JP4182333B2

JP4182333B2 - Linear motion device

Info

Publication number: JP4182333B2
Application number: JP2002269913A
Authority: JP
Inventors: 賢一磯
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2002-09-17
Filing date: 2002-09-17
Publication date: 2008-11-19
Anticipated expiration: 2022-09-17
Also published as: JP2004108440A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、直動駆動装置であるボールねじ装置や、直動案内装置であるリニアガイド装置等に代表される直動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、直動装置では、鉱油やポリα−オレフィン油等の潤滑油を基油とするグリースや、これら潤滑油を封入し、転動体並びに転動体と接触する部材の摩耗を防止している。このような潤滑剤を封入した直動装置は、通常の使用条件下では問題なく使用されるが、高温や真空、あるいは高速下で駆動される場合には、潤滑剤の直動装置外部への飛散や蒸発によるガスの発生を生じ、直動装置の外部環境を汚染してしまう。そのため、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置、ハードディスク製造装置のように高度な清浄環境を必要とする装置や、高温、真空下で使用される装置では、フッ素系グリースが直動装置の潤滑に多用されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
このフッ素系グリースは、液体フッ素化ポリマー油を基油とし、固体フッ素化ポリマー（フッ素樹脂）を増ちょう剤とするものであり、極めて揮発性が低く、直動装置の外部への飛散量（発塵量）も比較的少ないため、外部環境の汚染は比較的生じ難い。
【特許文献１】
特開平１３−７２９８７号公報（第２頁）
【特許文献２】
特開平１３−５９０９４号公報（第２頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、フッ素系グリースは、一方で鉱油やポリα−オレフィン油等を基油とするグリースに比べて流動性に乏しく、潤滑性能に劣るため、転動体及び転動体と接触する部材が摩耗しやすいという問題を抱えている。このような摩耗は、特に半導体製造装置等の位置決め装置に使用される直動装置では、位置決め精度が低下するため深刻な問題となる。
【０００５】
また、摩耗によって摩耗粉が発生し、これがグリース中に混入してトルクの増大や焼付きを比較的短時間で生じさせる。その結果、トルクの増大による発熱やモータへの過負荷等の問題が生じてしまう。
【０００６】
近年、半導体製造装置や液晶パネル製造装置、ハードディスク製造装置では、生産性向上のためにより高速で稼動されており、それに組み込まれる直動装置も高速の作動が要求されているが、上記のような発塵や、摩耗に起因するトルクの増大が従来以上に発生しやすくなっている。
【０００７】
更に、フッ素系グリースは高価であり、直動装置全体としても高価になるという問題もある。
【０００８】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、廉価であり、発塵量が少なく、優れたトルク寿命を有する直動装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、外周面にボール転動溝を有する案内軸と、内周面に前記案内軸の前記ボール転動溝と対向してボール転動空間を形成するボール転動溝を有する可動体と、前記ボール転動空間に転動自在に収容される多数のボールと、前記ボール転動空間の一端でボールを掬い上げ該ボール転動空間の他端にボールを移動させるボール循環路を有するボール循環部材とを備える直動装置において、パーフルオロポリエーテルを基油とし、ポリテトラフルオロエチレンを増ちょう剤とするフッ素系グリースと、エーテル系油を基油とし、ウレア化合物を増ちょう剤とするウレア系グリースとを、フッ素系グリース：ウレア系グリース＝２０〜８０：８０〜２０の混合比（重量比）で混合したグリース組成物を封入したことを特徴とする直動装置を提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に関して詳細に説明する。
【００１１】
本発明において、直動装置自体の構成や構造は特に制限されるものではなく、例えば図１に一部断面図として示すようなボールねじ装置を例示することができる。図１示すボールねじ装置は、外周面にらせん状のボールねじ溝１２が形成されたボールねじ軸１０と、内周面２２に上記ボールねじ溝１２に対向するらせん状のボールねじ溝２４が形成されたボールナット２０と、対向する両ボールねじ溝間に転動自在に介装された多数のボール３０と、それらのボール３０を循環させるチューブ式循環路４０とを備えている。チューブ式循環路４０は外形略コ字状のチューブからなり、その両端部４２をそれぞれボールナット２０を両ボールねじ溝１２，２４の接線方向に貫通するチューブ取付け孔２９からボールナット２０内のボール転動空間に差し込み、止め金４６でボールナット２０の外面に固定されている。らせん状のボール転動空間を転動するボール３０は、ボールねじ溝１２，２４を複数回回って移動してから、チューブ式循環路４０の一方の端部４２ですくい上げられてチューブ式循環路４０の中を通り、他方の端部（図示せず）からボールナット２０内のボール転動空間に戻る循環を繰り返すようになっている。ボールナット２０の両端の開口部には円形の凹部２６が形成されており、これに嵌着した円板状のシール部材２８の内周面がボールねじ軸１０の外周面及びボールねじ溝１２の面に摺接して外部からボールナット２０内部に異物が入り込みボール３０のスムーズな循環を阻害したり、ボール３０またはボールねじ溝１２が異常摩耗するのを防止したり、ボール転動空間に封入されたグリースが外部に流出しないようにシールする。このようなボールねじ装置によれば、ボールねじ軸１０とボールナット２０とはボール３０の転がりを介して接触することになるので、ボールナット２０をボールねじ軸１０に対して、小さい駆動力で相対的にらせん運動させることができる。
【００１２】
封入されるグリースは、フッ素系グリースと、ウレア系グリースとを混合したグリース組成物である。以下に、フッ素系グリース及びウレア系グリースについて説明する。
【００１３】
〔フッ素系グリース〕
フッ素系グリースとしては、パーフルオロポリエーテルを基油とし、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を増ちょう剤とするフッ素系グリースであれば、特に制限することなく用いることができ、従来から知られたものを適宜選択して用いることができる。
【００１４】
但し、パーフルオロポリエーテルとしては、低温流動性の不足による低温起動時の異音の発生や、高温で油膜が形成され難いために起こる焼付きを避けるために、４０℃における動粘度が２０〜４００ｍｍ²／ｓ、特に３０〜２００ｍｍ²／ｓのものが好ましい。また、ポリテトラフルオロエチレンの形状は制限されるものではなく、球形、多面体（立方体や直方体）、直端には針状でも構わない。これらポリテトラフルオロエチレンは単独で使用してもよいし、複数を組み合わせて使用してもよく、好ましくは混和ちょう度がＮＬＧＩに規定された等級でＮｏ．１〜３となるように配合される。
【００１５】
〔ウレア系グリース〕
ウレア系グリースは、エーテル系油を基油とし、増ちょう剤としてウレア化合物を添加したものである。
【００１６】
エーテル系油としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールモノエーテル、ポリプロピレングリコールモノエーテル等のポリグリコール、あるいはモノアルキルトリフェニルエーテル、アルキルジフェニルエーテル、ジアルキルジフェニルエーテル、ペンタフェニルエーテル、テトラフェニルエーテル、モノアルキルテトラフェニルエーテル、ジアルキルテトラフェニルエーテル等のフェニルエーテル油等が挙げられる。
【００１７】
上記潤滑油からなる基油は、低温流動性不足による低温起動時の異音発生や、高温で油膜が形成され難いために起こる焼付きを避けるために、４０℃における動粘度が好ましくは１０〜４００ｍｍ²／ｓ、より好ましくは２０〜２５０ｍｍ²／ｓ、更に好ましくは４０〜１５０ｍｍ²／ｓｅｃであることが望ましい。
【００１８】
また、ウレア化合物としては、ジウレア化合物、トリウレア化合物、テトラウレア化合物、ポリウレア化合物、またはこれらの混合物が挙げられる。
【００１９】
上記の潤滑油と増ちょう剤とは、好ましくは混和ちょう度がＮＬＧＩに規定された等級でＮｏ．１〜３となるように配合される。
【００２０】
〔グリース組成物の調製方法〕
本発明で用いるグリース組成物は、上記のフッ素系グリースと、ウレア系グリースとを混合して調製される。その際、フッ素系グリースと、ウレア系グリースとの混合割合は、重量比で、フッ素系グリース：ウレア系グリース＝２０〜８０：８０〜２０とする。ウレア系グリースの混合割合が２０質量％未満であると、相対的に流動性に乏しいフッ素系グリースの比率が多く、コストの低減並びに低トルク化を十分に図ることができなくなり、更に潤滑性にも劣るようになる。一方、ウレア系グリースの混合割合が８０質量％を超えると、グリース組成物の揮発性が高くなり、発塵量が多くなる。
【００２１】
フッ素系グリースとウレア系グリースとの混合方法は特に制限されることなく、例えばニーダー、ロールミル等の公知の混合手段を用いることができる。また、混合に際して加熱することも有効である。
【００２２】
また、調製されたグリース組成物は、混和ちょう度が、ＮＬＧＩに規定された等級でＮｏ．１〜３であることが好ましい。
【００２３】
〔添加剤〕
本発明で用いるグリース組成物には、さらに性能を高めるために、必要に応じて添加剤を添加してもよい。例えば、金属石けん、ベントン、シリカゲル等のゲル化剤；アミン系、フェノール系、イオウ系、ジチオリン酸亜鉛等の酸化防止剤；塩素系、イオウ系、リン系、ジチオリン酸亜鉛、有機モリブデン等の極圧剤；脂肪酸、動植物油等の油性剤；石油スルフォネート、ジノニルナフタレンスルフォネート、ソルビタンエステル等のさび止め剤；ベンゾトリアゾール、亜硝酸ソーダ等の金属不活性剤；ポリメタクリレート、ポリイソブチレン、ポリスチレン等の粘度指数向上剤等が挙げられ、これらを単独または２種以上組み合わせて添加することができる。この際、添加剤の添加量は、本発明の所望の目的を達成できる範囲であれば特に限定されるものではないが、通常グリース組成物中に２０質量％以下含有させることができる。
【００２４】
尚、添加剤を添加する場合は、ウレア系グリースを調製する際に、所定量を配合することが好ましい。また、添加剤の配合は、例えばニーダー、ロールミル等の公知の混合手段で添加剤を添加した後十分に攪拌し、添加剤を均一に分散させる必要がある。この際、加熱することも有効である。
【００２５】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何ら制限されるものではない。
【００２６】
（実施例１〜５、比較例１〜３）
４０℃における動粘度が６０ｍｍ²／ｓのパーフルオロポリエーテル油を基油とし、これにポリテトラフルオロエチレン粉末を加えて常法によりフッ素系グリースを得た。また、４０℃における動粘度が１００ｍｍ²／ｓのエーテル油を基油とし、これにアミンとジイソシアネートとを加え、加熱しながら攪拌してウレア系グリースを得た。そして、フッ素系グリースとウレア系グリースとを表１に示す割合で混合して試験グリースを調製し、下記のトルク試験及び発塵量測定試験に供した。
【００２７】
【表１】

【００２８】
（トルク試験）
図２に示すように、調製した試験グリースを試験ボールねじ装置Ａ（日本精工（株）製「型番Ｗ２５０３ＳＡ−２Ｐ−Ｃ５Ｚ５」：軸径２５ｍｍ、リード５．０８ｍｍ）のボールナット２０に５ｍｌ封入し、ボールねじ軸１０をスピンドルＢにより５００ｍｉｎ^-1で回転させ、荷重検出器Ｃにより回転開始１０分後における動トルクを測定した。図４に測定結果を示すが、比較例１の試験グリースを封入したトルク値を１とする相対値で示してある。
【００２９】
（発塵量測定試験）
用いた発塵量測定装置の概略を図３に示す。この発塵量測定装置では、試験ボールねじ装置Ａのボールねじ軸１０は、カップリングＤを介してモーターＥで駆動され、軸受Ｆに磁性流体シールＧが装着されているため、ボールねじ装置Ａからの発塵粒子だけが測定されるようになっている。試験ボールねじ装置Ａとして、日本精工（株）製「Ｗ１５０３ＦＡ−３Ｐ−Ｃ５Ｚ１０」（軸径１５ｍｍ、リード１０ｍｍ）を使用し、ボールナット２０の空間部に調製した試験グリースを２．２ｍｌ封入した。そして、発塵量測定装置をクリーンベンチＨ内に設置し、１０００ｍｉｎ^-1でストローク２１０ｍｍ動かすとともに、クリーンベンチＨ内に給気管Ｉを通じて清浄空気を連続して供給し、その排気を排気管Ｊを通じて光散乱式のパーティクルカウンタ（図示省略）に導入して、粒径０．５μｍ以上の粒子数を測定した。測定結果を図４に示す。
【００３０】
図４から明らかなように、本発明に従い、特にフッ素系グリースとウレア系グリースとを、フッ素系グリース：ウレア系グリース＝２０〜８０：８０〜２０の割合で混合することにより、発塵量の低減とトルク寿命の向上（トルクの低減）とを同時に図ることができる。
【００３１】
以上、本発明に関してボールねじを例示して説明したが、他の直動装置であるリニアガイド装置等でも同様の効果が得られる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、廉価で、低い発塵性と、優れたトルク寿命を有する直動装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の直動装置の一形態であるボールねじ装置を示す図である。
【図２】実施例においてトルク試験に用いたトルク測定装置の概略図であり、（ａ）はその側面図、（ｂ）は（ａ）のｂｂ矢視図である。
【図３】実施例において発塵量測定試験に用いた発塵量測定装置の概略図である。
【図４】実施例、比較例におけるトルク測定結果および発塵量測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１０ボールねじ軸
１２ボールねじ溝
２０ボールナット
２４ボールねじ溝
３０ボール
４０チューブ式循環路
Ａボールねじ装置
Ｂスピンドル
Ｃ荷重検出器
Ｄカップリング
Ｅモーター
Ｆ軸受
Ｇ磁性流体シール
Ｈクリーンベンチ
Ｉ給気管
Ｊ排気管[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a linear motion device represented by a ball screw device that is a linear motion drive device, a linear guide device that is a linear motion guide device, and the like.
[0002]
[Prior art]
In general, in a linear motion device, grease based on lubricating oil such as mineral oil or poly α-olefin oil, and these lubricating oils are sealed to prevent the rolling elements and members in contact with the rolling elements from being worn. Such a linear motion device containing a lubricant is used without problems under normal use conditions, but when driven at high temperatures, vacuums, or high speeds, the lubricant is moved to the outside of the linear motion device. Gases are generated by scattering and evaporation, and the external environment of the linear motion device is contaminated. For this reason, fluorine grease is used to lubricate linear motion devices in devices that require a highly clean environment, such as semiconductor manufacturing devices, liquid crystal panel manufacturing devices, and hard disk manufacturing devices, and devices that are used at high temperatures and under vacuum. (See, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
[0003]
This fluorinated grease uses liquid fluorinated polymer oil as a base oil and solid fluorinated polymer (fluorine resin) as a thickener, and is extremely low in volatility. Since the amount of dust generation is also relatively small, contamination of the external environment is relatively difficult to occur.
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 13-72987 (second page)
[Patent Document 2]
Japanese Unexamined Patent Publication No. 13-59094 (2nd page)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, fluorine grease, on the other hand, has poor fluidity and inferior lubrication performance compared to greases based on mineral oil, poly α-olefin oil, etc., so that the rolling elements and members that come into contact with the rolling elements are likely to wear. Have a problem. Such wear becomes a serious problem, particularly in a linear motion device used in a positioning device such as a semiconductor manufacturing device, because the positioning accuracy is lowered.
[0005]
Also, abrasion powder is generated by abrasion, and this powder is mixed in the grease and causes torque increase and seizure in a relatively short time. As a result, problems such as heat generation due to an increase in torque and overload on the motor may occur.
[0006]
In recent years, semiconductor manufacturing apparatuses, liquid crystal panel manufacturing apparatuses, and hard disk manufacturing apparatuses have been operated at higher speeds to improve productivity, and linear motion apparatuses incorporated therein are also required to operate at high speeds. The increase in torque due to dust generation and wear is more likely to occur than before.
[0007]
Further, the fluorine-based grease is expensive, and there is a problem that the linear motion device as a whole is also expensive.
[0008]
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a linear motion device that is inexpensive, has a small amount of dust generation, and has an excellent torque life.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a guide shaft having a ball rolling groove on the outer peripheral surface, and a ball forming a ball rolling space on the inner peripheral surface facing the ball rolling groove of the guide shaft. A movable body having a rolling groove, a large number of balls that are slidably accommodated in the ball rolling space, a ball is picked up at one end of the ball rolling space, and a ball is placed at the other end of the ball rolling space. In a linear motion device including a ball circulation member having a ball circulation path to be moved, perfluoropolyether as a base oil, fluorine-based grease using polytetrafluoroethylene as a thickener, and ether-based oil as a base oil, the mixing ratio of 80 to 20 encapsulating grease composition mixed (weight ratio): a urea-based grease urea compound thickener, a fluorine-based grease: urea-based grease = 20 to 80 Providing a linear motion apparatus characterized.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
[0011]
In the present invention, the configuration and structure of the linear motion device itself are not particularly limited. For example, a ball screw device as shown in a partial cross-sectional view in FIG. 1 can be exemplified. The ball screw device shown in FIG. 1 has a ball screw shaft 10 in which a spiral ball screw groove 12 is formed on the outer peripheral surface, and a spiral ball screw groove 24 that faces the ball screw groove 12 on the inner peripheral surface 22. The ball nut 20 is formed, a large number of balls 30 are provided so as to roll between the opposing ball screw grooves, and a tube-type circulation path 40 that circulates the balls 30 is provided. The tube-type circulation path 40 is composed of a tube having a substantially U-shaped outer shape, and the balls in the ball nut 20 are passed through the tube mounting holes 29 passing through the ball nut 20 in the tangential direction of the

ball screw grooves

12 and 24 at both ends 42 respectively. It is inserted into the rolling space and fixed to the outer surface of the ball nut 20 by a stopper 46. The ball 30 that rolls in the spiral ball rolling space moves around the ball screw grooves 12 and 24 a plurality of times, and is then scooped up at one end 42 of the tube-type circulation path 40 to form the tube-type circulation path. The circulation through the other end (not shown) to the ball rolling space in the ball nut 20 is repeated. Circular openings 26 are formed in the opening portions at both ends of the ball nut 20, and the inner peripheral surface of the disc-shaped seal member 28 fitted to this is the outer peripheral surface of the ball screw shaft 10 and the ball screw groove 12. The foreign matter enters the ball nut 20 from the outside by sliding contact with the surface, preventing the smooth circulation of the ball 30, preventing abnormal wear of the ball 30 or the ball screw groove 12, or being enclosed in the ball rolling space. Seal the grease to prevent it from flowing out. According to such a ball screw device, since the ball screw shaft 10 and the ball nut 20 come into contact with each other through the rolling of the ball 30, the ball nut 20 is moved with respect to the ball screw shaft 10 with a small driving force. It can be relatively spiraled.
[0012]
The grease to be enclosed is a grease composition in which a fluorine-based grease and a urea-based grease are mixed. Below, a fluorine-type grease and a urea-type grease are demonstrated .
[0013]
[Fluorine grease]
As the fluorine-based grease, any fluorine-based grease having perfluoropolyether as a base oil and polytetrafluoroethylene (PTFE) as a thickener can be used without any particular limitation, and has been conventionally known. Those can be appropriately selected and used.
[0014]
However, the perfluoropolyether has a kinematic viscosity at 40 ° C. of 20 to 20 in order to avoid generation of abnormal noise at low temperature startup due to insufficient low temperature fluidity and seizure that occurs because an oil film is difficult to be formed at high temperature. 400 mm ² / s, particularly preferably those of 30 to 200 mm ² / s. The shape of polytetrafluoroethylene is not limited, and may be spherical, polyhedral (cube or rectangular parallelepiped), or needle-like at the end. These polytetrafluoroethylenes may be used singly or in combination. Preferably, the polytetrafluoroethylene has a miscibility of no. It mix | blends so that it may become 1-3.
[0015]
[ Urea grease]
Urea grease is ethereal oil as the base oil, Ru Monodea with added urea compound as a thickener.
[0016]
The d ether-based oil, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol monomethyl ether, poly glycols such as polypropylene glycol monoether or monoalkyl triphenyl ethers, alkyl diphenyl ether, dialkyl diphenyl ether, pentaphenyl ether, tetraphenyl ether, monoalkyl Examples thereof include phenyl ether oils such as tetraphenyl ether and dialkyl tetraphenyl ether.
[0017]
The base oil composed of the above lubricating oil preferably has a kinematic viscosity at 40 ° C. of 10 to avoid noise generation at low temperature startup due to insufficient low temperature fluidity and seizure that occurs because an oil film is hardly formed at high temperature. 400 mm ² / s, more preferably it is desirable 20~250mm ² / s, more preferably from 40~150mm ² / sec.
[0018]
Also, as the urea compound, diurea compounds, triurea compounds, tetraurea compounds, Ru polyurea compound, or mixtures thereof.
[0019]
The above-mentioned lubricating oil and thickener preferably have a blending degree of No. 1 according to the grade defined by NLGI. It mix | blends so that it may become 1-3.
[0020]
[Grease Composition Preparation Method]
The grease composition used in the present invention is prepared by mixing the above-mentioned fluorine-based grease and urea-based grease. At that time, the mixing ratio of the fluorine-based grease and the urea-based grease is fluorine-based grease: urea-based grease = 20-80: 80-20 by weight ratio. When the mixing ratio of the urea grease is less than 20% by mass, the ratio of fluorine grease having relatively poor fluidity is large, and it becomes impossible to sufficiently reduce the cost and reduce the torque, and further improve the lubricity. Become inferior. On the other hand, when the mixing ratio of the urea-based grease exceeds 80 mass%, the volatility of the grease composition increases and the amount of dust generation increases.
[0021]
The mixing method of the fluorine-based grease and the urea-based grease is not particularly limited, and known mixing means such as a kneader and a roll mill can be used. It is also effective to heat at the time of mixing.
[0022]
In addition, the prepared grease composition has a blending degree of No. 1 according to the grade defined by NLGI. It is preferable that it is 1-3.
[0023]
〔Additive〕
In order to further improve the performance, an additive may be added to the grease composition used in the present invention as necessary. For example, gelling agents such as metal soap, benton and silica gel; antioxidants such as amine, phenol, sulfur and zinc dithiophosphate; poles such as chlorine, sulfur, phosphorus, zinc dithiophosphate and organic molybdenum Pressure agents; Fatty agents such as fatty acids and animal and vegetable oils; Rust inhibitors such as petroleum sulfonates, dinonyl naphthalene sulfonates and sorbitan esters; Metal deactivators such as benzotriazole and sodium nitrite; Polymethacrylates, Polyisobutylenes, Polystyrenes Viscosity index improvers such as these can be used, and these can be added alone or in combination of two or more. At this time, the amount of the additive added is not particularly limited as long as the desired object of the present invention can be achieved, but it can usually be contained in the grease composition in an amount of 20% by mass or less.
[0024]
In addition, when adding an additive, when preparing a urea-type grease, it is preferable to mix | blend a predetermined quantity. In addition, it is necessary to add the additive by a known mixing means such as a kneader or a roll mill and then sufficiently stir the additive to disperse the additive uniformly. At this time, heating is also effective.
[0025]
【Example】
The present invention will be further described below with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
[0026]
(Examples 1-5, Comparative Examples 1-3)
A perfluoropolyether oil having a kinematic viscosity at 40 ° C. of 60 mm ² / s was used as a base oil, and polytetrafluoroethylene powder was added thereto to obtain a fluorinated grease by a conventional method. Further, an ether oil having a kinematic viscosity at 40 ° C. of 100 mm ² / s was used as a base oil, and amine and diisocyanate were added thereto and stirred while heating to obtain a urea grease. Then, a test grease was prepared by mixing fluorine-based grease and urea-based grease in the ratio shown in Table 1, and subjected to the following torque test and dust generation measurement test.
[0027]
[Table 1]

[0028]
(Torque test)
As shown in FIG. 2, 5 ml of the prepared test grease is sealed in a ball nut 20 of a test ball screw device A (“Model No. W2503SA-2P-C5Z5” manufactured by NSK Ltd .: shaft diameter 25 mm, lead 5.08 mm). The ball screw shaft 10 was rotated at 500 min ⁻¹ by the spindle B, and the dynamic torque at 10 minutes after the start of rotation was measured by the load detector C. FIG. 4 shows the measurement results, which are shown as relative values with a torque value of 1 in which the test grease of Comparative Example 1 is enclosed.
[0029]
(Dust generation measurement test)
An outline of the used dust generation measuring device is shown in FIG. In this dust generation measuring device, the ball screw shaft 10 of the test ball screw device A is driven by the motor E through the coupling D, and the magnetic fluid seal G is attached to the bearing F. Only dust particles from are measured. As test ball screw device A, “W1503FA-3P-C5Z10” (shaft diameter: 15 mm, lead: 10 mm) manufactured by Nippon Seiko Co., Ltd. was used, and 2.2 ml of the test grease prepared in the space of ball nut 20 was sealed. Then, the dust generation measuring device is installed in the clean bench H, moved at a stroke of 210 mm at 1000 min ⁻¹ , clean air is continuously supplied into the clean bench H through the air supply pipe I, and the exhaust gas is exhausted through the exhaust pipe J. The sample was introduced into a light scattering type particle counter (not shown), and the number of particles having a particle size of 0.5 μm or more was measured. The measurement results are shown in FIG.
[0030]
As is apparent from FIG. 4, according to the present invention, in particular, fluorine grease and urea grease are mixed in a ratio of fluorine grease: urea grease = 20 to 80:80 to Reduction and improvement in torque life (torque reduction) can be achieved simultaneously.
[0031]
As mentioned above, although the ball screw was illustrated and demonstrated regarding this invention, the same effect is acquired also with the linear guide apparatus etc. which are other linear motion apparatuses.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a linear motion device that is inexpensive, has a low dust generation property, and has an excellent torque life is provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing a ball screw device which is an embodiment of a linear motion device of the present invention.
2A and 2B are schematic views of a torque measuring device used for a torque test in the examples, in which FIG. 2A is a side view thereof, and FIG. 2B is a view taken along the line bb in FIG.
FIG. 3 is a schematic view of a dust generation measuring device used in a dust generation measurement test in Examples.
FIG. 4 is a graph showing torque measurement results and dust generation amount measurement results in Examples and Comparative Examples.
[Explanation of symbols]
10 Ball screw shaft 12 Ball screw groove 20 Ball nut 24 Ball screw groove 30 Ball 40 Tube type circulation path A Ball screw device B Spindle C Load detector D Coupling E Motor F Bearing G Magnetic fluid seal H Clean bench I Supply pipe J Exhaust pipe

Claims

A guide shaft having a ball rolling groove on the outer peripheral surface, a movable body having a ball rolling groove on the inner peripheral surface that forms a ball rolling space facing the ball rolling groove of the guide shaft, and the ball rolling And a ball circulation member having a ball circulation path for rolling up the ball at one end of the ball rolling space and moving the ball to the other end of the ball rolling space. In the linear motion device provided,
Fluorine grease with perfluoropolyether as base oil and polytetrafluoroethylene as thickener; and urea grease with ether oil as base oil and urea compound as thickener : A linear motion device characterized by enclosing a grease composition mixed at a mixing ratio (weight ratio) of urea-based grease = 20-80: 80-20 .