JP4347932B2 - Resin sealing device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造用の樹脂封止装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造用として用いられる樹脂封止装置について図6を参照して説明する。図6において、101は装置本体の中央部に装備されたモールド金型である。このモールド金型101には、被成形品であるリードフレームやBGA用などの回路基板、樹脂タブレットなどが搬入される。モールド金型101の上下金型面には、上型と下型とをX−Y方向に位置決めするためのロックブロック102が四辺に設けられている。
モールド金型101の一方側(図面左側)には被成形品供給部103が装備されており、他方側(図面右側)には成形品収納部104が装備されている。
【0003】
被成形品供給部103には、供給テーブル105を前後に挟んでリードフレーム106を収容する供給マガジンや樹脂タブレット107を収容するパーツフィーダー108が配備されている。
供給マガジンに収容されたリードフレーム106は、プッシャにより1枚ずつ送り出され、更に搬送キャリアにより供給テーブル105上に供給される。また、樹脂タブレット107は、パーツフィーダー108よりホルダーに1回の樹脂封止分だけ保持されて供給テーブル105上に供給される。そして、供給テーブル105とモールド金型101との間を往復移動するローダー109によりリードフレーム106及び樹脂タブレット107が保持されたままモールド金型101へ搬送される。
【0004】
成形品収納部104には、成形品110をゲートブレイクするディゲート部111及び不要樹脂を取り除いた成形品110のみを収納する収納マガジン112が装備されている。樹脂封止後の成形品は、モールド金型101とディゲート部111との間を往復移動するアンローダー113により保持されてディゲート部111へ載置される。そして、ディゲート部111でゲートブレイクして不要樹脂をスクラップボックスへ回収した後、成形品110のみを収納用ハンドにより保持して収納マガジン112へ収納するようになっている。
アンローダー113には、モールド金型101より成形品を保持して退避する際に金型面をクリーニングするためのエア吸引口113a及びクリーニングブラシ113bが装備されており、これらが金型面に沿って摺動する際に封止樹脂の残りや塵などを吸引除去するようになっている。
尚、114は、樹脂封止装置の動作を制御する制御部である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図6に示す従来の樹脂封止装置には以下に述べる課題があった。即ち、樹脂タブレットから顆粒樹脂を使用したい場合、被成形品であるリードフレーム106と共に放熱板等も樹脂封止したい場合、リリースフィルムを用いて樹脂封止したい場合などの、成形品種の変更や多品種少量生産などのニーズの高まりや、半導体装置の高品質化、製造コストの低減化などを図るニーズの高まりから、樹脂封止装置に各種機能を増設して既存の装置形態を変更する必要がある。この場合、従来の装置レイアウトでは、増設ユニットの設置スペースに乏しく大幅な設計変更を迫られるため、上記ニーズに対応して臨機応変に装置形態を実現するのは困難であった。
【0006】
また、被成形品をリードフレームからBGA用の回路基板に変更した場合、収納マガジン112は、成形品毎にスリットを形成したスリットマガジン(ボンダーマガジン)115に変更するため、収納スペースが手前側にはみ出して、装置の設置面積が増える上に、ディゲート部111より成形品110をスリットマガジン115に押し込むための収納用プッシャーも必要となり、装置構成の大幅な変更を迫られる。
【0007】
また、被成形品及び成形品を搬入、搬出するためのローダー109、アンローダー113に装備されたチャックハンド、ディゲート部111より収納マガジン112へ収納する収納用ハンドのように少なくとも3種類のハンドを使用しているため、成形品種を変更すると成形品のチャック位置が変わることから、各ハンドを品種に応じて交換しなければならず品種交換に時間がかかる。また搬送経路に応じてハンドが変わることによりそれぞれ3種類のハンド毎に移送エリアや駆動源が必要となり装置の大型化を招来してしまう。
また、従来パーツフィーダー108のホルダーへの樹脂タブレット107の供給口からローダー109への受け渡し迄の距離が長いことも、装置の大型化を招来していた。
【0008】
また、従来の装置レイアウトによれば、リードフレームやBGA用の回路基板などの被成形品の補充及び交換、樹脂タブレットの補充及び交換、不要樹脂を収容したスクラップボックスの交換、収納マガジンの交換などのメンテナンス作業を装置の異なる側面から行われることから、装置の周囲に予め十分なスペースを確保しなければならず、装置どうしを近接して配置できず、クリーンルームの床面積を有効に利用できない。
【0009】
また、モールド金型101の金型表面にロックブロック101aが突設されているため、アンローダー113に装備したクリーナの吸引口113aが干渉し、金型表面に付着した塵を十分吸引除去できない。また、金型表面には、通常ローダー109、アンローダー113のチャックハンドが被成形品を載置したり成形品を保持したりするための逃げ(凹部)が形成されており、該凹部に塵がたまると除去できない。そのまま放置すればチャックハンドのチャック不良を生ずるおそれがあった。
【0010】
本発明は、上記従来技術の課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、各種機能増設ユニットを増設し易い装置レイアウトを実現し、成形品種の変更に伴う装置形態の変更を容易にすること、被成形品及び成形品などの補充交換などのメンテナンス作業を同一側面側より行うことで作業性を高めると共に装置を小型化して設置面積を有効に利用すること、クリーニング性能を向上させることなどを実現した樹脂封止装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、被成形品を供給する供給部、成形品を収納する収納部、成形品と不要樹脂を分離するディゲート部を有する供給収納エリアが、樹脂封止部を有する成形エリアに対して一方側に互いに隣接して直線的に集中配置されており、該成形エリアの周囲の空きエリアに増設ユニットを増設可能な増設エリアが形成され、前記被成形品の供給部から樹脂封止部への搬送動作、前記成形品及び不要樹脂のディゲート部への搬送動作、前記成形品のディゲート部から収納部への搬送動作のうち少なくとも2以上の動作を同一の搬送体を用いて行なわれることを特徴とする。
【0012】
また、前記供給収納エリアにおいて、供給マガジンに収容された被成形品、収納マガジンに収納された成形品、不要樹脂を回収するスクラップボックス、成形エリアにおけるダストボックスは、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるようにしたことを特徴とする。
また、前記供給収納エリアの供給部、収納部、ディゲート部と成形エリアの樹脂封止部がこの順に隣接して直線的に配置されていることを特徴とする。
また、前記搬送体に装備されたチャックハンドは断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように設けられていることを特徴とする。
また、前記搬送体は前記供給部と前記樹脂封止部との間をガイドレールに沿って往復動することを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る半導体装置の製造用の樹脂封止装置について添付図面と共に詳細に説明する。図1は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図、図2は図1の樹脂封止装置の正面図、図3は図1の樹脂封止装置の左側面図、図4(a)(b)はモールド金型及びチャックハンドの構成を示す説明図、図5(a)(b)はモールド金型の上型及び下型の平面図である。
【0014】
先ず、図1乃至図3を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。
図1において、樹脂封止装置のレイアウト構成について説明する。リードフレーム或いはBGA用の回路基板などの被成形品1を供給する供給部A、成形品2を収納する収納部B、成形品2と不要樹脂を分離するディゲート部Cを有する供給収納エリアPが、樹脂封止部Dを有する成形エリアQに対して一方側(図1の左側)に互いに隣接して集中配置されている。即ち、成形エリアQの周囲に形成された空きエリアに増設エリアRを形成して各種機能を有する増設ユニットを増設可能になっている。供給収納エリアPの供給部A、収納部B、ディゲート部Cと成形エリアQの樹脂封止部Dは直線的に配置されている。後述する搬送体17の移動距離を最短にできること、及びこれらを隣接して配置することで設置面積を効率化して小型化が実現できるからである。
尚、直線的に配置される供給収納エリアPの供給部A、収納部B、ディゲート部Cの配置順はかならずしも図1に示す順番に限定されるものではなく、これらの順番を入れ換えて配置されていても良い。
【0015】
この増設エリアRに増設される増設ユニットの例としては、長尺状或いは短冊状のリリースフィルムなどのフィルム搬送ユニット、顆粒樹脂供給ユニット、クリーニングブラシやクリーニングシートやUV照射方式などにより金型面をクリーニングするクリーナーユニット、放熱板等の被成形品供給ユニット、減圧成形やフィルム吸引用のバキュームユニット、上型のエジェクタピンプレートを押し下げるか又は引き上げるか或いは押し下げと引き上げの両方の機能を有するエジェクタピン駆動ユニットなどのうちいずれか或いはこれらを組み合わせて複数装備されていても良い。
【0016】
次に樹脂封止装置の具体的な構成について説明する。被成形品1を供給する供給部Aの構成について説明する。3は被成形品1を収容する供給マガジンであり、本実施例では図2に示すように上下2段に装備されている。供給マガジン3は、被形成品1が1枚ずつ供給される度に図示しないエレベーション機構により間欠的に上昇するようになっている。図3において、4は引き出し用チャックハンドであり、供給マガジン3より被成形品1を供給テーブル5へ引き出すようになっている。この引き出し用チャックハンド4は、供給テーブル5上に装備されており、引き出し用モータ6により回転駆動されるネジ軸(ボールネジ)に連繋するナットを有する移動体に一体に装備され、図3の紙面に垂直方向に往復移動するようになっている。尚、供給マガジン3への被成形品1の補充は、金型チェイスの引き出し方向と同方向である図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0017】
図1において、供給部A、収納部B及びディゲート部Cの装置下部には、樹脂タブレット7を収容するパーツフィーダー8が装備されている。このパーツフィーダー8は、図2に示すように、樹脂タブレット7を1個ずつ整列して繰り出しす。そして、繰り出された樹脂タブレット7は、タブレットエレベーション機構9が長手方向を上下方向に向けて待機しているホルダー10の保持穴位置へ移動して充填用プッシャー11により(図3参照)保持穴へ1個ずつ充填される。ホルダー10は、1回の樹脂封止動作に必要なだけ樹脂タブレット7を保持して搬送する。図3に示すように、ホルダー10は、ホルダー支持部材12に支点13を中心に回動可能に支持されており、ホルダー支持部材12は図示しない駆動源より回転駆動されるベルト14に連繋してガイド軸15がガイド穴16に沿って上昇する際にホルダー支持部材12が90°回転してガイド穴16の上端側でホルダー10が供給テーブル5に平行に水平方向に支持されるようになっている。尚、パーツフィーダー8への樹脂タブレット7の補充も、図2に示すタブレット補充用扉8aを開閉して、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
このように、樹脂タブレット7をパーツフィーダー8の供給口(出口)から至近距離にて待機しているホルダー10へ受け渡して、該ホルダー10を供給テーブル5に対して下方から上下動させているため、後述する搬送体への樹脂タブレット7の受け渡し距離が短くなり、装置のコンパクト化や樹脂タブレット7の供給動作の高速化を図る上で有利である。
【0018】
図1において、17は搬送体であり、被成形品1の樹脂封止部Dへの搬送動作、成形品2及び不要樹脂のディゲート部Cへの搬送動作、成形品2のディゲート部Cから収納部Bへの搬送動作のうち少なくとも2以上の搬送動作を同一の搬送体17にて行うことが部品共用化の観点から望ましいが、本実施例ではこれらの3つの搬送動作を同一の搬送体17にて行うようになっている。
この搬送体17には、被成形品1や成形品2をチャックするチャックハンド18(図2参照)や樹脂タブレット7を保持するタブレット保持部19、更にはゲートブレイクする際に成形品の不要樹脂であるカルを上側から押さえる上カル押さえ20、モールド金型の表面をクリーニングするエア吸引口21などが一体に装備されている。このチャックハンド18は、幅サイズが異なる被成形品1及び成形品2を保持するため左右のハンドの間隔を拡縮できるようになっている。また、タブレット保持部19は、図2に示すように、供給テーブル5上に水平方向に支持されたホルダー10より樹脂タブレット7を受け渡されて保持する。
【0019】
また、図3において、搬送体17は、搬送用モータ22により回転駆動されるネジ軸(ボールネジ)23に連繋するナットを有する可動板24に一体に取り付けられている。搬送用モータ22を回転駆動することにより、可動板24がガイドレール25に沿って供給部Aと樹脂封止部Dとの間を往復移動するようになっている(図1参照)。尚、図1において、26は樹脂封止装置の動作を制御する制御部である。
【0020】
次に、樹脂封止部Dの構成について説明する。図1において、本実施例ではモールド金型27が多品種少量生産用として1フレーム取り用の金型が用いられている。モールド金型27のキャビティには被成形品1が1フレームと、ポット27aに樹脂タブレット7が装填される。図2において、上型28は固定プラテン29に支持されており、下型30は可動プラテン31に支持されている。図示しない電動モータにより回転駆動されるネジ軸に連繋するナットが上下動してトグル機構を介して支持された可動プラテン31がガイドポスト32に沿って上下に移動するようになっている。また、下型30側にはポット27a内にプランジャ33や該プランジャ33を支持する油圧閉回路やスプリングを有する均等圧ユニット34などを備えたプランジャ支持機構35が設けられている。このプランジャ支持機構35は、図示しない電動モータにより回転駆動されるネジ軸36に連繋するナット37により上下動するようになっている。
【0021】
モールド金型27のパーティング面は、リリースフィルム38に覆われていても良い。リリースフィルム38はモールド金型27の加熱温度に耐えられる所定の耐熱性を有するもので金型面から容易に剥離するものや、キャビティ等の樹脂封止部の内面形状にならって容易に変形する柔軟性、伸展性を有するもの、更には樹脂封止後に硬化した樹脂から容易に剥離するものを使用する。たとえば、PTFE、ETFE、PET、FEPフィルム等が好適に用いられる。また、図1に示すように、モールド金型27の前後の空いたスペースに長尺状のリリースフィルム38を供給リールから巻取リールに繰り出すリリースフィルム供給機構39を備えていても良い。
【0022】
また、図2に示すように、固定プラテン29の上側の空いたスペースに、エジェクタピン駆動ユニット40を備えていても良い。このエジェクタピン駆動ユニット40は、図4(a)に示す上型エジェクタピンプレート57を押し下げるか又は引き上げるか或いは押し下げと引き上げの両方の機能を有するものである。具体的には、エジェクタピン駆動ユニット40は、▲1▼型開きと同時に単に上型エジェクタピンプレート57を押下げロッドにより突いて押し下げて成形品2の離型に使用しても良く、▲2▼型開きと同時にスプリングの力で上型エジェクタピンプレート57と上型チェイスとが離間するように付勢して、成形品2と上型エジェクタピン56の表面とを引き剥がした後、▲1▼と同様にして成形品2の離型を行っても良く、或いは▲3▼上型エジェクタピンプレート57を引き上げて、成形品2と上型エジェクタピン56の表面とを引き剥がすようにしても良い。
また、図2において、成形エリアQの手前側、即ち樹脂封止部Dの手前側にはダストBOX41が引き出し可能に設けられている。このダストBOX41の上部にはフィルタ部42が設けられており、搬送体17に装備されたエア吸引口21より吸引された樹脂かすや微粉など或いはパーツフィーダ8より供給される樹脂タブレット7より吸引した樹脂粉などを吸引してフィルタにより除去するものである。このフィルタ部42は、ダストBOX41と一体になってケース固定部43より取り外せるようになっている。この場合には、ダストBOX41と共にフィルタも同時にクリーンルームの外へ持ち出して清掃したり、交換できるので、フィルタに付着した微粉がクリーンルーム内に飛散することがない。このフィルタ部42やダストBOX41の着脱作業は、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0023】
次に、図1において、ディゲート部Cの構成について説明する。ディゲート部Cには、搬送体17により樹脂封止後の成形品2が不要樹脂と一体になったまま搬送される。図2において、ディケート位置には、下カル押さえ44が上下動可能に装備されており、搬送体17に装備した上カル押さえ20と共に成形品カルをクランプ可能になっている。また、ディゲート位置には、上カル押さえ20及び下カル押さえ44により成形品カルがクランプされた成形品2を突き上げて該成形品カルを支点に回動させる突き出しロッド45が装備されている。この突き出しロッド45は、シリンダ駆動により上下方向に進退可能になっており、成形品2と成形品ランナ2a、成形品カル2bなどの不要樹脂とをゲートブレイクして分離する。分離された不要樹脂は、下カル押さえ44の下方に配備されたスクラップBOX46に落下して回収されるようになっている。このスクラップBOX46の着脱作業も、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0024】
次に、図1において、収納部Bの構成について説明する。収納部Bには、搬送体17によりディゲート後の成形品2が搬送される。搬送された成形品2は収納マガジン47に収納される。収納マガジン47の底部には成形品エレベーション機構48が装備されており、成形品2が収納される度に底部が下降して行くようになっている。また、成形品2がリードフレームの場合には、成形品2の上に成形品2が積み重なるように収納される。また、成形品2がBGA用の回路基板の場合には、図1に示すようにBGA用収納マガジン49に交換して、回路基板毎にスリット間に収納されるようになっている。この場合、BGA用の回路基板は、収納位置において収納用レール50に支持されており、該収納位置に対応して配備された収納用プッシャー51により収納用レール50に沿ってBGA用収納マガジン49に収納されるようになっている。
収納マガジン47やBGA用収納マガジン49の着脱作業も、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0025】
尚、図1に示すように、装置手前側に十分なスペースがあるため、矢印F方向から供給マガジン3や収納マガジン47をBGA用の回路基板用のマガジンに交換しても、これらが装置の設置面積よりはみ出したりすることはない。
また、図2において、装置底部にはキャスター60が回動自在に装備されており、樹脂封止装置を押すことにより床面上を移動できるようになっている。このキャスター60によりクリーンルーム内を樹脂封止装置を自由に移動することができるうえに、複数種類の増設ユニットを用意しておいて、所望の増設ユニットに連結して使用することが可能となる。樹脂封止装置をクリーンルーム内の所定位置に固定する場合には、ネジ軸にて上下に移動可能な支持ピラー61により高さ調節を行ってクリーンルームの床面に水平となるように設置される。
【0026】
ここで、モールド金型27の構成と搬送体17に装備したチャックハンド18のチャック動作との関係について図4及び図5を参照して説明する。
図4(a)において下型30側には、成形品2、成形品ランナ2a及び成形品カル2bを離型させるための下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下型30より突き出し可能に装備されている。これら下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53は、下型エジェクタピンプレート54に立設されている。エジェクタピンプレート54の下方にエジェクタロッド55が設けられており、可動プラテン31が下動した際に下型エジェクタピンプレート54の下面にエジェクタロッド55が突き当たって、下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53を突き出すようになっている。下型エジェクタピン52は、成形品2や成形品ランナ2a及び成形品カル2bを突き上げて離型させるが、フレームエジェクタピン53は、成形品2のガイド穴を挿通して突き上げるガイドピンの役割を果している。
また、上型28側にも成形品2や成形品カル2bを突き下ろして離型させる上型エジェクタピン56が突き出し可能に設けられている。この上型エジェクタピン56は、上型エジェクタピンプレート57に立設されており、図示しない押下げロッドで押接して上型エジェクタピンプレート57が押動されて上型エジェクタピン56が上型28より突き出し可能になっている。
【0027】
また、図5(a)において、上型28に形成された上型カル28aは、通常ポット27bの形状に対応して円形に形成されるが、該上型カル28aには突起部28bが形成されている。この結果、図4(a)において成形品カル2bに成形品突起部2cが形成されるようになっている。28cは上型キャビティである。また、図5(b)において、下型30には、ポット27aや金型ランナ30a、下型キャビティ30bなどが形成されている。
【0028】
次に、図4(a)を参照して搬送体17に装備したチャックハンド18の成形品2のチャック動作について説明する。樹脂封止動作が終了してモールド金型27が型開きを行うと、上型エジェクタピン56が突き出して成形品2を離型させ、可動プラテン31が下降するのに伴い下型30が下動する。そして、下型エジェクタピンプレート54がエジェクタロッド55に突き当たると、下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下型30より突き出して成形品2を下型面より若干浮かせた位置で支持している。このとき、成形品2は、フレームエジェクタピン53が成形品2のガイド穴を挿通して支持しているため、支持位置がずれることはない。
尚、搬送体17は、成形品2のチャック動作のみならず、被成形品1を下型30に受け渡す際にも、チャックハンド18と下型面との干渉を防止するため、下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下型30より突き出させた状態で受け渡される。その後、下型エジェクタピンプレート54を下動させて下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53を下型30内に引き込んで、被成形品1のフレームに形成されたガイド穴に下型面に形成されたガイドピン30cが挿通して位置決めされてセットされる。
【0029】
搬送体17は型開きしたモールド金型27に進入して、下型30側に支持されている成形品2をチャックハンド18により保持する。このとき、被成形品1と成形品2に成形品ランナ2a、成形品カル2bなどの不要樹脂が一体となったものをチャックするには間隔が異なるため、左右のチャックハンド18の間隔を広がるように調整されてフレーム端2dと成形品カル2bの端部をL字状に形成された爪部18aで挟持する。このように、搬送体17のチャックハンド18に、成形品2が下型30より突き上げられて離型した位置で受渡しされるので、従来下型30の表面に通常形成されるチャックハンド18の爪部18aの進入用の逃げ(凹部)は不要となる。
【0030】
チャックハンド18は成形品ランナ2aの位置に応じて成形品2の長手方向に複数箇所に設けられていても良いが、成形品種の交換によりモールド金型27を交換した場合には、搬送体17側のチャックハンド18の取付位置の変更を迫られる。これに対して、図4(b)に示すようにチャックハンド18の爪部18aを断面L字状で成形品2の長手方向に連続するレール状になっているのが望ましい。チャックハンド18間の距離が可変となっているのは同様である。
これによって、成形品種が変わった場合、成形品ランナ2a間の距離が変化しても、フレーム端2dと成形突起部2cとの間隔は常に一定であるため、チャックハンド18を交換することなく成形品2を確実に掴むことができる。また、成形品カル2bに成形品突起部2cが形成されることで、レール状に形成されたチャックハンド18の爪部18aにより確実な支持が行えるという利点がある。
尚、成形品ランナ2aの位置を避ければ、ランナ位置が殆ど変わらない製品であれば、搬送体17のチャックハンド18は、従来ローダー及びアンローダに装備されていた細長い棒状のチャックハンドを共用することができる。また、被成形品1、成形品2が下型30表面より突き上げられた状態であれば、該下型30の逃げ(凹部)位置とガイドピン30cの位置が重なることもなくなり、成形品2の成形品ランナ2aの位置を考慮してチャックハンド18の取付位置を決めれば良いので、ローダーとアンローダーの共用には有利である。
【0031】
また、図5(a)(b)において、上型28と下型30には型閉じする際に互いに噛み合ってモールド金型27をX−Y方向に位置決めするロックブロック58、59が各々対向する辺縁部に設けられている。これらのロックブロック58、59が設けられている部位は、搬送体17が成形品2をチャックして退避する際に、エア吸引口21に設けられたゴムスカートと干渉しない位置に設けられているのが好ましい。これによって、搬送体17によるクリーニング動作を効果的に行うことができる。また、下型30にはチャックハンド18の爪部18aの進入用の逃げ(凹部)が形成されていないので、凹部に樹脂粉などの塵が溜まるおそれもなく、クリーニングブラシをオプションにしてもクリーニング効果が十分に得られるようになる。
【0032】
次に、上述のように構成された樹脂封止装置の1サイクル分の樹脂封止動作について搬送体17の動作を中心に図1を参照して説明する。
先ず、搬送体17は、供給部Aにおいて供給テーブル5上に供給マガジン3より供給された被成形品1をチャックハンド18により保持し、パーツフィーダー8によりホルダー10に収容されて供給された樹脂タブレット7をタブレット保持部19により保持する。そして、搬送体17は供給部Aより樹脂封止部Dへ移動して、型開きしたモールド金型27の下型30上に被成形品1及び樹脂タブレット7の順に移載する。このとき、被成形品1は、下型30より突き出された下型エジェクタピン52に支持されフレームエジェクタピン53により位置決めガイドされている。その後下型30が上動することにより下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下動して下型キャビティ30b上にセットされる。また,樹脂タブレット7はポット27a内に装填される。
【0033】
次に、搬送体17はディゲート部Cに移動して、1サイクル前の工程で樹脂封止された成形品2と不要樹脂が一体になったもののうち、成形品カル2bを上カル押さえ20と下カル押さえ44により挟圧して支持する。そして、突き出しロッド45により成形品2を成形品カル2bを支点として回動することによりゲートブレイクを行う。ゲートブレイク後、成形品ランナ2a、成形品カル2bなどの不要樹脂は下方のスクラップBOX46に落下して回収される。次いで、成形品2のみがチャックハンド18に保持されたままディゲート部Cより収納部Bに搬送され、下方に装備された収納マガジン47に収納される。
【0034】
次に、搬送体17は収納部Bより再びディゲート部Cに戻って樹脂封止動作が終了するまで待機する。樹脂封止動作が終了して、モールド金型27が型開きすると、搬送体17は樹脂封止部Dに移動して、前述したように、下型30より突き出された下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53により若干浮き上がった位置で支持されている成形品2及び不要樹脂をチャックハンド18の間隔を広げて保持し、再びディゲート部Cに移動して載置する。
【0035】
そして、成形品2及び不要樹脂をディゲート部Cに載置した後、供給部Aに戻って再度供給テーブル5上に供給された被成形品1及び樹脂タブレット7を保持して同様の動作を繰り返す。
【0036】
尚、本実施例では、搬送体17は、被成形品1を搬送するローダー、成形品2を搬送するアンローダーの両方の役割を兼用しているが、例えば搬送体17としてローダー及びアンローダーを上下2層に配置して各々個別に移動するように構成すれば、更にマシンサイクルの短縮化が可能となり高速化が図れる。
また、被成形品1としてBGA用の回路基板を用いた場合、供給マガジン3より供給テーブル5上へ引き出す引き出し用チャックハンド4は、搬送体17と一体に装備されていても良い。この場合には、被成形品1がリードフレームよりBGA用の回路基板に変更になった場合に、供給テーブル5上の引き出し位置の変更を搬送体17の移動により変更できること、及び収納マガジン47をBGA用収納マガジン49に変更した場合、収納用プッシャー51が別個に設ける必要があったが、引き出し用チャックハンド4の引き込み動作によりBGA用の回路基板を収納レール50に沿ってBGA用収納マガジン49への収納用に兼用できることなどの利点がある。
【0037】
上記構成によれば、被成形品1を供給する供給部A、成形品2を収納する収納部B、成形品2と不要樹脂を分離するディゲート部Cを有する供給収納エリアPが、樹脂封止部Dを有する成形エリアQに対して一方側に互いに隣接して集中配置されているので、装置形態の変更や成形品種を交換に伴う装置形態の改変が成形エリアの周囲に形成された増設エリアRに各種機能を有する増設ユニットを増設できるので装置の多機能化を図り、特に多品種少量生産へのニーズに対応して装置形態の改変が容易に行える。
【0038】
また、供給収納エリアPの供給部A、収納部B、ディゲート部Cと成形エリアQの樹脂封止部Dが直線的に隣接して配置されているので、搬送体17の移動経路が最短距離で足りるので、マシンサイクルの短縮化を図ることができる。また、被成形品1の樹脂封止部Dへの供給、成形品2のディゲート部Cへの取り出し、成形品2のディゲート部Cから収納部Bへの搬送を同一の搬送体17にて行えるので、成形品種の交換があっても、可能な限り部品の共用化を図ることができ、特に、搬送体17に装備されたチャックハンド18は断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように構成されている場合には、被成形品1と成形品2をハンド間の距離を変えて保持することが可能となるうえに、成形品の品種交換があっても、チャックハンド18を逐一交換する必要がなくなる。また、搬送体17に装備されたチャックハンド18は、成形品2が下型30より下型エジェクタピン52及びフレームエジャクタピン53に突き上げられて離型した位置で受け渡しが行えるので、下型30の表面に逃げ(凹部)を形成する必要がなくなり、製造コストが低減できる上に、該凹部に樹脂粉などの塵が溜まるを防止でき、クリーニング性能の向上に寄与できる。特に、搬送体17に装備されたエア吸引口21と、上型28及び下型30に設けられたX−Y方向を位置決めするロックブロック58、59が干渉しないように配置されていることにより、クリーニング効果が高めることができると共に、クリーニングブラシをオプションにして機能の簡素化を図ることも可能である。また、供給収納エリアPにおいて、供給マガジン3に収容された被成形品1、収納マガジン47に収納された成形品2、スクラップBOX46、成形エリアQにおけるダストBOX46は、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるので、極めてメンテナンス作業が行い易く、しかも装置周辺に作業空間等の空きスペースが不要となるため、クリーンルーム内の設置面積の有効利用を図ることができる。
【0039】
尚、本実施例は、モールド金型27として1フレーム取りの金型を用いて説明したが、2フレーム取り、或いはそれ以上の金型についても適用可能である。また、樹脂封止部Dには、モールド金型27やプレスユニットの数が複数装備されていても良い。
また、封止樹脂として固形の樹脂タブレット7を用いた装置構成になっているが、前述したように増設ユニットを設ければ、顆粒状の樹脂、粉体状の樹脂、液体状の樹脂、シート状の樹脂、ゼリー状の樹脂なども使用できる。
また、リリースフィルム38を用いる構成にすれば、金型面のクリーニング性を高めて成形品質の向上が図れる上に、BGA用の回路基板をモールド金型27にクランプする際にはんだボールなどの端子形成面を損傷することなく樹脂封止できるので有効である。
【0040】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置によれば、被成形品を供給する供給部、成形品を収納する収納部、成形品と不要樹脂を分離するディゲート部を有する供給収納エリアが、樹脂封止部を有する成形エリアに対して一方側に互いに隣接して集中配置されているので、装置形態の変更や成形品種を交換に伴う装置形態の改変が成形エリアの周囲に形成された増設エリアRに各種機能を有する増設ユニットを増設できるので装置の多機能化を図り、特に多品種少量生産へのニーズに対応して装置形態の改変が容易に行える。
【0041】
また、供給収納エリアの供給部、収納部、ディゲート部と成形エリアの樹脂封止部Dが直線的に隣接して配置されているので、搬送体の移動経路が最短距離で足りるので、マシンサイクルの短縮化を図ることができ、しかも装置の小型化を図ることができる。また、被成形品の供給部から樹脂封止部への搬送、成形品の樹脂封止部から収納部への搬送を同一の搬送体にて行えるので、成形品種の交換があっても、可能な限り部品の共用化を図ることができ、特に、搬送体に装備されたチャックハンドは断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように構成されている場合には、被成形品と成形品をハンド間の距離を変えて保持することが可能となる上に、成形品の品種交換があっても、チャックハンドを逐一交換する必要がなくなる。また、搬送体に装備されたチャックハンドは、成形品が下型より突き上げられて離型した位置で受け渡しが行えるので、下型の表面に逃げ(凹部)を形成する必要がなくなり、製造コストが低減できる上に、該凹部に樹脂粉などの塵が溜まるを防止でき、クリーニング性能の向上に寄与できる。特に、搬送体に装備されたエア吸引口と、上型及び下型に設けられたX−Y方向を位置決めするロックブロックが干渉しないように配置されていることにより、クリーニング効果が高めることができると共に、クリーニングブラシをオプションにして機能の簡素化を図ることも可能である。また、供給収納エリアにおいて、供給マガジンに収容された被成形品、収納マガジンに収納された成形品、スクラップBOX、成形エリアにおけるダストBOXは、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるので、極めてメンテナンス作業が行い易く、しかも装置周辺に作業空間等の空きスペースが不要となるため、クリーンルーム内の設置面積の有効利用を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図2】図1の樹脂封止装置の正面図である。
【図3】図1の樹脂封止装置の左側面図である。
【図4】モールド金型及びチャックハンドの構成を示す説明図である。
【図5】モールド金型の上型及び下型の平面図である。
【図6】従来の樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【符号の説明】
A 供給部
B 収納部
C ディゲート部
D 樹脂封止部
P 供給収納エリア
Q 成形エリア
R 増設エリア
1 被成形品
2 成形品
2a 成形品ランナ
2b 成形品カル
2c 成形品突起部
3 供給マガジン
4 引き出し用チャックハンド
5 供給テーブル
6 引き出し用モータ
7 樹脂タブレット
8 パーツフィーダー
9 タブレットエレベーション機構
10 ホルダー
11 充填用プッシャー
12 ホルダー支持部材
13 支点
14 ベルト
15 ガイド軸
16 ガイド穴
17 搬送体
18 チャックハンド
18a 爪部
19 タブレット保持部
20 上カル押さえ
21 エア吸引口
22 搬送用モータ
23,36 ネジ軸
24 可動板
25 ガイドレール
26 制御部
27 モールド金型
27a ポット
28 上型
28a 上型カル
28b 突起部
28c 上型キャビティ
29 固定プラテン
30 下型
30a 下型ランナ
30b 下型キャビティ
30c ガイドピン
31 可動プラテン
32 ガイドポスト
33 プランジャ
34 均等圧ユニット
35 プランジャ上下動機構
37 ナット
38 リリースフィルム
39 リリースフィルム供給機構
40 エジェクタピン駆動ユニット
41 ダストBOX
42 フィルタ部
43 ケース固定部
44 下カル押さえ
45 突き出しロッド
46 スクラップBOX
47 収納マガジン
48 成形品エレベーション機構
49 BGA用収納マガジン
50 収納用レール
51 収納用プッシャー
52 下型エジェクタピン
53 フレームエジェクタピン
54 下型エジェクタピンプレート
55 エジェクタロッド
56 上型エジェクタピン
57 上型エジェクタピンプレート
58,59 ロックブロック
60 キャスター
61 支持ピラー[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a resin sealing device for manufacturing a semiconductor device.
[0002]
[Prior art]
A resin sealing device conventionally used for manufacturing a semiconductor device will be described with reference to FIG. In FIG. 6,
A molding
[0003]
The molded
The
[0004]
The molded
The
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional resin sealing device shown in FIG. 6 has the following problems. That is, if you want to use granular resin from a resin tablet, if you want to resin seal the heat sink and the like together with the
[0006]
Further, when the product to be molded is changed from a lead frame to a circuit board for BGA, the
[0007]
Further, at least three kinds of hands such as a
Also, the long distance from the supply port of the
[0008]
In addition, according to the conventional apparatus layout, replenishment and replacement of molded products such as lead frames and circuit boards for BGA, replenishment and replacement of resin tablets, replacement of scrap boxes containing unnecessary resin, replacement of storage magazines, etc. Since the maintenance work is performed from different sides of the apparatus, a sufficient space must be secured around the apparatus in advance, the apparatuses cannot be arranged close to each other, and the floor area of the clean room cannot be used effectively.
[0009]
Further, since the lock block 101a protrudes from the mold surface of the
[0010]
The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, and the object of the present invention is to realize a device layout in which various function expansion units can be easily added, and to change the device configuration in accordance with a change in molding type. Easier operation, maintenance work such as replenishment and replacement of molded products and molded products, etc. from the same side, improving workability and downsizing the device to effectively use the installation area, cleaning performance An object of the present invention is to provide a resin sealing device that can be improved.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has the following configuration in order to achieve the above object.
That is, a supply unit that supplies a molded product, a storage unit that stores the molded product, and a supply storage area that includes a delegate unit that separates the molded product and unnecessary resin are on one side with respect to the molding area that has the resin sealing unit. Next to each otherLinearlyCentrally placed around the molding areaAn expansion area in which an expansion unit can be added is formed in the empty area of the product, and the transfer operation of the molded product from the supply unit to the resin sealing unit, the transfer operation of the molded product and unnecessary resin to the delegation unit, the molded product At least two of the transfer operations from the delegation section to the storage section are performed using the same transport bodyIt is characterized by that.
[0012]
Also, the aboveIn the supply storage area, the molded product stored in the supply magazine, the molded product stored in the storage magazine, the scrap box for collecting unnecessary resin, and the dust box in the molding area are replaced from the same side as the mold chase pull-out direction. The feature is that work can be done.
Further, the supply section, the storage section, the degate section and the resin sealing section of the molding area in the supply / storage area are linearly arranged adjacent to each other in this order.
Further, the chuck hand mounted on the transport body has a rail shape with an L-shaped cross section so that the distance between the hands can be varied.It is characterized by being provided.
Moreover, the said conveyance body reciprocates between a said supply part and the said resin sealing part along a guide rail, It is characterized by the above-mentioned.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a resin sealing device for manufacturing a semiconductor device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a plan view showing a layout configuration of the resin sealing device, FIG. 2 is a front view of the resin sealing device of FIG. 1, FIG. 3 is a left side view of the resin sealing device of FIG. 1, and FIG. FIGS. 5A and 5B are plan views of the upper mold and the lower mold of the mold. FIG. 5A and FIG.
[0014]
First, a schematic configuration of the resin sealing device will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
In FIG. 1, the layout configuration of the resin sealing device will be described. A supply storage area P having a supply portion A for supplying a molded product 1 such as a lead frame or a circuit board for BGA, a storage portion B for storing a molded
In addition, the arrangement order of the supply unit A, the storage unit B, and the degate unit C in the supply storage area P arranged in a straight line is not necessarily limited to the order shown in FIG. May be.
[0015]
Examples of expansion units that can be added to the expansion area R include film transport units such as long or strip-like release films, granule resin supply units, cleaning brushes, cleaning sheets, and UV irradiation methods. Cleaner unit for cleaning, supply unit for molded products such as heat sink, vacuum unit for vacuum forming and film suction, ejector pin drive that pushes down or pulls up the upper ejector pin plate, or both push-down and pull-up functions A plurality of units or the like may be provided in combination.
[0016]
Next, a specific configuration of the resin sealing device will be described. The configuration of the supply unit A that supplies the molded product 1 will be described.
[0017]
In FIG. 1, a
Thus, the
[0018]
In FIG. 1,
The
[0019]
In FIG. 3, the
[0020]
Next, the structure of the resin sealing part D is demonstrated. In FIG. 1, in this embodiment, a mold for taking a single frame is used as a
[0021]
The parting surface of the
[0022]
In addition, as shown in FIG. 2, an ejector
In FIG. 2, a
[0023]
Next, the configuration of the degate unit C will be described with reference to FIG. The molded
[0024]
Next, in FIG. 1, the structure of the storage part B will be described. The molded
The attaching / detaching operation of the
[0025]
As shown in FIG. 1, since there is sufficient space on the front side of the apparatus, even if the
In FIG. 2, a
[0026]
Here, the relationship between the configuration of the
4A, on the
Further, an upper
[0027]
In FIG. 5 (a), the
[0028]
Next, with reference to FIG. 4A, the chucking operation of the molded
The
[0029]
The
[0030]
The
As a result, when the type of molding changes, even if the distance between the molded product runners 2a changes, the distance between the
If the position of the runner 2a is avoided and the runner position is almost unchanged, the
[0031]
5 (a) and 5 (b), the
[0032]
Next, a resin sealing operation for one cycle of the resin sealing device configured as described above will be described with reference to FIG.
First, the
[0033]
Next, the
[0034]
Next, the
[0035]
Then, after the molded
[0036]
In this embodiment, the
When a circuit board for BGA is used as the molded product 1, the drawer chuck hand 4 that is pulled out from the
[0037]
According to the above configuration, the supply storage area P having the supply portion A for supplying the molded product 1, the storage portion B for storing the molded
[0038]
Moreover, since the supply part A, the storage part B, the delegation part C, and the resin sealing part D of the molding area Q in the supply storage area P are linearly adjacent to each other, the moving path of the
[0039]
In this embodiment, the
Moreover, although it has the apparatus structure using the
In addition, if the structure using the
[0040]
【The invention's effect】
According to the resin sealing device according to the present invention, the supply storage area having the supply portion for supplying the molded product, the storage portion for storing the molded product, and the degate portion for separating the molded product and the unnecessary resin is the resin sealing portion. Since there is a concentrated arrangement adjacent to each other on the one side with respect to the molding area having a variety of types, there are various modifications to the expansion area R formed around the molding area in accordance with changes in the equipment form and changes in the form of the equipment. Since an extension unit having functions can be added, the apparatus can be multi-functionalized, and in particular, the apparatus configuration can be easily modified to meet the needs for high-mix low-volume production.
[0041]
In addition, since the supply section, the storage section, the degate section in the supply storage area, and the resin sealing section D in the molding area are arranged linearly adjacent to each other, the moving path of the transport body is sufficient in the shortest distance. Can be shortened, and the apparatus can be downsized. In addition, it is possible to transport the molded product from the supply section to the resin sealing section and the molded product from the resin sealing section to the storage section with the same transport body. Parts can be shared as much as possible, especially when the chuck hand mounted on the transport body has a rail shape with an L-shaped cross section and the distance between the hands is variable In addition, it is possible to hold the molded product and the molded product by changing the distance between the hands, and it is not necessary to replace the chuck hand one by one even if the type of the molded product is changed. In addition, the chuck hand equipped on the transport body can be delivered at a position where the molded product is pushed up from the lower mold and released, so there is no need to form a relief (concave part) on the surface of the lower mold, and the manufacturing cost is reduced. In addition to being able to reduce, it is possible to prevent dust such as resin powder from accumulating in the recess, which can contribute to improvement in cleaning performance. In particular, the cleaning effect can be enhanced by disposing the air suction port provided in the transport body and the lock block for positioning the XY direction provided in the upper mold and the lower mold so as not to interfere with each other. At the same time, it is possible to simplify the function by using a cleaning brush as an option. Also, in the supply storage area, the molded product stored in the supply magazine, the molded product stored in the storage magazine, the scrap BOX, and the dust BOX in the molding area can be exchanged from the same side as the mold chase pull-out direction. Because it can be done, it is extremely easy to perform maintenance work, and the work space around the deviceetcSince no empty space is required, it is possible to effectively use the installation area in the clean room.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a layout configuration of a resin sealing device.
FIG. 2 is a front view of the resin sealing device of FIG.
FIG. 3 is a left side view of the resin sealing device of FIG. 1;
FIG. 4 is an explanatory view showing configurations of a mold and a chuck hand.
FIG. 5 is a plan view of an upper mold and a lower mold of a mold.
FIG. 6 is a plan view showing a layout configuration of a conventional resin sealing device.
[Explanation of symbols]
A Supply section
B storage
C degate
D Resin sealing part
P Supply storage area
Q Molding area
R Additional area
1 Molded product
2 Molded products
2a Molded product runner
2b Cal
2c Projection part
3 Supply magazine
4 Drawer chuck hand
5 Supply table
6 Drawer motor
7 resin tablets
8 Parts feeder
9 Tablet elevation mechanism
10 Holder
11 Filling pusher
12 Holder support member
13 fulcrum
14 Belt
15 Guide shaft
16 Guide hole
17 Carrier
18 Chuck hand
18a Claw
19 Tablet holder
20 Top hold
21 Air suction port
22 Transport motor
23, 36 Screw shaft
24 Movable plate
25 guide rail
26 Control unit
27 Mold
27a pot
28 Upper mold
28a Upper Cal
28b Protrusion
28c Upper mold cavity
29 Fixed platen
30 Lower mold
30a Lower runner
30b Lower mold cavity
30c guide pin
31 Movable platen
32 Guide post
33 Plunger
34 Uniform pressure unit
35 Plunger vertical movement mechanism
37 nuts
38 release film
39 Release film supply mechanism
40 Ejector pin drive unit
41 Dust BOX
42 Filter section
43 Case fixing part
44 Lower presser
45 Extruding rod
46 Scrap Box
47 Storage magazine
48 Molded product elevation mechanism
49 Storage magazine for BGA
50 rails for storage
51 Pusher for storage
52 Lower Ejector Pin
53 Frame ejector pin
54 Lower Ejector Pin Plate
55 Ejector rod
56 Upper Ejector Pin
57 Upper ejector pin plate
58, 59 Lock block
60 casters
61 Support pillar
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