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JP3858707B2 - Organic EL device - Google Patents

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    • H10K59/10OLED displays
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    • H10K59/173Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスプレイパネル等に用いられる有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
有機EL素子は、良好な視認性と耐衝撃性を有する等の理由からディスプレイパネルとして用いられる。図2に示されるように、有機EL素子は、ブラックマトリクス1を含むカラーフィルタ2上に、透明なオーバーコート層3が形成されている。このオーバーコート層3上に、紙面左右方向にストライプ状に延びた透明なITO膜からなる陽極4が形成されている。また、陽極4上には、陽極4に直交する方向、すなわち、紙面に対して垂直方向を長手方向として、絶縁膜5及び隔壁6がストライプ状に積層して形成されている。さらに、陽極4、絶縁膜5及び隔壁6上には、有機化合物からなる有機発光層7及びアルミニウム(Al)からなる陰極8が蒸着され順次積層されている。
【0003】
ここで、絶縁膜5は、陽極4を流れる電流が隔壁6の下方においても均一な電流効果を得られるようにするために設けられるものである。また、隔壁6は、逆テーパ形状の斜面6aを備え、この逆テーパ斜面6aと斜面6aの上部の鋭角な上縁部6bとにより、蒸着により陰極8を形成する金属膜が分断されて、電気的に絶縁され、ストライプ状にパターニングされた複数の電極としての陰極8を形成することができる。
陰極8を分断する役割を果たす隔壁6は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、特に、陰極8の分割を容易にする逆テーパ形状を作りやすい専用のフォトレジスト材料が用いられている。この専用フォトレジスト材料としては、例えば、ELX−168C(日本ゼオン社製)が用いられる。
このように、隔壁6によって陰極8が分断されてストライプ状に形成されると、陽極4と陰極8とが交差する部分、すなわち、絶縁膜5が介在することなく、陽極4と陰極8とに挟まれた有機発光層7の部分がマトリクス状の多数の発光部として形成される。従って、特定の陽極4と陰極8とを選択して電圧を印加することにより対応する発光部を発光させることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、隔壁6が形成される絶縁膜5の上面である隔壁積層面5aは凸面形状に形成されやすく、平坦に形成するのは困難である。隔壁積層面5aが平坦でない絶縁膜5上に、隔壁6を形成すると、逆テーパ斜面6aの形状が製造上のばらつきが出て、形状が一定した隔壁6を安定的に得ることができず、有機EL素子の一部に、陰極8を分割できない部分が発生するという問題がある。
この発明は、このような課題を解決するためになされたもので、一定の逆テーパ形状の隔壁を安定的に形成でき、陰極がストライプ状に確実に分断された有機EL素子を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1に係る有機EL素子は、ストライプ状に延びた陽極上に、有機発光層と陰極とを順次積層して形成される有機EL素子であって、陽極と直交する方向に延びるストライプ状に形成された複数絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた隔壁によって陰極が複数に分断される有機EL素子において、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に、絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備えると共に、絶縁膜は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、絶縁膜は、絶縁膜形成のための照射光の一部が光反射膜により反射することにより、一対の光反射膜の上方の対応する位置に順テーパ状の斜面を有することを特徴とするものである。
また、請求項2に係る有機EL素子は、順テーパ状の斜面の幅は、光反射膜の幅とほぼ一致する。
また、請求項に係る有機EL素子は、請求項1または2に係る有機EL素子において、光反射膜が金属製である
【0006】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示されるように、この発明の実施の形態に係る有機EL素子は、ブラックマトリクス1を含むカラーフィルタ2上に、一対の帯状の光反射膜10が紙面に対して垂直方向を長手方向として、平行に複数形成されている。光反射膜10は、aなる幅寸法を有する金属製であり、例えばアルミニウム(Al)から形成されている。この光反射膜10が上面に配置されたカラーフィルタ2上には、光反射膜10を覆って、透明なオーバーコート層3が積層され、さらに、オーバーコート層3上には、光反射膜10と直交する方向に、すなわち、紙面左右方向に、ストライプ状に延びた透明なITO膜からなる陽極4が形成されている。
【0007】
陽極4上には、斜面15bが順テーパ形状で略台形形状の断面を有する絶縁膜15が光反射膜10に沿ってストライプ状に形成されている。絶縁膜15の上面は平坦に形成され、隔壁16が積層される隔壁積層面15aを構成している。
隔壁16は、絶縁膜15と比較して逆方向に向いた略台形形状の断面を有し、長手方向に延びる逆テーパ形状の斜面16aを備えている。また、隔壁16の底面16cの幅は、隔壁積層面15aの幅よりも狭く、平坦な隔壁積層面15aの両縁部は、隔壁16の底面16cの外側に露出している。また、絶縁膜1515及び隔壁16は、共に、隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料からなり、例えば、ELX−168C(日本ゼオン社製)である。
ここで、光反射膜10の長手方向の隔壁側側縁部10aと隔壁16の長手方向の上縁部16bとの位置関係は、水平方向においてほぼ一致する。また、絶縁膜15の順テーパの斜面15bの幅は、光反射膜10の幅aにほぼ一致し、光反射膜10の上方の対応する位置に形成されている。
【0008】
さらに、陽極4、絶縁膜15及び隔壁16上には、有機発光層7と陰極8とが蒸着により順次積層されている。ここで、隔壁16上の有機発光層7及び陰極8は、陽極4上の有機発光層7及び陰極8と分断され、電気的に絶縁された状態で形成されている。
【0009】
次に、この発明の実施の形態に係る有機EL素子の絶縁膜15及び隔壁16の製造工程を作用と共に説明する。
陽極4上に絶縁膜15を形成するために全面に塗布された隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料にフォトマスクを介して上方から露光すると、フォトマスクを通った上方からの光がフォトレジスト材料に照射される。さらに、この照射光が透明な陽極4及び透明なオーバーコート層3を通って光反射膜10に反射してフォトレジスト材料に下方からも照射される。フォトレジスト材料のうち、光が照射された部分は、レジスト除去処理用の現像液に対して不溶になり、光が照射されなかった未露光部分は、現像液に溶解して除去される。これにより、順テーパの斜面15bを有し、隔壁積層面15aが平坦な略台形状の絶縁膜15が形成される。
次に、絶縁膜15上に、絶縁膜15の形成に用いた隔壁用のフォトレジスト材料と同一のフォトレジスト材料を塗布し、フォトマスクを介して上方から露光した後、現像液により処理すると、逆テーパ形状の隔壁16が形成される。
この際、隔壁16が絶縁膜15の平坦な面上に形成されるので、隔壁16の逆テーパの斜面16aの形状に製造ばらつきが少なく、一定の形状の隔壁16を安定的に形成できる。
このように、隔壁16は形状が一定しているので、逆テーパ斜面16aと斜面16aの上部の鋭角な上縁部16bとにより、蒸着により陰極を形成する金属膜が容易に分断される。すなわち、隔壁16を挟んで、陰極8が分断され電気的に絶縁されるので、ストライプ状にパターニングされた複数の電極としての陰極8を容易に形成することができる。
【0010】
なお、上述した実施の形態においては、光反射膜10の材料として、アルミニウムを用いたが、光を反射する材料であればこれに限定されるものではなく、銀(Ag)、インジウム(In)、マグネシウム(Mg)、チタン(Ti)、アルミニウム合金等を用いてもよい。
【0011】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に、絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備え、ネガ型のフォトレジスト材料からなる絶縁膜を用い、この絶縁膜を形成するための照射光の一部が一対の光反射膜により反射することにより、この一対の光反射膜の上方の対応する位置に、順テーパ状の斜面を有する絶縁膜を形成することができる。
請求項2に記載の発明によれば、光反射膜の幅に応じて、順テーパ状の斜面の幅を形成できる。
請求項3に記載の発明によれば、光反射膜が金属製なので、反射率が高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態に係る有機EL素子の構造を示す図である。
【図2】 従来の有機EL素子の構造を示す図である。
【符号の説明】
4…陽極、7…有機発光層、8…陰極、10…光反射膜、10a…隔壁側側縁部、15…絶縁膜、15a…隔壁積層面、15b…斜面、16…隔壁、16b…上縁部。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an organic EL (electroluminescence) element used for a display panel or the like.
[0002]
[Prior art]
The organic EL element is used as a display panel because it has good visibility and impact resistance. As shown in FIG. 2, in the organic EL element, a transparent overcoat layer 3 is formed on a color filter 2 including a black matrix 1. On this overcoat layer 3, an anode 4 made of a transparent ITO film extending in a stripe shape in the left-right direction on the paper is formed. In addition, on the anode 4, an insulating film 5 and a partition wall 6 are laminated in a stripe shape with a direction perpendicular to the anode 4, that is, a direction perpendicular to the paper surface as a longitudinal direction. Further, an organic light emitting layer 7 made of an organic compound and a cathode 8 made of aluminum (Al) are deposited on the anode 4, the insulating film 5, and the partition wall 6 and sequentially stacked.
[0003]
Here, the insulating film 5 is provided so that the current flowing through the anode 4 can obtain a uniform current effect even below the partition wall 6. Further, the partition wall 6 has an inversely tapered slope 6a, and the metal film forming the cathode 8 is separated by vapor deposition by the inversely tapered slope 6a and the sharp upper edge 6b at the upper part of the slope 6a. The cathode 8 as a plurality of electrodes which are electrically insulated and patterned in a stripe shape can be formed.
The partition wall 6 that plays the role of dividing the cathode 8 is made of a negative type photoresist material, and in particular, a dedicated photoresist material that makes it easy to form a reverse taper shape that facilitates the division of the cathode 8 is used. As this dedicated photoresist material, for example, ELX-168C (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.) is used.
As described above, when the cathode 8 is divided by the partition wall 6 and formed in a stripe shape, the anode 4 and the cathode 8 are not intersected with each other, that is, without the insulating film 5 interposed. The sandwiched organic light emitting layer 7 portion is formed as a large number of light emitting portions in a matrix form. Therefore, by selecting a specific anode 4 and cathode 8 and applying a voltage, the corresponding light emitting part can emit light.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the barrier rib laminated surface 5a, which is the upper surface of the insulating film 5 on which the barrier ribs 6 are formed, is easily formed in a convex shape and is difficult to form flatly. When the partition wall 6 is formed on the insulating film 5 with the partition wall stacking surface 5a not flat, the shape of the reverse tapered inclined surface 6a varies in manufacturing, and the partition wall 6 having a uniform shape cannot be stably obtained. There is a problem that a part where the cathode 8 cannot be divided is generated in a part of the organic EL element.
The present invention has been made to solve such a problem, and provides an organic EL device capable of stably forming a certain inversely tapered partition wall and having the cathode surely divided into stripes. Objective.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The organic EL device according to claim 1 of the present invention is an organic EL device formed by sequentially laminating an organic light emitting layer and a cathode on a striped anode, and extends in a direction orthogonal to the anode. In an organic EL device in which a cathode is divided into a plurality of portions by partition walls provided on a plurality of insulating films formed in stripes, stripes are formed along the insulating film on the opposite side of the insulating film across the anode. The insulating film is made of a negative photoresist material, and the insulating film reflects part of the irradiation light for forming the insulating film by the light reflecting film. Thus , a forward tapered slope is provided at a corresponding position above the pair of light reflecting films .
In the organic EL element according to claim 2, the width of the forward tapered slope is substantially the same as the width of the light reflecting film.
The organic EL element according to claim 3 is the organic EL element according to claim 1 or 2 , wherein the light reflecting film is made of metal .
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the organic EL device according to the embodiment of the present invention includes a pair of strip-like light reflecting films 10 on a color filter 2 including a black matrix 1 in a longitudinal direction perpendicular to the paper surface. Are formed in parallel. The light reflecting film 10 is made of metal having a width of a, and is made of, for example, aluminum (Al). A transparent overcoat layer 3 is laminated on the color filter 2 on which the light reflection film 10 is disposed so as to cover the light reflection film 10. Further, on the overcoat layer 3, the light reflection film 10 is laminated. The anode 4 made of a transparent ITO film extending in a stripe shape is formed in a direction orthogonal to the horizontal direction, that is, in the horizontal direction of the paper.
[0007]
On the anode 4, the insulating film 15 having a substantially trapezoidal cross section with the forward inclined surface 15 b is formed in a stripe shape along the light reflecting film 10. The upper surface of the insulating film 15 is formed flat, and constitutes a barrier rib stacking surface 15a on which the barrier ribs 16 are stacked.
The partition wall 16 has a substantially trapezoidal cross section facing in the reverse direction as compared with the insulating film 15, and includes a reverse tapered slope 16 a extending in the longitudinal direction. The width of the bottom surface 16c of the partition wall 16 is narrower than the width of the partition wall stacking surface 15a, and both edges of the flat partition wall stacking surface 15a are exposed outside the bottom surface 16c of the partition wall 16. The insulating film 1515 and the partition 16 are both made of a negative photoresist material for the partition, for example, ELX-168C (manufactured by Zeon Corporation).
Here, the positional relationship between the partition side edge 10a in the longitudinal direction of the light reflecting film 10 and the upper edge 16b in the longitudinal direction of the partition 16 is substantially the same in the horizontal direction. Further, the width of the forward tapered inclined surface 15 b of the insulating film 15 substantially coincides with the width a of the light reflecting film 10, and is formed at a corresponding position above the light reflecting film 10.
[0008]
Furthermore, on the anode 4, the insulating film 15, and the partition 16, the organic light emitting layer 7 and the cathode 8 are sequentially laminated by vapor deposition. Here, the organic light emitting layer 7 and the cathode 8 on the partition wall 16 are separated from the organic light emitting layer 7 and the cathode 8 on the anode 4 and are electrically insulated.
[0009]
Next, the manufacturing process of the insulating film 15 and the partition 16 of the organic EL element according to the embodiment of the present invention will be described together with the operation.
When a negative photoresist material for barrier ribs applied to the entire surface to form the insulating film 15 on the anode 4 is exposed from above through a photomask, light from above through the photomask is exposed to the photoresist material. Is irradiated. Further, the irradiated light passes through the transparent anode 4 and the transparent overcoat layer 3 and is reflected by the light reflecting film 10 so that the photoresist material is also irradiated from below. Of the photoresist material, the portion irradiated with light becomes insoluble in the developing solution for resist removal processing, and the unexposed portion not irradiated with light is dissolved and removed in the developing solution. Thereby, a substantially trapezoidal insulating film 15 having a forward tapered slope 15b and a flat partition wall surface 15a is formed.
Next, the same photoresist material as that for the partition wall used for forming the insulating film 15 is applied on the insulating film 15, exposed from above through a photomask, and then processed with a developer. A reverse-tapered partition wall 16 is formed.
At this time, since the partition wall 16 is formed on the flat surface of the insulating film 15, there is little manufacturing variation in the shape of the reverse taper slope 16a of the partition wall 16, and the partition wall 16 having a certain shape can be stably formed.
Thus, since the shape of the partition 16 is constant, the metal film forming the cathode is easily divided by vapor deposition by the reverse tapered slope 16a and the sharp upper edge 16b at the top of the slope 16a. That is, since the cathode 8 is divided and electrically insulated across the partition wall 16, the cathode 8 as a plurality of electrodes patterned in stripes can be easily formed.
[0010]
In the embodiment described above, aluminum is used as the material of the light reflecting film 10, but the material is not limited to this as long as it reflects light. Silver (Ag), indium (In) Magnesium (Mg), titanium (Ti), aluminum alloy, or the like may be used.
[0011]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, a pair of light reflecting films formed in a stripe shape along the insulating film is provided on the opposite side of the insulating film across the anode, and the insulating film is made of a negative photoresist material. Using a film , a part of the irradiation light for forming the insulating film is reflected by the pair of light reflecting films, and thus has a forward tapered slope at a corresponding position above the pair of light reflecting films. An insulating film can be formed .
According to the second aspect of the present invention , the forward tapered slope width can be formed according to the width of the light reflecting film.
According to the invention described in claim 3, since the light reflecting film is made of metal, the reflectance can be increased .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a structure of an organic EL element according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a structure of a conventional organic EL element.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 4 ... Anode, 7 ... Organic light emitting layer, 8 ... Cathode, 10 ... Light reflection film, 10a ... Partition side edge, 15 ... Insulating film, 15a ... Partition laminated surface, 15b ... Slope, 16 ... Partition, 16b ... Top Edge.

Claims (3)

ストライプ状に延びた陽極上に、有機発光層と陰極とを順次積層して形成される有機EL素子であって、前記陽極と直交する方向に延びるストライプ状に形成された複数絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた隔壁によって前記陰極が複数に分断される有機EL素子において、
前記陽極を挟んで前記絶縁膜と反対側に、前記絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備えると共に、
前記絶縁膜は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、
前記絶縁膜は、前記絶縁膜形成のための照射光の一部が前記光反射膜により反射することにより、前記一対の光反射膜の上方の対応する位置に順テーパ状の斜面を有することを特徴とする有機EL素子。
On an anode extending in stripes, an organic EL element formed by sequentially stacking, a cathode an organic light-emitting layer, on a plurality of insulating films formed in a stripe shape extending in a direction orthogonal to the anode in the organic EL device in which the cathode by a partition wall which are stacked, respectively, are divided into a plurality,
On the opposite side of the insulating film across the anode, provided with a pair of light reflecting film formed in stripes along the insulation film,
The insulating film is made of a negative photoresist material,
The insulating film has a forward tapered inclined surface at a corresponding position above the pair of light reflecting films by reflecting a part of irradiation light for forming the insulating film by the light reflecting film. A characteristic organic EL element.
前記順テーパ状の斜面の幅は、前記光反射膜の幅とほぼ一致する請求項1に記載の有機EL素子。The organic EL element according to claim 1, wherein a width of the forward tapered slope is substantially equal to a width of the light reflecting film. 前記光反射膜は、金属製である請求項1または2に記載の有機EL素子。The light reflective film, an organic EL element according to claim 1 or 2 is made of metal.
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