JP4565213B2 - 感光性誘電体形成用組成物、転写フィルム、誘電体および電子部品 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の技術分野】
本発明は寸法精度の高いパターンを形成するために好適に使用することができる感光性誘電体形成用組成物、感光性誘電体形成用組成物を支持フィルムに塗布した転写フィルム、ならびにこれから形成される誘電体および電子部品に関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】
近年、多層プリント配線基板等に高誘電率層を設け、この層をコンデンサ等に利用する技術が知られている。この高誘電率層は、たとえば、熱硬化性樹脂の脆さを補うために、熱硬化性樹脂を溶解させた有機溶剤に高誘電率の無機粉末を添加したものを、ガラス繊維等の繊維強化材に含浸させ、その後、溶剤を焼成などにより飛散させて硬化させる等の方法により調製されている。しかしながら、従来の方法では、通常、たとえば３０以上あるいは５０以上などの高い誘電率を有する層を得ることは困難であった。
【０００３】
また、各種の無機粉末を用いて高誘電率の誘電体層を得る試みもなされ、たとえば、ポリスチレンに無機粉末としてＦｅ₃Ｏ₄、あるいはＺｎＯ＋カーボンなどを添加すると、高い誘電率の誘電体層を得ることができることが知られている。しかしこのような系では、誘電率を高くすることができても、得られる誘電体層の誘電正接が大きくなるため、交流電場における誘電体層での発熱が大きくなり、誘電体のフィルムを設けた多層プリント配線基板等の劣化、熱応力による接合部の破断等の不良原因となり、半導体基板の信頼性、耐久性が低下し易いという問題点があった。
【０００４】
一方、高い誘電率を得るためには、通常、高誘電率の無機粉末を高温で加熱焼成して誘電体層を形成する方法が知られている。しかしながらこの方法は、たとえば１０００℃程度の高温で焼成する必要があるため、配線基板上に電子部品が装着されている状態で誘電体層を設ける場合には適用できず、種々の半導体基板の製造プロセスに汎用的に適用できないという問題点があった。
【０００５】
さらに、誘電体層の形成方法としてスクリーン印刷法等が知られているが、基板の大型化および高精細化に伴い、パターンの位置精度の要求が非常に厳しくなり、通常の印刷では対応できないという問題があった。
このため、低温焼成により、高い誘電率で、熱損失の小さい誘電体層を提供するとともに、寸法精度の高いパターンを形成しうる感光性誘電体形成用組成物の出現が望まれていた。
【０００６】
そこで、本発明者らは、前記問題を解決すべく鋭意研究した結果、特定の無機粒子の表面の一部に、導電性金属あるいは有機化合物が付着された粒子を含有する感光性誘電体形成用組成物、またこれを塗布した感光性転写フィルムを用いることにより、５００℃以下という低温での焼成が可能で、高誘電率かつ低誘電正接であり、なおかつ寸法精度の高いパターンの誘電体を形成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
【発明の目的】
本発明は、前記のような従来技術に伴う問題を解決しようとするものであって、熱損失が小さく、低温焼成可能な高誘電率の誘電体層を寸法精度良く形成できるような感光性誘電体形成用組成物、感光性転写フィルムならびにこの組成物や転写フィルムから形成された誘電体および電子部品を提供することを目的としている。
【０００８】
【発明の概要】
本発明に係る感光性誘電体形成用組成物は、
（Ａ−１）平均粒子径が０．１〜２μｍでありかつ誘電率が３０以上である無機粒子の表面の一部に、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が付着された誘電体用複合粒子と、
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂と、
（Ｃ）感光性酸生成化合物とを含有することを特徴としている。
【０００９】
さらに本発明に係る感光性誘電体形成用組成物は、
前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）と、
（Ａ−２）平均粒子径が０．１μｍ以下である無機超微粒子と、
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂と、
（Ｃ）感光性酸生成化合物とを含有することを特徴としている。
【００１０】
本発明に係る感光性転写フィルムは、前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）とアルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）と感光性酸生成化合物（Ｃ）とを含有する感光性誘電体形成用組成物が膜厚１〜１００μｍで支持フィルム上に設けられているか、あるいは、前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）と無機超微粒子（Ａ−２）とアルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）と感光性酸生成化合物（Ｃ）とを含有する感光性誘電体形成用組成物が膜厚５〜１００μｍで支持フィルム上に設けられていることを特徴としている。
【００１１】
本発明に係る感光性誘電体形成用組成物あるいは感光性転写フィルムによれば、５００℃以下の加熱で、誘電率が３０以上、誘電正接が０．１以下の誘電体を形成することが可能である。
前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）を構成する無機粒子および無機超微粒子（Ａ−２）は、チタン系金属酸化物であることが好ましく、また、誘電体用複合粒子（Ａ−１）においては、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物は、無電解メッキ法により無機粒子表面に付着させることが可能である。
【００１２】
前記アルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）は、（メタ）アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノボラック樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂のいずれかであることが好ましい。
本発明に係る誘電体は、前記感光性誘電体形成用組成物あるいは感光性転写フィルムを５００℃以下で加熱して硬化させることにより形成することができ、誘電率が３０以上、誘電正接が０．１以下であることが好ましい。また、このような誘電体は導電性箔上に形成されていてもよい。
【００１３】
本発明に係る電子部品は、前記感光性誘電体形成用組成物あるいは感光性転写フィルムを用いて形成された誘電体を含むことを特徴としている。
【００１４】
【発明の具体的説明】
以下、本発明について具体的に説明する。
まず、本発明に係る感光性誘電体形成用組成物の詳細について説明する。
［感光性誘電体形成用組成物］
本発明に係る感光性誘電体形成用組成物は、（Ａ−１）平均粒子径が０．１〜２μｍでありかつ誘電率が３０以上である無機粒子の表面の一部に、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が付着された誘電体用複合粒子、（Ａ−２）平均粒子径が０．１μｍ以下である無機超微粒子、（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂、（Ｃ）感光性酸生成化合物、および必要に応じて（Ｄ）溶剤、（Ｅ）各種添加剤を、ロール混練機、ミキサー、ホモミキサー、ボールミル、ビーズミルなどの混練機を用いて混練することにより調製することができる。
【００１５】
上記のようにして調製される感光性誘電体形成用組成物は、塗布に適した流動性を有するペースト状の組成物であり、その粘度は、通常１００〜１００，０００ｍＰａ・ｓとされ、好ましくは５００〜１０，０００ｍＰａ・ｓとされることが望ましい。
以下、感光性誘電体形成用組成物を構成する各成分について説明する。
（Ａ−１）誘電体用複合粒子
＜無機粒子＞
本発明において使用する無機粒子は、誘電率が３０以上であり、好ましくは５０以上、さらに好ましくは７０以上である。誘電率は高い分には問題なく、上限値は特に限定されないが、たとえば、３００００程度であってもよい。
【００１６】
このような無機粒子としては、金属酸化物からなるものが好ましく用いられ、特にチタン系金属酸化物が好ましい。ここで、「チタン系金属酸化物」とはチタン元素と酸素元素とを必須元素として含む化合物をいう。このようなチタン系金属酸化物としては、結晶構造を構成する金属元素としてチタンを単一で含むチタン系単一金属酸化物と、金属元素としてチタンおよび他の金属元素を含むチタン系複酸化物とを好ましく用いることができる。
【００１７】
前記チタン系単一金属酸化物としては、たとえば、二酸化チタン系金属酸化物が挙げられる。このような二酸化チタン系金属酸化物としては、アナターゼ構造またはルチル構造の二酸化チタン系金属酸化物が挙げられる。
前記チタン系複酸化物としては、たとえば、チタン酸バリウム系、チタン酸鉛系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸ネオジウム系、チタン酸カルシウム系等の金属酸化物が挙げられる。
【００１８】
なお、前記「二酸化チタン系金属酸化物」とは、二酸化チタンのみを含む系、または二酸化チタンに他の少量の添加物を含む系を意味し、主成分である二酸化チタンの結晶構造が保持されているものであり、他の系の金属酸化物についても同様である。
また、前記「チタン系複酸化物」とは、チタン系単一金属酸化物と、少なくとも１種の他の金属元素からなる金属酸化物とが複合して生ずる酸化物であり、構造の単位としてオキソ酸のイオンが存在しないものをいう。
【００１９】
本発明においては、このような無機粒子を構成するチタン系金属酸化物としては、チタン系単一金属酸化物のうちでは、ルチル構造の二酸化チタン系金属酸化物が好ましく、チタン系複酸化物のうちでは、チタン酸バリウム系金属酸化物を好ましく用いることができる。
これらのうちでは、チタン酸バリウム系金属酸化物を特に好ましく用いることができる。
【００２０】
また、水性媒体への分散性を向上させるため、前記無機粒子の表面をシリカ、アルミナ等で変性した粒子も好適に用いることができる。
このような無機粒子の平均粒子径は、好ましくは０．１〜２．０μｍ、より好ましくは０．２〜１．０μｍの範囲にあることが望ましい。平均粒子径が２μｍを超えると、膜厚を薄くした場合に誘電体層の組成が不均一になりやすくなることがある。平均粒子径が０．１μｍより小さいと粉末同士の凝集力が強くなり粗大粒子が発生してしまうことがある。
【００２１】
本発明の無機粒子の形状は、特に制限されるものではないが、球状、粒状、板状、麟片状、ウィスカー状、棒状、フィラメント状などの形状が挙げられる。これらの形状のうち、球状、粒状、片状、鱗片状であることが好ましい。これらの形状の無機粒子は、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２２】
＜誘電体用複合粒子＞
本発明に用いる誘電体用複合粒子は、前記無機粒子の表面の一部が、導電性物質で被覆されている。このような導電性物質としては、導電性金属もしくはそれらの化合物、または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が挙げられる。これらの導電性物質は、前記無機粒子の表面の一部に、１種単独でまたは複数種を併用して付着されていてもよい。
【００２３】
前記導電性の金属としては、たとえば、金、銀、銅、錫、白金、パラジウム、ルテニウム、Fe、Ni、Co、Ge、Si、Zn、Ti、Mg、Alなどから選ばれる少なくとも１種の金属を用いることができる。金属としては、これらの合金を用いることもできる。
前記導電性金属の化合物としては、前記導電性金属の窒化物を用いることができる。これらのうちでは、窒化チタンを好適に使用できる。
【００２４】
前記導電性有機化合物としては、ＴＣＮＱ（7,7,8,8-テトラシアノキノジメタン）、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンなどから選ばれる少なくとも１種の化合物を用いることができる。
前記導電性無機物としては、カーボン、黒鉛などから選ばれる少なくとも１種のものを用いることができる。
【００２５】
本発明に用いる誘電体用複合粒子に含有される前記無機粒子の割合は、誘電体用複合粒子の全質量に対して、好ましくは６０〜９９質量％、さらに好ましくは６５〜９５質量％、特に好ましくは７０〜９０質量％の量で含まれていることが望ましい。また、導電性金属もしくはそれらの化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物の割合、すなわち、導電性物質の付着量は、好ましくは１〜４０質量％、さらに好ましくは５〜３５質量％、特に好ましくは１０〜３０質量％の量で含まれていることが望ましい。
【００２６】
無機粒子成分の割合が９９質量％を超えると、誘電体にしたときに高い誘電率が得られなくなることがある。また、無機粒子成分の割合が６０質量％未満の場合には誘電体の絶縁性が悪くなることがある。
本発明に用いられる誘電体用複合粒子の平均粒子径は、好ましくは０．１〜５．０μｍ、さらに好ましくは０．１〜３．０μｍ、より好ましくは０．１〜２．０μｍ、特に好ましくは０．２〜１．０μｍであることが望ましい。平均粒子径が５μｍを超えると、膜厚を薄くした場合に誘電体層の組成が不均一になりやすくなることがある。なお、誘電体用複合粒子の平均粒径は、膜厚を薄くした場合にも誘電体層の組成が均一になるようにするために、特に２μｍ以下であることが好ましい。
【００２７】
本発明に用いられる誘電体用複合粒子の比表面積は、好ましくは１〜２０ｍ²／ｇ、さらに好ましくは１．２〜１５ｍ²／ｇ、より好ましくは１．５〜１０ｍ²／ｇ、特に好ましくは１．５〜８ｍ²／ｇであることが望ましい。比表面積が上記範囲にあると、高誘電率かつ低誘電正接である誘電体を得ることができる。
このような本発明に用いる誘電体用複合粒子は公知の方法を用いて調製することができ、製法は限定されない。
【００２８】
たとえば、メッキ法やスパッタ法を用いることができ、メッキ法により無機粒子の表面に導電性金属を被膜する場合には、無電解メッキ（化学メッキ）法などにより行うことができる。
また、上記のような平均粒子径の誘電体用複合粒子を得る方法としては、具体的には、無電解メッキ等により１〜４０質量％の金属成分（たとえば銀）が付着した無機粒子からなる誘電体用複合粒子の中から、分級機によって平均粒度０．１〜１０μｍの粉末を採取し、その粉末を純水中で超音波分散して充分に分散させた後、１〜１０容積％の硝酸浴中において、表面の銀分のみを溶出させることによりかかる平均粒子径の誘電体用複合粒子を得ることができる。
（Ａ−２）無機超微粒子
本発明において使用する無機超微粒子（Ａ−２）は、平均粒子径が０．１μｍ以下であり、好ましくは０．０８μｍ以下、さらに好ましくは０．０５μｍ以下であることが望ましい。平均粒子径が０．１μｍを超えると分散性が低下し、添加効果が得られにくくなることがある。また、平均粒子径の下限は特に限定されないが、小さくなると凝集しやすくなるため、好ましくは０．００１μｍ以上、さらに好ましくは０．００５μｍ以上であることが望ましい。
【００２９】
本発明の無機超微粒子の誘電率は、好ましくは１０以上であり、より好ましくは２０以上、さらに好ましくは３０以上であることが望ましい。誘電率は高い分には問題なく、上限値は特に限定されないが、たとえば、３００００程度であってもよい。
このような無機超微粒子としては、金属酸化物からなるものが好ましく用いられ、チタン系金属酸化物がより好ましい。このようなチタン系金属酸化物としては、上述したようなチタン系単一金属酸化物とチタン系複酸化物とを好ましく用いることができる。
【００３０】
前記チタン系単一金属酸化物としては、たとえば、二酸化チタン系金属酸化物が挙げられる。このような二酸化チタン系金属酸化物としては、アナターゼ構造またはルチル構造の二酸化チタン系金属酸化物が挙げられる。
前記チタン系複酸化物としては、たとえば、チタン酸バリウム系、チタン酸鉛系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸ネオジウム系、チタン酸カルシウム系等の金属酸化物が挙げられる。
【００３１】
また、アルコール媒体などの分散媒への分散性を向上させるため、前記無機超微粒子の表面をシリカ、アルミナ等で変性した粒子も好適に用いることができる。
本発明の無機超微粒子の形状は、特に制限されるものではないが、球状、粒状、板状、麟片状、ウィスカー状、棒状、フィラメント状などの形状が挙げられる。これらの形状のうち、球状、粒状、片状、鱗片状であることが好ましい。これらの形状の無機超微粒子は、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３２】
本発明において使用する無機超微粒子は、たとえば気相法やゾルゲル法により合成することができる。気相法で合成した無機超微粒子を溶剤に分散するには、分散剤を併用して公知の分散方法、ビーズミル、混練法、高圧ホモジナイザーなどにより一次粒子にまで分散させることができる。
感光性誘電体形成用組成物における無機超微粒子（Ａ−２）の含有割合は、誘電体用複合粒子（Ａ−１）１００質量部に対して、好ましくは１〜３０質量部、より好ましくは５〜２０質量部であることが望ましい。
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂
感光性誘電体形成用組成物に使用されるアルカリ現像可能な樹脂としては、種々の樹脂を用いることができる。ここで、「アルカリ現像可能」とは、アルカリ性の現像液によって溶解する性質をいい、具体的には、目的とする現像処理が遂行される程度に溶解性を有していればよい。
【００３３】
かかるアルカリ可溶性樹脂の具体例としては、たとえば（メタ）アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノボラック樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂などを挙げることができる。
このようなアルカリ可溶性樹脂のうち、（メタ）アクリル系樹脂が好ましく、特に好ましいものとしては、たとえば
カルボキシル基含有モノマー類（イ）（以下「モノマー（イ）」ともいう）とその他の共重合可能なモノマー類（ハ）（以下「モノマー（ハ）」ともいう）との共重合体、または
モノマー（イ）とエポキシ基含有モノマー類（ロ）（以下「モノマー（ロ）」ともいう）とモノマー（ハ）との共重合体などの（メタ）アクリル樹脂を挙げることができる。
【００３４】
上記モノマー（イ）（カルボキシル基含有モノマー類）としては、たとえば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸、コハク酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００３５】
上記モノマー（ロ）（エポキシ基含有モノマー類）としては、たとえば、
アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−３,４−エポキシブチル、メタクリル酸−３,４−エポキシブチル、アクリル酸−６,７−エポキシヘプチル、メタクリル酸−６,７−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−６,７−エポキシヘプチル、Ｎ−［４−（２,３−エポキシプロポキシ）−３,５−ジメチルベンジル］アクリルアミド、Ｎ−［４−（２,３−エポキシプロポキシ）−３,５−ジメチルフェニルプロピル］アクリルアミドなどが挙げられる。
【００３６】
その他の共重合可能なモノマー類である上記モノマー（ハ）としては、たとえば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ラウリル、（メタ）アクリル酸ベンジル、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートなどのモノマー、モノマー（ロ）を含む場合は、モノマー（イ）および（ロ）以外の（メタ）アクリル酸エステル類；
スチレン、α−メチルスチレンなどの芳香族ビニル系モノマー類；
ブタジエン、イソプレンなどの共役ジエン類；
ポリスチレン、ポリ（メタ）アクリル酸メチル、ポリ（メタ）アクリル酸エチル、ポリ（メタ）アクリル酸ベンジル等のポリマー鎖の一方の末端に（メタ）アクリロイル基などの重合性不飽和基を有するマクロモノマー類；などが挙げられる。
【００３７】
上記モノマー（イ）とモノマー（ハ）との共重合体や、モノマー（イ）とモノマー（ロ）とモノマー（ハ）との共重合体は、モノマー（イ）および／またはモノマー（ロ）のカルボキシル基またはフェノール性水酸基含有モノマーに由来する共重合成分の存在により、アルカリ可溶性を有するものとなる。なかでもモノマー（イ）とモノマー（ロ）とモノマー（ハ）との共重合体は、誘電体用複合粒子（Ａ）の分散安定性や後述するアルカリ現像液への溶解性の観点から特に好ましい。この共重合体におけるモノマー（イ）に由来する共重合成分単位の含有率は、好ましくは１〜５０質量％、特に好ましくは５〜３０質量％であり、モノマー（ロ）に由来する共重合成分単位の含有率は、好ましくは１０〜７０質量％、特に好ましくは２０〜５０質量％であり、モノマー（ハ）に由来する共重合成分単位の含有率は、好ましくは１〜９８質量％、特に好ましくは４０〜９０質量％である。
【００３８】
感光性誘電体形成用組成物を構成するアルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）の分子量は、ＧＰＣによるポリスチレン換算の質量平均分子量（以下、単に「質量平均分子量（Ｍｗ）」ともいう）で、好ましくは５，０００〜５，０００，０００、さらに好ましくは１０，０００〜３００，０００であることが望ましい。
感光性誘電体形成用組成物におけるアルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）の含有割合は、誘電体用複合粒子（Ａ−１）１００質量部に対して、通常１〜５００質量部、好ましくは１０〜５００質量部、好ましくは１０〜２００質量部であることが望ましい。なお、感光性誘電体形成用組成物中に、たとえばビスマレイミド樹脂、エポキシ樹脂などのアルカリ現像可能な樹脂以外の樹脂を含有してもよい。
（Ｃ）感光性酸生成化合物
感光性酸生成化合物は放射線光の照射によって酸を生成する化合物である。たとえば１,２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、１,２−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、１,２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミド、１,２−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミド等を挙げることができる。具体的にはＪ．Ｋｏｓａｒ著“Ｌｉｇｈｔ−Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｓｙｓｔｅｍｓ”３３９〜３５２（１９６５）、Ｊｏｈｎ Ｗｉｌｅｙ ＆ Ｓｏｎｓ社（Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ）やＷ．Ｓ．Ｄｅ Ｆｏｒｅｓｔ著“Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ”５０（１９７５）、ＭｃＧｒａｗ−Ｈｉｌｌ、Ｉｎｃ.（Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ）に記載されている１,２−キノンジアジド化合物を挙げることができる。
【００３９】
これらの中で、放射線光を照射した後の４００〜８００ｎｍの可視光線領域における透明性が良好な化合物、たとえば２,３,４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２,３,４,４′−テトラヒドロキシベンゾフェノン、３′−メトキシ−２,３,４,４′−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２,２′,５,５′−テトラメチル−２′,４,４′−トリヒドロキシトリフェニルメタン、４,４′−［１−［４−（１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル）フェニル］エチリデン］ジフェノールおよび２,４,４−トリメチル−２′,４′,７−トリヒドロキシ−２−フェニルフラバン等の１,２−ベンゾキノンジアジド−４−スルホン酸エステル、１,２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステルまたは１,２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステルを好ましいものとして挙げることができる。
【００４０】
感光性酸生成化合物の添加量は、アルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）１００質量部に対して、好ましくは５〜１００質量部であり、特に好ましくは１０〜５０質量部である。５質量部未満であると、放射線光を吸収して生成する酸の量が少なくなるので、放射線照射前後のアルカリ水溶液に対する溶解度に差をつけることができず、パターニングが困難となり、組成物から得られるパターンの耐熱性に不具合が生じる恐れがある。また、１００質量部を超えると、短時間の放射線光の照射では添加した感光性酸生成化合物の大半が未だそのままの形で残存するため、アルカリ水溶液への不溶化効果が高過ぎて現像することが困難となる場合がある。
（Ｄ）溶剤
感光性誘電体形成用組成物には、必要に応じて溶剤（Ｄ）が含有される。上記溶剤（Ｄ）としては、誘電体用複合粒子（Ａ−１）や無機超微粒子（Ａ−２）との親和性、ならびにアルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）、感光性酸生成化合物（Ｃ）および必要に応じて含有される後述の各種添加剤（Ｅ）との溶解性が良好で、感光性誘電体形成用組成物に適度な粘性を付与することができ、乾燥させることによって容易に蒸発除去できるものであることが好ましい。
【００４１】
かかる溶剤の具体例としては、
ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類；
ｎ−ペンタノール、４−メチル−２−ペンタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類；
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル系アルコール類；
酢酸−ｎ−ブチル、酢酸アミルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類；
乳酸エチル、乳酸−ｎ−ブチルなどの乳酸エステル類；
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどのエーテル系エステル類
などを例示することができ、これらは、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００４２】
感光性誘電体形成用組成物における溶剤（Ｄ）の含有割合としては、良好な流動性が得られる範囲内において適宜選択することができるが、通常、誘電体用複合粒子（Ａ−１）１００質量部に対して、１〜１０，０００質量部であり、好ましくは１０〜１，０００質量部であることが望ましい。
（Ｅ）各種添加剤
感光性誘電体形成用組成物には、上記（Ａ−１）〜（Ｄ）成分のほかに、可塑剤、接着助剤、分散剤、充填剤、保存安定剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、レベリング剤、現像促進剤などの各種添加剤が任意成分として含有されていてもよい。
【００４３】
▲１▼接着助剤
接着助剤としては、下記式（１）で表される化合物などのシランカップリング剤〔飽和アルキル基含有（アルキル）アルコキシシラン〕が好適に用いられる。
【００４４】
【化１】

【００４５】
（式中、ｐは３〜２０の整数、ｍは１〜３の整数、ｎは１〜３の整数、ａは１〜３の整数である。）
上記式（１）において、飽和アルキル基の炭素数を示すｐは３〜２０の整数とされ、好ましくは４〜１６の整数とされる。
上記式（１）で表されるシランカップリング剤の具体例としては、ｎ−プロピルジメチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジメチルメトキシシラン、ｎ−デシルジメチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルメトキシシラン、ｎ−イコサンジメチルメトキシシランなどの飽和アルキルジメチルメトキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝１，ｎ＝１）；
ｎ−プロピルジエチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジエチルメトキシシラン、ｎ−デシルジエチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルメトキシシラン、ｎ−イコサンジエチルメトキシシランなどの飽和アルキルジエチルメトキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝１，ｎ＝２）；
ｎ−ブチルジプロピルメトキシシラン、ｎ−デシルジプロピルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルメトキシシラン、ｎ−イコサンジプロピルメトキシシランなどの飽和アルキルジプロピルメトキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝１，ｎ＝３）；
ｎ−プロピルジメチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジメチルエトキシシラン、ｎ−デシルジメチルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルエトキシシラン、ｎ−イコサンジメチルエトキシシランなどの飽和アルキルジメチルエトキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝２，ｎ＝１）；
ｎ−プロピルジエチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジエチルエトキシシラン、ｎ−デシルジエチルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルエトキシシラン、ｎ−イコサンジエチルエトキシシランなどの飽和アルキルジエチルエトキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝２，ｎ＝２）；
ｎ−ブチルジプロピルエトキシシラン、ｎ−デシルジプロピルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルエトキシシラン、ｎ−イコサンジプロピルエトキシシランなどの飽和アルキルジプロピルエトキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝２，ｎ＝３）；
ｎ−プロピルジメチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジメチルプロポキシシラン、ｎ−デシルジメチルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジメチルプロポキシシランなどの飽和アルキルジメチルプロポキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝３，ｎ＝１）；
ｎ−プロピルジエチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジエチルプロポキシシラン、ｎ−デシルジエチルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジエチルプロポキシシランなどの飽和アルキルジエチルプロポキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝３，ｎ＝２）；
ｎ−ブチルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−デシルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジプロピルプロポキシシランなどの飽和アルキルジプロピルプロポキシシラン類（ａ＝１，ｍ＝３，ｎ＝３）；
ｎ−プロピルメチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルメチルジメトキシシラン、ｎ−デシルメチルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジメトキシシラン、ｎ−イコサンメチルジメトキシシランなどの飽和アルキルメチルジメトキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝１，ｎ＝１）；
ｎ−プロピルエチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルエチルジメトキシシラン、ｎ−デシルエチルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジメトキシシラン、ｎ−イコサンエチルジメトキシシランなどの飽和アルキルエチルジメトキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝１，ｎ＝２）；
ｎ−ブチルプロピルジメトキシシラン、ｎ−デシルプロピルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジメトキシシラン、ｎ−イコサンプロピルジメトキシシランなどの飽和アルキルプロピルジメトキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝１，ｎ＝３）；
ｎ−プロピルメチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルメチルジエトキシシラン、ｎ−デシルメチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジエトキシシラン、ｎ−イコサンメチルジエトキシシランなどの飽和アルキルメチルジエトキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝２，ｎ＝１）；
ｎ−プロピルエチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルエチルジエトキシシラン、ｎ−デシルエチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジエトキシシラン、ｎ−イコサンエチルジエトキシシランなどの飽和アルキルエチルジエトキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝２，ｎ＝２）；
ｎ−ブチルプロピルジエトキシシラン、ｎ−デシルプロピルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジエトキシシラン、ｎ−イコサンプロピルジエトキシシランなどの飽和アルキルプロピルジエトキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝２，ｎ＝３）；
ｎ−プロピルメチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルメチルジプロポキシシラン、ｎ−デシルメチルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンメチルジプロポキシシランなどの飽和アルキルメチルジプロポキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝３，ｎ＝１）；
ｎ−プロピルエチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルエチルジプロポキシシラン、ｎ−デシルエチルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンエチルジプロポキシシランなどの飽和アルキルエチルジプロポキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝３，ｎ＝２）；
ｎ−ブチルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−デシルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンプロピルジプロポキシシランなどの飽和アルキルプロピルジプロポキシシラン類（ａ＝２，ｍ＝３，ｎ＝３）；
ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリメトキシシラン、ｎ−イコサントリメトキシシランなどの飽和アルキルトリメトキシシラン類（ａ＝３，ｍ＝１）；
ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリエトキシシラン、ｎ−イコサントリエトキシシランなどの飽和アルキルトリエトキシシラン類（ａ＝３，ｍ＝２）；
ｎ−プロピルトリプロポキシシラン、ｎ−ブチルトリプロポキシシラン、ｎ−デシルトリプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリプロポキシシラン、ｎ−イコサントリプロポキシシランなどの飽和アルキルトリプロポキシシラン類（ａ＝３，ｍ＝３）などを挙げることができ、これらは、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００４６】
これらのうち、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリメトキシシラン、ｎ−デシルジメチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルメトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリエトキシシラン、ｎ−デシルエチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルトリプロポキシシラン、ｎ−デシルトリプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリプロポキシシランなどが特に好ましい。
【００４７】
感光性誘電体形成用組成物における接着助剤の含有割合としては、誘電体用複合粒子（Ａ−１）１００質量部に対して、０．００１〜１０質量部、さらに好ましくは０．００１〜５質量部であることが望ましい。
▲２▼分散剤
誘電体用複合粒子（Ａ−１）の分散剤としては、脂肪酸が好ましく用いられ、特に、炭素数４〜３０、好ましくは４〜２０の脂肪酸が好ましい。上記脂肪酸の好ましい具体例としては、フマル酸、フタル酸、マロン酸、イタコン酸、シトラコン酸、オクタン酸、ウンデシル酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ペンタデカン酸、ステアリン酸、アラキン酸等の飽和脂肪酸；エライジン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸などの不飽和脂肪酸を挙げることができ、これらは、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００４８】
感光性誘電体形成用組成物における分散剤の含有割合としては、誘電体用複合粒子（Ａ−１）１００質量部に対して、０．００１〜１０質量部、好ましくは０．０１〜５質量部であることが望ましい。
▲３▼充填剤
本発明の感光性誘電体形成用組成物は、前記（Ａ−１）〜（Ｄ）成分の他に、さらに、充填剤を含有することができる。このような充填剤として、誘電率を向上させる添加剤としては、カーボン微粉（例：アセチレンブラック、ケッチェンブラックなど）、黒鉛微粉などの導電性微粒子、炭化ケイ素微粉などの半導体性の微粒子などが挙げられる。これらの誘電率向上用の充填剤を添加する場合には、誘電体用複合粒子（Ａ−１）１００質量％に対し、好ましくは０〜１０質量％、さらに好ましくは０．０５〜３質量％、特に好ましくは０．１〜１質量％の量で使用することが望ましい。
【００４９】
［感光性転写フィルム］
本発明に係る感光性転写フィルムは、上記の感光性誘電体形成組成物を支持フィルム上に塗布して、支持フィルム上に感光性転写層を設けることで得ることができ、さらにこの感光性転写層の表面に保護フィルムが設けられていてもよい。
＜支持フィルムおよび保護フィルム＞
本発明の感光性転写フィルムを構成する支持フィルムは、耐熱性および耐溶剤性を有すると共に可撓性を有する樹脂フィルム或いは導電性箔であることが好ましい。支持フィルムが可撓性を有することにより、ロールコータによってペースト状組成物を塗布することによって感光性転写層を形成することができ、感光性転写層をロール状に巻回した状態で保存し、供給することができる。支持フィルムが導電性箔である場合には、誘電体層を別の基板上にラミネートした後に導電性箔を別のドライフィルムフォトレジスト（ＤＦＲ）を用いてパターニングした後に、これを露光マスクとして誘電体層を露光現像した後に誘電体層の上部電極としてこれを用いることができる。
【００５０】
支持フィルムに用いる樹脂としては、たとえばポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、含フッ素樹脂（たとえば、ポリフルオロエチレンなど）、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。支持フィルムの厚さは、たとえば２０〜１００μｍ、強度等の観点から１５〜５０μｍであることが好ましい。樹脂製の支持フィルムの表面には離型処理が施されていることが好ましい。離型処理がされていると、後述のパターンの形成工程において、支持フィルムの剥離操作を容易に行うことができるからである。離型処理としては、たとえば、シリコン系離型剤、フッ素系離型剤、シリコン−フッ素系離型剤を塗布する処理が好適に用いられる。
【００５１】
支持フィルムに用いる導電性箔は、たとえば銅、金、銀、白金、ニッケル、ステンレス、アルミニウム、鉄および各種合金からなる箔を挙げることができる。これらの箔のなかで耐酸化性、導電性と柔軟性の観点から銅、金、銀、白金、ニッケル、アルミニウムが特に好ましい。また、必要に応じて複数の導電性箔の積層体や、樹脂基板や不織布樹脂含浸基板の上に積層された基板であっても良い。このような導電性箔の厚さは特に制限されるものではないが、通常５〜７５μｍ、好ましくは８〜５０μｍ、特に好ましくは１０〜２５μｍの範囲にあるものが望ましい。
【００５２】
なお、保護フィルムについても、支持フィルムと同様のものを用いることができる。また、保護フィルムの表面には通常、離型処理が施され、保護フィルム／感光性転写層間の剥離強度が、支持フィルム／感光性転写層間の剥離強度よりも小さいことが必要である。
＜感光性転写層＞
本発明の感光性転写フィルムを構成する感光性転写層は、上記の感光性誘電体形成用組成物を支持フィルム上に塗布し、塗膜を乾燥して溶剤の一部または全部を除去することにより形成することができる。
【００５３】
感光性誘電体形成用組成物を支持フィルム上に塗布し、感光性転写層を得る方法としては、膜厚の均一性に優れた膜厚の大きい（たとえば１μｍ以上）塗膜を効率よく形成することができるものであることが好ましく、具体的には、ロールコーターによる塗布方法、ブレードコーターによる塗布方法、スリットコーターによる塗布方法、カーテンコーターによる塗布方法、ワイヤーコーターによる塗布方法などを好ましいものとして挙げることができる。
【００５４】
塗膜の乾燥条件は、５０〜１５０℃で、０．５〜３０分間程度であり、乾燥後における溶剤の残存割合（感光性転写層中の含有率）は、通常、２質量％以下、好ましくは１質量％以下であることが望ましい。
上記のようにして支持フィルムの少なくとも片面に形成される感光性転写層の膜厚は、１〜１００μｍ、好ましくは３〜７０μｍ、さらに好ましくは５〜５０μｍであることが望ましい。
【００５５】
また、感光性転写層中の誘電体形成用複合粒子（Ａ−１）の含有量としては、転写フィルムにおける感光性転写層全体に対して、３０〜９０質量％、好ましくは４０〜８０質量％であることが望ましい。このような感光性転写層を有することにより、基板への密着性に優れ、かつ寸法精度の高いパターンを形成することができる感光性転写フィルムを得ることができる。
【００５６】
［誘電体］
本発明の感光性誘電体形成用組成物および感光性転写フィルムを用いることにより、５００℃以下の温度で加熱することで、誘電率が３０以上、誘電正接が０．１以下の誘電体を形成することができる。以下、本発明の誘電体の形成方法および誘電体の物性について詳述する。
【００５７】
＜誘電体層パターンの形成方法＞
本発明の感光性誘電体形成用組成物を用いた誘電体層パターンの形成方法は、〔１−１〕感光性誘電体形成用組成物の塗布工程、あるいは〔１−２〕感光性転写層の転写工程、〔２〕誘電体層の露光工程、〔３〕誘電体層の現像工程、〔４〕誘電体層パターンの硬化工程の各工程を有する。
〔１−１〕感光性誘電体形成用組成物の塗布工程
塗布工程では、たとえば塗布機などを用いて、基板上に本発明の感光性誘電体形成用組成物を塗布し、誘電体層を形成する。ここで、好ましい塗布機としては、スクリーン印刷機、グラビアコート機、ロールコート機、バーコーター、ダイコーター等が挙げられる。上記基板材料としては、特に限定されないが、たとえばプリント配線基板、銅張積層板（ＣＣＬ）、ＳＵＳ基板、銅箔付きポリイミド基板、セラミックス基板、シリコーンウエハー、アルミナ基板などからなる板状部材が挙げられる。
【００５８】
具体的には、たとえば、本発明の感光性誘電体形成用組成物を、スクリーン印刷機などによりプリント配線基板等上に印刷し、オーブン等を用いて当該感光性誘電体形成用組成物を乾燥させ、誘電体層を形成することができる。
〔１−２〕感光性転写層の転写工程
転写工程では、本発明の感光性転写フィルムを使用し、当該感光性転写フィルムを構成する感光性転写層を基板上に転写する。
【００５９】
基板材料としては、たとえばプリント配線基板、銅張積層板（ＣＣＬ）、ＳＵＳ基板、銅箔付きポリイミド基板、セラミックス基板、シリコーンウエハー、アルミナ基板などからなる板状部材が用いられる。この板状部材の表面に予め所望のパターンを形成したものを用いても差し支えない。基板表面に対しては、必要に応じて、シランカップリング剤などによる薬品処理；
プラズマ処理；
イオンプレーティング法、スパッタリング法、気相反応法、真空蒸着法などによる薄膜形成処理のような前処理を適宜施していてもよい。
【００６０】
転写工程の一例を示せば以下のとおりである。必要に応じて使用される感光性転写フィルムの保護フィルムを剥離した後、基板上に、感光性転写層の表面が当接されるように感光性転写フィルムを重ね合わせ、この感光性転写フィルムを加熱ローラなどにより熱圧着する。これにより、基板上に感光性転写層が転写されて密着した状態となる。ここで、転写条件としては、たとえば、加熱ローラの表面温度が２０〜１４０℃、加熱ローラによるロール圧が１〜５ｋｇ／ｃｍ² 、加熱ローラの移動速度が０．１〜１０．０ｍ／分であるような条件を示すことができる。また、基板は予熱されていてもよく、予熱温度としてはたとえば４０〜１００℃とすることができる。
〔２〕誘電体層の露光工程
露光工程においては、上記のようにして形成した誘電体層の表面に、露光用マスクを介して、放射線を選択的に照射（露光）して、誘電体層にパターンの潜像を形成する。
【００６１】
また、上記の［１−１］でさらにドライフィルムレジスト付き導電性箔をラミネート、あるいは［１−２］で支持フィルムに導電性箔を使用して導電性箔付き誘電体層を形成した上に、これをパターン化した後にケミカルエッチングして、導電性箔を露光用マスクとすることも可能である。
露光工程において、選択的照射（露光）される放射線としては、たとえば可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線あるいはＸ線等が挙げられ、好ましくは可視光線、紫外線および遠紫外線が、さらに好ましくは紫外線が用いられる。
【００６２】
露光用マスクの露光パターンは目的によっても異なるが、たとえば、１０〜１０００μｍ角のドットパターンが用いられる。
放射線照射装置としては、たとえばフォトリソグラフィー法で使用されている紫外線照射装置、半導体および液晶表示装置を製造する際に使用されている露光装置などが挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
〔３〕誘電体層の現像工程
現像工程においては、露光された誘電体層を現像処理することにより、誘電体層のパターン（潜像）を顕在化させる。
【００６３】
誘電体層の現像工程で使用される現像液としては、アルカリ現像液を使用することができる。これにより、誘電体層に含有されるアルカリ可溶性樹脂（アルカリ現像可能な樹脂（Ｂ））を容易に溶解除去することができる。
なお、誘電体層に含有される誘電体用複合粒子（Ａ−１）および/または無機超微粒子（Ａ−２）は、アルカリ可溶性樹脂により均一に分散されているため、バインダーであるアルカリ可溶性樹脂を溶解させ、洗浄することにより、溶解したアルカリ可溶性樹脂中に分散していた誘電体用複合粒子（Ａ−１）および/または無機超微粒子（Ａ−２）も同時に除去される。
【００６４】
このようなアルカリ現像液の有効成分としては、たとえば
水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどの無機アルカリ性化合物；
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどの有機アルカリ性化合物
などを挙げることができる。
【００６５】
誘電体層の現像工程で使用されるアルカリ現像液は、前記アルカリ性化合物の１種または２種以上を水などの溶媒に溶解させることにより調製することができる。アルカリ性現像液におけるアルカリ性化合物の濃度は、通常０．００１〜１０質量％であり、好ましくは０．０１〜５質量％である。アルカリ現像液には、ノニオン系界面活性剤または有機溶剤などの添加剤が含有されていてもよい。
【００６６】
なお、アルカリ現像液による現像処理がなされた後は、通常、水洗処理が施される。また、必要に応じて現像処理後に感光性転写層パターン側面および基板露出部に残存する不要分を擦り取る工程を含んでもよい。
現像処理条件としては、現像液の種類・組成・濃度、現像時間、現像温度、現像方法（たとえば浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法）、現像装置などを目的に応じて適宜選択することができる。
【００６７】
この現像工程により、誘電体層残留部と、誘電体層除去部とから構成される誘電体層パターン（露光用マスクに対応するパターン）が形成される。
〔４〕誘電体層パターンの硬化工程
硬化工程においては、誘電体層パターンを熱硬化処理して、パターンを形成する。このような熱硬化処理は、５００℃以下の温度で加熱することにより行うことができ、好ましくは１００〜５００℃、さらに好ましくは１５０〜３００℃の温度で行うことが望ましい。加熱時間は、好ましくは１分〜２４時間、さらに好ましくは１０分〜１２時間の範囲で行うことが望ましい。
【００６８】
感光性誘電体形成用組成物を加熱して硬化させる場合の加熱方法としては、たとえば、オーブン、赤外線ランプ、ホットプレート等により加熱する方法が挙げられる。
＜誘電体の物性＞
本発明に係る感光性誘電体形成用組成物あるいは感光性転写フィルムから得られる誘電体は、誘電率が３０以上、好ましくは１００以上、さらに好ましくは１５０以上、特に好ましくは２００以上であることが望ましい。誘電率の上限は特に限定されないが、たとえば３００００程度であってもよい。また、本発明に係る感光性誘電体形成用組成物あるいは感光性転写フィルムから得られる誘電体は、誘電正接が０．１以下、好ましくは０．０８以下、さらに好ましくは０．０６以下であることが望ましい。誘電正接の下限は特に限定されないが、たとえば０．００１程度であってもよい。
【００６９】
なお、本明細書において、誘電率、誘電正接は、ＪＩＳ Ｋ６４８１（周波数１ＭＨｚ）に記載の方法により測定した値である。
また、このような誘電体をコンデンサとして使用する場合のリーク電流は、１０^-8Ａ/cm²以下、好ましくは１０^-9Ａ/cm²以下、さらに好ましくは１０^-10Ａ/cm²以下であることが望ましい。
【００７０】
なお、この誘電体の厚さは、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下であることが望ましい。フィルム厚さの下限は特に限定されないが、通常は１μｍ以上である。
［電子部品］
本発明の誘電体は、５００℃以下という低い温度で加熱焼成して得ることができ、誘電率が３０以上でありかつ誘電正接が０．１以下であり、薄膜で静電容量の大きなコンデンサ等を形成することができる。また、この誘電体を備えたプリント回路基板、半導体パッケージ、コンデンサ、高周波用アンテナ等の電子部品は、小型でかつ高密度のものとすることができる。
【００７１】
【発明の効果】
本発明に係る感光性誘電体形成用組成物、感光性転写フィルムを用いると、前記のように５００℃以下という低い加熱温度で、しかも０．１以下という低い誘電正接かつ３０以上という高い誘電率の誘電体を形成することができる。
本発明に係る誘電体は、薄膜で高誘電率であるので、プリント回路基板、半導体パッケージ、コンデンサ、高周波用アンテナ等の電子部品等において好適に利用される。
【００７２】
本発明に係る電子部品は、前記誘電体を備えることから、小型化、薄膜化することができる。
【００７３】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」は「質量部」を、「％」は「質量％」を示す。
また、質量平均分子量（Ｍｗ）は、東ソー株式会社製ゲルパーミィエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（商品名ＨＬＣ−８０２Ａ）により測定したポリスチレン換算の平均分子量である。
【００７４】
【合成例１】
フラスコ内を窒素置換した後、２,２′−アゾビスイソブチロニトリル９.０ｇを溶解したジエチレングリコールジメチルエーテル溶液４５９.０ｇを仕込んだ。引き続きスチレン２２.５ｇ、メタクリル酸４５.０ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート６７.５ｇおよびメタクリル酸グリシジル９０.０ｇを仕込んだ後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持した後、９０℃で１時間加熱して重合を終結させた。
【００７５】
その後、反応生成溶液を多量の水に滴下し反応物を凝固させた。この凝固物を水洗後、テトラヒドロフラン２００ｇに再溶解し、多量の水で再度、凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行った後、得られた凝固物を６０℃で４８時間真空乾燥し、目的とする共重合体［１］を得た。
【００７６】
【合成例２】
フラスコ内を窒素置換した後、２,２′−アゾビスイソブチロニトリル９.０ｇを溶解した３−メトキシプロピオン酸メチル溶液４５９.０ｇを仕込んだ。引き続き、メタクリル酸５６.２５ｇ、メチルメタクリレート９０.０ｇおよびメタクリル酸−３,４−エポキシブチル７８.７５ｇを仕込んだ後、ゆるやかに撹拌を始めた。８０℃で重合を開始し、この温度を５時間保持した後、９０℃で１時間加熱して重合を終結させた。その後、合成例１と同様にして共重合体［２］を得た。
【００７７】
【合成例３】
テトラカルボン酸二無水物として３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物３２．２９ｇ（９０ミリモル）および１，３，３ａ，４，５，９Ａ−ヘキサヒドロ−５（テトラヒドロ−２，５−ジオキソ−３−フラニル）−ナフト［１，２−ｃ］−フラン−１，３−ジオン３．００ｇ（１０ミリモル）、ジアミン化合物として２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン２８．７４ｇ（７０ミリモル）、オルガノシロキサンＬＰ７１００（商品名、信越化学（株）製）２．４９ｇ（１０ミリモル）、３，５−ジアミノ安息香酸３．０４ｇ（２０ミリモル）を、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）４５０ｇに溶解して、室温で１２時間反応させた。その後、この反応溶液に、ピリジン３２ｇおよび無水酢酸７１ｇを添加し、１００℃で３時間脱水閉環反応を行った。次いで、反応溶液を減圧留去して精製し、固形分濃度１５％のポリイミドＮＭＰ溶液を得た。
【００７８】
【実施例１】
（１）誘電体用複合粒子の製造
チタン酸バリウム粒子（商品名「ＨＰＢＴ−１」、富士チタン株式会社製、平均粒子径０．６μｍ、誘電率２０００）を用いて、無電解銀メッキ法により表面に銀をコートして、誘電体用複合粒子（ａ）を得た。
【００７９】
得られた粉体のＳＥＭ（走査形電子顕微鏡）観察から、粒子表面に銀の微粒子が部分的に付着していることを確認した。また、蛍光Ｘ線によりチタン酸バリウム表面に銀が質量比換算で２０％付着していることを確認した。一方、粉末の比表面積は３．５ｍ²／ｇであった。
（２）感光性誘電体形成用組成物の調製
（Ａ−１）誘電体用複合粒子として、前記誘電体用複合粒子（ａ）１００部、（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例１で得られた共重合体［１］１５部、（Ｄ）溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル５０部、（Ｃ）感光性酸生成化合物として、４,４′−［１−［４−（１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル）フェニル］エチリデン］ジフェノールの１,２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル（平均エステル化率６６.７モル％）１部を、ビーズミルで混練りした後、ステンレスメッシュ（５００メッシュ）および孔径１μｍのフィルターで濾過することにより、感光性誘電体形成用組成物を調製した。
（３）感光性誘電体形成用組成物の塗布工程
感光性誘電体形成用組成物をプリント配線基板上にブレードコーターを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を完全に除去し、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成した。
（４）誘電体層の露光工程・現像工程
感光性誘電体層に対して、露光用マスク（５００μｍ角のドットパターン）を介して、超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射した。照射量は１００ｍＪ／ｃｍ²とした。
【００８０】
露光工程の終了後、露光処理された感光性誘電体層に対して、０．１２質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（２５℃）を現像液とするシャワー法による現像処理を２分かけて行った。次いで超純水による水洗処理を行い、これにより、紫外線が照射されて可溶化された感光性誘電体層を除去し、パターンを形成した。
（５）誘電体層パターンの硬化工程
感光性誘電体層パターンが形成されたプリント配線基板をオーブン内で２００℃の温度雰囲気下で６０分間にわたり硬化処理を行った。これにより、プリント配線基板の表面に誘電体パターンが得られた。
【００８１】
得られた誘電体パターンのパターニング特性および誘電体特性については、後述の方法により評価した。結果を表１に示す。
【００８２】
【実施例２】
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例１の共重合体［１］に代えて、合成例２で得られた共重合体［２］２０部を用いたこと以外は、実施例１と全く同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表１に示す。
【００８３】
【実施例３】
チタン酸バリウム粒子（商品名「ＢＴ−０２」、堺化学株式会社製、平均粒子径０．２μｍ、誘電率２０００）を用いて、無電解銀メッキ法により表面に銀をコートして、誘電体用複合粒子（ｂ）を得た。
得られた粉体のＳＥＭ観察から、粒子表面に銀の微粒子が部分的に付着していることを確認した。また、蛍光Ｘ線によりチタン酸バリウム表面に銀が質量比換算で１５％付着していることを確認した。一方、粉末の比表面積は４．０ｍ²／ｇであった。
【００８４】
（Ａ−１）誘電体用複合粒子として、前記誘電体用複合粒子（ｂ）１００部、（Ａ−２）無機超微粒子として、チタニア（シーアイ化成株式会社製、平均粒子径２０ｎｍ、誘電率１００）の乳酸エチル分散体（固形分濃度２０％） ２５部、（Ｄ）溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル５０部に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル４０部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表１に示す。
【００８５】
【実施例４】
（Ａ−１）誘電体用複合粒子として、前記誘電体用複合粒子（ａ）１００部、（Ａ−２）無機超微粒子として、チタニアに代えてチタン酸バリウム（ゾルゲル法により調製した平均粒子径３０ｎｍ、誘電率２０００）のＮＭＰ分散体（固形分濃度２０％） ２０部、（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例１の共重合体［１］に代えて、合成例３のポリイミドＮＭＰ溶液（固形分濃度１５％）１００部、（Ｄ）溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル５０部を加えないこと以外は、実施例２と全く同様にして感光性誘電体形成用組成物を調製した。当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと、および硬化工程においてオーブン内温度を２００℃から２３０℃に変更したこと以外は実施例１と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像、硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表１に示す。
【００８６】
【実施例５】
チタン酸バリウム粒子（商品名「ＢＴ−０２」、堺化学株式会社製、平均粒子径０．２μｍ、誘電率２０００）を用いて、スパッタ法により表面に窒化チタンをコートして、誘電体用複合粒子（ｃ）を得た。
得られた粉体のＳＥＭ観察から、粒子表面に窒化チタンの微粒子が部分的に付着していることを確認した。また、ＳＩＭＳ（二次イオン形質量分析法）によりチタン酸バリウム表面に窒化チタンが質量比換算で８％付着していることを確認した。一方、粉末の比表面積は３．０ｍ²／ｇであった。
【００８７】
（Ａ）誘電体用複合粒子として、前記誘電体用複合粒子（ｃ）１００部を用いたこと以外は実施例１と同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表１に示す。
【００８８】
【比較例１】
誘電体用複合粒子（ａ）に代えて、本発明の範囲外のチタン酸バリウム（商品名「ＨＰＢＴ−１」、富士チタン株式会社製、平均粒子径０．６μｍ、誘電率２０００）１００部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表１に示す。
【００８９】
【実施例６】
（１）誘電体用複合粒子の製造
実施例１と同様にして、誘電体用複合粒子（ａ）を得た。
（２）感光性誘電体形成用組成物の調製
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例１の共重合体［１］１５部に代えて３５部、（Ｄ）溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル５０部に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテル７５部および乳酸エチル７５部としたこと以外は、実施例１と全く同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。
（３）感光性転写フィルムの作製
上記で得られた感光性誘電体形成用組成物を銅箔からなる支持フィルム（幅３００mm、長さ５００mm、１３μｍ厚）上にダイコーターを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を除去し、厚さ１０μｍの感光性誘電体形成層を支持フィルム上に形成し、感光性転写フィルムを作製した。
（４）感光性転写層の転写工程
プリント配線基板の表面に、感光性転写層の表面が当接されるように感光性転写フィルムを重ね合わせ、この感光性転写フィルムを加熱ローラにより熱圧着した。ここで、圧着条件としては、加熱ローラの表面温度を１２０℃、ロール圧を４ｋｇ／ｃｍ²、加熱ローラの移動速度を０．５ｍ／分とした。これにより、プリント配線基板の表面に銅箔付き感光性誘電体形成層が転写されて密着した状態となった基板を得た。この感光性誘電体形成層について膜厚を測定したところ、１０μｍ±１μｍの範囲にあった。
（５）誘電体層の露光工程・現像工程
上記で得た基板の上に、ポジ用ＤＦＲをラミネートして、露光用マスク（５００μｍ角のドットパターン）を介して、超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射してパターニングした。これを定法により現像した後、開口部に対し塩化第二銅溶液を用いてケミカルエッチングして、パターニングされた銅箔付き感光性誘電体形成層が得られた。さらに、このパターニングされた銅箔を露光用マスクにして、超高圧水銀灯により露光した。照射量は４００ｍＪ／ｃｍ²とした。
【００９０】
露光工程の終了後、露光処理された感光性誘電体形成層に対して、０．１２質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（３０℃）を現像液とするシャワー法による現像処理を２分かけて行った。次いで超純水による水洗処理を行い、これにより、紫外線が照射されて可溶化された感光性誘電体層を除去し、パターンを形成した。
（６）誘電体層パターンの硬化工程
銅箔付き感光性誘電体形成層パターンが形成されたプリント配線基板をオーブン内で２００℃の温度雰囲気下で３０分間にわたり硬化処理を行った。これにより、プリント配線基板の表面に銅箔付き誘電体パターンが得られた。
【００９１】
得られた誘電体パターンのパターニング特性および誘電体特性については、後述の方法により評価した。結果を表２に示す。
【００９２】
【実施例７】
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例１の共重合体［１］１５部に代えて３５部、（Ｄ）溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル５０部に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテル７５部および乳酸エチル５５部としたこと以外は、実施例３と全く同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。
【００９３】
当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと以外は、実施例６と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表２に示す。
【００９４】
【実施例８】
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例３のポリイミドＮＭＰ溶液（固形分濃度１５％）１００部に代えて２００部としたこと以外は、実施例４と全く同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製した。
当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと、硬化工程においてオーブン内温度を２００℃から２３０℃に変更したこと以外は、実施例６と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表２に示す。
【００９５】
【比較例２】
（Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂として、合成例１の共重合体［１］１５部に代えて３５部、（Ｄ）溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０部および乳酸エチル５０部に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテル７５部および乳酸エチル７５部としたこと以外は、比較例１と全く同様にして、感光性誘電体形成用組成物を調製し、当該感光性誘電体形成用組成物を用いたこと以外は実施例６と同様にして、厚さ１０μｍの感光性誘電体層を形成後、露光・現像・硬化工程を行い、誘電体パターンを作製し、評価を行った。結果を表２に示す。
【００９６】
なお、誘電体パターンのパターニング特性および誘電体特性については以下のようにして評価した。
〔パターニング特性〕
実施例１〜８、および比較例１〜２： 得られた誘電体パターンについて、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、当該誘電体パターンの幅および高さの測定を行い、幅の精度について、５００μｍ±１０μｍの範囲にあるものを○、それ以外のものを×として評価した。また、パターンの欠落についての観察を行い、欠落のないものについて○、欠落のあるものについて×として評価した。
〔誘電率、誘電正接およびリーク電流〕
実施例１〜５、および比較例１： 得られた誘電体パターン上面にアルミ蒸着法により上面電極（厚み；0.5μｍ）を形成した。
【００９７】
実施例６〜８、および比較例２： 得られた銅箔付き誘電体パターンの上面の銅箔を上面電極として使用した。
プリント配線基板側と上面電極の間でＬＣＲメーター（ＨＰ４２８４Ａ、ヒューレットパッカード社製）により１ＭＨｚでの誘電率、誘電正接を１０点測定してその平均値を求めた。また、銅箔側と電極の間でのリーク電流を絶縁抵抗計（アドバンテスト製）で１０点測定してその平均値を求めた。
〔耐湿熱性（ＨＡＳＴ試験）〕
硬化フィルムについて、１２１℃、湿度１００％、２気圧の条件下で、７２時間耐湿熱性試験を行って、試験の前後で赤外線分光測定を実施し、その変化の程度により、耐湿熱性を下記基準で評価した。
【００９８】
○・・・変化がなく耐性が認められる
×・・・変化が大きく耐性が認められない
【００９９】
【表１】

【０１００】
【表２】

Claims (16)

1. （Ａ−１）平均粒子径が０．１〜２μｍでありかつ誘電率が３０以上である無機粒子の表面の一部に、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が付着された誘電体用複合粒子と、
   （Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂と、
   （Ｃ）感光性酸生成化合物と
   を含有することを特徴とする感光性誘電体形成用組成物。
2. （Ａ−１）平均粒子径が０．１〜２μｍでありかつ誘電率が３０以上である無機粒子の表面の一部に、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が付着された誘電体用複合粒子と、
   （Ａ−２）平均粒子径が０．１μｍ以下である無機超微粒子と、
   （Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂と、
   （Ｃ）感光性酸生成化合物と
   を含有することを特徴とする感光性誘電体形成用組成物。
3. ５００℃以下の加熱で、誘電率が３０以上、誘電正接が０．１以下の誘電体を形成することが可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性誘電体形成用組成物。
4. 前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）を構成する無機粒子および前記無機超微粒子（Ａ−２）がチタン系金属酸化物からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性誘電体形成用組成物。
5. 前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）において、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が、無電解メッキ法により付着されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感光性誘電体形成用組成物。
6. 前記アルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）が、（メタ）アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノボラック樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の感光性誘電体形成用組成物。
7. （Ａ−１）平均粒子径が０．１〜２μｍでありかつ誘電率が３０以上である無機粒子の表面の一部に、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が付着された誘電体用複合粒子と、
   （Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂と、
   （Ｃ）感光性酸生成化合物と
   を含有する感光性誘電体形成用組成物が膜厚１〜１００μｍで支持フィルム上に設けられていることを特徴とする感光性転写フィルム。
8. （Ａ−１）平均粒子径が０．１〜２μｍでありかつ誘電率が３０以上である無機粒子の表面の一部に、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が付着された誘電体用複合粒子と、
   （Ａ−２）平均粒子径が０．１μｍ以下である無機超微粒子と、
   （Ｂ）アルカリ現像可能な樹脂と、
   （Ｃ）感光性酸生成化合物と
   を含有する感光性誘電体形成用組成物が膜厚５〜１００μｍで支持フィルム上に設けられていることを特徴とする感光性転写フィルム。
9. ５００℃以下の加熱で、誘電率が３０以上、誘電正接が０．１以下の誘電体を形成することが可能であることを特徴とする請求項７または８に記載の感光性転写フィルム。
10. 前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）を構成する無機粒子および前記無機超微粒子（Ａ−２）が、チタン系金属酸化物であることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の感光性転写フィルム。
11. 前記誘電体用複合粒子（Ａ−１）において、導電性金属もしくはその化合物または導電性有機化合物もしくは導電性無機物が、無電解メッキ法により付着されていることを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載の感光性転写フィルム。
12. 前記アルカリ現像可能な樹脂（Ｂ）が、（メタ）アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノボラック樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項７〜１１のいずれかに記載の感光性転写フィルム。
13. 請求項１〜６のいずれかに記載の感光性誘電体形成用組成物を用いて形成される誘電体。
14. 請求項７〜１２のいずれかに記載の感光性転写フィルムを用いて形成される誘電体。
15. 請求項１３または１４に記載の誘電体が導電性箔上に形成されていることを特徴とする導電性箔付き誘電体。
16. 請求項１３〜１５のいずれかに記載の誘電体を含むことを特徴とする電子部品。