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JP3857449B2 - 低発塵転がり摺動部品 - Google Patents

低発塵転がり摺動部品 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、直動型軸受のレールや移動体などの低発塵転がり摺動部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、上述した転がり軸受、送りねじ、直動型軸受などを高温、真空あるいは清浄環境などで使用する場合では、転動部位あるいは摺動部位に、ふっ素系グリースやふっ素系オイルなどの油膜を塗布したり、あるいはふっ素系高分子成分からなる固形膜をコーティングすることが行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した油膜は、金属製の母材に対する親和性があまり良好でないため、局部的な油膜切れが発生しやすいと言え、母材の摩耗や焼き付きが起こり得る。また、固形膜は、金属製の母材に対して定着されているものの、経時的な摩耗が避けられないため、寿命という点において問題がある。
【0004】
さらに、油膜では、10-5Paレベルの高真空環境での使用だと、母材から離れやすくなり、環境汚染につながることが懸念される。
【0005】
このような事情に鑑み、本発明では、転がり摺動部品において、長期にわたって良好な潤滑性を発揮できるようにすることを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明にかかる低発塵転がり摺動部品は、相手部材との間で相対的に転がり接触またはすべり接触が生ずるもので、前記相手部材との接触面に、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理することで形成された少なくとも上記化学式10,11のいずれかの結合を備えたふっ素系高分子成分のみからなる固形膜が予め被覆形成されており、前記固形膜は3次元の網状構造を有し、かつ膜厚が10μm以下であり、前記固形膜の表面に、オイルであるふっ素系油成分からなる油膜が付着されており、前記油膜は前記固形膜に対する付着強度を高めるために使用開始時における前記固形膜の膜厚の半分以下の膜厚に設定されている。
【0008】
請求項の発明にかかる低発塵転がり摺動部品は、上記請求項の構成であって、転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、あるいは直動型軸受のレールや移動体として用いられるものである。
【0009】
要するに、本発明では、固形膜と油膜とを併用することにより、油膜の親和性を良好とするとともに、固形膜の摩擦抵抗を軽減するようにしている。これにより、局部的な油膜切れが発生しにくくなるばかりか、仮にそのような油膜切れが発生したところで、固形膜の存在により互いに転動、摺動する2つの部材の直接接触を回避できるようになる他、固形膜の摩耗進展を抑制できるようになる。そのため、良好な潤滑性が長期間継続されることになる。
【0010】
特に、油膜の膜厚を特定すれば、固形膜に対する油膜の付着強度がより一層高められることになる。これにより、高真空環境での油膜の分離による環境汚染を回避できるようになる。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の低発塵転がり摺動部品としては、転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、直動型軸受のレールや移動体などが挙げられるが、この実施形態では、転がり軸受としての深溝玉軸受と、送りねじとしてのボールねじと、直動型軸受としての直動型玉軸受との3つを例に挙げる。
【0012】
図1は本発明の一実施形態にかかるボールねじの縦断面図である。図中、Aは送りねじの全体を示しており、1はねじ軸、2はナット、3はボール、4はサーキュレータチューブである。
【0013】
ねじ軸1は、その外周面に螺旋溝5が形成されている。ナット2は、ねじ軸1に外嵌されており、その内周面にねじ軸1の螺旋溝5に対応する螺旋溝6が形成されている。複数のボール3は、ねじ軸1の螺旋溝5と、ナット2の螺旋溝6との間に介装されている。サーキュレータチューブ4は、ねじ軸1またはナット2のいずれか一方の回転により両螺旋溝5,6間に介装されるボール3を転動循環させるためのもので、ナット2に取り付けられている。
【0014】
ねじ軸1の螺旋溝5およびナット2の螺旋溝6の断面形状は、詳細に図示しないが、ゴチックアーチ状(二つの曲率中心の異なる円弧をほぼV字形に組み合わせた形状)あるいは円弧状に形成される。
【0015】
このようなボールねじAにおいて、ねじ軸1、ナット2、ボール3ならびにサーキュレータチューブ4は、例えばJIS規格SUS440、SUS440C、SUS630、SUS304などの金属で形成される。但し、ボール3は、例えば窒化けい素(Si34)、アルミナ(Al23)や炭化けい素(SiC)、ジルコニア(ZrO2)などのセラミックスで形成してもよい。
【0016】
この実施形態では、ねじ軸1の外周面とナット2の内周面とに対して、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理することで形成された少なくとも上記化学式10,11のいずれかの結合を備えたふっ素系高分子成分からなる固形膜40が被覆形成されているとともに、この固形膜40の表面にふっ素系油成分からなる油膜41が付着されている。
【0017】
なお、固形膜40は、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理することで形成された少なくとも上記化学式10,11のいずれかの結合を備えた含フッ素高分子化合物からなる。この末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理することで形成された少なくとも上記化学式10,11のいずれかの結合を備えた含フッ素高分子化合物は、−CXF2X−O−という一般式(Xは1〜4の整数)で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平均分子量が数百万以上で硬化反応により分子間が結合した3次元の網状構造を有している。3次元の網状構造とは、化学構造上の表現であって、膜の断面が網状になっているのではなく、分子間が網状のように連続してつながって密に詰まった均質な構造になっていることを意味している。このような化合物としては、下記化学式に示すような末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体を用いて、化学構造を変化させたものとすることができる。前述の末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体としては、パーフルオロポリエーテル(PFPE)の誘導体、具体的に例えばモンテカチーニ社の商品名フォンブリンZ誘導体(FOMBLIN Z DISOCなど)が好適に用いられる。
【0018】
【化1】
Figure 0003857449
【0019】
また、油膜41は、例えばCTFE(三フッ化塩化エチレン樹脂)のオリゴマーやPFPE(パーフルオロポリエーテル)など分子内に塩素やエーテル結合を有するオイルが好適に用いられる。前述のPFPEとしては、モンテカチーニ社の商品名フォンブリンの他、ダイキン工業(株)製の商品名デムナムやデュポン社の商品名クライトックスなどが挙げられる。グリース状のものでは、PTFE・フルオロカーボン油グリース、PTFE・フロロシリコーン油グリースやPTFE・フッ素化ポリエーテル油グリースなどが挙げられる。
【0020】
この固形膜40の形成手法の一例について説明する。固形膜40を形成するための溶液を対象部材に付着させる。この溶液の付着はスプレーを用いて行うこともできるし、また、溶液中に浸漬してもよい。ここで用意する溶液は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)〕を希釈溶媒(ふっ素系溶剤SV90D)で含ふっ素重合体の濃度を1mass%にまで希釈したものである。次に、液状膜を付着した対象部材を40〜50度で約1分間加熱し、液状膜に含む溶媒を除去する。この後、例えば150〜300度で15〜30分間、加熱する。これにより、液状膜の化学構造が変化することにより硬化反応して固形膜40が得られる。ちなみに、この硬化処理では、液状膜に存在している官能基付き含ふっ素重合体の個々について、下記化学式2〜5に示すような4種の硬化反応でもって末端のイソシアネート(NCO)が消失し、各官能基付き含ふっ素重合体が互いに結合することにより3次元の網状構造となる。結合は、化学式2,3に示すような硬化反応でもって、図2(a)に模式的に示すように直線的に架橋するとともに、化学式4,5に示すような硬化反応でもって、図2(b)に模式的に示すように3次元方向で架橋する。なお、図2では、下記化学式6に示すように、上記化学式1を簡略化して模式的に表している。
【0021】
【化2】
Figure 0003857449
【0022】
【化3】
Figure 0003857449
【0023】
【化4】
Figure 0003857449
【0024】
【化5】
Figure 0003857449
【0025】
【化6】
Figure 0003857449
【0026】
この固形膜40の膜厚は、例えば10μm以下に管理され、また、表面粗さは、Ra(中心線平均粗さ)で5μmに管理される。
【0027】
このようにして形成した固形膜40の表面に、油膜41をスプレーを用いて吹き付けたりあるいは液中浸漬により塗布する。この油膜41の膜厚は、固形膜40の膜厚の1/2以下に管理される。
【0028】
以上説明した固形膜40と油膜41は、互いに同種のふっ素原子を含むために、固形膜40に対する油膜41の親和性がきわめて良好となり、仮にボール3のひきずり現象が発生しても局部的な油膜切れが発生しにくくなるばかりか、仮にそのような油膜切れが発生したところで、固形膜40の存在によりねじ軸1やナット2に対するボール3の直接接触つまり母材相互の直接接触を回避できるようになる。一方、油膜41の存在によって固形膜40の摩擦係数が軽減されることになるので、固形膜40の摩耗進展を抑制できるようになる。このように固形膜40と油膜41とが相互に助長し合うことによって、転動、摺動部位の良好な潤滑性を長期間継続できるようになる。しかも、上述したように油膜41の膜厚を固形膜40の膜厚の1/2以下に設定していれば、固形膜40に対する油膜41の付着強度がより一層高められるので、低発塵性を確保できて環境清浄化に貢献できるようになる。この油膜41の付着強度は、例えば10-5Paレベルの高真空環境においても十分なものとなるなど、使用環境範囲を拡大できるようになる。図7に膜厚と発塵量との関係についての試験結果を示す。この結果から、油膜41の膜厚を固形膜の1/2以下としたものは、使用開始時から発塵量が少なく、また、時間が経過しても終始発塵量が低くなっていることが判る。
【0029】
図3ないし図5に本発明の一実施形態にかかる直動型玉軸受を示している。図3は、直動型玉軸受の上半分を断面にした側面図、図4は、直動型玉軸受の一部を断面にした端面図、図5は、図3中のレールの断面図である。
【0030】
図中、Bは直動型玉軸受の全体を示しており、11は円筒形の軸からなるレール、12は円筒部材からなる移動体、13は保持器、14は転動体としてのボール、15は環体である。
【0031】
レール11は、その外周面の円周六箇所に軸方向に沿う直線状の溝16が全長に及んで設けられている。
【0032】
移動体12は、その内周面の軸方向中間領域の円周六箇所にレール11の溝16に径方向で対向するようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷循環ボール列用の溝17,18が設けられている。
【0033】
保持器13は、移動体12の内周面の一部に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端部分は、環体15により支持されている。保持器13の軸方向中間領域には、平面的に見ると横長の輪状溝19が周方向に合計六つ設けられている。輪状溝19の軸方向に沿う片方の直線部19aは、底が貫通されて底無しとされ、残り片方の直線部19bは底有りとされている。
【0034】
前述のレール11側と移動体12側の対向する二つの直線状の溝16,17がそれぞれ対となって合計六本の負荷用ボール転送路20を構成している。このボール転送路20に、保持器13の輪状溝19の底無しの直線部19aが位置する。また、移動体12の溝18と保持器13の輪状溝19の底有りの直線部19bとが対となって合計六本の無負荷用ボール循環路21を構成している。これら、六本のボール転送路20それぞれとそれに近い側に隣り合う六本のボール循環路21それぞれとが保持器13の輪状溝19の周方向に沿う部分によって一本ずつ連通連結されていて、それでボール循環回路を構成している。このため、レール11と移動体12との相対的な軸方向スライド動作に伴って、このボール転送路20とボール循環路21との間でボール14群が転動循環されるようになっている。なお、レール11の溝16と移動体12の溝17の横断面は、例えばV字形に形成されていて、これら対向する一対の溝16,17に対してボール14が2点ずつ計四点で接触するようになっている。
【0035】
このような直動型玉軸受Bにおいて、レール11の外周面と移動体12の内周面に対して、上述した固形膜40が被覆形成されるとともに、この固形膜40の表面にふっ素系油成分からなる油膜41が付着される。
【0036】
直動型玉軸受Bにおいて、レール11、移動体12、保持器13ならびにボール14は、例えばJIS規格SUS440、SUS440C、SUS630、SUS304などの金属で形成され、環体15は、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、エチレンテトラフルオロエチレン(ETFE)などのふっ素系樹脂やポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ナイロン(PA)などのエンジニアリングプラスチックスで形成される。但し、ボール14は、例えば窒化けい素(Si34)、アルミナ(Al23)や炭化けい素(SiC)、ジルコニア(ZrO2)などのセラミックスで形成してもよい。また、保持器13は、例えば黄銅やチタン、あるいは上記合成樹脂などで形成してもよい。
【0037】
図6は本発明の一実施形態にかかる転がり軸受の上半分の縦断面図である。図中、Cは転がり軸受の全体を示しており、深溝型玉軸受と呼ばれる形式を例示している。この転がり軸受Cは、内輪31と、外輪32と、転動体としてのボール33と、波形の保持器34とを備えている。
【0038】
上述した内・外輪31,32、ボール33ならびに保持器34は、各種の金属材で形成される。この金属材としては、例えばJIS規格SUS440Cなどのマルテンサイト系ステンレス鋼、例えばJIS規格SUS630などの析出硬化型ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施した金属材、あるいはJIS規格SUS304などのオーステナイト系ステンレス鋼などが挙げられる。
【0039】
このような転がり軸受Cの場合、内輪31の外周面および外輪32の内周面に対して、上述した固形膜40が被覆形成されるとともに、この固形膜40の表面にふっ素系油成分からなる油膜41が付着される。
【0040】
以上説明したように、ボールねじA、直動型玉軸受Bあるいは転がり軸受Cにおいてボール3,14,33の転動部位あるいは摺動部位に固形膜40と油膜41とを形成すれば、仮にボール3,14,33のひきずり現象が発生してもボール3,14,33をその転動、摺動相手に対して必ず固形膜40や油膜41を介して接触させることができて、金属材どうしの直接接触を避けるようにできる。したがって、良好な潤滑性を長期にわたって継続できるようになり、長寿命化を達成できるようになる。
【0041】
なお、本発明は上記実施形態のみに限定されるものではなく、種々な応用や変形が考えられる。
【0042】
(1)上記実施形態で例示したボールねじA、直動型玉軸受Bならびに転がり軸受Cは、あくまでも本発明の対象の一例であって、転がり摺動部品の範疇に含まれる周知の各種機器に対して本発明を適用できる。
【0043】
(2)上記実施形態では、ボールねじAのねじ軸1とナット2とに対して、また、直動型玉軸受Bのレール11と移動体12に対して、さらに、転がり軸受Cの内・外輪31,32に対して、それぞれ固形膜40と油膜41とを形成したが、いずれも、ボール3,14,33に対して固形膜40と油膜41とを形成してもよい。また、ボールねじのサーキュレータチューブ4や直動型玉軸受の保持器13にも膜を形成してもよい。
【0044】
【発明の効果】
請求項1または2の発明では、転動部位あるいは摺動部位に形成してある固形膜および油膜が長期にわたって排除されずに安定して存在するから、転動部位あるいは摺動部位の潤滑性を長期にわたって良好に保つことができて、寿命の向上に貢献できる。
【0045】
特に、油膜の膜厚を特定すれば、油膜の付着強度をより一層高めることができるので、潤滑性のさらなる長期安定化を図ることができるだけでなく、低発塵性を確保できて環境清浄化に貢献できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかるボールねじの縦断面図
【図2】固形膜の構造を模式的に表した構造図
【図3】本発明の他の実施形態にかかる直動型玉軸受の上半分を断面にした側面図
【図4】図3の直動型玉軸受の一部を断面にした端面図
【図5】図3中のレールの断面図
【図6】本発明の他の実施形態にかかる転がり軸受の上半分の断面図
【図7】各油膜の膜厚毎の発塵量の測定結果を示すグラフ
【符号の説明】
A ボールねじ
1 ねじ軸
2 ナット
3 ボール
5 ねじ軸の螺旋溝
6 ナットの螺旋溝
B 直動型玉軸受
11 レール
12 移動体
13 保持器
14 ボール
16 レールの溝
17,18 移動体の溝
C 転がり軸受
31 内輪
32 外輪
33 ボール
40 固形膜
41 油膜

Claims (2)

  1. 相手部材との間で相対的に転がり接触またはすべり接触が生ずる低発塵転がり摺動部品であって、
    前記相手部材との接触面に、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理することで形成された少なくとも下記化学式10,11のいずれかの結合を備えたふっ素系高分子成分のみからなる固形膜が予め被覆形成されており、前記固形膜は3次元の網状構造を有し、かつ膜厚が10μm以下であり、
    前記固形膜の表面に、オイルであるふっ素系油成分からなる油膜が付着されており、前記油膜は前記固形膜に対する付着強度を高めるために使用開始時における前記固形膜の膜厚の半分以下の膜厚に設定されている、ことを特徴とする低発塵転がり摺動部品。
    Figure 0003857449
    Figure 0003857449
  2. 転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、あるいは直動型軸受のレールや移動体として用いられる、請求項1の低発塵転がり摺動部品。
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