[go: up one dir, main page]

JP4310784B2 - High barrier sheet - Google Patents

High barrier sheet Download PDF

Info

Publication number
JP4310784B2
JP4310784B2 JP2004153636A JP2004153636A JP4310784B2 JP 4310784 B2 JP4310784 B2 JP 4310784B2 JP 2004153636 A JP2004153636 A JP 2004153636A JP 2004153636 A JP2004153636 A JP 2004153636A JP 4310784 B2 JP4310784 B2 JP 4310784B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas barrier
barrier layer
layer
group
vapor deposition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004153636A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2005335094A (en
Inventor
正和 上北
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Keiwa Inc
Original Assignee
Keiwa Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Keiwa Inc filed Critical Keiwa Inc
Priority to JP2004153636A priority Critical patent/JP4310784B2/en
Publication of JP2005335094A publication Critical patent/JP2005335094A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4310784B2 publication Critical patent/JP4310784B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Packages (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

本発明は、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、さらに高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有する高バリア性シートに関するものである。   The present invention relates to a high barrier sheet having excellent gas barrier properties against oxygen, water vapor and the like, and further having various properties such as high transparency, heat resistance and flexibility.

今日では、食品、医薬品等の包装分野において、内容物の酸化や変質を抑制して味、鮮度、効能等を維持するために、使用する包装材料には酸素や水蒸気の透過に対する高度なガスバリア性が要求されている。特に、食品等の包装においては、内容物の視認性確保や種々雑多な物の包装性確保のために、包装材料には上記ガスバリア性に加えて透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性が要求されている。また、今日開発が進められている有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタ、フレキシブル液晶等の新規分野においても、高いガスバリア性、透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有する高バリア性シートの開発が待望されている。   Today, in the packaging field of foods, pharmaceuticals, etc., in order to maintain the taste, freshness, efficacy, etc. by suppressing the oxidation and alteration of the contents, the packaging material used has a high gas barrier property against the permeation of oxygen and water vapor. Is required. In particular, in packaging of foods, etc., in order to ensure the visibility of the contents and the packaging properties of various miscellaneous items, the packaging material has various characteristics such as transparency, heat resistance and flexibility in addition to the above gas barrier properties. Is required. In addition, even in new fields such as organic EL, organic thin-film solar cells, organic transistors, and flexible liquid crystals that are being developed today, high barrier properties having various properties such as high gas barrier properties, transparency, heat resistance, and flexibility. The development of seats is awaited.

上記ガスバリア性、透明性等の諸特性を有する従来の高バリア性シートとしては、図3に示すように、合成樹脂製の基材フィルム51と、この基材フィルム51の表面に積層されるガスバリア層52とを備えている(例えば特開2003−181974等参照)。この基材フィルム51は、耐熱性向上のためにポリエチレンテレフタレートフィルム等が用いられている。また、ガスバリア層52は、物理気相成長法又は化学気相成長法によって形成されるケイ素酸化物又はアルミニウム酸化物の蒸着薄膜から構成されている。
特開2003−181974公報
As a conventional high-barrier sheet having various properties such as gas barrier properties and transparency, a synthetic resin base film 51 and a gas barrier laminated on the surface of the base film 51 are shown in FIG. Layer 52 (see, for example, JP-A-2003-181974). For the base film 51, a polyethylene terephthalate film or the like is used to improve heat resistance. The gas barrier layer 52 is composed of a deposited thin film of silicon oxide or aluminum oxide formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition.
JP 2003-181974 A

上記従来の高バリア性シートは、ガスバリア層52により所定のガスバリア性を有するが、ケイ素酸化物又はアルミニウム酸化物の蒸着薄膜の製造方法及び製造条件を制御してもガスバリア層52にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生し、このガスバリア層52の欠陥を介して水蒸気等のガスが透過する。そのため、上記従来の高バリア性シートは、ガスバリア性の向上には限界があり、高いガスバリア性が要求される有機EL用バリア性シート、有機薄膜太陽電池用基板シート、有機トランジスタ用基板シート、フレキシブル液晶用基板シート等としての使用に耐え得るものではない。   The conventional high-barrier sheet has a predetermined gas barrier property due to the gas barrier layer 52. However, even if the manufacturing method and manufacturing conditions of the deposited thin film of silicon oxide or aluminum oxide are controlled, pinholes and crystals are formed in the gas barrier layer 52. Defects such as grain boundaries and cracks occur, and a gas such as water vapor passes through the defects in the gas barrier layer 52. Therefore, the conventional high-barrier sheet has a limit in improving the gas barrier property, and a barrier sheet for organic EL, a substrate sheet for organic thin-film solar cells, a substrate sheet for organic transistor, and a flexible film that require high gas barrier properties. It cannot withstand use as a liquid crystal substrate sheet or the like.

本発明はこれらの不都合に鑑みてなされたものであり、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、さらに高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有し、非常に高いガスバリア性が要求される例えば有機EL用バリア性シート、有機薄膜太陽電池用基板シート、有機トランジスタ用基板シート、フレキシブル液晶用基板シート等に好適に使用される高バリア性シートの提供を目的とするものである。   The present invention has been made in view of these disadvantages, and has excellent gas barrier properties against oxygen, water vapor and the like, and has various properties such as high transparency, heat resistance and flexibility, and requires extremely high gas barrier properties. For example, the present invention aims to provide a high-barrier sheet suitably used for an organic EL barrier sheet, an organic thin film solar cell substrate sheet, an organic transistor substrate sheet, a flexible liquid crystal substrate sheet, and the like.

上記課題を解決するためになされた発明は、
合成樹脂製の基材フィルムと、
この基材フィルムの少なくとも一方の面に積層されるガスバリア層と、
このガスバリア層の外面に積層される平坦化層と
を備え、
上記ガスバリア層が無機酸化物又は無機窒化物から形成され、
上記平坦化層が金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成されており、かつ
上記ガスバリア層及び平坦化層が同順に複数回繰り返して積層されている高バリア性シートである。
なお、ここでの「外面」とは、基材フィルムと反対側の面を意味する。
The invention made to solve the above problems is
A base film made of synthetic resin;
A gas barrier layer laminated on at least one surface of the base film;
A planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer,
The gas barrier layer is formed of an inorganic oxide or an inorganic nitride;
The planarizing layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, and the gas barrier layer and the planarizing layer are repeatedly laminated in the same order several times. It is a high barrier sheet.
Here, the “outer surface” means a surface opposite to the base film.

当該高バリア性シートは、ガスバリア層の外面に平坦化層が積層されていることから、ガスバリア層にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生しても、その欠陥が平坦化層によって封鎖され、かつ保護される。そのため、当該高バリア性シートは、水蒸気等に対するガスバリア性がさらに向上し、ガスバリア性の経時的劣化が低減される。   In the high barrier sheet, since a planarization layer is laminated on the outer surface of the gas barrier layer, even if defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks occur in the gas barrier layer, the defects are caused by the planarization layer. Blocked and protected. Therefore, the high barrier sheet further improves the gas barrier property against water vapor and the like, and the deterioration of the gas barrier property with time is reduced.

上記ガスバリア層及び平坦化層は、同順に複数回繰り返して積層される。このようにガスバリア層及び平坦化層を同じ順序で複数回繰り返して積層することで、当該高バリア性シートのガスバリア性を格段に向上することができる。また、一対のガスバリア層間に積層される平坦化層は、内側のガスバリア層の外面にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が存在しても、かかる表面欠陥を被覆し、外側のガスバリア層を積層する界面の平滑性が促進される結果、外側のガスバリア層の緻密性を促進することができる。そのため、当該高バリア性シートは、2段目以降のガスバリア層へのピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥の発生が低減され、水蒸気等に対するガスバリア性が格段に向上する。
The gas barrier layer and the planarization layer are repeatedly laminated in the same order a plurality of times. Thus, the gas barrier property of the said high barrier property sheet | seat can be improved significantly by repeating and laminating | stacking a gas barrier layer and a planarization layer in multiple times in the same order. Further, the planarization layer laminated between the pair of gas barrier layers covers such surface defects even if defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks are present on the outer surface of the inner gas barrier layer, and the outer gas barrier layer. As a result of promoting the smoothness of the interface where the layers are laminated, the denseness of the outer gas barrier layer can be promoted. Therefore, in the high barrier sheet, the occurrence of defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks in the gas barrier layer in the second and subsequent stages is reduced, and the gas barrier property against water vapor and the like is remarkably improved.

上記ガスバリア層は、無機酸化物又は無機窒化物から形成される。このようにガスバリア層を無機酸化物又は無機窒化物から形成することで、ガスバリア層の高いガスバリア性、透明性、耐熱性、柔軟性等が確保される。
The gas barrier layer is formed from an inorganic oxide or an inorganic nitride. Thus, by forming a gas barrier layer from an inorganic oxide or an inorganic nitride, the high gas barrier property of a gas barrier layer, transparency, heat resistance, a softness | flexibility, etc. are ensured.

上記無機酸化物又は無機窒化物としては、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物及びアルミニウム酸化物からなる群より選択される1種又は2種以上のものが好ましい。かかるケイ素酸化物、ケイ素窒化物又はアルミニウム酸化物からガスバリア層を形成することで、当該高バリア性シートのガスバリア性、透明性等が高められる。   The inorganic oxide or inorganic nitride is preferably one or more selected from the group consisting of silicon oxide, silicon nitride, and aluminum oxide. By forming a gas barrier layer from such silicon oxide, silicon nitride, or aluminum oxide, the gas barrier property, transparency, etc. of the high barrier sheet are enhanced.

上記ガスバリア層は、物理気相成長法又は化学気相成長法により形成するとよい。このように物理気相成長法又は化学気相成長法によりガスバリア層を形成することで、緻密かつ均一で、高いガスバリア性を有するガスバリア層を形成することができる。   The gas barrier layer may be formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition. Thus, by forming the gas barrier layer by physical vapor deposition or chemical vapor deposition, a dense and uniform gas barrier layer having high gas barrier properties can be formed.

上記物理気相成長法としてはスパッタリング法が好ましく、上記化学気相成長法としてはプラズマ化学気相成長法が好ましい。かかるスパッタリング法によれば、緻密かつ均一で、高いガスバリア性を有する無機酸化物等の蒸着膜(ガスバリア層)を形成することができる。また、プラズマCVDによれば、比較的低温で、密着性、柔軟性等に富みかつ緻密な無機酸化物等の蒸着膜(ガスバリア層)を形成することができる。   The physical vapor deposition method is preferably a sputtering method, and the chemical vapor deposition method is preferably a plasma chemical vapor deposition method. According to such a sputtering method, it is possible to form a vapor-deposited film (gas barrier layer) such as a dense and uniform inorganic oxide having a high gas barrier property. Moreover, according to plasma CVD, it is possible to form a vapor-deposited film (gas barrier layer) such as a dense inorganic oxide which is rich in adhesion and flexibility at a relatively low temperature.

上記平坦化層は、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成される。このような金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法によれば、上述の内側のガスバリア層に対する欠陥封鎖機能と外側のガスバリア層に対する緻密性促進機能とを有する平坦化層を容易かつ確実に形成することができる。また、このように平坦化層をゾル・ゲル法により形成することで、平坦化層にもガスバリア性が付与され、当該高バリア性シートのガスバリア性をさらに向上することができる。
The planarization layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof. According to the sol-gel method using the composition containing such a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, it has a defect sealing function for the inner gas barrier layer and a denseness promoting function for the outer gas barrier layer. The planarization layer can be formed easily and reliably. Further, by forming the planarization layer by the sol-gel method in this manner, the gas barrier property is also imparted to the planarization layer, and the gas barrier property of the high barrier sheet can be further improved.

上記組成物中に、窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシドを含有するとよい。このように窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシドを含有することで、平坦化層の膜物性が向上し、また上述のガスバリア層に対する緻密性促進機能及び欠陥封鎖機能並びに平坦化層のガスバリア性を促進することができる。   The composition may contain a metal alkoxide having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen. Thus, by including a metal alkoxide having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen, the film physical properties of the planarization layer are improved, and the denseness promoting function and defects for the above-mentioned gas barrier layer are improved. The sealing function and the gas barrier property of the planarizing layer can be promoted.

上記組成物中に、ゾル・ゲル法に使用可能な有機溶媒及び/又は水に対して可溶性を有するポリマー(以下「溶剤可溶性ポリマー」と称する)を含むとよい。このように、金属アルコキシドと溶剤可溶性ポリマーとを含む組成物を用いたゾル・ゲル法により平坦化層を形成することで、平坦化層の膜物性が向上し、かつ平坦化層のガスバリア性(特に、高温時におけるガスバリア性)をより高めることができる。
The composition may contain an organic solvent that can be used in the sol-gel method and / or a polymer that is soluble in water (hereinafter referred to as “solvent-soluble polymer”). Thus, by forming a planarization layer by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and a solvent-soluble polymer, the physical properties of the planarization layer are improved, and the gas barrier property of the planarization layer ( In particular, the gas barrier property at a high temperature can be further improved.

上記ゾル・ゲル法による平坦化層の形成において、加熱と共に、組成物への紫外線照射を施すとよい。このようにゾル・ゲル法による平坦化層の形成の際に、加熱と共に、組成物への紫外線照射を施すことで、組成物がより低温で硬化し、膜物性及び平坦化層の密着性が向上する。そのため、当該高バリア性シートは、ガスバリア性、耐熱性、透明性等がより高められる。   In the formation of the planarizing layer by the sol-gel method, the composition may be subjected to ultraviolet irradiation with heating. In this way, when the planarization layer is formed by the sol-gel method, the composition is cured at a lower temperature by applying ultraviolet irradiation to the composition together with heating, and the film properties and the adhesion of the planarization layer are improved. improves. Therefore, the high barrier sheet has higher gas barrier properties, heat resistance, transparency, and the like.

上記基材フィルムのガスバリア層積層面に、ガスバリア層との密着性を促進するための表面処理を施すとよい。このように基材フィルムのガスバリア層積層面に密着性向上表面処理を施すことで、基材フィルムとガスバリア層との接着強度が向上し、加えて緻密かつ均一なガスバリア層の形成に寄与することができ、その結果、当該高バリア性シートのガスバリア性や強度、耐久性等の膜物性がさらに高められる。   A surface treatment for promoting adhesion to the gas barrier layer may be performed on the gas barrier layer lamination surface of the base film. In this way, the adhesive strength between the base film and the gas barrier layer is improved by applying the surface treatment for improving the adhesion to the gas barrier layer lamination surface of the base film, and in addition, contributing to the formation of a dense and uniform gas barrier layer. As a result, film physical properties such as gas barrier properties, strength, and durability of the high barrier sheet can be further enhanced.

上記表面処理としては、低温プラズマ処理及び/又はアンカーコート処理が好ましい。かかる低温プラズマ処理及び/又はアンカーコート処理によれば、合成樹脂製の基材フィルムと無機酸化物等の蒸着により形成されるガスバリア層との密着性を効果的に向上させることができる。   As the surface treatment, a low temperature plasma treatment and / or an anchor coat treatment is preferable. According to such low temperature plasma treatment and / or anchor coat treatment, it is possible to effectively improve the adhesion between the base film made of synthetic resin and the gas barrier layer formed by vapor deposition of an inorganic oxide or the like.

以上説明したように、本発明の高バリア性シートは、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、さらに高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有している。そのため、当該高バリア性シートは、非常に高いガスバリア性が要求される例えば有機EL用バリア性シート、有機薄膜太陽電池用基板シート、有機トランジスタ用基板シート、フレキシブル液晶用基板シート等に好適に使用される。   As described above, the high barrier sheet of the present invention has excellent gas barrier properties against oxygen, water vapor, and the like, and has various properties such as high transparency, heat resistance, and flexibility. Therefore, the high barrier sheet is suitably used for, for example, an organic EL barrier sheet, an organic thin film solar cell substrate sheet, an organic transistor substrate sheet, a flexible liquid crystal substrate sheet, etc., which require extremely high gas barrier properties. Is done.

以下、適宜図面を参照しつつ本発明の実施の形態を詳説する。図1は本発明の一実施形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図、図2は図1の高バリア性シートとは異なる形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a high-barrier sheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a high-barrier sheet according to a form different from the high-barrier sheet of FIG. .

図1の高バリア性シートは、合成樹脂製の基材フィルム1と、この基材フィルム1の一方の面に積層されるガスバリア層2と、このガスバリア層2の外面に積層される平坦化層3とを備えている。当該高バリア性シートは、主にガスバリア層2によって高いガスバリア性を有し、加えて高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有している。   The high barrier sheet in FIG. 1 includes a base film 1 made of synthetic resin, a gas barrier layer 2 laminated on one surface of the base film 1, and a planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer 2. 3 is provided. The high-barrier sheet has a high gas barrier property mainly due to the gas barrier layer 2 and also has various properties such as high transparency, heat resistance, and flexibility.

基材フィルム1は、合成樹脂を材料とするシート成形により形成されている。かかる基材フィルム1に用いられる合成樹脂としては、特に限定されるものではなく、例えばポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体(AS樹脂)、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂)、ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリールフタレート系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタール系樹脂、セルロース系樹脂等が挙げられる。上記樹脂の中でも、高い耐熱性、強度、耐候性、耐久性、水蒸気等に対するガスバリア性等を有し、ガスバリア層2の蒸着条件等に耐えるポリエステル系樹脂、フッ素系樹脂及び環状ポリオレフィン系樹脂が好ましい。   The base film 1 is formed by sheet molding using a synthetic resin as a material. The synthetic resin used for the base film 1 is not particularly limited, and for example, a polyethylene resin, a polypropylene resin, a cyclic polyolefin resin, a polystyrene resin, an acrylonitrile-styrene copolymer (AS resin), Acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyvinyl chloride resin, fluorine resin, poly (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, polyamide resin, polyimide resin, polyamideimide Examples thereof include resins, polyaryl phthalate resins, silicone resins, polysulfone resins, polyphenylene sulfide resins, polyether sulfone resins, polyurethane resins, acetal resins, and cellulose resins. Among the above resins, polyester resins, fluorine resins, and cyclic polyolefin resins that have high heat resistance, strength, weather resistance, durability, gas barrier properties against water vapor, and the like and withstand the vapor deposition conditions of the gas barrier layer 2 are preferable. .

上記ポリエステル系樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等が挙げられる。これらのポリエステル系樹脂の中でも、耐熱性、耐候性等の諸機能面及び価格面のバランスが良好なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   Examples of the polyester resin include polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate. Among these polyester-based resins, polyethylene terephthalate is particularly preferable because it has a good balance between various functions such as heat resistance and weather resistance, and price.

上記フッ素系樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂(PFA)、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとのコポリマー(FEP)、テトラフルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエーテルとヘキサフルオロプロピレンとのコポリマー(EPE)、テトラフルオロエチレンとエチレン又はプロピレンとのコポリマー(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂(PCTFE)、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコポリマー(ECTFE)、フッ化ビニリデン系樹脂(PVDF)、フッ化ビニル系樹脂(PVF)等が挙げられる。これらのフッ素系樹脂の中でも、強度、耐熱性、耐候性等に優れるポリフッ化ビニル系樹脂(PVF)やテトラフルオロエチレンとエチレン又はプロピレンとのコポリマー(ETFE)が特に好ましい。   Examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene (PTFE), perfluoroalkoxy resin (PFA) made of a copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoroalkyl vinyl ether, and a copolymer of tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene (FEP). Copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoroalkyl vinyl ether and hexafluoropropylene (EPE), copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETFE), polychlorotrifluoroethylene resin (PCTFE), ethylene and chlorotrifluoroethylene Copolymer (ECTFE), vinylidene fluoride resin (PVDF), vinyl fluoride resin (PVF), and the like. Among these fluororesins, polyvinyl fluoride resin (PVF) and a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETFE) which are excellent in strength, heat resistance, weather resistance and the like are particularly preferable.

上記環状ポリオレフィン系樹脂としては、例えばa)シクロペンタジエン(及びその誘導体)、ジシクロペンタジエン(及びその誘導体)、シクロヘキサジエン(及びその誘導体)、ノルボルナジエン(及びその誘導体)等の環状ジエンを重合させてなるポリマー、b)当該環状ジエンとエチレン、プロピレン、4−メチル−1−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン系モノマーの1種又は2種以上とを共重合させてなるコポリマー等が挙げられる。これらの環状ポリオレフィン系樹脂の中でも、強度、耐熱性、耐候性等に優れるシクロペンタジエン(及びその誘導体)、ジシクロペンタジエン(及びその誘導体)又はノルボルナジエン(及びその誘導体)等の環状ジエンのポリマーが特に好ましい。   As the cyclic polyolefin resin, for example, a) cyclic dienes such as cyclopentadiene (and derivatives thereof), dicyclopentadiene (and derivatives thereof), cyclohexadiene (and derivatives thereof), norbornadiene (and derivatives thereof) are polymerized. And b) a copolymer obtained by copolymerizing the cyclic diene with one or more olefinic monomers such as ethylene, propylene, 4-methyl-1-pentene, styrene, butadiene, and isoprene. . Among these cyclic polyolefin resins, cyclopentadiene (and derivatives thereof), dicyclopentadiene (and derivatives thereof) or norbornadiene (and derivatives thereof) such as polymers having excellent strength, heat resistance, and weather resistance are particularly preferred. preferable.

なお、基材フィルム1の形成材料としては、上記合成樹脂を1種又は2種以上混合して使用することができる。また、基材フィルム1の形成材料中には、加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性等を改良、改質する目的で、種々の添加剤等を混合することができる。この添加剤としては、例えば滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定化剤、充填剤、強化繊維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料等が挙げられる。上記基材フィルム1の成形方法としては、特に限定されず、例えば押出し法、キャスト成形法、Tダイ法、切削法、インフレーション法等の公知の方法が採用される。   In addition, as a forming material of the base film 1, the said synthetic resin can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. In addition, various additives and the like can be mixed in the forming material of the base film 1 for the purpose of improving and modifying processability, heat resistance, weather resistance, mechanical properties, dimensional stability, and the like. . Examples of the additive include a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a filler, a reinforcing fiber, a reinforcing agent, an antistatic agent, a flame retardant, a flame retardant, a foaming agent, and an antifungal agent. And pigments. The method for forming the base film 1 is not particularly limited, and known methods such as an extrusion method, a cast forming method, a T-die method, a cutting method, and an inflation method are employed.

基材フィルム1の厚み(平均厚み)の下限としては、10μmが好ましく、20μmが特に好ましい。一方、基材フィルム1の厚みの上限としては、250μmが好ましく、188μmが特に好ましい。基材フィルム1の厚みが上記下限未満であると、ガスバリア層2を形成するための蒸着加工の際にカールが発生しやすくなってしまう、取扱いが困難になる等の不都合が発生する。逆に、基材フィルム1の厚みが上記上限を超えると、高バリア性シートの薄型化及び軽量化の要請に反することになる。   As a minimum of thickness (average thickness) of substrate film 1, 10 micrometers is preferred and 20 micrometers is especially preferred. On the other hand, the upper limit of the thickness of the base film 1 is preferably 250 μm and particularly preferably 188 μm. When the thickness of the base film 1 is less than the above lower limit, problems such as curl are likely to occur during vapor deposition for forming the gas barrier layer 2 and handling becomes difficult. On the other hand, if the thickness of the base film 1 exceeds the above upper limit, it is contrary to the demand for thinning and lightening the high barrier sheet.

また、基材フィルム1のガスバリア層積層面には、ガスバリア層2との密接着性を向上させるための表面処理を施すとよい。このような密着性向上表面処理としては、例えば(a)コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロー放電処理、化学薬品等を用いた酸化処理、及び(b)プライマーコート処理、アンダーコート処理、アンカーコート処理、蒸着アンカーコート処理などが挙げられる。これらの表面処理の中でも、基材フィルム1表面に水酸基を生じさせ、無機酸化物等の蒸着膜であるガスバリア層2との接着強度を向上する低温プラズマ処理が好ましく、基材フィルム1表面の平坦化により緻密かつ均一なガスバリア層2の形成に寄与するアンカーコート処理が好ましい。   Further, the gas barrier layer laminated surface of the base film 1 may be subjected to a surface treatment for improving the tight adhesion with the gas barrier layer 2. Examples of such adhesion improving surface treatment include (a) corona discharge treatment, ozone treatment, low temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, glow discharge treatment, oxidation treatment using chemicals, and the like ( b) Primer coat treatment, undercoat treatment, anchor coat treatment, vapor deposition anchor coat treatment and the like. Among these surface treatments, a low temperature plasma treatment is preferable, in which a hydroxyl group is generated on the surface of the base film 1 and the adhesion strength with the gas barrier layer 2 which is a deposited film of an inorganic oxide or the like is improved. An anchor coat treatment that contributes to the formation of a dense and uniform gas barrier layer 2 is preferable.

上記アンカーコート処理に用いるアンカーコート剤としては、例えばポリエステル系アンカーコート剤、ポリアミド系アンカーコート剤、ポリウレタン系アンカーコート剤、エポキシ系アンカーコート剤、フェノール系アンカーコート剤、(メタ)アクリル系アンカーコート剤、ポリ酢酸ビニル系アンカーコート剤、ポリエチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系アンカーコート剤、セルロース系アンカーコート剤などが挙げられる。これらのアンカーコート剤の中でも、基材フィルム1とガスバリア層2との接着強度をより向上することができるポリエステル系アンカーコート剤が特に好ましい。   Examples of the anchor coating agent used for the anchor coating treatment include a polyester anchor coating agent, a polyamide anchor coating agent, a polyurethane anchor coating agent, an epoxy anchor coating agent, a phenol anchor coating agent, and a (meth) acrylic anchor coating. Agents, polyvinyl acetate anchor coating agents, polyolefin anchor coating agents such as polyethylene aly polypropylene, and cellulose anchor coating agents. Among these anchor coating agents, polyester anchor coating agents that can further improve the adhesive strength between the base film 1 and the gas barrier layer 2 are particularly preferable.

上記アンカーコート剤のコーティング量(固形分換算)の下限としては、0.1g/mが好ましく、1g/mが特に好ましい。一方、当該アンカーコート剤のコーティング量の上限としては、5g/mが好ましく、3g/mが特に好ましい。アンカーコート剤のコーティング量が上記下限より小さいと、基材フィルム1とガスバリア層2との密着性向上効果が小さくなるおそれがある。一方、当該アンカーコート剤のコーティング量が上記上限を超えると、当該高バリア性シートの強度、耐久性等が低下するおそれがある。 The lower limit of the coating amount of the anchor coating agent (solid content) is preferably 0.1g / m 2, 1g / m 2 is particularly preferred. In contrast, the upper limit of the amount of coating of the anchor coating agent is preferably 5g / m 2, 3g / m 2 is particularly preferred. If the coating amount of the anchor coating agent is smaller than the lower limit, the effect of improving the adhesion between the base film 1 and the gas barrier layer 2 may be reduced. On the other hand, when the coating amount of the anchor coating agent exceeds the above upper limit, the strength, durability and the like of the high barrier sheet may be lowered.

なお、上記アンカーコート剤中には、密接着性向上のためのシランカップリング剤、基材フィルム1とのブロッキングを防止するためのブロッキング防止剤、耐候性等を向上させるための紫外線吸収剤等の各種添加剤を適宜混合することができる。かかる添加剤の混合量としては、添加剤の効果発現とアンカーコート剤の機能阻害とのバランスから0.1重量%以上10重量%以下が好ましい。   In the anchor coating agent, a silane coupling agent for improving tight adhesion, a blocking inhibitor for preventing blocking with the base film 1, an ultraviolet absorber for improving weather resistance, etc. These various additives can be appropriately mixed. The amount of the additive to be mixed is preferably 0.1% by weight or more and 10% by weight or less from the balance between the effect expression of the additive and the function inhibition of the anchor coating agent.

ガスバリア層2は、基材フィルム1の一方の面に積層され、物理気相成長法又は化学気相成長法により無機酸化物又は無機窒化物を蒸着することで形成される。この無機酸化物又は無機窒化物としては、例えばケイ素(Si)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、カリウム(K)、スズ(Sn)、ナトリウム(Na)、ホウ素(B)、チタン(Ti)、鉛(Pb)、ジルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)等の酸化物又は窒化物が挙げられる。上記無機酸化物及び無機窒化物のうち、ガスバリア性、透明性、柔軟性等に優れるケイ素酸化物、ケイ素窒化物及びアルミニウム酸化物が好ましく、これらの群より選択される1種又は2種以上のものが好適に使用される。これらの中でも、ガスバリア性、透明性、柔軟性、密着性等が良好なケイ素酸化物が特に好ましい。なお、無機酸化物は例えばSiO、AlO等のようにMO(Mは金属元素、Xは酸化度を表す)で表記されるが、ガスバリア性及び透明性の観点からケイ素(Si)の場合は酸化度X=1.3〜1.9の範囲が好ましく、アルミニウム(Al)の場合は酸化度X=0.5〜1.5の範囲が好ましい。 The gas barrier layer 2 is laminated on one surface of the base film 1 and is formed by depositing an inorganic oxide or an inorganic nitride by physical vapor deposition or chemical vapor deposition. As this inorganic oxide or inorganic nitride, for example, silicon (Si), aluminum (Al), magnesium (Mg), calcium (Ca), potassium (K), tin (Sn), sodium (Na), boron (B ), Titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), yttrium (Y), and other oxides or nitrides. Of the inorganic oxides and inorganic nitrides, silicon oxides, silicon nitrides, and aluminum oxides that are excellent in gas barrier properties, transparency, flexibility, and the like are preferable, and one or more selected from these groups Those are preferably used. Among these, silicon oxides having good gas barrier properties, transparency, flexibility, adhesion, and the like are particularly preferable. The inorganic oxide is expressed by MO X (M represents a metal element, X represents the degree of oxidation) such as SiO X , AlO X, etc., but silicon (Si) is used from the viewpoint of gas barrier properties and transparency. In this case, the oxidation degree X is preferably in the range of 1.3 to 1.9, and in the case of aluminum (Al), the oxidation degree X is preferably in the range of 0.5 to 1.5.

上記物理気相成長法(Physical Vapor Deposition法;PVD法)としては、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンクラスタービーム法等が挙げられる。具体的には、(a)金属酸化物を原料とし、これを加熱し、蒸気化して基材フィルム1の上に蒸着する真空蒸着法、(b)原料として金属または金属酸化物を使用し、必要ならば、酸素ガス等を導入して酸化等させて平坦化層3の上に蒸着する反応型蒸着法、(c)さらに酸化等の反応をプラズマで助成するプラズマ助成式の反応型蒸着法等を用いて金属酸化物の蒸着膜を形成することができる。蒸着材料の加熱方式としては、例えば抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロンビーム加熱方式(EB)等により行うことができる。上記物理気相成長法の中でも、無機酸化物又は無機窒化物の蒸気化が容易なスパッタリング法が特に好ましい。   Examples of the physical vapor deposition method (Physical Vapor Deposition method; PVD method) include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, and an ion cluster beam method. Specifically, (a) a metal oxide is used as a raw material, this is heated, vaporized and vapor deposited on the base film 1, (b) a metal or metal oxide is used as the raw material, If necessary, a reactive deposition method in which oxygen gas or the like is introduced to oxidize and deposit on the planarizing layer 3, and (c) a plasma-assisted reactive deposition method in which a reaction such as oxidation is further promoted by plasma. Etc. can be used to form a metal oxide vapor-deposited film. As a heating method for the vapor deposition material, for example, a resistance heating method, a high frequency induction heating method, an electron beam heating method (EB), or the like can be used. Among the physical vapor deposition methods, a sputtering method is particularly preferable because the vaporization of inorganic oxide or inorganic nitride is easy.

上記化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition法;CVD法)としては、例えばプラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等が挙げられる。この化学気相成長法の中でも、比較的低温でガスバリア層2の形成が可能なプラズマCVDが特に好ましい。プラズマCVDは、具体的には、有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスを原料とし、キャリヤーガスとしてアルゴン、ヘリウム等の不活性ガスを使用し、さらに酸素ガス、アンモニアガス等を供給し、低温プラズマ発生装置等を利用して化学反応を起こさせ、基材フィルム1の上に酸化珪素等の無機酸化物又は窒化物の蒸着薄膜を形成する方法である。この低温プラズマ発生装置としては、例えば高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、高活性の安定したプラズマを得ることができる高周波プラズマ方式による発生装置が特に好ましい。   Examples of the chemical vapor deposition method (Chemical Vapor Deposition method; CVD method) include a plasma chemical vapor deposition method, a thermal chemical vapor deposition method, and a photochemical vapor deposition method. Among these chemical vapor deposition methods, plasma CVD capable of forming the gas barrier layer 2 at a relatively low temperature is particularly preferable. Specifically, plasma CVD uses a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound as a raw material, uses an inert gas such as argon or helium as a carrier gas, and further supplies oxygen gas, ammonia gas, etc. In this method, a chemical reaction is caused by using a generator or the like to form a deposited thin film of an inorganic oxide or nitride such as silicon oxide on the base film 1. As this low-temperature plasma generator, for example, generators such as high-frequency plasma, pulse wave plasma, and microwave plasma can be used, and a generator using a high-frequency plasma system that can obtain highly active and stable plasma is particularly preferable. .

酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスとしては、例えば1.1.3.3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン等を使用することができる。これらの蒸着用モノマーガスの中でも、取扱性、蒸着膜の物性等の良好な1.1.3.3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサンが好ましい。   Examples of a monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound or the like that forms a vapor deposition thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide include 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane, vinyltrimethylsilane, and methyltrimethyl. Silane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane , Octamethylcyclotetrasiloxane, and the like can be used. Among these monomer gases for vapor deposition, 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane and hexamethyldisiloxane, which have good handling properties and physical properties of the vapor deposition film, are preferable.

なお、ガスバリア層2は、単層構造でもよく、2層以上の多層構造でもよい。このようにガスバリア層2を多層構造とすることで、蒸着の際に懸かる熱負担の軽減により基材フィルム1の劣化が低減され、さらに基材フィルム1とガスバリア層2との密着性等を改善することができる。また、上記物理気相成長法及び化学気相成長法における蒸着条件は、基材フィルム1の樹脂種類、ガスバリア層2の厚み等に応じて適宜設計される。   The gas barrier layer 2 may have a single layer structure or a multilayer structure of two or more layers. As described above, the gas barrier layer 2 has a multi-layer structure, so that the deterioration of the base film 1 is reduced by reducing the heat load applied during vapor deposition, and the adhesion between the base film 1 and the gas barrier layer 2 is improved. can do. The vapor deposition conditions in the physical vapor deposition method and the chemical vapor deposition method are appropriately designed according to the resin type of the base film 1, the thickness of the gas barrier layer 2, and the like.

ガスバリア層2の厚み(平均厚み)の下限としては、10nmが好ましく、20nmが特に好ましい。一方、ガスバリア層2の厚みの上限としては、200nmが好ましく、100nmが特に好ましい。ガスバリア層2の厚みが上記下限より小さいと、ガスバリア性が低下するおそれがある。一方、ガスバリア層2の厚みが上記上限を超えると、柔軟性が低下し、ガスバリア層2にクラック等の欠陥が発生しやすくなる。   As a minimum of the thickness (average thickness) of gas barrier layer 2, 10 nm is preferred and 20 nm is especially preferred. On the other hand, the upper limit of the thickness of the gas barrier layer 2 is preferably 200 nm, and particularly preferably 100 nm. If the thickness of the gas barrier layer 2 is smaller than the lower limit, the gas barrier property may be lowered. On the other hand, when the thickness of the gas barrier layer 2 exceeds the above upper limit, the flexibility is lowered and defects such as cracks are likely to occur in the gas barrier layer 2.

平坦化層3は、ガスバリア層2の外面に積層され、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成される。   The planarization layer 3 is laminated on the outer surface of the gas barrier layer 2 and is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof.

この金属アルコキシドが含有する金属としては、3価以上の金属、例えば遷移金属、希土類金属、周期表3〜5族の金属などが挙げられ、周期表3b族又は4族に属する金属が好ましい。周期表3b族に属する金属としては例えばAlなどが挙げられる。周期表4族に属する金属としては例えば4a族に属するTi、Zrなど、4b族に属するSiなどが挙げられる。これらの金属のうち、ゾル・ゲル法による製膜が容易で界面平坦化機能に優れるAl及びSiが好ましく、Siが特に好ましい。   Examples of the metal contained in the metal alkoxide include trivalent or higher metals, for example, transition metals, rare earth metals, metals in groups 3 to 5 of the periodic table, and metals belonging to groups 3b or 4 of the periodic table are preferable. Examples of the metal belonging to Group 3b of the periodic table include Al. Examples of the metal belonging to Group 4 of the periodic table include Ti and Zr belonging to Group 4a, Si and the like belonging to Group 4b. Of these metals, Al and Si, which are easy to form a film by a sol-gel method and have an excellent interface flattening function, are preferable, and Si is particularly preferable.

金属アルコキシドが有するアルコキシ基としては、例えばメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基などが挙げられる。中でも、加水分解重合性に優れる炭素数1〜4の低級アルコキシ基が好ましく、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基が特に好ましい。また、加水分解重合性を促進する趣旨で、少なくとも2つのアルコキシ基を有する金属アルコキシドが好ましい。   Examples of the alkoxy group possessed by the metal alkoxide include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, a pentyloxy group, and a hexyloxy group. Among them, a lower alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms that is excellent in hydrolysis polymerizability is preferable, and a methoxy group, an ethoxy group, and a propoxy group are particularly preferable. In addition, a metal alkoxide having at least two alkoxy groups is preferred for the purpose of promoting hydrolysis polymerizability.

金属アルコキシドは、炭化水素基を有していてもよい。この炭化水素基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;フェニル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、2−フェニルエチル基等のアラルキル基等が挙げられる。これらの炭化水素基のうち、アルキル基及びアリール基が好ましい。このアルキル基の中でも、炭素数1〜4の低級アルキル基が好ましく、メチル基、エチル基及びプロピル基が特に好ましい。また、アリール基の中でも、フェニル基が好ましい。金属アルコキシドにおける炭化水素基の数としては、アルコキシ基の数に応じて適当に選択でき、一般的に1分子中0〜2個程度とされている。   The metal alkoxide may have a hydrocarbon group. Examples of the hydrocarbon group include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a pentyl group, and a hexyl group; a cycloalkyl group such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, and a cyclooctyl group; a phenyl group Aryl groups such as naphthyl group; aralkyl groups such as benzyl group and 2-phenylethyl group. Of these hydrocarbon groups, alkyl groups and aryl groups are preferred. Among these alkyl groups, a lower alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, and a methyl group, an ethyl group, and a propyl group are particularly preferable. Of the aryl groups, a phenyl group is preferable. The number of hydrocarbon groups in the metal alkoxide can be appropriately selected according to the number of alkoxy groups, and is generally about 0 to 2 in one molecule.

金属アルコキシドとしては、具体的には、下記式(1)で表されるものが好ましい。
(RM(ORX−m (1)
上記式(1)において、Rは、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、置換基を有していてもよい。Rは、低級アルキル基を示す。R及びRは、mによって異なっていてもよい。Mは、3価以上の金属を示す。Xは、金属Mの価数を示す。mは、0〜2の整数を示し、X−m≧2である。
Specifically, the metal alkoxide is preferably represented by the following formula (1).
(R 1 ) m M (OR 2 ) Xm (1)
In the above formula (1), R 1 represents an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group or an aralkyl group, and may have a substituent. R 2 represents a lower alkyl group. R 1 and R 2 may be different depending on m. M represents a trivalent or higher metal. X represents the valence of the metal M. m shows the integer of 0-2 and it is Xm> = 2.

特に、金属がSiである金属アルコキシドとしては、下記式(2)で表されるものが好ましい。
(RSi(OR4−n (2)
上記式(2)において、Rは、アルキル基又はアリール基を示し、置換基を有していてもよい。Rは、低級アルキル基を示す。R及びRは、nによって異なっていてもよい。nは、0〜2の整数を示す。
In particular, the metal alkoxide whose metal is Si is preferably represented by the following formula (2).
(R 1 ) n Si (OR 2 ) 4-n (2)
In the above formula (2), R 1 represents an alkyl group or an aryl group, and may have a substituent. R 2 represents a lower alkyl group. R 1 and R 2 may be different depending on n. n shows the integer of 0-2.

金属がAlである金属アルコキシドとしては、具体的にはトリメトキシアルミネート、トリエトキシアルミネート、エチルジエトキシアルミネート、トリプロポキシアルミネートなどが挙げられる。   Specific examples of the metal alkoxide whose metal is Al include trimethoxy aluminate, triethoxy aluminate, ethyl diethoxy aluminate, tripropoxy aluminate and the like.

上記式(2)で表される金属(Si)アルコキシドとしては、具体的にはテトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、エチルトリプロポキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジプロピルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリプロポキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシランなどが挙げられる。   Specific examples of the metal (Si) alkoxide represented by the above formula (2) include tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, propyltrimethoxysilane, butyltrimethoxysilane, tetraethoxysilane, and methyl. Triethoxysilane, ethyltriethoxysilane, propyltriethoxysilane, butyltriethoxysilane, tetrapropoxysilane, methyltripropoxysilane, ethyltripropoxysilane, dimethyldimethoxysilane, diethyldimethoxysilane, dipropyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane , Diethyldiethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptop Pills triethoxysilane, .gamma.-aminopropyltrimethoxysilane, .gamma.-aminopropyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane propoxy, diphenyldimethoxysilane, and the like diphenyl diethoxy silane.

上記式(2)で表される金属(Si)アルコキシドの中でも、炭素数1〜4程度のアルキル基又はアリール基を0〜2個、炭素数1〜3程度のアルコキシ基を2〜4個有する化合物、例えばテトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、テトラエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシランなどが特に好ましい。   Among metal (Si) alkoxides represented by the above formula (2), 0 to 2 alkyl groups or aryl groups having about 1 to 4 carbon atoms, and 2 to 4 alkoxy groups having about 1 to 3 carbon atoms. Compounds such as tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, tetraethoxysilane, ethyltriethoxysilane, diethyldiethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane Etc. are particularly preferred.

なお、上記組成物中には、同種又は異種の金属アルコキシドを一種又は二種以上混合して使用できる。また、上記組成物中には、組成物の硬さ、柔軟性などを調整するため、n=3のモノアルコキシシランを添加してもよい。また、上記組成物中には、5b族の化合物、例えばメチルホスホナスジメチルエステル、エチルホスホナスジメチルエステル、トリクロロメチルホスホナスジエチルエステル、メチルホスホナスジエチルエステル、メチルホスホニックジメチルエステル、フェニルホスホニックジメチルエステル、リン酸トリアルキルエステルなどのリン系化合物や、ホウ酸トリアルキルエステルなどのホウ素化合物を添加してもよい。さらに、上記組成物中には、少なくとも1つの加水分解性有機基を有するアルカリ土類金属化合物を必要に応じて添加してもよい。このアルカリ土類金属化合物は、炭化水素基と加水分解性有機基との双方を有していてもよい。   In addition, in the said composition, the same kind or different kind of metal alkoxide can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. Further, in order to adjust the hardness, flexibility and the like of the composition, n = 3 monoalkoxysilane may be added to the composition. Further, in the above composition, a group 5b compound such as methylphosphonas dimethyl ester, ethylphosphonas dimethyl ester, trichloromethylphosphonas diethyl ester, methylphosphonas diethyl ester, methylphosphonic dimethyl ester, phenylphosphonic dimethyl ester Phosphorus compounds such as esters and trialkyl phosphates and boron compounds such as boric acid trialkyl esters may be added. Further, an alkaline earth metal compound having at least one hydrolyzable organic group may be added to the composition as necessary. This alkaline earth metal compound may have both a hydrocarbon group and a hydrolyzable organic group.

上記組成物中に、窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシド(A)を含有するとよい。このように窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシド(A)を含有する組成物を塗工及びキュアすることで、平坦化層3に特定のポリシロキサン構造を発現させ、平坦化層3の膜物性ひいてはガスバリア性を向上させることができ、加えて平坦化層3のガスバリア性の温度依存性を低減することができる。   The composition may contain a metal alkoxide (A) having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen. Thus, by applying and curing the composition containing the metal alkoxide (A) having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur, and halogen, a specific polysiloxane structure is formed on the planarizing layer 3. It is possible to improve the film physical properties of the planarization layer 3 and thus the gas barrier property, and in addition, the temperature dependence of the gas barrier property of the planarization layer 3 can be reduced.

上記窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基としては、例えばアミノ基、塩素、メルカプト基、グリシドキシ基などが挙げられる。上記窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシド(A)としては、例えば、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス(β−ヒドロキシエチル)−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルシリコ−ン等が挙げられ、これらの金属アルコキシドの1種又は2種以上を使用することができる。   Examples of the functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen include an amino group, chlorine, mercapto group, and glycidoxy group. Examples of the metal alkoxide (A) having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen include γ-chloropropyltrimethoxysilane and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. , Γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (amino Ethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-ureidopropyltriethoxysilane, bis (β-hydroxyethyl) -γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylsilicone, and the like. Use one or more alkoxides Door can be.

上記金属アルコキシド(A)の含有量(組成物中の全金属アルコキシドに対する含有量)としては、1質量%以上50質量%以下が好ましく、3質量%以上30質量%以下が特に好ましい。金属アルコキシド(A)の含有量を上記範囲とすることで、平坦化層3にガスバリア性に寄与するポリシロキサン構造を発現することができる。   As content (content with respect to all the metal alkoxides in a composition) of the said metal alkoxide (A), 1 to 50 mass% is preferable, and 3 to 30 mass% is especially preferable. By setting the content of the metal alkoxide (A) in the above range, a polysiloxane structure contributing to gas barrier properties can be expressed in the planarizing layer 3.

上記組成物中に、溶剤可溶性ポリマーを含有するとよい。かかる溶剤可溶性ポリマーと金属アルコキシドとを含む組成物を用いたゾル・ゲル法により平坦化層3を形成することで、平坦化層3の膜物性が向上し、かつ平坦化層3のガスバリア性(特に、高温時におけるガスバリア性)をより高めることができる。   A solvent-soluble polymer may be contained in the composition. By forming the planarizing layer 3 by a sol-gel method using a composition containing such a solvent-soluble polymer and a metal alkoxide, the film physical properties of the planarizing layer 3 are improved, and the gas barrier property ( In particular, the gas barrier property at a high temperature can be further improved.

上記溶剤可溶性ポリマーとしては、種々の官能基や官能性結合基(例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エステル結合、エーテル結合、カーボネート結合、アミド基、アミド結合など)を有するポリマー、グリシジル基を有するポリマー、ハロゲン含有ポリマー、これらのポリマーからの誘導体等が挙げられる。これらの官能基や官能性結合基はポリマーの主鎖又は側鎖のいずれに存在していてもよい。溶剤可溶性ポリマーとしては、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂のいずれであってもよく、単独又は二種以上混合して使用してもよい。また、溶剤可溶性ポリマーとしては、金属アルコキシドとの反応に活性であってもよく、不活性であってもよいが、一般的には非反応性ポリマーとされている。なお、「アミド結合」とは、−NHC(O)−に限定されず、>NC(O)−結合単位を含む概念である。
Examples of the solvent-soluble polymer include polymers having various functional groups and functional bonding groups (for example, hydroxyl groups, carboxyl groups, ester bonds, ether bonds, carbonate bonds, amide groups, amide bonds, etc.), polymers having glycidyl groups. , Halogen-containing polymers, and derivatives from these polymers. These functional groups and functional binding groups may be present in either the main chain or the side chain of the polymer. The solvent-soluble polymer may be either a thermoplastic resin or a thermosetting resin, and may be used alone or in combination of two or more. The solvent-soluble polymer may be active in the reaction with the metal alkoxide or may be inactive, but is generally a non-reactive polymer. The “amide bond” is not limited to —NHC (O) — and is a concept including a> NC (O) — bond unit.

上記ヒドロキシル基を有するポリマーとその誘導体としては、例えばポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、エチレン−ビニルアルコール共重合体、フェノール樹脂、メチロールメラミン等とその誘導体(例えばアセタール化物、ヘキサメトキシメチルメラミン等)が挙げられる。上記カルボキシルを有するポリマーとその誘導体としては、例えばポリ(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸、イタコン酸等の重合性不飽和酸の単位を含む単独又は共重合体、これらのポリマーのエステル化物などが挙げられる。上記エステル結合を有するポリマーとしては、例えば酢酸ビニル等のビニルエステル、メタクリル酸メチル等の(メタ)アクリル酸エステルなどの単位を含む単独又は共重合体(例えばポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、(メタ)アクリル系樹脂など)、飽和ポリエステル、不飽和ポリエステル、ビニルエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、セルロースエステルなどが挙げられる。上記エーテル結合を有するポリマーとしては、例えばポリアルキレンオキサイド、ポリオキシアルキレングリコール、ポリビニルエーテル、ケイ素樹脂などが挙げられる。上記カーボネート結合を有するポリマーとしては、ビスフェノールA型ポリカーボネートなどのポリカーボネートが挙げられる。   Examples of the hydroxyl group-containing polymer and derivatives thereof include polyvinyl alcohol, polyvinyl acetal, ethylene-vinyl alcohol copolymer, phenol resin, methylol melamine, and derivatives thereof (for example, acetalized products, hexamethoxymethyl melamine, etc.). . Examples of the carboxyl-containing polymer and derivatives thereof include homopolymers or copolymers containing units of polymerizable unsaturated acids such as poly (meth) acrylic acid, maleic anhydride, and itaconic acid, and esterified products of these polymers. Can be mentioned. Examples of the polymer having an ester bond include homopolymers or copolymers (for example, polyvinyl acetate, ethylene-vinyl acetate copolymer, etc.) containing units such as vinyl esters such as vinyl acetate and (meth) acrylic esters such as methyl methacrylate. Coalescence, (meth) acrylic resin, etc.), saturated polyester, unsaturated polyester, vinyl ester resin, diallyl phthalate resin, cellulose ester and the like. Examples of the polymer having an ether bond include polyalkylene oxide, polyoxyalkylene glycol, polyvinyl ether, and silicon resin. Examples of the polymer having a carbonate bond include polycarbonates such as bisphenol A polycarbonate.

上記アミド結合を有するポリマーとしては、例えば>N(COR)−結合を有するポリオキサゾリン、ポリアルキレンイミン等のN−アシル化物;>NC(O)−結合を有するポリビニルピロリドンとその誘導体;ウレタン結合−HNC(O)O−を有するポリウレタン;尿素結合−HNC(O)NH−を有するポリマー;アミド結合−C(O)NH−を有するポリマー;ビュレツト結合を有するポリマー;アロハネート結合を有するポリマーなどが含まれる。上記結合式において、Rは、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。   Examples of the polymer having an amide bond include:> N (COR) -bonded polyoxazoline, polyalkyleneimine and other N-acylated products;> NC (O) -bonded polyvinylpyrrolidone and derivatives thereof; urethane bond- Includes polyurethanes with HNC (O) O—; polymers with urea linkages—HNC (O) NH—; polymers with amide linkages—C (O) NH—; polymers with bullet linkages; polymers with allophanate linkages, etc. It is. In the above bonding formula, R represents a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent.

>N(COR)−結合を有するポリオキサゾリンの場合、上記Rで示されるアルキル基としては、例えば炭素数1〜10程度のアルキル基、好ましくは炭素数1〜4の低級アルキル基、特にメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基などが該当する。アルキル基の置換基としては、例えばフッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、炭素数1〜4程度のアルコキシ基、カルボキシル基、アルキル部分の炭素数が1〜4程度のアルコキシカルボニル基などが挙げられる。アリール基としては、例えばフェニル、ナフチル基などが挙げられる。アリール基の置換基としては、例えば前記ハロゲン原子、炭素数1〜4程度のアルキル基、ヒドロキシル基、炭素数1〜4程度のアルコキシ基、カルボキシル基、アルキル部分の炭素数が1〜4程度のアルコキシカルボニル基などが挙げられる。   In the case of a polyoxazoline having> N (COR) -bond, the alkyl group represented by R is, for example, an alkyl group having about 1 to 10 carbon atoms, preferably a lower alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, particularly a methyl group. , Ethyl group, propyl group, isopropyl group and the like. Examples of the substituent of the alkyl group include halogen atoms such as fluorine, chlorine and bromine, hydroxyl groups, alkoxy groups having about 1 to 4 carbon atoms, carboxyl groups, and alkoxycarbonyl groups having about 1 to 4 carbon atoms in the alkyl portion. Is mentioned. Examples of the aryl group include phenyl and naphthyl groups. Examples of the substituent of the aryl group include the halogen atom, an alkyl group having about 1 to 4 carbon atoms, a hydroxyl group, an alkoxy group having about 1 to 4 carbon atoms, a carboxyl group, and an alkyl moiety having about 1 to 4 carbon atoms. An alkoxycarbonyl group etc. are mentioned.

オキサゾリンとしては、例えば2−オキサゾリン、2−メチル−2−オキサゾリン、2−エチル−2−オキサゾリン、2−プロピル−2−オキサゾリン、2−イソプロピル−2−オキサゾリン、2−ブチル−2−オキサゾリン、2−ジクロロメチル−2−オキサゾリン、2−トリクロロメチル−2−オキサゾリン、2−ペンタフルオロエチル−2−オキサゾリン、2−フェニル−2−オキサゾリン、2−メトキシカルボニルエチル−2−オキサゾリン、2−(4−メチルフェニル)−2−オキサゾリン、2−(4−クロロフェニル)−2−オキサゾリンなどが挙げられる。特に、2−オキサゾリン、2−メチル−2−オキサゾリン、2−エチル−2−オキサゾリンなどが好ましい。このようなオキサゾリンのポリマーは一種又は二種以上混合して使用できる。ポリオキサゾリンは、単独重合体であってもよく、共重合体であってもよい。また、ポリオキサゾリンは、ポリマーにポリオキサゾリンがグラフトした共重合体であってもよい。   Examples of oxazolines include 2-oxazoline, 2-methyl-2-oxazoline, 2-ethyl-2-oxazoline, 2-propyl-2-oxazoline, 2-isopropyl-2-oxazoline, 2-butyl-2-oxazoline, 2 -Dichloromethyl-2-oxazoline, 2-trichloromethyl-2-oxazoline, 2-pentafluoroethyl-2-oxazoline, 2-phenyl-2-oxazoline, 2-methoxycarbonylethyl-2-oxazoline, 2- (4- Methylphenyl) -2-oxazoline, 2- (4-chlorophenyl) -2-oxazoline and the like. In particular, 2-oxazoline, 2-methyl-2-oxazoline, 2-ethyl-2-oxazoline and the like are preferable. Such oxazoline polymers can be used singly or in combination. The polyoxazoline may be a homopolymer or a copolymer. The polyoxazoline may be a copolymer obtained by grafting polyoxazoline to a polymer.

なお、ポリオキサゾリンは、置換基を有していてもよいオキサゾリンを触媒の存在下で開環重合することにより得られる。触媒としては、例えば硫酸ジメチル、p−トルエンスルホン酸アルキルエステルなどの硫酸エステルやスルホン酸エステル;ヨウ化アルキル(例えば、ヨウ化メチル)などのハロゲン化アルキル;フリーデルクラフツ触媒のうち金属フッ素化物;硫酸、ヨウ化水素、p−トルエンスホン酸などの酸、これらの酸とオキサゾリンとの塩であるオキサゾリニウム塩などが使用できる。   The polyoxazoline can be obtained by ring-opening polymerization of an oxazoline which may have a substituent in the presence of a catalyst. Examples of the catalyst include sulfuric acid esters and sulfonic acid esters such as dimethyl sulfate and p-toluenesulfonic acid alkyl ester; alkyl halides such as alkyl iodide (for example, methyl iodide); metal fluorides among Friedel-Crafts catalysts; Acids such as sulfuric acid, hydrogen iodide and p-toluenesulfonic acid, and oxazolinium salts which are salts of these acids with oxazoline can be used.

ポリアルキレンイミンのアシル化物としては、前記ポリオキサゾリンに対応するポリマー、例えばN−アセチルアミノ、N−プロピオニルアミノなどのN−アシルアミノ基を有するポリマーが挙げられる。ポリビニルピロリドンとその誘導体としては、置換基を有してもよいビニルピロリドンのポリマー、例えばポリビニルピロリドンなどが挙げられる。ウレタン結合を有するポリウレタンとしては、例えばポリイソシアネート(トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等)と、ポリオール(エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、グリセリンなどの多価アルコール;ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリプロビレングリコール等のポリエーテルポリオール;ポリエステルポリオールなど)との反応により生成するポリウレタンが挙げられる。尿素結合を有するポリマーとしては、例えばポリ尿素、ポリイソシアネートとポリアミン(例えば、エチレンジアミン、ジエチレントリアミンなどのジアミンなど)との反応により生成するポリマーなどが挙げられる。   Examples of the acylated product of polyalkyleneimine include polymers corresponding to the polyoxazoline, for example, polymers having an N-acylamino group such as N-acetylamino and N-propionylamino. Examples of polyvinyl pyrrolidone and derivatives thereof include polymers of vinyl pyrrolidone which may have a substituent, such as polyvinyl pyrrolidone. Examples of polyurethanes having urethane bonds include polyisocyanates (tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, etc.) and polyols (polyhydric alcohols such as ethylene glycol, propylene glycol, tetramethylene glycol, glycerin; diethylene glycol, polyethylene glycol, dipropylene glycol). And polyurethanes produced by reaction with polyether polyols such as polypropylene glycol; polyester polyols, etc.). Examples of the polymer having a urea bond include polyurea, a polymer formed by a reaction of polyisocyanate and polyamine (for example, diamine such as ethylenediamine and diethylenetriamine).

アミド結合を有するポリマーとしては、ポリアミド、ポリ(メタ)アクリルアミド、ポリアミノ酸などが挙げられる。このアミド結合を有するポリマーとしては、置換基を有していてもよいオキサゾリンのポリマー、ポリアルキレンイミンのN−アシル化物、ポリビニルピロリドン、ポリウレタン、ポリアミド、ポリ(メタ)アクリルアミドなどが好ましい。ビュレツト結合を有するポリマーとしては、前記ポリイソシアネートとウレタン結合を有する化合物との反応により生成するポリマーが挙げられる。アロハネート結合を有するポリマーとしては、前記ポリイソシアネートと尿素結合を有する化合物との反応により生成するポリマーなどが挙げられる。グリシジル基を有するポリマーとしては、例えばエポキシ樹脂、グリシジル(メタ)アクリレートの単独又は共重合体等が挙げられる。ハロゲン含有ポリマーとしては、例えばポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニリデンの単位を有する塩化ビニリデン系ポリマー、塩素化ポリプロピレンなどが挙げられる。   Examples of the polymer having an amide bond include polyamide, poly (meth) acrylamide, and polyamino acid. The polymer having an amide bond is preferably an oxazoline polymer which may have a substituent, an N-acylated product of polyalkyleneimine, polyvinyl pyrrolidone, polyurethane, polyamide, poly (meth) acrylamide or the like. Examples of the polymer having a buret bond include a polymer produced by a reaction between the polyisocyanate and a compound having a urethane bond. Examples of the polymer having an allophanate bond include a polymer produced by a reaction between the polyisocyanate and a compound having a urea bond. Examples of the polymer having a glycidyl group include epoxy resins and glycidyl (meth) acrylate homopolymers or copolymers. Examples of the halogen-containing polymer include polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinylidene chloride-based polymer having vinylidene chloride units, and chlorinated polypropylene.

溶剤可溶性ポリマーは、一般的には、水;メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、シクロヘキサノール等のアルコール類;ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン等の脂環族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;塩化メチル、塩化メチレン、クロロホルム、トリクロロエチレン等のハロゲン化炭化水素;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;ジエチルエーテル、ジオキサン、ジメトキシエタン、テトラヒドロフラン等のエーテル類;含窒素溶媒(例えば、N−メチルピロリドン、アセトニトリル等のニトリル類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類など)やスルホキシド類(例えばジメチルスルホキシドなど)等の非プロトン性極性溶媒;又はこれらの混合溶媒に可溶である。
Solvent-soluble polymers are generally water; alcohols such as methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol and cyclohexanol; aliphatic hydrocarbons such as hexane and octane; alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; Halogenated hydrocarbons such as methyl chloride, methylene chloride, chloroform and trichloroethylene; Esters such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate; Ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; Ethers such as diethyl ether, dioxane, dimethoxyethane, tetrahydrofuran; nitrogen-containing solvents (eg, nitriles such as N-methylpyrrolidone and acetonitrile; amides such as dimethylformamide and dimethylacetamide) and sulfo Aprotic polar solvents such as earth (such as dimethyl sulfoxide, etc.); or soluble in a mixed solvent thereof.

溶剤可溶性ポリマーとしては、水素結合可能な基、例えばヒドロキシル基、カルボキシル基、アミド基、アミド結合や窒素原子などを有するものが好ましい。このような水素結合可能な基を有する溶剤可溶性ポリマーを用いると、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物に対して共通する良溶媒を使用できる場合が多く、金属アルコキシドの加水分解重合により生成した有機金属ポリマーのヒドロキシル基と溶剤可溶性ポリマーの官能基や結合基とが水素結合し、その結果均一な有機・無機ハイブリッドを形成し、ミクロ的に均質で透明な皮膜を形成できると考えられる。
As the solvent-soluble polymer, those having a hydrogen bondable group, for example, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amide group, an amide bond or a nitrogen atom are preferable. When such a solvent-soluble polymer having a hydrogen-bondable group is used, it is often possible to use a good solvent common to the metal alkoxide and / or its hydrolyzate. It is considered that the hydroxyl group of the metal polymer and the functional group or bonding group of the solvent-soluble polymer form a hydrogen bond, thereby forming a uniform organic / inorganic hybrid and forming a microscopically uniform and transparent film.

また、溶剤可溶性ポリマーとしては、金属アルコキシドとの共通溶媒が使用できるアルコール可溶性ポリマーが好ましい。このようなアルコール可溶性ポリマーとしては、ヒドロキシル基を有するポリマー等の水溶性ポリマーが好ましく、窒素原子を有するポリマー(例えば、前記アミド結合を有するポリマー)が特に好ましい。
Moreover, as a solvent soluble polymer, the alcohol soluble polymer which can use a common solvent with a metal alkoxide is preferable. As such an alcohol-soluble polymer, a water-soluble polymer such as a polymer having a hydroxyl group is preferable, and a polymer having a nitrogen atom (for example, a polymer having the amide bond) is particularly preferable.

溶剤可溶性ポリマーの金属アルコキシド(その加水分解物を含む)100質量部に対する含有量は、40質量%以上90質量%以下が好ましく、50質量%以上80質量%以下が特に好ましい。溶剤可溶性ポリマーの含有量が上記範囲より小さいと、ガスバリア性の向上効果が低下し、無機ポリマーと有機ポリマーとの複合体で均一な皮膜を形成するのが困難となるおそれがある。一方、溶剤可溶性ポリマーの含有量が上記範囲を超えると、成膜性や均一性が高くなる傾向を示すが、ガスバリア性が低下するおそれがある。
The content of the solvent-soluble polymer with respect to 100 parts by mass of the metal alkoxide (including the hydrolyzate thereof) is preferably 40% by mass to 90% by mass, and particularly preferably 50% by mass to 80% by mass. If the content of the solvent-soluble polymer is smaller than the above range, the effect of improving the gas barrier property is lowered, and it may be difficult to form a uniform film with a composite of an inorganic polymer and an organic polymer. On the other hand, when the content of the solvent-soluble polymer exceeds the above range, the film formability and uniformity tend to be improved, but the gas barrier property may be lowered.

上記組成物中には、一般的には有機溶媒が配合される。この有機溶媒としては、金属アルコキシドの種類に応じて重合反応に不活性な適当な溶媒、例えばアルコール類、芳香族炭化水素、エーテル類、含窒素溶媒、スルホキシド類、又はこれらの混合溶媒などが使用される。また、上記溶剤可溶性ポリマーも有機溶媒として使用することができる。この有機溶媒としては、金属アルコキシドの溶媒と混和性を有する溶媒が好ましく、溶剤可溶性ポリマー及び金属アルコキシドに対して共通する良溶媒が特に好ましい。
In general, an organic solvent is blended in the composition. As this organic solvent, an appropriate solvent inert to the polymerization reaction depending on the type of metal alkoxide, for example, alcohols, aromatic hydrocarbons, ethers, nitrogen-containing solvents, sulfoxides, or a mixed solvent thereof is used. Is done. Moreover, the said solvent soluble polymer can also be used as an organic solvent. As the organic solvent, a solvent miscible with the metal alkoxide solvent is preferable, and a good solvent common to the solvent-soluble polymer and the metal alkoxide is particularly preferable.

また、上記組成物中には硬化触媒を含有し、硬化触媒の存在下で金属アルコキシドの加水分解重合を行なってもよい。硬化触媒としては、実質的に水に不溶であり、かつ有機溶媒に可溶な第三アミン類や酸触媒などが使用される。第三アミン類としては、例えばN.N−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン等が挙げられる。酸触媒としては、例えば塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸;例えばギ酸、酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、プロピオン酸等のカルボン酸、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸等のスルホン酸などの有機酸が挙げられる。   The composition may contain a curing catalyst, and the hydrolysis polymerization of the metal alkoxide may be performed in the presence of the curing catalyst. As the curing catalyst, tertiary amines and acid catalysts which are substantially insoluble in water and soluble in an organic solvent are used. Tertiary amines include, for example, N.I. N-dimethylbenzylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine and the like can be mentioned. Examples of the acid catalyst include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid; carboxylic acids such as formic acid, acetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, and propionic acid, methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid, and p-toluenesulfone. Examples thereof include organic acids such as sulfonic acids such as acids.

なお、平坦化層3を形成する組成物中には、必要に応じて、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、帯電防止剤、界面活性剤、充填剤、着色剤などの種々の添加剤が適宜配合されてもよい。   In the composition for forming the flattening layer 3, various kinds of plasticizer, antioxidant, ultraviolet absorber, flame retardant, antistatic agent, surfactant, filler, colorant, etc. These additives may be appropriately blended.

次に、平坦化層3の形成方法を説明する。平坦化層3は、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む上記組成物を用いたゾル・ゲル法により形成される。具体的には、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物に溶剤可溶性ポリマー、硬化触媒、有機溶媒等を適宜添加して充分に混練することで上記組成物を調整し、この組成物を通常のコ−ティング法でガスバリア層2の表面にコ−ティングし、次いで加熱乾燥し、更にエ−ジング処理等を施すことにより、コ−ティング硬化膜である平坦化層3を形成する。この加熱温度としては、金属アルコキシドの加水分解性や基材フィルム1の耐熱性に応じて適宜選択されるが、50℃以上120℃以下が好ましい。なお、重合反応は、不活性ガスの存在下で行なってもよく、減圧下で行なってもよい。また、加水分解重合に伴なって生成するアルコールを除去しながら、重合してもよい。   Next, a method for forming the planarizing layer 3 will be described. The planarizing layer 3 is formed by a sol-gel method using the above composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof. Specifically, a solvent-soluble polymer, a curing catalyst, an organic solvent, and the like are appropriately added to a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, and the mixture is sufficiently kneaded to prepare the above composition. -The surface of the gas barrier layer 2 is coated by a coating method, then dried by heating, and further subjected to an aging treatment or the like, thereby forming a flattened layer 3 which is a cured coating film. The heating temperature is appropriately selected according to the hydrolyzability of the metal alkoxide and the heat resistance of the base film 1, but is preferably 50 ° C or higher and 120 ° C or lower. The polymerization reaction may be performed in the presence of an inert gas or may be performed under reduced pressure. Moreover, you may superpose | polymerize, removing the alcohol produced | generated with hydrolysis polymerization.

上記平坦化層3の形成方法において、加熱工程の際に、組成物への紫外線照射を施すとよい。このようにゾル・ゲル法の加熱工程の際に組成物への紫外線照射を施すことで、組成物がより低温(100℃以下)で硬化し、かつ平坦化層3に欠陥が格段に少なく膜物性に優れ、平坦化層3とガスバリア層2との密着性が向上する。そのため、平坦化層3のガスバリア性がより高められる。   In the method for forming the planarizing layer 3, the composition may be irradiated with ultraviolet rays during the heating step. In this way, the composition is cured at a lower temperature (100 ° C. or less) by irradiating the composition with ultraviolet rays during the heating step of the sol-gel method, and the flattening layer 3 has significantly fewer defects. Excellent physical properties and improved adhesion between the planarization layer 3 and the gas barrier layer 2. Therefore, the gas barrier property of the planarization layer 3 is further improved.

当該高バリア性シートは、ガスバリア層2にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生しても、その欠陥が平坦化層3によって封鎖される。また、当該高バリア性シートは、主にガスバリア性を奏するガスバリア層2の外面が平坦化層3によって保護され、ガスバリア性の経時的劣化が抑制される。さらに、当該高バリア性シートは、ガスバリア層2の高いガスバリア性に加え、ガスバリア層2の外面に積層される平坦化層3もガスバリア性の向上に寄与する。従って、当該高バリア性シートは、水蒸気等に対するガスバリア性が格段に向上し、ガスバリア性の経時的劣化が低減される。   In the high barrier sheet, even if defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks occur in the gas barrier layer 2, the defects are sealed off by the planarization layer 3. Further, in the high barrier sheet, the outer surface of the gas barrier layer 2 that mainly exhibits gas barrier properties is protected by the planarization layer 3, and the deterioration of the gas barrier properties with time is suppressed. Furthermore, in addition to the high gas barrier property of the gas barrier layer 2, the high barrier property sheet also contributes to the improvement of the gas barrier property by the planarization layer 3 laminated on the outer surface of the gas barrier layer 2. Therefore, the high barrier sheet significantly improves the gas barrier property against water vapor and the like, and the deterioration of the gas barrier property with time is reduced.

図2の高バリア性シートは、合成樹脂製の基材フィルム1と、この基材フィルム1の一方の面に積層されるガスバリア層2と、このガスバリア層2の外面に積層される平坦化層3と、この平坦化層3の外面に積層される他のガスバリア層2と、この他のガスバリア層2の外面に積層される他の平坦化層3とを備えている。換言すると、当該高バリア性シートは、基材フィルム1の一方の面に、ガスバリア層2及び平坦化層3がこの順に2回繰り返して積層されている。当該高バリア性シートの基材フィルム1、ガスバリア層2及び平坦化層3は、上記図1の高バリア性シートと同様であるため、同一番号を付して説明を省略する。また、平坦化層3の外面に繰り返して積層される他のガスバリア層2及び他の平坦化層3も、1段目のガスバリア層2及び平坦化層3と同様である。   The high barrier sheet of FIG. 2 includes a base film 1 made of synthetic resin, a gas barrier layer 2 laminated on one surface of the base film 1, and a planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer 2. 3, another gas barrier layer 2 stacked on the outer surface of the planarizing layer 3, and another planarizing layer 3 stacked on the outer surface of the other gas barrier layer 2. In other words, in the high barrier sheet, the gas barrier layer 2 and the planarizing layer 3 are repeatedly laminated in this order twice on one surface of the base film 1. The base film 1, gas barrier layer 2 and planarization layer 3 of the high barrier sheet are the same as the high barrier sheet of FIG. The other gas barrier layers 2 and other planarization layers 3 that are repeatedly stacked on the outer surface of the planarization layer 3 are the same as the first-stage gas barrier layer 2 and the planarization layer 3.

当該高バリア性シートは、高いガスバリア性を有するガスバリア層2を2層備え、所定のガスバリア性を有する平坦化層3を2層備えているため、非常に高いガスバリア性を有し、かつ高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有している。また、当該高バリア性シートは、ガスバリア層2にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生しても、その欠陥が平坦化層3によって封鎖かつ保護され、ガスバリア性が促進されている。さらに、当該高バリア性シートは、上述のように内側のガスバリア層2の外面にピンホール、クラック等の欠陥があっても平坦化層3によって被覆され、外側のガスバリア層2を積層する界面の平滑性が促進される結果、外側のガスバリア層2の形成において緻密かつ均一な無機酸化物等の蒸着膜の成長が促進される。そのため、当該高バリア性シートは、外側のガスバリア層2へのピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥の発生が低減され、ガスバリア性がより高められる。つまり、一対のガスバリア層2の間に積層される平坦化層3は、内側のガスバリア層2に対する欠陥封鎖機能に加え、外側に積層されるガスバリア層2に対して界面の平滑性に起因する緻密かつ均一な蒸着膜の成長促進機能をも奏することができる。   Since the high barrier sheet includes two gas barrier layers 2 having high gas barrier properties and two planarization layers 3 having predetermined gas barrier properties, it has very high gas barrier properties and high transparency. It has various properties such as heat resistance, heat resistance and flexibility. In the high barrier sheet, even if defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks occur in the gas barrier layer 2, the defects are sealed and protected by the planarization layer 3, and gas barrier properties are promoted. . Further, the high barrier sheet is covered with the planarizing layer 3 even if there are defects such as pinholes and cracks on the outer surface of the inner gas barrier layer 2 as described above, and the interface of the outer gas barrier layer 2 is laminated. As a result of promoting smoothness, the growth of a dense and uniform deposited film such as an inorganic oxide is promoted in the formation of the outer gas barrier layer 2. Therefore, in the high barrier sheet, the occurrence of defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks in the outer gas barrier layer 2 is reduced, and the gas barrier property is further improved. That is, the planarization layer 3 laminated between the pair of gas barrier layers 2 is dense due to the smoothness of the interface with respect to the gas barrier layer 2 laminated on the outer side, in addition to the defect sealing function with respect to the inner gas barrier layer 2. In addition, a uniform vapor deposition film growth promoting function can be achieved.

なお、本発明の高バリア性シートは上記実施形態に限定されるものではなく、例えばガスバリア層2及び平坦化層3がこの順に3回以上繰り返し積層された構造の高バリア性シートも可能である。このように3層以上のガスバリア層2及び平坦化層3を積層することで、ガスバリア性、耐候性、耐久性等の諸特性を格段に向上することができる。   The high barrier sheet of the present invention is not limited to the above embodiment, and for example, a high barrier sheet having a structure in which the gas barrier layer 2 and the planarizing layer 3 are repeatedly laminated three or more times in this order is also possible. . As described above, by laminating three or more gas barrier layers 2 and the planarizing layer 3, various characteristics such as gas barrier properties, weather resistance, and durability can be remarkably improved.

以下、実施例に基づき本発明を詳述するが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is explained in full detail based on an Example, this invention is not interpreted limitedly based on description of this Example.

[実施例1]
厚さ25μmの透明ポリエチレンテレフタレート製の基材フィルムを用い、この基材フィルムの一方の面に、スパッタリング法によりケイ素酸化物(酸化度X=約1.8)を蒸着することで厚さ100nmのガスバリア層を積層した。次に、テトラエトキシシラン34質量部、水15質量部、イソプロピルアルコール10質量部、三級アミン0.17質量部及びγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン3.4質量部を含む平坦化層用組成物を上記ガスバリア層の外面にグラビアロ−ルコ−ト法を用いて1.0g/m(乾燥状態)コ−ティングし、120℃で1分間加熱処理することで平坦化層を積層した。かかる工程により実施例1の高バリア性シートを得た。
[Example 1]
A base film made of transparent polyethylene terephthalate having a thickness of 25 μm was used, and silicon oxide (degree of oxidation X = about 1.8) was deposited on one surface of this base film by a sputtering method to have a thickness of 100 nm. A gas barrier layer was laminated. Next, for a flattening layer containing 34 parts by mass of tetraethoxysilane, 15 parts by mass of water, 10 parts by mass of isopropyl alcohol, 0.17 parts by mass of a tertiary amine, and 3.4 parts by mass of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane The composition was coated on the outer surface of the gas barrier layer by a gravure roll coating method at 1.0 g / m 2 (dry state) and heat-treated at 120 ° C. for 1 minute to laminate a planarization layer. Through this process, the high barrier sheet of Example 1 was obtained.

[実施例2]
上記平坦化層用組成物において、テトラエトキシシランの含有量を20質量部とし、さらにγ−アミノプロピルトリメトキシシラン14質量部含有した以外は上記実施例1と同様にして実施例2の高バリア性シートを得た。
[Example 2]
The high barrier of Example 2 except that the content of tetraethoxysilane was 20 parts by mass and 14 parts by mass of γ-aminopropyltrimethoxysilane was further contained in the flattening layer composition. Sex sheet was obtained.

[実施例3]
上記平坦化層用組成物中に、アルコール可溶性共重合ナイロン(東レ社製)35質量部含有した以外は上記実施例1と同様にして実施例3の高バリア性シートを得た。
[Example 3]
A high barrier sheet of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 35 parts by mass of alcohol-soluble copolymer nylon (manufactured by Toray Industries, Inc.) was contained in the composition for flattening layer.

[実施例4]
上記平坦化層の形成工程において、加熱処理温度を90℃とし、加えて加熱処理の際にコーティング面に波長210nmの紫外線を10分間照射した以外は上記実施例1と同様にして実施例4の高バリア性シートを得た。
[Example 4]
In the step of forming the flattening layer, the heat treatment temperature was set to 90 ° C., and in addition, the coating surface was irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 210 nm for 10 minutes during the heat treatment. A high barrier sheet was obtained.

[実施例5]
ガスバリア層の厚さを10nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例5の高バリア性シートを得た。
[Example 5]
A high barrier sheet of Example 5 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 10 nm.

[実施例6]
ガスバリア層の厚さを20nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例6の高バリア性シートを得た。
[Example 6]
A high barrier sheet of Example 6 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 20 nm.

[実施例7]
ガスバリア層の厚さを50nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例7の高バリア性シートを得た。
[Example 7]
A high barrier sheet of Example 7 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 50 nm.

[実施例8]
ガスバリア層の厚さを200nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例8の高バリア性シートを得た。
[Example 8]
A high barrier sheet of Example 8 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 200 nm.

[実施例9]
平坦化層の外面にさらにガスバリア層及び平坦化層を同じ順に繰り返し積層した以外は上記実施例1と同様にして実施例9の高バリア性シートを得た。なお、2段目のガスバリア層及び平坦化層は、上記1段目のガスバリア層及び平坦化層と同様の方法で形成した。
[Example 9]
A high barrier sheet of Example 9 was obtained in the same manner as in Example 1 except that a gas barrier layer and a planarizing layer were further repeatedly laminated in the same order on the outer surface of the planarizing layer. The second-stage gas barrier layer and planarization layer were formed by the same method as the first-stage gas barrier layer and planarization layer.

[比較例]
平坦化層を積層しない以外は上記実施例1と同様にして比較例の高バリア性シートを得た。
[Comparative example]
A high barrier sheet of a comparative example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the planarizing layer was not laminated.

[特性の評価]
上記実施例1〜9の高バリア性シート及び比較例の高バリア性シートを用い、これらの高バリア性シートの水蒸気透過度を測定した。この水蒸気透過度は、JIS−Z−0208B法に準拠し、温度40℃及び相対湿度90%の条件で測定した。その結果を下記表1に示す。
[Evaluation of characteristics]
Using the high barrier sheet of Examples 1 to 9 and the high barrier sheet of the comparative example, the water vapor permeability of these high barrier sheets was measured. This water vapor permeability was measured under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90% in accordance with the JIS-Z-0208B method. The results are shown in Table 1 below.

Figure 0004310784
Figure 0004310784

上記表1に示すように、基材フィルム及びガスバリア層の積層体である比較例の高バリア性シートと比較して、ガスバリア層の外面に平坦化層が積層される実施例1〜9の高バリア性シートが高いガスバリア性を有している。また、実施例1、5、6、7及び8の高バリア性シートを対比すると、ガスバリア層の厚さが大きいほど、高いガスバリア性を有している。さらに、実施例2、3、4及び9の高バリア性シートは、より優れたガスバリア性を有している。   As shown in Table 1 above, compared to the high barrier sheet of the comparative example, which is a laminate of the base film and the gas barrier layer, the height of Examples 1 to 9 in which the planarizing layer is laminated on the outer surface of the gas barrier layer The barrier sheet has a high gas barrier property. Further, when comparing the high barrier sheets of Examples 1, 5, 6, 7, and 8, the higher the gas barrier layer, the higher the gas barrier property. Further, the high barrier sheets of Examples 2, 3, 4 and 9 have better gas barrier properties.

以上のように、本発明の高バリア性シートは、食品、医薬品等の包装材料として有用であり、特に今日開発が進められている有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタ、フレキシブル液晶等の構成材料として好適に使用される。   As described above, the high-barrier sheet of the present invention is useful as a packaging material for foods, pharmaceuticals, etc., and is particularly composed of organic EL, organic thin-film solar cells, organic transistors, flexible liquid crystals and the like that are being developed today. It is suitably used as a material.

本発明の一実施形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing the high barrier property sheet concerning one embodiment of the present invention. 図1の高バリア性シートとは異なる形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the high barrier property sheet | seat which concerns on the form different from the high barrier property sheet | seat of FIG. 従来の一般的な高バリア性シートを示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the conventional general high barrier property sheet | seat.

符号の説明Explanation of symbols

1 基材フィルム
2 ガスバリア層
3 平坦化層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base film 2 Gas barrier layer 3 Flattening layer

Claims (10)

合成樹脂製の基材フィルムと、
この基材フィルムの少なくとも一方の面に積層されるガスバリア層と、
このガスバリア層の外面に積層される平坦化層と
を備え、
上記ガスバリア層が無機酸化物又は無機窒化物から形成され、
上記平坦化層が金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成されており、かつ
上記ガスバリア層及び平坦化層が同順に複数回繰り返して積層されている高バリア性シート。
A base film made of synthetic resin;
A gas barrier layer laminated on at least one surface of the base film;
A planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer,
The gas barrier layer is formed of an inorganic oxide or an inorganic nitride;
The planarization layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, and
A high barrier sheet in which the gas barrier layer and the planarization layer are repeatedly laminated in the same order a plurality of times .
上記無機酸化物又は無機窒化物として、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物及びアルミニウム酸化物からなる群より選択される1種又は2種以上のものが用いられている請求項1に記載の高バリア性シート。 2. The high barrier property according to claim 1, wherein one or two or more selected from the group consisting of silicon oxide, silicon nitride, and aluminum oxide are used as the inorganic oxide or inorganic nitride. Sheet. 上記ガスバリア層が物理気相成長法又は化学気相成長法により形成されている請求項1又は請求項2に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to claim 1 or 2 , wherein the gas barrier layer is formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition. 上記物理気相成長法としてスパッタリング法が用いられている請求項3に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to claim 3 , wherein a sputtering method is used as the physical vapor deposition method. 上記化学気相成長法としてプラズマ化学気相成長法が用いられている請求項3に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to claim 3 , wherein a plasma chemical vapor deposition method is used as the chemical vapor deposition method. 上記組成物中に、窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシドを含有する請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the composition contains a metal alkoxide having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur, and halogen. 上記組成物中に、ゾル・ゲル法に使用可能な有機溶媒及び/又は水に対して可溶性を有するポリマーを含む請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to any one of claims 1 to 6, wherein the composition contains a polymer that is soluble in an organic solvent and / or water that can be used in a sol-gel method . 上記ゾル・ゲル法による平坦化層の形成において、加熱と共に、組成物への紫外線照射が施されている請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein in the formation of the flattening layer by the sol-gel method, the composition is irradiated with ultraviolet rays while being heated. 上記基材フィルムのガスバリア層積層面に、ガスバリア層との密着性を促進する表面処理が施されている請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier property sheet according to any one of claims 1 to 8, wherein a surface treatment for promoting adhesion to the gas barrier layer is applied to the gas barrier layer lamination surface of the base film. 上記表面処理として、低温プラズマ処理及び/又はアンカーコート処理が用いられている請求項9に記載の高バリア性シート。 The high-barrier sheet according to claim 9 , wherein low-temperature plasma treatment and / or anchor coat treatment is used as the surface treatment.
JP2004153636A 2004-05-24 2004-05-24 High barrier sheet Expired - Fee Related JP4310784B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004153636A JP4310784B2 (en) 2004-05-24 2004-05-24 High barrier sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004153636A JP4310784B2 (en) 2004-05-24 2004-05-24 High barrier sheet

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005335094A JP2005335094A (en) 2005-12-08
JP4310784B2 true JP4310784B2 (en) 2009-08-12

Family

ID=35489181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004153636A Expired - Fee Related JP4310784B2 (en) 2004-05-24 2004-05-24 High barrier sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4310784B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012014653A1 (en) 2010-07-27 2012-02-02 コニカミノルタホールディングス株式会社 Gas barrier film, process for production of gas barrier film, and electronic device
US10516121B2 (en) 2017-09-13 2019-12-24 Sakai Display Products Corporation Apparatus for producing flexible display
US10770672B2 (en) 2018-02-27 2020-09-08 Sakai Display Products Corporation Flexible OLED device, method for manufacturing same, and support substrate
US10991898B2 (en) 2017-09-13 2021-04-27 Sakai Display Products Corporation Flexible display, method for manufacturing same, and support substrate for flexible display
US11183674B2 (en) 2018-02-27 2021-11-23 Sakai Display Products Corporation Method for manufacturing flexible OLED device and support substrate

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102458852B (en) * 2009-06-02 2015-10-14 新加坡科技研究局 multilayer barrier film
JP5540949B2 (en) * 2010-07-07 2014-07-02 コニカミノルタ株式会社 Gas barrier film, organic photoelectric conversion element, organic electroluminescence element

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012014653A1 (en) 2010-07-27 2012-02-02 コニカミノルタホールディングス株式会社 Gas barrier film, process for production of gas barrier film, and electronic device
US10516121B2 (en) 2017-09-13 2019-12-24 Sakai Display Products Corporation Apparatus for producing flexible display
US10991898B2 (en) 2017-09-13 2021-04-27 Sakai Display Products Corporation Flexible display, method for manufacturing same, and support substrate for flexible display
US10770672B2 (en) 2018-02-27 2020-09-08 Sakai Display Products Corporation Flexible OLED device, method for manufacturing same, and support substrate
US11183674B2 (en) 2018-02-27 2021-11-23 Sakai Display Products Corporation Method for manufacturing flexible OLED device and support substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005335094A (en) 2005-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4310788B2 (en) High barrier laminate sheet
US11492453B2 (en) Urea (multi)-(meth)acrylate (multi)-silane compositions and articles including the same
JP6690034B2 (en) Gas barrier laminate, electronic device member and electronic device
JP5577727B2 (en) Moisture-proof laminate
JP4310786B2 (en) High barrier sheet
JP5051494B2 (en) Gas barrier laminate film and method for producing the same
JP4310783B2 (en) High barrier sheet
KR20070051332A (en) Gas barrier laminate film and its manufacturing method
KR20170113444A (en) Method for preparing a barrier film
JP5522521B2 (en) Moisture-proof laminate
JP2011194653A (en) Damp-proofing laminate
JP4310784B2 (en) High barrier sheet
JP4310787B2 (en) High barrier sheet
JP5750441B2 (en) Molded body, manufacturing method thereof, member for electronic device, and electronic device
JP4291682B2 (en) Barrier film manufacturing method
JP5201073B2 (en) Transparent gas barrier film
JP5332281B2 (en) Gas barrier laminated film
JP4876750B2 (en) Vacuum insulation
JP2007176087A (en) Laminated film
JP2015166170A (en) gas barrier laminate
JP4819190B2 (en) Method for producing gas barrier film having hot water resistance and gas barrier film having hot water resistance
JP2010221596A (en) Gas-barrier laminated film and gas-barrier packaging material
JP5332280B2 (en) Gas barrier laminated film
WO2024176768A1 (en) Moisture barrier laminated film
JP2011194652A (en) Damp-proofing laminate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090106

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090309

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090407

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090501

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees