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JP4583161B2 - Dust diffusion prevention device for actuator - Google Patents

Dust diffusion prevention device for actuator Download PDF

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JP4583161B2 JP2004375735A JP2004375735A JP4583161B2 JP 4583161 B2 JP4583161 B2 JP 4583161B2 JP 2004375735 A JP2004375735 A JP 2004375735A JP 2004375735 A JP2004375735 A JP 2004375735A JP 4583161 B2 JP4583161 B2 JP 4583161B2
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Description

本発明は、アクチュエータの内部から発生するダストが、アクチュエータの外部に流出して室内空間を汚染する不具合を防止することができるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置に関する。   The present invention relates to a dust diffusion preventing device in an actuator that can prevent a problem that dust generated from the inside of an actuator flows out of the actuator and contaminates an indoor space.

従来、モータ等のアクチュエータでは、出力シャフトを支持する軸受けがアクチュエータの内部壁面に設けられており、この軸受けが出力シャフトの回転時に磨耗粉を発生したり、軸受け部に充填されたグリスなどのオイルミストが出力シャフトの回転に伴って出力シャフトの引き出し孔から外部に流出する不具合があった。
このため、半導体工場等のクリーンルーム内での作業が必須の現場では、アクチュエータから流出するダストの拡散を極力抑制する必要がある。
Conventionally, in an actuator such as a motor, a bearing that supports an output shaft is provided on the inner wall surface of the actuator, and this bearing generates wear powder when the output shaft rotates, or oil such as grease filled in the bearing portion. There was a problem that the mist flowed out from the outlet hole of the output shaft with the rotation of the output shaft.
For this reason, in the field where work in a clean room such as a semiconductor factory is essential, it is necessary to suppress the diffusion of dust flowing out from the actuator as much as possible.

そこで、従来では、モータ全体をケース内に閉じ込めてダストの発生を抑制したり、モータ全体を入れたケースにファンを設けてモータ内から流出するダストをケース外に排気するようにしたものが知られている(特許文献1参照)。
特開昭62−293951
Therefore, conventionally, it is known that the entire motor is confined in the case to suppress the generation of dust, or a fan is provided in the case in which the entire motor is placed to exhaust the dust flowing out of the motor out of the case. (See Patent Document 1).
JP 62-293951 A

しかしながら、上記従来技術によると、モータ全体をケース内に閉じ込めるため、装置全体が大型化したり、ファンをケース内に組み込むための構造が複雑となっていた。   However, according to the above prior art, since the entire motor is confined in the case, the entire apparatus is enlarged, and the structure for incorporating the fan into the case is complicated.

本発明は、上記課題を解決し、装置全体の構造を小型化することができるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a dust diffusion preventing device in an actuator that can reduce the size of the entire device.

本発明は、上記課題を解決するため、アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記アクチュエータの出力シャフト引き出し孔を覆うアダプタをアクチュエータケースに装着し、このアダプタに、アダプタの内側空洞部に流出したダストをアダプタの内部空気とともに強制的に排気する排気装置を連結したことにある。
また、本発明は、上記アダプタを、記アクチュエータケースの端面に対応する形状に形成した平板状の本体の内側に凹部を形成して構成し、上記アダプタの該凹部の底面の中心には、上記アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出す孔を形成し、上記本体の肉厚部分を貫通して上記凹部の内壁面に一端を開口した排気通路の他端を上記本体の側面側に開口し、上記アダプタの凹部の底面に、該凹部の内壁面に沿って円弧状の突起部を円周方向に一定間隔を開けて連続するように形成し、上記突起部間の間隙は、上記排気通路の他端の開口位置からずれるように形成し、上記開口位置に、上記凹部と記アクチュエータケースの端面との内側空洞部を排気する吸引ポンプを連結したことにある。
In order to solve the above problems, the present invention is an apparatus for preventing the diffusion of dust flowing out from the hole of the actuator case that pulls out the output shaft of the actuator to the outside. In this adapter, an exhaust device that forcibly exhausts the dust flowing into the inner cavity of the adapter together with the internal air of the adapter is connected.
Further, the present invention is the adapter, and a recess on the inside of the upper Symbol tabular body formed in a shape corresponding to the end surface of the actuator case constitutes the center of the bottom surface of the recess of the adapter, Forming a hole for pulling out the output shaft of the actuator to the outside, opening the other end of the exhaust passage through the thick part of the main body and opening one end to the inner wall surface of the recess to the side surface of the main body, An arc-shaped projection is formed on the bottom surface of the recess of the adapter along the inner wall surface of the recess so as to be continuous at a constant interval in the circumferential direction. formed to be shifted from the opening position of the end, in the open position, it lies in the connecting suction pump for evacuating the interior cavity between the end surface of the recess and the upper Symbol actuator case.

本発明は、装置全体の構造を小型化することができるとともに、部品点数を最小限に設定することができる。   According to the present invention, the structure of the entire apparatus can be reduced in size, and the number of parts can be set to a minimum.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら、詳細に説明する。
図1はアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を示す部分断面図である。
図1において、1はアクチュエータとしてのモータで、このモータ1はモータケース2の内部に、図示しないステータとともにロータ3が収納されている。このロータ3を支持する出力シャフト4がモータケース2に設けられた軸受け5を介して支持されている。
出力シャフト4は一端部をモータケース2のフランジ6に設けられた出力シャフト引き出し孔6aからモータケース2の外側に引き出されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a dust diffusion preventing device in an actuator.
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a motor as an actuator. In the motor 1, a rotor 3 is housed in a motor case 2 together with a stator (not shown). An output shaft 4 that supports the rotor 3 is supported via a bearing 5 provided in the motor case 2.
One end of the output shaft 4 is drawn out of the motor case 2 from an output shaft lead-out hole 6 a provided in the flange 6 of the motor case 2.

7はモータ1のフランジ6に組み付けられたダスト拡散防止装置で、このダスト拡散防止装置7はフランジ6に取り付けられるアダプタ8と、このアダプタ8の内部空気を排気する排気装置9とで構成されている。   Reference numeral 7 denotes a dust diffusion prevention device assembled to the flange 6 of the motor 1. The dust diffusion prevention device 7 is composed of an adapter 8 attached to the flange 6 and an exhaust device 9 for exhausting the internal air of the adapter 8. Yes.

上記アダプタ8は、図2に示すように、モータ1のフランジ6に対応する平板状の本体10の内側に浅い円筒状の凹部10aを形成したもので、この凹部10aの底面10eの中心に出力シャフト4の引き出し孔10bが形成されている。本体10の四隅にはモータ1のフランジ6の取付穴(図示せず)に対応する孔10cが形成されている。アダプタ8は、この孔10cに図示しないねじを介してモータ1のフランジ6の取付穴に固定されている。本体10の一側には、外側に突出した、突片11が一体成形されており、この突片11の板面11aには上記本体10の肉厚部分を貫通して上記凹部10aの内壁面10dに一端12aを開口した排気通路12の他端12bが開口している。この排気通路12の他端12bには、排気装置9のホース13を連結するノズル14が設けられている。排気装置9はクリーンルームの外に設けられた吸引ポンプなどを介して凹部10aの内側を排気するものである。   As shown in FIG. 2, the adapter 8 is formed by forming a shallow cylindrical recess 10a inside a flat plate-like main body 10 corresponding to the flange 6 of the motor 1, and outputs it to the center of the bottom surface 10e of the recess 10a. A lead hole 10b of the shaft 4 is formed. Holes 10c corresponding to mounting holes (not shown) of the flange 6 of the motor 1 are formed at the four corners of the main body 10. The adapter 8 is fixed to the mounting hole of the flange 6 of the motor 1 through a screw (not shown) in the hole 10c. A projecting piece 11 protruding outward is integrally formed on one side of the main body 10, and a plate surface 11 a of the projecting piece 11 penetrates a thick portion of the main body 10 to inner wall surface of the recess 10 a. The other end 12b of the exhaust passage 12 having one end 12a opened to 10d is opened. At the other end 12 b of the exhaust passage 12, a nozzle 14 that connects the hose 13 of the exhaust device 9 is provided. The exhaust device 9 exhausts the inside of the recess 10a through a suction pump or the like provided outside the clean room.

次に上記アクチュエータにおけるダスト拡散防止装置の作用を説明する。
アダプタ8をモータ1のフランジ6に取り付け、ノズル13に排気装置9のホースを接続する。そして、モータ1の作動と共に排気装置9を駆動する。排気装置9の駆動によってアダプタ8の凹部10a内がホース13を通して吸引される。こうして、モータ1の作動に伴ってモータ1内のダストが、出力シャフト4の引き出し孔10bを通してアダプタ8の凹部10aとモータ1のフランジ6との空洞部15に流出してきた場合、排気装置9の吸引力によって、ダストが空洞部15内の空気と共に室外に排気される。
Next, the operation of the dust diffusion preventing device in the actuator will be described.
The adapter 8 is attached to the flange 6 of the motor 1, and the hose of the exhaust device 9 is connected to the nozzle 13. Then, the exhaust device 9 is driven together with the operation of the motor 1. By driving the exhaust device 9, the inside of the concave portion 10 a of the adapter 8 is sucked through the hose 13. Thus, when the dust in the motor 1 flows into the cavity 15 between the recess 10a of the adapter 8 and the flange 6 of the motor 1 through the lead-out hole 10b of the output shaft 4 as the motor 1 operates, The dust is exhausted together with the air in the cavity 15 by the suction force.

図3は、図2と同一部分は、同符号を付して示すアダプタの変形例で、この場合、アダプタ8の凹部10aの底面10eに、内壁面10dに沿って円弧状の突起部16a,16b,16cを円周方向に一定間隔を開けて連続するように形成したものである。突起部16a,16b,16cの高さは、内壁面10dの高さに合わせて形成され、突起部16a,16b,16c間の間隙17は、排気通路12の他端12bの開口位置Aからずれるように形成されている。空洞部15は、上記間隙17を通って内壁面10dと突起部16a,16b,16Cとの間に形成された通路18に連通している。
この変形例によると、出力シャフト4の引き出し孔10bから流出したダストは、空洞部15の突起部16a,16b,16cの内側に入り、各間隙17を通って内壁面10dと突起部16a,16b,16Cとの間の通路18に入り込む。そして、通路18を通って排気通路12の他端12bに達することになる。したがって、空洞部15内でダストが一箇所に集中することなく、均一に分散されて通路18を通って排気通路12から排気されることになる。
FIG. 3 is a modification of the adapter in which the same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. In this case, arc-shaped protrusions 16a, 16a, 16b and 16c are formed so as to be continuous at regular intervals in the circumferential direction. The heights of the protrusions 16a, 16b, and 16c are formed in accordance with the height of the inner wall surface 10d, and the gap 17 between the protrusions 16a, 16b, and 16c is shifted from the opening position A of the other end 12b of the exhaust passage 12. It is formed as follows. The cavity 15 communicates with a passage 18 formed between the inner wall surface 10d and the protrusions 16a, 16b, and 16C through the gap 17.
According to this modified example, the dust flowing out from the lead-out hole 10b of the output shaft 4 enters the inside of the protrusions 16a, 16b, 16c of the cavity 15, passes through the gaps 17, and the inner wall surface 10d and the protrusions 16a, 16b. , 16C. Then, the other end 12 b of the exhaust passage 12 is reached through the passage 18. Therefore, the dust is uniformly dispersed in the hollow portion 15 and is exhausted from the exhaust passage 12 through the passage 18 without being concentrated.

図4は、本発明のダスト拡散防止装置の他の実施の形態で、図1と同一部分は同符号を付して同一部分の説明は省略して説明する。
この場合、アダプタ8は用いずに、モータ1のモータフランジ19自体にアダプタの機能を持たせたものである。
モータフランジ19は、内部に中空の空洞部20を形成したもので、この空洞部20に通じる通路21を、モータフランジ19の壁面19aに形成している。通路21の一端は、空洞部20に連通し、通路21の他端は外部に通じるモータフランジ19の壁面19bに開口している。そして、モータ1のモータフランジ19の空洞部20とモータケース2の内部とを仕切る壁面19cに軸受け5が設けられている。
FIG. 4 shows another embodiment of the dust diffusion preventing apparatus of the present invention. The same parts as those in FIG.
In this case, the adapter 8 is not used, but the motor flange 19 itself of the motor 1 has the function of an adapter.
The motor flange 19 has a hollow cavity 20 formed therein, and a passage 21 communicating with the cavity 20 is formed in the wall surface 19 a of the motor flange 19. One end of the passage 21 communicates with the hollow portion 20, and the other end of the passage 21 opens to the wall surface 19 b of the motor flange 19 that communicates with the outside. And the bearing 5 is provided in the wall surface 19c which partitions off the cavity 20 of the motor flange 19 of the motor 1 and the inside of the motor case 2.

この実施の形態によると、モータフランジ19にアダプタの機能を持たせたので、部品点数の削減を図ることができる。     According to this embodiment, since the motor flange 19 has an adapter function, the number of parts can be reduced.

本発明は、上記実施の形態のみに限定されるものではなく、例えば、モータのモータケース2内から流出するダストの排気について説明したが、油圧モータ、発電機あるいはボールねじなどの他のアクチュエータに適用できることは言うまでもない。また、アダプタは合成樹脂による一体成形でもよく、あるいは金属製でも良い。など、その他、本発明の要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施し得ることは言うまでもない。   The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the exhaust of dust flowing out from the motor case 2 of the motor has been described. However, the present invention may be applied to other actuators such as a hydraulic motor, a generator, or a ball screw. Needless to say, it can be applied. Further, the adapter may be integrally formed with a synthetic resin or may be made of metal. In addition, it goes without saying that the present invention can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the present invention.

本発明の実施の形態によるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the dust diffusion prevention apparatus in the actuator by embodiment of this invention. 図1のアダプタを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adapter of FIG. 図2のアダプタの変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of the adapter of FIG. 本発明の他の実施の形態によるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the dust diffusion prevention apparatus in the actuator by other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 モータ(アクチュエータ)
2 モータケース
4 出力シャフト
5 軸受け
6 フランジ
7 ダスト拡散防止装置
8 アダプタ
9 排気装置
10 本体
10a 凹部
10b 引き出し孔
10c 孔
11 突片
12 排気通路
15、20 空洞部
16a,16b,16c 突起部
17 間隙
18、21 通路
1 Motor (actuator)
2 Motor Case 4 Output Shaft 5 Bearing 6 Flange 7 Dust Diffusion Prevention Device 8 Adapter 9 Exhaust Device 10 Main Body 10a Recess 10b Pull-out Hole 10c Hole 11 Projection Piece 12 Exhaust Passage 15, 20 Cavity 16a, 16b, 16c Projection 17 Gap 18 , 21 passage

Claims (2)

アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記アクチュエータの出力シャフト引き出し孔を覆うアダプタをアクチュエータケースに装着し、このアダプタに、アダプタの内側空洞部に流出したダストをアダプタの内部空気とともに強制的に排気する排気装置を連結したことを特徴とするアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置。   In the device for preventing the diffusion of dust flowing out from the hole of the actuator case that pulls out the output shaft of the actuator to the outside, an adapter that covers the output shaft pull-out hole of the actuator is attached to the actuator case, and the inner cavity portion of the adapter is attached to the adapter. A dust diffusion preventing device for an actuator, wherein an exhaust device for forcibly exhausting the dust flowing out to the adapter together with the internal air of the adapter is connected. 上記アダプタを、記アクチュエータケースの端面に対応する形状に形成した平板状の本体の内側に凹部を形成して構成し、上記アダプタの該凹部の底面の中心には、上記アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出す孔を形成し、上記本体の肉厚部分を貫通して上記凹部の内壁面に一端を開口した排気通路の他端を上記本体の側面側に開口し、上記アダプタの凹部の底面に、該凹部の内壁面に沿って円弧状の突起部を円周方向に一定間隔を開けて連続するように形成し、上記突起部間の間隙は、上記排気通路の他端の開口位置からずれるように形成し、上記開口位置に、上記凹部と記アクチュエータケースの端面との内側空洞部を排気する吸引ポンプを連結したことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置。
The adapter, to form a recess on the inside of the upper Symbol tabular body formed in a shape corresponding to the end surface of the actuator case constitutes, in the center of the bottom surface of the recess of the adapter, the output shaft of the actuator A hole to be drawn out is formed, and the other end of the exhaust passage having one end opened on the inner wall surface of the recess through the thick part of the main body is opened on the side surface of the main body, and the bottom surface of the recess of the adapter is formed. An arc-shaped protrusion is formed along the inner wall surface of the recess so as to be continuous at a predetermined interval in the circumferential direction, and the gap between the protrusions is deviated from the opening position of the other end of the exhaust passage. forming manner, the opening position, the recess and the upper Symbol dust diffusion-proof in the actuator according to claim 1, characterized in that the suction pump has been connected for evacuating the interior cavity between the end surface of the actuator case Apparatus.
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