JP4748248B2

JP4748248B2 - Cleaning device and cleaning method

Info

Publication number: JP4748248B2
Application number: JP2009107048A
Authority: JP
Inventors: 敦志辻; 伸也広田
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2006-10-12
Filing date: 2009-04-24
Publication date: 2011-08-17
Anticipated expiration: 2027-01-10
Also published as: JP2009160588A; JP2009160587A; JP4748247B2

Description

本発明は、機械加工での部品洗浄、外壁や車の洗浄、浴槽や便器等住宅分野での洗浄、食品や衣服の洗浄など、洗浄一般に用いられる洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。 The present invention relates to a cleaning apparatus and a cleaning method generally used for cleaning, such as cleaning of parts in machining, cleaning of outer walls and cars, cleaning in the housing field such as a bathtub and a toilet, and cleaning of food and clothes.

洗浄装置として、水などの液体と空気などの気体とを混合して被洗浄物に噴射させるようにしたものが従来から種々提供されている。 2. Description of the Related Art Various types of cleaning devices have been conventionally provided in which a liquid such as water and a gas such as air are mixed and jetted onto an object to be cleaned.

例えば特許文献１には、液体と圧縮気体とをノズルに供給し、圧縮気体の流れで液体を吸い込むと共に液体を分散させた液滴を形成し、この液滴をノズルの先端の噴射口から被洗浄物に噴射させることによって、洗浄を行なうようにした洗浄装置が提案されている。 For example, in Patent Document 1, a liquid and a compressed gas are supplied to a nozzle, a liquid is sucked by a flow of the compressed gas and a liquid droplet is formed, and the liquid droplet is applied from an ejection port at the tip of the nozzle. A cleaning apparatus has been proposed in which cleaning is performed by spraying a cleaning object.

また特許文献２には、高圧の液体と高圧の気体をノズルに供給し、この高圧の気体と液体を混合して形成した液体ミストをノズルの先端の噴出口から被洗浄物に噴射させることによって、洗浄を行なうようにした洗浄装置が提案されている。 Further, in Patent Document 2, a high-pressure liquid and a high-pressure gas are supplied to a nozzle, and a liquid mist formed by mixing the high-pressure gas and the liquid is ejected from an ejection port at the tip of the nozzle to an object to be cleaned. A cleaning apparatus that performs cleaning has been proposed.

しかし、上記の特許文献１，２のものはいずれも、液体と気体の混合液を高圧で被洗浄物に噴射して洗浄を行なうものであり、被洗浄物には高圧が作用することになる。従って、被洗浄物の種類によっては表面に傷が付くことがあり、洗浄の対象物が限定されるという問題があった。また高圧で作動させるために、動力費が高くなってランニングコストが高額になるという問題があった。 However, both of the above-mentioned Patent Documents 1 and 2 perform cleaning by injecting a liquid and gas mixture to the object to be cleaned at high pressure, and the object to be cleaned is subjected to high pressure. . Therefore, depending on the type of the object to be cleaned, the surface may be damaged, and there is a problem that the object to be cleaned is limited. Further, since the operation is performed at a high pressure, there is a problem that the power cost becomes high and the running cost becomes high.

そこで、本発明者等は、水などの液体に気体を加圧して溶解することによって、高濃度に気体を溶解させた気体溶解液を調製し、この気体溶解液を洗浄液として使用することを検討している。このような高濃度で気体が溶解した気体溶解液を被洗浄物に吐出すると、被洗浄物の表面において気体溶解液から溶解気体が析出するキャビテーションによって、汚れ物質を被洗浄物から剥離して除去することができるものであり、洗浄液を高圧で被洗浄物に噴射するような必要なく、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。 Therefore, the present inventors studied to prepare a gas solution in which the gas was dissolved at a high concentration by pressurizing and dissolving the gas in a liquid such as water, and to use this gas solution as a cleaning solution. is doing. When a high-concentration gas-dissolved gas solution is discharged to the object to be cleaned, the contaminants are removed from the object to be cleaned by cavitation where the dissolved gas is deposited from the gas solution on the surface of the object to be cleaned. Therefore, it is possible to perform cleaning with a high cleaning effect without the necessity of spraying the cleaning liquid onto the object to be cleaned at a high pressure.

しかしこのように加圧して気体を高濃度で溶解させた気体溶解液を吐出する際に、圧力の急激な低下で液体中に気泡が発生し、気体溶解量が減少して洗浄効果が低下するという問題がある。このような問題に対して、気体を高濃度で溶解させた気体溶解液を、液体中に気泡が発生しない状態で吐出することができるようにした技術も提案されている。 However, when discharging a gas solution in which gas is dissolved at a high concentration by pressurizing in this way, bubbles are generated in the liquid due to a rapid decrease in pressure, and the amount of dissolved gas is reduced, resulting in a decrease in cleaning effect. There is a problem. In order to solve such a problem, a technique has been proposed in which a gas-dissolved solution in which a gas is dissolved at a high concentration can be discharged without generating bubbles in the liquid.

例えば特許文献３では、水などの溶媒にオゾンを混合して加圧することによって溶解させた後、オゾン溶解液を細路に層流状態で通して減圧することによって、オゾンの気泡が発生しない状態でオゾン溶解液を吐出させるようにしている。しかし特許文献３においてこの細路は、直径０．５ｍｍ程度の細管の集合体からなるものであり、洗浄液の種類や、異物の混入によって、細路の詰まりで清掃等のメンテナンスの手間がかかるという問題があった。 For example, in Patent Document 3, after ozone is mixed with a solvent such as water and dissolved by applying pressure, the ozone solution is passed through a narrow path in a laminar flow state to reduce the pressure, so that no bubbles of ozone are generated. In this way, ozone solution is discharged. However, in Patent Document 3, this narrow path is made up of a collection of narrow pipes having a diameter of about 0.5 mm, and the maintenance work such as cleaning is required due to clogging of the narrow path due to the type of cleaning liquid and the inclusion of foreign matter. There was a problem.

また特許文献４では、水中に処理ガスを溶存させたガス富化流体を、複数の流体通路を有するノズルを通して減圧することによって、気泡が発生しない状態でガス富化流体を吐出させるようにしている。しかし特許文献４において流体通路は、内径約１５０乃至４５０μｍの毛細管などからなるものであり、上記と同様に流体通路に詰りが発生し易いという問題があった。 Further, in Patent Document 4, the gas-enriched fluid in which the processing gas is dissolved in water is decompressed through a nozzle having a plurality of fluid passages, so that the gas-enriched fluid is discharged without generating bubbles. . However, in Patent Document 4, the fluid passage is composed of a capillary tube having an inner diameter of about 150 to 450 μm, and there is a problem that the fluid passage is likely to be clogged similarly to the above.

また特許文献５は、液体を圧縮してキャビテーション核を除去した後に、液体とガスを圧縮してガス過飽和液体を形成し、ガス過飽和液体を送出系統を通して噴射させるようにしたものであり、キャビテーション核を除去しておくことによって、気泡が発生しない状態でガス過飽和液体を送出系統を通して噴射できるようにしたものである。しかし特許文献５では、このように液体を圧縮してキャビテーション核を除去するために、小さな毛管流路を使用するようにしており、上記と同様に毛管流路に詰りが発生し易いという問題があった。 In Patent Document 5, after compressing a liquid to remove a cavitation nucleus, the liquid and gas are compressed to form a gas supersaturated liquid, and the gas supersaturated liquid is ejected through a delivery system. In this way, the gas supersaturated liquid can be jetted through the delivery system in a state where bubbles are not generated. However, in Patent Document 5, in order to compress the liquid and remove the cavitation nuclei in this way, a small capillary channel is used, and the capillary channel is likely to be clogged similarly to the above. there were.

特開２００５−３２７８３３号公報JP 2005-327833 A 特開２００６−１８７７０７号公報JP 2006-187707 A 特開２０００−３３４２８３号公報JP 2000-334283 A 特表２００４−５０５７５２号公報JP-T-2004-505752 特表平１０−５０７４００号公報Japanese National Patent Publication No. 10-507400

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、高圧で洗浄を行なう必要がなく、洗浄の対象物が限定されるようなことがないと共にランニングコストが安価になり、さらに異物が混入等しても詰まるようなことなく気体溶解液の減圧を行なうことができ、気泡の発生を防止して高い洗浄効果で洗浄を行なうことができる洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above points, and it is not necessary to perform cleaning at a high pressure, the object to be cleaned is not limited, the running cost is reduced, and foreign matters are mixed in. An object of the present invention is to provide a cleaning apparatus and a cleaning method capable of reducing the pressure of a gas solution without causing clogging and preventing generation of bubbles and performing cleaning with a high cleaning effect. It is.

本発明の請求項１に係る洗浄装置は、液体を圧送する加圧部１と、液体に気体を注入する気体注入部２と、気体を注入された液体が加圧部１で圧送されることによる加圧で液体に気体を溶解させる加圧溶解部３と、加圧溶解部３で気体を溶解させた気体溶解液の圧力を、気体溶解液の流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧する減圧部４と、減圧部４で減圧された気体溶解液を吐出する吐出部１２と、を備え、減圧部４を、加圧溶解部３から気体溶解液を送り出す流路６に設けられ、気体溶解液の圧力を大気圧にまで段階的に減圧する複数の圧力調整弁７で構成し、加圧部１、気体注入部２、加圧溶解部３の各部を連続的に運転させて、減圧部４に気体溶解液を乱流状態で連続的に供給し、吐出部１２から気泡の発生のない気体溶解液を連続的に吐出させるようにして成ることを特徴とするものである。 In the cleaning apparatus according to claim 1 of the present invention, the pressurizing unit 1 that pumps the liquid, the gas injection unit 2 that injects the gas into the liquid, and the liquid into which the gas is injected are pumped by the pressurizing unit 1. The pressure of the pressure dissolving part 3 for dissolving the gas in the liquid by pressurization and the pressure of the gas dissolved liquid in which the gas is dissolved in the pressure dissolving part 3 is sequentially increased from the inflow side to the outflow side of the gas solution. And a discharge unit 12 that discharges the gas solution decompressed by the decompression unit 4, and the decompression unit 4 is provided in the flow path 6 that sends out the gas solution from the pressure dissolution unit 3. And a plurality of pressure regulating valves 7 for stepwise reducing the pressure of the gas solution to atmospheric pressure, and continuously operating each of the pressurization unit 1, the gas injection unit 2, and the pressurization dissolution unit 3 Then, the gas solution is continuously supplied to the decompression unit 4 in a turbulent state, and the gas dissolution without the generation of bubbles from the discharge unit 12 is performed. The is characterized in that comprising as to continuously discharged.

この発明によれば、液体に気体を加圧溶解させると共に、液中に気泡を発生させず高濃度に気体が溶解した気体溶解液を、吐出部１２から洗浄液として被洗浄物に吐出することによって、被洗浄物の表面において気体溶解液から溶解気体が析出するキャビテーションで、汚れ物質を被洗浄物から剥離して除去することができるものであり、洗浄液を高圧で被洗浄物に噴射するような必要なく、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。また気体を溶解した気体溶解液を減圧部４で減圧した後に吐出するため、吐出の際に気体溶解液に気泡が発生することを防止して、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。そしてこの減圧部４は気体溶解液の圧力を流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧するものであるため、細い流路などで形成する必要なく比較的太い流路などで形成することができるものであり、異物等が混入しても詰まるようなことなく気体溶解液の減圧を行なうことができるものである。さらにこのような減圧部４を設けることによって、減圧部４を流れる気体溶解液のレイノルズ数が臨界レイノルズ数（Ｒｅ＝２３２０）より大きなレイノルズ数である乱流状態でも対応することが可能になるものである。また、圧力調整弁７による圧力調整で気体溶解液の圧力を下げることができ、加圧溶解部３における圧力に応じて圧力調整弁７で減圧調整することによって、気体溶解液に気泡が発生することを安定して防ぐことができるものである。 According to the present invention, gas is dissolved in a liquid under pressure, and a gas-dissolved solution in which gas is dissolved at a high concentration without generating bubbles in the liquid is discharged from the discharge unit 12 to the object to be cleaned as a cleaning liquid. The cavitation in which the dissolved gas is deposited from the gas solution on the surface of the object to be cleaned can remove the dirt substance from the object to be cleaned, and the cleaning liquid is sprayed onto the object to be cleaned at a high pressure. It is unnecessary and can be cleaned with a high cleaning effect. In addition, since the gas solution in which the gas is dissolved is discharged after being reduced in pressure by the pressure reducing unit 4, it is possible to prevent bubbles from being generated in the gas solution during discharge and to perform cleaning with a high cleaning effect. is there. And since this pressure reduction part 4 pressure-reduces the pressure of a gas solution from an inflow side to an outflow side to atmospheric pressure sequentially, it is not necessary to form with a thin flow path etc., and it forms with a comparatively thick flow path etc. The gas solution can be depressurized without clogging even if foreign matter is mixed in. Further, by providing such a decompression unit 4, it is possible to cope with a turbulent flow state in which the Reynolds number of the gas solution flowing through the decompression unit 4 is larger than the critical Reynolds number (Re = 2320). It is. Further, the pressure of the gas solution can be lowered by adjusting the pressure by the pressure adjusting valve 7, and bubbles are generated in the gas solution by adjusting the pressure by the pressure adjusting valve 7 according to the pressure in the pressure dissolving unit 3. This can be stably prevented.

また請求項２の発明は、請求項１において、加圧溶解部３で液体に溶解しない余剰気体を排出する余剰気体排出部５を備えて成ることを特徴とするものである。 The invention of claim 2 is characterized in that, in claim 1, the invention is characterized by comprising the surplus gas discharge part 5 for discharging the surplus gas that is not dissolved in the liquid by the pressure dissolving part 3.

この発明によれば、気体の溶解飽和量以上の溶解できない余剰気体を加圧溶解部３から排出することによって、加圧溶解部３内の気体と液体の比率が余剰気体の残留で変わるようなことがなく安定させて圧力変動を防ぐことができ、気体の溶解効率を高く維持することができるものである。 According to the present invention, the excess gas that cannot be dissolved more than the dissolved saturation amount of the gas is discharged from the pressurized dissolution unit 3 so that the ratio of the gas and the liquid in the pressurized dissolution unit 3 changes depending on the residual excess gas. Therefore, the pressure can be prevented from fluctuating and the gas dissolution efficiency can be kept high.

また請求項３の発明は、請求項１又は２において、減圧部４は、一つの流路で形成されていることを特徴とするものである。 The invention of claim 3 is characterized in that, in claim 1 or 2, the decompression section 4 is formed by a single flow path.

この発明によれば、複数の流路を設けて減圧部４を形成する場合のような、装置構成が複雑になることがないものである。 According to the present invention, the apparatus configuration does not become complicated as in the case where the pressure reducing unit 4 is formed by providing a plurality of flow paths.

また請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、加圧溶解部３から気体溶解液を送り出す流路６の圧力損失とこの流路６に付加した延長流路８の圧力損失の和が、加圧部１で圧送される液体と気体の押し込み圧によって加圧溶解部３内で液体と気体を加圧するのに必要な圧力となるように、流路６に延長流路８を付加して成ることを特徴とするものある。 According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the pressure loss of the flow path 6 for sending the gas solution from the pressure dissolution section 3 and the pressure loss of the extension flow path 8 added to the flow path 6 Is extended to the flow path 6 so that the pressure required to pressurize the liquid and gas in the pressure dissolution section 3 by the pressure of the liquid and gas pumped by the pressure section 1 is obtained. Is characterized by being added.

この発明によれば、流路６に延長流路８を付加することによって、絞り弁を用いる必要なく、加圧部１からの押し込み圧で加圧溶解部３内の圧力を確保することができ、この圧力で液体に気体を溶解させることができるものである。 According to the present invention, by adding the extension flow path 8 to the flow path 6, it is possible to secure the pressure in the pressurizing and dissolving section 3 with the pushing pressure from the pressurizing section 1 without using a throttle valve. The gas can be dissolved in the liquid at this pressure.

また請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれかにおいて、気体注入部２に余剰気体排出部５を連結部１０で連結して成ることを特徴とするものである。 According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the excess gas discharge portion 5 is connected to the gas injection portion 2 by a connecting portion 10.

この発明によれば、加圧溶解部３で液体に溶解しない余剰気体を気体注入部２で再度液体に混合することができ、余剰気体を大気に放出して捨てる必要がなくなるものである。 According to the present invention, the surplus gas that does not dissolve in the liquid in the pressure dissolving section 3 can be mixed with the liquid again in the gas injection section 2, and it is not necessary to discharge the surplus gas to the atmosphere and throw it away.

また請求項６の発明は、加圧部１を、気体注入部２に水を圧送する水道配管１１で形成して成ることを特徴とするものである。 The invention of claim 6 is characterized in that the pressurizing section 1 is formed by a water pipe 11 for pumping water to the gas injection section 2.

この発明によれば、所定の圧力で水道水が供給される水道配管１１を利用して気体注入部２に水を圧送することができ、気体注入部２に水を圧送するための動力が不要になるものである。 According to the present invention, water can be pumped to the gas injection unit 2 using the water pipe 11 to which tap water is supplied at a predetermined pressure, and no power is required to pump water to the gas injection unit 2. It will be.

また請求項７の発明は、請求項１乃至６のいずれかにおいて、加圧溶解部３から気体溶解液を送り出す流路６に、気体溶解液中の気体を微細気泡として発生させるための微細気泡抽出流路９を設けて成ることを特徴とするものである。 Further, the invention of claim 7 is the fine bubble for generating the gas in the gas solution as a fine bubble in the flow path 6 for sending the gas solution from the pressure dissolution part 3 in any one of claims 1 to 6. An extraction flow path 9 is provided.

この発明によれば、気体溶解液を洗浄に利用することができると共に微細気泡を発生させて利用することができるものである。 According to the present invention, the gas solution can be used for cleaning and can be used by generating fine bubbles.

本発明の請求項８に係る洗浄方法は、液体を圧送し、圧送された液体に気体を注入し、気体を注入された液体が圧送されることによる加圧で液体に気体を溶解し、気体が溶解された液体を複数の圧力調整弁７が設けられた流路６に乱流状態で送りながらその圧力を前記圧力調整弁７で段階的に順次大気圧まで減圧することにより、気泡の発生のない気体溶解液を連続的に生成し、生成した気体溶解液を被洗浄物２７に吐出することを特徴とするものである。 In the cleaning method according to claim 8 of the present invention, a liquid is pumped, a gas is injected into the pumped liquid, the gas is dissolved in the liquid by pressurization by the pumped liquid, and the gas Generation of bubbles by gradually reducing the pressure to the atmospheric pressure stepwise by the pressure adjusting valve 7 while sending the liquid in which the lysate is dissolved in the turbulent flow state to the flow path 6 provided with the plurality of pressure adjusting valves 7 This is characterized in that a gas solution without a gas is continuously generated, and the generated gas solution is discharged to an object 27 to be cleaned.

この発明によれば、液体に気体を加圧溶解させると共に、液中に気泡を発生させず高濃度に気体が溶解した気体溶解液を、洗浄液として被洗浄物に吐出することによって、被洗浄物の表面において気体溶解液から溶解気体が析出するキャビテーションで、汚れ物質を被洗浄物から剥離して除去することができるものであり、洗浄液を高圧で被洗浄物に噴射するような必要なく、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。また気体を溶解した気体溶解液を大気圧まで減圧した後に吐出するため、吐出の際に気体溶解液に気泡が発生することを防止して、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。そして気体溶解液の圧力を流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧するものであるため、細い流路などで減圧する必要なく比較的太い流路などで減圧することができるものであり、異物等が混入しても詰まるようなことなく気体溶解液の減圧を行なうことができるものである。さらにこのような減圧を行うことによって、送られる気体溶解液のレイノルズ数が臨界レイノルズ数（Ｒｅ＝２３２０）より大きなレイノルズ数である乱流状態でも対応することが可能になるものである。 According to the present invention, the object to be cleaned is dissolved by pressurizing and dissolving the gas in the liquid and discharging the gas dissolved liquid in which the gas is dissolved at a high concentration without generating bubbles in the liquid as the cleaning liquid. The cavitation in which the dissolved gas is deposited from the gas solution on the surface of the surface can remove the dirt substance from the object to be cleaned and eliminates the need to spray the cleaning liquid onto the object to be cleaned at a high pressure. Cleaning can be performed with a cleaning effect. In addition, since the gas dissolved solution in which the gas is dissolved is discharged after reducing the pressure to atmospheric pressure, it is possible to prevent bubbles from being generated in the gas dissolved solution and perform cleaning with a high cleaning effect. . And since the pressure of the gas solution is gradually reduced from the inflow side to the outflow side to the atmospheric pressure, it is possible to reduce the pressure in a relatively thick channel without the need to reduce the pressure in the narrow channel. In addition, the gas solution can be decompressed without clogging even if foreign matter or the like is mixed. Furthermore, by performing such pressure reduction, it is possible to cope with a turbulent flow state in which the Reynolds number of the gas solution to be sent is larger than the critical Reynolds number (Re = 2320).

本発明によれば、高濃度に気体が溶解した気体溶解液を洗浄液として用いて高い洗浄効果で洗浄を行なうことができ、洗浄液を高圧で被洗浄物に噴射するような必要がないものであり、洗浄の対象物が限定されるようなことがなくなると共に、ランニングコストが安価になるものである。また吐出の際に気体溶解液に気泡が発生することを防止して、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。さらに減圧部４は気体溶解液の圧力を流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧するものであるため、細い流路などで形成する必要なく比較的太い流路などで形成することができるものであり、異物が混入しても詰まるようなことなく気体溶解液の減圧を行なうことができるものである。 According to the present invention, it is possible to perform cleaning with a high cleaning effect using a gas solution in which a gas is dissolved at a high concentration as a cleaning liquid, and it is not necessary to spray the cleaning liquid onto an object to be cleaned at a high pressure. The object to be cleaned is not limited, and the running cost is reduced. Further, bubbles can be prevented from being generated in the gas solution at the time of discharge, and cleaning can be performed with a high cleaning effect. Furthermore, since the pressure reducing unit 4 is for reducing the pressure of the gas solution sequentially from the inflow side to the outflow side to the atmospheric pressure, it can be formed with a relatively thick channel without the need to form with a narrow channel. The gas solution can be decompressed without clogging even if foreign matter is mixed.

本発明の実施の形態の一例を示すものであり、（ａ）は洗浄装置の概略図、（ｂ）は洗浄の状態を示す概略図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS An example of embodiment of this invention is shown, (a) is the schematic of a washing | cleaning apparatus, (b) is the schematic which shows the state of washing | cleaning. 洗浄の試験結果を示すグラフである。It is a graph which shows the test result of washing | cleaning. 本発明の実施の形態の一例を示す一部の概略図である。It is a partial schematic diagram showing an example of an embodiment of the present invention. 本発明の他の実施の形態の一例を示す一部の概略図である。It is a partial schematic diagram showing an example of another embodiment of the present invention. 参考例の一例を示すものであり、（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ一部の概略図である。An example of a reference example is shown, and (a), (b), and (c) are partial schematic diagrams, respectively. 参考例の他の一例を示す一部の概略図である。It is a partial schematic diagram showing another example of a reference example. 本発明の他の実施の形態の一例を示す一部の概略図である。It is a partial schematic diagram showing an example of another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施の形態の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態の一例を示す一部の概略図である。It is a partial schematic diagram showing an example of another embodiment of the present invention. 本発明を説明する参考例の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the reference example explaining this invention. 本発明の他の実施の形態の一例を示すものであり、（ａ）は概略図、（ｂ）は微細気泡発生ノズルの斜視図である。It shows an example of another embodiment of the present invention, (a) is a schematic diagram, (b) is a perspective view of a fine bubble generating nozzle. ０．５ＭＰａの圧力で空気を水に溶解させる場合の、水温と溶存酸素濃度（ＤＯ）との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between water temperature and dissolved oxygen concentration (DO) in the case of dissolving air in water at a pressure of 0.5 MPa.

以下、本発明を実施するための形態を説明する。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described.

図１（ａ）は本発明の実施の形態の一例を示すものであり、加圧溶解部３の流出側と流入側にそれぞれ配管で形成される流路１５，６が接続してある。流入側の流路１５は一端を加圧溶解部３に、他端を水などの液体１６を貯留する液体槽１７に接続してあり、この流路１５の途中に加圧部１が設けてある。加圧部１は、例えば、液体槽１７から液体１６を吸い上げて加圧溶解部３に圧送するポンプ１８などで形成されるものである。 FIG. 1A shows an example of an embodiment of the present invention, in which flow paths 15 and 6 formed by piping are respectively connected to the outflow side and the inflow side of the pressure dissolution unit 3. One end of the flow path 15 on the inflow side is connected to the pressure dissolution unit 3, and the other end is connected to a liquid tank 17 that stores a liquid 16 such as water, and the pressure unit 1 is provided in the middle of the flow path 15. is there. The pressurizing unit 1 is formed by, for example, a pump 18 that sucks the liquid 16 from the liquid tank 17 and feeds it to the pressurizing and dissolving unit 3.

またこの流入側の流路１５に気体注入部２が接続してある。気体注入部２は気体を流路１５に供給して注入するためのものであり、例えば気体として空気を供給する場合には、一端を大気中に開放させた管体の他端を流路１５に接続して気体注入部２を形成するようにしてある。あるいは気体として酸素ガス、窒素ガス、水素ガス、炭酸ガス、アルゴンガス、オゾン等を供給する場合には、これらの気体を封入したボンベなどを流路１５に接続して気体注入部２を形成するようにしてある。流路１５への気体注入部２の接続位置は、加圧溶解部３より上流側の位置であればよく、図１のように加圧部１より上流側の流路１５に接続するようにしても、あるいは加圧部１より下流側の流路１５に接続するようにしてもいずれでもよい。 Further, the gas injection part 2 is connected to the flow path 15 on the inflow side. The gas injection part 2 is for supplying and injecting gas into the flow path 15. For example, when supplying air as a gas, the other end of the tube whose one end is opened to the atmosphere is connected to the flow path 15. The gas injection part 2 is formed in connection with Alternatively, when oxygen gas, nitrogen gas, hydrogen gas, carbon dioxide gas, argon gas, ozone or the like is supplied as a gas, a cylinder filled with these gases is connected to the flow path 15 to form the gas injection part 2. It is like that. The connection position of the gas injection part 2 to the flow path 15 may be a position upstream of the pressure dissolving part 3 and is connected to the flow path 15 upstream of the pressure part 1 as shown in FIG. Alternatively, it may be either connected to the flow path 15 on the downstream side of the pressurizing unit 1.

一方、流出側の流路６は一端を加圧溶解部３に接続し、他端には吐出部１２が設けてある。またこの流路６には減圧部４が設けてある。さらに加圧溶解部３には余剰気体排出部５が設けてある。余剰気体排出部５は、例えば、一端を大気に開放した管体を、加圧溶解部３内の気圧が所定の圧力以上になると開口するガス抜き弁などを介して加圧溶解部３に接続することによって、形成してある。 On the other hand, one end of the flow path 6 on the outflow side is connected to the pressure dissolution unit 3, and a discharge unit 12 is provided at the other end. The flow path 6 is provided with a decompression section 4. Further, the excess pressure gas discharge unit 5 is provided in the pressure dissolution unit 3. For example, the surplus gas discharge unit 5 connects a tubular body having one end opened to the atmosphere via a degassing valve or the like that opens when the pressure in the pressure dissolution unit 3 exceeds a predetermined pressure. It is formed by doing.

上記のように形成される洗浄装置にあって、ポンプ１８で形成される加圧部１を作動させ、液体槽１７から液体を吸い上げ、流路１５を通して加圧溶解部３へ液体を圧送して供給する。このように流路１５内を液体が流れる際に、気体注入部２から気体が流路１５内に吸引されて液体に気体が注入される。そしてこのように気体が注入された液体を加圧部１で加圧溶解部３へ圧送して送り込むことによって、この圧送による押し込み力で加圧溶解部３内において液体と気体に圧力が加わって高圧になる。このように加圧溶解部３内で液体と気体を加圧することによって、液体に気体を効率高く飽和量以上に溶解させることができ、液体に気体が高濃度で溶解した気体溶解液を得ることができるものである。図１２は本発明の洗浄装置を用いて、０．５ＭＰａの圧力で空気を水に溶解させる場合の、水温と溶存酸素濃度（ＤＯ）との関係を示すグラフである。このグラフにみられるように、水温２７℃の水に空気を混合して加圧溶解部３内で０．５ＭＰａの圧力を加圧すると、溶存酸素濃度３５ｍｇ／Ｌの高濃度酸素溶解水を造ることができるものである。 In the cleaning apparatus formed as described above, the pressurizing unit 1 formed by the pump 18 is operated, the liquid is sucked from the liquid tank 17, and the liquid is pumped to the pressurizing and dissolving unit 3 through the flow path 15. Supply. As described above, when the liquid flows in the flow channel 15, the gas is sucked into the flow channel 15 from the gas injection unit 2, and the gas is injected into the liquid. Then, the liquid into which the gas has been injected in this manner is sent by being sent to the pressurizing / dissolving unit 3 by the pressurizing unit 1, and pressure is applied to the liquid and the gas in the pressurizing / dissolving unit 3 by the pushing force by the pumping. Become high pressure. Thus, by pressurizing the liquid and the gas in the pressurizing / dissolving unit 3, the gas can be efficiently dissolved in the liquid to a saturation amount or more, and a gas-dissolved solution in which the gas is dissolved at a high concentration in the liquid is obtained. It is something that can be done. FIG. 12 is a graph showing the relationship between water temperature and dissolved oxygen concentration (DO) when air is dissolved in water at a pressure of 0.5 MPa using the cleaning apparatus of the present invention. As can be seen from this graph, when air is mixed with water having a water temperature of 27 ° C. and a pressure of 0.5 MPa is applied in the pressurizing / dissolving unit 3, high-concentration oxygen-dissolved water having a dissolved oxygen concentration of 35 mg / L is produced. It is something that can be done.

また、上記のように加圧溶解部３内において液体と気体を加圧して強制的に効率良く溶解させ、高濃度で気体が溶解した気体溶解液を短時間で生成することができるため、加圧溶解部３内で生成された気体溶解液を流路６を通して送り出しながら、加圧溶解部３内で液体に気体を溶解させるようにすることができるものである。従って、加圧溶解部３をタンクのような容積の大きなもので形成する必要がなくなるものであり、装置規模を小さくして装置のコストを低減することが可能になるものである。 Further, as described above, the liquid and the gas are pressurized in the pressure dissolution unit 3 to forcibly dissolve efficiently, and a gas solution in which the gas is dissolved at a high concentration can be generated in a short time. The gas can be dissolved in the liquid in the pressure dissolving section 3 while the gas dissolving liquid generated in the pressure dissolving section 3 is sent out through the flow path 6. Therefore, it is not necessary to form the pressure dissolving part 3 with a large volume such as a tank, and the apparatus scale can be reduced and the cost of the apparatus can be reduced.

ここで、気体の全量が液体に溶解しないと、加圧溶解部３内で液体に溶解しない余剰気体が生じるが、加圧溶解部３に余剰気体排出部５を設け、気体の溶解飽和量以上の溶解できない余剰気体を加圧溶解部３から排出することによって、加圧溶解部３内の気体と液体の比率を安定させて圧力変動を防ぐことができ、気体の溶解効率を高く維持することができるものである。 Here, if the total amount of gas does not dissolve in the liquid, surplus gas that does not dissolve in the liquid is generated in the pressurized dissolution unit 3. By discharging excess gas that cannot be dissolved from the pressure dissolution unit 3, the ratio of gas and liquid in the pressure dissolution unit 3 can be stabilized to prevent pressure fluctuations, and the gas dissolution efficiency can be maintained high. Is something that can be done.

そして、上記のように加圧溶解部３で生成された気体溶解液は、流路６を通して送り出されるが、加圧溶解部３内で気体溶解液は高圧に加圧された状態にあるので、そのまま大気圧下にある外部に排出されると、急激な圧力低下によって、気体溶解液中に気泡が発生するおそれがあり、気体溶解量が減少し、またキャビテーションが発生することがある。このために本発明では、流路６に減圧部４を設け、加圧溶解部３内で加圧された状態の気体溶解液を流路６を通して送り出す際に、乱流状態で送りながら減圧部４で大気圧まで気泡を発生させることなく減圧をした後に吐出するようにしてある。すなわち、加圧溶解部３内で加圧された状態の気体溶解液を流路６を通して吐出する際に、減圧部４で大気圧まで気泡を発生させることなく減圧をした後に、吐出部１２から吐出するようにしてある。 And although the gas solution produced | generated in the pressurization melt | dissolution part 3 as mentioned above is sent out through the flow path 6, since the gas solution is in the state pressurized by the high pressure in the pressurization melt | dissolution part 3, When discharged to the outside under atmospheric pressure as it is, there is a risk that bubbles will be generated in the gas solution due to a rapid pressure drop, and the amount of dissolved gas may be reduced and cavitation may occur. For this reason, in the present invention, the pressure reducing part 4 is provided in the flow path 6, and the pressure reducing part is sent while being sent in a turbulent state when the gas solution pressurized in the pressure dissolving part 3 is sent out through the flow path 6. In step 4, the pressure is reduced to atmospheric pressure without generating bubbles, and then discharged. That is, when the gas solution in a state pressurized in the pressure dissolving unit 3 is discharged through the flow path 6, the pressure reducing unit 4 reduces the pressure to atmospheric pressure without generating bubbles, and then discharges from the discharging unit 12. It is made to discharge.

ここで、加圧溶解部３内で生成されるのと同じ濃度の気体溶解液について、加圧溶解部３内で加圧されている圧力と同じ圧力から大気圧まで減圧する際に、気泡が発生しない減圧度を、予め計算や測定で求めておき、減圧部４をこの予め求めた減圧度で、気体溶解液が流入側する側から流出側に向かって、気体溶解液の圧力を段階的に、あるいは連続的に、順次大気圧まで減圧できるように設定してある。従って、加圧溶解部３内で加圧された気体溶解液を乱流状態で送りながら減圧部４において気泡が発生しない減圧度で徐々に大気圧まで減圧した後に吐出することによって、気体溶解液に気泡が発生することなく吐出部１２から気体溶解液を吐出することができるものであり、加圧溶解部３で飽和量以上に気体が溶解された気体溶解液を、安定した高濃度の状態のまま吐出部１２から洗浄液として吐出して利用することが可能になるものである。 Here, when the gas solution having the same concentration as that generated in the pressure dissolution unit 3 is depressurized from the same pressure as that pressurized in the pressure dissolution unit 3 to the atmospheric pressure, bubbles are generated. The degree of decompression that does not occur is obtained in advance by calculation or measurement, and the pressure of the gas solution is stepwise from the inflow side to the outflow side by the decompression unit 4 at the predetermined degree of decompression. Alternatively, continuously or continuously, the pressure can be reduced to atmospheric pressure. Accordingly, the gas dissolved liquid that has been pressurized in the pressure dissolving section 3 is sent in a turbulent state while being gradually depressurized to the atmospheric pressure at a depressurization degree that does not generate bubbles in the pressure reducing section 4, and then discharged. The gas dissolved solution can be discharged from the discharge unit 12 without generating bubbles, and the gas dissolved solution in which the gas is dissolved to a saturation amount or more in the pressure dissolving unit 3 is in a stable high concentration state. As it is, it can be discharged from the discharge part 12 as a cleaning liquid and used.

そしてこのように高濃度に気体が溶解した気体溶解液２６を被洗浄物２７の表面に吐出すると、被洗浄物２７に付着する汚れ２８の微細な凹凸表面で図１（ｂ）に示すように、気体溶解液２６に溶解している気体が数μｍの微細気泡２９として析出するキャビテーションが発生し、このキャビテーションによる微細気泡２９が汚れ２８の物質を吸着して、微細気泡２９の流れとともに汚れ２８が被洗浄物２７の表面から剥がされるものであり、高い洗浄効果で洗浄を行なうことができるものである。特に、数μｍの微細気泡２９で汚れを吸着して除去するため、微小な汚れ２８をも容易に除去することが可能になるものである。 When the gas solution 26 in which the gas is dissolved in such a high concentration is discharged onto the surface of the object 27 to be cleaned, as shown in FIG. Then, cavitation occurs in which the gas dissolved in the gas solution 26 is precipitated as fine bubbles 29 of several μm. The fine bubbles 29 due to the cavitation adsorb the substance of the dirt 28, and the dirt 28 together with the flow of the fine bubbles 29. Is peeled off from the surface of the object to be cleaned 27 and can be cleaned with a high cleaning effect. In particular, since the dirt is adsorbed and removed by the fine bubbles 29 of several μm, the minute dirt 28 can be easily removed.

このように本発明の洗浄装置による洗浄は、高濃度に気体が溶解した気体溶解液２６によるキャビテーションの作用で行なわれるものであり、高圧で洗浄液を噴射して洗浄を行なうような必要はない。従って被洗浄物２７を傷付けるようなおそれなく洗浄を行なうことができるものであり、洗浄の対象物が限定されるようなことがないものである。また液体に気体を溶解させる際の圧力は０．５ＭＰａ程度でよく、高圧で洗浄液を噴射させる必要もないので、動力費が安くて済み、ランニングコストを安価にすることができるものである。 As described above, the cleaning by the cleaning apparatus of the present invention is performed by the cavitation action of the gas solution 26 in which the gas is dissolved at a high concentration, and it is not necessary to perform the cleaning by jetting the cleaning liquid at a high pressure. Accordingly, the object to be cleaned 27 can be cleaned without fear of damaging it, and the object to be cleaned is not limited. Further, the pressure for dissolving the gas in the liquid may be about 0.5 MPa, and it is not necessary to inject the cleaning liquid at a high pressure, so that the power cost can be reduced and the running cost can be reduced.

ここで、本発明の洗浄装置による洗浄の試験結果を図２に示す。試験は、被洗浄物としてアクリル板を用い、アクリル板の表面にアカデミアナッツオイルによって油汚れを付着させ、通常の水を吐出させた場合と、水に酸素を溶解させた気体溶解液を吐出させた場合とで行なった（水温はいずれも２５℃、吐出水量は同じ）。そして図２は汚れの除去率と洗浄時間との関係を示すものであり、６０秒の洗浄時間で、通常の水では汚れの除去率は約６０％であるのに対して、水に酸素を溶解させた気体溶解液では約９０％である。このように水に酸素を溶解させた気体溶解液を用いることによって、汚れの除去率が５０％向上することが確認される。尚、高い洗浄効果を得るうえで、水に溶解させる気体としては、このような酸素の他に、空気、窒素ガス、炭酸ガス、アルゴンガスなどが好ましい。 Here, the test result of the cleaning by the cleaning device of the present invention is shown in FIG. In the test, an acrylic plate was used as the object to be cleaned, oil stains were attached to the surface of the acrylic plate with academia nut oil, and normal water was discharged, and a gas solution in which oxygen was dissolved was discharged. (The water temperature is 25 ° C. and the discharge water amount is the same). FIG. 2 shows the relationship between the removal rate of dirt and the cleaning time. With a cleaning time of 60 seconds, the removal rate of dirt is about 60% with normal water, whereas oxygen is added to the water. The dissolved gas solution is about 90%. Thus, it is confirmed that the removal rate of dirt is improved by 50% by using a gas solution in which oxygen is dissolved in water. In addition, in order to obtain a high cleaning effect, air, nitrogen gas, carbon dioxide gas, argon gas and the like are preferable as the gas dissolved in water in addition to such oxygen.

図３は、減圧部４の具体的な実施の形態の一例を示すものであり、加圧溶解部３に接続される流路６に、液体の流れ方向に沿って複数の圧力調整弁７（７ａ，７ｂ，７ｃ）を設けることによって、減圧部４を形成するようにしてある。このように減圧部４を複数の圧力調整弁７を備えて形成することによって、気泡が発生しない減圧度で気体溶解液の圧力を段階的に徐々に下げることができるものである。 FIG. 3 shows an example of a specific embodiment of the decompression unit 4. A plurality of pressure regulating valves 7 (along the flow direction of the liquid are provided in the flow path 6 connected to the pressurizing and dissolving unit 3. 7a, 7b, 7c) is provided to form the decompression section 4. Thus, by forming the decompression unit 4 with the plurality of pressure regulating valves 7, the pressure of the gas solution can be gradually reduced step by step with a degree of decompression that does not generate bubbles.

各圧力調整弁７ａ，７ｂ，７ｃは、気体溶解液に気泡発生が生じない減圧度で減圧するように設定されているものであり、この減圧度は予め計算や測定で求めた数値に設定されるものである。例えば、加圧溶解部３から流路６に送り出された気体溶解液の加圧圧力が０．５ＭＰａであるとき、気泡が発生しない減圧量が０．１２ＭＰａであると測定によって判明しているとすると、圧力調整弁７ａで気体溶解液の圧力を０．１２ＭＰａ減圧して、０．３８ＭＰａに落とす。また気体溶解液の加圧圧力が０．３８ＭＰａであるとき、気泡が発生しない減圧量が０．１６ＭＰａであると測定によって判明しているとすると、次の圧力調整弁７ｂで気体溶解液の圧力を０．１６ＭＰａ減圧して、０．２２ＭＰａに落とす。さらに気体溶解液の加圧圧力が０．２２ＭＰａであるとき、気泡が発生しない減圧量が０．２２ＭＰａ以上であると測定によって判明しているとすると、次の圧力調整弁７ｃで気体溶解液の圧力を０．２２ＭＰａ減圧して、加圧圧力を０ＭＰａに落とし、大気圧まで減圧することができるものであり、このように大気圧まで減圧した状態で気体溶解液を吐出させるものである。尚、圧力調整弁７による減圧量は、液体の種類、温度、気体の種類、溶解濃度、加圧溶解部３内の圧力、流路６の径などに応じて変動するものであり、装置毎に、計算や測定をして、適宜設定されるものである。 Each pressure regulating valve 7a, 7b, 7c is set to depressurize at a degree of decompression that does not generate bubbles in the gas solution, and this degree of decompression is set to a numerical value obtained in advance by calculation or measurement. Is. For example, when the pressurization pressure of the gas solution sent from the pressurization and dissolution section 3 to the flow path 6 is 0.5 MPa, it is found by measurement that the amount of reduced pressure at which no bubbles are generated is 0.12 MPa. Then, the pressure of the gas solution is reduced by 0.12 MPa by the pressure adjusting valve 7a and dropped to 0.38 MPa. Further, when the pressure of the gas solution is 0.38 MPa, if it is found by measurement that the amount of reduced pressure at which bubbles are not generated is 0.16 MPa, the pressure of the gas solution is determined by the next pressure regulating valve 7b. Is reduced to 0.12 MPa and reduced to 0.22 MPa. Furthermore, when the pressure of the gas solution is 0.22 MPa, if it is found by measurement that the amount of reduced pressure at which bubbles are not generated is 0.22 MPa or more, the next pressure regulating valve 7c The pressure can be reduced to 0.22 MPa, the applied pressure can be reduced to 0 MPa, and the pressure can be reduced to atmospheric pressure. Thus, the gas solution is discharged in a state where the pressure is reduced to atmospheric pressure. Note that the amount of pressure reduction by the pressure regulating valve 7 varies depending on the type of liquid, temperature, type of gas, dissolution concentration, pressure in the pressure dissolution unit 3, the diameter of the flow path 6, and the like. In addition, it is set as appropriate by performing calculations and measurements.

ここで、上記の図１や図３の実施の形態では、加圧溶解部３をタンクほどの大きな容積は必要ではないにしても一定の容積を有する容器で形成したが、加圧部１から所定の水圧で液体が供給されるので、加圧部１から液体を流路６に送り込むことによる押し込み圧で、流路６内を加圧することができるものであり、流路６自体で加圧溶解部３を形成するようにすることもできる。図４は、加圧部１に接続される流路６で加圧溶解部３を形成するようにした実施の形態を示すものであり、流路６のうち、流路６に接続した気体注入部２と、流路６に設けた圧力調整弁７からなる減圧部４との間の部分が、加圧溶解部３となるものである。流路６で形成される加圧溶解部３には、必要に応じて余剰気体排出部５を設ければよい。従ってこのものでは、容器などを用いて加圧溶解部３を形成する必要がなくなるので、装置を小型化することができると共に装置の製造コストを低減することができるものである。 Here, in the embodiment of FIG. 1 and FIG. 3 described above, the pressurizing / dissolving unit 3 is formed of a container having a certain volume even though a volume as large as a tank is not necessary. Since the liquid is supplied at a predetermined water pressure, the inside of the flow path 6 can be pressurized by the pushing pressure generated by sending the liquid from the pressurizing unit 1 into the flow path 6, and the pressure is applied by the flow path 6 itself. The melting part 3 can also be formed. FIG. 4 shows an embodiment in which the pressurization / dissolution unit 3 is formed by the flow channel 6 connected to the pressurization unit 1. Of the flow channels 6, the gas injection connected to the flow channel 6 is shown. A portion between the portion 2 and the pressure reducing portion 4 including the pressure regulating valve 7 provided in the flow path 6 is the pressure dissolving portion 3. What is necessary is just to provide the surplus gas discharge part 5 in the pressurization melt | dissolution part 3 formed with the flow path 6 as needed. Accordingly, in this case, since it is not necessary to form the pressure dissolving part 3 using a container or the like, the apparatus can be reduced in size and the manufacturing cost of the apparatus can be reduced.

図５は、減圧部４の参考例の一例を示すものであり、加圧溶解部３に接続される流路６を流路断面積が異なる複数の管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃを備えて形成し、この流路断面積の異なる複数の管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃで減圧部４が形成されるようにしてある。 FIG. 5 shows an example of a reference example of the decompression unit 4, and the flow channel 6 connected to the pressure dissolution unit 3 is provided with a plurality of tubes 20a, 20b, and 20c having different channel cross-sectional areas. In addition, the decompression section 4 is formed by the plurality of pipe bodies 20a, 20b, and 20c having different channel cross-sectional areas.

図５（ａ）の形態では、流路断面積が異なる、つまり内径の異なる複数の管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃを一体に連ねるようにしてあり、気体溶解液の流れの上流側から下流側へと、徐々に管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃの径が小さくなるようにしてある。また図５（ｂ）の形態では、内径の異なる複数の管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃをレジューサ２１を介して接続して連ねるようにしてあり、気体溶解液の流れの上流側から下流側へと、徐々に管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃの径が小さくなるようにしてある。さらに図５（ｃ）の形態では、気体溶解液の流れの上流側から下流側へと連続的に径が小さくなる管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃを一体に連ねるようにしてある。 In the form of FIG. 5 (a), a plurality of tubes 20a, 20b, and 20c having different flow path cross-sectional areas, that is, different inner diameters, are integrally connected, and from the upstream side to the downstream side of the gas solution flow. Then, the diameters of the tubular bodies 20a, 20b, and 20c are gradually reduced. 5B, a plurality of tubes 20a, 20b, and 20c having different inner diameters are connected and connected via a reducer 21, and the gas solution flows from the upstream side to the downstream side. The diameters of the tubular bodies 20a, 20b, and 20c are gradually reduced. Furthermore, in the form of FIG. 5 (c), the tubular bodies 20a, 20b, and 20c whose diameter continuously decreases from the upstream side to the downstream side of the flow of the gas solution are integrally connected.

この図５のものにあって、各管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃの内径はφｄ_１＞φｄ_２＞φｄ_３であるので、各管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃ内の気体溶解液の流速はＶ_１＜Ｖ_２＜Ｖ_３となり、各管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃ内の気体溶解液の圧力はＰ_１＞Ｐ_２＞Ｐ_３となる。従って、加圧溶解部３から送り出される気体溶解液の圧力Ｐ_１を気泡が発生しない減圧度で、図５（ａ）（ｂ）のものでは段階的に減圧して、また図５（ｃ）のものでは連続的に減圧して、Ｐ_３の大気圧まで徐々に下げることができるものである。 In this FIG. 5, since the inner diameters of the tubes 20a, 20b, 20c are φd ₁ > φd ₂ > φd ₃ , the flow rate of the gas solution in the tubes 20a, 20b, 20c is V _1. <V ₂ <V ₃ , and the pressure of the gas solution in each of the tubes 20a, 20b, 20c is P ₁ > P ₂ > P ₃ . Thus, a reduced pressure degree of bubble pressure P ₁ of the gas solution does not occur fed from pressure dissolution unit 3, FIGS. 5 (a) those in is stepwise reduced pressure (b), and FIG. 5 (c) intended are those which can be lowered continuously reduced pressure, gradually to atmospheric pressure P _3.

図６は、減圧部４の参考例の他の一例を示すものであり、加圧溶解部３に接続される流路６を通して気体溶解液を排出する際に、流路６内を気体溶解液が流れる際の圧力損失によって、気体溶解液に気泡が発生しない減圧速度で気体溶解液の圧力を徐々に連続的に低下させ、気体溶解液の圧力を大気圧にまで低下させるようにしてある。従って図６の形態では、加圧溶解部３内での圧力がＰ_１の気体溶解液を、流路６内を通過させる際にＰ_２〜Ｐ_ｎ−１へと、気体溶解液に気泡が発生しない減圧速度で徐々に連続的に圧力を低下させ（Ｐ_１＞Ｐ_２＞Ｐ_ｎ−１）、流路６の終端では気体溶解液の圧力Ｐ_ｎが大気圧にまで低下するように、流路６の流路断面積と管路長Ｌを設定するようにしてあり、このような流路断面積と管路長さＬを有する流路６によって減圧部４が形成されるものである。 FIG. 6 shows another example of the reference example of the decompression unit 4. When the gas solution is discharged through the channel 6 connected to the pressure dissolution unit 3, the gas solution is passed through the channel 6. The pressure of the gas solution is gradually reduced at a reduced pressure rate at which bubbles do not occur in the gas solution due to the pressure loss when the gas flows, and the pressure of the gas solution is reduced to atmospheric pressure. Therefore, in the form of FIG. 6, bubbles are formed in the gas solution from P _{2 to} P _n-1 when passing the gas solution having the pressure P ₁ in the pressure dissolution unit 3 through the flow path 6. The pressure is gradually and continuously reduced at a decompression rate that does not occur (P ₁ > P ₂ > P _n-1 ), and at the end of the flow path 6, the pressure P _n of the gas solution is reduced to atmospheric pressure. The channel cross-sectional area and the pipe length L of the channel 6 are set, and the decompression unit 4 is formed by the channel 6 having such a channel cross-sectional area and the pipe length L. .

この管路長さＬは、次の式から設定することができる。すなわち、
流体の関係式Ｐ＝λ・（Ｌ／ｄ）・（ｖ^２／２ｇ）
［Ｐは加圧溶解部３内の圧力、λは管摩擦係数、ｄは内径、ｖは流速、ｇは加速度］
から、Ｌ＝（Ｐ・ｄ・２ｇ）／（λ・ｖ^２）を導くことができ、この式から計算して流路６の管路長さＬを求めることができるものである。このように、流路６の管路長さＬを所定長さに形成するだけで減圧部４を形成することができるものであり、洗浄装置の構造をより簡単なものに形成することができるものである。 The pipe length L can be set from the following equation. That is,
Fluid relational expression P = λ · (L / d) · (v ² / 2g)
[P is the pressure in the pressure dissolving section 3, λ is the coefficient of friction of the tube, d is the inner diameter, v is the flow velocity, and g is the acceleration]
From this, L = (P · d · 2g) / (λ · v ² ) can be derived, and the pipe length L of the flow path 6 can be obtained by calculation from this equation. In this way, the decompression section 4 can be formed simply by forming the pipe length L of the flow path 6 to a predetermined length, and the structure of the cleaning device can be made simpler. Is.

上記のように本発明では加圧部１によって液体と気体を加圧溶解部３に圧送し、この際の押し込み圧によって加圧溶解部３内で液体と気体を加圧して気体を溶解させるようにしているが、この押し込み圧を受けて加圧溶解部３内に必要な圧力が発生するようにする必要がある。このように加圧部１からの押し込み圧を受ける圧力を確保するために、加圧溶解部３の流出側の流路６に絞り弁などの絞り部を設けることが考えられるが、このように絞り部を流路６に設けると、加圧溶解部３で生成された気体溶解液を流路６に送り出して排出する際に、絞り部の前後で大きな圧力差が生じ、気体溶解液が急激に減圧されることになり、気体溶解液に気泡が発生するおそれがある。 As described above, in the present invention, the liquid and the gas are pumped to the pressure-dissolving unit 3 by the pressurizing unit 1, and the liquid and the gas are pressurized in the pressurizing-dissolving unit 3 by the pressing pressure at this time to dissolve the gas. However, it is necessary to generate a necessary pressure in the pressurizing / dissolving portion 3 by receiving the pushing pressure. In order to secure the pressure that receives the indentation pressure from the pressurizing unit 1 as described above, it is conceivable to provide a throttle unit such as a throttle valve in the flow path 6 on the outflow side of the pressurizing and dissolving unit 3. When the throttle part is provided in the flow path 6, when the gas solution generated in the pressure dissolving part 3 is sent out to the flow path 6 and discharged, a large pressure difference occurs before and after the throttle part, and the gas solution rapidly There is a risk that bubbles will be generated in the gas solution.

そこで図７の実施の形態では、流路６の圧力損失を利用して、流路６に絞り部を設ける必要なく、押し込み圧を受ける圧力を確保するようにしている。このとき、上記各実施形態の流路６の長さでは、流路６の圧力損失で押し込み圧を受ける圧力を確保することは難しいので、流路６の加圧溶解部３と反対側の端部に延長流路８を付加するようにしてある。すなわち、流路６の減圧部４も含めた全体の圧力損失を算出し、加圧部１からの押し込み圧によって加圧溶解部３内で液体と気体を加圧するのに必要な圧力と、この流路６の圧力損失との差を算出し、さらにこの差の圧力損失が生じる管路の長さを上記の式から算出して、この管路長さの延長流路８を流路６に付加するようにしてある。このように、流路６の圧力損失と延長流路８の圧力損失の和が、加圧部１で圧送される液体と気体の押し込み圧によって加圧溶解部３内で液体と気体を加圧するのに必要な圧力となるように、流路６に延長流路８を付加することによって、絞り弁などの絞り部を用いる必要なく、加圧部１からの押し込み圧で加圧溶解部３内の加圧力を確保して、液体に気体を溶解させることができるものである。本実施例では、気体注入部２を加圧部１の前段に配置しているが、加圧部１の後段に配置してもよい。 Therefore, in the embodiment of FIG. 7, the pressure loss of the flow path 6 is used to secure the pressure to receive the indentation pressure without the need to provide the throttle portion in the flow path 6. At this time, with the length of the flow path 6 of each of the above embodiments, it is difficult to secure the pressure that receives the indentation pressure due to the pressure loss of the flow path 6. An extension channel 8 is added to the part. That is, the total pressure loss including the decompression unit 4 of the flow path 6 is calculated, and the pressure required to pressurize the liquid and gas in the pressurizing and dissolving unit 3 by the indentation pressure from the pressurizing unit 1, The difference from the pressure loss of the flow path 6 is calculated, and the length of the pipe line in which the pressure loss of this difference occurs is calculated from the above formula, and the extended flow path 8 of this pipe length is changed to the flow path 6. They are added. As described above, the sum of the pressure loss of the flow path 6 and the pressure loss of the extension flow path 8 pressurizes the liquid and gas in the pressurizing / dissolving unit 3 by the pressure of the liquid and gas pumped by the pressurizing unit 1. By adding the extension flow path 8 to the flow path 6 so that the pressure required for the pressure is reached, it is not necessary to use a throttling portion such as a throttling valve. Thus, it is possible to dissolve the gas in the liquid. In the present embodiment, the gas injection unit 2 is disposed in the front stage of the pressurizing unit 1, but may be disposed in the rear stage of the pressurizing unit 1.

図８は本発明の他の実施の形態を示すものであり、加圧溶解部３の余剰気体排出部５を気体注入部２に連結部１０で連結するようにしてある。このように余剰気体排出部５を気体注入部２に接続することによって、加圧溶解部３で液体に溶解しなかった余剰気体を気体注入部２に返送して、再度液体に溶解させるようにすることができるものである。従って、加圧溶解部３で液体に溶解しなかった気体を捨てることなく有効利用することができるものであり、またオゾンなどの有害気体が外部に排出されて環境が汚染されることを防ぐことができるものである。 FIG. 8 shows another embodiment of the present invention, in which the surplus gas discharge part 5 of the pressure dissolving part 3 is connected to the gas injection part 2 by a connecting part 10. By connecting the surplus gas discharge part 5 to the gas injection part 2 in this way, the surplus gas that has not been dissolved in the liquid by the pressure dissolving part 3 is returned to the gas injection part 2 and is again dissolved in the liquid. Is something that can be done. Therefore, the gas that has not been dissolved in the liquid in the pressure dissolving part 3 can be effectively used without being discarded, and the environment is prevented from being polluted by harmful gases such as ozone being discharged to the outside. It is something that can be done.

ここで、上記の各実施の形態では、加圧部１をポンプ１８で形成するようにしたが、加圧部１を所定の水圧で水が供給される水道配管１１で形成することもできる。図９は加圧部１を水道配管１１で形成するようにした実施の形態を示すものであり、加圧溶解部３の流入側の流路１５に水道配管１１の蛇口などが接続してある。水道配管１１は加圧溶解部３に直接接続するようにしてもよい。水道配管１１は所定の水圧で水を供給するので、水を加圧溶解部３に供給する際の押し込み圧で加圧溶解部３内を加圧することができ、加圧溶解部３内で液体と気体を加圧して気体を溶解させることができるものである。従ってこのものでは、ポンプ１８などの動力が不要になり、装置を小型化することができると共に装置の製造コストを低減することができるものである。また気体注入部２からの気体の注入は、コンプレッサーを用いた強制注入による他、水道水が流れる際のエゼクタ効果による吸引で気体を注入させるようにしてもよい。このようにエゼクタによる自吸作用で気体を注入する場合には、動力が一切不要になって、電気配線なども不要になるものである。 Here, in each said embodiment, although the pressurization part 1 was formed with the pump 18, the pressurization part 1 can also be formed with the water pipe 11 to which water is supplied with a predetermined water pressure. FIG. 9 shows an embodiment in which the pressurizing part 1 is formed by a water pipe 11, and a faucet or the like of the water pipe 11 is connected to the flow path 15 on the inflow side of the pressure dissolving part 3. . The water pipe 11 may be directly connected to the pressure dissolution unit 3. Since the water supply pipe 11 supplies water at a predetermined water pressure, the inside of the pressurizing / dissolving unit 3 can be pressurized with a pushing pressure when water is supplied to the pressurizing / dissolving unit 3. And gas can be pressurized to dissolve the gas. Therefore, in this case, the power of the pump 18 or the like is not necessary, and the apparatus can be reduced in size and the manufacturing cost of the apparatus can be reduced. In addition, gas injection from the gas injection unit 2 may be performed by suction by the ejector effect when tap water flows, in addition to forced injection using a compressor. In this way, when the gas is injected by the self-priming action of the ejector, no power is required and no electrical wiring is required.

図１０は本発明の洗浄装置を説明する具体的な参考例の一例を示すものであり、液体槽１７から供給される水は流路１５に導入口３０から導入される。流路１５には空気が導入される気体注入部２が接続してあり、空気が注入された水はポンプで形成される加圧部１によって、小容量のタンクで形成される加圧溶解部３に圧送される。このように空気が注入された水が加圧溶解部３に圧送されることによって、加圧溶解部３内で水に空気が溶解された気体溶解液が生成される。そしてこの気体溶解液は加圧溶解部３から流路６に送り出され、流路６の先端の開口の吐出部１２から吐出される。この流路６には減圧部４が設けてあり、加圧溶解部３から送り出された気体溶解液は大気圧まで減圧された後に吐出部１２から吐出され、気泡が発生しない状態で気体溶解液を洗浄液として吐出することができる。図１０の形態では、減圧部４は、図５（ａ）の内径が異なる管体２０ａ，２０ｂ，２０ｃを連ねたもので形成してある。なお、本発明においては、この減圧部４を、加圧溶解部３から気体溶解液を送り出す流路６に設けられた複数の圧力調整弁７にて構成するものである。 FIG. 10 shows an example of a specific reference example for explaining the cleaning apparatus of the present invention. Water supplied from the liquid tank 17 is introduced into the flow path 15 from the inlet 30. A gas injection unit 2 into which air is introduced is connected to the flow path 15, and the water into which the air has been injected is pressurized by a pressurizing unit 1 formed by a pump and a pressurized dissolving unit formed by a small-capacity tank. 3 is pumped. The water in which air is injected in this manner is pumped to the pressure dissolution unit 3, thereby generating a gas solution in which air is dissolved in water in the pressure dissolution unit 3. The gas solution is sent out from the pressure dissolution unit 3 to the flow path 6 and discharged from the discharge part 12 at the opening at the tip of the flow path 6. The flow path 6 is provided with a pressure reducing unit 4, and the gas dissolved liquid sent out from the pressure dissolving unit 3 is discharged from the discharge unit 12 after being depressurized to atmospheric pressure, and in a state where no bubbles are generated. Can be discharged as a cleaning liquid. In the form of FIG. 10, the decompression unit 4 is formed by connecting the tubular bodies 20a, 20b, and 20c having different inner diameters as shown in FIG. In the present invention, the decompression section 4 is constituted by a plurality of pressure regulating valves 7 provided in the flow path 6 for sending the gas solution from the pressure dissolution section 3.

この洗浄装置にあって、ポンプで形成される加圧部１を連続運転することによって、気体注入部２、加圧溶解部３を連続的に運転させて、減圧部４に気体溶解液を連続的に供給するようにすることができるものであり、吐出部１２から気泡の発生のない気体溶解液を洗浄液として連続的に吐出させることができるものである。 In this cleaning apparatus, by continuously operating the pressurizing unit 1 formed by the pump, the gas injection unit 2 and the pressure dissolving unit 3 are continuously operated, and the gas dissolving solution is continuously supplied to the decompression unit 4. The gas solution without generation of bubbles can be continuously discharged as a cleaning liquid from the discharge unit 12.

また、減圧部４は加圧溶解部３から気体溶解液を送り出す流路６の一部として設けられており、そしてこの減圧部４は気体溶解液の圧力を流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧するものであるため、減圧部４を例えば内径２〜５０ｍｍ程度の比較的大きい流路として形成することができるものであり、異物が混入しても減圧部４内が詰まるようなことがないものである。さらにこのような構成の減圧部４を設けることによって、減圧部４を流れる気体溶解液のレイノルズ数が臨界レイノルズ数（Ｒｅ＝２３２０）より大きなレイノルズ数である乱流状態でも対応することが可能になるものである。 The decompression unit 4 is provided as a part of the flow path 6 for sending the gas solution from the pressure dissolution unit 3, and the decompression unit 4 sequentially increases the pressure of the gas solution from the inflow side to the outflow side. Since the pressure is reduced to atmospheric pressure, the pressure reducing portion 4 can be formed as a relatively large flow path having an inner diameter of about 2 to 50 mm, for example, and the inside of the pressure reducing portion 4 is clogged even if foreign matter is mixed in. There is nothing. Furthermore, by providing the decompression unit 4 having such a configuration, it is possible to cope with a turbulent flow state in which the Reynolds number of the gas solution flowing through the decompression unit 4 is larger than the critical Reynolds number (Re = 2320). It will be.

さらに、減圧部４をこのように内径の大きな流路として形成することによって、気体溶解液の供給量を多くすることができ、減圧部４を一つの流路のみで形成することが可能になるものであり、装置構成を簡単なものに形成することができるものである。 Furthermore, by forming the decompression unit 4 as a channel having a large inner diameter in this way, it is possible to increase the supply amount of the gas solution, and it is possible to form the decompression unit 4 with only one channel. Therefore, it is possible to form a simple apparatus configuration.

図１１は本発明の他の実施の形態の一例を示すものであり、加圧溶解部３の流出側に接続される流路６に分岐接続して、微細気泡抽出流路９が設けてある。図１１（ａ）に示すように微細気泡抽出流路９は加圧溶解部３と減圧部４との間の箇所において、あるいは減圧部４より下流側の箇所において、流路６に分岐接続されるものである。また微細気泡抽出流路９の先端には図１１（ｂ）に示すような微細気泡発生ノズル２３が設けてあり、この微細気泡発生ノズル２３は吐出口に多数の微細穴２４を設けて形成してある。図１１（ａ）の実施の形態では、洗浄水槽３１の底部にポンプ１８で形成される加圧部１が流路１５によって接続してあり、微細気泡発生ノズル２３は洗浄水槽３１の底部内に接続してある。図１１（ａ）において３２は、洗浄水槽３１の液面付近に設けられた排出口である。 FIG. 11 shows an example of another embodiment of the present invention, in which a fine bubble extraction flow path 9 is provided by branch connection to a flow path 6 connected to the outflow side of the pressure dissolution unit 3. . As shown in FIG. 11 (a), the fine bubble extraction channel 9 is branched and connected to the channel 6 at a location between the pressure dissolution unit 3 and the decompression unit 4 or at a location downstream of the decompression unit 4. Is. Further, a fine bubble generating nozzle 23 as shown in FIG. 11B is provided at the tip of the fine bubble extraction channel 9, and this fine bubble generating nozzle 23 is formed by providing a number of fine holes 24 at the discharge port. It is. In the embodiment of FIG. 11A, the pressurizing unit 1 formed by the pump 18 is connected to the bottom of the washing water tank 31 by the flow path 15, and the fine bubble generating nozzle 23 is in the bottom of the washing water tank 31. Connected. In FIG. 11A, 32 is a discharge port provided near the liquid surface of the washing water tank 31.

このものにあって、加圧溶解部３で生成された気体溶解液のうち一部を、流路６を通して吐出部１２から吐出させて、被洗浄物２７の洗浄に使用することができる。このように洗浄に使用された気体溶解液の液体１６は、洗浄で除去された汚れ物質と共に洗浄水槽３１に回収されるようになっている。また加圧溶解部３で生成された気体溶解液の他の一部は、流路６から微細気泡抽出流路９を通して微細気泡発生ノズル２３に供給され、微細気泡発生ノズル２３の微細穴２４から洗浄水槽３１の下部内に吐出させるようになっている。そしてこのように気体溶解液が微細気泡発生ノズル２３の微細穴２４から吐出されると、微細気泡が洗浄水槽３１内で発生し、洗浄水槽３１内の液体１６中に混入している汚れ物質はこの微細気泡によって捕集されると共に液面に浮上し、汚れ物質を排出口３２から排出することができるものである。このように、洗浄水槽３１に回収された液体１６から汚れ物質を分離して除去した状態で、この液体１６をポンプ１８で汲み上げて再利用することができるものであり、汚れ物質と共に排出される分のみを補給するだけで、液体１６を何度も洗浄に利用することができるものである。従って、一台の装置で生成される気体溶解液を、洗浄に利用することができると共に液体１６からの汚れ物質の分離にも利用することができるものである。 In this case, a part of the gas solution generated in the pressure dissolution unit 3 can be discharged from the discharge unit 12 through the flow path 6 and used for cleaning the object 27 to be cleaned. Thus, the liquid 16 of the gas solution used for the cleaning is collected in the cleaning water tank 31 together with the dirt substance removed by the cleaning. Further, another part of the gas solution generated in the pressure dissolution unit 3 is supplied from the flow path 6 to the fine bubble generation nozzle 23 through the fine bubble extraction flow path 9, and from the fine hole 24 of the fine bubble generation nozzle 23. It is made to discharge in the lower part of the washing water tank 31. When the gas solution is discharged from the fine hole 24 of the fine bubble generating nozzle 23 in this way, fine bubbles are generated in the washing water tank 31, and the contaminants mixed in the liquid 16 in the washing water tank 31 are The fine bubbles are collected and floated on the liquid surface, and the dirt substance can be discharged from the discharge port 32. In this way, the liquid 16 can be pumped up by the pump 18 and reused in a state where the dirt substance is separated and removed from the liquid 16 collected in the washing water tank 31, and is discharged together with the dirt substance. The liquid 16 can be used for washing many times only by replenishing the minute amount. Therefore, the gas solution generated by one apparatus can be used for cleaning and can also be used for separation of dirt substances from the liquid 16.

上記のように形成される本発明の洗浄装置は、酸素やオゾンなどの気体を高濃度で溶解した気体溶解液を洗浄液として用いるものであり、製造・産業分野、農林水産分野、家庭用分野など各種の分野において使用することができるものである。 The cleaning apparatus of the present invention formed as described above uses a gas solution obtained by dissolving a gas such as oxygen or ozone at a high concentration as a cleaning liquid, such as a manufacturing / industrial field, an agricultural / forestry / fishery field, or a household field. It can be used in various fields.

例えば、製造・産業分野では、ビル等建物の外壁やガラスの洗浄、半導体の精密洗浄、加工部品の洗浄、ガソリンスタンド等での車の洗浄、業務用食器洗浄器としての使用、ペットショップでのペットの洗浄、エステティック産業での美容器具としての使用、介護用風呂での身体洗浄、食品の洗浄などに使用することができる。 For example, in the manufacturing / industrial field, cleaning of exterior walls and glass of buildings, etc., precision cleaning of semiconductors, cleaning of processed parts, cleaning of cars at gas stations, etc., use as commercial dishwashers, at pet shops It can be used for pet washing, use as a beauty tool in the esthetic industry, body washing in a nursing bath, food washing, etc.

農林水産分野では、野菜や魚介類の洗浄に使用することができ、オゾンを高濃度に溶解した気体溶解液を用いることによって、野菜や魚介類の殺菌に使用することができる。 In the field of agriculture, forestry and fisheries, it can be used for washing vegetables and seafood, and can be used for sterilization of vegetables and seafood by using a gas solution in which ozone is dissolved at a high concentration.

家庭用分野では、洗濯機、食器洗浄器、美顔器などの家庭用エステティック器具、電気整髪器などのスタイラー、頭皮洗浄器、口腔内洗浄器、かみそりの刃洗浄、風呂洗浄、トイレ洗浄、キッチン洗浄、流し台洗浄、洗米用の水として使用、身体の汚れ落とし用の水としての使用などがある。 In the field of household use, washing machines, dishwashers, facial aesthetic appliances such as home aesthetic instruments, electric hairstylers and other stylers, scalp washers, oral cleaners, razor blade cleaners, bath cleaners, toilet cleaners, kitchens There are washing, sink washing, water for washing rice, water for removing body dirt, etc.

１加圧部
２気体注入部
３加圧溶解部
４減圧部
５余剰気体排出部
６流路
７圧力調整弁
８延長流路
１０連結部
１１水道配管
１２吐出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pressurization part 2 Gas injection part 3 Pressurization melt | dissolution part 4 Depressurization part 5 Excess gas discharge part 6 Flow path 7 Pressure regulating valve 8 Extension flow path 10 Connection part 11 Water supply pipe 12 Discharge part

Claims

A pressurizing unit for pumping liquid, a gas injecting unit for injecting gas into the liquid, and a pressurizing / dissolving unit for dissolving the gas in the liquid by pressurization when the liquid injected with the gas is pumped by the pressurizing unit The pressure of the gas dissolving solution obtained by dissolving the gas in the pressure dissolving unit is reduced to the atmospheric pressure sequentially from the inflow side to the outflow side of the gas dissolving solution, and the gas dissolving solution depressurized by the decompression unit. A plurality of pressure regulating valves that are provided in a flow path for sending the gas solution from the pressure dissolution unit and gradually reduce the pressure of the gas solution to atmospheric pressure. Constituting, continuously operating each part of the pressurization part, gas injection part, pressurization dissolution part, continuously supplying the gas solution to the decompression part in a turbulent state, and there is no generation of bubbles from the discharge part Cleaning using a gas solution characterized by continuously discharging the gas solution Apparatus.

The cleaning apparatus according to claim 1, further comprising a surplus gas discharge unit that discharges surplus gas that does not dissolve in the liquid in the pressure dissolution unit.

The cleaning device according to claim 1, wherein the decompression unit is formed by a single flow path.

The sum of the pressure loss of the flow path for sending the gas solution from the pressure dissolution section and the pressure loss of the extension flow path added to this flow path is the pressure and pressure in the pressure dissolution section. The cleaning apparatus according to claim 1, wherein an extension flow path is added to the flow path so as to obtain a pressure necessary to pressurize the liquid and the gas.

The cleaning apparatus according to claim 1, wherein an excess gas discharge unit is connected to the gas injection unit by a connection unit.

The cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the pressurizing unit is formed by a water pipe that pumps water to the gas injection unit.

7. A fine bubble extraction flow path for generating gas in the gas dissolved liquid as fine bubbles is provided in the flow path for sending the gas dissolved solution from the pressure dissolving section. The cleaning apparatus according to Item 1.

Liquid is pumped, gas is injected into the pumped liquid, gas is dissolved in the liquid by pressurization by pumping the liquid into which the gas has been pumped, and a plurality of pressure regulating valves are used for the liquid in which the gas has been dissolved. By continuously reducing the pressure to the atmospheric pressure stepwise with the pressure regulating valve while sending it in a turbulent state to the provided flow path, a gas solution without generation of bubbles is continuously generated, and the generated gas A cleaning method comprising discharging a solution to an object to be cleaned.