JP4561500B2 - ワイヤレスひずみ測定システム - Google Patents
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図1において、RFセンサ1は、ひずみセンサ、アンプ、A/D変換器、通信制御部、整流・検波・変復調回路、アンテナがひとつのシリコン製チップの上に形成されている。上記アンプなどの回路を動作させるためにチップ外部からチップに対して電磁波を照射し、電磁誘導によってチップ上のアンプなどの電子回路を起動させる。このRFセンサは電子回路を起動させてチップ上のひずみセンサのひずみ量を検出し、ひずみ量を示す信号とチップ固有の認識番号を電磁波を照射しているチップ外部のリーダへ送信する機能を有するセンサである。
図2は第2の実施例を備えたRFセンサの斜視図である。
図2において、RFセンサ1のチップ全体がシリコンの縦弾性係数以下の物質6で囲まれている。RFセンサ1を被測定物に貼り付けまたは、埋め込んでひずみを測定しようとした場合、一般的な鋼や軽金属、樹脂などの縦弾性係数は、いずれもRFセンサを構成しているシリコンのそれよりも小さい。被測定物の破断ひずみを測定しようとした場合、被測定物が破断する前にシリコンでできたRFセンサ1が破断する可能性は高い。
図3は第3の実施例を備えたRFセンサの斜視図である。
図3において、RFセンサ1のチップがチップの1辺とほぼ同じ長さを有する直方体7の3面にシリコンの縦弾性係数以下の物質を介して接合している。そして、図で上面に取り付けられているセンサのひずみ高出力方向8と下面に取り付けられているセンサのひずみ高出力方向10と右側面に取り付けられているセンサのひずみ高出力方向9と左側面に取り付けられているセンサのひずみ高出力方向11が同じ方向を向いている。
図4は第4の実施例を備えたRFセンサチップが貼り付けられた板の斜視図である。
図4において、RFセンサ14、RFセンサ15、RFセンサ16の3枚のRFセンサがシリコンの縦弾性係数以下の板状の物質17に、ひずみの感度の方向を変えて接合されている。ひずみの高出力方向の向きを互いに45゜づつ変えておけば、RFセンサ14のひずみをε'、 RFセンサ15のひずみをε''、 RFセンサ16のひずみをε'''、とした場合、板17を被測定物に取り付けてひずませた場合の主ひずみをε1、ε2とした場合、ε1の方向とRFセンサ15のひずみε''の方向のなす角度θは、次式を満たす。
図5はRFセンサを取り付けた直方体の斜視図である。
図5において、RFセンサチップ3枚が、互いのひずみの測定方向が45゜づつ異なって取り付けられた板18が、板の一辺の長さにほぼ等しいシリコンの縦弾性係数以下の物質でできた直方体21の上面に、取り付けられている。また、直方体21の側面にもRFセンサチップが3枚互いのひずみの測定方向が45゜づつ異なって取り付けられた板19が取り付けられ、また直方体21の正面にもRFセンサチップが3枚互いのひずみの測定方向が45゜づつ異なって取り付けられた板20が取り付けられている。
図6はRFセンサを取り付けた直方体の斜視図である。
図6において、RFセンサチップ3枚が、互いのひずみの測定方向が45゜づつ異なって取り付けられた板18が、板の1辺とほぼ同じ長さを有する内寸を有するシリコンの縦弾性係数以下の弾性係数を有する直方体22の凹部内面下面に、接合されている。また、直方体22の内面の側面にもRFセンサチップ3枚が、互いのひずみの測定方向が45゜づつ異なって取り付けられた板19が取り付けられ、また直方体22の内面の正面にもRFセンサチップ3枚が、互いのひずみの測定方向が45゜づつ異なって取り付けられた板20が取り付けられている。そして、直方体22の上部に直方体の各辺に長さが等しい蓋23が取り付けられる。直方体22の内部は気体であっても、接着材のような低弾性体で満たされていても良い。
図7はRFセンサを含んだ直方体を内在した鉄筋コンクリート柱の斜視図である。
図8は鉄筋コンクリートで製作された架橋および、劣化診断を行う検査車の斜視図である。図9は本実施例による構成部材の初期ひずみから変化量と疲労残存寿命の関係を示すグラフ図である。
図8において、車輌が通るガイドウェイ26は架柱27によって支えられている。架柱27の中には、実施例7で説明したRFセンサが埋め込まれたコンクリート柱24が含まれている。RFセンサを内在した直方体22は、あらかじめ架柱27を製作する際に敷設されていても良いし、架柱27の製作後に適当な穴を加工して接着材などで埋め込んでも良い。架柱27の製作直後にRFセンサにRF電波を送信し、センサのアンプを起動させてセンサ固有の番号とひずみ値を検査車19に搭載された読み取りリーダ28によって各RFひずみセンサのひずみ初期値が測定され、定期的に前記リーダ28によって初期ひずみからのひずみ変化量が測定される。図9に示したように、疲労強度実験を行うことで作成したひずみの初期値からの変化量とコンクリートの破壊までの疲労残存寿命と対比させることで建築構造物の疲労残存寿命を検査できる。
図10は鉄筋コンクリート柱で構成されたビルディングの斜視図と劣化診断のフローチャートを示す図である。
図10において、ビルディング30の主構造部材には鉄筋コンクリート24が使用されている。そして、その内部にはRFセンサ複数を内在した直方体20が埋め込まれている。直方体20は鉄筋に沿って鉛直方向に所定間隔を持って埋め込まれている。そして、RFセンサのひとつがそのひずみの出力最大方向を鉄筋25に沿うように埋設してある。
図11は航空機の斜視図である。
図12は複合材料の斜視図である。
図13は航空機主翼の断面図である。
図11において、主翼31は炭素繊維や有機繊維やガラス繊維で強化された複合材料またはアルミ合金で製作されている。本実施例では、主翼31の長手方向にRFセンサ1が複数個配置されている。RFセンサ1は主翼31の外表面または内表面にエポキシ接着材などを介して接合されている。そして、RFセンサ1のひずみの最大出力方向が主翼31の長手方向を向いている。
図14はエスカレータの側面図である。
図14において、エスカレータ基礎部34の上にステップ35、ハンドレール36が構成されている。ハンドレール36はゴムの多層構造となっており、本発明ではゴムの多層構造内に接着材を介してRFセンサを取り付けた板17を埋設している。そして、板17に取り付けられたRFセンサのひとつがハンドレール36の長手方向と同じくしてある。また、RFセンサを取り付けた板17はハンドレール36の長手方向に沿って複数個埋設されている。基礎部34には、ハンドレール36に対向するRFセンサのリーダ28が設けられている。
図15はパワーショベルカーの側面図である。
図16は履帯を側面から見た断面図である。
図15において、パワーショベルカー37の移動には履帯38が一般に使用される。本実施例では、この履帯38が1種類または複数種のゴムや樹脂の積層体で製作され、この積層体の間にRFセンサを取り付けた板17が埋設されている。センサ群は履帯38の長手方向、幅方向に適当な間隔をもって埋め込まれる。そして、板17に取り付けられたRFセンサの少なくともひとつのひずみの感度方向が積層体の最も長い辺、履帯38の長手方向を向いている。履帯38を駆動するためのモータなどが納められているシャシ41には、履帯38に埋め込まれたRFセンサを貼り付けた板17に対向する形で、RFセンサのリーダ28が固定されている。
図17はエレベータユニットの斜視図である。
図18はエレベータロープの断面図である。
図19はエレベータロープの被覆の磨耗量とロープのひずみの関係図である。
Claims (1)
- シリコン製のチップの上にひずみセンサ、アンプ、A/D変換器、通信制御部、整流・検波・変復調回路、アンテナが形成され、前記チップの外部から電磁波を照射して電磁誘導で前記チップ上のアンプなどの電子回路を起動させ、前記ひずみセンサのひずみ量を検出し、ひずみ量を示す信号とチップ固有の認識番号を、電磁波を照射しているチップ外部のリーダへ送信する機能を備えたワイヤレスひずみ測定システムにおいて、
前記ひずみを検出できる方向に対して垂直方向のチップの厚さが200μmより大きく、前記チップがシリコンの縦弾性係数以下の板状物質に2枚以上ひずみ感度の方向を変えて接合されており、
前記チップが接合された板状物質がガラス繊維、炭素繊維、炭化珪素繊維、アラミドなどの有機繊維を有する樹脂材に内在し、樹脂材とともに一体で加圧加熱されて複合材料として形成されることを特徴とするワイヤレスひずみ測定システム。
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