水に溶解し充分に攪拌後、pH計を用いて、一定温度(25℃)条件下において行う。蛍光体層のpH測定は、蛍光体膜を採取し、蛍光体原料と同様にして行う。 The pH of the phosphor material is measured under a constant temperature (25 ° C.) condition using a pH meter after the phosphor material is dissolved in pure water and sufficiently stirred. The pH of the phosphor layer is measured in the same manner as the phosphor material by collecting the phosphor film.
pH測定試料の作製時、蛍光体成分によっては一部が経時で沈降する場合があるが、このような場合は、水溶液(水分散液)を充分攪拌直後にpH測定を行う。 When preparing a pH measurement sample, a part of the phosphor component may precipitate over time. In such a case, the pH measurement is performed immediately after sufficiently stirring the aqueous solution (aqueous dispersion).
以下、本発明とその構成要素、及び発明を実施するための最良の形態について詳細な説明をする。 Hereinafter, the present invention, its components, and the best mode for carrying out the invention will be described in detail.
(蛍光体原料)
本発明に係る前記一般式(1)で表される化合物について説明する。
(Phosphor raw material)
The compound represented by the general formula (1) according to the present invention will be described.
M1はNa、K、Rb及びCsなどの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子を表し、中でもRb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ土類金属原子が好ましく、更に好ましくはCs原子である。 M 1 represents at least one alkali metal atom selected from each atom such as Na, K, Rb and Cs, among which at least one alkaline earth metal atom selected from each atom of Rb and Cs is preferable. Preferably it is a Cs atom.
M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiなどの各原子から選ばれる少なくとも1種の2価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのはBe、Mg、Ca、Sr及びBaなどの各原子から選ばれる2価の金属原子である。 M 2 represents at least one divalent metal atom selected from atoms such as Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Cu, and Ni, and among them, Be, Mg, It is a divalent metal atom selected from each atom such as Ca, Sr and Ba.
M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びIn等の各原子から選ばれる少なくとも1種の三価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのはY、Ce、Sm、Eu、Al、La、Gd、Lu、Ga及びIn等の各原子から選ばれる3価の金属原子である。 M 3 is at least selected from each atom such as Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In. One kind of trivalent metal atom is represented, and among these, a trivalent metal atom selected from each atom such as Y, Ce, Sm, Eu, Al, La, Gd, Lu, Ga and In is preferred. is there.
AはEu、Tb、In、Ga、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子である。 A is at least selected from each atom of Eu, Tb, In, Ga, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu, and Mg. One kind of metal atom.
一般式(1)で表される化合物の輝尽発光輝度向上の観点から、X、X′及びX″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子を表すが、F、Cl及びBrから選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子が好ましく、Br原子が更に好ましい。 From the viewpoint of improving the stimulated emission luminance of the compound represented by the general formula (1), X, X ′ and X ″ each represent at least one halogen atom selected from F, Cl, Br and I atoms. At least one halogen atom selected from F, Cl and Br is preferred, and a Br atom is more preferred.
一般式(1)において、e>0のとき、一般式(1)で表される化合物そのものが蛍光体であり、これが蛍光体母体原料となる。 In the general formula (1), when e> 0, the compound itself represented by the general formula (1) is a phosphor, which becomes a phosphor base material.
一般式(1)において、e=0のとき、本発明に係る一般式(1)で表される化合物について、その具体例を挙げる。 In the general formula (1), when e = 0, specific examples of the compound represented by the general formula (1) according to the present invention will be given.
(a)NaF、NaCl、NaBr、NaI、KF、KCl、KBr、KI、RbF、RbCl、RbBr、RbI、CsF、CsCl、CsBr及びCsIから選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の化合物が用いられる。 (A) At least one compound selected from NaF, NaCl, NaBr, NaI, KF, KCl, KBr, KI, RbF, RbCl, RbBr, RbI, CsF, CsCl, CsBr and CsI is used.
(b)MgF2、MgCl2、MgBr2、MgI2、CaF2、CaCl2、CaBr2、CaI2、SrF2、SrCl2、SrBr2、SrI2、BaF2、BaCI2、BaBr2、BaBr2・2H2O、BaI2、ZnF2、ZnCl2、ZnBr2、ZnI2、CdF2、CdCl2、CdBr2、CdI2、CuF2、CuCl2、CuBr2、CuI、NiF2、NiCl2、NiBr2及びNiI2の化合物から選ばれる少なくとも1種または2種以上の化合物が用いられる。 (B) MgF 2, MgCl 2 , MgBr 2, MgI 2, CaF 2, CaCl 2, CaBr 2, CaI 2, SrF 2, SrCl 2, SrBr 2, SrI 2, BaF 2, BaCI 2, BaBr 2, BaBr 2 2H 2 O, BaI 2 , ZnF 2 , ZnCl 2 , ZnBr 2 , ZnI 2 , CdF 2 , CdCl 2 , CdBr 2 , CdI 2 , CuF 2 , CuCl 2 , CuBr 2 , CuI, NiF 2 , NiCl 2 , NiBr At least one or two or more compounds selected from 2 and NiI 2 compounds are used.
一般式(1)においてe=0のとき、前記蛍光体原料として一般式(1)の化合物と、下記化合物(2)との混合物を用いるのが好ましい。
化合物(2) Eu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の原子を有する化合物
化合物(2)として好ましいのは、ユーロピウム化合物が挙げられる。本発明に用いられるユーロピウム化合物としては、EuX2、EuX3、EuOX(XはF、Cl、Br、I及びそれらの組み合わせより成る群)が挙げられる。この中で、特にEuBr3、EuBr2、EuCl2、EuOBrが優れた結果を与えた。
When e = 0 in the general formula (1), it is preferable to use a mixture of the compound of the general formula (1) and the following compound (2) as the phosphor raw material.
Compound (2) At least selected from each atom of Eu, Tb, In, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu, and Mg A compound having one kind of atom A preferred compound (2) is a europium compound. Examples of the europium compound used in the present invention include EuX 2 , EuX 3 and EuOX (X is a group consisting of F, Cl, Br, I and combinations thereof). Among them, EuBr 3 , EuBr 2 , EuCl 2 and EuOBr gave excellent results.
(基板)
本発明の放射線画像変換パネルに用いられる基板としては、各種のガラス、高分子材料、金属等が用いられ、例えば、石英、ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラス等の板ガラス、またセルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム等の有機樹脂フィルム、アルミニウムシート、鉄シート、銅シート等の金属シートまたは該金属酸化物の被覆層を有する金属シートが挙げられる。
(substrate)
As the substrate used in the radiation image conversion panel of the present invention, various glasses, polymer materials, metals and the like are used. For example, plate glass such as quartz, borosilicate glass, chemically tempered glass, cellulose acetate film, polyester, etc. Examples include films, polyethylene terephthalate films, polyamide films, polyimide films, triacetate films, polycarbonate resin and other organic resin films, metal sheets such as aluminum sheets, iron sheets, and copper sheets, or metal sheets having a coating layer of the metal oxide. .
中でも有機樹脂フィルムが好ましい。有機樹脂フィルムは軟化点以上に基板温度を制御し、蒸着することで蒸着結晶が基板内部に入り込むことができる。また、入り込む量は基板温度だけでなく、蒸気の入射速度、蒸気温度等によっても制御できる。これらの入射速度や温度は蒸着原料を蒸発させる時の温度により制御することができる。 Among these, an organic resin film is preferable. The organic resin film is controlled by controlling the substrate temperature above the softening point, so that the deposited crystal can enter the substrate. Further, the amount of penetration can be controlled not only by the substrate temperature but also by the vapor incidence speed, vapor temperature, and the like. These incident speeds and temperatures can be controlled by the temperature at which the deposition material is evaporated.
(蛍光体の気相成長法)
また、本発明に係る蛍光体層は気相成長法によって形成される。蛍光体の気相成長法としては、蒸着法、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法、その他を用いることができる。
(Phosphor vapor phase growth method)
Further, the phosphor layer according to the present invention is formed by a vapor phase growth method. Vapor deposition, sputtering, CVD, ion plating, and others can be used as the vapor phase growth method of the phosphor.
本発明においては、例えば、以下の方法が挙げられる。 In the present invention, for example, the following methods can be mentioned.
第1の方法の蒸着法は、まず基板を蒸着装置内に設置した後、装置内を排気して1.333×10-4Pa程度の真空度とする。次いで、前記蛍光体の少なくとも一つを抵抗加熱法、エレクトロンビーム法等の方法で加熱蒸発させて前記基板表面に蛍光体を所望の厚さに成長させる。この結果、結着剤を含有しない蛍光体層が形成されるが、前記蒸着工程では複数回に分けて蛍光体層を形成することも可能である。 In the vapor deposition method of the first method, after the substrate is first installed in the vapor deposition apparatus, the inside of the apparatus is evacuated to a degree of vacuum of about 1.333 × 10 −4 Pa. Next, at least one of the phosphors is heated and evaporated by a resistance heating method, an electron beam method, or the like to grow the phosphor on the substrate surface to a desired thickness. As a result, a phosphor layer containing no binder is formed, but the phosphor layer can be formed in a plurality of times in the vapor deposition step.
また、前記蒸着工程では複数の抵抗加熱器、あるいはエレクトロンビームを用いて共蒸着し、基板上で目的とする蛍光体を合成すると同時に蛍光体層を形成することも可能である。 In the vapor deposition step, a plurality of resistance heaters or an electron beam may be co-deposited to synthesize the target phosphor on the substrate and simultaneously form the phosphor layer.
蒸着終了後、必要に応じて前記蛍光体層の基板側とは反対の側に保護層を設けることにより、本発明に係る放射線画像変換パネルが製造される。なお、保護層上に蛍光体層を形成した後、基板を設ける手順をとってもよい。 After the vapor deposition is completed, a radiation image conversion panel according to the present invention is manufactured by providing a protective layer on the side opposite to the substrate side of the phosphor layer as necessary. In addition, after forming a fluorescent substance layer on a protective layer, you may take the procedure of providing a board | substrate.
更に前記蒸着法においては、蒸着時、必要に応じて被蒸着体(基板、保護層または中間層)を冷却あるいは加熱してもよい。 Furthermore, in the vapor deposition method, the vapor deposition target (substrate, protective layer or intermediate layer) may be cooled or heated as necessary during vapor deposition.
また、蒸着終了後蛍光体層を加熱処理してもよい。また、前記蒸着法においては、必要に応じてO2、H2等のガスを導入して蒸着する反応性蒸着を行ってもよい。 Moreover, you may heat-process a fluorescent substance layer after completion | finish of vapor deposition. Further, in the above evaporation process, it may be carried out reactive deposition for depositing by introducing O 2, H 2 etc. of the gas if necessary.
第2の方法としてのスパッタリング法は、蒸着法と同様、保護層または中間層を有する基板をスパッタリング装置内に設置した後、装置内を一旦排気して1.333×10-4Pa程度の真空度とし、次いでスパッタリング用のガスとしてAr、Ne等の不活性ガスをスパッタリング装置内に導入して1.333×10-1Pa程度のガス圧とする。次に、前記蛍光体をターゲットとして、スパッタリングすることにより前記基板上に蛍光体層を所望の厚さに成長させる。 In the sputtering method as the second method, as in the vapor deposition method, a substrate having a protective layer or an intermediate layer is placed in a sputtering apparatus, and then the apparatus is evacuated to a vacuum of about 1.333 × 10 −4 Pa. Then, an inert gas such as Ar or Ne is introduced as a sputtering gas into the sputtering apparatus to obtain a gas pressure of about 1.333 × 10 −1 Pa. Next, a phosphor layer is grown to a desired thickness on the substrate by sputtering using the phosphor as a target.
前記スパッタリング工程では蒸着法と同様に各種の応用処理を用いることができる。 Various applied treatments can be used in the sputtering step as in the vapor deposition method.
第3の方法としてCVD法があり、また第4の方法としてイオンプレーティング法がある。 The third method is a CVD method, and the fourth method is an ion plating method.
また、前記気相成長における蛍光体層の成長速度は0.05〜300μm/分であることが好ましい。成長速度が0.05μm/分未満の場合には、本発明に係る放射線画像変換パネルの生産性が悪く好ましくない。また、成長速度が300μm/分を越える場合には、成長速度のコントロールがむずかしく好ましくない。 In addition, the growth rate of the phosphor layer in the vapor phase growth is preferably 0.05 to 300 μm / min. When the growth rate is less than 0.05 μm / min, the productivity of the radiation image conversion panel according to the present invention is poor, which is not preferable. Further, when the growth rate exceeds 300 μm / min, it is difficult to control the growth rate.
放射線画像変換パネルを前記の真空蒸着法、スパッタリング法などにより得る場合には、結着剤が存在しないので蛍光体の充填密度を増大でき、感度、解像力の上で好ましい放射線画像変換パネルが得られ好ましい。 When the radiation image conversion panel is obtained by the above-described vacuum deposition method, sputtering method, etc., since there is no binder, the packing density of the phosphor can be increased, and a preferable radiation image conversion panel can be obtained in terms of sensitivity and resolution. preferable.
前記蛍光体層の膜厚は放射線画像変換パネルの使用目的によって、また蛍光体の種類により異なるが、本発明の効果を得る観点から50μm〜1mmであり、好ましくは100〜800μmであり、更に好ましくは100〜700μmである。 Although the film thickness of the phosphor layer varies depending on the purpose of use of the radiation image conversion panel and the type of phosphor, it is 50 μm to 1 mm, preferably 100 to 800 μm, more preferably from the viewpoint of obtaining the effects of the present invention. Is 100-700 μm.
上記の気相成長法による蛍光体層の作製にあたり、蛍光体層が形成される基板の温度は40℃以上に設定することが好ましく、更に好ましくは80℃以上であり、特に好ましくは100〜400℃である。 In preparation of the phosphor layer by the vapor phase growth method, the temperature of the substrate on which the phosphor layer is formed is preferably set to 40 ° C. or higher, more preferably 80 ° C. or higher, and particularly preferably 100 to 400. ° C.
(封止−保護フィルム)
保護フィルムは蛍光体層を防湿し、蛍光体層の劣化を抑制するためのもので、透湿度の低いフィルムから構成される。例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)を用いることができる。PETの他には、ポリエステルフィルム、ポリメタクリレートフィルム、ニトロセルロースフィルム、セルロースアセテートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等を用いることができる。また、必要とされる防湿性に合わせて、これらフィルムに金属酸化物などを蒸着した蒸着フィルムを複数枚積層した構成とすることもできる。
(Sealing-protective film)
The protective film is for moisture-proofing the phosphor layer and suppressing deterioration of the phosphor layer, and is composed of a film with low moisture permeability. For example, a polyethylene terephthalate film (PET) can be used. Besides PET, a polyester film, a polymethacrylate film, a nitrocellulose film, a cellulose acetate film, a polypropylene film, a polyethylene naphthalate film, or the like can be used. Moreover, it can also be set as the structure which laminated | stacked several vapor deposition films which vapor-deposited metal oxide etc. on these films according to the moisture-proof property required.
また、画像変換パネルの基板側と蛍光体層側の互いに対向する面には、互いを融着して封止するための融着層が形成されている。融着層としては、一般に使用されるインパルスシーラーで融着可能な樹脂フィルムを使用できる。例えば、エチレン酢酸ビニルコポリマー(EVA)やポリプロペレン(PP)フィルム、ポリエチレン(PE)フィルム等が挙げられるが、これに限られたものではない。 In addition, on the surfaces of the image conversion panel on the substrate side and the phosphor layer side facing each other, a fusion layer for fusing and sealing each other is formed. As the fusion layer, a resin film that can be fused with a commonly used impulse sealer can be used. For example, an ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), a polypropene (PP) film, a polyethylene (PE) film, etc. are mentioned, However, it is not restricted to this.
画像変換パネルを上下の保護フィルムで挟み、減圧雰囲気中で上下の保護フィルムが接触する端部を融着することにより封止することができる。 It can be sealed by sandwiching the image conversion panel between upper and lower protective films and fusing the end portions in contact with the upper and lower protective films in a reduced pressure atmosphere.
以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these.
実施例1
〔蛍光体原料の作製〕
以下の方法により蛍光体原料を作製した。即ち、炭酸セシウム、臭化水素を加え混合攪拌した後、中和点にて濾過を行い濾液中の水分を蒸発気化させ結晶を作製した。この際、蛍光体原料のpHが表1に記載の値になるよう臭化水素の添加量を制御した。
Example 1
[Preparation of phosphor material]
A phosphor material was prepared by the following method. That is, cesium carbonate and hydrogen bromide were added and mixed and stirred, followed by filtration at the neutralization point to evaporate and evaporate the water in the filtrate to produce crystals. At this time, the amount of hydrogen bromide added was controlled so that the pH of the phosphor raw material became the value shown in Table 1.
〔放射線画像変換パネル1の作製〕
蛍光体原料として、酸化臭化ユーロピウム(EuOBr)粉末1.7g、及び臭化セシウム(CsBr)粉末1000gをそれぞれ秤量し、相対湿度25%の環境下で混合した。次に、このように混合した蛍光体原料を抵抗加熱ルツボに取り、蒸着装置内を真空排気して高真空度にした後、Arガスを導入して、1.0×10-2Paになるように真空度を調整した。次いで、抵抗加熱ルツボを加熱して2μm/分の速度で蛍光体原料を蒸着し、CsBr:Eu蛍光体を堆積させた。蒸着終了後、装置内を大気圧に戻し、装置から基板を取り出した。アルミ基板上には、蛍光体の柱状結晶がほぼ垂直方向に密に林立した構造の蛍光体層(層厚:150μm)が形成されていた。
[Production of Radiation Image Conversion Panel 1]
As phosphor materials, 1.7 g of europium oxide bromide (EuOBr) powder and 1000 g of cesium bromide (CsBr) powder were weighed and mixed in an environment with a relative humidity of 25%. Next, the phosphor raw material mixed in this way is taken into a resistance heating crucible, and the inside of the vapor deposition apparatus is evacuated to a high vacuum, and then Ar gas is introduced to become 1.0 × 10 −2 Pa. The degree of vacuum was adjusted as follows. Next, the resistance heating crucible was heated to vapor-deposit phosphor material at a rate of 2 μm / min, and CsBr: Eu phosphor was deposited. After vapor deposition, the inside of the apparatus was returned to atmospheric pressure, and the substrate was taken out from the apparatus. On the aluminum substrate, there was formed a phosphor layer (layer thickness: 150 μm) having a structure in which phosphor columnar crystals were densely planted in a substantially vertical direction.
このようにして得られた蛍光体プレートを、防湿性保護フィルムを用いて覆い、減圧下で前記防湿生保護フィルム周辺部をインパルスシーラーにより融着、封止して、放射線画像変換パネル1を作製した。 The phosphor plate thus obtained is covered with a moisture-proof protective film, and the periphery of the moisture-proof raw protective film is fused and sealed with an impulse sealer under reduced pressure to produce a radiation image conversion panel 1 did.
〔放射線画像変換パネル2〜7の作製〕
放射線画像変換パネル1の作製において、蛍光体原料のpHが表1に記載の値になるものを用いた以外は、同様にして放射線画像変換パネル2〜7を作製した。
[Production of radiation image conversion panels 2 to 7]
Radiation image conversion panels 2 to 7 were prepared in the same manner except that the phosphor raw material having a value described in Table 1 was used in the production of the radiation image conversion panel 1.
〔評価〕
蛍光体原料のpH測定は、蛍光体原料10gを純水90gに溶解し5分間静置後、島津製作所(株)製ハンディpH計・WAT−1を用いて、一定温度(25℃)条件下において実施した。蛍光体層のpH測定は、蛍光体膜を10g採取し、蛍光体原料と同様にして実施した。
[Evaluation]
The pH of the phosphor material was measured by dissolving 10 g of the phosphor material in 90 g of pure water and allowing to stand for 5 minutes, and then using a handy pH meter / WAT-1 manufactured by Shimadzu Corporation under a constant temperature (25 ° C.) condition. Carried out in The pH measurement of the phosphor layer was performed in the same manner as the phosphor material by collecting 10 g of the phosphor film.
放射線画像変換パネル1〜7について、下記のように評価した。 The radiation image conversion panels 1 to 7 were evaluated as follows.
(輝度)
輝度はコニカミノルタエムジー(株)製Regius350を用いて評価を行った。鮮鋭性評価と同様にX線をタングステン管球にて80kVp、10mAsで爆射線源とプレート間距離2mで照射した後、Regius350にプレートを設置して読みとった。得られたフォトマルからの電気信号を元に相対評価を行った。放射線画像変換パネル1の輝度1.0とし、その他の試料はその相対値で表した。
(Luminance)
The luminance was evaluated using Regius 350 manufactured by Konica Minolta MG Co., Ltd. As in the sharpness evaluation, X-rays were irradiated with a tungsten tube at 80 kVp and 10 mAs at a distance of 2 m between the bombardment source and the plate, and then a plate was set on the Regius 350 and read. Relative evaluation was performed based on the electrical signal from the obtained photomultiplier. The brightness of the radiation image conversion panel 1 was set to 1.0, and the other samples were represented by their relative values.
(残光)
各試料を50mm角に断裁し、板に貼り付けて撮影カセッテに入れる。X線照射を照射し、読みとり時に50画素目との信号差を残光値とする。
(afterglow)
Each sample is cut into a 50 mm square, affixed to a plate, and placed in a photo cassette. X-ray irradiation is performed, and a signal difference from the 50th pixel is used as an afterglow value at the time of reading.
以上の評価結果をまとめて表1に示す。 The above evaluation results are summarized in Table 1.
表1より、本発明の製造方法による放射線画像変換パネルは、輝度、残光特性ともに比較の放射線画像変換パネルより優れていることがわかる。 From Table 1, it can be seen that the radiographic image conversion panel according to the production method of the present invention is superior to the comparative radiographic image conversion panel in both luminance and afterglow characteristics.
Claims (3)
一般式(1) M1X・aM2X′・bM3X″:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0≦e≦0.2の範囲の数値を表す。〕 The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 1, wherein the phosphor layer contains a phosphor based on an alkali halide represented by the following general formula (1).
The general formula (1) M 1 X · aM 2 X '· bM 3 X ": eA
[Wherein, M 1 is at least one alkali metal atom selected from Li, Na, K, Rb and Cs atoms, and M 2 is Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Cu. And at least one divalent metal atom selected from each atom of Ni, and M 3 is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, At least one trivalent metal atom selected from each atom of Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In, and X, X ′ and X ″ are at least selected from each atom of F, Cl, Br and I 1 type of halogen atom, A is Eu, Tb, In, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu and Mg. At least one metal atom selected from each atom; And, a, b, e each represent a number between 0 ≦ a <0.5,0 ≦ b <0.5,0 ≦ e ≦ 0.2.]
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