JP3596068B2 - Laser amplifier and laser oscillator - Google Patents
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 70
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 46
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 25
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 2
- 230000033764 rhythmic process Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 8
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 6
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】
この発明はレーザ増幅器またはレーザ発振器に関する。
【0002】
【従来の技術】
図13は、米国COHERENT社のカタログおよび技術資料に示された型名Infinity40−100パルスNd:YAGレーザ・システムのレーザ増幅器の部分の構成を示したものである。ここで1aおよび1bはそれぞれ第一および第二のレーザ媒質、2は励起光源、3は励起キャビティ、4は90度ローテータ、5aおよび5bはレンズ、6は真空セル、7は光を反射させる凹面反射鏡、8は1/4波長板、9は位相共役鏡、10は偏光子である。本装置では第一および第二のレーザ媒質1としてNd:YAG、励起光源2としてフラッシュランプを用いている。
【0003】
次に動作について説明する。励起キャビティ3内に配置された2本のレーザ媒質1aおよび1bを同じ励起光源2で励起しているため、第一および第二のレーザ媒質に入射する励起光源2からの光の発光スペクトルおよび発光強度はそれぞれ等しく、第一のレーザ媒質1aおよび第二のレーザ媒質1b内に形成される熱分布は励起光源2を中心としたほぼ対称な熱分布となる。入力光は偏光子10を通過することで直線偏光となり、第一のレーザ媒質1aに入射するが、励起により生じる熱による複屈折(以下、熱複屈折と呼ぶ)により位相変化を受けロッド半径方向の偏光成分およびロッド接線方向の偏光成分生じる。ここで生じる位相変化量はレーザ光が通過する第一のレーザ媒質1aの位置により異なる。第一のレーザ媒質1aの出射光は、レンズ5a、真空セル6、凹面反射鏡7、真空セル6、レンズ5bおよび90度ローテータ4を通過し、第二のレーザ媒質1bに入射する。このときレンズ5aおよび5b、凹面反射鏡7は第一のレーザ媒質1a出射時とほぼ同じレーザビーム径で第一のレーザ媒質1a通過時とほぼ同じ熱分布となる第二のレーザ媒質1bの位置を通過するように配置されている。
【0004】
また、真空セル6はレンズ5aおよび5bにより集光されたレーザ光が集光点での放電することを防止するために配置されている。また第二のレーザ媒質1bに入射するレーザ光は90度ローテータ4により第一のレーザ媒質出射時の偏光状態と比較して、偏光成分がそれぞれ90度回転させられている。第二のレーザ媒質1bでもロッド半径方向の偏光成分およびロッド接線方向の偏光成分が生じる。しかし第一のレーザ媒質1aおよび第二のレーザ媒質1bを通過するレーザ光の偏光が互いに90度回転しているため、第一のレーザ媒質1aでロッド半径方向の偏光成分およびロッド接線方向の偏光成分が生じたものは、第二のレーザ媒質1bではそれぞれロッド接線方向の偏光方向成分およびロッド半径方向の偏光成分を生じる。第一のレーザ媒質1aおよび第二のレーザ媒質1bの熱分布がほぼ励起光源2を中心とした対称な分布になっているため、受ける熱複屈折によるロッド半径方向およびロッド接線方向のそれぞれの位相変化量は、第一のレーザ媒質1aおよび第二のレーザ媒質1bで同じである。このため、熱複屈折により生じる直線偏光からの変化を補償することができる。第二のレーザ媒質1bを出射したレーザ光は1/4波長板8を通過し、位相共役鏡9により進行方向を逆進させられ、再び1/4波長板8を通過し偏光方向が90度回転して第二のレーザ媒質1bに入射する。再び第二のレーザ媒質1bで熱複屈折をうける。第二のレーザ媒質1bを出射したレーザ光は90度ローテータ4を通過し偏光方向をそれぞれ90度回転させられたのちに、レーザ光はレンズ5bを通過し、真空セル6、凹面反射鏡7、真空セル6、レンズ5aを通過し第一のレーザ媒質1aに入射する。
【0005】
前述したように、第二のレーザ媒質1bで生じた熱複屈折は第一のレーザ媒質1aで補償される。第一のレーザ媒質1aを出射したレーザ光の偏光は、入射光と直交しているため偏光子10より出力光として取り出される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来例では、図13で示したように、第一のレーザ媒質1aを出射したレーザ光を複数の光学素子を介して再び第二のレーザ媒質1bに入射させるため、装置全体が大きくなるという問題があった。具体的には従来例で用いられている真空セル6は、レーザ光ビーム径が縮小している領域をすべて包含しなければならないので真空セル6が大きくなり、そのため装置全体が大きくなるという問題があった。また、真空セル6はつねの真空に保っておかなくてはならないので、装置全体のメンテナンスが複雑になるという問題があった。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載のレーザ増幅器は、ほぼ平行に配置された第一および第二のレーザ媒質と、上記第一および第二のレーザ媒質の間に上記第一および第二のレーザ媒質にほぼ平行に配置され、上記第一および第二のレーザ媒質を励起する光源と、上記第一および第二のレーザ媒質および上記光源を収納した励起キャビティと、上記第一のレーザ媒質から出射されたレーザ光の偏光を90度回転させたのちに第二のレーザ媒質に入射させる手段とを有するレーザ増幅器において、上記手段として、入射点と出射点が異なり、出射光が入射光に対しほぼ平行に折り返えし、かつ入射光の偏光状態と出射光の偏光状態が一定の関係にあるプリズムと、上記第一のレーザ媒質と上記プリズムの間に設置した1/2波長板とを備えたものである。
【0008】
請求項2記載のレーザ増幅器は、請求項1記載のレーザ増幅器と、第二のレーザ媒質のレーザ増幅器外方の一端側に、上記第二のレーザ媒質からの出射光を元に戻すよう設置された全反射鏡と、上記第二のレーザ媒質の一端側と上記全反射鏡との間に設置された1/4波長板とを備えたものである。
【0009】
請求項3記載のレーザ増幅器は、請求項1記載のレーザ増幅器と、第一のレーザ媒質および第二のレーザ媒質に対してプリズムと反対側に設置され、出射光を入射光に対しほぼ平行に折り返えし、かつ入射光の偏光状態と出射光の偏光状態が一定の関係にある第二のプリズムと、上記第二のレーザ媒質からの出射光を入射させ、上記第二のレーザ媒質の一端側と上記第二のプリズムとの間に設置された1/2波長板とを備えたものである。
【0010】
請求項4記載のレーザ増幅器は、請求項3記載のレーザ増幅器と、第一のレーザ媒質のレーザ増幅器外方の一端側に設置された偏光子と、上記偏光子と第二のプリズムとの間に設置された90度ローテータとを備え、第二のプリズムの出射光を上記90度ローテータを通して上記偏光子に戻し、第一のレーザ媒質に入射させるものである。
【0011】
請求項5記載のレーザ発振器は、請求項1記載のレーザ増幅器と、第二のレーザ媒質のレーザ増幅器外方の一端側に、上記第二のレーザ媒質からの出射光を元に戻すよう設置された全反射鏡と、第一のレーザ媒質のレーザ増幅器外方の一端側に設置された出力鏡とを備えたものである。
【0012】
請求項6記載のレーザ発振器は、請求項3記載のレーザ増幅器と、第一のレーザ媒質のレーザ増幅器外方の一端側に設置された偏光子と、第二のプリズムと上記偏光子との間の第二のプリズムの出射光の経路に順に設置されたレンズと、アイソレータと、旋光子とを備え、上記第二のプリズムの出射光を上記レンズと、アイソレータと、旋光子を通して上記偏光子に戻し、第一のレーザ媒質に入射させると共に一部を出力するものである。
【0013】
請求項7記載のレーザ増幅器は、ほぼ平行に配置された第一、第二、第三および第四のレーザ媒質と、上記第一、第二、第三および第四のレーザ媒質の間に上記第一、第二、第三および第四のレーザ媒質にほぼ平行に配置され、上記第一、第二、第三および第四のレーザ媒質を励起する光源と、上記第一、第二、第三および第四のレーザ媒質および上記光源を収納した励起キャビティと、上記第一のレーザ媒質から出射されたレーザ光の偏光を90度回転させたのちに第三のレーザ媒質に入射させる手段と、上記第二のレーザ媒質から出射されたレーザ光の偏光を90度回転させたのちに第四のレーザ媒質に入射させる手段とを有するレーザ増幅器において、第一のレーザ媒質の一端側に設置され、入射点と出射点が異なり、出射光が入射光に対しほぼ平行に折り返えし、かつ入射光の偏光状態と出射光の偏光状態が一定の関係にある第一のプリズムと、上記第一のレーザ媒質と第一のプリズムの間に設置した第一の1/2波長板とを備えて第一のレーザ媒質からの出射光を第二のレーザ媒質に入射させ、第一のレーザ媒質および第二のレーザ媒質に対して第一のプリズムと反対側の第二のレーザ媒質の一端側に設置され、入射点と出射点が異なり、出射光が入射光に対しほぼ平行に折り返えし、かつ入射光の偏光状態と出射光の偏光状態が一定の関係にある第二のプリズムと、上記第二のレーザ媒質と第二のプリズムの間に設置した第二の1/2波長板と、第二のプリズムと第三のレーザ媒質との間に設置した90度ローテータとを備えて第二のレーザ媒質からの出射光を第三のレーザ媒質に入射させ、第三のレーザ媒質に対して第一のプリズムと同一側の第三のレーザ媒質の一端側に設置され、入射点と出射点が異なり、出射光が入射光に対しほぼ平行に折り返えし、かつ入射光の偏光状態と出射光の偏光状態が一定の関係にある第三のプリズムと、上記第三のレーザ媒質と第三のプリズムの間に設置した第三の1/2波長板とを備えて、第三のレーザ媒質からの出射光を第四のレーザ媒質に入射させるものである。
【0014】
請求項8記載のレーザ増幅器は、請求項7記載のレーザ増幅器と、第四のレーザ媒質に対して第二のプリズムと同一側の第四のレーザ媒質の一端側に、上記第四のレーザ媒質からの出射光を元に戻すよう設置された全反射鏡と、上記第四のレーザ媒質の一端側と上記全反射鏡との間に設置された1/4波長板とを備えたものである。
【0015】
請求項9記載のレーザ増幅器は、請求項7記載のレーザ増幅器と、第一のレーザ媒質に対して第二のプリズムと同一側の第一のレーザ媒質の一端側に設置された偏光子と、第四のレーザ媒質に対して第二のプリズムと同一側の第四のレーザ媒質の一端側に設置され、入射点と出射点が異なり、出射光が入射光に対しほぼ平行に折り返えし、かつ入射光の偏光状態と出射光の偏光状態が一定の関係にある第四のプリズムと、上記第四のレーザ媒質と第四のプリズムの間に設置した第四の1/2波長板とを備え、第四のレーザ媒質の出射光を上記第四の1/2波長板を通して上記偏光子に戻し、第一のレーザ媒質に入射させるものである。
【0016】
請求項10記載のレーザ発振器は、請求項7記載のレーザ増幅器と、第四のレーザ媒質に対して第二のプリズムと同一側の第四のレーザ媒質の一端側に、上記第四のレーザ媒質からの出射光を元に戻すよう設置された全反射鏡と、第一のレーザ媒質に対して第二のプリズムと同一側の第一のレーザ媒質の一端側に設置された出力鏡とを備えたものである。
【0017】
請求項11記載のレーザ発振器は、請求項9記載のレーザ増幅器と、第四のプリズムと偏光子との間の第四のプリズムの出射光の経路に順に設置されたレンズと、アイソレータと、旋光子とを備え、上記第四のプリズムの出射光を上記レンズと、アイソレータと、旋光子を通して上記偏光子に戻し、第一のレーザ媒質に入射させると共に一部を出力するものである。
【0018】
【作用】
請求項1〜4の発明に関するレーザ増幅器においては、プリズムおよび1/2波長板を用いることにより、第一のレーザ媒質から出射されたレーザ光がほぼ平行に折り返され、かつ、レーザ光の偏光方向がそれぞれ90度回転され、第二のレーザ媒質に入射することを利用している。これにより、光軸上に配置する光学部品を減らすこと、特に、真空セルをなくすことができ、光学部品の少ない簡単な構成でかつメンテナンスが簡単なレーザ増幅器を得ることができる。
【0019】
請求項5、6の発明に関するレーザ発振器においては、前記プリズムおよび前記1/2波長板を用いることにより、第一のレーザ媒質から出射されたレーザ光がほぼ平行に折り返され、かつ、レーザ光の偏光方向がそれぞれ90度回転され、第二のレーザ媒質に入射することを利用している。これにより光軸上に配置する光学部品を減らすこと、特に、真空セルをなくすことができ、光学部品の少ない簡単な構成で、かつ、メンテナンスが簡単なレーザ発振器を得ることができる。
【0020】
請求項7〜9の発明に関するレーザ増幅器においては、前記プリズムおよび前記1/2波長板を用いることにより、第一または第二のレーザ媒質を出射したレーザ光がほぼ平行に折り返され、かつ、レーザ光の偏光方向がそれぞれ90度回転され、第三または第四のレーザ媒質に入射することを利用している。これにより光軸上に配置する光学部品を減らすこと、特に、真空セルをなくすことができ、光学部品の少ない簡単な構成で、かつ、メンテナンスが簡単なレーザ増幅器を得ることができる。
【0021】
請求項10、11の発明に関するレーザ発振器においては、前記プリズムおよび前記1/2波長板を用いることにより、第一または第二のレーザ媒質を出射したレーザ光がほぼ平行に折り返され、かつ、レーザ光の偏光方向がそれぞれ90度回転され、第三または第四のレーザ媒質に入射することを利用している。これにより光軸上に配置する光学部品を減らすこと、特に、真空セルをなくすことができ、簡単な構成でかつメンテナンスが簡単なレーザ発振器を得ることができる。
【0022】
【実施例】
実施例1.
図1はこの発明の実施例1の構成を示す図である。図において、100は全反射を利用してレーザ媒質1aから出射したレーザ光の直交する2方向の偏光成分間の位相差を保持し出射するプリズム、13は1/2波長板である。また、図2はプリズムの説明図である。図において、100〜107はプリズムのそれぞれの面である。
【0023】
図2に基づいてプリズム100について説明する。各斜面は、面102が面101となす角度は45度かつ面103となす角度が90度であり、面104が面101となす角度が90度かつ面103となす角度が45度、面106が面101となす角度は90度かつ面107となす角度は90度である。
【0024】
図2でおいてy軸に対して角度θだけ傾斜している直線偏光のレーザ光がプリズム100に入射するとする。レーザ光は、プリズム100へ面101の点Aから入射する。レーザ光の電界強度ベクトルは図2中の直交座標のx,yに沿う、直交する2成分に分けられる。x方向の成分は点B,C,D,Eの順次全反射されそれぞれの反射はP型、S型、S型、P型となる。ここでP型反射とはレーザ光の電界強度ベクトルが、レーザ光の進行方向ベクトルと反射面の法線ベクトルを含む面に対して平行である反射であり、またS型反射とはレーザ光の電界強度ベクトルが、レーザ光の進行方向ベクトルと反射面の法線ベクトルを含む面に対して垂直である反射のことである。また、y方向の成分は点B,C,D,Eでの全反射はS型、P型、P型、S型となる。全反射による電界の位相変化は通常、入射角度、P型反射、S型反射により異なるが、プリズム100では、電界強度ベクトルのx方向成分、y方向成分ともに2回ずつ、P型反射、S型反射を行うため、プリズム100を通過した両方向成分に位相差は生じない。このため点Aでの偏光は、点Fで保存される。
【0025】
以上によりレーザ光はプリズム100により、レーザの偏光方向を保持したままほぼ平行に折り返される。
【0026】
プリズム100と1/2波長板13によるレーザ光の偏光方向についてジョーンズ行列を用いて説明する。レーザ光の偏光は直交するx軸、y軸の2つの成分で表される。この時、任意のレーザ光の偏光は次式であらわされる。
【0027】
【数1】
【0028】
プリズム100のジョーンズ行列は、入射時と出射時で位相差が変化せず、y軸の方向が逆転するため、次式で表せる。
【0029】
【数2】
【0030】
1/2波長板13は、遅軸がx軸よりφだけ傾いているとする。1/2波長板13のジョーンズ行列は次式で表せる。
【0031】
【数3】
【0032】
式(2)および式(3)よりプリズム100および1/2波長板13の合成のジョーンズ行列は、式(2)および式(3)の行列の積で表せ、次式となる。
【0033】
【数4】
【0034】
偏光成分(Ex,Ey)で1/2波長板、プリズム100に入射したレーザ光のプリズム出射時の偏光成分(Ex’,Ey’)は次式となる。
【0035】
【数5】
【0036】
プリズム100と1/2波長板13を組み合わせることにより、レーザ光の偏光方向が90度回転するとすれば、次式が成立する。
【0037】
【数6】
【0038】
式(6)を満たす条件はφ=45度または、φ=135度となる。以上から、φを前述の値にとれば、プリズム100と1/2波長板13を組み合わせることにより、レーザ光をほぼ平行に折り返し、かつ任意のレーザ光の偏光を90度回転させることができる。
【0039】
動作について説明する。図1の構成では、図13と同様に第一および第二の2本のレーザ媒質1aおよび1bを1本の励起光源で励起していることから、第一のレーザ媒質1aと第二のレーザ媒質1bの熱分布は励起光源2を中心としたほぼ対称な熱分布となる。第一のレーザ媒質1aに入射する入力光は、第一のレーザ媒質1aを直進するにしたがって熱複屈折の影響を受けロッド半径方向およびロッド接線方向の偏光成分が生じる。生じた偏光成分の大きさおよび方向はロッド断面内の位置により異なる。第一のレーザ媒質1aから出射された光は、1/2波長板13を通過し、プリズム100に入射する。プリズム100の出射光は上述のように偏光方向を90度回転させられかつほぼ平行に折り返されて第二のレーザ媒質1bに入射する。第二のレーザ媒質1bでも前記第一のレーザ媒質1aと同様に複屈折を受けるが、偏光方向が90度回転していることおよび第一のレーザ媒質1aおよび第二のレーザ媒質1bの熱分布が、励起光源2を中心としてほぼ対称であるからロッド半径方向およびロッド接線方向にうける位相変化量は、それぞれ第一のレーザ媒質1aで受けたロッド接線方向およびロッド半径方向と等しいため、ロッド半径方向とロッド接線方向での位相差は0となり熱複屈折による直線偏光からの変化が補償される。
【0040】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことから固体レーザ装置の小型化がはかれる。真空セルを用いないため、装置のメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0041】
実施例2.
図3は本発明の実施例2を示す図である。図において、50は上述したレーザ増幅器である。
【0042】
次に動作について説明する。入力光は偏光子10を通過することで直線偏光となり、レーザ増幅器50に入射する。レーザ増幅器50に入射した入力光は、上述したように熱複屈折の影響が補償され、レーザ増幅器50から出射される。レーザ増幅器50を出射した入力光は、1/4波長板8を通過し、全反射鏡11で反射され、レーザ光は逆進し、再び1/4波長板8を通過する。1/4波長板8を2回通過しているので、偏光は90度回転している。入力光は再びレーザ増幅器50に入射するが、ここでも上述したよに熱複屈折の影響は補償され、出射される。レーザ増幅器50を出射したレーザ光の偏光は、入射光と直交しているため偏光子10より出力光として取り出される。
【0043】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないためメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0044】
実施例3.
図4は本発明の実施例3を示す図である。図において、100aは第二の入射光と出射光の偏光方向を保持するプリズム、13aは第二の1/2波長板である。
【0045】
本実施例では、レーザ増幅器50に正対するように第二のプリズム100aを配置し、レーザ光が循環するようにしている。続いて動作について説明する。偏光子10を通過することにより直線偏光となったレーザ光は、レーザ増幅器50に入射する。レーザ増幅器50に入射した入力光は、上述したように熱複屈折が補償されレーザ増幅器50から出射され、第二の1/2波長板13aと第二のプリズム100aに入射する。第二のプリズムを通過したレーザ光の偏光は、入力光と平行であるため、偏光子10で出力として取り出される。
【0046】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないためメンテナンスが簡単である。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0047】
実施例4.
図5は本発明の実施例4を示す図である。
【0048】
本実施例では、レーザ増幅器50に正対するように第二のプリズム100aを配置し、レーザ光が循環するようにしている。続いて動作について説明する。偏光子10を通過することにより直線偏光となったレーザ光は、レーザ増幅器50に入射する。レーザ増幅器50に入射した入力光は、上述したように熱複屈折が補償され出射され、第二の1/2波長板13a、第二のプリズム100a、90度ローテータ4に入射する。90度ローテータ4を通過したレーザ光の偏光は入力光と直交しているであるため、偏光子10を通過し、再びレーザ増幅器50、第二の1/2波長板13a、第二のプリズム100a、90度ローテータ4に入射する。2回目に90度ローテータ4を通過したレーザ光の偏光は入力光と平行であるため、偏光子10で出力として取り出される。
【0049】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。また、レーザ増幅器50を2回通過するので、増幅効率が向上する。真空セルがないためメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0050】
実施例5.
図6は本発明の実施例5を示す図である。
【0051】
動作について説明する。レーザ光はレーザ増幅器50に入射する。レーザ増幅器50に入射したレーザ光は、上述したように熱複屈折を補償されてレーザ増幅器50から出射し、全反射鏡11で反射され、逆進する。全反射鏡11で反射され逆進したレーザ光は、再びレーザ増幅器50に入射するがこのときも上述したように熱複屈折が補償され、レーザ増幅器から出射される。レーザ増幅器50を出射したレーザ光の一部は出力鏡12を通過して出力光として取り出される。
【0052】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないことからメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0053】
実施例6.
図7は本発明の実施例6を示す図である。図において、15は出力結合量を調整する旋光子、16はレーザ光の進行方向を規定するアイソレータ、17はビーム径を調整するためのレンズである。
【0054】
本実施例で、レーザ増幅器50と第二のプリズム100aは正対し、レーザ光が循環するように配置されている。続いて動作について説明する。レーザ増幅器50に入射したレーザ光は上述したように熱複屈折を補償され、出射される。レーザ増幅器50から出射されたレーザ光は第二の1/2波長板13aと第二のプリズム100aに入射する。第二のプリズム100aを通過したレーザ光は、レンズ17を通過し、レーザビーム径を調整され、偏光方向を90度回転され、アイソレータ16を通過し、旋光子15により出力量を調整されたのち、偏光子10でレーザ光の一部が出力として取り出される。
【0055】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないことから、メンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0056】
実施例7.
図8は本発明の実施例7を示す図である。
【0057】
動作について説明する。レーザ媒質1a〜1dは同一の励起光源2で励起されているので、第一〜第四のレーザ媒質に入射する励起光源2からの光の発光スペクトルおよび発光強度はそれぞれ等しく、第一および第二および第三および第四のレーザ媒質1は励起光源2を中心としたほぼ45度回転対称な熱分布をもつ。レーザ光は、第一のレーザ媒質1aに入射するが、熱複屈折の影響を受けロッド半径方向およびロッド接線方向の偏光成分が生じる。生じた偏光成分は大きさおよび方向はロッド断面内の位置により異なる。第一のレーザ媒質1aから出射されたレーザ光は、第一の1/2波長板13aと第一のプリズム100aに入射するが、プリズム100aの出射光は上述のように偏光方向を90度回転させられかつほぼ平行に折り返されレーザ光は第二のレーザ媒質1bに入射する。第二のレーザ媒質1bでも前記第一のレーザ媒質1aと同様に熱複屈折を受ける。第二のレーザ媒質1bから出射されたレーザ光は、第二の1/2波長板13bと第二のプリズム100bに入射する。プリズム100bから出射されたレーザ光は、上述したように偏光方向を90度回転されたのち、90度ローテータ4に入射し、偏光方向を90度回転させられたのちに第三のレーザ媒質1cに入射する。第三のレーザ媒質1cに入射し、熱複屈折の影響を受けるが、第一のレーザ媒質1aおよび第三のレーザ媒質1cの熱分布が励起光源2を中心としてほぼ対称なことおよび互いに偏光方向が90度回転していることからロッド半径方向およびロッド接線方向にうける位相変化量は、それぞれ第一のレーザ媒質1aで受けたロッド接線方向およびロッド半径方向と等しいため、ロッド半径方向とロッド接線方向での位相差は0となり第一のレーザ媒質で生じた熱複屈折が第三のレーザ媒質1cで補償され、レーザ光は第三のレーザ媒質1cから出射される。第三のレーザ媒質1cから出射されたレーザ光は、第三の1/2波長板13cと第三のプリズム100cに入射する。第三のプリズム100cから出射されたレーザ光は偏光方向を90度回転させられ、第四のレーザ媒質1dに入射する。第四のレーザ媒質1dでも前記第三のレーザ媒質1cと同様に熱複屈折を受けるが、第二のレーザ媒質1bおよび第四のレーザ媒質1dの熱分布が励起光源2を中心としてほぼ対称なことおよび互いに偏光方向が90度回転していることからロッド半径方向およびロッド接線方向にうける位相変化量は、それぞれ第二のレーザ媒質1bで受けたロッド接線方向およびロッド半径方向と等しいため、ロッド半径方向とロッド接線方向での位相差は0となり熱複屈折が補償され第四のレーザ媒質1dから出射される。
【0058】
以上のように第一のレーザ媒質1aで生じた熱複屈折は第三のレーザ媒質1cで補償され、また第二のレーザ媒質1bで生じた熱複屈折は第四のレーザ媒質1dで補償される。以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ装置の小型化がはかれる。真空セルがないことから、メンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0059】
実施例8.
図9は本発明の実施例8を示す図である。図において、60はレーザ増幅器である。
【0060】
次に動作について説明する。入力光は偏光子10を通過することで直線偏光となり、レーザ増幅器60に入射する。レーザ増幅器60では上述したように熱複屈折の影響が補償され、レーザ増幅器60から出射される。レーザ増幅器60を出射した光は、1/4波長板8を通過し、全反射鏡11で反射され、レーザ光は逆進し、再び1/4波長板8を通過する。1/4波長板8を2回通過しているので、偏光は90度回転している。入力光は再びレーザ増幅器60に入射するが、ここでも上述したように熱複屈折の影響が補償され、出射される。レーザ増幅器60を出射したレーザ光の偏光は、入射光と直交しているため偏光子10より出力光として取り出される。
【0061】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないため、メンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光が平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0062】
実施例9.
図10は本発明の実施例9を示す図である。図において、100dは第四の入射光と出射光の偏光方向を保持するプリズム、13dは第四の1/2波長板である。
【0063】
本実施例では、レーザ増幅器60の第一のレーザ媒質1aの端面および第四のレーザ媒質1dの端面および第一のプリズム100aに正対するように第四のプリズム100dを配置し、レーザ光が循環するようにしている。続いて動作について説明する。偏光子10を通過することにより直線偏光となったレーザ光は、レーザ増幅器60に入射する。レーザ増幅器60に入射した入力光は、上述したように熱複屈折が補償されて、出射され、第四の1/2波長板13dと第四のプリズム100dに入射する。偏光方向を90度回転して第四のプリズム100dを出射したレーザ光の偏光は入力光と直交しているため、偏光子10で出力として取り出される。
【0064】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないためメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0065】
実施例10.
図11は本発明の実施例10を示す図である。
【0066】
動作について説明する。レーザ光はレーザ増幅器60に入射する。レーザ光は、レーザ増幅器60で上述したように熱複屈折を補償されて出射し、全反射鏡11で反射され逆進する。全反射鏡11で反射され逆進したレーザ光は、再びレーザ増幅器60に入射するがこのときも上述したように熱複屈折が補償され、レーザ増幅器から出射される。レーザ増幅器60を出射したレーザ光の一部は出力鏡12を通過して出力光として取り出される。
【0067】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないためメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光が平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0068】
実施例11.
図12は本発明の実施例11を示す図である。
【0069】
本実施例で、レーザ増幅器60の第一のレーザ媒質1aの端面および第四のレーザ媒質1dおよび第一のプリズム100aと第四のプリズム100dは正対し、レーザ光が循環するように配置されている。続いて動作について説明する。レーザ増幅器60に入射したレーザ光は上述したように熱複屈折を補償され、出射される。レーザ増幅器50から出射されたレーザ光は第四の1/2波長板13dと第二のプリズム100dに入射する。第四のプリズム100dを通過したレーザ光は、レンズ17を通過し、レーザビーム径を調整され、偏光方向を90度回転され、アイソレータ16を通過し、旋光子15により出力量を調整されたのち、偏光子10でレーザ光の一部が出力として取り出される。
【0070】
以上の作用により、光学部品が少ない簡単な構成で熱複屈折を補償することができる。光学部品が少ないことからレーザ発振器の小型化がはかれる。真空セルがないことからメンテナンスが簡単になる。プリズムに入射および出射するレーザ光がほぼ平行であるため、レーザ装置の組み立ておよび調整が容易になるという利点がある。
【0071】
【発明の効果】
請求項1〜4記載の発明によれば、簡単かつメンテナンスが容易な構成で、励起によりレーザ媒質に生じた熱による複屈折効果を補償でき、小型で増幅効率が向上されたレーザ増幅器を得られるという効果がある。
【0072】
また、請求項4記載の発明によれば、レーザ光がレーザ増幅器を2回通過するので、増幅効率をさらに向上できる。
【0073】
請求項5、6記載の発明によれば、簡単かつメンテナンスが容易な構成で、励起によりレーザ媒質に生じた熱による複屈折効果を補償でき、小型で発振効率が向上されたレーザ発振器を得られるという効果がある。
【0074】
また、請求項6記載の発明によれば、レーザ光が循環するので、発振効率をさらに向上できる。
【0075】
請求項7〜9記載の発明によれば、簡単かつメンテナンスが容易な構成で、励起によりレーザ媒質に生じた熱による複屈折効果を補償でき、小型で増幅効率が向上されたレーザ増幅器を得られるという効果がある。
【0076】
また、請求項8記載の発明によれば、レーザ光がレーザ増幅器を2回通過するので、増幅効率をさらに向上できる。
【0077】
また、請求項9記載の発明によれば、レーザ光が循環するので、増幅効率をさらに向上できる。
【0078】
請求項10、11記載の発明によれば、簡単かつメンテナンスが容易な構成で、励起によりレーザ媒質に生じた熱による複屈折効果を補償でき、小型で発振効率が向上されたレーザ発振器を得られるという効果がある。
【0079】
また、請求項11記載の発明によれば、レーザ光が循環するので、発振効率をさらに向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1によるレーザ増幅器の構成図である。
【図2】この発明の偏光保持するプリズムの説明図である。
【図3】この発明の実施例2によるレーザ増幅器の構成図である。
【図4】この発明の実施例3によるレーザ発振器の構成図である。
【図5】この発明の実施例4によるレーザ発振器の構成図である。
【図6】この発明の実施例5によるレーザ発振器の構成図である。
【図7】この発明の実施例6によるレーザ発振器の構成図である。
【図8】この発明の実施例7によるレーザ増幅器の構成図である。
【図9】この発明の実施例8によるレーザ増幅器の構成図である。
【図10】この発明の実施例9によるレーザ増幅器の構成図である。
【図11】この発明の実施例10によるレーザ発振器の構成図である。
【図12】この発明の実施例11によるレーザ発振器の構成図である。
【図13】従来例のレーザ増幅器の構成図である。
【符号の説明】
1 レーザ媒質、2 励起光源、3 励起キャビティ、
4 90度ローテータ、5 集光レンズ、6 真空セル、7 凹面反射鏡、
8 1/4波長板、9 位相共役鏡、10 偏光子、11 全反射鏡、12 出力鏡、13 1/2波長板、15 旋光子、16 アイソレータ、
17 レンズ、50 レーザ増幅器、60 レーザ増幅器、100 プリズム、101〜107 面。[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a laser amplifier or a laser oscillator.
[0002]
[Prior art]
FIG. 13 shows a configuration of a laser amplifier part of a model name Infinity 40-100 pulse Nd: YAG laser system shown in a catalog and technical data of COHERENT, USA. Here, 1a and 1b are first and second laser media, respectively, 2 is an excitation light source, 3 is an excitation cavity, 4 is a 90-degree rotator, 5a and 5b are lenses, 6 is a vacuum cell, 7 is a concave surface for reflecting light. A reflecting mirror, 8 is a quarter-wave plate, 9 is a phase conjugate mirror, and 10 is a polarizer. In this apparatus, Nd: YAG is used as the first and second laser media 1, and a flash lamp is used as the
[0003]
Next, the operation will be described. Since the two laser media 1a and 1b arranged in the
[0004]
In addition, the
[0005]
As described above, the thermal birefringence generated in the second laser medium 1b is compensated by the first laser medium 1a. The polarization of the laser light emitted from the first laser medium 1 a is orthogonal to the incident light and is extracted from the
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional example, as shown in FIG. 13, since the laser light emitted from the first laser medium 1a is again incident on the second laser medium 1b via a plurality of optical elements, the entire device becomes large. was there. Specifically, the
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The laser amplifier according to claim 1, wherein the first and second laser media are disposed substantially in parallel with each other, and the first and second laser media are substantially parallel to each other between the first and second laser media. A light source configured to excite the first and second laser medium, an excitation cavity containing the first and second laser medium and the light source, and a laser light emitted from the first laser medium. A laser amplifier having means for rotating the polarized light by 90 degrees and then incident on the second laser medium, wherein the incident point and the outgoing point are different, and the outgoing light is folded substantially parallel to the incident light. And a prism having a fixed relationship between the polarization state of the incident light and the polarization state of the outgoing light, and a half-wave plate provided between the first laser medium and the prism.
[0008]
According to a second aspect of the present invention, the laser amplifier according to the first aspect is provided at one end of the second laser medium outside the laser amplifier so as to return the light emitted from the second laser medium to the original state. And a quarter-wave plate provided between one end of the second laser medium and the total reflection mirror.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, there is provided a laser amplifier, which is disposed on the opposite side of the first laser medium and the second laser medium from the prism with respect to the first laser medium and the second laser medium. Folded, and the second prism in which the polarization state of the incident light and the polarization state of the outgoing light are in a fixed relationship, the outgoing light from the second laser medium is incident, and the second laser medium A half-wave plate is provided between one end and the second prism.
[0010]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the laser amplifier according to the third aspect, a polarizer provided on one end side of the first laser medium outside the laser amplifier, and a portion between the polarizer and the second prism. And a 90-degree rotator installed in the first prism. The light emitted from the second prism is returned to the polarizer through the 90-degree rotator and is incident on the first laser medium.
[0011]
A laser oscillator according to a fifth aspect of the present invention is provided with the laser amplifier according to the first aspect and one end of the second laser medium outside the laser amplifier so as to return the light emitted from the second laser medium to the original state. A total reflection mirror, and an output mirror provided at one end of the first laser medium outside the laser amplifier.
[0012]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a laser oscillator according to the third aspect, wherein the first laser medium includes a polarizer provided at one end of the first laser medium outside the laser amplifier, and a second prism and the polarizer. A lens, an isolator, and an optical rotator arranged in order on the path of the output light of the second prism, and the output light of the second prism to the polarizer through the lens, the isolator, and the optical rotator. Then, the light is returned to the first laser medium and a part is output.
[0013]
The laser amplifier according to
[0014]
A laser amplifier according to claim 8, wherein the laser amplifier according to
[0015]
A laser amplifier according to
[0016]
A laser oscillator according to
[0017]
A laser oscillator according to an eleventh aspect includes a laser amplifier according to the ninth aspect, a lens sequentially disposed in a path of light emitted from the fourth prism between the fourth prism and the polarizer, an isolator, and an optical rotation. And returning the light emitted from the fourth prism to the polarizer through the lens, the isolator, and the optical rotator to make the light enter the first laser medium and output a part thereof.
[0018]
[Action]
In the laser amplifier according to the first to fourth aspects of the present invention, by using the prism and the half-wave plate, the laser light emitted from the first laser medium is folded almost in parallel, and the polarization direction of the laser light is changed. Are rotated by 90 degrees and incident on the second laser medium. As a result, the number of optical components arranged on the optical axis can be reduced, in particular, a vacuum cell can be eliminated, and a laser amplifier having a simple configuration with few optical components and easy maintenance can be obtained.
[0019]
In the laser oscillator according to the fifth and sixth aspects of the present invention, by using the prism and the half-wave plate, the laser light emitted from the first laser medium is turned substantially parallel, and Utilizing that the polarization directions are rotated by 90 degrees and incident on the second laser medium. Thus, the number of optical components arranged on the optical axis can be reduced, in particular, a vacuum cell can be eliminated, and a laser oscillator having a simple configuration with few optical components and easy maintenance can be obtained.
[0020]
In the laser amplifier according to the seventh to ninth aspects of the present invention, by using the prism and the half-wave plate, the laser light emitted from the first or second laser medium is turned substantially parallel, and Utilizing that the polarization directions of light are rotated by 90 degrees and are incident on the third or fourth laser medium, respectively. As a result, the number of optical components arranged on the optical axis can be reduced, in particular, a vacuum cell can be eliminated, and a laser amplifier with a simple configuration with few optical components and easy maintenance can be obtained.
[0021]
In the laser oscillator according to the tenth and eleventh aspects of the present invention, by using the prism and the half-wave plate, the laser light emitted from the first or second laser medium is folded substantially in parallel, and Utilizing that the polarization directions of light are rotated by 90 degrees and are incident on the third or fourth laser medium, respectively. As a result, the number of optical components arranged on the optical axis can be reduced, in particular, a vacuum cell can be eliminated, and a laser oscillator having a simple configuration and easy maintenance can be obtained.
[0022]
【Example】
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of Embodiment 1 of the present invention. In the figure,
[0023]
The
[0024]
In FIG. 2, it is assumed that linearly polarized laser light inclined by an angle θ with respect to the y-axis enters the
[0025]
As described above, the laser light is folded back substantially parallel by the
[0026]
The polarization direction of the laser beam by the
[0027]
(Equation 1)
[0028]
The Jones matrix of the
[0029]
(Equation 2)
[0030]
It is assumed that the half-
[0031]
(Equation 3)
[0032]
From the formulas (2) and (3), the combined Jones matrix of the
[0033]
(Equation 4)
[0034]
The polarization components (Ex ′, Ey ′) of the laser beam incident on the half-wave plate and the
[0035]
(Equation 5)
[0036]
Assuming that the polarization direction of the laser beam is rotated by 90 degrees by combining the
[0037]
(Equation 6)
[0038]
The condition satisfying the expression (6) is φ = 45 degrees or φ = 135 degrees. From the above, when φ is set to the above-described value, by combining the
[0039]
The operation will be described. In the configuration of FIG. 1, the first and second laser mediums 1a and 1b are excited by one excitation light source as in FIG. The heat distribution of the medium 1b is substantially symmetric with respect to the
[0040]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since the number of optical components is small, the size of the solid-state laser device can be reduced. Since no vacuum cell is used, maintenance of the device is simplified. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0041]
FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. In the figure,
[0042]
Next, the operation will be described. The input light becomes linearly polarized light by passing through the
[0043]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is simplified because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0044]
FIG. 4 is a view showing a third embodiment of the present invention. In the drawing,
[0045]
In the present embodiment, the
[0046]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is easy because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0047]
FIG. 5 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention.
[0048]
In the present embodiment, the
[0049]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Further, since the light passes through the
[0050]
Embodiment 5 FIG.
FIG. 6 is a diagram showing a fifth embodiment of the present invention.
[0051]
The operation will be described. The laser light enters a
[0052]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is simplified because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0053]
FIG. 7 is a view showing a sixth embodiment of the present invention. In the figure, 15 is an optical rotator for adjusting the output coupling amount, 16 is an isolator for defining the traveling direction of the laser light, and 17 is a lens for adjusting the beam diameter.
[0054]
In this embodiment, the
[0055]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Since there is no vacuum cell, maintenance is simplified. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0056]
FIG. 8 is a diagram showing a seventh embodiment of the present invention.
[0057]
The operation will be described. Since the laser media 1a to 1d are excited by the same
[0058]
As described above, the thermal birefringence generated in the first laser medium 1a is compensated by the third laser medium 1c, and the thermal birefringence generated in the second laser medium 1b is compensated by the fourth laser medium 1d. You. By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since the number of optical components is small, the size of the laser device can be reduced. Since there is no vacuum cell, maintenance is simplified. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0059]
Embodiment 8 FIG.
FIG. 9 is a view showing an eighth embodiment of the present invention. In the figure,
[0060]
Next, the operation will be described. The input light becomes linearly polarized light by passing through the
[0061]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is simplified because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0062]
FIG. 10 is a diagram showing a ninth embodiment of the present invention. In the figure, 100d is a prism for maintaining the polarization direction of the fourth incident light and outgoing light, and 13d is a fourth half-wave plate.
[0063]
In this embodiment, the
[0064]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is simplified because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0065]
FIG. 11 shows a tenth embodiment of the present invention.
[0066]
The operation will be described. The laser light enters a
[0067]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is simplified because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0068]
FIG. 12 shows an eleventh embodiment of the present invention.
[0069]
In this embodiment, the end face of the first laser medium 1a of the
[0070]
By the above operation, thermal birefringence can be compensated by a simple configuration with few optical components. Since there are few optical components, the size of the laser oscillator can be reduced. Maintenance is simplified because there is no vacuum cell. Since the laser beams entering and exiting the prism are substantially parallel, there is an advantage that the assembly and adjustment of the laser device are facilitated.
[0071]
【The invention's effect】
According to the first to fourth aspects of the present invention, a simple and easy-to-maintain configuration can compensate a birefringence effect due to heat generated in a laser medium by excitation, and can obtain a small-sized laser amplifier having improved amplification efficiency. This has the effect.
[0072]
According to the fourth aspect of the present invention, since the laser light passes through the laser amplifier twice, the amplification efficiency can be further improved.
[0073]
According to the fifth and sixth aspects of the present invention, a simple and easy-to-maintain configuration can compensate for a birefringence effect due to heat generated in a laser medium by excitation, and provide a small-sized laser oscillator having improved oscillation efficiency. This has the effect.
[0074]
According to the invention of
[0075]
According to the seventh to ninth aspects of the present invention, a simple and easy-to-maintain configuration can compensate for a birefringence effect due to heat generated in a laser medium by excitation, and can obtain a small-sized laser amplifier with improved amplification efficiency. This has the effect.
[0076]
According to the eighth aspect of the present invention, since the laser light passes through the laser amplifier twice, the amplification efficiency can be further improved.
[0077]
According to the ninth aspect of the present invention, since the laser light circulates, the amplification efficiency can be further improved.
[0078]
According to the tenth and eleventh aspects, a birefringence effect due to heat generated in a laser medium by excitation can be compensated by a simple and easy-to-maintain configuration, and a small-sized laser oscillator having improved oscillation efficiency can be obtained. This has the effect.
[0079]
According to the eleventh aspect, the laser light circulates, so that the oscillation efficiency can be further improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a laser amplifier according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram of a polarization maintaining prism according to the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram of a laser amplifier according to
FIG. 4 is a configuration diagram of a laser oscillator according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a configuration diagram of a laser oscillator according to
FIG. 6 is a configuration diagram of a laser oscillator according to Embodiment 5 of the present invention.
FIG. 7 is a configuration diagram of a laser oscillator according to
FIG. 8 is a configuration diagram of a laser amplifier according to
FIG. 9 is a configuration diagram of a laser amplifier according to Embodiment 8 of the present invention.
FIG. 10 is a configuration diagram of a laser amplifier according to
FIG. 11 is a configuration diagram of a laser oscillator according to
FIG. 12 is a configuration diagram of a laser oscillator according to
FIG. 13 is a configuration diagram of a conventional laser amplifier.
[Explanation of symbols]
1 laser medium, 2 excitation light source, 3 excitation cavity,
4 90 degree rotator, 5 condenser lens, 6 vacuum cell, 7 concave reflecting mirror,
8 1/4 wavelength plate, 9 phase conjugate mirror, 10 polarizer, 11 total reflection mirror, 12 output mirror, 13 1/2 wavelength plate, 15 optical rotator, 16 isolator,
17 lenses, 50 laser amplifiers, 60 laser amplifiers, 100 prisms, 101-107 surfaces.
Claims (11)
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08222792A JPH08222792A (en) | 1996-08-30 |
JP3596068B2 true JP3596068B2 (en) | 2004-12-02 |
Family
ID=12278444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2952295A Expired - Fee Related JP3596068B2 (en) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | Laser amplifier and laser oscillator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3596068B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005251981A (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Japan Atom Energy Res Inst | Solid laser amplification method |
JP5086677B2 (en) * | 2006-08-29 | 2012-11-28 | ギガフォトン株式会社 | Driver laser for extreme ultraviolet light source device |
JP5551722B2 (en) * | 2006-08-29 | 2014-07-16 | ギガフォトン株式会社 | Driver laser for extreme ultraviolet light source device |
KR101371199B1 (en) * | 2012-04-26 | 2014-03-10 | 원텍 주식회사 | Double pulse laser generation apparatus and double pulse laser generation method |
WO2018092813A1 (en) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | 国立大学法人電気通信大学 | Laser resonator and method for designing laser resonator |
CN107069400A (en) * | 2017-06-02 | 2017-08-18 | 哈尔滨镭致科技有限公司 | Hundred picosecond laser beauty instruments |
CN108736302B (en) * | 2018-07-31 | 2023-06-06 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Off-axis eight-pass laser amplification device based on birefringent crystal and design method |
-
1995
- 1995-02-17 JP JP2952295A patent/JP3596068B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08222792A (en) | 1996-08-30 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040707 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040817 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |