JP4627596B2 - Light reflector inspection device, method of using the same, and light reflector inspection method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ホログラムのような、所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体の品質を検査する光反射体検査装置とその使用方法、光反射体検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図6は、従来の検査装置を示す図である。
ホログラムには、反射型ホログラム、透過型ホログラム等がある。この反射型ホログラムは、光の入射角度と反射角度とを異なる角度にすることができるという特性を備えている。このような特性を利用すると、従来には無かったような意匠性を得ることができ、また、模造が困難であることから、クレジットカードや商品券等の偽造防止手段として、広く普及している。
【0003】
従来、このようなホログラムの検査には、図6に示すような、通常の印刷物や無地シート等を検査する装置50が使用されている。この検査装置50は、検査対象物であるホログラム20の幅方向(図6中、奥行方向)に、互いに並行に設けられた2本の蛍光灯51と、その間の部分の上方に設けられたカメラ52を備え、ホログラム20を蛍光灯51で照らして、上方のカメラ52で撮像する。
この検査装置50を使用すれば、ホログラム20の表面に付着したゴミの有無について検査することができる。しかし、ホログラム像を記録するときに光学系の経路の中にゴミ等があった場合に、そのゴミを像として記録してしまうことにより生じる欠けや傷付き等の欠陥については検査することができなかった。
【0004】
図7は、従来のホログラム検査装置を示す図である。
ホログラムの傷付きや欠け等について検査するためには、図7のようなホログラム検査装置60が使用されている。
ホログラム検査装置60は、光源61と、ハーフミラー62と、カメラ63とを備え、ホログラム20の品質を検査する。
光源61より照射された平行光70は、ハーフミラー62で反射して、ホログラム20に照射される。そして、そのホログラム20で反射する。その際、ホログラム部分に入射した光は、拡散反射し、それ以外の部分に入射した光は、ハーフミラー62に戻る。
そして、この反射光を、カメラ63で撮像すると、コントラストが鮮やかになって、ホログラム部分が非常にくっきりと見え、0.2〜0.3mmといった微小な傷付きや欠け等でも発見しやすい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のハーフミラーを使用するホログラム検査装置60で、大形のホログラムを検査するには、大形のハーフミラーを配置できるだけの空間が必要であり、装置が非常に大きくなる。また、それに対応するためには、光源の出力(明るさ)も大きくしなければならないので、現実的には、100mm×100mm程度の大きさまでのホログラムしか、検査することができない。
ところが、最近は、大形のホログラムの需要が増大してきており、その大量生産が望まれている。特に、そのようなホログラムを大量生産するには、大判の原反を製造した後、打ち抜いて製造することが望ましいが、従来のハーフミラーを使用する方法では、そのような大判の原反を検査できない。
また、従来のホログラム検査装置60では、垂直方向に撮像する欠陥しか検査できない。
【0006】
本発明の課題は、例えば、ホログラムのような光反射体について、その大きさにかかわらず、検査することができる光反射体検査装置とその使用方法、光反射体検査方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
前記課題を解決するために、請求項1の発明は、所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体(20)に対して、前記所定の入射角度で光を照射する光源(11)と、前記光反射体(20)で反射した光を撮像する撮像手段(13)とを備え、前記撮像手段(13)は、複数あって、前記撮像手段のそれぞれの画角(θc)が前記光反射体(20)の反射光を観察することができる角度範囲内(θ2±θ2r)に並べられていることを特徴とする光反射体検査装置である。
【0008】
請求項2の発明は、請求項1に記載の光反射体検査装置において、前記光源(11)を前記光反射体に対して前記所定の入射角度で光を照射可能な位置に案内する光源移動案内手段(12)を備えることを特徴とする光反射体検査装置である。
【0009】
請求項3の発明は、請求項1又は請求項2に記載の光反射体検査装置において、前記撮像手段(13)を前記光反射体の反射光を観察できる前記角度範囲内(θ2±θ2r)の位置に案内する撮像移動案内手段(14)を備えることを特徴とする光反射体検査装置である。
【0010】
請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の光反射体検査装置において、前記撮像手段(13)は、光軸に平行な光を入射する平行光入射部(13a)を有することを特徴とする光反射体検査装置である。
【0012】
請求項5の発明は、所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体(20)に対して、前記所定の入射角度で光を照射する光源(11)と、前記光反射体(20)で反射した光を撮像する撮像手段(13)とを備え、前記撮像手段(13)は、複数あって、前記撮像手段のそれぞれの画角(θc)が前記光反射体(20)の反射光を観察することができる角度範囲内(θ2±θ2r)に並べられ、前記光源(11)を前記光反射体に対して前記所定の入射角度で光を照射可能な位置に案内する光源移動案内手段(12)と、前記撮像手段(13)を前記光反射体の反射光を観察できる前記角度範囲内(θ2±θ2r)の位置に案内する撮像移動案内手段(14)とを備える光反射体検査装置の使用方法であって、前記所定の入射角度で光が入射するように、前記光源(11)を所定の位置に案内する光源移動案内手段(12)で移動させる光源移動工程(#101)と、前記一定の出射角度の反射光を撮像するように、前記撮像手段(13)を所定の位置に案内する撮像移動案内手段(14)で移動させる撮像手段移動工程(#102)と、前記光源移動工程(#101)で移動した前記光源(11)から出射した光を、前記撮像手段移動工程(#102)で移動した前記撮像手段(13)で撮像する撮像工程(#103)とを備えることを特徴とする光反射体検査装置の使用方法である。
【0013】
請求項6の発明は、所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体に対して、その所定の入射角度で光を照射する照射工程と、前記照射工程で照射された光の反射光を、前記光反射体の反射光を観察可能な角度範囲内に並べられた複数の撮像位置から撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された前記光反射体の反射光による反射像を用いて前記光反射体の欠陥を検出する検出工程とを備える光反射体検査方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照して、本発明の実施の形態について、さらに詳しく説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明による光反射体検査装置の第1実施形態を示す図である。
光反射体検査装置10は、光源11と、光源ガイド12と、カメラ13と、カメラガイド14と、検査処理部15とを備える。
検査対象物は、ある角度で入射した光でのみ結像するホログラム原反20であり、その幅は、300〜400mm程度であり、ロール状で供給される。
【0015】
光源11は、ホログラム原反20に対して、搬送方向に対して横方向から光を照射する照射源である。光源11は、ホログラム原反20に平行光を照射する。光源11は、点光源11a及びレンズ11bを有する。レンズ11bは、点光源11aから照射された光を平行光に変換する凸レンズである。
光源11は、円弧状の光源ガイド12上に設けられており、この光源ガイド12に沿って移動可能である。光源ガイド12は、ホログラム原反20の搬送方向に対して垂直に設けられている。光源11は、光源ガイド12上を移動しても、常に、ホログラム原反20の同一領域(光源ガイド12の中心付近)を照射する。なお、この移動は、手動で行っても、自動で行ってもよい。
【0016】
カメラ13は、ホログラム原反20の反射光を撮像する。カメラ13は、テレセントリックレンズ13aを備える。このテレセントリックレンズ13aは、主光線が像焦点を通るように配置したレンズであり、画角を持たず、光軸に平行な光を入射する。このレンズの大きさが、撮像可能な範囲である。
カメラ13は、円弧状のカメラガイド14に設けられている。カメラガイド14は、ホログラム原反20の搬送方向に対して垂直に、また、光源ガイド12と同心上に、設けられている。カメラ13は、カメラガイド14上を移動しても、ホログラム原反20の同一領域(カメラガイド14の中心付近)を撮像する。なお、この移動も、手動で行っても、自動で行ってもよい。
【0017】
検査処理部15は、カメラ13に接続され、そのカメラ13が出力した画像信号を入力して処理する。具体的には、入力された画像の明度が一様であれば、良好であるとして処理し、一様でなければ、不良であるとして処理する。
【0018】
光反射体検査装置10は、以下のように使用する。
(1)使用者は、光源11を光源ガイド12上で移動させて、ホログラムの設計時に決められた照明角になるように位置を調整する(光源移動工程#101)。
(2)また、同様に、カメラ13をカメラガイド14上で移動させて、ホログラム設計時に決められた観察位置になるように位置を調整する(カメラ移動工程#102)。
(3)そして、ホログラムシートを、光源11で照らした状態で搬送しながらカメラ13で撮像して検査する(撮像工程#103)。
【0019】
このように、位置を調整するのは、ホログラムは、ある決まった範囲の角度(θ1±θ1r)で光を照射しないとホログラム像が結像せず、また、そのホログラム像を観察できる角度(θ2±θ2r)についても範囲が限られているからである。
このホログラムに対する照明角度θ1とその許容角度θ1r、および、観察角度θ2とその許容角度θ2rというのは、その特性をどのようなものにするかによって設計時に決められるものである。この照明角度θ1、観察角度θ2の仕様と同じ位置に、照明及びカメラを配置して、画像入力することで、ホログラムの像自体を画像として入力することができ、その画像を利用してホログラム像の欠陥を検出できる。
【0020】
ホログラムは、コスト等の面から、天地方向又は左右方向からの入射光によってのみホログラム像を呈するように設計されることが多い。
本実施形態の検査対象は、横方向からの入射光に対してホログラム像を結像するように設計されているホログラムであり、光源11をホログラム原反の搬送方向に対して、横方向に配置している。
【0021】
本実施形態によれば、大形のホログラム原反20を検査することができる。そのため、このようにして生産されたホログラム原反20を打ち抜くことによって、ホログラムを大量生産することができる。
また、光源11及びカメラ13は、ガイド12、14上を移動可能なので、ホログラムの仕様に応じた最適な画像入力条件を設定できる。
さらに、カメラ13には、光軸に平行な光を入射するテレセントリックレンズ13aを使用するので、カメラ13〜ホログラム原反20の間の距離を調整する必要がない。
【0022】
(第2実施形態)
図2は、本発明による光反射体検査装置の第2実施形態を示す図である。
なお、以下に示す各実施形態では、前述した第1実施形態と同様の機能を果たす部分に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
本実施形態の光源11及びカメラ13は、軸16を中心として、回転可能な光源取付アーム12及びカメラ取付アーム14に取り付けられている。光源11及びカメラ13は、軸16を中心として、位置調整することができる。また、位置を調整しても、ホログラム原反20の同一領域を照射、撮像する。
【0023】
本実施形態によれば、光源11及びカメラ13は、ホログラム原反20の搬送方向に並行して位置を調整することができるので、搬送方向からの入射光に対してホログラム像を結像し、側方からの入射光ではホログラム像を結像しないホログラム原反20の検査を行うことができる。
【0024】
(第3実施形態)
図3は、本発明による光反射体検査装置の第3実施形態を示す図である。
本実施形態の光反射体検査装置10は、2つの光源11と、2台のカメラ13とを備える。
カメラ13は、その画角(撮像範囲)θcが、ホログラム原反20のホログラム像を観察できる角度(θ2±θ2r)を越えてしまわないように並べられている。すなわち、θ2−θ2r < θc < θ2+θ2r の関係にある。このとき、2台のカメラ13で、ホログラム原反20の全範囲を撮像することができるので、ホログラム原反20の全範囲について検査することができる。
【0025】
本実施形態によれば、カメラ13を複数台並べているので、広い範囲を検査でき、また、テレセントリックレンズを使用する必要がなく、コストが安価である。
【0026】
(第4実施形態)
図4は、本発明による光反射体検査装置の第4実施形態を示す図である。
本実施形態のカメラ13は、大径のテレセントリックレンズ13aを備える。
また、光源11は、広範囲を照射可能である。
【0027】
本実施形態によれば、カメラ13を1台だけ使用して、広範囲の検査を行うことができる。
【0028】
(変形形態)
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、第1実施形態のようなテレセントリックレンズ13aを使用するカメラ13を、複数台使用してもよいし(図5)、第3実施形態において、カメラを3台以上使用してもよい。撮像範囲に応じて決めればよい。
また、光源11やカメラ13の移動方向については、ホログラム原反20の特性に合わせて変更すればよい。
なお、上記では、検査対象物として、ホログラムを挙げて説明したが、回折格子のような、所定の入射角度で入射された光を一定の角度で回折する光反射体についても、本検査装置を使用することができる。
【0029】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体に対して、その入射角度で光を照射する光源と、光反射体で反射した光を撮像する撮像手段とを備えるので、光反射体の大きさにかかわらず、品質を検査することができる。
【0030】
本発明によれば、光源を所定の位置に案内する光源移動案内手段を備えるので、光反射体の仕様に応じた最適な画像入力条件を設定することができる。
【0031】
本発明によれば、撮像手段を所定の位置に案内する撮像移動案内手段を備えるので、光反射体の仕様に応じた最適な画像入力条件を設定することができる。
【0032】
本発明によれば、撮像手段は、光軸に平行な光を入射する平行光入射部を有するので、検査対象物である光反射体との間の距離を調整する必要がない。
【0033】
本発明によれば、光反射体の反射光を観察することができる角度を越えないように、複数の撮像手段が並べられているので、広い範囲を検査することができる。
【0034】
本発明によれば、所定の入射角度で光が入射するように、光源を光源移動案内手段で移動させ、一定の出射角度の反射光を撮像するように、撮像手段を撮像移動案内手段で移動させた後、光源から出射した光を撮像手段で撮像するので、大形の光反射体であっても品質を検査することができる。
【0035】
本発明によれば、所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体に対して、その所定の入射角度で光を照射して、その照射された光の反射光を撮像するので、光反射体の大きさにかかわらず、品質を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光反射体検査装置の第1実施形態を示す図である。
【図2】本発明による光反射体検査装置の第2実施形態を示す図である。
【図3】本発明による光反射体検査装置の第3実施形態を示す図である。
【図4】本発明による光反射体検査装置の第4実施形態を示す図である。
【図5】本発明による光反射体検査装置の他の実施形態を示す図である。
【図6】従来の検査装置を示す図である。
【図7】従来のホログラム検査装置を示す図である。
【符号の説明】
10 光反射体検査装置
11 光源
11a 点光源
11b レンズ
12 光源ガイド/光源取付アーム
13 カメラ
13a テレセントリックレンズ
14 カメラガイド/カメラ取付アーム
15 検査処理部
16 軸
20 ホログラム原反[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a light reflector inspection apparatus that inspects the quality of a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle, such as a hologram, at a constant emission angle, a method of using the same, and a light reflector inspection It is about the method.
[0002]
[Prior art]
FIG. 6 is a diagram showing a conventional inspection apparatus.
Holograms include reflection holograms and transmission holograms. This reflection hologram has a characteristic that the incident angle and the reflection angle of light can be different. By utilizing such characteristics, it is possible to obtain design properties that have not existed in the past, and since imitation is difficult, it is widely used as a forgery prevention means for credit cards, gift certificates, etc. .
[0003]
Conventionally, an
By using this
[0004]
FIG. 7 is a diagram showing a conventional hologram inspection apparatus.
A
The
The
Then, when this reflected light is imaged by the camera 63, the contrast becomes vivid and the hologram portion is very clearly seen, and it is easy to detect even a minute scratch or chipping such as 0.2 to 0.3 mm.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in order to inspect a large hologram with the
However, recently, the demand for large holograms has increased, and the mass production is desired. In particular, in order to mass-produce such holograms, it is desirable to manufacture a large-size original fabric and then punch it out, but in the conventional method using a half mirror, such a large-size original material is inspected. Can not.
Further, the conventional
[0006]
An object of the present invention is to provide a light reflector inspection apparatus that can inspect a light reflector such as a hologram regardless of its size, a method for using the same, and a light reflector inspection method. .
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this.
In order to solve the above-mentioned problems, the invention of
[0008]
According to a second aspect of the present invention, in the light reflector inspection device according to the first aspect, the light source is moved to guide the light source (11) to a position where the light reflector can be irradiated with light at the predetermined incident angle. A light reflector inspection apparatus comprising a guide means (12).
[0009]
According to a third aspect of the present invention, in the light reflector inspection apparatus according to the first or second aspect, the imaging means (13) is within the angle range (θ2 ± θ2r) in which the reflected light of the light reflector can be observed. It is an optical reflector inspection device characterized by comprising an imaging movement guide means (14) for guiding to the position.
[0010]
According to a fourth aspect of the present invention, in the light reflector inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, the imaging means (13) is adapted to receive parallel light incident on light parallel to the optical axis. It is a light reflector inspection apparatus characterized by having a part (13a).
[0012]
The light source (11) for irradiating light at the predetermined incident angle with respect to the light reflector (20) that reflects the light incident at the predetermined incident angle at a predetermined emission angle. Imaging means (13) for imaging the light reflected by the light reflector (20), and there are a plurality of imaging means (13), and each angle of view (θc) of the imaging means is the light reflection. Positions arranged in an angular range (θ2 ± θ2r) where the reflected light of the body (20) can be observed, and the light source (11) can be irradiated with light at the predetermined incident angle with respect to the light reflector A light source movement guide means (12) for guiding the light to the image pickup movement guide means (14) for guiding the image pickup means (13) to a position within the angle range (θ2 ± θ2r) where the reflected light of the light reflector can be observed a method of using a light reflector inspection apparatus including bets, of the predetermined A light source moving step (# 101) in which the light source (11) is moved by a light source movement guide means (12) for guiding the light source (11) to a predetermined position so that the light is incident at an emission angle; The imaging means moving step (# 102) in which the imaging means (13) is moved by an imaging movement guide means (14) that guides the imaging means (13) to a predetermined position so as to take an image, and the light source moving step (# 101) has been moved. An optical reflector inspection apparatus comprising: an imaging step (# 103) for imaging the light emitted from the light source (11) by the imaging unit (13) moved in the imaging unit moving step (# 102) How to use.
[0013]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an irradiation step of irradiating light at a predetermined incident angle to a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle at a predetermined emission angle, and irradiation at the irradiation step. An imaging step of imaging the reflected light of the reflected light from a plurality of imaging positions arranged within an angular range in which the reflected light of the light reflector can be observed, and reflection of the light reflector imaged in the imaging step And a detection step of detecting a defect of the light reflector using a reflection image by light.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a light reflector inspection apparatus according to the present invention.
The light
The inspection object is a hologram original 20 that forms an image only with light incident at a certain angle, and has a width of about 300 to 400 mm and is supplied in a roll shape.
[0015]
The light source 11 is an irradiation source that irradiates light from the lateral direction with respect to the conveyance direction with respect to the
The light source 11 is provided on an arc-shaped light source guide 12 and is movable along the light source guide 12. The light source guide 12 is provided perpendicular to the conveyance direction of the
[0016]
The
The
[0017]
The
[0018]
The light
(1) The user moves the light source 11 on the light source guide 12 and adjusts the position so that the illumination angle determined at the time of designing the hologram is reached (light source moving step # 101).
(2) Similarly, the
(3) The hologram sheet is imaged and inspected by the
[0019]
In this way, the position is adjusted because the hologram does not form an image unless it is irradiated with light within a certain range of angles (θ1 ± θ1r), and the angle at which the hologram image can be observed (θ2). This is because the range of ± θ2r) is limited.
The illumination angle θ1 and the allowable angle θ1r for the hologram, and the observation angle θ2 and the allowable angle θ2r are determined at the time of design depending on the characteristics of the hologram. By placing the illumination and camera at the same positions as the specifications of the illumination angle θ1 and the observation angle θ2 and inputting an image, the hologram image itself can be input as an image, and the hologram image can be input using the image. Can detect defects.
[0020]
A hologram is often designed so as to present a hologram image only by incident light from the top or bottom direction or the left-right direction from the viewpoint of cost or the like.
The inspection target of the present embodiment is a hologram designed to form a hologram image with respect to incident light from the lateral direction, and the light source 11 is disposed in the lateral direction with respect to the conveyance direction of the hologram original fabric. is doing.
[0021]
According to this embodiment, the large hologram original 20 can be inspected. Therefore, the hologram can be mass-produced by punching out the hologram original 20 thus produced.
In addition, since the light source 11 and the
Furthermore, since the
[0022]
(Second Embodiment)
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the light reflector inspection apparatus according to the present invention.
In the following embodiments, the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and repeated descriptions are omitted as appropriate.
The light source 11 and the
[0023]
According to the present embodiment, the light source 11 and the
[0024]
(Third embodiment)
FIG. 3 is a view showing a third embodiment of the light reflector inspection apparatus according to the present invention.
The light
The
[0025]
According to the present embodiment, since a plurality of
[0026]
(Fourth embodiment)
FIG. 4 is a view showing a fourth embodiment of the light reflector inspection apparatus according to the present invention.
The
The light source 11 can irradiate a wide range.
[0027]
According to this embodiment, a wide range of inspections can be performed using only one
[0028]
(Deformation)
The present invention is not limited to the embodiment described above, and various modifications and changes are possible, and these are also within the equivalent scope of the present invention.
For example, a plurality of
Further, the moving direction of the light source 11 and the
In the above description, the hologram is used as the inspection object. However, the inspection apparatus is also used for a light reflector such as a diffraction grating that diffracts incident light at a predetermined angle. Can be used.
[0029]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle at a constant emission angle, a light source that irradiates light at the incident angle, and a light reflection Since the imaging means for imaging the light reflected by the body is provided, the quality can be inspected regardless of the size of the light reflector.
[0030]
According to the present invention, since the light source movement guide means for guiding the light source to a predetermined position is provided, it is possible to set an optimum image input condition according to the specification of the light reflector.
[0031]
According to the present invention, since the imaging movement guide unit that guides the imaging unit to a predetermined position is provided, it is possible to set an optimal image input condition according to the specification of the light reflector.
[0032]
According to the present invention, since the imaging unit has the parallel light incident part that enters the light parallel to the optical axis, it is not necessary to adjust the distance from the light reflector that is the inspection object.
[0033]
According to the present invention, since a plurality of imaging means are arranged so as not to exceed an angle at which the reflected light of the light reflector can be observed, a wide range can be inspected.
[0034]
According to the present invention, the light source is moved by the light source movement guide means so that light is incident at a predetermined incident angle, and the imaging means is moved by the imaging movement guide means so as to image the reflected light having a fixed emission angle. Then, since the light emitted from the light source is imaged by the imaging means, the quality can be inspected even with a large light reflector.
[0035]
According to the present invention, a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle at a predetermined emission angle is irradiated with light at the predetermined incident angle, and reflected light of the irradiated light. Therefore, the quality can be inspected regardless of the size of the light reflector.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a light reflector inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of a light reflector inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the light reflector inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a fourth embodiment of the light reflector inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 5 is a view showing another embodiment of the light reflector inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 6 is a view showing a conventional inspection apparatus.
FIG. 7 is a diagram showing a conventional hologram inspection apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記光反射体で反射した光を撮像する撮像手段と
を備え、
前記撮像手段は、複数あって、前記撮像手段のそれぞれの画角が前記光反射体の反射光を観察することができる角度範囲内に並べられている
ことを特徴とする光反射体検査装置。A light source that irradiates light at a predetermined incident angle with respect to a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle at a predetermined emission angle; and
Imaging means for imaging light reflected by the light reflector,
There are a plurality of the imaging means, and the angle of view of each of the imaging means is arranged within an angle range in which the reflected light of the light reflector can be observed.
前記光源を前記光反射体に対して前記所定の入射角度で光を照射可能な位置に案内する光源移動案内手段を備える
ことを特徴とする光反射体検査装置。The light reflector inspection device according to claim 1,
A light reflector inspection apparatus comprising light source movement guide means for guiding the light source to a position where light can be irradiated at the predetermined incident angle with respect to the light reflector.
前記撮像手段を前記光反射体の反射光を観察できる前記角度範囲内の位置に案内する撮像移動案内手段を備える
ことを特徴とする光反射体検査装置。In the light reflector inspection device according to claim 1 or 2,
An optical reflector inspection apparatus comprising: an imaging movement guide unit that guides the imaging unit to a position within the angular range where the reflected light of the light reflector can be observed .
前記撮像手段は、光軸に平行な光を入射する平行光入射部を有する
ことを特徴とする光反射体検査装置。In the light reflector inspection device according to any one of claims 1 to 3,
The light imaging device inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging unit includes a parallel light incident unit that inputs light parallel to an optical axis.
前記光反射体で反射した光を撮像する撮像手段と
を備え、
前記撮像手段は、複数あって、前記撮像手段のそれぞれの画角が前記光反射体の反射光を観察することができる角度範囲内に並べられ、
前記光源を前記光反射体に対して前記所定の入射角度で光を照射可能な位置に案内する光源移動案内手段と、
前記撮像手段を前記光反射体の反射光を観察できる前記角度範囲内の位置に案内する撮像移動案内手段と
を備える光反射体検査装置の使用方法であって、
前記所定の入射角度で光が入射するように、前記光源を所定の位置に案内する光源移動案内手段で移動させる光源移動工程と、
前記一定の出射角度の反射光を撮像するように、前記撮像手段を所定の位置に案内する撮像移動案内手段で移動させる撮像手段移動工程と、
前記光源移動工程で移動した前記光源から出射した光を、前記撮像手段移動工程で移動した前記撮像手段で撮像する撮像工程と
を備えることを特徴とする光反射体検査装置の使用方法。 A light source that irradiates light at a predetermined incident angle with respect to a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle at a predetermined emission angle; and
Imaging means for imaging light reflected by the light reflector;
With
There are a plurality of the imaging means, and each angle of view of the imaging means is arranged within an angle range in which the reflected light of the light reflector can be observed,
Light source movement guide means for guiding the light source to a position where light can be emitted at the predetermined incident angle with respect to the light reflector;
Imaging movement guide means for guiding the imaging means to a position within the angular range where the reflected light of the light reflector can be observed;
A method of using a light reflector inspection apparatus comprising:
A light source moving step of moving the light source by a light source moving guide means for guiding the light source to a predetermined position so that light is incident at the predetermined incident angle;
An imaging means moving step in which the imaging means is moved by an imaging movement guide means that guides the imaging means to a predetermined position so as to image the reflected light of the constant emission angle;
A method of using a light reflector inspection apparatus, comprising: an imaging step of imaging light emitted from the light source moved in the light source moving step with the imaging unit moved in the imaging unit moving step.
前記照射工程で照射された光の反射光を、前記光反射体の反射光を観察可能な角度範囲内に並べられた複数の撮像位置から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像された前記光反射体の反射光による反射像を用いて前記光反射体の欠陥を検出する検出工程と
を備える光反射体検査方法。An irradiation step of irradiating light at a predetermined incident angle with respect to a light reflector that reflects light incident at a predetermined incident angle at a constant emission angle;
An imaging step of imaging the reflected light of the light irradiated in the irradiation step from a plurality of imaging positions arranged in an angle range in which the reflected light of the light reflector can be observed;
And a detecting step of detecting a defect of the light reflector using a reflection image of the reflected light of the light reflector imaged in the imaging step.
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