JP4038799B2

JP4038799B2 - 恒温液循環装置

Info

Publication number: JP4038799B2
Application number: JP2003343461A
Authority: JP
Inventors: 哲郎坂口; 寛人新美
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2003-10-01
Filing date: 2003-10-01
Publication date: 2008-01-30
Anticipated expiration: 2023-10-01
Also published as: GB0419743D0; US20050072172A1; GB2406636A; CN1603726A; DE102004047119B4; KR100745492B1; DE102004047119A1; US7073342B2; TW200513621A; TWI267615B; GB2406636B; CN100371661C; JP2005106434A; KR20050032486A

Description

本発明は、例えば熱負荷を恒温液で冷却する場合のように、負荷に恒温液を循環的に供給するための循環装置に関するものである。

この種の循環装置で例えば負荷を冷却する場合、タンク内に温度調節された恒温液としての冷却液を収容し、この冷却液をポンプで負荷に配管を通じて循環的に供給することにより該負荷を冷却するようにしており、負荷の冷却により昇温してタンクに還流してくる冷却液は、熱交換器において冷媒と熱交換することにより温度調節される。
上記負荷は通常、ユーザー側が用意する配管によって循環装置に接続されるが、負荷の種類や設置場所等はユーザー毎に異なっている。そのため、配管や負荷内の流路容積が大きい場合、循環装置の運転が始まって配管及び熱負荷に冷却液が供給されるとタンク内の液位が大きく低下することとなり、場合によってはタンク内の液位の低下によってポンプの運転に支障を来す虞がある。
また、このような循環装置においては、その運転終了時や保守点検時等に、負荷や装置と負荷とを結ぶ配管中に充満している冷却液をタンクに全量回収することが望ましいが、装置の定常運転状態においてタンク内が適正液位となるような量の冷却液を使用した場合、配管や負荷内の流路容積によっては、冷却液を回収した際にその冷却液をタンク内に収容し切れなくなり、タンクから溢れ出す虞がある。

そこで、このような問題点を解決するために、タンク内に液位調整室を設けてその底部において上記タンクの内部と連通させ、この液位調整室内に圧縮ガスを給排することにより、恒温液を該液位調整室からタンク内に流出させたり、またはタンクから液位調整室内に流入させて、タンク内の恒温液の液位を調整するものが、特許文献１に開示されている。
この循環装置は、運転開始時や運転終了時等にタンク内の恒温液の液位が大きく変化することがなく、しかも、少量の恒温液を効率的に運用することができるという利点がある。
特開２００２−１８１４２７号公報

ところで、特許文献１に開示されているような循環装置においては、温度調節されてタンク内に収容された恒温液を保温するために、タンクの周囲に断熱材を設ける必要性がある。そのため、装置全体の大型化及び重量化を招いて製造コストが嵩むという問題点があった。
本発明は、このような問題点を解決するために為されたもので、その課題は、温度調節されてタンク内に収容された恒温液の保温と液位の調整とを、該タンクの周囲に形成した同じ空隙を利用して達成することにより、タンクから断熱材を排除することができ、装置全体を小型軽量化して製造コストを抑制することが可能な恒温液循環装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明に係る恒温液循環装置は、温度調節された恒温液を収容するための有底で閉蓋されたメインタンクと、該メインタンク全体が内部に配設されている有底で閉蓋されたサブタンクと、上記メインタンクと恒温液を供給すべき負荷とを接続する送り管及び戻り管と、これら送り管及び戻り管を通じて負荷に恒温液を循環的に供給するための循環ポンプとを備え、上記サブタンク内において、メインタンクは、その周囲全体に断熱層としての空隙を介在させて支持されており、上記サブタンクには、当該装置の定常運転時に該サブタンク内の空隙に収容された恒温液を外部に排出するための液排出機構が設けられており、上記メインタンク内と上記サブタンク内の空隙との間で恒温液を給排することによりメインタンク内の液位を調整する液位調整機構を有している、ことを特徴とするものである。
そうすることにより、メインタンク内に収容された恒温液の保温と液位の調整とを、メインタンクとサブタンクとの間に形成された同じ空隙を利用して達成することができる。また、上記サブタンクに、該サブタンク内の空隙に収容された恒温液を外部に排出するための液排出機構を設けることにより、特に、循環装置の定常運転中に、サブタンク内の空隙に残留した恒温液を外部に排出することが可能となり、上記空隙による断熱効果が低下するのを防止することができる。

具体的には、上記液排出機構は、上記サブタンクの底部に開設されて第１のバルブにより開閉される排出口を有しており、このバルブを開いて排出口を開放することにより、恒温液をサブタンクの外部へと排出することができるようになっている。
また、上記メインタンクには、該メインタンク内に収容された恒温液の液位を検知するための第１の液位検知手段が設けられ、上記サブタンクには、該サブタンク内の空隙に収容された恒温液の液位を検知するための第２の液位検知手段が設けられ、定常運転時において、上記第１の液位検知手段によりメインタンク内の液位が所定の最低液位以上であることが検知され、かつ上記第２の液位検知手段によりサブタンク内の液位が所定液位以上であることが検知された際に、上記液排出機構によってサブタンク内の空隙に収容された恒温液を外部に排出するように構成されているとより好ましい。

そして、本発明に係る恒温液循環装置の一形態においては、上記液位調整機構が、上記メインタンクの上部に設けられて、該メインタンク内に収容された恒温液を上記サブタンク内の空隙にオーバーフローさせるための吐出口と、サブタンク内の空隙に収容された恒温液をメインタンク内に供給するための調整ポンプとを有している。
このとき、上記吐出口が、上記メインタンクの側壁に開設されていて、該吐出口を開閉するための第２のバルブを備えていることが望ましい。
また、他の一形態においては、上記液位調整機構が、上記メインタンク内と上記サブタンク内の空隙との間で恒温液を給排するための調整ポンプを有している。
さらに、その他の一形態においては、上記液位調整機構が、サブタンク内の空隙に圧縮ガスを供給するためのガス供給源と、メインタンクの底部に開設されて第３のバルブにより開閉される給排口とを有しており、上記サブタンク内の空隙の圧力を調整して、上記給排口を通じてメインタンク内とサブタンク内の空隙との間で恒温液を給排することにより、メインタンク内の液位を調整するように構成されている。

本発明に係る恒温液循環装置によれば、温度調節された恒温液を収容するメインタンク全体が、その周囲に断熱層としての空隙を介在させてサブタンク内に支持されており、しかも、液位調整機構によって恒温液をメインタンク内とサブタンク内に形成された空隙との間で給排することができるようになっているため、メインタンク内に収容された恒温液の保温と液位の調整とを、サブタンク内の同じ空隙を利用して達成することが可能となる。その結果、メインタンクから断熱材を排除することができ、装置全体を小型軽量化して製造コストを抑制することが可能となる。

図１は、本発明に係る恒温液循環装置の第１実施例を示すものである。この循環装置は、温度調節された恒温液１が収容されるメインタンク２と、該メインタンク２全体が内部に配設されていて同じく恒温液１が収容されるサブタンク３と、上記メインタンク２と恒温液１を供給すべき負荷４との間を接続する送り管５及び戻り管６と、これら送り管５及び戻り管６を通じて負荷４に恒温液１を循環的に供給するための循環ポンプ７と、上記負荷４から還流してきた恒温液１を温度調節するための温度調節手段８とを有している。

上記メインタンク２は、筒状の側壁２ａと、その下端を閉塞してメインタンク２の底を形成する底板２ｂと、その上端を閉塞する蓋板２ｃとから構成されており、有底でかつ閉蓋された構造となっている。また、このメインタンク２には、負荷４に対して恒温液１を送り出すための上記送り管５と、負荷４から恒温液１をメインタンク２に対して還流させるための上記戻り管６とが接続されており、送り管５上には、上記循環ポンプ７が設けられ、戻り管６上には、負荷４において熱の授受を行った恒温液１の温度を適宜の設定温度に調節するための例えば熱交換器やヒータ等から成る上記温度調節手段８が設けられている。なお、循環ポンプ７は、浸漬型のポンプであっても良く、上記温度調節手段８は、メインタンク２内に設けられていても良い。

一方、上記サブタンク３も、メインタンク２と同様に、筒状の側壁３ａと、その下端を閉塞してサブタンク３の底を形成する底板３ｂと、その上端を閉塞する蓋板３ｃとから構成されており、有底でかつ閉蓋された構造となっている。また、このサブタンク３における側壁３ａの高さ並びに底板３ｂ及び蓋板３ｃの大きさは、メインタンク２全体を該サブタンク３内に収容できるように、メインタンク２よりも大きく形成されている。さらに、サブタンク３の上部には、該サブタンク３内に恒温液１を注入するための注入口３ｄが設けられており、キャップ３ｅによって開閉可能となっている。
上記サブタンク３内において、メインタンク２は、その外面とサブタンク３の内面との間に断熱層として機能する空隙９を介在させて、適宜の手段により支持されている。そして、このサブタンク３との間においてメインタンク２の周囲全体に形成された空隙９により、上記温度調節手段８で温度調節されてメインタンク２に収容された恒温液１を保温することができるようになっている。

また同時に、本実施例の循環装置においては、後述する液位調整機構によって、メインタンク２の内部とサブタンク３内の空隙９との間で恒温液１を給排して、両者の間で恒温液１を相互に移動させることにより、例えば、負荷４内の流路、送り管５及び戻り管６に充満している恒温液１を回収した時に、メインタンク２に収容し切れない恒温液１をサブタンク３内の空隙９に収容したり、循環装置の運転開始時に、メインタンク２内の液位が低下して循環装置の運転に支障を来さないように、サブタンク３内の空隙９に収容された恒温液１をメインタンク２内に供給したりして、該メインタンク２内の液位を調整することができるようになっている。

このように、温度調節された恒温液１を収容するメインタンク２全体が、その周囲に断熱層としての空隙９を介在させてサブタンク３内に支持されており、しかも、液位調整機構によって恒温液１をメインタンク２内とサブタンク３内に形成された空隙９との間で給排することができるようになっているため、メインタンク２内に収容された恒温液１の保温と液位の調整とを、サブタンク３内の同じ空隙９を利用して達成することが可能となる。その結果、メインタンク２から従来使用されていた断熱材を排除することができるため、循環装置全体を小型軽量化して製造コストを抑制することができ、しかも、該装置を廃棄するにあたって、断熱材の分離作業を必要としないため、廃棄コストを抑制することも可能となる。

さらに、上記サブタンク３には、該サブタンク３内の空隙９に収容された恒温液１を外部に排出するための液排出機構１０が設けられている。具体的には、該液排出機構１０は、上記サブタンク３における底部の側壁３ａであって上記メインタンク２の底面よりも低い位置に開設された排出口１０ａと、該排出口１０ａを開閉するための第１のバルブ１０ｂとによって構成されている。なお、この排出口１０ａはサブタンク３の底板３ｂに開設されていても良い。サブタンク３内の空隙９に恒温液１が収容されていると、該空隙９による断熱効果が低下してしまうが、循環装置の運転開始後、恒温液１が負荷４内の流路、送り管５及び戻り管６の全体に行き渡り、かつメインタンク２内に適正液位の恒温液１が確保された状態（図３（ｄ）参照）、すなわち定常運転時において、上記第１のバルブ１０ｂを開いて上記排出口１０ａを開放し、サブタンク３内の空隙９に残留した恒温液１を外部に排出することにより、空隙９による断熱効果が低下するのを防ぐことができる。

上記負荷４は、例えば熱負荷であり、この場合の恒温液１は冷却液である。この恒温液１としての冷却液には、例えば完全フッ素系液体や純水、エチレングリコールなどが使用される。
上記液位調整機構は、具体的には、メインタンク２における上部の側壁２ａに開設されて第２のバルブ１１ｂによって開閉される吐出口１１ａと、メインタンク内とサブタンク内の空隙とを接続する供給管１２ａ上に設けられた調整ポンプ１２とを有している。そして、第２のバルブ１１ｂを開いて吐出口１１ａを開放することにより、メインタンク２内に収容された恒温液１をサブタンク３内の空隙９にオーバーフローさせることができ、また、調整ポンプ１２を駆動することにより、サブタンク３内の空隙９に収容された恒温液１が、供給管１２ａを通じてサブタンク３の底部から汲み上げられてメインタンク２の上部へと供給されるようになっている。なお、上記調整ポンプ１２は、浸漬型のポンプであっても良い。

上記メインタンク２には、該メインタンク２内に収容された恒温液１の液位を検知するための第１の液位検知手段１３が設けられ、上記サブタンク３には、該サブタンク３内の空隙９に収容された恒温液１の液位を検知するための第２の液位検知手段１４が設けられている。具体的には、上記第１の液位検知手段１３は、メインタンク２内における上記吐出口１１ａよりも低い位置であって、該メインタンク２の最低液位に対応する高さに配設されたレベルセンサＡと、メインタンク２内における上記吐出口１１ａよりも高い位置であって、該メインタンク２の最高液位に対応する高さに配設されたレベルセンサＢとによって構成されており、一方、上記第２の液位検知手段１４は、サブタンク３の底部における上記排出口１０ａよりも高い位置であって、メインタンク２の底面よりも低い位置に配設されたレベルセンサＣによって構成されている。なお、上記各液位検知手段１３，１４としては、上述のようなレベルセンサに限ることなく、レベルスイッチ等、液位を検知することができるものであれば何を使用しても良い。

そして、第１の液位検知手段１３により、メインタンク２内の液位が所定の最低液位よりも低いことが検知され、かつ第２の液位検知手段１４により、サブタンク３内の液位が所定液位以上であることが検知されると、すなわち、レベルセンサＡによって恒温液１が検知されず、かつレベルセンサＣによって恒温液１が検知されると、調整ポンプ１２が駆動されて、恒温液１がサブタンク３内の空隙９からメインタンク２内へと供給されるようになっている。

また、第１の液位検知手段１３により、メインタンク２内の液位が所定の最高液位以上であることが検知されると、すなわち、レベルセンサＢによって恒温液１が検知されると、上記第２のバルブ１１ｂが開かれて、オーバーフローしたメインタンク２内の恒温液１が、吐出口１１ａを通じてサブタンク３内の空隙９へと吐出される。なお、上記第２のバルブ１１ｂが手動で開閉されるようにして、その開操作を促すための警報を発するようにしても良い。

また、上述したような循環装置の定常運転時において、第１の液位検知手段１３により、メインタンク２内の液位が所定の最低液位以上であることが検知され、かつ第２の液位検知手段１４により、サブタンク３内の液位が所定液位以上であることが検知されると、すなわち、レベルセンサＡ及びレベルセンサＣによって同時に恒温液１が検知されると、上記第１のバルブ１０ｂにより上記排出口１０ａが開放されて、サブタンク３内の空隙９に収容された恒温液１が外部に排出される。

さらに、第１の液位検知手段１３により、メインタンク２内の液位が所定の最低液位よりも低いことが検知され、かつ第２の液位検知手段１４により、サブタンク３内の液位が所定液位よりも低いことが検知されると、すなわち、レベルセンサＡ及びＣの何れによっても恒温液１が検知されない場合には、恒温液１をサブタンク３の注入口３ｄからその空隙９に補充することを促すための警報を発する。
ここで、図４に示すように、恒温液１が収容された補助タンク１５を第３のバルブ１５ａを介して該サブタンク３にその外部から接続して、レベルセンサＡ及びＣの何れによっても恒温液１が検知されない場合に、上記第３のバルブ１５ａが開かれて補助タンク１５からサブタンク３の空隙９に恒温液１が補充されるようにしても良い。または、第３のバルブ１５ａが手動で開閉されるようにして、この第３のバルブ１５ａの開操作を促すための警報を発するようにしても良い。

次に、上記第１の実施例に係る恒温液循環装置の動作を図２及び図３に基づいて詳細に説明する。
まず、運転開始時においては、図２に示すように、注入口３ｄから恒温液１をサブタンク３内の空隙９に注入して、レベルセンサＣにより恒温液１が検知され、かつレベルセンサＡにより恒温液１が検知されない状態になると、調整ポンプ１２を駆動させて、上記センサＡが恒温液１を検知するようになるまで、恒温液１をサブタンク３内の空隙９からメインタンク２内に汲み上げる。そのとき、サブタンク３内には、負荷４内の流路、送り管５及び戻り管６へと送り込まれる分の恒温液１を余分に注入しておく。（図２（ａ））
そして、循環ポンプ７を駆動させるとメインタンク２内の恒温液１が、送り管５から負荷４内の流路及び戻り管６へと順次送り込まれ、それによってメインタンク２内の液位が低下してレベルセンサＡが恒温液１を検知しなくなると、調整ポンプ１２を駆動させてサブタンク３内の恒温液１をメインタンク２内に汲み上げる。（図２（ｂ）〜図２（ｄ））このとき、最終的にサブタンク３内に残留した恒温液１は、第１のバルブ１０ｂを開いて排出口１０ａからサブタンク３の外部へと排出される。

続いて、定常運転時においては、温度調節手段８で温度調節された恒温液１が、循環ポンプ７によりメインタンク２から送り管５及び戻り管６を通じて負荷４に循環的に供給され、同時に、温度調節されてメインタンク２内に収容された恒温液１が、サブタンク３内の空隙９による断熱効果によって保温される。
ところで、恒温液１として温度により体積を大きく変化させる完全フッ素系液体等を使用した場合において、温度調節手段８により恒温液１の設定温度を高く変更して恒温液１の温度がそれまでよりも高い温度に変化した時には、該恒温液１の体積が大きくなる。そのため、定常運転時にメインタンク２内の恒温液１がレベルセンサＢによって検知されると、第２のバルブ１１ｂを開いて恒温液１を吐出口１１ａからサブタンク３内の空隙９へとオーバーフローさせる。そして、そのサブタンク３内の恒温液１がレベルセンサＣによって検知されると、第１のバルブ１０ｂを開いて恒温液１を排出口１０ａからサブタンク３の外部へと排出する。なお、レベルセンサＢによって恒温液１が検知されなくなったら第２のバルブ１１ｂを閉じる。

一方、温度調節手段８により恒温液１の設定温度を低く変更して恒温液１の温度がそれまでよりも低い温度に変化した時には、恒温液１の体積が小さくなる。そのため、定常運転時にメインタンク２内の恒温液１がレベルセンサＡによって検知されなくなると、恒温液１をサブタンク３内に必要量補充するように指示する。そして、補充された恒温液１がレベルセンサＣによって検知されると、それを調整ポンプ１２で汲み上げてレベルセンサＡによって検知されるまでメインタンク２に供給する。このとき、最終的にサブタンク３内に残留した恒温液１は、第１のバルブ１０ｂを開いて排出口１０ａからサブタンク３の外部へと排出される。

さらに、運転終了時に恒温液１をタンク２，３に回収する場合には、まず、結露が生じるのを防止するため、温度調節手段８によって恒温液１の温度を室内の露点温度よりも高く調節する。それから、図３に示すように、エアパージ等により、負荷４内の流路、送り管５及び戻り管６の中に充満している恒温液１をメインタンク２に回収する。そして、メインタンク２内の液位が上昇して（図３（ｂ））、レベルセンサＢによって恒温液１が検知されると、第２のバルブ１１ｂを開いて吐出口１１ａからサブタンク３内の空隙９へと恒温液１をオーバーフローさせる（図３（ｃ））。さらに、恒温液１の回収が終了してレベルセンサＢによって恒温液１が検知されなくなったことを確認したら、第２のバルブ１１ｂを閉じる（図３（ｄ））。なお、回収が終了する前にサブタンク３の液位が第２のバルブ１１ｂの高さに達した場合には、レベルセンサＢが液位の異常を検知して警報を発するようにすることが望ましい。

図５〜７は、本発明に係る恒温液循環装置の第２〜第４の実施例を示している。ここで、第１の実施例と同じ構成部分については、重複記載を避けるため、その詳細な説明は省略することとする。
まず、図５に示す第２の実施例においては、上記液位調整機構が、メインタンク２における上部の側壁２ａであって恒温液１の最高液位に対応する高さ位置に開設された吐出口１６と、調整ポンプ１２としての浸漬型のポンプとを有しており、上記吐出口１６によって、メインタンク２内とサブタンク３内の空隙９とが常時連通されている。そのため、本実施例においては、第１の実施例における第２のバルブ１１ｂが省略されている。

次に、図６に示す第３の実施例においては、上記液位調整機構が、メインタンク２内とサブタンク３内の空隙９との間で恒温液１を給排するための調整ポンプ１２を有しており、該調整ポンプ１２に接続された供給管１２ａのメインタンク２側の端部が、メインタンク２の最高液位に対応する高さ位置に開口している。そのため、本実施例においては、上記第１の実施例における吐出口１１ａ及び第２のバルブ１１ｂが省略されている。

さらに、図７に示す第４の実施例においては、上記液位調整機構が、サブタンク３内の空隙９に圧縮ガスを供給するためのガス供給源１７と、メインタンク２における底部の側壁２ａに開設されて第３のバルブ１８ｂにより開閉される給排口１８ａとを有していて、上記サブタンク３内の空隙９の圧力を調整して、上記給排口１８ａを通じて恒温液１をメインタンク２内とサブタンク３内の空隙９との間で給排することにより、メインタンク２内の液位を調整することができるようになっている。また、循環ポンプ７として、浸漬型のポンプを採用している。そのため、本実施例においては、第１の実施例における調整ポンプ１２、吐出口１１ａ及び第２のバルブ１１ｂが省略されている。なお、上記給排口１８ａはメインタンク２の底板２ｂに設けても良い。

本発明に係る恒温液循環装置の第１の実施例を示す概略図である。上記恒温液循環装置の運転開始時における動作を示す概略図である。上記恒温液循環装置の運転終了時における動作を示す概略図である。上記恒温液循環装置の他の形態を示す概略図である。本発明に係る恒温液循環装置の第２の実施例を示す概略図である。本発明に係る恒温液循環装置の第３の実施例を示す概略図である。本発明に係る恒温液循環装置の第４の実施例を示す概略図である。

符号の説明

１恒温液
２メインタンク
３サブタンク
４負荷
５送り管
６戻り管
７循環ポンプ
８温度調節手段
９空隙
１０液排出機構
１０ａ排出口
１０ｂ第１のバルブ
１１ａ，１６吐出口
１１ｂ第２のバルブ
１２調整ポンプ
１３第１の液位検知手段
１４第２の液位検知手段
Ａ，Ｂ，Ｃレベルセンサ
１５補助タンク
１７ガス供給源
１８ａ給排口
１８ｂ第３のバルブ

Claims

温度調節された恒温液を収容するための有底で閉蓋されたメインタンクと、該メインタンク全体が内部に配設されている有底で閉蓋されたサブタンクと、上記メインタンクと恒温液を供給すべき負荷とを接続する送り管及び戻り管と、これら送り管及び戻り管を通じて負荷に恒温液を循環的に供給するための循環ポンプとを備え、
上記サブタンク内において、メインタンクは、その周囲全体に断熱層としての空隙を介在させて支持されており、
上記サブタンクには、当該装置の定常運転時に該サブタンク内の空隙に収容された恒温液を外部に排出するための液排出機構が設けられており、
上記メインタンク内と上記サブタンク内の空隙との間で恒温液を給排することによりメインタンク内の液位を調整する液位調整機構を有している、
ことを特徴とする恒温液循環装置。
上記液排出機構が、上記サブタンクの底部に開設されて第１のバルブにより開閉される排出口を有している、
ことを特徴とする請求項１に記載の恒温液循環装置。
上記メインタンクには、該メインタンク内に収容された恒温液の液位を検知するための第１の液位検知手段が設けられ、
上記サブタンクには、該サブタンク内の空隙に収容された恒温液の液位を検知するための第２の液位検知手段が設けられ、
定常運転時において、上記第１の液位検知手段によりメインタンク内の液位が所定の最低液位以上であることが検知され、かつ上記第２の液位検知手段によりサブタンク内の液位が所定液位以上であることが検知された際に、上記液排出機構によってサブタンク内の空隙に収容された恒温液を外部に排出するように構成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の恒温液循環装置。
上記液位調整機構が、上記メインタンクの上部に設けられて、該メインタンク内に収容された恒温液を上記サブタンク内の空隙にオーバーフローさせるための吐出口と、サブタンク内の空隙に収容された恒温液をメインタンク内に供給するための調整ポンプとを有している、
ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の恒温液循環装置。
上記吐出口が、上記メインタンクの側壁に開設されていて、該吐出口を開閉するための第２のバルブを備えている、
ことを特徴とする請求項４に記載の恒温液循環装置。
上記液位調整機構が、上記メインタンク内と上記サブタンク内の空隙との間で恒温液を給排するための調整ポンプを有している、
ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の恒温液循環装置。
上記液位調整機構が、サブタンク内の空隙に圧縮ガスを供給するためのガス供給源と、メインタンクの底部に開設されて第３のバルブにより開閉される給排口とを有しており、上記サブタンク内の空隙の圧力を調整して、上記給排口を通じて恒温液をメインタンク内とサブタンク内の空隙との間で給排することにより、メインタンク内の液位を調整するように構成されている、
ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の恒温液循環装置。