JP4693396B2 - Die head manufacturing and assembly method - Google Patents
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Description
本発明は、カラーフィルタ製造工程、有機EL素子製造工程、燃料電池製造工程、フォトマスク製造工程、包装材製造工程などにおいて、ウェブや板材などの被塗工物に対して塗工液を塗布するために用いるダイヘッドの製作、組み付け方法に関する。 The present invention applies a coating liquid to an object to be coated such as a web or a plate in a color filter manufacturing process, an organic EL element manufacturing process, a fuel cell manufacturing process, a photomask manufacturing process, a packaging material manufacturing process, and the like. manufacturing operation of the die head to be used for, regarding the assembling process.
従来より、図4(a)に示すように、バックアップロール1に支持されて走行中のウェブ(被塗工物)2にダイヘッド3を対向、配置し、該ダイヘッド3から塗工液を膜状に吐出して塗布する塗工装置、図4(b)に示すように、定盤4上に載置された板材又はシート(被塗工物)5にダイヘッド3を対向、配置し、そのダイヘッド3から塗工液を膜状に吐出しながらダイヘッド3を定盤4上の板材又はシート5に対して相対的に移動させ、塗布する塗工装置等が知られている。この種の塗工装置に用いるダイヘッド3は、図5、図6に示すように、第一ダイブロック7と第二ダイブロック8を備えており、その第一ダイブロック7と第二ダイブロック8にはそれぞれ、スリットギャップ9を形成するためのギャップ壁面7a、8aと、互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面7b、8bが形成され、更に一方のダイブロック8にはマニホールド10が形成されている。この二つのダイブロック7、8は、その合わせ面7b、8bを互いに合わせて組み合わせ、長手方向(本明細書では、矢印X−X方向で示す吐出幅方向を長手方向という)に間隔をあけた複数箇所に配置したボルト11によって両者を締結して一体化され、ギャップ壁面7a、8aの間に塗工液を吐出するためのスリットギャップ9が形成される構成となっている。
Conventionally, as shown in FIG. 4 (a), a
この構造のダイヘッド3では、ダイブロック7、8の剛性を高くしてたわみが生じないようにするために、ダイブロック7、8を厚くしており、且つ各ダイブロック7、8のギャップ壁面7a、8a及び合わせ面7b、8bを高精度で平坦な面となるように、すなわち、真直度及び平面度を精密に加工し、ダイブロック7、8を、合わせ面7b、8bを合わせて組み付けることにより、ギャップ壁面7a、8a間に形成されるスリットギャップ9のギャップ寸法dが所定の値となり且つダイヘッドの長手方向に一定となるようにしていた。また、ここで用いるボルト11の仕様は、ボルトの適正トルクによってボルト11を締結することで、ダイブロック7、8の合わせ面7b、8b間に、液漏れを生じることのない、必要な面圧を確保できるように定められており、ダイヘッドの組み付けに当たっては、ボルト11を、そのボルトの適正トルクで締結しており、適正トルクを用いることでボルト締結の再現性を得ていた。
In the die
しかしながら、従来のダイヘッドは、このように厚いダイブロック7、8を用いるため、重量がきわめて大きく、このため、一般的にダイ幅が600mm以上の場合は重いダイヘッドをハンドリフターまたはクレーンなどで運ばなければならず、ダイヘッド取付時及び洗浄時等における作業性がきわめて悪いという欠点があった。
However, since the conventional die head uses such
そこで、本発明者らは、図8に示すように、ダイヘッドを計量化するため、厚さを薄くしたダイブロック7A、8Aを用いて、これを複数のボルト11で、そのボルトの適正トルクを用いて締結した。ところが、ダイブロック7A、8Aを薄くとすると、剛性が低下するため、ボルト11の締結力によってダイブロック7A、8Aにたわみが生じ、特にダイブロック7A、8Aの先端の両端領域でのたわみ量が大きくなり、その結果、図8にスリットギャップ先端を誇張して示すように、ボルトを締結する前には図8(a)に示すようにスリットギャップ9のギャップ寸法dが長手方向に一定であったものが、ボルト締結後は図8(b)に示すように、スリットギャップ9はギャップ寸法dが中央領域に比べて両端領域で大きくなったプロファイルとなり、ダイヘッド長手方向にたわみ量の分布が生じることが判明した。なお、図中、中央のギャップ寸法が最も小さい領域を基準とし、長手方向の任意の位置におけるたわみ量の差をΔdで示している。スリットギャップ9がこのように両端領域で広がったプロファイルとなることは、塗布精度に影響するため、極力避けなければならない。この現象を防ぐには、ダイブロック7A、8Aに生じるたわみを防止すればよく、そのためには、主としてダイヘッド両端領域におけるボルト11の締付けトルクを下げればよいが、ボルト11の締付けトルクを下げると、合わせ面7b、8b間の面圧が低下して液漏れが生じる恐れが生じ、しかも、そのボルトの適正トルクよりも低いトルクでのボルト締結となってしまう。ボルトの締結再現性は、図9に示すように、適正トルクでの締結時に高く、適正トルクから高、低いずれの側に離れても締結再現性は低下する。このため、適正トルクよりも低いトルクでのボルト締結とした場合、締結再現性が低くなり、ダイヘッドを洗浄等のために分解し、再組み立てしたときのスリットギャップが、再組み立て毎に異なったプロファイルになりやすく、膜厚ばらつきの再現性が低くなるという欠点を生じる。
Therefore, as shown in FIG. 8, the present inventors use die
ボルトの締付けトルクの調整によってスリットギャップを調整する構造のダイヘッドとは別に、ダイ吐出側のスリットギャップの開口部をエアーシリンダにて調整する構成としたダイヘッドが特開2000−334359号公報に提案されている。しかしながら、このダイヘッドでは、スリットギャップを形成している部分に弾性ひずみを発生させてギャップ寸法を調整しているが、ひずみを発生させた場合にはダイ洗浄後等の毎回の組み立て時に塗布精度に再現性が得られない。また、ダイ先端部での液滴保持状態により面質不良が発生する場合があり、先端部のみの部分的な修正では塗布速度を向上させるとか、塗布膜厚分布の精度を上げるなどの塗布条件の向上は図りにくいといった問題もある。特開2003−24857号公報には、くさびにてダイ吐出側のスリットギャップの開口部を調整する方法が提案されている。しかし、この方法も上記と同様にダイ先端部での液滴保持状態のばらつきにより面質不良を発生させる場合がある。また、開口部を開く、閉じる等操作を行なうためにくさびを用いた場合、材料の弾性変形域を用いるが、弾性ひずみが発生した場合には操作範囲の限定、及び内部スリット精度を再研磨等により修正する必要があるといった問題がある。
本発明は係る問題点に鑑みてなされたもので、第一ダイブロックと第二ダイブロックとを組み付けるボルトを、両者の合わせ面に所望の面圧を確保しうる締付けトルクで且つそのボルトの適正トルクで締め付けることにより、スリットギャップのギャップ寸法をダイヘッド長手方向に高精度(例えば、0.1μm以内の精度)で一定とすることを可能とするダイヘッドの製作、組み付け方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of such problems, and a bolt for assembling the first die block and the second die block has a tightening torque capable of securing a desired surface pressure on the mating surface of the two and the appropriateness of the bolt. by tightening torque, high accuracy gap dimension of the slit gap die head longitudinal direction (e.g., accurate to within 0.1 [mu] m) manufactured of holder Iheddo it is possible to place a constant, to provide an assembly method Let it be an issue.
上記課題を解決すべくなされた本願請求項1に係る発明は、それぞれがスリットギャップを形成するためのギャップ壁面と互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面を備え、その合わせ面を互いに合わせて組み合わせた時に前記ギャップ壁面の間に塗工液を吐出するためのスリットギャップが形成される構成の第一ダイブロック及び第二ダイブロックと、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、前記合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔をあけた複数箇所で互いに締結する複数のボルトを備えたダイヘッドを製作、組み付けする方法を提供するもので、前記第一ダイブロックと第二ダイブロックとを前記合わせ面を互いに合わせ、前記ボルトに、該ボルトの適正トルクを加えて締結した際に前記ギャップ壁面の先端に生じるたわみ量の、ダイヘッド長手方向の分布をあらかじめ構造解析して求める工程と、前記第一ダイブロックと第二ダイブロックのギャップ壁面を、構造解析結果から導き出されたたわみ量の分布に基づいて、そのたわみが生じた時にギャップ寸法が長手方向に一定となる形状に精密加工する工程と、その後、その第一ダイブロックと第二ダイブロックを前記ボルトに、該ボルトの適正トルクを加えて締結する工程を有することを特徴とする。 The invention according to claim 1 of the present invention, which has been made to solve the above problems, comprises a gap wall surface for forming a slit gap and a mating surface for assembling each other, and the mating surfaces are combined with each other. The first die block and the second die block having a configuration in which a slit gap for discharging a coating liquid is formed between the gap wall surfaces, and the first die block and the second die block are positioned on the mating surface. And a method of manufacturing and assembling a die head having a plurality of bolts that are fastened to each other at a plurality of positions spaced apart in the longitudinal direction. The first die block and the second die block are combined with the mating surface. When the bolts are aligned and tightened with the appropriate torque applied to the bolts, The amount of the die head in the longitudinal direction by structural analysis and the gap wall surface between the first die block and the second die block based on the deflection amount distribution derived from the structural analysis result. Precision machining into a shape in which the gap dimension is constant in the longitudinal direction when the occurrence of the problem, and then fastening the first die block and the second die block to the bolt by applying an appropriate torque of the bolt. It is characterized by having.
本発明のダイヘッドの製作、組み付け方法では、あらかじめ、第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、ボルトに適正トルクを加えて締結した時に生じるたわみ量の分布を構造解析によって求め、第一ダイブロック及び第二ダイブロックのギャップ壁面をそのたわみ量分布を考慮した形状に精密加工する構成としたことにより、その第一ダイブロック及び第二ダイブロックをボルトに適正トルクを加えて締結することで、両者の間に形成されるスリットギャップのギャップ寸法をダイヘッドの長手方向に均一とすることができ、本発明方法によって製作、組み付けされたダイヘッドを用いることで膜厚ばらつきを極めて小さくできる。また、ボルトは、そのボルトの適正トルクで締結しているため、締結再現性に優れており、ダイヘッドを洗浄等のために分解し、再組み付けした場合にも、ギャップ寸法の再現性がよく、ギャップをダイヘッドの長手方向に均一とすることができる。更に、第一及び第二ダイブロックを締結した際にたわみが生じてもギャップ寸法をダイブロック長手方向に均一とできるので、第一及び第二ダイブロックを薄くすることができ、ダイヘッドの軽量化を図り、取り扱い性を向上させることができる。 In the method of manufacturing and assembling the die head of the present invention, the distribution of the amount of deflection generated when the first die block and the second die block are fastened by applying an appropriate torque to the bolt in advance is determined by structural analysis, and the first die block and By configuring the gap wall surface of the second die block into a shape that takes into account the deflection distribution, both the first die block and the second die block are tightened by applying appropriate torque to the bolts. The gap dimension of the slit gap formed between them can be made uniform in the longitudinal direction of the die head, and the film thickness variation can be extremely reduced by using the die head manufactured and assembled by the method of the present invention . In addition, since the bolt is fastened with the appropriate torque of the bolt, it is excellent in reproducibility of fastening, and when the die head is disassembled for cleaning etc. and reassembled, the reproducibility of the gap dimension is good, The gap can be made uniform in the longitudinal direction of the die head. Furthermore, even if deflection occurs when the first and second die blocks are fastened, the gap dimension can be made uniform in the longitudinal direction of the die block, so that the first and second die blocks can be made thinner and the die head can be made lighter. To improve handling.
図1は本発明の好適な実施の形態に係る製作、組み付け方法で製作、組み付けされたダイヘッドの概略断面図、図2はダイヘッドの概略分解斜視図である。全体を参照符号13で示すダイヘッドは、第一ダイブロック17と第二ダイブロック18を備えており、その第一ダイブロック17と第二ダイブロック18にはそれぞれ、スリットギャップ19を形成するためのギャップ壁面17a、18aと、互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面17b、18bが形成され、更に一方のダイブロック18にはマニホールド20が形成されている。マニホールド20はコートハンガー型、ストレート型のいずれでもよい。このダイヘッド13は更に、合わせ面17b、18bを突き合わせた状態の第一ダイブロック17及び第二ダイブロック18を、その合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔を開けた複数箇所で互いに締結する複数のボルト21を備えている。ダイブロック17、18の材質としては、ステンレス、シリコロイ、セラミックなど精密加工が施しやすい硬度の高い材質(HRC:30〜60程度)且つヤング率の比較的高いものとする。ダイブロック17、18の厚さは、軽量化を考慮して従来よりも薄くしている。ダイブロック17、18を締結するために用いるボルト21の仕様並びに使用個数は、ボルトの適正トルクで締結した際にダイブロック17、18を必要な面圧で締結できるように定めている。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a die head manufactured and assembled by a manufacturing and assembling method according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of the die head. A die head generally indicated by
第一ダイブロック17及び第二ダイブロック18の合わせ面17b、18bは、高精度で平坦面に加工されている。例えば、合わせ面17b、18bの真直度、平面度は、共に3μm以内とする。一方、スリットギャップ19を形成するためのギャップ壁面17a、18aは高精度に加工するものではあるが、高精度の平坦面ではなく、ボルト21を、そのボルトの適正トルクで締結した際に第一及び第二ダイブロック17、18の先端に生じるたわみ量の分布を考慮して湾曲した形状に精密加工する。この形状は次のようにして定める。すなわち、図3(a)に示すように、第一及び第二ダイブロック17、18のギャップ壁面17a、18aが正確な平坦面であると想定すると、第一及び第二ダイブロック17、18の合わせ面17b、18b(図1参照)を単に突き合わせ、ボルト締結を行なわない状態では、ギャップ壁面17a、18aが平行となってギャップ寸法dが長手方向に均一となる。この第一及び第二ダイブロック17、18をボルト21の適正トルクで締結すると、第一及び第二ダイブロック17、18にはたわみが生じ、図3(b)に示すように、スリットギャップ19は長手方向の中央部で狭く、両端で広くなったプロファイルとなる。そこで、第一及び第二ダイブロック17、18の先端におけるたわみ量の分布、例えば、たわみ量の最も小さい中央位置を基準点とし、長手方向の任意の位置における前記基準点からの長手方向に直角方向の変位Δdを構造解析によってあらかじめ求め、ギャップ壁面17a、18aをこのたわみ量の分布(例えば、Δd)を持った曲面とは逆の曲面となるように、すなわち、図3(c)に示すように、前記した変位Δdとは逆方向に変位した面となるように、精密加工する。従って、第一ダイブロック17及び第二ダイブロック18を、単に合わせ面17b、18bで突き合わせただけとし、ボルト21による締結トルクは加えない状態では、ギャップ壁面17a、18aは図3(c)に示す形状となり、スリットギャップ19は中央部で広く、両端で狭くなったプロファイルとなっている。
The mating surfaces 17b and 18b of the
このような形状に精密加工されたギャップ壁面17a、18aを備えた第一及び第二ダイブロック17、18は、合わせ面17b、18bを突き合わせ、ボルト21に適正トルクを加えて締結され、一体化される。この締結により、第一及び第二ダイブロック17、18の先端には、たわみが生じ、あらかじめギャップ壁面17a、18aに、そのたわみ量を見越して付与している湾曲と相殺することでギャップ壁面17a、18aは直線状となり、ギャップ寸法dはダイヘッド長手方向にきわめて均一となる。
The first and second die blocks 17 and 18 having the gap wall surfaces 17a and 18a precisely machined in such a shape are brought into contact with the mating surfaces 17b and 18b and fastened by applying an appropriate torque to the
かくして、得られたダイヘッド13は、比較的軽量でありながら、ギャップ寸法dをダイヘッド長手方向にきわめて均一とでき、塗布膜厚のばらつきをきわめて小さくして薄膜精密塗工することができると共に、ボルト21の締付けトルクとしてそのボルトの適正トルクを用いることができるため、締結再現性に優れ、分解、再組み立てした際においても、ギャップ寸法dをダイヘッド長手方向にきわめて均一とでき、塗布膜厚のばらつきをきわめて小さくして薄膜精密塗工することができる。
Thus, while the obtained
長さ700mm×高さ60mm×厚さ20mmのステンレス(SUS420−J2)製の第一及び第二ダイブロック17、18を、14本のM8のボルト21(材質SUS316)で締結する構成のT型ダイヘッドを用意した。一方のダイブロック18に形成しているマニホールド20は直径6mmの半円状とした。このダイヘッドを、M8のボルト21の適正トルク195kgf・cmで締結した際のたわみ量の分布を構造解析して求めたところ、スリットギャップ19のギャップ寸法dは、中央部に比べて両端部で3μm広がることが分かった。そこで、第一及び第二ダイブロック17、18のギャップ壁面17a、18aを中央部が両端に比べて1.5μm凹んだ凹面状に精密加工した。その後、このダイブロック17、18を14本のボルト21で、そのボルト21の適正トルクである195kgf・cmで締結し、ギャップ寸法dを測定したところ、長手方向におけるギャップ寸法dのばらつきは、0.1μm以内に入っていた。このダイヘッドを一旦分解し、再組み立てし、その際のボルト締結トルクを適正トルクである195kgf・cmとしたところ、長手方向におけるギャップ寸法dのばらつきは、やはり0.1μm以内に入っていた。かくして、本発明により、ギャップ寸法の長手方向におけるばらつきを0.1μm以内に抑えることができることを確認できた。
T type of structure which fastens first and second die blocks 17, 18 made of stainless steel (SUS420-J2) of length 700mm x height 60mm x thickness 20mm with 14 M8 bolts 21 (material SUS316) A die head was prepared. The manifold 20 formed on one
以上に本発明の好適な実施の形態及び実施例を説明したが、これらは本発明の説明用のものであって、本発明を限定するものではなく、本発明は特許請求の範囲の記載範囲内で種々変更可能であることは言うまでもない。 The preferred embodiments and examples of the present invention have been described above, but these are for the purpose of explaining the present invention and do not limit the present invention. The present invention is not limited to the scope of the claims. It goes without saying that various changes can be made.
13 ダイヘッド
17 第一ダイブロック
18 第二ダイブロック
17a、18a ギャップ壁面
17b、18b 合わせ面
19 スリットギャップ
20 マニホールド
21 ボルト
13
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