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JP3839177B2 - Pinhole inspection device for porous ceramic members - Google Patents

Pinhole inspection device for porous ceramic members Download PDF

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JP3839177B2
JP3839177B2 JP37227398A JP37227398A JP3839177B2 JP 3839177 B2 JP3839177 B2 JP 3839177B2 JP 37227398 A JP37227398 A JP 37227398A JP 37227398 A JP37227398 A JP 37227398A JP 3839177 B2 JP3839177 B2 JP 3839177B2
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JP
Japan
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ceramic member
powder
porous ceramic
gas
inspection
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JP2000193582A (en
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浩二 高橋
繁宏 丸本
充 安藤
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Ibiden Co Ltd
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Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多孔質セラミック部材隔壁のピンホールの検出を行うための検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
バス、トラック等の車両や建設機械等の内燃機関から排出される排気ガス中に含有されるパティキュレートが環境や人体に害を及ぼすことが最近問題となっている。
この排気ガスを多孔質セラミックを通過させることにより、排気ガス中のパティキュレートを捕集して排気ガスを浄化するセラミックフィルタが種々提案されている。
【0003】
多孔質セラミック部材10は、長手方向に多数の貫通孔11が並設され、貫通孔11同士を隔てる隔壁13がフィルタとして機能するようになっている。
即ち、図1(b)に示すように多孔質セラミック部材10に形成された貫通孔11は、排気ガスの入口側又は出口側の端部のいずれかが充填材12により目封じされ、一の貫通孔11に流入した排気ガスは、必ず貫通孔11を隔てる隔壁13を通過した後、他の貫通孔11から流出するようになっており、排気ガスがこの隔壁13を通過する際、パティキュレートが隔壁13部分で捕捉され、排気ガスが浄化される。
このとき、隔壁13にピンホール14が存在すると、パティキュレートがピンホール14を通過してしまい、このような多孔質セラミック部材10を用いたセラミックフィルタでは、充分に排気ガスを浄化することができない。
【0004】
そのため、セラミックフィルタを製造する前に、隔壁13にピンホール14が存在しないことを確認しなければならない。
従来、このようなピンホールの有無を確認する方法としては、多孔質セラミック部材10にX線を照射し、該X線の透過率からピンホールの有無を確認する方法等が用いられていた。
【0005】
しかしながら、X線を用いた方法では、図3に示すように隔壁33の厚さが異なると、X線の透過率が異なるためピンホール34の存在に起因する透過率の変化を検出することができなかった。即ち、隔壁33にピンホール34が存在する場合でも、ピンホール34のX線照射方向に厚い隔壁部分33aが存在すると、ピンホール34の存在に起因する透過率の増加が、厚い隔壁部分33aの存在に起因する透過率の低下により相殺される。その結果、ピンホール34の存在を検出できないことがあるという問題点があった。
また、図4に示すように、X線は放射状に広がるため、多孔質セラミック部材40を構成する隔壁43の端部と中央部とでは、X線照射方向の厚さが異り、同一の厚さを有する隔壁43にもかかわらず、測定される透過率が異なる。そのため、ピンホール44の検出は、スポット的な部分でしか行うことができず、生産性が悪いという問題点があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これらの問題を解決するためになされたもので、多孔質セラミック部材の隔壁のピンホールを精度よく検出できる、上記多孔質セラミック部材検査装置を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置は、気体吹き込み部と、検査用粉体を収納するための粉体収納部と、検査を行う多孔質セラミック部材を装着するためのセラミック部材装着部と、気体中に混入した粉体を検出するための検出部とを備え、更に、検査時に、上記気体吹き込み部から吹き込まれた気体を上記粉体収納部を通過させ、これにより上記検査用粉体を上記気体とともに上記セラミック部材装着部に装着された多孔質セラミック部材に導くとともに、上記セラミック部材装着部の他端から排出された気体を検出部に導くための配管と、検査終了後に、上記気体吹き込み部から吹き込まれた気体を上記セラミック部材装着部の上記他端に導き、上記多孔質セラミック部材に捕捉された上記検査用粉体を気体とともに粉体収納部に戻すための配管とを備えていることを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査方法及びピンホール検査装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【0010】
本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査方法は、一定粒径の粉体を用いて、多孔質セラミック部材の貫通孔を隔てる隔壁のピンホールの検出を行うピンホール検査方法であって、上記多孔質セラミック部材は、その長手方向に多数の貫通孔が並設され、上記貫通孔の一端部は、市松模様に充填材が充填されており、かつ、他端部は、一端部に充填材が充填されていない貫通孔に充填材が充填されている柱状の多孔質セラミック部材であり、上記隔壁のピンホールの検出は、上記多孔質セラミック部材に形成された気孔を通過せず、かつ、回収可能な大きさの粉体を混合した気体を上記貫通孔の一端部から導入した後、上記他端部から排出された気体中の粉体を検出装置で検出することにより行うことを特徴とするものである。
【0011】
まず、本発明で検査の対象となる多孔質セラミック部材について、図1(a)及び(b)を参照しながら説明する。
図1(a)は、上記多孔質セラミック部材の一形態を示す斜視図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線断面図である。
上記多孔質セラミック部材は、図1(a)に示すように、その長手方向に多数の貫通孔11が並設され、貫通孔11の一端部は、市松模様に充填材12が充填されており、かつ、他端部は、一端部に充填材12が充填されていない貫通孔11に充填材12が充填されている柱状のものである。
上記多孔質セラミック部材の内部は、図1(b)に示すように隔壁13が形成されている。そのため、一の貫通孔11に流入した気体は、必ず貫通孔11を隔てる隔壁13を通過した後、他の貫通孔11から流出するようになっており、気体中に粉体等の隔壁13を通過できない物質が存在している場合、隔壁13を通過できない物質は、気体がこの隔壁13を通過する際、隔壁13部分で捕捉されることとなる。
また、図1(a)に示した多孔質セラミック部材10は、四角柱形状であるが、ピンホール検査の対象となる多孔質セラミック部材の形状は、四角柱形状に限定されず、三角柱や五角柱形状であってもよく、円柱形状であってもよい。
【0012】
多孔質セラミック部材10は、例えば、セラミック粉末とバインダーと分散媒液との混合組成物を調製後、得られた混合組成物を押出成形機を用いて成形し、得られた成形体を乾燥し、脱脂し、焼成することにより作製する。
上記セラミック粉末としては特に限定されず、例えば、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化硼素、窒化チタン、炭化チタン等の非酸化物系セラミックの粉末;アルミナ、コージェライト、ムライト、シリカ、ジルコニア、チタニア等の酸化物系セラミックの粉末等を挙げることができる。
【0013】
次に、本発明のピンホール検査方法について図1(b)を参照しながら説明する。
本発明のピンホール検査方法は、粉体15を混合した気体を貫通孔11の一端部から導入した後、貫通孔11の他端部から排出された気体中の粉体15を検出装置で検出することによりピンホール14の有無を検査するものである。
【0014】
即ち、隔壁13にピンホール14が存在する場合には、貫通孔11の一端部から導入された粉体は、ピンホール14を通過した後、貫通孔11の他端部から気体とともに排出される(流路α)。従って、この気体中の粉末を検出装置で検出することにより、ピンホールを検出することができる。
【0015】
一方、隔壁13にピンホール14が存在しない場合には、貫通孔11の一端部から導入された粉体15は、隔壁13を通過することができず、そのため、貫通孔11の他端部から排出された気体中に粉体15が混入することはない(流路β)。従って、排出された気体を検出装置に導入しても粉体は検出されず、隔壁13にはピンホール14が存在しないことがわかる。
上記ピンホール検査方法を実施することにより、多孔質セラミック部材10の隔壁13にピンホールが存在するか否かを検査することができる。
【0016】
粉体15の材質としては特に限定されず、例えば、ガラス等の無機化合物、樹脂等の有機化合物、金属等を挙げることができる。
粉体15の粒径は、一定であれば、その大きさは特に限定されず、検査するピンホールの大きさに応じて適宜設定すればよく、例えば、多孔質セラミック部材10を用いて排気ガスを浄化するセラミックフィルタを作製する場合には、該セラミックフィルタの要求性能を考慮して、50〜60μmの粒径の粉体を使用する。なお、本明細書において、一定粒径の粉体とは、全ての粉体が同一の粒径を有するという意味ではなく、狭い幅の粒径分布を有するという意味であり、このような粉体としては、例えば、JIS Z 8901に記載のガラスビーズや白色溶融アルミナ等からなるJIS試験用粉体II等を挙げることができる。
【0017】
上記検出装置としては、粉体の有無を判別できるものであれば特に限定されないが、容易に、精度よく粉体の有無を判別できる点からパーティクルカウンターが好ましい。
このパーティクルカウンターは、狭い空間を通過する微粒子を含む気体と、レーザ等の光を交差させ、その際に発生する微粒子による散乱光の強度を測定する、いわゆる光散乱方式を用いて微粒子の数や大きさを測定する装置であり、微粒子が浮遊する気体をパーティクルカウンターに導入することにより、連続的に微粒子の数等を測定することができるため、即時応答性に優れる。
そのため、隔壁13を通過した後に排出された気体を、直接、パーティクルカウンターに導くことにより、気体中に粉末が混入しているか検査することができ、ピンホールの有無を判別することができる。
【0018】
本発明のピンホールの検査方法は、上記のように、多孔質セラミック部材を粉体が通過した否かにより、ピンホールの存在の有無を判別するため、破壊検査と異なり全数検査ができる、短時間で測定できるため生産性が高い、整備コストが安価である、検査用粉体は再利用できる等の利点を有する。
【0019】
次に、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置について、図2を参照しながら説明する。
本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置は、気体吹き込み部と、検査用粉体を収納するための粉体収納部と、検査を行う多孔質セラミック部材を装着するためのセラミック部材装着部と、気体中に混入した粉体を検出するための検出部とを備え、更に、検査時に、上記気体吹き込み部から吹き込まれた気体を上記粉体収納部を通過させ、これにより上記検査用粉体を上記気体とともに上記セラミック部材装着部に装着された多孔質セラミック部材に導くとともに、上記セラミック部材装着部の他端から排出された気体を検出部に導くための配管と、検査終了後に、上記気体吹き込み部から吹き込まれた気体を上記セラミック部材装着部の上記他端に導き、上記多孔質セラミック部材に捕捉された上記検査用粉体を気体とともに粉体収納部に戻すための配管とを備えている。
【0020】
図2は、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置の一実施形態を示した説明図である。
本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置において検査の対象となる多孔質セラミック部材のピンホールは、上記本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査方法において説明したものと同様である。
図2に示したように、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置20は、気体吹き込み部21と、検査用粉体を収納するための粉体収納部22と、検査を行う多孔質セラミック部材を装着するためのセラミック部材装着部23と、気体中に混入した粉体を検出するための検出部24とを備えている。
【0021】
気体吹き込み部21としては、気体を吹き込めるものであれば特に限定されず、例えば、エアーポンプ等を挙げることができる。また、吹き込む気体も特に限定されないが、通常は、エアー(乾燥エアー)を用いる。
気体吹き込み部21から送り込む気体の量は特に限定されず、検査対象である多孔質セラミック部材の形状等に応じて設定すればよく、通常、20〜40l/minに設定するのが好ましい。
【0022】
粉体収納部22は、検査用粉体を収納するための部材で、取り外し可能なようになっており、この中に検査用粉体を収納した後、装着すればよい。
また、粉体収納部22は、検査時に検査用粉体を収納するだけでなく、検査終了後に上記検査用粉体を再利用するために捕集する役割を有している。従って、通常は、検査を行った後、検査用粉体を回収することにより、同一の検査用粉体を用いて何度でも検査を行うことができる。
【0023】
従って、後述する検査用粉体の回収時に、検査用粉体を捕集することができるように、粉体収納部22のバルブ25側端部にフィルタ(図示せず)が設けられている。このフィルタは、検出用粉体の粒度より小さい目開きで、粉体が詰まりにくいように構成されたものであれば、特に限定されない。
【0024】
セラミック部材装着部23は、本発明の検査対象である多孔質セラミック部材10を検査時に装着する部分である。
セラミック部材装着部23は、検査対象となる多孔質セラミック部材10を装着することにより、多孔質セラミック部材に吹き込まれる気体が外部に漏れないようになっている。即ち、例えば、図2に示すような、1対のマスク状の装着具23a、23bを多孔質セラミック部材10の両端部に装着すれば、多孔質セラミック部材10に吹き込まれる気体は、外部に漏れないようになっている。また、多孔質セラミック部材10は、順次、装着具23a、23bの近傍まで運搬され、多孔質セラミック部材10を検出したセンサーからの信号により、自動的に装着具23a、23bが装着されるようになっている。
【0025】
セラミック部材装着部23は、多孔質セラミック部材10を収納することができる容器型の形状であってもよい。この場合には、多孔質セラミック部材10を収納した際、多孔質セラミック部材10の外側を気体が通過しないように、収納容器の内部は、弾性体等が貼り付けられていることが望ましい。
検出部24は、検出器を備えており、該検出器としては特に限定されないが、パーティクルカウンターが好ましい。
【0026】
更に、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置20は、検査時に、気体吹き込み部21から吹き込まれた気体を粉体収納部22を通過させ、これにより検査用粉体を気体とともにセラミック部材装着部23に装着された多孔質セラミック部材10に導くとともに、セラミック部材装着部23の他端から排出された気体を検出部24に導くための配管と、検査終了後に、気体吹き込み部21から吹き込まれた気体をセラミック部材装着部23の上記他端に導き、多孔質セラミック部材10に捕捉された上記検査用粉体を気体とともに粉体収納部23に戻すための配管とを備えている。
【0027】
具体的には、図2に示すように、気体吹き込み部21より出た配管は、途中で二方向に分岐し、図中、左側に分岐した配管は、三方バルブ25、粉体収納部22及びバルブ26を経て装着具23aに接続されるとともに、バルブ26を経た後さらに分岐し、バルブ28を経て検出部24に接続されている。
【0028】
また、図中、右側に分岐した配管はバルブ27を経て装着部23bに接続されるとともに、バルブ27を経た後さらに分岐し、バルブ29を経て検出部24に接続されている。即ち、バルブ28を経た配管とバルブ29を経た配管は、途中で1つの配管となり、検出部24に接続されている。
さらに、検出部24より出た別の配管は、粉体収納部22とバルブ26との間の配管に接続されており、この配管の途中には、バルブ201を有する放出用配管が接続されている。なお、放出用配管の分岐口には、フィルタ(図示さず)が設けられており、粉体が外に漏れないようになっている。
【0029】
次に、本発明の検査装置を使用したピンホール検査方法について説明する。
まず、三方バルブ25は両端に接続された管内を気体が通過する状態、バルブ26、29、201は開状態、バルブ27、28、202は閉状態にしておく。これにより、気体吹き込み部21から吹き込んだエアー等の気体を、流路a、bを通過させて多孔質セラミック部材10に導き、さらに流路eを通過させ、検出部24に導いた後、バルブ201を経て外部に放出させる。
【0030】
このとき、気体は、粉体収納部22を通過するため、粉体収納部22内の検査用粉体は、気体とともに多孔質セラミック部材10に導かれる。そして、多孔質セラミック部材10の隔壁にピンホールが存在しない場合には、検査用粉体は、全量隔壁部分に捕捉されるため、検出部24で粉体は検出されない。
一方、隔壁にピンホールに存在すると、検査用粉体の一部は、流路eを経て検出部24に到達するため、検出部で検査用粉体が検出されることになる。
ただし、放出用配管にはフィルタが設けられているため、検査用粉体は、このフィルタに捕集される。
【0031】
検査が終了した後には、三方バルブ25は粉体収納部22側の配管と外部とが導通した状態、バルブ26、29、201は閉状態、バルブ27、28、202は開状態にする。そして、この状態で気体を吹き込み、気体を流路a、cを通過させて多孔質セラミック部材10に導く。これにより、初めに気体等が通過した方向とは逆方向から多孔質セラミック部材10に気体が流れ込むため、多孔質セラミック部材10に捕捉された検査用粉体は、気体とともに配管中に流れ出し、流路d、検出部24、流路fを通過した後、粉体収納部21のフィルタに捕集され、粉体収納部21に戻る。その後気体は、三方バルブ25を通って外部に放出される。なお、放出用配管のフィルタに検査用粉体が捕集されている場合にも、この粉体回収時に回収される。
【0032】
このように、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置は、粉体の通過の有無により、ピンホールの有無を判別するため、X線照射では検出できなかったピンホールを検出することができる。また、破壊検査とは異なり、全数検査を行うことができる。そのうえ、気体と検査用粉体とを貫通孔から導入後、瞬時に検出部にて検査用粉体の有無を判別するため生産性が高い。
【0033】
本発明の検査装置においては、多孔質セラミック部材のセラミック装着部への装着、バルブの切替え、気体の吹き込み等の操作を制御装置から信号を発信することにより行うことができるように構成されている。また、この制御装置には、各操作が行われたか否かを検出するセンサーや操作の手順に関する情報が記憶されており、この制御装置を作動させることにより、多孔質セラミック部材のピンホール検査を自動的に行うことができるようになっており、効率的に多孔質セラミック部材のピンホール検査を行うことができる。
【0034】
【実施例】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
【0035】
実施例1
炭化珪素粉末に有機バインダー、水等を加えて混練した後、押し出し成形を行い、ハニカム形状の成形体を作製し、続いて、乾燥、脱脂、焼成を行うことにより、図2に示すような平均気孔径が5〜20μmで、1平方インチ当たりのセル数が200個で、隔壁の厚さが0.3mm、の多孔質セラミック部材を作製した。
【0036】
次に、得られた多孔質セラミック部材について、図2に示した多孔質セラミック部材のピンホール検査装置20を用いてピンホールの有無を検査し、ピンホールのある多孔質セラミック部材とピンホールのない多孔質セラミック部材とに分別した。
【0037】
その後、それぞれの多孔質セラミック部材を、長手方向に貫通孔に沿って切断し、1層の隔壁を有する測定試料とした。そして、得られた測定試料にX線をスポット照射しながら測定試料を徐々に移動させ、隔壁にピンホールが存在するか否かを測定した。
【0038】
その結果、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査方法による測定においてピンホールの検出されなかった多孔質セラミック部材では、X線照射による測定においてもピンホールは検出されなかった。また、本発明の多孔質セラミック部材部材のピンホール検査方法においてピンホールの検出された多孔質セラミック部材では、X線照射による測定においてもピンホールが検出された。
【0039】
比較例1
実施例1と同様の方法を用いて得られた多孔質セラミック部材について、本発明のピンホール検査方法に代えて、X線を照射することによりピンホールの有無を検査し、ピンホールのある多孔質セラミック部材とピンホールのない多孔質セラミック部材とに分別した以外は、実施例1と同様にして、隔壁にピンホールが存在するか否かを測定した。
【0040】
その結果、切断前のX線照射による測定においてピンホールの検出された多孔質セラミック部材では、切断後のX線照射による測定においてもピンホールは検出されたものの、切断前のX線照射による測定において、ピンホールの検出されなかった多孔質セラミック部材のなかに、切断後のX線照射による測定においてピンホールが検出されたものがあった。
従って、多孔質セラミック部材を切断することなく、ピンホールを検査する方法では、ピンホールを確実に検出することができないことがわかった。
【0041】
【発明の効果】
本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査方法は、上述の通りであるので、多孔質セラミック部材の隔壁のピンホールを精度よく検出でき、かつ、生産性が高いものである。
【0042】
また、本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置は、上述の通りであるので、この検査装置を用いることにより、精度よく、かつ、高い生産性で多孔質セラミック部材の隔壁のピンホールを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明の検査対象である多孔質セラミック部材の乾燥方法の一実施形態を示した斜視図であり、(b)は、(a)のA−A線断面図である。
【図2】本発明の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置の一実施形態を模式的に示した説明図である。
【図3】従来行われてきたX線照射によるピンホールの検出を説明するための要部拡大断面図である。
【図4】従来行われてきたX線照射によるピンホールの検出の一実施形態を模式的に示した断面図である。
【符号の説明】
10 多孔質セラミック部材
11 貫通孔
12 充填材
14 ピンホール
15 粉体
20 多孔質セラミック部材のピンホール検査装置
21 気体吹き込み部
22 粉体収納部
23 セラミック部材装着部
24 検出部
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection device for detecting pinholes in a porous ceramic member partition wall.
[0002]
[Prior art]
Recently, it has been a problem that particulates contained in exhaust gas discharged from internal combustion engines such as vehicles such as buses and trucks and construction machines cause harm to the environment and the human body.
Various ceramic filters that purify exhaust gas by collecting particulates in the exhaust gas by passing the exhaust gas through a porous ceramic have been proposed.
[0003]
The porous ceramic member 10 has a large number of through holes 11 arranged in the longitudinal direction, and a partition wall 13 that separates the through holes 11 functions as a filter.
That is, as shown in FIG. 1B, the through-hole 11 formed in the porous ceramic member 10 is sealed with the filler 12 at either the exhaust gas inlet side or the outlet side end. The exhaust gas that has flowed into the through-hole 11 always passes through the partition wall 13 separating the through-holes 11 and then flows out from the other through-holes 11. When the exhaust gas passes through the partition wall 13, the particulates Is captured by the partition wall 13 and the exhaust gas is purified.
At this time, if the pinhole 14 exists in the partition wall 13, the particulates pass through the pinhole 14, and the ceramic filter using such a porous ceramic member 10 cannot sufficiently purify the exhaust gas. .
[0004]
Therefore, before manufacturing the ceramic filter, it must be confirmed that the pinhole 14 does not exist in the partition wall 13.
Conventionally, as a method for confirming the presence or absence of such pinholes, a method of irradiating the porous ceramic member 10 with X-rays and confirming the presence or absence of pinholes from the transmittance of the X-rays has been used.
[0005]
However, in the method using X-rays, if the thickness of the partition wall 33 is different as shown in FIG. 3, the change in the transmittance due to the presence of the pinhole 34 can be detected because the X-ray transmittance is different. could not. That is, even when the pinhole 34 exists in the partition wall 33, if the thick partition wall portion 33 a exists in the X-ray irradiation direction of the pinhole 34, the increase in transmittance due to the presence of the pinhole 34 increases the thickness of the thick partition wall portion 33 a. This is offset by a decrease in transmittance due to the presence. As a result, there is a problem that the presence of the pinhole 34 may not be detected.
Further, as shown in FIG. 4, since X-rays spread radially, the end portions and the central portion of the partition wall 43 constituting the porous ceramic member 40 have different thicknesses in the X-ray irradiation direction and the same thickness. Regardless of the partition wall 43 having a thickness, the measured transmittance is different. Therefore, the detection of the pinhole 44 can be performed only in a spot portion, and there is a problem that productivity is poor.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
Things present invention has been made in order to solve these problems, that can detect a pin hole of the partition walls of the porous ceramic member accurately, and an object thereof is to provide an inspection apparatus of the porous ceramic member It is.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The porous ceramic member pinhole inspection apparatus according to the present invention includes a gas blowing portion, a powder storage portion for storing inspection powder, and a ceramic member mounting portion for mounting a porous ceramic member for inspection. And a detection unit for detecting the powder mixed in the gas, and further, during the inspection, the gas blown from the gas blowing unit is allowed to pass through the powder storage unit, thereby the inspection powder. The body is guided to the porous ceramic member mounted on the ceramic member mounting portion together with the gas, and a pipe for guiding the gas discharged from the other end of the ceramic member mounting portion to the detection portion, and after the inspection is completed, The gas blown from the gas blowing portion is guided to the other end of the ceramic member mounting portion, and the inspection powder captured by the porous ceramic member is powdered together with the gas. It and a pipe for returning the housing part and is characterized in.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of a pinhole inspection method and a pinhole inspection apparatus for a porous ceramic member according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[0010]
A pinhole inspection method for a porous ceramic member according to the present invention is a pinhole inspection method for detecting a pinhole in a partition wall separating a through hole of a porous ceramic member using a powder having a constant particle diameter, The porous ceramic member has a large number of through-holes arranged in the longitudinal direction thereof, one end of the through-hole is filled with a filler in a checkered pattern, and the other end is filled with a filler at one end. Is a columnar porous ceramic member filled with a filler in a through hole not filled with, the detection of pinholes in the partition wall does not pass through the pores formed in the porous ceramic member, and The method is characterized in that after a gas mixed with a powder having a recoverable size is introduced from one end of the through hole, the powder discharged from the other end is detected by a detection device. To do.
[0011]
First, a porous ceramic member to be inspected in the present invention will be described with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b).
Fig.1 (a) is a perspective view which shows one form of the said porous ceramic member, FIG.1 (b) is the sectional view on the AA line of Fig.1 (a).
As shown in FIG. 1A, the porous ceramic member has a large number of through holes 11 arranged in the longitudinal direction, and one end of the through hole 11 is filled with a filler 12 in a checkered pattern. And the other end is a columnar one in which the filler 12 is filled in the through hole 11 in which the filler 12 is not filled in the one end.
Inside the porous ceramic member, a partition wall 13 is formed as shown in FIG. For this reason, the gas flowing into one through-hole 11 always passes through the partition wall 13 separating the through-holes 11 and then flows out from the other through-holes 11. When there is a substance that cannot pass through, the substance that cannot pass through the partition wall 13 is captured by the partition wall 13 when the gas passes through the partition wall 13.
In addition, the porous ceramic member 10 shown in FIG. 1A has a quadrangular prism shape, but the shape of the porous ceramic member to be subjected to the pinhole inspection is not limited to the quadrangular prism shape, and a triangular prism or five It may have a prismatic shape or a cylindrical shape.
[0012]
The porous ceramic member 10 is prepared, for example, by preparing a mixed composition of a ceramic powder, a binder, and a dispersion medium, and then molding the obtained mixed composition using an extruder, and drying the obtained molded body. It is prepared by degreasing and firing.
The ceramic powder is not particularly limited, and examples thereof include non-oxide ceramic powders such as silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, titanium nitride, and titanium carbide; alumina, cordierite, mullite, silica, zirconia, Examples thereof include oxide ceramic powders such as titania.
[0013]
Next, the pinhole inspection method of the present invention will be described with reference to FIG.
In the pinhole inspection method of the present invention, a gas mixed with powder 15 is introduced from one end of through-hole 11, and then powder 15 in the gas discharged from the other end of through-hole 11 is detected by a detection device. Thus, the presence or absence of the pinhole 14 is inspected.
[0014]
That is, when the pinhole 14 exists in the partition wall 13, the powder introduced from one end portion of the through hole 11 passes through the pinhole 14 and is then discharged together with the gas from the other end portion of the through hole 11. (Flow path α). Therefore, pinholes can be detected by detecting the powder in the gas with a detection device.
[0015]
On the other hand, when the pinhole 14 does not exist in the partition wall 13, the powder 15 introduced from one end portion of the through hole 11 cannot pass through the partition wall 13, and therefore, from the other end portion of the through hole 11. The powder 15 is not mixed in the discharged gas (flow path β). Therefore, it can be seen that no powder is detected even if the discharged gas is introduced into the detection device, and no pinhole 14 exists in the partition wall 13.
By performing the pinhole inspection method, it is possible to inspect whether or not there is a pinhole in the partition wall 13 of the porous ceramic member 10.
[0016]
The material of the powder 15 is not particularly limited, and examples thereof include inorganic compounds such as glass, organic compounds such as resins, metals, and the like.
If the particle size of the powder 15 is constant, the size thereof is not particularly limited, and may be appropriately set according to the size of the pinhole to be inspected. For example, the exhaust gas using the porous ceramic member 10 In the case of producing a ceramic filter that purifies the water, a powder having a particle size of 50 to 60 μm is used in consideration of the required performance of the ceramic filter. In the present specification, the powder having a constant particle size does not mean that all the powders have the same particle size, but means that the powder has a narrow particle size distribution. Examples thereof include JIS test powder II made of glass beads, white fused alumina, or the like described in JIS Z 8901.
[0017]
The detection device is not particularly limited as long as it can determine the presence / absence of powder, but a particle counter is preferable because it can easily determine the presence / absence of powder.
This particle counter crosses a gas containing fine particles that pass through a narrow space with light from a laser or the like, and measures the intensity of light scattered by the fine particles generated at that time using a so-called light scattering method. This is a device for measuring the size, and by introducing the gas in which the fine particles are suspended into the particle counter, the number of fine particles can be continuously measured, so that it has excellent immediate response.
Therefore, by directing the gas discharged after passing through the partition wall 13 directly to the particle counter, it is possible to inspect whether powder is mixed in the gas and to determine the presence or absence of a pinhole.
[0018]
The pinhole inspection method of the present invention, as described above, determines whether or not a pinhole is present depending on whether or not the powder has passed through the porous ceramic member. Since it can be measured in time, it has advantages such as high productivity, low maintenance cost, and inspection powder can be reused.
[0019]
Next, a pinhole inspection apparatus for a porous ceramic member according to the present invention will be described with reference to FIG.
The porous ceramic member pinhole inspection apparatus according to the present invention includes a gas blowing portion, a powder storage portion for storing inspection powder, and a ceramic member mounting portion for mounting a porous ceramic member for inspection. And a detection unit for detecting the powder mixed in the gas, and further, during the inspection, the gas blown from the gas blowing unit is allowed to pass through the powder storage unit, thereby the inspection powder. The body is guided to the porous ceramic member mounted on the ceramic member mounting portion together with the gas, and a pipe for guiding the gas discharged from the other end of the ceramic member mounting portion to the detection portion, and after the inspection is completed, The gas blown from the gas blowing portion is guided to the other end of the ceramic member mounting portion, and the inspection powder captured by the porous ceramic member is powdered together with the gas. And a pipe for returning the housing portion.
[0020]
FIG. 2 is an explanatory view showing an embodiment of a pinhole inspection apparatus for a porous ceramic member of the present invention.
The pinhole of the porous ceramic member to be inspected in the pinhole inspection apparatus for the porous ceramic member of the present invention is the same as that described in the method for inspecting the porous ceramic member of the present invention.
As shown in FIG. 2, the pinhole inspection device 20 for a porous ceramic member according to the present invention includes a gas blowing portion 21, a powder storage portion 22 for storing inspection powder, and a porous body for inspection. A ceramic member mounting portion 23 for mounting the ceramic member and a detection portion 24 for detecting powder mixed in the gas are provided.
[0021]
The gas blowing part 21 is not particularly limited as long as gas can be blown, and examples thereof include an air pump. Moreover, although the gas blown in is not specifically limited, Usually, air (dry air) is used.
The amount of gas fed from the gas blowing section 21 is not particularly limited, and may be set according to the shape of the porous ceramic member to be inspected, and is usually preferably set to 20 to 40 l / min.
[0022]
The powder storage unit 22 is a member for storing the inspection powder, and is removable. The powder storage unit 22 may be attached after the inspection powder is stored therein.
The powder storage unit 22 not only stores the inspection powder at the time of inspection, but also has a role of collecting the inspection powder for reuse after the end of the inspection. Therefore, usually, after the inspection is performed, the inspection powder can be collected, so that the inspection can be performed any number of times using the same inspection powder.
[0023]
Therefore, a filter (not shown) is provided at the end of the powder storage unit 22 on the side of the valve 25 so that the inspection powder can be collected when the inspection powder to be described later is collected. The filter is not particularly limited as long as the filter has an opening smaller than the particle size of the detection powder and is configured to prevent the powder from clogging.
[0024]
The ceramic member mounting portion 23 is a portion for mounting the porous ceramic member 10 to be inspected according to the present invention during inspection.
The ceramic member mounting portion 23 is configured so that the gas blown into the porous ceramic member does not leak to the outside by mounting the porous ceramic member 10 to be inspected. That is, for example, if a pair of mask-like mounting tools 23a and 23b as shown in FIG. 2 are mounted on both ends of the porous ceramic member 10, the gas blown into the porous ceramic member 10 leaks to the outside. There is no such thing. Further, the porous ceramic member 10 is sequentially transported to the vicinity of the mounting tools 23a and 23b, and the mounting tools 23a and 23b are automatically mounted by a signal from the sensor that detects the porous ceramic member 10. It has become.
[0025]
The ceramic member mounting portion 23 may have a container shape that can accommodate the porous ceramic member 10. In this case, it is desirable that an elastic body or the like is attached to the inside of the storage container so that the gas does not pass outside the porous ceramic member 10 when the porous ceramic member 10 is stored.
The detection unit 24 includes a detector, and the detector is not particularly limited, but a particle counter is preferable.
[0026]
Furthermore, the pinhole inspection apparatus 20 for a porous ceramic member according to the present invention allows the gas blown from the gas blowing portion 21 to pass through the powder storage portion 22 during the inspection, thereby allowing the inspection powder together with the gas to the ceramic member. A pipe for guiding the gas discharged from the other end of the ceramic member mounting portion 23 to the detection portion 24 while being guided to the porous ceramic member 10 mounted on the mounting portion 23, and blown from the gas blowing portion 21 after completion of the inspection. And a pipe for guiding the gas to the other end of the ceramic member mounting portion 23 and returning the inspection powder captured by the porous ceramic member 10 to the powder storage portion 23 together with the gas.
[0027]
Specifically, as shown in FIG. 2, the pipe exiting from the gas blowing section 21 branches in two directions in the middle, and the pipe branched to the left side in the figure includes the three-way valve 25, the powder storage section 22 and The valve 26 is connected to the mounting tool 23 a, and further branches after passing through the valve 26, and is connected to the detection unit 24 via the valve 28.
[0028]
Further, in the drawing, the pipe branched to the right side is connected to the mounting portion 23 b via the valve 27, further branched after passing through the valve 27, and connected to the detection portion 24 via the valve 29. That is, the pipe passing through the valve 28 and the pipe passing through the valve 29 become one pipe on the way and are connected to the detection unit 24.
Further, another pipe coming out from the detection unit 24 is connected to a pipe between the powder storage unit 22 and the valve 26, and a discharge pipe having a valve 201 is connected to the middle of this pipe. Yes. Note that a filter (not shown) is provided at the branch port of the discharge pipe so that the powder does not leak outside.
[0029]
Next, a pinhole inspection method using the inspection apparatus of the present invention will be described.
First, the three-way valve 25 is in a state in which gas passes through pipes connected to both ends, the valves 26, 29, and 201 are in an open state, and the valves 27, 28, and 202 are in a closed state. Thereby, a gas such as air blown from the gas blowing section 21 is guided to the porous ceramic member 10 through the flow paths a and b, further passed through the flow path e and guided to the detection section 24, and then the valve It is discharged to the outside through 201.
[0030]
At this time, since the gas passes through the powder storage unit 22, the inspection powder in the powder storage unit 22 is guided to the porous ceramic member 10 together with the gas. When no pinholes are present in the partition walls of the porous ceramic member 10, since the whole amount of the inspection powder is captured by the partition wall portions, no powder is detected by the detection unit 24.
On the other hand, if the partition wall is present in the pinhole, a part of the inspection powder reaches the detection unit 24 via the flow path e, and thus the inspection powder is detected by the detection unit.
However, since the discharge pipe is provided with a filter, the inspection powder is collected by this filter.
[0031]
After the inspection is completed, the three-way valve 25 is in a state where the piping on the powder container 22 side is electrically connected to the outside, the valves 26, 29, 201 are closed, and the valves 27, 28, 202 are opened. In this state, gas is blown, and the gas passes through the flow paths a and c to be guided to the porous ceramic member 10. As a result, the gas flows into the porous ceramic member 10 from the direction opposite to the direction in which the gas or the like first passes, so that the inspection powder captured by the porous ceramic member 10 flows out into the pipe together with the gas. After passing through the path d, the detection unit 24, and the flow path f, the powder is collected by the filter of the powder storage unit 21 and returns to the powder storage unit 21. Thereafter, the gas is discharged to the outside through the three-way valve 25. Even when the inspection powder is collected in the filter of the discharge pipe, it is recovered at the time of the powder recovery.
[0032]
As described above, the pinhole inspection apparatus for porous ceramic members according to the present invention can detect a pinhole that cannot be detected by X-ray irradiation because it determines the presence or absence of a pinhole based on the presence or absence of the passage of powder. it can. Also, unlike destructive inspection, 100% inspection can be performed. In addition, after introducing the gas and the inspection powder from the through hole, the presence or absence of the inspection powder is immediately determined by the detection unit, so that productivity is high.
[0033]
The inspection apparatus of the present invention is configured such that operations such as mounting of a porous ceramic member to a ceramic mounting portion, switching of a valve, blowing of gas, etc. can be performed by transmitting a signal from the control device. . In addition, the control device stores information on sensors for detecting whether or not each operation has been performed and operation procedure information. By operating this control device, pinhole inspection of the porous ceramic member is performed. It is possible to automatically perform the pinhole inspection of the porous ceramic member.
[0034]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
[0035]
Example 1
After kneading by adding an organic binder, water, etc. to silicon carbide powder, extrusion molding is performed to produce a honeycomb-shaped molded body, followed by drying, degreasing, and firing to obtain an average as shown in FIG. A porous ceramic member having a pore diameter of 5 to 20 μm, 200 cells per square inch, and a partition wall thickness of 0.3 mm was produced.
[0036]
Next, the obtained porous ceramic member is inspected for the presence or absence of pinholes using the porous ceramic member pinhole inspection apparatus 20 shown in FIG. Sorted into no porous ceramic members.
[0037]
Thereafter, each porous ceramic member was cut along the through hole in the longitudinal direction to obtain a measurement sample having one layer of partition walls. Then, the measurement sample was gradually moved while irradiating the obtained measurement sample with X-rays, and it was measured whether or not there was a pinhole in the partition wall.
[0038]
As a result, in the porous ceramic member in which no pinhole was detected in the measurement by the pinhole inspection method of the porous ceramic member of the present invention, no pinhole was detected in the measurement by X-ray irradiation. Further, in the porous ceramic member in which pinholes were detected in the method for inspecting a pinhole of a porous ceramic member according to the present invention, pinholes were also detected in measurement by X-ray irradiation.
[0039]
Comparative Example 1
For a porous ceramic member obtained by using the same method as in Example 1, instead of the pinhole inspection method of the present invention, the presence or absence of pinholes is inspected by irradiating with X-rays, and a porous material having pinholes Whether or not there is a pinhole in the partition wall was measured in the same manner as in Example 1 except that the porous ceramic member was separated into a porous ceramic member and a porous ceramic member without a pinhole.
[0040]
As a result, in the porous ceramic member in which pinholes were detected in the measurement by X-ray irradiation before cutting, pinholes were detected in the measurement by X-ray irradiation after cutting, but measurement by X-ray irradiation before cutting Among the porous ceramic members in which no pinholes were detected, there were those in which pinholes were detected in the measurement by X-ray irradiation after cutting.
Therefore, it has been found that the pinhole cannot be reliably detected by the method of inspecting the pinhole without cutting the porous ceramic member.
[0041]
【The invention's effect】
Since the method for inspecting a pinhole of a porous ceramic member according to the present invention is as described above, the pinhole in the partition wall of the porous ceramic member can be accurately detected, and the productivity is high.
[0042]
Moreover, since the pinhole inspection apparatus for porous ceramic members of the present invention is as described above, by using this inspection apparatus, pinholes in the partition walls of the porous ceramic member can be formed with high accuracy and high productivity. Can be detected.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a perspective view showing one embodiment of a method for drying a porous ceramic member to be inspected according to the present invention, and FIG. 1B is a sectional view taken along line AA in FIG. It is.
FIG. 2 is an explanatory view schematically showing an embodiment of a pinhole inspection apparatus for a porous ceramic member of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part for explaining detection of pinholes by X-ray irradiation performed conventionally.
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing an embodiment of pinhole detection by X-ray irradiation that has been conventionally performed.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Porous ceramic member 11 Through-hole 12 Filler 14 Pinhole 15 Powder 20 Porous ceramic member pinhole inspection apparatus 21 Gas blowing part 22 Powder storage part 23 Ceramic member mounting part 24 Detection part

Claims (3)

気体吹き込み部と、検査用粉体を収納するための粉体収納部と、検査を行う多孔質セラミック部材を装着するためのセラミック部材装着部と、気体中に混入した粉体を検出するための検出部とを備え、更に、検査時に、前記気体吹き込み部から吹き込まれた気体を前記粉体収納部を通過させ、これにより前記検査用粉体を前記気体とともに前記セラミック部材装着部に装着された多孔質セラミック部材に導くとともに、前記セラミック部材装着部の他端から排出された気体を検出部に導くための配管と、検査終了後に、前記気体吹き込み部から吹き込まれた気体を前記セラミック部材装着部の前記他端に導き、前記多孔質セラミック部材に捕捉された前記検査用粉体を気体とともに粉体収納部に戻すための配管とを備えていることを特徴とする多孔質セラミック部材のピンホール検査装置。  A gas blowing section, a powder storage section for storing inspection powder, a ceramic member mounting section for mounting a porous ceramic member to be inspected, and for detecting powder mixed in the gas And a gas blown from the gas blowing part at the time of inspection to pass through the powder storage part, thereby mounting the inspection powder together with the gas on the ceramic member mounting part. A pipe for guiding the gas discharged from the other end of the ceramic member mounting portion to the detection portion while leading to the porous ceramic member, and the gas blown from the gas blowing portion after the inspection is finished, the ceramic member mounting portion And a pipe for returning the inspection powder captured by the porous ceramic member together with the gas to the powder storage unit. Pinhole inspection apparatus of the porous ceramic member. 前記検査用粉体は、前記多孔質セラミック部材に形成された気孔を通過せず、かつ、回収可能な大きさの粉体である請求項記載の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置。The test powder, the porous does not pass through the pores formed in the ceramic member, and, pinhole inspection apparatus of the porous ceramic member according to claim 1, wherein the powder of the recoverable size. 前記粉体の粒径は、50〜60μmである請求項又は記載の多孔質セラミック部材のピンホール検査装置The pinhole inspection apparatus for a porous ceramic member according to claim 1 or 2 , wherein the powder has a particle size of 50 to 60 µm.
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