JP3828283B2

JP3828283B2 - Image acquisition method for flat panel display inspection, image acquisition apparatus for flat panel display inspection

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Publication number: JP3828283B2
Application number: JP15567598A
Authority: JP
Inventors: 藤原　　潔; 雅理市川
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1998-06-04
Filing date: 1998-06-04
Publication date: 2006-10-04
Anticipated expiration: 2018-06-04
Also published as: KR20000005880A; JPH11352011A; KR20000005895A; TW436620B; US6362802B1; KR100298466B1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は例えば液晶表示パネル或はプラズマディスプレイ等のフラットパネル表示器の画素の欠陥或は表示ムラ等を検査する場合に用いるフラットパネル表示器検査用画像取得方法及びこの方法を用いた画像取得装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットパネル画質検査装置は大きく分けて検査用画像データを取得する検査用画像取得装置とこの検査用画像取得装置で取得した画像データを用いて画素の欠陥或は表示ムラの有無等を検査する画質検査装置とによって構成される。
図９は、フラットパネル表示器の画質検査装置において、検査用画像取得装置の部分の一般的な構成を示すブロック図である。同図においてフラットパネル表示器８はパネル駆動部２からの駆動信号に基づいて所定の明暗画像を持つ試験画像を表示する。
【０００３】
パネル駆動部２は制御部１によって制御される。フラットパネル表示器８の明暗を撮影したカメラ部３の出力信号は、ＡＤ変換器４を通してデジタルの明暗画素データ（以下これを撮像画素データと称す）へと変換され、一時、画像メモリ７に保存される。デジタル信号に変換された撮像画素データは、プリサンプリング処理部５にてパネルの画素サイズの画像データに変換される。この変換された画素データを表示画素データと称する。求めた表示画素データは画像メモリに格納される。尚、プリサンプリング画像データへの変換方法に関しては本出願人が提案した特開平８−２９３６０号公報及び特開平１０−３１７３０号公報を参照されたい。
【０００４】
カメラ部３で取得した撮像画像データをより高い精度でプリサンプリングし、かつ取得した表示画素データにおいてモアレの発生を抑えるには、画素倍率（パネル表示器８の画素数とＣＣＤ素子の画素数との比を指し、パネル表示器８の１画素をカメラ部３の画素２×２にて撮像する状態を画素倍率２と称す）が２倍程度の整数倍率であることが望ましい。しかし、パネル表示器８の高精細化が進み、カメラ部３の画素サイズの制限によって設定する画素倍率を２以下の非整数倍率にせざるをえない場合が生じている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
非整数倍率において取得した撮像画素データおよびこの撮像画素をプリサンプリング処理して得たデータ表示画素データには周期的に画素値の変動が発生する。これを画像のモアレと呼ぶ。図１０に倍率１．８において取得し画像メモリ７に格納した表示画素データの画素値（画素の明るさ）を同一のＸアドレス毎に縦方向Ｙアドレス方向に加算した結果の例を示す。図１０では約５画素周期のモアレが発生していることが確認できる。このモアレがノイズ成分となり、パネル表示器８の検査精度を大きく低下させる問題がある。
【０００６】
モアレの発生は、パネル表示器８の光の強度分布をカメラ部３の撮像素子の画素によってサンプリングした状態で概に発生する。これは主にパネル表示器８の表示画素とカメラ部３の撮像素子の画素の相対的位置の違いが、表示画素データに反映することが原因である。なお、以下では、カメラ部３の撮像素子の画素を撮像画素、パネル表示器８の表示画素を表示画素と称する。
【０００７】
図１１は倍率１．８における撮像画素と表示画素の相対的位置の例を示している。ここでは簡単のため１次元信号で説明する。図１１のように表示画素の５画素に対し撮像画素の９画素が対応し、この位置関係が周期的に繰り返される。このときの表示画素の周期的な光強度分布ｇ（ｘ）にたいする、１番目から１０番目の撮像画素によるサンプリング値Ｇ（ｎ）（ｎは１から１０までの整数）を式（１）に示す。
【０００８】
【数１】

撮像画素と表示画素の相対的位置の周期性から、表示画素６にたいするＣＣＤ画素１０の位置関係は表示画素にたいする撮像画素の位置関係に等しい。すなわち、ｘ₁₃にたいするｘ₁₄，ｘ₁₅の位置はｘ₀にたいするｘ₁，ｘ₂の位置と等しいので、画素値Ｇ（１）と画素値Ｇ（１０）は等しい。よって、撮像画素によるサンプリング値は相対的位置の違いによって９パターンが生じ、この９パターンが周期的に繰り返される。撮像画素によるサンプリング値が、カメラ部３の出力信号となる。したがって、その出力信号をＡＤ変換した撮像画像データには、９パターンのサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）を周期的に繰り返すモアレが発生している。
【０００９】
次に撮像画素によるサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）を、表示画素サイズに対応させてプリサンプリングする場合について検討する。図１１ＣにＣＣＤのサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）とプリサンプリングの区間の関係を示す。プリサンプリングする区間ｘ₀〜ｘ₂、ｘ₂〜ｘ₅、ｘ₅〜ｘ₈、ｘ₈〜ｘ₁₁のＣＣＤサンプリング値の面積がＬＣＤ画素サイズに対応する表示画像データの画素値となる。よって、プリサンプリングによる１番目から６番目の表示画素に対応する画素値ｆ（ｎ）（ｎは１から６までの整数）は式（２）となる。
【００１０】
【数２】

式（２）においても、撮像画素と表示画素の相対的位置の周期性から、ｆ（１）とｆ（６）は等しい。よって、表示画素に対応する表示画素データの画素値は５パターンあり、これが繰り返される。したがって、倍率１．８においては、プリサンプリング画像データに５画素周期でモアレが発生することがわかる。
【００１１】
この発明の目的はモアレ成分を除去し、モアレ成分に影響されることなく精度よく欠陥の有無を検査することができるフラットパネル表示器検査用画像取得方法及びこの方法を用いた検査画像取得装置を提供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１ではカメラ部から取得した撮像画素データを先ずプリサンプリング処理して表示画素データに変換し、この表示画素データ列に発生するＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方のモアレをモアレ除去手段によって除去し、モアレを除去した平滑画像データと欠陥部分を表わす欠陥画像データを別々に画像メモリに取得するフラットパネル表示器検査用画像取得方法を提案したものである。
【００１３】
つまり、この請求項１ではモアレの発生方向がＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方である場合を対象としたモアレ除去方法を用いたフラットパネル表示器検査用画像取得方法を提案した点を特徴とするものである。その他の特徴としてはモアレを除去した平滑画像データと欠陥画像データを別々に画像メモリに格納し、これらの画像データを別々に画像検査装置に送り出す画像データの格納方法を採った点である。
【００１４】
この発明の請求項２ではモアレ除去処理をＸ軸方向とＹ軸方向の２方向に関して実行した点を特徴とするもので、モアレを除去した平滑画像データと欠陥画像データの格納方法は請求項１と同じである。
この発明の請求項３では請求項１又はこのフラットパネル表示器検査用画像取得方法において平滑画像データと欠陥画像データの格納方法を、これら平滑画像データと欠陥画像データを加算し、この加算結果を共通の画像メモリに格納した点を請求するものである。従って画質検査装置には平滑画像データと欠陥画像データが加算された形態で供給されることになる。
【００１５】
この発明の請求項４ではプリサンプリング処理を行なう前にＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方向のモアレ除去処理を施し、モアレ除去した状態の撮像画素データと欠陥画素データを加算し、加算した画像データをプリサンプリング処理して表示画素サイズの表示画素データに変換し、この変換した表示画素データを画像メモリに格納したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を提案したものである。
【００１６】
請求項５ではプリサンプリング処理を行なう前にＸ軸方向とＹ軸方向の両方向のモアレを除去し、このモアレを除去した状態の撮像画素データをプリサンプリング処理して表示器の画素サイズを持つ表示画素データに変換し、この表示画素データを画質検査装置に送り出すフラットパネル表示器検査用画像取得方法を提案したものである。
【００１７】
この発明の請求項６ではモアレ除去処理部の内部を請求項１で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法によって実現する画像取得装置の構成を提案するものである。
【００１８】
この発明の請求項７では請求項６で提案したモアレ除去処理部の内部を請求項２で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法によって実現する画像取得装置の構成を提案するものである。
この発明の請求項８では請求項６で提案したモアレ除去処理部の内部を請求項４で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法によって実現する画像取得装置の構成を提案するものである。
【００１９】
この発明の請求項９では請求項６で提案したモアレ除去処理部の内部を請求項５で提案したフラットパネル表示器検出用画像取得方法によって実現する画像取得装置の構成を提案するものである。
［作用］
この発明のフラットパネル表示器検査用画像取得方法に用いる欠陥除去処理部においては、モアレの発生画素周期を求め、この画素周期に従って画素値を継ぎ合せるいわゆるモアレの周期の間隔で周知のメディアン処理をおこなうことにより欠陥成分を除去する。図１２にモアレの周期が３画素（表示画素サイズの画素）で、欠陥成分やシェーディング成分を持つ画素の表示画素データ列の概念図を示す。モアレにより激しく変動する画素データ列は、モアレの周期と同じ３画素間隔でデータを結ぶ（画像メモリを３アドレス毎に読み出す）と図１３に示すように比較的なだらかな平滑曲線Ｉ（１），Ｉ（２），Ｉ（３）が得られる。従って、モアレの周期の間隔でメディアン・フィルタをかけると平滑曲線Ｉ（１），Ｉ（２），Ｉ（３）から効果的に欠陥成分Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃を除去できる。
【００２０】
周期ｍのモアレを持つ画像の表示画素データ列（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の何れでもよい）をＩ（ｎ）（ただしｎは画素列の並びの番号）とすると、欠陥除去処理で求められる欠陥成分除去後のモアレ画像データｆ（ｎ）は式（３）で示される。
ｆ(n) ＝ｍｅｄ［Ｉ（ｎ−ｍｗ），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−１）），
Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−２）），…，Ｉ（ｎ），Ｉ（ｎ＋ｍ），…，
Ｉ（ｎ＋ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ＋ｍｗ）］・・・（３）
ここで、ｍｅｄ［］はデータのメディアン値を求める演算であり、Ｉ（ｎ−ｍｗ），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−２）），…，Ｉ（ｎ），Ｉ（ｎ＋ｍ），…，Ｉ（ｎ＋ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ＋ｍｗ）はＩ（ｎ）を中心とするｍ画素間隔のデータＷ個（ただしＷは奇数）である。またｗは、
ｗ＝（Ｗ−１）／２・・・（４）
で与えられる数である。図１４に欠陥除去処理で求めたモアレ画像データｆ（ｎ）の概念図を示す。図１３及び図１４に示す概念図においてＹ軸方向に発生したモアレを除去する場合はＸアドレス方向にデータをモアレの周期の間隔で収集して配列し、Ｘ軸方向に発生したモアレを除去する場合はＹアドレス方向にデータをモアレの周期の間隔で収集して配列して欠陥部Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃の除去を行なう。
【００２１】
この発明の検査用画像取得方法に用いる差分処理部においては、元の画素データＩ（ｎ）と欠陥成分除去後のモアレ画像データｆ（ｎ）との差分をとることにより、欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）を求める。欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）は式（５）で示される。
Ｊ（ｎ）＝Ｉ（ｎ）−ｆ（ｎ）・・・（５）
図１５に差分処理部で求めた欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）の概念図を示す。
【００２２】
平均化処理部においては、撮像画素と表示画素の相対的位置の種類がモアレの周期に含まれる画素数だけあることを利用する。欠陥除去処理で求めたモアレ画像データｆ（ｎ）の全画素について各相対的位置における画素値を補間によって求める。これらの画素値を同一アドレス毎に平均することによって、画素値の相対的位置に依存する周期性を解消し、モアレを除去する。図１６に、図１４の欠陥成分除去後のモアレ画像データｆ（ｎ）に対して、全画素の各相対的位置における画素値を補間して求めた例を示す。黒丸が元の画素データ列の画素値、白丸が補間によって求めた各相対的位置における画素値である。この各画素ごとに全ての相対的位置（同一アドレス）における画素値を平均することによってモアレを含まない画素値を決定する。モアレの周期をｍ画素、モアレを含むモアレ画像データをｆ（ｎ）とすると、平均化処理によって求められる平滑画素データＦ（ｎ）は式（６）で示される。
【００２３】
【数３】

図１７に平均化処理によって求めた平滑画像データＦ（ｎ）の概念図を示す。
本発明の加算処理部においては、モアレが除去された平滑画像データＦ（ｎ）と欠陥画像データＪ（ｎ）を加算し、検査用画像データＨ（ｎ）を求める。画素列データＨ（ｎ）は、式（７）で示される。
【００２４】
Ｈ（ｎ）＝Ｆ（ｎ）＋Ｊ（ｎ）・・・（７）
図１８に加算処理部で求めた画素列データＨ（ｎ）の概念図を示す。
図１９に、図１０の結果にもちいた画像データに対してこの発明のモアレ除去処理を適用し、えられた画像データの画素値を縦方向（画像メモリのＹアドレス方向）に加算した例を示す。画像データのランダムノイズによる画素値の変動はあるが、欠陥成分Ｐやシェーディング成分Ｅが保持され、モアレは良好に低減されている。
【００２５】
【発明の実施の形態】
この発明の実施例について図１乃至図３を参照して説明する。図１はフラットパネル画質検査装置において、この発明による検査用画像取得方法に関わる部分の構成を示す図である。この図１の各構成部の基本動作を説明する。
制御部１は、カメラ部３を除く構成要素のデータ受け渡し制御または駆動制御をおこない、具体的に以下の動作を実行する。
【００２６】
パネル駆動部２は、駆動信号を出力しフラットパネル表示器８に所定の試験画像を表示させる。
カメラ部３は、フラットパネル表示器８の明暗を撮影する。
ＡＤ変換器４は、カメラ部３の出力信号をデジタルの撮像画素データに変換する。
【００２７】
プリサンプリング処理部５は、ＡＤ変換された撮像画素データをフラットパネル表示器８の画素サイズを持つ表示画素データに変換する。
モアレ除去処理部６は、撮像画素データまたはプリサンプリング処理により得た表示画素データのモアレを除去する処理をおこなう。
画像メモリ７は、撮像画素データ、表示画素データおよびモアレ除去処理により生成される平滑曲線Ｉ（ｎ）、モアレ画像データｆ（ｎ）、欠陥画像データＪ（ｎ）、平滑画像データＦ（ｎ）等を各格納領域に格納する。
【００２８】
図２はモアレ除去処理部６の構成要素を示す図である。図２に示すモアレ除去処理部６は請求項１で請求する画像取得方法に用いるモアレ除去処理部を示す。従ってモアレの発生が一方向、つまりＹ軸方向かＸ軸方向に限られる場合に用いられる実施例を示す。この図の各構成要素について本実施例におけるモアレ除去処理の動作を説明する。
【００２９】
欠陥除去処理部Ｍ１は、画像メモリ７から読み出した表示画素データから縦または横方向（Ｙ軸方向又はＸ軸方向）の画素列ごとに欠陥成分を除去し、図１４に示したモアレ画像データｆ（ｎ）を求める。生成したモアレ画像データｆ（ｎ）はモアレ成分画素メモリＭ２に格納される。
差分処理部Ｍ３は、プリサンプリング処理により得た表示画素データ（図１０）と、モアレ成分画像メモリＭ２から読み出したモアレ画像データｆ（ｎ）との差分処理をおこない図１５に示した欠陥画像データＪ（ｎ）を求める。生成した欠陥画像データＪ（ｎ）は欠陥成分画像メモリＭ４に格納される。
【００３０】
平均処理部Ｍ５は、モアレ成分画像メモリＭ２から読み出したモアレ画像データｆ（ｎ）に対し、欠陥除去処理部Ｍ１における欠陥成分の除去方法と同一の方向の各画素列毎に平均化をおこないモアレ成分を除去した平滑画像データＦ（ｎ）（図１７）を求める。平均処理部により生成した平滑画像データＦ（ｎ）は平滑画像メモリＭ６に格納される。
【００３１】
加算処理部Ｍ７は、上記欠陥成分画像メモリから読み出した欠陥画像データＪ（ｎ）と、平滑画像メモリＭ６から読み出したモアレ成分を除去した平滑画像データＦ（ｎ）を加算した検査用画像データＨ（ｎ）（図１８）を求める。尚、請求項１では欠陥成分画像メモリＭ４と平滑画像メモリＭ６から直接欠陥画像データＪ（ｎ）と平滑画像データＦ（ｎ）を検査用画像データとして出力する場合を請求するものである。
【００３２】
図３は、この発明における請求項１で提案する検査用画像取得方法の処理工程の例を示す図である。この図の各処理工程について処理の内容を説明する。
工程Ｂ１は、フラットパネル表示器８に適宜定めた試験画像を表示する。
工程Ｂ２は、固体撮像素子が内蔵されたカメラ部３によりフラットパネル表示器８の明暗を撮影する。
【００３３】
工程Ｂ３は、カメラ部３の出力信号にＡＤ変換器４を適用したデジタルの撮像画素データに変換する。
工程Ｂ４は、工程Ｂ３で得た撮像画素データをプリサンプリング処理し、表示画素サイズを持つ表示画素データに変換する。
工程Ｂ５は、工程Ｂ４で得た表示画像データを画像メモリ７に格納する。
【００３４】
工程Ｂ６は、工程Ｂ５の画像メモリ７から読み出した表示画素データを縦（Ｙ軸方向）または横方向（Ｘ軸方向）の各画素列ごとにモアレの周期ｍ画素の間隔でメディアン処理して、欠陥成分が除去されたモアレ画像データｆ（ｎ）を求める。
工程Ｂ７は、工程Ｂ６で求めたモアレ画像データｆ（ｎ）をモアレ成分画像メモリＭ２に格納する。
【００３５】
工程Ｂ８は、モアレ成分画像メモリＭ２からモアレ画像データｆ（ｎ）を読み出し、工程Ｂ５の画像メモリ７から読み出した表示画素データとの差分をとり欠陥画像データＪ（ｎ）を求める。
工程Ｂ９は、工程Ｂ８で得た欠陥画像データＪ（ｎ）を欠陥成分画像メモリＭ４に格納する。
【００３６】
工程Ｂ１０は、モアレ成分画像メモリＭ２からモアレ成分画素データｆ（ｎ）を読み出し、工程Ｂ６におけるメディアン処理と同一方向の画素列ごとに例えば重み付け平均処理してモアレを除去した平滑画像データｆ（ｎ）を求める。
工程Ｂ１１は、工程Ｂ１０で得たモアレを除去した平滑画像データＦ（ｎ）を平滑画像メモリＭ６に格納する。
【００３７】
工程Ｂ１２は、欠陥画像メモリＭ４と平滑画像メモリＭ６から欠陥画像データＪ（ｎ）とモアレを除去した平滑画像データＦ（ｎ）を読みだし、双方の画像データを加算処理する。
工程Ｂ１３は、工程Ｂ１２で求めた画像データＨ（ｎ）を画像メモリ７に格納する。
【００３８】
図４は請求項２で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を実現するための装置の実施例を示す。この実施例ではモアレ除去処理部６がＹ軸方向とＸ軸方向の両方向に関してモアレを除去する処理を行なう点を特徴としている。
従ってモアレ除去処理部６では図５に示すように平均化処理部がＭ５−１とＭ５−２の２段設けられ、一方の平均化処理部Ｍ５−１はＹ軸方向の平均化処理を実行し、他方の平均化処理部Ｍ５−２はＸ軸方向の平均化処理を実行する。Ｙ軸方向の平均化処理とＸ軸方向の平均化処理の順序はどちらを先に実行しても結果は同じである。
【００３９】
図６に請求項２で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法の処理工程を示すが、図３と異なる点は工程Ｃ１０とＣ１１でＹ軸方向の画素データ列とＸ軸方向の画素データに別に平均化処理を施す点であり、その他の工程は図３と同じである。
図７は請求項４で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法の処理工程を示す。この処理工程では工程Ｄ１２に示すプリサンプリング処理をモアレ除去処理の後に行なう点が図３の場合と異なる点である。従ってモアレ除去処理は撮像画素データを処理して実行される。モアレ除去処理の方法はＹ軸方向又はＸ軸方向の何れか一方をモアレ除去対象としている点は図３の場合と全く同じである。
【００４０】
図８は請求項５で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を実現する処理工程を示す。図８に示す処理工程では工程Ｅ１３に示すプリサンプリング処理をモアレ処理工程の後に実行する点と、モアレ除去の対象とする方向をＹ軸方向とＸ軸方向の両方向としている点が図３の場合と異なる点である。その他の工程は図３及び図７と全く同じである。
【００４１】
以上説明したように、この発明によるフラットパネル表示器検査用画像取得方法はプリサンプリング処理の後にモアレ除去処理を行なうか又はプリサンプリング処理の前にモアレ除去処理を行なうかの違いと、モアレ除去を行なう方向をＹ軸とＸ軸の何れか一方であるか両方向であるかの違いの組合せである。
従ってこの発明によるフラットパネル表示器検査用画像取得方法を実現する画像取得装置の構成としては図１に示した構成に加えて、図２に示したモアレ除去処理部６Ａの構成と、図５に示したモアレ除去処理部６Ｂが存在すれば全ての画像取得方法に対応することができる。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればフラットパネル表示器の画素数と撮像素子の画素数が非整数倍の関係であってもモアレを除去して平滑化された画像データを得ることができるから、フラットパネル表示器の高精細化が進んでも、限界以上に画素数を持つ撮像素子を用意しなくてもフラットパネル表示器を精度よく検査できる実益が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の請求項１で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を実現するための画像取得装置の一例を説明するためのブロック図。
【図２】図１に示した画像取得装置に用いるモアレ除去処理部の内部の構成の一例を示すブロック図。
【図３】この発明の請求項１で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法の処理工程を説明するための流れ図。
【図４】この発明の請求項２で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方向を実現する画像取得装置の実施例を示すブロック図。
【図５】図４に示した画像取得装置に用いたモアレ除去処理部の内部の構成を説明するためのブロック図。
【図６】この発明の請求項２で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を示す流れ図。
【図７】この発明の請求項４で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を示す流れ図。
【図８】この発明の請求項５で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を示す流れ図。
【図９】従来の技術を説明するためのブロック図。
【図１０】従来の技術の不都合を説明するためのグラフ。
【図１１】図１０と同様のグラフ。
【図１２】従来の技術で発生するモアレの発生状況を説明するためのグラフ。
【図１３】この発明の作用を説明するためのグラフ。
【図１４】図１３と同様のグラフ。
【図１５】この発明の差分処理部で得られる欠陥画像データの概念を説明するためのグラフ。
【図１６】この発明のモアレ除去処理部で実行される補間処理の様子を説明するためのグラフ。
【図１７】図１６で求めた補間処理後に実行する平均化処理によって得られた平滑画像データの概念を説明するためのグラフ。
【図１８】この発明の画像取得方法で得られた検査用画像データの概念を説明するためのグラフ。
【図１９】この発明の画像取得方法によって得られた検査用画像データの様子を示すグラフ。
【符号の説明】
１制御部
２パネル駆動部
３カメラ部
４ＡＤ変換器
５プリサンプリング処理部
６ＡＹ軸方向又はＸ軸方向のモアレ除去処理部
６ＢＹ軸方向及びＸ軸方向のモアレ除去処理部
７画像メモリ
８フラットパネル表示器
Ｍ１欠陥除去処理部
Ｍ２モアレ成分画像メモリ
Ｍ３差分処理部
Ｍ４欠陥成分画像メモリ
Ｍ５平均化処理部
Ｍ６平滑画像メモリ
Ｍ７加算処理部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an image acquisition method for inspecting a flat panel display, such as a liquid crystal display panel or a plasma display, for inspecting a pixel defect or display unevenness, and an image acquisition apparatus using the method. About.
[0002]
[Prior art]
Flat panel image quality inspection devices are roughly divided into inspection image acquisition devices that acquire inspection image data, and image quality that inspects for pixel defects or display irregularities using image data acquired by the inspection image acquisition device. It consists of an inspection device.
FIG. 9 is a block diagram showing a general configuration of a part of an inspection image acquisition apparatus in an image quality inspection apparatus for a flat panel display. In the figure, the flat panel display 8 displays a test image having a predetermined light / dark image based on a drive signal from the panel drive unit 2.
[0003]
The panel driving unit 2 is controlled by the control unit 1. The output signal of the camera unit 3 that captures the light and darkness of the flat panel display 8 is converted into digital light and dark pixel data (hereinafter referred to as imaging pixel data) through the AD converter 4 and temporarily stored in the image memory 7. Is done. The imaging pixel data converted into the digital signal is converted into image data of the panel pixel size by the pre-sampling processing unit 5. This converted pixel data is referred to as display pixel data. The obtained display pixel data is stored in the image memory. For conversion to pre-sampled image data, refer to Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-29360 and 10-31730 proposed by the present applicant.
[0004]
In order to pre-sample the captured image data acquired by the camera unit 3 with higher accuracy and suppress the occurrence of moire in the acquired display pixel data, the pixel magnification (the number of pixels of the panel display 8 and the number of pixels of the CCD element) The state in which one pixel of the panel display 8 is imaged by the pixel 2 × 2 of the camera unit 3 is referred to as a pixel magnification of 2) is desirably an integer magnification of about 2 times. However, as the definition of the panel display 8 increases, the pixel magnification set by the limitation of the pixel size of the camera unit 3 must be set to a non-integer magnification of 2 or less.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Pixel values fluctuate periodically in imaging pixel data acquired at non-integer magnification and data display pixel data obtained by pre-sampling the imaging pixels. This is called image moire. FIG. 10 shows an example of the result of adding the pixel values (pixel brightness) of the display pixel data acquired at a magnification of 1.8 and stored in the image memory 7 in the vertical direction Y direction for each identical X address. In FIG. 10, it can be confirmed that moiré having a period of about 5 pixels occurs. This moire becomes a noise component, and there is a problem that the inspection accuracy of the panel display 8 is greatly reduced.
[0006]
The occurrence of moiré occurs roughly in a state where the light intensity distribution of the panel display 8 is sampled by the pixels of the image sensor of the camera unit 3. This is mainly because the difference in the relative positions of the display pixels of the panel display 8 and the pixels of the image sensor of the camera unit 3 is reflected in the display pixel data. Hereinafter, the pixels of the image sensor of the camera unit 3 are referred to as imaging pixels, and the display pixels of the panel display 8 are referred to as display pixels.
[0007]
FIG. 11 shows an example of the relative positions of the imaging pixel and the display pixel at a magnification of 1.8. Here, for simplicity, a one-dimensional signal will be described. As shown in FIG. 11, nine pixels of the imaging pixels correspond to five pixels of the display pixels, and this positional relationship is periodically repeated. A sampling value G (n) (n is an integer from 1 to 10) obtained by the first to tenth imaging pixels with respect to the periodic light intensity distribution g (x) of the display pixel at this time is shown in Expression (1). .
[0008]
[Expression 1]

Due to the periodicity of the relative positions of the imaging pixel and the display pixel, the positional relationship of the CCD pixel 10 with respect to the display pixel 6 is equal to the positional relationship of the imaging pixel with respect to the display pixel. That is, since the positions of x ₁₄ and x ₁₅ with respect to x ₁₃ are equal to the positions of x ₁ and x ₂ with respect to x ₀ , the pixel value G (1) and the pixel value G (10) are equal. Accordingly, nine patterns of sampling values by the imaging pixels are generated depending on the relative position, and these nine patterns are periodically repeated. A sampling value by the imaging pixel becomes an output signal of the camera unit 3. Therefore, moiré that periodically repeats nine patterns of sampling values G (1) to G (9) occurs in the captured image data obtained by AD converting the output signal.
[0009]
Next, a case where the sampling values G (1) to G (9) by the imaging pixels are pre-sampled corresponding to the display pixel size will be considered. FIG. 11C shows the relationship between the CCD sampling values G (1) to G (9) and the pre-sampling interval. The areas of the CCD sampling values in the pre-sampling sections x ₀ to x ₂ , x _{2 to} x ₅ , x _{5 to} x ₈ , x _{8 to} x ₁₁ are the pixel values of the display image data corresponding to the LCD pixel size. Therefore, the pixel value f (n) (n is an integer from 1 to 6) corresponding to the first to sixth display pixels by pre-sampling is expressed by Expression (2).
[0010]
[Expression 2]

Also in Formula (2), f (1) and f (6) are equal from the periodicity of the relative position of an imaging pixel and a display pixel. Therefore, there are five pixel values of display pixel data corresponding to the display pixels, and this is repeated. Therefore, it can be seen that at a magnification of 1.8, moire occurs in the pre-sampled image data at a cycle of 5 pixels.
[0011]
An object of the present invention is to provide a flat panel display inspection image acquisition method and an inspection image acquisition apparatus using this method, which can remove the moire component and accurately inspect the presence or absence of defects without being affected by the moire component. It is something to be offered.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, the imaging pixel data acquired from the camera unit is first pre-sampled to be converted into display pixel data, and either one of the X-axis direction and the Y-axis direction moire generated in the display pixel data string. This is a flat panel display inspection image acquisition method in which smooth image data from which moire has been removed and defect image data representing a defective portion are separately acquired in an image memory.
[0013]
In other words, the claim 1 proposes an image acquisition method for inspection of a flat panel display using a moire removal method for a case where the direction of occurrence of moire is either the X-axis direction or the Y-axis direction. It is a feature. Another feature is that smooth image data from which moire has been removed and defective image data are separately stored in an image memory, and these image data are separately sent to an image inspection apparatus.
[0014]
A second aspect of the present invention is characterized in that the moire removal processing is executed in two directions of the X-axis direction and the Y-axis direction. A method for storing smooth image data and defect image data from which moire has been removed is described in the first aspect. Is the same.
According to a third aspect of the present invention, the storage method of the smooth image data and the defect image data is added to the smooth image data and the defect image data in the image acquisition method for the inspection of the flat panel display or the flat panel display. The points stored in the common image memory are charged. Therefore, smooth image data and defect image data are supplied to the image quality inspection apparatus.
[0015]
According to the fourth aspect of the present invention, moire removal processing in one direction of the X-axis direction or the Y-axis direction is performed before the pre-sampling processing, and the imaging pixel data and the defective pixel data in a state where the moire is removed are added and added. The present invention proposes a flat panel display inspection image acquisition method in which the obtained image data is converted into display pixel data having a display pixel size by pre-sampling processing, and the converted display pixel data is stored in an image memory.
[0016]
According to a fifth aspect of the present invention, moire in both the X-axis direction and the Y-axis direction is removed before performing the presampling process, and the imaging pixel data in a state in which the moire is removed is presampled to display the pixel size of the display device. The present invention proposes a flat panel display inspection image acquisition method that converts pixel data and sends the display pixel data to an image quality inspection apparatus.
[0017]
According to a sixth aspect of the present invention, there is proposed a configuration of an image acquisition device that realizes the interior of the moire removal processing unit by the flat panel display inspection image acquisition method proposed in the first aspect.
[0018]
According to a seventh aspect of the present invention, there is proposed a configuration of an image acquisition apparatus that realizes the interior of the moire removal processing section proposed in the sixth aspect by the flat panel display inspection image acquisition method proposed in the second aspect.
According to an eighth aspect of the present invention, there is proposed a configuration of an image acquisition apparatus that realizes the interior of the moire removal processing section proposed in the sixth aspect by the flat panel display inspection image acquisition method proposed in the fourth aspect.
[0019]
According to a ninth aspect of the present invention, there is proposed a configuration of an image acquisition device that realizes the interior of the moire removal processing unit proposed in the sixth aspect by the flat panel display detecting image acquisition method proposed in the fifth aspect.
[Action]
In the defect removal processing unit used in the flat panel display inspection image acquisition method of the present invention, a known median process is performed at a so-called moire period interval in which the moire generation pixel period is obtained and pixel values are joined according to the pixel period. The defective component is removed by performing. FIG. 12 shows a conceptual diagram of a display pixel data string of pixels having a moire cycle of 3 pixels (pixels having a display pixel size) and having a defect component and a shading component. A pixel data string that fluctuates drastically due to moire is connected with data at the same three-pixel interval as the moire period (reading the image memory at every three addresses), and as shown in FIG. 13, a relatively smooth smooth curve I (1), I (2) and I (3) are obtained. Therefore, when the median filter is applied at intervals of the moire period, the defect components P ₁ , P ₂ , and P ₃ can be effectively removed from the smooth curves I (1), I (2), and I (3).
[0020]
If the display pixel data string (which may be in either the X-axis direction or the Y-axis direction) of an image having a moire with a period m is I (n) (where n is the number of the pixel line array), it is obtained by defect removal processing. The moire image data f (n) after removal of the defect component is expressed by Expression (3).
f (n) = med [I (n−mw), I (n−m (w−1)),
I (n−m (w−2)),..., I (n), I (n + m),.
I (n + m (w-1)), I (n + mw)] (3)
Here, med [] is an operation for obtaining a median value of data, and I (n−mw), I (n−m (w−1)), I (n−m (w−2)),. I (n), I (n + m),..., I (n + m (w−1)), I (n + mw) are W data (m is an odd number) with m pixel intervals centered on I (n). . W is
w = (W−1) / 2 (4)
Is a number given by. FIG. 14 shows a conceptual diagram of moire image data f (n) obtained by defect removal processing. In the conceptual diagrams shown in FIGS. 13 and 14, when moire generated in the Y-axis direction is removed, data is collected and arranged at intervals of the moire period in the X-address direction, and moire generated in the X-axis direction is removed. In this case, data is collected and arranged in the Y address direction at intervals of the moire period, and the defective portions P ₁ , P ₂ , and P ₃ are removed.
[0021]
In the difference processing unit used in the inspection image acquisition method of the present invention, the defect image of the defect component is obtained by taking the difference between the original pixel data I (n) and the moire image data f (n) after removal of the defect component. Data J (n) is obtained. The defect image data J (n) of the defect component is expressed by Expression (5).
J (n) = I (n) -f (n) (5)
FIG. 15 is a conceptual diagram of defect image data J (n) of defect components obtained by the difference processing unit.
[0022]
The averaging processing unit utilizes the fact that there are as many types of relative positions of the imaging pixels and display pixels as are included in the moire cycle. A pixel value at each relative position is obtained by interpolation for all the pixels of the moire image data f (n) obtained by the defect removal processing. By averaging these pixel values for each identical address, periodicity depending on the relative position of the pixel values is eliminated, and moire is removed. FIG. 16 shows an example obtained by interpolating the pixel values at the relative positions of all the pixels with respect to the moire image data f (n) after the defect component removal shown in FIG. A black circle is a pixel value of the original pixel data string, and a white circle is a pixel value at each relative position obtained by interpolation. A pixel value that does not include moire is determined by averaging pixel values at all relative positions (same addresses) for each pixel. Assuming that the moire cycle is m pixels and the moire image data including moire is f (n), smooth pixel data F (n) obtained by the averaging process is expressed by equation (6).
[0023]
[Equation 3]

FIG. 17 shows a conceptual diagram of the smoothed image data F (n) obtained by the averaging process.
In the addition processing unit of the present invention, the smoothed image data F (n) from which moire has been removed and the defect image data J (n) are added to obtain inspection image data H (n). The pixel column data H (n) is expressed by Expression (7).
[0024]
H (n) = F (n) + J (n) (7)
FIG. 18 shows a conceptual diagram of pixel column data H (n) obtained by the addition processing unit.
FIG. 19 shows an example in which the moire removal processing of the present invention is applied to the image data based on the result of FIG. 10 and the pixel values of the obtained image data are added in the vertical direction (Y address direction of the image memory). Show. Although there are fluctuations in the pixel value due to random noise in the image data, the defect component P and the shading component E are retained, and moire is satisfactorily reduced.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a portion related to an inspection image acquisition method according to the present invention in a flat panel image quality inspection apparatus. The basic operation of each component in FIG. 1 will be described.
The control unit 1 performs data transfer control or drive control of components other than the camera unit 3 and specifically executes the following operations.
[0026]
The panel drive unit 2 outputs a drive signal and causes the flat panel display 8 to display a predetermined test image.
The camera unit 3 captures the brightness of the flat panel display 8.
The AD converter 4 converts the output signal of the camera unit 3 into digital imaging pixel data.
[0027]
The pre-sampling processing unit 5 converts the AD-converted imaging pixel data into display pixel data having the pixel size of the flat panel display 8.
The moiré removal processing unit 6 performs a process of removing moiré in the captured pixel data or display pixel data obtained by the pre-sampling process.
The image memory 7 includes imaging pixel data, display pixel data, a smooth curve I (n) generated by moire removal processing, moire image data f (n), defect image data J (n), and smooth image data F (n). Etc. are stored in each storage area.
[0028]
FIG. 2 is a diagram showing components of the moire removal processing unit 6. A moire removal processing unit 6 shown in FIG. 2 is a moire removal processing unit used in the image acquisition method claimed in claim 1. Therefore, an embodiment used when the generation of moire is limited to one direction, that is, the Y-axis direction or the X-axis direction will be described. The operation of moiré removal processing in the present embodiment will be described for each component in this figure.
[0029]
The defect removal processing unit M1 removes the defect component for each pixel column in the vertical or horizontal direction (Y-axis direction or X-axis direction) from the display pixel data read from the image memory 7, and the moiré image data f shown in FIG. (N) is obtained. The generated moire image data f (n) is stored in the moire component pixel memory M2.
The difference processing unit M3 performs a difference process between the display pixel data (FIG. 10) obtained by the pre-sampling process and the moire image data f (n) read from the moire component image memory M2, and the defect image data shown in FIG. J (n) is obtained. The generated defect image data J (n) is stored in the defect component image memory M4.
[0030]
The average processing unit M5 averages the moire image data f (n) read from the moire component image memory M2 for each pixel column in the same direction as the defect component removal method in the defect removal processing unit M1. Smooth image data F ( n ) (FIG. 17) from which components have been removed is obtained. The smoothed image data F ( n ) generated by the average processing unit is stored in the smoothed image memory M6.
[0031]
The addition processing unit M7 adds inspection image data H obtained by adding the defect image data J (n) read from the defect component image memory and the smooth image data F (n) from which the moire component read from the smooth image memory M6 is removed. (N) (FIG. 18) is obtained. In claim 1, the case where defect image data J (n) and smooth image data F (n) are directly output as inspection image data from the defect component image memory M4 and the smooth image memory M6 is claimed.
[0032]
FIG. 3 is a diagram showing an example of processing steps of the inspection image acquisition method proposed in claim 1 of the present invention. The contents of the processing for each processing step in this figure will be described.
Step B1 displays a test image appropriately determined on the flat panel display 8.
In step B2, the light and darkness of the flat panel display 8 is photographed by the camera unit 3 in which the solid-state imaging device is incorporated.
[0033]
In step B3, the output signal of the camera unit 3 is converted into digital imaging pixel data in which the AD converter 4 is applied.
In step B4, the imaging pixel data obtained in step B3 is pre-sampled and converted to display pixel data having a display pixel size.
In step B5, the display image data obtained in step B4 is stored in the image memory 7.
[0034]
In step B6, the display pixel data read from the image memory 7 in step B5 is subjected to median processing at intervals of moire period m pixels for each pixel column in the vertical (Y-axis direction) or horizontal (X-axis direction) Moire image data f (n) from which defect components have been removed is obtained.
In step B7, the moire image data f (n) obtained in step B6 is stored in the moire component image memory M2.
[0035]
Step B8 reads the moire image data f (n) from the moire component image memory M2, and obtains the defect image data J (n) by taking the difference from the display pixel data read from the image memory 7 of step B5.
In step B9, the defect image data J (n) obtained in step B8 is stored in the defect component image memory M4.
[0036]
The process B10 reads the moire component pixel data f (n) from the moire component image memory M2, and smoothed image data f (n) obtained by removing, for example, weighted average processing for each pixel column in the same direction as the median process in the process B6. )
In step B11, the smoothed image data F (n) from which the moire obtained in step B10 has been removed is stored in the smoothed image memory M6.
[0037]
In step B12, the defect image data J (n) and the smoothed image data F (n) from which moire has been removed are read from the defect image memory M4 and the smoothed image memory M6, and both image data are added.
In step B13, the image data H (n) obtained in step B12 is stored in the image memory 7.
[0038]
FIG. 4 shows an embodiment of an apparatus for realizing the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 2. This embodiment is characterized in that the moire removal processing unit 6 performs a process of removing moire in both the Y-axis direction and the X-axis direction.
Accordingly, the moire removal processing unit 6 is provided with two stages of averaging processing units M5-1 and M5-2 as shown in FIG. 5, and one averaging processing unit M5-1 executes the averaging processing in the Y-axis direction. The other averaging processing unit M5-2 executes averaging processing in the X-axis direction. The order of the averaging process in the Y-axis direction and the averaging process in the X-axis direction is the same regardless of which order is executed first.
[0039]
FIG. 6 shows the processing steps of the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 2. The difference from FIG. 3 is that pixel data strings in the Y-axis direction and pixel data in the X-axis direction are different in steps C10 and C11. The other processes are the same as those in FIG.
FIG. 7 shows the processing steps of the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 4. This processing step is different from the case of FIG. 3 in that the pre-sampling processing shown in step D12 is performed after the moire removal processing. Therefore, the moire removal process is executed by processing the imaged pixel data. The method of moire removal processing is exactly the same as in the case of FIG. 3 in that either one of the Y-axis direction or the X-axis direction is targeted for moire removal.
[0040]
FIG. 8 shows processing steps for realizing the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 5. In the processing step shown in FIG. 8, the point that the pre-sampling processing shown in step E13 is executed after the moire processing step and the point that the moire removal target is both the Y-axis direction and the X-axis direction are shown in FIG. It is a different point. Other steps are exactly the same as those in FIGS.
[0041]
As described above, the flat panel display inspection image acquisition method according to the present invention eliminates the difference between whether the moire removal process is performed after the presampling process or the moire removal process before the presampling process, and the moire removal process. This is a combination of differences in whether the direction to be performed is either the Y-axis or the X-axis or both directions.
Accordingly, the configuration of the image acquisition apparatus for realizing the flat panel display inspection image acquisition method according to the present invention includes the configuration of the moire removal processing unit 6A shown in FIG. 2 in addition to the configuration shown in FIG. If the illustrated moire removal processing unit 6B exists, all image acquisition methods can be handled.
[0042]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, even if the number of pixels of the flat panel display and the number of pixels of the image sensor is a non-integer multiple, moire is removed and smoothed image data can be obtained. Therefore, even if the definition of the flat panel display is increased, an advantage can be obtained that the flat panel display can be inspected with high accuracy without preparing an image sensor having a pixel number exceeding the limit.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram for explaining an example of an image acquisition apparatus for realizing the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 1 of the present invention;
FIG. 2 is a block diagram showing an example of an internal configuration of a moire removal processing unit used in the image acquisition apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is a flowchart for explaining processing steps of a flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 1 of the present invention;
FIG. 4 is a block diagram showing an embodiment of an image acquisition apparatus that realizes the flat panel display inspection image acquisition direction proposed in claim 2 of the present invention;
5 is a block diagram for explaining an internal configuration of a moire removal processing unit used in the image acquisition device shown in FIG. 4;
FIG. 6 is a flowchart showing processing steps for explaining the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 2 of the present invention;
FIG. 7 is a flowchart showing processing steps for explaining the flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 4 of the present invention;
FIG. 8 is a flowchart showing processing steps for explaining a flat panel display inspection image acquisition method proposed in claim 5 of the present invention;
FIG. 9 is a block diagram for explaining a conventional technique.
FIG. 10 is a graph for explaining the disadvantages of the prior art.
11 is a graph similar to FIG.
FIG. 12 is a graph for explaining the state of occurrence of moiré that occurs in the prior art.
FIG. 13 is a graph for explaining the operation of the present invention.
14 is a graph similar to FIG.
FIG. 15 is a graph for explaining the concept of defect image data obtained by the difference processing unit of the present invention;
FIG. 16 is a graph for explaining the state of interpolation processing executed by the moire removal processing unit of the present invention;
17 is a graph for explaining the concept of smooth image data obtained by the averaging process performed after the interpolation process obtained in FIG. 16;
FIG. 18 is a graph for explaining the concept of inspection image data obtained by the image acquisition method of the present invention;
FIG. 19 is a graph showing the state of inspection image data obtained by the image acquisition method of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Control part 2 Panel drive part 3 Camera part 4 AD converter 5 Presampling process part 6A Y-axis direction or X-axis direction moire removal process part 6B Y-axis direction and X-axis direction moire removal process part 7 Image memory 8 Flat Panel display M1 Defect removal processing unit M2 Moire component image memory M3 Difference processing unit M4 Defect component image memory M5 Averaging processing unit M6 Smooth image memory M7 Addition processing unit

Claims

An image for inspection is displayed on a flat panel display to be inspected, the image for inspection is imaged by a camera unit equipped with a solid-state image sensor, and the image pickup signal is AD converted to correspond to the pixel size of the solid-state image sensor. The imaging pixel data is converted into imaging pixel data having a pixel value, and the imaging pixel data is converted into display pixel data having a pixel value corresponding to the pixel size of the flat panel display by a pre-sampling process. In an image acquisition method for flat panel display inspection, which is stored in an image memory as an image signal for panel display inspection,
An interval corresponding to the period of the number of display pixels corresponding to the generation period of the moire is detected by detecting the period of moire in either the X-axis direction or the Y-axis direction generated in the display pixel data stored in the image memory. Acquiring a plurality of data sequences collected in accordance with the number of display pixels included in the moire cycle, obtaining the moire component image data obtained by smoothing the pixel values of each data sequence and removing defective components;
Obtaining a difference between the moire component image data and the display pixel data to extract a defect component, and obtaining defect image data;
Storing the defect image data in a defect image memory;
A step of giving a pixel value by interpolation to pixels having no pixel value of each data string of each moiré component image data, calculating a mean value of the moiré component image data strings, and calculating smooth image data from which moiré has been removed When,
A step of storing the smoothed image data in the smoothed image memory, and holding the defect image data stored in the defective image memory and the smoothed image data stored in the smoothed image memory as inspection image data. Image acquisition method for panel display inspection.

2. The flat panel display inspection image acquisition method according to claim 1, wherein the step of acquiring the moire component image data is executed in both the X-axis direction and the Y-axis direction, and the moire generated in the X-axis direction and the Y-axis direction. A method for acquiring an image for inspection on a flat panel display, wherein the image data for inspection from which the image is removed is acquired.

3. The flat panel display inspection image acquisition method according to claim 1, wherein the defect image data and the smooth image data are added, and the addition result is used as an inspection image for the flat panel display. An image acquisition method for testing a flat panel display, characterized in that:

The flat panel display inspection image acquisition method according to claim 1, wherein the step of acquiring the moire component image data, the step of acquiring defect image data, and the step of calculating smooth image data are performed before the pre-sampling process. An image acquisition method for inspecting a flat panel display, which is performed.

5. The flat panel display inspection image acquisition method according to claim 4, wherein the step of acquiring the moire component image data is executed in both the X-axis direction and the Y-axis direction, and the moire generated in the X-axis direction and the Y-axis direction. A method for acquiring an image for inspection on a flat panel display, wherein the image data for inspection from which the image is removed is acquired.

A. A panel drive unit for displaying a predetermined test image on a flat panel display to be inspected;
B. A camera unit for taking out the test image displayed on the flat panel display as light and dark image data;
C. An AD converter that converts the output signal of the camera unit into imaging pixel data composed of digital light and dark image data;
D. A pre-sampling processing unit for converting imaging pixel data obtained by AD conversion into display pixel data having a pixel value of a pixel size of the flat panel display;
E. A moire removal processing unit for removing moire generated in display pixel data obtained by the presampling processing unit;
F. An image memory for storing display pixel data from which moire has been removed by the moire removal processing unit;
G. And a control unit that executes data transfer control and drive control of each component except the camera unit,
The moire removal processing unit is
H. Moire component image data obtained by smoothing pixel values of data collected at intervals corresponding to a moire cycle from a data string in the X-axis direction or Y-axis direction of display pixel data obtained by the pre-sampling processing unit to remove defect components. A defect removal processing unit for
I. A moire component image memory for storing the moire component image data obtained by the defect removal processing unit;
J. A difference processing unit for obtaining a defect image data by obtaining a difference between the display pixel data and the moire component image data;
K. A defect image memory for storing defect image data obtained by the difference processing unit;
L. An averaging processing unit that averages the moire component image data stored in the moire component image memory between the respective data strings in the X-axis direction or the Y-axis direction, and obtains smooth image data from which the moire component has been removed;
M. A smooth image memory for storing smooth image data obtained by the averaging processing unit;
An image acquisition device for inspection of a flat panel display, comprising:

The flat panel display inspection image acquisition apparatus according to claim 6, wherein the defect removal processing unit performs defect removal processing in the Y-axis direction following defect removal processing in the X-axis direction, and performs X-axis direction and Y-axis direction. An image acquisition device for inspection of a flat panel display, characterized in that it is configured to remove moiré generated in the flat panel display.

A. A panel drive unit for displaying a predetermined test image on a flat panel display to be inspected;
B. A camera unit for taking out the test image displayed on the flat panel display as light and dark image data;
C. An AD converter that converts the output signal of the camera unit into imaging pixel data composed of digital light and dark image data;
D. A pre-sampling processing unit for converting imaging pixel data obtained by AD conversion into display pixel data having a pixel value of a pixel size of the flat panel display;
E. A moire removal processing unit for removing moire generated in display pixel data obtained by the presampling processing unit;
F. An image memory for storing display pixel data from which moire has been removed by the moire removal processing unit;
G. And a control unit that executes data transfer control and drive control of each component except the camera unit,
The moire removal processing unit is
H. Moire component image data obtained by smoothing pixel values of data collected at intervals corresponding to a moire cycle from a data string in the X-axis direction or Y-axis direction of imaging pixel data output from the AD converter and removing defective components. A desired defect removal processing unit;
I. A moire component image memory for storing the moire component image data obtained by the defect removal processing unit;
J. A difference processing unit for obtaining a defect image data by obtaining a difference between the display pixel data and the moire component image data;
K. A defect image memory for storing defect image data obtained by the difference processing unit;
L. An averaging processing unit that averages the moire component image data stored in the moire component image memory between the respective data strings in the X-axis direction or the Y-axis direction, and obtains smooth image data from which the moire component has been removed;
M. A smooth image memory for storing smooth image data obtained by the averaging processing unit;
N. The smoothing image data stored in the smoothing image memory and the addition processing unit for adding the defect image data stored in the defective image memory,
The addition image data added by the addition processing unit is subjected to pre-sampling processing, converted into display pixel data having a pixel value corresponding to the pixel size of the flat panel display, and obtaining inspection image data. Image acquisition device for flat panel display inspection.

The flat panel display inspection image acquisition apparatus according to claim 8 ,
The defect removal processing unit is configured to perform a defect removal process in the Y-axis direction following a defect removal process in the X-axis direction to remove moire generated in the X-axis direction and the Y-axis direction. Image acquisition device for panel display inspection.