JP3741832B2 - Dispersion shifted fiber glass preform manufacturing method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、VAD法によるガラス母材の製造方法、特にスートの堆積工程における特性の安定化をはかる分散シフトファイバガラス母材の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
VAD法では、バーナより酸水素火炎を生じさせてその中に四塩化ケイ素などのガラスの原料ガスを送り込み、加水分解反応によってガラス微粒子を生成させ、これをターゲット棒の下端に堆積させる。このとき、バーナに原料ガスと共にドーパント材ガスを送り込みガラス微粒子を生成させ、ドーパント材の含有量により屈折率を制御する。このスートの堆積により形成されたプリフォームの成長に応じてターゲットを引き上げることにより、円柱状の多孔質のスートプリフォームを形成させる。そして、このスートプリフォームを脱水、焼結処理して透明なプリフォームとし、これを溶融線引して光ファイバを作製する。
【0003】
光ファイバ用のガラス母材の場合、酸水素火炎中で原料ガスとドーパント材ガスを加水分解して生成したガラス微粒子がターゲット下端に堆積されていく。ターゲットはスートプリフォームを安定して製造するため一定速度で引き上げられる。このスートの堆積により形成されるスートプリフォームの成長にともない、軸のずれや気圧変動など様々な要因が影響し、微妙にスートプリフォームの先端位置が変化する。先端位置の変化により、バーナとスートプリフォームの先端の位置関係が変化しないように引き上げ速度を微調整して、常に先端位置を一定とする。一定時間後、原料ガスの四塩化ケイ素流量を変化させることで、堆積速度を変化させ、平均引き上げ速度が一定になるように制御が行われてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コアがセンターコアとその周りがセンターコアより屈折率の低いサイドコアとからなり、更にサイドコアの周りがクラッド層からなる分散シフトファイバ(以下DSFとする)のガラス母材の製造においては、従来はセンターコア用原料ガスを変化させ、スートプリフォームの先端部の位置が一定となるよう制御されていたが、サイドコアおよびセンターコアとサイドコア境界部分の原料ガス量については検討されなかった。このため、原料ガス流量を変化させたときセンターコア用原料ガスの制御が行われると、火炎の干渉等の微妙な変化によりセンターコア境界からサイドコア部分のドーパント材の含有比率が変化し、この部分の屈折率分布が長手方向に変化し、零分散波長等の光ファイバ特性が変化する原因となっていた。
【0005】
上記に鑑み、本発明は、DSFガラス母材の製造において、スートプリフォームの先端位置を一定にするためセンターコアの原料ガスの四塩化ケイ素ガス流量を変化させ、センターコア部のドーパント材のガス流量をそれに対応して変化させたときに、センターコア境界からサイドコア部分の屈折率分布が安定し、長手方向に光ファイバ特性が安定したスートプリフォームを形成するDSFガラス母材の製造方法の提供を課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、DSFガラス母材の製造方法において、複数本のバーナの火炎中で合成したガラス微粒子をターゲットの下端に堆積させ多孔質光ファイバ母材を形成する光ファイバ母材の製造方法において、スートプリフォームの先端部分とバーナの位置関係を一定とする位置制御にともない変化した引き上げ速度を、一定時間後、設定速度からのずれを修正するために、センターコア用バーナへのガラス原料ガス流量を変化させセンターコア部のドーパント材の含有量を増加または減少させたとき、この変化に対応してセンターコアとサイドコア境界部及びサイドコア部のドーパント材による屈折率変化が一定となるよう、サイドコア用バーナのガラス原料ガス及びドーパント材ガスの供給量を制御することを特徴とするものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に用いられるDSFガラス母材製造装置の縦断面図で、チャンバー1内に、排気管2、スート生成用のクラッド用バーナ3、サイドコア用バーナ4、センターコア用バーナ5、スート付着によるスートプリフォーム7の成長に応じて引き上げられていくターゲット棒6、チャンバー内でスートプリフォーム7の先端位置を検出する先端検出器8、検出された先端位置の変化に応じて引き上げ速度を調整する引き上げ速度調整器(図示せず)を具備しており、更に、一定時間後平均引き上げ速度により原料ガスの流量を調節し、それに合わせてドーパント材のガス流量を調節する流量調節器9がサイドコア用バーナ4とセンターコア用バーナ5に配備されている。
【0008】
スートプリフォーム7が成長に伴って徐々に引き上げられていくと、気圧変動、温度変化、引き上げ機の軸ずれ等様々な要因により、スートプリフォーム先端位置が微少に変化したり、堆積効率が変化したりすることになる。常にスートプリフォーム先端とバーナの位置関係を一定とするためには、この変化にともない引き上げ速度を微妙に変化させることが必要となる。しかし、引き上げ工程全般にわたり一定速度で引き上げを行うためには、一定時間後、設定速度からのずれを修正する目的で、原料ガス流量を調整する必要が生じる。原料ガス流量を変化させると、ドーパント材含有率が変化するため、センターコア部のドーパント材含有量を変化させる。ここで、センターコア用バーナの流量変化にともないセンターコア用バーナとサイドコア用バーナの火炎の微妙な関係に変化が生じるため、センターコアとサイドコア境界部およびサイドコア部の屈折率分布が変化する原因となる。このため、センターコア用バーナの火炎が変化したとき、この変化に対応してサイドコア部分のドーパント材の堆積スート中の含有率が一定となるようサイドコア用バーナのガス流量及びサイドコア中のドーパント材含有量を調整する。その結果、長手方向でセンターコア部とサイドコア部のドーパント含有量が一定のスートプリフォームを引き上げることができる。
【0009】
以下、図1に基づいて本発明の好ましい実施の形態を説明する。
チャンバー1内にターゲット棒6がつり下げられ回転しており、その下端にスートプリフォーム7が堆積される。センターコア用バーナ5、サイドコア用バーナ4、クラッド用バーナ3でそれぞれの部分を堆積させている。ターゲット棒6は引き上げ装置により吊り下げられており、スートプリフォーム7の成長にともない順次引き上げられるようになっている。
【0010】
スートプリフォーム7の先端部の位置を計測するために取り付けられた先端検出器8により、先端位置が常に測定され、先端部分が一定の位置に置かれるよう、引き上げ速度制御器により引き上げ速度が制御される。一定時間後、引き上げ平均速度を一定とするため、センターコア用原料ガスの四塩化ケイ素のガス流量が制御される。この変化にともないドーパント材の四塩化ゲルマニウムのガス流量も制御される。次に、センターコア用バーナの火炎の変化によるサイドコア部の変化を抑制するような方向へ、サイドコア用原料ガスの四塩化ケイ素及びドーパント材の四塩化ゲルマニウムのガス流量を変化させる。なお原料ガス、ドーパント材のガス流量の制御は、センターコア用バーナ5及びサイドコア用バーナ4にそれぞれ備えられた流量調節器9により行われる。
この様にして、サイドコア部のガス流量をセンターコア部のガス流量変化に対応させて変化させることにより、ガラス母材のセンターコア及びサイドコアのドーパント含有量が一定となり屈折率分布が安定し、このガラス母材から長手方向にファイバ特性の安定したDSF光ファイバを容易に製造することができる。
【0011】
【実施例】
(実施例)
図1の装置を用い、センターコア用バーナ5には四塩化珪素ガス25cc/分、四塩化ゲルマニウムガス15cc/分、水素ガス1.0リットル/分、酸素ガス3.0リットル/分、アルゴンガス1.0リットル/分を供給し、サイドコア用バーナ4には四塩化珪素ガス150 cc/分、四塩化ゲルマニウムガス40cc/分、水素ガス5.5リットル/分、酸素ガス7.0リットル/分、アルゴンガス1.5リットル/分を供給し、またクラッド用バーナ3には四塩化珪素ガス250 cc/分、水素ガス20リットル/分、酸素ガス20リットル/分、アルゴンガス25リットル/分を供給して、酸水素火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を回転するターゲット棒の下端に堆積させスートプリフォーム7を形成した。スートプリフォームの成長にともないターゲット棒6を上方に引き上げ、チャンバーに取り付けた先端検出器8によりスートプリフォーム7先端部の位置を計測し、先端部分が常に一定の位置に置かれるように、制御器により引き上げ速度が制御され、一定時間後、引き上げの平均速度を一定とするため、流量調節器9によりセンターコア用原料ガスの四塩化ケイ素のガス流量が制御され、この変化にともないセンターコア用ドーパント材の四塩化ゲルマニウムのガス流量も制御された。次に、センターコア用バーナの火炎の変化によるサイドコア部の変化を抑制するような方向へ、流量調節器9によりサイドコア用原料ガスの四塩化ケイ素及びドーパント材の四塩化ゲルマニウムのガス流量を変化させた。
このようにして、直径80mm、長さ1,000 mmの多孔質プリフォームを作製し、これを1,000 ℃で脱水し1,500 ℃で焼結・透明ガラス化して、直径40mm、長さ600 mmのDSFガラス母材が得られた。この母材の長手方向の100 mm、150 mm、200 mm、250 mm、300 mm、350 mm、400 mm、450 mm及び500 mmの各位置における光ファイバの零分散波長を測定したところ、図2の○印の結果が得られ、目標値の1,550 nm(点線)に対して、長手方向のバラ付きがほとんどないことが確認された。
【0012】
(比較例)
サイドコア用バーナの四塩化ケイ素のガス流量及びドーパント材の四塩化ゲルマニウムのガス流量を、センターコア用バーナのガス流量変化に対応して変化させる制御を行わなかった以外は実施例と同様に行って、直径80mm、長さ1,000 mmの多孔質プリフォームを作製し、同様に脱水・焼結・透明ガラス化して、直径40mm、長さ600 mmのDSFガラス母材が得られた。この母材について、同様に長手方向の光ファイバの零分散波長を測定したところ、図2の●印の結果が得られ、目標値の1,550 nm(点線)に対して、バラ付きが見られることが判った。
【0013】
【発明の効果】
本発明によれば、DSFガラス母材の製造において、平均引き上げ速度を一定に保つために、センターコア用原料ガス流量を変化させても、母材のセンターコア及びサイドコアのドーパント含有量が一定となり屈折率分布が安定し、この母材から、長手方向に特性の安定したDSF光ファイバを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に用いられるDSFガラス母材の製造装置の縦断面図である。
【図2】 実施例と比較例で得られたDSFガラス母材の長手方向の光ファイバの零分散波長のバラ付きを示したグラフである。
【符号の説明】
1…チャンバー
2…排気管
3…クラッド用バーナ
4…サイドコア用バーナ
5…センターコア用バーナ
6…ターゲット棒
7…スートプリフォーム
8…先端検出器
9…流量調節器[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a glass base material by a VAD method, and more particularly to a method for manufacturing a dispersion-shifted fiber glass base material that stabilizes characteristics in a soot deposition process.
[0002]
[Prior art]
In the VAD method, an oxyhydrogen flame is generated from a burner, and a glass raw material gas such as silicon tetrachloride is fed into it to generate glass fine particles by a hydrolysis reaction, which is deposited on the lower end of the target rod. At this time, the dopant material gas is fed into the burner together with the source gas to generate glass fine particles, and the refractive index is controlled by the content of the dopant material. A columnar porous soot preform is formed by pulling up the target according to the growth of the preform formed by the deposition of the soot. The soot preform is dehydrated and sintered to form a transparent preform, which is melt-drawn to produce an optical fiber.
[0003]
In the case of a glass base material for an optical fiber, glass particles generated by hydrolyzing a source gas and a dopant material gas in an oxyhydrogen flame are deposited on the lower end of the target. The target is pulled up at a constant speed in order to stably produce the soot preform. Along with the growth of the soot preform formed by the deposition of the soot, various factors such as axial deviation and atmospheric pressure fluctuation influence the subtle position of the soot preform. The pulling speed is finely adjusted so that the positional relationship between the burner and the soot preform tip does not change due to the change in the tip position, so that the tip position is always constant. After a certain time, the deposition rate is changed by changing the silicon tetrachloride flow rate of the raw material gas, and the average pulling rate has been controlled to be constant.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the core consists of a center core around which a side core having a refractive index lower than the center core, in yet producing the glass preform for dispersion shifted fiber around the side core is made of a cladding layer (hereinafter referred to as DSF) is conventionally Was controlled so that the position of the tip portion of the soot preform was constant by changing the raw material gas for the center core, but the amount of the raw material gas at the side core and at the boundary between the center core and the side core was not examined. For this reason, if the control of the raw material gas for the center core is performed when the raw material gas flow rate is changed, the content ratio of the dopant material from the center core boundary to the side core portion changes due to subtle changes such as flame interference. The refractive index distribution of the optical fiber changes in the longitudinal direction, causing the optical fiber characteristics such as zero dispersion wavelength to change.
[0005]
In view of the above, in the production of the DSF glass base material, the present invention changes the silicon tetrachloride gas flow rate of the raw material gas of the center core in order to keep the tip position of the soot preform constant, and the dopant material gas of the center core portion Providing a method for producing a DSF glass base material that forms a soot preform in which the refractive index distribution from the center core boundary to the side core portion is stable and the optical fiber characteristics are stable in the longitudinal direction when the flow rate is changed correspondingly Is an issue.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform in which a porous optical fiber preform is formed by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a plurality of burners on a lower end of a target in a method for producing a DSF glass preform. In order to correct the deviation from the set speed after a certain period of time, the flow rate of the glass material gas to the center core burner is changed after a certain period of time due to the position control that keeps the positional relationship between the tip of the soot preform and the burner constant. When the content of the dopant material in the center core part is increased or decreased by changing the core material, the change in the refractive index due to the dopant material in the center core and the side core boundary part and the side core part becomes constant corresponding to this change. The supply amount of the glass raw material gas and the dopant material gas of the burner is controlled.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a DSF glass base material manufacturing apparatus used in the present invention. Inside a chamber 1, an exhaust pipe 2, a soot generating
[0008]
As the soot preform 7 is gradually pulled up as it grows, the soot preform tip position changes slightly or the deposition efficiency changes due to various factors such as atmospheric pressure fluctuations, temperature changes, and shaft misalignment of the lifting machine. Will do. In order to always keep the positional relationship between the soot preform tip and the burner constant, it is necessary to slightly change the pulling speed with this change. However, in order to perform the pulling up at a constant speed throughout the pulling process, it is necessary to adjust the raw material gas flow rate for the purpose of correcting the deviation from the set speed after a certain time. When the raw material gas flow rate is changed, the dopant material content changes, so the dopant material content in the center core portion is changed. Here, because the delicate relationship between the flame of the center core burner and the side core burner changes with the flow rate change of the center core burner, the reason is that the refractive index distribution of the center core and side core boundary and side core changes. Become. For this reason, when the flame of the center core burner changes, the gas flow rate of the side core burner and the dopant material content in the side core so that the content of the dopant material in the side core portion in the deposition soot is constant corresponding to this change Adjust the amount. As a result, a soot preform having a constant dopant content in the center core portion and the side core portion in the longitudinal direction can be pulled up.
[0009]
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
A target rod 6 is suspended and rotated in the chamber 1, and a soot preform 7 is deposited on the lower end thereof. The respective parts are deposited by the center core burner 5, the side core burner 4, and the
[0010]
The tip position is always measured by the tip detector 8 attached to measure the position of the tip portion of the soot preform 7, and the lifting speed is controlled by the lifting speed controller so that the tip portion is placed at a fixed position. Is done. After a certain time, the gas flow rate of the silicon tetrachloride as the center core raw material gas is controlled in order to keep the average pulling speed constant. With this change, the gas flow rate of germanium tetrachloride as the dopant material is also controlled. Next, the gas flow rates of silicon tetrachloride as the side core raw material gas and germanium tetrachloride as the dopant material are changed in such a direction as to suppress changes in the side core due to changes in the flame of the center core burner. The gas flow rates of the source gas and the dopant material are controlled by flow rate adjusters 9 provided in the center core burner 5 and the side core burner 4, respectively.
In this way, by changing the gas flow rate of the side core portion in accordance with the gas flow rate change of the center core portion, the dopant content of the center core and side core of the glass base material becomes constant, and the refractive index distribution is stabilized. A DSF optical fiber having stable fiber characteristics in the longitudinal direction can be easily manufactured from a glass base material.
[0011]
【Example】
(Example)
Using the apparatus of FIG. 1, the center core burner 5 has a silicon tetrachloride gas of 25 cc / min, a germanium tetrachloride gas of 15 cc / min, a hydrogen gas of 1.0 liter / min, an oxygen gas of 3.0 liter / min, and an argon gas of 1.0 liter / min. The side core burner 4 is supplied with silicon tetrachloride gas 150 cc / min, germanium tetrachloride gas 40 cc / min, hydrogen gas 5.5 liter / min, oxygen gas 7.0 liter / min, and argon gas 1.5 liter / min. In addition, silicon tetrachloride gas 250 cc / min, hydrogen gas 20 liter / min, oxygen gas 20 liter / min, and argon gas 25 liter / min are supplied to the
In this way, a porous preform having a diameter of 80 mm and a length of 1,000 mm was produced, dehydrated at 1,000 ° C., sintered and formed into a transparent glass at 1,500 ° C., and a DSF glass mother having a diameter of 40 mm and a length of 600 mm. A material was obtained. The zero dispersion wavelength of the optical fiber at each position of 100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 300 mm, 350 mm, 400 mm, 450 mm and 500 mm in the longitudinal direction of this base material was measured. As a result, it was confirmed that there was almost no variation in the longitudinal direction with respect to the target value of 1,550 nm (dotted line).
[0012]
(Comparative example)
The silicon tetrachloride gas flow rate of the side core burner and the germanium tetrachloride gas flow rate of the dopant material were the same as in the example except that control was not performed to change the gas flow rate of the center core burner. A porous preform having a diameter of 80 mm and a length of 1,000 mm was prepared and similarly dehydrated, sintered, and converted into a transparent glass to obtain a DSF glass base material having a diameter of 40 mm and a length of 600 mm. For this base material, the zero dispersion wavelength of the optical fiber in the longitudinal direction was measured in the same way. As a result, the result indicated by the ● mark in FIG. 2 was obtained, and there was variation with respect to the target value of 1,550 nm (dotted line). I understood.
[0013]
【The invention's effect】
According to the present invention, in the manufacture of the DSF glass base material, the dopant content in the center core and side core of the base material becomes constant even if the raw material gas flow rate for the center core is changed in order to keep the average pulling rate constant. A DSF optical fiber having a stable refractive index distribution and stable characteristics in the longitudinal direction can be easily manufactured from this base material.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a DSF glass base material manufacturing apparatus used in the present invention.
FIG. 2 is a graph showing variations in zero dispersion wavelength of optical fibers in the longitudinal direction of DSF glass preforms obtained in Examples and Comparative Examples.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chamber 2 ...
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