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JP4461037B2 - Photosensitive resin composition and photosensitive resin laminate using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive resin laminate using the same Download PDF

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JP4461037B2
JP4461037B2 JP2005032798A JP2005032798A JP4461037B2 JP 4461037 B2 JP4461037 B2 JP 4461037B2 JP 2005032798 A JP2005032798 A JP 2005032798A JP 2005032798 A JP2005032798 A JP 2005032798A JP 4461037 B2 JP4461037 B2 JP 4461037B2
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meth
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acrylate
polymer
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博幸 高宮
輝美 鈴木
耕一郎 中原
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Nichigo Morton Co Ltd
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Nichigo Morton Co Ltd
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Description

本発明は、プリント配線板等に用いられる液状ソルダーレジスト、あるいはドライフィルムタイプのソルダーレジストに用いられる感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性樹脂積層体、さらに詳しくは、フレキシブルプリント配線板のソルダーマスク用レジストとして有用な、導体回路への追従性、可撓性、現像性、解像性、半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性、電気絶縁性、難燃性に優れた感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性樹脂積層体に関するものである。   The present invention relates to a liquid solder resist used for a printed wiring board or the like, or a photosensitive resin composition used for a dry film type solder resist and a photosensitive resin laminate using the same, and more specifically, a flexible printed wiring board. Useful as a solder mask resist, conductive circuit followability, flexibility, developability, resolution, solder heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, electrical insulation, and flame resistance The present invention relates to a resin composition and a photosensitive resin laminate using the same.

近年、携帯電話やデジタルカメラ等の小型電子機器を中心に、プリント配線板を折り曲げて組み込むという、いわゆるフレキシブルプリント配線板(FPC)の使用が増加してきている。   In recent years, the use of so-called flexible printed wiring boards (FPC), in which printed wiring boards are folded and incorporated, has been increasing mainly in small electronic devices such as mobile phones and digital cameras.

上記FPCも、従来のリジッドタイプのプリント配線板と同様、半田によって部品実装を行うという工程を経由するが、この際、FPCの回路部分を保護し、その後の絶縁性等の特性も兼ね備えた永久保護膜としての機能を有するカバー層が用いられている。このようなカバー層形成材料として、例えば、接着剤層が設けられたポリイミド樹脂からなるカバーレイフィルムや、耐熱性や絶縁性等を有する液状物質を印刷するカバーコートインク等があげられる。これらカバー層形成材料は、FPCに使用されることから、折り曲げ実装に耐えうる可撓性を有することが要求される。   Like the conventional rigid type printed wiring board, the FPC also goes through a process of component mounting by soldering. At this time, the FPC circuit portion is protected and has permanent characteristics such as insulation. A cover layer having a function as a protective film is used. Examples of such a cover layer forming material include a cover lay film made of a polyimide resin provided with an adhesive layer, a cover coat ink for printing a liquid material having heat resistance, insulation, and the like. Since these cover layer forming materials are used for FPC, they are required to have flexibility to withstand bending mounting.

しかし、上記カバーレイフィルムを用いた場合、半田付け部分を金型で打ち抜く工程を経由しなければならず、煩雑かつ高コストとなるという問題を有している。一方、カバーコートインクの場合は、印刷工程を経由するため、溶剤による環境負荷や、膜厚制御が困難である、さらにスルーホールをテンティングできないため予め埋め込みをしなければならない、現像残渣が生じやすい等の問題を有している。   However, when the cover lay film is used, it has to go through a process of punching out the soldered portion with a mold, which has a problem that it is complicated and expensive. On the other hand, in the case of cover coat ink, since it goes through the printing process, it is difficult to control the environmental load due to the solvent and the film thickness. Further, since the through hole cannot be tented, a development residue that must be embedded in advance is generated. It has problems such as easy.

このような点から、最近では、カバーコートとしての性能を有するソルダーマスク対応の感光性樹脂積層体を用いることが提案されている。上記感光性樹脂積層体としては、例えば、支持体表面に感光性樹脂組成物からなる層が形成された感光性フィルムが用いられている。   From such a point, recently, it has been proposed to use a photosensitive resin laminated body corresponding to a solder mask having performance as a cover coat. As the photosensitive resin laminate, for example, a photosensitive film in which a layer made of a photosensitive resin composition is formed on a support surface is used.

このような感光性樹脂組成物として、スチレンと無水マレイン酸から形成された主鎖を含む、バインダーポリマーに、特定のアクリレート官能性ウレタンオリゴマーと特定のエポキシアクリレートオリゴマーとアクリレート官能性オリゴマーとを含む光画像形成性化合物と、アミノブラストと、光開始剤を含む光画像形成性組成物が提案されている(特許文献1参照)。
特開2000−47381号公報
As such a photosensitive resin composition, light containing a specific acrylate functional urethane oligomer, a specific epoxy acrylate oligomer, and an acrylate functional oligomer in a binder polymer including a main chain formed from styrene and maleic anhydride. A photoimageable composition containing an imageable compound, aminoblast, and a photoinitiator has been proposed (see Patent Document 1).
JP 2000-47381 A

しかしながら、上記組成物では、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性等の特性全てをより高度に満足させるまでにはいたっておらず、より高い次元において満足のいくものが要求されているのが実情である。   However, the above composition does not satisfy all of the characteristics such as flexibility, followability to a conductor circuit, developability, solder heat resistance, and the like, and it is required to satisfy a higher level. It is the actual situation.

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性の全てにおいて優れ、さらには、解像性、耐溶剤性、耐アルカリ性、電気絶縁性にも優れた特性を示す感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性樹脂積層体の提供をその目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and is excellent in all of flexibility, followability to a conductor circuit, developability, solder heat resistance, and further, resolution, solvent resistance, alkali resistance, It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition exhibiting excellent electrical insulation properties and a photosensitive resin laminate using the same.

上記の目的を達成するために、本発明は、下記の(A)〜(D)を含有する感光性樹脂組成物を第1の要旨とする。
(A1)重量平均分子量が100,000〜250,000で、かつ酸価50〜250mgKOH/gのカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー。
(A2)重量平均分子量が5,000〜50,000で、かつ酸価40〜160mgKOH/gを有し、側鎖にエチレン性不飽和基を0.3〜3.5mmol/g含有するカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー。
(B)エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分。
(C)光重合開始剤。
(D)アミノ樹脂。
In order to achieve the above object, the present invention has a first gist of a photosensitive resin composition containing the following (A) to (D).
(A1) A carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of 100,000 to 250,000 and an acid value of 50 to 250 mgKOH / g.
(A2) A carboxyl group having a weight average molecular weight of 5,000 to 50,000, an acid value of 40 to 160 mgKOH / g, and containing 0.3 to 3.5 mmol / g of ethylenically unsaturated groups in the side chain Containing (meth) acrylic functional polymer.
(B) A (meth) acrylic monomer component having an ethylenically unsaturated group.
(C) Photopolymerization initiator.
(D) Amino resin.

また、本発明は、感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルムが積層され、上記感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムが積層されてなる感光性樹脂積層体であって、上記感光性樹脂組成物層が、上記感光性樹脂組成物を用いて形成されたものである感光性樹脂積層体を第2の要旨とする。   The present invention is also a photosensitive resin laminate in which a support film is laminated on one side of the photosensitive resin composition layer and a protective film is laminated on the other side of the photosensitive resin composition layer, The photosensitive resin laminated body in which the photosensitive resin composition layer is formed using the said photosensitive resin composition is made into the 2nd summary.

すなわち、本発明者らは、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性、さらには解像性、耐溶剤性、耐アルカリ性、電気絶縁性の全てにおいてより高度な条件で満足のいく感光性樹脂積層体を得るべく、その層形成材料である感光性樹脂組成物を中心に鋭意研究を重ねた。その結果、高分子量となる特定のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)と、中低分子量となる特定のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)を併用してなるポリマー成分(A)を用いると、上記A1により高い成形性と可撓性が付与され、かつ上記A2により導体回路に対する高い追従性と、現像性が付与され、しかも上記A2には側鎖に特定量のエチレン性不飽和基を有することから、より一層強固な架橋が形成され、半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性が向上することを見出し、本発明に到達した。より詳しく説明すると、ポリマーとして上記A1のみを使用した場合には、高い成形性、可撓性を得るには良いが、他の成分との相溶性が得難い、現像性が悪くなる傾向にあったり、導体回路に追従させるためのラミネート条件として温度を上げたり、時間を長くする等で対応する必要があるという問題がある。一方、上記A2のみを使用した場合には、導体回路への追従性や現像性が良くなり、しかも半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性が向上する傾向にあるが、例えば、永久レジストとしての強度に耐え難いという問題がある。また、比較的高温で導体回路にラミネートしてしまった場合に、導体回路上のレジスト膜厚が薄くなり、半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性に劣ってしまうことがあった。このことから、本発明は、上記A1とA2の各々特定のポリマーを併用することによって、両者の長所を生かしつつ、短所を補い合うことができ所望の効果を得ることができるのである。   That is, the present inventors are satisfied under higher conditions in all of flexibility, followability to a conductor circuit, developability, solder heat resistance, and further resolution, solvent resistance, alkali resistance, and electrical insulation. In order to obtain a light-sensitive photosensitive resin laminate, intensive research was repeated focusing on the photosensitive resin composition as the layer forming material. As a result, a polymer comprising a specific carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) having a high molecular weight and a specific carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2) having a medium to low molecular weight. When component (A) is used, high moldability and flexibility are imparted by A1, and high followability to a conductive circuit and developability are imparted by A2, and A2 has a specific amount in the side chain. Thus, the present inventors have found that further solid cross-linking is formed and the solder heat resistance, solvent resistance, and alkali resistance are improved. More specifically, when only the above A1 is used as a polymer, it is good for obtaining high moldability and flexibility, but it is difficult to obtain compatibility with other components, and the developability tends to deteriorate. However, there is a problem that it is necessary to cope with the increase in temperature or the time as a lamination condition for following the conductor circuit. On the other hand, when only the above A2 is used, the followability to the conductive circuit and the developability are improved, and the solder heat resistance, solvent resistance, and alkali resistance tend to be improved. There is a problem that it is difficult to withstand the strength. Further, when laminated on a conductor circuit at a relatively high temperature, the resist film thickness on the conductor circuit becomes thin, and the solder heat resistance, solvent resistance, and alkali resistance may be inferior. Thus, in the present invention, by using the specific polymers of A1 and A2 in combination, the disadvantages can be compensated while taking advantage of both, and a desired effect can be obtained.

このように、本発明の感光性樹脂組成物は、特定の高分子量ポリマー(A1)と特定の中低分子量ポリマー(A2)を主成分とするポリマー成分(A)、エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)、光重合開始剤(C)およびアミノ樹脂(D)を含有してなるため、可撓性、導体回路への追従性,現像性,解像性,半田耐熱性,耐溶剤性,耐アルカリ性,電気絶縁性に優れている。したがって、この感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト用感光性樹脂組成物として有用である。そして、支持体フィルムと保護フィルムとの間に、この特殊な感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層が形成されてなる感光性樹脂積層体は、当然ながら、優れた可撓性、導体回路への追従性,現像性,解像性,半田耐熱性,耐溶剤性,耐アルカリ性,電気絶縁性を実現することから、この感光性樹脂積層体は、ソルダーレジスト用積層体として有用である。   Thus, the photosensitive resin composition of the present invention has a polymer component (A) mainly composed of a specific high molecular weight polymer (A1) and a specific medium to low molecular weight polymer (A2), and an ethylenically unsaturated group. Since it contains (meth) acrylic monomer component (B), photopolymerization initiator (C) and amino resin (D), it has flexibility, followability to conductor circuits, developability, resolution, solder Excellent heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, and electrical insulation. Therefore, this photosensitive resin composition is useful as a photosensitive resin composition for solder resist. And the photosensitive resin laminated body in which the photosensitive resin composition layer which consists of this special photosensitive resin composition is formed between a support body film and a protective film is naturally excellent flexibility, This photosensitive resin laminate is useful as a solder resist laminate because it achieves followability to conductor circuits, developability, resolution, solder heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, and electrical insulation. is there.

そして、上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)として、一般式(1)で表されるウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)を含有すると、さらに可撓性が良好になる。   When the urethane (meth) acrylate compound (B1) represented by the general formula (1) is contained as the (meth) acrylic monomer component (B) having the ethylenically unsaturated group, the flexibility is further improved. become.

また、上記ポリマー成分(A)の含有量が、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の特定の範囲に設定されていると、導体回路に対する追従性が特に向上する。   Moreover, when content of the said polymer component (A) is set to the specific range of the whole photosensitive resin composition except a solvent, the followable | trackability with respect to a conductor circuit improves especially.

さらに、上記(A)〜(D)に加えて、特定のリン系化合物(E)を含有すると、従来の難燃剤であるハロゲン化合物かつアンチモン化合物を用いずとも優れた難燃性が付与されるようになる。   Furthermore, in addition to the above (A) to (D), when a specific phosphorus compound (E) is contained, excellent flame retardancy is imparted without using a halogen compound and an antimony compound, which are conventional flame retardants. It becomes like this.

そして、本発明の感光性樹脂積層体の保護フィルムの感光性樹脂組成物層積層面側の表面平均粗さ(Ra)を1.0以上とした場合にも、ラミネート時の空気抜けが良好となり導体回路への追従性がより一層向上する。   And even when the surface average roughness (Ra) on the photosensitive resin composition layer lamination surface side of the protective film of the photosensitive resin laminate of the present invention is 1.0 or more, air escape during lamination is good. The followability to the conductor circuit is further improved.

つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明の感光性樹脂組成物は、2種類の特定のポリマーを主成分とするポリマー成分(A)と、エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)と、光重合開始剤(C)と、アミノ樹脂(D)とを用いて得ることができる。そして、本発明は、上記高分子化合物(A)として、分子量の異なる2種類のポリマーを用いることが最大の特徴である。なお、本発明において、(メタ)アクリルとは、アクリル,メタクリルの双方を意味しており、これらを総称して「(メタ)アクリル」と記載する。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises a polymer component (A) mainly composed of two kinds of specific polymers, a (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, and photopolymerization initiation. It can be obtained using the agent (C) and the amino resin (D). The present invention is most characterized in that two types of polymers having different molecular weights are used as the polymer compound (A). In the present invention, (meth) acryl means both acryl and methacryl, and these are collectively referred to as “(meth) acryl”.

上記ポリマー成分(A)は、分子量の異なる2種類の特定のポリマー(A1,A2)を主成分とするものである。なお、本発明において、主成分とするとは、ポリマー成分(A)が上記分子量の異なる2種類の特定のポリマー(A1,A2)のみからなる場合も含める趣旨である。   The polymer component (A) is mainly composed of two types of specific polymers (A1, A2) having different molecular weights. In the present invention, the main component includes the case where the polymer component (A) is composed of only two kinds of specific polymers (A1, A2) having different molecular weights.

上記分子量の異なる2種類の特定のポリマー(A1,A2)のうち、一つは、重量平均分子量(Mw)が100,000〜250,000で、かつ酸価50〜250mgKOH/gのカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)であり、このカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)を用いることにより、高い成形性および優れた可撓性を付与することが可能となる。そして、もう一つは、重量平均分子量(Mw)が10,000〜80,000で、かつ酸価50〜250mgKOH/gを有し、側鎖にエチレン性不飽和基を0.3〜3.5mmol/g含有するカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)であり、各成分の相溶性の向上と、導体回路に対する優れた追従性と、高い現像性ならびに導体回路への埋め込み後における表面平滑性の向上を付与することが可能となる。しかも、上記エチレン性不飽和基を有するため、より一層強固な架橋構造を形成することが可能となり、さらに優れた半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性等が得られる。   Among the two specific polymers (A1, A2) having different molecular weights, one contains a carboxyl group having a weight average molecular weight (Mw) of 100,000 to 250,000 and an acid value of 50 to 250 mgKOH / g By using this carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1), which is a (meth) acrylic polymer (A1), high moldability and excellent flexibility can be imparted. The other has a weight average molecular weight (Mw) of 10,000 to 80,000, an acid value of 50 to 250 mgKOH / g, and an ethylenically unsaturated group in the side chain of 0.3 to 3. A carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2) containing 5 mmol / g, improved compatibility of each component, excellent followability to the conductor circuit, high developability and after embedding in the conductor circuit It is possible to impart an improvement in surface smoothness. And since it has the said ethylenically unsaturated group, it becomes possible to form a much stronger bridge | crosslinking structure, and also more excellent solder heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, etc. are obtained.

上記重量平均分子量(Mw)が100,000〜250,000の範囲である高分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)としては、例えば、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体があげられ、さらに好ましくは(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルとスチレンの共重合体があげられる。   Examples of the high molecular weight carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) having a weight average molecular weight (Mw) in the range of 100,000 to 250,000 include (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid. An ester copolymer is exemplified, and a copolymer of (meth) acrylic acid, (meth) acrylic ester and styrene is more preferred.

上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。   Examples of the (meth) acrylic acid ester include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, Examples include cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

そして、上記共重合体のなかでも、可撓性、導体回路への追従性の点でホモポリマー(単独重合体)のガラス転移温度(Tg)が20℃以下となる(メタ)アクリル酸エステルと、透明性・現像性などの点からメチルメタクリレートとメタクリル酸とを含んだ共重合体、好ましくはさらにスチレンをも含んだ共重合体であることが好ましい。ガラス転移温度(Tg)20℃以下のモノマーの一例として、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチルアクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート等があげられる。   Among the above copolymers, (meth) acrylic acid ester having a homopolymer (homopolymer) having a glass transition temperature (Tg) of 20 ° C. or less in terms of flexibility and followability to a conductor circuit From the viewpoints of transparency and developability, a copolymer containing methyl methacrylate and methacrylic acid, preferably a copolymer further containing styrene is preferable. Examples of monomers having a glass transition temperature (Tg) of 20 ° C. or lower include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, hydroxyethyl Examples thereof include acrylate and hydroxypropyl acrylate.

また、上記カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)の重量平均分子量(Mw)は、先に述べたように、100,000〜250,000の範囲でなければならず、特に好ましくは120,000〜200,000である。すなわち、重量平均分子量(Mw)が100,000未満では可撓性に劣る傾向がみられ、逆に250,000を超えると現像性が低下して解像度の低下を招いたり、現像後に残渣が出やすくなる傾向がみられるからである。   Further, as described above, the weight average molecular weight (Mw) of the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) must be in the range of 100,000 to 250,000, particularly preferably 120. , 000-200,000. That is, when the weight average molecular weight (Mw) is less than 100,000, flexibility tends to be inferior. Conversely, when the weight average molecular weight (Mw) is more than 250,000, developability is deteriorated and resolution is deteriorated, or a residue is generated after development. This is because it tends to be easier.

そして、上記カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)としては、先に述べたように、酸価50〜250mgKOH/gでなければならず、特に好ましくは酸価120〜240mgKOH/gである。すなわち、酸価が50mgKOH/g未満ではレジスト現像性が不充分となる傾向がみられ、250mgKOH/gを超えるとレジストパターンの細線密着性が悪くなる傾向がみられるからである。   The carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) must have an acid value of 50 to 250 mgKOH / g, particularly preferably an acid value of 120 to 240 mgKOH / g, as described above. . That is, when the acid value is less than 50 mgKOH / g, the resist developability tends to be insufficient, and when it exceeds 250 mgKOH / g, the fine line adhesion of the resist pattern tends to deteriorate.

つぎに、上記高分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)とともに用いられる、重量平均分子量(Mw)が5,000〜50,000の範囲である中低分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)は、側鎖にエチレン性不飽和基を0.3〜3.5mmol/g含有することを特徴とする。このようなカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)としては、カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーにエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて、官能性ポリマー(A2)中のエチレン性不飽和基量が0.3〜3.5mmol/gとなるように調製したポリマーがあげられる。上記エチレン性不飽和基量としては、好ましくは1.0〜3.2mmol/g、特に好ましくは1.5〜3.2mmol/gである。すなわち、エチレン性不飽和基量が0.3mmol/g未満ではレジストパターンの細線密着性が劣り、3.5mmol/gを越えると他のレジスト成分との相溶性が劣ったり、可撓性が劣るからである。   Next, a medium and low molecular weight carboxyl group-containing (meta) having a weight average molecular weight (Mw) in the range of 5,000 to 50,000, which is used together with the high molecular weight carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1). ) The acrylic functional polymer (A2) is characterized by containing 0.3 to 3.5 mmol / g of ethylenically unsaturated groups in the side chain. As such a carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2), a compound having an ethylenically unsaturated group is allowed to react with the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer, and the functional polymer (A2) The polymer prepared so that the amount of ethylenically unsaturated groups may be 0.3 to 3.5 mmol / g. The amount of the ethylenically unsaturated group is preferably 1.0 to 3.2 mmol / g, particularly preferably 1.5 to 3.2 mmol / g. That is, when the amount of the ethylenically unsaturated group is less than 0.3 mmol / g, the fine line adhesion of the resist pattern is inferior, and when it exceeds 3.5 mmol / g, the compatibility with other resist components is inferior or the flexibility is inferior. Because.

このようなカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)としては、例えば、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体、(メタ)アクリル酸エステルとスチレンと(メタ)アクリル酸の共重合体等に、エチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて得られる。   As such a carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2), for example, a copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylic acid ester and styrene, ) It can be obtained by reacting an acrylic acid copolymer or the like with a compound having an ethylenically unsaturated group.

上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、先に述べたと同様、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。   As said (meth) acrylic acid ester, as described above, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2- Examples include ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

そして、上記のなかでも、耐熱性,耐薬品性の観点から、メチルメタクリレート/n−ブチルメタクリレート/メタクリル酸の共重合体、メチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/メタクリル酸が好ましい。   Among these, from the viewpoint of heat resistance and chemical resistance, a copolymer of methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / methacrylic acid and methyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate / methacrylic acid are preferable.

上記エチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物、イソシアネート基含有不飽和化合物、イソホロンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物とジエチレングリコールモノメタクリレート等の水酸基含有不飽和化合物との反応物等があげられる。上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物としては、1分子中に1個のラジカル重合性の不飽和基と脂環式エポキシ基とを有する化合物であればよく、例えば下記の一般式(2)〜(13)で表される化合物やグリシジル(メタ)アクリレートがあげられる。これら一般式において、Rは水素またはメチル基を示し、Rは−〔(CO)x CHX(CHX)y O〕z −(ただし、xは0または1、yは0〜9の整数、zは1〜10の整数、X、Xは水素またはメチル基)を示す。そして、一般式(2)〜(13)で表される化合物の中でも製造面や反応時の安定性の点から、一般式(2)で表される化合物、あるいはグリシジルメタクリレートを用いることが好ましい。 Examples of the compound having an ethylenically unsaturated group include an alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound, an isocyanate group-containing unsaturated compound, a diisocyanate compound such as isophorone diisocyanate, and a hydroxyl group-containing unsaturated compound such as diethylene glycol monomethacrylate. And reactants. As said alicyclic epoxy group containing unsaturated compound, what is necessary is just a compound which has one radical polymerizable unsaturated group and alicyclic epoxy group in 1 molecule, for example, following General formula (2) The compound represented by-(13) and glycidyl (meth) acrylate are mentioned. In these general formulas, R 1 represents hydrogen or a methyl group, R 2 represents — [(CO) x CHX 1 (CHX 2 ) y O] z — (where x is 0 or 1, y is 0 to 9) An integer, z represents an integer of 1 to 10, and X 1 and X 2 represent hydrogen or a methyl group. Of the compounds represented by the general formulas (2) to (13), it is preferable to use the compound represented by the general formula (2) or glycidyl methacrylate from the viewpoint of production and stability during reaction.

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上記カルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)は、例えば、つぎのようにして作製される。すなわち、カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーを、メチルエチルケトン,トルエン,キシレン,酢酸エチル,イソプロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶媒中に溶解し、触媒として、ナフテン酸,ラウリル酸,ステアリン酸,オクトエン酸のリチウム塩,クロム塩,ジルコニウム塩,カリウム塩,ナトリウム塩,スズ塩等のカルボン酸の金属塩等を用いて、カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー中のカルボキシル基と上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物のエポキシ基を、30〜80℃で1〜20時間の条件で反応させればよく、その時の反応の割合は、カルボキシル基の40〜80モル%、さらには50〜70モル%程度に設定すればよい。   The carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2) is produced, for example, as follows. That is, a carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer is dissolved in a solvent such as methyl ethyl ketone, toluene, xylene, ethyl acetate, isopropanol, propylene glycol monomethyl ether, and naphthenic acid, lauric acid, stearic acid, octoenoic acid is used as a catalyst. Using a metal salt of a carboxylic acid such as a lithium salt, chromium salt, zirconium salt, potassium salt, sodium salt, tin salt, and the like, and a carboxyl group in the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer and the alicyclic epoxy group What is necessary is just to make the epoxy group of a contained unsaturated compound react on the conditions for 1 to 20 hours at 30-80 degreeC, and the ratio of the reaction at that time is 40-80 mol% of a carboxyl group, Furthermore, 50-70 mol% What is necessary is just to set to about.

このような上記カルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)の重量平均分子量(Mw)は、先に述べたように、5,000〜50,000の範囲でなければならず、特に好ましくは8,000〜40,000である。すなわち、重量平均分子量(Mw)が5,000未満では、可撓性に劣る傾向がみられ、逆に50,000を超えると導体回路への追従性が劣ったり、前記カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)との相溶性に劣り、レジストパターンの平滑性が劣る傾向がみられたり、導体回路へ埋め込み後の表面平滑性に劣る傾向がみられるからである。   The weight average molecular weight (Mw) of the carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2) must be in the range of 5,000 to 50,000, as described above. Preferably it is 8,000-40,000. That is, when the weight average molecular weight (Mw) is less than 5,000, flexibility tends to be inferior, and conversely, when it exceeds 50,000, the followability to the conductor circuit is inferior, and the carboxyl group-containing (meta) This is because the compatibility with the acrylic polymer (A1) is inferior and the smoothness of the resist pattern tends to be inferior, or the surface smoothness after embedding in a conductor circuit tends to be inferior.

そして、上記カルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)としては、先に述べたように、酸価40〜160mgKOH/gでなければならず、特に好ましくは酸価45〜145mgKOH/gである。すなわち、酸価が40mgKOH/g未満ではレジスト剥離性に劣る傾向がみられ、160mgKOH/gを超えるとカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)との相溶性が悪くなり、レジストパターンの平滑性が劣る傾向がみられるからである。   The carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2) must have an acid value of 40 to 160 mgKOH / g, particularly preferably an acid value of 45 to 145 mgKOH / g, as described above. It is. That is, when the acid value is less than 40 mg KOH / g, the resist peelability tends to be inferior, and when it exceeds 160 mg KOH / g, the compatibility with the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) is deteriorated, and the resist pattern is smooth. This is because the tendency to be inferior is seen.

上記高分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)と中低分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)との併用割合は、重量比で、A1/A2=30/70〜75/25の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくはA1/A2=40/60〜70/30の範囲である。   The combined ratio of the high molecular weight carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) and the medium to low molecular weight carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2) is A1 / A2 = 30 by weight. It is preferable to set in the range of / 70 to 75/25, particularly preferably in the range of A1 / A2 = 40/60 to 70/30.

そして、本発明において、ポリマー成分(A)には、上記高分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A1)と中低分子量のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー(A2)の2種類の(メタ)アクリル系ポリマーを用いる場合に、各々1種の組み合わせに限らず、A1を1種以上とA2を1種以上との組み合わせであっても構わない。   In the present invention, the polymer component (A) includes the high molecular weight carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A1) and the medium and low molecular weight carboxyl group-containing (meth) acrylic functional polymer (A2). When two types of (meth) acrylic polymers are used, the combination is not limited to one type of each, but may be a combination of one or more types of A1 and one or more types of A2.

上記ポリマー成分(A)の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の25〜45重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは導体回路への追従性の点から30〜40重量%である。すなわち、25重量%未満では、導体回路間への感光性樹脂組成物の埋め込み性は良好になる傾向となるものの、感光性樹脂組成物を用いて積層体を作製した場合には、感光性樹脂層のべたつきが大きくなり過ぎて、導体回路へのラミネート時に空気が入り易くなってしまったり、感光性樹脂積層体をロール状で保管する際に、皺がつき易かったり、端面から感光性樹脂組成物層の滲み出し易い等により、保管性が悪くなったり、スルーホールをテンティングするための充分な強度を確保できずに破れてしまう傾向にあったり、レジストが柔らか過ぎて導体回路への積層時にレジストが流れて配線上に絶縁層の厚さを充分に形成することが困難となり、半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性等が低下する傾向がみられる。逆に、45重量%を超えると、基板と感光性樹脂組成物との間に空間が形成され易くなり、充分な絶縁性を確保することが困難となったり、この空間が原因となって、感光性樹脂層が基材から剥がれ易くなったりする傾向がみられるからである。   The content of the polymer component (A) is preferably set in the range of 25 to 45% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, particularly preferably 30 to 40 from the viewpoint of followability to the conductor circuit. % By weight. That is, if it is less than 25% by weight, the embedding property of the photosensitive resin composition between conductor circuits tends to be good, but when a laminate is produced using the photosensitive resin composition, the photosensitive resin The stickiness of the layer becomes too large, making it easier for air to enter when laminating to the conductor circuit, and when storing the photosensitive resin laminate in roll form, it tends to be wrinkled, or the photosensitive resin composition from the end face Due to easy exudation of material layers, storage stability is poor, there is a tendency to break without securing sufficient strength for tenting through holes, or the resist is too soft to be laminated on conductor circuits Occasionally, the resist flows and it is difficult to sufficiently form the insulating layer on the wiring, and the solder heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, etc. tend to be reduced. On the contrary, if it exceeds 45% by weight, it becomes easy to form a space between the substrate and the photosensitive resin composition, and it becomes difficult to ensure sufficient insulation, or due to this space, This is because the photosensitive resin layer tends to peel off from the substrate.

上記ポリマー成分(A)とともに用いられるエチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)としては、特に限定するものではなく、エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマーであればよい。そして、このようなモノマー成分を2種以上の複数種用いることが好ましい。このように複数種用いることにより、半田耐熱性、可撓性、耐薬品性等をバランス良く付与することが出来るからである。   The (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group used together with the polymer component (A) is not particularly limited, and is a (meth) acrylic monomer having an ethylenically unsaturated group. I just need it. And it is preferable to use 2 or more types of such monomer components. This is because by using a plurality of types in this manner, solder heat resistance, flexibility, chemical resistance and the like can be imparted in a balanced manner.

上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)としては、ウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)を用いることができる。エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)は、後述の光重合開始剤(C)の作用により、硬化性を持たせるために重要なものであるが、上記ウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)を用いることにより可撓性に関しても優れたものが得られるようになり好ましい。このようなウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)としては、具体的には、下記の一般式(1)で表されるウレタン(メタ)アクリレート化合物があげられる。この一般式(1)で表されるウレタン(メタ)アクリレート化合物を用いることにより、優れた可撓性に加えて良好な現像性が付与されるようになる。   As the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, a urethane (meth) acrylate compound (B1) can be used. The (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group is important for imparting curability by the action of the photopolymerization initiator (C) described later. ) It is preferable to use an acrylate compound (B1) because an excellent product in terms of flexibility can be obtained. Specific examples of the urethane (meth) acrylate compound (B1) include urethane (meth) acrylate compounds represented by the following general formula (1). By using the urethane (meth) acrylate compound represented by the general formula (1), good developability is imparted in addition to excellent flexibility.

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上記一般式(1)において、Rはメチル基が好ましく、Xは−CHCHO−が好ましく、Yは−CHCH(CH)O−が好ましい。 In the general formula (1), R is preferably a methyl group, X is preferably —CH 2 CH 2 O—, and Y is preferably —CH 2 CH (CH 3 ) O—.

上記一般式(1)において、Zで表される炭素数2〜20の2価の炭化水素基としては、例えば、−(CH−の他、下記に示すものがあげられる。なかでも、−(CH−が好ましい。 In the general formula (1), examples of the divalent hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms represented by Z include the followings in addition to — (CH 2 ) 6 —. Of these, — (CH 2 ) 6 — is preferable.

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上記一般式(1)において、kは10〜20の整数が好ましく、mは3〜6の整数が好ましく、nは3〜6の整数が好ましい。   In the general formula (1), k is preferably an integer of 10 to 20, m is preferably an integer of 3 to 6, and n is preferably an integer of 3 to 6.

上記一般式(1)で表されるウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)の重量平均分子量(Mw)は、1900〜3500の範囲が好ましく、特に好ましくは2400〜3000である。   The weight average molecular weight (Mw) of the urethane (meth) acrylate compound (B1) represented by the general formula (1) is preferably in the range of 1900 to 3500, particularly preferably 2400 to 3000.

そして、上記一般式(1)で表されるウレタン(メタ)アクリレート化合物(B2)のなかでも、R=−CH、X=−CHCHO−、Y=−CHCH(CH)O−、Z=−(CH−、k=15、m=6、n=4で表される化合物が特に好ましい。 And among the urethane (meth) acrylate compounds (B2) represented by the general formula (1), R = —CH 3 , X = —CH 2 CH 2 O—, Y = —CH 2 CH (CH 3 ) O—, Z = — (CH 2 ) 6 —, k = 15, m = 6, n = 4 are particularly preferred.

この上記ウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)を用いる場合の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の1〜20重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは導体回路への追従性の点から1.5〜10重量%である。すなわち、1重量%未満では、レジスト硬化後の可撓性付与の効果に乏しく、20重量%を超えると、半田耐熱性、耐薬品性に劣る傾向がみられるからである。   The content in the case of using the urethane (meth) acrylate compound (B1) is preferably set in the range of 1 to 20% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, particularly preferably to the conductor circuit. From the point of followability, it is 1.5 to 10% by weight. That is, if it is less than 1% by weight, the effect of imparting flexibility after curing the resist is poor, and if it exceeds 20% by weight, the solder heat resistance and chemical resistance tend to be inferior.

さらに、上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)としては、上記ウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)以外の化合物を用いてもよく、耐熱性,耐薬品性を考慮して、2官能以上の化合物を上記ウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)と併用してもよい。上記2官能以上の化合物としては、例えば、1分子中にOH基を少なくとも2個含有するエポキシ(メタ)アクリレート化合物を用いることができる。上記エポキシ(メタ)アクリレート化合物を用いることにより、高温反応(加熱硬化)の結果、高度な架橋を付与することが可能となり、優れた耐熱性および耐溶剤性が得られるようになる。そして、上記エポキシ(メタ)アクリレート化合物の中でも、ビスフェノールA変性タイプのエポキシアクリレートを用いることが、耐熱性の点から好ましい。このようなビスフェノールA変性タイプのエポキシアクリレートとしては、具体的には、ダイセルUCB社製の「Ebecryl 」シリーズの600系統である645,648や、3412,3500,3700系統の3701等、新中村化学工業社製のEA−1020,1025,1026,1028等があげられる。これら化合物は単独でもしくは2種以上併せて用いられる。   Further, as the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, a compound other than the urethane (meth) acrylate compound (B1) may be used, taking into consideration heat resistance and chemical resistance. Then, a bifunctional or higher functional compound may be used in combination with the urethane (meth) acrylate compound (B1). As the bifunctional or higher compound, for example, an epoxy (meth) acrylate compound containing at least two OH groups in one molecule can be used. By using the epoxy (meth) acrylate compound, as a result of the high temperature reaction (heat curing), it is possible to impart a high degree of cross-linking, and excellent heat resistance and solvent resistance can be obtained. And among the said epoxy (meth) acrylate compounds, it is preferable from a heat resistant point to use the bisphenol A modified | denatured type epoxy acrylate. Specific examples of such bisphenol A-modified epoxy acrylates include Shinbetsu UCB's “Ebecryl” series 600 series 645,648, 3412,3500, 3700 series 3701, etc. EA-1020,1025,1026,1028 etc. made from an industrial company are mention | raise | lifted. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

この上記エポキシ(メタ)アクリレート化合物を用いる場合の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の3〜40重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは導体回路への追従性の点から7.5〜30重量%である。すなわち、3重量%未満では、半田耐熱性に劣る傾向がみられ、40重量%を超えると、可撓性が低下する傾向がみられるからである。   The content in the case of using the epoxy (meth) acrylate compound is preferably set in the range of 3 to 40% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, and particularly preferably the followability to the conductor circuit. From the point, it is 7.5 to 30% by weight. That is, if it is less than 3% by weight, the solder heat resistance tends to be inferior, and if it exceeds 40% by weight, the flexibility tends to decrease.

さらに、本発明において、上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)として、上記ウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)およびエポキシ(メタ)アクリレート化合物以外に、さらに他のエチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分を用いてもよい。他のエチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分としては、特に限定するものではないが、耐熱性および耐薬品性を考慮すると、2官能以上の多官能の化合物を用いることが好ましい。具体的には、エチレンオキサイド変性ビスフェノールAジアクリレート、トリメチロールプロパントリプロポキシトリ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸変性ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサメチルジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2′−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2′−ビス(4−(メタ)アクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパン、2,2′−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート等の多官能モノマーがあげられる。また、上記多官能モノマーとともに単官能モノマーを適当量併用することもでき、このような単官能モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルアミド等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。   Furthermore, in the present invention, as the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, in addition to the urethane (meth) acrylate compound (B1) and the epoxy (meth) acrylate compound, another ethylene A (meth) acrylic monomer component having a polymerizable unsaturated group may be used. The (meth) acrylic monomer component having another ethylenically unsaturated group is not particularly limited, but in view of heat resistance and chemical resistance, it is preferable to use a bifunctional or higher polyfunctional compound. . Specifically, ethylene oxide-modified bisphenol A diacrylate, trimethylolpropane tripropoxy tri (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol Di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (meth) acrylate , Glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) a Relate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diglycidyl phthalate di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid modified neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, 1,6-hexa Methyl diglycidyl ether di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, pentaerythritol tetra ( (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 2,2'-bis (4- (meth) acryloxydiethoxyphenyl) Propane, 2,2'-bis (4- (meth) acryloxypentaethoxyphenyl) propane, 2,2'-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3- (meta And polyfunctional monomers such as acryloyloxypropyl acrylate and trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate. In addition, an appropriate amount of a monofunctional monomer can be used in combination with the polyfunctional monomer. Examples of such a monofunctional monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- Hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycerin mono ( Examples include meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl acid phosphate, phthalic acid derivative half (meth) acrylate, and N-methylol (meth) acrylamide. These may be used alone or in combination of two or more.

上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)全体の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の40〜60重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは42〜58重量%である。すなわち、40重量%未満では、硬化後の半田耐熱性、耐薬品性に劣る傾向がみられる。逆に、60重量%を超えると、感光性樹脂組成物層のべたつきが大きくなり過ぎて、導体回路へのラミネート時に空気が入り易くなってしまったり、ロール状で保管する際に皺がつき易くなる等の問題が出易くなる傾向がみられるからである。   The total content of the (meth) acrylic monomer component (B) having the ethylenically unsaturated group is preferably set in the range of 40 to 60% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, particularly preferably. Is 42 to 58% by weight. That is, if it is less than 40% by weight, there is a tendency that solder heat resistance and chemical resistance after curing are inferior. On the contrary, if it exceeds 60% by weight, the stickiness of the photosensitive resin composition layer becomes too large, and it becomes easy for air to enter when laminating to a conductor circuit, or it is easy to be wrinkled when stored in a roll form. This is because there is a tendency that problems such as becoming easier to occur.

上記ポリマー成分(A)およびエチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)とともに用いられる光重合開始剤(C)としては、特に限定するものではなく従来公知のものが用いられる。例えば、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、チオキサントン類(2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン等)、キノン類、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モリフォルノプロパン−1−オン、9−フェニルアクリジン等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。これらのなかでも、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モリフォルノプロパン−1−オン、9−フェニルアクリジン、2,4−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、2,4−ジエチルチオキサントンが好適であり、特には2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モリフォルノプロパン−1−オンと9−フェニルアクリジンと2,4−ジエチルチオキサントンの併用、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モリフォルノプロパン−1−オンとベンジルジメチルケタールと2,4−ジエチルチオキサントンの併用が好ましい。   The photopolymerization initiator (C) used together with the polymer component (A) and the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group is not particularly limited and conventionally known ones are used. . For example, benzoin ether, benzyl ketals, acetophenones, benzophenones, thioxanthones (2-isopropylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, etc.), quinones, 2-methyl-1 -[4- (methylthio) phenyl] -2-morifornopropan-1-one, 9-phenylacridine and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morifornopropan-1-one, 9-phenylacridine, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethyl ketal, 2,4- Diethylthioxanthone is preferred, particularly 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morfornopropan-1-one, 9-phenylacridine and 2,4-diethylthioxanthone, The combined use of methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morifornopropan-1-one, benzyldimethyl ketal and 2,4-diethylthioxanthone is preferred.

上記光重合開始剤(C)の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の1.5〜15重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは2.5〜10重量%である。すなわち、1.5重量%未満では、感度が不充分となり上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)の充分な硬化が行われない傾向がみられ、逆に、15重量%を超えると、解像性に劣る等の不良がみられる傾向がみられるからである。   The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably set in the range of 1.5 to 15% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, particularly preferably 2.5 to 10% by weight. is there. That is, when the amount is less than 1.5% by weight, the sensitivity becomes insufficient and the (meth) acrylic monomer component (B) having the ethylenically unsaturated group tends not to be cured sufficiently. This is because when the amount exceeds wt%, defects such as inferior resolution are observed.

上記ポリマー成分(A),エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)および光重合開始剤(C)とともに用いられるアミノ樹脂(D)は、高温(例えば、135℃以上)で熱架橋剤としての作用を奏し、耐熱性,耐溶剤性等を付与するために重要な構成成分である。このようなアミノ樹脂(D)としては、アミノ基含有化合物であれば特に限定するものではないが、メラミン樹脂化合物を用いることが好ましい。具体的には、UCB社製の「Resimene」シリーズ、CYTEC社製の「サイメル」シリーズ等があげられる。   The amino resin (D) used together with the polymer component (A), the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group and the photopolymerization initiator (C) has a high temperature (eg, 135 ° C. or higher). It is an important component for exerting an effect as a thermal crosslinking agent and imparting heat resistance, solvent resistance and the like. The amino resin (D) is not particularly limited as long as it is an amino group-containing compound, but a melamine resin compound is preferably used. Specific examples include the “Resimene” series manufactured by UCB, the “Cymel” series manufactured by CYTEC, and the like.

上記アミノ樹脂(D)の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の1〜15重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは2.5〜10重量%である。すなわち、1重量%未満では、半田耐熱性や耐溶剤性に劣る傾向がみられ、逆に、15重量%を超えると、可撓性の低下がみられたり、使用時に臭気が問題となる傾向がみられるからである。   The content of the amino resin (D) is preferably set in the range of 1 to 15% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, particularly preferably 2.5 to 10% by weight. That is, if the amount is less than 1% by weight, the solder heat resistance and the solvent resistance tend to be inferior. On the other hand, if the amount exceeds 15% by weight, the flexibility is lowered, and the odor tends to be a problem during use. This is because of

本発明においては、上記ポリマー成分(A),エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B),光重合開始剤(C)およびアミノ樹脂(D)に加えて、1分子中にフェノキシ基を少なくとも4個含有するリン系化合物(E)を用いることができる。このリン系化合物(E)を用いることにより、高い難燃性を付与することが可能となる。ここでいうフェノキシ基とは、ベンゼン環に酸素原子が付いた構造であり、ベンゼン環に置換基があっても差し支えない。このようなリン系化合物(E)としては、リン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物等があげられる。   In the present invention, in addition to the polymer component (A), the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, the photopolymerization initiator (C) and the amino resin (D), A phosphorus compound (E) containing at least four phenoxy groups can be used. By using this phosphorus compound (E), high flame retardancy can be imparted. The phenoxy group here is a structure in which an oxygen atom is attached to the benzene ring, and there may be a substituent on the benzene ring. Examples of such phosphorus compounds (E) include phosphate ester compounds and phosphazene compounds.

上記リン酸エステル化合物としては、芳香族縮合リン酸エステル類を用いることが好ましい。   As the phosphate compound, aromatic condensed phosphates are preferably used.

上記ホスファゼン化合物としては、ジフェノキシホスファゼンの3〜7員環構造の化合物、ポリジフェノキシホスファゼン等があげられる。   Examples of the phosphazene compound include diphenoxyphosphazene having a 3- to 7-membered ring structure, polydiphenoxyphosphazene, and the like.

これらリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物は、単独でもしくは2種以上併せて用いられる。   These phosphate ester compounds and phosphazene compounds are used alone or in combination of two or more.

上記リン系化合物(E)の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の1〜40重量%の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは物性のバランスを考慮して1.5〜20重量%である。   The content of the phosphorus compound (E) is preferably set in the range of 1 to 40% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, particularly preferably 1.5 to 1.5 in consideration of the balance of physical properties. 20% by weight.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物には、上記ポリマー成分(A)、エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)、光重合開始剤(C)、アミノ樹脂(D)、さらにはリン系化合物(E)に加えて、顔料、染料、酸化防止剤、密着付与剤、光吸収剤、レベリング剤、上記リン系化合物(E)以外の難燃剤、充填剤、消泡剤等の他の添加剤を必要に応じて適宜配合することができる。このような他の添加剤の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の0.01〜20重量%程度の範囲に設定することが好ましい。   Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention includes the polymer component (A), a (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, a photopolymerization initiator (C), an amino resin (D ), And in addition to the phosphorus compound (E), pigments, dyes, antioxidants, adhesion promoters, light absorbers, leveling agents, flame retardants other than the phosphorus compound (E), fillers, antifoaming Other additives such as an agent can be appropriately blended as necessary. The content of such other additives is preferably set in a range of about 0.01 to 20% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記ポリマー成分(A)、エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)、光重合開始剤(C)、アミノ樹脂(D)さらにはリン系化合物(E)、および必要に応じて他の添加剤を配合し、混合することにより調製することができる。そして、後述の感光性樹脂積層体の作製に際しての使用時には、有機溶剤を用いて所定の濃度となるよう混合し調製して用いられる。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises the polymer component (A), a (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group, a photopolymerization initiator (C), an amino resin (D), and It can prepare by mix | blending and mixing a phosphorus compound (E) and another additive as needed. And at the time of use at the time of preparation of the below-mentioned photosensitive resin laminated body, it mixes and prepares so that it may become a predetermined density | concentration using an organic solvent, and is used.

上記有機溶剤としては、特に限定するものではないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル等があげられ、これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。そして、その濃度としては、後述の感光性樹脂積層体の作製に際して適用される工法、粘度に応じて適宜設定されるが、通常、固形分35〜60重量%の範囲である。
Examples of the organic solvent include, but are not limited to, acetone, methyl ethyl ketone, methanol, isopropyl alcohol, propylene glycol monoethyl ether, ethyl acetate, butyl acetate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Used. And as the density | concentration, although suitably set according to the construction method applied at the time of preparation of the below-mentioned photosensitive resin laminated body, and a viscosity, it is the range of 35 to 60 weight% of solid content normally.

本発明では、上記感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂積層体があげられる。上記感光性樹脂積層体としては、感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルム(キャリアフィルム)が積層形成されるとともに、感光性樹脂組成物層の他面には保護フィルム(カバーフィルム)が積層形成された3層構造の感光性樹脂積層体があげられる。   In this invention, the photosensitive resin laminated body which uses the said photosensitive resin composition is mention | raise | lifted. As the photosensitive resin laminate, a support film (carrier film) is laminated and formed on one side of a photosensitive resin composition layer obtained using the photosensitive resin composition. A photosensitive resin laminate having a three-layer structure in which a protective film (cover film) is laminated is formed on the surface.

上記支持体フィルムとしては、透明で可撓性を有するものであれば特に限定するものではなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等のポリエステルフィルムや、延伸ポリプロピレン(OPP)フィルム等があげられ、好ましくはPETフィルムである。   The support film is not particularly limited as long as it is transparent and flexible, and examples thereof include a polyester film such as a polyethylene terephthalate (PET) film, an oriented polypropylene (OPP) film, and the like. A PET film is preferred.

上記保護フィルムは、感光性樹脂積層体である感光性フィルムをロール状にして用いる場合に、粘着性を有する感光性樹脂組成物層の支持体フィルムへの転着等を防止する目的で使用されるものであり、例えば、ポリエチレン(PE)フィルム、PETフィルム、ポリプロピレンフィルム(OPP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ナイロンフィルム等があげられ、好ましくはPEフィルムである。さらに、保護フィルムの感光性樹脂組成物層積層面側の表面の平均粗さ(Ra)が1.0以上となるものを用いることが好ましい。通常、その上限は、Ra=3.0である。すなわち、このような表面平均粗さ(Ra)のものを用いることにより、その粗さ面となる凹凸面が感光性樹脂組成物層(レジスト)に転写されるため、導体回路上に上記感光性樹脂積層体をラミネートする際に、保護フィルムを剥がして、転写された凹凸面を導体回路面に対峙されて接触させ、真空ラミネート機を用いてラミネートすると、空気の抜けが良好となり、導体回路への追従性が良好となり好ましい。そして、上記表面平均粗さ(Ra)が1.0未満では、レジストに対する凹凸面の転写が不充分となる傾向がみられる。なお、上記表面平均粗さ(Ra)は、JIS−B−0601に示されるように、粗さ曲線の面積を測定長さで除した平均高さである。   The protective film is used for the purpose of preventing transfer of the photosensitive resin composition layer having adhesiveness to the support film when the photosensitive film which is a photosensitive resin laminate is used in a roll shape. For example, a polyethylene (PE) film, a PET film, a polypropylene film (OPP), a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, a polyvinyl alcohol film, a nylon film and the like can be mentioned, and a PE film is preferable. Furthermore, it is preferable to use a protective film having an average roughness (Ra) of 1.0 or more on the photosensitive resin composition layer lamination surface side. Usually, the upper limit is Ra = 3.0. That is, by using a material having such a surface average roughness (Ra), the uneven surface as the roughness surface is transferred to the photosensitive resin composition layer (resist). When laminating the resin laminate, the protective film is peeled off, the transferred uneven surface is brought into contact with the conductor circuit surface, and lamination is performed using a vacuum laminator. This is preferable because the following ability is good. When the surface average roughness (Ra) is less than 1.0, there is a tendency that transfer of the uneven surface to the resist becomes insufficient. In addition, the said surface average roughness (Ra) is an average height which remove | divided the area of the roughness curve by the measurement length, as shown by JIS-B-0601.

本発明の感光性樹脂積層体は、例えば、つぎのようにして作製することができる。すなわち、上記支持体フィルムの片面に、本発明の上記感光性樹脂組成物を均一に塗工した後、乾燥することにより感光性樹脂組成物層を形成する。ついで、上記感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムを加圧積層することにより、感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルムが、また感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムがそれぞれ積層されてなる3層構造の感光性樹脂積層体を作製することができる。   The photosensitive resin laminate of the present invention can be produced, for example, as follows. That is, the photosensitive resin composition layer is formed by uniformly coating the photosensitive resin composition of the present invention on one surface of the support film and then drying. Next, a support film is laminated on the other side of the photosensitive resin composition layer by pressurizing and laminating a protective film on one side of the photosensitive resin composition layer, and a protective film on the other side of the photosensitive resin composition layer. A photosensitive resin laminate having a three-layer structure in which each is laminated can be produced.

本発明の感光性樹脂積層体において、感光性樹脂組成物層の厚みは、銅配線の厚みにより変わるが、80μm以下が好ましく、特に好ましくは20〜60μmである。すなわち、感光性樹脂組成物層の厚みが80μmを超えると、パターン露光時にレジスト下部の硬化性が甘く密着不良を生じたり、充分な解像度を得ることが困難となるからである。   In the photosensitive resin laminate of the present invention, the thickness of the photosensitive resin composition layer varies depending on the thickness of the copper wiring, but is preferably 80 μm or less, particularly preferably 20 to 60 μm. That is, if the thickness of the photosensitive resin composition layer exceeds 80 μm, the curability of the lower part of the resist is poor during pattern exposure, resulting in poor adhesion or difficulty in obtaining sufficient resolution.

また、上記支持体フィルムの厚みは、好ましくは15〜21μmである。すなわち、15μm未満では、感光性樹脂積層体自体の耐性に劣り、支持フィルム引き剥がしの際に破れやすくなる傾向がみられ、逆に21μmを超えると、支持体フィルムが硬くなり、その硬さに起因して、回路に対する感光性樹脂組成物層の追従性に劣る傾向がみられ好ましくないからである。そして、上記保護フィルムの厚みは、通常、10〜50μmであり、好ましくは18〜35μmである。   The thickness of the support film is preferably 15 to 21 μm. That is, if it is less than 15 μm, the resistance of the photosensitive resin laminate itself is inferior and tends to be easily broken when the support film is peeled off. Conversely, if it exceeds 21 μm, the support film becomes hard, This is because the photosensitive resin composition layer tends to be inferior in followability to the circuit, which is not preferable. And the thickness of the said protective film is 10-50 micrometers normally, Preferably it is 18-35 micrometers.

本発明の感光性樹脂積層体は、例えば、フレキシブルプリント配線板(FPC)はもちろん、リジッド基板を用いた配線板のカバーレイ、ソルダーレジストとして有用で、リードフレーム等の製造や、金属の精密加工等にも用いられる。また、感光性樹脂積層体とせずに、直接、回路上等に塗るインクとして使用することもできる。   The photosensitive resin laminate of the present invention is useful as, for example, a flexible printed wiring board (FPC) as well as a wiring board cover lay and solder resist using a rigid substrate. Etc. Moreover, it can also be used as an ink applied directly on a circuit etc. without using a photosensitive resin laminate.

本発明の感光性樹脂積層体を用いたフレキシブルプリント配線板の製法について、以下に説明する。   The manufacturing method of the flexible printed wiring board using the photosensitive resin laminated body of this invention is demonstrated below.

〔ラミネート〕
感光性積層体によって画像を形成させるには、感光性樹脂組成物層から保護フィルムを剥離した後、その感光性樹脂組成物層の表面を、FPC等の導体回路が形成された基板の配線面にラミネータを用いて貼り合わせる。この際、真空ラミネータを用いると、導体回路への追従性が非常に高くなる。
〔laminate〕
In order to form an image with the photosensitive laminate, the protective film is peeled off from the photosensitive resin composition layer, and then the surface of the photosensitive resin composition layer is formed on the wiring surface of the substrate on which a conductor circuit such as FPC is formed. Laminate together. At this time, if a vacuum laminator is used, the followability to the conductor circuit becomes very high.

〔露光〕
ついで、上記感光性樹脂組成物層の反対側面の支持体フィルム上にパターンマスクを直接接触(密着)させて露光する。また、プロキシミティ露光、投影露光の場合は、パターンマスクを非接触状態として露光する。さらに、パターンマスクを使用せずにレーザーを用いたダイレクトイメージング(直接露光)を行ってもよい。上記露光は、通常、紫外線(UV)照射により行い、その際の光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカルランプ、アルゴンレーザー等が用いられる。
〔exposure〕
Next, the pattern mask is directly contacted (adhered) on the support film on the opposite side of the photosensitive resin composition layer and exposed. In the case of proximity exposure and projection exposure, the pattern mask is exposed in a non-contact state. Furthermore, direct imaging (direct exposure) using a laser may be performed without using a pattern mask. The exposure is usually performed by ultraviolet (UV) irradiation, and as a light source at that time, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a carbon arc lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, a chemical lamp, an argon laser, or the like is used.

〔現像〕
露光後は、上記感光性樹脂組成物層上の支持体フィルムを引き剥がしてから未露光部分(未硬化部)を現像によって溶解・分散除去する。上記感光性樹脂組成物が稀アルカリ現像型である場合、現像液には、炭酸ソーダ、炭酸カリウム等のアルカリ濃度0.3〜2重量%程度の稀薄水溶液を用いる。上記現像に際しては、均一圧力でスプレーする方法が、解像、密着の安定性の観点から好ましい。なお、上記アルカリ水溶液中には、界面活性剤,消泡剤や、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。そして、現像後は、水洗を充分に行い、乾燥させる。
〔developing〕
After the exposure, the support film on the photosensitive resin composition layer is peeled off, and the unexposed portion (uncured portion) is dissolved and dispersed by development. When the photosensitive resin composition is a dilute alkali development type, a dilute aqueous solution having an alkali concentration of about 0.3 to 2% by weight such as sodium carbonate or potassium carbonate is used as the developer. In the development, a method of spraying at a uniform pressure is preferable from the viewpoint of resolution and adhesion stability. In the alkaline aqueous solution, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for promoting development, and the like may be mixed. And after development, it is sufficiently washed with water and dried.

〔UV(紫外線)キュア〕
表面硬化性、半田耐熱性、耐薬品性等の特性を高めるために、現像後の乾燥を充分に行った後、UVキュア(後露光)を行うことが効果的である。UVキュアは、通常、0.5〜10J/cm2 にて使用される。これによって、残存する上記エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)の反応および光重合開始剤(C)の失活が行われる。
[UV (ultraviolet) cure]
In order to enhance properties such as surface curability, solder heat resistance, and chemical resistance, it is effective to perform UV curing (post-exposure) after sufficiently drying after development. UV cure is usually used at 0.5 to 10 J / cm 2 . Thereby, the reaction of the remaining (meth) acrylic monomer component (B) having the ethylenically unsaturated group and the deactivation of the photopolymerization initiator (C) are performed.

〔熱キュア〕
表面硬化性、半田耐熱性、耐薬品性等の特性をさらに高めるために、さらなる架橋反応工程を経由させる。この熱キュアとなる架橋反応工程では、通常、135〜175℃で20〜120分間保持することが行われる。
[Heat cure]
In order to further enhance characteristics such as surface curability, solder heat resistance, and chemical resistance, a further crosslinking reaction step is performed. In the cross-linking reaction step that becomes the thermal cure, holding at 135 to 175 ° C. for 20 to 120 minutes is usually performed.

このようにしてカバーレイが形成されたFPCは、その後、半田付け等によって部品が実装された後、携帯電話やデジタルカメラ等の各種小型電子機器に組み込まれる。   The FPC in which the coverlay is formed in this manner is then mounted on various small electronic devices such as a mobile phone and a digital camera after components are mounted by soldering or the like.

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。   Next, examples will be described together with comparative examples.

まず、下記に示す材料を準備した。   First, the following materials were prepared.

〔カルボキシル基含有ポリマー(A1)〕
(A1−a)
メチルメタクリレート/n−ブチルメタクリレート/スチレン/メタクリル酸=45/15/15/25(重量比)の割合で重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=168,000、酸価163mgKOH/g)。なお、重量平均分子量Mwは、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)装置を用い、乾燥ポリマーのTHF(テトラヒドロフラン)溶解液を、ポリスチレン基準で測定した値である。
[Carboxyl group-containing polymer (A1)]
(A1-a)
Carboxyl group-containing polymer polymerized at a ratio of methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / styrene / methacrylic acid = 45/15/15/25 (weight ratio) (weight average molecular weight Mw = 168,000, acid value 163 mgKOH / g ). The weight average molecular weight Mw is a value obtained by measuring a THF (tetrahydrofuran) solution of a dry polymer on a polystyrene basis using a GPC (gel permeation chromatography) apparatus.

〔カルボキシル基含有官能性ポリマー(A2)〕
(A2−a)
メチルメタクリレート/n−ブチルメタクリレート/メタクリル酸=20/27/53(重量比)の割合で重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=16,800、酸価345mgKOH/g)の45%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液に、下記の一般式(2)で表される脂環式エポキシ基含有不飽和化合物〔式(2)において、Rは水素、Rは−CHO−である。〕を、上記カルボキシル基含有ポリマー中のカルボキシル基の68モル%に反応させて得られたカルボキシル基含有官能性ポリマー(重量平均分子量Mw=28,000、酸価63mgKOH/g、エチレン性不飽和基量2.4mmol/g)。
[Carboxyl group-containing functional polymer (A2)]
(A2-a)
45% of carboxyl group-containing polymer (weight average molecular weight Mw = 16,800, acid value 345 mgKOH / g) obtained by polymerization at a ratio of methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / methacrylic acid = 20/27/53 (weight ratio) In the propylene glycol monomethyl ether solution, an alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound represented by the following general formula (2) [In the formula (2), R 1 is hydrogen and R 2 is —CH 2 O—. ] Is reacted with 68 mol% of the carboxyl group in the carboxyl group-containing polymer (carboxyl group-containing functional polymer (weight average molecular weight Mw = 28,000, acid value 63 mgKOH / g, ethylenically unsaturated group). Amount 2.4 mmol / g).

Figure 0004461037
Figure 0004461037

(A2−b)
イソホロンジイソシアネートと、下記の構造式(b)で表される化合物〔式(b)において、Rは水素、Rは−CHCHO−、Rは−CHCHO−である。〕の等モル反応物(分子量697)560重量部(以下「部」と略す)と、メチルメタクリレート/n−ブチルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/メタクリル酸=25/20/10/20/25(重量比)の割合で共重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=12,000、酸価163mgKOH/g)のメチルエチルケトン溶液(固形分50%)880部を混合して、ジブチルチンラウレート0.2部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.2部を添加して反応を行い得られたカルボキシル基含有官能性ポリマー(重量平均分子量Mw=27,000、酸価64mgKOH/g、エチレン性不飽和基量2.4mmol/g)。
(A2-b)
Isophorone diisocyanate and a compound represented by the following structural formula (b) [In the formula (b), R 1 is hydrogen, R 2 is —CH 2 CH 2 O—, and R 3 is —CH 2 CH 2 O—. is there. ] 560 parts by weight (molecular weight 697) (hereinafter abbreviated as “parts”) of methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl methacrylate / methacrylic acid = 25/20/10/20 / 880 parts of a methyl ethyl ketone solution (solid content 50%) of a carboxyl group-containing polymer (weight average molecular weight Mw = 12,000, acid value 163 mg KOH / g) copolymerized at a ratio of 25 (weight ratio) was mixed with dibutyl. Carboxyl group-containing functional polymer obtained by adding 0.2 part of tin laurate and 0.2 part of hydroquinone monomethyl ether (weight average molecular weight Mw = 27,000, acid value 64 mgKOH / g, Saturated group amount 2.4 mmol / g).

Figure 0004461037
Figure 0004461037

(A2−c)
イソホロンジイソシアネートとジエチレングリコールモノメタクリレートの等モル反応物690部と、メチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/メタクリル酸=50/70/25(重量比)の割合で共重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=10,000、酸価163mgKOH/g)のメチルエチルケトン溶液(固形分50%)620部を混合して、ジブチルチンラウレート0.2部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.2部を添加して反応を行い得られたカルボキシル基含有官能性ポリマー(重量平均分子量Mw=32,000、酸価46mgKOH/g、エチレン性不飽和基量1.8mmol/g)。
(A2-c)
Carboxyl group-containing polymer (weight) obtained by copolymerizing 690 parts of equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and diethylene glycol monomethacrylate with a ratio of methyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate / methacrylic acid = 50/70/25 (weight ratio). 620 parts of methyl ethyl ketone solution (solid content 50%) having an average molecular weight Mw = 10,000 and an acid value of 163 mg KOH / g) was mixed, and 0.2 part of dibutyltin laurate and 0.2 part of hydroquinone monomethyl ether were added. Carboxyl group-containing functional polymer obtained by reaction (weight average molecular weight Mw = 32,000, acid value 46 mgKOH / g, ethylenically unsaturated group amount 1.8 mmol / g).

〔(メタ)アクリル系モノマー(B)〕
(B1−a)
前記一般式(1)で表されるウレタンメタクリレート化合物〔式(1)において、R=−CH、X=−CHCHO−、Y=−CHCH(CH)O−、Z=−(CH−、k=15、m=6、n=4〕
[(Meth) acrylic monomer (B)]
(B1-a)
Urethane methacrylate compound represented by the general formula (1) [in the formula (1), R = —CH 3 , X = —CH 2 CH 2 O—, Y = —CH 2 CH (CH 3 ) O—, Z =-(CH 2 ) 6- , k = 15, m = 6, n = 4]

(B2−a)
OH基を1分子中に2個以上含有するエポキシ(メタ)アクリレート(ダイセルUCB社製の「Ebecryl 648」)
(B2-a)
Epoxy (meth) acrylate containing 2 or more OH groups in one molecule ("Ebecryl 648" manufactured by Daicel UCB)

(B−3)
エチレンオキサイド変性ビスフェノールAジアクリレート(エトキシ基数10)
(B-3)
Ethylene oxide modified bisphenol A diacrylate (ethoxy group number 10)

(B−4)
トリメチロールプロパントリプロポキシトリアクリレート
(B-4)
Trimethylolpropane tripropoxytriacrylate

〔光重合開始剤(C)〕
(C−1)
2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モリフォルノプロパン−1−オン(Ciba社製、「Irgacure907 」)
[Photopolymerization initiator (C)]
(C-1)
2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morifornopropan-1-one (Ciba, “Irgacure907”)

(C−2)
9−フェニルアクリジン
(C-2)
9-phenylacridine

(C−3)
2,4−ジエチルチオキサントン
(C-3)
2,4-diethylthioxanthone

〔アミノ樹脂(D)
UCB社製の「Resimene735」
[Amino resin (D)
"Resimene 735" made by UCB

〔リン系化合物(E)〕
(E−1)
ビスフェノールAビス(ジクレジルホスフェート)
[Phosphorus compound (E)]
(E-1)
Bisphenol A bis (dicresyl phosphate)

(E−2)
ジフェノキシホスファゼンの3員環組成物
(E-2)
Three-membered ring composition of diphenoxyphosphazene

〔他の添加剤〕
(F−1)
フタロシアニンブルー顔料
(F−2)
Surface Specialties 社製の「Modaflow」
(F−3)
フュームドシリカ
[Other additives]
(F-1)
Phthalocyanine blue pigment (F-2)
"Modaflow" manufactured by Surface Specialties
(F-3)
Fumed silica

〔実施例1〜9、比較例1〜4〕
下記の表1〜表2に示す各成分を同表に示す割合で溶剤(メチルエチルケトン:イソプロパノール=75:25〔重量比〕)に溶解して、濃度55重量%の感光性樹脂組成物溶液を調製した。ついで、この感光性樹脂組成物溶液を、アプリケーター用いて厚み19μmのPETフィルム(支持体フィルム)上に均一に塗工し、室温にて1分30秒放置した後、130℃のオーブンで3分間乾燥して、厚み40μmの感光性樹脂組成物層を形成した。つぎに、梨地柄が形成された厚み30μmで表面平均粗さRa=1.51のPEフィルム〔Raはフィルムロールの横断方向(TD)方向に10.0mm長を、接触子の先端2μmR、測定荷重0.07gfにて測定したときの値〕を、30℃にて、0.2MPaにて、上記感光性樹脂組成物層と梨地柄形成面とが接触するよう積層し、厚み40μmの感光性樹脂組成物層を有する感光性樹脂積層体を作製した。
[Examples 1 to 9, Comparative Examples 1 to 4]
The components shown in Tables 1 and 2 below were dissolved in a solvent (methyl ethyl ketone: isopropanol = 75: 25 [weight ratio]) in the proportions shown in the same table to prepare a photosensitive resin composition solution having a concentration of 55% by weight. did. Next, this photosensitive resin composition solution was uniformly coated on a 19 μm-thick PET film (support film) using an applicator, allowed to stand at room temperature for 1 minute and 30 seconds, and then in an oven at 130 ° C. for 3 minutes. It dried and formed the photosensitive resin composition layer of thickness 40 micrometers. Next, a PE film having a satin pattern formed with a thickness of 30 μm and a surface average roughness Ra = 1.51 [Ra is 10.0 mm long in the transverse direction (TD) direction of the film roll, and the tip of the contact is 2 μm R, measured. The value when measured at a load of 0.07 gf] was laminated at 30 ° C. and 0.2 MPa so that the photosensitive resin composition layer and the satin pattern forming surface were in contact with each other, and the thickness was 40 μm. A photosensitive resin laminate having a resin composition layer was produced.

Figure 0004461037
Figure 0004461037

Figure 0004461037
Figure 0004461037

このようにして得られた実施例および比較例の感光性樹脂積層体を用いて、下記の評価方法に従い、各特性の評価を行った。これらの結果を、後記の表3〜表4に併せて示した。   Using the photosensitive resin laminates of Examples and Comparative Examples thus obtained, each characteristic was evaluated according to the following evaluation method. These results are shown in Tables 3 to 4 below.

〔感度〕
感光性樹脂積層体の保護フィルム(ポリエチレンフィルム)を剥がし、これを、厚み25μmのポリイミドフィルムに厚み18μmの銅箔を貼り合わせてなるFPC用銅張ポリイミドフィルム(大きさ150mm×150mm)の銅箔表面に上記感光性樹脂積層体の感光性樹脂組成物層が対峙するよう載置して仮付けし、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用いて、減圧時間30秒、プラテン温度55℃、真空度95Pa、スラップダウン8秒という条件にて積層した。この積層品を2時間、20℃にて放置し、PETフィルムの上にStouffer社製の21段ステップタブレットを密着させ、2kWの水銀ショートアーク灯(平行灯)にて露光した後、30℃の1重量%NaCO水溶液にて最小現像時間の2倍の時間スプレー現像(スプレー圧0.15MPa)し、水洗、乾燥した。そして、金属部分が出ているステップタブレットの数値が9となるとき(9段)の露光量を感度として表示した。
〔sensitivity〕
The protective film (polyethylene film) of the photosensitive resin laminate is peeled off, and this is a copper foil of a copper-clad polyimide film for FPC (size 150 mm × 150 mm) obtained by laminating a 18 μm thick copper foil to a 25 μm thick polyimide film. The photosensitive resin composition layer of the photosensitive resin laminate is placed on the surface so as to be opposed to each other, and is temporarily attached to a vacuum using a diaphragm type vacuum laminator (Nichigo Morton, “V-130”). Lamination was performed under the conditions of a time of 30 seconds, a platen temperature of 55 ° C., a vacuum degree of 95 Pa, and a slap down of 8 seconds. This laminated product was allowed to stand at 20 ° C. for 2 hours, and a 21-step tablet made by Stouffer was in close contact with the PET film, exposed to a 2 kW mercury short arc lamp (parallel light), and then heated to 30 ° C. Spray development (spray pressure 0.15 MPa) was performed for 2 times the minimum development time with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and the mixture was washed with water and dried. And the exposure amount when the numerical value of the step tablet in which the metal part has come out is 9 (9 steps) was displayed as sensitivity.

〔解像性〕
上記感度測定で用いたときのStouffer社製の21段ステップタブレットに代えて、ライン/スペース=20μm/20μm〜120μm/120μmのパターンマスク(銀塩−PETフィルム)を用いた以外は同様にして操作を行い、上記2kW超高圧水銀ショートアーク灯(平行光)でStouffer社製の21段ステップタブレットの9段相当の露光量を照射し、現像した。このときの、解像を示した最小ライン幅の値(現像して形成された硬化ライン間の最小幅の値)を解像性として表示した。
[Resolution]
In place of the 21-step tablet made by Stouffer when used in the above sensitivity measurement, the same operation was performed except that a pattern mask (silver salt-PET film) of line / space = 20 μm / 20 μm to 120 μm / 120 μm was used. Then, the above-described 2 kW ultra-high pressure mercury short arc lamp (parallel light) was irradiated with an exposure amount equivalent to 9 steps of a 21-step tablet made by Stouffer and developed. At this time, the value of the minimum line width indicating the resolution (the value of the minimum width between the cured lines formed by development) was displayed as the resolution.

〔現像性〕
銅基板(FR−4、厚み1.6mm)を準備し、銅箔表面をバフロール研磨(#600の後、#1000)し、水洗した後、10%の硫酸水に常温(25℃)で1分間浸漬して、水洗、乾燥し、24時間室温にて放置した。そして、この銅基板に上記感度測定時と同様に、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用い同条件にて、上記厚み40μmの感光性樹脂組成物層を有する感光性樹脂積層体を積層した。ここで用いた上記厚み40μmの感光性樹脂組成物層を有する感光性樹脂積層体は、大きさ100mm×100mmのものとした。未露光のまま20℃にて20分間放置した後、30℃の1重量%Na2 CO3 水溶液にて最小現像時間の2倍の時間スプレー現像(スプレー圧0.15MPa)し、水洗、乾燥した。この後、再度、25℃の水に浸漬し、ラックに角度約85°となるよう立て掛け、ラックに立て掛けた基板表面の水のはじき度合いをストップウォッチにて計測し、水のはじき性によって現像性を評価した。すなわち、水はじきテストによって、銅基板上の現像残渣(有機物の残渣)の程度をつぎのようにして判定した。
◎・・・15秒以上水をはじかない(現像性良好)。
○・・・10秒以上15秒未満にて水をはじく。
×・・・10秒未満で水をはじく(有機物残渣がある)。
[Developability]
A copper substrate (FR-4, thickness 1.6 mm) was prepared, the copper foil surface was buffed (after # 600, # 1000), washed with water, and then washed with 10% sulfuric acid at room temperature (25 ° C.). It was immersed for a minute, washed with water, dried, and left at room temperature for 24 hours. In the same manner as in the sensitivity measurement, the photosensitive resin composition layer having a thickness of 40 μm was formed on the copper substrate under the same conditions using a diaphragm vacuum laminator (Nichigo Morton, “V-130”). The photosensitive resin laminated body which has was laminated | stacked. The photosensitive resin laminate having the photosensitive resin composition layer having a thickness of 40 μm used here was 100 mm × 100 mm in size. After being left unexposed at 20 ° C. for 20 minutes, it was spray-developed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. for twice the minimum development time (spray pressure 0.15 MPa), washed with water and dried. After that, it is immersed again in water at 25 ° C., leaned on the rack at an angle of about 85 °, and the degree of water repelling on the surface of the substrate leaning on the rack is measured with a stopwatch. Was evaluated. That is, the degree of development residue (organic residue) on the copper substrate was determined by the water repellency test as follows.
A: Does not repel water for 15 seconds or longer (good developability).
○ ... Repels water in 10 seconds or more and less than 15 seconds.
X: Water is repelled in less than 10 seconds (there is an organic residue).

〔可撓性〕
上記感度測定時と同様、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用い、同条件にて、厚み25mmのポリイミドフィルムの両面に上記厚み40μmの感光性樹脂組成物層を有する感光性樹脂積層体を貼り合わせ積層した。ついで、上記2kW超高圧水銀ショートアーク灯(平行光)でStouffer社製の21段ステップタブレットの9段相当の露光量を両面に照射し、UVキュア3J/cm2 (International Light 社製、「IL−390A」での測定値)を行い、続いて150℃にて60分間熱キュアを行うことにより硬化フィルムを作製した。そして、この硬化フィルムの同一箇所を、山折〜谷折〜山折〜(折り曲げ半径0°)という操作を行い、可撓性を下記のようにして評価した。なお、折り曲げ条件として、23℃×50%RHの室内にて行った。
◎・・・10回以上の操作においても割れなかった。
○・・・6〜9回の操作において割れた。
△・・・2〜5回の操作において割れた。
×・・・1回の操作において割れた。
[Flexibility]
As in the case of the above sensitivity measurement, a photosensitive vacuum resin composition having a thickness of 40 μm on both sides of a polyimide film having a thickness of 25 mm under the same conditions using a diaphragm-type vacuum laminator (manufactured by Nichigo-Morton, “V-130”). A photosensitive resin laminate having layers was bonded and laminated. Then, the above 2 kW ultra-high pressure mercury short arc lamp (parallel light) was irradiated on both sides with an exposure amount equivalent to 9 steps of a 21-step tablet made by Stouffer, and UV cure 3 J / cm 2 (made by International Light, “IL -Measurement value at −390A ”, followed by heat curing at 150 ° C. for 60 minutes to prepare a cured film. And the same location of this cured film was operated as a mountain fold to a valley fold to a mountain fold (folding radius 0 °), and the flexibility was evaluated as follows. The bending was performed in a room at 23 ° C. × 50% RH.
A: No cracking was observed even after 10 or more operations.
○: Cracked in 6 to 9 operations.
Δ: Cracked in 2 to 5 operations.
X: Cracked in one operation.

〔半田耐熱性〕
銅厚18μm厚の銅張ポリイミドフィルムを用いて、IPC−B−25A(IPC規格)の銅配線を形成したものに、上記厚み40μmの感光性樹脂組成物層を有する感光性樹脂積層体を、上記感度測定時と同様にダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用い、同条件にて、貼り合わせ積層した。ついで、この回路のDパターンの端子が半田付けできるパターンマスクを用いて、上記2kW超高圧水銀ショートアーク灯(平行光)でStouffer社製の21段ステップタブレットの9段相当の露光量を照射し、感度測定時と同様にして現像、乾燥を行った。続いて、搬送式UV露光機「モデルUVCS923」を用いて3J/cm2 UVキュアを行った(International Light 社製、IL−390Aでの測定値)。このときの基板温度は120℃であった。この後、150℃にて60分間熱キュアを行うことによりカバーレイが形成されたフレキシブルプリント配線板(FPC)を作製した。
[Solder heat resistance]
Using a copper-clad polyimide film having a copper thickness of 18 μm and forming a copper wiring of IPC-B-25A (IPC standard), a photosensitive resin laminate having the photosensitive resin composition layer having a thickness of 40 μm, In the same manner as in the sensitivity measurement, a diaphragm-type vacuum laminating machine (manufactured by Nichigo-Morton, “V-130”) was used and bonded and laminated under the same conditions. Next, using a pattern mask to which the D pattern terminals of this circuit can be soldered, the above 2 kW ultra-high pressure mercury short arc lamp (parallel light) is irradiated with an exposure amount equivalent to 9 steps of a 21-step tablet made by Stouffer. Then, development and drying were performed in the same manner as the sensitivity measurement. Subsequently, 3J / cm 2 UV curing was performed using a transport UV exposure machine “model UVCS 923” (measured with IL-390A, manufactured by International Light). The substrate temperature at this time was 120 ° C. Then, the flexible printed wiring board (FPC) in which the coverlay was formed was produced by heat-curing for 60 minutes at 150 degreeC.

ついで、上記FPC表面にタムラ化研社製のフラックスULF−500VSを塗布した後、100℃で1分間乾燥を行い、260℃の半田付け処理を10秒間行った。このフラックス塗布〜半田付け操作を計3回繰り返し行ったときの、カバーレイのクラック発生状態、Dパターンの半田もぐりの発生状態、膨れの発生状態を目視により観察し総合して、半田耐熱性を下記のように評価した。
◎・・・3回ともクラック、半田もぐり、膨れの発生がみられなかった。
○・・・2回とも何ら問題はなかったが、3回目に若干の半田もぐりが確認された。
△・・・2回目に若干の半田もぐりが確認され、3回目には膨れが発生した。
×・・・1回目ですでに半田付け操作に耐えられなかった。
Next, flux ULF-500VS manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd. was applied to the surface of the FPC, followed by drying at 100 ° C. for 1 minute, and soldering at 260 ° C. for 10 seconds. When this flux application to soldering operation is repeated a total of three times, the coverlay cracking state, the D pattern solder flaking state, and the swollenness state are visually observed and combined to ensure solder heat resistance. Evaluation was performed as follows.
◎ ... No cracks, solder flaking, or blistering was observed in all three times.
○: There was no problem in both cases, but some solder peeling was confirmed in the third time.
Δ: Slight soldering was confirmed at the second time, and swelling occurred at the third time.
X: The soldering operation could not be already performed in the first time.

〔耐溶剤性〕
上記半田耐熱性と同様の工程を経由することにより得られたFPCを、イソプロピルアルコール煮沸液に投入し、2分間浸漬した。そして、基板からの浮き、剥がれの発生状態を目視により観察し、耐溶剤性を下記のように評価した。
◎・・・浮き、剥がれとも発生しなかった。
×・・・浮きまたは剥がれが発生した。
[Solvent resistance]
FPC obtained by going through the same process as the solder heat resistance was put into an isopropyl alcohol boiling solution and immersed for 2 minutes. Then, the occurrence of floating and peeling from the substrate was visually observed, and the solvent resistance was evaluated as follows.
A: Neither floating nor peeling occurred.
X: Floating or peeling occurred.

〔耐アルカリ性〕
上記半田耐熱性と同様の工程を経由することにより得られたFPCを、40℃の10%NaOH水溶液に投入し、10分間攪拌した。そして、基板からの浮き、剥がれの発生状態を目視により観察し、耐アルカリ性を下記のように評価した。
◎・・・浮き、剥がれとも発生せず、表面に光沢があった。
○・・・浮き、剥がれは発生しなかったが、表面に光沢があまりみられなかった。
×・・・浮きまたは剥がれが発生した。
[Alkali resistance]
FPC obtained by going through the same process as the solder heat resistance was put into a 10% NaOH aqueous solution at 40 ° C. and stirred for 10 minutes. Then, the state of occurrence of floating and peeling from the substrate was visually observed, and the alkali resistance was evaluated as follows.
◎ ・ ・ ・ Neither floating nor peeling occurred, and the surface was glossy.
○: No floating or peeling occurred, but the surface was not very glossy.
X: Floating or peeling occurred.

〔電気絶縁性〕
上記半田耐熱性と同様の工程を経由することにより得られたFPCを用い、IPC−SM−840C3.9.1(IPC規格)の電気マイグレーション試験を行った。すなわち、Dパターンを用い、85℃×90%RHにて168時間、10VDCバイアス電位、45−100VDC試験電位とし、168時間後の抵抗を調べ、電気絶縁性を下記のように評価した。規格では2MΩ以上が合格とされる。
◎・・・200MΩを超えた。
○・・・2〜200MΩであった。
×・・・2MΩ未満であった。
[Electrical insulation]
An IPC-SM-840C3.9.1 (IPC standard) electrical migration test was performed using the FPC obtained through the same process as the solder heat resistance. That is, using the D pattern, the resistance after 168 hours was examined at 85 ° C. × 90% RH for 168 hours, 10 VDC bias potential, and 45-100 VDC test potential, and the electrical insulation was evaluated as follows. According to the standard, 2 MΩ or more is accepted.
◎ ... exceeded 200 MΩ.
O: 2 to 200 MΩ.
X: Less than 2 MΩ.

〔回路への追従性〕
銅厚35μm厚の銅張ポリイミドフィルムを用いて、IPC−B−25A(IPC規格)の銅配線を形成した基材を予め準備した。この銅配線側に、厚み25μmの感光性樹脂積層体(厚み19μmの支持体フィルムと厚み25μmの感光性樹脂組成物層)を用いて仮付けし、真空ラミネート時の温度を変える(50℃,55℃,65℃)以外は、上記感度測定時と同様にして真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、V−130)を用いて、厚み25μmの感光性樹脂積層体を貼り合わせ積層した。そして、150mJ/cm2 にて露光し、基板表面を顕微鏡により観察し、回路への追従性を下記のように評価した。
◎・・・50℃で完全に追従し、感光性樹脂組成物層と回路との間に空間は無かった。

○・・・50℃では完全に追従しなかったが、55℃にて完全に追従し感光性樹脂組成物層と回路との間に空間は無かった。
△・・・55℃では完全に追従しなかったが、65℃にて完全に追従し感光性樹脂組成物層と回路との間に空間は無かった。
×・・・65℃でも完全に追従しなかった。
[Trackability to circuit]
A base material on which a copper wiring of IPC-B-25A (IPC standard) was formed using a copper-clad polyimide film having a copper thickness of 35 μm was prepared in advance. The copper wiring side is temporarily attached using a photosensitive resin laminate having a thickness of 25 μm (a support film having a thickness of 19 μm and a photosensitive resin composition layer having a thickness of 25 μm), and the temperature during vacuum lamination is changed (50 ° C., Except for 55 degreeC and 65 degreeC, the photosensitive resin laminated body of 25 micrometers in thickness was bonded and laminated | stacked using the vacuum laminating machine (the Nichigo-Morton company make, V-130) similarly to the time of the said sensitivity measurement. And it exposed at 150 mJ / cm < 2 >, the substrate surface was observed with the microscope, and the followability to a circuit was evaluated as follows.
A: Following completely at 50 ° C., there was no space between the photosensitive resin composition layer and the circuit.

○: Although it did not follow completely at 50 ° C., it followed completely at 55 ° C. and there was no space between the photosensitive resin composition layer and the circuit.
Δ: Although it did not follow completely at 55 ° C., it followed completely at 65 ° C., and there was no space between the photosensitive resin composition layer and the circuit.
X: It did not follow completely even at 65 ° C.

〔難燃性〕
FR−4〔厚み0.3mmの銅張積層板(新神戸電機社製のCEL475SD)を両面エッチングしたもの)を基材として予め準備した。ついで、前記厚み40μmの感光性樹脂組成物層に代えて厚み55μmの感光性樹脂組成物層を形成した感光性樹脂積層体を用い、上記基材両面に仮付けし、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用いて、減圧時間30秒、プラテン温度55℃、真空度95Pa、スラップダウン8秒という条件にて積層した。つぎに、この両面を150mJ/cm2 にて露光した(ORC UV−351積算光量計)。その後、30℃の1重量%NaCO水溶液の現像槽内を、0.15MPaで45秒のパス時間で通し、水洗、乾燥を充分に行った。その後、モデルUVCS923を用いて、両面UVキュアを3J/cm2 (International Light 社製、「IL−390A」での測定値)にて実施し、その後、熱キュア(150℃×60分間)を行ってサンプル品を作製した。
〔Flame retardance〕
FR-4 [0.3 mm thick copper clad laminate (CEL475SD manufactured by Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd.) was etched in advance) as a base material. Next, instead of the photosensitive resin composition layer having a thickness of 40 μm, a photosensitive resin laminate in which a photosensitive resin composition layer having a thickness of 55 μm is formed is temporarily attached to both surfaces of the substrate, and a diaphragm type vacuum laminating machine ( Using “V-130” manufactured by Nichigo-Morton Co., Ltd., lamination was performed under the conditions of a decompression time of 30 seconds, a platen temperature of 55 ° C., a vacuum degree of 95 Pa, and a slap down of 8 seconds. Next, both surfaces were exposed at 150 mJ / cm 2 (ORC UV-351 integrating light meter). Thereafter, the inside of the developing tank of 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was passed through at a pass time of 0.15 MPa for 45 seconds, and sufficiently washed and dried. Thereafter, using model UVCS923, double-sided UV curing was performed at 3 J / cm 2 (measured with “IL-390A” manufactured by International Light), and then heat curing (150 ° C. × 60 minutes) was performed. A sample product was prepared.

上記サンプル品を、長さ125±5mm、幅13.0mm±0.5mmに切り出し、米国のUnderwriters Laboratories Inc.(以下「UL」と称す)の高分子材料の難燃性試験規格UL−94にしたがって、垂直燃焼性試験を行った。難燃性評価は、この規格に従い、難燃性が良好なものから、V−0、V−1、V−2、NOT−Vとして表記した。   The above sample product was cut into a length of 125 ± 5 mm and a width of 13.0 mm ± 0.5 mm, and conformed to UL-94, a flame retardant test standard for polymer materials of Underwriters Laboratories Inc. (hereinafter referred to as “UL”) in the United States. Therefore, a vertical flammability test was performed. In accordance with this standard, the flame retardancy evaluation was expressed as V-0, V-1, V-2, and NOT-V from those having good flame retardancy.

Figure 0004461037
Figure 0004461037

Figure 0004461037
Figure 0004461037

上記結果から、実施例品は、高感度で高解像性であり、しかも現像性,可撓性,半田耐熱性,耐溶剤性,耐アルカリ性,電気絶縁性,導体回路への追従性の全てにおいて優れた結果が得られた。さらに、リン系化合物(E)を含有するため、難燃性に関しても優れたものであることがわかる。   From the above results, the example products have high sensitivity and high resolution, and all of developability, flexibility, solder heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, electrical insulation, and followability to conductor circuits. Excellent results were obtained. Furthermore, since the phosphorus compound (E) is contained, it is understood that the flame retardancy is also excellent.

これに対して、比較例1品は、カルボキシル基含有官能性ポリマー(A2)を用いないため、解像性に劣り、現像性が悪く、導体回路への追従性も不充分な評価結果であった。また、比較例2品は、カルボキシル基含有ポリマー(A1)を用いないため、可撓性,半田耐熱性,耐溶剤性,耐アルカリ性に関しても不充分な評価結果であった。そして、比較例3品は、(メタ)アクリル系モノマー(B)を用いなかったため、感度および解像性に劣り、かつ半田耐熱性,耐溶剤性および耐アルカリ性に劣るものであった。さらに、比較例4品は、アミノ樹脂(D)を用いないため、半田耐熱性および耐溶剤性,さらには耐アルカリ性に劣るものであった。


On the other hand, the product of Comparative Example 1 does not use the carboxyl group-containing functional polymer (A2), and therefore the evaluation results are inferior in resolution, poor in developability, and insufficient in the followability to the conductor circuit. It was. Moreover, since the product of Comparative Example 2 did not use the carboxyl group-containing polymer (A1), the evaluation results were insufficient with respect to flexibility, solder heat resistance, solvent resistance, and alkali resistance. And since the product of Comparative Example 3 did not use the (meth) acrylic monomer (B), it was inferior in sensitivity and resolution, and inferior in solder heat resistance, solvent resistance and alkali resistance. Furthermore, since the product of Comparative Example 4 did not use the amino resin (D), it was inferior in solder heat resistance and solvent resistance, and further in alkali resistance.


Claims (8)

下記の(A)〜(D)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
(A)下記の(A1)および(A2)を主成分とするポリマー成分。
(A1)重量平均分子量が100,000〜250,000で、かつ酸価50〜250mgKOH/gのカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー。
(A2)重量平均分子量が5,000〜50,000で、かつ酸価40〜160mgKOH/gを有し、側鎖にエチレン性不飽和基を0.3〜3.5mmol/g含有するカルボキシル基含有(メタ)アクリル系官能性ポリマー。
(B)エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分。
(C)光重合開始剤。
(D)アミノ樹脂。
A photosensitive resin composition comprising the following (A) to (D):
(A) A polymer component mainly composed of the following (A1) and (A2).
(A1) A carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of 100,000 to 250,000 and an acid value of 50 to 250 mgKOH / g.
(A2) A carboxyl group having a weight average molecular weight of 5,000 to 50,000, an acid value of 40 to 160 mgKOH / g, and containing 0.3 to 3.5 mmol / g of ethylenically unsaturated groups in the side chain Containing (meth) acrylic functional polymer.
(B) A (meth) acrylic monomer component having an ethylenically unsaturated group.
(C) Photopolymerization initiator.
(D) Amino resin.
エチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマー成分(B)が、下記の一般式(1)で表されるウレタン(メタ)アクリレート化合物(B1)を含有する請求項1記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0004461037
The photosensitive resin according to claim 1, wherein the (meth) acrylic monomer component (B) having an ethylenically unsaturated group contains a urethane (meth) acrylate compound (B1) represented by the following general formula (1). Composition.
Figure 0004461037
ポリマー成分(A)の含有量が、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の25〜45重量%の範囲に設定されている請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 with which content of a polymer component (A) is set to the range of 25 to 45 weight% of the whole photosensitive resin composition except a solvent. (A)〜(D)に加えて、さらに下記の(E)を含有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
(E)1分子中にフェノキシ基を少なくとも4個含有するリン系化合物。
The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3 which contains the following (E) in addition to (A)-(D).
(E) A phosphorus compound containing at least four phenoxy groups in one molecule.
感光性樹脂組成物がソルダーレジスト用感光性樹脂組成物である請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition for a solder resist. 感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルムが積層され、上記感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムが積層されてなる感光性樹脂積層体であって、上記感光性樹脂組成物層が、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものであることを特徴とする感光性樹脂積層体。   A photosensitive resin laminate in which a support film is laminated on one side of a photosensitive resin composition layer, and a protective film is laminated on the other side of the photosensitive resin composition layer, the photosensitive resin composition layer Is formed using the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-5, The photosensitive resin laminated body characterized by the above-mentioned. 保護フィルムの感光性樹脂組成物層積層面側の表面平均粗さ(Ra)が1.0以上である請求項6記載の感光性樹脂積層体。   The photosensitive resin laminate according to claim 6, wherein the surface average roughness (Ra) of the protective film on the photosensitive resin composition layer lamination surface side is 1.0 or more. 感光性樹脂積層体が、ソルダーレジスト用積層体である請求項6または7記載の感光性樹脂積層体。


The photosensitive resin laminate according to claim 6 or 7, wherein the photosensitive resin laminate is a solder resist laminate.


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