JP3695984B2 - Laser assist high speed flame spraying method and apparatus - Google Patents
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- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 title claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 134
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 124
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 68
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 9
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 24
- 238000010286 high velocity air fuel Methods 0.000 description 13
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 10
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000009675 coating thickness measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011214 refractory ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶射ガンにて高温,高速燃焼炎に溶射材料を載せ溶射基材に衝突させる高速フレ−ム溶射とこの溶射皮膜を溶融するYAGレ−ザ照射とを同時に並行して行なう溶射に関する。
【0002】
【従来の技術】
金属表面等(基材)に各種機能皮膜を形成する溶射法には、ガス溶射,アーク溶射,プラズマ溶射,高速フレーム溶射等がある。これらの目的とする形成皮膜の性質は、耐摩耗性,潤滑性,耐熱性,滑り性等である。溶射温度が低温のガス溶射やアーク溶射は、比較的低融点の金属溶射に向き、高温のプラズマ溶射は高融点材料のセラミックス,Mo粉末の溶射も可能である。高速フレーム溶射は、燃焼を利用した高速流(ジェット)により、粉末を基材を衝突させ皮膜を形成するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
以上何れの溶射法においても、皮膜への気孔の形成は免れなく、皮膜の緻密性,基材との密着性等に難があった。またプラズマ溶射は、高融点材料の溶射が可能であるが、大気中での溶融においては、空気の巻き込みによる飛行粉末の酸化が発生するので、その皮膜は本来の高融点材料の性質を得られないという欠点があった。これらを改善する一方法として、プラズマ溶射にCO2 レーザまたはYAGレーザを組み合わせた複合(ハイブリッド)溶射法が行われている。これらの実施例は、何れも研究・実験室レベルでの試みで、理想的な皮膜を得るために、皮膜の酸化を避ける目的で減圧チャンバー内で空気を排除あるいは不活性ガス(Ar等)に置換した雰囲気にて溶射を行っている。このため減圧チャンバーが必要であり、大型な溶射対象物の場合は大型の減圧チャンバーが必要であり、減圧に要する時間がかかる上、バッチ生産にならざるを得ない。更に不活性ガスに置換する場合は、減圧チャンバーの大きさに応じたガスを消費する。
【0004】
本発明は、大気中での溶射を実現し、皮膜の基材との密着性を高くすることを第1の目的とし、緻密な皮膜を形成することを第2の目的とし、所要厚の溶射皮膜を確実に形成することを第3の目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
高速フレーム溶射法は、溶射材粉末を燃焼を利用した高速・高温気流に乗せ、溶融あるいは半溶融(粉末の融点による)で基材に衝突させるものである。高速フレーム溶射法には、燃焼の酸化剤として酸素を使用するHVOF(High Velocity Oxy Fuel)、および、空気を使用するHVAF(High Velocity Air Fuel)があり、それぞれ特徴を持っているが、皮膜の緻密性は比較的良好である。酸素を助燃剤として使用するHVOFと比較し、HVAFによる溶射は、空気を助燃剤とするため溶射皮膜の酸化がきわめて少なく、大気中であっても良好な皮膜を得られる。
【0006】
しかし、HVAFの燃焼温度は2400°K程度であるので、HVAF高速フレ−ム溶射は、高融点材料の溶射には不向きである。HVAFで高融点材料を溶射した場合、材料粉末を溶融出来ずその形成皮膜は末溶融粉末が積層した状態であり、基材との密着性に欠け、粉末粒子間の緻密性、結合性もない。そこでレ−ザビ−ム照射を併用する。この併用により、高融点金属のMo(モリブテン),W(タングステン),高融点セラミックスのZrO2(ジルコニア),MgO(マグネシア),AL2O3(アルミナ)の、酸化のない緻密性,基材との密着性等に優れた高機能な皮膜を得ることが出来る。
【0007】
YAGレーザはパワーを光ファイバ(ファイバーコア径はφ0.6〜1.0mm)で伝送できる波長であるため、集光させる先端(光学レンズ系を持ち、レーザビームを集光させ照射する。通常レーザ加工ヘッドという。)を自由に、フレキシブルに移動させることが出来る。このような特徴を持つHVAFとYAGレーザを組み合わせたレーザアシスト高速フレーム溶射法(複合、ハイブリッド)により、高機能な溶射皮膜(皮膜の緻密性,基材の密着性等)をシンプルなシステムにより得ることが出来る。
【0008】
ところで、溶射皮膜にレ−ザ照射をする場合、皮膜形成後表面温度が低下してから皮膜表面にレーザ照射を行うと、急熱のため割れを生じる。第1パスの高速フレーム溶射のときその溶射位置にレ−ザ照射を同時に行なうことにより、割れや気孔の形成がなく溶射皮膜の基材との密着性が向上する。第2パス以降では溶射直後にレーザ照射する。この場合も割れを生じることなく、緻密な皮膜表面となる。HVAFの標準的溶射条件は、速度200mm/sec,形成皮膜厚15μm/1パスである。同時に移動するYAGレーザビームの出力は、この速度に対応する出力である必要がある。また照射範囲を広げるため焦点位置をずらす(デフォーカス)必要がある。以上のことから、単位面積当たりの必要投入熱量からYAGレーザの出力は4〜5KWを必要とする。この高容量のレ−ザビ−ムは、コア径φ1.0mmの光ファイバでレ−ザ照射ヘッドに導くことができる。
【0009】
高速フレ−ム溶射ガンに対するレーザ照射ヘッドの角度を溶射皮膜層により変更することにより、更に効果が出る。即ち、レーザ照射ヘッドの溶射ガンに対する角度調整機構を設け、例えば1パス目は溶射皮膜を形成する位置に皮膜形成と同時にYAGレ−ザを照射し、第2パス以降では高速フレ−ム溶射によって溶射皮膜を形成した直後に該溶射皮膜にYAGレ−ザを照射する。このための角度変更は段階的でも、連続的でも良い。
【0010】
更にレーザアシスト高速フレーム溶射法を実際の溶射対象物に適用するためには、溶射走査方向が自由であるのが好ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】
(1)本発明の第1実施態様では、溶射作業に先立って、高速フレ−ム溶射ガン (1) およびYAGレ−ザ照射ヘッド (51) を支持する部材 (2) および溶射基材 (6/36) の少くとも一方 (2) を他方 (6/36) に対して相対的に駆動して、前記支持部材 (2) で担持した距離測定器 (5) にて溶射基材 (6/36) の複数点の各距離を計測し;
大気中で溶射ガン (1) が噴射する高速フレ−ムが溶射基材 (6/36) を走査するように、前記支持部材 (2) および溶射基材 (6/36) の少くとも一方を他方に対して相対的に駆動すると共に、溶射ガン(1)にて高温,高速燃焼炎に溶射材料を載せ溶融あるいは半溶融状態で溶射基材(6/36)に衝突させる高速フレ−ム溶射と、この溶射皮膜を溶融するYAGレ−ザ照射(51)とを同時に並行して行ない、高速フレ−ム溶射によって溶射皮膜を形成する位置に皮膜形成と同時にYAGレ−ザを照射し、かつ、高速フレ−ムおよびYAGレ−ザが走査した溶射基材表面の距離を距離測定器 (5) にて計測し、溶射作業に先立って計測した値,今回の計測値および溶射皮膜厚目標値に従って溶射皮膜厚が目標値に達したかを判定する。
【0012】
なお、理解を容易にするためにカッコ内には、図面に示し後述する実施例の対応要素又は対応事項の符号を、参考までに付記した。以下も同様である。
【0013】
これによれば、割れや気孔の形成がなく溶射皮膜の基材との密着性が向上する。溶射作業前の溶射基材 (6/36) の距離計測値と溶射を開始した後の距離計測値との差が溶射皮膜厚であり、この差を溶射皮膜厚目標値と比較すると、差が目標値以上をもって所要の膜厚が得られたとすることができる。溶射作業前および溶射作業中の距離計測がいずれも自動的に行なわれ、しかも上述の差が目標値以上の判定を溶射作業中にリアルタイムで実行するので、溶射皮膜厚管理労力が激減し、所要厚の溶射皮膜を確実に形成することができる。
【0014】
(2)本発明の第2実施態様では、溶射ガン(1)にて高温,高速燃焼炎に溶射材料を載せ溶融あるいは半溶融状態で溶射基材(6/36)に衝突させる高速フレ−ム溶射と、この溶射皮膜を溶融するYAGレ−ザ照射(51)とを同時に並行して大気中で行ない、第1パスの高速フレ−ム溶射のときはそれによって溶射皮膜を形成する位置に皮膜形成と同時にYAGレ−ザを照射し、第2パス以降では高速フレ−ム溶射によって溶射皮膜を形成した直後に該溶射皮膜にYAGレ−ザを照射する。
【0015】
これによれば、第1パスの溶射で割れや気孔の形成がなく溶射皮膜の基材との密着性が向上する。第2パス以降では、緻密な皮膜表面となる。
【0016】
(3)本発明の第3実施態様では、溶射作業に先立って、高速フレ−ム溶射ガン(1)およびYAGレ−ザ照射ヘッド(51)を支持する部材(2)および溶射基材(6/36)の少くとも一方(2)を他方(6/36)に対して相対的に駆動して、前記支持部材(2)で担持した距離測定器(5)にて溶射基材(6/36)の複数点の各距離を計測し;
溶射作業中は、溶射ガン(1)が噴射する高速フレ−ムが溶射基材(6/36)を走査するように、前記支持部材(2)および溶射基材(6/36)の少くとも一方を他方に対して相対的に駆動すると共に、高速フレ−ムおよびYAGレ−ザが走査した溶射基材表面の距離を距離測定器(5)にて計測し、溶射作業に先立って計測した値,今回の計測値および溶射皮膜厚目標値に従って溶射皮膜厚が目標値に達したかを判定する。
【0017】
これによれば、溶射作業前の溶射基材(6/36)の距離計測値と溶射を開始した後の距離計測値との差が溶射皮膜厚であり、この差を溶射皮膜厚目標値と比較すると、差が目標値以上をもって所要の膜厚が得られたとすることができる。溶射作業前および溶射作業中の距離計測がいずれも自動的に行なわれ、しかも上述の差が目標値以上の判定を溶射作業中にリアルタイムで実行するので、溶射皮膜厚管理労力が激減し、所要厚の溶射皮膜を確実に形成することができる。
【0018】
(4)高温,高速燃焼炎に溶射材料を載せ溶融あるいは半溶融状態で溶射基材(6/36)に衝突させる高速フレ−ム溶射ガン(1);
該溶射ガン(1)を支持する部材(2);
該支持部材(2)で支持されたYAGレ−ザ照射ヘッド(51);
前記高速フレ−ム溶射ガン(1)が噴射する高速フレ−ムが溶射基材(6/36)を走査するように、前記支持部材(2)および溶射基材(6/36)の少くとも一方(2)を他方(6/36)に対して相対的に駆動する走査手段(図3);および、
該YAGレ−ザ照射ヘッド(51)を、その指向線(Lbc1/Lbc2)が、前記高速フレ−ム溶射ガン(1)が噴射する高速フレ−ムの溶射基材上の衝突点に交わる姿勢と、走査移動に関して該衝突点より後方で溶射皮膜と交わる姿勢に設定するための、姿勢制御手段(53,30);
を備えるレ−ザアシスト高速フレ−ム溶射装置。
【0019】
(5)前記YAGレ−ザ照射ヘッド(51)がレ−ザを照射した溶射皮膜厚を検出するために、前記支持部材(2)で支持した計測器(5);を更に備えるレ−ザアシスト高速フレ−ム溶射装置。
【0020】
(6)溶射ガン(1)に対してはその噴射ノズルを中心に回動自在に、ガン支持部材(2)で支持され、前記計測器(5)を支持する部材(32);を更に備えるレ−ザアシスト高速フレ−ム溶射装置。
【0021】
これによれば、溶射ガン(1)をx方向に走査する場合には溶射ガン(1)と計測器(5)がx方向に並びしかも走査方向に関して溶射ガン(1)よりも後方に位置するように、計測器支持部材(32)の回動角を設定することができ、また、溶射ガン(1)をy方向走査に変更するときは、溶射ガン(1)と計測器(5)がy方向に並びしかも走査方向に関して溶射ガン(1)よりも後方に位置するように、計測器支持部材(32)の回動角を設定することができるので、走査方向の選択自由度が高くなる。
【0022】
(7)前記計測器支持部材(32)を溶射ガン(1)の噴射ノズルを中心に回動駆動する電動機構(図7);を更に備えるレ−ザアシスト高速フレ−ム溶射装置。
【0023】
これによれば、例えば長いy往走査の次に短いx往走査をし次に長いy復走査をして次に短いx往走査をして、このようy往走査+x往走査+y復走査を繰返して弓形軌跡で走査する場合、あるいはジグザグ走査する場合、y往走査の終り点(又はy復走査の始点)で計測器支持部材(32)を180度回動させることにより、y往走査で走査の後方にあった計測器(5)をy復走査でも走査の後方に自動的に駆動することができる。
【0024】
本発明の他の目的および特徴は、図面を参照した以下の実施例の説明より明らかになろう。
【0025】
【実施例】
−第1実施例−
図1に、本発明の第1実施例の外観を示す。この実施例では、床の上方に2本の水平y梁4a,4bがあり、これらにy方向に移動自在に水平x梁3が結合し、この水平x梁3に、x方向に移動自在にガンキャリッジ2が結合し、このキャリッジ2で、HVAF高速フレ−ム溶射ガン1が支持されている。キャリッジ2と水平x梁3には、キャリッジ2をx方向に駆動する電動x駆動装置が装備されているが、その機構の図示は省略した。該電動x駆動装置の電気モ−タは、図2上では単にMと表記して、図3上ではMxと表記している。
【0026】
また、水平x梁3と水平y梁4a,4bには、水平x梁3をy方向に駆動する電動y駆動装置が装備されているが、その機構の図示も省略した。該電動y駆動装置の電気モ−タは、図2上では単にMと表記して、図3上ではMyと表記した。これらx,y駆動装置によって高速フレ−ム溶射ガン1(の下向きのHVAF高速フレ−ム噴射ノズル)を、所定位置の所定サイズのx,y平面上の任意点に位置決めすることができる。
【0027】
ガンキャリッジ2にはア−ム32が固着されており、このア−ム32の先端にレ−ザ距離計の計測ヘッド5が固定され、ア−ム32の中程にYAGレ−ザ照射ヘッド51があって、ア−ム32で支持されている。溶射ガン1の下向きの噴射ノズルの中心線があるy,z平面上にヘッド51のレ−ザ照射指向線(中心線)があり、しかも該y,z平面上に計測ヘッド5のねらい線(ヘッド5の中心線)もある。
【0028】
このy,z平面上でヘッド51のレ−ザ照射指向線がx軸を中心に回動しうるように、YAGレ−ザ照射ヘッド51は、x方向に延びるピンを中心に回動可であり、通常はソレノイド(電磁コイル装置)53の圧縮コイルスプリングの反発力でプランジャが押され、このプランジャに連結したア−ムを介してヘッド51が回動強制され、これによってヘッド51のレ−ザ照射指向線はLbc2の位置となっている。ヘッド51のこの姿勢が、2パス目以降の溶射を行なうときに設定される待機姿勢である。ソレノイド53に通電があると電気コイルが発生する磁力によってプランジャが、圧縮コイルスプリングの反発力に抗して下方向に引き込まれ、これによりヘッド51が反時計方向に回動してそのレ−ザ照射指向線はLbc1の位置となる。この指向線Lbc1は、溶射対象の基材であるロ−ル6の表面と、溶射ガン1のノズル中心に対向する位置で、交わる。ヘッド51のこの姿勢が、1パス目の溶射を行なうときに設定される初期姿勢である。
【0029】
図1に示す実施例では、床に、図示しないロ−ル支持スタンドがあり、それに電動回転駆動機構付の軸チャックがあり、該軸チャックによって、溶射基材であるロ−ル6の軸7a,7bが固定支持されている。電動回転駆動機構の電気モ−タ(図2,図3上のMr)によって軸チャックが回転駆動され、これにより溶射基材であるロ−ル6が回転する。HVAF高速フレ−ム溶射ガン1は、ロ−ル6のドラム状周面の、最上部(頂点)の上方にある。
【0030】
レ−ザ距離計の計測ヘッド5の距離計測のねらい線(ヘッド5の中心線)は、ロ−ル6の中心線と直交する。溶射時はロ−ル6が、符号7aの近くの矢印の方向(以下これを反時計方向と称す)に回転駆動され、そのときガン1のノズルに対向したロ−ル面は、ロ−ル6が角度Dr(°)回転したときに計測ヘッド5のねらい線に達し、そしてそれを横切る。すなわち計測ヘッド5は、溶射基材であるロ−ル6の回転すなわち溶射基材の走査、に関して後方(回転角度でDr°後方)に位置する。レ−ザ照射ヘッド51は、第1パス溶射のときにはガン1のノズルに対向したロ−ル面をねらう(Lbc1)が、第2パス以降の溶射のときには、ガン1のノズルに対向したロ−ル面と計測ヘッド5の距離計測点の間のロ−ル面をねらう(Lbc2)。
【0031】
図1に示す溶射機構は、図2に示す溶射システムの一部であり、中継箱30の電気装置によって走査駆動される。中継箱30の電気装置にはホストとしてパソコン41が接続されており、このパソコン41が、溶射スケジュ−ルに従って溶接条件および制御指令を中継箱30の電気装置に与える。
【0032】
図3に、中継箱30の電気要素の概要を示す。上述の、ガン1のx,y駆動機構には、それぞれに運動範囲を定める始端リミットスイッチLxo,Lyoおよび終端リミットスイッチLxe,Lyeが備わっており、ガン1が各機構の始端相当位置にあるときに始端リミットスイッチが開、終端リミットスイッチは閉であり、ガン1が始端相当位置と終端相当位置の間にあるときには両スイッチ共に閉、ガン1が各機構の終端相当位置にあるときに始端リミットスイッチは閉、終端リミットスイッチは開である。
【0033】
上述のx,y移動機構および基材回転駆動機構それぞれの電気モ−タMx,My,およびMrの回転軸には、ロ−タリエンコ−ダRx,RyおよびRrが結合されており、これらは電気モ−タの所定小角度の回転につき1個の電気パルスを発生する。また、基材回転駆動機構には、ロ−ル6の1回転につき1個の電気パルスを発生する回転角度基点検出用のロ−タリエンコ−ダRhが備わっている。
【0034】
ガン1を走査駆動しているとき、マイクロプロセッサを含むコントロ−ラ21x,21yが、電気モ−タMx,Myを正転付勢しているときにはロ−タリエンコ−ダRx,Ryが発生する電気パルスをカウントアップし、逆転付勢しているときにはロ−タリエンコ−ダRx,Ryが発生する電気パルスをカウントダウンし、始端リミットスイッチLxo,Lyoが開のときにはカウント値をクリアする(カウントデ−タを0を示すものにする)。例えば、コントロ−ラ21xは、それ自身に電源が投入されると、始端リミットスイッチLxoが開(ガン1のx位置が始端位置)であるかをチェックし、それが閉(始端位置にない)であると、モ−タドライバ22xにモ−タ逆転付勢を指示し、モ−タドライバ22xが逆転通電回路を閉じる。この逆転通電回路に始端リミットスイッチLxoが含まれておりそれが閉であるので、電気モ−タMxに逆転電流が流れ電気モ−タMxが逆回転する。この逆回転で始端リミットスイッチLxoが開になると、逆転通電回路が開となって電気モ−タMxへの逆転電流が遮断されて電気モ−タMxが停止する。一方コントロ−ラ1xは、始端リミットスイッチLzoが閉から開に切換わると、モ−タドライバ22xへの逆転指示を解除し、x移動位置レジスタ(マイクロプロセッサの内部RAMの1領域)をクリアする。ここで溶射ガン1のx移動位置がx移動範囲の始端にあり、x移動位置レジスタのデ−タは0(基点)を示すものになっていることになる。コントローラ21yの動作も21xのものと同様であり、モータドライバ22yの動作も22xのものと同様である。
【0035】
ロ−ル6を回転駆動しているとき、マイクロプロセッサを含むコントロ−ラ21Rが、ロ−タリエンコ−ダRrが発生する電気パルスをカウントアップし、ロ−タリエンコ−ダRhが電気パルスを発生するとカウント値を0に初期化する。カウント値は、ロ−ル6の、回転角度基点からの回転角度を表わす。パソコン41の、ソレノイド53のオン/オフ指令は、CPU24およびコントロ−ラ21Rを介してソレノイドドライバ22Sに与えられ、ドライバ22Sが、オン指令のときにはソレノイド53に通電し、オフ指令が与えられると通電を停止する。 コントローラ21cはCPU24の指示に応じて、レ−ザ照射ヘッド51に接続した光ファイバにレ−ザを出射するYAGレ−ザ光源16には、電流・電圧および電源オン(通電)/オフ(通電停止)ならびにレ−ザ照射オン(出射)/オフ(停止)を指定する信号を与え、HVAF高速フレ−ム溶射ガン1にジェット燃料および酸化気体(主に空気)を圧送する流体供給装置17には、流量,圧力およびオン(供給)/オフ(停止)を指示する信号を与え、溶射皮膜の原料である溶射材粉体をガン1に送給する粉体送給装置18には供給速度およびオン(供給)/オフ(供給停止)を指示する信号を与える。CPU24には、入出力(I/O)ポート23を介してコントローラ21x,21y,21Rおよび21c、ならびに操作ペンダント8が選択的に接続される。この接続は、システムコントローラ25を介してCPU24が指定する。CPU24のアドレスバス,データバスにはROM26およびRAM27が接続されている。システムコントローラ25は、CPU24が指示する制御信号をROM26,RAM27および操作ペンダント8に与える。
【0036】
再度図2を参照する。パソコン41には2次元ディスプレイ42ならびにキ−ボ−ドおよびマウス43が接続されており、これら全体のコンピュ−タシステムが制御盤として構成され、パソコン41に、オペレ−タ入力に対応して溶射スケジュ−ルを生成し、溶射スケジュ−ルに従って溶射機構を駆動し溶射を行なうプログラム、が格納されている。
【0037】
図4に、該プログラムによって実現する機能を、オペレ−タの作業フロ−に従って示す。制御盤40に電源が投入されてパソコン41が電源オン応答の初期化を終えると、該プログラムが起動されて、ディスプレイに、溶射作業メニュ−が表示される。該メニュ−上の主な項目は、
溶射条件作成編集(溶射条件作成,溶射条件編集)
目標厚,ピッチ入力
溶射前計測
溶射
計測デ−タの編集
である。オペレ−タは、パソコン41の表示メニュ−の「溶射条件作成編集」を選択して、その中のサブメニュ−の「溶射条件作成」又は「溶射条件編集」で溶射条件を生成又は編集して今回の溶射作業用に登録し、次に「目標厚,ピッチ入力」を選択して、溶射皮膜厚目標値,溶射のx軸スタ−ト位置Xs,エンド位置Xe,周方向サンプリングピッチPrおよびx方向サンプリングピッチPxを入力する。
【0038】
次に操作ペンダント8の入力キ−を操作して溶射ガン1をx軸スタ−ト位置Xsに設定し、そして「溶射前計測」を選択しその実行(スタ−ト)を指示する。これに応答してパソコン41が、「溶射前距離計測」5を実行する。すなわち溶射前距離計測のプログラムを起動し、レ−ザ距離計(ヘッド5+計測回路5pc)による、ロ−ル6周面の距離計測を行なって計測値を溶射前計測値テ−ブル(パソコン41内部のメモリの一領域)に書込む。この内容は、図5を参照して後述する。この計測を終了するとパソコン41は、自動的に「目標距離演算」6を実行して、溶射前計測値テ−ブルの各計測値を順次に読出して読出し値から溶射皮膜目標値を減算した値を目標値テ−ブルに書込む。これを終了するとパソコン41が、目標距離設定の完了を報知する。
【0039】
オペレ−タが「溶射」を選択しその実行(スタ−ト)を指示すると、パソコン41が「溶射」7を実行する。この内容は、図6を参照して後述する。「計測デ−タの編集」8は、オペレ−タの指示(対話入力)に応じて、溶射前距離(溶射前計測値テ−ブルのデ−タ)および溶射各パスi直後の距離(iテ−ブルのデ−タ)を出力用に編集し、および又は、それらのデ−タに基づいて各パスの溶射皮膜厚および全パスの総皮膜厚を算出し出力用に編集するものであり、編集前,後のデ−タをディスプレイ42に表示し、プリント出力指示に応じて外部接続のプリンタでプリントアウトする。
【0040】
図5を参照して「溶射前距離計測」5の内容を説明する。この処理に進むとパソコン41は、入力ボ−ド43又は操作ペンダント8から計測スタ−ト指示が与えられるのを待ち、その間操作ペンダント8から溶射ガン1のx,y駆動入力があるとこれに応答した溶射ガン駆動をCPU24に許可する(ステップ51,52)。以下、カッコ内には、ステップという語を省略して、ステップNo.数字のみを記す。
【0041】
計測スタ−ト指示があるとパソコン41は、溶射条件の中のロ−ル回転速度(指定値)Vroでの定速回転駆動を中継箱30に指示し、CPU24がコントロ−ラ21Rにこの定速回転を指定する(ステップ53)。コントロ−ラ21Rは、ロ−ラ6の回転駆動を開始し、その回転速度が略Vroに達して定速制御をスタ−トしたときに、速度レディを、CPU24に報知し、CPU24が通信コントロ−ラ9を介してこれをパソコン41に報知する(ステップ54)。これに応答してパソコン41は、中継箱30(のCPU24)にXsへの溶射ガン駆動を指示し(ステップ55)、ロ−タリエンコ−ダRhが、角度基点パルスPRhを発生するのを待ち(56)、それが発生するとロ−タリエンコ−ダRrが発生するパルスPRrのカウントアップを開始し(57)、カウント値がDrになるのを待つ(58)。すなわち、ロ−ル6の周方向基点位置(回転角基点)が計測ヘッド5のねらい線に達するのを待つ。
【0042】
カウント値がDrになると、パソコン41は、溶射条件のx方向溶射ガン駆動速度(指定値)Vxoでの定速回転駆動を中継箱30に指示する(59)。次に、ロ−タリエンコ−ダRr,Rxが発生するパルスに応答してその発生数をカウントアップする、パソコン自身のRr,Rx割込み処理、を許可(設定)し(60)、溶射前計測値テ−ブルの書込みアドレスAdを初期化する(61)。そして書込みアドレスAdを、書込み第1アドレスに進めてそこに、レ−ザ距離計(5+5pc)の計測距離デ−タを書込む(62)。Rr,Rx割込み処理を許可したことにより、ロ−タリエンコ−ダRrが1パルス発生するとカウントレジスタCRrのカウントデ−タが1インクレメントされ、ロ−タリエンコ−ダRxが1パルス発生するとカウントレジスタCRxのカウントデ−タが1インクレメントされる。レジスタCRrのカウントデ−タはロ−ル6の回転量を示し、レジスタCRxのカウントデ−タは、溶射ガン1のx方向の移動量を示す。
【0043】
その後は、ロ−ル6の、周方向に1ピッチ(Pr°)分の回転量毎に、この回転量デ−タ(レジスタCRrのデ−タCRr)を初期化して(63,64)、溶射前計測値テ−ブルの書込みアドレスAdを次に進めてそこに、レ−ザ距離計(5+5pc)の計測距離デ−タを書込む(65)。この繰返しにより、ロ−ル6の一周(第1ライン)上の、ヘッド5/ロ−ル表面間距離デ−タが、Prピッチで溶射前計測値テ−ブルに書込まれる。
【0044】
この一周分の書込を終えたときに、ロ−タリエンコ−ダRhが1パルスを発生し、レジスタCRxのデ−タの値CRxが1となる。これに応答してパソコン41は、ロ−タリエンコ−ダRrが発生するパルスのカウントアップ(パルスPRr割込み)を禁止し(67,68)、レジスタCRxのデ−タが、x方向ピッチPxに等しくなるのを待ち(69)、そうなるとレジスタCRr,CRxをクリアして(70)、パルスPRr割込みを許可し(71)、溶射前計測値テ−ブルの書込みアドレスAdを進めて、そこにレ−ザ距離計(5+5pc)の計測距離デ−タを書込む(62)。
【0045】
その後は、ロ−ル6の、周方向に1ピッチ(Pr°)分の回転量毎に、この回転量デ−タ(レジスタCRrのデ−タCRr)を初期化して(63,64)、溶射前計測値テ−ブルの書込みアドレスAdを次に進めてそこに、レ−ザ距離計(5+5pc)の計測距離デ−タを書込む(65)。この繰返しにより、ロ−ル6の一周(第2ライン)上の、ヘッド5/ロ−ル表面間距離デ−タが、Prピッチで溶射前計測値テ−ブルに書込まれる。上記第1ラインと第2ラインのx方向距離がxピッチPxである。
【0046】
パソコン41は、上述の各一周の計測距離値の溶射前計測値テ−ブルの書込みを、溶射ガン1(ヘッド5)がx軸のXe位置になるまで繰返す。そしてXe位置になるとパソコン41は、溶射ガン1のx駆動を停止し、ロ−ル6の回転駆動を停止する。
【0047】
次にパソコン41は、「目標距離演算」6(図4)に進んで、溶射前計測値テ−ブルの計測値を順次に読出して計測値より溶射皮膜目標値を差し引いた値を距離目標値として目標値テ−ブル(パソコン41内のメモリの一領域)に書込む。 次に、図6を参照して「溶射」7の内容を説明する。ここではまず、溶射ガン1より高速フレ−ム(燃焼ジェット)の噴射を開始しかつ溶射条件にて溶射材粉体の送給を行なって溶射材フレ−ムを噴射させる(73,74)。そしてスタ−ト指示があると、ロ−ル6を溶射条件の中の回転速度Vroで回転駆動する(75,76)。
【0048】
ロ−ル6の回転速度がVroに達すると、ソレノイド53に通電してレ−ザ照射ヘッド51を第1パス用の初期姿勢(Lbc1)に設定し、第1パス溶射後計測値テ−ブルを、距離計測値の書込みに定め(77,78)、溶射ガン1を開始位置Xsに駆動し(79)、レジスタPFFをクリアする(80)。なお以後においてレジスタPFFのデ−タ0は、溶射皮膜厚目標値以上の溶射が終わっていることを意味し、デ−タ1は、溶射皮膜厚目標値未満(溶射の継続要)を意味する。 その後は、ヘッド51からのYAGレ−ザの出射を開始し(82)、そして上述の溶射前距離計測のときと同様に、溶射ガン1(およびヘッド51,5)を、溶射条件の中のx駆動速度Vxoでx方向に駆動し(81〜84)、ロ−ル6の周方向にPrピッチで、距離計測値を第1パス溶射後計測値テ−ブルに書込み(85〜88)、同時に対応位置の距離目標値を目標値テ−ブルより読出して(89)、今回の距離計測値>距離目標値(溶射皮膜目標厚の溶射が完了していない)かをチェックして(90)、そうであるとレジスタPFFに1(溶射継続要)を書込む(91)。以下、上述の溶射前距離計測のときと同様に、周方向Prピッチ、x方向Pxピッチで上述の距離計測値のテ−ブルへの書込みと距離計測値>距離目標値のチェックを行なう(87〜100)。
【0049】
そして溶射ガン1がエンド位置Xeに達するとパソコン41は、ヘッド51からのレ−ザ出射は停止し、ソレノイド53の通電を停止してレ−ザ照射ヘッド51を、第2パス以降用の待機姿勢に戻し、次パス用の溶射後計測値テ−ブルを指定する(101)。そしてレジスタPFFのデ−タをチエックして(102)、それが1(溶射皮膜目標厚の溶射が完了していない)であると、溶射ガン1を開始位置Xsに戻して再度上述の、ステップ80以下の、1パス溶射処理(80〜101)を行なう。1パス溶射処理の開始時にレジスタPFFをクリアして(80)、そのデ−タを0(溶射皮膜目標厚の溶射が完了)に設定するが、1パス溶射(開始点Xs〜Xe)のサンプリング点の1つでも溶射が未完(距離計測値>距離目標値)であると、そこでレジスタPFFに1(溶射未完)を書込む(90,91)ので、その場合には次パスの溶射に進む(101−102−79)。1パス溶射のサンプリング点のすべてで距離計測値≦距離目標値(溶射皮膜厚が目標値以上)であるとステップ91のレジスタPFFへのデ−タ1の書込みは実行しないので、レジスタPFFのデ−タが0(溶射皮膜厚が目標値以上)に留まる。このときには、該パスを終了した時点で、溶射を停止する(102,103)。
【0050】
「計測デ−タの編集」8では、パソコン41がディスプレイ42に、計測デ−タの編集メニュ−を表示する。その中に、パス毎溶射皮膜厚演算および総皮膜厚演算があり、オペレ−タが総皮膜厚演算を指定すると、パソコン41はまず最終パス(iが最大値)の距離計測値テ−ブルと溶射前距離計測値テ−ブルとを指定して、両テ−ブル上の対応サンプリング点(同一Ad)の計測値の差すなわち総皮膜厚を算出して総皮膜厚テ−ブルに書込むと共にディスプレイに表示する。パス毎溶射皮膜厚演算が指定され、パスNo.jが入力されると、パソコン41は、i=jの距離計測値テ−ブルとi=j−1の距離計測値テ−ブルを指定して、両テ−ブル上の対応サンプリング点の計測値の差すなわち第jパス溶射皮膜厚を算出して第jパス皮膜厚テ−ブルに書込むと共にディスプレイに表示する。オペレ−タは、ディスプレイに表示中のテ−ブル(デ−タ群)およびメモリ上のテ−ブル(デ−タ群)を指定してディスプレイ上でレイアウトおよび量表示形態(数字表示,グラフ表示)を編集し、プリント指示することができる。
【0051】
−第2実施例−
第2実施例の機構概要を図7に示す。この第2実施例は、溶射基材36を溶射ガン1でx,y2次元走査する態様である。図7に示すようにy方向に一列に、HVAF高速フレ−ム溶射ガン1,レ−ザ照射ヘッド51およびレ−ザ距離計測ヘッド5を配列し、それらを支持する水平y梁2を、x方向には比較的に高速で往復走査しつつy方向には低速で+y(一方向)走査することにより、あるいは、+x方向の往走査の終点で+y方向に所定短距離駆動し、そして−x方向に復走査し、その終点で+y方向に所定短距離駆動し、そして+x方向の往走査をするという具合にx駆動とy駆動を交互に繰返すことにより、溶射対象材である基材36に対する溶射2次元走査が実現する。この場合、2パス目以降のレ−ザ照射指向線Lbc2の基材との交点は、図7に示す位置よりも、溶射ガン1のノズル直下に近付けることができるので、第1パスと第2パス目以降のいずれでも、溶射ガン1の溶射点に対して所望位置にレ−ザ照射点を定めることができる。
【0052】
しかしレ−ザ距離計測ヘッド5による距離計測点はy方向にかなりずれ、ある位置を溶射してからその位置の距離計測値が得られるまでに、数回又は数十回分のx方向往復走査の遅れを生ずる。この遅れを短縮するためには、溶射ガン1の走行の後方に距離計測のためのヘッド5を位置決めしなければならない。上述のように溶射2次元走査する場合、+x方向の走査を終えて+y方向に所定短距離駆動し、そして−x方向に走査するときには、レ−ザ距離計の距離計測ヘッド5を支持するア−ム32を、溶射ガン1の噴射ノズルを中心に180度回転駆動する必要がある。
【0053】
このような回転駆動を自動で円滑かつ高速で行なうために、第2実施例(図7)では、リング状の平歯車を、溶射ガン1廻りには回動自在にして溶射ガンキャリッジ2で吊り支持し、平歯車にヘッド支持ア−ム32を固着し、平歯車に噛合う小径ギアを電気モ−タMrで回転駆動するようにした。
【0054】
この第2実施例の溶射システムは、大略で図2に示すものと同様であるが、図2上の回転駆動機構12を、図7に示すア−ム32を回転駆動する機構(上述の平歯車,小径ギアおよび電気モ−タMr)に置換したものとなる。第2実施例の溶射システムで用いられる中継箱30も図3に示すものと同様であるが、図3上のモ−タMrおよびロ−タリエンコ−ダRr,Rhは、図7上に示すものとなる。
【0055】
図8に、x方向一走査毎にヘッド支持ア−ム32を180度旋回駆動する態様の平面図を示す。図8上に実線で示すように、+x方向に走査移動するときにはア−ム32をx軸に平行かつ走査移動方向に関して溶射ヘッド1の後方とし、−x方向に走査移動するときには図8上に仮想線(2点鎖線)で示すように、ア−ム32を、溶射ヘッド1を中心に180度旋回駆動した位置とすることにより、x走査各ラインの溶射後の距離を該ラインの溶射中に計測することができる。
【0056】
この態様での「溶射前距離計測」5は、溶射作業のときと同じく、溶射ガン1を溶射軌跡に沿って自動駆動しつつ、設定位置でア−ム32を180°旋回駆動し、設定されたサンプリングピッチでレ−ザ距離計(ヘッド5+計測回路5pc)の計測値を読込んでメモリに書込む。ただし、溶射ガン1は溶射付勢しない。ヘッド51はレ−ザを出射しない。また、サンプリング領域を溶射領域始点(Xs,Ys)と終点(Xe,Ys)を対角コ−ナとする矩形領域とし、その外は計測値サンプリングのマスク領域とする。そして溶射ガン1のx,y位置からヘッド5のx,y位置を算出して、ヘッド位置が該矩形領域内にあることを条件に、距離計測値を読込む。
【0057】
この態様での「溶射」7は、溶射ガン1より溶射流を噴射しヘッド51からレ−ザを出射しつつ溶射ガン1をx,y2次元走査し、かつ、上記「溶射前距離計測」5と同じ態様でレ−ザ距離計(ヘッド5+計測回路5pc)の計測値を読込んでメモリに書込むと共に、目標距離と比較する。第2実施例の溶射システムのその他の構成および機能は、上述の第1実施例の溶射システムと同様である。
【0058】
なお、すでに触れたが、図7に示すように、溶射ガン1を+x方向に往走査しその終点で+y方向に短距離駆動し、そして−x方向に復走査しその終点で+y方向に短距離駆動し、この走査を繰返してx,y2次元走査する場合、溶射ガン1の走査方向(+x/−x)が変わっても、ヘッド5を走査方向の後方に置くための旋回駆動は不要である。この態様のみでよい場合には、ヘッド支持ア−ム32を溶射ガンキャリッジ2に固定し、ア−ム32を回転駆動するための機構は省略する。これにより、溶射ガン1周りの機構が簡易になる。
【0059】
なお、図7および図8に2点鎖線で示す、溶射ガン1用の走査領域を、始点(Xs,Ys)と終点(Xe,Ys)を対角コ−ナとする矩形領域に設定してその外を距離計測値サンプリングのマスク領域とすると、溶射ガン1が実質上該矩形領域内で移動するので、溶射ガン1/ヘッド5間距離分該矩形領域の境界から内側の領域の距離計測が行なわれない。この距離計測をも行なうためには、溶射ガン1を、該矩形領域よりも溶射ガン1/ヘッド5間距離分外側まで余分に移動させればよい。しかし、溶射ガン1の走査移動領域(前記矩形領域)の一部の溶射皮膜厚計測値が得られなくても、溶射装置の実用性は損なわれない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例の機構の概要を示す斜視図である。
【図2】 図1に示す機構を駆動する溶射システムの構成を示すブロック図である。
【図3】 図2に示す中継箱30の電気要素と図1に示す機構に組込まれた電気モ−タおよびロ−タリエンコ−ダとの組合せ構成を示すブロック図である。
【図4】 図2に示す溶射システムを使用するオペレ−タの作業フロ−に従って、図2に示すパソコン41の機能を示すフロ−チャ−トである。
【図5】 図4に示す「溶射前距離計測」5の内容を示すフロ−チャ−トである。
【図6】 図4に示す「溶射」7の内容を示すフロ−チャ−トである。
【図7】 本発明の第2実施例の機構の概要を、簡便な距離計測を行なう態様に設定した状態で示す斜視図である。
【図8】 図7に示す機構を、溶射から距離計測までの遅れを短縮する態様で示す平面図である。
【符号の説明】
1:溶射溶射ガン 2:溶射ガンキャリッジ
3:x梁 4a,4b:y梁
5:距離計測ヘッド 6:ロ−ル(溶射基材)
7a,7b:軸 M,Mx,My,Mr:電気モ−タ
Rx,Ry,Rr,Rh:ロ−タリエンコ−ダ
Lxo,Lxe,Lyo,Lye:リミットスイッチ
32:ヘッド支持ア−ム 36:溶射基材
51:レ−ザ照射ヘッド 53:ソレノイド[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a thermal spraying method in which a high-speed flame spraying which places a thermal spray material on a high-temperature, high-speed combustion flame with a thermal spray gun and collides with a thermal spray base material and YAG laser irradiation for melting the thermal spray coating are performed simultaneously in parallel. .
[0002]
[Prior art]
Thermal spraying methods for forming various functional coatings on a metal surface or the like (base material) include gas spraying, arc spraying, plasma spraying, and high-speed flame spraying. The properties of the film formed for these purposes are wear resistance, lubricity, heat resistance, slipperiness, and the like. Gas spraying or arc spraying with a low spraying temperature is suitable for metal spraying with a relatively low melting point, and high-temperature plasma spraying can also spray ceramics and Mo powders of high melting point materials. High-speed flame spraying forms a film by colliding powder with a substrate by a high-speed flow (jet) using combustion.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In any of the above thermal spraying methods, the formation of pores in the coating is inevitable, and there are difficulties in the denseness of the coating and the adhesion to the substrate. Plasma spraying can spray high-melting-point materials, but in the melting in the air, the oxidation of the flying powder occurs due to the entrainment of air, so the film can obtain the properties of the original high-melting-point material. There was a drawback of not. One way to improve these is to apply plasma spraying to CO.2 A composite (hybrid) thermal spraying method combining a laser or a YAG laser is performed. All of these examples are research / laboratory attempts, and in order to obtain an ideal film, the air is eliminated in the vacuum chamber or inert gas (Ar, etc.) in order to avoid oxidation of the film. Thermal spraying is performed in a substituted atmosphere. For this reason, a decompression chamber is necessary, and in the case of a large thermal spray target, a large decompression chamber is necessary.TheI don't get it. Further, when replacing with an inert gas, a gas corresponding to the size of the decompression chamber is consumed.
[0004]
The first object of the present invention is to achieve thermal spraying in the air and to increase the adhesion of the film to the base material, and to form a dense film as the second object. A third object is to reliably form a film.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In the high-speed flame spraying method, a thermal spray powder is placed on a high-speed, high-temperature air stream using combustion and is made to collide with a substrate by melting or semi-melting (depending on the melting point of the powder). High-speed flame spraying methods include HVOF (High Velocity Oxy Fuel), which uses oxygen as an oxidant for combustion, and HVAF (High Velocity Air Fuel), which uses air. The denseness is relatively good. Compared with HVOF, which uses oxygen as an auxiliary combustor, thermal spraying by HVAF uses air as an auxiliary combustor, so that the thermal spray coating is very little oxidized, and a good coating can be obtained even in the atmosphere.
[0006]
However, since the combustion temperature of HVAF is about 2400 ° K, HVAF high-speed flame spraying is not suitable for spraying high melting point materials. When high melting point material is sprayed by HVAF, the material powder cannot be melted, and the formed film is in a state where powdered powder is laminated, lacks adhesion to the base material, and there is no denseness and bonding between the powder particles . Therefore, laser beam irradiation is used in combination. With this combination, refractory metals Mo (molybdenum), W (tungsten), refractory ceramics ZrO2(Zirconia), MgO (magnesia), AL2OThreeA highly functional film of (alumina) excellent in denseness without oxidation, adhesion to the substrate, and the like can be obtained.
[0007]
The YAG laser has a wavelength that allows power to be transmitted through an optical fiber (fiber core diameter: φ0.6 to 1.0 mm), so it has a converging tip (having an optical lens system, which focuses and irradiates a laser beam. Head)) can be moved freely and flexibly. High-performance sprayed coating (dense coating, adhesion of substrate, etc.) can be obtained with a simple system by laser-assisted high-speed flame spraying (composite, hybrid) combining HVAF and YAG laser with such characteristics. I can do it.
[0008]
By the way, when laser irradiation is performed on the thermal spray coating, if laser irradiation is performed on the surface of the coating after the surface temperature is lowered after the coating is formed, cracking occurs due to rapid heating. In the first pass high-speed flame spraying, laser irradiation is simultaneously performed on the sprayed position, so that there is no formation of cracks or pores and adhesion of the sprayed coating to the base material is improved. After the second pass, laser irradiation is performed immediately after thermal spraying. In this case, the surface of the film is dense without cracking. The standard spraying conditions for HVAF are a speed of 200 mm / sec and a formed film thickness of 15 μm / 1 pass. The output of the simultaneously moving YAG laser beam needs to be an output corresponding to this speed. Further, it is necessary to shift the focus position (defocus) in order to widen the irradiation range. From the above, the output of the YAG laser requires 4 to 5 kW from the required input heat amount per unit area. This high-capacity laser beam can be guided to the laser irradiation head by an optical fiber having a core diameter of φ1.0 mm.
[0009]
A further effect can be obtained by changing the angle of the laser irradiation head with respect to the high-speed frame spray gun by the spray coating layer. That is, an angle adjustment mechanism for the spray gun of the laser irradiation head is provided. For example, in the first pass, the YAG laser is irradiated simultaneously with the film formation at the position where the spray coating is formed, and in the second and subsequent passes, high-speed frame spraying is performed. Immediately after forming the thermal spray coating, the thermal spray coating is irradiated with a YAG laser. The angle change for this may be stepwise or continuous.
[0010]
Further, in order to apply the laser-assisted high-speed flame spraying method to an actual spraying object, it is preferable that the spraying scanning direction is free.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(1) In the first embodiment of the present invention,Prior to spraying, high-speed flame spray gun (1) And YAG laser irradiation head (51) Supporting member (2) And thermal spray substrate (6/36) At least one of (2) The other (6/36) Driven relative to the support member (2) Distance measuring device supported by (Five) Sprayed substrate (6/36) Measure each distance of multiple points;
Spray gun in the atmosphere (1) High speed frame sprayed by spray (6/36) The support member so as to scan (2) And thermal spray substrate (6/36) Driving at least one of them relative to the other,The spray gun (1) places a spray material on a high-temperature, high-speed combustion flame, and melts it in a semi-molten state or impinges it on the spray substrate (6/36), and a YAG layer that melts this spray coating. The YAG laser is simultaneously applied to the position where the sprayed coating is formed by high-speed flame spraying.A distance measuring device for measuring the distance of the surface of the sprayed substrate scanned by the high speed frame and the YAG laser. (Five) Determine whether the spray coating thickness has reached the target value according to the value measured prior to spraying, the current measurement value, and the spray coating thickness target valueTo do.
[0012]
In addition, in order to make an understanding easy, the code | symbol of the corresponding element or the corresponding matter of the Example shown in drawing and mentioned later is added in the parenthesis for reference. The same applies to the following.
[0013]
According to this, there is no formation of cracks or pores, and the adhesion of the sprayed coating to the base material is improved.Thermal spray substrate before thermal spraying (6/36) The difference between the measured distance value and the measured distance after spraying is the spray coating thickness. When this difference is compared with the spray coating thickness target value, the required film thickness is obtained when the difference is greater than the target value. can do. Distance measurement is performed automatically before and during spraying, and the above-mentioned difference is equal to or greater than the target value in real time during spraying. A thick sprayed coating can be reliably formed.
[0014]
(2) In the second embodiment of the present invention, a high-speed frame in which a spray material is placed on a high-temperature, high-speed combustion flame with a spray gun (1) and collides with a sprayed substrate (6/36) in a molten or semi-molten state. In parallel with thermal spraying and YAG laser irradiation (51) that melts this thermal spray coatingIn the atmosphereWhen performing high-speed flame spraying in the first pass, the YAG laser is irradiated at the same time as the coating is formed at the position where the sprayed coating is to be formed. In the second and subsequent passes, the sprayed coating is formed by high-speed frame spraying. Immediately after the irradiation, the sprayed coating is irradiated with a YAG laser.
[0015]
According to this, there is no formation of cracks or pores in the thermal spraying of the first pass, and the adhesion of the thermal spray coating to the base material is improved. In the second and subsequent passes, a dense coating surface is obtained.
[0016]
(3) In the third embodiment of the present invention, prior to the spraying operation, the member (2) for supporting the high-speed frame spray gun (1) and the YAG laser irradiation head (51) and the spray base material (6 At least one (2) of (36) is driven relative to the other (6/36), and the sprayed substrate (6/36) is measured by the distance measuring device (5) carried by the support member (2). 36) measure each distance of multiple points;
During the spraying operation, at least the support member (2) and the sprayed substrate (6/36) are scanned so that the high-speed frame sprayed by the spray gun (1) scans the sprayed substrate (6/36). While driving one relative to the other, the distance of the sprayed substrate surface scanned by the high-speed frame and the YAG laser was measured with the distance measuring device (5) and measured prior to the spraying operation. It is determined whether the spray coating thickness has reached the target value in accordance with the value, the current measurement value, and the spray coating thickness target value.
[0017]
According to this, the difference between the distance measurement value of the sprayed substrate (6/36) before the spraying operation and the distance measurement value after the start of spraying is the spray coating thickness, and this difference is the spray coating thickness target value. By comparison,Difference is above target valueThe required film thickness can be obtained. Both distance measurement before and during thermal spraying work is performed automatically andDifference is above target valueSince this determination is executed in real time during the spraying operation, the labor for controlling the thickness of the sprayed coating is drastically reduced, and a sprayed coating having the required thickness can be reliably formed.
[0018]
(4) A high-speed flame spray gun (1) in which a thermal spray material is placed on a high-temperature, high-speed combustion flame and collides with the sprayed substrate (6/36) in a molten or semi-molten state.
A member (2) for supporting the spray gun (1);
A YAG laser irradiation head (51) supported by the support member (2);
At least the support member (2) and the sprayed substrate (6/36) are scanned so that the high-speed frame sprayed by the high-speed frame spray gun (1) scans the sprayed substrate (6/36). Scanning means for driving one (2) relative to the other (6/36) (FIG. 3); and
The YAG laser irradiation head (51) is positioned so that its directional line (Lbc1 / Lbc2) intersects a collision point on the spray base of the high-speed frame sprayed by the high-speed frame spray gun (1). And attitude control means (53, 30) for setting the attitude to cross the sprayed coating behind the collision point with respect to scanning movement;
A laser-assisted high-speed flame spraying apparatus.
[0019]
(5) A laser assist further comprising a measuring instrument (5) supported by the support member (2) in order to detect the thickness of the sprayed coating irradiated with the laser by the YAG laser irradiation head (51). High speed flame spraying equipment.
[0020]
(6) The spray gun (1) further includes a member (32) supported by the gun support member (2) and rotatably supporting the measuring instrument (5) about the spray nozzle. Laser assist high speed flame spraying equipment.
[0021]
According to this, when the thermal spray gun (1) is scanned in the x direction, the thermal spray gun (1) and the measuring instrument (5) are arranged in the x direction and are located behind the thermal spray gun (1) in the scanning direction. Thus, the rotation angle of the measuring instrument support member (32) can be set, and when changing the spray gun (1) to y-direction scanning, the spray gun (1) and the measuring instrument (5) Since the rotation angle of the measuring instrument support member (32) can be set so as to be arranged in the y direction and behind the spray gun (1) in the scanning direction, the degree of freedom in selecting the scanning direction is increased. .
[0022]
(7) A laser-assisted high-speed frame spraying device further comprising: an electric mechanism (FIG. 7) for rotationally driving the measuring instrument support member (32) around the spray nozzle of the spray gun (1).
[0023]
According to this, for example, a short x forward scan is performed next to a long y forward scan, then a long y backward scan is performed, and then a short x forward scan is performed. Thus, such a y forward scan + x forward scan + y backward scan is performed. When repeatedly scanning with an arcuate trajectory or zigzag scanning, the measuring instrument support member (32) is rotated 180 degrees at the end of the y forward scan (or the start of the y backward scan). The measuring instrument (5) located behind the scan can be automatically driven behind the scan even in the y backward scan.
[0024]
Other objects and features of the present invention will become apparent from the following description of embodiments with reference to the drawings.
[0025]
【Example】
-1st Example-
FIG. 1 shows the appearance of the first embodiment of the present invention. In this embodiment, there are two horizontal y-beams 4a and 4b above the floor, and a
[0026]
The
[0027]
An arm 32 is fixed to the
[0028]
The YAG
[0029]
In the embodiment shown in FIG. 1, there is a roll support stand (not shown) on the floor, and there is a shaft chuck with an electric rotational drive mechanism. By this shaft chuck, the shaft 7a of the
[0030]
The distance measurement target line (the center line of the head 5) of the
[0031]
The thermal spraying mechanism shown in FIG. 1 is a part of the thermal spraying system shown in FIG. A
[0032]
In FIG. 3, the outline | summary of the electrical element of the
[0033]
The rotary encoders Rx, Ry, and Rr are coupled to the rotation shafts of the electric motors Mx, My, and Mr of the x, y moving mechanism and the substrate rotation driving mechanism, respectively. One electrical pulse is generated per rotation of the motor at a predetermined small angle. Further, the substrate rotation driving mechanism is provided with a rotary encoder Rh for detecting a rotation angle base point for generating one electric pulse for each rotation of the
[0034]
When the
[0035]
When the
[0036]
Refer to FIG. 2 again. A
[0037]
FIG. 4 shows the functions realized by the program according to the operator's work flow. When power is turned on to the
Spraying condition creation edit (spraying condition creation, spraying condition edit)
Target thickness and pitch input
Measurement before spraying
Thermal spraying
Editing measurement data
It is. The operator selects “spraying condition creation / edit” from the display menu of the
[0038]
Next, the input key of the
[0039]
When the operator selects “spraying” and instructs execution (start), the
[0040]
The content of “distance measurement before spraying” 5 will be described with reference to FIG. When proceeding to this process, the
[0041]
When there is a measurement start instruction, the
[0042]
When the count value becomes Dr, the
[0043]
Thereafter, this rotation amount data (data CRr of register CRr) is initialized for each rotation amount of one pitch (Pr °) in the circumferential direction of the roll 6 (63, 64), Next, the write address Ad of the measurement value table before spraying is advanced, and the measurement distance data of the laser distance meter (5 + 5 pc) is written (65). By repeating this operation, the
[0044]
When the writing for one round is completed, the rotary encoder Rh generates one pulse, and the data value CRx of the register CRx becomes 1. In response to this, the
[0045]
Thereafter, this rotation amount data (data CRr of register CRr) is initialized for each rotation amount of one pitch (Pr °) in the circumferential direction of the roll 6 (63, 64), Next, the write address Ad of the measurement value table before spraying is advanced, and the measurement distance data of the laser distance meter (5 + 5 pc) is written (65). By repeating this operation, the
[0046]
The
[0047]
Next, the
[0048]
When the rotational speed of the
[0049]
When the
[0050]
In “edit measurement data” 8, the
[0051]
-Second Example-
An outline of the mechanism of the second embodiment is shown in FIG. The second embodiment is an aspect in which the
[0052]
However, the distance measurement point by the laser
[0053]
In order to perform such rotational driving automatically and smoothly at high speed, in the second embodiment (FIG. 7), a ring-shaped spur gear is pivoted around the
[0054]
The thermal spraying system of this second embodiment is roughly the same as that shown in FIG. 2, but the
[0055]
FIG. 8 shows a plan view of an aspect in which the head support arm 32 is driven to rotate 180 degrees for each scan in the x direction. As indicated by the solid line in FIG. 8, the arm 32 is set parallel to the x axis and behind the
[0056]
The “distance measurement before spraying” 5 in this mode is set by turning the arm 32 180 ° at the set position while automatically driving the
[0057]
The “spraying” 7 in this mode is a two-dimensional scanning of the spraying
[0058]
Although already mentioned, as shown in FIG. 7, the
[0059]
7 and 8, the scanning region for the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an outline of a mechanism of a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a thermal spraying system that drives the mechanism shown in FIG.
3 is a block diagram showing a combined configuration of an electric element of the
4 is a flowchart showing the functions of the
5 is a flowchart showing the contents of “pre-spray distance measurement” 5 shown in FIG.
6 is a flowchart showing the contents of “spraying” 7 shown in FIG.
FIG. 7 is a perspective view showing an outline of a mechanism according to a second embodiment of the present invention in a state where a simple distance measurement mode is set.
8 is a plan view showing the mechanism shown in FIG. 7 in a mode in which a delay from thermal spraying to distance measurement is shortened. FIG.
[Explanation of symbols]
1: Thermal spray gun 2: Thermal spray gun carriage
3: x beam 4a, 4b: y beam
5: Distance measuring head 6: Roll (spraying substrate)
7a, 7b: Axis M, Mx, My, Mr: Electric motor
Rx, Ry, Rr, Rh: Rotary encoder
Lxo, Lxe, Lyo, Lye: Limit switch
32: Head support arm 36: Thermal spray base material
51: Laser irradiation head 53: Solenoid
Claims (5)
大気中で溶射ガンが噴射する高速フレ−ムが溶射基材を走査するように、前記支持部材および溶射基材の少くとも一方を他方に対して相対的に駆動すると共に、溶射ガンにて高温,高速燃焼炎に溶射材料を載せ溶融あるいは半溶融状態で溶射基材に衝突させる高速フレ−ム溶射と、この溶射皮膜を溶融するYAGレ−ザ照射とを同時に並行して行ない、高速フレ−ム溶射によって溶射皮膜を形成する位置に皮膜形成と同時にYAGレ−ザを照射し、かつ、高速フレ−ムおよびYAGレ−ザが走査した溶射基材表面の距離を距離測定器にて計測し、溶射作業に先立って計測した値,今回の計測値および溶射皮膜厚目標値に従って溶射皮膜厚が目標値に達したかを判定する;レ−ザアシスト高速フレ−ム溶射法。 Prior to the spraying operation, at least one of the member supporting the high-speed frame spray gun and the YAG laser irradiation head and the spray base is driven relative to the other, and the distance carried by the support member Measure the distance of multiple points on the sprayed substrate with a measuring instrument;
At least one of the support member and the spray base is driven relative to the other so that a high-speed frame sprayed by the spray gun in the atmosphere scans the base. , High-speed flame spraying by spraying a spray material on a high-speed combustion flame and colliding with a sprayed substrate in a molten or semi-molten state and YAG laser irradiation for melting this sprayed coating are performed simultaneously in parallel. A YAG laser is irradiated at the same time as the coating is formed at the position where the sprayed coating is formed by film spraying , and the distance of the sprayed substrate surface scanned by the high-speed frame and the YAG laser is measured with a distance meter. It is determined whether the spray coating thickness has reached the target value in accordance with the value measured prior to the spraying operation, the current measurement value and the spray coating thickness target value; laser-assisted high-speed frame spraying method.
溶射作業中は、溶射ガンが噴射する高速フレ−ムが溶射基材を走査するように、前記支持部材および溶射基材の少くとも一方を他方に対して相対的に駆動すると共に、高速フレ−ムおよびYAGレ−ザが走査した溶射基材表面の距離を距離測定器にて計測し、溶射作業に先立って計測した値,今回の計測値および溶射皮膜厚目標値に従って溶射皮膜厚が目標値に達したかを判定する;請求項2記載の、レ−ザアシスト高速フレ−ム溶射法。Prior to the spraying operation, at least one of the member supporting the high-speed frame spray gun and the YAG laser irradiation head and the spray base is driven relative to the other, and the distance carried by the support member Measure the distance of multiple points on the sprayed substrate with a measuring instrument;
During the thermal spraying operation, at least one of the support member and the thermal spray base is driven relative to the other so that the high speed frame sprayed by the thermal spray gun scans the thermal spray base. The distance of the sprayed substrate surface scanned by the YAG laser and the YAG laser is measured with a distance measuring device, and the spray coating thickness is the target value according to the value measured prior to the spraying operation, the current measurement value and the spray coating thickness target value. determine reached; claim 2, wherein, Le - Zaashisuto fast frame - beam spraying method.
該溶射ガンを支持する部材;
該支持部材で支持されたYAGレ−ザ照射ヘッド;
前記高速フレ−ム溶射ガンが噴射する高速フレ−ムが溶射基材を走査するように、前記支持部材および溶射基材の少くとも一方を他方に対して相対的に駆動する走査手段;および、
該YAGレ−ザ照射ヘッドを、その指向線が、前記高速フレ−ム溶射ガンが噴射する高速フレ−ムの溶射基材上の衝突点に交わる姿勢と、走査移動に関して該衝突点より後方で溶射皮膜と交わる姿勢に設定するための、姿勢制御手段;
を備えるレ−ザアシスト高速フレ−ム溶射装置。A high-speed flame spray gun in which a thermal spray material is placed on a high-temperature, high-speed combustion flame and collides with the sprayed substrate in a molten or semi-molten state;
A member for supporting the spray gun;
A YAG laser irradiation head supported by the support member;
Scanning means for driving at least one of the support member and the sprayed substrate relative to the other so that the high-speed frame sprayed by the high-speed frame spray gun scans the sprayed substrate; and
The YAG laser irradiation head has a posture in which a directivity line intersects a collision point on the spray base of the high-speed frame sprayed by the high-speed frame spray gun and a position behind the collision point with respect to scanning movement. Attitude control means for setting the attitude to intersect with the thermal spray coating;
A laser-assisted high-speed flame spraying apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08800499A JP3695984B2 (en) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | Laser assist high speed flame spraying method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08800499A JP3695984B2 (en) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | Laser assist high speed flame spraying method and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000282215A JP2000282215A (en) | 2000-10-10 |
JP3695984B2 true JP3695984B2 (en) | 2005-09-14 |
Family
ID=13930662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08800499A Expired - Lifetime JP3695984B2 (en) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | Laser assist high speed flame spraying method and apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3695984B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2812147A1 (en) * | 2012-02-10 | 2014-12-17 | LIMO Patentverwaltung GmbH & Co. KG | Device for the laser processing of a surface of a workpiece or for the post-treatment of a coating on the outside or the inside of a workpiece |
CN108827153B (en) * | 2018-07-03 | 2020-07-10 | 广东省新材料研究所 | Laser positioning device for spray gun and calibration method thereof |
KR102375979B1 (en) * | 2020-06-11 | 2022-03-17 | 국방기술품질원 | Spray apparatus |
CN112122261A (en) * | 2020-10-19 | 2020-12-25 | 深圳新控自动化设备有限公司 | A three-axis laser cleaning machine |
CN113278959B (en) * | 2021-04-23 | 2022-06-24 | 东华隆(广州)表面改质技术有限公司 | Production method of sink roll |
CN113305478B (en) * | 2021-06-23 | 2023-01-13 | 中诚惠容实业集团有限公司 | Preheating device for welding large-scale steel structure |
CN117987762B (en) * | 2022-11-07 | 2024-07-16 | 苏州众芯联电子材料有限公司 | Process for reducing lower electrode surface fuse-jet lines |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP08800499A patent/JP3695984B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000282215A (en) | 2000-10-10 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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