JP4803462B2 - manipulator - Google Patents
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Description
本発明は、微小な機構部品又は電子部品の組み立て、生体操作用マニピュレータ、精密顕微鏡観察用位置制御、精密測定用位置制御,微小加工用工具の位置制御等に用いられるマニピュレータに関する。 The present invention relates to a manipulator used for assembly of minute mechanical parts or electronic parts, a manipulator for biological manipulation, position control for observation with a precision microscope, position control for precision measurement, position control for a tool for micromachining, and the like.
従来、微小部品の組み立て作業やバイオ関連の微小操作などでは、ごく狭い範囲の、高分解能で制御性の良い変位発生機構が求められている。この要求に対し液圧式または電動式の変位機構がマニピュレータとして用いられている。 Conventionally, a displacement generating mechanism with a high resolution and good controllability in a very narrow range has been demanded for assembling work of minute parts and minute operations related to biotechnology. In response to this requirement, a hydraulic or electric displacement mechanism is used as a manipulator.
電動式変位機構には、一般の位置決め機構と同様な原理で、ねじ送り機構またはリニアアクチュエータによって直線運動を得るものや、回転運動を直接利用するものがあるが、基本的には単一自由度をもつ機構の積み重ねによってマニピュレータ先端に多自由度の並進変位を発生させている。例えば、特許文献1には、液圧式マニピュレータが記載されている。
There are two types of electric displacement mechanisms, which are based on the same principle as general positioning mechanisms, and obtain linear motion by a screw feed mechanism or linear actuator, or directly use rotational motion, but basically have a single degree of freedom. Multi-degree-of-freedom translational displacement is generated at the manipulator tip by stacking mechanisms with For example,
マニピュレータ先端の回転が必要な場合は、直動機構の上に回転機構を搭載するか、直動機構を旋回機構上に搭載するかしている。 When rotation of the manipulator tip is required, a rotation mechanism is mounted on the linear motion mechanism or the linear motion mechanism is mounted on the turning mechanism.
また、別の方法としてパンタグラフ機構を用いるものがある。このようなマニピュレータとして、特許文献2には、例えば、把持指の先端部を近接させて微小物体を把持するハンドリング部を、パンタグラフ機構を変位させてX方向及びY方向に駆動するXY駆動部と、パンタグラフ機構を変位させてハンドリング部の把持指の先端部を中心として把持指が揺動するようにハンドリング部の姿勢方向を変更するθz駆動部と、ハンドリング部をZ方向に駆動するZ駆動部と、を備えており、XY駆動部とθz駆動部とは一体に構成され、Z駆動部はパンタグラフ機構の出力リンクに支持されており、ハンドリング部はZ駆動部に支持されているマイクロマニピュレータが開示されている。また、パラレルリンク機構を用いたマニピュレータが、例えば特許文献3に開示されている。
Another method uses a pantograph mechanism. As such a manipulator, for example,
しかしながら、従来の技術、特に微小組み立て装置では、コンパクトな機構が求められており、微小作業においてマニピュレータに作用する力はごくわずかであるにもかかわらず、大変位や大作用力を扱う機構と同じ機構が用いられている。 However, in the conventional technology, particularly a micro assembly device, a compact mechanism is required, and the force acting on the manipulator in micro work is very small, but it is the same as the mechanism that handles large displacement and large acting force. A mechanism is used.
例えば、それぞれ案内機構とアクチュエータをもつ直動または回転の単一自由度の機構要素を積み重ねたものはコンパクト化と低価格化の障害になっている。また、各機構要素の運動誤差が蓄積され、マニピュレータ先端において望む運動精度が得られにくい。さらに、パラレルリンク機構を用いたものは、動作範囲に比べて同様に小型化が難しい。 For example, a stack of linear motion or rotational single degree-of-freedom mechanism elements each having a guide mechanism and an actuator is an obstacle to downsizing and cost reduction. Further, the motion error of each mechanism element is accumulated, and it is difficult to obtain the desired motion accuracy at the manipulator tip. Furthermore, it is difficult to reduce the size of a device using a parallel link mechanism as compared with the operating range.
本発明は、軸に直交する方向の微小な並進変位と軸まわりの回転変位を与えるコンパクトで単純な機構のマニピュレータを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a manipulator having a compact and simple mechanism that gives a small translational displacement in a direction perpendicular to the axis and a rotational displacement around the axis.
上記課題を解決するために、本発明は、作業を行うアーム部と、前記アーム部の回転角を制御する回転角制御部と、前記アーム部の変位を制御する変位制御部と、を備えたマニピュレータにおいて、前記回転角制御部は、回転駆動力を付与する回転角付与手段を有し、前記アーム部は、前記回転角付与手段に接続され、回転可能であると共に、屈曲可能な屈曲軸部と、前記屈曲軸部に接続され、前記屈曲軸部が屈曲することにより移動する作用軸と、前記作用軸の先端に設置され、各種作業を行う作業部と、を有し、前記変位制御部は、前記作用軸に力を付与する変位付与手段と、前記変位付与手段の駆動力を伝達し、前記作用軸に常に当接する出力部材と、を有することを特徴する。
また、前記変位制御部は、前記出力部材を前記作用軸に常に当接させる付勢力を付与する付勢手段を有することを特徴する。
また、前記変位付与手段は、回転駆動モータからなり、前記出力部材は、前記作用軸に対して垂直な方向に回転軸を持つカムからなることを特徴する。
また、前記カムは、前記作用軸に当接する外周面に溝を有することを特徴する。
また、前記カムは、前記作用軸に当接する外周面にフランジを有することを特徴する。
また、前記変位制御部は、前記作用軸が前記フランジに常に当接するように付勢力を付与するサポートばねを有することを特徴する。
また、前記変位付与手段は、直動アクチュエータからなることを特徴する。
また、前記変位制御部は、第1変位制御部と、前記作用軸に対して前記第1変位制御部と垂直な方向に力を付与する第2変位制御部とを有することを特徴する。
In order to solve the above-described problems, the present invention includes an arm unit that performs work, a rotation angle control unit that controls a rotation angle of the arm unit, and a displacement control unit that controls the displacement of the arm unit. In the manipulator, the rotation angle control unit includes a rotation angle application unit that applies a rotational driving force, and the arm unit is connected to the rotation angle application unit and is rotatable and bendable. And a working shaft that is connected to the bending shaft portion and moves when the bending shaft portion is bent, and a working portion that is installed at a tip of the working shaft and performs various operations, and the displacement control portion Comprises a displacement applying means for applying a force to the action shaft, and an output member for transmitting a driving force of the displacement applying means and always abutting on the action shaft.
In addition, the displacement control unit includes an urging unit that applies an urging force that always brings the output member into contact with the action shaft.
Further, the displacement applying means is constituted by a rotation drive motor, and the output member is constituted by a cam having a rotation axis in a direction perpendicular to the action axis.
In addition, the cam has a groove on an outer peripheral surface that is in contact with the action shaft.
Further, the cam has a flange on an outer peripheral surface in contact with the action shaft.
The displacement control unit may include a support spring that applies an urging force so that the operating shaft always contacts the flange.
Further, the displacement applying means is composed of a linear actuator.
The displacement control unit includes a first displacement control unit and a second displacement control unit that applies a force to the action axis in a direction perpendicular to the first displacement control unit.
本発明のマニピュレータによれば、微小範囲での高分解能多自由度の変位を発生させることが可能となる。また、各自由度ごとの案内機構をもたず、シンプルな構成のためコンパクト化と低価格化が可能となる。さらに、各自由度の発生変位を正確に制御することができる。 According to the manipulator of the present invention, it is possible to generate a high-resolution multi-degree-of-freedom displacement in a minute range. In addition, there is no guide mechanism for each degree of freedom, and the simple structure enables compactness and low cost. Furthermore, the generated displacement of each degree of freedom can be accurately controlled.
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の第1実施形態に係るマニピュレータ1を構成する主要構成要素を示した図である。図1(a)は上面から見た図、図1(b)は側面から見た図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a view showing main components constituting the
マニピュレータ1は、アーム部2と、回転角制御部3と、第1変位制御部4と、を備えている。
The
アーム部2は、回転角制御部3に接続され、回転可能であると共に、屈曲可能な屈曲軸部21と、屈曲軸部21に接続され、第1変位制御部4から力を付与され、屈曲軸部21が屈曲することにより移動する作用軸22と、作用軸22の先端に設置され、各種作業を行う作業部としてのグリッパ23と、を有する。なお、作用軸22の先端に設置されるものはグリッパ23に限らず、他の構造のものでもよく、使用目的に応じて交換可能な構造とすると好ましい。
The
屈曲軸部21は、柔軟で且つねじれ剛性が高い素材を選択するとよい。また、弾性体を用いてもよい。例えば、ばね用鋼材、形状記憶合金、繊維入り合成樹脂又は自在継手等が好ましい。作用軸22は、他の部材と接触しながら回転するので、断面が円形で、表面が滑らかなものが好ましい。グリッパ23は、従来から使用されている構造でよいが、作用軸方向に伸縮可能なものが望ましい。
The
回転角制御部3は、回転駆動力を付与するサーボモータやステップモータ等の回転角付与手段としての回転角付与モータ31と、回転角付与モータ31の駆動力を出力する出力軸31aと、継手32と、出力軸31aの出力した駆動力をアーム部2に伝達する回転軸33と、回転軸33を回転可能に支持する軸受34と、を有する。
The rotation
なお、出力軸31aから回転軸33へ駆動力を伝達する際に、減速器やリンク機構等の伝達機構を介して間接的に伝達してもよい。また、回転軸33は、曲げ剛性の高いものが好ましい。
In addition, when transmitting a driving force from the
第1変位制御部4は、駆動力を付与するサーボモータ、ステップモータ等の第1変位付与手段としての第1変位付与モータ41と、第1変位付与モータ41の駆動力を出力し、作用軸22に対して垂直な方向に回転軸を持ち、作用軸22に常に当接する第1出力部材としての第1カム42と、作用軸22を第1カム42側に付勢する第1付勢手段としての第1予圧ばね43と、を有する。
The first displacement control unit 4 outputs a first
次に、第1実施形態のマニピュレータ1の作動について説明する。まず、グリッパ23を回転させる作動について説明する。グリッパ23を回転させるには、回転角付与モータ31を作動させればよい。回転角付与モータ31を所望角度に作動させることにより、出力軸31a、継手32、回転軸33、屈曲軸部21及び作用軸22を介して、グリッパ23が所望角度に回転する。
Next, the operation of the
次に、グリッパ23を変位させる作動について説明する。図2は、作用軸22を変位させた状態を示す図である。グリッパ23をY方向に変位させるには、第1変位付与モータ41を作動し、第1カム42を回転させる。第1カム42が回転すると、第1カム42と作用軸22との接触点PがY方向に変位し、作用軸22は屈曲軸部21の屈曲点21aから傾斜し、グリッパ23がY方向に変位する。作用軸22の先端のグリッパ23は、第1カム42と作用軸22との接触点Pの移動距離がてこ比B/Aで拡大されて変位される。グリッパ23の変位は、第1カム42の曲線形状と回転角によって一義的に決定するので、第1カム42の回転角を精密に制御することによりグリッパ23の変位を精密に制御することができる。
Next, an operation for displacing the
グリッパ23を図2に示すように変位させた状態で回転角付与モータ31を作動させた場合、屈曲軸部21は屈曲方向を変えずに回転することができるので、グリッパ23は、変位した位置で回転することが可能である。すなわち、グリッパ23の回転と変位は、干渉することなく独立して付与することが可能である。
When the rotation
図3及び図4は、作用軸22のX方向の変位を拘束する構造を示す図である。
3 and 4 are views showing a structure for restraining the displacement of the
図3(a)は作用軸方向から見た図、図3(b)は側面から見た図である。図3の構造は、第1カム42の円周面一方側にフランジ42aを設け、円周面で作用軸22と接触した状態で、他方側からサポートばね44でフランジ42a側に押し付けるものである。なお、第1予圧ばね43を傾斜させて設置し、第1予圧ばね43のみで作用軸22を第1カム42の円周面とフランジ42a側との両方に押し付ける構造としてもよい。
3A is a view seen from the direction of the action axis, and FIG. 3B is a view seen from the side. In the structure of FIG. 3, a
図4(a)は作用軸方向から見た図、図4(b)は側面から見た図である。図4の構造は、第1カム42の円周面に溝42bを設け、作用軸22を断面円弧状の溝42b内に配置し、第1予圧ばね43で作用軸22を第1カム42の円周面に押し付ける構造としたものである。図5に示すように、溝42bの形状は、断面がV字状の形状としてもよい。
4A is a view seen from the direction of the action axis, and FIG. 4B is a view seen from the side. In the structure of FIG. 4, a
図6は、第1変位付与手段として第1直動アクチュエータ141を用いた構造を示す図である。第1直動アクチュエータ141は、作用軸22に対してX方向から第1出力部材を介して当接し、X方向に変位するように配置することが好ましい。第1直動アクチュエータ141としては、電動マイクロメータヘッドや圧電アクチュエータを用いると好ましい。また、第1出力部材は、第1直動アクチュエータ141の一部であっても別体であってもよい。
FIG. 6 is a diagram showing a structure using the first
次に、グリッパ23を作用軸22に直交する面内で移動可能とする実施形態について説明する。図7は本発明の第2実施形態に係るマニピュレータ1を構成する主要構成要素を示した図、図8は第1変位制御部4と第2変位制御部5を拡大した図である。
Next, an embodiment in which the
図7(a)は上面から見た図、図7(b)は側面から見た図である。図7に示すように、第2実施形態に係るマニピュレータ1は、第1実施形態に第2変位制御部5を付加した構造としたものである。
FIG. 7A is a view from the top, and FIG. 7B is a view from the side. As shown in FIG. 7, the
第2変位制御部5は、第1変位制御部4と同様に、駆動力を付与するサーボモータ、ステップモータ等の第2変位付与手段としての第2変位付与モータ51と、第2変位付与モータ51の駆動力を出力し、作用軸22に対して垂直な方向に回転軸を持ち、作用軸22に当接する第2出力部材としての第2カム52と、作用軸22を第2カム52側に付勢する第2付勢手段としての第2予圧ばね53と、を有する。
Similar to the first displacement control unit 4, the second
その他の構造については第1実施形態と同様なので、説明は省略する。 Since other structures are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.
次に、第2実施形態のマニピュレータ1の作動について説明する。まず、グリッパ23を回転させる作動について説明する。グリッパ23を回転させるには、回転角付与モータ31を作動させればよい。回転角付与モータ31を所望角度に作動させることにより、出力軸31a、継手32、回転軸33、屈曲軸部21及び作用軸22を介して、グリッパ23が所望角度に回転する。
Next, the operation of the
次に、グリッパ23を変位させる作動について説明する。グリッパ23をY方向に変位させるには、第1変位付与モータ41を作動し、第1カム42を回転させる。第1カム42が回転すると、第1カム42と作用軸22との第1接触点PがY方向に変位し、作用軸22が屈曲軸部21の屈曲点21aから傾斜し、グリッパ23がY方向に変位する。グリッパ23をX方向に変位させるには、第2変位付与モータ51を作動し、第2カム52を回転させる。第2カム52が回転すると、第2カム52と作用軸22との第2接触点QがX方向に変位し、作用軸22は屈曲軸部21の屈曲点21aから傾斜し、グリッパ23がX方向に変位する。また、グリッパ23をXY面内で変位させるには、X方向の変位とY方向の変位を同時に行えばよい。
Next, an operation for displacing the
グリッパ23の変位は、第1カム42及び第2カム52の曲線形状と回転角によって一義的に決定するので、第1カム42及び第2カム52の回転角を精密に制御することによりグリッパ23の変位を精密に制御することができる。
Since the displacement of the
グリッパ23を変位させた状態で回転角付与モータ31を作動させた場合、屈曲軸部21は屈曲方向を変えずに回転することができるので、グリッパ23は、変位した位置で回転することが可能である。すなわち、グリッパ23の回転と変位は、干渉することなく独立して付与することが可能である。
When the rotation
本実施形態では、第1予圧ばね43が第1カム42の円周面に作用軸22を押し付け、第2予圧ばね53が第2カム52の円周面に作用軸22を押し付ける構造により、作用軸22は、ぶれることなく、所望の変位に移動することができる。なお、図9に示すように、第1予圧ばね43又は第2予圧ばね53を傾斜させて設置し、第1予圧ばね43又は第2予圧ばね53のどちらか一つのみで作用軸22を第1カム42及び第2カム52の円周面の両方に押し付ける構造としてもよい。また、第1予圧ばね43及び第2予圧ばね53を設置せず、別の予圧ばねをいずれかの位置に設置する構造としてもよい。
In the present embodiment, the
図10は、第1変位付与手段及び第2変位付与手段として第1直動アクチュエータ141及び第2直動アクチュエータ151を用いた構造を示す図である。図10(a)は上面から見た図、図10(b)は作用軸方向から見た第1直動アクチュエータ141及び第2直動アクチュエータ151付近の拡大図である。
FIG. 10 is a diagram showing a structure using the first
第1直動アクチュエータ141は、作用軸22に対してそれぞれ垂直なX方向から第1出力部材を介して当接し、X方向に変位し、第2直動アクチュエータ151は、作用軸22に対してそれぞれ垂直なY方向から第2出力部材を介して当接し、Y方向に変位するように配置することが好ましい。第1直動アクチュエータ141及び第2直動アクチュエータ151としては、電動マイクロメータヘッドや圧電アクチュエータを用いると好ましい。また、第1出力部材は、第1直動アクチュエータ141の一部であっても別体であってもよく、第2出力部材は、第2直動アクチュエータ151の一部であっても別体であってもよい。
The first
本実施形態のマニピュレータによれば、微小範囲での高分解能多自由度の変位を発生させることが可能となる。また、各自由度ごとの案内機構をもたず、シンプルな構成のためコンパクト化と低価格化が可能となる。さらに、各自由度の発生変位を正確に制御することができる。 According to the manipulator of the present embodiment, it is possible to generate a high resolution multi-degree-of-freedom displacement in a minute range. In addition, there is no guide mechanism for each degree of freedom, and the simple structure enables compactness and low cost. Furthermore, the generated displacement of each degree of freedom can be accurately controlled.
微小な機構部品又は電子部品の組み立て、生体操作用マニピュレータ、精密顕微鏡観察用位置制御、精密測定用位置制御若しくは微小加工用工具の位置制御等に用いることが可能であり、微小範囲での高分解能多自由度の変位を発生させることができ、シンプルな構成のためコンパクト化と低価格化が可能となり、各自由度の発生変位を正確に制御することができる。 It can be used for assembly of minute mechanism parts or electronic parts, biological manipulators, position control for precision microscope observation, position control for precision measurement, or position control of tools for micromachining, etc., and high resolution in a minute range It is possible to generate multi-degree-of-freedom displacement, and it is possible to reduce the size and price because of a simple configuration, and it is possible to accurately control the generated displacement of each degree of freedom.
1…マニピュレータ、2…アーム部、21…屈曲軸部、22…作用軸、23…グリッパ(作業部)、3…回転角制御部、31…回転角付与モータ(回転角付与手段)、31a…出力軸、32…継手、33…回転軸、34…軸受、4…第1変位制御部、41…第1変位付与モータ(第1変位付与手段)、42…第1カム(第1出力部材)、43…第1予圧ばね(第1付勢手段)、44…サポートばね、5…第2変位制御部、51…第2変位付与モータ(第2変位付与手段)、52…第2カム(第2出力部材)、53…第2予圧ばね(第2付勢手段)、141…第1直動アクチュエータ(第1変位付与手段)、151…第2直動アクチュエータ(第2変位付与手段)
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記回転角制御部は、回転駆動力を付与する回転角付与手段を有し、
前記アーム部は、前記回転角付与手段に接続され、回転可能であると共に、屈曲可能な屈曲軸部と、前記屈曲軸部に接続され、前記屈曲軸部が屈曲することにより移動する作用軸と、前記作用軸の先端に設置され、各種作業を行う作業部と、を有し、
前記変位制御部は、前記作用軸に力を付与する変位付与手段と、前記変位付与手段の駆動力を伝達し、前記作用軸に常に当接する出力部材と、を有する
ことを特徴するマニピュレータ。 In a manipulator comprising: an arm unit that performs work; a rotation angle control unit that controls a rotation angle of the arm unit; and a displacement control unit that controls the displacement of the arm unit.
The rotation angle control unit has a rotation angle applying means for applying a rotation driving force,
The arm portion is connected to the rotation angle providing means and is rotatable and bendable, and a bending shaft portion that is bendable, and an action shaft that is connected to the bending shaft portion and moves when the bending shaft portion is bent. And a working unit that is installed at the tip of the working shaft and performs various operations,
The displacement control unit includes: a displacement applying unit that applies a force to the action shaft; and an output member that transmits a driving force of the displacement applying unit and always contacts the action shaft.
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