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JP3565680B2 - Rubbing roller and rubbing device for liquid crystal substrate - Google Patents

Rubbing roller and rubbing device for liquid crystal substrate Download PDF

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JP3565680B2
JP3565680B2 JP10258497A JP10258497A JP3565680B2 JP 3565680 B2 JP3565680 B2 JP 3565680B2 JP 10258497 A JP10258497 A JP 10258497A JP 10258497 A JP10258497 A JP 10258497A JP 3565680 B2 JP3565680 B2 JP 3565680B2
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JP
Japan
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roller
rubbing
fixed
support shaft
support
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利弘 奥
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Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
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Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶基板のラビング装置、すなわちガラス基板表面の配向膜を周面に布を貼り付けた回転ローラで擦る装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルを製造する工程中の一工程であるラビング工程は、ガラス基板表面の配向膜を布で擦って液晶分子を配列させる微細な溝を加工する工程である。この工程で用いられる装置は、ガラス基板を真空吸着するテーブル、周面に布を貼ったローラとその支持及び回転駆動機構、テーブルとローラとを相対移動させる送り機構などを備えている。
【0003】
加工するガラス基板はテーブルに固定され、テーブルに付設したテーブル旋回装置によってガラス基板の向きが決められるとともに、昇降装置によってローラとのギャップ(ラビング圧力)が設定される。ローラは両端を挟持された状態で回転軸に固定され、チルト装置によってガラス基板表面との平行度が設定されるとともに、ローラ旋回装置により摺擦方向が設定される。この状態でテーブル又はローラを送り装置で移動させることにより、ガラス基板の表面全体がラビング加工されるのである。
【0004】
ラビングに用いる布は短時間で摩耗し、布が摩耗すると加工精度が維持できない。そこでローラを頻繁に交換しなければならない。この交換を容易にするため、従来のラビング装置は、図5で示すように、両端軸心に円錐凹所71を設けたローラ72を、定位置に設けた駆動側スピンドル73の円錐状の先端74と、これに対向して軸方向に進退可能に設けた自由回転スピンドル75の円錐状の先端76とで挟持して支持する構造が採用されている。
【0005】
駆動側スピンドル73及び自由回転スピンドル75は、当然のことながら軸受77で回転可能に軸支されており、駆動側スピンドル73を回転駆動するモータ78が設けられている。
【0006】
ローラ72を交換するときは、ローラ72の下に受台27を進出させ、自由回転スピンドル75を後退させてローラ72を受台27上に落とし、受台27を移動して搬出する。新しいローラは受台27に載せられて両スピンドル73、75の間に搬入され、自由回転スピンドル75を進出させることにより、円錐凹所71と円錐先端74、76の嵌合による自動調心作用により、両スピンドル73、75の間に固定される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ラビングは所定幅のガラス基板に、ローラの周面に貼った布をある幅で線接触させて加工するものであり、かつ微細加工であるから、布の周面とガラス基板表面との間の平行度がラビングの精度ひいては液晶パネルの表示品質に重大な影響を及ぼす。
【0008】
一方、ローラ表面に貼着した布は、厚さにうねりが生ずるのを避け難い。そのためローラを交換する毎に、テーブルとローラ周面との平行度の調整を行っているのが実情であり、しかもこの調整作業には熟練した技能を必要とする。
【0009】
液晶パネルのガラス基板としては、従来400×500mm程度のものが用いられていたが、パネル面自体の大型化と1枚の基板に多くのパネルを配置して同時加工を行うことによる生産性向上の要請から、より大型の基板が用いられるようになってきた。ところが基板が大型になると、基板表面と布表面の平行度を維持することの困難さが加速度的に増大し、製造された液晶パネルの表示品質の低下や、調整作業負担の増加による生産性の低下という問題が生ずる。
【0010】
この発明は、ローラに貼付した布の周面とテーブル表面との平行度を維持することが容易で、従って大面積のガラス基板をより正確にかつ少ない作業負担で効率良くラビング加工することができる装置を得ることを課題としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明のラビングローラは、外周面に布を貼着した円筒体53と、この円筒体の両端内径側にベアリング55を介して回転自在かつ少なくとも内側への軸方向位置を規定して装着された外側に向いた円錐受57を有する端部材56と、前記円筒体の一端に設けられた回転受64とを備えたものである。
【0012】
請求項2の発明のラビングローラは、上記構成を備えたラビングローラにおいて、円筒体53の端部に設けたベアリング55の軸方向外側に、ベアリング55内を経て円筒体53の内部に連通する狭い空気流路62が形成され、端部材56の少なくとも一方は軸方向に貫通する開口58を備えているものである。
【0013】
この発明のラビング装置は、ラビングローラを支持するローラ支持機構Aと、ラビングローラを回転させるローラ駆動機構Bと、ガラス基板を固定するテーブル22と、テーブルまたはローラ支持機構Aの送り移動機構Cとを備え、ローラ支持機構Aは対向する先端相互に円錐端66を備えて移動側が固定側に対して軸方向に進退可能な固定側及び移動側支持軸41、49と、支持軸41、49と交叉しかつテーブル22の面と平行な枢支軸37まわりに揺動可能なローラ支持フレーム38と、ローラ支持フレーム38の枢支軸37まわりの揺動角を調整するチルト量調整手段51とを備えているラビング装置において、固定側支持軸41はローラ支持フレーム38に回転不能に固定され、移動側支持軸49は前記ローラ支持フレーム38に回転不能かつ軸方向移動自在に装着され、ローラ駆動機構Bは固定側支持軸41の外周に回転可能に装着された当該支持軸の先端側を向く回転伝達端63を備えた駆動リング43を備えていることを特徴とするものである。この発明のラビング装置は、固定側と移動側の支持軸41、49間に前述した請求項1又は2記載のラビングローラを装着し、その回転受64を前記駆動リング43の回転伝達端63に係合してラビングローラを回転させることにより、テーブル22に固定したガラス基板をラビング加工するものである。
【0014】
請求項4の発明のラビング装置は、上記構成のラビング装置において、支持軸41、49の少なくとも一方がその先端に開口しかつ空気吸引源に連通された空気吸引孔68を備えているものであり、また請求項5記載のラビング装置は、固定側支持軸41が前記駆動リング43の回転伝達端63の内径側に開口しかつ空気吸引源に連通された空気吸引孔67、68を備えているものである。
【0015】
【作用】
ラビング加工は、請求項3、4または5記載のラビング装置に、この発明の請求項1または2記載のラビングローラを装着して、従来と同様な手順で行われる。
【0016】
この発明の装置では、ラビングローラ52は回転しない支持軸41、49で両端を保持され、円筒体53のみが回転受64及び回転伝達端63を介して駆動リング43から回転力を受けて回転する。ラビングローラの端部材56、56も回転しない。
【0017】
ラビング加工は、布でガラス基板を摺擦して微細な溝を加工するので、細かい塵埃が発生する。ローラの交換時にこの塵埃がローラの円錐受57と支持軸の円錐端66との間に挟まった場合、ローラ52はわずかであるが偏心することになる。両スピンドル73、75が回転する従来手段では、この偏心に起因する布周面と基板ガラス表面との平行度の変動及びギャップの変動は、ローラ52の回転に伴って周期的に起こるので、いかに調整しても誤差をキャンセルすることができない。
【0018】
一方この発明の手段によれば、円錐受57と円錐先端66との間に塵埃等がかみこんでローラ52の偏心ないし傾きが生じたとしても、その偏心ないし傾きは静的なものであるから、テーブルの昇降量の調整及びローラ支持機構に設けたチルト量調整手段51の調整によりキャンセルすることができる。従って、精度調整の許容幅が広くなり調整作業が容易になるとともに、調整により得られる精度も高くなる。さらに回転に伴って生ずる位置変動がないから、加工もより正確にできる。
【0019】
請求項4記載のラビング装置に請求項2記載のラビングローラを装着した場合は、ローラに介装したベアリングに封入された潤滑油が飛散したとき、それをベアリング内を通過する空気流によりローラの内側を経て排出することができるから、ベアリング55、55の潤滑油が加工領域に飛散するおそれがなく、より品質の良い液晶パネルを得ることができる。
【0020】
また、請求項5のラビング装置に請求項1または2記載のラビングローラを装着してラビング加工するときは、回転受64と回転伝達端63との当接離隔による塵埃の発生が生じても、この塵埃が空気流により排出されるので、塵埃の発生をより低減でき、より品質の良い液晶パネルを得ることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
図2ないし図4は本発明の一実施例を示したものである。実施例のラビング装置は矩形のベース1とベースの上面中央の右側に立設された門形の支持枠2とを有している。ベース1の中央には左右方向に延びる2本の固定レール3が設けられている。固定レール3には往復台4が移動自在に設けられており、往復台4の下面に設けたナット部材5は固定レール3の間に装架されたネジ杆6に螺合している。ネジ杆はベース1に内蔵された送りモータ7によって正逆転駆動される。
【0022】
往復台4の上面は、支持枠2側が高い傾斜角θの上り面8となっており、この上り面8に支持枠側に延びる2本の移動レール9が固設されている。移動レール9には反支持枠側が低い傾斜角θの下り面11を有する昇降台12が摺動可能に設けられており、昇降台12の下面に設けたナット部材13は移動レール9の間に装架されたネジ杆14に螺合している。ネジ杆14の支持枠側端部には従動歯車15が固着されており、この歯車15は往復台4に内蔵された昇降モータ16の駆動歯車17に中間歯車18によって連結されている。
【0023】
昇降台12の上面中央には鉛直方向の回転軸19が設けられており、この回転軸19の下端には図示しない傘歯車が固着されている。この傘歯車は昇降台の側面に設けられた旋回モータ21の駆動軸に固設された傘歯車に噛合している。回転軸19の上端には長方形の旋回テーブル22が固着されている。旋回テーブルの上面には厚さ方向の透孔23が多数開口しており、またノックピン24の没入孔が4つ開口している。透孔23はその下端で相互に連通しており、連通後に図示しない真空ポンプに繋がっており、ラビング加工するガラス基板をテーブルに吸着する。
【0024】
運搬レール25にスライダ26を介して受台27が設けられており、その受台の上面中央に凹部を有する受具28が固定されている。受台27は、後述するラビングローラ52を交換するときに運搬レール上を支持枠側に進出して、落下するラビングローラを受け取り支持枠外に搬出する。
【0025】
支持枠2の天板31の中心から旋回軸受32の外輪33が垂下しており、旋回軸受の内輪34の下面に水平板36が固定されている。支持枠にはこの内輪を固定するためのクランプ装置35が設けられている。水平板36の中心に水平方向の枢支ピン37を介してローラ支持フレーム38が揺動可能に保持されている。ローラ支持フレーム38の一端に中心側に向いた固定支持台39が設けられており、この固定支持台39に支持軸41と駆動モータ42とが設けられている。駆動モータ42は支持軸41の外周にベアリング40を介して回転自在に設けられた駆動リング43にベルト44によって連結されている。
【0026】
ローラ支持フレームの他端には水平方向ガイド47が設けられており、この水平方向ガイド47に移動支持台48が固定支持台39に向かって進退可能に設けられている。移動支持台48には支持軸49が設けられており、両支持軸41、49は同一の水平線上にある。またローラ支持フレームの他端にはボールスクリュ45に螺合する昇降ブロック46が設けられており、ボールスクリュ45は水平板36に装着されたサーボモータ51によって回転駆動され、ローラ支持フレーム38を枢支ピン37回りに微回動する。
【0027】
図1はラビング装置に装着するラビングローラの断面図である。ラビングローラ52は外周面に布を貼付する円筒体53を有しており、この円筒体53の両端内側に突出したフランジ54にベアリング55が設けられている。ベアリング55の内周面にはリング状の端部材56が設けられており、この端部材の内周面は、外側に開いた円錐受57となっている。円錐受57の内側には開口58が形成されている。円筒体53の両端にはリング状の凹溝を有するベアリング用止め環59が固着され、端部材56の外側端面には凸条を有するベアリング用止め環59が固着されている。両止め具の凹溝と凸条とは相互に遊嵌してジグザグ状のラビリンス62を形成している。図上右側の止め環59には軸方向に延びる爪64が設けられており、この爪64は駆動リング43のラビングローラ側端面に設けられた爪63に噛合している。なお、駆動リング43の反ラビングローラ側にもラビリンス65が設けられている。
【0028】
固定側支持軸41の先端は円錐受57に嵌合する形の円錐端66を有しており、円錐端66から若干後退した位置に半径方向の貫通孔67が設けられている。この貫通孔67は支持軸41の軸心を通る軸孔68の一端に連通しており、軸孔68の他端は支持軸41の基端面に開口し、図示しない吸引パイプを介して真空ポンプに接続されている。
【0029】
以下ラビング装置の動作について説明する。受台27でラビングローラ52を支持して支持枠の直下に搬送する。移動支持台48を固定支持台39側に移動して、両支持台に設けた支持軸41、49の円錐端66をラビングローラの円錐受57に嵌挿する。これによりラビングローラ52はローラ支持フレーム38にベアリング55を介して挟持されて受台27から浮き上がる。受台27を後退させて準備が完了する。ガラス基板69を旋回テーブル22の上面に真空吸着し、昇降モータ16及び旋回モータ21を駆動して旋回テーブルの高さ及び方向を決める。送りモータ7を駆動してガラス基板を支持枠2側に移動する。旋回軸受を回転して水平板36を所望の角度に旋回し、駆動モータ42でラビングローラ52を回転させる。ガラス基板はラビングローラに摺擦され、その上面に一走方向の微細な溝が形成される。ラビングローラの回転に伴ってベアリング55、55より潤滑油が飛散し、ゴミが発生する。この油やゴミは、支持軸の通孔68を介して機外に排出されるので、ガラス基板の上に油やゴミが飛散することがない。
【0030】
ラビングローラの布が摩耗したら、ラビングローラを交換する。往復台4がホームポジションに復帰していることを確認したあと、旋回軸受を回動してラビングローラ52を運搬レール25と直交させる。次いでラビングローラの直下に受台27を進出させ、ローラ支持フレームの移動側支持軸49を後退させる。これによりラビングローラが両支持軸49から外れ、これに追随して反対側の端部材も支持軸から外れる。ラビングローラを保持した受台をホームポジションに戻し、新たなラビングローラに交換する。
【0031】
受台27を進出させて新たなラビングローラをローラ支持フレームの直下におき、移動側支持軸を進出させる。支持軸の円錐先端66は端部材の円錐凹所71に嵌装し、ラビングローラは若干右方向に移動しながら、両側の支持軸41、49によって挟持される。このとき嵌合部に塵埃が入って両支持軸とラビングローラとの軸心がずれることがある。この場合には、サーボモータ51を駆動して昇降ブロック46を上下動してラビングローラの軸心とガラス基板の上面とを平行にして、再びラビング加工を開始する。
【図面の簡単な説明】
【図1】ラビングローラ及びその支持機構の断面図
【図2】ラビング装置の側面図
【図3】ラビング装置の平面図
【図4】ラビング装置の正面図
【図5】従来のラビングローラ及びその支持機構の断面図
【符号の説明】
22 旋回テーブル
37 枢支ピン
38 ローラ支持フレーム
41 支持軸
43 駆動リング
49 支持軸
51 サーボモータ
52 ラビングローラ
53 円筒体
55 ベアリング
56 端部材
57 円錐受
58 開口
62 ラビリンス
63 爪
64 爪
66 円錐端
67 貫通孔
68 軸孔
A ローラ支持機構
B ローラ駆動機構
C 送り機構
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a rubbing device for a liquid crystal substrate, that is, a device for rubbing an alignment film on the surface of a glass substrate with a rotating roller having a cloth adhered to the peripheral surface.
[0002]
[Prior art]
The rubbing step, which is one of the steps of manufacturing a liquid crystal panel, is a step of rubbing an alignment film on the surface of a glass substrate with a cloth to form fine grooves for aligning liquid crystal molecules. The apparatus used in this step includes a table for vacuum-sucking the glass substrate, a roller with a cloth stuck on its peripheral surface, a supporting and rotating drive mechanism, and a feed mechanism for relatively moving the table and the roller.
[0003]
The glass substrate to be processed is fixed to a table, the orientation of the glass substrate is determined by a table turning device attached to the table, and a gap (rubbing pressure) with a roller is set by an elevating device. The roller is fixed to the rotating shaft with both ends sandwiched, and the degree of parallelism with the glass substrate surface is set by a tilt device, and the sliding direction is set by a roller turning device. By moving the table or the roller by the feeder in this state, the entire surface of the glass substrate is rubbed.
[0004]
The cloth used for rubbing wears in a short time, and when the cloth is worn, the processing accuracy cannot be maintained. Therefore, the rollers must be replaced frequently. In order to facilitate this exchange, the conventional rubbing device is, as shown in FIG. 5, a roller 72 provided with conical recesses 71 at both end axes, and a conical tip of a drive-side spindle 73 provided at a fixed position. A structure is adopted in which the supporting member 74 is sandwiched and supported by a conical tip 76 of a free-rotating spindle 75 provided so as to be able to advance and retreat in the axial direction opposite thereto.
[0005]
The drive-side spindle 73 and the free-rotation spindle 75 are, of course, rotatably supported by bearings 77, and are provided with a motor 78 that drives the drive-side spindle 73 to rotate.
[0006]
When replacing the roller 72, the receiving table 27 is advanced below the roller 72, the free rotation spindle 75 is retracted, the roller 72 is dropped on the receiving table 27, and the receiving table 27 is moved and carried out. The new roller is placed on the cradle 27 and carried between the spindles 73 and 75, and the free-rotation spindle 75 is advanced, whereby the self-centering action by the fitting of the conical recess 71 and the conical tips 74 and 76 is performed. , Are fixed between the spindles 73 and 75.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
Rubbing is a process in which a cloth pasted on the peripheral surface of a roller is line-contacted with a certain width on a glass substrate of a predetermined width, and is processed finely, so the rubbing is performed between the peripheral surface of the cloth and the surface of the glass substrate. The degree of parallelism has a significant effect on the rubbing accuracy and, consequently, the display quality of the liquid crystal panel.
[0008]
On the other hand, the cloth stuck on the roller surface is inevitable to cause undulation in thickness. Therefore, every time the roller is replaced, the parallelism between the table and the peripheral surface of the roller is adjusted, and this adjustment operation requires skilled skills.
[0009]
Conventionally, a glass substrate of about 400 × 500 mm has been used as a glass substrate for a liquid crystal panel. However, productivity has been improved by increasing the size of the panel surface itself and arranging many panels on one substrate and performing simultaneous processing. , Larger substrates have come to be used. However, as the size of the substrate increases, the difficulty of maintaining the parallelism between the surface of the substrate and the surface of the cloth increases at an accelerating rate, and lowers the display quality of the manufactured liquid crystal panel and increases productivity due to an increase in adjustment work load. The problem of reduction occurs.
[0010]
According to the present invention, it is easy to maintain the parallelism between the peripheral surface of the cloth affixed to the roller and the table surface. Therefore, a large-area glass substrate can be rubbed more accurately and efficiently with less work load. The task is to obtain a device.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The rubbing roller of the present invention is mounted on a cylindrical body 53 having a cloth adhered to the outer peripheral surface thereof, and is provided on both inner diameter sides of the cylindrical body via a bearing 55 so as to be rotatable and at least define an axial position inward. It comprises an end member 56 having an outwardly facing cone receiver 57 and a rotation receiver 64 provided at one end of the cylindrical body.
[0012]
A rubbing roller according to a second aspect of the present invention is the rubbing roller having the above-mentioned configuration, wherein the rubbing roller communicates with the inside of the cylindrical body 53 via the inside of the bearing 55, outside the bearing 55 provided at the end of the cylindrical body 53 . A narrow air passage 62 is formed, and at least one of the end members 56 has an opening 58 penetrating in the axial direction.
[0013]
The rubbing device according to the present invention includes a roller support mechanism A for supporting the rubbing roller, a roller drive mechanism B for rotating the rubbing roller, a table 22 for fixing the glass substrate, and a feed moving mechanism C for the table or roller support mechanism A. comprising a roller support mechanism a includes a fixed-side and movable-side support shaft 41, 49 which can advance and retreat in the axial direction with respect to the moving side includes a conical end 66 to the tip cross facing the fixed-side support shaft 41 and 49 A roller support frame 38 that can swing about a pivot shaft 37 that intersects with the table 22 and that is parallel to the surface of the table 22; a tilt amount adjusting unit 51 that adjusts the swing angle of the roller support frame 38 about the pivot shaft 37; In the rubbing apparatus provided with the above, the fixed-side support shaft 41 is non-rotatably fixed to the roller support frame 38, and the movable-side support shaft 49 is Nonrotatably is axially movably mounted, b over La drive mechanism B is driven ring with rotation transmitting end 63 facing the distal end side of the support shaft which is rotatably mounted on the outer periphery of the fixed-side supporting shaft 41 43 is provided. The rubbing device according to the present invention includes the rubbing roller according to claim 1 mounted between the fixed-side and movable-side support shafts 41 and 49, and a rotation receiver 64 of the rubbing roller is attached to the rotation transmission end 63 of the drive ring 43. The glass substrate fixed to the table 22 is rubbed by rotating the rubbing roller by engaging.
[0014]
A rubbing device according to a fourth aspect of the present invention is the rubbing device having the above-described configuration, wherein at least one of the support shafts 41 and 49 is provided with an air suction hole 68 opened at the tip thereof and communicated with an air suction source. The rubbing device according to the fifth aspect is provided with air suction holes 67 and 68 in which the fixed-side support shaft 41 opens on the inner diameter side of the rotation transmitting end 63 of the drive ring 43 and communicates with an air suction source. Things.
[0015]
[Action]
The rubbing process is performed by attaching the rubbing roller according to the first or second aspect of the present invention to the rubbing device according to the third, fourth or fifth aspect of the present invention, and performing the same procedure as in the related art.
[0016]
In the apparatus of the present invention, the rubbing roller 52 is supported at both ends by the non-rotating support shafts 41 and 49, and only the cylindrical body 53 rotates by receiving the rotational force from the drive ring 43 via the rotation receiver 64 and the rotation transmitting end 63. . The end members 56 of the rubbing roller also do not rotate.
[0017]
In the rubbing process, fine grooves are formed by rubbing a glass substrate with a cloth, so that fine dust is generated. If this dust is caught between the roller cone receiver 57 and the conical end 66 of the support shaft when replacing the roller, the roller 52 will be slightly eccentric. In the conventional means in which the two spindles 73 and 75 rotate, the fluctuation of the parallelism and the fluctuation of the gap between the cloth peripheral surface and the substrate glass surface due to the eccentricity occur periodically with the rotation of the roller 52. Even if the adjustment is made, the error cannot be canceled.
[0018]
On the other hand, according to the means of the present invention, even if dust or the like is trapped between the cone receiver 57 and the cone tip 66 and the eccentricity or inclination of the roller 52 occurs, the eccentricity or inclination is static. The adjustment can be canceled by adjusting the amount of elevation of the table and adjusting the tilt amount adjusting means 51 provided in the roller support mechanism. Therefore, the allowable range of the accuracy adjustment is widened and the adjustment work is facilitated, and the accuracy obtained by the adjustment is also increased. Further, since there is no positional fluctuation caused by rotation, machining can be performed more accurately.
[0019]
In the case where the rubbing roller according to the second aspect is mounted on the rubbing device according to the fourth aspect, when the lubricating oil sealed in the bearing interposed in the roller is scattered, the lubricating oil is scattered by the airflow passing through the bearing. Since the oil can be discharged through the inside, there is no possibility that the lubricating oil of the bearings 55 and 55 will be scattered in the processing area, and a higher quality liquid crystal panel can be obtained.
[0020]
Further, when rubbing is performed by mounting the rubbing roller according to claim 1 or 2 on the rubbing device according to claim 5, even if dust is generated due to contact and separation between the rotation receiver 64 and the rotation transmitting end 63, Since the dust is discharged by the air flow, the generation of the dust can be further reduced, and a higher quality liquid crystal panel can be obtained.
[0021]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
2 to 4 show an embodiment of the present invention. The rubbing device of the embodiment has a rectangular base 1 and a gate-shaped support frame 2 erected on the right side of the upper center of the base. At the center of the base 1, two fixed rails 3 extending in the left-right direction are provided. A carriage 4 is movably provided on the fixed rail 3, and a nut member 5 provided on the lower surface of the carriage 4 is screwed into a screw rod 6 mounted between the fixed rails 3. The screw rod is driven forward and reverse by a feed motor 7 built in the base 1.
[0022]
On the upper surface of the carriage 4, the support frame 2 side is an ascending surface 8 having a high inclination angle θ, and two moving rails 9 extending toward the support frame are fixed to the ascending surface 8. On the moving rail 9, an elevator 12 having a downward surface 11 having a low inclination angle θ on the opposite side of the support frame is slidably provided, and a nut member 13 provided on the lower surface of the elevator 12 is provided between the moving rail 9. It is screwed into the mounted screw rod 14. A driven gear 15 is fixed to an end of the screw rod 14 on the support frame side. The driven gear 15 is connected to a driving gear 17 of a lifting motor 16 built in the carriage 4 by an intermediate gear 18.
[0023]
A vertical rotation shaft 19 is provided at the center of the upper surface of the lift table 12, and a bevel gear (not shown) is fixed to a lower end of the rotation shaft 19. This bevel gear meshes with a bevel gear fixed to a drive shaft of a turning motor 21 provided on a side surface of the lift. A rectangular turning table 22 is fixed to the upper end of the rotating shaft 19. A number of through holes 23 in the thickness direction are opened on the upper surface of the turning table, and four immersion holes of the knock pin 24 are opened. The through holes 23 communicate with each other at their lower ends. After the communication, the through holes 23 are connected to a vacuum pump (not shown) so that the glass substrate to be rubbed is sucked to the table.
[0024]
A receiving stand 27 is provided on the transport rail 25 with a slider 26 interposed therebetween, and a receiving device 28 having a recess at the center of the upper surface of the receiving stand is fixed. When the rubbing roller 52 to be described later is replaced, the receiving table 27 advances on the transport rail toward the support frame, receives the rubbing roller that falls, and carries it out of the support frame.
[0025]
The outer ring 33 of the slewing bearing 32 hangs from the center of the top plate 31 of the support frame 2, and a horizontal plate 36 is fixed to the lower surface of the inner ring 34 of the slewing bearing. The support frame is provided with a clamp device 35 for fixing the inner ring. A roller support frame 38 is swingably held at the center of the horizontal plate 36 via a horizontal pivot pin 37. At one end of the roller support frame 38, a fixed support table 39 facing the center side is provided. On the fixed support table 39, a support shaft 41 and a drive motor 42 are provided. The drive motor 42 is connected to a drive ring 43 rotatably provided on the outer periphery of a support shaft 41 via a bearing 40 by a belt 44.
[0026]
A horizontal guide 47 is provided at the other end of the roller support frame, and a movable support 48 is provided on the horizontal guide 47 so as to be able to advance and retreat toward the fixed support 39. The movable support base 48 is provided with a support shaft 49, and both support shafts 41 and 49 are on the same horizontal line. At the other end of the roller support frame, an elevating block 46 screwed to the ball screw 45 is provided. The ball screw 45 is driven to rotate by a servomotor 51 mounted on the horizontal plate 36, and the roller support frame 38 is pivoted. Fine rotation around the support pin 37 is performed.
[0027]
FIG. 1 is a sectional view of a rubbing roller mounted on a rubbing device. The rubbing roller 52 has a cylindrical body 53 to which a cloth is stuck on the outer peripheral surface. A bearing 55 is provided on a flange 54 protruding inside both ends of the cylindrical body 53. A ring-shaped end member 56 is provided on the inner peripheral surface of the bearing 55, and the inner peripheral surface of the end member is a conical receiver 57 that opens outward. An opening 58 is formed inside the cone receiver 57. A bearing retaining ring 59 having a ring-shaped concave groove is fixed to both ends of the cylindrical body 53, and a bearing retaining ring 59 having a ridge is fixed to the outer end surface of the end member 56. The groove and the ridge of both stoppers are loosely fitted to each other to form a zigzag labyrinth 62. The stop ring 59 on the right side in the figure is provided with a claw 64 extending in the axial direction, and this claw 64 meshes with a claw 63 provided on an end surface of the drive ring 43 on the rubbing roller side. A labyrinth 65 is also provided on the drive ring 43 on the side opposite to the rubbing roller.
[0028]
The distal end of the fixed-side support shaft 41 has a conical end 66 shaped to fit into the conical receiver 57, and a radial through hole 67 is provided at a position slightly retreated from the conical end 66. The through hole 67 communicates with one end of a shaft hole 68 passing through the axis of the support shaft 41, and the other end of the shaft hole 68 opens at the base end surface of the support shaft 41, and is connected to a vacuum pump through a suction pipe (not shown). It is connected to the.
[0029]
Hereinafter, the operation of the rubbing device will be described. The rubbing roller 52 is supported by the receiving stand 27 and is conveyed immediately below the support frame. The movable support 48 is moved toward the fixed support 39, and the conical ends 66 of the support shafts 41 and 49 provided on both supports are fitted into the conical receiver 57 of the rubbing roller. As a result, the rubbing roller 52 is nipped by the roller support frame 38 via the bearing 55 and floats from the receiving table 27. The preparation is completed by retracting the cradle 27. The glass substrate 69 is vacuum-sucked on the upper surface of the swivel table 22, and the elevation motor 16 and the swivel motor 21 are driven to determine the height and direction of the swivel table. The glass substrate is moved toward the support frame 2 by driving the feed motor 7. The horizontal bearing 36 is turned to a desired angle by rotating the swing bearing, and the rubbing roller 52 is rotated by the drive motor 42. The glass substrate is rubbed by a rubbing roller, and a fine groove in one running direction is formed on the upper surface thereof. With the rotation of the rubbing roller, lubricating oil is scattered from the bearings 55, 55, and dust is generated. The oil and dust are discharged outside the machine through the through hole 68 of the support shaft, so that the oil and dust are not scattered on the glass substrate.
[0030]
If the rubbing roller cloth is worn, replace the rubbing roller. After confirming that the carriage 4 has returned to the home position, the slewing bearing is rotated to make the rubbing roller 52 orthogonal to the transport rail 25. Next, the receiving table 27 is advanced directly below the rubbing roller, and the moving-side support shaft 49 of the roller support frame is retracted. As a result, the rubbing roller is disengaged from both support shafts 49, and the end member on the opposite side is also disengaged from the support shaft. Return the cradle holding the rubbing roller to the home position and replace it with a new rubbing roller.
[0031]
The receiving table 27 is advanced, a new rubbing roller is placed immediately below the roller support frame, and the moving-side support shaft is advanced. The conical tip 66 of the support shaft is fitted in the conical recess 71 of the end member, and the rubbing roller is nipped by the support shafts 41 and 49 on both sides while slightly moving to the right. At this time, dust may enter the fitting portion and the axes of the two support shafts and the rubbing roller may be shifted. In this case, the servo motor 51 is driven to move the elevating block 46 up and down so that the axis of the rubbing roller is parallel to the upper surface of the glass substrate, and rubbing is started again.
[Brief description of the drawings]
1 is a cross-sectional view of a rubbing roller and a supporting mechanism thereof. FIG. 2 is a side view of a rubbing device. FIG. 3 is a plan view of a rubbing device. FIG. 4 is a front view of a rubbing device. Sectional view of support mechanism [Description of reference numerals]
22 Rotating Table 37 Pivot Pin 38 Roller Support Frame 41 Support Shaft 43 Drive Shaft 49 Support Shaft 51 Servo Motor 52 Rubbing Roller 53 Cylindrical Body 55 Bearing 56 End Member 57 Conical Receiver 58 Opening 62 Labyrinth 63 Claw 64 Claw 66 Cone End 67 Penetration Hole 68 Shaft hole A Roller support mechanism B Roller drive mechanism C Feed mechanism

Claims (5)

外周面に布を貼着した円筒体(53)と、この円筒体の両端内径側にベアリング(55)を介して回転自在かつ少なくとも内側への軸方向位置を規定して装着された外側に向いた円錐受(57)を有する端部材(56)と、前記円筒体の一端に設けられた回転受(64)とを備えた、ラビングローラ。A cylindrical body (53) having a cloth adhered to an outer peripheral surface thereof, and an outer side which is rotatably mounted on both inner diameter sides of the cylindrical body via bearings (55) and has at least an inner axial position defined. A rubbing roller comprising: an end member (56) having a conical receiver (57); and a rotation receiver (64) provided at one end of the cylindrical body. 円筒体(53)の端部に設けたベアリング(55)の軸方向外側に、ベアリング(55)内を経て円筒体(53)の内部に連通する狭い空気流路(62)が形成され、端部材(56)の少なくとも一方は軸方向に貫通する開口(58)を備えている、請求項1記載のラビングローラ。 Axially outwardly of the bearing which is provided at an end portion of the cylinder (53) (55), communicating with the interior of the cylinder (53) via the bearing (55), a narrow air passage (62) is formed, The rubbing roller according to claim 1, wherein at least one of the end members (56) has an opening (58) penetrating in the axial direction. ラビングローラを支持するローラ支持機構(A)と、ラビングローラを回転させるローラ駆動機構(B)と、ガラス基板を固定するテーブル(22)と、テーブルまたはローラ支持機構(A)の送り移動機構(C)とを備え、ローラ支持機構(A)は対向する先端相互に円錐端(66)を備えて移動側が固定側に対して軸方向に進退可能な固定側及び移動側支持軸(41,49)と、支持軸 (41,49) と交叉しかつテーブル (22) の面と平行な枢支軸 (37) まわりに揺動可能なローラ支持フレーム (38) と、ローラ支持フレーム (38) の枢支軸 (37) まわりの揺動角を調整するチルト量調整手段 (51) を備えているラビング装置において、
固定側支持軸(41)はローラ支持フレーム(38)に回転不能に固定され、移動側支持軸(49)は前記ローラ支持フレーム(38)に回転不能かつ軸方向移動自在に装着され、ローラ駆動機構(B)は固定側支持軸(41)の外周に回転可能に装着された当該支持軸の先端側を向く回転伝達端(63)を備えた駆動リング(43)を備えており、請求項1又は2記載のラビングローラを前記固定側と移動側の支持軸 (41,49) 間に装着してガラス基板をラビング加工することを特徴とする、ラビング装置。
A roller supporting mechanism (A) for supporting the rubbing roller, a roller driving mechanism (B) for rotating the rubbing roller, a table (22) for fixing the glass substrate, and a feed moving mechanism (A) for the table or roller supporting mechanism (A). C), the roller support mechanism (A) has a conical end (66) at the opposing ends thereof, and the fixed side and the movable side support shaft (41, A roller support frame (38) intersecting with the support shafts (41 , 49) and swinging around a pivot shaft (37) parallel to the surface of the table (22) ; and a roller support frame (38). in the pivot shaft (37) rubbing apparatus and a tilt amount adjusting means (51) for adjusting the swinging angle around,
The fixed-side support shaft (41) is non-rotatably fixed to the roller support frame (38), and the movable-side support shaft (49) is non-rotatably and axially movably mounted on the roller support frame (38) . It includes a chromatography La drive mechanism (B) drive ring with rotatably mounted rotation transmitting end facing the front end side of the support shaft to the outer periphery (63) of the fixed support shaft (41) (43) 3. A rubbing apparatus, wherein the rubbing roller according to claim 1 or 2 is mounted between the fixed-side and movable-side support shafts (41, 49) to rub the glass substrate .
支持軸(41,49) の少なくとも一方がその先端に開口しかつ空気吸引源に連通された空気吸引孔(68)を備えている、請求項3記載のラビング装置。The rubbing device according to claim 3, wherein at least one of the support shafts (41, 49) is provided with an air suction hole (68) opened at a tip thereof and communicated with an air suction source. 固定側支持軸(41)が前記駆動リング(43)の回転伝達端(63)の内径側に開口しかつ空気吸引源に連通された空気吸引孔(67,68) を備えている、請求項3または4記載のラビング装置。The fixed-side support shaft (41) has an air suction hole (67, 68) opened to the inner diameter side of the rotation transmitting end (63) of the drive ring (43) and communicated with an air suction source. The rubbing device according to 3 or 4.
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