JP4373990B2

JP4373990B2 - Ozone production equipment

Info

Publication number: JP4373990B2
Application number: JP2006075399A
Authority: JP
Inventors: 泰宏谷村; 淳二広辻; 繁樹中山; 久夫網谷; 裕弓削; 建樹小沢
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2006-03-17
Filing date: 2006-03-17
Publication date: 2009-11-25
Anticipated expiration: 2017-07-24
Also published as: JP2006206437A

Description

本発明はオゾン製造装置に関する。さらに詳しくは、オゾンを連続的に製造して吸着貯留し、必要なときにこれを脱着（分離）させて供給するオゾン製造装置に関する。 The present invention relates to an ozone production apparatus. More specifically, the present invention relates to an ozone production apparatus that continuously produces and adsorbs and stores ozone, and supplies and desorbs (separates) ozone when necessary.

発電所や化学工業などには多量の冷却水が使用されているが、用水中の微生物や藻類によってスライム障害が発生して管路の閉塞や熱交換率の低下が起こる。この種の防止対策として高濃度のオゾン水の適用が考えられる。高濃度のオゾン水を生成するためには、大容量のオゾン発生器を用いて生成するよりも、小型で小容量のオゾン発生器を用いて、生成したオゾンを吸着剤に長期間にわたって蓄積し、この蓄積したオゾンを必要に応じて吸着剤から取り出し、高濃度のオゾン水を生成する、いわゆる間歇オゾン製造方式が設備費および運転費の点から有利である。 A large amount of cooling water is used in power plants, chemical industries, etc., but microorganisms and algae in the irrigation water cause slime damage, which causes blockage of the pipeline and a decrease in heat exchange rate. Application of high-concentration ozone water can be considered as a preventive measure of this kind. In order to generate high-concentration ozone water, the generated ozone is accumulated in the adsorbent over a long period of time using a small and small-capacity ozone generator rather than using a large-capacity ozone generator. The so-called intermittent ozone production method, in which the accumulated ozone is taken out from the adsorbent as necessary to produce high-concentration ozone water, is advantageous from the viewpoint of equipment costs and operation costs.

かかるオゾン製造方式を用いたオゾン製造装置として、たとえば図１３に示すように、オゾン発生器５０と、酸素供給源５１と、循環ブロア５２と、吸脱着塔５３と、冷熱源５４と、加熱源５５と、水流エジェクタ５６と、切替弁５７ａ〜５７ｇとからなるものがある。吸脱着塔５３は二重筒になっており、その内筒はオゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が充填されている。なお、オゾン吸着剤には、たとえばシリカゲルが用いられ、熱媒体にはエチレングリコールやアルコール類が使用される。また、前記循環ブロア５２、オゾン発生器５０および吸脱着塔５３は、この順に１つの循環系を構成している。 As an ozone production apparatus using such an ozone production system, for example, as shown in FIG. 13, an ozone generator 50, an oxygen supply source 51, a circulation blower 52, an adsorption / desorption tower 53, a cooling heat source 54, and a heating source. 55, a water flow ejector 56, and switching valves 57a to 57g. The adsorption / desorption tower 53 is a double cylinder, the inner cylinder is filled with an ozone adsorbent, and the outer cylinder is filled with a heat medium. For example, silica gel is used as the ozone adsorbent, and ethylene glycol or alcohols are used as the heat medium. Further, the circulation blower 52, the ozone generator 50, and the adsorption / desorption tower 53 constitute one circulation system in this order.

つぎに動作について説明する。この動作にはオゾンの吸着貯留工程と脱着工程の２工程がある。 Next, the operation will be described. This operation includes two steps, an ozone adsorption storage step and a desorption step.

初めにオゾンの吸着貯留工程について説明する。酸素供給源５１より循環系内に常時一定圧力になるように酸素を供給する。このときの圧力は通常１．５ｋｇ／ｃｍ²に維持されている。切替弁５７ｃおよび５７ｄを開き、循環ブロア５２より循環系内に酸素を流通し、循環させると、オゾン発生器５０の放電空間を通過するあいだに、酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン化酸素となる。このオゾン化酸素は吸脱着塔５３へ送られる。吸脱着塔５３内のオゾン吸着剤はオゾンを選択的に吸着し、残りの酸素は切換弁５７ｃを介して循環ブロア５２に戻される。オゾンに変換され、吸着された酸素量は酸素供給源５１より補充される。このとき、オゾン吸着剤の温度は、オゾン吸着量が温度により大きく変化するため、冷熱源５４により−３０℃以下に冷却されている。すなわち、温度が低下するとオゾン吸着量は増加し、逆に上昇するとオゾンの吸着量は減少する。したがって、オゾンを脱着するときは加熱源５５により吸着剤の温度を上昇させる。 First, the ozone adsorption and storage process will be described. Oxygen is supplied from the oxygen supply source 51 into the circulation system so that the pressure is always constant. The pressure at this time is normally maintained at 1.5 kg / cm ² . When the switching valves 57c and 57d are opened and oxygen is circulated through the circulation system from the circulation blower 52 and circulated, part of the oxygen is converted to ozone while passing through the discharge space of the ozone generator 50, and is ozonized. Become oxygen. This ozonated oxygen is sent to the adsorption / desorption tower 53. The ozone adsorbent in the adsorption / desorption tower 53 selectively adsorbs ozone, and the remaining oxygen is returned to the circulation blower 52 via the switching valve 57c. The amount of oxygen converted and adsorbed into ozone is supplemented from the oxygen supply source 51. At this time, the temperature of the ozone adsorbent is cooled to −30 ° C. or less by the cold heat source 54 because the ozone adsorption amount greatly varies depending on the temperature. That is, when the temperature decreases, the ozone adsorption amount increases, and conversely when it rises, the ozone adsorption amount decreases. Therefore, the temperature of the adsorbent is raised by the heating source 55 when desorbing ozone.

吸脱着塔５３の吸着剤がオゾンを飽和吸着量近くまで吸着すると脱着工程に移行する。脱着動作では、オゾン発生器５０、循環ブロア５２および冷熱源５４が稼働を停止し、切替弁５７ａ〜５７ｄが閉じる。そののち、加熱源５５および水流エジェクタ５６が稼働を始めて切替弁５７ｅ〜５７ｇが開く。このとき、吸着剤に吸着貯留されていたオゾンが脱着し易いように加熱源５５より熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させる。そして水流エジェクタ５６で吸脱着塔５３内のオゾンを減圧吸引し、水流エジェクタ５６内で水中に分散し、溶解してオゾン水として使用箇所に送られる。このように脱着工程が終了すると再び初期の吸着工程に移行して連続的に運転が繰り返される。 When the adsorbent of the adsorption / desorption tower 53 adsorbs ozone to near the saturated adsorption amount, the process proceeds to the desorption process. In the desorption operation, the operation of the ozone generator 50, the circulation blower 52, and the cold heat source 54 is stopped, and the switching valves 57a to 57d are closed. After that, the heating source 55 and the water flow ejector 56 start operating, and the switching valves 57e to 57g are opened. At this time, heat is applied from the heating source 55 to increase the temperature of the adsorbent so that ozone adsorbed and stored in the adsorbent is easily desorbed. Then, ozone in the adsorption / desorption tower 53 is sucked under reduced pressure by the water flow ejector 56, dispersed in water in the water flow ejector 56, dissolved, and sent to the place of use as ozone water. As described above, when the desorption process is completed, the operation proceeds to the initial adsorption process again, and the operation is continuously repeated.

スライム障害の原因となる用水中の微生物や藻類は水温や用水の汚濁度合いによって繁殖スピードが異なり、またオゾンの反応速度も変動するため、水温の季節的な変動や用水の汚濁度合の変動によって必要となるオゾン量も変化するが、前記の従来の装置では、オゾンの貯蔵量を調節することができず、スライム除去においてオゾンの過不足を生じやすい。すなわち、オゾン量が少ないばあいには、正常なスライム付着防止効果がえられず、逆にオゾン量が多いばあいには、経済的でないばかりか、海水系に適用するときには海水中の臭素イオンと反応してオキシダントを生成しやすいため、かかるオキシダントの分解除去装置が必要になったり、大型化するという問題点がある。 Microorganisms and algae in the water that cause slime damage have different breeding speeds depending on the water temperature and the degree of contamination of the water, and the ozone reaction rate also varies, so it is necessary due to seasonal fluctuations in the water temperature and fluctuations in the degree of contamination of the water However, in the conventional apparatus described above, the amount of ozone stored cannot be adjusted, and excess or deficiency of ozone tends to occur in slime removal. That is, when the amount of ozone is small, normal slime adhesion prevention effect cannot be obtained. Conversely, when the amount of ozone is large, it is not economical, and when applied to a seawater system, bromine ions in seawater. It is easy to produce oxidants by reacting with the oxidant, so that there is a problem that such an oxidant decomposition / removal device is required or becomes larger.

また、前記従来の装置を長期間にわたって連続使用するばあい、シリガゲルのオゾン吸着能の変化やオゾン発生器の性能変化などによってもオゾンの貯蔵量が変化し、オゾンの過不足を生じるという問題点がある。 In addition, when the conventional apparatus is used continuously over a long period of time, the amount of ozone stored also changes due to changes in the ozone adsorption capacity of the silica gel and the performance changes of the ozone generator, resulting in excessive and insufficient ozone. There is.

本発明は、叙上の事情に鑑み、用水の水質や温度の変動に追従して、常時適切なスライム除去効果をうるために必要なオゾンを貯留することにより、経済的でオキシダントなどの副生成物の生成の少ないオゾン製造装置にかかわるオゾン発生器の投入電力制御方法を提供することを目的としている。 In view of the above circumstances, the present invention is economical and by-product such as oxidant by storing ozone necessary for obtaining an appropriate slime removal effect at all times, following fluctuations in water quality and temperature of water used. An object of the present invention is to provide a method for controlling the input power of an ozone generator related to an ozone production apparatus that generates less matter.

本発明の第１の発明にかかわるオゾン発生器の投入電力制御方法は、（ａ）オゾン発生器でオゾンを生成する工程と、（ｂ）前記工程(ａ)において得られたオゾンを吸脱着塔で吸着貯留する工程と、（ｃ）前記工程（ｂ）において吸着貯留したオゾンを水流エジェクタで脱着放出する工程と、（ｄ）前記工程（ｃ）において脱着放出したオゾンの濃度を、脱着工程における前記吸脱着塔の出口の配管上、または、前記水流エジェクタの下流側で計測する工程と、（ｅ）前記工程（ｄ）において得られた脱着時のオゾンの濃度の計測値から、前記オゾン発生器の圧力の制御目標値を演算する工程と、（ｆ）前記工程（ｅ）において演算された制御目標値を用いて酸素供給の圧力調節弁を操作して、前記オゾン発生器の圧力を調節する工程とを含んでなる
ことを特徴としている。 An input power control method for an ozone generator according to the first invention of the present invention includes: (a) a step of generating ozone with an ozone generator; and (b) an adsorption / desorption tower for the ozone obtained in the step (a). (C) a step of desorbing and releasing ozone adsorbed and stored in the step (b) with a water flow ejector; and ( d ) a concentration of ozone desorbed and released in the step (c) in the desorption step. the pipe of the outlet of the desorption tower or said the step of measuring the downstream side of the water flow ejector, from the measured value of the concentration of ozone at the time of desorption obtained in (e) said step (d), the ozone generator a step of calculating a control target value of the pressure vessel, by operating the pressure regulating valve of the oxygen supply with the calculated control target value in (f) said step (e), adjusting the pressure of the ozone generator Craft It is characterized in that it comprises and.

請求項１〜４にかかわるオゾン発生器の投入電力制御方法によれば、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあい、または用水の温度や汚染度合い、微生物の増殖速度、オゾンの反応速度が変わったばあいでも、これらの変化に追従して所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 According to the input power control method of the ozone generator according to claims 1 to 4, if the characteristics of the adsorbent or the ozone generator should be changed, or the temperature or degree of contamination of the water, the growth rate of microorganisms, the reaction of ozone Even when the speed is changed, the predetermined ozone is desorbed and stable treatment can be performed following these changes, so that slime adhesion can be stably prevented over a long period of time.

参考例１．
図１は参考例１にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図１に示すように、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器１と、酸素供給源２と、循環ブロア３と、吸脱着塔４と、冷熱源５と、加熱源６と、オゾン脱着手段である水流エジェクタ７と、切替弁８ａ〜８ｇと、脱着オゾン濃度を計測するオゾン濃度検知手段からなる。また該オゾン濃度検知手段は、配管９に取り付けられたオゾン濃度計測手段であるオゾン濃度計１０と、該計測手段により検出された計測値を設定器１１からの設定値と比較する制御回路１２からなる。オゾン濃度計１０と制御回路１２、制御回路１２とオゾン発生器１、および制御回路１２と設定器１１はそれぞれ信号線Ｓ１、Ｓ２およびＳ３を介し接続されている。吸脱着塔４は二重筒になっており、その内筒はオゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が充填されている。このオゾン吸着剤には、たとえばオゾンと接触したときの分解率が低いものを選ぶことが望ましく、シリカゲル、活性アルミナやフルオロカーボンを含浸させた多孔質材料などが用いられ、熱媒体にはエチレングリコールやアルコール類が用いられる。また、前記循環ブロア３、オゾン発生器１および吸脱着塔４は、この順に１つの循環系を構成している。 Reference Example 1
FIG. 1 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 1. As shown in FIG. 1, an ozone generator 1 that generates ozonated oxygen, an oxygen supply source 2, a circulation blower 3, an adsorption / desorption tower 4, a cold heat source 5, a heating source 6, and ozone desorption means. It comprises a certain water flow ejector 7, switching valves 8a to 8g, and ozone concentration detecting means for measuring the desorbed ozone concentration. The ozone concentration detection means includes an ozone concentration meter 10 that is an ozone concentration measurement means attached to the pipe 9 and a control circuit 12 that compares the measurement value detected by the measurement means with the setting value from the setting device 11. Become. The ozone concentration meter 10 and the control circuit 12, the control circuit 12 and the ozone generator 1, and the control circuit 12 and the setting device 11 are connected via signal lines S1, S2 and S3, respectively. The adsorption / desorption tower 4 is a double cylinder, the inner cylinder is filled with an ozone adsorbent, and the outer cylinder is filled with a heat medium. As this ozone adsorbent, it is desirable to select one having a low decomposition rate when it comes into contact with ozone, for example, a silica gel, a porous material impregnated with activated alumina or fluorocarbon, or the like is used. Alcohols are used. The circulation blower 3, the ozone generator 1, and the adsorption / desorption tower 4 constitute one circulation system in this order.

つぎに動作について説明する。この動作にはオゾンを吸着する動作およびオゾンを脱着する動作の２つの動作がある。 Next, the operation will be described. This operation includes two operations: an operation for adsorbing ozone and an operation for desorbing ozone.

最初に吸着動作について説明する。酸素供給源２より循環系内が常時一定圧力、たとえば１．５ｋｇ／ｃｍ²になるように酸素を供給する。切換弁８ａ〜８ｄが開いた状態で、循環ブロア３により循環系内に酸素を流通させると、オゾン発生器１の放電空隙中を通過するあいだに、無声放電により酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン化酸素になったのち、このオゾン化酸素は吸脱着塔４へ搬送される。吸脱着塔４内の吸着剤は、オゾンを選択的に吸着し、残りの酸素は切換弁８ｃを介して循環ブロア３に返送される。オゾンとして消費された酸素は酸素供給源２より補充される。このとき、オゾン吸着剤は冷却するほどオゾンの吸着容量が増えるという性質を有することから、通常冷却温度は冷熱源５により−４０℃以下にされている。また、循環系内の圧力を高くするほど、オゾンを効率的に蓄えることができる。しかし、オゾン発生効率やオゾン貯蔵効率を考えると、過度に循環系内の圧力を高くすることは、貯蔵時の消費電力を増大させることになり、最大でも５ｋｇ／ｃｍ²程度に維持することが望ましい。 First, the adsorption operation will be described. Oxygen is supplied from the oxygen supply source 2 so that the inside of the circulation system is always at a constant pressure, for example, 1.5 kg / cm ² . When oxygen is circulated in the circulation system by the circulation blower 3 with the switching valves 8a to 8d opened, a part of oxygen is converted into ozone by silent discharge while passing through the discharge gap of the ozone generator 1. After being converted into ozonated oxygen, the ozonated oxygen is conveyed to the adsorption / desorption tower 4. The adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 selectively adsorbs ozone, and the remaining oxygen is returned to the circulation blower 3 via the switching valve 8c. Oxygen consumed as ozone is replenished from the oxygen supply source 2. At this time, since the ozone adsorbent has a property that the adsorption capacity of ozone increases as the ozone adsorbent is cooled, the cooling temperature is usually set to −40 ° C. or less by the cold heat source 5. Moreover, ozone can be efficiently stored, so that the pressure in a circulation system is made high. However, considering ozone generation efficiency and ozone storage efficiency, excessively increasing the pressure in the circulatory system will increase the power consumption during storage and can be maintained at a maximum of about 5 kg / cm ^2. desirable.

吸脱着塔４内の吸着剤がオゾン飽和吸着量近くまで吸着するとつぎに脱着動作へ移行する。脱着動作において、吸脱着塔４内に蓄えられたオゾンは、水流エジェクタ７および加熱源６を動作させ、加温と減圧によって吸脱着塔４から取り出すが、このときの脱着オゾン濃度を配管９に設置した連続的、または間欠的にオゾン濃度計１０で計測する。この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に送られる。制御回路１２では、脱着オゾン濃度の計測値と、設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられるオゾン濃度の設定値とを比較して、設定した脱着オゾン濃度をえるためのオゾン発生器１の投入電力をたとえばつぎの式で演算する。 When the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 is adsorbed to near the ozone saturated adsorption amount, the operation proceeds to the desorption operation. In the desorption operation, the ozone stored in the adsorption / desorption tower 4 is taken out from the adsorption / desorption tower 4 by operating the water flow ejector 7 and the heating source 6 and is heated and decompressed. Measured with the ozone concentration meter 10 continuously or intermittently installed. This measured value is sent to the control circuit 12 via the signal line S1. The control circuit 12 compares the measured value of the desorbed ozone concentration with the set value of the ozone concentration set by the setting device 11 and obtained through the signal line S3, and obtains the set desorbed ozone concentration. For example, the input power of 1 is calculated by the following equation.

Ｅ＝Ｋ（Ｏ₃ｏ−Ｏ₃ｓ）
ここで、Ｅはオゾン発生器１の投入電力の演算値（制御目標値）、Ｏ₃ｏは脱着オゾン濃度の計測値、Ｏ₃ｓは脱着オゾン濃度の制御設定値、Ｋは制御ゲインである。 E = K (O ₃ o-O ₃ s)
Here, E is a calculated value (control target value) of the input power of the ozone generator 1, O ₃ o is a measured value of the desorbed ozone concentration, O ₃ s is a control set value of the desorbed ozone concentration, and K is a control gain. .

オゾン発生器１の投入電力の演算値Ｅは信号線Ｓ２を介してオゾン発生器１に送られ、オゾン発生器１では投入電力を演算値になるよう投入電力を調節する。 A calculation value E of the input power of the ozone generator 1 is sent to the ozone generator 1 via the signal line S2, and the ozone generator 1 adjusts the input power so that the input power becomes the calculation value.

このように、オゾンを吸脱着塔４に吸着貯留する吸着工程とこれを脱着する脱着工程を交互に行なうため、脱着工程ではオゾンを製造するオゾン発生器は停止しているが、本参考例では、脱着工程で脱着オゾン濃度を計測し、つぎの吸着工程におけるオゾン発生器１の投入オゾン電力を演算しておき、この演算値を使ってつぎの吸着工程でオゾン発生器１を運転するようにしている。 Thus, since the adsorption process for adsorbing and storing ozone in the adsorption / desorption tower 4 and the desorption process for desorbing the ozone are alternately performed, the ozone generator for producing ozone is stopped in the desorption process. The desorption ozone concentration is measured in the desorption process, the input ozone power of the ozone generator 1 in the next adsorption process is calculated, and the ozone generator 1 is operated in the next adsorption process using this calculated value. ing.

また、本装置を配管のスライム防止に用いるばあい、処理上重要なのは脱着オゾンのピーク濃度と処理時間であるので、脱着時のオゾン濃度のピーク値を計測し、これを所定値に保つようにしたり、また、脱着オゾン濃度がある基準値以上となる時間を計測しこれが所定時間になるようにしたり、さらには、脱着開始時に高濃度のオゾンがえられるので脱着開始から一定時間経過後の脱着オゾン濃度を一定にするようにすればさらに効果がある。もちろん、脱着オゾン濃度の変動を連続的に計測して、変動パターン全体が所定パターンになるようにしても良い。 When this equipment is used to prevent slime in piping, the peak concentration and treatment time of desorption ozone are important in processing. Therefore, the peak value of ozone concentration during desorption is measured and kept at a predetermined value. In addition, the time when the desorption ozone concentration exceeds a certain reference value is measured and this is set to a predetermined time. Furthermore, since high concentration ozone is obtained at the start of desorption, desorption after a certain period of time has elapsed from the start of desorption. It is more effective if the ozone concentration is made constant. Of course, the variation of the desorbed ozone concentration may be continuously measured so that the entire variation pattern becomes a predetermined pattern.

なお、本参考例では、吸着工程の時間は変えずにオゾン発生器を連続運転しながら時間当たりの投入電力を調節する例を説明したが、時間当たりの投入電力は変えずに吸着工程の時間を変えるようにして投入電力を調節しても良い。 In this reference example, the example in which the input power per hour is adjusted while continuously operating the ozone generator without changing the time of the adsorption process, but the time of the adsorption process is not changed without changing the input power per time. The input power may be adjusted in such a way as to change.

このように、本参考例では、脱着オゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、該計測値が所定値になるようにオゾン発生器１の投入電力を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 As described above, in this reference example, the desorbed ozone concentration is measured, and the input power of the ozone generator 1 is adjusted based on this measured value so that the measured value becomes a predetermined value. Even if the characteristics of the vessel should be changed, it is possible to desorb the predetermined ozone and perform a stable treatment, so that slime adhesion can be stably prevented over a long period of time.

参考例２．
図２は参考例２にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図２において、オゾン濃度計１０は配管９ではなく、水流エジェクタ７の下流側の予め定められた地点に取り付けられている。その他は図１と同じ構成である。 Reference Example 2
FIG. 2 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 2. In FIG. 2, the ozone concentration meter 10 is attached not at the pipe 9 but at a predetermined point on the downstream side of the water flow ejector 7. The rest of the configuration is the same as in FIG.

つぎに動作について説明する。前記参考例は気相の脱着オゾン濃度を計測するものであったが、本参考例は液側の脱着オゾン濃度を計測するようにしたものである。すなわち、脱着工程時に水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点でオゾン濃度を計測し、これを信号線Ｓ１を介して制御回路１２に送る。その他の動作は前記参考例１のばあいと同様である。 Next, the operation will be described. The reference example measures the desorption ozone concentration in the gas phase, but the reference example measures the desorption ozone concentration on the liquid side. That is, the ozone concentration is measured at a predetermined point on the downstream side of the water flow ejector 7 during the desorption process, and this is sent to the control circuit 12 via the signal line S1. Other operations are the same as those in the first embodiment.

すなわち、脱着時のオゾン濃度を計測し、これからえられる脱着時のオゾン濃度のピーク値や所定濃度以上となる時間、または脱着開始から一定時間経過後の計測値、もしくは該計測値の変動パターン全体などを用いて、これらが所定値になるように制御回路１２でオゾン発生器１の投入電力を演算し、つぎの吸着工程でこの演算値を用いてオゾン発生器１を運転する。 That is, the ozone concentration at the time of desorption is measured, and the peak value of ozone concentration at the time of desorption or the time when the concentration exceeds a predetermined concentration, or the measured value after a certain time has elapsed from the start of desorption, or the entire variation pattern of the measured value The control circuit 12 calculates the input power of the ozone generator 1 so that these become predetermined values, and the ozone generator 1 is operated using this calculated value in the next adsorption step.

このように、本参考例では、水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点で脱着オゾン濃度を計測し、これが所定値になるようにこの計測値に基づいてオゾン発生器１の投入電力を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあい、または用水の温度や汚染度合い、微生物の増殖速度、オゾンの反応速度が変わったばあいでも、これらの変化に追従して所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 As described above, in this reference example, the desorbed ozone concentration is measured at a predetermined point downstream of the water flow ejector 7, and the input power of the ozone generator 1 is adjusted based on the measured value so as to be a predetermined value. Therefore, even if the characteristics of the adsorbent or ozone generator change, or even if the temperature or degree of contamination of the water, the degree of contamination of microorganisms, the growth rate of microorganisms, or the reaction rate of ozone change, follow these changes and follow Since ozone can be desorbed and stable treatment can be performed, slime adhesion can be stably prevented over a long period of time.

実施の形態３．
図３は本発明の実施の形態３にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図３において、１３は圧力調節弁であり、酸素供給源２と循環系の配管１４を接続する配管１５に備え付けられている。また、信号線Ｓ２は制御回路１２と圧力調節弁１３を接続している。その他は図１、図２と同様である。 Embodiment 3 FIG .
FIG. 3 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Embodiment 3 of the present invention . In FIG. 3, reference numeral 13 denotes a pressure control valve, which is provided in a pipe 15 that connects the oxygen supply source 2 and a piping 14 of the circulation system. The signal line S2 connects the control circuit 12 and the pressure control valve 13. Others are the same as FIG. 1 and FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例１〜２とほぼ同様である。すなわち、配管９に備え付けられたオゾン濃度計１０を用いて、脱着オゾン濃度を計測する。この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾン濃度の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられる脱着オゾン濃度の設定値とを用いて、たとえばつぎの演算式を用いて、オゾン発生器１の圧力の制御目標値を演算する。 Next, the operation will be described. The operation is substantially the same as in Reference Examples 1 and 2 above. That is, the desorption ozone concentration is measured using an ozone concentration meter 10 provided in the pipe 9. The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone concentration and the desorbed ozone concentration which is set by the setting device 11 and is obtained via the signal line S3. The control target value of the pressure of the ozone generator 1 is calculated using the value, for example, using the following calculation formula.

Ｂ＝Ｋ（Ｏ₃ｏ−Ｏ₃ｓ）
ここで、Ｂはオゾン発生器１の圧力の制御目標値である。 B = K (O ₃ o-O ₃ s)
Here, B is a control target value of the pressure of the ozone generator 1.

この演算値は信号線Ｓ２を経由して圧力調節弁１３に送られ、ついで圧力調節弁１３ではオゾン発生器１の圧力、すなわち配管１４内の圧力がこの値になるように酸素の供給を調節する。オゾン発生器１の圧力を変えるとオゾン発生特性が変化するので、吸脱着塔４内の吸着剤に吸着貯蔵するオゾン量を調節することができる。 This calculated value is sent to the pressure control valve 13 via the signal line S2, and the pressure control valve 13 adjusts the supply of oxygen so that the pressure of the ozone generator 1, that is, the pressure in the pipe 14 becomes this value. To do. When the pressure of the ozone generator 1 is changed, the ozone generation characteristics change, so that the amount of ozone that is adsorbed and stored in the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 can be adjusted.

このように、本参考例では、脱着オゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるようにオゾン発生器１の圧力を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 In this way, in this reference example, the desorbed ozone concentration is measured, and the pressure of the ozone generator 1 is adjusted based on this measured value so that it becomes a predetermined value. Even in the event of a change, it is possible to desorb predetermined ozone and perform a stable treatment, so that slime adhesion can be stably prevented over a long period of time.

実施の形態４．
図４は本発明の実施の形態４にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図４において、オゾン濃度計１０は水流エジェクタ７の下流側の予め定められた地点に設置されている。その他は図３と同様である。 Embodiment 4 FIG.
FIG. 4 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Embodiment 4 of the present invention. In FIG. 4, the ozone concentration meter 10 is installed at a predetermined point downstream of the water flow ejector 7. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。前記実施の形態３では、気相の脱着オゾン濃度を計測するものであったが、本実施の形態は液側の脱着オゾン濃度を計測するようにしたものである。すなわち、脱着工程時に水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点でオゾン濃度を計測し、これを信号線Ｓ１を介して制御回路１２に送る。その他の動作は前記実施の形態３と同様である。 Next, the operation will be described. In the third embodiment , the gas-phase desorbed ozone concentration is measured, but in the present embodiment, the liquid-side desorbed ozone concentration is measured. That is, the ozone concentration is measured at a predetermined point on the downstream side of the water flow ejector 7 during the desorption process, and this is sent to the control circuit 12 via the signal line S1. Other operations are the same as those in the third embodiment .

すなわち、脱着時のオゾン濃度を計測し、これからえられる脱着時のオゾン濃度のピーク値や所定濃度以上となる時間、または脱着開始から一定時間経過後の計測値、計測値の変動パターン全体などを用いて、これらが所定値になるよう制御回路１２でオゾン発生器１の圧力の制御目標値を演算し、つぎの吸着工程でこの演算値を用いて酸素供給の圧力調節弁１３を操作してオゾン発生器１の圧力を調節する。 That is, the ozone concentration at the time of desorption is measured, and the peak value of ozone concentration at the time of desorption and the time when the concentration exceeds the predetermined concentration, the measured value after a certain time has elapsed from the start of desorption, the entire variation pattern of the measured value, etc. Then, the control circuit 12 calculates the control target value of the pressure of the ozone generator 1 so that these become predetermined values, and operates the oxygen supply pressure control valve 13 by using this calculated value in the next adsorption step. The pressure of the ozone generator 1 is adjusted.

このように、本実施の形態では、水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点で脱着オゾン濃度を計測し、これが所定値になるようこの計測値に基づいてオゾン発生器１の圧力を酸素供給の圧力調節弁１３を操作して調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあい、または用水の温度や汚染度合い、微生物の増殖速度、オゾンの反応速度が変わったばあいでも、これらの変化に追従して所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 Thus, in the present embodiment, the desorbed ozone concentration is measured at a predetermined point downstream of the water flow ejector 7, and the pressure of the ozone generator 1 is supplied with oxygen based on this measured value so that this becomes a predetermined value. If the characteristics of the adsorbent or ozone generator change by any chance, or if the temperature or contamination level of water, the growth rate of microorganisms, or the reaction rate of ozone changes However, since it is possible to perform a stable treatment by desorbing predetermined ozone following these changes, slime adhesion can be stably prevented over a long period of time.

参考例５．
図５は参考例５におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図５において、信号線Ｓ２は制御回路１２と冷熱源５とを接続している。その他は図３と同様である。 Reference Example 5
FIG. 5 is a block diagram showing an ozone production apparatus in Reference Example 5. In FIG. 5, the signal line S 2 connects the control circuit 12 and the cooling source 5. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記実施の形態３とほぼ同様である。すなわち、配管９に備え付けられたオゾン濃度計１０を用いて、脱着オゾン濃度を計測する。この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾン濃度の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられる脱着オゾン濃度の設定値とを用いて、たとえばつぎの演算式を用いて、冷熱源５の冷却温度の制御目標値を演算する。 Next, the operation will be described. The operation is almost the same as in the third embodiment . That is, the desorption ozone concentration is measured using an ozone concentration meter 10 provided in the pipe 9. The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone concentration and the desorbed ozone concentration which is set by the setting device 11 and is obtained via the signal line S3. The control target value of the cooling temperature of the cooling heat source 5 is calculated using the value, for example, using the following calculation formula.

Ｔｃ＝Ｋ（Ｏ₃ｏ−Ｏ₃ｓ）
ここで、Ｔｃは冷熱源５の冷却温度の制御目標値である。 Tc = K (O ₃ o-O ₃ s)
Here, Tc is a control target value of the cooling temperature of the cold heat source 5.

この演算値は信号線Ｓ２を経由して冷熱源５に送られ、冷熱源５では冷却媒体の温度、すなわち吸脱着塔４内の吸着剤の冷却温度がこの値になるように温度を調節する。吸着剤の冷却温度を変えるとシリガゲルへのオゾン吸着特性が変化するので、吸脱着塔４内の吸着剤に吸着貯留するオゾン量を調節することができる。 This calculated value is sent to the cold heat source 5 via the signal line S2, and the cold heat source 5 adjusts the temperature so that the temperature of the cooling medium, that is, the cooling temperature of the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 becomes this value. . If the cooling temperature of the adsorbent is changed, the ozone adsorption characteristics to the silica gel change, so that the amount of ozone adsorbed and stored in the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 can be adjusted.

このように、本参考例では、脱着オゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるよう冷熱源５の冷却媒体の温度、すなわち吸脱着塔４内の吸着剤の冷却温度を調節するので、吸着剤やオゾン発生器１の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 Thus, in this reference example, the desorption ozone concentration is measured, and based on this measured value, the temperature of the cooling medium of the cold heat source 5 so that it becomes a predetermined value, that is, the cooling temperature of the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 Therefore, even if the characteristics of the adsorbent or ozone generator 1 change, it is possible to desorb the predetermined ozone and perform stable treatment, so that slime adhesion can be prevented stably over a long period of time. Can do.

参考例６．
図６は参考例６にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図６において、信号線Ｓ２は制御回路１２と加熱源６とを接続している。その他は図５と同様である。 Reference Example 6
FIG. 6 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 6. In FIG. 6, the signal line S 2 connects the control circuit 12 and the heating source 6. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例５とほぼ同様である。すなわち、配管９に備え付けられたオゾン濃度計１０を用いて、脱着オゾン濃度を計測する。この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾン濃度の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられる脱着オゾン濃度の設定値とを用いて、前記参考例５と同様にして加熱源６の加温温度の制御目標値を演算する。 Next, the operation will be described. The operation is almost the same as in Reference Example 5. That is, the desorption ozone concentration is measured using an ozone concentration meter 10 provided in the pipe 9. The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone concentration and the desorbed ozone concentration which is set by the setting device 11 and is obtained via the signal line S3. The control target value of the heating temperature of the heating source 6 is calculated using the value in the same manner as in Reference Example 5.

この演算値は信号線Ｓ２を経由して加熱源６に送られ、媒体の加温温度、すなわち脱着時の吸脱着塔４内の吸着剤温度がこの値になるように加温温度を調節する。吸着剤の加温温度を変えると吸着剤へのオゾン吸着特性が変化するので、吸脱着塔４内の吸着剤から脱着するオゾン量を調節することができる。 This calculated value is sent to the heating source 6 via the signal line S2, and the heating temperature is adjusted so that the heating temperature of the medium, that is, the adsorbent temperature in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption becomes this value. . When the heating temperature of the adsorbent is changed, the ozone adsorption characteristic to the adsorbent changes, so that the amount of ozone desorbed from the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 can be adjusted.

このように、本参考例では、脱着オゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるよう加熱源６の媒体の温度、すなわち脱着時の吸脱着塔４内の吸着剤の加熱温度を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なうことができ、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 Thus, in this reference example, the desorption ozone concentration is measured, and based on this measurement value, the temperature of the medium of the heating source 6 so that it becomes a predetermined value, that is, the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption. Since the heating temperature is adjusted, even if the characteristics of the adsorbent or ozone generator change, it is possible to desorb the specified ozone and perform stable treatment, and prevent slime adhesion stably over a long period of time. can do.

参考例７．
図７は参考例７にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図７において、オゾン濃度計１０は水流エジェクタ７の下流側の予め定められた地点に設置されている。その他は図５と同様である。 Reference Example 7
FIG. 7 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 7. In FIG. 7, the ozone concentration meter 10 is installed at a predetermined point on the downstream side of the water flow ejector 7. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。前記参考例５では気相の脱着オゾン濃度を計測するものであったが、本参考例は液側の脱着オゾン濃度を計測するようにしたものである。すなわち、脱着工程時に水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点でオゾン濃度を計測し、これを信号線Ｓ１を介して制御回路１２に送る。その他の動作は前記参考例５と同様である。 Next, the operation will be described. In the reference example 5, the desorption ozone concentration in the gas phase is measured, but in this reference example, the desorption ozone concentration on the liquid side is measured. That is, the ozone concentration is measured at a predetermined point on the downstream side of the water flow ejector 7 during the desorption process, and this is sent to the control circuit 12 via the signal line S1. Other operations are the same as those in Reference Example 5.

すなわち、脱着時のオゾン濃度を計測し、これからえられる脱着時のオゾン濃度のピーク値や所定濃度以上となる時間、または脱着開始から一定時間経過後の計測値、計測値の変動パターン全体などを用いて、これらが所定値になるよう制御回路１２で冷熱源５の冷却温度の制御目標値を演算し、つぎの吸着工程でこの演算値を用いて冷熱源５の冷却温度を制御して吸脱着塔４内の吸着剤の冷却温度を調節する。 That is, the ozone concentration at the time of desorption is measured, and the peak value of ozone concentration at the time of desorption and the time when the concentration exceeds the predetermined concentration, the measured value after a certain time has elapsed from the start of desorption, the entire variation pattern of the measured value, etc. Then, the control circuit 12 calculates a control target value of the cooling temperature of the cooling source 5 so that these become predetermined values, and controls the cooling temperature of the cooling source 5 using the calculated value in the next adsorption step. The cooling temperature of the adsorbent in the desorption tower 4 is adjusted.

このように、本参考例では、水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点で脱着オゾン濃度を計測し、これが所定値になるようこの計測値に基づいて冷熱源５の冷却温度を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあい、または用水の温度や汚染度合い、微生物の増殖速度、オゾンの反応速度が変わったばあいでも、これらの変化に追従して所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なうことができ、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 Thus, in this reference example, the desorption ozone concentration is measured at a predetermined point downstream of the water flow ejector 7, and the cooling temperature of the cooling heat source 5 is adjusted based on this measurement value so that it becomes a predetermined value. Even if the characteristics of the adsorbent or ozone generator change, or even if the temperature or contamination level of water, the growth rate of microorganisms, or the reaction rate of ozone change, It is possible to carry out a stable treatment by desorbing and to prevent the slime from adhering stably over a long period of time.

参考例８．
図８は参考例８にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図８において、信号線Ｓ２は制御回路１２と加熱源６とを接続している。その他は図７と同様である。 Reference Example 8
FIG. 8 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 8. In FIG. 8, the signal line S 2 connects the control circuit 12 and the heating source 6. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例７とほぼ同様である。すなわち、水流エジェクタ７の下流側の予め定められた地点に設置したオゾン濃度計１０を用いて、脱着オゾン濃度を計測する。この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾン濃度の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられる脱着オゾン濃度の設定値とを用いて、前記参考例５と同様にして加熱源６の加温温度の制御目標値を演算する。 Next, the operation will be described. The operation is almost the same as in Reference Example 7. That is, the desorption ozone concentration is measured using an ozone concentration meter 10 installed at a predetermined point downstream of the water flow ejector 7. The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone concentration and the desorbed ozone concentration which is set by the setting device 11 and is obtained via the signal line S3. The control target value of the heating temperature of the heating source 6 is calculated using the value in the same manner as in Reference Example 5.

この演算値は信号線Ｓ２を経由して加熱源６に送られ、媒体の加温温度、すなわち脱着時の吸脱着塔４内の吸着剤温度がこの値になるよう加温温度を調節する。吸着剤の加温温度を変えるとシリガゲルへのオゾン吸着特性が変化するので、吸脱着塔４内の吸着剤にから脱着するオゾン量を調節することができる。 This calculated value is sent to the heating source 6 via the signal line S2, and the heating temperature is adjusted so that the heating temperature of the medium, that is, the adsorbent temperature in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption becomes this value. When the heating temperature of the adsorbent is changed, the ozone adsorption characteristics to the silica gel change, so that the amount of ozone desorbed from the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 can be adjusted.

このように、本参考例では、水流エジェクタ７の下流側の予め定めた地点で脱着オゾン濃度を計測し、これが所定値になるようこの計測値に基づいて加熱源６の媒体の温度、すなわち脱着時の吸脱着塔４内の吸着剤の加熱温度を調節するので、吸着剤やオゾン発生器１の特性が万が一変化したばあい、または用水の温度や汚染度合い、微生物の増殖速度、オゾンの反応速度が変わったばあいでも、これらの変化に追従して所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なうことができ、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 Thus, in this reference example, the desorption ozone concentration is measured at a predetermined point downstream of the water flow ejector 7, and the temperature of the medium of the heating source 6, that is, the desorption is based on this measured value so that this becomes a predetermined value. Since the heating temperature of the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 is adjusted, the characteristics of the adsorbent and the ozone generator 1 should change, or the temperature and degree of contamination of the water, the growth rate of microorganisms, and the ozone reaction Even when the speed changes, it is possible to follow the above changes and desorb predetermined ozone to perform a stable treatment, and to prevent slime adhesion stably over a long period of time.

参考例９．
図９は参考例９におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図９において、圧力検知手段を備えており、１６は吸脱着塔４に取り付けられ脱着工程時の脱着ガス圧力を計測する圧力計測手段である圧力計であり、これの計測信号は出力として信号線Ｓ１により制御回路１２に接続されている。その他は図１、２と同様である。 Reference Example 9
FIG. 9 is a block diagram showing an ozone production apparatus in Reference Example 9. In FIG. 9, a pressure detecting means is provided, and 16 is a pressure gauge which is a pressure measuring means which is attached to the adsorption / desorption tower 4 and measures the desorption gas pressure at the time of the desorption process. It is connected to the control circuit 12 by S1. Others are the same as those in FIGS.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例１〜２とほぼ同様である。すなわち、吸脱着塔４に取り付けられ圧力計１６を用いて、脱着時の吸脱着塔４内の圧力、すなわち、脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測する。この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾンガス圧力の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介して得られる脱着オゾンガス圧力の設定値とを用いて、たとえばつぎの演算式によりを行いオゾン発生器１の投入電力を演算する。 Next, the operation will be described. The operation is substantially the same as in Reference Examples 1 and 2 above. That is, a pressure gauge 16 attached to the adsorption / desorption tower 4 is used to measure the pressure in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone. The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone gas pressure and the desorbed ozone gas pressure set by the setting device 11 and obtained via the signal line S3. Using the value, for example, the following calculation formula is used to calculate the input power of the ozone generator 1.

Ｅ＝Ｋ(ＰＯ₃ｏ−ＰＯ₃ｓ）
ここで、Ｅはオゾン発生器１の投入電力の演算値（制御目標値）、ＰＯ₃ｏは脱着オゾンガス圧力の計測値、ＰＯ₃ｓは脱着オゾンガス圧力の制御設定値、Ｋは制御ゲインである。 E = K (PO ₃ o-PO ₃ s)
Here, E is a calculated value (control target value) of the input power of the ozone generator 1, PO ₃ o is a measured value of the desorbed ozone gas pressure, PO ₃ s is a control set value of the desorbed ozone gas pressure, and K is a control gain. .

オゾン発生器１の投入電力の演算値Ｅは信号線Ｓ２を介してオゾン発生器１に送られ、オゾン発生器１では投入電力を演算値になるよう投入電力を調整する。 A calculation value E of the input power of the ozone generator 1 is sent to the ozone generator 1 via the signal line S2, and the input power is adjusted so that the input power becomes the calculation value.

この種の装置ではオゾンを吸脱着塔４に吸着保存する吸着工程とこれを脱着する脱着工程を交互に行うため、脱着工程ではオゾンを製造するオゾン発生器は停止している。本参考例では、脱着工程で脱着オゾンガス圧力を計測し、つぎの吸着工程におけるオゾン発生器の投入オゾン電力を演算しておき、この演算値を使ってつぎの吸着工程でオゾン発生器を運転する。 In this type of apparatus, since the adsorption process for adsorbing and storing ozone in the adsorption / desorption tower 4 and the desorption process for desorbing the ozone are alternately performed, the ozone generator for producing ozone is stopped in the desorption process. In this reference example, the desorption ozone gas pressure is measured in the desorption process, the ozone power input to the ozone generator in the next adsorption process is calculated, and the ozone generator is operated in the next adsorption process using this calculated value. .

脱着するオゾン量や濃度と脱着時のガス圧力には相関があり、また、オゾン濃度計が高価な計測装置であるのに対し圧力計は安価であるので、オゾン濃度計の場合と同様の制御効果を得ながら装置を安価に製作することができる。 There is a correlation between the amount and concentration of ozone to be desorbed and the gas pressure at the time of desorption, and since the ozone meter is an expensive measuring device, the pressure meter is inexpensive, so the same control as in the case of the ozone concentration meter The device can be manufactured at low cost while obtaining the effect.

また、本参考例の装置を配管のスライム防止に用いるばあい、処理上重要なのは脱着オゾンのピーク濃度と処理時間である。このため、脱着時のオゾン濃度のピーク値、すなわち、これと相関のある脱着ガス圧力を計測してこれを所定値に保つようにしたり、また、脱着ガス圧力がある基準値以上となる時間を計測し、これが所定時間になるようにしたり、さらには、脱着開始時に高濃度のオゾンが得られるので脱着開始から一定時間経過後、またはその時間内の脱着オゾンガス圧力を一定にするようにすればさらに効果がある。もちろん、脱着オゾン圧力の変動を連続的に計測して、変動パターン全体が所定パターンになるようにしても良い。 In addition, when the apparatus of this reference example is used for preventing slime in piping, what is important in processing is the peak concentration of desorbed ozone and the processing time. For this reason, the peak value of ozone concentration at the time of desorption, that is, the desorption gas pressure correlated therewith is measured and kept at a predetermined value, or the time during which the desorption gas pressure exceeds a certain reference value is set. If it is measured and this is set to a predetermined time, or a high concentration of ozone is obtained at the start of desorption, a certain amount of time has passed since desorption start or if the desorption ozone gas pressure within that time is made constant More effective. Of course, the fluctuation of the desorbed ozone pressure may be continuously measured so that the entire fluctuation pattern becomes a predetermined pattern.

このように、本参考例では、脱着オゾン濃度と相関のある脱着ガス圧力に注目し、オゾン濃度計よりも安価な圧力計を用いて脱着ガスの圧力を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるようオゾン発生器１の投入電力を調節する。このため、吸着剤やオゾン発生器１の特性が万が一変化したばあいでも、安価な計測装置を用いて所定のオゾンを脱着して安定した処理が行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。 Thus, in this reference example, paying attention to the desorption gas pressure correlated with the desorption ozone concentration, the pressure of the desorption gas is measured using a pressure gauge cheaper than the ozone concentration meter, and based on this measured value, The input power of the ozone generator 1 is adjusted so that this becomes a predetermined value. For this reason, even if the characteristics of the adsorbent and ozone generator 1 change, stable treatment can be performed by desorbing predetermined ozone using an inexpensive measuring device, so that slime adhesion is stable over a long period of time. Can be prevented.

参考例１０．
図１０は参考例１０にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図１０において、制御回路１２の出力信号は信号線Ｓ２を介して酸素供給源２と配管１４を接続する配管１５に備え付けられている圧力調節弁１３を接続している。その他は図９と同様である。 Reference Example 10
FIG. 10 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 10. In FIG. 10, the output signal of the control circuit 12 is connected to a pressure control valve 13 provided in a pipe 15 connecting the oxygen supply source 2 and the pipe 14 via a signal line S2. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例９とほぼ同様である。すなわち、吸脱着塔４に取り付けられ圧力計１６を用いて、脱着時の吸脱着塔４内の圧力、すなわち脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測する。 Next, the operation will be described. The operation is almost the same as in Reference Example 9. That is, a pressure gauge 16 attached to the adsorption / desorption tower 4 is used to measure the pressure in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone.

この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾンガス圧力の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられる脱着オゾンガス圧力の設定値とを用いて、たとえばつぎの演算式により、オゾン発生器１の圧力の制御目標値を演算する。 The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone gas pressure and the setting of the desorbed ozone gas pressure which is set separately by the setting device 11 and obtained via the signal line S3. The control target value of the pressure of the ozone generator 1 is calculated using, for example, the following calculation formula.

Ｂ＝Ｋ（ＰＯ₃ｏ−ＰＯ₃ｓ）
ここで、Ｂはオゾン発生器１の圧力の制御目標値である。 B = K (PO ₃ o-PO ₃ s)
Here, B is a control target value of the pressure of the ozone generator 1.

この演算値は信号線Ｓ２を経由して圧力調整弁１３に送られ、そして圧力調節弁１３ではオゾン発生器１の圧力、すなわち配管１４内の圧力がこの値になるよう酸素の供給を調節する。オゾン発生器１の圧力を変えるとオゾン発生特性が変化するので、吸脱着塔４内の吸着剤に吸着貯留するオゾン量、すなわち脱着オゾン量を調節することができる。 This calculated value is sent to the pressure adjusting valve 13 via the signal line S2, and the pressure adjusting valve 13 adjusts the supply of oxygen so that the pressure of the ozone generator 1, that is, the pressure in the pipe 14 becomes this value. . When the pressure of the ozone generator 1 is changed, the ozone generation characteristics change. Therefore, the amount of ozone adsorbed and stored in the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4, that is, the amount of desorption ozone can be adjusted.

このように、本参考例では脱着オゾン濃度や量と相関がある吸脱着塔４内の圧力、すなわち、脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるようにオゾン発生器１の圧力を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。さらに、オゾン濃度計に比べ圧力計は安価であるので、オゾン濃度計を使うばあいと同様の効果を安価な装置で実現することができる。 Thus, in this reference example, the pressure in the adsorption / desorption tower 4 correlated with the desorption ozone concentration and amount, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone is measured, and this is set to a predetermined value based on this measurement value. The pressure of the ozone generator 1 is adjusted so that even if the characteristics of the adsorbent or ozone generator change, it is possible to desorb the predetermined ozone and perform stable treatment, so that slime adhesion is long. It can be prevented stably over a period of time. Furthermore, since the pressure gauge is less expensive than the ozone concentration meter, the same effect as when the ozone concentration meter is used can be realized with an inexpensive device.

参考例１１．
図１１は参考例１１にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図１１において、信号線Ｓ２は制御回路１２と冷熱源５とを接続している。その他は図１０と同様である。 Reference Example 11
FIG. 11 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 11. In FIG. 11, the signal line S 2 connects the control circuit 12 and the cooling heat source 5. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例１０とほぼ同様である。すなわち、吸脱着塔４に取り付けられ圧力計１６を用いて、脱着時の吸脱着塔４内の圧力、すなわち、脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測する。 Next, the operation will be described. The operation is almost the same as in Reference Example 10. That is, a pressure gauge 16 attached to the adsorption / desorption tower 4 is used to measure the pressure in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone.

この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾンガス圧力の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介してえられる脱着オゾンガス圧力の設定値とを用いて、たとえばつぎの演算式により、冷熱源５の冷却温度の制御目標値を演算する。 The measured value is supplied to the control circuit 12 via the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone gas pressure and the setting of the desorbed ozone gas pressure which is set separately by the setting device 11 and obtained via the signal line S3. The control target value of the cooling temperature of the cold heat source 5 is calculated by using the value, for example, by the following calculation formula.

Ｔｃ＝Ｋ（ＰＯ₃ｏ−ＰＯ₃ｓ）
ここで、Ｔｃは冷却源５の冷却温度の制御目標値である。 Tc = K (PO ₃ o-PO ₃ s)
Here, Tc is a control target value of the cooling temperature of the cooling source 5.

この演算値は信号線Ｓ２を経由して冷熱源５に送られ、冷熱源５では冷却媒体の温度、すなわち吸脱着塔４内の吸着剤の冷却温度がこの値になるよう温度を調節する。吸着剤の冷却温度を変えるとシリガゲルへのオゾン吸着特性が変化するので、吸脱着塔４内の吸着剤に吸着保存するオゾン量を調節することができる。 This calculated value is sent to the cold heat source 5 via the signal line S2, and the cold heat source 5 adjusts the temperature so that the temperature of the cooling medium, that is, the cooling temperature of the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 becomes this value. When the cooling temperature of the adsorbent is changed, the ozone adsorption characteristics to the silica gel change, so that the amount of ozone stored in the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 can be adjusted.

このように、本参考例では脱着オゾン濃度や量と相関がある吸脱着塔４内の圧力、すなわち脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるように冷熱源５の冷却媒体の温度、すなわち吸脱着塔４内の吸着剤の冷却温度を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なえるので、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。さらに、オゾン濃度計に比べ圧力計は安価であるので、オゾン濃度計を使うばあいと同様の効果を安価な装置で実現することができる。 Thus, in this reference example, the pressure in the adsorption / desorption tower 4 correlated with the desorbed ozone concentration and amount, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone is measured, and this becomes a predetermined value based on this measured value. Thus, the temperature of the cooling medium of the cold heat source 5, that is, the cooling temperature of the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 is adjusted, so that even if the characteristics of the adsorbent and the ozone generator are changed, the predetermined ozone is desorbed. Therefore, slime adhesion can be stably prevented over a long period of time. Furthermore, since the pressure gauge is less expensive than the ozone concentration meter, the same effect as when the ozone concentration meter is used can be realized with an inexpensive device.

参考例１２．
図１２は参考例１２にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。図１２において、信号線Ｓ２は制御回路１２と加熱源６とを接続している。その他は図１１と同様である。 Reference Example 12.
FIG. 12 is a block diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 12. In FIG. 12, the signal line S 2 connects the control circuit 12 and the heating source 6. Others are the same as FIG.

つぎに動作について説明する。動作は前記参考例１１とほぼ同様である。すなわち、吸脱着塔４に取り付けられ圧力計１６を用いて、脱着時の吸脱着塔４内の圧力、すなわち、脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測する。 Next, the operation will be described. The operation is almost the same as in Reference Example 11. That is, a pressure gauge 16 attached to the adsorption / desorption tower 4 is used to measure the pressure in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone.

この計測値は信号線Ｓ１を介して制御回路１２に供給され、制御回路１２では、この脱着オゾン濃度の計測値と別途設定器１１で設定され信号線Ｓ３を介して得られる脱着オゾン濃度の設定値とを用いて、前記参考例１１と同様にして加熱源６の加温温度の制御目標値を演算する。 This measured value is supplied to the control circuit 12 through the signal line S1, and the control circuit 12 sets the measured value of the desorbed ozone concentration and the desorbed ozone concentration obtained through the signal line S3 set by the setting device 11 separately. The control target value of the heating temperature of the heating source 6 is calculated using the value in the same manner as in Reference Example 11.

このように、本参考例では、脱着オゾン濃度や量と相関がある吸脱着塔４内の圧力、すなわち、脱着したオゾンを含むガスの圧力を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるよう加熱源６の媒体の温度、すなわち脱着時の吸脱着塔４内の吸着剤の加熱温度を調節するので、吸着剤やオゾン発生器の特性が万が一変化したばあいでも、所定のオゾンを脱着して安定した処理を行なうことができ、スライムの付着を長期間にわたり安定して防止することができる。さらに、オゾン濃度計に比べ圧力計は安価であるので、オゾン濃度計を使うばあいと同様の効果を安価な装置で実現することができる。 As described above, in this reference example, the pressure in the adsorption / desorption tower 4 correlated with the desorption ozone concentration and amount, that is, the pressure of the gas containing desorbed ozone is measured, and based on this measurement value, this is a predetermined value. Since the temperature of the medium of the heating source 6, that is, the heating temperature of the adsorbent in the adsorption / desorption tower 4 at the time of desorption is adjusted, even if the characteristics of the adsorbent and the ozone generator change, It is possible to carry out a stable treatment by desorbing and to prevent the slime from adhering stably over a long period of time. Furthermore, since the pressure gauge is less expensive than the ozone concentration meter, the same effect as when the ozone concentration meter is used can be realized with an inexpensive device.

参考例１にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 1. FIG. 参考例２にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 2. FIG. 本発明の実施の形態３にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning Embodiment 3 of this invention . 本発明の実施の形態４にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning Embodiment 4 of this invention. 参考例５にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 5. 参考例６にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 6. 参考例７にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 7. 参考例８にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。10 is a configuration diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 8. FIG. 参考例９にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 9. 参考例１０にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram showing an ozone production apparatus according to Reference Example 10. 参考例１１にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 11. 参考例１２にかかわるオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ozone manufacturing apparatus concerning the reference example 12. 従来のオゾン製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the conventional ozone manufacturing apparatus.

Explanation of symbols

１オゾン発生器、２酸素供給源、３循環ブロア、４吸脱着塔、５冷熱源、６加熱源、７オゾン脱着手段（水流エジェクタ）、８ａ〜８ｆ切替弁、９配管、１０オゾン濃度計、１１設定器、１２制御回路、１３圧力調節弁、１４，１５配管、１６圧力計、Ｓ１〜Ｓ３信号線。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ozone generator, 2 Oxygen supply source, 3 Circulation blower, 4 Adsorption / desorption tower, 5 Cooling heat source, 6 Heating source, 7 Ozone desorption means (water flow ejector), 8a-8f Switching valve, 9 piping, 10 Ozone concentration meter, 11 setter, 12 control circuit, 13 pressure regulating valve, 14, 15 piping, 16 pressure gauge, S1-S3 signal line.

Claims

(A) generating ozone with an ozone generator;
(B) adsorbing and storing ozone obtained in the step (a) in an adsorption / desorption tower;
(C) a step of desorbing and releasing ozone adsorbed and stored in the step (b) with a water ejector;
(D) a step of measuring the concentration of ozone desorbed and released in the step (c) on the outlet pipe of the adsorption / desorption tower in the desorption step or on the downstream side of the water flow ejector;
(E) calculating a control target value of the pressure of the ozone generator from the measured value of the ozone concentration at the time of desorption obtained in the step (d);
And (f) adjusting the pressure of the ozone generator by operating a pressure control valve for supplying oxygen using the control target value calculated in the step (e). A method of controlling the pressure of the generator.

The measurement of the ozone concentration in step (d), a method of controlling the pressure of the ozone generator according to claim 1, wherein the performing the peak value of the ozone concentration at the time of desorption.

The measurement of the ozone concentration in step (d), a method of ozone concentration at the time of desorption is to control the pressure of the ozone generator according to claim 1, wherein the performing by the time equal to or greater than a predetermined concentration.

The measurement of the ozone concentration in step (d), a method of controlling the pressure of the ozone generator according to claim 1, characterized in that after a certain time has passed from the desorption start.