JP3965701B2 - 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。

従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する治具に実装し、治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。

同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。

しかし、治具については、電子部品を実装する端子と同軸ケーブルに接続する同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、治具間の特性を一致するように治具を調整することは、極めて困難である。

そこで、補正データ取得用試料を複数の治具に実装して測定し、治具間における測定値のばらつきから、ある治具（これを、「基準治具」と言う。）と他の治具（これを、「試験治具」と言う。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、この数式を用いて、任意の電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出することが提案されている。例えば、基準治具はユーザに対して電気特性を保証するために用い、試験治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。具体的には、試験治具誤差を除去する散乱行列と基準治具誤差の散乱行列を合成した散乱行列（これを、「相対補正アダプタ」という。）を各ポートごとに導出する。その相対補正アダプタを、試験治具測定値の散乱行列に対し合成することで基準治具測定値を推定する。相対補正アダプタは、各ポートごとに基準治具、試験治具の両方で少なくとも３つの１ポート標準試料を測定し、この測定結果から計算できる（例えば、非特許文献１、２参照）。

また、特許文献１には、基準治具（ユーザー保証状態等）の測定値を、試験治具（量産工程用等）の測定結果から数学的に推定する方法（解析式相対補正法）が開示されている。具体的には、基準治具と試験治具において同じ試料を測定していることを利用し、基準治具における測定値と試料真値の関係式、及び試験治具における測定値と試料真値の関係式から試料真値の値を取り除くことにより、基準治具における測定値と試験治具における関係式を導出している。そして、その関係式を使い、試験治具測定値から基準治具測定値を推定する。関係式の未知数は、標準試料を基準治具、及び試験治具において測定した値から導出する。標準試料の数は関係式の未知数の数によって決定される。

非特許文献３には、ネットワークアナライザの試料測定値から、試料真値を導出する方法、すなわちネットワークアナライザの校正方法が開示されている。真値が機械寸法で値付けされた標準器を校正が行われていない測定器で測定をする。そして、その測定値と標準器真値の関係から、測定器の誤差を導出する。その誤差を試料測定値から取り除く計算を行うことにより試料真値を推定する。
特開２００３−２４０８７２７号公報 ＧＡＫＵ ＫＡＭＩＴＡＮＩ（Ｍｕｒａｔａ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．） "Ａ ＭＥＴＨＯＤ ＴＯ ＣＯＲＲＥＣＴ ＤＩＦＦＥＲＥＮＣＥ ＯＦ ＩＮ−ＦＩＸＴＵＲＥ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ ＡＭＯＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＳ ＯＮ ＲＦ ＤＥＶＩＣＥＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．２， ｐ１０９４−１０９７， ２００３ Ｊ．Ｐ．ＤＵＮＳＭＯＲＥ， Ｌ．ＢＥＴＴＳ （Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ） "ＮＥＷ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＣＯＲＲＥＬＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＤ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．１， ｐ５６８−５７１， ２００３ Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｎｏｔｅ １２８７−３

非特許文献１，２の方法は、例えば図２６の手順で測定誤差の補正を行う。すなわち、基準治具に接続されるネットワークアナライザについて予め校正を行った後（Ｓ１）、３種類の１ポート標準試料を基準治具に実装して測定を行う（Ｓ２）。同様に、試験治具に接続されるネットワークアナライザについて予め校正を行った後（Ｓ３）、同じ３種類の１ポート標準試料を試験治具に実装して測定を行う（Ｓ４）。そして、３種類の１ポート標準試料について基準治具と試験治具とに実装してそれぞれ測定した測定結果から、試験治具と基準治具の測定値を対応つける相対補正アダプタを導出する（Ｓ５）。相対補正アダプタが決まれば、試験治具に接続するネットワークアナライザについて予め校正を行った後（Ｓ６）、試験治具に試料を実装して測定し（Ｓ７）、その測定結果と相対補正アダプタとを合成することにより、基準治具にその試料を実装したならば得られるであろう測定値を推定する（Ｓ８）。

この場合、相対補正アダプタは、ネットワークアナライザは正しく校正されているとの前提で、治具間誤差の差異のみに着目した誤差モデルに基づいて導出されるため、ネットワークアナライザが持つ誤差要因（方向性等）には対応できない。基準治具と試験治具の双方の測定に際して、ネットワークアナライザの校正を必ず行う必要がある。そのため、電子部品の製造工程で用いる試験治具は、コネクタとケーブルを取り外して校正を行う作業が必要となる。しかし、この作業は困難であり、手間と時間がかかる。加えて、コネクタの付け外しの際にケーブルが断線したり、コネクタや校正用標準器が磨耗したり、コネクタ締め付けのばらつきにより測定誤差が発生したりする。

特許文献１に開示された解析式相対補正法の誤差モデルにおいては、ネットワークアナライザが持つ誤差をモデル化しているため、解析式相対補正法を使用する際においてネットワークアナライザの校正を行う必要はない。しかし、特許文献１に開示されている試験治具測定値から基準治具測定値を求める関係式の導出方法、具体的には標準試料の真値が基準測定時と試験治具測定時で等しいとし、両測定値の標準試料真直と測定値の関係式から標準試料真値を消去し、試験治具測定値と基準治具測定値の関係式を求める方法では、数学的困難さから２ポートまでしか導出されていない。そのため、３ポート以上の試料には対応できない。

非特許文献３の方法では、同軸（導波管）形状の試料に対しては、標準器が精度よく作製されるために試料直前での校正面を作ることができるが、同軸形（導波管）状ではない試料に対しては標準器が精度よく作製できないために、試料直前で校正面を作ることは不可能である。そのため、測定治具を使用した同軸形（導波管）状ではない試料測定において、治具先端で校正ができないため測定治具誤差要因の治具間ばらつきによって測定再現性が取れないという問題点がある。

本発明は、上記実情に鑑み、測定器の校正を行うことなく電気特性を測定することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。

測定誤差の補正方法は、第１の測定系において電子部品を測定した結果から、当該電子部品を第２の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。測定誤差の補正方法は、第１乃至第５のステップを備える。前記第１のステップは、前記第１の測定系と前記第２の測定系において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第２のステップは、前記第１の測定系と前記第２の測定系において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する。前記第３のステップは、前記第１のステップ及び前記第２のステップで得られた測定結果から、前記第１の測定系と前記第２の測定系の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する。前記第４のステップは、任意の電子部品を前記第１の測定系において測定する。前記第５のステップは、前記第４のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記第２の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する。

上記方法は、第１の測定系で測定した試験状態の測定値を第２の測定系で測定した基準状態の測定値（推定値）に補正するための数式を、補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイスの測定値に基づいて決める。測定系は、測定系に含まれる測定器そのものに電子部品を実装して測定しても、測定器に治具を接続し、この治具に電子部品を実装して測定するようにしてもよい。補正データ取得用試料や補正データ取得用スルーデバイスの真値は不明であっても、第１の測定系と第２の測定系の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができる。

上記方法によれば、第１の測定系の測定器の誤差特性や第２の測定系の測定器の誤差特性を含めて、第１の測定系と第２の測定系の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができるので、第１の測定系の測定器の校正や第２の測定系の測定器の校正を行う必要がない。

これにより、第１の測定系と第２の測定系でそれぞれ別個の治具を用いる場合、多大な時間と労力を要する治具間差異の調整が不要となる。また、測定器と治具を含めた測定系全体について補正を行うので、測定器を構成するために治具を着脱することが不要となり、治具の着脱に伴う問題が解消される。すなわち、時間がかかり熟練を要する手作業による治具の着脱作業が不要になり、治具の着脱作業に伴うケーブルの断線やコネタク等の着脱部分の摩耗、コネクタ等の締め付け力のばらつきによる測定誤差などが解消される。

好ましくは、前記第２の測定系が測定器を含み、該測定器が単独で校正される。

第１の測定系による測定値は第２の測定系を基準に補正するので、基準となる第２の測定系の測定器は、校正されていることが好ましい。

好ましくは、前記第３のステップで決定する前記数式は、次の数式１〜数式５を含む。

前記数式１〜前記数式３は、前記第１の測定系の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記第２の測定系の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第１の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，１，ＣＡ_ＳＦ）について、前記第１のステップにおいて３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記第１の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｔｉ）と、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記第２の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｄｉ）とを用いて表される。前記数式４及び数式５は、前記第１の測定系の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記第２の測定系の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第２の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＬＦ，ｘ，ＣＡ_ＴＦ，ｘ）（ｘは任意）について、前記第２のステップにおいて前記補正データ取得用スルーデバイスについて測定した測定結果から算出した、前記第２の測定系の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_１１ＴＤと前記第２の測定系の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_２１ＴＤと、前記第１の相対補正アダプタを前記第１の測定系における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（Ｓ_１１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩ）とを用いて表される。

この場合、第１の測定系による測定値と第２の測定系による測定値とを対応付ける相対補正アダプタを、測定の方向により誤差特性が異なる場合、測定方向ごとに求めることができる。したがって、測定系が測定方向によって誤差特定が異なる測定器を含んでも、相対補正アダプタを用いて、精度よく誤差を補正することができる。

好ましくは、前記第２のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。

ポート間で出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。

また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。

電子部品特性測定装置は、電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。前記電子部品特性測定装置は、前記電子部品を測定する測定手段と、前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第２の測定値とを格納する、記憶手段と、前記記憶手段に格納された前記第１の測定値及び前記第２の測定値から、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する、数式決定手段と、任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式決定手段が決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備える。

上記構成において、測定手段で測定した試験状態の測定値を他の測定装置で測定した基準状態の測定値（推定値）に補正するための数式を、補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイスの測定値に基づいて決める。測定手段や他の測定装置は、測定器そのものに電子部品を実装して測定しても、測定器に治具を接続し、この治具に電子部品を実装して測定するようにしてもよい。補正データ取得用試料や補正データ取得用スルーデバイスの真値は不明であっても、対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができる。

上記構成によれば、測定手段の誤差特性と、測定手段の順方向と逆方向の特性差とを含めて、測定手段と他の測定装置の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができるので、測定手段の校正を行う必要がない。

好ましくは、前記他の測定装置は、校正された測定器を含む。

すなわち、測定手段により測定された測定値を他の測定装置を基準に補正するので、基準となる他の測定装置の測定器は、校正されていることが好ましい。

好ましくは、前記数式決定手段が決定する前記数式は、次の数式１〜数式５を含む。

前記数式１〜前記数式３は、前記測定手段の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第１の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，１，ＣＡ_ＳＦ）について、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記測定手段の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｔｉ）と、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記他の測定装置の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｄｉ）とを用いて表される。前記数式４及び数式５は、前記測定手段の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第２の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＬＦ，ｘ，ＣＡ_ＴＦ，ｘ）（ｘは任意）について、前記第２の測定値から算出した、前記他の測定装置の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_１１ＴＤと前記他の測定装置の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_２１ＴＤと、前記第１の相対補正アダプタを前記測定手段における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（Ｓ_１１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩ）とを用いて表される。

この場合、測定手段による測定値と他の測定装置による測定値とを対応付ける相対補正アダプタを、測定の方向により誤差特性が異なる場合、測定方向ごとに求めることができる。したがって、測定手段や他の測定装置が測定方向によって誤差特定が異なる測定器を含んでいても、相対補正アダプタを用いて、精度よく誤差を補正することができる。

好ましくは、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である

ポート間で出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。

また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。

電子部品特性測定装置は、電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。前記電子部品特性測定装置は、前記電子部品を測定する測定手段と、前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第２の測定値とから決定した、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を格納する、数式格納手段と、任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式格納手段に格納された前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備える。

上記構成において、測定手段で測定した試験状態の測定値を他の測定装置で測定した基準状態の測定値（推定値）に補正するための数式を、補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイスの測定値に基づいて決める。測定手段や他の測定装置は、測定器そのものに電子部品を実装して測定しても、測定器に治具を接続し、この治具に電子部品を実装して測定するようにしてもよい。補正データ取得用試料や補正データ取得用スルーデバイスの真値は不明であっても、対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができる。

上記構成によれば、測定手段の誤差特性と、測定手段の順方向と逆方向の特性差とを含めて、測定手段と他の測定装置の対応するポートの測定値を関連付ける数式を決定することができるので、測定手段の校正を行う必要がない。

好ましくは、前記他の測定装置は、校正された測定器を含む。

すなわち、測定手段により測定された測定値を他の測定装置を基準に補正するので、基準となる他の測定装置の測定器は、校正されていることが好ましい。

好ましくは、前記数式格納手段に格納される前記数式は、次の数式１〜数式５を含む。

前記数式１〜前記数式３は、前記測定手段の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第１の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，１，ＣＡ_ＳＦ）について、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記測定手段の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｔｉ）と、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記他の測定装置の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｄｉ）とを用いて表される。前記数式４及び数式５は、前記測定手段の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第２の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＬＦ，ｘ，ＣＡ_ＴＦ，ｘ）（ｘは任意）について、前記第２の測定値から算出した、前記他の測定装置の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_１１ＴＤと前記他の測定装置の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_２１ＴＤと、前記第１の相対補正アダプタを前記測定手段における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（Ｓ_１１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩ）とを用いて表される。

この場合、測定手段による測定値と他の測定装置による測定値とを対応付ける相対補正アダプタを、測定の方向により誤差特性が異なる場合、測定方向ごとに求めることができる。したがって、測定手段や他の測定装置が測定方向によって誤差特定が異なる測定器を含んでいても、相対補正アダプタを用いて、精度よく誤差を補正することができる。

好ましくは、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。

ポート間で出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。

本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、測定器の校正を行うことなく電気特性を測定することができる。また、３ポート以上の電子部品にも適用することができる。

相対アダプタ型補正法のフローチャートである。（実施例） 測定系の構成図である。（実施例） 誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例） 誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例） 誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例） 相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例） 相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例） 相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例） 相対補正アダプタを含むシグナルフローダイヤグラムである。（実施例） 測定装置のブロック図である。（実施例） 電子部品の特性図である。（実施例） 電子部品の特性図である。（実施例） 電子部品の特性図である。（実施例） 電子部品の特性図である。（比較例１） 電子部品の特性図である。（比較例１） 電子部品の特性図である。（比較例１） 電子部品の特性図である。（実施例） 電子部品の特性図である。（実施例） 電子部品の特性図である。（比較例１） 電子部品の特性図である。（比較例１） 電子部品の特性図である。（比較例２） 電子部品の特性図である。（比較例２） 電子部品の特性図である。（比較例２） 電子部品の特性図である。（比較例２） 電子部品の特性図である。（比較例２） 相対アダプタ型補正法のフローチャートである。（従来例）

符号の説明

１０ 測定系（第２の測定系）
１２ 測定装置
１６ 基準治具
２０ 測定系（第１の測定系）
２２ 測定装置
２６ 基準治具
５２ 表示部
５４ 操作部
５６ 測定部（測定手段）
５８ 制御部
６０ 記憶部（記憶手段、数式記憶手段）
６２ 演算部（数式決定手段、電気特性推定手段）
６４ インターフェース部

以下、本発明の実施の形態について、図１〜図２６を参照しながら説明する。

まず、本発明の相対補正法による測定誤差の補正方法の手順の概要について説明する。

図１に示すように、３種類の１ポート標準試料とスルー標準試料を基準治具に実装してそれぞれ測定を行う（Ｓ１０，Ｓ１２）。同じ３種類の１ポート標準試料とスルー標準試料を試験治具に実装してそれぞれ測定を行う（Ｓ１４，Ｓ１６）。そして、３種類の１ポート標準試料とスルー標準試料について、基準治具と試験治具とに実装して測定した測定結果から、試験治具での測定値と基準治具での測定値を対応つける相対補正アダプタを導出する（Ｓ１８）。次に、試験治具に試料を実装して測定し（Ｓ２０）、その測定結果と相対補正アダプタとを合成することにより、基準治具にその試料を実装したならば得られるであろう測定値を推定する（Ｓ２２）。本発明の相対補正法による測定誤差の補正方法では、従来例では必須であったネットワークアナライザの校正（図２６におけるＳ１，Ｓ３，Ｓ６）が任意となる。

図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、電子部品は、異なる測定系１０，２０で測定する。いずれの測定系１０，２０においても、治具１６，２６の実装部１８，２８に電子部品を実装した状態で、測定装置１２，２２を用いて電気特性の測定を行う。測定時には、治具１６，２６に設けられた同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃに、測定装置１２，２２に接続された同軸ケーブル１３ａ，１３ｂ，１３ｃ；２３ａ，２３ｂ，２３ｃの先端に設けられた同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃを接続する。

図示していないが、治具１６，１８の実装部１８，２８には、電子部品の各端子にそれぞれ圧接する接続端子が設けられ、その接続端子が同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃにそれぞれ電気的に接続されている。

測定装置１２，２２には、例えばネットワークアナライザを用いる。ネットワークアナライザは、複数のポートを有し高周波で用いられる電子部品の電気特性を単に測定するだけでなく、任意に設定したプログラムにより測定した生データを演算して出力する機能も備えている。

一方の測定系１０の治具１６（以下、「基準治具１６」と言う。）は、例えばユーザに対して電気特性を保証するために用いる。他方の測定系２０の治具２６（以下、「試験治具２６」と言う。）は、例えば電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。

基準治具１６に実装して測定系１０で測定したとき（以下、「基準状態」ともいう。）の電子部品の電気的特性の測定結果と、試験治具２６に実装して測定系２０で測定したとき（以下、「試験状態」ともいう。）の電子部品の電気的特性の測定結果とは、それぞれ測定誤差を含む。この測定誤差は、相対補正法によって補正する。すなわち、予め、測定系１０，２０間の相対的な測定誤差を補正する数式を導出しておく。そして、任意の電子部品について、試験治具２６に実装して測定した結果から、導出した数式を用いて、その電子部品を基準治具１６に実装して測定したならば得られるであろう電気特性を推定する。

次に、電子部品を試験治具２６に実装した試験状態の測定結果から、基準治具１６に実装した基準状態の電気特性を推定する方法の基本原理について、説明する。

以下では、簡単のため、２ポート間の電気特性について２端子対回路を例に説明するが、ｎ端子対回路（ｎは、１、又は３以上の整数）に対しても拡張することができる。

図３（ａ）は、基準治具１６に、２ポートの電子部品（以下、「試料ＤＵＴ」と言う。）を実装した基準状態の測定系１０の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（Ｓ_ＤＵＴ）で表している。基準治具１６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（Ｆ_Ｄ１），（Ｆ_Ｄ２）で表している。基準治具１６に接続される測定装置１２の誤差特性を散乱行列（Ｍ_Ｄ１），（Ｍ_Ｄ２）で表している。

図４（ａ）は、試験治具２６に試料ＤＵＴを実装した試験状態の測定系２０の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（Ｓ_ＤＵＴ）で表している。試験治具２６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（Ｆ_Ｔ１），（Ｆ_Ｔ２）で表している。基準治具２６に接続された測定装置２２の誤差特性を散乱行列（Ｍ_Ｔ１），（Ｍ_Ｔ２）で表している。

図４（ａ）において散乱行列（Ｓ_ＤＵＴ）の左右の散乱行列をそれぞれ合成し、図４（ｂ）のように散乱行列（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）で表す。散乱行列（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）は、試験治具２６と測定装置２２の誤差特性を合成したものである。

図３（ｂ）は、図４（ｂ）の回路の両側に、誤差特性（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）を中和するアダプタ（Ｅ_Ｔ１）^−１，（Ｅ_Ｔ２）^−１を接続した状態を示す。このアダプタ（Ｅ_Ｔ１）^−１，（Ｅ_Ｔ２）^−１は、理論上は、誤差特性の散乱行列（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）とアダプタ（Ｅ_Ｔ１）^−１，（Ｅ_Ｔ２）^−１との間の境界部分において、試験治具２６に試料ＤＵＴを実装した試験状態の測定値Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔが得られる。図３（ｂ）の回路は、試験状態の測定系２０の誤差が除去され、回路の両側の端子において、試料ＤＵＴそのものの測定値Ｓ_{１１ＤＵＴ}，Ｓ_{２１ＤＵＴ}が得られる。

図３（ｂ）の回路は試料ＤＵＴのみと等価であるので、図３（ａ）と同様に、両側に、基準治具１６の誤差特性の散乱行列（Ｆ_Ｄ１），（Ｆ_Ｄ２）と、基準治具１６に接続された測定装置１２の誤差特性の散乱行列（Ｍ_Ｄ１），（Ｍ_Ｄ２）を接続すると、図５（ａ）のようになる。

図５（ａ）において符号３０で示した（Ｍ_Ｄ１），（Ｅ_Ｄ１），（Ｅ_Ｔ１）^−１を合成した散乱行列を（ＣＡ１）、符号３２で示した（Ｅ_Ｔ２）^−１，（Ｅ_Ｄ２），（Ｍ_Ｄ２）を合成した散乱行列を（ＣＡ２）とすると、図５（ｂ）のようになる。（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、試験状態の測定値Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔと基準状態の測定値Ｓ_１１Ｄ，Ｓ_２１Ｄとを関係付ける。したがって、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）が決まれば、試験状態の測定値Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔから基準状態の測定値Ｓ_１１Ｄ，Ｓ_２１Ｄを推定することができる。

この相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、測定系１０，２０の測定装置１２，２２の誤差特性を含む。測定装置１２，２２は、方向性結合器等により誤差特性に方向性がある。そのため、図６に示すように、順方向測定時と逆方向測定時で独立した相対補正アダプタを求める。このように順方向・逆方向２つの独立した相対補正アダプタを仮定することにより、従来の補正アダプタ型相対補正法では対応不可能であった誤差方向性などネットワークアナライザに含まれる複雑な誤差にも対応可能となっている。そのため、ネットワークアナライザの校正を行わずして、相対補正法が適用可能となっている。

図６中の符号の意味は次の通りである。
Ｓｒｃ：測定系に与えられる刺激（Ｓｔｉｍｕｌｕｓ）であり、具体的には信号源出力を示す。散乱係数測定は比測定であるので、これを基準（つまり、１）とする。
Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔ，Ｓ_１２Ｔ，Ｓ_２２Ｔ：試験状態における測定値の散乱係数。
Ｓ_１１Ｄ，Ｓ_２１Ｄ，Ｓ_１２Ｄ，Ｓ_２２Ｄ：基準状態における測定値の散乱係数。
ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＤＲ：順方向・逆方向の方向性
ＣＡ_ＲＦ，ＣＡ_ＲＲ：順方向・逆方向の反射トラッキング
ＣＡ_ＳＦ，ＣＡ_ＳＲ：順方向・逆方向のソース整合
ＣＡ_ＬＦ，ＣＡ_ＬＲ：順方向・逆方向の負荷整合
ＣＡ_ＴＦ，ＣＡ_ＴＲ：順方向・逆方向の伝送トラッキング

なお、このモデルにおいて、従来の補正アダプタ型相対補正法のモデルと同様に、基準状態及び試験状態における漏洩は考えない。

図６に示された相対補正アダプタの未知数は、順方向・逆方向含め１２個ある。この未知数は、任意に値付けされた標準試料を基準状態、試験状態にて測定することにより、導出する。相対補正アダプタの未知数の導出方法は順方向・逆方向とも同じであるので、ここでは、順方向を例に導出手順を示す。

まず、ポート１側の相対補正アダプタの未知数ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，ＣＡ_ＳＦを導出する。これは、図７に示すように、任意の異なった値を持つ１ポート標準試料を３つ用意し、基準状態及び試験状態にてＳ_１１Ｄｉ，Ｓ_１１Ｔｉ（ｉ＝１，２，３）を測定することによって、次のように導出される。

次に、ポート２側の相対補正アダプタの未知数を導出する。この場合、図８に示すように、任意の値を持つスルーデバイス標準試料を１つ用意し、試験状態における測定値散乱係数Ｓ_１１ＴＴ，Ｓ_２１ＴＴ，Ｓ_１２ＴＴ，Ｓ_２２ＴＴ、及び基準状態におけるポート１に信号入力した場合の測定値Ｓ_１１ＴＤ，Ｓ_２１ＴＤを測定する。

ここで、すでに（数式１）〜（数式３）により導出されたポート１側の相対補正アダプタＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＳＦ，ＣＡ_ＲＦと、スルーデバイス標準試料の試験治具測定値散乱係数Ｓ_１１ＴＴ，Ｓ_２１ＴＴ，Ｓ_１２ＴＴ，Ｓ_２２ＴＴを合成することにより、図９（ａ）から図９（ｂ）のモデルに置きかえられる。

このとき、ポート１側の相対補正アダプタＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＳＦ，ＣＡ_ＲＦと、スルーデバイス標準試料の試験治具測定値散乱係数Ｓ_１１ＴＴ，Ｓ_２１ＴＴ，Ｓ_１２ＴＴ，Ｓ_２２ＴＴを合成した散乱係数をＳ_１１ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩと置いている。

図９（ｂ）のモデルから、以下に示すポート２側の相対補正アダプタ導出式が導かれる。

以上により、順方向の相対補正アダプタが導出される。逆方向についても同様の手順により導出される。

次に、測定装置１２，２２の構成について、図１０のブロック図を参照しながら説明する。

測定装置１２，２２は、表示部５２と、操作部５４と、測定部５６と、制御部５８と、記憶部６０と、演算部６２と、インターフェース部６４とを備える。

表示部５２は、表示パネル等を含み、測定装置１２，２２の動作状況や操作指示などを表示する。操作部５４は、ボタンやスイッチなどを含み、オペレータからの電子部品測定装置１２，２２に対する操作を受け付ける。測定部５６は、同軸ケーブル１３ａ〜１３ｃ；２３ａ〜２３ｃ及び治具１６，２６を介して電子部品の端子に接続され、電子部品の端子を適宜に選択して信号を入力し出力信号を測定する。制御部５８は、測定装置１２，２２全体の制御を統括する。記憶部６０には、制御部５８や演算部６２を動作させるためのプログラム、測定部５６からの測定データ、演算部６２の演算結果データなどが格納される。演算部６２は、測定部５６からのデータや記憶部６０に格納されたデータを用い、所定のプログラムに従って演算を行う。インターフェース部６４は、外部機器とデータを送受信するためのインターフェースであり、記憶部６０に格納するためのデータやプログラムや、演算部６２からの演算結果データなどを受け付け、入出力を行う。

測定装置１２，２２は、記憶部６０に格納されたプログラムに従って動作する。電子部品測定装置１２，２２は、校正モードと測定モードを含む複数の動作モードで動作させることができる。

校正モードでは、基準治具１６を含む測定系１０と試験治具２６を含む測定系２０との間の相対的な測定誤差を補正するためのデータを取得し、電気特性を推定するための数式を決定する。すなわち、測定部５６は、基準治具１６や試験治具２６に１ポート標準試料やスルー標準試料が実装された状態で、順次、電気特性の測定を行う。このとき、例えば表示部５２に測定対象が表示される。オペレータは、表示された測定対象の準備が完了すると、操作部５４を操作する。この操作を操作部５４が受け付けると、測定部５６は測定を開始し、測定データは記憶部６０に格納される。演算部６２は、記憶部６０に格納された測定データを、適宜なタイミングで読み出して、補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）の値ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，ＣＡ_ＳＦ，ＣＡ_ＬＦ，ＣＡ_ＴＦなどを演算し、電気特性を推定するための数式を決定する。このようにして決定されて数式は、記憶部６０に格納される。

測定モードでは、試験治具２６を用いた試験状態の測定データから、基準治具１６を用いた基準状態での電気特性を推定する。すなわち、測定部５６は、試験治具２６に任意の電子部品が実装された状態で測定を行う。演算部６２は、測定部５６からの測定データを用いて、その電子部品の電気特性の推定値を算出する。このとき、演算部６２は、校正モードで決定された数式を記憶部６０から読み出し、その数式を用いて、電子部品の電気特性の推定値を算出する。算出された推定値は、表示部５２に表示されたり、インターフェース部６４から外部機器に出力されたりする。

試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２の記憶部６０には、基準治具１６を含む測定系１０で１ポート標準試料やスルー標準試料を測定したデータを記憶しておく。校正モードにおいて、試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２を用いて１ポート標準試料やスルー標準試料を測定し、基準治具１６を含む測定系１０については記憶部６０に記憶されたデータを用いる。これにより、基準治具１６を含む測定系１０を用いて１ポート標準試料やスルー標準試料の測定を一度行うだけで、試験装置２２や試験治具２６を含む測定系２０を増やすことができる。

なお、上述した相対補正法によれば、測定装置１２，２２の測定誤差を含めて補正することができるので、測定装置１２，２２のキャリブレーションを行う必要はないが、基準治具１６を含む測定系１０で用いる測定装置１２については、電子部品の特性評価の基準として用いるので、同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃに既知の電気特性を有する標準器（例えば、同軸形状の電子部品）を接続してキャリブレーションするなどして、誤差ができるだけ小さくなるようにすることが好ましい。

次に、本発明の実施例について説明する。

本発明によって、ネットワークアナライザの校正を行っていない試験状態から、ネットワークアナライザの校正を行っている基準状態を推定できるかどうか実験した。

実験条件は、以下の通りである。
（試料） ＳＡＷフィルタ（ＳＡＦＣ８９７．５ＭＬ１Ｃ４Ｔ）
（測定装置） ８７２０ＥＳ（Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ２０ＧＨｚ ベクトルネットワークアナライザ）
（周波数範囲） ７００ＭＨｚ〜１．１ＧＨｚ
（データ点数） ４０１点
（ＩＦ帯域幅） １００Ｈｚ
（基準状態） ケーブル先端で校正を行い、治具にて測定する。
（試験状態） 校正を行わず、基準治具状態からポート２側のケーブルを交換し、さらに治具のポート１側に３ｄＢのアッテネータを付け測定する。
（標準試料） ＳＨＯＲＴ（ポート１，２）、ＯＰＥＮ（ポート１，２）、ＬＯＡＤ（ポート１，２）、ＴＨＲＵ（ポート１，２間）のような特性を持つ４つの標準試料。

本発明による相対補正結果を、Ｓ_２１については図１１〜図１３に、Ｓ_１１については図１７、図１８に示す。また、比較例として、従来の治具の誤差のみを前提とする補正アダプタ型相対補正法の場合の相対補正結果を、Ｓ_２１については図１４〜図１６に、Ｓ_１１については図１９、図２０に示す。逆方向（Ｓ_１２，Ｓ_２２）の測定についてはまったく同じ結果が得られているため割愛する。

Ｓ_２１の結果である図１１〜図１６から明らかなように、誤差の方向性や信号源、負荷整合のスイッチ切り替えによる順逆方向の差を考慮していない従来の補正アダプタ型相対補正法では、誤差モデルが不完全なため、基準状態を正確に推定できていない。しかし、上記誤差にも対応する本発明では、基準状態を正確に推定できている。この結果から、本発明の効果が実験確認できたといえる。

また、実際の運用状態における従来の補正アダプタ型相対補正法は、試験状態においてネットワークアナライザの校正を行ってから使用されているので、図１４〜１６、図１９、図２０に対応する、試験状態においてもネットワークアナライザの校正を行った場合において従来の補正デダプタ型相対補正法を適用した結果を図２０〜図２５に示す。図１１〜１３、図１７、図１８に示した本発明は、図２０〜図２５に示した現在使用されているように試験状態で校正を行った従来の補正アダプタ型相対補正法の結果と同等以上の補正結果を示している。このように補正精度が改善しているのは、本発明は試験状態で校正を行わないために、基準状態と試験状態の校正誤差がないためであると考えられる。この結果より、本発明は補正精度において従来の補正アダプタ型相対補正法から置きかえても問題ないものと言える。

なお、本発明は、上記実施形態や実施例に限定されるものではなく、種々の変形を加えて実施することができる。

Claims (12)

1. 第１の測定系において電子部品を測定した結果から、当該電子部品を第２の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
   前記第１の測定系と前記第２の測定系において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する第１のステップと、
   前記第１の測定系と前記第２の測定系において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する第２のステップと、
   前記第１のステップ及び前記第２のステップで得られた測定結果から、前記第１の測定系と前記第２の測定系の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する第３のステップと、
   任意の電子部品を前記第１の測定系において測定する第４のステップと、
   前記第４のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記第２の測定系において測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する第５のステップとを備えたことを特徴とする、測定誤差の補正方法。
2. 前記第２の測定系が測定器を含み、該測定器が単独で校正されたことを特徴とする、請求項１に記載の測定誤差の補正方法。
3. 前記第３のステップで決定する前記数式は、
   前記第１の測定系の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記第２の測定系の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第１の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，１，ＣＡ_ＳＦ）について、前記第１のステップにおいて３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記第１の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｔｉ）と、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記第２の測定系の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｄｉ）とを用いて表される次の数式１〜数式３、及び
   前記第１の測定系の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記第２の測定系の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第２の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＬＦ，ｘ，ＣＡ_ＴＦ，ｘ）（ｘは任意）について、前記第２のステップにおいて前記補正データ取得用スルーデバイスについて測定した測定結果から算出した、前記第２の測定系の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_１１ＴＤと前記第２の測定系の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_２１ＴＤと、前記第１の相対補正アダプタを前記第１の測定系における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（Ｓ_１１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩ）とを用いて表される、次の数式４、数式５
   

   

   を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の測定誤差の補正方法。
4. 前記第２のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項１、２又は３に記載の測定誤差の補正方法。
5. 電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
   前記電子部品を測定する測定手段と、
   前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第２の測定値とを格納する、記憶手段と、
   前記記憶手段に格納された前記第１の測定値及び前記第２の測定値から、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を決定する、数式決定手段と、
   任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式決定手段が決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。
6. 前記他の測定装置は、校正された測定器を含むことを特徴とする、請求項５に記載の電子部品特性測定装置。
7. 前記数式決定手段が決定する前記数式は、
   前記測定手段の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第１の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，１，ＣＡ_ＳＦ）について、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記測定手段の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｔｉ）と、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記他の測定装置の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｄｉ）とを用いて表される次の数式１〜数式３、及び
   前記測定手段の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第２の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＬＦ，ｘ，ＣＡ_ＴＦ，ｘ）（ｘは任意）について、前記第２の測定値から算出した、前記他の測定装置の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_１１ＴＤと前記他の測定装置の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_２１ＴＤと、前記第１の相対補正アダプタを前記測定手段における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（Ｓ_１１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩ）とを用いて表される、次の数式４、数式５
   

   

   を含むことを特徴とする、請求項５又は６に記載の電子部品特性測定装置。
8. 前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項５、６又は７に記載の電子部品特性測定装置。
9. 電子部品を測定した結果から、当該電子部品を他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
   前記電子部品を測定する測定手段と、
   前記測定手段と他の測定装置において、対応する少なくとも２つのポートの少なくとも一方について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定値と、前記測定手段と前記他の測定装置において、前記ポート間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定した第２の測定値とから決定した、前記測定手段と前記他の測定装置の対応する前記ポートの測定値を関連付ける数式を格納する、数式格納手段と、
   任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定結果に基づいて、前記数式格納手段に格納された前記数式を用いて、当該電子部品を前記他の測定装置で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性算出手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。
10. 前記他の測定装置は、校正された測定器を含むことを特徴とする、請求項９に記載の電子部品特性測定装置。
11. 前記数式格納手段に格納される前記数式は、
    前記測定手段の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号源側の前記ポート（以下、「信号源側ポート」という。）の誤差成分に変換する第１の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＤＦ，ＣＡ_ＲＦ，１，ＣＡ_ＳＦ）について、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記測定手段の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｔｉ）と、前記第１の測定値に含まれる、３つの前記補正データ取得用試料（ｉ＝１，２，３）について前記他の測定装置の前記信号源側ポートにて測定した反射散乱係数測定結果（Ｓ_１１Ｄｉ）とを用いて表される次の数式１〜数式３、及び
    前記測定手段の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分を前記他の測定装置の信号出力側の前記ポート（以下、「信号出力側ポート」という。）の誤差成分に変換する第２の相対補正アダプタである散乱係数（ＣＡ_ＬＦ，ｘ，ＣＡ_ＴＦ，ｘ）（ｘは任意）について、前記第２の測定値から算出した、前記他の測定装置の前記信号源側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_１１ＴＤと前記他の測定装置の前記信号出力側ポートにおける前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値Ｓ_２１ＴＤと、前記第１の相対補正アダプタを前記測定手段における前記補正データ取得用スルーデバイスの測定値に対し信号源側に合成して得られる散乱係数（Ｓ_１１ＴＩ，Ｓ_１２ＴＩ，Ｓ_２１ＴＩ，Ｓ_２２ＴＩ）とを用いて表される、次の数式４、数式５
    

    

    を含むことを特徴とする、請求項９又は１０に記載の電子部品特性測定装置。
12. 前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記ポート間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項９、１０又は１１に記載の電子部品特性測定装置。

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