JP4494172B2

JP4494172B2 - Discharge / Air vent integrated valve

Info

Publication number: JP4494172B2
Application number: JP2004336517A
Authority: JP
Inventors: 章梶田; 信仁廣江
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2004-11-19
Filing date: 2004-11-19
Publication date: 2010-06-30
Anticipated expiration: 2024-11-19
Also published as: JP2006144677A

Description

本発明は、例えば半導体や液晶製造装置用のポンプ、タンクなどから供給される液体に混入しているエアを抜くバルブに関する。 The present invention relates to a valve for removing air mixed in a liquid supplied from, for example, a pump or a tank for a semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus.

従来、例えば半導体製造ラインや、液晶製造ラインに用いられるポンプやタンク、特に往復動ポンプなどの微少量の液体を移送する定量ポンプ等によって液体を移送する際に、吸込口側等で流体に空気が混入する等の原因により、配管系の出口の先である２次側（以下、単に２次側という）にそのまま移送されてしまうといった問題があった。半導体製造ラインのフォト工程で、レジストを移送する場合には、気泡がそのまま２次側への吐出口まで移送されると、ウエハ等の上にそのまま気泡として残り、不良を発生してしまう。特にこの現象は高粘度の液体を移送する場合は、気泡が抜けにくいため、問題となりやすい。 Conventionally, when a liquid is transferred by a metering pump for transferring a small amount of liquid such as a pump or tank used in a semiconductor manufacturing line or a liquid crystal manufacturing line, in particular, a reciprocating pump, air is supplied to the fluid on the suction port side. For example, there is a problem that it is transferred as it is to the secondary side (hereinafter simply referred to as the secondary side) that is the tip of the outlet of the piping system. When the resist is transferred in the photo process of the semiconductor manufacturing line, if the bubbles are transferred as they are to the discharge port to the secondary side, they remain as bubbles on the wafer or the like, causing a defect. In particular, this phenomenon is likely to be a problem when a highly viscous liquid is transferred because bubbles are difficult to escape.

しかし、従来このような問題を解決するための適切な手段は行われていなかった。
例えば、経路の途中でエア抜きを行う方法として、実開平５−６００６１号公報（以下、特許文献１とする）等がある。
特許文献１には、ポンプのエアロックを防ぐ目的で、流体の状態を監視し、ポンプヘッドの吐出口側の配管系に設置された、エア抜き電磁弁を自動的に開閉制御し、自動的にエア抜きが行われる自動エア抜き装置について開示されている。
図５は、特許文献１に係る定量ポンプの自動エア抜き装置のシステム構成を概略的に示しており、図中のポンプ本体１０１はポンプヘッド１０２を備えてなるとともに、このポンプヘッド１０２は、吸込口１０３と吐出口１０４とを有する。
ポンプヘッド１０２の吐出口１０４側の吐出口側配管系１０５には、流体の流れを検知して信号を出力するフローチェッカ１０６の上流側とポンプヘッド１０２の吐出口１０４の下流側との間配管系には、図示しないエア抜き口に接続されたエア抜き電磁弁１０７が設置されている。
また、ポンプ本体１０１内には、コントローラ部１１０が設置されていて、このコントローラ部１１０は、ポンプの駆動状態及び流体の吐出状態を検出して駆動信号を出力するポンプ検出手段１１１と、このポンプ検出手段１１１による出力信号とを比較する信号比較手段１１２を備えている。 However, no appropriate means for solving such a problem has been taken.
For example, as a method of performing air bleeding in the middle of a route, there is Japanese Utility Model Laid-Open No. 5-60061 (hereinafter referred to as Patent Document 1).
In Patent Document 1, in order to prevent the air lock of the pump, the state of the fluid is monitored, and the air vent solenoid valve installed in the piping system on the discharge port side of the pump head is automatically controlled to open and close automatically. An automatic air bleed device that performs air bleed is disclosed.
FIG. 5 schematically shows a system configuration of an automatic air venting device for a metering pump according to Patent Document 1. A pump body 101 in the figure includes a pump head 102, and the pump head 102 It has a port 103 and a discharge port 104.
A discharge port side piping system 105 on the discharge port 104 side of the pump head 102 includes a pipe between the upstream side of the flow checker 106 that detects the flow of fluid and outputs a signal, and the downstream side of the discharge port 104 of the pump head 102. In the system, an air vent solenoid valve 107 connected to an air vent (not shown) is installed.
A controller unit 110 is installed in the pump body 101. The controller unit 110 detects a pump drive state and a fluid discharge state, and outputs a drive signal. A signal comparison unit 112 that compares the output signal from the detection unit 111 is provided.

すなわち、コントローラ部１１０はフローチェッカ１０６から発生するパルス信号Ａとポンプ検出手段１１１から発生するパルス信号Ｂとを信号比較手段１１２により比較し、両者の出力レベルが異なって異常を検出した場合に、エア抜き電磁弁１０７の開弁信号を出力して、エア抜き電磁弁１０７を自動的に開弁し、これによって、ポンプヘッド１０２内及び吐出口側配管系１０５のエアを排出しうるように制御され、エア抜き後の正常状態では、エア抜き電磁弁１０７を自動的に開弁して、ポンプを正常運転に導くようになっている。 That is, the controller unit 110 compares the pulse signal A generated from the flow checker 106 with the pulse signal B generated from the pump detection unit 111 by the signal comparison unit 112, and when both output levels are different and an abnormality is detected, The valve opening signal of the air bleeding solenoid valve 107 is output, and the air bleeding solenoid valve 107 is automatically opened so that the air in the pump head 102 and the discharge port side piping system 105 can be discharged. In a normal state after air bleeding, the air bleeding solenoid valve 107 is automatically opened to guide the pump to normal operation.

しかしこの方法は、ポンプ本体１０１の動作を適切に行うために、ポンプヘッド１０２内のエア抜きを行う方法であり、２次側へのエアの持込に関しては考慮されていない。また、どのように２次側に液体を供給するかについても触れられていない。従って、図５から判断して、フローチェッカ１０６の先に２次側への供給を制御するための開閉弁が設けられるか、あるいはポンプ本体１０１自身の動作で送り量を制御するか、のどちらかであると考えられる。
なお、エア抜き電磁弁１０７の構造についても特に触れられておらず、エア抜き電磁弁１０７と図示しないエア抜き口との関係についても開示も示唆もされていない。
一方、エア抜き口について詳細に開示されているのが、実公平７−２１９０９号公報（以下、特許文献２とする）であり、図６でその全体図を、図７でその断面詳細図を示して説明する。 However, this method is a method of releasing air from the pump head 102 in order to appropriately operate the pump main body 101, and is not considered for bringing air into the secondary side. It also does not mention how to supply the liquid to the secondary side. Therefore, judging from FIG. 5, whether the opening / closing valve for controlling the supply to the secondary side is provided at the tip of the flow checker 106, or whether the feed amount is controlled by the operation of the pump body 101 itself. It is thought that.
The structure of the air vent solenoid valve 107 is not particularly mentioned, and the relationship between the air vent solenoid valve 107 and an air vent not shown is not disclosed or suggested.
On the other hand, the Japanese Patent Publication No. 7-21909 (hereinafter referred to as Patent Document 2) discloses the air vent in detail. FIG. 6 shows an overall view thereof, and FIG. 7 shows a sectional detail view thereof. Shown and explained.

図６は特許文献２に係るポンプのエア抜き装置を電磁駆動方式の定量ポンプに適用して示す断面図で、図６にはポンプ本体２０１が示される。
このポンプ本体２０１は、先端部側にポンプ部を構成するポンプヘッド２０２を備え、このポンプヘッド２０２は、ボールバルブ２０３、２０４を介して吸込口２０５と吐出口２０６とを有する。
また、ポンプヘッド２０２内のポンプ室２０７には、ダイアフラム２０８が設けられていて、このダイアフラム２０８は、後述する動力伝達手段により往復動する駆動軸部（プランジャ）２０９の先端部に連結されているとともに、この駆動軸部２０９は、リタ−ンスプリング２１０によって軸方向の後方に向け付勢されている。
この駆動軸部２０９は、ダイアフラム２０８をポンピング動作させてなるもので、このダイアフラム２０８によるポンピング動作で吸込口２０５から流入させたポンプ給送流体を吐出口２０６より定量ずつ吐出させるようになっているものである。
そして、このようなポンプ給送流体の吐出量は、駆動軸部２０９のストロ−ク量に対応するものであり、このストロ−ク量の調整は、駆動軸部２０９の往復運動範囲を規制する後述するポンプ本体２０１の後面部側に取り付けた調整ダイヤルによる調整手段によって行われるようになっている。 FIG. 6 is a cross-sectional view showing the pump air release device according to Patent Document 2 applied to an electromagnetically driven metering pump. FIG. 6 shows a pump body 201.
The pump body 201 includes a pump head 202 that constitutes a pump part on the tip side, and the pump head 202 has a suction port 205 and a discharge port 206 via ball valves 203 and 204.
Further, a diaphragm 208 is provided in the pump chamber 207 in the pump head 202, and this diaphragm 208 is connected to a distal end portion of a drive shaft portion (plunger) 209 that reciprocates by power transmission means described later. At the same time, the drive shaft portion 209 is urged rearward in the axial direction by the return spring 210.
The drive shaft 209 is formed by pumping the diaphragm 208, and the pump feed fluid introduced from the suction port 205 by the pumping operation by the diaphragm 208 is discharged from the discharge port 206 in a fixed amount. Is.
The discharge amount of the pump feeding fluid corresponds to the stroke amount of the drive shaft portion 209, and the adjustment of the stroke amount regulates the reciprocating motion range of the drive shaft portion 209. This is performed by adjusting means using an adjusting dial attached to the rear side of the pump body 201, which will be described later.

すなわち、上記駆動軸部２０９の動力伝達手段は、ポンプヘッド２０２が接続されたケ−シング２１１内に設けた電磁コイル２１２により軸方向に摺動自在に往復駆動制御されるプランジャコア２１３に、リタ−ンスプリング２１０の付勢力により軸方向に付勢された駆動軸部２０９を固定してなるもので、このプランジャコア２１３の後端面側には、ストローク長を調整する調整ネジ部２１４が当接されている。
この調整ネジ部２１４は、ポンプ本体２０１の後端側に螺合されて、その回転移動によりプランジャコア２１３を軸方向に移動調整することにより、駆動軸部２０９のストロ−ク長を調整するようになっているもので、その中心軸部には、第１のボルト挿通孔２１５が形成されているとともに、このボルト挿通孔２１５の前端側には、ナット２１６が配置固定されている。 That is, the power transmission means of the drive shaft portion 209 is connected to the plunger core 213 that is reciprocally driven and slidable in the axial direction by the electromagnetic coil 212 provided in the casing 211 to which the pump head 202 is connected. The drive shaft portion 209 urged in the axial direction by the urging force of the spring 210 is fixed, and an adjustment screw portion 214 for adjusting the stroke length is in contact with the rear end surface side of the plunger core 213. Has been.
The adjustment screw portion 214 is screwed to the rear end side of the pump main body 201, and adjusts the stroke length of the drive shaft portion 209 by adjusting the movement of the plunger core 213 in the axial direction by its rotational movement. A first bolt insertion hole 215 is formed in the central shaft portion, and a nut 216 is disposed and fixed on the front end side of the bolt insertion hole 215.

そして、調整ネジ部２１４の後端側には、後方に向け拡開するテーパ状の嵌合穴２１７が形成されていて、この嵌合穴２１７には、調整ダイヤル２１８のテーパボス状の嵌合軸部２１９が圧入状態で差し込み嵌合されている。
また、この調整ダイヤル２１８の中心軸部には、調整ネジ部２１４に設けた第１のボルト挿通孔２１５と軸方向に対応して連通する第２のボルト挿通孔２２０が形成されていて、この第２のボルト挿通孔２２０には、ボルト２２１が外側から挿入され、このボルト２２１は、前記第１のボルト挿通孔２１５を介してナット２１６に螺合させることにより、調整ネジ部２１４と調整ダイヤル２１８とを一体的に締結し固定してなるものである。
なお、調整ダイヤル２１８の外端面に嵌着されたキャップ２２２は、ボルト２２１の露出を隠蔽してなるものである。 A tapered fitting hole 217 that expands rearward is formed on the rear end side of the adjustment screw portion 214, and the fitting 217 shaped fitting shaft of the adjustment dial 218 is formed in the fitting hole 217. The part 219 is inserted and fitted in a press-fit state.
In addition, a second bolt insertion hole 220 communicating with the first bolt insertion hole 215 provided in the adjustment screw portion 214 corresponding to the axial direction is formed in the central shaft portion of the adjustment dial 218. A bolt 221 is inserted into the second bolt insertion hole 220 from the outside, and the bolt 221 is screwed into the nut 216 via the first bolt insertion hole 215, thereby adjusting the adjustment screw portion 214 and the adjustment dial. 218 is integrally fastened and fixed.
Note that the cap 222 fitted to the outer end surface of the adjustment dial 218 covers the exposure of the bolt 221.

さらに、特許文献２に係るエア抜き装置２３０は、図７に示すように、ポンプヘッド２０２の吐出口２０６に螺合状態で固定される第１の弁体２４１と、この第１の弁体２４１の外周部に第１のＯリング２５１を介して水密的に被冠されかつその側部にエア抜き口２６２を有する第２の弁体２６１と、この第２の弁体２６１の外周部に螺合されて第１の弁体２４１を互いに結合するロックナット２７１と、このロックナット２７１にて結合された第１の弁体２４１の外側上端面２４１ａと第２の弁体２６１の内側上端面２６１ａとの間の当接面間に水密的に介在させた第２のＯリング２５２とからなる組付け構造を有する。 Furthermore, as shown in FIG. 7, the air vent device 230 according to Patent Document 2 includes a first valve body 241 fixed to the discharge port 206 of the pump head 202 in a screwed state, and the first valve body 241. A second valve body 261 that is watertightly covered with a first O-ring 251 on the outer periphery of the second valve body and has an air vent 262 on the side thereof, and a screw on the outer periphery of the second valve body 261. A lock nut 271 that couples the first valve body 241 to each other, an outer upper end surface 241a of the first valve body 241 and an inner upper end surface 261a of the second valve body 261 coupled by the lock nut 271. And the second O-ring 252 interposed in a watertight manner between the contact surfaces between the first and second members.

そして、第２の弁体２６１とロックナット２７１との螺合状態は、ポンプヘッド２０２の吐出口２０６への第１の弁体２４１の螺合状態と逆ネジ構造となっている。
すなわち、このエア抜き装置２３０は、ロックナット２７１の開放方向Ｘの回動操作にて、第１の弁体２４１の外側上端面２４１ａと第２の弁体２６１の内側上端面２６１ａとの間の当接面間に、エア抜き口２６２と連通する間隙ａを形成することにより、微少流量を送る際に、例えばポンプヘッド２０２内に高圧が掛かって空気が溜り、流体の流量が少なくなった場合に、ポンプヘッド２０２内のエア抜きを可能にしてなるものである。 The screwed state of the second valve body 261 and the lock nut 271 has a reverse screw structure as compared with the screwed state of the first valve body 241 to the discharge port 206 of the pump head 202.
That is, the air venting device 230 is operated between the outer upper end surface 241a of the first valve body 241 and the inner upper end surface 261a of the second valve body 261 by the rotation operation of the lock nut 271 in the opening direction X. When a minute flow rate is sent by forming a gap a communicating with the air vent 262 between the contact surfaces, for example, when high pressure is applied in the pump head 202 and air accumulates and the fluid flow rate decreases. In addition, the air in the pump head 202 can be removed.

特許文献２の発明によれば、ポンプヘッドの吐出口２０６に螺合状態で固定される第１の弁体２４１の外周部に、側部にエア抜き口２６２を有する第２の弁体２６１を水密的に被冠し、かつこの第２の弁体２６１の外周部にロックナット２７１を螺合して第１の弁体２４１を互いに水密的に結合するとともに、このロックナットの開放方向の回動操作にて、第１の弁体２４１の外側上端面と第２の弁体２６１の内側上端面２６１ａとの間の当接面間に、エア抜き口２６２と連通する間隙を形成可能にしてなることから、ロックナット２７１の開放方向の回動操作にてポンプヘッド２０２内のエア抜きを容易に行なうことができ、しかも、組付け部品点数の削減化を図ることができるために、コストダウンを期待することができる。
実開平５−６００６１号公報実公平７−２１９０９号公報 According to the invention of Patent Document 2, the second valve body 261 having the air vent 262 on the side is provided on the outer peripheral portion of the first valve body 241 that is fixed to the discharge port 206 of the pump head in a screwed state. The lock nut 271 is screwed onto the outer peripheral portion of the second valve body 261 so as to be water-tightly coupled to each other, and the lock nut is rotated in the opening direction. In the moving operation, a gap communicating with the air vent 262 can be formed between the contact surfaces between the outer upper end surface of the first valve body 241 and the inner upper end surface 261a of the second valve body 261. As a result, the pump head 202 can be easily vented by turning the lock nut 271 in the opening direction, and the number of parts to be assembled can be reduced. Can be expected.
Japanese Utility Model Publication No. 5-60061 Japanese Utility Model Publication No. 7-21909

しかしながら、特許文献１、特許文献２に開示されるような方法では、ポンプヘッドのエア抜きには有効であるものの、２次側に液体を供給する際に、エアを一緒に供給してしまう問題を解決するに有効な対策であるとはいえない。
特許文献１においては、気泡を集めて排出する工夫が開示されていないので、ポンプ本体１０１を動かしたまま、２次側に液体を供給しつつ、エア抜き電磁弁１０７を開放してエア抜きをするとは考えにくい。そういった方法は液体中に派生した細かな気泡に対してのエア抜きに有効ではないし、ポンプ本体１０１に定量ポンプを採用しているにもかかわらず、２次側への供給量がコントロールできないのでは、本末転倒となる。従って、２次側供給口には別途開閉弁が設けられ、エア抜きの際には、その開閉弁を閉めた後、エア抜き電磁弁１０７を開放してポンプ本体１０１を動かし、液体ごとエア抜きをする構造であると考えられる。
また、エア抜き電磁弁１０７とポンプ本体１０１等の相対位置に関する具体的開示も無いので、それらの相対位置に関しても想定するしかない。
上記より、エア抜き電磁弁１０７がポンプ本体１０１より離れている場合には、エア抜きする際に、２次側供給口の開閉弁を閉じてエア抜き電磁弁１０７を開放し、一定時間ポンプ本体１０１を稼動させてエアの混じった液を排出する。しかし、内部を流す液体は、高価なものも多く、また、液体によっては空気に触れることによって、酸化等の変質をして、再使用できなくなるものもあるので、大量に排出する事は好ましくない。 However, although the methods disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 are effective for venting the pump head, when supplying liquid to the secondary side, air is supplied together. It cannot be said that it is an effective measure to solve the problem.
Patent Document 1 does not disclose a device for collecting and discharging air bubbles. Therefore, while the pump body 101 is moved, liquid is supplied to the secondary side, and the air release solenoid valve 107 is opened to release air. It is hard to think. Such a method is not effective for venting fine bubbles derived from the liquid, and the amount supplied to the secondary side cannot be controlled even though a metering pump is used for the pump body 101. , End of this fall. Therefore, a separate on-off valve is provided at the secondary supply port. When air is released, the on-off valve is closed, then the air release solenoid valve 107 is opened and the pump body 101 is moved to release air together with the liquid. It is thought that this structure
Further, since there is no specific disclosure regarding the relative positions of the air vent solenoid valve 107 and the pump main body 101, the relative positions of these can only be assumed.
As described above, when the air vent solenoid valve 107 is separated from the pump body 101, when air is vented, the open / close valve of the secondary side supply port is closed to open the air vent solenoid valve 107, and the pump body is fixed for a certain time. 101 is operated to discharge the liquid mixed with air. However, many liquids that flow inside are expensive, and some liquids may be oxidized or otherwise deteriorated by contact with air, making them unusable. .

また、エア抜き電磁弁１０７がポンプ本体１０１に近く、２次側供給位置より離れている場合には、排出する液体の量を減らす事は可能だが、流量の変化で監視しているので、場合によってはエアがエア抜き電磁弁１０７を通過してからエア抜き電磁弁１０７を開くことになり、エアを排出しきれない可能性があることと、エア抜き電磁弁１０７以降の配管内で発生した気泡を排除できないという問題も考えられる。
さらに、エア抜き電磁弁１０７がポンプ本体１０１に近く、２次側供給位置にも近い場合には、上記の問題の他、ポンプのそばに配置する必要があるのでその分のスペースを占有する。特に、半導体工程のような小型化が要求される場合には、大きな問題となる。
一方、特許文献２においては、手動でのエア抜きなので、基本的には自動工程に向かない。また、定期的にエア抜きをするのが容易である場合でも、ポンプに対して上側に送液するのに対し、エア抜き口が横になるので、エアの抜けが悪くエアが抜ける前に２次側の配管内部に入ってしまう可能性が高いと思われる。 Also, when the air vent solenoid valve 107 is close to the pump body 101 and away from the secondary supply position, it is possible to reduce the amount of liquid to be discharged, but because it is monitored by the flow rate change, Depending on the situation, the air may be exhausted after the air has passed through the air vent solenoid valve 107, and the air may not be exhausted. Another problem is that bubbles cannot be excluded.
Further, when the air vent solenoid valve 107 is close to the pump main body 101 and close to the secondary supply position, in addition to the above problems, it is necessary to dispose it near the pump, so that space is occupied. In particular, when downsizing is required as in the semiconductor process, it becomes a big problem.
On the other hand, in patent document 2, since it is manual air bleeding, it is not suitable for an automatic process fundamentally. In addition, even if it is easy to vent the air periodically, the liquid is fed upward with respect to the pump. The possibility of entering the inside of the next pipe is high.

したがって、特許文献１及び特許文献２の方法では、配管内を流れる液体を２次側に供給する際に、液体の中に混じっている気泡を十分排除することができないという問題がある。 Therefore, the methods of Patent Document 1 and Patent Document 2 have a problem that bubbles mixed in the liquid cannot be sufficiently eliminated when the liquid flowing in the pipe is supplied to the secondary side.

本発明に係る吐出・エア抜き一体バルブは、次のような構成を有している。
（１）流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブが、第１ダイアフラム弁体と第１弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブが有する出力ポートを前記第１弁座側に設け、前記第１ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第１弁座に当接させ、前記出力ポートを塞ぐことを特徴とする。
（２）流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記エア抜きバルブが、第２ダイアフラム弁体と、第２弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブと連通する前記エア連通路を前記第２弁座側に設け、前記第２ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第２弁座に当接させ、前記エア連通路を塞ぐことを特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブの上部に前記エア抜きバルブを配置し、前記流体用バルブの有する前記入力ポートと、前記流体用バルブと、前記エア抜きバルブとが連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの有する前記エア抜きポートとが、直線上に設けられたことを特徴とする。 The discharge / air bleeding integrated valve according to the present invention has the following configuration.
(1) a fluid valve which communicates or blocks the flow of fluid, a block and vent valve for air vent is mounted integrally, an input port formed in a lower portion of the fluid valve, the air In the discharge / air vent integrated valve having an integrated block comprising an air communication path communicating with the input port of the vent valve and an air vent port formed at an upper portion of the air vent valve, the fluid valve is a first valve. A diaphragm valve having a diaphragm valve body and a first valve seat, wherein an output port of the fluid valve is provided on the first valve seat side, and the first diaphragm valve body is driven to drive the first valve seat. And the output port is blocked .
(2) a fluid valve which communicates or blocks the flow of fluid, a block and vent valve for air vent is mounted integrally, an input port formed in a lower portion of the fluid valve, the air A discharge / air vent integrated valve having an integrated block having an air communication path communicating with an input port of the vent valve and an air vent port formed at an upper portion of the air vent valve. A diaphragm valve having a diaphragm valve body and a second valve seat, wherein the air communication passage communicating with the fluid valve is provided on the second valve seat side, and the second diaphragm valve body is driven to drive the diaphragm valve body. The air valve is brought into contact with the second valve seat to close the air communication path .
(3) In the discharge / air vent integrated valve described in (1) or (2), the air vent valve is disposed above the fluid valve, the input port of the fluid valve, and the fluid An air communication path in which the valve communicates with the air vent valve, and the air vent port of the air vent valve are provided on a straight line .

上記構成を有する吐出・エア抜き一体バルブの作用効果について説明する。
本発明の吐出・エア抜き一体バルブにおいては、
（１）流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブが、第１ダイアフラム弁体と第１弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブが有する出力ポートを前記第１弁座側に設け、前記第１ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第１弁座に当接させ、前記出力ポートを塞ぐことを特徴とするので、流体用バルブが開の状態で液体に混入した気泡がエア抜きバルブ側に抜け易いという優れた効果を奏するとともに、流体用バルブの開閉時、ダイアフラム膜部の挙動による吐出量の変動が少なくなるという優れた効果を奏する。
（２）流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記エア抜きバルブが、第２ダイアフラム弁体と、第２弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブと連通する前記エア連通路を前記第２弁座側に設け、前記第２ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第２弁座に当接させ、前記エア連通路を塞ぐことを特徴とするので、エア抜きバルブの開閉時、出力側への液の押し出しが減るという優れた効果を奏する。
（３）（１）または（２）に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブの上部に前記エア抜きバルブを配置し、前記流体用バルブの有する前記入力ポートと、前記流体用バルブと、前記エア抜きバルブとが連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの有する前記エア抜きポートとが、直線上に設けられたことを特徴とするので、エア抜きバルブが開の状態で、気泡が抜け易いという優れた効果を奏する。 The effect of the discharge / air bleeding integrated valve having the above-described configuration will be described.
In the discharge / air bleeding integrated valve of the present invention,
(1) a fluid valve which communicates or blocks the flow of fluid, a block and vent valve for air vent is mounted integrally, an input port formed in a lower portion of the fluid valve, the air In the discharge / air vent integrated valve having an integrated block comprising an air communication path communicating with the input port of the vent valve and an air vent port formed at an upper portion of the air vent valve, the fluid valve is a first valve. A diaphragm valve having a diaphragm valve body and a first valve seat, wherein an output port of the fluid valve is provided on the first valve seat side, and the first diaphragm valve body is driven to drive the first valve seat. is brought into contact with, since, characterized in that close the output port, easily escape bubbles fluid valve is mixed into the liquid in the open state to the vent valve side It is possible to obtain an excellent effect of, when opening and closing the fluid valve, an excellent effect that the discharge amount of fluctuation due to behavior of the diaphragm film portion is reduced.
(2) a fluid valve which communicates or blocks the flow of fluid, a block and vent valve for air vent is mounted integrally, an input port formed in a lower portion of the fluid valve, the air A discharge / air vent integrated valve having an integrated block having an air communication path communicating with an input port of the vent valve and an air vent port formed at an upper portion of the air vent valve . A diaphragm valve having a diaphragm valve body and a second valve seat, wherein the air communication passage communicating with the fluid valve is provided on the second valve seat side, and the second diaphragm valve body is driven to drive the diaphragm valve body. It is brought into contact with the second valve seat, because, characterized in that block the air communicating passage, opening and closing of the vent valve, that the extrusion of the liquid to the output side is decreased Achieve the effect.
(3) In the discharge / air vent integrated valve described in (1) or (2), the air vent valve is disposed above the fluid valve, the input port of the fluid valve, and the fluid Since the valve is connected to the air communication passage through which the air vent valve communicates, and the air vent port of the air vent valve is provided on a straight line , the air vent valve is in an open state. This has an excellent effect that bubbles are easily removed.

本発明に係る吐出・エア抜き一体バルブについて、具体化した形態をあげ、図面に基づいて詳細に説明する。
図１は吐出・エア抜き一体バルブの正面図であり、内部流路が分かるように部分断面図にしてある。
図２は図１のＡＡ断面を表した図であり、吐出バルブの側面断面図である。
図３は図１のＢＢ断面を示した図であり、エア抜きバルブの側面断面図である。
まず、図１の説明から行う。
図１に示される吐出・エア抜き一体バルブ１０は、ポンプ側からの流体の流れを連通または遮断して２次側に液体を供給する流体用バルブ（以後、吐出バルブ２０とう）と、エア抜き用のエア抜きバルブ３０とが、一体として取り付けられるブロック１５を有している。
吐出バルブ２０は、吐出バルブ２０の下部に形成されたポンプ側からのレジスト４０の供給を受ける入力ポート（以後、ポンプ側接続ポート１１という）と、吐出ポート１２と、エア連通路１３を有し、吐出バルブ２０の第１ダイアフラム弁体２４と第１弁座２３で形成されるスペース（以降、吐出スペース２５とする）を介して、第１ダイアフラム弁体２４が開状態で、ポンプ側接続ポート１１と、吐出ポート１２と、エア連通路１３が連通している。 The discharge / air venting integrated valve according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings with specific embodiments.
FIG. 1 is a front view of a discharge / air bleeding integrated valve, which is a partial sectional view so that an internal flow path can be seen.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the discharge valve taken along line AA in FIG.
FIG. 3 is a view showing a BB cross section of FIG. 1, and is a side cross-sectional view of the air bleeding valve.
First, the description will be made with reference to FIG.
A discharge / air vent integrated valve 10 shown in FIG. 1 includes a fluid valve (hereinafter referred to as a discharge valve 20) for supplying or supplying a liquid to the secondary side by communicating or blocking the flow of fluid from the pump side, and an air vent. The air vent valve 30 for use has a block 15 attached as a unit.
The discharge valve 20 has an input port (hereinafter referred to as a pump-side connection port 11) that is formed below the discharge valve 20 and receives a resist 40 from the pump side, a discharge port 12, and an air communication path 13. The first diaphragm valve body 24 is opened via the space formed by the first diaphragm valve body 24 and the first valve seat 23 of the discharge valve 20 (hereinafter referred to as the discharge space 25), and the pump side connection port 11, the discharge port 12 and the air communication path 13 communicate with each other.

エア抜きバルブ３０は、エア連通路１３とエア抜きポート１４を有し、エア抜きバルブ３０の第２ダイアフラム弁体３４と第２弁座３３で形成されるスペース（以降、エア抜きスペース３５とする）を介して、エア連通路１３とエア抜きポート１４が連通している。
なお、吐出バルブ２０、エア抜きバルブ３０のアクチュエータ部分はポリフェニレンサルファイド（以下、ＰＰＳという）等の耐食性の良い材質を使用している。また、第１ダイアフラム弁体２４、第２ダイアフラム弁体３４には四フッ化エチレン樹脂（以下、ＰＴＦＥとする）等の耐食性の良い材料を使用している。
吐出バルブ２０とエア抜きバルブ３０を備えるブロック１５は、ポンプ側接続ポート１１と吐出ポート１２とエア連通路１３とエア抜きポート１４を切削加工等によって流路として備え、ポンプ側接続ポート１１と、エア連通路１３とエア抜きポート１４は直線上に並ぶように配置される。ブロック１５の材質は通常ＰＴＦＥやステンレス等、耐食性、耐薬品性の良い材質を使用している。
このうち、吐出バルブ２０の備える２次側への出力ポート（以下、吐出ポート１２という）は第１弁座２３側に設けられ、第１ダイアフラム弁体２４が駆動することによって、第１弁座２３に当接させ、吐出ポート１２を塞ぐ。
その第１ダイアフラム弁体２４はエア駆動によって動き、図２に示される第１操作ポート２１に図示しない継ぎ手が取り付けられ、エアホースを介して電磁弁と接続し、第１操作ポート２１にエアが供給されることによって、第１ダイアフラム弁体２４が図面右方向に動き、第１ダイアフラム弁体２４と第１弁座２３の間の隙間ができる。また、それによって第１バネ２６が収縮する。この状態が、バルブ開の状態になる。
一方、第１操作ポート２１へのエアの供給が停止すると、第１ダイアフラム弁体２４は図面左方向に動き、第１ダイアフラム弁体２４と第１弁座２３が密着する。その結果、吐出ポート１２が第１ダイアフラム弁体２４によって塞がれる。また、それによって第１バネ２６は元の状態に戻る。この状態が、バルブ閉の状態になる。なお、通常エアを供給しない状態では、第１バネ２６の働きによって、バルブ閉の状態になっている。 The air vent valve 30 has an air communication path 13 and an air vent port 14, and is a space formed by the second diaphragm valve body 34 and the second valve seat 33 of the air vent valve 30 (hereinafter referred to as an air vent space 35). ), The air communication passage 13 and the air vent port 14 communicate with each other.
The actuator parts of the discharge valve 20 and the air vent valve 30 are made of a material having good corrosion resistance such as polyphenylene sulfide (hereinafter referred to as PPS). The first diaphragm valve body 24 and the second diaphragm valve body 34 are made of a material having good corrosion resistance such as tetrafluoroethylene resin (hereinafter referred to as PTFE).
The block 15 including the discharge valve 20 and the air vent valve 30 includes the pump side connection port 11, the discharge port 12, the air communication path 13, and the air vent port 14 as flow paths by cutting or the like, and the pump side connection port 11. The air communication path 13 and the air vent port 14 are arranged in a straight line. The material of the block 15 is usually made of a material having good corrosion resistance and chemical resistance such as PTFE and stainless steel.
Among these, the output port to the secondary side (hereinafter referred to as the discharge port 12) provided in the discharge valve 20 is provided on the first valve seat 23 side, and the first diaphragm valve body 24 is driven to drive the first valve seat. 23, the discharge port 12 is closed.
The first diaphragm valve body 24 is moved by air drive, a joint (not shown) is attached to the first operation port 21 shown in FIG. 2, and is connected to an electromagnetic valve via an air hose, and air is supplied to the first operation port 21. As a result, the first diaphragm valve body 24 moves rightward in the drawing, and a gap is formed between the first diaphragm valve body 24 and the first valve seat 23. In addition, the first spring 26 contracts thereby. This state is the valve open state.
On the other hand, when the supply of air to the first operation port 21 is stopped, the first diaphragm valve body 24 moves to the left in the drawing, and the first diaphragm valve body 24 and the first valve seat 23 come into close contact with each other. As a result, the discharge port 12 is blocked by the first diaphragm valve body 24. As a result, the first spring 26 returns to its original state. This state is the valve closed state. In a state where normal air is not supplied, the valve is closed by the action of the first spring 26.

また、吐出バルブ２０と連通するエア連通路１３は、第２弁座３３側に設けられ、第２ダイアフラム弁体３４が駆動することによって、第２弁座３３に当接させエア連通路１３を塞ぐ。
第２ダイアフラム弁体３４はエア駆動によって動き、図３に示される第２操作ポート３１に図示しない継ぎ手が取り付けられ、エアホースを介して電磁弁と接続し、第２操作ポート３１にエアが供給されることによって、第２ダイアフラム弁体３４が図面右方向に動き、第２ダイアフラム弁体３４と第２弁座３３の間の隙間ができる。また、それによって第２バネ３６が収縮する。この状態がバルブ開の状態になる。
一方、第２操作ポート３１へのエアの供給が停止すると、第２ダイアフラム弁体３４は図面左方向に動き、第２ダイアフラム弁体３４と第２弁座３３が密着する。その結果、エア連通路１３が第２ダイアフラム弁体３４によって塞がれる。また、それによって第２バネ３６は元の状態に戻る。この状態が、バルブ閉の状態になっている。 The air communication passage 13 communicating with the discharge valve 20 is provided on the second valve seat 33 side. When the second diaphragm valve body 34 is driven, the air communication passage 13 is brought into contact with the second valve seat 33. Block it.
The second diaphragm valve body 34 is moved by air drive, and a joint (not shown) is attached to the second operation port 31 shown in FIG. 3, and is connected to an electromagnetic valve via an air hose, and air is supplied to the second operation port 31. Thus, the second diaphragm valve body 34 moves rightward in the drawing, and a gap is formed between the second diaphragm valve body 34 and the second valve seat 33. As a result, the second spring 36 contracts. This state is the valve open state.
On the other hand, when the supply of air to the second operation port 31 is stopped, the second diaphragm valve body 34 moves to the left in the drawing, and the second diaphragm valve body 34 and the second valve seat 33 are brought into close contact with each other. As a result, the air communication passage 13 is blocked by the second diaphragm valve body 34. As a result, the second spring 36 returns to its original state. This state is a valve closed state.

上記構成のエア抜き一体バルブ１０は、図４に示すように、内部に半導体製造工程等に用いるレジスト４０を通過させる。このエア抜き一体バルブ１０が流体回路内に組み込まれる際には、レジスト４０を供給する図示しないポンプの後であって、２次供給側に配管にて接続され、ポンプ側接続ポート継ぎ手１１ａに、耐薬品性の高い四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂のチューブ（以下、ＰＦＡチューブ４２とする。なお、本件の場合は、ＰＦＡチューブとしているが、耐薬品性があればこれに足り、その材質をＰＦＡに限定するものではない）が接続されて、レジスト４０がエア抜き一体バルブ１０内に供給される。
また、吐出ポート接続継ぎ手１２ａにもＰＦＡチューブ４２が接続され、２次側にレジスト４０を供給する。
また、エア抜きポート継ぎ手１４ａにもＰＦＡチューブ４２が接続され、気泡４１の混じったレジスト４０を排出する。 As shown in FIG. 4, the air bleeding integrated valve 10 having the above-described configuration allows a resist 40 used for a semiconductor manufacturing process or the like to pass therethrough. When the air vent integrated valve 10 is incorporated in the fluid circuit, it is connected to the secondary supply side by piping after the pump (not shown) for supplying the resist 40, and the pump side connection port joint 11a Highly chemical-resistant tube of tetrafluoroethylene / perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (hereinafter referred to as PFA tube 42. In this case, a PFA tube is used, but this is sufficient if there is chemical resistance. The material is not limited to PFA), and the resist 40 is supplied into the air bleeding integrated valve 10.
A PFA tube 42 is also connected to the discharge port connection joint 12a, and the resist 40 is supplied to the secondary side.
A PFA tube 42 is also connected to the air vent port joint 14a, and the resist 40 mixed with bubbles 41 is discharged.

次に、このような構成のエア抜き一体バルブ１０が流体回路内に組み込まれた場合の動作を説明する。
エア抜き一体バルブ１０の有する吐出バルブ２０とエア抜きバルブ３０の動作は、図示しないポンプから供給されるレジスト４０を吐出ポート１２側に供給するときは、吐出バルブ２０はバルブ開の状態に、エア抜きバルブ３０はバルブ閉の状態になっている。
この時、ポンプ側接続ポート１１と、吐出ポート１２と、エア連通路１３は連通しているので、ポンプ側接続ポート１１に接続される図示しない配管からレジスト４０が供給されると、吐出スペース２５を介して吐出ポート１２にレジスト４０が供給される。
同時に、吐出スペース２５はエア連通路１３にも連通しているので、図示しないポンプからの圧力がかかった状態のレジスト４０が供給される。この時、図４の拡大図に示すように、レジスト４０内に気泡４１が混ざっていれば、気泡４１はレジスト４０よりも軽く浮力があるので、気泡４１は吐出スペース２５の上側に集まってゆく。そして、上側に配置されたエア連通路１３へ気泡４１が抜けて、エア連通路１３内上部に溜まることになる。
そして、一定時間、吐出バルブ２０をバルブ開の状態にしてレジスト４０を２次側に供給した後、吐出バルブ２０バルブ閉の状態にして、供給を止める。
供給停止時にも、レジスト４０内に混入する気泡４１があれば、吐出スペース２５の上のほうに集まってゆく。 Next, an operation when the air bleeding integrated valve 10 having such a configuration is incorporated in a fluid circuit will be described.
The operations of the discharge valve 20 and the air release valve 30 of the air release integrated valve 10 are as follows. When the resist 40 supplied from a pump (not shown) is supplied to the discharge port 12 side, the discharge valve 20 is in an open state. The extraction valve 30 is closed.
At this time, since the pump side connection port 11, the discharge port 12 and the air communication path 13 communicate with each other, when the resist 40 is supplied from a pipe (not shown) connected to the pump side connection port 11, the discharge space 25. The resist 40 is supplied to the discharge port 12 via the.
At the same time, since the discharge space 25 communicates with the air communication path 13, the resist 40 in a state where pressure from a pump (not shown) is applied is supplied. At this time, as shown in the enlarged view of FIG. 4, if the bubbles 41 are mixed in the resist 40, the bubbles 41 are lighter and have a buoyancy than the resist 40, so that the bubbles 41 gather on the upper side of the discharge space 25. . Then, the bubbles 41 escape to the air communication path 13 arranged on the upper side and accumulate in the upper part of the air communication path 13.
Then, after the discharge valve 20 is opened for a certain period of time and the resist 40 is supplied to the secondary side, the discharge valve 20 is closed and the supply is stopped.
Even when the supply is stopped, if there are bubbles 41 mixed in the resist 40, they are gathered above the discharge space 25.

次に、エア抜きを行う場合は、吐出バルブ２０がバルブ閉の状態で、エア抜きバルブ３０はバルブ開の状態にして、内部に溜まった気泡４１が混じったレジスト４０を排出する。
エア連通路１３内に滞在するレジスト４０は、その上部にあるエア抜きバルブ３０側に気泡４１が集まった状態にあり、かつ、図示しないポンプの圧力がかかった状態である。また、エア抜きポート１４内部は大気圧であるので、エア抜きバルブ３０をバルブ開の状態にすると、気泡４１とレジスト４０は一緒になってエア抜きスペース３５を通りエア抜きポート１４側に押し出される。エア抜きポート１４はエア抜きバルブ３０の上部に設けられ、気泡４１は浮力があるので、レジスト４０と一緒になった気泡４１は上側のエア抜きポート１４に抜けてゆく。
一定時間後、エア抜きバルブ３０をバルブ閉の状態にして、供給を再開する。このような動作をすることでレジスト４０内の気泡４１は、エア抜きポート１４側に排出され、吐出ポート１２側に持ち込まれることを防ぐ事ができる。 Next, when performing air bleeding, the discharge valve 20 is closed and the air bleeding valve 30 is opened, and the resist 40 mixed with the bubbles 41 accumulated inside is discharged.
The resist 40 staying in the air communication path 13 is in a state where the bubbles 41 are gathered on the air vent valve 30 side at the upper part and the pressure of a pump (not shown) is applied. Since the air vent port 14 is at atmospheric pressure, when the air vent valve 30 is opened, the bubbles 41 and the resist 40 are pushed together through the air vent space 35 and pushed out to the air vent port 14 side. . The air vent port 14 is provided in the upper part of the air vent valve 30 and the bubbles 41 have buoyancy, so that the air bubbles 41 together with the resist 40 escape to the upper air vent port 14.
After a certain time, the air bleeding valve 30 is closed and the supply is resumed. By performing such an operation, the bubbles 41 in the resist 40 can be prevented from being discharged to the air vent port 14 side and brought into the discharge port 12 side.

上述したように、本実施例による吐出・エア抜き一体バルブ１０によれば、以下の効果を奏する。
（１）流体の流れを連通または遮断する吐出バルブ２０と、エア抜き用のエア抜きバルブ３０とが一体として取り付けられるブロック１５であって、吐出バルブ２０の下部に形成されたポンプ側接続ポート１１と、エア抜きバルブ３０の入力ポートとを連通するエア連通路１３と、エア抜きバルブ３０の上部に形成されたエア抜きポート１４とを備える一体のブロック１５を有することを特徴とするので、吐出バルブ２０が開の状態で液体に混入した気泡４１がエア抜きバルブ３０側に抜け易いという優れた効果を奏する。
（２）（１）に記載する吐出・エア抜き一体バルブ１０において、吐出バルブ２０の上部にエア抜きバルブ３０を配置し、吐出バルブ２０の有するポンプ側接続ポート１１と、吐出バルブ２０と、エア抜きバルブ３０とが連通するエア連通路１３と、エア抜きバルブ３０の有するエア抜きポート１４とが、直線上に設けられたことを特徴とするので、エア抜きバルブ３０が開の状態で、気泡４１が抜け易いという優れた効果を奏する。
（３）（１）または（２）に記載する吐出・エア抜き一体バルブ１０において、吐出バルブ２０が、第１ダイアフラム弁体２４と第１弁座２３を有するダイアフラムバルブであって、吐出バルブ２０が有する吐出ポート１２を第１弁座２３側に設け、第１ダイアフラム弁体２４が駆動することによって第１弁座２３に当接させ、吐出ポート１２を塞ぐことを特徴とするので、吐出バルブ２０の開閉時、ダイアフラム膜部の挙動による吐出量の変動が少なくなるという優れた効果を奏する。
（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載する吐出・エア抜き一体バルブ１０において、エア抜きバルブ３０が、第２ダイアフラム弁体３４と、第２弁座３３を有するダイアフラムバルブであって、吐出バルブ２０と連通するエア連通路１３を前記第２弁座３３側に設け、第２ダイアフラム弁体３４が駆動することによって第２弁座３３に当接させ、エア連通路１３を塞ぐことを特徴とするので、エア抜きバルブ３０の開閉時、吐出側への液の押し出しが減るという優れた効果を奏する。 As described above, the discharge / air vent integrated valve 10 according to this embodiment has the following effects.
(1) A block 15 to which a discharge valve 20 for communicating or shutting off a fluid flow and an air release valve 30 for air release are attached as a unit, and a pump-side connection port 11 formed below the discharge valve 20 And an air communication passage 13 that communicates with the input port of the air vent valve 30 and an air vent port 14 formed in the upper part of the air vent valve 30. There is an excellent effect that the bubbles 41 mixed in the liquid with the valve 20 opened can easily escape to the air bleeding valve 30 side.
(2) In the discharge / air vent integrated valve 10 described in (1), an air vent valve 30 is arranged above the discharge valve 20, and the pump-side connection port 11 of the discharge valve 20, the discharge valve 20, and the air Since the air communication path 13 that communicates with the vent valve 30 and the air vent port 14 of the air vent valve 30 are provided on a straight line, the air vent valve 30 is open when the air vent valve 30 is open. There is an excellent effect that 41 is easily removed.
(3) In the discharge / air bleeding integrated valve 10 described in (1) or (2), the discharge valve 20 is a diaphragm valve having a first diaphragm valve body 24 and a first valve seat 23, and the discharge valve 20 The discharge port 12 is provided on the first valve seat 23 side, and the first diaphragm valve body 24 is driven to abut against the first valve seat 23 to close the discharge port 12. At the time of opening and closing 20, there is an excellent effect that the variation in the discharge amount due to the behavior of the diaphragm film portion is reduced.
(4) In the discharge / bleeding integrated valve 10 according to any one of (1) to (3), the air bleeding valve 30 includes a second diaphragm valve body 34 and a second valve seat 33. The air communication passage 13 communicating with the discharge valve 20 is provided on the second valve seat 33 side, and the second diaphragm valve body 34 is driven to contact the second valve seat 33 so that the air communication passage 13 Therefore, when the air vent valve 30 is opened and closed, an excellent effect of reducing the extrusion of the liquid to the discharge side is obtained.

以上、本発明の実施の形態を例示したが、発明の趣旨を逸脱しない範囲で変形する事を妨げない。
例えば、エア抜き一体バルブ１０は半導体製造工程で使用し、エア抜き一体バルブ１０内部を通過させる液体をレジスト４０としているが、本発明はそれに限定するものではない。
また、ポンプ側接続ポート継ぎ手１１ａ、吐出ポート接続継ぎ手１２ａ、エア抜きポート継ぎ手１４ａ、はＰＦＡチューブ用継ぎ手の絵が描かれているが、エア抜き一体バルブ１０に接続する手段であれば良いので、例えばフランジ接続にしたり、ＰＴネジを切って継ぎ手を取り付けるようにしたりしてもかまわない。
また、第１操作ポート２１、第２操作ポート２２はＰＴネジを切って継ぎ手を取り付けるようにしているが、直接継ぎ手を設けてもかまわない。
また、文中、ブロック１５や、吐出バルブ２０やエア抜きバルブ３０の材質にＰＴＦＥ、ＰＰＳ等の耐食性の良い材質を用いていると説明し、接続するチューブをＰＦＡチューブ４２と説明しているが、使用する液体によって接液部の材質や、チューブの材質を選択し、使用雰囲気によってボディ等の材質を選択するのは、当業者であれば当然であるので、ボディに他の材質を用いたり、他の材質のチューブや固定配管にしたりすることを妨げない。 As mentioned above, although embodiment of this invention was illustrated, it does not prevent changing in the range which does not deviate from the meaning of invention.
For example, the air bleeding integrated valve 10 is used in the semiconductor manufacturing process, and the liquid passing through the air bleeding integrated valve 10 is used as the resist 40. However, the present invention is not limited to this.
In addition, the pump side connection port joint 11a, the discharge port connection joint 12a, and the air vent port joint 14a are drawn with a picture of the joint for the PFA tube, but may be any means for connecting to the air vent integrated valve 10, For example, a flange connection may be used, or a PT screw may be cut to attach a joint.
Further, the first operation port 21 and the second operation port 22 are provided with joints by cutting PT screws, but direct joints may be provided.
In the text, the block 15 and the discharge valve 20 and the air vent valve 30 are described as being made of a material having good corrosion resistance such as PTFE and PPS, and the connecting tube is described as the PFA tube 42. It is natural for those skilled in the art to select the material of the liquid contact part and the tube according to the liquid to be used and the material of the body etc. according to the operating atmosphere, so other materials can be used for the body, It does not interfere with other materials such as tubes or fixed piping.

なお、本実施例においては、半導体製造工程におけるレジスト４０を供給するラインを想定しており、吐出バルブ２０とエア抜きバルブ３０のアクチュエータ部には、エアオペレート式ノーマルクローズ開閉弁を用いている。これは、周囲に可燃性流体（例えば、アルコール等）を用いている場合が多いため、防爆を考えて駆動にエアオペレート式を採用しているためである。しかし、本発明の吐出・エア抜き一体バルブは、他の様々な用途に利用が可能であり、駆動方式をエアオペレート式に限定する必要は無く、電磁弁を用いたり、モータを用いたりすることを妨げない。また、作動方式に関してもノーマルオープン式、複動式の開閉弁でも良い。 In this embodiment, a line for supplying the resist 40 in the semiconductor manufacturing process is assumed, and an air operated normally closed on-off valve is used for the actuator part of the discharge valve 20 and the air vent valve 30. This is because a combustible fluid (for example, alcohol) is often used in the surroundings, and an air operated system is adopted for driving in consideration of explosion prevention. However, the discharge / air bleeding integrated valve of the present invention can be used for various other purposes, and it is not necessary to limit the driving method to the air operated type, and an electromagnetic valve or a motor may be used. Not disturb. Further, regarding the operation method, a normally open type or double action type on-off valve may be used.

本実施例の吐出・エア抜き一体バルブの正面図であり、内部流路が分かるように部分断面図にしてある。1 is a front view of a discharge / air bleeding integrated valve according to the present embodiment, and is a partial sectional view so that an internal flow path can be seen. 本実施例の吐出バルブの側面断面図であり、図１のＡＡ断面を表した図である。It is side surface sectional drawing of the discharge valve of a present Example, and is the figure showing the AA cross section of FIG. 本実施例のエア抜きバルブの側面断面図であり、図１のＢＢ断面を示した図である。It is side surface sectional drawing of the air bleeding valve of a present Example, and is the figure which showed BB cross section of FIG. 本実施例の吐出・エア抜き一体バルブの正面図であり、内部流路が分かるように部分断面図にし、内部の液体の様子を示している。It is a front view of the discharge / air bleeding integrated valve of the present embodiment, is a partial cross-sectional view showing the internal flow path, and shows the state of the liquid inside. 特許文献１に係る定量ポンプの自動エア抜き装置のシステム構成を概略的に示している。The system configuration | structure of the automatic air bleeding apparatus of the metering pump which concerns on patent document 1 is shown roughly. 特許文献２に係るポンプのエア抜き装置を電磁駆動方式の定量ポンプに適用して示す断面図である。It is sectional drawing which shows the air bleeding apparatus of the pump which concerns on patent document 2 as it applies to the quantitative pump of an electromagnetic drive system. 特許文献２に係るエア抜き装置を表す断面図である。It is sectional drawing showing the air bleeding apparatus which concerns on patent document 2. FIG.

Explanation of symbols

１０エア抜き一体バルブ
１１ポンプ側接続ポート
１１ａポンプ側接続ポート継ぎ手
１２吐出ポート
１２ａ吐出ポート接続継ぎ手
１３エア連通路
１４エア抜きポート
１４ａエア抜きポート継ぎ手
２０吐出バルブ
２１第１操作ポート
２３第１弁座
２４第１ダイアフラム
２５吐出スペース
２６第１バネ
３０エア抜きバルブ
３１第２操作ポート
３３第２弁座
３４第２ダイアフラムバルブ
３５エア抜きスペース
３６第２バネ
４０レジスト
４１気泡
４２ＰＦＡチューブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Air vent integrated valve 11 Pump side connection port 11a Pump side connection port joint 12 Discharge port 12a Discharge port connection joint 13 Air communication path 14 Air vent port 14a Air vent port joint 20 Discharge valve 21 1st operation port 23 1st valve seat 24 First diaphragm 25 Discharge space 26 First spring 30 Air vent valve 31 Second operation port 33 Second valve seat 34 Second diaphragm valve 35 Air vent space 36 Second spring 40 Resist 41 Bubble 42 PFA tube

Claims

A fluid valve which communicates or blocks the flow of fluid, a block and vent valve for air vent is mounted integrally, an input port formed in a lower portion of the fluid valve, the vent valve In the discharge / air vent integrated valve having an integrated block comprising an air communication path communicating with the input port and an air vent port formed at the upper part of the air vent valve,
The fluid valve is a diaphragm valve having a first diaphragm valve body and a first valve seat,
An output port of the fluid valve is provided on the first valve seat side, and the first diaphragm valve body is driven to abut against the first valve seat to close the output port. -Air bleeding integrated valve.

A fluid valve which communicates or blocks the flow of fluid, a block and vent valve for air vent is mounted integrally, an input port formed in a lower portion of the fluid valve, the vent valve In the discharge / air vent integrated valve having an integrated block comprising an air communication path communicating with the input port and an air vent port formed at the upper part of the air vent valve,
The air vent valve is a diaphragm valve having a second diaphragm valve body and a second valve seat,
The air communication passage communicating with the fluid valve is provided on the second valve seat side, and the second diaphragm valve body is driven to contact the second valve seat, thereby closing the air communication passage. Characteristic integrated discharge / air vent valve.

In the discharge / bleeding integrated valve according to claim 1 or 2,
Arranging the air bleeding valve above the fluid valve,
The input port of the fluid valve;
An air communication path in which the fluid valve and the air vent valve communicate with each other;
The discharge / air vent integrated valve, wherein the air vent port of the air vent valve is provided on a straight line .