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JP4090419B2 - Optical recording medium - Google Patents

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JP4090419B2 JP2003344254A JP2003344254A JP4090419B2 JP 4090419 B2 JP4090419 B2 JP 4090419B2 JP 2003344254 A JP2003344254 A JP 2003344254A JP 2003344254 A JP2003344254 A JP 2003344254A JP 4090419 B2 JP4090419 B2 JP 4090419B2
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Description

本発明は、追記型の光記録媒体に関し、さらに詳細には、耐光性を高めつつ、製造コストを削減することができ、かつ、良好なC/N比を有する再生信号を得ることができる光記録媒体に関する。   The present invention relates to a write-once optical recording medium, and more particularly, to an optical recording medium capable of reducing a manufacturing cost while improving light resistance and obtaining a reproduction signal having a good C / N ratio. The present invention relates to a recording medium.

従来より、デジタルデータを記録するための記録媒体として、CDやDVDに体表される光記録媒体が広く利用され、近年においては、より大容量で、かつ、高いデータ転送レートを有する次世代型の光記録媒体の開発が盛んに行われている。   Conventionally, as a recording medium for recording digital data, an optical recording medium represented by a CD or a DVD has been widely used, and in recent years, it is a next generation type having a larger capacity and a higher data transfer rate. Development of optical recording media has been actively conducted.

これらの光記録媒体は、CD−ROMやDVD−ROMのように、データの追記や書き換えができないタイプのROM型の光記録媒体と、CD−RやDVD−Rのように、データの追記はできるが、データの書き換えができないタイプの追記型の光記録媒体と、CD−RWやDVD−RWのように、データの書き換えが可能なタイプの書き換え型の光記録媒体とに大別することができる。   These optical recording media are ROM-type optical recording media of a type in which data cannot be added or rewritten, such as CD-ROM or DVD-ROM, and data can be additionally written, such as CD-R or DVD-R. However, it can be roughly divided into a write-once type optical recording medium of a type in which data cannot be rewritten and a rewritable type optical recording medium of a type in which data can be rewritten, such as CD-RW and DVD-RW. it can.

広く知られているように、ROM型の光記録媒体においては、製造段階において、基板に形成されるプリピットにより、データが記録されることが一般的であり、書き換え型の光記録媒体においては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されることが一般的である。   As is well known, in a ROM type optical recording medium, data is generally recorded by prepits formed on a substrate in the manufacturing stage. In a rewritable type optical recording medium, For example, a phase change material is used as the recording layer material, and data is generally recorded by utilizing a change in optical characteristics based on a change in the phase state.

また、追記型の光記録媒体においては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素等の有機材料が用いられ、その化学的変化、物理的変化、あるいは、それらの両方に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されることが一般的である。   In the write-once type optical recording medium, organic materials such as cyanine dyes, phthalocyanine dyes, and azo dyes are used as the recording layer material, and the chemical change, physical change, or both of them are used. It is common for data to be recorded using changes in optical properties based on it.

しかしながら、有機色素は、日光等の照射によって劣化することがあり、記録層の材料として有機色素を用いた場合には、長期間の保存に対する信頼性を高めることは容易ではない。したがって、長期間の保存に対する信頼性を高めるためには、追記型の光記録媒体の記録層に、有機色素以外の材料を用いることが求められる。かかる要請に応えるべく、有機色素以外の材料によって、記録層を構成する例として、特許文献1に記載されているものが知られている。   However, the organic dye may be deteriorated by irradiation with sunlight or the like, and when the organic dye is used as the recording layer material, it is not easy to improve the reliability for long-term storage. Therefore, in order to increase the reliability for long-term storage, it is required to use materials other than organic dyes for the recording layer of the write-once type optical recording medium. In order to meet this demand, what is described in Patent Document 1 is known as an example in which the recording layer is made of a material other than an organic dye.

同特許文献に記載されている追記型の光記録媒体においては、2つの無機材料層を積層して記録層を構成し、レーザビームを照射することによって、2層の無機材料層に主成分として含まれる元素を混合して、この混合過程で、共融結晶化を生じさせるようにしている。このように、2層に積層された無機材料層の材料を混合し、共融結晶化させた場合には、共融結晶化した領域と、それ以外の領域では光学特性が異なることから、これを利用してデータの記録を行うことができる。
特開昭62−204442号公報
In the write-once type optical recording medium described in the same patent document, two inorganic material layers are laminated to form a recording layer, and the two inorganic material layers are formed as main components by irradiating a laser beam. The elements contained are mixed, and eutectic crystallization is caused in this mixing process. In this way, when the materials of the inorganic material layer laminated in two layers are mixed and eutectic crystallized, the optical characteristics are different between the eutectic crystallized region and the other regions. Can be used to record data.
JP 62-204442 A

しかしながら、特許文献1に記載された追記型の光記録媒体においては、2つの無機材料層を積層し、これら2層の無機材料層の混合を利用して、データを記録するように構成しているため、1つの記録層を構成するのに、2つの層が必要となり、光記録媒体の製造コストが高くなるという問題があった。   However, in the write-once type optical recording medium described in Patent Document 1, two inorganic material layers are stacked, and data is recorded by using a mixture of these two inorganic material layers. Therefore, two layers are required to form one recording layer, and there is a problem that the manufacturing cost of the optical recording medium increases.

また、同特許文献に記載された追記型の光記録媒体においては、2層の無機材料層の混合、共融結晶化より形成された記録マークと、それ以外の領域との光学特性の差が、さほど大きくないため、良好なC/N比を有する再生信号が得られるように、データを記録することが困難であるという問題もあった。   Further, in the write-once type optical recording medium described in the patent document, there is a difference in optical characteristics between a recording mark formed by mixing two eutectic material layers and eutectic crystallization and other regions. Since it is not so large, there is also a problem that it is difficult to record data so that a reproduction signal having a good C / N ratio can be obtained.

とくに、データの記録密度が高められ、かつ、非常に高いデータ転送レートを実現可能な次世代型の光記録媒体にあっては、データの記録、再生に用いるレーザビームのビームスポット径を非常に小さく絞ることが要求され、記録マークと、記録マーク以外の領域との光学特性との差が十分に大きいことが要求されるため、良好なC/N比を有する再生信号を得ることが、きわめて困難となっていた。   Especially for next-generation optical recording media that can increase the data recording density and achieve a very high data transfer rate, the beam spot diameter of the laser beam used for data recording and reproduction is extremely high. Since it is required to narrow down and the difference between the recording mark and the optical characteristics of the area other than the recording mark is sufficiently large, it is extremely possible to obtain a reproduction signal having a good C / N ratio. It was difficult.

したがって、本発明は、耐光性を高めつつ、製造コストを削減することができ、かつ、良好なC/N比を有する再生信号を得ることができる光記録媒体を提供することを目的とするものである。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical recording medium capable of reducing the manufacturing cost while improving the light resistance and obtaining a reproduction signal having a good C / N ratio. It is.

本発明のかかる目的は、基板と、光透過層と、前記基板および前記光透過層の間に形成された記録層を備え、前記記録層が、Ni、Cu、Si、Ti、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn、W、Pb、Bi、ZnおよびLaからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素Mの単体と、SまたはOと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を含み、前記SまたはOと、前記Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を化合物の形で含むことを特徴とする光記録媒体によって達成される。 Such an object of the present invention includes a substrate, a light transmission layer, and a recording layer formed between the substrate and the light transmission layer, and the recording layer includes Ni, Cu, Si, Ti, Ge, Zr, At least one metal element M selected from the group consisting of Nb, Mo, In, Sn, W, Pb, Bi, Zn and La, S or O, and at least selected from the group consisting of Mg, Al and Ti This is achieved by an optical recording medium containing one kind of metal element and containing at least one kind of metal element selected from the group consisting of S or O and Mg, Al and Ti in the form of a compound .

本発明によれば、記録層が、Ni、Cu、Si、Ti、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn、W、Pb、Bi、ZnおよびLaからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素Mの単体と、SまたはOと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を含み、SまたはOと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を化合物の形で含み、無機材料で形成された単一の記録膜で構成されているため、耐光性を高めつつ、光記録媒体の製造コストを削減することとが可能となる。 According to the present invention, the recording layer is at least one metal element selected from the group consisting of Ni, Cu, Si, Ti, Ge, Zr, Nb, Mo, In, Sn, W, Pb, Bi, Zn, and La. At least one metal element selected from the group consisting of a simple substance of M, S or O, and Mg, Al, and Ti, and at least one metal element selected from the group consisting of S or O, Mg, Al, and Ti hints in the form of compounds, because it is composed of a single recording film formed of an inorganic material, while increasing the light resistance, it is possible and to reduce the manufacturing cost of the optical recording medium.

また、本発明においては、金属元素MとSまたOを含む記録層は、記録用レーザビームが照射されると、金属元素MとSまたOが結合して、化合物の結晶が生成されることにより、データが記録されるように構成されている。

In the present invention, the recording layer containing a metal element M and S also O, when the laser beam is Ru is irradiated, the bonded metal elements M and S also O, crystals of the compound is produced Thus, data is recorded.

こうして、データが記録された場合には、レーザビームに対する記録層の反射率において、金属元素Mの単体とSまたOの化合物が結晶化された領域と、それ以外の領域との反射率差を大きくすることができ、したがって、本発明によれば、良好なC/N比を有する再生信号を得ることも可能となる。 Thus, when data is recorded, in the reflectance of the recording layer with respect to the laser beam, the reflectance difference between the region where the single element of the metal element M and the S or O compound is crystallized and the other region is calculated. Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain a reproduction signal having a good C / N ratio.

記録層が、FやClのような7B族の元素を含んでいるときには、反応性が高すぎるため、記録用のレーザビームを照射せずとも、金属元素Mと反応してしまい、また、NやPのような5B族の元素を含んでいるときには、反応性が弱すぎて、金属元素Mと反応し難く、記録感度が悪くなるおそれがある。 When the recording layer contains a 7B group element such as F or Cl, the reactivity is too high, so that it reacts with the metal element M without irradiating the recording laser beam. When a 5B group element such as P or P is included , the reactivity is too weak to react with the metal element M, and the recording sensitivity may be deteriorated.

これに対し、記録層が、ともに6B族であるOまたはSを含んでいるときには、反応が高すぎることもなければ、弱すぎることもなく、所望のように、金属元素Mと反応させて結晶化を生じさせることができるので、好ましい。 In contrast, the recording layer, sometimes contain O or S are both Group 6B, if also reactive is too high, nor too weak, as desired, is reacted with a metal element M It is preferable because crystallization can occur.

また、本発明においては、前記記録層が、Mg、Al、TiおよびZnからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を、さらに含んでいる。   In the present invention, the recording layer further contains at least one metal element selected from the group consisting of Mg, Al, Ti and Zn.

本発明において、記録層が、Mgを含むときには、Mgの含有量は、18.5原子%ないし42原子%であることが好ましく、20原子%ないし37原子%であることが、さらに好ましく、Alを含むときには、Alの含有量は、11原子%ないし70原子%であることが好ましく、18原子%ないし56原子%であることが、さらに好ましく、また、Tiを含むときには、Tiの含有量は、8原子%ないし38原子%であることが好ましく、10原子%ないし36原子%であることが、さらに好ましい。   In the present invention, when the recording layer contains Mg, the Mg content is preferably 18.5 atomic percent to 42 atomic percent, more preferably 20 atomic percent to 37 atomic percent, and Al When Al is included, the Al content is preferably 11 atomic% to 70 atomic%, more preferably 18 atomic% to 56 atomic%, and when Ti is included, the Ti content is 8 atomic% to 38 atomic% is preferable, and 10 atomic% to 36 atomic% is more preferable.

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記記録層が、380nmないし450nmの波長を有するレーザビームを用いて、データが記録され、記録されたデータが再生されるように構成されている。   In a further preferred embodiment of the present invention, the recording layer is configured to record data using a laser beam having a wavelength of 380 nm to 450 nm and to reproduce the recorded data.

かかる記録層は、380nmないし450nmの波長を有するレーザビームに対して良好な光学特性を示すため、380nmないし450nmの波長を有するレーザビームを用いて、データが記録され、記録されたデータが再生されるのが、好ましい。   Since such a recording layer exhibits good optical characteristics with respect to a laser beam having a wavelength of 380 nm to 450 nm, data is recorded using the laser beam having a wavelength of 380 nm to 450 nm, and the recorded data is reproduced. It is preferable.

本発明によれば、耐光性を高めつつ、製造コストを削減することができ、かつ、良好なC/N比を有する再生信号を得ることができる光記録媒体を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an optical recording medium capable of reducing the manufacturing cost while improving the light resistance and obtaining a reproduction signal having a good C / N ratio.

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体10の略斜視図であり、図2は、図1のAで示された部分の略拡大図である。   FIG. 1 is a schematic perspective view of an optical recording medium 10 according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic enlarged view of a portion indicated by A in FIG.

図1に示されるように、本実施態様にかかる光記録媒体10は、約120mmの外径と、1.2mmの厚さを有する円板状に形成されており、図2に示されるように、支持基板11と、記録層12と、光透過層13とを備える。   As shown in FIG. 1, the optical recording medium 10 according to the present embodiment is formed in a disc shape having an outer diameter of about 120 mm and a thickness of 1.2 mm. As shown in FIG. A support substrate 11, a recording layer 12, and a light transmission layer 13.

支持基板11は、光記録媒体10に求められる機械的強度を確保するための支持体として、機能する。   The support substrate 11 functions as a support for ensuring the mechanical strength required for the optical recording medium 10.

支持基板11を形成するための材料は、光記録媒体10の支持体として機能することができれば、とくに限定されるものではない。支持基板11は、たとえば、ガラス、セラミックス、樹脂などによって、形成することができる。これらのうち、成形の容易性の観点から、樹脂が好ましく使用される。このような樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。これらの中でも、加工性、表面粗度などの点から、ポリカーボネート樹脂がとくに好ましく、本実施態様においては、支持基板11は、ポリカーボネート樹脂によって形成されている。本実施態様においては、レーザビームLは、支持基板11とは反対側に位置する光入射面13aを介して、照射されるから、支持基板11が、光透過性を有していることは必要でない。   The material for forming the support substrate 11 is not particularly limited as long as it can function as a support for the optical recording medium 10. The support substrate 11 can be formed of glass, ceramics, resin, or the like, for example. Of these, a resin is preferably used from the viewpoint of ease of molding. Examples of such resins include polycarbonate resins, acrylic resins, epoxy resins, polystyrene resins, polyethylene resins, polypropylene resins, silicone resins, fluorine resins, ABS resins, and urethane resins. Among these, polycarbonate resin is particularly preferable from the viewpoints of processability, surface roughness, and the like. In this embodiment, the support substrate 11 is formed of polycarbonate resin. In this embodiment, since the laser beam L is irradiated through the light incident surface 13a located on the opposite side to the support substrate 11, it is necessary that the support substrate 11 has light transmittance. Not.

本実施態様においては、支持基板11は、約1.1mmの厚さを有している。   In this embodiment, the support substrate 11 has a thickness of about 1.1 mm.

図2に示されるように、支持基板11の表面には、交互に、グルーブ11aおよびランド11bが形成されている。支持基板11の表面に形成されたグルーブ11aおよび/またはランド11bは、データを記録する場合およびデータを再生する場合において、レーザビームLのガイドトラックとして、機能する。   As shown in FIG. 2, grooves 11 a and lands 11 b are alternately formed on the surface of the support substrate 11. The grooves 11a and / or lands 11b formed on the surface of the support substrate 11 function as a guide track for the laser beam L when recording data and reproducing data.

グルーブ11aの深さは、とくに限定されるものではないが、10nmないし40nmに設定することが好ましく、グルーブ11aのピッチは、とくに限定されるものではないが、0.2μmないし0.4μmに設定することが好ましい。   The depth of the groove 11a is not particularly limited, but is preferably set to 10 nm to 40 nm, and the pitch of the groove 11a is not particularly limited, but is set to 0.2 μm to 0.4 μm. It is preferable to do.

図2に示されるように、支持基板11の表面上には、記録層12が形成されている。   As shown in FIG. 2, a recording layer 12 is formed on the surface of the support substrate 11.

記録層12は、データを記録する記録層であり、単一の記録膜によって構成されている。   The recording layer 12 is a recording layer for recording data, and is composed of a single recording film.

本実施態様において、記録層12は、Ni、Cu、Si、Ti、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn、W、Pb、Bi、ZnおよびLaからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素の単体と、SまたはOの元素とを含んでいる。   In this embodiment, the recording layer 12 includes at least one metal element selected from the group consisting of Ni, Cu, Si, Ti, Ge, Zr, Nb, Mo, In, Sn, W, Pb, Bi, Zn, and La. And an element of S or O.

記録層12は、8nmないし60nmの厚さを有していることが好ましく、10nmないし45nmの厚さを有していることが、より好ましい。   The recording layer 12 preferably has a thickness of 8 nm to 60 nm, and more preferably has a thickness of 10 nm to 45 nm.

記録層12の厚さが8nm未満のときは、記録層12に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が不十分となり、一方、記録層12の厚さが60nmを越えるときには、成膜時間が長くなり、生産性が悪化するおそれがあるため、好ましくない。   When the thickness of the recording layer 12 is less than 8 nm, the C / N ratio of the reproduction signal when the data recorded on the recording layer 12 is reproduced becomes insufficient. On the other hand, when the thickness of the recording layer 12 exceeds 60 nm. This is not preferable because the film formation time becomes long and the productivity may be deteriorated.

こうして、本実施態様によれば、記録層12が、Ni、Cu、Si、Ti、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn、W、Pb、Bi、ZnおよびLaからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素の単体と、SまたはOの元素とを含み、無機材料で形成された単一の記録膜で構成されているため、長期間の保存に対する信頼性を高めつつ、光記録媒体の製造コストを削減することが可能となる。   Thus, according to this embodiment, the recording layer 12 is at least selected from the group consisting of Ni, Cu, Si, Ti, Ge, Zr, Nb, Mo, In, Sn, W, Pb, Bi, Zn, and La. Since it is composed of a single type of metal element and a single recording film made of an inorganic material containing an element of S or O, the reliability of optical recording media can be improved while improving reliability for long-term storage. Manufacturing costs can be reduced.

光透過層13は、レーザビームを透過させる層であり、その一方の表面によって、光入射面13aが構成されている。   The light transmission layer 13 is a layer that transmits a laser beam, and one surface thereof forms a light incident surface 13a.

光透過層13は、10μmないし300μmの厚さを有するように形成されることが好ましく、50μmないし150μmの厚さを有するように形成されることが、より好ましい。   The light transmission layer 13 is preferably formed to have a thickness of 10 μm to 300 μm, and more preferably formed to have a thickness of 50 μm to 150 μm.

光透過層13を形成するための材料は、とくに限定されるものではないが、アクリル系やエポキシ系などの紫外線硬化性樹脂を用いることが好ましい。   The material for forming the light transmission layer 13 is not particularly limited, but it is preferable to use an ultraviolet curable resin such as acrylic or epoxy.

光透過層13は、データを記録し、再生する場合に、レーザビームLが通過するため、十分に高い光透過性を有している必要がある。   The light transmission layer 13 needs to have a sufficiently high light transmittance because the laser beam L passes through when recording and reproducing data.

以上のような構成を有する光記録媒体10は、次のようにして、製造される。   The optical recording medium 10 having the above configuration is manufactured as follows.

まず、スタンパを用いて、表面に、グルーブ11aおよびランド11bを有する支持基板11が、射出成形によって形成される。   First, a support substrate 11 having grooves 11a and lands 11b on the surface is formed by injection molding using a stamper.

次いで、グルーブ11aおよびランド11bが形成されている支持基板11の表面上に、記録層12を形成する。ここでは、記録層12が、Ni、Cu、Si、Ti、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn、W、Pb、Bi、ZnおよびLaからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素の単体のうち、ZnまたはLaの金属元素の単体を含むように形成される場合を例に挙げて説明する。   Next, the recording layer 12 is formed on the surface of the support substrate 11 on which the grooves 11a and lands 11b are formed. Here, the recording layer 12 is a simple substance of at least one metal element selected from the group consisting of Ni, Cu, Si, Ti, Ge, Zr, Nb, Mo, In, Sn, W, Pb, Bi, Zn, and La. Of these, a case where the metal element is formed so as to include a single metal element of Zn or La will be described as an example.

支持基板11の表面上に、ZnS・SiOまたはLa・Si・O・Nを主成分として含むターゲットと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を主成分として含むターゲットを用いて、スパッタリング法により、記録層12を形成する。 A target containing ZnS · SiO 2 or La · Si · O · N as a main component and a target containing at least one metal element selected from the group consisting of Mg, Al and Ti as a main component on the surface of the support substrate 11 Is used to form the recording layer 12 by a sputtering method.

ここに、本明細書においては、ZnS・SiOは、ZnSとSiOの混合物を意味しLa・Si・O・Nにおいても同様に、LaとSiとOとNの混合物を意味する。 Here, in this specification, ZnS · SiO 2 means a mixture of ZnS and SiO 2 , and La · Si · O · N also means a mixture of La, Si, O, and N.

こうして、ZnS・SiOまたはLa・Si・O・Nとを主成分として含むターゲットと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を主成分として含むターゲットとを用いて、スパッタリング法により、記録層12を形成したときには、記録層12の成膜過程で、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素が、還元剤として作用し、この結果、記録層12中に、ZnまたはLaの金属元素が、単体の形で存在することになる。 Thus, using a target containing ZnS · SiO 2 or La · Si · O · N as a main component and a target containing at least one metal element selected from the group consisting of Mg, Al and Ti as a main component, When the recording layer 12 is formed by sputtering, at least one metal element selected from the group consisting of Mg, Al, and Ti acts as a reducing agent in the film formation process of the recording layer 12, and as a result, the recording layer 12, Zn or La metal element exists in a single form.

具体的には、たとえば、ターゲットとして、ZnS・SiOを主成分として含むターゲットと、Mgを主成分として含むターゲットを用いた場合には、Mgが、ZnS・SiOに含まれるZnSに対する還元剤として作用し、その結果として、記録層12中に、Znが均等に分散される。このとき、還元剤として用いられたMgは、ZnSから分離、あるいは、ZnSに含まれるSの一部と結合して、MgSが形成される。したがって、Znが、単体の形で、記録層12に含まれることになる。 Specifically, for example, when a target containing ZnS · SiO 2 as a main component and a target containing Mg as a main component are used as targets, Mg is a reducing agent for ZnS contained in ZnS · SiO 2. As a result, Zn is uniformly dispersed in the recording layer 12. At this time, Mg used as the reducing agent is separated from ZnS or bonded to a part of S contained in ZnS to form MgS. Therefore, Zn is contained in the recording layer 12 in a single form.

本実施態様において、記録層12が、ZnS・SiOを主成分として含む場合に、記録層12のZnSとSiOのモル比としては、40:60ないし80:20とすることが好ましく、65:35ないし75:25とすることが、さらに好ましい。 In this embodiment, when the recording layer 12 contains ZnS · SiO 2 as a main component, the molar ratio of ZnS to SiO 2 in the recording layer 12 is preferably 40:60 to 80:20, and 65 : 35 to 75:25 is more preferable.

ZnSのモル比が40%以上であるときは、記録層12のレーザビームに対する反射率と光透過率とを、ともに、向上させることができ、また、ZnSのモル比が80%以下であるときは、応力によって、記録層12にクラックが発生することを、確実に、防止することができる。さらに、記録層12のZnSとSiOのモル比を65:35ないし75:25に設定すれば、記録層12にクラックが発生することを、より効果的に防止しつつ、記録層12のレーザビームに対する反射率と光透過率とを、より一層向上させることが可能になる。 When the ZnS molar ratio is 40% or more, both the reflectance and light transmittance of the recording layer 12 with respect to the laser beam can be improved, and when the ZnS molar ratio is 80% or less. Can reliably prevent the recording layer 12 from cracking due to stress. Further, if the molar ratio of ZnS and SiO 2 in the recording layer 12 is set to 65:35 to 75:25, the laser of the recording layer 12 can be more effectively prevented from generating cracks. It becomes possible to further improve the reflectance and light transmittance with respect to the beam.

また、本実施態様において、記録層12が、スパッタリングのターゲットとして、La・Si・O・Nを主成分として含む場合には、La・Si・O・Nを構成するSiO、SiおよびLaにおいて、SiOと、SiおよびLaの和とのモル比が10:90ないし50:50であることが好ましく、SiO、SiおよびLaのモル比が30:50:20であることがより好ましい。 Further, in this embodiment, when the recording layer 12 include a sputtering target, the La · Si · O · N as main components, SiO 2, Si 3 N 4 constituting the La · Si · O · N And La 2 O 3 , the molar ratio of SiO 2 to the sum of Si 3 N 4 and La 2 O 3 is preferably 10:90 to 50:50, and SiO 2 , Si 3 N 4 and La 2 More preferably, the molar ratio of O 3 is 30:50:20.

SiOのモル比が10%未満である場合には、記録層12にクラックが入りやすくなり、SiOのモル比が50%を越える場合には、屈折率の低下により、記録層12の反射率が低下するからであり、また、SiおよびLaの和のモル比が50%ないし90%であると、高い屈折率が得られるとともに、クラックの発生を防止することができるからである。これらを考慮すれば、スパッタリングのターゲットとして、SiO、SiおよびLaのモル比を30:50:20とすることがより好ましい。 When the molar ratio of SiO 2 is less than 10%, the recording layer 12 tends to crack, and when the molar ratio of SiO 2 exceeds 50%, the reflection of the recording layer 12 is reduced due to a decrease in refractive index. If the molar ratio of the sum of Si 3 N 4 and La 2 O 3 is 50% to 90%, a high refractive index can be obtained and cracking can be prevented. Because it can. Considering these, it is more preferable that the molar ratio of SiO 2 , Si 3 N 4 and La 2 O 3 is 30:50:20 as a sputtering target.

また、Si4のモル比が30%以上で、Laのモル比が50%以上の場合には、記録層12を成膜するときに生じる膜の残留応力を少なくすることができるので、さらに好ましい。 Further, when the molar ratio of Si 3 N 4 is 30% or more and the molar ratio of La 2 O 3 is 50% or more, the residual stress of the film generated when the recording layer 12 is formed may be reduced. Since it is possible, it is more preferable.

さらに、本実施態様において、記録層12が、Mgを含むときには、Mgの含有量は、18.5原子%ないし42原子%であることが好ましく、20原子%ないし37原子%であることが、さらに好ましく、Alを含むときには、Alの含有量は、11原子%ないし70原子%であることが好ましく、18原子%ないし56原子%であることが、さらに好ましく、また、Tiを含むときには、Tiの含有量は、8原子%ないし38原子%であることが好ましく、10原子%ないし36原子%であることが、さらに好ましい。   Further, in this embodiment, when the recording layer 12 contains Mg, the Mg content is preferably 18.5 atomic% to 42 atomic%, and preferably 20 atomic% to 37 atomic%. More preferably, when Al is contained, the content of Al is preferably 11 atomic% to 70 atomic%, more preferably 18 atomic% to 56 atomic%, and when Ti is contained, The content of is preferably 8 atomic% to 38 atomic%, more preferably 10 atomic% to 36 atomic%.

さらに、図1に示されるように、記録層12の表面上に、紫外線硬化性樹脂をスピンコーティング法によって、塗布して、塗膜を形成し、塗膜に紫外線を照射することによって、光透過層13を形成する。   Further, as shown in FIG. 1, an ultraviolet curable resin is applied onto the surface of the recording layer 12 by a spin coating method to form a coating film, and the coating film is irradiated with ultraviolet rays to transmit light. Layer 13 is formed.

こうして、光記録媒体10が作製される。   Thus, the optical recording medium 10 is manufactured.

以上のように構成された本実施態様にかかる光記録媒体10に、次のようにして、データが記録される。   Data is recorded on the optical recording medium 10 according to the present embodiment configured as described above as follows.

本実施態様において、光記録媒体10にデータを記録するにあたっては、光透過層13の光入射面13aを介して、380nmないし450nmの波長λを有するレーザビームLが照射され、記録層12に、レーザビームLのフォーカスが合わせられる。   In this embodiment, when recording data on the optical recording medium 10, a laser beam L having a wavelength λ of 380 nm to 450 nm is irradiated through the light incident surface 13a of the light transmission layer 13, and the recording layer 12 is irradiated with the laser beam L. The laser beam L is focused.

図3は、光記録媒体10の記録層12に、データを記録する際に、レーザビームLのパワーを制御するレーザパワー制御信号のパルス列パターンを示すダイアグラムである。   FIG. 3 is a diagram showing a pulse train pattern of a laser power control signal for controlling the power of the laser beam L when data is recorded on the recording layer 12 of the optical recording medium 10.

図3に示されるように、光記録媒体10の記録層12に、データを記録するのに用いるレーザパワー制御信号のパルス列パターンは、記録パワーPwに対応するレベル、中間パワーPmに対応するレベルおよび基底パワーPbに対応するレベルの3つのレベルの間で、レベルが変調されたパルスによって構成されている。記録パワーPw、中間パワーPmおよび基底パワーPbのパワーは、Pw>Pm≧Pbの関係を満たしており、これに対応して、パルス列パターンの3つのレベルも、決定されている。   As shown in FIG. 3, the pulse train pattern of the laser power control signal used for recording data on the recording layer 12 of the optical recording medium 10 has a level corresponding to the recording power Pw, a level corresponding to the intermediate power Pm, and Between the three levels corresponding to the base power Pb, a level-modulated pulse is formed. The recording power Pw, the intermediate power Pm, and the base power Pb satisfy the relationship Pw> Pm ≧ Pb. Correspondingly, the three levels of the pulse train pattern are also determined.

記録層12に、データを記録する場合には、図3に示されるパルス列パターンを有するレーザパワー制御信号に従って、パワーが変調されたレーザビームLが、光透過層13を介して、記録層12に照射される。   When data is recorded on the recording layer 12, a laser beam L whose power is modulated in accordance with a laser power control signal having a pulse train pattern shown in FIG. 3 is applied to the recording layer 12 via the light transmission layer 13. Irradiated.

こうして記録層12に、レーザビームLが照射されると、記録層12の相状態が変化して、記録層12に、データが記録される。   Thus, when the recording layer 12 is irradiated with the laser beam L, the phase state of the recording layer 12 changes and data is recorded on the recording layer 12.

すなわち、パワーが記録パワーPwに設定されたレーザビームLが照射されると、記録層12が加熱され、加熱された記録層12の領域において、記録層12に含まれる非晶質状態の単体のZnまたはLaの金属元素が、SまたはOと反応して、結晶状態のZnSまたはLaとなり、さらに、結晶状態のZnSまたはLaの周辺に存在する非晶質状態のZnSまたはLaが、結晶状態のZnSまたはLaを核として、結晶成長する。 That is, when the laser beam L whose power is set to the recording power Pw is irradiated, the recording layer 12 is heated, and the amorphous state contained in the recording layer 12 is heated in the heated recording layer 12 region. A metal element of Zn or La reacts with S or O to become ZnS or La 2 O 3 in a crystalline state, and further, ZnS in an amorphous state present around the crystalline ZnS or La 2 O 3 or La 2 O 3 grows crystal using ZnS or La 2 O 3 in a crystalline state as a nucleus.

こうして、結晶状態のZnSまたはLaが生成された領域は、それ以外の領域と、390nmないし450nmの波長λを有するレーザビームLに対する反射率が大きく異なるので、これを利用して、データを記録することができる。 Thus, the region where the crystalline ZnS or La 2 O 3 is generated differs greatly from the other regions in the reflectivity with respect to the laser beam L having a wavelength λ of 390 nm to 450 nm. Can be recorded.

したがって、本実施態様によれば、記録層12に記録されたデータを再生した場合に、良好なC/N比を有する再生信号を得ることが可能となる。   Therefore, according to this embodiment, it is possible to obtain a reproduction signal having a good C / N ratio when data recorded on the recording layer 12 is reproduced.

ここに、レーザビームLの記録パワーPwのパワーは、レーザビームLを照射することによって、記録層に含まれるZnまたはLaの金属元素と、SまたはOの元素とが、確実に、結合し、ZnSまたはLaが結晶が生成されるパワーに設定される。 Here, the power of the recording power Pw of the laser beam L is such that, by irradiating the laser beam L, the Zn or La metal element and the S or O element contained in the recording layer are reliably combined, ZnS or La 2 O 3 is set to a power at which crystals are generated.

また、中間パワーPmおよび基底パワーPbのパワーについては、記録層12に含まれるZnまたはLaの金属元素と、SまたはOの元素とが、結合することがない低いパワーに設定される。   Further, the power of the intermediate power Pm and the base power Pb is set to a low power at which the Zn or La metal element and the S or O element contained in the recording layer 12 are not combined.

とくに、基底パワーPbのレベルは、記録パワーPwのレーザビームLが照射されて、加熱された領域が、レーザビームLのレベルが基底パワーPbに切り換えられることによって、速やかに冷却されるように、きわめて低いレベルに設定される。   In particular, the level of the base power Pb is such that the heated region irradiated with the laser beam L of the recording power Pw is quickly cooled by switching the level of the laser beam L to the base power Pb. Set to a very low level.

以上のようにして、光記録媒体10の記録層12に、データが記録される。   As described above, data is recorded on the recording layer 12 of the optical recording medium 10.

以上のように、本実施態様によれば、記録層12が、ZnまたはLaの金属元素と、SまたはOの元素とを含み、無機材料で形成された単一の記録膜で構成されているため、長期間の保存に対する信頼性を高めつつ、光記録媒体の製造コストを削減することが可能となる。   As described above, according to this embodiment, the recording layer 12 is composed of a single recording film that includes a metal element of Zn or La and an element of S or O and is formed of an inorganic material. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing cost of the optical recording medium while improving the reliability for long-term storage.

さらに、本実施態様においては、ZnまたはLaの金属元素と、SまたはOの元素とが、結合されて、ZnSあるいはLaの結晶が生成されることにより、記録層12にデータが記録されるように構成されており、こうしてデータが記録された場合には、レーザビームに対する記録層12の反射率において、ZnSまたはLaの結晶が生成された領域と、それ以外の領域との反射率差を大きくすることができ、したがって、良好なC/N比を有する再生信号を得ることも可能となる。 Furthermore, in this embodiment, Zn or La metal element and S or O element are combined to produce ZnS or La 2 O 3 crystals, whereby data is recorded on the recording layer 12. When the data is recorded in this way, the reflectance of the recording layer 12 with respect to the laser beam, the region where the ZnS or La 2 O 3 crystal is generated, and the other regions Therefore, it is possible to obtain a reproduction signal having a good C / N ratio.

以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例を掲げる。   Examples are given below to clarify the effects of the present invention.

まず、射出成型法により、厚さが1.1mm、直径が120mmで、表面に、グルーブおよびランドが、0.32μmのグルーブピッチで形成されたポリカーボネート基板を作製した。   First, a polycarbonate substrate having a thickness of 1.1 mm and a diameter of 120 mm and having grooves and lands formed on the surface with a groove pitch of 0.32 μm was manufactured by an injection molding method.

次いで、ポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、ZnSを主成分とするターゲットと、Mgを主成分とするターゲットの両方を用いて、スパッタリング法により、30nmの厚さを有する記録層を形成した。記録層の形成後に、記録層の組成を測定した結果、Zn、SおよびMgの含有量は、それぞれ、39.1原子%、47.0原子%および13.9原子%であった。記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量は、理学電気工業株式会社製の蛍光X線装置「RIX2000」(商品名)を用いて、Rh管、管電圧=50kV、管電流=50mAにてX線を発生させ、FP法によって、測定した。   Next, the polycarbonate substrate was set in a sputtering apparatus, and a recording layer having a thickness of 30 nm was formed by sputtering using both a target mainly composed of ZnS and a target mainly composed of Mg. As a result of measuring the composition of the recording layer after forming the recording layer, the contents of Zn, S and Mg were 39.1 atomic%, 47.0 atomic% and 13.9 atomic%, respectively. The contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were adjusted to Rh tube, tube voltage = 50 kV, tube current = 50 mA using a fluorescent X-ray apparatus “RIX2000” (trade name) manufactured by Rigaku Denki Kogyo Co., Ltd. X-rays were generated and measured by the FP method.

そして、記録層の表面上に、紫外線硬化性アクリル樹脂をスピンコート法により、塗布して、塗膜を形成し、これに、紫外線を照射して、100μmの光透過層を形成した。   Then, an ultraviolet curable acrylic resin was applied on the surface of the recording layer by a spin coating method to form a coating film, and this was irradiated with ultraviolet rays to form a 100 μm light transmission layer.

こうして、光記録ディスクサンプル#1を作製した。   Thus, an optical recording disk sample # 1 was produced.

ZnSターゲットとMgターゲットの成膜パワーを変えることにより、記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量を、それぞれ、35.8原子%、44.2原子%および20.0原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#2を作製した。   By changing the film forming power of the ZnS target and the Mg target, the contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were set to 35.8 atomic%, 44.2 atomic% and 20.0 atomic%, respectively. Except for the above, an optical recording disk sample # 2 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 1.

記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量を、それぞれ、32.9原子%、42.8原子%および24.3原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#3を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were 32.9 atomic%, 42.8 atomic% and 24.3 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 1 An optical recording disk sample # 3 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量を、それぞれ、28.9原子%、37.6原子%および33.5原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#4を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were 28.9 atomic%, 37.6 atomic% and 33.5 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 1 An optical recording disk sample # 4 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量を、それぞれ、29.9原子%、30.2原子%および39.9原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#5を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were 29.9 atomic%, 30.2 atomic% and 39.9 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 1 An optical recording disk sample # 5 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量を、それぞれ、25.2原子%、25.7原子%および49.1原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#6を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were 25.2 atomic%, 25.7 atomic% and 49.1 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 1 An optical recording disk sample # 6 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびMgの含有量を、それぞれ、20.4原子%、20.3原子%および59.3原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#7を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Mg contained in the recording layer were 20.4 atomic%, 20.3 atomic% and 59.3 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 1 An optical recording disk sample # 7 was produced.

次いで、光記録ディスクサンプル#1を、パルステック工業株式会社製の光記録媒体評価装置「DDU1000」(商品名)にセットし、以下の条件で、光記録ディスクサンプル#1の記録層に、データを記録した。   Next, the optical recording disk sample # 1 is set in an optical recording medium evaluation apparatus “DDU1000” (trade name) manufactured by Pulstec Industrial Co., Ltd., and data is recorded on the recording layer of the optical recording disk sample # 1 under the following conditions. Was recorded.

レーザビームを、光透過層を介して、光記録ディスクサンプル#1の記録層に、集光し、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。ここに、記録用レーザビームの記録パワーPwは、3mWとした。   The laser beam was condensed on the recording layer of the optical recording disk sample # 1 through the light transmission layer to form a recording mark having a length of 8T, and data was recorded. Here, the recording power Pw of the recording laser beam was 3 mW.

次いで、レーザビームの記録パワーPwを、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   Next, the recording power Pw of the laser beam was gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW, and data was sequentially recorded on the recording layer.

変調方式:(1,7)RLL
記録線速度:5.3m/秒
チャンネルビット長:0.12μm
チャンネルクロック:66MHz
記録方式:オングルーブ記録
次いで、上述の光記録媒体評価装置を用いて、光記録ディスクサンプル#1の記録層に、再生パワーに設定されたレーザビームを、照射し、記録層に記録されたデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。ここに、再生用レーザビームの再生パワーは、0.3mWとした。この際、再生用レーザビームは、記録用レーザビームと同一のレーザのパワーを変えて、使用した。
Modulation method: (1,7) RLL
Recording linear velocity: 5.3 m / sec Channel bit length: 0.12 μm
Channel clock: 66 MHz
Recording method: on-groove recording Next, using the above-described optical recording medium evaluation apparatus, the recording layer of the optical recording disk sample # 1 was irradiated with a laser beam set at the reproduction power, and the data recorded on the recording layer , And the C / N ratio of the reproduction signal when the recording mark having the length of 8T was reproduced was measured. Here, the reproducing power of the reproducing laser beam was set to 0.3 mW. At this time, the reproducing laser beam was used by changing the same laser power as that of the recording laser beam.

測定結果は、表1に示されている。ここに、表1には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 1. Here, Table 1 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio is obtained when data recorded with the recording power Pw changed in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

次いで、同じ光記録媒体評価装置を用いて、光記録ディスクサンプル#2ないし#7の記録層に、順次、レーザビームを照射し、光記録ディスクサンプル#1と同様に、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。   Next, using the same optical recording medium evaluation apparatus, the recording layers of the optical recording disk samples # 2 to # 7 are sequentially irradiated with a laser beam, and the recording of 8T length is performed as in the optical recording disk sample # 1. Marks were formed and data was recorded.

データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーPwを、光記録ディスクサンプル#1の場合と同様に、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   When recording data, the recording power Pw of the laser beam is gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW as in the case of the optical recording disk sample # 1, and the data is sequentially transferred to the recording layer. Recorded.

次いで、同じ光記録媒体評価装置を用いて、光記録ディスクサンプル#2ないし#7の記録層に記録したデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。   Next, using the same optical recording medium evaluation apparatus, the data recorded on the recording layers of the optical recording disk samples # 2 to # 7 are reproduced, and the reproduction signal C when reproducing the recording mark having a length of 8T is reproduced. The / N ratio was measured.

測定結果は、表1に示されている。ここに、表1には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 1. Here, Table 1 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio is obtained when data recorded with the recording power Pw changed in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

Figure 0004090419
表1に示されるように、Mgの含有量が20原子%ないし40原子%の範囲内である光記録ディスクサンプル#2ないし#5においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、いずれも、40dB以上となり、きわめて高いC/N比の再生信号を得られることが判明した。
Figure 0004090419
As shown in Table 1, in the optical recording disk samples # 2 to # 5 in which the Mg content is in the range of 20 atomic% to 40 atomic%, the reproduction signal when the data recorded on the recording layer is reproduced. The C / N ratios of both were 40 dB or more, and it was found that a reproduction signal with an extremely high C / N ratio could be obtained.

Mgの含有量が20原子%未満である光記録ディスク比較サンプル#1においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、10.6dBとなり、また、Mgの含有量が40原子%を越える光記録ディスクサンプル#6および#7においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、それぞれ、35.7dB、36.6dBとなり、いずれも、30dB以上の再生信号を得られることが判明した。   In the optical recording disk comparative sample # 1 in which the Mg content is less than 20 atomic%, the C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded on the recording layer is 10.6 dB, In the optical recording disk samples # 6 and # 7 whose content exceeds 40 atomic%, the C / N ratio of the reproduction signal when the data recorded on the recording layer is reproduced is 35.7 dB and 36.6 dB, respectively. In both cases, it has been found that a reproduction signal of 30 dB or more can be obtained.

記録層を形成するに際し、Mgを主成分として含むターゲットに代えて、Alを主成分として含むターゲットを用いた点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#8を作製した。記録層の形成後、記録層の組成を測定した結果、Zn、SおよびAlの含有量は、それぞれ、39.7原子%、50.3原子%および10.0原子%であった。   When forming the recording layer, the optical recording disc sample # 8 was prepared in the same manner as the optical recording disc sample # 1 except that a target containing Al as the main component was used instead of the target containing Mg as the main component. Produced. As a result of measuring the composition of the recording layer after forming the recording layer, the contents of Zn, S, and Al were 39.7 atomic%, 50.3% atomic%, and 10.0 atomic%, respectively.

ZnSターゲットとAlターゲットの成膜パワーを変えることにより、記録層に含まれるZn、SおよびAlの含有量を、それぞれ、35.7原子%、45.4原子%および18.9原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#8と同様にして、光記録ディスクサンプル#9を作製した。   By changing the deposition power of the ZnS target and the Al target, the contents of Zn, S and Al contained in the recording layer were set to 35.7 atomic%, 45.4 atomic% and 18.9 atomic%, respectively. An optical recording disk sample # 9 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 8 except for the above points.

記録層に含まれるZn、SおよびAlの含有量を、それぞれ、29.7原子%、39.0原子%および31.3原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#8と同様にして、光記録ディスクサンプル#10を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Al contained in the recording layer were 29.7 atomic%, 39.0 atomic% and 31.3 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 8 An optical recording disk sample # 10 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびAlの含有量を、それぞれ、25.3原子%、33.5原子%および41.2原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#8と同様にして、光記録ディスクサンプル#11を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Al contained in the recording layer were 25.3 atomic%, 33.5 atomic% and 41.2 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 8 An optical recording disk sample # 11 was prepared.

記録層に含まれるZn、SおよびAlの含有量を、それぞれ、22.0原子%、22.4原子%および55.5原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#8と同様にして、光記録ディスクサンプル#12を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Al contained in the recording layer were 22.0 atomic%, 22.4 atomic% and 55.5 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 8 An optical recording disk sample # 12 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびAlの含有量を、それぞれ、13.9原子%、13.7原子%および72.5原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#8と同様にして、光記録ディスクサンプル#13を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Al contained in the recording layer were 13.9 atomic%, 13.7 atomic% and 72.5 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 8 An optical recording disk sample # 13 was produced.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#8ないし#13の記録層に、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーPwを、光記録ディスクサンプル#1の場合と同様に、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   Next, in the same manner as in Example 1, 8T-long recording marks were formed on the recording layers of the optical recording disk samples # 8 to # 13 to record data. When recording data, the recording power Pw of the laser beam is gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW as in the case of the optical recording disk sample # 1, and the data is sequentially transferred to the recording layer. Recorded.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#8ないし#13の記録層に記録されたデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。   Next, in the same manner as in Example 1, the data recorded on the recording layers of the optical recording disk samples # 8 to # 13 are reproduced, and the C / W of the reproduction signal when the recording mark having the length of 8T is reproduced. The N ratio was measured.

測定結果は、表2に示されている。ここに、表2には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 2. Here, Table 2 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio is obtained when data recorded with the recording power Pw changed in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

Figure 0004090419
表2に示されるように、Alの含有量が18原子%ないし56原子%の範囲内である光記録ディスクサンプル#9ないし#12においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、いずれも、40dB以上となり、きわめて高いC/N比の再生信号を得られることが判明した。
Figure 0004090419
As shown in Table 2, in the optical recording disk samples # 9 to # 12 in which the Al content is in the range of 18 atomic% to 56 atomic%, the reproduction signal when the data recorded in the recording layer is reproduced. The C / N ratios of both were 40 dB or more, and it was found that a reproduction signal with an extremely high C / N ratio could be obtained.

Alの含有量が18原子%未満である光記録ディスクサンプル#8、およびAlの含有量が56原子%を越える光記録ディスクサンプル#13においても、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、いずれも、30dB以上のC/N比を有する再生信号を得られることが判明した。   Also in the optical recording disk sample # 8 in which the Al content is less than 18 atomic% and the optical recording disk sample # 13 in which the Al content exceeds 56 atomic%, reproduction when data recorded on the recording layer is reproduced. It has been found that a reproduction signal having a C / N ratio of 30 dB or more can be obtained for each of the signals.

記録層を形成するに際し、Mgを主成分として含むターゲットに代えて、Tiを主成分として含むターゲットを用いた点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#14を作製した。ここに、記録層の形成後、記録層の組成を測定した結果、Zn、SおよびTiの含有量は、それぞれ、43.6原子%、48.8原子%および7.6原子%であった。   When forming the recording layer, the optical recording disc sample # 14 is formed in the same manner as the optical recording disc sample # 1 except that a target containing Ti as the main component is used instead of the target containing Mg as the main component. Produced. Here, as a result of measuring the composition of the recording layer after forming the recording layer, the contents of Zn, S, and Ti were 43.6 atomic%, 48.8 atomic%, and 7.6 atomic%, respectively. .

ZnSターゲットとTiターゲットの成膜パワーを変えることにより、記録層に含まれるZn、SおよびTiの含有量を、それぞれ、41.8原子%、47.9原子%および10.3原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#14と同様にして、光記録ディスクサンプル#15を作製した。   By changing the deposition power of the ZnS target and the Ti target, the contents of Zn, S and Ti contained in the recording layer were set to 41.8 atomic%, 47.9 atomic% and 10.3 atomic%, respectively. An optical recording disk sample # 15 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 14 except for the above points.

記録層に含まれるZn、SおよびTiの含有量を、それぞれ、38.3原子%、46.9原子%および14.8原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#14と同様にして、光記録ディスクサンプル#16を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Ti contained in the recording layer were 38.3 atomic%, 46.9 atomic% and 14.8 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 14 An optical recording disk sample # 16 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびTiの含有量を、それぞれ、35.7原子%、42.2原子%および22.1原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#14と同様にして、光記録ディスクサンプル#17を作製した。   Except that the contents of Zn, S and Ti contained in the recording layer were 35.7 atomic%, 42.2 atomic% and 22.1 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 14 An optical recording disk sample # 17 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびTiの含有量を、それぞれ、30.8原子%、33.8原子%および35.4原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#14と同様にして、光記録ディスクサンプル#18を作製した。   Except for the point that the contents of Zn, S and Ti contained in the recording layer were 30.8 atomic%, 33.8 atomic% and 35.4 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 14 An optical recording disk sample # 18 was produced.

記録層に含まれるZn、SおよびTiの含有量を、それぞれ、28.2原子%、32.5原子%および39.3原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#14と同様にして、光記録ディスクサンプル#19を作製した。   Except for the point that the contents of Zn, S and Ti contained in the recording layer were 28.2 atomic%, 32.5 atomic% and 39.3 atomic%, respectively, the same as the optical recording disk sample # 14 An optical recording disk sample # 19 was produced.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#14ないし#19の記録層に、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。ここに、データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーPwを、光記録ディスクサンプル#1の場合と同様に、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   Next, in the same manner as in Example 1, 8T-long recording marks were formed on the recording layers of the optical recording disk samples # 14 to # 19 to record data. Here, when recording data, the recording power Pw of the laser beam is gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW in the same manner as in the case of the optical recording disk sample # 1, and the recording layers are sequentially formed. Data was recorded.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#14ないし#19の記録層に記録されたデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。   Next, in the same manner as in Example 1, the data recorded on the recording layers of the optical recording disk samples # 14 to # 19 are reproduced, and the C / W of the reproduction signal when the recording mark having the length of 8T is reproduced. The N ratio was measured.

測定結果は、表3に示されている。ここに、表3には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 3. Here, Table 3 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio is obtained when data recorded with the recording power Pw changed in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

Figure 0004090419
表3に示されるように、Tiの含有量が10原子%ないし36原子%の範囲内である光記録ディスクサンプル#15ないし#18においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、いずれも、40dB以上となり、きわめて高いC/N比の再生信号を得られることが判明した。
Figure 0004090419
As shown in Table 3, in the optical recording disk samples # 15 to # 18 in which the Ti content is in the range of 10 atomic% to 36 atomic%, the reproduction signal when the data recorded in the recording layer is reproduced. The C / N ratios of both were 40 dB or more, and it was found that a reproduction signal with an extremely high C / N ratio could be obtained.

Tiの含有量が10原子%未満である光記録ディスク比較サンプル#14においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、18.6dBとなり、また、Tiの含有量が36原子%を越える光記録ディスク比較サンプル#19においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、38.2dBとなり、30dB以上のC/N比を有する再生信号を得られることが判明した。   In the optical recording disk comparative sample # 14 in which the Ti content is less than 10 atomic%, the C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded on the recording layer is 18.6 dB. In the optical recording disk comparative sample # 19 whose content exceeds 36 atomic%, the C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded on the recording layer is 38.2 dB, and the C / N ratio is 30 dB or more. It has been found that a reproduction signal having can be obtained.

記録層を形成するに際し、ZnSを主成分として含むターゲットに代えて、モル比が80:20であるZnSとSiOの混合物を主成分として含むターゲットを用いた点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#20を作製した。ここに、記録層の形成後、記録層の組成を測定した結果、Zn、Si、Mg、OおよびSの含有量は、それぞれ、21.8原子%、10.8原子%、18.3原子%、21.6原子%および27.5原子%であった。但し、基板中にOが含まれているため、Oの測定は困難であり、Oの含有量は、OがSiOの状態にあると仮定して、Siの含有量の2倍の原子%であるとした。以下、Oの含有量については、同様である。 The optical recording disk sample # was used except that a target containing a mixture of ZnS and SiO 2 having a molar ratio of 80:20 as a main component was used instead of the target containing ZnS as a main component in forming the recording layer. In the same manner as in Example 1, an optical recording disk sample # 20 was produced. Here, as a result of measuring the composition of the recording layer after forming the recording layer, the contents of Zn, Si, Mg, O, and S were 21.8 atomic%, 10.8 atomic%, and 18.3 atomic atom, respectively. %, 21.6 atomic%, and 27.5 atomic%. However, since O is contained in the substrate, it is difficult to measure O, and the content of O is assumed to be in the state of SiO 2 , and the atomic% is twice the Si content. It was said that. Hereinafter, the content of O is the same.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、21.5原子%、10.1原子%、20.8原子%、20.1原子%および27.5原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#20と同様にして、光記録ディスクサンプル#21を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer are 21.5 atomic%, 10.1 atomic%, 20.8 atomic%, 20.1 atomic% and 27.5 atomic%, respectively. An optical recording disk sample # 21 was prepared in the same manner as the optical recording disk sample # 20 except for the above points.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、22.6原子%、9.3原子%、25.0原子%、18.6原子%および24.5原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#20と同様にして、光記録ディスクサンプル#22を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer are respectively 22.6 atomic%, 9.3 atomic%, 25.0 atomic%, 18.6 atomic% and 24.5 atomic%. Except for the above, an optical recording disk sample # 22 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 20.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、19.1原子%、8.0原子%、33.9原子%、16.0原子%および23.0原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#20と同様にして、光記録ディスクサンプル#23を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O, and S contained in the recording layer are respectively 19.1 atomic%, 8.0 atomic%, 33.9 atomic%, 16.0 atomic%, and 23.0 atomic%. Except for the above, an optical recording disk sample # 23 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 20.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、18.9原子%、7.3原子%、37.0原子%、14.5原子%および22.3原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#20と同様にして、光記録ディスクサンプル#24を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer are respectively 18.9 atomic%, 7.3 atomic%, 37.0 atomic%, 14.5 atomic% and 22.3 atomic%. An optical recording disk sample # 24 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 20 except for the above points.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、16.1原子%、7.1原子%、42.5原子%、14.2原子%および20.1原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#20と同様にして、光記録ディスク比較サンプル#25を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O, and S contained in the recording layer are 16.1 atomic%, 7.1 atomic%, 42.5 atomic%, 14.2 atomic%, and 20.1 atomic%, respectively. Except for the above, an optical recording disk comparison sample # 25 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 20.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#20ないし#25の記録層に、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。ここに、データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーPwを、光記録ディスクサンプル#1の場合と同様に、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   Next, in the same manner as in Example 1, 8T-long recording marks were formed on the recording layers of the optical recording disk samples # 20 to # 25 to record data. Here, when recording data, the recording power Pw of the laser beam is gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW in the same manner as in the case of the optical recording disk sample # 1, and the recording layers are sequentially formed. Data was recorded.

こうして、各光記録ディスクサンプルの記録層に、記録パワーPwのレーザビームを照射した後に、各光記録ディスクサンプルの記録層の状態を、透過電子顕微鏡を用いて、確認したところ、記録パワーPwのレーザビームを照射した領域において、ZnSの結晶成長が認められた。   Thus, after irradiating the recording layer of each optical recording disk sample with the laser beam having the recording power Pw, the state of the recording layer of each optical recording disk sample was confirmed using a transmission electron microscope. In the region irradiated with the laser beam, ZnS crystal growth was observed.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#20ないし#25の記録層に、記録されたデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。   Next, in the same manner as in Example 1, the recorded data C was reproduced on the recording layers of the optical recording disc samples # 20 to # 25, and the C of the reproduction signal when the recording mark having the length of 8T was reproduced. The / N ratio was measured.

測定結果は、表4に示されている。ここに、表4には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 4. Table 4 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio can be obtained when data recorded with the recording power Pw changed in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

Figure 0004090419
表4に示されるように、Mgの含有量が20原子%ないし40原子%の範囲内である光記録ディスクサンプル#21ないし#24においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、いずれも、40dB以上となり、きわめて高いC/N比の再生信号を得られることが判明した。
Figure 0004090419
As shown in Table 4, in the optical recording disk samples # 21 to # 24 in which the Mg content is in the range of 20 atomic% to 40 atomic%, the reproduction signal when the data recorded on the recording layer is reproduced. The C / N ratios of both were 40 dB or more, and it was found that a reproduction signal with an extremely high C / N ratio could be obtained.

Mgの含有量が20原子%未満である光記録ディスク比較サンプル#20、およびMgの含有量が40原子%を越える光記録ディスク比較サンプル#25においても、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、それぞれ、30.0dB、37.9dBとなり、30dB以上のC/N比を有する再生信号を得られることが判明した。   When the data recorded on the recording layer was reproduced also in the optical recording disk comparative sample # 20 in which the Mg content is less than 20 atomic% and the optical recording disk comparative sample # 25 in which the Mg content exceeds 40 atomic% The C / N ratio of the reproduced signal of 30.0 dB and 37.9 dB were found to be obtained, and a reproduced signal having a C / N ratio of 30 dB or more can be obtained.

記録層を形成するに際し、ZnSを主成分として含むターゲットに代えて、モル比が50:50であるZnSとSiOの混合ターゲットを用いた点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#26を作製した。記録層の形成後、記録層の組成を測定した結果、Zn、Si、Mg、OおよびSの含有量は、それぞれ、14.5原子%、16.6原子%、17.8原子%、33.2原子%および17.9原子%であった。 When the recording layer is formed, it is the same as the optical recording disk sample # 1 except that a mixed target of ZnS and SiO 2 having a molar ratio of 50:50 is used instead of the target containing ZnS as a main component. An optical recording disk sample # 26 was produced. As a result of measuring the composition of the recording layer after forming the recording layer, the contents of Zn, Si, Mg, O, and S were 14.5 atomic%, 16.6 atomic%, 17.8 atomic%, and 33, respectively. 2 atomic% and 17.9 atomic%.

ZnSとSiOの混合物ターゲットとAlターゲットの成膜パワーを変えることにより、記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、13.1原子%、15.9原子%、22.3原子%、31.8原子%および16.9原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#26と同様にして、光記録ディスクサンプル#27を作製した。 By changing the film formation power of the ZnS and SiO 2 mixture target and the Al target, the contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer were changed to 13.1 atomic% and 15.9 atoms, respectively. %, 22.3 atomic%, 31.8 atomic%, and 16.9 atomic%, except that optical recording disk sample # 27 was manufactured in the same manner as optical recording disk sample # 26.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、12.9原子%、15.0原子%、26.1原子%、30.0原子%および16.0原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#26と同様にして、光記録ディスクサンプル#28を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer are respectively 12.9 atomic%, 15.0 atomic%, 26.1 atomic%, 30.0 atomic% and 16.0 atomic%. An optical recording disk sample # 28 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 26 except for the above points.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、11.8原子%、13.2原子%、32.8原子%、26.4原子%および15.8原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#26と同様にして、光記録ディスクサンプル#29を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer are respectively 11.8 atomic%, 13.2 atomic%, 32.8 atomic%, 26.4 atomic% and 15.8 atomic%. An optical recording disk sample # 29 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 26 except for the above points.

記録層に含まれるZn、Si、Mg、OおよびSの含有量を、それぞれ、9.5原子%、10.7原子%、46.2原子%、21.4原子%および12.2原子%とした点を除き、光記録ディスクサンプル#26と同様にして、光記録ディスクサンプル#30を作製した。   The contents of Zn, Si, Mg, O and S contained in the recording layer are respectively 9.5 atomic%, 10.7 atomic%, 46.2 atomic%, 21.4 atomic% and 12.2 atomic%. An optical recording disk sample # 30 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 26 except for the above points.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#26ないし#30の記録層に、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーPwを、光記録ディスクサンプル#1の場合と同様に、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   Next, in the same manner as in Example 1, 8T-long recording marks were formed on the recording layers of the optical recording disk samples # 26 to # 30 to record data. When recording data, the recording power Pw of the laser beam is gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW as in the case of the optical recording disk sample # 1, and the data is sequentially transferred to the recording layer. Recorded.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#26ないし#30の記録層に記録されたデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。   Next, in the same manner as in Example 1, the data recorded on the recording layers of the optical recording disk samples # 26 to # 30 are reproduced, and the C / W of the reproduction signal when the recording mark having the length of 8T is reproduced. The N ratio was measured.

測定結果は、表5に示されている。ここに、表5には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 5. Here, Table 5 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio is obtained when data recorded by changing the recording power Pw in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

Figure 0004090419
表5に示されるように、Mgの含有量が20原子%ないし35原子%の範囲内である光記録ディスクサンプル#27ないし#29においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、いずれも、40dB以上となり、非常に高いC/N比の再生信号を得られることが判明した。
Figure 0004090419
As shown in Table 5, in the optical recording disk samples # 27 to # 29 in which the Mg content is in the range of 20 atomic% to 35 atomic%, the reproduction signal when the data recorded in the recording layer is reproduced. The C / N ratios of both were 40 dB or more, and it was found that a reproduction signal with a very high C / N ratio could be obtained.

Mgの含有量が20原子%未満である光記録ディスク比較サンプル#26においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、16.6dBとなり、また、Mgの含有量が35原子%を越える光記録ディスクサンプル#30においても、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、35.0dBとなり、30dB以上のC/N比を有する再生信号を得られることが判明した。   In the optical recording disk comparative sample # 26 in which the Mg content is less than 20 atomic%, the C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in the recording layer is 16.6 dB, Also in the optical recording disk sample # 30 whose content exceeds 35 atomic%, the C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in the recording layer is 35.0 dB, and the C / N ratio of 30 dB or more is obtained. It has been found that a reproduced signal having the same can be obtained.

記録層を形成するに際し、ZnSを主成分として含むターゲットに代えて、モル比が20:30:50であるLa、SiOおよびSiの混合ターゲットを用いた点、および、記録層の厚さを、17nmとした点を除き、光記録ディスクサンプル#1と同様にして、光記録ディスクサンプル#31を作製した。記録層の形成後、記録層の組成を測定した結果、La、Si、Mg、OおよびNの含有量は、それぞれ、6.2原子%、24.1原子%、23.1原子%、24.6原子%および22.0原子%であった。 In forming the recording layer, instead of a target containing ZnS as a main component, a mixed target of La 2 O 3 , SiO 2 and Si 3 N 4 having a molar ratio of 20:30:50 was used, and An optical recording disk sample # 31 was produced in the same manner as the optical recording disk sample # 1 except that the thickness of the recording layer was 17 nm. As a result of measuring the composition of the recording layer after forming the recording layer, the contents of La, Si, Mg, O, and N were 6.2 atomic%, 24.1 atomic%, 23.1 atomic%, and 24, respectively. 0.6 atomic percent and 22.0 atomic percent.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#31の記録層に、8Tの長さの記録マークを形成して、データを記録した。データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーPwを、光記録ディスクサンプル#1の場合と同様に、3mWないし12mWの範囲で、3mWから少しずつ、上げていき、順次、記録層にデータを記録した。   Next, in the same manner as in Example 1, 8T-long recording marks were formed on the recording layer of the optical recording disk sample # 31 to record data. When recording data, the recording power Pw of the laser beam is gradually increased from 3 mW within the range of 3 mW to 12 mW as in the case of the optical recording disk sample # 1, and the data is sequentially transferred to the recording layer. Recorded.

次いで、実施例1と同様にして、光記録ディスクサンプル#31の記録層に記録したデータを再生して、8Tの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号のC/N比を、測定した。   Next, in the same manner as in Example 1, the data recorded on the recording layer of the optical recording disk sample # 31 was reproduced, and the C / N ratio of the reproduction signal when the recording mark having the length of 8T was reproduced is It was measured.

測定結果は、表6に示されている。ここに、表6には、記録パワーPwを3mWないし12mWの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最小のC/N比を得られたときの記録パワーPwおよびその記録パワーPwで記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が示されている。   The measurement results are shown in Table 6. Here, Table 6 shows the recording power Pw and the recording power Pw when the minimum C / N ratio is obtained when data recorded by changing the recording power Pw in the range of 3 mW to 12 mW is reproduced. The C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded in is shown.

Figure 0004090419
表6に示されるように、光記録ディスクサンプル#31においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のC/N比が、40dB以上となり、きわめて高いC/N比を有する再生信号を得られることが判明した。
Figure 0004090419
As shown in Table 6, in the optical recording disk sample # 31, the C / N ratio of the reproduction signal when reproducing the data recorded on the recording layer is 40 dB or more, and the reproduction has a very high C / N ratio. It turns out that a signal can be obtained.

以上の実施例において、オージェ分光分析装置、光学式膜厚測定装置および透過電子顕微鏡を用いて、記録層の状態を確認したところ、記録用のパワーに設定されたレーザビームが照射された記録層の領域で、金属元素Mの単体の存在と、金属元素Mとの化合物の結晶成長が認められた。   In the above embodiment, when the state of the recording layer was confirmed using an Auger spectroscopic analyzer, an optical film thickness measuring device, and a transmission electron microscope, the recording layer irradiated with a laser beam set to a recording power was used. In this region, the presence of the simple substance of the metal element M and the crystal growth of the compound with the metal element M were observed.

本実施例においては、以下の分析と判断により、金属元素Mの存在が認められた状態を、記録層に金属元素Mが含まれるとする。また、以下の分析と判断により、金属元素Mと元素Xの化合物の結晶成長が認められた状態を、金属元素Mの単体と結合して、前記金属元素Mとの化合物の結晶を生成する元素Xが、記録層に含まれるものとする。   In this embodiment, it is assumed that the metal layer M is included in the recording layer in a state where the presence of the metal element M is recognized by the following analysis and determination. Further, by the following analysis and judgment, an element that forms a crystal of the compound with the metal element M by combining the state in which the crystal growth of the compound of the metal element M and the element X is recognized with the simple substance of the metal element M X is assumed to be included in the recording layer.

具体的な手法としては、同一条件で光記録ディスクサンプルを三つ作成し、三つの光記録ディスクサンプルの記録層の一部に、実施例1でデータを記録したのと同じようにして、データを記録した。   As a specific method, three optical recording disk samples were prepared under the same conditions, and data was recorded in the same manner as in Example 1 in which data was recorded on a part of the recording layers of the three optical recording disk samples. Was recorded.

次いで、データが記録された三つの光記録ディスクサンプルのうちの一つにつき、光透過層を、カッターで切り込みを入れて剥がし、記録層を露出させ、露出した記録層の表面に、20nmの厚さを有する誘電体膜(記録層がZnSを主成分として含む場合は、例えば、Al)と、100nmの厚さを有する金属膜(例えばAl)とを、スパッタリング法により、順次、形成した。金属膜と誘電体膜には、分析に影響しないように記録層に含まれる金属元素M以外の材料を使用する必要がある。ここに、金属膜を形成したのは、オージェ分光分析装置を用いた測定の際に、光記録ディスクサンプルが帯電するのを防止するためである。次いで、誘電体膜および金属膜を形成した光記録ディスクサンプルの金属膜表面を、局部的にスパッタリングし、記録層の表面の一部が露出するように、約2mmの孔を形成した。 Next, for one of the three optical recording disk samples on which data was recorded, the light transmissive layer was cut with a cutter and peeled off to expose the recording layer, and the exposed recording layer surface had a thickness of 20 nm. A dielectric film having a thickness (for example, Al 2 O 3 when the recording layer contains ZnS as a main component) and a metal film having a thickness of 100 nm (for example, Al) are sequentially formed by sputtering. did. For the metal film and the dielectric film, it is necessary to use materials other than the metal element M contained in the recording layer so as not to affect the analysis. Here, the metal film is formed in order to prevent the optical recording disk sample from being charged during the measurement using the Auger spectroscopic analyzer. Next, the surface of the metal film of the optical recording disk sample on which the dielectric film and the metal film were formed was locally sputtered to form a hole of about 2 mm so that a part of the surface of the recording layer was exposed.

次いで、データが記録された光記録ディスクサンプルにおいて、記録層のデータが記録された領域と、記録層のデータ未記録の領域につき、オージェ分光分析装置を用いて、エネルギースペクトルを測定した。ここに、エネルギースペクトルの測定に際しては、アルバック・ファイ株式会社製のオージェ分光分析装置「SAM680」を用い、測定条件を、加速電圧5kV、Tilt30deg、試料電流10nA、Arイオンビームスパッタエッチング加速電圧2kVに設定して、測定した。   Next, in the optical recording disk sample on which the data was recorded, the energy spectrum was measured using an Auger spectroscopic analyzer for the area where the data of the recording layer was recorded and the area where the data of the recording layer was not recorded. Here, when measuring the energy spectrum, an Auger spectroscopic analyzer “SAM680” manufactured by ULVAC-PHI Co., Ltd. was used, and the measurement conditions were set to an acceleration voltage of 5 kV, a Tilt of 30 deg, a sample current of 10 nA, and an Ar ion beam sputter etching acceleration voltage of 2 kV. Set and measure.

こうして、記録層のデータが記録された領域と、記録層のデータ未記録の領域につき、エネルギースペクトルを測定した結果、データが未記録の領域では、金属のエネルギースペクトルと、化合物のエネルギースペクトルが混在していると思われるスペクトルが存在し、一方、データが記録された領域では、化合物のエネルギースペクトルのみが認められた。このスペクトルの変化から、記録層に金属元素Mが含まれると判断した。   Thus, as a result of measuring the energy spectrum of the recording layer data recorded area and the recording layer data unrecorded area, the metal energy spectrum and the compound energy spectrum are mixed in the unrecorded area. In the region where data was recorded, only the energy spectrum of the compound was observed. From this change in the spectrum, it was determined that the recording layer contained the metal element M.

次いで、先の三つの光記録ディスクサンプルのうちの他の一つの光記録ディスクサンプルにカッターで切れ込みを入れて、光透過層および記録層を切り離し、切り離した光透過層および記録層を、紫外線硬化樹脂を用いて、光透過層をスライドガラスに接するようにして、スライドガラス上に接着させた。   Next, the other one of the three optical recording disk samples is cut with a cutter to separate the light transmission layer and the recording layer, and the separated light transmission layer and the recording layer are cured with ultraviolet light. Using the resin, the light transmission layer was adhered to the slide glass so as to be in contact with the slide glass.

こうして形成した光記録ディスクサンプルにおいて、記録層のデータが記録された領域と、記録層のデータ未記録領域につき、光学式膜厚測定装置を用いて、405nmの波長を有するレーザビームに対する光吸収率を測定した。ここに、光吸収率の測定に際しては、steag ETA−OPTIK株式会社製の光学式膜厚測定装置「ETA−RT」(商品名)を用いた。   In the optical recording disk sample thus formed, the optical absorptance with respect to a laser beam having a wavelength of 405 nm using an optical film thickness measuring device for the recording layer data recorded area and the recording layer data unrecorded area. Was measured. Here, in measuring the light absorption rate, an optical film thickness measuring device “ETA-RT” (trade name) manufactured by steag ETA-OPTIK Co., Ltd. was used.

こうして、記録層のデータが記録された領域と、記録層のデータ未記録の領域につき、405nmの波長を有するレーザビームに対する光吸収率を測定した結果、データが未記録の領域では、34%の光吸収率を有し、一方、データが記録された領域では、27%の光吸収率を有することが認められた。光吸収率の減少は、金属元素Mの自由電子が光を多く吸収し、元素Xと化合物を作ることで、金属元素Mの自由電子が少なくなり、光の吸収が減ったため、光吸収率が小さくなったと考えられる。オージェ分光分析によるエネルギースペクトルの変化と同様に、このように光吸収率の減少により記録膜に金属元素Mの単体が含まれていたと判断した。   Thus, as a result of measuring the optical absorptance with respect to the laser beam having a wavelength of 405 nm for the recording layer data recorded area and the recording layer data unrecorded area, 34% was obtained in the area where the data was not recorded. It has been found that it has a light absorptance, while the area where data is recorded has a light absorptance of 27%. The decrease in light absorptance is because the free electrons of the metal element M absorb a lot of light and make a compound with the element X, so that the free electrons of the metal element M decrease and the light absorption decreases. It seems that it has become smaller. Similar to the change in the energy spectrum by Auger spectroscopic analysis, it was determined that the recording film contained a single element of the metal element M due to the decrease in the light absorption rate.

このように、オージェ分光分析装置によるエネルギースペクトルの測定によって、データが未記録の領域において、金属のエネルギースペクトルと、化合物のエネルギースペクトルとが混在し、一方、データが記録された領域において、化合物のエネルギースペクトルのみが確認できたという結果が得られ、また、光学式膜厚測定装置による光吸収率の測定によって、データが記録された領域において、データが未記録の領域に比べて、光吸収率が低下したという結果が得られたため、これらの結果から、記録層に金属元素Mの単体の存在と、記録用のレーザビームを照射した記録層の領域では、金属元素Mの単体が元素Xと結合して、化合物の結晶が生成されたと判断した。   Thus, by measuring the energy spectrum by the Auger spectroscopic analyzer, the energy spectrum of the metal and the energy spectrum of the compound are mixed in the area where the data is not recorded, while the energy spectrum of the compound is mixed in the area where the data is recorded. The result that only the energy spectrum was confirmed was obtained, and the optical absorptance in the area where the data was recorded by the measurement of the optical absorptivity by the optical film thickness measurement device compared to the area where the data was not recorded. From these results, the presence of the simple substance of the metal element M in the recording layer and the region of the recording layer irradiated with the laser beam for recording indicate that the simple substance of the metal element M is the element X. It was judged that the crystals of the compound were produced by the combination.

次いで、データが記録された三つの光記録ディスクサンプルのうちの残りの1つの光記録ディスクサンプルにつき、透過電子顕微鏡装置を用いて、記録マークの電子回折パターンを測定した。このとき透過電子顕微鏡は、日本電子株式会社製の「JEM-3010」(商品名)を用い、加速電圧は300kVに設定した。   Next, the electron diffraction pattern of the recording mark was measured for the remaining one of the three optical recording disk samples on which the data was recorded, using a transmission electron microscope apparatus. At this time, as the transmission electron microscope, “JEM-3010” (trade name) manufactured by JEOL Ltd. was used, and the acceleration voltage was set to 300 kV.

ここでは、光記録ディスクサンプルを、ミクロトームを用いて切削し、透過電子顕微鏡用のサンプルを作成した。切断された断面において、記録層の電子回折パターンを測定した結果、データが未記録の領域では、ZnSのブロードな回折リングが認められ、一方、データが記録された領域では、ZnSの回折スポットが認められた。これらの結果から、記録用のレーザビームを照射した記録層の領域では、ZnSの結晶化が生成されたと判断した。   Here, the optical recording disk sample was cut using a microtome to prepare a sample for a transmission electron microscope. As a result of measuring the electron diffraction pattern of the recording layer in the cut section, a ZnS broad diffraction ring was observed in the area where data was not recorded, whereas a ZnS diffraction spot was observed in the area where data was recorded. Admitted. From these results, it was determined that crystallization of ZnS was generated in the region of the recording layer irradiated with the recording laser beam.

本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. Needless to say.

たとえば、図1および図2に示される実施態様においては、ZnS・SiOまたはLa・Si・O・Nを主成分として含むターゲットと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を主成分として含むターゲットとを用いて、スパッタリング法により、記録層12を形成するようにしているが、成膜の結果、記録層12に、ZnまたはLaの金属元素Mと、金属元素Mと結合して、金属元素Mとの化合物の結晶を生成する性質を有するSまたはOの元素とを、単体の形で含ませることができればよく、ZnSを主成分とするターゲットと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を主成分として含むターゲットとを用いて、スパッタリング法により、記録層12を形成することもできる。 For example, in the embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2, at least one metal selected from the group consisting of ZnS · SiO 2 or La · Si · O · N as a main component and Mg, Al and Ti The recording layer 12 is formed by a sputtering method using a target containing an element as a main component. As a result of film formation, a Zn or La metal element M and a metal element M are formed on the recording layer 12. It is sufficient that the element of S or O having a property of generating a crystal of a compound with the metal element M in combination with a target of ZnS, MgS, Al The recording layer 12 is formed by sputtering using a target containing at least one metal element selected from the group consisting of Ti and Ti as a main component. You can also.

また、図1および図2に示される実施態様にかかる光記録媒体10においては、光透過層13を備えているが、光透過層13に代えて、または、光透過層13の表面上に、ハードコート組成物を主成分として含むハードコート層を設けてもよいし、さらに、潤滑性や防汚性の機能を付与するために、ハードコート層に潤滑剤を含ませてもよいし、ハードコート層の表面上に、潤滑剤を主成分として含む潤滑層を、別途、設けるようにしてもよい。   In addition, the optical recording medium 10 according to the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 includes the light transmission layer 13, but instead of the light transmission layer 13 or on the surface of the light transmission layer 13, A hard coat layer containing the hard coat composition as a main component may be provided, and a lubricant may be added to the hard coat layer in order to impart lubricity and antifouling functions. A lubricating layer containing a lubricant as a main component may be separately provided on the surface of the coat layer.

さらに、図1および図2に示される実施態様にかかる光記録媒体10においては、レーザビームLは、光透過層13を介して、記録層12に照射されるように構成されているが、本発明は、約0.6mmの厚さを有する光透過性基板と、約0.6mmの厚さを有するダミー基板と、光透過性基板とダミー基板との間に、記録層を備えたDVD型の光記録媒体に適用することもできる。   Further, in the optical recording medium 10 according to the embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2, the laser beam L is configured to be irradiated to the recording layer 12 through the light transmission layer 13. The invention relates to a DVD type comprising a light transmissive substrate having a thickness of about 0.6 mm, a dummy substrate having a thickness of about 0.6 mm, and a recording layer between the light transmissive substrate and the dummy substrate. The present invention can also be applied to other optical recording media.

図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体10の略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of an optical recording medium 10 according to a preferred embodiment of the present invention. 図2は、図1のAで示された部分の略拡大図である。FIG. 2 is a schematic enlarged view of a portion indicated by A in FIG. 図3は、光記録媒体10にデータを記録する際に、レーザビームLのパワーを制御するレーザパワー制御信号のパルス列パターンを示すダイアグラムである。FIG. 3 is a diagram showing a pulse train pattern of a laser power control signal for controlling the power of the laser beam L when data is recorded on the optical recording medium 10.

符号の説明Explanation of symbols

10 光記録媒体
11 基板
11a グルーブ
11b ランド
12 記録層
13 光透過層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical recording medium 11 Substrate 11a Groove 11b Land 12 Recording layer 13 Light transmission layer

Claims (6)

基板と、光透過層と、前記基板および前記光透過層の間に形成された記録層を備え、前記記録層が、Ni、Cu、Si、Ti、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn、W、Pb、Bi、ZnおよびLaからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素Mの単体と、SまたはOと、Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を含み、前記SまたはOと、前記Mg、AlおよびTiからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属元素を化合物の形で含むことを特徴とする光記録媒体。 A recording layer formed between the substrate and the light transmission layer, wherein the recording layer is Ni, Cu, Si, Ti, Ge, Zr, Nb, Mo, In, Sn , At least one metal element M selected from the group consisting of W, Pb, Bi, Zn and La, S or O, and at least one metal element selected from the group consisting of Mg, Al and Ti, An optical recording medium comprising at least one metal element selected from the group consisting of S or O and Mg, Al and Ti in the form of a compound . 前記記録層が、18.5原子%ないし42原子%のMgを含むことを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体。 2. The optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer contains 18.5 atomic% to 42 atomic% of Mg. 前記記録層が、11原子%ないし70原子%のAlを含むことを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体。 2. The optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer contains 11 atomic% to 70 atomic% of Al. 前記記録層が、8原子%ないし38原子%のTiを含むことを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体。 The optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer contains 8 atomic% to 38 atomic% of Ti. 前記記録層が、8nmないし60nmの厚さを有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光記録媒体。 The optical recording medium according to any one of claims 1 to 4, wherein the recording layer has a thickness of 8 nm to 60 nm. 前記光透過層が、10μmないし300μmの厚さを有していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光記録媒体。 The optical recording medium according to claim 1, wherein the light transmission layer has a thickness of 10 μm to 300 μm.
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