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JP4477466B2 - Electret condenser microphone - Google Patents

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JP4477466B2
JP4477466B2 JP2004298025A JP2004298025A JP4477466B2 JP 4477466 B2 JP4477466 B2 JP 4477466B2 JP 2004298025 A JP2004298025 A JP 2004298025A JP 2004298025 A JP2004298025 A JP 2004298025A JP 4477466 B2 JP4477466 B2 JP 4477466B2
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Star Micronics Co Ltd
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  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

本願発明は、エレクトレットコンデンサマイクロホンに関するものであり、特に、その回路基板の表面に形成された導電層と背面電極板とを電気的に接続する導電部材の構成に関するものである。   The present invention relates to an electret condenser microphone, and more particularly to a configuration of a conductive member that electrically connects a conductive layer formed on the surface of a circuit board and a back electrode plate.

一般に、エレクトレットコンデンサマイクロホンは、振動膜と背面電極板とが対向配置されてなるコンデンサ構造部と、このコンデンサ構造部の静電容量の変化を電気インピーダンス変換するインピーダンス変換素子と、このインピーダンス変換素子を実装する回路基板と、この回路基板の表面に形成された導電層と上記背面電極板とを電気的に接続する導電部材とが、筒状の金属ケースに収容された構成となっている。   In general, an electret condenser microphone includes a capacitor structure portion in which a diaphragm and a back electrode plate are arranged to face each other, an impedance conversion element that converts an impedance of the capacitor structure portion into an electrical impedance, and an impedance conversion element. A circuit board to be mounted and a conductive member electrically connecting the conductive layer formed on the surface of the circuit board and the back electrode plate are housed in a cylindrical metal case.

そして、多くのエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいては、例えば「特許文献1」に記載されているように、背面電極板と回路基板とが略平行に対向配置されており、これら背面電極板と回路基板との間において導電部材が背面電極板を弾性的に押圧する構成となっている。そしてこれにより、エレクトレットコンデンサマイクロホンの組付性を損なうことなく、背面電極板と導電層との導通を図るようになっている。   In many electret condenser microphones, as described in, for example, “Patent Document 1”, the back electrode plate and the circuit board are arranged to face each other substantially in parallel. The conductive member elastically presses the back electrode plate. As a result, conduction between the back electrode plate and the conductive layer is achieved without impairing the assembly of the electret condenser microphone.

その際、上記「特許文献1」に記載されたエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいては、その導電部材として、背面電極板の外周縁部に当接するように配置されたコイルバネが用いられており、これにより背面電極板の支持を安定的に行うことができるようにしている。   At that time, in the electret condenser microphone described in the above-mentioned “Patent Document 1”, a coil spring disposed so as to contact the outer peripheral edge of the back electrode plate is used as the conductive member. The plate can be supported stably.

特開2003−199196号公報JP 2003-199196 A

しかしながら、上記「特許文献1」に記載されたエレクトレットコンデンサマイクロホンは、その導電部材を構成するコイルバネが金属ケースの外周壁に近接した位置に配置されているので、このコイルバネと金属ケースとの間に浮遊容量(すなわち、コンデンサ構造部にチャージされている静電容量以外の不要な静電容量)が発生してしまい、これによりエレクトレットコンデンサマイクロホンの感度が低下してしまう、という問題がある。   However, in the electret condenser microphone described in the above-mentioned “Patent Document 1”, the coil spring constituting the conductive member is disposed at a position close to the outer peripheral wall of the metal case. There is a problem that stray capacitance (that is, unnecessary capacitance other than the capacitance charged in the capacitor structure portion) is generated, and this reduces the sensitivity of the electret condenser microphone.

本願発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、導電部材による背面電極板の支持を安定的に行うことができる構成とした上で、浮遊容量の発生に起因する感度低下を最小限に抑えることができるエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of such circumstances, and has a configuration in which the back electrode plate can be stably supported by the conductive member, and sensitivity reduction due to the generation of stray capacitance is reduced. An object of the present invention is to provide an electret condenser microphone that can be minimized.

本願発明は、導電部材の構成に工夫を施すことにより、上記目的達成を図るようにしたものである。   The present invention is intended to achieve the above object by devising the configuration of the conductive member.

すなわち、本願発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンは、
支持リングに張設固定された振動膜と背面電極板とが対向配置されてなるコンデンサ構造部と、このコンデンサ構造部の静電容量の変化を電気インピーダンス変換するインピーダンス変換素子と、このインピーダンス変換素子を実装する回路基板と、この回路基板の表面に形成された導電層と上記背面電極板とを電気的に接続する導電部材と、これらコンデンサ構造部、回路基板および導電部材を収容する筒状の金属ケースと、を備えてなるエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいて、
上記背面電極板と上記回路基板とが略平行に対向配置されており、
上記導電部材が、これら背面電極板と回路基板との間において上記背面電極板を弾性的に押圧するように配置されており、
この導電部材が、上記背面電極板の略中心位置において上記導電層に先端部が当接する中央突起部と、この中央突起部の基端部を同心状に囲むように形成され、上記背面電極板の外周縁部に当接する外周環状部と、この外周環状部と上記中央突起部とを連結する複数の弾性アーム部とからなり、
この導電部材の外周環状部の上記背面電極板への当接が、上記支持リングを上記回路基板側から垂直に押圧可能な位置において行われている、ことを特徴とするものである。
That is, the electret condenser microphone according to the present invention is
Capacitor structure part in which a diaphragm and a back electrode plate stretched and fixed to a support ring are arranged opposite to each other, an impedance conversion element for converting the capacitance of the capacitor structure part into electrical impedance, and the impedance conversion element A circuit board on which the circuit board is mounted, a conductive member that electrically connects the conductive layer formed on the surface of the circuit board and the back electrode plate, and a cylindrical structure that houses the capacitor structure, the circuit board, and the conductive member In an electret condenser microphone comprising a metal case,
The back electrode plate and the circuit board are arranged opposite to each other substantially in parallel,
The conductive member is disposed so as to elastically press the back electrode plate between the back electrode plate and the circuit board,
The conductive member is formed so as to concentrically surround a central protruding portion whose tip is in contact with the conductive layer at a substantially central position of the rear electrode plate, and a proximal end portion of the central protruding portion. and the outer annular portion at the outer peripheral edge portion in contact of, Ri Do and a plurality of resilient arm portions connecting the the outer peripheral annular portion and the central projecting portion,
The abutment of the outer peripheral annular portion of the back electrode plate of the conductive member, the support ring that has been done in the depressible position perpendicularly from the circuit board side, it is characterized in.

本願発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンは、振動膜にエレクトレット層が形成されたホイルエレクトレット型のエレクトレットコンデンサマイクロホンであってもよいし、背極板にエレクトレット層が形成されたバックエレクトレット型のエレクトレットコンデンサマイクロホンであってもよい。   The electret condenser microphone according to the present invention may be a foil electret type electret condenser microphone in which an electret layer is formed on a vibrating membrane, or a back electret type electret condenser microphone in which an electret layer is formed on a back electrode plate. There may be.

上記「インピーダンス変換素子」は、コンデンサ構造部の静電容量の変化を電気インピーダンス変換することが可能なものであれば、特定の素子に限定されるものではなく、例えば接合型あるいはMOS型の電界効果トランジスタ等が採用可能である。   The “impedance conversion element” is not limited to a specific element as long as it is capable of converting the change in capacitance of the capacitor structure portion into electric impedance. For example, a junction-type or MOS-type electric field is used. An effect transistor or the like can be used.

上記「導電部材」は、その中央突起部と外周環状部と複数の弾性アーム部とが一体で形成されたものであってもよいし、その一部が別体で形成されたものであってもよい。   The “conductive member” may be one in which the central projecting portion, the outer peripheral annular portion, and the plurality of elastic arm portions are integrally formed, or a part thereof is formed separately. Also good.

上記「中央突起部」は、その先端部が背面電極板の略中心位置において導電層に当接するように構成されたものであれば、その具体的な形状や大きさ等は特に限定されるものではない。   The specific shape and size of the “center protrusion” is not particularly limited as long as the tip is configured to contact the conductive layer at the approximate center position of the back electrode plate. is not.

上記「外周環状部」は、背面電極板の外周縁部に当接し得るように構成されたものであれば、円環状に形成されていることは必ずしも必要ではなく、それ以外の形状(例えば楕円環状や矩形環状等)に形成されていてもよい。   The “circumferential annular portion” is not necessarily required to be formed in an annular shape as long as it is configured to be in contact with the outer peripheral edge portion of the back electrode plate. It may be formed in an annular shape or a rectangular annular shape.

上記各「弾性アーム部」は、外周環状部と中央突起部とを連結するように形成され、かつ弾性変形し得るように構成されたものであれば、その具体的な形状や大きさ、あるいはその配置や本数等は特に限定されるものではない。   Each of the “elastic arm portions” is formed so as to connect the outer peripheral annular portion and the central projecting portion, and can be elastically deformed. There are no particular restrictions on the arrangement, number, etc.

上記構成に示すように、本願発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンは、その回路基板の表面に形成された導電層と背面電極板とを電気的に接続する導電部材が、背面電極板と回路基板との間において背面電極板を弾性的に押圧するように配置されているが、この導電部材は、背面電極板の略中心位置において先端部が導電層に当接する中央突起部と、この中央突起部の基端部を同心状に囲むように形成され、背面電極板の外周縁部に当接する外周環状部と、この外周環状部と中央突起部とを連結する複数の弾性アーム部とからなっているので、次のような作用効果を得ることができる。   As shown in the above configuration, in the electret condenser microphone according to the present invention, the conductive member that electrically connects the conductive layer formed on the surface of the circuit board and the back electrode plate is provided between the back electrode plate and the circuit board. The conductive member is arranged so as to elastically press the back electrode plate between the central projection part where the tip end abuts the conductive layer at the approximate center position of the back electrode plate, and the central projection part. It is formed so as to surround the base end concentrically, and comprises an outer peripheral annular portion that contacts the outer peripheral edge of the back electrode plate, and a plurality of elastic arm portions that connect the outer peripheral annular portion and the central protrusion. Therefore, the following effects can be obtained.

すなわち、この導電部材は、その外周環状部において背面電極板の外周縁部に当接するようになっているので、この導電部材による背面電極板の支持を安定的に行うことができる。   That is, since the conductive member comes into contact with the outer peripheral edge of the back electrode plate at the outer peripheral annular portion, the back electrode plate can be stably supported by the conductive member.

また、この導電部材における外周環状部以外の中央突起部および複数の弾性アーム部は、金属ケースの外周壁から十分離れた位置に配置されることとなるので、この導電部材において金属ケースに近接した位置に配置される部分の割合を最小限に抑えることができる。そしてこれにより、エレクトレットコンデンサマイクロホンを、その導電部材と金属ケースとの間に浮遊容量が発生しにくい構成にして、その感度低下を最小限に抑えることができる。   Further, since the central protrusion and the plurality of elastic arm portions other than the outer peripheral annular portion in the conductive member are disposed at positions sufficiently away from the outer peripheral wall of the metal case, the conductive member is close to the metal case. It is possible to minimize the ratio of the portions arranged at the positions. As a result, the electret condenser microphone can be configured such that stray capacitance is unlikely to occur between the conductive member and the metal case, and the sensitivity reduction can be minimized.

このように本願発明によれば、導電部材による背面電極板の支持を安定的に行うことができる構成とした上で、浮遊容量の発生に起因するエレクトレットコンデンサマイクロホンの感度低下を最小限に抑えることができる。   As described above, according to the present invention, the back electrode plate can be stably supported by the conductive member, and the sensitivity reduction of the electret condenser microphone due to the generation of stray capacitance can be minimized. Can do.

しかも、本願発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいては、導電部材の中央突起部の周囲に環状空間を確保することができるので、回路基板に実装されるインピーダンス変換素子やその他の電子部品のレイアウト自由度を高めることができる。   Moreover, in the electret condenser microphone according to the present invention, since an annular space can be secured around the central protrusion of the conductive member, the degree of freedom in layout of impedance conversion elements and other electronic components mounted on the circuit board is increased. Can be increased.

上記構成において、導電部材の各弾性アーム部を、中央突起部を中心にして略渦巻状に延びるように形成すれば、そのバネ定数を小さい値に設定することができるので、背面電極板に対する外周環状部の押圧力を比較的小さい値に抑えることができるとともに、この押圧力を全周にわたって略均一に分布させることができる。そしてこれにより、導電部材による背面電極板の支持を一層安定的に行うことができ、かつ、背面電極板のエレクトレット層が不用意に潰れてしまうのを未然に防止することができる。したがって、エレクトレット層の変形に起因する感度特性の変化が生じてしまうのを未然に防止することができる。   In the above configuration, if each elastic arm portion of the conductive member is formed so as to extend in a substantially spiral shape with the central projection portion as the center, the spring constant can be set to a small value, so that the outer circumference with respect to the back electrode plate The pressing force of the annular portion can be suppressed to a relatively small value, and the pressing force can be distributed substantially uniformly over the entire circumference. As a result, the back electrode plate can be more stably supported by the conductive member, and the electret layer of the back electrode plate can be prevented from being accidentally crushed. Therefore, it is possible to prevent the sensitivity characteristic from being changed due to the deformation of the electret layer.

上記構成において、中央突起部の具体的な形状が特に限定されないことは上述したとおりであるが、これをコップ状に形成すれば、その先端部における導電層との当接を比較的広い範囲にわたって行うことができるので、導電部材と導電層との導通を確実に行うことができ、これによりノイズを発生させにくくすることができる。   In the above configuration, the specific shape of the central protrusion is not particularly limited, as described above. However, if this is formed in a cup shape, contact with the conductive layer at the tip thereof over a relatively wide range. Since it can be performed, conduction between the conductive member and the conductive layer can be surely performed, thereby making it difficult to generate noise.

また、このように中央突起部をコップ状に形成することにより、導電部材を金属板のプレス加工品として一体で形成することも可能となる。そして、このように導電部材を金属板のプレス加工品として一体で形成することにより、導電部材を安価に製造することができる。   Further, by forming the central protrusion in a cup shape in this way, the conductive member can be integrally formed as a press-worked product of a metal plate. Then, the conductive member can be manufactured at a low cost by integrally forming the conductive member as a pressed product of a metal plate.

上記構成において、導電層を、中央突起部の先端部と対向する位置に形成された環状部を有する構成とすれば、次のような作用効果を得ることができる。   In the above configuration, if the conductive layer has a ring portion formed at a position facing the tip portion of the central protrusion, the following operational effects can be obtained.

すなわち、導電層の面積を大きくすれば、この導電層と中央突起部の先端部との当接を比較的広い範囲にわたって行うことができる反面、この導電層と回路基板の裏面に外部との導通電極等として形成される導電層との間に浮遊容量が発生してしまうこととなる。そこで、上記導電層として、中央突起部の先端部と対向する位置に形成された環状部を有する構成とすれば、導電層の面積が不必要に大きくならないようにした上で、この導電層と中央突起部の先端部との当接が比較的広い範囲にわたって行われるようにすることができる。そしてこれにより、浮遊容量の発生を効果的に抑制した上で、導電部材と導電層との導通を確実に行うことができる。   That is, if the area of the conductive layer is increased, the conductive layer and the tip of the central protrusion can be contacted over a relatively wide range, but the conductive layer and the back surface of the circuit board are electrically connected to the outside. A stray capacitance is generated between the conductive layer formed as an electrode or the like. Therefore, if the conductive layer has an annular portion formed at a position facing the tip of the central protrusion, the conductive layer is not unnecessarily large, and the conductive layer The contact with the tip of the central protrusion can be performed over a relatively wide range. This makes it possible to reliably conduct the conductive member and the conductive layer while effectively suppressing the generation of stray capacitance.

以下、図面を用いて、本願発明の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本願発明の一実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロホン10を上向きに配置した状態で示す側断面図であり、図2は、図1のII-II 線断面図である。   FIG. 1 is a side sectional view showing an electret condenser microphone 10 according to one embodiment of the present invention in an upwardly arranged state, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.

これらの図に示すように、このエレクトレットコンデンサマイクロホン10は、外径が4mm程度の小型マイクロホンであって、円筒状の金属ケース12内に、振動膜サブアッセンブリ14、スペーサ16、背面電極板18、導電部材20、絶縁ブッシュ22および回路基板24が収容されてなっている。   As shown in these drawings, the electret condenser microphone 10 is a small microphone having an outer diameter of about 4 mm. In the cylindrical metal case 12, a diaphragm subassembly 14, a spacer 16, a back electrode plate 18, The conductive member 20, the insulating bush 22 and the circuit board 24 are accommodated.

金属ケース12は、金属板(例えばアルミニウム板)をプレス加工することにより円筒状に形成されている。そして、この金属ケース12は、その上端壁の中央部に音孔12aが形成されており、また、その外周壁の開放下端部12bにおいて回路基板24にカシメ固定されている。   The metal case 12 is formed in a cylindrical shape by pressing a metal plate (for example, an aluminum plate). The metal case 12 has a sound hole 12a formed at the center of the upper end wall thereof, and is caulked and fixed to the circuit board 24 at the open lower end portion 12b of the outer peripheral wall thereof.

振動膜サブアッセンブリ14は、円形の振動膜26が金属製の支持リング28の下面に張設固定されてなり、その外径は金属ケース12の内径と略同一の値に設定されている。振動膜26は、厚みが1.5μm程度の高分子フィルムの上面に金属蒸着膜が形成されてなっている。   The diaphragm subassembly 14 has a circular diaphragm 26 stretched and fixed to the lower surface of a metal support ring 28, and the outer diameter thereof is set to be substantially the same as the inner diameter of the metal case 12. The vibration film 26 has a metal vapor deposition film formed on the upper surface of a polymer film having a thickness of about 1.5 μm.

スペーサ16は、金属ケース12の内径と略同じ外径を有する金属製の薄板リングで構成されており、その厚みは25μm程度に設定されている。   The spacer 16 is formed of a metal thin plate ring having an outer diameter substantially the same as the inner diameter of the metal case 12, and the thickness thereof is set to about 25 μm.

背面電極板18は、電極板本体18Aと、この電極板本体18Aの上面に配置されたエレクトレット層18Bとからなり、その中央部に貫通孔18aが形成されている。その際、電極板本体18Aは、板厚が0.15mm程度の金属板からなり、絶縁ブッシュ22の内径と略同じ外径を有している。また、エレクトレット層18Bは、電極板本体18Aの上面に形成された膜厚12.5μm程度の絶縁膜に、所定のチャージ電圧で分極処理を施すことによって生成されており、これにより所定の表面電位が付与されている。   The back electrode plate 18 includes an electrode plate main body 18A and an electret layer 18B disposed on the upper surface of the electrode plate main body 18A, and a through hole 18a is formed at the center thereof. At that time, the electrode plate body 18A is made of a metal plate having a thickness of about 0.15 mm, and has an outer diameter that is substantially the same as the inner diameter of the insulating bush 22. The electret layer 18B is generated by subjecting an insulating film formed on the upper surface of the electrode plate main body 18A to a thickness of about 12.5 μm with a predetermined charging voltage, whereby a predetermined surface potential is obtained. Is granted.

そして、金属ケース12内においては、エレクトレット層18Bと振動膜26とがスペーサ16を介して所定の微小間隔をおいて対向配置されており、これによりコンデンサ構造部Cを構成するようになっている。   In the metal case 12, the electret layer 18 </ b> B and the vibration film 26 are arranged to face each other with a predetermined minute interval through the spacer 16, thereby constituting the capacitor structure portion C. .

絶縁ブッシュ22は、金属ケース12の内径と略同じ外径を有する円筒状の絶縁部材であって、その上端面がスペーサ16に当接するとともに、その下端面が回路基板24に当接している。そして、この絶縁ブッシュ22の内周側に、背面電極板18および導電部材20が配置されるようになっている。その際、背面電極板18は、後述するように導電部材20によりスペーサ16へ向けて弾性的に押圧されるようになっている。   The insulating bush 22 is a cylindrical insulating member having an outer diameter substantially the same as the inner diameter of the metal case 12, and an upper end surface thereof is in contact with the spacer 16 and a lower end surface thereof is in contact with the circuit board 24. The back electrode plate 18 and the conductive member 20 are arranged on the inner peripheral side of the insulating bush 22. At that time, the back electrode plate 18 is elastically pressed toward the spacer 16 by the conductive member 20 as described later.

回路基板24は、金属ケース12の内径と略同じ外径を有しており、背面電極板18と平行に配置されている。この回路基板24の上面には、インピーダンス変換素子34と、3つのコンデンサ36、38、40とが実装されている。   The circuit board 24 has an outer diameter that is substantially the same as the inner diameter of the metal case 12, and is arranged in parallel with the back electrode plate 18. On the upper surface of the circuit board 24, an impedance conversion element 34 and three capacitors 36, 38, and 40 are mounted.

図3および4は、回路基板24を示す平面図および底面図である。   3 and 4 are a plan view and a bottom view showing the circuit board 24.

これらの図にも示すように、回路基板24は、基板本体42と、この基板本体42の上面に所定のパターンで形成された4つの導電層44A、44B、44C、44Dと、この基板本体42の下面に、外部との導通電極として形成された3つの導電層44E、44F、44Gと、この基板本体42の上面に、各導電層44A、44B、44C、44Dを部分的に露出させた状態で、これらを覆うように形成された絶縁層46とからなっている。   As shown in these drawings, the circuit board 24 includes a substrate body 42, four conductive layers 44A, 44B, 44C, 44D formed in a predetermined pattern on the upper surface of the substrate body 42, and the substrate body 42. Three conductive layers 44E, 44F, 44G formed as conductive electrodes to the outside on the lower surface of the substrate, and the conductive layers 44A, 44B, 44C, 44D partially exposed on the upper surface of the substrate body 42 The insulating layer 46 is formed so as to cover them.

その際、導電層44A、44B、44Cは、スルーホール部44a、44b、44cを介して導電層44E、44F、44Gと各々導通している。また、導電層44Dは、回路基板24の中央部において円環状に形成された環状部44dを有しており、この環状部44dにおいて導電部材20と導通している。   At that time, the conductive layers 44A, 44B, and 44C are electrically connected to the conductive layers 44E, 44F, and 44G through the through-hole portions 44a, 44b, and 44c, respectively. The conductive layer 44D has an annular portion 44d formed in an annular shape at the center of the circuit board 24, and is electrically connected to the conductive member 20 in the annular portion 44d.

インピーダンス変換素子34は、電源端子34aと出力端子34bとアース端子34cとゲート端子34dとを備えた電界効果トランジスタであって、その各端子34a、34b、34c、34dは各導電層46A、46B、46C、46Dにハンダ付けにより導通固定されている。また、各コンデンサ36、38、40は、いずれも導電層44B、44Cにハンダ付けにより導通固定されている。   The impedance conversion element 34 is a field effect transistor that includes a power supply terminal 34a, an output terminal 34b, a ground terminal 34c, and a gate terminal 34d, and each of the terminals 34a, 34b, 34c, and 34d includes the conductive layers 46A, 46B, The conduction is fixed to 46C and 46D by soldering. Further, each of the capacitors 36, 38, 40 is conductively fixed to the conductive layers 44B, 44C by soldering.

図5は、導電部材20を単品で示す斜視図である。   FIG. 5 is a perspective view showing the conductive member 20 as a single item.

同図にも示すように、この導電部材20は、コップ状に形成された中央突起部20Aと、この中央突起部20Aの基端部(すなわち上端部)を同心状に囲む外周環状部20Bと、この外周環状部20Bと中央突起部20Aとを連結する3本の弾性アーム部20Cとからなっている。その際、外周環状部20Bは、円環状に形成されており、3本の弾性アーム部20Cは、外周環状部20Bよりも一段低い位置において同一平面上に形成されている。   As shown in the figure, the conductive member 20 includes a central projection 20A formed in a cup shape, and an outer peripheral annular portion 20B that concentrically surrounds the base end portion (that is, the upper end portion) of the central projection 20A. The outer peripheral annular portion 20B and the central projecting portion 20A are composed of three elastic arm portions 20C. At that time, the outer peripheral annular portion 20B is formed in an annular shape, and the three elastic arm portions 20C are formed on the same plane at a position one step lower than the outer peripheral annular portion 20B.

この導電部材20は、バネ性を有する金属板(例えば板厚60〜70μm程度のリン青銅板)のプレス加工品として、その中央突起部20A、外周環状部20Bおよび3本の弾性アーム部20Cが一体で形成されている。この導電部材20の外径は、絶縁ブッシュ22の内径と略同じ値に設定されており、また、この導電部材20の高さは、背面電極板18の下面と回路基板24の上面との間隔よりもやや大きい値に設定されている。   The conductive member 20 has a central protrusion 20A, an outer peripheral annular portion 20B, and three elastic arm portions 20C as a pressed product of a metal plate having a spring property (for example, a phosphor bronze plate having a thickness of about 60 to 70 μm). It is integrally formed. The outer diameter of the conductive member 20 is set to substantially the same value as the inner diameter of the insulating bush 22, and the height of the conductive member 20 is the distance between the lower surface of the back electrode plate 18 and the upper surface of the circuit board 24. It is set to a value slightly larger than.

そして、この導電部材20は、背面電極板18と回路基板24との間に配置された状態で、その中央突起部20Aの先端部(すなわち下端部)20aが回路基板24の導電層44Dの環状部44dに当接するとともに、その外周環状部20Bが背面電極板18の電極板本体18Aの外周縁部に当接し、かつ、その3本の弾性アーム部20Cが撓み変形して背面電極板18を弾性的に押圧するようになっている。   The conductive member 20 is disposed between the back electrode plate 18 and the circuit board 24, and the front end portion (that is, the lower end portion) 20 a of the central protrusion 20 A is formed in a ring shape of the conductive layer 44 D of the circuit board 24. The outer peripheral annular portion 20B is in contact with the outer peripheral edge portion of the electrode plate main body 18A of the back electrode plate 18, and the three elastic arm portions 20C are bent and deformed so that the back electrode plate 18 is deformed. It is designed to be elastically pressed.

その際、中央突起部20の先端部20aは平面状に形成されているので、この先端部20aと導電層44Dの環状部44dとの当接は、該環状部44dに沿った円環状の面接触によって行われるようになっている。   At this time, since the tip 20a of the central protrusion 20 is formed in a flat shape, the contact between the tip 20a and the annular portion 44d of the conductive layer 44D is an annular surface along the annular portion 44d. It is done by contact.

各弾性アーム部20Cは、中央突起部20Aを中心にして略渦巻状に延びるように形成されている。そしてこれにより、各弾性アーム部20Cをできるだけ長尺に形成し、そのバネ定数を十分小さい値に設定するようになっている。これら各弾性アーム部20Cは、周方向に等間隔をおいて同一形状で形成されている。   Each elastic arm portion 20C is formed so as to extend in a substantially spiral shape with the central protrusion 20A as the center. Thus, each elastic arm portion 20C is formed as long as possible, and its spring constant is set to a sufficiently small value. These elastic arm portions 20C are formed in the same shape at equal intervals in the circumferential direction.

これら3本の弾性アーム部20Cは、金属板をプレス加工する際、その3箇所に略L字形の長孔20bを打ち抜くことによって形成されるようになっている。これら各長孔20bの幅は、中央突起部20Aの先端部20aの外径よりも小さい値に設定されており、これにより、製造された複数の導電部材20相互間において、導電部材20の中央突起部20Aが他の導電部材20の長孔20bに入り込まないようにしている。   These three elastic arm portions 20C are formed by punching substantially L-shaped long holes 20b at three locations when a metal plate is pressed. The width of each of the long holes 20b is set to a value smaller than the outer diameter of the distal end portion 20a of the central protrusion 20A, whereby the center of the conductive member 20 is between the plurality of manufactured conductive members 20. The protruding portion 20 </ b> A is prevented from entering the long hole 20 b of the other conductive member 20.

以上詳述したように、本実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロホン10は、その回路基板24の上面に形成された導電層44Dと背面電極板18とを電気的に接続する導電部材20が、背面電極板18と回路基板24との間において背面電極板18を弾性的に押圧するように配置されているが、この導電部材20は、背面電極板18の略中心位置において先端部20aが導電層44Dに当接する中央突起部20Aと、この中央突起部20Aの基端部を同心状に囲むように形成され、背面電極板18の外周縁部に当接する外周環状部20Bと、この外周環状部20Bと中央突起部20Aとを連結する3本の弾性アーム部20Cとからなっているので、次のような作用効果を得ることができる。   As described in detail above, the electret condenser microphone 10 according to the present embodiment includes the conductive member 20 that electrically connects the conductive layer 44D formed on the top surface of the circuit board 24 and the back electrode plate 18 with the back electrode. The conductive member 20 is disposed between the plate 18 and the circuit board 24 so as to elastically press the back electrode plate 18, but the conductive member 20 has a conductive layer 44 </ b> D having a tip 20 a at a substantially central position of the back electrode plate 18. A central projecting portion 20A that contacts the outer peripheral annular portion 20B, a peripheral annular portion 20B that is formed so as to concentrically surround the base end portion of the central projecting portion 20A, and that contacts the outer peripheral edge of the back electrode plate 18; Since the three elastic arm portions 20C for connecting the central projection portion 20A and the central projection portion 20A, the following operational effects can be obtained.

すなわち、この導電部材20は、その外周環状部20Bにおいて背面電極板18の外周縁部に当接するようになっているので、この導電部材20による背面電極板18の支持を安定的に行うことができる。   That is, since the conductive member 20 comes into contact with the outer peripheral edge portion of the back electrode plate 18 at the outer peripheral annular portion 20B, the back electrode plate 18 can be stably supported by the conductive member 20. it can.

また、この導電部材20における外周環状部20B以外の中央突起部20Aおよび3本の弾性アーム部20Cは、金属ケース12の外周壁から十分離れた位置に配置されることとなるので、この導電部材20において金属ケース12に近接した位置に配置される部分の割合を最小限に抑えることができる。そしてこれにより、エレクトレットコンデンサマイクロホン10を、その導電部材20と金属ケース12との間に浮遊容量が発生しにくい構成にして、その感度低下を最小限に抑えることができる。   In addition, the central protrusion 20A other than the outer peripheral annular portion 20B and the three elastic arm portions 20C in the conductive member 20 are arranged at positions sufficiently away from the outer peripheral wall of the metal case 12, so that the conductive member The ratio of the part arrange | positioned in the position close | similar to the metal case 12 in 20 can be suppressed to the minimum. As a result, the electret condenser microphone 10 can be configured such that stray capacitance is unlikely to occur between the conductive member 20 and the metal case 12, and the sensitivity reduction can be minimized.

このように本実施形態によれば、導電部材20による背面電極板18の支持を安定的に行うことができる構成とした上で、浮遊容量の発生に起因するエレクトレットコンデンサマイクロホン10の感度低下を最小限に抑えることができる。   As described above, according to the present embodiment, the back electrode plate 18 can be stably supported by the conductive member 20, and the sensitivity reduction of the electret condenser microphone 10 due to the generation of stray capacitance is minimized. To the limit.

しかも、本実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロホン10においては、導電部材20の中央突起部20Aの周囲に環状空間を確保することができるので、回路基板24に実装されるインピーダンス変換素子34および3つのコンデンサ36、38、40のレイアウト自由度を高めることができる。   Moreover, in the electret condenser microphone 10 according to the present embodiment, since an annular space can be secured around the central protrusion 20A of the conductive member 20, the impedance conversion element 34 and the three capacitors mounted on the circuit board 24 can be secured. The layout freedom of 36, 38, and 40 can be increased.

特に本実施形態においては、導電部材20の各弾性アーム部20Cが、中央突起部20Aを中心にして略渦巻状に延びるように形成されているので、そのバネ定数を小さい値に設定することができ、これにより背面電極板18に対する外周環状部20Bの押圧力を比較的小さい値に抑えることができるとともに、この押圧力を全周にわたって略均一に分布させることができる。そしてこれにより、導電部材20による背面電極板18の支持を一層安定的に行うことができ、かつ、背面電極板18のエレクトレット層18Bが不用意に潰れてしまうのを未然に防止することができる。したがって、エレクトレット層18Bの変形に起因する感度特性の変化が生じてしまうのを未然に防止することができる。   In particular, in the present embodiment, each elastic arm portion 20C of the conductive member 20 is formed so as to extend in a substantially spiral shape with the central protrusion portion 20A as the center, so that the spring constant can be set to a small value. Thus, the pressing force of the outer peripheral annular portion 20B against the back electrode plate 18 can be suppressed to a relatively small value, and the pressing force can be distributed substantially uniformly over the entire circumference. As a result, the back electrode plate 18 can be supported more stably by the conductive member 20, and the electret layer 18B of the back electrode plate 18 can be prevented from being accidentally crushed. . Therefore, it is possible to prevent the sensitivity characteristic from being changed due to the deformation of the electret layer 18B.

また本実施形態においては、導電部材20の中央突起部20Aがコップ状に形成されているので、その先端部20aにおける導電層44Dとの当接を比較的広い範囲にわたって行うことができ、これにより導電部材20と導電層44Dとの導通を確実に行うことができる。そしてこれによりノイズを発生させにくくすることができる。   Further, in the present embodiment, since the central protrusion 20A of the conductive member 20 is formed in a cup shape, the tip 20a can be in contact with the conductive layer 44D over a relatively wide range, thereby Conduction between the conductive member 20 and the conductive layer 44D can be reliably performed. This makes it difficult to generate noise.

しかも、このように中央突起部20Aがコップ状に形成されていることにより、本実施形態のように導電部材20を金属板のプレス加工品として一体で形成することも可能となる。そして、このように導電部材20を金属板のプレス加工品として一体で形成することにより、導電部材20を安価に製造することができる。   In addition, since the central protrusion 20A is formed in a cup shape in this way, the conductive member 20 can be integrally formed as a pressed product of a metal plate as in this embodiment. Then, the conductive member 20 can be manufactured at low cost by integrally forming the conductive member 20 as a pressed product of a metal plate.

さらに本実施形態においては、導電層44Dが、中央突起部20Aの先端部20aと対向する位置に形成された環状部44dを有しているので、導電層44Dの面積が不必要に大きくならないようにした上で、この導電層44Dと中央突起部20Aの先端部20aとの当接が比較的広い範囲にわたって行われるようにすることができる。そしてこれにより、浮遊容量の発生を効果的に抑制した上で、導電部材20と導電層44Dとの導通を確実に行うことができる。   Further, in the present embodiment, since the conductive layer 44D has the annular portion 44d formed at a position facing the tip portion 20a of the central protrusion 20A, the area of the conductive layer 44D does not become unnecessarily large. In addition, the contact between the conductive layer 44D and the tip 20a of the central protrusion 20A can be performed over a relatively wide range. As a result, the conductive member 20 and the conductive layer 44D can be reliably connected to each other while the generation of stray capacitance is effectively suppressed.

本実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロホン10においては、その導電部材20に突起片や切欠き部が全く存在しないので、その製造工程において複数の導電部材20が相互に絡まってしまうのを未然に防止することができる。なお、この導電部材20には中央突起部20Aおよび3つの長孔20bが存在するが、これら各長孔20bの幅は中央突起部20Aの先端部20aの外径よりも小さい値に設定されているので、導電部材20の中央突起部20Aが他の導電部材20の長孔20bに入り込んでしまうのを未然に防止することができる。   In the electret condenser microphone 10 according to the present embodiment, since the conductive member 20 has no protrusions or notches, it is possible to prevent the plurality of conductive members 20 from being entangled with each other in the manufacturing process. be able to. The conductive member 20 has a central protrusion 20A and three long holes 20b. The width of each long hole 20b is set to a value smaller than the outer diameter of the tip 20a of the central protrusion 20A. Therefore, the central protrusion 20A of the conductive member 20 can be prevented from entering the long hole 20b of the other conductive member 20 in advance.

上記実施形態においては、導電部材20が3本の弾性アーム部20Cを備えているものとして説明したが、弾性アーム部20Cを2本あるいは4本以上備えた構成とすることももちろん可能である。   In the above-described embodiment, the conductive member 20 has been described as including three elastic arm portions 20C. However, it is of course possible to have two or four or more elastic arm portions 20C.

次に、上記実施形態の変形例について説明する。   Next, a modification of the above embodiment will be described.

図6は、本変形例に係るエレクトレットコンデンサマイクロホン110を示す側断面図である。   FIG. 6 is a side sectional view showing an electret condenser microphone 110 according to this modification.

同図に示すように、このエレクトレットコンデンサマイクロホン110も、その基本的な構成は上記実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロホン10と同様であるが、その導電部材120の構成が上記実施形態の場合と異なっている。   As shown in the figure, the electret condenser microphone 110 has the same basic configuration as the electret condenser microphone 10 according to the above embodiment, but the configuration of the conductive member 120 is different from that in the above embodiment. Yes.

すなわち、上記実施形態の導電部材20が金属板のプレス加工品として一体で形成されているのに対して、本変形例の導電部材120は、その一部が別部材で構成されている。   That is, while the conductive member 20 of the above embodiment is integrally formed as a pressed product of a metal plate, a part of the conductive member 120 of this modification is configured as a separate member.

具体的には、この導電部材120は、その外周環状部120Bおよび3本の弾性アーム部120Cが金属板のプレス加工品として構成されているが、その中央突起部120Aは金属柱として別部材で構成されている。そして、この導電部材120においては、その3本の弾性アーム部120Cの中心部に形成された貫通孔120bに、その中央突起部120Aの上端部120cが挿入された状態で、該中心部にカシメ固定されている。   Specifically, the conductive member 120 has an outer peripheral annular portion 120B and three elastic arm portions 120C configured as a pressed product of a metal plate, but the central protrusion 120A is a separate member as a metal column. It is configured. In the conductive member 120, the central protrusion 120 A is inserted into the through hole 120 b formed in the central portion of the three elastic arm portions 120 C, and the central protrusion 120 A is caulked in the central portion. It is fixed.

中央突起部120Aは円柱状に形成されており、その先端部120aは円形平面として構成されている。そして、この中央突起部120Aの先端部20aと導電層44Dの環状部44dとの当接は、該環状部44dに沿った円環状の面接触によって行われるようになっている。   The central projection 120A is formed in a columnar shape, and the tip 120a is configured as a circular plane. The contact between the front end portion 20a of the central protrusion 120A and the annular portion 44d of the conductive layer 44D is performed by annular surface contact along the annular portion 44d.

本変形例の構成を採用した場合においても、上記実施形態の場合と同様、導電部材120による背面電極板18の支持を安定的に行うことができる構成とした上で、浮遊容量の発生に起因するエレクトレットコンデンサマイクロホン110の感度低下を最小限に抑えることができる。   Even in the case of adopting the configuration of this modified example, as in the case of the above-described embodiment, the back electrode plate 18 can be stably supported by the conductive member 120, and the stray capacitance is generated. The decrease in sensitivity of the electret condenser microphone 110 to be performed can be minimized.

また、本変形例の導電部材120は、その中央突起部120Aとその外周環状部120Bおよび3本の弾性アーム部120Cとが別部材で構成されているので、上記実施形態の導電部材20のように中央突起部20Aを深絞り加工によってカップ状に形成する必要をなくすことができ、これにより導電部材120の製造を容易に行うことができる。   In addition, the conductive member 120 of the present modification example includes the central protrusion 120A, the outer peripheral annular portion 120B, and the three elastic arm portions 120C, which are separate members. In addition, it is possible to eliminate the need to form the central protrusion 20A in a cup shape by deep drawing, and thus the conductive member 120 can be easily manufactured.

なお、本変形例においては、中央突起部120Aの上端部120cが貫通孔120bに挿入された状態で3本の弾性アーム部120Cの中心部にカシメ固定されているものとして説明したが、これ以外の固定構造を採用することも可能である。例えば、中央突起部120Aを3本の弾性アーム部120Cの中心部に溶接やろう付け等により接合して導電部材120を構成するようにしてもよいし、あるいは、中央突起部120Aをネジ部材により構成し、これを貫通孔120bにねじ込むことにより導電部材120を構成するようにしてもよい。   In the present modification, the upper end 120c of the central protrusion 120A has been described as being caulked and fixed to the center of the three elastic arm portions 120C while being inserted into the through hole 120b. It is also possible to adopt the fixed structure. For example, the conductive member 120 may be configured by joining the central protruding portion 120A to the central portion of the three elastic arm portions 120C by welding or brazing, or the central protruding portion 120A may be formed by a screw member. The conductive member 120 may be configured by configuring and screwing it into the through hole 120b.

本願発明の一実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンを上向きに配置した状態で示す側断面図The sectional side view shown in the state where the electret condenser microphone concerning one embodiment of the invention of this application was arranged upwards 図1のII-II 線断面図II-II sectional view of Fig. 1 上記エレクトレットコンデンサマイクロホンの回路基板を示す平面図The top view which shows the circuit board of the said electret condenser microphone 上記回路基板を示す底面図Bottom view showing the circuit board 上記エレクトレットコンデンサマイクロホンの導電部材を単品で示す斜視図The perspective view which shows the electrically-conductive member of the said electret condenser microphone by a single item 上記実施形態の変形例を示す、図1と同様の図The figure similar to FIG. 1 which shows the modification of the said embodiment

符号の説明Explanation of symbols

10、110 エレクトレットコンデンサマイクロホン
12 金属ケース
12a 音孔
12b 開放下端部
14 振動膜サブアッセンブリ
16 スペーサ
18 背面電極板
18A 電極板本体
18B エレクトレット層
18a 貫通孔
20、120 導電部材
20A、120A 中央突起部
20B、120B 外周環状部
20C、120C 弾性アーム部
20a、120a 先端部
20b 長孔
22 絶縁ブッシュ
24 回路基板
26 振動膜
28 支持リング
34 インピーダンス変換素子
34a 電源端子
34b 出力端子
34c アース端子
34d ゲート端子
36、38、40 コンデンサ
42 基板本体
44A、44B、44C、44D、44E、44F、44G 導電層
44a、44b、44c スルーホール部
44d 環状部
46 絶縁層
120b 貫通孔
120c 上端部
C コンデンサ構造部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,110 Electret condenser microphone 12 Metal case 12a Sound hole 12b Opening lower end part 14 Vibration membrane subassembly 16 Spacer 18 Back electrode plate 18A Electrode plate main body 18B Electret layer 18a Through-hole 20, 120 Conductive member 20A, 120A Central protrusion part 20B, 120B Outer peripheral annular portion 20C, 120C Elastic arm portion 20a, 120a Tip portion 20b Long hole 22 Insulating bush 24 Circuit board 26 Vibration film 28 Support ring 34 Impedance conversion element 34a Power supply terminal 34b Output terminal 34c Earth terminal 34d Gate terminals 36, 38, 40 Capacitor 42 Substrate body 44A, 44B, 44C, 44D, 44E, 44F, 44G Conductive layer 44a, 44b, 44c Through-hole portion 44d Annular portion 46 Insulating layer 120b Hole 120c upper part C Capacitor structure

Claims (5)

支持リングに張設固定された振動膜と背面電極板とが対向配置されてなるコンデンサ構造部と、このコンデンサ構造部の静電容量の変化を電気インピーダンス変換するインピーダンス変換素子と、このインピーダンス変換素子を実装する回路基板と、この回路基板の表面に形成された導電層と上記背面電極板とを電気的に接続する導電部材と、これらコンデンサ構造部、回路基板および導電部材を収容する筒状の金属ケースと、を備えてなるエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいて、
上記背面電極板と上記回路基板とが略平行に対向配置されており、
上記導電部材が、これら背面電極板と回路基板との間において上記背面電極板を弾性的に押圧するように配置されており、
この導電部材が、上記背面電極板の略中心位置において上記導電層に先端部が当接する中央突起部と、この中央突起部の基端部を同心状に囲むように形成され、上記背面電極板の外周縁部に当接する外周環状部と、この外周環状部と上記中央突起部とを連結する複数の弾性アーム部とからなり、
この導電部材の外周環状部の上記背面電極板への当接が、上記支持リングを上記回路基板側から垂直に押圧可能な位置において行われている、ことを特徴とするエレクトレットコンデンサマイクロホン。
Capacitor structure part in which a diaphragm and a back electrode plate stretched and fixed to a support ring are arranged opposite to each other, an impedance conversion element for converting the capacitance of the capacitor structure part into electrical impedance, and the impedance conversion element A circuit board on which the circuit board is mounted, a conductive member that electrically connects the conductive layer formed on the surface of the circuit board and the back electrode plate, and a cylindrical structure that houses the capacitor structure, the circuit board, and the conductive member In an electret condenser microphone comprising a metal case,
The back electrode plate and the circuit board are arranged opposite to each other substantially in parallel,
The conductive member is disposed so as to elastically press the back electrode plate between the back electrode plate and the circuit board,
The conductive member is formed so as to concentrically surround a central protruding portion whose tip is in contact with the conductive layer at a substantially central position of the rear electrode plate, and a proximal end portion of the central protruding portion. and the outer annular portion at the outer peripheral edge portion in contact of, Ri Do and a plurality of resilient arm portions connecting the the outer peripheral annular portion and the central projecting portion,
Abutment against the outer peripheral annular portion of the back electrode plate of the conductive member, the support ring that has been done in the depressible position perpendicularly from the circuit board side, an electret condenser microphone, characterized in that.
上記各弾性アーム部が、上記中央突起部を中心にして略渦巻状に延びるように形成されている、ことを特徴とする請求項1記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。   2. The electret condenser microphone according to claim 1, wherein each of the elastic arm portions is formed so as to extend in a substantially spiral shape with the central projection portion as a center. 上記中央突起部が、コップ状に形成されている、ことを特徴とする請求項1または2記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。   The electret condenser microphone according to claim 1, wherein the central projection is formed in a cup shape. 上記導電部材が、金属板のプレス加工品として一体で形成されている、ことを特徴とする請求項3記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。   4. The electret condenser microphone according to claim 3, wherein the conductive member is integrally formed as a pressed product of a metal plate. 上記導電層が、上記中央突起部の先端部と対向する位置に形成された環状部を有している、ことを特徴とする請求項1〜4いずれか記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。   The electret condenser microphone according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive layer has an annular portion formed at a position facing a tip portion of the central protrusion.
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