JP4483157B2 - Multilayer electronic components - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層型電子部品、特にビアホールを内部に設けたディレイラインなどの積層型電子部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、この種の積層型電子部品として、例えば特開平3−125504号公報記載のディレイラインが知られている。このディレイラインは、図9に示すように、グランド内部導体152a,154a,156a,158aをそれぞれ表面に設けたグリーンシート152,154,156,158と、ストリップ導体153a,155a,157aをそれぞれ表面に設けたグリーンシート153,155,157と、保護用グリーンシート151,159とを積み重ねて構成した積層体の側面と上下面部分に、入力用外部電極、出力用外部電極および二つのグランド用外部電極を設けたものである。
【0003】
各グランド内部導体152a,154a,156a,158aは、引出し部152b,154b,156b,158bにより積層体の側面に引き出され、グランド用外部電極に電気的に接続されている。また、各ストリップ導体153a,155a,157aは、グリーンシート153〜156に設けられたビアホール153c,154c,155c,156cを介して電気的に直列に接続されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のディレイライン150は、グランド内部導体152a,154a,156a,158aのそれぞれの引出し部152b,154b,156b,158bが、外部電極の配置の関係から平面透視で同じ位置に積み重ねられるように設けられている。このため、引出し部152b,154b,156b,158bの積層方向は局部的に厚みが増加し、積層体にうねりが生じることがあった。また、一般に、グリーンシート同士よりも、グリーンシートと内部導体との間の方が層間密着強度が低いために、引出し部152b,154b,156b,158bのところで積層体にデラミネーションが生じるといった不具合があった。
【0005】
そこで、本発明の目的は、積層体の局部的な厚み増加によるうねりを抑えるとともに、層間密着強度が高い積層型電子部品を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る積層型電子部品は、信号内部導体を表面に設けた複数の絶縁層と、第1のグランド内部導体を表面に設けた絶縁層と、第2のグランド内部導体を表面に設けた絶縁層と、絶縁層のいずれかに設けられ、第1および第2のグランド内部導体を電気的に接続する複数のグランド用ビアホールと、第1および第2のグランド内部導体が設けられた絶縁層の間に、グランド用ビアホールと電気的に接続され、該グランド用ビアホールの位置が平面透視でずれるように第3のグランド内部導体を表面に設けた絶縁層とを含む積層体を備え、第3のグランド内部導体と接触していないグランド用外部電極を更に備えたことを特徴とする。第3のグランド内部導体は、例えば帯状の導体であり、第1および第2のグランド内部導体よりも面積が小さい。
【0007】
以上の構成によりグランド用ビアホールは、従来のグランド内部導体の引出し部と比較して、層間接続位置を容易に変更でき、かつ、従来の引出し部より面積が小さいため、積層体の局部的な厚み増加が少なく、積層体のうねりも小さい。また、層間密着強度も低下しにくい。
【0008】
また、第3のグランド内部導体は複数個からなり、同一形状で積層体の積層方向に重なり合うように設けられている。これにより、グランド用ビアホールの位置をずらしても内部パターンの設計変更をする必要がない。さらに、複数個の第3のグランド内部導体の間を電気的に接続するグランド用ビアホールの位置を平面透視でずらした場合には、グランド用ビアホールを積層方向に連接したときに積層体に生じるグランド用ビアホールの隆起現象が発生しない。従って、積層体の局部的な厚み増加がより一層少なくなる。
【0009】
そして、第1のグランド内部導体と第3のグランド内部導体との間、および第3のグランド内部導体と第2のグランド内部導体との間をそれぞれ電気的に接続する複数のグランド用ビアホールは積層体の積層方向に連接されており、第1および第3のグランド内部導体の間に連接されているグランド用ビアホールの本数と、第3および第2のグランド内部導体の間に連接されているグランド用ビアホールの本数とが異なっていることを特徴とする。以上の構成により、グランド用ビアホールのうちのいくつかを減らすことができ、積層体の局部的な厚み増加が、より一層抑えられる。また、グランド用外部電極は、第1のグランド内部導体のみと接触していることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る積層型電子部品の実施の形態について添付の図面を参照して説明する。各実施形態は、コンピュータや計測器等において信号伝達を遅延させるためのディレイラインを例にして説明するが、本発明は必ずしもこれに限るものではない。一般に、積層方向に隣接する三つのグランド内部導体間を層間接続するビアホールを有する積層型電子部品にも本発明を適用することができる。
【0011】
[第1実施形態、図1〜図5]
図1に示すように、集中定数型ディレイライン51は、コ字形状のコイル用導体(信号内部導体)80a〜80d及び中継用グランド内部導体(第3のグランド内部導体)95a〜95dをそれぞれ表面に設けた絶縁性シート58〜61と、コンデンサ用導体75,76をそれぞれ表面に設けた絶縁性シート54,56,63,65と、グランド内部導体71,72,73,74をそれぞれ表面に設けた絶縁性シート53,55,64,66と、中継用信号導体81,82をそれぞれ表面に設けた絶縁性シート57,62と、予め表面に導体を設けない保護用絶縁性シート52などにて構成されている。
【0012】
コイル用導体80a〜80dは、絶縁性シート58〜61にそれぞれ設けた信号用ビアホール90を介して電気的に直列に接続され、10個の螺旋状コイルLを形成している。コンデンサ用導体75はグランド内部導体71,72との間に静電容量を発生し、6個のコンデンサCを形成している。コンデンサ用導体76は、グランド内部導体73,74との間に静電容量を発生し、6個のコンデンサCを形成している。これらのコンデンサCは、中継用信号導体81,82や信号用ビアホール90を介して螺旋状コイルLに電気的に接続している。
【0013】
以上の各絶縁性シート52〜66を、適宜複数回繰り返して積み重ねた後、圧着し、一体的に焼成することにより、図2に示す略直方体形状の積層体100を形成する。積層体100の手前側と奥側の側面にはそれぞれ入力用外部電極101、出力用外部電極102およびグランド用外部電極Gが形成されている。入力用外部電極101および出力用外部電極102はそれぞれ、絶縁性シート53に設けた引出し導体83,84に電気的に接続されている。グランド用外部電極Gは、グランド内部導体71の引出し部に電気的に接続されている。図3はディレイライン51の電気等価回路図である。
【0014】
以上の構成からディレイライン51は、グランド用外部電極Gとグランド内部導体71〜74の導通を、グランド内部導体71の引出し部のみで行っている。つまり、グランド内部導体72〜74は、積層体100内に設けられたグランド用ビアホール91,96a〜96dや中継用グランド内部導体95a〜95dを介してグランド内部導体71と導通している。
【0015】
このように、グランド用ビアホール91や中継用グランド内部導体95a〜95dを介してグランド内部導体71〜74を導通する構造は、グランド内部導体の全てを引出し部を介してグランド用外部電極に電気的に接続する従来の接続構造と比較して、層間接続位置を容易に変更できる。しかも、グランド用ビアホール91の横断面は、従来の引出し部より面積が小さいので、積層体100の局部的な厚み増加が少なく、層間密着強度も低下しにくい。
【0016】
さらに、図4に示すように、グランド用ビアホール91,96a〜96dおよび中継用グランド内部導体95a〜95dが、絶縁性シート55〜63を挟んで隣接する二つのグランド内部導体72と73を電気的に接続する。そして、グランド用ビアホール96a〜96dにおいて、積層体100の積層方向に隣接する二つのグランド用ビアホール(例えば96aと96b、あるいは、96bと96cなど)の位置を平面透視で(積層体の上面から積層方向に見た状態で)ずらしている(図4の断面図では略蛇行形状になっている)ので、ビアホールを積層方向に連接したときに積層体に生じるビアホールの隆起現象を防止することができる。従って、積層体100の局部的な厚み増加がより一層少なくなる。なお、信号内部導体間の接続と異なり、グランド内部導体間の接続なので、電気的特性に大きな影響はない。
【0017】
また、グランド用ビアホール96a〜96dにそれぞれ電気的に接続された同一形状の帯状の中継用グランド内部導体95a〜95dが平面視で重なり合い、隣接するグランド用ビアホールの一方のグランド用ビアホールの一端が他方のグランド用ビアホールに接続されている中継用グランド内部導体に接触している。このように、同一形状の中継用グランド内部導体95a〜95dを用いることにより、例えば図5に示すように、グランド用ビアホール96a〜96dの位置を少しづつ階段状にずらすようにしても内部パターンの再設計が不要になる。
【0018】
[第2実施形態、図6〜図8]
図6に示すように、分布定数型ディレイライン1は、蛇行形状のコイル用導体(信号内部導体)11〜20をそれぞれ表面に設けた絶縁性シート9,8,6,5,3と、第1のグランド内部導体21を表面に設けた絶縁性シート10と、第3のグランド内部導体22を表面に設けた絶縁性シート7と、第2のグランド内部導体23を表面に設けた絶縁性シート4と、予め表面に導体を設けない保護用絶縁性シート2などを積み重ねて構成した積層体を備えている。
【0019】
コイル用導体11〜15は絶縁性シート9,8,6,5,3の略左半分の領域に配設され、絶縁性シート8〜3にそれぞれ設けた信号用ビアホール31a〜31fを介して電気的に直列に接続されている。コイル用導体16〜20は絶縁性シート3,5,6,8,9の略右半分の領域に配設され、絶縁性シート3〜8にそれぞれ設けた信号用ビアホール31g〜31lを介して電気的に直列に接続されている。さらに、コイル用導体15の一端とコイル用導体16の一端とが電気的に接続されることにより、コイル用導体11〜15と16〜20は電気的に直列に接続されている。
【0020】
広面積の第1のグランド内部導体21と第3のグランド内部導体22の間には、これらに対向するようにコイル用導体11,12,19,20が配設されている。広面積の第3および第2のグランド内部導体22,23の間には、これらに対向するようにコイル用導体13,14,17,18が配設されている。これにより、それぞれマイクロストリップラインを構成している。
【0021】
コイル用導体15と16の間には、グランド用ビアホール32g,33gが配設されている。このグランド用ビアホール32g,33gは、第2のグランド内部導体23に電気的に接続されており、コイル用導体15で発生する磁界とコイル用導体16で発生する磁界が電磁結合するのを防いでいる。
【0022】
また、コイル用導体13,14と18,17の間には、グランド用ビアホール32d,33d,32e,33e,32f,33fが配設されている。このグランド用ビアホール32d,33d,32e,33e,32f,33fは、第3および第2のグランド内部導体22,23に電気的に接続されており、コイル用導体13,14で発生する磁界とコイル用導体18,17で発生する磁界が電磁結合するのを防いでいる。なお、コイル用導体13と14のコイル軸は直交しているので、コイル用導体13で発生する磁界とコイル用導体14で発生する磁界は殆ど電磁結合しない。同様の理由で、コイル用導体17で発生する磁界とコイル用導体18で発生する磁界も殆ど電磁結合しない。
【0023】
さらに、コイル用導体11,12と20,19の間には、グランド用ビアホール34c,34b,34aが配設されている。このグランド用ビアホール34c,34b,34aは、第1および第3のグランド内部導体21,22に電気的に接続されており、コイル用導体11,12で発生する磁界とコイル用導体20,19で発生する磁界が電磁結合するのを防いでいる。なお、コイル用導体11と12のコイル軸は直交しているので、コイル用導体11で発生する磁界とコイル用導体12で発生する磁界は殆ど電磁結合しない。同様の理由で、コイル用導体19で発生する磁界とコイル用導体20で発生する磁界も殆ど電磁結合しない。
【0024】
絶縁性シート2〜10には、誘電体材料、例えばガラスとフィラー(アルミナ、シリカなど)を組み合わせた複合材料やガラスセラミックなどを用いる。導体11〜20、21〜23やビアホール31a〜31l,32d〜32g,33d〜33g,34a〜34cはPt,Ag,Pd,Cu,Au,Ag−Pd等からなり、印刷、スパッタリング、蒸着、フォトリソグラフィ等の方法により形成される。
【0025】
以上の各絶縁性シート2〜10を積み重ねた後、圧着し、一体的に焼成することにより、図7に示す略直方体形状の積層体40を形成する。ここで、絶縁性シート4〜6は3回繰り返して積層される。積層体40の手前側と奥側の側面にはそれぞれ入力用外部電極41、出力用外部電極42およびグランド用外部電極Gが形成されている。
【0026】
入力用外部電極41はコイル用導体11の引出し部に電気的に接続されている。出力用外部電極42はコイル用導体20の引出し部に電気的に接続されている。そして、グランド用外部電極Gは、第1のグランド内部導体21の引出し部に電気的に接続されている。図8は、ディレイライン1の電気等価回路図である。このディレイライン1はコンデンサ成分をコイル用導体11〜20と第1ないし第3のグランド内部導体21〜23との間に発生する浮遊容量で確保している。
【0027】
以上の構成からなるディレイライン1は、グランド用外部電極Gと第1ないし第3のグランド内部導体21〜23の導通を、第1のグランド内部導体21の引出し部のみで行っている。つまり、第3および第2のグランド内部導体22,23は、積層体40内に設けられたグランド用ビアホール32d〜32f,33d〜33f,34a〜34cを介してグランド内部導体21と導通している。グランド用ビアホール32d〜32g,33d〜33g,34a〜34cはそれぞれ、積層体40の積層方向の異なる軸上にずらして配設されている。
【0028】
なお、第1のグランド内部導体21の引出し部は、積層体40の側面に引き出されてグランド用外部電極Gと接続している。しかし、第1のグランド内部導体21にさらに引出し用ビアホールを設けて、積層体40の裏面に引き出し、裏面に設けたグランド用ランド電極に接続してもよい。
【0029】
このように、グランド用ビアホール32d〜32f,33d〜33f,34a〜34cを介してグランド内部導体21〜23を導通する構造は、グランド内部導体の全てを引出し部を介してグランド用外部電極に電気的に接続する従来の接続構造と比較して、層間接続位置を容易に変更できる。しかも、グランド用ビアホール32d〜32g,33d〜33g,34a〜34cの横断面は、従来の引出し部より面積が小さいので、積層体40の局部的な厚み増加が少なく、積層体40のうねりも小さい。また、層間密着強度も低下しにくい。
【0030】
[他の実施形態]
なお、本発明に係る積層型電子部品は、前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
【0031】
前記実施形態は個産品の場合を例にして説明したが、量産時の場合には複数個分の電子部品を備えたマザー基板を製作し、所望のサイズに切り出して製品とすることができる。さらに、前記実施形態は、導体が形成された絶縁性シートを積み重ねた後、一体的に焼成するものであるが、必ずしもこれに限定されない。シートは予め焼成されたものを用いてもよい。また、以下に説明する製法によって電子部品を製作してもよい。印刷等の手段によりペースト状の絶縁性材料を塗布して絶縁層を形成した後、その絶縁層の表面にペースト状の導電体材料を塗布して任意の導体を形成する。次に、ペースト状の絶縁性材料を前記導体の上から塗布する。こうして順に重ね塗りすることによって積層構造を有する電子部品が得られる。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、グランド用ビアホールは、従来のグランド内部導体の引出し部と比較して、層間接続位置を容易に変更でき、かつ、従来の引出し部より面積が小さいため、積層体の局部的な厚み増加が少なく、積層体のうねりも小さい。また、層間密着強度も低下しにくい。
【0033】
また、第3のグランド内部導体は複数個からなり、同一形状で積層体の積層方向に重なり合うように設けられている。これにより、グランド用ビアホールの位置をずらしても内部パターンの設計変更をする必要がなくなる。さらに、複数個の第3のグランド内部導体の間を電気的に接続するグランド用ビアホールの位置を平面透視でずらした場合には、グランド用ビアホールを積層方向に連接したときに積層体に生じるグランド用ビアホールの隆起現象が発生しない。従って、積層体の局部的な厚み増加をより一層少なくできる。
【0034】
また、第1および第3のグランド内部導体の間に連接されているグランド用ビアホールの本数と、第3および第2のグランド内部導体の間に連接されているグランド用ビアホールの本数とを異ならせることにより、グランド用ビアホールのうちのいくつかを減らすことができ、積層体の局部的な厚み増加を、より一層抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る積層型電子部品の第1実施形態を示す分解斜視図。
【図2】図1に示した積層型電子部品の外観を示す斜視図。
【図3】図2に示した積層型電子部品の電気等価回路図。
【図4】図1に示した積層型電子部品のグランド内部導体間を層間接続するビアホールの模式断面図。
【図5】グランド内部導体間を層間接続するビアホールの変形例を示す模式断面図。
【図6】本発明に係る積層型電子部品の第2実施形態を示す分解斜視図。
【図7】図6に示した積層型電子部品の外観を示す斜視図。
【図8】図7に示した積層型電子部品の電気等価回路図。
【図9】従来の積層型電子部品を示す分解斜視図。
【符号の説明】
1,51…ディレイライン
2〜10,52〜66…絶縁性シート
11〜20,80a〜80d…コイル用導体
21〜23,71〜74…グランド内部導体
32d〜32g,33d〜33g,34a〜34c,91,96a〜96d…グランド用ビアホール
40,100…積層体
95a〜95d…中継用グランド内部導体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a multilayer electronic component, and more particularly to a multilayer electronic component such as a delay line provided with a via hole therein.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, for example, a delay line described in Japanese Patent Laid-Open No. 3-125504 is known as this type of multilayer electronic component. As shown in FIG. 9, the delay line has
[0003]
Each of the ground internal conductors 152a, 154a, 156a, 158a is drawn to the side surface of the multilayer body by the
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the
[0005]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a multilayer electronic component that suppresses undulation due to a local increase in thickness of the laminate and has high interlayer adhesion strength.
[0006]
[Means and Actions for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a multilayer electronic component according to the present invention includes a plurality of insulating layers provided with a signal inner conductor on the surface, an insulating layer provided with a first ground inner conductor on the surface, and a second ground. An insulating layer provided with an internal conductor on the surface; a plurality of ground via holes provided in any of the insulating layers and electrically connecting the first and second ground internal conductors; and the first and second ground interiors An insulating layer electrically connected to the ground via hole between the insulating layers provided with the conductor, and having a third ground inner conductor provided on the surface so that the position of the ground via hole is shifted in plan perspective It is characterized by further comprising a ground external electrode which is provided with a laminated body and is not in contact with the third ground internal conductor . The third ground inner conductor is, for example, a strip-shaped conductor, and has a smaller area than the first and second ground inner conductors.
[0007]
With the above configuration, the via hole for ground can easily change the interlayer connection position compared with the lead portion of the conventional ground inner conductor, and the area is smaller than that of the conventional lead portion. There is little increase and the undulation of the laminate is also small. Also, the interlayer adhesion strength is unlikely to decrease.
[0008]
Further, the third ground inner conductor is composed of a plurality, and is provided in the same shape so as to overlap in the stacking direction of the stacked body. Thereby, even if the position of the ground via hole is shifted, it is not necessary to change the design of the internal pattern. Further, when the positions of the ground via holes that electrically connect the plurality of third ground inner conductors are shifted in plan perspective, the ground generated in the stacked body when the ground via holes are connected in the stacking direction. The via hole is not raised. Therefore, the local thickness increase of the laminate is further reduced.
[0009]
A plurality of ground via holes that electrically connect between the first ground inner conductor and the third ground inner conductor and between the third ground inner conductor and the second ground inner conductor are laminated. And the number of ground via holes connected between the first and third ground inner conductors and the ground connected between the third and second ground inner conductors. The number of via holes for use is different. With the above configuration, some of the ground via holes can be reduced, and the local thickness increase of the stacked body can be further suppressed. The ground external electrode is in contact with only the first ground internal conductor.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of a multilayer electronic component according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Each embodiment will be described with reference to a delay line for delaying signal transmission in a computer, a measuring instrument or the like, but the present invention is not necessarily limited to this. In general, the present invention can also be applied to a multilayer electronic component having via holes for interlayer connection between three ground internal conductors adjacent in the stacking direction.
[0011]
[First Embodiment, FIGS. 1 to 5]
As shown in FIG. 1, the lumped
[0012]
The
[0013]
Each of the
[0014]
From the above configuration, the
[0015]
As described above, the structure in which the ground
[0016]
Furthermore, as shown in FIG. 4, the ground via
[0017]
In addition, strip-shaped relay ground
[0018]
[Second Embodiment, FIGS. 6 to 8]
As shown in FIG. 6, the distributed
[0019]
The
[0020]
Between the first ground
[0021]
Between the
[0022]
Further, ground via
[0023]
Further, ground via
[0024]
For the insulating
[0025]
After laminating each of the insulating
[0026]
The input
[0027]
In the
[0028]
The lead portion of the first ground
[0029]
As described above, the structure in which the ground
[0030]
[Other Embodiments]
The multilayer electronic component according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the gist thereof.
[0031]
Although the embodiment has been described by taking the case of individual products as an example, in the case of mass production, a mother board having a plurality of electronic components can be manufactured and cut into a desired size to obtain a product. Further, in the above-described embodiment, the insulating sheets on which the conductors are formed are stacked and then fired integrally. However, the embodiment is not necessarily limited thereto. A sheet fired in advance may be used. Moreover, you may manufacture an electronic component with the manufacturing method demonstrated below. An insulating layer is formed by applying a paste-like insulating material by means such as printing, and then an arbitrary conductor is formed by applying a paste-like conductor material on the surface of the insulating layer. Next, a paste-like insulating material is applied over the conductor. In this way, an electronic component having a laminated structure can be obtained by sequentially applying in layers.
[0032]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the present invention, the ground via hole can be easily changed in interlayer connection position as compared with the lead portion of the conventional ground inner conductor, and has an area larger than that of the conventional lead portion. Therefore, the local thickness increase of the laminate is small, and the undulation of the laminate is also small. Also, the interlayer adhesion strength is unlikely to decrease.
[0033]
Further, the third ground inner conductor is composed of a plurality, and is provided in the same shape so as to overlap in the stacking direction of the stacked body. This eliminates the need to change the design of the internal pattern even if the position of the ground via hole is shifted. Further, when the positions of the ground via holes that electrically connect the plurality of third ground inner conductors are shifted in plan perspective, the ground generated in the stacked body when the ground via holes are connected in the stacking direction. The via hole is not raised. Therefore, the local thickness increase of the laminate can be further reduced.
[0034]
Further, the number of ground via holes connected between the first and third ground internal conductors is different from the number of ground via holes connected between the third and second ground internal conductors. As a result, some of the ground via holes can be reduced, and the local increase in thickness of the stacked body can be further suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of a multilayer electronic component according to the invention.
FIG. 2 is a perspective view showing an appearance of the multilayer electronic component shown in FIG.
3 is an electrical equivalent circuit diagram of the multilayer electronic component shown in FIG. 2. FIG.
4 is a schematic cross-sectional view of a via hole for interlayer connection between ground internal conductors of the multilayer electronic component shown in FIG. 1;
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a modified example of a via hole for interlayer connection between ground internal conductors.
FIG. 6 is an exploded perspective view showing a second embodiment of the multilayer electronic component according to the invention.
7 is a perspective view showing an appearance of the multilayer electronic component shown in FIG. 6. FIG.
8 is an electrical equivalent circuit diagram of the multilayer electronic component shown in FIG.
FIG. 9 is an exploded perspective view showing a conventional multilayer electronic component.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (6)
第1のグランド内部導体を表面に設けた絶縁層と、
第2のグランド内部導体を表面に設けた絶縁層と、
前記絶縁層のいずれかに設けられ、前記第1および第2のグランド内部導体を電気的に接続する複数のグランド用ビアホールと、
前記第1および第2のグランド内部導体が設けられた絶縁層の間に、前記グランド用ビアホールと電気的に接続され、該グランド用ビアホールの位置が平面透視でずれるように第3のグランド内部導体を表面に設けた絶縁層と、
を含む積層体を備え、
前記第3のグランド内部導体と接触していないグランド用外部電極を更に備えたことを特徴とする積層型電子部品。A plurality of insulating layers provided with signal inner conductors on the surface;
An insulating layer provided on the surface with a first ground inner conductor;
An insulating layer provided on the surface with a second ground inner conductor;
A plurality of ground via holes provided in any of the insulating layers and electrically connecting the first and second ground inner conductors;
A third ground internal conductor is electrically connected to the ground via hole between the insulating layers provided with the first and second ground internal conductors, and the position of the ground via hole is shifted in plan perspective. An insulating layer provided on the surface;
Comprises a laminate comprising,
The multilayer electronic component further comprising a ground external electrode not in contact with the third ground internal conductor .
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