JP3858707B2 - Organic EL device - Google Patents
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスプレイパネル等に用いられる有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
有機EL素子は、良好な視認性と耐衝撃性を有する等の理由からディスプレイパネルとして用いられる。図2に示されるように、有機EL素子は、ブラックマトリクス1を含むカラーフィルタ2上に、透明なオーバーコート層3が形成されている。このオーバーコート層3上に、紙面左右方向にストライプ状に延びた透明なITO膜からなる陽極4が形成されている。また、陽極4上には、陽極4に直交する方向、すなわち、紙面に対して垂直方向を長手方向として、絶縁膜5及び隔壁6がストライプ状に積層して形成されている。さらに、陽極4、絶縁膜5及び隔壁6上には、有機化合物からなる有機発光層7及びアルミニウム(Al)からなる陰極8が蒸着され順次積層されている。
【0003】
ここで、絶縁膜5は、陽極4を流れる電流が隔壁6の下方においても均一な電流効果を得られるようにするために設けられるものである。また、隔壁6は、逆テーパ形状の斜面6aを備え、この逆テーパ斜面6aと斜面6aの上部の鋭角な上縁部6bとにより、蒸着により陰極8を形成する金属膜が分断されて、電気的に絶縁され、ストライプ状にパターニングされた複数の電極としての陰極8を形成することができる。
陰極8を分断する役割を果たす隔壁6は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、特に、陰極8の分割を容易にする逆テーパ形状を作りやすい専用のフォトレジスト材料が用いられている。この専用フォトレジスト材料としては、例えば、ELX−168C(日本ゼオン社製)が用いられる。
このように、隔壁6によって陰極8が分断されてストライプ状に形成されると、陽極4と陰極8とが交差する部分、すなわち、絶縁膜5が介在することなく、陽極4と陰極8とに挟まれた有機発光層7の部分がマトリクス状の多数の発光部として形成される。従って、特定の陽極4と陰極8とを選択して電圧を印加することにより対応する発光部を発光させることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、隔壁6が形成される絶縁膜5の上面である隔壁積層面5aは凸面形状に形成されやすく、平坦に形成するのは困難である。隔壁積層面5aが平坦でない絶縁膜5上に、隔壁6を形成すると、逆テーパ斜面6aの形状が製造上のばらつきが出て、形状が一定した隔壁6を安定的に得ることができず、有機EL素子の一部に、陰極8を分割できない部分が発生するという問題がある。
この発明は、このような課題を解決するためになされたもので、一定の逆テーパ形状の隔壁を安定的に形成でき、陰極がストライプ状に確実に分断された有機EL素子を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1に係る有機EL素子は、ストライプ状に延びた陽極上に、有機発光層と陰極とを順次積層して形成される有機EL素子であって、陽極と直交する方向に延びるストライプ状に形成された複数の絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた隔壁によって陰極が複数に分断される有機EL素子において、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に、絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備えると共に、絶縁膜は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、絶縁膜は、絶縁膜形成のための照射光の一部が光反射膜により反射することにより、一対の光反射膜の上方の対応する位置に順テーパ状の斜面を有することを特徴とするものである。
また、請求項2に係る有機EL素子は、順テーパ状の斜面の幅は、光反射膜の幅とほぼ一致する。
また、請求項3に係る有機EL素子は、請求項1または2に係る有機EL素子において、光反射膜が金属製である。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示されるように、この発明の実施の形態に係る有機EL素子は、ブラックマトリクス1を含むカラーフィルタ2上に、一対の帯状の光反射膜10が紙面に対して垂直方向を長手方向として、平行に複数形成されている。光反射膜10は、aなる幅寸法を有する金属製であり、例えばアルミニウム(Al)から形成されている。この光反射膜10が上面に配置されたカラーフィルタ2上には、光反射膜10を覆って、透明なオーバーコート層3が積層され、さらに、オーバーコート層3上には、光反射膜10と直交する方向に、すなわち、紙面左右方向に、ストライプ状に延びた透明なITO膜からなる陽極4が形成されている。
【0007】
陽極4上には、斜面15bが順テーパ形状で略台形形状の断面を有する絶縁膜15が光反射膜10に沿ってストライプ状に形成されている。絶縁膜15の上面は平坦に形成され、隔壁16が積層される隔壁積層面15aを構成している。
隔壁16は、絶縁膜15と比較して逆方向に向いた略台形形状の断面を有し、長手方向に延びる逆テーパ形状の斜面16aを備えている。また、隔壁16の底面16cの幅は、隔壁積層面15aの幅よりも狭く、平坦な隔壁積層面15aの両縁部は、隔壁16の底面16cの外側に露出している。また、絶縁膜1515及び隔壁16は、共に、隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料からなり、例えば、ELX−168C(日本ゼオン社製)である。
ここで、光反射膜10の長手方向の隔壁側側縁部10aと隔壁16の長手方向の上縁部16bとの位置関係は、水平方向においてほぼ一致する。また、絶縁膜15の順テーパの斜面15bの幅は、光反射膜10の幅aにほぼ一致し、光反射膜10の上方の対応する位置に形成されている。
【0008】
さらに、陽極4、絶縁膜15及び隔壁16上には、有機発光層7と陰極8とが蒸着により順次積層されている。ここで、隔壁16上の有機発光層7及び陰極8は、陽極4上の有機発光層7及び陰極8と分断され、電気的に絶縁された状態で形成されている。
【0009】
次に、この発明の実施の形態に係る有機EL素子の絶縁膜15及び隔壁16の製造工程を作用と共に説明する。
陽極4上に絶縁膜15を形成するために全面に塗布された隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料にフォトマスクを介して上方から露光すると、フォトマスクを通った上方からの光がフォトレジスト材料に照射される。さらに、この照射光が透明な陽極4及び透明なオーバーコート層3を通って光反射膜10に反射してフォトレジスト材料に下方からも照射される。フォトレジスト材料のうち、光が照射された部分は、レジスト除去処理用の現像液に対して不溶になり、光が照射されなかった未露光部分は、現像液に溶解して除去される。これにより、順テーパの斜面15bを有し、隔壁積層面15aが平坦な略台形状の絶縁膜15が形成される。
次に、絶縁膜15上に、絶縁膜15の形成に用いた隔壁用のフォトレジスト材料と同一のフォトレジスト材料を塗布し、フォトマスクを介して上方から露光した後、現像液により処理すると、逆テーパ形状の隔壁16が形成される。
この際、隔壁16が絶縁膜15の平坦な面上に形成されるので、隔壁16の逆テーパの斜面16aの形状に製造ばらつきが少なく、一定の形状の隔壁16を安定的に形成できる。
このように、隔壁16は形状が一定しているので、逆テーパ斜面16aと斜面16aの上部の鋭角な上縁部16bとにより、蒸着により陰極を形成する金属膜が容易に分断される。すなわち、隔壁16を挟んで、陰極8が分断され電気的に絶縁されるので、ストライプ状にパターニングされた複数の電極としての陰極8を容易に形成することができる。
【0010】
なお、上述した実施の形態においては、光反射膜10の材料として、アルミニウムを用いたが、光を反射する材料であればこれに限定されるものではなく、銀(Ag)、インジウム(In)、マグネシウム(Mg)、チタン(Ti)、アルミニウム合金等を用いてもよい。
【0011】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に、絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備え、ネガ型のフォトレジスト材料からなる絶縁膜を用い、この絶縁膜を形成するための照射光の一部が一対の光反射膜により反射することにより、この一対の光反射膜の上方の対応する位置に、順テーパ状の斜面を有する絶縁膜を形成することができる。
請求項2に記載の発明によれば、光反射膜の幅に応じて、順テーパ状の斜面の幅を形成できる。
請求項3に記載の発明によれば、光反射膜が金属製なので、反射率が高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態に係る有機EL素子の構造を示す図である。
【図2】 従来の有機EL素子の構造を示す図である。
【符号の説明】
4…陽極、7…有機発光層、8…陰極、10…光反射膜、10a…隔壁側側縁部、15…絶縁膜、15a…隔壁積層面、15b…斜面、16…隔壁、16b…上縁部。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an organic EL (electroluminescence) element used for a display panel or the like.
[0002]
[Prior art]
The organic EL element is used as a display panel because it has good visibility and impact resistance. As shown in FIG. 2, in the organic EL element, a
[0003]
Here, the insulating film 5 is provided so that the current flowing through the
The
As described above, when the
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the barrier rib laminated surface 5a, which is the upper surface of the insulating film 5 on which the
The present invention has been made to solve such a problem, and provides an organic EL device capable of stably forming a certain inversely tapered partition wall and having the cathode surely divided into stripes. Objective.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The organic EL device according to claim 1 of the present invention is an organic EL device formed by sequentially laminating an organic light emitting layer and a cathode on a striped anode, and extends in a direction orthogonal to the anode. In an organic EL device in which a cathode is divided into a plurality of portions by partition walls provided on a plurality of insulating films formed in stripes, stripes are formed along the insulating film on the opposite side of the insulating film across the anode. The insulating film is made of a negative photoresist material, and the insulating film reflects part of the irradiation light for forming the insulating film by the light reflecting film. Thus , a forward tapered slope is provided at a corresponding position above the pair of light reflecting films .
In the organic EL element according to
The organic EL element according to
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the organic EL device according to the embodiment of the present invention includes a pair of strip-like
[0007]
On the
The
Here, the positional relationship between the partition side edge 10a in the longitudinal direction of the
[0008]
Furthermore, on the
[0009]
Next, the manufacturing process of the
When a negative photoresist material for barrier ribs applied to the entire surface to form the
Next, the same photoresist material as that for the partition wall used for forming the
At this time, since the
Thus, since the shape of the
[0010]
In the embodiment described above, aluminum is used as the material of the
[0011]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, a pair of light reflecting films formed in a stripe shape along the insulating film is provided on the opposite side of the insulating film across the anode, and the insulating film is made of a negative photoresist material. Using a film , a part of the irradiation light for forming the insulating film is reflected by the pair of light reflecting films, and thus has a forward tapered slope at a corresponding position above the pair of light reflecting films. An insulating film can be formed .
According to the second aspect of the present invention , the forward tapered slope width can be formed according to the width of the light reflecting film.
According to the invention described in
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a structure of an organic EL element according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a structure of a conventional organic EL element.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記陽極を挟んで前記絶縁膜と反対側に、前記絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備えると共に、
前記絶縁膜は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、
前記絶縁膜は、前記絶縁膜形成のための照射光の一部が前記光反射膜により反射することにより、前記一対の光反射膜の上方の対応する位置に順テーパ状の斜面を有することを特徴とする有機EL素子。On an anode extending in stripes, an organic EL element formed by sequentially stacking, a cathode an organic light-emitting layer, on a plurality of insulating films formed in a stripe shape extending in a direction orthogonal to the anode in the organic EL device in which the cathode by a partition wall which are stacked, respectively, are divided into a plurality,
On the opposite side of the insulating film across the anode, provided with a pair of light reflecting film formed in stripes along the insulation film,
The insulating film is made of a negative photoresist material,
The insulating film has a forward tapered inclined surface at a corresponding position above the pair of light reflecting films by reflecting a part of irradiation light for forming the insulating film by the light reflecting film. A characteristic organic EL element.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002019857A JP3858707B2 (en) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | Organic EL device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002019857A JP3858707B2 (en) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | Organic EL device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003223989A JP2003223989A (en) | 2003-08-08 |
JP3858707B2 true JP3858707B2 (en) | 2006-12-20 |
Family
ID=27743543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002019857A Expired - Fee Related JP3858707B2 (en) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | Organic EL device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3858707B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100700004B1 (en) | 2004-11-10 | 2007-03-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | Double-sided light emitting organic electroluminescent device and manufacturing method thereof |
US7800101B2 (en) | 2006-01-05 | 2010-09-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thin film transistor having openings formed therein |
CN104393192A (en) * | 2014-12-04 | 2015-03-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | Pixel demarcation layer, manufacturing method, display panel and display device thereof |
CN113851600B (en) * | 2019-01-08 | 2023-06-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display substrate, manufacturing method thereof and display device |
-
2002
- 2002-01-29 JP JP2002019857A patent/JP3858707B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003223989A (en) | 2003-08-08 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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