JP3769811B2

JP3769811B2 - Vacuum flange

Info

Publication number: JP3769811B2
Application number: JP9058896A
Authority: JP
Inventors: 弘明中西; 誠杉本; 宏和矢内
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1996-03-19
Filing date: 1996-03-19
Publication date: 2006-04-26
Anticipated expiration: 2016-03-19
Also published as: JPH09259719A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ファイバ式光電センサを真空槽に接続する際に用いられる真空用フランジの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来真空槽内で半導体ウエハ等を処理する工程に、物体の位置を検出するための光電センサが用いられる。このような光電センサは光ファイバ式が用いられ、大気中にある光ファイバ式光電センサの投光部から光ファイバを介してコネクタ部より真空槽内に導き、真空槽内の物体の有無を受光用光ファイバで受光し、コネクタを介して大気中に取り出して大気中で物体の有無を検出するよう構成されている。このような光ファイバコネクタは図２３に示すように真空槽の壁面に設けられるフランジ部１０１に取付けられる。このフランジ部は真空槽に貫通孔を設けてシール部材を用いて気密に取付けたものである。フランジ部１０１には図示のようにその中心を貫通する短い光導入端子１０２が設けられる。光導入端子１０２はその中央部を貫通する光ファイバ等を気密に封止しており、外周にねじ溝を形成したものである。そして光導入端子１０２の真空側と大気側とに、夫々先端部に取付ねじを設けた光ファイバコネクタを連結して接続するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかるにこのような従来の光ファイバ式光電センサでは、投光用及び受光用光ファイバの夫々に真空槽の内側と外側の双方でコネクタを設け、導入端子にねじ止めする必要があり、着脱に手間がかかるという欠点があった。又光ファイバの端子にねじを有するコネクタを取付けなければ光導入端子に接続することができないため、光ファイバを使用者が任意の長さに切断して使用することができないという欠点があった。又光ファイバを多数同時に取付ける場合には、複数のコネクタが隣接するため、フランジの面積を大きくしなければ取付けが困難になるという欠点もあった。又真空槽内ではアウトガスの発生を防止するために樹脂製品を用いることができないという制約がある。
【０００４】
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、真空槽内で光ファイバを物体検知領域に導く際に真空槽内のファイバを複数同時に容易に接続することができる構造を有する真空用フランジを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項１の発明は、真空槽の開口部にシール部材を介して気密に取付けられたフランジセンタ部と、前記フランジセンタ部に設けられ、光ファイバを貫通させて気密に形成された複数の光導入端子と、前記フランジセンタ部の各光導入端子に対向する位置に貫通孔が位置するように前記フランジセンタ部の真空側に固定され、前記フランジセンタ部と接する固定面とは別の前記貫通孔を持つ面に溝を有する真空フランジ部と、前記真空フランジ部に設けられる溝に沿って摺動自在に保持され、前記真空フランジ部の光導入端子に対応する位置に形成された径の異なる連続する２つの開口を有する固定金具と、その一部に細径部を有し、光ファイバの一端を挿入して固定するスリーブと、を具備し、前記固定金具の２つの開口のうち大径側を貫通する前記スリーブが所定の位置まで貫通したときに、前記固定金具を移動させることで前記小径側が前記細径部を挟み込み前記スリーブを固定することを特徴とするものである。
【０００６】
本願の請求項２の発明は、真空槽の開口部にシール部材を介して気密に取付けられたフランジセンタ部と、前記フランジセンタ部の中央部に設けられフランジセンタ部の厚さに等しい長さの光ファイバを夫々貫通させて気密に形成された複数の光導入端子と、前記フランジセンタ部の各光導入端子に対向する位置に貫通孔が位置するように前記フランジセンタ部の真空側に固定され、前記フランジセンタ部と接する固定面とは別の前記貫通孔を持つ面に溝を有する真空フランジ部と、前記真空フランジ部に設けられる溝に沿って摺動自在に保持され、前記真空フランジ部の光導入端子に対応する位置に形成された径の異なる連続する２つの円形開口を有する固定金具と、前記固定金具の円形開口の大径側開口に実質的に等しい外径を有しその一部に前記固定金具の円形開口の小径側開口に実質的に等しい外径の細径部を有し光ファイバの一端を挿入して固定するスリーブと、前記真空フランジ部の貫通孔に対応する位置に開口を有し、その溝を被って前記固定金具を保持する押さえ金具と、を具備し、前記光ファイバのスリーブを前記固定金具の開口を介して前記真空フランジ部の開口部に挿入したときに前記固定金具の小径の円形開口を前記スリーブの細径部に対応する位置に移動させることによってスリーブを固定することを特徴とするものである。
【０００７】
本願の請求項３の発明は、真空槽の開口部にシール部材を介して気密に取付けられたフランジセンタ部と、前記フランジセンタ部の中央部に所定間隔を隔てて気密に形成され夫々光ファイバを貫通させる複数の光導入端子と、前記フランジセンタ部に設けられた光導入端子の夫々に対応する位置に貫通孔を有し、当該貫通孔の位置と、前記光導入端子の位置とがずれなくフランジセンタ部に固定され、前記フランジセンタ部と接する固定面とは別の前記貫通孔を持つ面に、前記貫通孔の縁に接するように形成された凸部を有する第１のクランプ部と、前記第１のクランプ部に貫通させた光ファイバを固定する第２のクランプ部と、を具備し、前記第２のクランプ部を前記凸部に固定することで、前記凸部とともに光ファイバを固定することを特徴とするものである。
【０００８】
本願の請求項４の発明は、真空槽の開口部にシール部材を介して気密に取付けられたフランジセンタ部と、前記フランジセンタ部の中央部に所定間隔を隔てて環状に配置され気密に形成され夫々光ファイバを貫通させる複数の光導入端子と、前記フランジセンタ部に設けられた前記光導入端子の夫々に対応する位置に貫通孔を有し、当該貫通孔の位置と、前記光導入端子の位置とがずれなくフランジセンタ部に固定され、前記フランジセンタ部と接する固定面とは別の前記貫通孔を持つ面に、前記貫通孔の縁に接するように形成された凸部を有する第１のクランプ部と、前記第１のクランプ部に溝を介して貫通させた光ファイバを固定する断面Ｅ字形の第２のクランプ部と、を具備し、前記第２のクランプ部を前記凸部に固定することで、前記貫通孔に挿入された光ファイバをＥ字形の溝の部分と前記凸部で挟み込んで固定することを特徴とするものである。
【０００９】
このような特徴を有する本願の請求項１又は２の発明によれば、フランジセンタ部の複数の光導入端子を取付けており、これに対応する位置に貫通孔を設けた真空フランジ部に溝を設けている。そしてこの溝に固定金具を摺動自在に保持しており、固定金具には径の異なる連続する２つの円形開口を設けている。そして光ファイバを装着する際にこの開口のうち大径側開口にスリーブを設けた光ファイバを挿入し、固定金具をずらせて小径側開口によりスリーブを保持するようにする。こうすれば所定の位置で光ファイバを固定することができる。
【００１０】
又請求項３，４の発明では、フランジセンタ部の光導入端子に対応する位置に貫通孔を有するファイバクランプ部を設け、これに第２のクランプ部によって光ファイバを固定するようにしている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図２は本発明の一実施形態による真空用フランジの組立構成図である。本図においてフランジセンタ部１は平板状の部材であって、例えばＡｌ，ＳＵＳが用いられる。フランジセンタ部１は四方に真空槽への取付孔１ａ〜１ｄを有している。フランジセンタ部１の中央には図示のように円形にわずかに他の部分より厚く構成されたロック機構取付部２が設けられる。ロック機構取付部２の内部には例えば８つの光導入端子２ａ〜２ｈが形成される。又この光導入端子２ａ〜２ｈに隣接して後述するロック機構を取付けるためのねじ溝２ｉ，２ｊが設けられている。このロック機構取付部２にはロックホルダ部３が取付けられる。ロックホルダ部３は図示のように円柱形部材であって、その中央部が大きく矩形に切欠かれており、光導入端子２ａ〜２ｈに対応する位置に貫通孔が形成される。このロックホルダ部３内には後述するロック機構部１０が挿入される。そしてロック機構を取付けた後、押さえカバー４によってねじによりフランジセンタ部１のロック機構取付部２に固定される。
【００１２】
図３はフランジセンタ部１の縦断面図であり、光導入端子２ｂ，２ｆの位置で縦断した断面図である。これらの図に示すように光導入端子２ａ〜２ｈはフランジセンタ部１の貫通孔に光ファイバ、例えばガラスファイバが挿入されたものであり、その外周面をはんだ付け等によって接続している。はんだ付けでなく例えば接着剤を用いてもよく、又フランジセンタをＦｅＮｉＣｏによって構成した場合にはサファイアファイバを用いて構成することもできる。このような光導入端子２ａ〜２ｈはフランジセンタ１に取付けた後、両側の端面を光ファイバとの結合効率を高めるために研磨する必要がある。
【００１３】
次に真空側のロック機構部について図１を用いて説明する。真空側のフランジセンタ部１にはロック機構取付部２よりやや大きい径を有する環状の溝１ｅが形成されており、この溝１ｅ内にシールゴム５が挿入されている。真空側では図１に斜視図を示すように、略円筒形の真空フランジ部６が設けられる。真空フランジ部６は図示のように溝７ａ，７ｂが形成され、その溝は光導入端子２ａ〜２ｈに対応する位置に８つの貫通孔６ａ〜６ｈが形成されている。又この溝の中央部にはねじ溝６ｉ，６ｊが形成される。そしてこの溝７ａ，７ｂを上下動自在に摺動する２つの固定金具８が設けられる。固定金具８は図示のように略Ｌ字形の部材であって、下方の径も上方より小さくした大径側開口及び小径側開口を連続させた夫々４つの開口８ａ〜８ｈを有している。又その下方には長孔８ｉ，８ｊが設けられる。これらの固定金具８は真空フランジ部６の溝７ａ，７ｂに摺動自在に保持される。又押さえ金具９は真空フランジ部６の貫通孔６ａ〜６ｈに相当する位置に開口を有し、ねじによって真空フランジ部６をフランジセンタ部１の真空側面に固定すると共に、固定金具８を摺動自在に保持するものである。これらの真空側の部材はアウトガスの発生を防止するため、全て金属製の部材により構成する。
【００１４】
次にロック機構部１０について図４を用いて説明する。ロック機構部１０はホルダ締付部材１１とケーブルホルダ１２から構成されており、本実施形態では夫々２組のホルダ締付部材１１，ケーブルホルダ１２を隣接して配置している。これらによって前述した８つの光導入端子２ａ〜２ｈの位置に８本の光ファイバを着脱自在に保持するようにしている。
【００１５】
ホルダ締付部材１１は複数の光ファイバケーブルを保持するケーブル締付手段であって、図４（ａ）に示すように２つが互いに接するように配置され、夫々ケーブルホルダ１２と係合する。図４（ｂ）のケーブルホルダ１２は、光ファイバケーブルをロックして光ファイバを保持するケーブル保持手段である。
【００１６】
ホルダ締付部材１１について図４（ａ）及び図５〜図９を用いて説明する。図５は押さえカバー４の取付方向から見た正面図、図６は図５のＥ−Ｅ線断面図、図７はフランジセンタ部１の取付面から見たホルダ締付部材１１の背面図である。
【００１７】
ホルダ締付部材１１は指等で押圧するロックボタン１１ａと、ケーブルホルダ１２に摺動自在に係合するホルダ締付部１１ｂとにより構成される。ロックボタン１１ａは図５〜図７に示すように中空の角柱部材の一側面が切除され、その上面に指で押圧するための平板部１１ｃが一体に形成されたものである。一方、ホルダ締付部１１ｂは箱状又は額縁状に樹脂成形されたもので、最大面積を有する側面（図５、図７では正面部分）に４つの長孔１１ｄと、中央部にハート状カム１５が一体に形成されている。図５，図７に示すように長孔１１ｄは光ファイバケーブルをケーブルホルダ１２にロックした状態で、ホルダ締付部材１１を上下に移動させたとき、光ファイバケーブルから逃げるための長孔である。
【００１８】
図８（ａ）は図６のロックボタン１１ａをＦ−Ｆ線で切断した断面図で、図８（ｂ）はロックボタン１１ａの上面図である。ロックボタン１１ａの内部にスプリング保持部１１ｅが形成されている。スプリング保持部１１ｅは後述するコイルスプリング１７を保持するための空洞である。図８（ｂ）に示すように平板部１１ｃはこのコイルスプリング１７の弾性に抗して指で押圧する押圧面となっている。
【００１９】
図６，図７に示すようにホルダ締付部１１ｂにおいて、ハート状カム１５の裏面には方形突起１１ｆが形成されている。方形突起１１ｆは、ハート状カム１５が後述するピン１６の摺動力により大きな押圧力を受けるので、ハート状カム１５の背面への弾性変形を防止するための補強部である。なお図６の断面図に示すように方形突起１１ｆの端面はホルダ締付部１１ｂの外周枠の端面と同一であり、方形突起１１ｆの内部には４つの凹部が形成されている。この凹部は方形突起１１ｆの剛性を保持した状態で、ホルダ締付部１１ｂの重量を軽減するものである。
【００２０】
次にハート状カム１５について説明する。図９（ａ）はハート状カム１５の構成を示す平面図で、（ｂ）はハート状カム１５の摺動面の形状を示す断面図である。又図１４はハート状カム１５とこれに係合するピン１６との関係を示す部分断面図である。図５及び図９（ａ）に示すようにハート状カム１５は、中央のハート状突起１５ｂの外周部にピン１６の下端が従動するためのカム溝１５ａが形成されたものである。カム溝１５ａの深さ及び幅は図９（ｂ）に示すように場所によって異なっており、原則としてピン１６の下端は溝（イ）、（ロ）、（ハ）・・・（へ）、（ト）の順序で摺動するものとする。図９（ａ）の溝（ヘ）で示す第１の安定点では、溝深さが最も深く、その底面は傾斜していない。溝（ヘ）に続く溝（ト）の部分では平面形状が円弧状の溝となり、ハート状突起１５ｂの側面に沿って下に行く程徐々に溝が浅く、上がり勾配となっている。
【００２１】
溝（ト）はＧ１で示す下降段差を介して溝（イ）と連結される。段差Ｇ１はカム溝１５ａに摺動するピン１６の下端の摺動方向を規制するもので、一旦溝（イ）に停留したピン１６は溝（ト）に逆進できないようにしている。溝（イ）の底面は傾斜しておらず、これに続き上がり勾配の溝（ロ）がハート状突起１５ｂの右外周部に形成されている。そしてハート状突起１５ｂの右角部には溝深さが最も浅い溝（ハ）が形成され、次に下降段差Ｇ２を介して溝（ニ）が形成されている。溝（ニ）の底面は傾斜しておらず、その上部に退避部が形成されている。又下降段差Ｇ３を介して溝（ホ）が形成されており、その底面は傾斜していない。溝（ホ）のハート状突起１５ｂ側にも下側に円弧状に切り欠かれた退避部が形成されている。この退避部はピン１６が停留する第２の安定点である。溝（ホ）は下降段差Ｇ４を介して前述した溝（ヘ）に連結されている。溝（ヘ）にもその上部に退避部がある。溝（ニ）及び溝（ヘ）の退避部は、コイルスプリング１７で付勢されたピン１６が上下運動（オルタネート動作）するとき、一旦押圧されたロックボタン１１ａのバックストローク（押圧方向の遊び）を確保するための係合溝である。
【００２２】
さて図７に示すようにホルダ締付部１１ｂの外周枠の内面に、締付解除用切欠き１１ｇが形成されている。締付解除用切欠き１１ｇは楔状に切除された切欠きで、左右側面の内側に上下に２箇所づつ設けられている。次に図４（ａ）及び図１４に示すピン１６は、Ｕ字状に形成された金属製のピンであって、その上側の一端は後述するケーブルホルダ１２に設けられたピンホルダ１２ａと係合しており、下端がハート状カム１５のカム溝１５ａと係合している。ピン１６の下端面はカム溝１５ａの摺動面と滑らかに摺動するよう切断面が平坦に形成されている。
【００２３】
次にケーブルホルダ１２について図１０〜図１３を用いて説明する。図１０は一方のケーブルホルダ１２をホルダ締付部材１１の方向から見た正面図で、図１１はその側面図、図１２はフランジセンタ部１側から見たケーブルホルダ１２の背面図である。ケーブルホルダ１２は図４（ｂ）に示すように、４チャンネル分、又は２チャンネル分一体に形成されたものである。
【００２４】
図１３（ａ）は図１０に示すケーブルホルダ１２をＫ１〜Ｋ４線に沿って切断した断面図で、図１３（ｂ）はケーブルホルダ１２の上面図である。図４（ｂ）及び図１０に示すように、ケーブルホルダ１２は複数のファイバ取付穴１２ｃとピンホルダ１２ａとを一体に形成したもので、ここでは２チャンネル用のファイバ取付穴１２ｃが設けられている。ケーブルホルダ１２は、光ファイバケーブルを保持した状態でロックホルダ部３に嵌合するもので、上側のファイバ取付穴１２ｃは受光側の光ファイバケーブルの取付穴、下側は投光側の取付穴である。
【００２５】
図１０に示すようにケーブルホルダ１２はベースに縦溝１２ｂを有する逆Ｕ字状の突起部が形成されたものであり、左右に各チャンネルの上下のファイバ取付穴１２ｃが半割り状に開口されている。各ファイバ取付穴１２ｃは、光ファイバケーブルの外周面と合致するよう一部が円弧状に切欠かれた可撓部１２ｄを有している。この可撓部１２ｄは縦溝１２ｂから見て外側に樹脂成形されたものである。各可撓部１２ｄの下端部には、ひれ状に突起した爪１２ｅが形成されている。爪１２ｅは、ホルダ締付部材１１が下側に移動したとき、光ファイバケーブルを保持する可撓部１２ｇをロック状態にしたり、ホルダ締付部材１１が上側に移動したとき、締付解除用切欠き１１ｇと嵌合し、可撓部１２ｇをリリース状態にするものである。
【００２６】
縦溝１２ｂは図６又は図７に示す方形突起１１ｆと嵌合し、ホルダ締付部材１１が上下に摺動するための案内溝を構成している。図１０及び図１３（ｂ）に示すピンホルダ１２ａは、ケーブルホルダ１２の逆Ｕ字状に形成された突起部の上端に設けられた円筒状部材である。その円筒側面にピン穴１２ｆが開口され、図１４に示すようにピン１６の上端の折曲部を保持している。又図１１，図１２，図１３（ａ），（ｂ）に示すように、ケーブルホルダ１２の側面には２つの爪１２ｇが形成され、ロックホルダ部３と係合及びロックするよう構成されている。
【００２７】
次に図１に示す押さえカバー４には、各チャンネルの光ファイバケーブルを通すファイバ挿入口が４チャンネル分設けられている。又押さえカバー４の左右にはロックホルダ部３の貫通孔を通ってロック機構取付部に固定されるねじ溝が２箇所に設けられている。押さえカバー４はホルダ締付部材１１と係合した２組のケーブルホルダ１２を保持するものである。
【００２８】
以上のような構成部品を有する真空用フランジを組立てるには、まず図４（ａ）に示すようなコイルスプリング１７をホルダ締付部材１１のスプリング保持部１１ｅに収納する。次に図１４に示すようにピン１６の上端をピンホルダ１２ａのピン穴１２ｆに挿入し、この穴より脱落しないようコイルスプリング１７の内側に保持する。この状態でホルダ締付部材１１をケーブルホルダ１２の上方から挿入し、ピン１６の下端をハート状カム１５のカム溝１５ａのいずれかの溝（イ）〜（ヘ）に挿入する。更に図５及び図７に示すホルダ締付部１１ｂを、ケーブルホルダ１２の下側に押し下げると、ケーブルホルダ１２の可撓部１２ｄが内側に弾性変形し、ホルダ締付部１１ｂは更に下側に摺動する。やがて爪１２ｅは図７に示す締付解除用切欠き１１ｇに入り、ホルダ締付部材１１ｂとケーブルホルダ１２がコイルスプリング１７を介して弾性的に結合した状態となる。次にホルダ締付部材１１とケーブルホルダ１２の結合体から成るロック機構部１０をロックホルダ部３の切欠き部に挿入し、押さえカバー４をねじ止めすることによって、ロック機構取付部２に固定される。フランジセンタ部１の裏面には中央にシールゴム５が環状に形成されているので、４つの貫通孔１ａ〜１ｄにねじによってに真空槽に固定することによって真空槽の開口に気密に取付けることができる。又真空槽側でも真空フランジ部６の溝７ａ，７ｂに夫々固定金具８を挿入した状態で固定金具８の長孔８ｉ，８ｊにねじ止めによって真空フランジ部６に固定する。そして押さえ金具９の湾曲された切欠き部に真空フランジ部６を介してフランジセンタ部１と接続することによって真空槽側の光ファイバ接続部分を構成することができる。
【００２９】
以上のように組み立てられた真空フランジにおいて、図示しない光ファイバケーブルを挿入し、このケーブルをロック又はリリースする動作について図１５及び図１６を主に用いて説明する。まずロックボタン１１ａを下側に押圧すると、ホルダ締付部材１１はコイルスプリング１７の弾性力に抗して下側に移動する。図１４に示すようにピン１６の上端はピンホルダ１２ａに挿入されているので上下に移動しない。又ピン１６の下端は上端を回転中心とし、カム溝１５ａ内で摺動しながら首振り自在となっている。このためホルダ締付部材１１が下側に移動すると、ピン１６の下端は相対的にハート状カム１５に対して上方に移動しようとする。
【００３０】
ピン１６の下端が図９（ａ）に示すように最初に溝（イ）にあれば、ハート状突起１５ｂの側面に沿って上方に移動しようとする。溝（イ）にはこの溝から左側を見て立上り段差Ｇ１が形成されているので、ピン１６の下端は溝（ト）に移動できず、溝（ロ）の斜面に沿って上方に摺動する。こうしてピン１６の下端が溝（イ），（ロ），（ハ）に沿って上方に移動し、やがて溝（ニ）に落ち込む。この状態でホルダ締付部材１１のロックボタン１１ａの押圧力を解除すると、コイルスプリング１７の復帰力によりピン１６の下端が再び下方に移動しようとする。しかし溝（ニ）内の段差Ｇ２によりピン１６は溝（ハ）側に移動できず、溝（ホ）内の下側の退避部に当接した状態に係留される。図１６はこの状態を示しており、（ａ）はホルダ締付部材１１とケーブルホルダ１２の係合状態を示す側面図、（ｂ）はその縦断面図である。
【００３１】
さて光ファイバケーブルを挿入してロックするには、ホルダ締付部材１１のロックボタン１１ａを再び押圧する。このときピン１６の下端はカム溝１５ａに沿って上方に移動しようとするが、溝（ニ）に対しては立上り段差Ｇ３があるのでこの方向に移動できず、立下り段差Ｇ４を経由し溝（ヘ）に移動する。この状態でロックボタン１１ａの押圧力を一旦解除すると、ハート状カム１５を含めてホルダ締付部材１１ｂが上方に移動する。こうするとピン１６の下端が溝（ト）を経由してカム溝１５ａの最下端部に移動する。この状態を示したのが図１５（ａ），（ｂ）である。ここではピン１６の下端は溝（イ）に係留し、ケーブルホルダ１２に対してホルダ締付部材１１が最上部に位置することになる。このとき可撓部１２ｄの爪１２ｅは図７に示す締付解除用切欠き１１ｇ内に嵌まった状態となる。このとき図１５（ｂ）に示すようにファイバ取付穴１２ｃの内径は光ファイバケーブルの被覆外径より大きくなり、カバー１３のファイバ挿入口１３ａを介して光ファイバケーブルを挿入できる状態となる。
【００３２】
このようにして必要チャンネルの光ファイバケーブルをファイバ取付穴１２ｃの内部に挿入する。各光ファイバケーブルの接続端面がフランジセンタ部１に設けた光導入端子２ａ〜２ｈの端面に当たるまで挿入した後、再びホルダ締付部材１１のロックボタン１１ａを押圧する。このとき前述した場合と同様にピン１６の下端は図９（ａ）に示す溝（イ）から溝（ロ），（ハ）を経由し、溝（ニ）内に移動する。図１０に示す可撓部１２ｄにおいてその爪１２ｅが図７に示すホルダ締付部１１ｂの外周枠の内面に沿って相対的に摺動するので、可撓部１２ｄは内側に強制的に曲げられる。このため図１６に示すようにファイバ取付穴１２ｃの内径は光ファイバケーブルの外径より小さくなり、光ファイバケーブルが完全にロックされる。
【００３３】
光ファイバケーブルのロック後、ロックボタン１１ａの押圧力を解除しても、ピン１６の下端は図９（ａ）に示す溝（ホ）の退避部（凹部）に係留し、下側に押圧された状態となる。この状態ではピン１６の下端は下方へは勿論のこと、カム溝１５ａの左右に移動できない。このようにして光ファイバケーブルのロックが安定的に保持されることになる。図１６（ａ），（ｂ）に示すように光ファイバケーブルのロックは２チャンネル分一度に行われることになり、１つのロックボタン１１ａを操作することにより４本の光ファイバケーブルのロック及びリリースを同時に行うことができる。
【００３４】
図７に示すようにホルダ締付部材１１ｅの締付解除用切欠き１１ｇは中央の摺動軸となる方形突起１１ｆに対して左右対称に形成されている。又、図１０に示すようにケーブルホルダ１２においても、各チャンネルの可撓部１２ｄは方形突起１１ｆに対して左右対称に形成されている。このため左右間の光ファイバケーブルの締付力がホルダ締付部材１１及びケーブルホルダ１２の加工精度によらず均一化できる長所が生じる。又ホルダ締付部材１１をオルタネート動作したとき、ピン１６の下端は静止系から見て左右に首振り運動を行うが、図１４に示すようにピン１６の角部がコイルスプリング１７の外周端内部に保持されているため、ピン１６全体がハート状カム１５のカム溝１５ａから浮き上がらない。このようなスナップヒットの動作を行うオルタネート機構は従来から有るが、ピンがカム溝からの浮き上がりを防止するため、板ばね等がピンの背面に取付けられていた。本実施形態ではピン１６の支点側をコイルスプリング１７の内面で保持しているため、このような板ばね部材が不必要となる。
【００３５】
本実施形態ではハート状カム１５をホルダ締付部材１１の外周枠の中央部に設けたが、光ファイバケーブルのクランプ数が少ないときには外周枠の側面に設けることもできる。又ホルダ締付部材１１及びケーブルホルダ１２を摺動方向に長く構成し、４チャンネル以上の光ファイバケーブルを保持できるようにすることも可能である。又ホルダ締付部材１１及びケーブルホルダ１２を縦方向に更に長くし、２チャンネル以上の光ファイバケーブルを同時にロック又はリリースすることもできる。
【００３６】
図１７はこうして組立てられた真空用フランジのロック機構部に光ファイバを接続する状態を示す斜視図である。このようなロック機構部を用いることにより多数の光ファイバを極めて簡単に着脱することができる。
【００３７】
次にこの真空側に取付けられる光ファイバの端部の構造について図１８を参照しつつ説明する。光ファイバ２１は例えばバンドル型ファイバを用いて構成されており、その周囲は例えばフッソ樹脂によって被覆されたものを用いる。そしてその先端の被覆を除いた部分を光ファイバ固定用のＳＵＳ製等のチューブ２２に被せる。又このチューブ２２をスリーブ２３に挿入する。スリーブ２３は先端が細く形成された筒状の部材であって、そのほぼ中央部に断面円形の径が細い細径部２３ａが設けられている。又これに隣接する位置に空気抜き用の開口２３ｂが形成される。そして光ファイバ２１の端部にチューブ２２を挿入した後、スリーブ２３内に挿入して接着剤等で固定し、スリーブ２３の先端の位置で光ファイバ２１を研磨しておく。
【００３８】
次に真空側の光ファイバの固定について説明する。真空側では押さえ金具９の開口及び固定金具８の開口を介してスリーブ２３に挿入された光ファイバを真空フランジ部６の貫通孔に挿入する。図１９はこうして挿入されたスリーブ２３，真空フランジ６及びフランジセンタ部１とを示す断面図、図２０は光ファイバのロック，アンロック状態を示す図、図２１は光ファイバを取付ける際の真空フランジの斜視図である。スリーブ２３を固定金具８の開口に挿入するときには、図２０（ａ），図２１に示すように開口８ａ〜８ｈの径の大きい大径側開口にスリーブ２３を挿入することによって、容易に光ファイバ２１を光導入端子に当接させることができる。尚図２１では光ファイバ２１，スリーブ２３を真空側フランジよりも太くなるように記載している。そして固定金具８を図２０（ｂ），図２１に示すように上方に押し上げる。こうすれば開口８ａ〜８ｈの小径側開口にスリーブ２３の細径部２３ｂが貫通するように入り込むこととなって固定される。そして固定金具８がこれ以上真空フランジ部６の溝に沿って移動しないように、ねじによって固定する。こうすれば光ファイバ２１はスリーブ２３の細径部２３ａで固定金具８により保持されるため、脱落することなく、真空用フランジに固定されることになる。この場合スリーブ２３を挿入しても光ファイバ２１の端部が光導入端子にまで達していなければ、スリーブ２３の細径部２３ａが固定金具８の小開口部に対応する位置に達しないため固定金具８が摺動できず、接触が十分でない状態と識別できる。従って光ファイバ端部が接触している状態で確実に固定することができる。
【００３９】
又光ファイバ２１を真空用フランジから取り外す際には、固定金具８のねじを取り外して溝に沿って下方に押し込む。こうすれば開口８ａ〜８ｈの大径側開口にスリーブ２３の細径部２３ａが貫通する状態となって、図２０（ａ）に示すようにアンロックされる。従って光ファイバ２１をスリーブ２３と共に真空用フランジから取り外すことができる。このようにすれば真空側で４本の光ファイバを同時に着脱することができる。
【００４０】
図２２は本発明の第２実施形態による真空用フランジの光ファイバ接続部分を示す斜視図である。本図においてフランジセンタ部３１は図示のようにフランジの両側に円柱形の突出部分が形成されており、真空側には図示のように複数の光導入端子３２ａ〜３２ｈが中心から一定間隔に環状に形成されている。又真空側の突出部分は図示のように中央に縦断する線状溝３１ａが形成されている。このフランジセンタ部３１には第１のクランプ部３３が取付けられる。クランプ部３３は円筒部と角柱部とが一体に形成された部材であって、フランジセンタ部３１の光導入端子に対応する位置に貫通孔３３ａ〜３３ｈを有している。又クランプ部３３のフランジセンタ部３１側には、中心を縦断する線状突起３３ｊが設けられる。この線状突起３１ｊがフランジセンタ部３１の中央部の線状溝３１ａに挿入されてねじによって固定される。このように第１のクランプ部３３とフランジセンタ部３１が接続された真空側の部材に光ファイバを接続する場合には、クランプ部３３の８つの貫通孔３３ａ〜３３ｈのうち任意の孔に光ファイバを切断して挿入する。このときフランジセンタ部３１の光導入端子にまで当接させ、第２のクランプ部３４によってこれを固定する。クランプ部３４は光ファイバを保持するための２つの溝を有する断面がＥ字形の部材であって、中央部にねじ溝が形成されている。この溝に光ファイバを通してクランプ部３４をクランプ部３３の直方体の中心に向けたねじによって固定することにより、光ファイバを保持するものである。このような構成によっても真空側で金属部材のみを用いて光ファイバを固定することができる。尚本実施形態ではフランジセンタ部３１側に溝３１ａを設け、クランプ部３３に線状突起を形成しているが、溝及び突起を逆転させて固定するようにしてもよい。又他の形状の凹凸部を設けることによって固定することも可能である。
【００４１】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本願の請求項１〜４の発明によれば、金属製の部材を用いることによってアウトガスの発生がなく、真空側で多数の光ファイバを同時に簡単に着脱することができる。又複数本の光ファイバを接続する場合にも各ファイバ毎にねじ止めする必要がないので、比較的小さい面積のフランジセンタ部を用いて真空槽に取付けることが可能とる。又フランジセンタ部の光導入端子の研磨も確実に行うことができるという効果が得られる。又請求項３，４の発明では、光ファイバの端部にはコネクタ等を接続しないため、光ファイバを任意の長さに切断して図示しない光電センサに接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による真空用フランジの真空側の接続部材を示す組立構成図である。
【図２】本発明の一実施形態によるフランジセンタ部の大気側の接続部材を示す斜視図である。
【図３】本実施形態によるフランジセンタ部の中央部断面図である。
【図４】本実施形態によるロック機構部の主要部の構成を示す分解斜視図である。
【図５】本実施形態によるロック機構部のホルダ締付部材の構成を示す正面図である。
【図６】本実施形態におけるホルダ締付部材の構成を示すＥ−Ｅ線断面図である。
【図７】本実施形態におけるホルダ締付部材の構成を示す背面図である。
【図８】（ａ）は本実施形態のファイバ締付部材の構成を示すＦ−Ｆ線断面図、（ｂ）は上面図である。
【図９】（ａ）は本実施形態のホルダ締付部材に設けられたハート状カムの形状を示す平面図、（ｂ）はハート状カムのカム溝の摺動面の構成を示す断面図である。
【図１０】本実施形態のロック機構部に用いられるケーブルホルダの構成を示す正面図である。
【図１１】本実施形態のケーブルホルダの構成を示す側面図である。
【図１２】本実施形態のケーブルホルダの構成を示す背面図である。
【図１３】（ａ）は本実施形態のケーブルホルダの構成を示すＫ１−Ｋ２−Ｋ３−Ｋ４線断面図であり、（ｂ）はその上面図である。
【図１４】本実施形態のロック機構部において、ピン，ケーブルホルダ，ホルダ締付部材の取付関係を示す部分断面図である。
【図１５】本実施形態のロック機構部の動作を示す説明図で、（ａ）はリリース状態におけるホルダ締付部材とケーブルホルダの関係を示す側面図、（ｂ）はその断面図である。
【図１６】本実施形態のロック機構部の動作を示す説明図で、（ａ）はロック状態におけるホルダ締付部材とケーブルホルダの関係を示す側面図、（ｂ）はその断面図である。
【図１７】本実施形態による真空用フランジに光ファイバを取付ける状態を示す斜視図である。
【図１８】光ファイバ先端部のチューブとスリーブを示す側面図である。
【図１９】真空側フランジにスリーブを有する光ファイバを挿入した状態を示す断面図である。
【図２０】固定金具の形状と光ファイバのロック時及びアンロック時の状態を示す図である。
【図２１】本実施形態において真空用フランジに光ファイバを接続する状態を示す斜視図である。
【図２２】本発明の第２実施形態による光ファイバロック装置の真空側構成を示す斜視図である。
【図２３】従来の真空用フランジに光ファイバを接続する状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，３１フランジセンタ部
２ロック機構取付部
２ａ〜２ｈ，３２ａ〜３２ｈ光導入端子
３ロックホルダ部
４押さえカバー
５シールゴム
６真空フランジ部
７ａ，７ｂ溝
８固定金具
９押さえ金具
１０ロック機構部
１１ホルダ締付部材
１１ａロックボタン
１１ｂホルダ締付部
１１ｃ平板部
１１ｄ長孔
１１ｅスプリング保持部
１１ｆ方形突起
１１ｇ締付解除用切欠き
１２ケーブルホルダ
１２ａピンホルダ
１２ｈケーブル案内部
１３ａファイバ挿入口
１３ｂ切欠き
１４ａ係合穴
１５ハート状カム
１５ａカム溝
１５ｂハート状突起
１７コイルスプリング
２１光ファイバ
２２チューブ
２３スリーブ
２３ａ細径部
３３第１のクランプ部
３４第２のクランプ部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a structure of a vacuum flange used when connecting an optical fiber photoelectric sensor to a vacuum chamber.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a photoelectric sensor for detecting the position of an object is used in a process of processing a semiconductor wafer or the like in a vacuum chamber. An optical fiber type is used for such a photoelectric sensor. The optical fiber type photoelectric sensor in the atmosphere is guided from the light emitting unit to the vacuum chamber through the optical fiber and receives the presence or absence of an object in the vacuum chamber. Light is received by the optical fiber for use and taken out into the atmosphere via a connector to detect the presence or absence of an object in the atmosphere. Such an optical fiber connector is attached to a flange portion 101 provided on the wall surface of the vacuum chamber as shown in FIG. This flange portion is formed by providing a through hole in a vacuum chamber and airtightly using a seal member. The flange portion 101 is provided with a short light introducing terminal 102 penetrating the center thereof as shown in the figure. The light introducing terminal 102 is hermetically sealed with an optical fiber or the like penetrating the center thereof, and has a screw groove formed on the outer periphery. An optical fiber connector provided with a mounting screw at the tip is connected to the vacuum side and the atmosphere side of the light introduction terminal 102 for connection.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a conventional optical fiber photoelectric sensor, it is necessary to provide connectors on both the inside and outside of the vacuum chamber for each of the light projecting and light receiving optical fibers and screw them to the introduction terminal. There was a disadvantage that it took. In addition, since the optical fiber terminal cannot be connected to the light introduction terminal unless a connector having a screw is attached, there is a drawback that the user cannot cut the optical fiber to an arbitrary length. In addition, when a large number of optical fibers are attached simultaneously, a plurality of connectors are adjacent to each other, so that there is a drawback that attachment becomes difficult unless the area of the flange is increased. In addition, there is a restriction that resin products cannot be used in the vacuum chamber in order to prevent outgassing.
[0004]
The present invention has been made paying attention to such a conventional problem, and when guiding an optical fiber to an object detection region in a vacuum chamber, a plurality of fibers in the vacuum chamber can be easily connected simultaneously. An object of the present invention is to provide a vacuum flange having a structure.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The invention of claim 1 of the present application includes a flange center portion that is airtightly attached to an opening of a vacuum chamber via a seal member, and a plurality of airtightly formed through the optical fiber provided in the flange center portion. And the flange center portion is fixed to the vacuum side of the flange center portion so that a through hole is located at a position facing each light introduction terminal of the flange center portion. Having the through hole different from the fixed surface that comes into contact A vacuum flange portion having a groove on the surface, and two continuous different diameters that are slidably held along the groove provided in the vacuum flange portion and formed at positions corresponding to the light introduction terminals of the vacuum flange portion. A fixing bracket having two openings, a sleeve having a small diameter portion in a part thereof, and inserting and fixing one end of an optical fiber; And when the sleeve penetrating the large-diameter side of the two openings of the fixing bracket penetrates to a predetermined position, the small-diameter side sandwiches the small-diameter portion by moving the fixing bracket. To fix It is characterized by this.
[0006]
The invention of claim 2 of the present application is a flange center portion that is airtightly attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member, and a length that is equal to the thickness of the flange center portion provided at the center portion of the flange center portion. A plurality of light introduction terminals formed in an airtight manner through each of the optical fibers, and fixed to the vacuum side of the flange center portion so that a through hole is located at a position facing each light introduction terminal of the flange center portion And the flange center portion Having the through hole different from the fixed surface that comes into contact A vacuum flange portion having a groove on the surface, and two continuous different diameters that are slidably held along the groove provided in the vacuum flange portion and formed at positions corresponding to the light introduction terminals of the vacuum flange portion. A fixing bracket having two circular openings and an outer diameter substantially equal to the large-diameter side opening of the circular opening of the fixing bracket, and a part of which is substantially equal to the small-diameter side opening of the circular opening of the fixing bracket. A sleeve having a small diameter portion to which one end of the optical fiber is inserted and fixed, and a presser having an opening at a position corresponding to the through hole of the vacuum flange portion and covering the groove to hold the fixing bracket When the optical fiber sleeve is inserted into the opening of the vacuum flange through the opening of the fixing bracket, the small-diameter circular opening of the fixing bracket corresponds to the small-diameter portion of the sleeve. Move to the position to It is characterized in that for fixing the sleeve by.
[0007]
The invention of claim 3 of the present application is a flange center portion that is airtightly attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member, and an optical fiber that is airtightly formed at a predetermined interval at the center portion of the flange center portion. A plurality of light introducing terminals that pass through, and a through hole at a position corresponding to each of the light introducing terminals provided in the flange center portion, The position of the through hole and the position of the light introducing terminal are fixed to the flange center portion without deviation, and the edge of the through hole is formed on a surface having the through hole different from the fixed surface in contact with the flange center portion. Formed to touch A first clamp part having a convex part, a second clamp part for fixing an optical fiber penetrated through the first clamp part, And fixing the optical fiber together with the convex portion by fixing the second clamp portion to the convex portion. It is a feature.
[0008]
In the invention of claim 4 of the present application, a flange center part that is airtightly attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member, and an annular shape with a predetermined interval between the center part of the flange center part. Placed A plurality of light introduction terminals that are hermetically formed and pass through the optical fibers, respectively, and provided at the flange center portion Said It has a through hole at a position corresponding to each of the light introducing terminals, The position of the through hole and the position of the light introducing terminal are fixed to the flange center portion without deviation, and the edge of the through hole is formed on a surface having the through hole different from the fixed surface in contact with the flange center portion. Formed to touch A first clamp portion having a convex portion, a second clamp portion having an E-shaped cross section for fixing an optical fiber penetrated through the first clamp portion through a groove, And fixing the second clamp part to the convex part so that the optical fiber inserted into the through hole is sandwiched and fixed between the E-shaped groove part and the convex part. It is a feature.
[0009]
According to the invention of claim 1 or 2 of the present application having such characteristics, a plurality of light introducing terminals of the flange center portion are attached, and a groove is formed in the vacuum flange portion provided with a through hole at a position corresponding to this. Provided. A fixing fitting is slidably held in the groove, and two continuous circular openings having different diameters are provided in the fixing fitting. When the optical fiber is mounted, an optical fiber provided with a sleeve is inserted into the large-diameter opening of the opening, and the fixing bracket is shifted so that the sleeve is held by the small-diameter opening. In this way, the optical fiber can be fixed at a predetermined position.
[0010]
According to the third and fourth aspects of the present invention, a fiber clamp portion having a through hole is provided at a position corresponding to the light introducing terminal of the flange center portion, and the optical fiber is fixed to the fiber clamp portion by the second clamp portion.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 2 is an assembly configuration diagram of a vacuum flange according to an embodiment of the present invention. In this figure, the flange center portion 1 is a flat member, and for example, Al or SUS is used. The flange center portion 1 has mounting holes 1a to 1d to the vacuum chamber in all directions. At the center of the flange center portion 1 is provided a lock mechanism attachment portion 2 which is formed in a circular shape and slightly thicker than other portions as shown in the figure. For example, eight light introducing terminals 2 a to 2 h are formed inside the lock mechanism mounting portion 2. Further, screw grooves 2i and 2j for attaching a lock mechanism to be described later are provided adjacent to the light introducing terminals 2a to 2h. A lock holder portion 3 is attached to the lock mechanism attachment portion 2. As shown in the figure, the lock holder portion 3 is a cylindrical member, and a central portion thereof is greatly cut out in a rectangular shape, and through holes are formed at positions corresponding to the light introducing terminals 2a to 2h. A lock mechanism portion 10 to be described later is inserted into the lock holder portion 3. After the lock mechanism is attached, the press cover 4 is fixed to the lock mechanism attachment portion 2 of the flange center portion 1 with screws.
[0012]
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the flange center portion 1, and is a sectional view longitudinally cut at the positions of the light introducing terminals 2b and 2f. As shown in these drawings, the light introducing terminals 2a to 2h are obtained by inserting optical fibers, for example, glass fibers, into the through holes of the flange center portion 1, and the outer peripheral surfaces thereof are connected by soldering or the like. Instead of soldering, for example, an adhesive may be used, and when the flange center is made of FeNiCo, a sapphire fiber can also be used. After such light introducing terminals 2a to 2h are attached to the flange center 1, it is necessary to polish the end faces on both sides in order to increase the coupling efficiency with the optical fiber.
[0013]
Next, the lock mechanism part on the vacuum side will be described with reference to FIG. An annular groove 1e having a slightly larger diameter than that of the lock mechanism attaching part 2 is formed in the vacuum side flange center part 1, and a seal rubber 5 is inserted into the groove 1e. On the vacuum side, as shown in a perspective view in FIG. 1, a substantially cylindrical vacuum flange portion 6 is provided. The vacuum flange portion 6 is formed with grooves 7a and 7b as shown, and the through holes 6a to 6h are formed at positions corresponding to the light introducing terminals 2a to 2h. Screw grooves 6i and 6j are formed at the center of the groove. Two fixing fittings 8 are provided that slide in the grooves 7a and 7b so as to be movable up and down. The fixture 8 is a substantially L-shaped member as shown in the figure, and has four openings 8a to 8h each having a large-diameter side opening and a small-diameter side opening continuously having a lower diameter smaller than the upper diameter. In addition, long holes 8i and 8j are provided below. These fixing brackets 8 are slidably held in the grooves 7 a and 7 b of the vacuum flange portion 6. The presser fitting 9 has an opening at a position corresponding to the through holes 6 a to 6 h of the vacuum flange portion 6, and the vacuum flange portion 6 is fixed to the vacuum side surface of the flange center portion 1 with a screw and the fixing bracket 8 is slid. It can be held freely. These members on the vacuum side are all made of metal members in order to prevent outgassing.
[0014]
Next, the lock mechanism unit 10 will be described with reference to FIG. The lock mechanism unit 10 includes a holder fastening member 11 and a cable holder 12, and in this embodiment, two sets of the holder fastening member 11 and the cable holder 12 are arranged adjacent to each other. Thus, the eight optical fibers are detachably held at the positions of the eight light introducing terminals 2a to 2h described above.
[0015]
The holder fastening member 11 is a cable fastening means for holding a plurality of optical fiber cables, and is arranged so that the two are in contact with each other as shown in FIG. The cable holder 12 in FIG. 4B is a cable holding unit that locks the optical fiber cable and holds the optical fiber.
[0016]
The holder fastening member 11 will be described with reference to FIG. 4A and FIGS. 5 is a front view as seen from the mounting direction of the presser cover 4, FIG. 6 is a sectional view taken along line EE in FIG. 5, and FIG. 7 is a rear view of the holder tightening member 11 as seen from the mounting surface of the flange center portion 1. is there.
[0017]
The holder tightening member 11 includes a lock button 11 a that is pressed with a finger or the like, and a holder tightening portion 11 b that is slidably engaged with the cable holder 12. As shown in FIGS. 5 to 7, the lock button 11 a is formed by cutting one side surface of a hollow prism member and integrally forming a flat plate portion 11 c on the upper surface for pressing with a finger. On the other hand, the holder tightening portion 11b is resin-molded in a box shape or a frame shape, and has four long holes 11d on the side surface (front portion in FIGS. 5 and 7) having the largest area, and a heart-shaped cam in the center portion. 15 is integrally formed. As shown in FIGS. 5 and 7, the long hole 11d is a long hole for escaping from the optical fiber cable when the holder fastening member 11 is moved up and down with the optical fiber cable locked to the cable holder 12. .
[0018]
FIG. 8A is a cross-sectional view of the lock button 11a of FIG. 6 taken along line FF, and FIG. 8B is a top view of the lock button 11a. A spring holding portion 11e is formed inside the lock button 11a. The spring holding portion 11e is a cavity for holding a coil spring 17 described later. As shown in FIG. 8B, the flat plate portion 11 c is a pressing surface that is pressed by a finger against the elasticity of the coil spring 17.
[0019]
As shown in FIGS. 6 and 7, a square protrusion 11f is formed on the back surface of the heart-shaped cam 15 in the holder tightening portion 11b. The rectangular protrusion 11f is a reinforcing portion for preventing elastic deformation of the heart-shaped cam 15 toward the back surface because the heart-shaped cam 15 receives a large pressing force due to a sliding force of the pin 16 described later. As shown in the sectional view of FIG. 6, the end face of the rectangular protrusion 11f is the same as the end face of the outer peripheral frame of the holder tightening portion 11b, and four recesses are formed inside the rectangular protrusion 11f. The concave portion reduces the weight of the holder tightening portion 11b while maintaining the rigidity of the rectangular protrusion 11f.
[0020]
Next, the heart-shaped cam 15 will be described. FIG. 9A is a plan view showing the configuration of the heart-shaped cam 15, and FIG. 9B is a cross-sectional view showing the shape of the sliding surface of the heart-shaped cam 15. FIG. 14 is a partial sectional view showing the relationship between the heart-shaped cam 15 and the pin 16 engaged therewith. As shown in FIGS. 5 and 9A, the heart-shaped cam 15 is formed by forming a cam groove 15a for the lower end of the pin 16 to follow the outer peripheral portion of the central heart-shaped protrusion 15b. The depth and width of the cam groove 15a vary depending on the location as shown in FIG. 9B. As a general rule, the lower end of the pin 16 has grooves (A), (B), (C), (F), It shall slide in the order of (g). At the first stable point indicated by the groove (f) in FIG. 9A, the groove depth is the deepest and the bottom surface is not inclined. In the portion of the groove (g) following the groove (f), the planar shape is an arc-shaped groove, and the groove gradually becomes shallower as it goes down along the side surface of the heart-shaped protrusion 15b, and has an upward slope.
[0021]
The groove (g) is connected to the groove (b) through a descending step indicated by G1. The step G1 regulates the sliding direction of the lower end of the pin 16 that slides in the cam groove 15a, and the pin 16 once stopped in the groove (A) is prevented from moving backward into the groove (G). The bottom surface of the groove (A) is not inclined, and an upwardly inclined groove (B) is formed on the right outer peripheral portion of the heart-shaped protrusion 15b. A groove (c) having the shallowest groove depth is formed at the right corner of the heart-shaped protrusion 15b, and then a groove (d) is formed through a descending step G2. The bottom surface of the groove (d) is not inclined, and a retracting portion is formed on the top thereof. Further, a groove (e) is formed through the descending step G3, and its bottom surface is not inclined. A retracting portion cut out in an arc shape is formed on the lower side of the groove (e) on the heart-shaped protrusion 15b side. This retreating part is the second stable point where the pin 16 stops. The groove (e) is connected to the above-described groove (f) through a descending step G4. The groove (f) also has a retracting part at the top. The retracting portion of the groove (d) and the groove (f) is a back stroke (play in the pressing direction) of the lock button 11a once pressed when the pin 16 biased by the coil spring 17 moves up and down (alternate operation). This is an engagement groove for securing
[0022]
Now, as shown in FIG. 7, a tightening release notch 11g is formed on the inner surface of the outer peripheral frame of the holder tightening portion 11b. The tightening release notches 11g are notched in a wedge shape, and are provided at two locations on the inside of the left and right side surfaces. Next, the pin 16 shown in FIGS. 4A and 14 is a metal pin formed in a U-shape, and its upper end engages with a pin holder 12a provided in the cable holder 12 described later. The lower end is engaged with the cam groove 15 a of the heart-shaped cam 15. The lower end surface of the pin 16 has a flat cut surface so as to slide smoothly with the sliding surface of the cam groove 15a.
[0023]
Next, the cable holder 12 will be described with reference to FIGS. 10 is a front view of one of the cable holders 12 as viewed from the direction of the holder fastening member 11, FIG. 11 is a side view thereof, and FIG. 12 is a rear view of the cable holder 12 as viewed from the flange center portion 1 side. As shown in FIG. 4B, the cable holder 12 is formed integrally for four channels or two channels.
[0024]
13A is a cross-sectional view of the cable holder 12 shown in FIG. 10 cut along the lines K1 to K4, and FIG. 13B is a top view of the cable holder 12. FIG. As shown in FIGS. 4B and 10, the cable holder 12 is formed by integrally forming a plurality of fiber mounting holes 12c and a pin holder 12a. Here, a fiber mounting hole 12c for two channels is provided. . The cable holder 12 is fitted to the lock holder portion 3 while holding the optical fiber cable. The upper fiber attachment hole 12c is the light receiving side optical fiber cable attachment hole, and the lower side is the light emitting side attachment hole. It is.
[0025]
As shown in FIG. 10, the cable holder 12 is formed with an inverted U-shaped protrusion having a longitudinal groove 12b in the base, and the upper and lower fiber mounting holes 12c of each channel are opened in half in the left and right directions. ing. Each fiber mounting hole 12c has a flexible portion 12d that is partially cut out in an arc shape so as to match the outer peripheral surface of the optical fiber cable. The flexible portion 12d is resin-molded outside as viewed from the longitudinal groove 12b. A claw 12e protruding in a fin shape is formed at the lower end of each flexible portion 12d. When the holder tightening member 11 moves downward, the claw 12e locks the flexible portion 12g that holds the optical fiber cable, or when the holder tightening member 11 moves upward, The flexible part 12g is brought into a released state by fitting with the notch 11g.
[0026]
The vertical groove 12b is fitted with the rectangular protrusion 11f shown in FIG. 6 or FIG. 7, and constitutes a guide groove for the holder fastening member 11 to slide up and down. The pin holder 12a shown in FIGS. 10 and 13B is a cylindrical member provided at the upper end of the protruding portion formed in an inverted U shape of the cable holder 12. FIG. A pin hole 12f is opened on the side surface of the cylinder, and holds the bent portion at the upper end of the pin 16 as shown in FIG. As shown in FIGS. 11, 12, 13 (a) and 13 (b), two claws 12 g are formed on the side surface of the cable holder 12, and are configured to engage and lock the lock holder portion 3. Yes.
[0027]
Next, the press cover 4 shown in FIG. 1 is provided with fiber insertion ports for four channels through which the optical fiber cables of the respective channels are passed. On the left and right sides of the presser cover 4, there are provided two screw grooves that are fixed to the lock mechanism mounting portion through the through holes of the lock holder portion 3. The presser cover 4 holds two sets of cable holders 12 engaged with the holder fastening member 11.
[0028]
In order to assemble a vacuum flange having the above components, first, a coil spring 17 as shown in FIG. 4A is housed in the spring holding portion 11 e of the holder tightening member 11. Next, as shown in FIG. 14, the upper end of the pin 16 is inserted into the pin hole 12f of the pin holder 12a, and is held inside the coil spring 17 so as not to fall off from this hole. In this state, the holder fastening member 11 is inserted from above the cable holder 12, and the lower end of the pin 16 is inserted into any one of the grooves (A) to (F) of the cam groove 15 a of the heart-shaped cam 15. When the holder tightening portion 11b shown in FIGS. 5 and 7 is further pushed down to the lower side of the cable holder 12, the flexible portion 12d of the cable holder 12 is elastically deformed inward, and the holder tightening portion 11b is further moved downward. Slide. Eventually, the claw 12 e enters the tightening release notch 11 g shown in FIG. 7, and the holder tightening member 11 b and the cable holder 12 are elastically coupled via the coil spring 17. Next, the lock mechanism portion 10 composed of the combined body of the holder tightening member 11 and the cable holder 12 is inserted into the notch portion of the lock holder portion 3 and fixed to the lock mechanism attachment portion 2 by screwing the pressing cover 4. Is done. Since the seal rubber 5 is formed in a ring shape on the back surface of the flange center portion 1, it can be airtightly attached to the opening of the vacuum chamber by fixing the four through holes 1 a to 1 d to the vacuum chamber with screws. . On the vacuum chamber side, the fixing bracket 8 is inserted into the grooves 7a and 7b of the vacuum flange portion 6 and fixed to the vacuum flange portion 6 by screws in the long holes 8i and 8j of the fixing bracket 8. And the optical fiber connection part by the side of a vacuum tank can be comprised by connecting with the flange center part 1 via the vacuum flange part 6 to the notch part where the holding metal fitting 9 was curved.
[0029]
The operation of inserting an optical fiber cable (not shown) in the vacuum flange assembled as described above and locking or releasing the cable will be described mainly with reference to FIGS. 15 and 16. First, when the lock button 11 a is pressed downward, the holder tightening member 11 moves downward against the elastic force of the coil spring 17. As shown in FIG. 14, since the upper end of the pin 16 is inserted in the pin holder 12a, it does not move up and down. The lower end of the pin 16 has the upper end as the center of rotation, and can swing freely while sliding in the cam groove 15a. For this reason, when the holder fastening member 11 moves downward, the lower end of the pin 16 tends to move upward relative to the heart-shaped cam 15.
[0030]
If the lower end of the pin 16 is first in the groove (A) as shown in FIG. 9A, the pin 16 tends to move upward along the side surface of the heart-shaped protrusion 15b. Since the rising step G1 is formed in the groove (A) when viewed from the left side, the lower end of the pin 16 cannot move to the groove (G) and slides upward along the slope of the groove (B). To do. Thus, the lower end of the pin 16 moves upward along the grooves (A), (B), and (C), and eventually falls into the groove (D). When the pressing force of the lock button 11a of the holder tightening member 11 is released in this state, the lower end of the pin 16 tries to move downward again by the restoring force of the coil spring 17. However, due to the step G2 in the groove (d), the pin 16 cannot move to the groove (c) side and is moored in a state of being in contact with the lower retracting part in the groove (e). FIG. 16 shows this state, (a) is a side view showing the engaged state of the holder fastening member 11 and the cable holder 12, and (b) is a longitudinal sectional view thereof.
[0031]
Now, in order to insert and lock the optical fiber cable, the lock button 11a of the holder fastening member 11 is pressed again. At this time, the lower end of the pin 16 tries to move upward along the cam groove 15a. However, since there is a rising step G3 with respect to the groove (d), it cannot move in this direction, and the groove passes through the falling step G4. Move to (f). In this state, once the pressing force of the lock button 11a is released, the holder fastening member 11b including the heart-shaped cam 15 moves upward. As a result, the lower end of the pin 16 moves to the lowermost end portion of the cam groove 15a via the groove (g). This state is shown in FIGS. 15A and 15B. Here, the lower end of the pin 16 is moored in the groove (A), and the holder fastening member 11 is positioned at the uppermost portion with respect to the cable holder 12. At this time, the claw 12e of the flexible portion 12d is in a state of being fitted in the tightening release notch 11g shown in FIG. At this time, as shown in FIG. 15B, the inner diameter of the fiber mounting hole 12c is larger than the outer diameter of the coating of the optical fiber cable, and the optical fiber cable can be inserted through the fiber insertion port 13a of the cover 13.
[0032]
In this manner, the required channel optical fiber cable is inserted into the fiber mounting hole 12c. After inserting until the connection end face of each optical fiber cable hits the end faces of the light introducing terminals 2a to 2h provided on the flange center portion 1, the lock button 11a of the holder tightening member 11 is pressed again. At this time, similarly to the case described above, the lower end of the pin 16 moves from the groove (A) shown in FIG. 9A to the groove (D) via the grooves (B) and (C). In the flexible part 12d shown in FIG. 10, the claw 12e slides relatively along the inner surface of the outer peripheral frame of the holder fastening part 11b shown in FIG. 7, so that the flexible part 12d is forcibly bent inward. . Therefore, as shown in FIG. 16, the inner diameter of the fiber mounting hole 12c is smaller than the outer diameter of the optical fiber cable, and the optical fiber cable is completely locked.
[0033]
Even if the pressing force of the lock button 11a is released after the optical fiber cable is locked, the lower end of the pin 16 is anchored in the retracting portion (concave portion) of the groove (e) shown in FIG. It becomes a state. In this state, the lower end of the pin 16 cannot move to the left or right of the cam groove 15a as well as to the lower side. In this way, the lock of the optical fiber cable is stably held. As shown in FIGS. 16 (a) and 16 (b), the optical fiber cable is locked for two channels at a time, and the lock and release of the four optical fiber cables are performed by operating one lock button 11a. Can be performed simultaneously.
[0034]
As shown in FIG. 7, the tightening release notch 11g of the holder tightening member 11e is formed symmetrically with respect to the rectangular protrusion 11f serving as the central sliding shaft. As shown in FIG. 10, also in the cable holder 12, the flexible portion 12d of each channel is formed symmetrically with respect to the rectangular protrusion 11f. For this reason, there is an advantage that the tightening force of the optical fiber cable between the left and right can be made uniform regardless of the processing accuracy of the holder tightening member 11 and the cable holder 12. When the holder tightening member 11 is operated in an alternate manner, the lower end of the pin 16 swings left and right as viewed from the stationary system, but the corner of the pin 16 is located inside the outer peripheral end of the coil spring 17 as shown in FIG. Therefore, the entire pin 16 does not float from the cam groove 15a of the heart-shaped cam 15. There has been an alternate mechanism for performing such a snap hit operation, but a leaf spring or the like has been attached to the back surface of the pin in order to prevent the pin from lifting from the cam groove. In this embodiment, since the fulcrum side of the pin 16 is held by the inner surface of the coil spring 17, such a leaf spring member is unnecessary.
[0035]
In the present embodiment, the heart-shaped cam 15 is provided at the central portion of the outer peripheral frame of the holder tightening member 11, but it can also be provided on the side surface of the outer peripheral frame when the number of clamps of the optical fiber cable is small. Further, the holder fastening member 11 and the cable holder 12 can be configured to be long in the sliding direction so that the optical fiber cables of four channels or more can be held. Further, the holder fastening member 11 and the cable holder 12 can be further lengthened in the vertical direction, and two or more channels of optical fiber cables can be simultaneously locked or released.
[0036]
FIG. 17 is a perspective view showing a state in which an optical fiber is connected to the lock mechanism portion of the vacuum flange thus assembled. By using such a lock mechanism, a large number of optical fibers can be attached and detached very easily.
[0037]
Next, the structure of the end portion of the optical fiber attached to the vacuum side will be described with reference to FIG. The optical fiber 21 is configured by using, for example, a bundle type fiber, and the periphery thereof is, for example, coated with a fluorine resin. And the part except the coating | cover of the front-end | tip is covered with the tubes 22 made from SUS etc. for optical fiber fixation. The tube 22 is inserted into the sleeve 23. The sleeve 23 is a cylindrical member formed with a thin tip, and a thin-diameter portion 23a having a thin cross-sectional diameter is provided at a substantially central portion thereof. An air vent opening 23b is formed at a position adjacent to this. After the tube 22 is inserted into the end of the optical fiber 21, the tube 22 is inserted into the sleeve 23 and fixed with an adhesive or the like, and the optical fiber 21 is polished at the tip of the sleeve 23.
[0038]
Next, fixing of the optical fiber on the vacuum side will be described. On the vacuum side, the optical fiber inserted into the sleeve 23 is inserted into the through hole of the vacuum flange portion 6 through the opening of the holding metal fitting 9 and the opening of the fixing metal fitting 8. 19 is a cross-sectional view showing the sleeve 23, the vacuum flange 6 and the flange center portion 1 thus inserted, FIG. 20 is a view showing the locked and unlocked state of the optical fiber, and FIG. 21 is a vacuum flange when attaching the optical fiber. FIG. When the sleeve 23 is inserted into the opening of the fixing bracket 8, as shown in FIGS. 20A and 21, the sleeve 23 is inserted into the large-diameter side opening having a large diameter of the openings 8a to 8h, so that the optical fiber can be easily formed. 21 can be brought into contact with the light introducing terminal. In FIG. 21, the optical fiber 21 and the sleeve 23 are shown to be thicker than the vacuum side flange. Then, the fixture 8 is pushed upward as shown in FIGS. If it carries out like this, it will enter into the small diameter side opening of opening 8a-8h so that the small diameter part 23b of the sleeve 23 may penetrate, and is fixed. And it fixes with a screw so that the fixture 8 may not move along the groove | channel of the vacuum flange part 6 any more. By doing so, the optical fiber 21 is held by the fixing bracket 8 at the narrow diameter portion 23a of the sleeve 23, and is thus fixed to the vacuum flange without falling off. In this case, if the end portion of the optical fiber 21 does not reach the light introduction terminal even when the sleeve 23 is inserted, the narrow diameter portion 23a of the sleeve 23 does not reach the position corresponding to the small opening portion of the fixing bracket 8 and is fixed. The metal fitting 8 cannot slide and can be identified as a state where the contact is not sufficient. Therefore, it can fix reliably in the state which the optical fiber edge part has contacted.
[0039]
When the optical fiber 21 is removed from the vacuum flange, the screw of the fixing bracket 8 is removed and pushed downward along the groove. If it carries out like this, it will be in the state which the thin diameter part 23a of the sleeve 23 penetrates to the large diameter side opening of opening 8a-8h, and it is unlocked as shown to Fig.20 (a). Therefore, the optical fiber 21 can be removed from the vacuum flange together with the sleeve 23. In this way, four optical fibers can be attached and detached simultaneously on the vacuum side.
[0040]
FIG. 22 is a perspective view showing an optical fiber connecting portion of a vacuum flange according to the second embodiment of the present invention. In this figure, the flange center portion 31 is formed with cylindrical protruding portions on both sides of the flange as shown in the figure, and a plurality of light introducing terminals 32a to 32h are annularly spaced from the center at a constant interval as shown in the drawing. Is formed. The protruding portion on the vacuum side is formed with a linear groove 31a that vertically cuts in the center as shown in the figure. A first clamp portion 33 is attached to the flange center portion 31. The clamp portion 33 is a member in which a cylindrical portion and a prismatic portion are integrally formed, and has through holes 33 a to 33 h at positions corresponding to the light introducing terminals of the flange center portion 31. Further, a linear protrusion 33j that vertically cuts the center is provided on the flange portion 31 side of the clamp portion 33. The linear protrusion 31j is inserted into the linear groove 31a at the center of the flange center portion 31 and fixed by screws. When an optical fiber is connected to the vacuum side member to which the first clamp part 33 and the flange center part 31 are connected in this way, light is transmitted to an arbitrary hole among the eight through holes 33 a to 33 h of the clamp part 33. Cut and insert the fiber. At this time, it is brought into contact with the light introduction terminal of the flange center portion 31 and is fixed by the second clamp portion 34. The clamp part 34 is an E-shaped member having two grooves for holding the optical fiber, and a screw groove is formed at the center. The optical fiber is held by fixing the clamp portion 34 with a screw directed to the center of the rectangular parallelepiped of the clamp portion 33 through the optical fiber through the groove. Even with such a configuration, the optical fiber can be fixed using only the metal member on the vacuum side. In the present embodiment, the groove 31a is provided on the flange center portion 31 side and the linear protrusion is formed on the clamp portion 33. However, the groove and the protrusion may be reversed and fixed. Moreover, it is also possible to fix by providing the uneven part of another shape.
[0041]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the first to fourth aspects of the present invention, by using a metal member, no outgas is generated, and a large number of optical fibers can be easily attached and detached simultaneously on the vacuum side. . Also, when connecting a plurality of optical fibers, it is not necessary to screw each fiber, so that it can be attached to the vacuum chamber using a flange center portion having a relatively small area. Further, it is possible to surely polish the light introducing terminal at the flange center portion. According to the third and fourth aspects of the invention, since a connector or the like is not connected to the end of the optical fiber, the optical fiber can be cut to an arbitrary length and connected to a photoelectric sensor (not shown).
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an assembly configuration diagram illustrating a connection member on a vacuum side of a vacuum flange according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a connection member on the atmosphere side of a flange center portion according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the center portion of the flange center portion according to the present embodiment.
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a configuration of a main part of the lock mechanism according to the present embodiment.
FIG. 5 is a front view showing a configuration of a holder tightening member of the lock mechanism according to the present embodiment.
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line EE showing the configuration of the holder fastening member in the present embodiment.
FIG. 7 is a rear view showing a configuration of a holder fastening member in the present embodiment.
8A is a cross-sectional view taken along the line FF showing the configuration of the fiber fastening member of the present embodiment, and FIG. 8B is a top view.
9A is a plan view showing the shape of a heart-shaped cam provided on the holder tightening member of the present embodiment, and FIG. 9B is a cross-sectional view showing the configuration of the sliding surface of the cam groove of the heart-shaped cam. It is.
FIG. 10 is a front view showing a configuration of a cable holder used in the lock mechanism of the present embodiment.
FIG. 11 is a side view showing the configuration of the cable holder of the present embodiment.
FIG. 12 is a rear view showing the configuration of the cable holder of the present embodiment.
13A is a cross-sectional view taken along the line K1-K2-K3-K4 showing the configuration of the cable holder of the present embodiment, and FIG. 13B is a top view thereof.
FIG. 14 is a partial cross-sectional view showing a mounting relationship of pins, cable holders, and holder tightening members in the lock mechanism portion of the present embodiment.
15A and 15B are explanatory views showing the operation of the lock mechanism portion of the present embodiment, in which FIG. 15A is a side view showing the relationship between the holder fastening member and the cable holder in the released state, and FIG. 15B is a cross-sectional view thereof.
16A and 16B are explanatory views showing the operation of the lock mechanism of the present embodiment, in which FIG. 16A is a side view showing the relationship between the holder fastening member and the cable holder in the locked state, and FIG.
FIG. 17 is a perspective view showing a state in which an optical fiber is attached to a vacuum flange according to the present embodiment.
FIG. 18 is a side view showing a tube and a sleeve at the tip of the optical fiber.
FIG. 19 is a cross-sectional view showing a state where an optical fiber having a sleeve is inserted into the vacuum side flange.
FIG. 20 is a diagram showing the shape of the fixture and the state when the optical fiber is locked and unlocked.
FIG. 21 is a perspective view showing a state where an optical fiber is connected to a vacuum flange in the present embodiment.
FIG. 22 is a perspective view showing a vacuum side configuration of an optical fiber lock device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 23 is a perspective view showing a state in which an optical fiber is connected to a conventional vacuum flange.
[Explanation of symbols]
1,31 Flange center
2 Lock mechanism attachment
2a-2h, 32a-32h Light introduction terminal
3 Lock holder
4 Presser cover
5 Seal rubber
6 Vacuum flange
7a, 7b groove
8 Fixing bracket
9 Presser bracket
10 Locking mechanism
11 Holder tightening member
11a Lock button
11b Holder tightening part
11c flat plate
11d long hole
11e Spring holder
11f Rectangular protrusion
11g Notch for tightening release
12 Cable holder
12a Pin holder
12h cable guide
13a Fiber insertion slot
13b Notch
14a engagement hole
15 Heart-shaped cam
15a Cam groove
15b Heart-shaped protrusion
17 Coil spring
21 Optical fiber
22 tubes
23 sleeve
23a Small diameter part
33 1st clamp part
34 Second clamp part

Claims

A flange center portion hermetically attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member;
A plurality of light introduction terminals provided in the flange center portion and formed airtight through the optical fiber;
A surface having the through hole separate from the fixed surface that is fixed to the vacuum side of the flange center portion so that the through hole is located at a position facing each light introduction terminal of the flange center portion, and is in contact with the flange center portion A vacuum flange having a groove in the
A holding fixture that is slidably held along a groove provided in the vacuum flange portion and has two continuous openings with different diameters formed at a position corresponding to the light introduction terminal of the vacuum flange portion;
A sleeve having a small-diameter portion in a part thereof and inserting and fixing one end of the optical fiber ,
When the sleeve penetrating the large-diameter side of the two openings of the fixing bracket penetrates to a predetermined position, the small-diameter side moves to a position corresponding to the small-diameter portion by moving the fixing bracket, A vacuum flange characterized in that the sleeve is fixed by sandwiching a small diameter portion .

A flange center portion hermetically attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member;
A plurality of light introduction terminals formed in an airtight manner by penetrating optical fibers each having a length equal to the thickness of the flange center portion provided at the center portion of the flange center portion;
A surface having the through hole separate from the fixed surface that is fixed to the vacuum side of the flange center portion so that the through hole is located at a position facing each light introduction terminal of the flange center portion, and is in contact with the flange center portion A vacuum flange having a groove in the
A fixing bracket that is slidably held along a groove provided in the vacuum flange portion and has two continuous circular openings with different diameters formed at positions corresponding to the light introduction terminals of the vacuum flange portion;
A light beam having an outer diameter substantially equal to the large-diameter side opening of the circular opening of the fixing bracket and a small-diameter portion having an outer diameter substantially equal to the small-diameter opening of the circular opening of the fixing bracket. A sleeve for inserting and fixing one end of the fiber;
A holding metal fitting having an opening at a position corresponding to the through hole of the vacuum flange portion and holding the fixing metal fitting over the groove;
When the sleeve of the optical fiber is inserted into the opening of the vacuum flange through the opening of the fixing bracket, the small-diameter circular opening of the fixing bracket is moved to a position corresponding to the small-diameter portion of the sleeve. A flange for vacuum characterized by fixing a sleeve.

A flange center part hermetically attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member;
A plurality of light introduction terminals that are hermetically formed at a predetermined interval in the center of the flange center portion and respectively penetrate optical fibers;
The through hole is provided at a position corresponding to each of the light introduction terminals provided in the flange center portion, and the position of the through hole and the position of the light introduction terminal are fixed to the flange center portion without deviation, and the flange A first clamp portion having a convex portion formed on a surface having the through hole different from the fixed surface contacting the center portion so as to be in contact with an edge of the through hole ;
And a second clamp part for fixing the optical fiber penetrated through the first clamp part, and the light inserted into the through hole by fixing the second clamp part to the convex part. A vacuum flange , wherein a fiber is sandwiched and fixed between the convex portions .

A flange center part hermetically attached to the opening of the vacuum chamber via a seal member;
A plurality of light introduction terminals that are arranged in a ring shape at a predetermined interval in the center of the flange center portion and are hermetically formed and each penetrates an optical fiber;
The flange center portion has a through hole at a position corresponding to each of the light introducing terminal provided in the position of the through hole, the position of the light introducing terminal is fixed to the flange center section without displacement, A first clamp portion having a convex portion disposed on a surface having the through hole different from the fixed surface in contact with the flange center portion so as to be in contact with an edge of the through hole ;
A second clamp part having an E-shaped cross section for fixing an optical fiber penetrated through a groove in the first clamp part, and fixing the second clamp part to the convex part, A vacuum flange , wherein an optical fiber inserted into the through hole is fixed by being sandwiched between an E-shaped groove portion and the convex portion .