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JP4693213B2 - Apparatus and method for adjusting peak level of origin signal in linear scale - Google Patents

Apparatus and method for adjusting peak level of origin signal in linear scale Download PDF

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JP4693213B2
JP4693213B2 JP2000257453A JP2000257453A JP4693213B2 JP 4693213 B2 JP4693213 B2 JP 4693213B2 JP 2000257453 A JP2000257453 A JP 2000257453A JP 2000257453 A JP2000257453 A JP 2000257453A JP 4693213 B2 JP4693213 B2 JP 4693213B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械等の加工時における相対移動量を測定する際に好適な光学式のリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置及び調整方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
工作機械等において、被加工物に対する工具の相対移動量を正確に測定することは、精密加工を行う上で必須の要件とされており、このための測定装置が種々製品化されている。
そのひとつとして、光学格子を2枚重ね合わせることにより得られるモアレ縞を利用した光学式スケールが従来から知られている。この光学式スケールは、図2に示すように透明のガラススケール100の一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子(刻線)を設けたメインスケール101と、透明のガラススケール102の一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子(刻線)を設けたインデックススケール103とを有し、図4(a)に示すように、このメインスケール101にインデックススケール103を微小間隔を持って対向させるとともに、図4(a)に示すように、メインスケール101の格子に対し微小角度傾けられるようにインデックススケール103の格子を配置している。
【0003】
このように配置すると、図5に示すモアレ縞が発生する。このモアレ縞の間隔はWとなり、間隔W毎に暗い部分あるいは明るい部分が発生する。この暗い部分あるいは明るい部分は、メインスケール101に対し、インデックススケール103が相対的に左右に移動する方向に応じて上から下、あるいは下から上に移動し、メインスケール101及びインデックススケール103の格子のピッチをP、相互の傾斜角度をθ[rad]とすると、モアレ縞の間隔Wは、
W=P/θ
と示される。
モアレ縞の間隔Wは、光学的に格子間隔Pを1/θ倍に拡大した間隔とされていることになる。このため、格子が1ピッチP移動すると、モアレ縞はWだけ変位することになり、Wの移動距離を光学的に読み取ることにより、ピッチP内の移動量を精密に測定することができるようになる。
【0004】
そこで、図5に示すようにモアレ縞の変化を光学的に検出する光電変換素子110をインデックススケールに設け、メインスケールの反対側に光源を設けるようにして、メインスケール101に対しインデックススケール103を相対的に移動させながら、この光電変換素子110に流れる電流の変化を読み取る。
すなわち、メインスケール101に対しインデックススケール103がAの状態となっていると、光電変換素子110に照射される光量は最も多くなり、光電変換素子110に流れる電流は最大値I1 となる。次に、相対的に移動してBの状態になると、光電変換素子110に照射される光量はやや減少し、その電流はI2となり、更に、移動してCの状態になると光電変化素子110には最も少ない光量が照射され、その電流も最も小さいI3 となる。そして、更に移動してDの状態になると光電変換素子110に照射される光量はやや増加し、その電流はI2となり、Eの状態になるまで移動すると、再び最も光量の多い位置となり、その電流は最大値I1 となる。
このように、光電変換素子110に流れる電流はスケールの移動に応じて正弦波状に変化するとともに、その変化が1周期経過した時に、格子間隔Pだけメインスケール101とインデックススケール103とが相対的に移動したことになる。
【0005】
このように構成された光学式スケールは、光源105から照射された光はガラス製のメインスケール101を透過し、さらにガラス製のインデックススケール103を透過した後、光電変換素子110によりモアレ縞として受光される。
図5においては、この光電変換素子110を一つだけ示しているが、2つの光電変換素子を互いに90゜の位相差を有するA相の信号とB相の信号とが出力されるように設けると、この2つの信号からスケールの移動方向及び移動距離を測定することができる。
【0006】
ところで、このように構成された光学式スケールは、NC工作機械に取りつけられて被加工物と工具との相対的移動量を測定しているが、一般に数値制御する場合は原点からの移動量としてプログラムされるため、この相対的移動量は原点からの移動量として測定する必要がある。そこで、図4(a)のように通常メインスケールに予め原点位置109(Z)を設け、この原点位置をインデックススケールが通過した時に図4(b)のような原点が検出されるようにする。
【0007】
すなわち、図4(b)に示すように、この原点Zの位置においてもメインスケール101の1ピッチPの間で変化する信号が原点検出信号として検出されるから、この原点検出信号Szの波形のピーク点を、例えば同図(b)に示すように所定のレベルTHでクリップして原点パルス信号Pzを形成すると、この原点パルス信号Pzの立ち上がり点をメインスケールの原点Zとすることができる。
なお、図中の一点鎖線で表される信号は、スケールの相対速度が基準より速い場合を示し、点線は、スケールの移動方向の違いから生ずる原点位置のずれを示している。
【0008】
スケールの組立て時には、原点信号であるZ相の信号を作業者が適正なレべルになるように機械的なボリュームを使用して調整していた。その例を図6に示す。原点信号Szは、ある一定レべルの信号としてしか出力されないため、その信号に対してオフセットをかけるという調整を行っている。前述のレべルTHはコモンレべルともいい、そのレべルでの信号の幅をどの程度必要であるかで、ピークレべルを決定している。
【0009】
図6(a)は、原点調整装置の概要を示すブロック図であって、Z相信号の信号線、光電変換素子自体が有している直流成分DCの信号線、調整された原点信号(Z相信号)の出力線、増幅器11、12、ボリュームVR13及びZ相信号とボリュームVR13との出力を加算する加算器14とから構成されている。
原点調整は、図6(b)に示されているように、Z相の信号線からの信号に光電変換素子の直流成分DCのレべルをオフセット量として加算することで、Z相信号のピークレべルを手動のボリュームによって作業者が調整している。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
この調整は、作業者がオシロスコープ(図示なし)を確認しながら、調整用のボリュームVR13を操作して調整を行っている。この機械的なボリュームを使用して作業者の視覚のみに頼って調整を行う方法は、原点信号が瞬間的にしか表示されないため、細かい操作が難しく、調整レべルも作業者により調整結果が異なる場合も生じ、時間もかかり、工数もかなりとられることになる。さらに、スケールが設置されている環境は、オシロスコープの端子を接続することすら困難な場所である場合もあり、調整用の環境を整えることすら困難な場合もある。
そこで、この調整を自動的に行い、適正な信号レべルを得られるようにすることが求められている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、インデックススケールをメインスケールに予め設けられた原点位置を通過させて原点信号を出力させるステップ、
前記原点信号をアナログ/デジタル変換して、デジタル信号を得るステップ、前記デジタル信号をサンプリングし、ピーク電圧を得るステップ、
前記ピーク電圧と調整用基準値として設定されている基準ピーク電圧と比較して補正量を算出するステップ、
前記補正量を電子式ボリュームを動作させて光電変換素子自体が有している直流電圧を加算器に加算して前記ピーク電圧を補正し、基準ピーク電圧と一致させるステップと、
を有するリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整方法である。
【0012】
請求項2の発明は、メインスケールに対してインデックススケールを相対的に移動させることによってその相対的移動量を光電変換素子により光学的に読み取るリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置であって、
原点信号を出力する前記光電変換素子と、
この光電変換素子自体が有している直流成分の電圧を調整して加算器に与える電子式ボリュームと、
前記電子式ボリュームからの直流成分の電圧を原点信号に加算する加算器と、
前記原点信号のピーク電圧が基準ピーク電圧と一致するように前記電子式ボリュームをコントロールする制御用マイコンと、
を有するリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置である。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の原点信号のピークレべルの調整装置の実施の態様の1例のブロック図を示し、図5に示した従来例と同一機能の部材は同一図番を付している。
【0014】
図1(a)は、本発明のリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置の回路のブロック図であって、Z相信号の信号線、光電変換素子自体が有している直流成分DCの信号線、調整された原点信号(Z相信号)の出力線、増幅器11、12、EVRと表記されている電子式ボリューム15及びZ相信号の電圧値と電子式ボリューム15が出力する電圧値を加算する加算器14、制御用マイコン16、EEPROM17とから構成されている。
【0015】
制御用マイコン16は、増幅器11から出力されるZ相信号をA/D変換して取り込むためのA/D変換用入力端子t1、電子式ボリューム15にコントロール信号を供給するためのコントロール端子t2が設けられている。
EEPROM17は、電子式ボリュームEVR15がデータ保持型であれば必要はないが、データを保持できないタイプの電子式ボリュームの場合は、EEPROM17に制御データを記憶させる。
【0016】
原点信号のピークレべルを調整するための方法を以下に示す。
(a)電子式ボリューム15を調整して、ボリューム位置を中央付近に移動させる。(Z相信号が飽和しないようにしておくため。)
(b)インデックススケールを手動又は自動でゆっくり動かし、メインスケールに予め設けられた原点位置(図4(a)109)を通過させる。その際、光電変換素子110から微弱電流からなるZ相信号(原点信号)が出力されるので、そのZ相信号を制御用マイコン16のA/D変換用入力端子t1より取り込む。制御用マイコン16は、そのA/D変換されたZ相信号をサンプリングし、ピーク電圧(図1(b)にS−PEAKとして示す。)を得る。
【0017】
(c)制御用マイコン16は、得られたピーク電圧S−PEAKと、調整用基準値として設定されている基準ピーク電圧R−PEAKと比較して前記ピーク電圧S−PEAKと基準ピーク電圧R−PEAKとが一致するように、ピーク電圧R−PEAKの補正量を算出する。なお、電子式ボリュームEVR15が保持型でない場合は、調整用基準値は電子式ボリュームEVR15に記憶されている値を用いる。
【0018】
(d)次いで、制御用マイコン16は、基準ピーク電圧R−PEAKと比較して算出された前記ピーク電圧S−PEAKの補正量をコントロール端子t2を介して電子式ボリュームEVR15を動作させて、加算器14に前記補正量を加算するようにコントロールし、ピーク電圧S−PEAKをコモンレべルCOM(基準ピーク電圧R−PEAK)と一致させる。コモンレべルCOMは、前述のように図4(b)で示すレべルTHにおいて必要な信号の幅を得るように、ピークレべルを決定している。
【0019】
(e)調整終了。電子式ボリューム15がデータ保持型でないときは、EEPROM17に調整値を記憶させておく。
【0020】
自動調整は、スケールの組立て時に行うのが一般的であるが、再起動時や一定期間毎に自動的に実行するように設定してもよく、また、手動で任意の時に実行するように設定しても良い。
【0021】
【発明の効果】
本発明は、メインスケールの原点をインデックススケールによって通過させるだけで、自動的にピークレべルを調整することができ、工数低減、調整のバラツキを抑えることができるとともに、スケールの設置環境に左右されずに原点信号のピークレべルの調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学式スケールの原点調整装置を示し、(a)はその回路のブロック図、(b)は原点信号(Z相信号)とその調整信号の波形図。
【図2】光学式スケールの斜視図。
【図3】光学式スケールの断面図。
【図4】原点位置を検出する格子と、その検出波形を示す説明図。
【図5】モアレ縞の移動を示す図。
【図6】従来の光学式スケールの原点調整装置を示し、(a)はその回路のブロック図、(b)は原点信号(Z相信号)とその調整信号の波形図。
【符号の説明】
11、12 増幅器、14 加算器、15 電子式ボリューム、16 制御用マイコン16、17 EEPROM
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus and method for adjusting a peak level of an origin signal in an optical linear scale suitable for measuring a relative movement amount during machining of a machine tool or the like.
[0002]
[Prior art]
In a machine tool or the like, accurately measuring the relative movement of a tool with respect to a workpiece is an indispensable requirement for performing precision machining, and various measuring apparatuses for this purpose have been commercialized.
As one of them, an optical scale using moire fringes obtained by superposing two optical gratings is conventionally known. As shown in FIG. 2, the optical scale includes a main scale 101 provided with a grid (scribing line) on one surface of a transparent glass scale 100 so that translucent portions and non-translucent portions are arranged at a predetermined pitch, and transparent 4 is provided with an index scale 103 provided with a lattice (scribing line) so that a light transmitting portion and a non-light transmitting portion are arranged at a predetermined pitch on one surface of the glass scale 102, as shown in FIG. The index scale 103 is opposed to the main scale 101 with a minute interval, and the grating of the index scale 103 is arranged so as to be inclined at a minute angle with respect to the grating of the main scale 101 as shown in FIG. .
[0003]
When arranged in this manner, moire fringes shown in FIG. 5 are generated. The interval between the moire fringes is W, and a dark portion or a bright portion is generated for each interval W. This dark portion or bright portion moves from top to bottom or from bottom to top in accordance with the direction in which the index scale 103 moves relatively to the left and right relative to the main scale 101. Is P and the mutual inclination angle is θ [rad].
W = P / θ
It is indicated.
The interval W of the moire fringes is an interval obtained by optically expanding the lattice interval P to 1 / θ times. For this reason, when the grating moves by one pitch P, the moire fringes are displaced by W, so that the movement amount in the pitch P can be accurately measured by optically reading the movement distance of W. Become.
[0004]
Therefore, as shown in FIG. 5, a photoelectric conversion element 110 for optically detecting a change in moire fringes is provided on the index scale, and a light source is provided on the opposite side of the main scale, so that the index scale 103 is attached to the main scale 101. The change of the current flowing through the photoelectric conversion element 110 is read while relatively moving.
That is, when the index scale 103 is in a state of A to the main scale 101, the amount of light irradiated to the photoelectric conversion element 110 is largest, the current flowing to the photoelectric conversion element 110 becomes the maximum value I 1. Next, when the light source moves relative to the B state, the amount of light applied to the photoelectric conversion element 110 slightly decreases, and its current becomes I 2 . Is irradiated with the least amount of light, and its current is the smallest I 3 . Further, when the light is further moved to the D state, the amount of light applied to the photoelectric conversion element 110 is slightly increased, and the current becomes I 2 . The current has a maximum value I1.
As described above, the current flowing through the photoelectric conversion element 110 changes in a sine wave shape according to the movement of the scale, and when the change passes for one period, the main scale 101 and the index scale 103 are relatively moved by the lattice interval P. It has moved.
[0005]
In the optical scale configured in this manner, the light emitted from the light source 105 passes through the glass main scale 101 and further passes through the glass index scale 103, and then is received as moire fringes by the photoelectric conversion element 110. Is done.
Although only one photoelectric conversion element 110 is shown in FIG. 5, two photoelectric conversion elements are provided so that an A-phase signal and a B-phase signal having a phase difference of 90 ° are output from each other. The moving direction and moving distance of the scale can be measured from these two signals.
[0006]
By the way, the optical scale configured in this way is mounted on an NC machine tool and measures the relative movement amount of the workpiece and the tool. In general, when the numerical control is performed, the movement amount from the origin is used. Since it is programmed, this relative movement must be measured as the movement from the origin. Therefore, as shown in FIG. 4A, the origin position 109 (Z) is provided in advance in the normal main scale, and the origin as shown in FIG. 4B is detected when the index scale passes through this origin position. .
[0007]
That is, as shown in FIG. 4B, since a signal that changes within one pitch P of the main scale 101 is detected as the origin detection signal even at the position of the origin Z, the waveform of the origin detection signal Sz For example, when the peak point is clipped at a predetermined level TH to form the origin pulse signal Pz as shown in FIG. 5B, the rising point of the origin pulse signal Pz can be set as the origin Z of the main scale.
A signal represented by a one-dot chain line in the figure indicates a case where the relative speed of the scale is faster than the reference, and a dotted line indicates a deviation of the origin position caused by a difference in the moving direction of the scale.
[0008]
At the time of assembling the scale, the Z-phase signal, which is the origin signal, is adjusted using a mechanical volume so that the operator has an appropriate level. An example is shown in FIG. Since the origin signal Sz is output only as a signal at a certain level, adjustment is performed to offset the signal. The above-mentioned level TH is also called a common level, and the peak level is determined depending on how much signal width is required at that level.
[0009]
FIG. 6A is a block diagram showing an outline of the origin adjustment device, which is a Z-phase signal signal line, a DC component DC signal line of the photoelectric conversion element itself, and an adjusted origin signal (Z Phase signal) output line, amplifiers 11 and 12, volume VR13, and adder 14 for adding the outputs of the Z-phase signal and volume VR13.
As shown in FIG. 6B, the origin adjustment is performed by adding the level of the DC component DC of the photoelectric conversion element to the signal from the Z-phase signal line as an offset amount. The peak level is adjusted manually by the operator.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
In this adjustment, the operator operates the adjustment volume VR13 while checking an oscilloscope (not shown). Using this mechanical volume to make adjustments relying solely on the operator's vision, the origin signal is displayed only momentarily, making fine operation difficult and the adjustment level also being adjusted by the operator. There may be different cases, which takes time and takes a lot of man-hours. Furthermore, the environment where the scale is installed may be a place where it is difficult even to connect the terminal of the oscilloscope, and it may be difficult even to prepare an environment for adjustment.
Therefore, it is required to perform this adjustment automatically so as to obtain an appropriate signal level.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The invention of claim 1 is a step of causing the index scale to pass through an origin position provided in advance in the main scale and outputting an origin signal.
Analog / digital conversion of the origin signal to obtain a digital signal; sampling the digital signal to obtain a peak voltage;
Calculating a correction amount by comparing the peak voltage with a reference peak voltage set as an adjustment reference value;
The step of operating the electronic volume to correct the peak voltage by adding a DC voltage of the photoelectric conversion element itself to an adder by operating an electronic volume to match the reference peak voltage;
This is a method for adjusting the peak level of the origin signal in a linear scale having
[0012]
The invention of claim 2 is an apparatus for adjusting the peak level of an origin signal in a linear scale that optically reads the relative movement amount by a photoelectric conversion element by moving the index scale relative to the main scale. And
The photoelectric conversion element that outputs an origin signal;
An electronic volume that adjusts the voltage of the DC component of the photoelectric conversion element itself and gives it to the adder;
An adder for adding the voltage of the DC component from the electronic volume to the origin signal;
A control microcomputer for controlling the electronic volume so that the peak voltage of the origin signal matches the reference peak voltage;
Is a device for adjusting the peak level of the origin signal in a linear scale having
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows a block diagram of an embodiment of an apparatus for adjusting the peak level of an origin signal according to the present invention, and members having the same functions as those of the conventional example shown in FIG. .
[0014]
FIG. 1A is a block diagram of a circuit of an apparatus for adjusting the peak level of an origin signal in a linear scale according to the present invention, in which a Z-phase signal signal line, a DC component DC included in a photoelectric conversion element itself. Signal line, adjusted origin signal (Z-phase signal) output line, amplifiers 11 and 12, electronic volume 15 denoted as EVR, voltage value of Z-phase signal and voltage value output by electronic volume 15 Is constituted by an adder 14, a control microcomputer 16, and an EEPROM 17.
[0015]
The control microcomputer 16 has an A / D conversion input terminal t1 for A / D converting and taking in the Z-phase signal output from the amplifier 11, and a control terminal t2 for supplying a control signal to the electronic volume 15. Is provided.
The EEPROM 17 is not necessary if the electronic volume EVR 15 is a data holding type, but if it is a type of electronic volume that cannot hold data, control data is stored in the EEPROM 17.
[0016]
A method for adjusting the peak level of the origin signal is shown below.
(A) The electronic volume 15 is adjusted to move the volume position to the vicinity of the center. (To prevent the Z-phase signal from being saturated.)
(B) The index scale is slowly moved manually or automatically, and the origin position (FIG. 4 (a) 109) provided in advance on the main scale is passed. At this time, since a Z-phase signal (origin signal) composed of a weak current is output from the photoelectric conversion element 110, the Z-phase signal is fetched from the A / D conversion input terminal t1 of the control microcomputer 16. The control microcomputer 16 samples the A / D converted Z-phase signal to obtain a peak voltage (shown as S-PEAK in FIG. 1B).
[0017]
(C) The control microcomputer 16 compares the obtained peak voltage S-PEAK with the reference peak voltage R-PEAK set as the adjustment reference value, and the peak voltage S-PEAK and the reference peak voltage R- The correction amount of the peak voltage R-PEAK is calculated so that PEAK matches. If the electronic volume EVR15 is not a holding type, the value stored in the electronic volume EVR15 is used as the adjustment reference value.
[0018]
(D) Next, the control microcomputer 16 adds the correction amount of the peak voltage S-PEAK calculated by comparison with the reference peak voltage R-PEAK by operating the electronic volume EVR15 via the control terminal t2. The controller 14 is controlled to add the correction amount, and the peak voltage S-PEAK is made to coincide with the common level COM (reference peak voltage R-PEAK). As described above, the common level COM determines the peak level so as to obtain the necessary signal width at the level TH shown in FIG. 4B.
[0019]
(E) End of adjustment. When the electronic volume 15 is not a data holding type, an adjustment value is stored in the EEPROM 17.
[0020]
Automatic adjustment is generally performed when the scale is assembled, but it may be set to be executed automatically at restart or at regular intervals, or set to be executed manually at any time. You may do it.
[0021]
【The invention's effect】
In the present invention, the peak level can be automatically adjusted simply by passing the origin of the main scale through the index scale, so that man-hours can be reduced, variation in adjustment can be suppressed, and the scale installation environment can be affected. It is possible to adjust the peak level of the origin signal.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows an optical scale origin adjustment device of the present invention, where (a) is a block diagram of its circuit, and (b) is a waveform diagram of an origin signal (Z-phase signal) and its adjustment signal.
FIG. 2 is a perspective view of an optical scale.
FIG. 3 is a cross-sectional view of an optical scale.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a lattice for detecting an origin position and a detected waveform thereof;
FIG. 5 is a diagram showing movement of moire fringes.
6A and 6B show a conventional optical scale origin adjustment device, where FIG. 6A is a block diagram of the circuit, and FIG. 6B is a waveform diagram of an origin signal (Z-phase signal) and its adjustment signal.
[Explanation of symbols]
11, 12 Amplifier, 14 Adder, 15 Electronic volume, 16 Control microcomputer 16, 17 EEPROM

Claims (2)

インデックススケールをメインスケールに予め設けられた原点位置を通過させて原点信号を出力させるステップ、
前記原点信号をアナログ/デジタル変換して、デジタル信号を得るステップ、前記デジタル信号をサンプリングし、ピーク電圧を得るステップ、
前記ピーク電圧と調整用基準値として設定されている基準ピーク電圧と比較して補正量を算出するステップ、
前記補正量を電子式ボリュームを動作させて光電変換素子自体が有している直流電圧を加算器に加算して前記ピーク電圧を補正し、基準ピーク電圧と一致させるステップと、
を有するリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整方法。
A step of outputting an origin signal by passing the index scale through a preset origin position in the main scale;
Analog / digital conversion of the origin signal to obtain a digital signal; sampling the digital signal to obtain a peak voltage;
Calculating a correction amount by comparing the peak voltage with a reference peak voltage set as an adjustment reference value;
The step of operating the electronic volume to correct the peak voltage by adding a DC voltage of the photoelectric conversion element itself to an adder by operating an electronic volume to match the reference peak voltage;
Method for adjusting peak level of origin signal in linear scale having
メインスケールに対してインデックススケールを相対的に移動させることによってその相対的移動量を光電変換素子により光学的に読み取るリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置であって、
原点信号を出力する前記光電変換素子と、
この光電変換素子自体が有している直流成分の電圧を調整して加算器に与える電子式ボリュームと、
前記電子式ボリュームからの直流成分の電圧を原点信号に加算する加算器と、
前記原点信号のピーク電圧が基準ピーク電圧と一致するように前記電子式ボリュームをコントロールする制御用マイコンと、
を有するリニヤスケールにおける原点信号のピークレべルの調整装置。
An apparatus for adjusting a peak level of an origin signal in a linear scale that optically reads the relative movement amount by a photoelectric conversion element by moving an index scale relative to a main scale ,
The photoelectric conversion element that outputs an origin signal;
An electronic volume that adjusts the voltage of the DC component of the photoelectric conversion element itself and gives it to the adder;
An adder for adding the voltage of the DC component from the electronic volume to the origin signal;
A control microcomputer for controlling the electronic volume so that the peak voltage of the origin signal matches the reference peak voltage;
A device for adjusting the peak level of the origin signal in a linear scale having
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