JP4536097B2

JP4536097B2 - Optical inspection device

Info

Publication number: JP4536097B2
Application number: JP2007234661A
Authority: JP
Inventors: 昌樹近藤; 光男小林; 永一藤沢
Original assignee: Panasonic Corp; Fuji Electric Holdings Ltd; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd; Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2007-09-10
Filing date: 2007-09-10
Publication date: 2010-09-01
Anticipated expiration: 2020-06-13
Also published as: JP2008027574A

Description

本発明は、サーボ信号を磁気記録媒体に磁気的な転写技術により書き込むための磁気転写装置、及び、磁気記録媒体表面の状態を検査する光学式検査装置に使用されるグリース剤に関する。特に本発明は、現在コンピュータの外部記憶装置として主流になっている磁性膜を記録材料として用いるハードディスクドライブにおいて、磁気記録媒体表面に書き込まれているデータ書込み／読出しヘッドの位置決め用サーボ信号を磁気記録媒体に磁気的な転写技術により書き込むための磁気転写装置、及び、磁気転写前後の磁気記録媒体表面の傷や、コンタミネーションの状態を検査する光学式検査装置に使用されるグリース剤に関する。 The present invention relates to a magnetic transfer device for writing servo signals to a magnetic recording medium by a magnetic transfer technique, and a grease agent used in an optical inspection device for inspecting the state of the surface of the magnetic recording medium. In particular, the present invention relates to a magnetic recording of a servo signal for positioning a data write / read head written on the surface of a magnetic recording medium in a hard disk drive that uses a magnetic film, which is currently used as an external storage device of a computer, as a recording material. The present invention relates to a magnetic transfer apparatus for writing on a medium by a magnetic transfer technique, and a grease agent used in an optical inspection apparatus for inspecting scratches and contamination on the surface of a magnetic recording medium before and after magnetic transfer.

パーソナルコンピュータの外部記憶装置として使用されているハードディスクドライブでは、回転している磁気記録媒体表面上を、磁気ヘッドがスライダーと呼ばれる浮上機構によって磁気記録媒体の表面から数十ｎｍの距離を保って浮上しながらデータの記録及び再生が行われている。例えば、磁気記録媒体上には、同心円状に配置されたデータトラックがあり、データの記録／再生用磁気ヘッドが、このデータトラックの目的の場所に高速に移動、位置決めされ、このデータトラックにビット情報を書き込むか、データトラックにすでに書き込まれているビット情報を読み取ることによりデータの記録及び再生が行われる。 In a hard disk drive used as an external storage device of a personal computer, a magnetic head floats on the surface of a rotating magnetic recording medium while maintaining a distance of several tens of nanometers from the surface of the magnetic recording medium by a flying mechanism called a slider. However, data recording and reproduction are performed. For example, there is a data track arranged concentrically on a magnetic recording medium, and a magnetic head for recording / reproducing data is moved and positioned at a high speed to a target location of the data track, and a bit is recorded on the data track. Data is recorded and reproduced by writing information or reading bit information already written in the data track.

また、磁気記録媒体上には、磁気ヘッドとデータトラックとの相対位置を検出するための位置決め信号（サーボ信号）が同心円状に書き込まれており、データの記録再生を行っている磁気ヘッドが一定時間間隔で自分の位置を検知している。このサーボ信号の中心が、磁気記録媒体の中心（又は磁気ヘッド軌道の中心）から偏芯しないように、ハードディスク装置に媒体を組み込んだ後にサーボライターと呼ばれる専用の装置を用いてサーボ信号が媒体に書き込まれている。このサーボライターでの書き込みは、例えばサーボ信号書き込み用ヘッドを用いて、磁気記録媒体にサーボ信号を書き込むことによって実施される。 In addition, positioning signals (servo signals) for detecting the relative position between the magnetic head and the data track are written concentrically on the magnetic recording medium, and the magnetic head performing data recording / reproducing is constant. My position is detected at time intervals. In order to prevent the center of the servo signal from decentering from the center of the magnetic recording medium (or the center of the magnetic head trajectory), the servo signal is transferred to the medium using a dedicated device called a servo writer after the medium is installed in the hard disk device. Has been written. The writing with the servo writer is performed by writing a servo signal on the magnetic recording medium using, for example, a servo signal writing head.

一方、ハードディスク装置は、現在、開発段階のもので記録密度が２０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎ²に達するとともに年率６０％以上の速さで記録密度が増加している。これに伴い、磁気ヘッドが自分の位置を検知するサーボ信号の密度も上昇しており、上記サーボライターでの書き込み時間も年々増加する傾向にある。このサーボ信号の書き込みの時間の増加は、ハードディスク装置の生産性を低下させ、コストの増加をもたらす。 On the other hand, hard disk devices are currently in the development stage, and the recording density reaches ²⁰ Gbits / in ² and the recording density is increasing at an annual rate of 60% or more. Along with this, the density of servo signals for the magnetic head to detect its position has increased, and the writing time with the servo writer tends to increase year by year. This increase in the servo signal writing time decreases the productivity of the hard disk drive and increases the cost.

上述したサーボ信号の書き込み時間の増加を回避するために、最近では、磁気転写装置によりサーボ信号を一括して媒体に記録する転写方式が提案されており、この技術開発が行われている。磁気転写によるサーボ信号の書き込みでは、磁気記録媒体表面上に傷やコンタミネーションがあると転写に不都合が生じるため、磁気記録媒体を予め、光学式検査装置により検査する。 In order to avoid the increase in the servo signal writing time described above, recently, a transfer method in which servo signals are collectively recorded on a medium by a magnetic transfer device has been proposed, and this technical development has been carried out. In writing servo signals by magnetic transfer, if there are scratches or contamination on the surface of the magnetic recording medium, there will be inconveniences in the transfer. Therefore, the magnetic recording medium is inspected by an optical inspection device in advance.

磁気転写装置及び光学式検査装置には、磁気記録媒体を搬送したり、磁気記録媒体に対して磁気転写や検査を行うために、種々の可動部が存在する。この可動部にはグリースのような潤滑剤が塗布されている。このグリースは、可動部が動作する際の摩擦や、装置全体の温度の上昇によりガスなどを発生することがある。このようなガスは、磁気転写又は検査される磁気記録媒体表面に付着し、磁気転写又は検査の際に悪影響を及ぼす。 In the magnetic transfer device and the optical inspection device, there are various movable parts for transporting the magnetic recording medium and performing magnetic transfer and inspection on the magnetic recording medium. A lubricant such as grease is applied to the movable part. This grease may generate gas or the like due to friction when the movable part operates or temperature rise of the entire apparatus. Such a gas adheres to the surface of the magnetic recording medium to be magnetically transferred or inspected, and adversely affects the magnetic transfer or inspection.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、磁気転写装置又は光学式検査装置の可動部に使用されるグリースの選定方法を確立することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to establish a method for selecting a grease used for a movable portion of a magnetic transfer device or an optical inspection device.

本発明は、磁気記録媒体上の傷又は不純物を光学的に検査するための光学式検査装置において、該光学式検査装置に使用されるグリースが、該グリースを１００℃で１０分間加熱したときに発生するイオウ系ガスの発生量（ＧＣ−ＭＡＳＳ装置にて分析し、検量線標準物質を使用して計算）が０．５ｐｐｂ以下のものであることを特徴とする光学式検査装置に関する。 The present invention provides an optical inspection apparatus for optically inspecting scratches or impurities on a magnetic recording medium when the grease used in the optical inspection apparatus is heated at 100 ° C. for 10 minutes. generating generated amount of sulfur-based gas (analyzed by GC-MASS device, calculated using the calibration curve standard) is an optical inspection system, characterized in that those below 0.5 ppb.

本発明に従った光学式検査装置は、例えば図２に示される装置を挙げることができる。 An example of the optical inspection apparatus according to the present invention is the apparatus shown in FIG.

本発明では、参考例としての磁気転写装置又は本発明の光学式検査装置に使用するグリースから発生されるイオウ系ガスの濃度を一定以下に制限するようにしたことにより、高温高湿環境下に放置した場合でも、これら装置にかけられた磁気記録媒体は、損傷、腐食等を受けることなく磁気記録媒体の製造をより効率的に行うことができる。 In the present invention, the concentration of the sulfur-based gas generated from the grease used in the magnetic transfer apparatus as a reference example or the optical inspection apparatus of the present invention is limited to a certain level or less, so that it can be used in a high temperature and high humidity environment. Even when left untreated, the magnetic recording medium applied to these apparatuses can be more efficiently manufactured without being damaged or corroded.

以下に本発明を詳細に説明する。
まず、参考例としての磁気転写装置（第一の発明）について説明する。
この磁気転写装置は、磁気記録媒体にサーボ信号を磁気的に転写することによりサーボ信号を記録する磁気転写装置において、該磁気転写装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とするものである。 The present invention is described in detail below.
First, a magnetic transfer apparatus (first invention) as a reference example will be described.
This magnetic transfer device is a magnetic transfer device that records a servo signal by magnetically transferring a servo signal to a magnetic recording medium. The amount of sulfur-based gas in grease used in the magnetic transfer device is 0.5 ppb. is characterized in that the or less.

本発明で使用されるグリースとして好ましいものは、後述する実施例で説明するグリースの分析で、イオウ系ガスの発生が０．５ｐｐｂ以下の濃度に抑えられるグリースである。本発明では、これ以上の濃度のイオウ系ガスが発生するグリースを使用した磁気転写装置で磁気記録媒体に磁気転写した場合、得られた磁気記録媒体が、高温高湿条件下で腐食を受けるという不都合を生じる。 What is preferable as the grease used in the present invention is a grease that can suppress the generation of a sulfur-based gas to a concentration of 0.5 ppb or less in the analysis of the grease described in Examples described later. In the present invention, when magnetic transfer is performed on a magnetic recording medium using a magnetic transfer device using grease that generates a sulfur-based gas having a concentration higher than this, the obtained magnetic recording medium is subject to corrosion under high temperature and high humidity conditions. Cause inconvenience.

本発明で使用可能なグリースは、例えば、ＴＨＫ（株）製ＡＦＥグリースのようなグリースを挙げることができる。 Examples of the grease that can be used in the present invention include grease such as AFE grease manufactured by THK Co., Ltd.

次に、図１を参照して第一の発明について説明する。図１は、本発明に従ったグリースを使用することができる磁気転写装置の概略図であり、本発明の一例を表す。以下では、図１を用いて本発明を説明するが、本発明はこの磁気転写装置に限定されない。本発明に従ったグリースは、このような装置の可動部分に使用される。 Next, the first invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic diagram of a magnetic transfer apparatus that can use the grease according to the present invention, and represents an example of the present invention. In the following, the present invention will be described with reference to FIG. 1, but the present invention is not limited to this magnetic transfer apparatus. The grease according to the invention is used for the moving parts of such a device.

例えば、図１に示される磁気転写装置１００は、カセット１０４を有するカセットステージ１０２、該カセット１０４に収納される磁気記録媒体、ディスクリフター部１０６、磁気記録媒体を搬送するスレーブハンドラ１０８、転写作業に使用されるインデックス部１１０、マスターディスクを操作するマスタハンドラ１１８、及び転写を行う転写ステージ１２０を有している。これら各部は、回転機構、昇降機構などの種々の可動部を有しており、これらの可動部に本発明に従ったグリースを使用する。具体的には、カセット移動機構、ディスクリフター部１０６のアクチュエータ、マスターハンドラ１１８のアクチュエータのような部位に本発明に従ったグリースを使用することができる。 For example, a magnetic transfer apparatus 100 shown in FIG. 1 includes a cassette stage 102 having a cassette 104, a magnetic recording medium accommodated in the cassette 104, a disk lifter unit 106, a slave handler 108 that conveys the magnetic recording medium, and a transfer operation. It has an index unit 110 to be used, a master handler 118 for operating a master disk, and a transfer stage 120 for performing transfer. Each of these parts has various movable parts such as a rotating mechanism and an elevating mechanism, and the grease according to the present invention is used for these movable parts. Specifically, the grease according to the present invention can be used for parts such as the cassette moving mechanism, the actuator of the disc lifter unit 106, and the actuator of the master handler 118.

本発明では、本発明に従ったグリースを使用する磁気転写装置を開示する。この磁気転写装置及び磁気転写の工程を図１に従って説明する。 The present invention discloses a magnetic transfer apparatus using the grease according to the present invention. The magnetic transfer apparatus and the magnetic transfer process will be described with reference to FIG.

磁気転写装置１００は、上述のように、磁気記録媒体をカセット１０４に収納したカセットステージ１０２、カセット１０４から磁気記録媒体を上昇させ、該カセットに降下させるディスクリフター部１０６、該ディスクリフター部からインデックス部１１０まで磁気記録媒体を搬送するスレーブハンドラ１０８、４段階で磁気転写作業を実施するインデックス部１１０、マスターハンドラ１１８及び転写を行う転写ステージ１２０から構成される。 As described above, the magnetic transfer apparatus 100 includes the cassette stage 102 in which the magnetic recording medium is housed in the cassette 104, the disk lifter unit 106 that raises the magnetic recording medium from the cassette 104, and lowers the magnetic recording medium to the cassette, and the index from the disk lifter unit. The slave handler 108 conveys the magnetic recording medium to the unit 110, and includes an index unit 110 that performs a magnetic transfer operation in four stages, a master handler 118, and a transfer stage 120 that performs transfer.

磁気記録媒体は、後述するような磁気記録媒体である。例えば、外部記録装置であるハードディスク装置などを挙げることができるが、本発明ではこれに限定されない。 The magnetic recording medium is a magnetic recording medium as will be described later. For example, a hard disk device that is an external recording device can be used, but the present invention is not limited to this.

カセット１０４は、磁気記録媒体を収納するための容器である。このカセット１０４は、例えばハードディスク用の磁気記録媒体を、例えば２５枚程度収納できる。このカセット１０４を１乃至複数カセットステージ上に配置し、磁気転写装置にセットし、磁気転写を行う。 The cassette 104 is a container for storing a magnetic recording medium. The cassette 104 can store, for example, about 25 magnetic recording media for hard disks. The cassette 104 is placed on one or more cassette stages, set in a magnetic transfer device, and magnetic transfer is performed.

ディスクリフター部１０６は、磁気記録媒体を保持し、昇降させることができるものである。例えば、半円形の凹部を有する保持機構で、該凹部に沿ってＶ字状の溝を形成したものであればよい。また、ディスクリフター部は、カセット１０４の下部の空隙部に配置され、カセット１０４に収納された磁気記録媒体を昇降させる。 The disc lifter unit 106 holds a magnetic recording medium and can be moved up and down. For example, a holding mechanism having a semicircular recess may be used as long as a V-shaped groove is formed along the recess. The disk lifter unit is disposed in the space below the cassette 104 and moves up and down the magnetic recording medium stored in the cassette 104.

スレーブハンドラ１０８は、ディスクリフター部１０６とインデックス部１１０の間を移動自在に構成され、移動方向と平行に回動自在に構成される。スレーブハンドラ１０８は、磁気記録媒体を保持しつつ、これをディスクリフター部１０６からインデックス部１１０に搬送する。従って、スレーブハンドラ１０８は、磁気記録媒体を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであればよい。 The slave handler 108 is configured to be movable between the disc lifter unit 106 and the index unit 110, and is configured to be rotatable in parallel with the moving direction. The slave handler 108 holds the magnetic recording medium and conveys it from the disk lifter unit 106 to the index unit 110. Therefore, the slave handler 108 has a mechanism for holding the magnetic recording medium. This mechanism is not particularly limited as long as the mechanism holds the central hole of the magnetic recording medium by a claw that is opened and closed by air pressure, for example.

また、スレーブハンドラ１０８は、転写前の磁気記録媒体と、磁気記録が転写された磁気記録媒体の両方を保持できるように、直線上の１８０度相反する側に一対の保持機構を有することが好ましい。 In addition, the slave handler 108 preferably has a pair of holding mechanisms on the sides opposite to each other by 180 degrees so that both the magnetic recording medium before transfer and the magnetic recording medium onto which the magnetic recording is transferred can be held. .

インデックス部１１０は、４本のアームが直角に組み合わされた構造を有し、各アームの先端部には、磁気記録媒体を保持するための機構、例えば吸着ヘッドを有する。このインデックス機構が間欠的に１回転する間に４段階の転写作業が行われる。転写作業は、待機ステージ１１２、スレーブ位置測定ステージ１１４、初期化ステージ１１６、転写ステージ１２０の４段階で構成される。また、本発明に従った磁気転写装置１００は、マスターハンドラ１１８を有しており、磁気転写に使用するマスターディスクの装着及び脱着などが行われる。 The index section 110 has a structure in which four arms are combined at right angles, and a tip for each arm has a mechanism for holding a magnetic recording medium, for example, a suction head. While this index mechanism intermittently makes one rotation, four stages of transfer work are performed. The transfer operation includes four stages of a standby stage 112, a slave position measurement stage 114, an initialization stage 116, and a transfer stage 120. In addition, the magnetic transfer apparatus 100 according to the present invention has a master handler 118, and a master disk used for magnetic transfer is attached and detached.

次に、上記構成の磁気転写装置による磁気転写工程について説明する。
まず、磁気記録媒体は、カセットステージ１０２の下部の空隙部に配置されたディスクリフター部１０６によって、カセット１０４の下部側から上部に突出される。この記録媒体は、スレーブハンドラ１０８により保持され、インデックス部１１０の待機ステージに待機しているインデックス部のアームに渡される。 Next, the magnetic transfer process by the magnetic transfer apparatus having the above configuration will be described.
First, the magnetic recording medium is protruded upward from the lower side of the cassette 104 by the disc lifter 106 disposed in the lower gap of the cassette stage 102. This recording medium is held by the slave handler 108 and transferred to the arm of the index unit waiting on the standby stage of the index unit 110.

ここで、磁気記録媒体は、スレーブハンドラ１０８によりインデックス部１１０付近まで運ばれるが、この磁気記録媒体は、インデックス部１１０のアーム側にはなく、ディスクリフター部１０６の側にある。従って、磁気記録媒体を、インデックス部のアームに引き渡す際に、スレーブハンドラ１０８が磁気記録媒体の搬送方向と平行に回転し、磁気記録媒体をディスクリフター部側に向け、インデックス部のアームに引き渡す。引き渡しは、例えばスレーブハンドラ１０８が上記のような空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであり、インデックス部のアームが吸着ヘッドよりなる場合、以下のように行われる。まず、吸着ヘッドのエアー引き込み動作を開始して磁気記録媒体を吸着し、引き続いて、空気圧の調節により中心孔にある爪を閉じ磁気記録媒体をインデックス部のアームに引き渡す。 Here, the magnetic recording medium is carried to the vicinity of the index part 110 by the slave handler 108, but this magnetic recording medium is not on the arm side of the index part 110 but on the disk lifter part 106 side. Therefore, when the magnetic recording medium is delivered to the index section arm, the slave handler 108 rotates in parallel with the magnetic recording medium transport direction, and the magnetic recording medium is directed to the disk lifter section side and delivered to the index section arm. For example, when the slave handler 108 holds the center hole of the magnetic recording medium by the claw that is opened and closed by air pressure as described above, and the arm of the index portion is formed by the suction head, the delivery is performed as follows. First, the air suction operation of the suction head is started to suck the magnetic recording medium, and subsequently, the claw in the center hole is closed by adjusting the air pressure, and the magnetic recording medium is handed over to the arm of the index portion.

インデックス部１１０に保持された磁気記録媒体は、４段階のステージの間を９０度ずつ間欠的に回転することにより移動する。まず、スレーブ位置測定ステージ１１４では、吸着保持された磁気記録媒体の中心位置を測定する。その測定結果に従って、転写ステージ１２０でマスターディスクと中心位置を合わせた状態で密着できるように位置調整を行う。次の初期化ステージ１１６は、磁気消去を行う。転写ステージ１２０では磁気転写用のマスターディスクが磁気記録媒体に密着され、磁気パターンの転写が行われる。 The magnetic recording medium held in the index section 110 moves by intermittently rotating between four stages by 90 degrees. First, the slave position measurement stage 114 measures the center position of the magnetic recording medium held by suction. According to the measurement result, position adjustment is performed so that the transfer stage 120 can be brought into close contact with the master disk in a state where the center position is aligned. The next initialization stage 116 performs magnetic erasure. In the transfer stage 120, a master disk for magnetic transfer is brought into close contact with the magnetic recording medium, and a magnetic pattern is transferred.

転写が終了するとインデックス部のアームにより、磁気パターンが転写された磁気記録媒体（以下、転写済み磁気記録媒体とも称する。）が前記待機ステージ１１２に運ばれる。待機ステージ１１２では、先に説明した、スレーブハンドラ１０８からインデックス部のアームへの磁気記録媒体の受け渡しとは逆の操作により転写済み磁気記録媒体をスレーブハンドラ１０８に受け渡す。 When the transfer is completed, the magnetic recording medium (hereinafter also referred to as a transferred magnetic recording medium) onto which the magnetic pattern has been transferred is carried to the standby stage 112 by the arm of the index portion. In the standby stage 112, the transferred magnetic recording medium is transferred to the slave handler 108 by the operation opposite to the transfer of the magnetic recording medium from the slave handler 108 to the arm of the index unit described above.

磁気転写操作を連続して行う場合には、スレーブハンドラ１０８は、上述のように相反する側に一対の保持機構を有するので、カセットステージ１０２に向いた側に磁気転写をしていない磁気記録媒体を保持している。スレーブハンドラ１０８が転写済みの磁気記録媒体を受け取った後、スレーブハンドラ１０８は磁気記録媒体の搬送方向と平行に回転し、転写済みの磁気記録媒体をカセットステージ１０２側に向け、同時に、インデックス部のアーム側に向けられた磁気転写前の磁気記録媒体を上述のようにインデックス部のアーム側に引き渡す。転写済みの磁気記録媒体は、スレーブハンドラ１０８によりディスクリフター部１０６まで運ばれ、ディスクリフター部１０６に引き渡された後、ディスクリフター部１０６が下降してカセット１０４に収納される。 When the magnetic transfer operation is continuously performed, the slave handler 108 has a pair of holding mechanisms on the opposite sides as described above, so that the magnetic recording medium that is not magnetically transferred on the side facing the cassette stage 102 is used. Holding. After the slave handler 108 receives the transferred magnetic recording medium, the slave handler 108 rotates in parallel with the magnetic recording medium transport direction, directs the transferred magnetic recording medium to the cassette stage 102 side, and at the same time, The magnetic recording medium before the magnetic transfer directed to the arm side is delivered to the arm side of the index portion as described above. The transferred magnetic recording medium is conveyed to the disk lifter unit 106 by the slave handler 108 and delivered to the disk lifter unit 106, and then the disk lifter unit 106 is lowered and stored in the cassette 104.

以上の操作を繰り返し、図１に示す磁気転写装置により、磁気記録媒体への磁気パターンの転写が連続的に行われる。 The above operation is repeated, and the magnetic pattern is continuously transferred onto the magnetic recording medium by the magnetic transfer apparatus shown in FIG.

なお、磁気記録媒体は、磁気転写が施される側がマスターディスクに密着されるように予め向きをそろえておく。 The magnetic recording medium is aligned in advance so that the magnetic transfer side is in close contact with the master disk.

次に、図３を参照して磁気記録媒体への磁気転写の工程を具体的に説明する。
磁気転写は、磁気消去の工程（上記初期化ステージ１１６）と、マスターディスクと磁気記録媒体を密着させ、磁気パターンを転写する工程（上記転写ステージ１２０）の２段階で行われる。図３（ａ）は、磁気消去の工程を示し、図３（ｂ）は磁気転写の工程を示す。 Next, the process of magnetic transfer to the magnetic recording medium will be specifically described with reference to FIG.
Magnetic transfer is performed in two stages: a magnetic erasing process (the initialization stage 116) and a process of transferring the magnetic pattern by bringing the master disk and the magnetic recording medium into close contact with each other (the transfer stage 120). FIG. 3A shows a magnetic erasing process, and FIG. 3B shows a magnetic transfer process.

磁気消去は、外部磁石３０４を磁気記録媒体３００の表面上を表面に沿って１回転させることにより行う。これにより、外部磁石３０４の磁界３０６により磁気記録媒体の磁気を消去する。 Magnetic erasure is performed by rotating the external magnet 304 once on the surface of the magnetic recording medium 300 along the surface. As a result, the magnetism of the magnetic recording medium is erased by the magnetic field 306 of the external magnet 304.

磁気パターンの転写は、マスターディスク３０２を磁気記録媒体３００に密着させた状態で、上記の磁気消去とは逆方向の磁界３０８の外部磁石を、マスターディスク側からマスターディスクの表面に沿って１回転させることにより行う。 The magnetic pattern is transferred by rotating the external magnet of the magnetic field 308 in the opposite direction to the magnetic erasure from the master disk side along the surface of the master disk while the master disk 302 is in close contact with the magnetic recording medium 300. To do.

本発明で使用しうるマスターディスクの１例を図４に示した。マスターディスクの基板は、例えばケイ素であるが、これに限定されない。この基板に、所定の磁気転写パターン（例えば図４の４０８）を形成する。転写パターンは、例えばフォトリソグラフィのような方法で表面をマスクし、エッチングにより図４に示したような転写パターン４０８を形成し、次いで、磁気転写パターンの部分４０８にコバルト（Ｃｏ）のような磁性材料（これに限定されない。）の膜を蒸着のような方法で形成し、最後にマスクを除去することにより形成される。 An example of a master disk that can be used in the present invention is shown in FIG. The substrate of the master disk is, for example, silicon, but is not limited to this. A predetermined magnetic transfer pattern (for example, 408 in FIG. 4) is formed on this substrate. The transfer pattern is masked on the surface by a method such as photolithography, and the transfer pattern 408 as shown in FIG. 4 is formed by etching. Then, a magnetic pattern such as cobalt (Co) is formed on the portion 408 of the magnetic transfer pattern. A film of material (but not limited to this) is formed by a method such as vapor deposition, and finally the mask is removed.

このようなマスターディスクを用いて磁気転写された磁気記録媒体は、例えば、図５に示すような磁気転写パターン（サーボ信号）を有する磁気記録媒体３００となる。図５に示されるように、転写済み磁気記録媒体３００は、転写された磁気パターン領域５０２を有し、有効である最内周径（転写磁気パターン有効最内周径５０４）と、最外周径（磁気転写パターン有効最外周径５０６）を有する。これ以外の部分には有効なパターンは形成されない。また、磁気記録媒体３００は、中心孔５０８を有しており、これに例えば、上記スレーブハンドラ１０８の保持機構の爪なとが固定される。 The magnetic recording medium magnetically transferred using such a master disk is, for example, a magnetic recording medium 300 having a magnetic transfer pattern (servo signal) as shown in FIG. As shown in FIG. 5, the transferred magnetic recording medium 300 has a transferred magnetic pattern region 502, and is an effective innermost diameter (transferred magnetic pattern effective innermost diameter 504) and outermost diameter. (Magnetic transfer pattern effective outermost circumference 506). An effective pattern is not formed in other portions. Further, the magnetic recording medium 300 has a center hole 508, for example, a claw of a holding mechanism of the slave handler 108 is fixed thereto.

次に、光学式検査装置（第二の発明）について説明する。
この光学式検査装置は、磁気記録媒体上の傷又は不純物を光学的に検査するための光学式検査装置において、該光学式検査装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とするものである。 Next, an optical inspection apparatus (second invention) will be described.
This optical inspection apparatus is an optical inspection apparatus for optically inspecting scratches or impurities on a magnetic recording medium, and the amount of generation of sulfur-based gas in grease used in the optical inspection apparatus is 0.5 ppb. is characterized in that the or less.

本発明で使用されるグリースとして好ましいものは、後述する実施例で説明するグリースの分析で、イオウ系ガスの発生が０．５ｐｐｂ以下の濃度に抑えられるグリースである。具体的なグリースは、上記第一の発明で例示したとおりである。本発明では、これ以上の濃度のイオウ系ガスが発生するグリースを使用した光学式検査装置で磁気記録媒体を検査した場合、検査後の磁気記録媒体が、高温高湿条件下で腐食を受けるという不都合を生じる。 What is preferable as the grease used in the present invention is a grease that can suppress the generation of a sulfur-based gas to a concentration of 0.5 ppb or less in the analysis of the grease described in Examples described later. The specific grease is as exemplified in the first invention. In the present invention, when a magnetic recording medium is inspected with an optical inspection apparatus using grease that generates a sulfur-based gas having a concentration higher than this, the magnetic recording medium after inspection is subject to corrosion under high temperature and high humidity conditions. Cause inconvenience.

次に、図２を参照して第二の発明について説明する。図２は、本発明に従ったグリースを使用することができる光学式検査装置の概略図であり、本発明の一例を表す。以下では、図２を用いて本発明を説明するが、本発明はこの光学式検査装置に限定されない。本発明に従ったグリースは、このような装置の可動部分に使用される。 Next, the second invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic view of an optical inspection apparatus that can use the grease according to the present invention and represents an example of the present invention. Below, although this invention is demonstrated using FIG. 2, this invention is not limited to this optical inspection apparatus. The grease according to the invention is used for the moving parts of such a device.

例えば、図２に示される光学式検査装置２００は、投入・取り出しコンベア２０２、カセット２０４をカセットテーブル２０８に移載するカセット移載機２０６、該カセット２０４に収納された磁気記録媒体２１２を昇降させるためのリフター２１０、磁気記録媒体２１２をハンドラ２１６に受け渡すための受け渡しインデックス２１４、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８に搬送するハンドラ２１６、磁気記録媒体２１２を乗せる検査用スピンドル２１８、及び光学系を有する。光学系は、検査対象である磁気記録媒体２１２に光を照射する検査光学系２２０及び照明光学系２２２、磁気記録媒体２１２から反射された光を観察する観察光学系２２４、並びに光学系の焦点を合わせるためのオートフォーカス軸（ＡＦ軸）を有する。これら各部は、回転機構、昇降機構などの種々の可動部を有しており、これらの可動部に本発明に従ったグリースを使用する。具体的には、カセットテーブル２０８のアクチュエータ、ディスクリフター部２１０のアクチュエータ、検査ステージ２２８の移動機構のような部位に本発明に従ったグリースを使用することができる。 For example, the optical inspection apparatus 200 shown in FIG. 2 raises and lowers a loading / unloading conveyor 202, a cassette transfer machine 206 for transferring a cassette 204 to a cassette table 208, and a magnetic recording medium 212 stored in the cassette 204. Lifter 210, transfer index 214 for transferring magnetic recording medium 212 to handler 216, handler 216 for conveying magnetic recording medium 212 to inspection spindle 218, inspection spindle 218 for placing magnetic recording medium 212, and optical system Have The optical system includes an inspection optical system 220 and an illumination optical system 222 for irradiating light to the magnetic recording medium 212 to be inspected, an observation optical system 224 for observing light reflected from the magnetic recording medium 212, and the focus of the optical system. It has an autofocus axis (AF axis) for alignment. Each of these parts has various movable parts such as a rotating mechanism and an elevating mechanism, and the grease according to the present invention is used for these movable parts. Specifically, the grease according to the present invention can be used for parts such as the actuator of the cassette table 208, the actuator of the disc lifter 210, and the moving mechanism of the inspection stage 228.

本発明では、本発明に従ったグリースを使用する光学式検査装置を開示する。この光学式検査装置及びこの光学式検査装置を用いての磁気記録媒体の検査の工程を図２に従って説明する。 The present invention discloses an optical inspection apparatus using the grease according to the present invention. The optical inspection apparatus and the inspection process of the magnetic recording medium using the optical inspection apparatus will be described with reference to FIG.

光学式検査装置２００は、検査対象である磁気記録媒体２１２以外では、上述のようなに、投入・取り出しコンベア２０２、カセット２０４、カセット移載機２０６、カセットテーブル２０８、ディスクリフター部２１０、受け渡しインデックス２１４、ハンドラ２１６、検査用スピンドル２１８、検査対象である磁気記録媒体に光を照射する検査光学系２２０及び照明光学系２２２、磁気記録媒体から反射された光を観察する観察光学系２２４、並びに光学系の焦点を合わせるためのオートフォーカス軸（ＡＦ軸）から構成される。 The optical inspection apparatus 200, except for the magnetic recording medium 212 to be inspected, as described above, the loading / unloading conveyor 202, the cassette 204, the cassette transfer machine 206, the cassette table 208, the disk lifter unit 210, the delivery index. 214, handler 216, inspection spindle 218, inspection optical system 220 and illumination optical system 222 for irradiating light to the magnetic recording medium to be inspected, observation optical system 224 for observing light reflected from the magnetic recording medium, and optical It consists of an autofocus axis (AF axis) for focusing the system.

投入・取り出しコンベア２０２は、未検査の磁気記録媒体２１２を収納したカセット２０４を製造ラインから搬入し、検査された磁気記録媒体２１２を収納したカセット２０４を搬出するためのものである。 The loading / unloading conveyor 202 is for carrying in the cassette 204 containing the uninspected magnetic recording medium 212 from the production line and carrying out the cassette 204 containing the inspected magnetic recording medium 212.

カセット２０４は、磁気記録媒体２１２を収納するための容器である。磁気記録媒体２１２を、例えば２５枚収納することができる。 The cassette 204 is a container for storing the magnetic recording medium 212. For example, 25 magnetic recording media 212 can be stored.

カセット移載機２０６は、カセット２０４をカセットテーブル２０８に搬送するための機構である。カセット移載機２０６は、カセット２０４を保持するための保持具を有し、昇降及び回動自在に構成され、カセット２０４をカセットテーブル２０８に移載する。カセット移載機２０６は、複数のカセット２０４を一度に移載することができるように構成してもよい。 The cassette transfer machine 206 is a mechanism for transporting the cassette 204 to the cassette table 208. The cassette transfer machine 206 has a holding tool for holding the cassette 204 and is configured to be movable up and down and turn, and transfers the cassette 204 to the cassette table 208. The cassette transfer machine 206 may be configured to transfer a plurality of cassettes 204 at a time.

カセットテーブル２０８は、磁気記録媒体２１２を収納できるカセット２０４を検査装置にセットするためのものである。カセット２０４を１乃至複数カセットテーブル２０８上に配置し、光学検査装置２００にセットし、検査を行う。 The cassette table 208 is for setting the cassette 204 that can store the magnetic recording medium 212 in the inspection apparatus. The cassette 204 is placed on one or more cassette tables 208, set in the optical inspection apparatus 200, and inspected.

リフター２１０は、磁気記録媒体２１２を保持し、これを光学式検査装置２００の上下方向に昇降させることができるものである。例えば、リフター２１０は磁気記録媒体２１２を保持する機構を有しており、これは例えば、半円形の凹部を有する保持機構で、該凹部に沿ってＶ字状の溝を形成したものであればよい。また、リフター２１０は、カセット２０４の下部の空隙部に配置され、カセット２０４に収納された磁気記録媒体２１２を上下方向に昇降させる。 The lifter 210 holds the magnetic recording medium 212 and can move it up and down in the vertical direction of the optical inspection apparatus 200. For example, the lifter 210 has a mechanism for holding the magnetic recording medium 212, and this is, for example, a holding mechanism having a semicircular recess, and a V-shaped groove is formed along the recess. Good. The lifter 210 is disposed in a gap at the bottom of the cassette 204 and moves the magnetic recording medium 212 stored in the cassette 204 up and down.

磁気記録媒体２１２は、後述するような磁気記録媒体である。例えば、磁気記録媒体として、外部記録装置であるハードディスク装置などに使用するものを挙げることができるが、本発明ではこれに限定されない。 The magnetic recording medium 212 is a magnetic recording medium as will be described later. For example, examples of the magnetic recording medium include those used for a hard disk device as an external recording device, but the present invention is not limited to this.

受け渡しインデックス２１４は、リフター２１０により保持された磁気記録媒体２１２をハンドラ２１６に受け渡すための機構である。該受け渡しインデックス２１４は、リフター２１０に保持された磁気記録媒体２１２を、図２に示されるように該磁気記録媒体の表面が天井側に向くように回転できるように、又はその逆に回転できるように構成されている。また、受け渡しインデックス２１４は、Ｘ−Ｙステージのような機構により、光学式検査装置２００の装置面に平行な面で移動が可能になっている（図２参照）。さらに、受け渡しインデックス２１４は、磁気記録媒体２１２を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであればよい。 The delivery index 214 is a mechanism for delivering the magnetic recording medium 212 held by the lifter 210 to the handler 216. The delivery index 214 allows the magnetic recording medium 212 held by the lifter 210 to rotate so that the surface of the magnetic recording medium faces the ceiling as shown in FIG. 2, or vice versa. It is configured. The delivery index 214 can be moved on a plane parallel to the apparatus surface of the optical inspection apparatus 200 by a mechanism such as an XY stage (see FIG. 2). Further, the delivery index 214 has a mechanism for holding the magnetic recording medium 212. This mechanism is not particularly limited as long as the mechanism holds the central hole of the magnetic recording medium by a claw that is opened and closed by air pressure, for example.

ハンドラ２１６は、受け渡しインデックス２１４から磁気記録媒体２１２を保持しつつ、検査用スピンドル２１８へ該磁気記録媒体２１２を搬送することができるものである。従って、このハンドラ２１６は、磁気記録媒体２１２を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば磁気記録媒体の外周部を爪により保持するものであればよい。この爪は、例えば空気圧で開閉されるものとすることができる。 The handler 216 can convey the magnetic recording medium 212 to the inspection spindle 218 while holding the magnetic recording medium 212 from the delivery index 214. Therefore, the handler 216 has a mechanism for holding the magnetic recording medium 212. This mechanism is not particularly limited, and may be any mechanism as long as the outer periphery of the magnetic recording medium is held by a claw. This claw can be opened and closed by air pressure, for example.

また、ハンドラ２１６は、図２に示すように、検査前の磁気記録媒体と、検査後の磁気記録媒体の両方を保持できるように、２つのアーム２１５により構成されていてもよい。このアーム２１５は、該アームを支持する支持体２１９により上下に自在に昇降することが可能であり、さらに、後述する検査用スピンドル２１８の、磁気記録媒体２１２を乗せる面と平行な面内を３６０度回動することも可能である。また、このアーム２１５は、図２に示されるように、複数の接続部２１７により前記回動面と平行な面内で、接続部２１７を中心にして自在に回動する複数の部分から構成される。このような機構を有することにより、このハンドラ２１６は、受け渡しインデックス２１４から検査用スピンドル２１８へ正確に磁気記録媒体を搬送することができる。 Further, as shown in FIG. 2, the handler 216 may be configured by two arms 215 so as to hold both the magnetic recording medium before inspection and the magnetic recording medium after inspection. The arm 215 can be moved up and down freely by a support body 219 that supports the arm, and 360 in a plane parallel to a surface on which a magnetic recording medium 212 is placed on an inspection spindle 218 described later. It is also possible to rotate it. As shown in FIG. 2, the arm 215 includes a plurality of portions that freely rotate around the connection portion 217 in a plane parallel to the rotation surface by the plurality of connection portions 217. The By having such a mechanism, the handler 216 can accurately convey the magnetic recording medium from the delivery index 214 to the inspection spindle 218.

検査用スピンドル２１８は、検査される磁気記録媒体２１２を乗せ、保持するための機構である。この検査用スピンドル２１８は、磁気記録媒体２１２を乗せる面に、例えば吸着ヘッドを有し、磁気記録媒体２１２の検査面とは反対側の面の内周側を吸着することにより、磁気記録媒体２１２を保持し、固定する。この検査用スピンドル２１８は、回転機構を有しており、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８で回転することができる。 The inspection spindle 218 is a mechanism for placing and holding the magnetic recording medium 212 to be inspected. The inspection spindle 218 has, for example, an adsorption head on the surface on which the magnetic recording medium 212 is placed, and adsorbs the inner peripheral side of the surface opposite to the inspection surface of the magnetic recording medium 212 to thereby attract the magnetic recording medium 212. Hold and fix. The inspection spindle 218 has a rotation mechanism, and the magnetic recording medium 212 can be rotated by the inspection spindle 218.

検査光学系２２０及び照明光学系２２２は、検査スピンドル２１８上の磁気記録媒体２１２に検査用の光、例えばレーザー光を照射するための機構である。 The inspection optical system 220 and the illumination optical system 222 are mechanisms for irradiating the magnetic recording medium 212 on the inspection spindle 218 with inspection light, for example, laser light.

観察光学系２２４は、検査光学系２２０から照射された光のうち、磁気記録媒体表面２１２から散乱された光を観測し、磁気記録媒体２１２上に腐食や傷に基づく欠陥が存在するか否かを観測するための光学系である。 The observation optical system 224 observes light scattered from the surface 212 of the magnetic recording medium out of the light irradiated from the inspection optical system 220, and whether or not a defect based on corrosion or scratch exists on the magnetic recording medium 212. It is an optical system for observing.

ＡＦ軸２２６は、上記光学系のフォーカスを自動調節する機構である。 The AF shaft 226 is a mechanism for automatically adjusting the focus of the optical system.

検査ステージ２２８は、磁気記録媒体２１２の位置を調節するための機構であり、例えばＸ−Ｙステージなどである。この検査ステージ２２８上に検査スピンドル２１８が配置されている。 The inspection stage 228 is a mechanism for adjusting the position of the magnetic recording medium 212, and is, for example, an XY stage. An inspection spindle 218 is disposed on the inspection stage 228.

次に、上記構成の光学式検査装置２００による磁気記録媒体２１２の検査の工程について図２を参照しながら説明する。 Next, the inspection process of the magnetic recording medium 212 by the optical inspection apparatus 200 having the above configuration will be described with reference to FIG.

まず、磁気記録媒体２１２を収納したカセット２０４が、製造ラインから投入・取り出しコンベア２０２に搬送される。この、カセット２０４は、カセット移載機２０６により、カセットテーブル２０８に移載される。このカセットテーブル２０８で、カセットテーブル２０８の下部の空隙部に配置されたリフター２１０によって、磁気記録媒体２１２がカセット２０４の下部側から上部に突出される。この磁気記録媒体２１２は、受け渡しインデックス２１４により保持される。受け渡しインデックス２１４は、磁気記録媒体２１２を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであればよい。 First, the cassette 204 containing the magnetic recording medium 212 is conveyed from the production line to the loading / unloading conveyor 202. The cassette 204 is transferred to the cassette table 208 by the cassette transfer device 206. In the cassette table 208, the magnetic recording medium 212 is protruded upward from the lower side of the cassette 204 by the lifter 210 disposed in the lower space of the cassette table 208. This magnetic recording medium 212 is held by a delivery index 214. The delivery index 214 has a mechanism for holding the magnetic recording medium 212. This mechanism is not particularly limited as long as the mechanism holds the central hole of the magnetic recording medium by a claw that is opened and closed by air pressure, for example.

受け渡しインデックス２１４は、リフター２１０により保持された磁気記録媒体２１２を、図２に示されるように該磁気記録媒体２１２の表面が天井側に向くように回転できるように、又はその逆に回転できるように構成されている。また、受け渡しインデックス２１４は、Ｘ−Ｙステージのような機構により、光学式検査装置２００の装置面に平行な面で移動が可能になっている（図２参照）。このような構成により、リフター２１０からハンドラ２１６の位置に磁気記録媒体２１２を搬送することができる。例えば、リフター２１０に保持された磁気記録媒体２１２の内周径に、上記のような空気圧で開閉する爪を挿入し、空気圧によりこの爪を開き、受け渡しインデックス２１４に磁気記録媒体２１２を固定する。次に、受け渡しインデックス２１４を、天井側に向けて９０度回転させ、磁気記録媒体２１２の表面をハンドラ２１６のアーム２１５の回動面内に向ける。そして、磁気記録媒体２１２は、受け渡しインデックス２１４からハンドラ２１６に受け渡される。受け渡しインデックス２１４から磁気記録媒体をハンドラ２１６へ引き渡すには、例えば受け渡しインデックス２１４が上記のような空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであり、ハンドラ２１６が空気圧によって開閉される爪により磁気記録媒体の外周を保持するものである場合、以下のように行われる。まず、ハンドラ２１６の空気圧を調節してハンドラの爪を閉じ、磁気記録媒体２１２をハンドラのアーム２１５に固定する。次に、受け渡しインデックス２１４の空気圧を調節し、中心孔にある爪を閉じ、磁気記録媒体２１２を受け渡す。 The delivery index 214 allows the magnetic recording medium 212 held by the lifter 210 to rotate so that the surface of the magnetic recording medium 212 faces the ceiling as shown in FIG. 2 or vice versa. It is configured. The delivery index 214 can be moved on a plane parallel to the apparatus surface of the optical inspection apparatus 200 by a mechanism such as an XY stage (see FIG. 2). With such a configuration, the magnetic recording medium 212 can be transported from the lifter 210 to the position of the handler 216. For example, a claw that opens and closes by air pressure as described above is inserted into the inner peripheral diameter of the magnetic recording medium 212 held by the lifter 210, the claw is opened by air pressure, and the magnetic recording medium 212 is fixed to the delivery index 214. Next, the delivery index 214 is rotated by 90 degrees toward the ceiling, and the surface of the magnetic recording medium 212 is directed into the rotation surface of the arm 215 of the handler 216. Then, the magnetic recording medium 212 is transferred from the transfer index 214 to the handler 216. In order to deliver the magnetic recording medium from the delivery index 214 to the handler 216, for example, the delivery index 214 holds the center hole of the magnetic recording medium by a claw that is opened and closed by air pressure as described above, and the handler 216 is opened and closed by air pressure. In the case where the outer periphery of the magnetic recording medium is held by the claw, the following is performed. First, the air pressure of the handler 216 is adjusted to close the claws of the handler, and the magnetic recording medium 212 is fixed to the arm 215 of the handler. Next, the air pressure of the delivery index 214 is adjusted, the claw in the center hole is closed, and the magnetic recording medium 212 is delivered.

ハンドラ２１６に保持された磁気記録媒体２１２は、先に説明した支持体２１９の昇降及びアーム２１５の回動（接続部２１７を中心とした回動を含む。）動作により、検査用スピンドル２１８に搬送される。搬送は、前記回動面内において、左右のいずれかの方向にアーム２１５を回転させることにより行うことができる。磁気記録媒体２１２は、ハンドラ２１６により検査用スピンドル２１８上に受け渡される。この受け渡しには、例えばハンドラ２１６が空気圧によって開閉される爪により磁気記録媒体２１２の外周を保持するものであり、検査用スピンドル２１８が、例えば吸着ヘッドを有し、磁気記録媒体２１２の検査面とは反対側の内周面を吸着することにより磁気記録媒体２１２を保持する場合、以下のように行われる。まず、ハンドラ２１６を調節し、磁気記録媒体２１２の中心が検査用スピンドル２１８の中心に一致するように配置する。次いで、ハンドラ２１６の空気圧を調節してハンドラの爪を開き、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８に乗せるとともに、吸着ヘッドのエアー引き込み動作を開始して磁気記録媒体２１２を吸着し、固定する。光学式検査装置では、磁気記録媒体２１２を回転させながら検査を行うため、磁気記録媒体２１２の中心と検査用スピンドル２１８の中心は一致している。 The magnetic recording medium 212 held by the handler 216 is conveyed to the inspection spindle 218 by the movement of the support 219 and the rotation of the arm 215 (including the rotation about the connection portion 217) described above. Is done. The conveyance can be performed by rotating the arm 215 in either the left or right direction within the rotation plane. The magnetic recording medium 212 is transferred onto the inspection spindle 218 by the handler 216. In this delivery, for example, the handler 216 holds the outer periphery of the magnetic recording medium 212 with a claw that is opened and closed by air pressure, and the inspection spindle 218 has, for example, an adsorption head, and the inspection surface of the magnetic recording medium 212. When holding the magnetic recording medium 212 by attracting the inner peripheral surface on the opposite side, the following is performed. First, the handler 216 is adjusted so that the center of the magnetic recording medium 212 is aligned with the center of the inspection spindle 218. Next, the air pressure of the handler 216 is adjusted to open the claws of the handler, and the magnetic recording medium 212 is placed on the inspection spindle 218, and the air pulling operation of the suction head is started to suck and fix the magnetic recording medium 212. In the optical inspection apparatus, since the inspection is performed while rotating the magnetic recording medium 212, the center of the magnetic recording medium 212 coincides with the center of the inspection spindle 218.

磁気記録媒体２１２の検査は、回転された磁気記録媒体２１２上に検査光学系２２０及び照明光学系２２２からレーザー光のような光を照射し、磁気記録媒体２１２の全面をスキャンすることにより行う。磁気記録媒体２１２上に、異物又は傷があれば、レーザー光が散乱される。この散乱光を観察光学系２２４で受光することにより異物の存在、その大きさ、種類などを認識することができる。 The inspection of the magnetic recording medium 212 is performed by irradiating the rotated magnetic recording medium 212 with light such as laser light from the inspection optical system 220 and the illumination optical system 222 and scanning the entire surface of the magnetic recording medium 212. If there are foreign objects or scratches on the magnetic recording medium 212, the laser light is scattered. By receiving this scattered light with the observation optical system 224, it is possible to recognize the presence, size, type, and the like of a foreign substance.

検査が終了すると検査用スピンドル２１８から、上記とは逆の操作によりハンドラ２１６のアーム２１５により、検査済み磁気記録媒体２１２が受け渡しインデックス２１４に搬送される。このとき、アーム２１５は、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８に搬送するときと同じ向きに回転させればよい（連続的に検査を行わない場合、逆向きに回転させてもよい。）。さらに、受け渡しインデックス２１４は、上記とは逆の操作により、検査済み磁気記録媒体２１２をリフター２１０に渡し、リフター２１０は、磁気記録媒体２１２を降下させ、カセット２０４に磁気記録媒体２１２を収納する。 When the inspection is completed, the inspected magnetic recording medium 212 is conveyed from the inspection spindle 218 to the delivery index 214 by the arm 215 of the handler 216 by an operation reverse to the above. At this time, the arm 215 may be rotated in the same direction as when the magnetic recording medium 212 is transported to the inspection spindle 218 (if the inspection is not continuously performed, the arm 215 may be rotated in the opposite direction). Further, the delivery index 214 delivers the inspected magnetic recording medium 212 to the lifter 210 by the reverse operation to the above, and the lifter 210 lowers the magnetic recording medium 212 and stores the magnetic recording medium 212 in the cassette 204.

検査の操作を連続して行う場合には、ハンドラ２１６は、上述のように、例えば２本のアーム２１５を有しうるので、検査用スピンドル２１８へ磁気記録媒体２１２を搬送する操作と、検査用スピンドル２１８から磁気記録媒体２１２をカセット２０４に回収する操作を同時に行えばよい。この場合、２本のアームは、同じ側に回転する。 When the inspection operation is performed continuously, the handler 216 may have, for example, two arms 215 as described above, so that the operation for conveying the magnetic recording medium 212 to the inspection spindle 218 and the inspection The operation of collecting the magnetic recording medium 212 from the spindle 218 to the cassette 204 may be performed simultaneously. In this case, the two arms rotate to the same side.

なお、磁気記録媒体２１２は、検査される表面の側が検査用スピンドル２１８で光照射されるように予め向きをそろえておく。 The magnetic recording medium 212 is aligned in advance so that the surface to be inspected is irradiated with light by the inspection spindle 218.

次に、参考例としての磁気記録媒体（第三の発明）について説明する。
この磁気記録媒体は、上記第一の発明の磁気転写装置によりサーボ信号が転写されたものである。 Next, a magnetic recording medium (third invention) as a reference example will be described.
The magnetic recording medium is one in which the servo signal is transferred by magnetic transfer apparatus of the first invention.

まず、磁気記録媒体について説明する。
本発明の磁気記録媒体としては、従来の磁気ヘッドによりサーボ信号を書き込む装置で使用されていた磁気記録媒体をそのまま使用することができる。これに上記第一の発明で説明した磁気転写装置によりサーボ信号を書き込む。 First, the magnetic recording medium will be described.
As the magnetic recording medium of the present invention, a magnetic recording medium used in a conventional apparatus for writing servo signals with a magnetic head can be used as it is. A servo signal is written on the magnetic transfer device described in the first aspect of the invention.

以下に、サーボ信号を書き込んでいない磁気記録媒体（以下、単に磁気記録媒体と称する。）について説明する。磁気記録媒体は、例えば図６に概略断面図を示した磁気記録媒体である。具体的に以下に説明する。 Hereinafter, a magnetic recording medium in which no servo signal is written (hereinafter simply referred to as a magnetic recording medium) will be described. The magnetic recording medium is, for example, a magnetic recording medium whose schematic sectional view is shown in FIG. This will be specifically described below.

磁気記録媒体は、図６に示されるように、基板６０１、メッキ層６０２、非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び液体潤滑層６０６を順次形成したものである。 As shown in FIG. 6, the magnetic recording medium has a substrate 601, a plated layer 602, a nonmagnetic underlayer 603, a magnetic layer 604, a protective layer 605, and a liquid lubricating layer 606 formed in this order.

基板６０１は、例えば、アルミ合金のブランク材を使用する。この基板にメッキ層６０２であるＮｉ−Ｐメッキを施す。この他、本発明では、基板としてガラス基板、プラスチック製（例えば、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ノルボルネン樹脂等）基板等を使用することが可能である。ガラス基板としては、化学強化しうるガラス基板のようなものを使用することができる。このようなガラス基板の例としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス等の基板を挙げることができる。 For the substrate 601, for example, an aluminum alloy blank is used. Ni-P plating which is the plating layer 602 is applied to this substrate. In addition, in the present invention, it is possible to use a glass substrate, a plastic substrate (for example, polyolefin, polycarbonate, polyacrylate, norbornene resin) or the like as the substrate. As the glass substrate, a glass substrate that can be chemically strengthened can be used. Examples of such a glass substrate include substrates such as aluminosilicate glass and soda lime glass.

以下では、最も一般的なアルミ合金を使用した基板を例に取り、磁気記録媒体について説明する。 In the following, the magnetic recording medium will be described by taking the substrate using the most common aluminum alloy as an example.

上述のようなアルミ合金製基板上にＮｉ−Ｐメッキ（メッキ層６０２）を施し、非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び液体潤滑層６０６を順次形成し、磁気記録媒体とする。非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び液体潤滑層６０６は、従来から使用されている材料を使用することができる。具体的には、非磁性下地層６０３は、例えばＣｒよりなる下地層であり、磁性層６０４はＣｏ合金、例えば強磁性合金であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａなどであり、保護層６０５は、例えばカーボン保護層などであり、更に液体潤滑層６０６はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤のようなフッ素系潤滑剤等である。 Ni-P plating (plating layer 602) is applied on the aluminum alloy substrate as described above, and a nonmagnetic underlayer 603, a magnetic layer 604, a protective layer 605, and a liquid lubricating layer 606 are sequentially formed to form a magnetic recording medium. . Conventionally used materials can be used for the nonmagnetic underlayer 603, the magnetic layer 604, the protective layer 605, and the liquid lubricating layer 606. Specifically, the nonmagnetic underlayer 603 is an underlayer made of, for example, Cr, and the magnetic layer 604 is a Co alloy, for example, a ferromagnetic alloy such as Co—Cr—Pt, Co—Cr—Ta, and the like. The layer 605 is, for example, a carbon protective layer, and the liquid lubricant layer 606 is a fluorine-based lubricant such as a perfluoropolyether lubricant.

本発明の磁気記録媒体を図６により説明したが、この構造は一例であり、磁気記録媒体の目的に応じて種々の変更が可能である。また、形状は本発明の磁気記録媒体を使用する機器に合わせることができ、特に限定されない。例えば、ハードディスク装置（ＨＤＤ）に使用されるような磁気記録媒体であれば図６に示したように円盤状の磁気記録媒体であればよい。 Although the magnetic recording medium of the present invention has been described with reference to FIG. 6, this structure is merely an example, and various modifications can be made according to the purpose of the magnetic recording medium. Further, the shape can be adapted to the equipment using the magnetic recording medium of the present invention, and is not particularly limited. For example, if it is a magnetic recording medium used for a hard disk drive (HDD), it may be a disk-shaped magnetic recording medium as shown in FIG.

本発明の磁気記録媒体は、上述のような磁気転写の行われていない磁気記録媒体に、上記第一の発明の装置により磁気転写をされた磁気記録媒体である。例えば、図５に示される磁気記録媒体を例として挙げることができる。 The magnetic recording medium of the present invention is a magnetic recording medium that is magnetically transferred by the apparatus of the first invention to the magnetic recording medium that has not been subjected to magnetic transfer as described above. For example, the magnetic recording medium shown in FIG. 5 can be given as an example.

次に、この磁気記録媒体の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing this magnetic recording medium will be described.

本発明の磁気記録媒体の製造方法は、アルミ合金材上にメッキ層としてＮｉ−Ｐメッキを施した磁気記録媒体用の基板上に少なくとも磁性層、保護層及び液体潤滑層を形成する工程を具備する。 The method for producing a magnetic recording medium of the present invention includes a step of forming at least a magnetic layer, a protective layer, and a liquid lubricating layer on a substrate for a magnetic recording medium in which Ni-P plating is applied as a plating layer on an aluminum alloy material. To do.

より具体的には、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録媒体用基板を得る工程、該基板上に少なくとも磁性層、保護層及び液体潤滑層を形成する工程を有する。 More specifically, the method for producing a magnetic recording medium of the present invention includes a step of obtaining a magnetic recording medium substrate, and a step of forming at least a magnetic layer, a protective layer and a liquid lubricating layer on the substrate.

磁気記録媒体の基板は、以下のようにして調製することができる。 The substrate of the magnetic recording medium can be prepared as follows.

基板６０１は、例えば、アルミ合金のブランク材を使用する。この他、本発明では、基板としてガラス基板、プラスチック製（例えば、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ノルボルネン樹脂等）基板等を使用することが可能である。ガラス基板としては、化学強化しうるガラス基板のようなものを使用することができる。このようなガラス基板の例としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス等の基板を挙げることができる。 For the substrate 601, for example, an aluminum alloy blank is used. In addition, in the present invention, it is possible to use a glass substrate, a plastic substrate (for example, polyolefin, polycarbonate, polyacrylate, norbornene resin) or the like as the substrate. As the glass substrate, a glass substrate that can be chemically strengthened can be used. Examples of such a glass substrate include substrates such as aluminosilicate glass and soda lime glass.

以下では、最も一般的なアルミ合金を使用した基板を例に取り、磁気記録媒体の製造方法について説明する。 In the following, a method for manufacturing a magnetic recording medium will be described by taking a substrate using the most common aluminum alloy as an example.

アルミ合金のブランク材は、ハードディスク等に通常使用されるものである。例えば、加熱溶融したアルミ合金材料を圧延、加熱焼鈍した後、規定の寸法に加工が行われたアルミ合金のブランク材を使用することができる。次に、表面精度向上のために、このアルミ合金のブランク材をポリッシュ加工して表面を研磨し、Ｎｉ−Ｐメッキ（メッキ層）を施す。メッキは無電解メッキにより行われる。Ｎｉ−Ｐメッキの厚さは、通常の磁気記録媒体に適用される厚さであれば特に限定されないが、例えば１３μｍの厚さとすることができる。 Aluminum alloy blanks are usually used for hard disks and the like. For example, it is possible to use an aluminum alloy blank material that has been rolled and heat-annealed and then processed to a specified dimension. Next, in order to improve surface accuracy, this aluminum alloy blank is polished to polish the surface, and Ni-P plating (plating layer) is applied. Plating is performed by electroless plating. The thickness of the Ni—P plating is not particularly limited as long as it is a thickness applied to a normal magnetic recording medium, and can be, for example, 13 μm.

この磁気記録媒体用基板（以下、メッキ層６０２を含めて単に基板とも称する。）に、ポリッシュ及びテクスチャーを施し、表面を研磨加工する。 This magnetic recording medium substrate (hereinafter also simply referred to as a substrate including the plating layer 602) is polished and textured, and the surface is polished.

ポリッシュ−テクスチャーは、例えば、ポリッシュにより表面粗さがＲａ＝１ｎｍ（１０Å）になるように研磨することにより行われる。次いで、ダイヤモンドスラリーを使用したテクスチャーにより、ほぼ同心円状の溝を、表面粗さが例えばＲａ＝３０Åになるように作製する。 Polishing-texturing is performed, for example, by polishing so that the surface roughness Ra = 1 nm (10 mm). Next, a substantially concentric groove is produced by a texture using diamond slurry so that the surface roughness is Ra = 30 mm, for example.

次に、得られた基板を洗浄する。洗浄方法は磁気記録媒体用基板の洗浄で通常用いられているものであれば、特に限定されないが、例えば、浸漬法、浸漬振動法、スプレー法など、当分野で用いられる何れの手段で行ってもよい。また、洗浄時間は、洗浄の手段によって異なるが、１から３分が好ましい。 Next, the obtained substrate is washed. The cleaning method is not particularly limited as long as it is usually used for cleaning a substrate for a magnetic recording medium. For example, the cleaning method may be performed by any means used in this field, such as an immersion method, an immersion vibration method, or a spray method. Also good. The washing time varies depending on the washing means, but is preferably 1 to 3 minutes.

次に、基板上にＬＺＴ加工を行う。ＬＺＴ加工は、当分野で周知の方法により行うことができる。例えば、基板のＣＳＳゾーンに、所定のバンプ高さ及びバンプ径（例えばＢＨ＝２３ｎｍ及びＢＤ＝７μｍ）が施されるように、レーザーによりレーザーゾーンテクスチャーを施すことができる。 Next, LZT processing is performed on the substrate. LZT processing can be performed by a method well known in the art. For example, a laser zone texture can be applied by a laser so that a predetermined bump height and bump diameter (for example, BH = 23 nm and BD = 7 μm) are applied to the CSS zone of the substrate.

この基板の上面に磁気記録を可能とする層構造を積層する。この積層工程では、磁気記録媒体用基板上に非磁性下地層６０３をコートし、その上に磁性層６０４及び保護層６０５を順次形成する。この後、溶媒で希釈した潤滑剤を前記保護層６０５の表面に塗布する。 A layer structure enabling magnetic recording is laminated on the upper surface of the substrate. In this lamination step, a nonmagnetic underlayer 603 is coated on a magnetic recording medium substrate, and a magnetic layer 604 and a protective layer 605 are sequentially formed thereon. Thereafter, a lubricant diluted with a solvent is applied to the surface of the protective layer 605.

本発明では、前記非磁性下地層６０３及び前記磁性層６０４は、当分野で一般に使用される材料を用いることができる。例えば、非磁性層としてＣｒ層を用いることができ、前記磁性層６０４としてＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金層を用いることができる。 In the present invention, the nonmagnetic underlayer 603 and the magnetic layer 604 may be made of materials generally used in this field. For example, a Cr layer can be used as the nonmagnetic layer, and a Co—Cr—Pt alloy layer can be used as the magnetic layer 604.

非磁性下地層６０３、磁性層６０４及び保護膜６０５は、これらが例えばＣｒ非磁性下地層、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ強磁性合金層及びカーボン保護膜である場合、スパッタ法によって形成することができる。また、保護層６０５がカーボン保護層である場合、通常のグラファイトを主体としたカーボン保護層であってもＤＬＣ保護層であってもよい。また、潤滑層６０６は、ディップコート法、スピンコート法等により塗布することができる。 The nonmagnetic underlayer 603, the magnetic layer 604, and the protective film 605 can be formed by sputtering when these are, for example, a Cr nonmagnetic underlayer, a Co—Cr—Pt ferromagnetic alloy layer, and a carbon protective film. Further, when the protective layer 605 is a carbon protective layer, it may be a normal carbon protective layer mainly composed of graphite or a DLC protective layer. The lubricating layer 606 can be applied by a dip coating method, a spin coating method, or the like.

これらの非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び潤滑層６０５の厚さは通常の磁気記録媒体で用いられる厚さである。なお、上記の構成は本発明を限定するものではない。 The thicknesses of the nonmagnetic underlayer 603, the magnetic layer 604, the protective layer 605, and the lubricating layer 605 are those used in ordinary magnetic recording media. In addition, said structure does not limit this invention.

このようにして得られた磁気記録媒体に対し、上記第一の発明で説明した磁気転写装置により、サーボ信号を書き込む。サーボ信号の書き込みは、上記第一の発明で説明したとおりである。 A servo signal is written on the magnetic recording medium thus obtained by the magnetic transfer apparatus described in the first invention. The servo signal is written as described in the first invention.

また、本発明の磁気記録媒体の表面の状態を、例えば上記第二の発明で説明した光学式検査装置を用いて検査することができる。 The surface state of the magnetic recording medium of the present invention can be inspected using, for example, the optical inspection apparatus described in the second aspect of the invention.

以下に本発明を実施例により更に詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

＜グリース剤の分析＞
参考例としての磁気転写装置、並びに本発明の光学式検査装置に使用されるグリース剤について、以下のような分析試験を行った。 <Analysis of grease agent>
The following analytical tests were performed on the grease used in the magnetic transfer apparatus as a reference example and the optical inspection apparatus of the present invention .

本実施例では、複数のクリーン環境用グリースを取り上げた。具体的には以下のグリースを用いた。 In this example, a plurality of clean environment greases were taken up. Specifically, the following greases were used.

１）ＴＨＫ製ＡＦＢグリース
２）ＴＨＫ製ＡＦＥグリース
分析は、ＧＣ−ＭＡＳＳ装置により行った。分析手順は以下の通りである。
１）グリースのサンプルを５×６５ｍｍのアルミ板に塗布した。
２）このアルミ板を試料管に入れ、１２ｓｃｃｍのヘリウムを流しながら、１００℃で１０分間加熱した。加熱によりグリースから発生したガスをトラップし、濃縮した後、ＧＣ−ＭＡＳＳ装置（島津製作所ＱＰ５０００）により分析した。
３）分析条件は以下の通りであった。
分析用カラム：シーエル・サイエンス（株）製、ＮＢ５カラム（長さ３０ｍ、外形０．２５ｍｍ、内径０．４μｍ）
カラム槽初期温度：４０℃
気化室温度：２８０℃
インターフェース温度：２８０℃
分析時のカラム槽温度条件：４０℃から２８０℃まで、１０℃／分で昇温
分析結果を上記ＡＦＢグリース（以下グリースＡと称する。）のグリースを用いた場合について示す。図７は、ＧＣの分析結果である。図中７０１から７０５は、上記試験で発生したイオウ系ガスのピークを示す。具体的には、図中７０１はビス（２−メチル−２−プロぺニル）スルフィド（Ｃ₈Ｈ₁₄Ｓ、分子量：１４２）、７０２はメチルチイラン（Ｃ₃Ｈ₆Ｓ、分子量７４）、７０３及び７０４は３，５−ビス（１−メチルエチル）−１，２，４−トリチオラン（Ｃ₈Ｈ₁₆Ｓ₃、分子量：２０８）、７０５はオクタンチオン酸Ｓ−プロピルエステル（Ｃ₁₁Ｈ₂₂ＯＳ、分子量：２０２）である。これらの化合物の化学式を以下に示す。 1) THK-made AFB grease 2) THK-made AFE grease The analysis was performed by a GC-MASS apparatus. The analysis procedure is as follows.
1) A grease sample was applied to a 5 × 65 mm aluminum plate.
2) The aluminum plate was placed in a sample tube and heated at 100 ° C. for 10 minutes while flowing 12 sccm of helium. The gas generated from the grease by heating was trapped and concentrated, and then analyzed by a GC-MASS device (Shimadzu QP5000).
3) The analysis conditions were as follows.
Column for analysis: NB5 column (length 30 m, outer diameter 0.25 mm, inner diameter 0.4 μm), manufactured by CLS Science
Column tank initial temperature: 40 ° C
Vaporization chamber temperature: 280 ° C
Interface temperature: 280 ° C
Column bath temperature conditions during analysis: Temperature rise from 40 ° C. to 280 ° C. at 10 ° C./min. The analysis results are shown for the case where the above AFB grease (hereinafter referred to as grease A) is used. FIG. 7 shows the GC analysis results. In the figure, reference numerals 701 to 705 denote peaks of the sulfur-based gas generated in the above test. Specifically, in the figure, 701 is bis (2-methyl-2-propenyl) sulfide (C ₈ H ₁₄ S, molecular weight: 142), 702 is methyl thiirane (C ₃ H ₆ S, molecular weight 74), 703 And 704 are 3,5-bis (1-methylethyl) -1,2,4-trithiolane (C ₈ H ₁₆ S ₃ , molecular weight: 208), and 705 is octanethioic acid S-propyl ester (C ₁₁ H ₂₂ OS , Molecular weight: 202). The chemical formulas of these compounds are shown below.

これら５種類の化合物の濃度を、検量線標準物質として２−プロペニルオキシベンゼン（Ｃ₆Ｈ₅ＯＣＨ₂ＣＨ＝ＣＨ₂）を使用して計算した。 The concentrations of these five compounds were calculated using 2-propenyloxybenzene (C ₆ H ₅ OCH ₂ CH═CH ₂ ) as a calibration curve standard.

本実施例で使用したグリースの場合、上記５種類の化合物の合計の濃度は、５．８５ｐｐｂであった。 In the case of the grease used in this example, the total concentration of the above five compounds was 5.85 ppb.

また、別のグリースである上記ＡＦＥグリース（以下グリースＢと称する。）を分析試料として使用した場合の分析結果を図８に示した。 FIG. 8 shows the analysis result when the above AFE grease (hereinafter referred to as “grease B”), which is another grease, was used as an analysis sample.

図中８０１は、オクタンチオン酸Ｓ−プロピルエステルであった。この化合物の濃度は０．３５ｐｐｂであった。 In the figure, 801 was octanethioic acid S-propyl ester. The concentration of this compound was 0.35 ppb.

＜磁気記録媒体試験＞
上記２種類のグリースを使用した磁気転写装置を用いて磁気転写を行った。得られた磁気記録媒体を６０℃、相対湿度８０％の高温高湿環境下に１０時間放置し、磁気記録媒体表面の腐食を測定した。本測定では、グリースを新たに使用し始めてから３０００枚目以降の１００枚の磁気記録媒体について上記測定を行った。 <Magnetic recording medium test>
Magnetic transfer was performed using a magnetic transfer apparatus using the above two types of grease. The obtained magnetic recording medium was left in a high-temperature and high-humidity environment at 60 ° C. and a relative humidity of 80% for 10 hours to measure the corrosion of the magnetic recording medium surface. In this measurement, the above-described measurement was performed on 100 or more magnetic recording media after the 3000th sheet since the grease was newly used.

その結果、上記グリースＢ（イオウ系ガスの合計濃度が０．３５ｐｐｂのもの）では、腐食が全く見られなかったが、グリースＡ（イオウ系ガスの合計濃度が５．８５ｐｐｂのもの）は、磁気記録媒体１００枚のうち２枚に腐食が見られた。 As a result, the grease B (with a total concentration of sulfur-based gas of 0.35 ppb) showed no corrosion, but grease A (with a total concentration of sulfur-based gas of 5.85 ppb) was magnetic. Corrosion was observed on two of the 100 recording media.

また、同様の試験を光学式検査装置についても行い、同様の結果を得た。 Moreover, the same test was performed also about the optical inspection apparatus, and the same result was obtained.

上記結果から、参考例としての磁気転写装置又は本発明の光学式検査装置で使用するグリースは、上記分析方法により分析したイオウ系ガスの総濃度が０．５ｐｐｂ以下であることが望ましい。 From the above results, it is desirable that the grease used in the magnetic transfer apparatus as a reference example or the optical inspection apparatus of the present invention has a total concentration of sulfur gas analyzed by the above analysis method of 0.5 ppb or less.

磁気転写装置の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of a magnetic transfer apparatus. 光学式検査装置の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of an optical inspection apparatus. 磁気記録媒体へ磁気転写を行う場合の工程を示す概略図であり、（ａ）は磁気消去の場合の工程を表し、（ｂ）は磁気転写の場合の工程を表す図である。It is the schematic which shows the process in the case of performing magnetic transfer to a magnetic recording medium, (a) represents the process in the case of magnetic erasure, (b) is the figure showing the process in the case of magnetic transfer. 磁気転写装置に使用されるマスターディスクの概略図である。It is the schematic of the master disk used for a magnetic transfer apparatus. 磁気転写された後の磁気記録媒体を表す概略図である。It is the schematic showing the magnetic recording medium after carrying out magnetic transfer. 磁気記録媒体の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a magnetic recording medium. 本発明に従ってグリースを分析した場合のグリースのガスクロマトグラムである。It is a gas chromatogram of grease when analyzing grease according to the present invention. 本発明に従って、他のグリースを分析した場合のグリースのガスクロマトグラムである。It is a gas chromatogram of grease when other grease is analyzed according to the present invention.

Explanation of symbols

１００磁気転写装置
１０２カセットステージ
１０４カセット
１０６ディスクリフター部
１０８スレーブハンドラ
１１０インデックス部
１１２待機ステージ
１１４スレーブ位置測定ステージ
１１６初期化ステージ
１１８マスターハンドラ
１２０転写ステージ
２００光学式検査装置
２０２投入・取り出しコンベア
２０４カセット
２０６カセットステージ
２０８カセットテーブル
２１０リフター
２１２ディスク
２１４受け渡しインデックス
２１５アーム
２１６ハンドラ
２１７接続部
２１８検査用スピンドル
２１９支持体
２２０検査光学系
２２２照明光学系
２２４観察光学系
２２６ＡＦ軸
２２８検査ステージ
３００転写済み磁気記録媒体
３０２マスターディスク
３０４外部磁石
３０６外部磁石の磁極
４０４、５０４転写磁気パターン有効最内周径
４０６、５０６磁気転写パターン有効最外周径
４０８磁気転写パターン領域
５０２磁気転写パターン領域
５０８中心孔
６０１基板
６０２メッキ層
６０３非磁性下地層
６０４磁性層
６０５保護層
６０６潤滑剤層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Magnetic transfer apparatus 102 Cassette stage 104 Cassette 106 Disc lifter part 108 Slave handler 110 Index part 112 Standby stage 114 Slave position measurement stage 116 Initialization stage 118 Master handler 120 Transfer stage 200 Optical test | inspection apparatus 202 Loading / unloading conveyor 204 Cassette 206 Cassette stage 208 Cassette table 210 Lifter 212 Disc 214 Delivery index 215 Arm 216 Handler 217 Connection part 218 Inspection spindle 219 Support 220 Inspection optical system 222 Illumination optical system 224 Observation optical system 226 AF axis 228 Inspection stage 300 Transferred magnetic recording medium 302 Master disk 304 External magnet 306 Magnetic poles 404 and 504 of the external magnet Turn effective innermost peripheral diameter 406, 506 Magnetic transfer pattern effective outermost peripheral diameter 408 Magnetic transfer pattern area 502 Magnetic transfer pattern area 508 Central hole 601 Substrate 602 Plating layer 603 Nonmagnetic underlayer 604 Magnetic layer 605 Protective layer 606 Lubricant layer

Claims

In an optical inspection apparatus for optically inspecting scratches or impurities on a magnetic recording medium, a grease used in the optical inspection apparatus is generated when the grease is heated at 100 ° C. for 10 minutes. amount of gas generated (analyzed by GC-MASS device, calculated using the calibration curve standard) is the optical inspection system, characterized in that those below 0.5 ppb.