JP4475695B2

JP4475695B2 - Method and apparatus for leak inspection of flow control valve

Info

Publication number: JP4475695B2
Application number: JP07090599A
Authority: JP
Inventors: 宏一岩瀬; 敏幸佐藤; 滋青島; 順一松田; 憲利矢川; 聡永山; 哲二米田; 一▲ま▼ 清飛羅; 浩岡田; 義弘中村
Original assignee: Azbil Corp; Toho Gas Co Ltd
Current assignee: Azbil Corp; Toho Gas Co Ltd
Priority date: 1999-03-16
Filing date: 1999-03-16
Publication date: 2010-06-09
Anticipated expiration: 2019-03-16
Also published as: JP2000266233A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はガスや液体などの流体が通過する流路に設けられた流体制御弁の漏れを検出する流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置に係り、特に、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来の流量制御弁の漏れ検査機能を備えた燃焼装置の構成を示す構成図である。図において、１は燃焼ガスと外気とを混合して燃焼する燃焼装置、２はこの燃焼装置１に燃焼ガスを供給するガス供給管、３は燃焼装置１に外気を供給する外気供給管、４はガス供給管２の途中に設けられた第一燃料制御弁、５はこの第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の下流側に設けられた第二燃料制御弁、６は外気供給管３の途中に設けられた外気制御弁、４０はこれら３つの制御弁４，５，６を制御して上記燃焼装置１の燃焼を制御する燃焼制御装置である。
【０００３】
また、４１は第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５との間のガス供給管２のガス圧を検出する第一圧力センサ、４２は第一燃料制御弁４よりも上流側のガス供給管２のガス圧を検出する第二圧力センサ、４３は燃焼制御装置４０の一部として設けられ、第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５を制御するとともにこれら２つの圧力センサ４１，４２の検出圧力値に応じてこれら２つの燃料制御弁４，５の漏れを検出する漏れ検出制御装置である。
【０００４】
次に動作について説明する。
燃焼制御装置４０は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５および外気制御弁６それぞれを適当な開度に制御し、燃焼装置１において燃焼ガスと外気との混合気を燃焼する。このような燃焼が行われる一方で、燃焼停止期間において第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れの検出動作が実行される。
【０００５】
まず、第一燃料制御弁４を閉じるとともに第二燃料制御弁５および外気制御弁６を開き、第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５との間の第一圧力センサ４１が設けられた空間内の燃焼ガスを排気する。次に、第二燃料制御弁５を完全に閉じた後第一燃料制御弁４を開き、所定の時間の後に第一圧力センサ４１の圧力値が所定の漏れ判別値よりも小さいか否かを判別し、小さい場合には第二燃料制御弁５に漏れがあると判定する。更に、引き続いて第一燃料制御弁４を閉じた後第二燃料制御弁５を開き、所定の時間の後に第一圧力センサ４１の圧力値が所定の漏れ判別値よりも小さいか否かを判別し、小さい場合には第一燃料制御弁４に漏れがあると判定する。
【０００６】
なお、第二圧力センサ４２は、ガス供給管２内の圧力が所定の検出可能圧力レベルよりも低下したか否かを判別するために設けられたものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の流量制御弁の漏れ検査装置は以上のように構成されているので、第一圧力センサ４１が設けられた空間内の流体量が所定期間内に所定量変化することを検出し、この検出に応じて流体制御弁の漏れを判別することとなる。従って、漏れが生じている場合に予測される当該空間内の流体量の所定量変化に要する時間だけ待った後のタイミングでなければ、当該判別を行うことができないなどの課題があった。
【０００８】
また、実際にこのような従来の流量制御弁の漏れ検査装置を設置するにあたっては、上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによって上記圧力センサの所定時間後の検出値が変動してしまうため、これらの要因によらず確実に漏れを検出できるように上記検出タイミングを設定する必要がある。その結果、この変動要因に対するマージンによって実際の漏れの検出精度が悪化し、圧力センサ本来の検出精度を有効に利用することができず、漏れを早期に検出することができないなどの課題もあった。特に、供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合、上記圧力センサの圧力値に基づいて安定且つ確実な漏れ判定を行うことができなかった。
【０００９】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、従来よりも短時間に流量制御弁の漏れを検査することができる漏れ検査方法およびその装置を得ることを目的とする。
【００１０】
また、これと同時に、空間容積の設計値との差異などによらず確実に漏れを検出することができ、圧力センサなどの検出手段の本来の検出精度を有効に利用して早期に漏れを検出することができる漏れ検査方法およびその装置を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査方法は、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、上記分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサとを有し、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断するものである。
【００１２】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査装置は、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えたものである。
【００１３】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査装置は、検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による流量制御弁の漏れ検査装置を利用した燃焼装置の構成を示す構成図である。図において、１は燃焼ガス（流体）と外気（空気）とを混合して燃焼する燃焼装置、２はこの燃焼装置１に燃焼ガスを供給するガス供給管（流路）、３は燃焼装置１に外気（空気）を供給する外気供給管、４はガス供給管２の途中に設けられた第一燃料制御弁（流量制御弁）、５はこの第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の下流側に設けられた第二燃料制御弁（流量制御弁）、６は外気供給管３の途中に設けられた外気制御弁、７はこれら３つの制御弁４，５，６を制御して上記燃焼装置１の燃焼を制御する燃焼制御装置、８ａは燃焼制御装置７に燃焼状態などを設定する入力キー、８ｂは燃焼装置１による燃焼状態情報などを表示する表示装置である。
【００１５】
また、９は第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の上流側に設けられ、当該ガス供給管２を閉塞可能なボール弁（検査用制御弁）、１０は当該ボール弁９の全開状態を検出して全開信号を出力する全開リミットスイッチ、１１は当該ボール弁９の全閉状態を検出して全閉信号を出力する全閉リミットスイッチ、１２はこのボール弁９の上流側と下流側とを接続する分流管、１３はこの分流管１２に設けられ、当該分流管１２中を流れる流体の流量を検出して流量信号を出力する流量センサ、１４は前面パネルに漏れ表示ランプ１４ａ、ボール弁開設定スイッチ１４ｂ、ボール弁閉設定スイッチ１４ｃ、流量情報表示部材１４ｄなどを備え、上記第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９を制御するとともに全開信号、全閉信号および流量信号が入力され、これに応じて第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の漏れを判別して漏れ判別信号などを燃焼制御装置７に出力する漏れ判別制御装置（漏れ判別手段、流量出力手段）である。
【００１６】
図２はこの実施の形態を説明するための参考例によるボール弁９の構成を示す一部切欠断面図である。図において、１５はハウジング、１６はハウジング１５に開設された弁流路、１７は略球形状に形成されてこの弁流路１６の途中に回動可能に配設され、且つ、貫通孔１７ａが開設された弁ボール、１８はハウジング１５に固定され、弁ボール１７をその貫通孔１７ａが弁流路１６と連通／閉塞されるように回転させるモータである。そして、この弁ボール１７の貫通孔１７ａを弁流路１６と連通することで燃焼ガスを供給し、閉塞することで燃焼ガスの供給を停止することができる。
【００１７】
また、弁流路１６はガス供給管２の挿入位置に隣接する位置は当該ガス供給管２の内径と同径に形成される一方で、上記弁ボール１７が配設される周囲はそれよりも小さい内径に形成されており、この小さい内径に隣接する位置に上記分流管１２が接続される一対の分流孔１９，２０が開設されている。このように間の内径を細くしその脇に一対の分流孔１９，２０が開設を開設することにより、上流側と下流側との間に差圧を発生させて燃焼ガスを弁流路１６と分流管１２とに適当に分配することができる。
【００１８】
図３はこの発明の実施の形態１による流量センサ１３の構成を示す断面図である。図において、２１は流量センサ１３の本体ブロック、２２は本体ブロック２１を貫通するとともにその途中で一部が本体ブロック２１の一側面に露出するように形成された屈曲貫通孔、２３，２４はガス供給管２を本体ブロック２１に固定するための配管取付フランジ、２５，２６は本体ブロック２１と配管取付フランジ２３，２４との間からのガス漏れを防止するＯリング、２７はネジ２８，２９によって上記屈曲貫通孔２２を塞ぐように本体ブロック２１にネジ止めされたセンサ取り付けカバー、３０，３１はそれぞれ上記屈曲貫通孔２２の露出部位に介装された整流金網、３２はセンサ取り付けカバー２７の外側面に固定されるブラケット、３３はこのブラケット３２によって上記整流金網３０，３１の間の屈曲貫通孔２２に露出するように固定されるセンサ基板、３４はこのセンサ基板３３の露出面にマウントされたマイクロフローセンサチップ（流量センサ）、３５はマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を漏れ判別制御装置１４に出力するためのリード線である。そして、このように分流管１２の間に配設された屈曲貫通孔２２内を燃焼ガスが流動すると、この流量に応じた検出信号がマイクロフローセンサチップ３４から出力され、この検出信号に基づいて演算される燃焼ガスの流量値が漏れ判別検出装置１４の流量情報表示部材１４ｄに表示されるとともに漏れ判別検出装置１４を介して燃焼制御装置７に伝達される。
【００１９】
なお、上記のマイクロフローセンサチップ３４としては例えば本願出願人が特開平４−２３０８０８号公報で開示した微細ダイヤフラム構造の流速センサを用いると、高精度かつ高速応答で流速（流量）を計測することができる。
【００２０】
次に動作について説明する。
弁ボール１７の貫通孔１７ａと弁流路１６とが連通した状態で、燃焼制御装置７は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５および外気制御弁６それぞれを適当な開度に制御する。その結果、燃焼装置１ではガス供給管２から圧送される燃焼ガスと外気供給管３から圧送されてくる外気とを適当な混合比で混合し、これを燃焼する。また、入力キー８ａを用いてこの燃焼状態を変更することもできる。そして、この燃焼により例えば還流ボイラの蒸気圧力が適当な圧力となったら燃焼を停止し、逆に還流ボイラの蒸気圧力が所定の圧力以下になったら燃焼を再開する。
【００２１】
このような燃焼の停止／再開が燃焼制御装置７で繰り返される一方で、例えば燃焼再開直前などの非燃焼制御時には燃焼制御装置７から漏れ判別制御装置１４へ非燃焼制御状態を示す信号が出力され、この非燃焼制御状態を示す信号が出力されている期間内において漏れ判別制御装置１４が動作し、第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れを検出する。
【００２２】
具体的には例えば、まず、漏れ判別制御装置１４は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９に対して全閉信号を出力する。次に、このように第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９が全閉の状態において、漏れ判別制御装置１４はマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を取得し、この検出信号に含まれる流量値が所定の漏れ検出基準値（例えば毎時１．５リットル）よりも大きいか否かを判断する。最後に、この検出流量値が漏れ検出基準値よりも大きい場合には、燃焼制御装置７に対して漏れ検出信号が出力されてそれ以降の燃焼動作が強制的に終了されるとともに漏れ表示ランプ１４ａが点灯あるいは点滅される。これにより、第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５とのうちのいずれか一方に漏れがある場合にはそれを検出することができる。
【００２３】
なお、ここでは第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５とを一度に且つ短時間で検査する場合の例について説明したが、これらを分けて個別に検査するようにしてもよい。また、この漏れ検出動作は予め設定されたタイミングで自動的に動作するようにしても、漏れ判別制御装置１４の前面のパネルのボール弁開設定スイッチ１４ｂ、ボール弁閉設定スイッチ１４ｃなどを操作することで適宜動作するようにすることもできる。
【００２４】
図４はこのような燃焼装置の一連の動作を自動実行する場合の動作例を示すフローチャートである。図において、ＳＴ１は燃焼装置１の運転開始、電源投入ステップであり、ＳＴ２は上記漏れ判別制御装置１４による第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れの検出動作を行う漏れ許容値内判別ステップであり、ＳＴ３は漏れが許容値内で無かった場合に実行されるステップであって、上記漏れ表示ランプ１４ａや表示装置８ｂにおいて警報ランプ点灯処理を行う警報ステップであり、ＳＴ４は燃焼制御装置７や漏れ判別制御装置１４がこの漏れに応じた緊急対応処理を実施する対応処理ステップである。そして、上記漏れ許容値内判別ステップＳＴ２において漏れが許容値内であると判断されるまで、以上の緊急対応処理が実施され続ける。
【００２５】
ＳＴ５は漏れ許容値内判別ステップＳＴ２において漏れが許容値内である場合に実行されるステップであって、燃焼動作を開始するためのスイッチなどがオンされる起動開始ステップであり、ＳＴ６はボール弁開設定スイッチ１４ｂの操作などに応じてボール弁９の開制御などを行う初期設定ステップであり、ＳＴ７は燃焼制御装置７の制御信号に応じて第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５、外気制御弁６などの開度制御を行う遮断弁開制御ステップであり、ＳＴ８は漏れ判別制御装置１４の流量情報表示部材１４ｄにおいて燃焼ガスの流量表示を開始する流量計測開始ステップであり、ＳＴ９はボール弁閉設定スイッチ１４ｃの操作などに応じてボール弁９の閉制御などを行う終了設定ステップであり、ＳＴ１０はボール弁９を閉制御する一方で第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５、外気制御弁６などを閉制御する終了設定ステップであり、ＳＴ１１は燃焼制御装置７における燃焼制御を終了し、電源を自動遮断する終了ステップである。
【００２６】
以上のように、この実施の形態１によれば、第一燃料制御弁４および第二燃料制御弁５を全閉制御するとともに、当該燃料制御弁４，５よりもガス供給管２の上流側に配設されたマイクロフローセンサチップ３４の検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記全閉制御した燃料制御弁４，５に漏れが生じていると判断するので、被検査対象たる燃料制御弁４，５を全閉制御すればマイクロフローセンサチップ３４の検出値に基づいて上記燃料制御弁４，５の漏れを検出することができる。
【００２７】
従って、従来のように所定時間経過後のタイミングでなければ漏れの判別を行うことができないなどの制約が無くなり、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる効果がある。実際には１分から２分程度の時間が必要であったものが１５秒程度の時間で計測することが可能となる。
【００２８】
また、燃料制御弁４，５を全閉した状態における瞬時的な流れをマイクロフローセンサチップ３４で検出しているので、従来のように空間に流体をためてその変化量を流量センサで検出したりする必要はなくなり、このような上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによらず確実に漏れを検出することができる。その結果、従来のような判別マージンを設定する必要がなくなり、マイクロフローセンサチップ３４本来の検出精度を有効に利用して、漏れを早期に且つ確実に検出することができる効果がある。そして、ガス供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合であっても安定且つ確実な漏れ判定を行うことができる。
【００２９】
更に、燃焼ガスの流量を測定するようにしているので、ガス供給管２内の圧力を一旦低下させることなく漏れを検出することができ、これを蒸気ボイラに適用した場合には最低でも約２パーセント程度の熱効率の改善効果を期待することができる効果がある。
【００３０】
この実施の形態１によれば、ガス供給管２に取り付けて当該ガス供給管２を閉塞可能なボール弁９と、当該ボール弁９の上流側と下流側とを燃焼ガスが通過可能に接続する分流管１２と、この分流管１２に設けられ、当該分流管１２中を流れる流体の流量を検出するマイクロフローセンサチップ３４と、上記ボール弁９に対して全閉制御信号を出力するとともに、当該ボール弁９の閉塞期間中に上記マイクロフローセンサチップ３４の検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別制御装置１４とを備えたので、上記ボール弁９を被検出対象たる第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の上流側に配設するとともに当該被検出対象たる第一燃料制御弁４あるいは第二燃料制御弁５を全閉制御することで、当該被検出対象たる第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の漏れを検出することができる効果がある。
【００３１】
この実施の形態１によれば、ボール弁９の閉塞期間以外のときには、マイクロフローセンサチップ３４の検出値を出力する漏れ判別制御装置１４を備えたので、通常運転中などにおいてはガス供給管２を流れる燃焼ガスの流量を当該検出値に基づいて把握することができる効果がある。
【００３２】
なお、この実施の形態１では漏れ検出の際に全閉制御される弁としてボール弁９を使用したが、本発明はこの弁に限られるものではない。
【００３３】
また、この実施の形態を説明するための参考例では図２に示すような分流孔１９，２０を設けた構成のボール弁９を使用したが、図５に示すように分流孔１９，２０を設けた構成のボール弁９であると本発明の効果を期待することができる。同図において、３６，３７はそれぞれ弁流路１６の周囲全周に渡って形成されるとともに、その弁ボール１７寄りの部位において当該弁流路１６に接続された環状空洞、３８，３９はそれぞれ弁流路１６と環状空洞３６，３７との接続位置に配設された多孔オリフィスプレートであり、各分流孔１９，２０はこの環状空洞３６，３７を介して弁流路１６に接続されている。
【００３４】
そして、このように分流孔１９，２０を環状空洞３６，３７を介して弁流路１６に接続することにより、ボール弁９の周囲に発生する乱流に起因して分流管１２に流入する燃焼ガスの流入量（すなわち分流比）が変動してしまうことを防止することができ、ひいてはマイクロフローセンサチップ３４の検出精度や検出信号の変動、流量表示の変動を抑制することができる。特に、この実施の形態１のように分流路１６に配設されたマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を利用して通常運転中の燃焼ガス流量を測定するような場合、その燃焼ガスの流量の絶対値が大きくなり、上記乱流が顕著に発生してしまうので１０％程度の測定精度の悪化が生じてしまうが、このような構造とすることによりその問題を解決することができる。
【００３５】
なお、この実施の形態１では漏れ判別制御装置１４と燃焼制御装置７との間で直接信号を交信する場合を例として説明したが、必ずしもこのような構成である必要は無く、漏れ判別制御装置１４と燃焼制御装置７とを別々の独立した制御系として形成し、燃焼制御装置７の非燃焼制御期間を認知して漏れ判別制御装置１４をマニュアル動作させることでも同様の効果を期待することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、流体が通過する流路に設けられ、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断するので、被検査対象たる流量制御弁を全閉制御すれば流量センサの検出値に基づいて上記流量制御弁の漏れを検出することができる。
【００３７】
従って、従来のように所定時間経過後のタイミングでなければ判別を行うことができないなどの制約が無くなり、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる効果がある。
【００３８】
また、流量制御弁を全閉した状態における瞬時的な流れを流量センサで検出しているので、従来のように空間に流体をためてその変化量を流量センサで検出したりする必要はなくなり、このような上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによらず確実に漏れを検出することができる。その結果、従来のような判別マージンを設定する必要がなくなり、圧力センサ本来の検出精度を有効に利用して、漏れを早期に且つ確実に検出することができる効果がある。そして、ガス供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合であっても安定且つ確実な漏れ判定を行うことができる。ひいては、プレパージをなくして空気による冷却損失を少なくすることができ、その程度は蒸気ボイラで２％ほどの効率改善が可能となるものである。
更に、流体の流量を測定するようにしているので、ガス消費量の管理ができる。
【００３９】
この発明によれば、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、当該検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを当該流体通過可能に接続する分流管と、この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えたので、上記検査用制御弁を被検出対象たる流量制御弁の上流側に配設するとともに当該被検出対象たる流量制御弁を全閉制御することで、当該被検出対象たる流量制御弁の漏れを検出することができる効果がある。それによりプレパージを無くして消費エネルギーの削減効果をも期待することができる。
【００４０】
この発明によれば、検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたので、通常運転中などにおいては当該流路を流れる流体の流量を当該検出値に基づいて把握することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１による流量制御弁の漏れ検査装置を利用した燃焼装置の構成を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態を説明するための参考例によるボール弁の構成を示す一部切欠断面図である。
【図３】この発明の実施の形態１による流量センサの構成を示す断面図である。
【図４】この発明の実施の形態１による燃焼装置の一連の動作を自動実行する場合の動作例を示すフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態１による他のボール弁の構成示す一部切欠断面図である。
【図６】従来の流量制御弁の漏れ検査機能を備えた燃焼装置の構成を示す構成図である。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a leak control method and apparatus for a flow control valve for detecting a leak of a fluid control valve provided in a flow path through which a fluid such as gas or liquid passes. The present invention relates to a leakage inspection method and apparatus for a flow control valve capable of detecting the above.
[0002]
[Prior art]
FIG. 6 is a configuration diagram showing a configuration of a combustion apparatus having a conventional flow rate control valve leakage inspection function. In the figure, reference numeral 1 denotes a combustion apparatus that mixes and burns combustion gas and outside air, 2 denotes a gas supply pipe that supplies the combustion apparatus 1 with combustion gas, and 3 denotes an outside air supply pipe that supplies the combustion apparatus 1 with outside air. Is a first fuel control valve provided in the middle of the gas supply pipe 2, 5 is a second fuel control valve provided on the downstream side of the gas supply pipe 2 from the first fuel control valve 4, and 6 is an outside air supply pipe. An external air control valve 40 provided in the middle of 3 is a combustion control device that controls the combustion of the combustion device 1 by controlling these three control valves 4, 5, and 6.
[0003]
41 is a first pressure sensor for detecting the gas pressure in the gas supply pipe 2 between the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5, and 42 is a gas upstream of the first fuel control valve 4. A second pressure sensor 43 for detecting the gas pressure in the supply pipe 2 is provided as part of the combustion control device 40, and controls the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 and these two pressure sensors 41. , 42 is a leak detection control device that detects leaks of these two fuel control valves 4, 5 in accordance with the detected pressure value.
[0004]
Next, the operation will be described.
The combustion control device 40 controls the first fuel control valve 4, the second fuel control valve 5, and the outside air control valve 6 to appropriate opening degrees, and the combustion device 1 burns a mixture of combustion gas and outside air. While such combustion is performed, the detection operation of the leakage of the first fuel control valve 4 and the leakage of the second fuel control valve 5 is executed during the combustion stop period.
[0005]
First, the first fuel control valve 4 is closed, the second fuel control valve 5 and the outside air control valve 6 are opened, and a first pressure sensor 41 between the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 is provided. Exhaust the combustion gas in the open space. Next, the second fuel control valve 5 is completely closed and then the first fuel control valve 4 is opened. After a predetermined time, it is determined whether or not the pressure value of the first pressure sensor 41 is smaller than a predetermined leakage determination value. If it is determined that there is a leak, the second fuel control valve 5 is determined to have a leak. Further, after the first fuel control valve 4 is subsequently closed, the second fuel control valve 5 is opened, and after a predetermined time, it is determined whether or not the pressure value of the first pressure sensor 41 is smaller than a predetermined leakage determination value. If it is smaller, it is determined that the first fuel control valve 4 has a leak.
[0006]
The second pressure sensor 42 is provided to determine whether or not the pressure in the gas supply pipe 2 has dropped below a predetermined detectable pressure level.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
Since the conventional flow rate control valve leakage inspection device is configured as described above, it detects that the amount of fluid in the space in which the first pressure sensor 41 is provided changes by a predetermined amount within a predetermined period. Accordingly, the leakage of the fluid control valve is determined. Therefore, there is a problem that the determination cannot be made unless the timing is after waiting for a predetermined amount of time required for a change in the amount of fluid in the space predicted when leakage occurs.
[0008]
Moreover, when actually installing such a conventional flow rate control valve leakage inspection device, the detected value after a predetermined time of the pressure sensor may vary depending on a difference from the design value of the space volume or a change in fluid pressure. Since it fluctuates, it is necessary to set the detection timing so that leakage can be reliably detected regardless of these factors. As a result, the actual leak detection accuracy deteriorates due to the margin for this fluctuation factor, and the original detection accuracy of the pressure sensor cannot be used effectively, and there is a problem that the leak cannot be detected early. . In particular, when combustion is performed using city gas that allows the supply pressure to fluctuate from 1 kPa to 2.5 kPa, stable and reliable leak determination is performed based on the pressure value of the pressure sensor. I could not.
[0009]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a leakage inspection method and apparatus capable of inspecting leakage of a flow control valve in a shorter time than before.
[0010]
At the same time, leaks can be reliably detected regardless of differences from the design value of the space volume, and leaks can be detected early by effectively using the original detection accuracy of the detection means such as pressure sensors. It is an object of the present invention to obtain a leakage inspection method and apparatus capable of performing the same.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The flow control valve leakage inspection method according to the present invention includes an inspection control valve which is attached to a flow path through which a fluid passes and can close the flow path, and the upstream and downstream valve flows of the inspection control valve. An annular cavity formed over the entire circumference of the passage, and a porous orifice provided at a connection position between the valve flow path and the annular cavity and provided on the inspection control valve side from the annular cavity. A plate, a flow dividing pipe that connects the upstream side and the downstream side of the flow path of the inspection control valve through the annular cavity so that the fluid can pass therethrough, and the flow dividing pipe provided in the flow dividing pipe. A flow rate sensor for detecting the flow rate of the fluid, and a flow rate control valve leakage inspection method for controlling the flow rate of the fluid in the flow path, wherein the flow rate control valve to be inspected is fully closed, Upstream of the flow path from the flow control valve If the detected value of the disposed flow rate sensor is greater than a predetermined leak detection reference value is to determine the leakage has occurred in the flow control valve.
[0012]
A leak control apparatus for a flow control valve according to the present invention includes an inspection control valve that is attached to a flow path through which a fluid passes and can close the flow path, and a valve flow on each of an upstream side and a downstream side of the control valve. An annular cavity formed over the entire circumference of the passage, and a porous orifice provided at a connection position between the valve flow path and the annular cavity and provided on the inspection control valve side from the annular cavity. A plate, a branch pipe connecting the upstream side and the downstream side of the flow path of the control valve for inspection through the annular cavity so as to allow the fluid to pass therethrough, and the branch pipe provided in the branch pipe and flowing in the branch pipe A flow rate sensor for detecting the flow rate of the fluid, and a leak determination means for outputting a leak detection signal when the detected value of the flow rate sensor is larger than a predetermined leak detection reference value during the closing period of the control valve for inspection. It is provided .
[0013]
The leak inspection apparatus for a flow control valve according to the present invention includes a flow output means for outputting a detection value of a flow sensor when the inspection control valve is open.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram showing the configuration of a combustion apparatus using a flow rate control valve leakage inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a combustion apparatus that mixes and burns combustion gas (fluid) and outside air (air), 2 a gas supply pipe (flow path) for supplying the combustion gas to the combustion apparatus 1, and 3 a combustion apparatus 1. An external air supply pipe for supplying external air (air) to the gas, 4 is a first fuel control valve (flow control valve) provided in the middle of the gas supply pipe 2, and 5 is a gas supply pipe 2 than the first fuel control valve 4. The second fuel control valve (flow rate control valve) provided on the downstream side, 6 is an outside air control valve provided in the middle of the outside air supply pipe 3, and 7 controls these three control valves 4, 5, 6 A combustion control device for controlling the combustion of the combustion device 1, 8 a is an input key for setting the combustion state in the combustion control device 7, and 8 b is a display device for displaying the combustion state information by the combustion device 1.
[0015]
Further, 9 is provided on the upstream side of the gas supply pipe 2 relative to the first fuel control valve 4, and a ball valve (inspection control valve) capable of closing the gas supply pipe 2, 10 is a fully open state of the ball valve 9. Is a fully open limit switch for detecting a fully open signal, and 11 is a fully closed limit switch for detecting a fully closed state of the ball valve 9 and outputting a fully closed signal, and 12 is an upstream side and a downstream side of the ball valve 9. The flow dividing sensor 13 is provided in the flow dividing pipe 12 and detects a flow rate of the fluid flowing through the flow dividing pipe 12 and outputs a flow rate signal. 14 is a leak indicator lamp 14a on the front panel and a ball. A valve opening setting switch 14b, a ball valve closing setting switch 14c, a flow rate information display member 14d and the like are provided, and the first fuel control valve 4, the second fuel control valve 5 and the ball valve 9 are controlled, and a full open signal and a full close signal are provided. Oh And a flow rate signal, and a leakage determination control device (leak determination means) for determining leakage of the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 and outputting a leakage determination signal or the like to the combustion control device 7 , Flow rate output means).
[0016]
FIG. 2 is a partially cutaway sectional view showing a configuration of a ball valve 9 according to a reference example for explaining this embodiment . In the drawing, 15 is a housing, 16 is a valve flow path established in the housing 15, 17 is formed in a substantially spherical shape, and is rotatably disposed in the middle of the valve flow path 16, and a through hole 17 a is formed. The established valve ball 18 is fixed to the housing 15 and is a motor that rotates the valve ball 17 so that the through hole 17a communicates / closes with the valve flow path 16. Then, the combustion gas can be supplied by communicating the through hole 17a of the valve ball 17 with the valve flow path 16, and the supply of the combustion gas can be stopped by closing.
[0017]
Further, the valve channel 16 is formed so that the position adjacent to the insertion position of the gas supply pipe 2 is the same as the inner diameter of the gas supply pipe 2, while the periphery where the valve ball 17 is disposed is more than that. A pair of flow dividing holes 19 and 20 to which the flow dividing pipe 12 is connected are formed at a position adjacent to the small inner diameter. In this way, by narrowing the inner diameter between them and opening a pair of flow dividing holes 19 and 20 on the side, a differential pressure is generated between the upstream side and the downstream side, so that the combustion gas flows into the valve channel 16. It can be appropriately distributed to the flow dividing pipe 12.
[0018]
FIG. 3 is a sectional view showing the structure of the flow sensor 13 according to the first embodiment of the present invention. In the figure, 21 is a body block of the flow sensor 13, 22 is a bent through hole formed so as to penetrate the body block 21 and a part of the body block 21 is exposed on one side of the body block 21, 23 and 24 are gas Pipe mounting flanges for fixing the supply pipe 2 to the main body block 21, 25 and 26 are O-rings for preventing gas leakage between the main body block 21 and the pipe mounting flanges 23 and 24, and 27 are screws 28 and 29. A sensor mounting cover screwed to the main body block 21 so as to close the bent through-hole 22, 30 and 31 are rectifier wires interposed in exposed portions of the bent through-hole 22, and 32 is an outside of the sensor mounting cover 27. The bracket 33 fixed to the side surface is exposed to the bent through hole 22 between the rectifying metal meshes 30 and 31 by the bracket 32. The sensor substrate 34 is fixed to the micro-flow sensor chip (flow sensor) 34 mounted on the exposed surface of the sensor substrate 33, and 35 is used to output the detection signal of the micro-flow sensor chip 34 to the leakage determination control device 14. Lead wire. When the combustion gas flows in the bent through hole 22 arranged between the flow dividing pipes 12 in this way, a detection signal corresponding to this flow rate is output from the microflow sensor chip 34, and based on this detection signal The calculated flow rate value of the combustion gas is displayed on the flow rate information display member 14 d of the leak discrimination detection device 14 and is transmitted to the combustion control device 7 via the leak discrimination detection device 14.
[0019]
As the micro flow sensor chip 34, for example, when a flow rate sensor having a fine diaphragm structure disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-230808 by the applicant of the present application is used, the flow rate (flow rate) is measured with high accuracy and high speed response. Can do.
[0020]
Next, the operation will be described.
With the through hole 17a of the valve ball 17 and the valve flow path 16 communicating, the combustion control device 7 sets the first fuel control valve 4, the second fuel control valve 5 and the outside air control valve 6 to appropriate opening degrees. Control. As a result, the combustion apparatus 1 mixes the combustion gas pressure-fed from the gas supply pipe 2 and the outside air pressure-fed from the outside air supply pipe 3 at an appropriate mixing ratio, and burns it. The combustion state can also be changed using the input key 8a. Then, for example, when the steam pressure of the reflux boiler becomes an appropriate pressure by this combustion, the combustion is stopped, and conversely, when the steam pressure of the reflux boiler becomes a predetermined pressure or less, the combustion is resumed.
[0021]
While the combustion control device 7 repeats such stop / restart of combustion, a signal indicating a non-combustion control state is output from the combustion control device 7 to the leakage determination control device 14 at the time of non-combustion control, for example, immediately before restarting combustion. During the period when the signal indicating the non-combustion control state is output, the leakage determination control device 14 operates to detect leakage of the first fuel control valve 4 and leakage of the second fuel control valve 5.
[0022]
Specifically, for example, first, the leakage determination control device 14 outputs a fully closed signal to the first fuel control valve 4, the second fuel control valve 5, and the ball valve 9. Next, when the first fuel control valve 4, the second fuel control valve 5, and the ball valve 9 are fully closed in this way, the leak discrimination control device 14 acquires the detection signal of the microflow sensor chip 34, and this detection It is determined whether the flow rate value included in the signal is greater than a predetermined leak detection reference value (for example, 1.5 liters per hour). Finally, when the detected flow rate value is larger than the leak detection reference value, a leak detection signal is output to the combustion control device 7, the subsequent combustion operation is forcibly terminated, and the leak display lamp 14a. Lights up or flashes. Thereby, when there is a leak in one of the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5, it can be detected.
[0023]
Here, an example in which the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 are inspected at a time in a short time has been described, but these may be separately inspected. Further, even if this leakage detection operation is automatically performed at a preset timing, the ball valve opening setting switch 14b, the ball valve closing setting switch 14c, etc. on the front panel of the leakage determination control device 14 are operated. Thus, the operation can be appropriately performed.
[0024]
FIG. 4 is a flowchart showing an operation example in the case of automatically executing a series of operations of such a combustion apparatus. In the figure, ST1 is an operation start and power-on step of the combustion apparatus 1, and ST2 is a leak for detecting the leak of the first fuel control valve 4 and the leak of the second fuel control valve 5 by the leak discrimination control device 14. ST3 is an in-tolerance determination step, and ST3 is a step that is executed when the leak is not within the tolerable value, and is an alarm step for performing an alarm lamp lighting process in the leak display lamp 14a and the display device 8b. Is a response processing step in which the combustion control device 7 and the leak determination control device 14 perform an emergency response process in response to the leak. The emergency response process described above continues to be performed until it is determined in step ST2 that the leakage is within the allowable value.
[0025]
ST5 is a step that is executed when the leak is within the allowable value in the leak allowable value determination step ST2, and is a start-up step in which a switch for starting the combustion operation is turned on, and ST6 is a ball valve. ST7 is an initial setting step for performing the opening control of the ball valve 9 according to the operation of the opening setting switch 14b. ST7 is the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 according to the control signal of the combustion control device 7. ST8 is a shutoff valve opening control step for controlling the opening degree of the outside air control valve 6 and the like, and ST8 is a flow rate measurement starting step for starting the flow rate display of the combustion gas in the flow rate information display member 14d of the leakage discrimination control device 14, and ST9. Is an end setting step for controlling the closing of the ball valve 9 in accordance with the operation of the ball valve closing setting switch 14c, and ST10 controls the closing of the ball valve 9. On the other hand, it is an end setting step in which the first fuel control valve 4, the second fuel control valve 5, the outside air control valve 6 and the like are closed, and ST11 ends the combustion control in the combustion control device 7 and automatically shuts off the power supply. It is a step.
[0026]
As described above, according to the first embodiment, the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 are fully closed and the upstream side of the gas supply pipe 2 with respect to the fuel control valves 4 and 5. When the detection value of the microflow sensor chip 34 disposed in the valve is larger than a predetermined leak detection reference value, it is determined that the fuel control valves 4 and 5 that have been fully closed are leaking, so If the target fuel control valves 4 and 5 are fully closed, leakage of the fuel control valves 4 and 5 can be detected based on the detected value of the microflow sensor chip 34.
[0027]
Therefore, there is no restriction that leakage cannot be determined unless the timing after a predetermined time elapses as in the prior art, and there is an effect that the leakage can be detected in a shorter time than in the prior art. Actually, the time required for about 1 to 2 minutes can be measured in about 15 seconds.
[0028]
Further, since the instantaneous flow in the state where the fuel control valves 4 and 5 are fully closed is detected by the microflow sensor chip 34, the fluid is accumulated in the space as in the conventional case, and the amount of change is detected by the flow sensor. Therefore, it is possible to reliably detect a leak regardless of the difference from the design value of the space volume or the fluctuation of the fluid pressure. As a result, there is no need to set a discrimination margin as in the prior art, and there is an effect that leakage can be detected early and reliably by effectively using the original detection accuracy of the microflow sensor chip 34. And even if it is a case where it burns using city gas which allows gas supply pressure to fluctuate from 1kPa to 2.5kPa, it can perform stable and reliable leak judgment.
[0029]
Furthermore, since the flow rate of the combustion gas is measured, it is possible to detect a leak without once reducing the pressure in the gas supply pipe 2, and when this is applied to a steam boiler, at least about 2 is detected. There is an effect that an improvement effect of about a percent thermal efficiency can be expected.
[0030]
According to the first embodiment, the ball valve 9 attached to the gas supply pipe 2 and capable of closing the gas supply pipe 2 is connected to the upstream side and the downstream side of the ball valve 9 so that the combustion gas can pass therethrough. A shunt pipe 12, a microflow sensor chip 34 that is provided in the shunt pipe 12 and detects the flow rate of the fluid flowing through the shunt pipe 12, and outputs a fully closed control signal to the ball valve 9, Since the ball valve 9 is provided with a leak discrimination control device 14 that outputs a leak detection signal when the detected value of the microflow sensor chip 34 is larger than a predetermined leak detection reference value during the closing period of the ball valve 9, the ball valve 9 is disposed upstream of the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5 as the detection target, and the first fuel control valve 4 or the second fuel control valve 5 as the detection target is fully closed. With that There is an effect that it is possible to detect leakage of 該被 detected serving the first fuel control valve 4 and the second fuel control valve 5.
[0031]
According to the first embodiment, the leakage determination control device 14 that outputs the detection value of the microflow sensor chip 34 is provided when the ball valve 9 is not in the closed period, so that the gas supply pipe 2 is provided during normal operation or the like. There is an effect that the flow rate of the combustion gas flowing through can be grasped based on the detected value.
[0032]
In the first embodiment, the ball valve 9 is used as a valve that is fully closed when leakage is detected. However, the present invention is not limited to this valve.
[0033]
Further, in the reference example for explaining this embodiment, the ball valve 9 having the flow dividing holes 19 and 20 as shown in FIG. 2 is used . However , as shown in FIG. the effect of the present invention and Ru ball valve 9 der structure provided can be expected. In the figure, reference numerals 36 and 37 are formed over the entire circumference of the valve flow path 16, respectively, and annular cavities 38 and 39 connected to the valve flow path 16 at portions close to the valve ball 17 are respectively shown. It is a perforated orifice plate disposed at a connection position between the valve flow path 16 and the annular cavities 36 and 37, and each of the flow dividing holes 19 and 20 is connected to the valve flow path 16 via the annular cavities 36 and 37. .
[0034]
Then, by connecting the flow dividing holes 19 and 20 to the valve flow path 16 through the annular cavities 36 and 37 in this way, the combustion flowing into the flow dividing pipe 12 due to the turbulent flow generated around the ball valve 9. It is possible to prevent the amount of gas inflow (that is, the diversion ratio) from fluctuating, and as a result, the detection accuracy of the microflow sensor chip 34, fluctuations in detection signals, and fluctuations in flow rate display can be suppressed. In particular, when the flow rate of the combustion gas during normal operation is measured using the detection signal of the microflow sensor chip 34 disposed in the branch channel 16 as in the first embodiment, the flow rate of the combustion gas is determined. Since the absolute value becomes large and the turbulent flow is remarkably generated, the measurement accuracy is deteriorated by about 10%. However, such a structure can solve the problem.
[0035]
In the first embodiment, the case where the signal is directly communicated between the leakage determination control device 14 and the combustion control device 7 has been described as an example. However, such a configuration is not necessarily required, and the leakage determination control device is not necessarily required. 14 and the combustion control device 7 are formed as separate and independent control systems, and the same effect can be expected by manually operating the leakage determination control device 14 by recognizing the non-combustion control period of the combustion control device 7. it can.
[0036]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, there is provided a leakage inspection method for a flow rate control valve that is provided in a flow path through which a fluid passes and that controls the flow rate of the fluid in the flow path. The valve is fully closed, and when the detection value of the flow sensor disposed upstream of the flow control valve is larger than a predetermined leak detection reference value, the flow control valve is leaked. Since it is determined that it has occurred, leakage of the flow control valve can be detected based on the detection value of the flow sensor if the flow control valve to be inspected is fully closed.
[0037]
Therefore, there is no restriction that the determination cannot be made unless the timing has elapsed after a predetermined time as in the prior art, and there is an effect that the leak can be detected in a shorter time than in the prior art.
[0038]
In addition, since the instantaneous flow in the state where the flow control valve is fully closed is detected by the flow sensor, there is no need to store the fluid in the space and detect the change amount by the flow sensor as in the past. Leakage can be reliably detected regardless of the difference from the design value of the space volume and the fluctuation of fluid pressure. As a result, there is no need to set a discrimination margin as in the prior art, and there is an effect that leakage can be detected early and reliably by effectively using the detection accuracy inherent in the pressure sensor. And even if it is a case where it burns using city gas which allows gas supply pressure to fluctuate from 1kPa to 2.5kPa, it can perform stable and reliable leak judgment. As a result, the pre-purge can be eliminated and the cooling loss due to air can be reduced, and the efficiency can be improved by about 2% with a steam boiler.
Furthermore, since the flow rate of the fluid is measured, the gas consumption can be managed.
[0039]
According to the present invention, the inspection control valve that can be attached to the flow path through which the fluid passes and close the flow path, and the upstream side and the downstream side of the flow path of the inspection control valve can pass the fluid. A flow dividing sensor connected to the flow dividing pipe, a flow sensor provided in the flow dividing pipe for detecting the flow rate of the fluid flowing through the flow dividing pipe, and a detection value of the flow sensor detected during a closing period of the control valve for inspection. When it is larger than the reference value, there is provided a leakage determination means for outputting a leakage detection signal, so that the inspection control valve is disposed upstream of the flow control valve as the detection target and the flow rate as the detection target By fully closing the control valve, there is an effect that it is possible to detect the leakage of the flow control valve that is the detection target. As a result, the pre-purge can be eliminated and an effect of reducing energy consumption can be expected.
[0040]
According to the present invention, since the flow rate output means for outputting the detection value of the flow rate sensor is provided when the inspection control valve is open, the flow rate of the fluid flowing through the flow path during the normal operation or the like is determined. There is an effect that can be grasped based on.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a combustion apparatus that uses a leakage control device for a flow control valve according to Embodiment 1 of the present invention;
FIG. 2 is a partially cutaway cross-sectional view showing the configuration of a ball valve according to a reference example for explaining an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of a flow sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 4 is a flowchart showing an operation example when a series of operations of the combustion apparatus according to Embodiment 1 of the present invention is automatically executed.
FIG. 5 is a partially cutaway sectional view showing the configuration of another ball valve according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 6 is a configuration diagram showing a configuration of a combustion apparatus having a conventional flow rate control valve leakage inspection function.

Claims

An inspection control valve that is attached to a flow path through which a fluid passes and can close the flow path, and an annular cavity formed around the entire circumference of each of the upstream and downstream valve flow paths of the inspection control valve A porous orifice plate disposed at a connection position between the valve flow path and the annular cavity, and provided on the inspection control valve side from the annular cavity, and the flow path of the inspection control valve. A flow dividing pipe that connects the upstream side and the downstream side through the annular cavity so that the fluid can pass therethrough, and a flow rate sensor that is provided in the flow dividing pipe and detects the flow rate of the fluid flowing through the flow dividing pipe, A flow inspection valve leakage inspection method for controlling the flow rate of fluid in the flow path,
When the flow control valve to be inspected is fully closed and the detection value of the flow sensor disposed upstream of the flow control valve is larger than a predetermined leak detection reference value A leakage inspection method for a flow control valve that determines that a leak has occurred in the flow control valve.

A control valve for inspection that can be attached to the flow path through which the fluid passes and close the flow path;
An annular cavity formed over the entire circumference of each valve flow path on the upstream side and downstream side of the control valve for inspection;
A multi-hole orifice plate disposed at a connection position between the valve flow path and the annular cavity, and provided on the inspection control valve side from the annular cavity;
A branch pipe connecting the upstream side and the downstream side of the flow path of the control valve for inspection through the annular cavity so that the fluid can pass therethrough,
A flow rate sensor that is provided in the shunt pipe and detects a flow rate of the fluid flowing in the shunt pipe;
A leak control apparatus for a flow control valve, comprising: a leak determination means for outputting a leak detection signal when a detection value of the flow sensor is larger than a predetermined leak detection reference value during a closing period of the control valve for inspection.

3. The flow rate control valve leakage inspection device according to claim 2, further comprising flow rate output means for outputting a detection value of the flow rate sensor when the inspection control valve is open.