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JP4815377B2 - Component mounting method - Google Patents

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JP4815377B2
JP4815377B2 JP2007082771A JP2007082771A JP4815377B2 JP 4815377 B2 JP4815377 B2 JP 4815377B2 JP 2007082771 A JP2007082771 A JP 2007082771A JP 2007082771 A JP2007082771 A JP 2007082771A JP 4815377 B2 JP4815377 B2 JP 4815377B2
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Description

本発明は、ノズル検査方法に関し、特に部品実装装置の実装ヘッドのノズルの検査方法に関する。   The present invention relates to a nozzle inspection method, and more particularly to a nozzle inspection method for a mounting head of a component mounting apparatus.

従来から、基板に電子部品(以下、単に「部品」という)を実装する装置として部品実装装置がある。部品実装装置においては、実装ヘッドの吸着ノズルを用いて部品トレイ及びテープフィーダから部品を取り出して基板に移送搭載する。   Conventionally, there is a component mounting apparatus as an apparatus for mounting an electronic component (hereinafter simply referred to as “component”) on a substrate. In a component mounting apparatus, components are taken out from a component tray and a tape feeder using a suction nozzle of a mounting head, and transferred and mounted on a substrate.

ところで、部品の微小化に対応して吸着ノズルの先端も微小化されており、吸着ノズルを用いて生産を繰り返す度に吸着ノズルの先端が劣化し、最終的にはノズルの割れ・欠けが生じる。このような場合、部品の吸着力が低下し、結果として部品実装に際しての吸着ノズルの回転動作や吸着ノズルの上下動作によって、部品吸着姿勢を強固に維持できなくなる。その結果、部品の実装精度に悪影響が出てしまい、歩留まりが低下する。   By the way, the tip of the suction nozzle is also miniaturized corresponding to the miniaturization of parts, and the tip of the suction nozzle deteriorates every time production is repeated using the suction nozzle, and eventually the nozzle is cracked or chipped. . In such a case, the suction force of the component decreases, and as a result, the component suction posture cannot be maintained firmly due to the rotation operation of the suction nozzle and the vertical movement of the suction nozzle when mounting the component. As a result, the component mounting accuracy is adversely affected and the yield is reduced.

このような問題を解決する技術として、例えば特許文献1に記載のものがある。この技術では、吸着ノズル管内のエア流路に流量センサを設け、吸着ノズルからエアを排出させるエアブロー時のエアの流量を計測し、その計測値に基づいて吸着ノズルの異常を検出している。
特開2003−224394号公報
As a technique for solving such a problem, for example, there is one described in Patent Document 1. In this technique, a flow rate sensor is provided in an air flow path in the suction nozzle tube, the flow rate of air at the time of air blow for discharging air from the suction nozzle is measured, and abnormality of the suction nozzle is detected based on the measured value.
JP 2003-224394 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、以下のような問題がある。
すなわち、最近は複数の吸着ノズルを有するマルチノズルヘッドが主流となってきている。特許文献1に記載の技術をこのマルチノズルヘッドに利用する場合、複数のノズル全てのエア流路に流量センサを設ける、又は流量センサの計測を各吸着ノズルに対して切り替える切り替え機構を設ける必要がある。いずれの場合も、実装ヘッドの重量が大きくなるため、実装ヘッドを停止させる際に実装ヘッドに大きな慣性力が働き、実装の位置精度が悪くなる。
However, the technique described in Patent Document 1 has the following problems.
That is, recently, a multi-nozzle head having a plurality of suction nozzles has become mainstream. When the technique described in Patent Document 1 is used for this multi-nozzle head, it is necessary to provide a flow rate sensor in the air flow path of all of the plurality of nozzles, or to provide a switching mechanism that switches the measurement of the flow rate sensor to each suction nozzle. is there. In either case, since the weight of the mounting head is increased, a large inertial force acts on the mounting head when the mounting head is stopped, and the mounting position accuracy is deteriorated.

また、特許文献1に記載の技術では、部品を吸着した状態での吸着ノズル管内の流量を計測するため、流量が異常値になった場合に、その異常がノズルの割れ・欠けによるものなのか、部品の吸着状態によるものなのか判別し難い。   Further, in the technique described in Patent Document 1, since the flow rate in the suction nozzle tube with the component sucked is measured, when the flow rate becomes an abnormal value, is the abnormality caused by cracking or chipping of the nozzle? It is difficult to determine whether it is due to the suction state of the parts.

そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能なノズル検査方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a nozzle inspection method capable of detecting a nozzle abnormality with high accuracy without deteriorating mounting positional accuracy.

上記目的を達成するために、本発明のノズル検査方法は、部品実装装置における実装ヘッドのノズルをノズル検査手段により検査する方法であって、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップとを含むことを特徴とする。ここで、前記ノズル検査方法は、さらに、前記判定ステップにより得られた判定結果を当該判定が行われたノズルに対応付けて格納する結果格納ステップを含んでもよい。   In order to achieve the above object, a nozzle inspection method of the present invention is a method for inspecting a nozzle of a mounting head in a component mounting apparatus by a nozzle inspection means, wherein a nozzle opening for sucking or discharging air in the nozzle and the nozzle A covering step for covering the opening with the nozzle so as to communicate with the opening of the hole provided in the nozzle inspection means, and air is sucked or discharged by the nozzle, and the air is sucked or discharged. And a measuring step of measuring a flow rate of air in the hole when performing. Here, the nozzle inspection method may further include a result storage step of storing the determination result obtained in the determination step in association with the nozzle for which the determination has been performed.

これによって、実装ヘッドのノズルは、実装ヘッドとは別に設けられたノズル検査手段により検査される。従って、特許文献1の技術と異なり実装ヘッドに流量センサを設ける必要がないので、実装ヘッドの重量が大きくならない。その結果、実装の位置精度を悪化させずに、ノズルの異常を検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。   Thereby, the nozzles of the mounting head are inspected by the nozzle inspection means provided separately from the mounting head. Therefore, unlike the technique of Patent Document 1, it is not necessary to provide a flow sensor on the mounting head, so that the weight of the mounting head does not increase. As a result, it is possible to realize a nozzle inspection method capable of detecting a nozzle abnormality without deteriorating the mounting position accuracy.

また、ノズルの検査は、部品を吸着していない状態で行われる。従って、特許文献1の技術と異なりノズルの割れ・欠けによる異常を高精度に検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。   In addition, the nozzle inspection is performed in a state where no component is adsorbed. Therefore, unlike the technique of Patent Document 1, it is possible to realize a nozzle inspection method capable of detecting an abnormality caused by a crack / chip of a nozzle with high accuracy.

ここで、前記判定ステップでは、前記所定の閾値を前記ノズルの種類と対応付けて格納する閾値テーブルを参照し、当該判定が行われるノズルの種類に対応付けられた前記所定の閾値を用いて前記判定を行ってもよい。   Here, in the determination step, the threshold value table storing the predetermined threshold value in association with the nozzle type is referred to, and the predetermined threshold value corresponding to the nozzle type to be determined is used. A determination may be made.

これによって、ノズルの種類に応じた適切な検査をノズルに対して行うことができるため、ノズルの異常をさらに高精度に検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。   As a result, an appropriate inspection according to the type of the nozzle can be performed on the nozzle, so that a nozzle inspection method capable of detecting an abnormality of the nozzle with higher accuracy can be realized.

また、前記実装ヘッドは、複数のノズルを有し、前記覆設ステップ及び計測ステップは前記複数のノズルに対して順次行われてもよい。   The mounting head may include a plurality of nozzles, and the covering step and the measuring step may be sequentially performed on the plurality of nozzles.

これによって、マルチノズルヘッドにおけるノズルの異常を高精度に検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。   Thereby, it is possible to realize a nozzle inspection method capable of detecting a nozzle abnormality in the multi-nozzle head with high accuracy.

また、本発明は、ノズルを有する実装ヘッドと、前記ノズルを検査するノズル検査手段とを備え、前記ノズル検査手段は、孔が設けられた本体と、前記孔に配設された流量センサとを有し、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記孔の開口とが連通するように、前記開口には前記ノズル口が覆設されることを特徴とする部品実装装置とすることもできる。   The present invention also includes a mounting head having a nozzle and nozzle inspection means for inspecting the nozzle, the nozzle inspection means comprising a main body provided with a hole, and a flow rate sensor disposed in the hole. The component mounting apparatus is characterized in that the nozzle port is covered in the opening so that the nozzle port for sucking or discharging air in the nozzle communicates with the opening of the hole. You can also.

これによって、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能な部品実装装置を実現できる。   Thereby, it is possible to realize a component mounting apparatus capable of detecting a nozzle abnormality with high accuracy without deteriorating the mounting positional accuracy.

ここで、前記実装ヘッドは、複数のノズルを有してもよい。
これによって、マルチノズルヘッドにおけるノズルの異常を高精度に検出することが可能な部品実装装置を実現できる。
Here, the mounting head may have a plurality of nozzles.
Thereby, it is possible to realize a component mounting apparatus capable of detecting a nozzle abnormality in the multi-nozzle head with high accuracy.

また、本発明は、ノズルを有する実装ヘッドとノズル検査手段とを備える部品実装装置における部品実装方法であって、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップと、前記流量の計測が行われたノズルを用いて部品を実装する実装ステップとを含むことを特徴とする部品実装方法とすることもできる。   In addition, the present invention is a component mounting method in a component mounting apparatus including a mounting head having a nozzle and nozzle inspection means, provided in the nozzle opening for sucking or discharging air in the nozzle and the nozzle inspection means. A covering step for covering the nozzle port with the opening so as to communicate with the opening of the hole, and the hole when the air is sucked or discharged by the nozzle and the air is sucked or discharged It is also possible to provide a component mounting method including a measurement step of measuring the flow rate of air in and a mounting step of mounting the component using the nozzle for which the flow rate has been measured.

これによって、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能な部品実装方法を実現できる。   Thus, it is possible to realize a component mounting method capable of detecting a nozzle abnormality with high accuracy without deteriorating the mounting positional accuracy.

なお、本発明は、このようなノズル検査方法及び部品実装装置として実現することができるだけでなく、その方法により実装ヘッドのノズルを検査するプログラム、及びそのプログラムを格納する記憶媒体としても実現することができる。   The present invention can be realized not only as such a nozzle inspection method and component mounting apparatus, but also as a program for inspecting a nozzle of a mounting head by the method and a storage medium for storing the program. Can do.

本発明によれば、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することができる。   According to the present invention, it is possible to detect a nozzle abnormality with high accuracy without deteriorating the positional accuracy of mounting.

以下、本発明の実施の形態におけるノズル検査方法について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, a nozzle inspection method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本実施の形態の部品実装装置の構成を示す上面図である。
この部品実装装置は、基台100、搬送路101、部品供給部103、実装ヘッド105、認識カメラ106、ノズル先端チェック部107、廃棄トレイ108、ノズルステーション109及び回収コンベア110を備える。
FIG. 1 is a top view showing the configuration of the component mounting apparatus according to the present embodiment.
This component mounting apparatus includes a base 100, a conveyance path 101, a component supply unit 103, a mounting head 105, a recognition camera 106, a nozzle tip check unit 107, a waste tray 108, a nozzle station 109, and a collection conveyor 110.

搬送路101は、基台100の中央部に配設され、基板を各装着ステージ101a、101b、101c及び101dに搬送して位置決めする。部品供給部103は、テープフィーダ102が複数並設され、複数種類の部品を供給する。認識カメラ106は、実装ヘッド105に吸着保持された部品を下方から認識する。廃棄トレイ108は、部品が廃棄されるトレイである。ノズルステーション109は、実装ヘッド105の交換用の吸着ノズル(以下、単に「ノズル」ともいう)を保持する。   The transport path 101 is disposed at the center of the base 100, and transports and positions the substrate to the mounting stages 101a, 101b, 101c, and 101d. The component supply unit 103 is provided with a plurality of tape feeders 102 and supplies a plurality of types of components. The recognition camera 106 recognizes the component sucked and held by the mounting head 105 from below. The discard tray 108 is a tray in which parts are discarded. The nozzle station 109 holds a suction nozzle for replacement of the mounting head 105 (hereinafter also simply referred to as “nozzle”).

図2(a)は実装ヘッド105の斜視図であり、図2(b)は実装ヘッド105の下面図であり、図2(c)は実装ヘッド105の前面図及び側面図である。   2A is a perspective view of the mounting head 105, FIG. 2B is a bottom view of the mounting head 105, and FIG. 2C is a front view and a side view of the mounting head 105.

実装ヘッド105は、部品供給部103から部品を取り出して基板に移送搭載する。実装ヘッド105には、図2(a)に示されるように、テープフィーダ102のテープ送り方向と垂直方向(図2(a)におけるZ軸方向)に直列状に等間隔で並んだ複数のノズル200が2列だけノズルフランジ201を介して着脱自在に取り付けられている。これら複数のノズル200は、複数のテープフィーダ102から部品を一括吸着して保持することが可能である。   The mounting head 105 takes out a component from the component supply unit 103 and transports and mounts it on the substrate. As shown in FIG. 2A, the mounting head 105 has a plurality of nozzles arranged at equal intervals in series in the direction perpendicular to the tape feeding direction of the tape feeder 102 (Z-axis direction in FIG. 2A). Two rows 200 are detachably attached via the nozzle flange 201. The plurality of nozzles 200 can collectively suck and hold components from the plurality of tape feeders 102.

図3(a)及び(b)は、実装ヘッド105の駆動機構を説明するための図である。
実装ヘッド105は、図3(a)及び(b)に示されるように、H軸モータ250、θモータ251、選択バルブ252及び基板カメラ253を備える。
FIGS. 3A and 3B are views for explaining the drive mechanism of the mounting head 105. FIG.
The mounting head 105 includes an H-axis motor 250, a θ motor 251, a selection valve 252, and a substrate camera 253, as shown in FIGS.

H軸モータ250は、ノズル200を上下方向(H軸方向)に昇降させる。θモータ251は、H軸を中心としてノズル200を回転させる。選択バルブ252は、H軸モータ250により昇降動作させるノズル200を選択する。基板カメラ253は、基板の状態を2次元又は3次元的に検査する。   The H-axis motor 250 moves the nozzle 200 up and down (H-axis direction). The θ motor 251 rotates the nozzle 200 around the H axis. The selection valve 252 selects the nozzle 200 that is moved up and down by the H-axis motor 250. The substrate camera 253 inspects the state of the substrate two-dimensionally or three-dimensionally.

図4は、ノズル先端チェック部107の構成を示す図である。
ノズル先端チェック部107は、部品供給部103と各装着ステージとの間に配設される。ノズル先端チェック部107は、図4に示されるように、流量センサ300、本体303、ラバー304、SUS(ステンレス鋼)治具305及び押え板306から構成される。
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of the nozzle tip check unit 107.
The nozzle tip check unit 107 is disposed between the component supply unit 103 and each mounting stage. As shown in FIG. 4, the nozzle tip check unit 107 includes a flow sensor 300, a main body 303, a rubber 304, a SUS (stainless steel) jig 305, and a press plate 306.

本体303の内部にはエアの流路、つまり孔が設けられている。押え板306は、ラバー304及びSUS治具305を挟み込んで本体303に固定される。   An air flow path, that is, a hole is provided inside the main body 303. The holding plate 306 is fixed to the main body 303 with the rubber 304 and the SUS jig 305 interposed therebetween.

流量センサ300は、チューブ301及びニップル302を有し、本体303の孔における流量を計測する。ニップル302は、本体303の孔の内部に配設され、チューブ301を介して流量センサ300と接続される。   The flow sensor 300 includes a tube 301 and a nipple 302 and measures the flow rate in the hole of the main body 303. The nipple 302 is disposed inside the hole of the main body 303 and is connected to the flow sensor 300 via the tube 301.

ラバー304、SUS治具305及び押え板306には開口が設けられており、これらはその開口が本体303の孔の開口上方に位置するように本体303に配置される。   The rubber 304, the SUS jig 305, and the presser plate 306 are provided with openings, which are arranged on the main body 303 so that the openings are located above the openings of the holes of the main body 303.

上記構成を有するノズル先端チェック部107において、ノズル200の検査が行われる場合、図5の断面図に示されるように、ノズル200におけるエアの吸引を行うノズル口(図5におけるA)と本体303の孔(図5におけるB)の開口(図5におけるC)とが連通するように、本体303の孔の開口にノズル口が覆設される。そして、この状態でノズル200によるエア吸引が行われ、そのときの孔内におけるエアの流量が流量センサ300で計測される。割れ・欠けが無い正常なノズル200によりエア吸引が行われた場合には、本体303とノズル200とが密着するため、本体303の孔は真空密封される。従って、本体303の孔における流量の変化を計測することにより、極めて高い精度で不良ノズルを検出することができる。   When the nozzle 200 is inspected in the nozzle tip check unit 107 having the above configuration, as shown in the cross-sectional view of FIG. 5, a nozzle port (A in FIG. 5) for sucking air in the nozzle 200 and the body 303. The nozzle opening is covered with the opening of the hole of the main body 303 so that the opening (C of FIG. 5) communicates with the opening (B of FIG. 5). In this state, air suction by the nozzle 200 is performed, and the flow rate of air in the hole at that time is measured by the flow sensor 300. When air suction is performed by a normal nozzle 200 that is not cracked or chipped, the main body 303 and the nozzle 200 are in close contact with each other, and the hole of the main body 303 is vacuum-sealed. Therefore, by measuring the change in the flow rate in the hole of the main body 303, it is possible to detect a defective nozzle with extremely high accuracy.

図6は、本実施の形態の部品実装装置の構成を示す機能ブロック図である。
この部品実装装置は、機構部440、実装制御部441、表示部442、入力部443、記憶部444、通信I/F部445、及びノズル良否判定部446を備える。
FIG. 6 is a functional block diagram showing the configuration of the component mounting apparatus according to the present embodiment.
The component mounting apparatus includes a mechanism unit 440, a mounting control unit 441, a display unit 442, an input unit 443, a storage unit 444, a communication I / F unit 445, and a nozzle quality determination unit 446.

機構部440は、搬送路101、部品供給部103、実装ヘッド105、認識カメラ106、ノズル先端チェック部107、及びこれらを駆動するモータやモータコントローラ等を含む機構部品の集合である。   The mechanism unit 440 is a set of mechanical components including the transport path 101, the component supply unit 103, the mounting head 105, the recognition camera 106, the nozzle tip check unit 107, and a motor and a motor controller that drive these.

実装制御部441は、オペレータからの指示等に従って、記憶部444のNCデータ(実装データ)をロードして実行し、その実行結果に従って機構部440を制御する。   The mounting control unit 441 loads and executes NC data (mounting data) in the storage unit 444 in accordance with an instruction from the operator, and controls the mechanism unit 440 in accordance with the execution result.

表示部442は、CRT(Cathode-Ray Tube)やLCD(Liquid Crystal Display)等であり、入力部443は、キーボードやマウス等である。これらは、本部品実装装置とオペレータとが対話する等のために用いられる。   The display unit 442 is a CRT (Cathode-Ray Tube), an LCD (Liquid Crystal Display), or the like, and the input unit 443 is a keyboard, a mouse, or the like. These are used for dialogue between the component mounting apparatus and the operator.

記憶部444は、ハードディスクやメモリ等であり、実装データ444a、部品ライブラリ444b、ノズル良否テーブル444c、判定結果テーブル444d、及び流量閾値テーブル444e等を保持する。   The storage unit 444 is a hard disk, memory, or the like, and holds mounting data 444a, a component library 444b, a nozzle pass / fail table 444c, a determination result table 444d, a flow rate threshold table 444e, and the like.

実装データ444aは、部品の実装条件に関する情報であり、実装の対象となる全ての部品の実装点を示す情報の集まりである。   The mounting data 444a is information relating to the mounting conditions of components, and is a collection of information indicating mounting points of all components to be mounted.

部品ライブラリ444bは、部品実装装置が扱うことができる全ての部品種それぞれについての固有の情報を集めたライブラリである。   The component library 444b is a library in which unique information about all component types that can be handled by the component mounting apparatus is collected.

ノズル良否テーブル444cは、何れのノズル200が吸着ミスを所定回数以上繰り返した不良ノズルであるか、ユーザが予め指定した不良ノズルであるか、又は物理的に曲がっている不良ノズルであるかを示すテーブルである。   The nozzle pass / fail table 444c indicates which nozzle 200 is a defective nozzle in which suction mistakes are repeated a predetermined number of times, a defective nozzle designated in advance by the user, or a defective nozzle that is physically bent. It is a table.

判定結果テーブル444dは、図7に示されるような、良否判定が行われたノズルと、それに対応付けられたノズル200の良否判定結果とからなるテーブルである。判定結果テーブル444dにおいて、「ノズル」の欄における1〜10の数字は実装ヘッド105の各ノズルを示している。「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄における「○」は該当するノズルがノズル良否テーブル444cに基づいて不良ノズルと判定されたことを示し、「×」はそうでないことを示している。「流量計測による良否判定結果」の欄における「○」は該当するノズルがノズル先端チェック部107により流量計測された結果、その値が所定の閾値以下であると判定されたことを示し、「×」は所定の閾値より大きいと判定されたことを示している。   The determination result table 444d is a table composed of the nozzles for which pass / fail determination is performed and the pass / fail determination results for the nozzles 200 associated therewith, as shown in FIG. In the determination result table 444d, the numbers 1 to 10 in the “nozzle” column indicate the nozzles of the mounting head 105. “◯” in the column of “Quality determination result by nozzle quality table” indicates that the corresponding nozzle is determined to be a defective nozzle based on the nozzle quality table 444c, and “X” indicates that it is not. “O” in the column of “Pass / fail judgment result by flow rate measurement” indicates that the corresponding nozzle has been determined to be less than or equal to a predetermined threshold as a result of flow rate measurement by the nozzle tip check unit 107, and “× "" Indicates that it is determined that the value is larger than a predetermined threshold value.

流量閾値テーブル444eは、図8に示されるような、ノズル形状等のノズルの種類と、それに対応付けられた流量の閾値とからなるテーブルである。流量閾値テーブル444eにおいて、「ノズル」の欄における「ノズルA」及び「ノズルB」等はノズルの種類を示し、「流量の閾値」の欄における値はノズルの種類に応じて個別に決められたノズル200の良否判定に用いる流量の閾値を示している。なお、流量の閾値は、正常なノズル、つまり割れ・欠けの無いノズルでエア吸引が行われた場合に、ノズル先端チェック部107で計測される流量に基づいて決められ、ノズルの種類により異なる。   The flow rate threshold value table 444e is a table composed of nozzle types such as the nozzle shape and flow rate threshold values associated therewith as shown in FIG. In the flow rate threshold value table 444e, “nozzle A” and “nozzle B” in the “nozzle” column indicate nozzle types, and the values in the “flow rate threshold” column are individually determined according to the nozzle type. The flow rate threshold value used for the quality determination of the nozzle 200 is shown. The flow rate threshold is determined based on the flow rate measured by the nozzle tip check unit 107 when air suction is performed with a normal nozzle, that is, a nozzle that is not cracked or chipped, and varies depending on the type of nozzle.

通信I/F部445は、LAN(Local Area Network)アダプタ等であり、本部品実装装置と他の部品実装装置との通信等に用いられる。   The communication I / F unit 445 is a LAN (Local Area Network) adapter or the like, and is used for communication between the component mounting apparatus and another component mounting apparatus.

ノズル良否判定部446は、ノズル200の良否を判定する。つまり、ノズル良否判定部446は、ノズル良否テーブル444cとノズル先端チェック部107による流量計測結果とに基づいて、ノズル200が不良ノズルであるか否かを判定し、判定結果テーブル444dを更新する。なお、ノズル良否判定部446及びノズル先端チェック部107は、本発明のノズル検査手段の一例である。   The nozzle quality determination unit 446 determines quality of the nozzle 200. That is, the nozzle pass / fail determination unit 446 determines whether the nozzle 200 is a defective nozzle based on the nozzle pass / fail table 444c and the flow rate measurement result by the nozzle tip check unit 107, and updates the determination result table 444d. The nozzle quality determination unit 446 and the nozzle tip check unit 107 are examples of the nozzle inspection unit of the present invention.

次に、上記構成を有する部品実装装置におけるノズル200の検査動作について説明する。図9は、同部品実装装置におけるノズル200の検査動作を示すフローチャートである。   Next, the inspection operation of the nozzle 200 in the component mounting apparatus having the above configuration will be described. FIG. 9 is a flowchart showing an inspection operation of the nozzle 200 in the component mounting apparatus.

実装制御部441は、入力部443及び表示部442を介してユーザからのノズル検査開始の指示を受け、ノズル(N)までの実装ヘッド105の全てのノズル(i)についての検査(ステップS51〜S61)を開始する。具体的には、図10に示されるような画面において、「Measurement」のボタンを押下することによりユーザは検査開始を指示し、これを受けてノズルの検査が開始される。   The mounting control unit 441 receives an instruction to start nozzle inspection from the user via the input unit 443 and the display unit 442, and inspects all the nozzles (i) of the mounting head 105 up to the nozzle (N) (steps S51 to S51). S61) is started. Specifically, on the screen as shown in FIG. 10, the user instructs the start of inspection by pressing the “Measurement” button, and in response to this, the inspection of the nozzle is started.

まず、ノズル良否判定部446は、ノズル(i)が不良ノズルであるか否かを判定する(ステップS52)。具体的には、ノズル(i)が吸着ミスを所定回数以上繰り返した不良ノズルであるか、ユーザが予め指定した不良ノズルであるか、又は物理的に曲がっている不良ノズルであるか否かを判定する。判定は、ノズル(i)が記憶部444に格納されたノズル良否テーブル444cに不良ノズルとして示されているか否かを確かめることにより行われる。   First, the nozzle quality determination unit 446 determines whether the nozzle (i) is a defective nozzle (step S52). Specifically, it is determined whether or not the nozzle (i) is a defective nozzle in which suction mistakes are repeated a predetermined number of times, a defective nozzle designated in advance by the user, or a defective nozzle that is physically bent. judge. The determination is made by checking whether the nozzle (i) is indicated as a defective nozzle in the nozzle quality table 444c stored in the storage unit 444.

次に、ノズル(i)が不良ノズルであると判定された場合(ステップS52でYes)、ノズル良否判定部446は、判定結果テーブル444dを更新し、次のノズルについて検査を行う。具体的には、判定結果テーブル444dにおけるノズル(i)の「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄を「×」とし、次のノズルについて検査を行う。これにより、流量の測定によるノズル検査をするまでもなく、既に不良とわかっているノズルについては、流量の測定が行われない。その結果、ノズル検査の効率化が実現される。   Next, when it is determined that the nozzle (i) is a defective nozzle (Yes in step S52), the nozzle quality determination unit 446 updates the determination result table 444d and inspects the next nozzle. Specifically, in the determination result table 444d, the column of “quality determination result by nozzle quality table” of the nozzle (i) is set to “x”, and the next nozzle is inspected. Thereby, it is not necessary to perform nozzle inspection by measuring the flow rate, and the flow rate is not measured for nozzles that are already known to be defective. As a result, the efficiency of nozzle inspection is realized.

一方、ノズル(i)が不良ノズルでないと判定された場合(ステップS52でNo)、ノズル良否判定部446は、ノズル(i)に部品が吸着されているか否かを判定する(ステップS53)。具体的には、ノズル(i)がNCデータに従って部品吸着動作を行っているか否かを判定する。ノズル(i)が部品を吸着した状態で部品実装装置の電源が落ちると、電源復帰後のノズル(i)の検査において、ノズル(i)が部品を吸着した状態でノズル先端チェック部107に移動し、ノズル(i)とノズル先端チェック部107との間に部品が挟みこまれる可能性がある。従って、ノズル(i)に部品が吸着されているか否かを判定することにより、これを回避することができる。   On the other hand, when it is determined that the nozzle (i) is not a defective nozzle (No in step S52), the nozzle quality determination unit 446 determines whether or not a component is adsorbed to the nozzle (i) (step S53). Specifically, it is determined whether the nozzle (i) is performing a component suction operation according to the NC data. When the power of the component mounting apparatus is turned off while the nozzle (i) sucks the component, the nozzle (i) moves to the nozzle tip check unit 107 while sucking the component in the inspection of the nozzle (i) after the power is restored. In addition, there is a possibility that parts are sandwiched between the nozzle (i) and the nozzle tip check unit 107. Therefore, this can be avoided by determining whether or not the component is adsorbed to the nozzle (i).

次に、ノズル(i)に部品が吸着されていると判定された場合(ステップS53でYes)、ノズル良否判定部446は、次のノズルについて検査を行う。   Next, when it is determined that the component is adsorbed to the nozzle (i) (Yes in step S53), the nozzle pass / fail determination unit 446 inspects the next nozzle.

一方、ノズル(i)に部品が吸着されていないと判定された場合(ステップS53でNo)、実装制御部441は、機構部440により、ノズル(i)が検査可能な状態になるように実装ヘッド105をノズル先端チェック部107に移動させる(ステップS54)。具体的には、ノズル(i)のノズル口がノズル先端チェック部107の本体303における孔の開口上方に位置するように、実装ヘッド105を移動させる。   On the other hand, when it is determined that the component is not attracted to the nozzle (i) (No in step S53), the mounting control unit 441 is mounted by the mechanism unit 440 so that the nozzle (i) can be inspected. The head 105 is moved to the nozzle tip check unit 107 (step S54). Specifically, the mounting head 105 is moved so that the nozzle opening of the nozzle (i) is positioned above the opening of the hole in the main body 303 of the nozzle tip check unit 107.

次に、実装制御部441は、機構部440により、ノズル(i)を下降させ、ノズル(i)とノズル先端チェック部107の本体303とが接し、ノズル(i)のノズル口とノズル先端チェック部107の本体303の孔の開口とが連通するように、該本体303の孔の開口にノズル口を覆設させる(ステップS55)。   Next, the mounting control unit 441 causes the mechanism unit 440 to lower the nozzle (i) so that the nozzle (i) and the main body 303 of the nozzle tip check unit 107 are in contact with each other, and the nozzle port of the nozzle (i) and the nozzle tip check are performed. The nozzle opening is provided to cover the opening of the hole of the main body 303 so that the opening of the hole of the main body 303 of the portion 107 communicates (step S55).

次に、実装制御部441は、機構部440により、ノズル(i)にエア吸引を行わせ、そのときのノズル先端チェック部107の本体303の孔内におけるエアの流量を流量センサ300で計測させる(ステップS56)。   Next, the mounting control unit 441 causes the mechanism unit 440 to cause the nozzle (i) to perform air suction, and causes the flow rate sensor 300 to measure the air flow rate in the hole of the main body 303 of the nozzle tip check unit 107 at that time. (Step S56).

次に、ノズル良否判定部446は、ステップS56でノズル先端チェック部107により計測された流量が所定の閾値より大きいか否かを判定する(ステップS57)。このとき、所定の閾値は、判定対象となるノズル(i)の種類と流量閾値テーブル444eとから決められる。例えば、判定対象となるノズル(i)がノズルAという種類である場合には、所定の閾値は流量閾値テーブル444eにおいてノズルAに対応付けられた1×10-3L/minとされる。 Next, the nozzle quality determination unit 446 determines whether or not the flow rate measured by the nozzle tip check unit 107 in step S56 is greater than a predetermined threshold (step S57). At this time, the predetermined threshold value is determined from the type of nozzle (i) to be determined and the flow rate threshold value table 444e. For example, when the determination target nozzle (i) is the type of nozzle A, the predetermined threshold is set to 1 × 10 −3 L / min associated with the nozzle A in the flow rate threshold value table 444e.

次に、流量が所定の閾値より大きいと判定された場合(ステップS57でYes)、ノズル良否判定部446は、検査が行われたノズル(i)を不良ノズルであると判定し、判定結果テーブル444dを更新する(ステップS58)。具体的には、判定結果テーブル444dにおけるノズル(i)の「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄を「○」とし、「流量計測による良否判定結果」の欄を「×」とする。   Next, when it is determined that the flow rate is greater than the predetermined threshold (Yes in step S57), the nozzle quality determination unit 446 determines that the nozzle (i) that has been inspected is a defective nozzle, and the determination result table 444d is updated (step S58). Specifically, in the determination result table 444d, the column “good / bad determination result by nozzle quality table” of the nozzle (i) is “◯”, and the “good / bad determination result by flow measurement” column is “×”.

一方、流量が所定の閾値以下であると判定された場合(ステップS57でNo)、ノズル良否判定部446は、検査が行われたノズル(i)を不良ノズルでないと判定し、判定結果テーブル444dを更新する(ステップS59)。具体的には、判定結果テーブル444dにおけるノズル(i)の「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄を「○」とし、「流量計測による良否判定結果」の欄を「○」とする。   On the other hand, when it is determined that the flow rate is equal to or less than the predetermined threshold (No in step S57), the nozzle pass / fail determination unit 446 determines that the nozzle (i) subjected to the inspection is not a defective nozzle, and the determination result table 444d. Is updated (step S59). Specifically, in the determination result table 444d, the “good / bad determination result by nozzle quality table” column of the nozzle (i) is set to “◯”, and the “good / bad determination result by flow measurement” column is set to “◯”.

次に、実装制御部441は、機構部440により、ノズル(i)を上昇させる(ステップS60)。   Next, the mounting control unit 441 raises the nozzle (i) by the mechanism unit 440 (step S60).

最後に、図11(a)〜(j)に示されるように、ノズル(N)までの全てのノズル(i)についてノズルの下降、検査及び上昇を繰り返させて全てのノズルについて同様の検査を行い(ステップS51〜S61)、ノズルの検査を終了する。なお、図11(a)〜(j)において、左側の図は実装ヘッド105の前面図を示し、右側の図は実装ヘッド105の側面図を示している。   Finally, as shown in FIGS. 11A to 11J, the nozzles are repeatedly lowered, inspected and raised for all the nozzles (i) up to the nozzle (N), and the same inspection is performed for all the nozzles. (Steps S51 to S61), and the nozzle inspection is completed. 11A to 11J, the left diagram shows a front view of the mounting head 105, and the right diagram shows a side view of the mounting head 105.

実装ヘッド105の全てのノズル(i)についての検査が行われた場合、図10に示されるような画面が検査結果として表示部442に表示される。この画面において、1〜10の数字は実装ヘッド105の各ノズルを示し、「○」は該当するノズルが不良ノズルで無いことを示し、「×」は該当するノズルがステップS52で不良ノズルであると判定されたことを示し、「△」は該当するノズルがステップS57で不良ノズルであると判定されたことを示している。例えば、1で示されるノズルは不良ノズルで無いと判定され、2で示されるノズルはステップS52で不良ノズルであると判定され、6で示されるノズルはステップS57で不良ノズルであると判定されたことが示されている。   When all the nozzles (i) of the mounting head 105 are inspected, a screen as shown in FIG. 10 is displayed on the display unit 442 as an inspection result. In this screen, numbers 1 to 10 indicate each nozzle of the mounting head 105, “◯” indicates that the corresponding nozzle is not a defective nozzle, and “X” indicates that the corresponding nozzle is a defective nozzle in step S52. “Δ” indicates that the corresponding nozzle is determined to be a defective nozzle in step S57. For example, the nozzle indicated by 1 is determined not to be a defective nozzle, the nozzle indicated by 2 is determined to be a defective nozzle in step S52, and the nozzle indicated by 6 is determined to be a defective nozzle in step S57. It has been shown.

以上のように、本実施の形態の部品実装装置によれば、実装ヘッド105のノズル200は、実装ヘッド105とは別に設けられたノズル先端チェック部107により検査される。従って、特許文献1の技術と異なり実装ヘッド105に流量センサを設ける必要がないので、実装ヘッド105の重量が大きくならない。その結果、実装の位置精度を悪化させずに、ノズルの異常を検出することができる。同時に、実装ヘッド105が複数のノズルを備える場合でも、流量を計測するノズルを切り替える機構を実装ヘッドに設ける必要がなく、単に各ノズルを順次ノズル先端チェック部107に位置決めして下降させるだけで、容易に各ノズルの異常の検出ができる。   As described above, according to the component mounting apparatus of the present embodiment, the nozzle 200 of the mounting head 105 is inspected by the nozzle tip check unit 107 provided separately from the mounting head 105. Therefore, unlike the technique of Patent Document 1, there is no need to provide a flow sensor on the mounting head 105, so the weight of the mounting head 105 does not increase. As a result, it is possible to detect a nozzle abnormality without deteriorating the mounting position accuracy. At the same time, even when the mounting head 105 includes a plurality of nozzles, it is not necessary to provide a mechanism for switching the nozzles for measuring the flow rate in the mounting head. It is possible to easily detect abnormality of each nozzle.

また、本実施の形態の部品実装装置によれば、ノズル200の検査は、部品を吸着していない状態で行われる。従って、特許文献1の技術と異なりノズルの割れ・欠けによる異常を高精度に検出することができる。   Further, according to the component mounting apparatus of the present embodiment, the inspection of the nozzle 200 is performed in a state where no component is sucked. Therefore, unlike the technique of Patent Document 1, it is possible to detect an abnormality caused by a crack or chip of the nozzle with high accuracy.

また、本実施の形態の部品実装装置によれば、ノズル先端チェック部107は、部品供給部103と各装着ステージとの間、具体的には部品実装における実装ヘッド105の移動経路に配設される。従って、部品実装を行っている間でも効率的にノズルの検査を行うことができる。   Further, according to the component mounting apparatus of the present embodiment, the nozzle tip check unit 107 is disposed between the component supply unit 103 and each mounting stage, specifically, on the movement path of the mounting head 105 in component mounting. The Therefore, the nozzle can be efficiently inspected even during component mounting.

また、本実施の形態の部品実装装置によれば、ノズル200の検査に用いる流量の閾値は、判定対象となるノズル200の種類と流量閾値テーブル444eとから決められ、ノズル200の種類に応じて変えられる。従って、ノズルの種類に応じた適切な検査をノズルに対して行うことができ、ノズルの異常をさらに高精度に検出することできる。   Further, according to the component mounting apparatus of the present embodiment, the flow rate threshold value used for the inspection of the nozzle 200 is determined from the type of the nozzle 200 to be determined and the flow rate threshold value table 444e, and depending on the type of the nozzle 200 be changed. Therefore, an appropriate inspection according to the type of nozzle can be performed on the nozzle, and abnormality of the nozzle can be detected with higher accuracy.

以上、本発明のノズル検査方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で当業者が思いつく各種変形を施したものも本発明の範囲内に含まれる。   Although the nozzle inspection method of the present invention has been described based on the embodiment, the present invention is not limited to this embodiment. The present invention includes various modifications made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

例えば、上記実施の形態の部品実装装置において、実装制御部は、入力部及び表示部を介してユーザからの検査開始の指示を受け、ノズルの検査を開始するとした。しかし、一定回数の部品実装が行われる、又は一定枚数の基板に部品を実装が行われる等のユーザが定める所定の条件を満たした場合に、自動的にノズルの検査が行われてもよい。   For example, in the component mounting apparatus of the above-described embodiment, the mounting control unit receives an instruction to start inspection from the user via the input unit and the display unit, and starts inspection of the nozzle. However, the nozzle may be automatically inspected when a predetermined condition determined by the user, such as mounting a certain number of components or mounting a component on a certain number of boards, is satisfied.

また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズルが不良ノズルであると判定された場合、実装制御部は、機構部により、不良ノズルを新たなノズルと交換させたり、その不良ノズルを無効にしてそれ以外のノズルにより部品実装が行われるようにしたりしてもよい。   In the component mounting apparatus of the above embodiment, when it is determined that the nozzle is a defective nozzle, the mounting control unit causes the mechanism unit to replace the defective nozzle with a new nozzle or invalidate the defective nozzle. In addition, component mounting may be performed by other nozzles.

また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズルによるエア吸引を行って不良ノズルを検出するとした。しかし、ノズルによるエア排出を行って不良ノズルを検出しても同様の効果が得られる。この場合、流量閾値テーブルにおける流量の閾値は、正常なノズル、つまり割れ・欠けの無いノズルでエア排出が行われた場合に、ノズル先端チェック部で計測される流量に基づいて決められる。   Moreover, in the component mounting apparatus of the said embodiment, it was supposed that the air suction by a nozzle was performed and a defective nozzle was detected. However, the same effect can be obtained even if a defective nozzle is detected by discharging air with the nozzle. In this case, the flow rate threshold value in the flow rate threshold value table is determined based on the flow rate measured by the nozzle tip check unit when air is discharged from a normal nozzle, that is, a nozzle that is not cracked or chipped.

また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズル先端チェック部は、部品供給部と各装着ステージとの間に配設されるとしたが、実装ヘッドの可動範囲内に配設されればこれに限られない。   Further, in the component mounting apparatus of the above embodiment, the nozzle tip check unit is disposed between the component supply unit and each mounting stage. However, if the nozzle tip check unit is disposed within the movable range of the mounting head, Not limited to.

また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズルの異常としてノズルの割れ・欠けを例示したが、ノズル先端の流量を計測することにより検出することが可能なノズルの異常であればこれに限られない。   Further, in the component mounting apparatus of the above embodiment, the nozzle cracks / chips are exemplified as the nozzle abnormality. However, if the nozzle abnormality that can be detected by measuring the flow rate at the nozzle tip is limited to this, it is not limited thereto. I can't.

本発明は、ノズル検査方法に利用でき、特に部品実装装置の実装ヘッドのノズルの検査方法等に利用することができる。   The present invention can be used for a nozzle inspection method, and in particular, for a nozzle inspection method for a mounting head of a component mounting apparatus.

本実施の形態の部品実装装置の構成を示す上面図である。It is a top view which shows the structure of the component mounting apparatus of this Embodiment. (a)実装ヘッドの斜視図である。(b)実装ヘッドの下面図である。(c)実装ヘッドの前面図及び側面図である。(A) It is a perspective view of a mounting head. (B) It is a bottom view of a mounting head. (C) It is the front view and side view of a mounting head. (a)実装ヘッドの駆動機構を説明するための図である。(b)実装ヘッドの駆動機構を説明するための図である。(A) It is a figure for demonstrating the drive mechanism of a mounting head. (B) It is a figure for demonstrating the drive mechanism of a mounting head. ノズル先端チェック部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a nozzle front-end | tip check part. ノズル先端チェック部によるノズルの検査を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the test | inspection of the nozzle by a nozzle front-end | tip check part. 同部品実装装置の構成を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the structure of the component mounting apparatus. 判定結果テーブルを示す図である。It is a figure which shows the determination result table. 流量閾値テーブルを示す図である。It is a figure which shows a flow volume threshold value table. 同部品実装装置におけるノズルの検査動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the test | inspection operation | movement of the nozzle in the said component mounting apparatus. 表示部に表示されるノズルの検査に係る画面の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the screen which concerns on the test | inspection of the nozzle displayed on a display part. 実装ヘッドの全てのノズルについて検査が行われる様子を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a mode that a test | inspection is performed about all the nozzles of a mounting head.

符号の説明Explanation of symbols

100 基台
101 搬送路
101a、101b、101c、101d 装着ステージ
102 テープフィーダ
103 部品供給部
105 実装ヘッド
106 認識カメラ
107 ノズル先端チェック部
108 廃棄トレイ
109 ノズルステーション
110 回収コンベア
200 ノズル
201 ノズルフランジ
250 H軸モータ
251 θモータ
252 選択バルブ
253 基板カメラ
300 流量センサ
301 チューブ
302 ニップル
303 本体
304 ラバー
305 SUS(ステンレス鋼)治具
306 押え板
440 機構部
441 実装制御部
442 表示部
443 入力部
444 記憶部
444a 実装データ
444b 部品ライブラリ
444c ノズル良否テーブル
444d 判定結果テーブル
444e 流量閾値テーブル
445 通信I/F部
446 ノズル良否判定部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Base 101 Conveyance path 101a, 101b, 101c, 101d Mounting stage 102 Tape feeder 103 Component supply part 105 Mounting head 106 Recognition camera 107 Nozzle tip check part 108 Waste tray 109 Nozzle station 110 Collection conveyor 200 Nozzle 201 Nozzle flange 250 H axis Motor 251 θ motor 252 Selection valve 253 Board camera 300 Flow sensor 301 Tube 302 Nipple 303 Main body 304 Rubber 305 SUS (stainless steel) jig 306 Press plate 440 Mechanism unit 441 Mounting control unit 442 Display unit 443 Input unit 444 Storage unit 444a Mounting Data 444b Parts library 444c Nozzle pass / fail table 444d Judgment result table 444e Flow rate threshold table 445 Communication I / Part 446 nozzle acceptability judging section

Claims (1)

複数のノズルを有する実装ヘッドとノズル検査手段とを備える部品実装装置における部品実装方法であって、
前記複数のノズルのそれぞれについて、吸着ミスを所定回数以上繰り返した不良ノズルであるか、ユーザが予め指定した不良ノズルであるか、又は物理的に曲がっている不良ノズルであるか否かを判定するノズル良否判定ステップと、
前記ノズル良否判定ステップにおいて不良ノズルでないと判定されたノズルについて、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、
前記不良ノズルでないと判定されたノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップと、
計測された前記流量の値が所定の閾値より大きいノズルについてノズル先端に割れまたは欠けが発生していると判定する判定ステップと、
前記流量の値が所定の閾値より大きくないと判定されたノズルを用いて部品を実装する実装ステップとを含む
ことを特徴とする部品実装方法。
A component mounting method in a component mounting apparatus comprising a mounting head having a plurality of nozzles and nozzle inspection means,
For each of the plurality of nozzles, it is determined whether the nozzle is a defective nozzle that has been repeatedly picked up by a predetermined number of times, is a defective nozzle that is designated in advance by the user, or is a defective nozzle that is physically bent. Nozzle pass / fail judgment step;
For the nozzle that is determined not to be a defective nozzle in the nozzle pass / fail determination step, the nozzle opening that sucks or discharges air in the nozzle and the opening of the hole provided in the nozzle inspection means communicate with the opening. A covering step for covering the nozzle opening;
A measurement step of sucking or discharging air with a nozzle determined not to be a defective nozzle , and measuring a flow rate of air in the hole when the air is sucked or discharged;
And a determination step of determining a crack or chipping in the nozzle tip occurs for nozzle measured value of the flow rate is greater than a predetermined threshold value,
And a mounting step of mounting the component using a nozzle determined that the flow rate value is not larger than a predetermined threshold value.
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