JP3528436B2 - 超音波式流量計及び流速計 - Google Patents
超音波式流量計及び流速計Info
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- JP3528436B2 JP3528436B2 JP16919296A JP16919296A JP3528436B2 JP 3528436 B2 JP3528436 B2 JP 3528436B2 JP 16919296 A JP16919296 A JP 16919296A JP 16919296 A JP16919296 A JP 16919296A JP 3528436 B2 JP3528436 B2 JP 3528436B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波により流量
の計測を行う流量計に関するものである。
の計測を行う流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の計測装置として、図１０
に示すように、矩形の断面を有し、その長辺を垂直方向
に配置した測定流路１をはさんで、一対の超音波振動子
２、３を垂直方向に配置し、超音波振動子２、３間の伝
搬時間差より流量を求めるものがあった。
に示すように、矩形の断面を有し、その長辺を垂直方向
に配置した測定流路１をはさんで、一対の超音波振動子
２、３を垂直方向に配置し、超音波振動子２、３間の伝
搬時間差より流量を求めるものがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この場
合、測定対象となる流体が流れていないときに図１０に
示すＶｆのような対流が生じると、流速をＶｆ・ｃｏｓ
θとして検出するため、誤った計測を行うものであっ
た。
合、測定対象となる流体が流れていないときに図１０に
示すＶｆのような対流が生じると、流速をＶｆ・ｃｏｓ
θとして検出するため、誤った計測を行うものであっ
た。
【０００４】本発明はこのような対流による誤計測の影
響を排除することを目的としている。
響を排除することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本願発明の超音波式流量
計においては、流路を有する流量測定部と、前記流量測
定部を流れる流体の流速を測定する一対の超音波振動子
と、前記超音波振動子で測定された流速を基に流量を算
出する流量演算部とを具備し、前記流量測定部は、扁平
な矩形断面であって、長辺側が水平になるように位置設
定し、前記超音波振動子を前記流量測定部の短辺側に設
け、前記流路を通過する流れに対してほぼ垂直方向の対
流による測定への影響を抑制するものである。
計においては、流路を有する流量測定部と、前記流量測
定部を流れる流体の流速を測定する一対の超音波振動子
と、前記超音波振動子で測定された流速を基に流量を算
出する流量演算部とを具備し、前記流量測定部は、扁平
な矩形断面であって、長辺側が水平になるように位置設
定し、前記超音波振動子を前記流量測定部の短辺側に設
け、前記流路を通過する流れに対してほぼ垂直方向の対
流による測定への影響を抑制するものである。
【０００６】この本発明によれば、速度成分を高精度に
計測することができるものである。
計測することができるものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は上記目的を達成するため
に、流量測定部と、前記流量測定部を流れる流体の流速
を測定する一対の超音波振動子と、前記超音波振動子で
測定された流速を基に流量を算出する流量演算部とを具
備し、前記流量測定部は、対流が抑制される構成とした
ものであり、前記対流抑制手段としては、流量測定部を
扁平な矩形断面とするとともに、長辺側が水平になるよ
うに位置設定し、超音波振動子の超音波伝搬が長辺と平
行になされるようにしたり、流量測定部を断熱構成とす
ることが考えられるであろう。
に、流量測定部と、前記流量測定部を流れる流体の流速
を測定する一対の超音波振動子と、前記超音波振動子で
測定された流速を基に流量を算出する流量演算部とを具
備し、前記流量測定部は、対流が抑制される構成とした
ものであり、前記対流抑制手段としては、流量測定部を
扁平な矩形断面とするとともに、長辺側が水平になるよ
うに位置設定し、超音波振動子の超音波伝搬が長辺と平
行になされるようにしたり、流量測定部を断熱構成とす
ることが考えられるであろう。
【０００８】また、仮に、対流が生じたときのことを考
慮して、その対流に起因する流体の流速が計測最小流速
以下になるように設定したり、或いは、対流に起因する
流体の流速が計測最小流速以下になるように流量測定部
の断面積を設定しておけば、計測に実質影響を及ぼさな
いこととなる。
慮して、その対流に起因する流体の流速が計測最小流速
以下になるように設定したり、或いは、対流に起因する
流体の流速が計測最小流速以下になるように流量測定部
の断面積を設定しておけば、計測に実質影響を及ぼさな
いこととなる。
【０００９】そして、流量測定部の上下の温度により対
流判定を行うようにすることもあり得る。
流判定を行うようにすることもあり得る。
【００１０】さらに、流路と、この流路を流れる流体の
流速を測定する一対の超音波振動子とを具備し、前記流
路は、対流が抑制される構成とした超音波式流速計への
展開も十分考えられる。
流速を測定する一対の超音波振動子とを具備し、前記流
路は、対流が抑制される構成とした超音波式流速計への
展開も十分考えられる。
【００１１】（実施例１）
以下、本発明の第１の実施例を図１、２、３を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
【００１２】図１において、４は流量測定部であり、５
はその流路である。流路５は矩形断面を有している。ま
た、流量測定部４は矩形断面の長辺４ａが水平になるよ
う配置されている。６、７は超音波振動子であり、その
超音波伝搬路ｐが水平になるよう、水平方向に対向配置
されている。８は流量演算部である。
はその流路である。流路５は矩形断面を有している。ま
た、流量測定部４は矩形断面の長辺４ａが水平になるよ
う配置されている。６、７は超音波振動子であり、その
超音波伝搬路ｐが水平になるよう、水平方向に対向配置
されている。８は流量演算部である。
【００１３】図２はこの流量測定部４を組込んだ装置９
を示している。図２において、１０は流量測定部４の上
流に設けられた上流室、１１は流量測定部４の下流に設
けられた下流室である。１２は上流室１０に接続された
入口部、１３は下流室１１に接続された出口部である。
を示している。図２において、１０は流量測定部４の上
流に設けられた上流室、１１は流量測定部４の下流に設
けられた下流室である。１２は上流室１０に接続された
入口部、１３は下流室１１に接続された出口部である。
【００１４】図３は、第一、および第二の超音波振動子
６、および７からの信号を受けて流量演算を行う流量演
算部８を示している。図３において、１４はスタート信
号発生部、１５は送信部、１６は受信部である。１７は
切換部である。
６、および７からの信号を受けて流量演算を行う流量演
算部８を示している。図３において、１４はスタート信
号発生部、１５は送信部、１６は受信部である。１７は
切換部である。
【００１５】送信部１５はトリガ信号発生部１８、およ
び発振部１９から成立っている。受信部１６は受信信号
の増幅部２０、および基準値との比較部２１から成立っ
ている。２２は繰返し部であり、２３は計時部、２４は
演算部である。
び発振部１９から成立っている。受信部１６は受信信号
の増幅部２０、および基準値との比較部２１から成立っ
ている。２２は繰返し部であり、２３は計時部、２４は
演算部である。
【００１６】次に作動を述べる。流体は入口部１２より
流入し、上流室１０を経た後、流量測定部４に入り、そ
の後下流室１１を経て、出口部１３より流出する。この
ような状態でスタート信号発生部１４から信号が入る
と、トリガ信号発生部１８が働き、発振部１９により信
号が切換部１７に送られる。
流入し、上流室１０を経た後、流量測定部４に入り、そ
の後下流室１１を経て、出口部１３より流出する。この
ような状態でスタート信号発生部１４から信号が入る
と、トリガ信号発生部１８が働き、発振部１９により信
号が切換部１７に送られる。
【００１７】この切換部１７は、当初は第一の超音波振
動子６に送信部１５が、第二の超音波振動子７に受信部
１６が接続される様設定されている。従って、上記トリ
ガ信号により第一の超音波振動子６より超音波信号が流
量測定部４内に発せられる。
動子６に送信部１５が、第二の超音波振動子７に受信部
１６が接続される様設定されている。従って、上記トリ
ガ信号により第一の超音波振動子６より超音波信号が流
量測定部４内に発せられる。
【００１８】この信号は第２の超音波振動子７により受
けられ、増幅部２０により増幅され、比較部２１にて基
準信号と比較される。この過程は繰返し部２２で設定さ
れた回数だけ行われた後、計時部２３に信号を送る。
けられ、増幅部２０により増幅され、比較部２１にて基
準信号と比較される。この過程は繰返し部２２で設定さ
れた回数だけ行われた後、計時部２３に信号を送る。
【００１９】計時部２３では、トリガ信号発生からこの
とき送られた信号までの経過時間（Ｔ１）を計時する。
また、一方、所定回数の繰返しが終了すると、繰返し部
２２から切換え部１７へ信号が送られ、送信部１５を第
２の超音波振動子７に、受信部１６を第１の超音波振動
子６に接続する。
とき送られた信号までの経過時間（Ｔ１）を計時する。
また、一方、所定回数の繰返しが終了すると、繰返し部
２２から切換え部１７へ信号が送られ、送信部１５を第
２の超音波振動子７に、受信部１６を第１の超音波振動
子６に接続する。
【００２０】また、これと同時に、再度トリガ信号発生
部１８への駆動信号も送られる。これにより、上記と同
様の動作が流れと逆方向に対して行われ、経過時間（Ｔ
２）が計測される。このようにして測定された経過時間
Ｔ１，およびＴ２をもとに以下の演算式により演算部２
４にて流量が算出される。
部１８への駆動信号も送られる。これにより、上記と同
様の動作が流れと逆方向に対して行われ、経過時間（Ｔ
２）が計測される。このようにして測定された経過時間
Ｔ１，およびＴ２をもとに以下の演算式により演算部２
４にて流量が算出される。
【００２１】いま、測定すべき流れと超音波伝搬経路と
のなす角をθとし、また流量測定部の長さをＬとする
と、流速ｖが以下の式にて算出される。
のなす角をθとし、また流量測定部の長さをＬとする
と、流速ｖが以下の式にて算出される。
【００２２】
ｖ＝（Ｌ／２ｃｏｓθ）（（１／Ｔ１）−（１／Ｔ２））
これにより求めた流速ｖと流量測定部４の断面積ｓよ
り、流量Ｑは下式にて算出される。
り、流量Ｑは下式にて算出される。
【００２３】Ｑ＝ｋｖｓここで、ｋは流速ｖを断面積ｓ
における平均流速に変換するための換算係数である。上
記説明でＴ１およびＴ２の計測は繰返し行ったが、精度
の良い計測が行われる場合は一回でも良い。
における平均流速に変換するための換算係数である。上
記説明でＴ１およびＴ２の計測は繰返し行ったが、精度
の良い計測が行われる場合は一回でも良い。
【００２４】ここで、図１に示すごとく、測定すべき流
れが生じていないときに、対流による流れａが垂直方向
に発生したとする。この場合には流量測定部４は、その
長辺４ａが水平になるよう配置されており、また、第一
および第二の超音波振動子６、７の超音波伝搬路ｐが水
平方向になるよう配置されているため、対流による流れ
ａが生じても、上昇気流による流速ベクトルＶａは超音
波伝搬路ｐと直交するためその速度成分を誤計測するこ
とはない。
れが生じていないときに、対流による流れａが垂直方向
に発生したとする。この場合には流量測定部４は、その
長辺４ａが水平になるよう配置されており、また、第一
および第二の超音波振動子６、７の超音波伝搬路ｐが水
平方向になるよう配置されているため、対流による流れ
ａが生じても、上昇気流による流速ベクトルＶａは超音
波伝搬路ｐと直交するためその速度成分を誤計測するこ
とはない。
【００２５】（実施例２）
次に本発明の第２の実施例について説明する。図４にお
いて（ａ）は流量測定部４の垂直断面図、（ｂ）は水平
断面図である。２５は流路５の上部壁、２６は下部壁で
ある。流路５の高さ（ｈ）は、上部壁２５と下部壁２６
に最大の温度差が生じた場合を想定して設定してある。
いて（ａ）は流量測定部４の垂直断面図、（ｂ）は水平
断面図である。２５は流路５の上部壁、２６は下部壁で
ある。流路５の高さ（ｈ）は、上部壁２５と下部壁２６
に最大の温度差が生じた場合を想定して設定してある。
【００２６】すなわち、このとき生じる対流Ｖが超音波
伝搬路ｐをよぎるときの流速をＶｂとし、この値と、計
測最小流速Ｖｍｉｎとの関係が以下の式を満たすように
設定されている。
伝搬路ｐをよぎるときの流速をＶｂとし、この値と、計
測最小流速Ｖｍｉｎとの関係が以下の式を満たすように
設定されている。
【００２７】Ｖｂ＜Ｖｍｉｎ
次に作動を述べる。上記のような設定になっているた
め、測定すべき流れが生じていないときに、対流による
流れが発生しても、測定される流速値は計測最小流速以
下となるため、対流誤差として排除される。
め、測定すべき流れが生じていないときに、対流による
流れが発生しても、測定される流速値は計測最小流速以
下となるため、対流誤差として排除される。
【００２８】（実施例３）
次に第３の実施例について説明する。図５において、２
７は流量測定部であり、２８はその流路である。流路２
８は矩形断面を有している。２９、３０は超音波振動子
である。３１は流入路、３２は絞り部、３３は流出路、
３４は拡大部である。なお、その他の部分は第一の実施
例と同一ゆえ省略する。この場合、流路２８の断面積
（ｓ）は、下記の式を満たすように設定されている。
７は流量測定部であり、２８はその流路である。流路２
８は矩形断面を有している。２９、３０は超音波振動子
である。３１は流入路、３２は絞り部、３３は流出路、
３４は拡大部である。なお、その他の部分は第一の実施
例と同一ゆえ省略する。この場合、流路２８の断面積
（ｓ）は、下記の式を満たすように設定されている。
【００２９】Ｑｍｉｎ／ｓ＝Ｖｍｉｎ＞Ｖｃ
ただし、ここでＱｍｉｎは測定最小流量、Ｖｃは対流に
より生じ得る流速値である。また、流路断面積（ｓ）は
次式で規定される。
より生じ得る流速値である。また、流路断面積（ｓ）は
次式で規定される。
【００３０】ｓ＝ｗ・ｈ
ただし、ここでｗは流路幅、ｈは流路高さである。
【００３１】次に作動を述べる。上記のような設定にな
っているため、測定すべき流れが生じていないときに、
対流による流れが発生しても、測定される流速値は計測
最小流速以下となるため、対流誤差として排除される。
っているため、測定すべき流れが生じていないときに、
対流による流れが発生しても、測定される流速値は計測
最小流速以下となるため、対流誤差として排除される。
【００３２】（実施例４）
次に第４の実施例について説明する。図６において、３
５は流量測定部であり、３６はその流路、３７、３８は
超音波振動子である。３９は流路３６を形成している流
路壁、４０は断熱材であり、流路壁３９の外周を覆って
いる。なお、その他の部分は第一の実施例と同一ゆえ省
略する。
５は流量測定部であり、３６はその流路、３７、３８は
超音波振動子である。３９は流路３６を形成している流
路壁、４０は断熱材であり、流路壁３９の外周を覆って
いる。なお、その他の部分は第一の実施例と同一ゆえ省
略する。
【００３３】次に作動を述べる。この場合は、流路３６
の外周全体が断熱材４０で覆われているため、流量測定
部３５内において対流が生じにくい状態になっている。
したがって、測定すべき流れが生じていないときに、対
流の発生が抑制され、対流誤差を生じる恐れがない。
の外周全体が断熱材４０で覆われているため、流量測定
部３５内において対流が生じにくい状態になっている。
したがって、測定すべき流れが生じていないときに、対
流の発生が抑制され、対流誤差を生じる恐れがない。
【００３４】（実施例５）
次に第５の実施例について説明する。図７において、４
１は上部壁２５近傍に取付けられた温度センサであり、
４２は下部壁２６近傍に取付けられた温度センサであ
る。その他は図１と同一ゆえ省略する。図８において４
３は対流判定演算部であり、温度センサ４１、４２の温
度差に対応して生じると推定される対流流速のテーブル
が蓄積されている。その他は図３と同一ゆえ省略する。
１は上部壁２５近傍に取付けられた温度センサであり、
４２は下部壁２６近傍に取付けられた温度センサであ
る。その他は図１と同一ゆえ省略する。図８において４
３は対流判定演算部であり、温度センサ４１、４２の温
度差に対応して生じると推定される対流流速のテーブル
が蓄積されている。その他は図３と同一ゆえ省略する。
【００３５】次に作動を述べる。この場合は、流路５内
の温度差を温度センサ４１、４２が検知し、対流判定演
算部４３において、あらかじめ蓄積された対流による流
速推定テーブルが参照される。この値を演算部２４から
の値と比較し、対流による影響が大きいと見なされる場
合にはこの値を排除する。
の温度差を温度センサ４１、４２が検知し、対流判定演
算部４３において、あらかじめ蓄積された対流による流
速推定テーブルが参照される。この値を演算部２４から
の値と比較し、対流による影響が大きいと見なされる場
合にはこの値を排除する。
【００３６】（実施例６）
次に第６の実施例について説明する。図９において、４
４は流量測定部であり、４５はその流路である。４６は
上部壁であり、４７は下部壁である。４８は上部壁４６
に取付けられた超音波振動子、４９は下部壁４７に取付
けられた超音波振動子である。超音波振動子４８は、超
音波振動子４９より上流側に取付けられている。なお、
その他の部分は第１の実施例と同一ゆえ省略する。
４は流量測定部であり、４５はその流路である。４６は
上部壁であり、４７は下部壁である。４８は上部壁４６
に取付けられた超音波振動子、４９は下部壁４７に取付
けられた超音波振動子である。超音波振動子４８は、超
音波振動子４９より上流側に取付けられている。なお、
その他の部分は第１の実施例と同一ゆえ省略する。
【００３７】次に作動を述べる。この場合、超音波伝搬
路ｑは上流から下方に向かう。したがって、流路４５内
において対流Ｖｄが発生した場合には負の流速として測
定される。これにより、流れが無い場合の測定に際して
測定値に負の値が生じたときは、対流が生じているとし
てこれを排除することができる。
路ｑは上流から下方に向かう。したがって、流路４５内
において対流Ｖｄが発生した場合には負の流速として測
定される。これにより、流れが無い場合の測定に際して
測定値に負の値が生じたときは、対流が生じているとし
てこれを排除することができる。
【００３８】なお、本発明における信号処理は１チップ
マイコン等のマイクロコンピュータを用いて、ソフトウ
エア的に実現することも可能である。また、本発明にお
ける流量演算は流速測定を基にして行うものであるか
ら、本発明に記載した方法は、超音波流速計においても
適用できるものである。
マイコン等のマイクロコンピュータを用いて、ソフトウ
エア的に実現することも可能である。また、本発明にお
ける流量演算は流速測定を基にして行うものであるか
ら、本発明に記載した方法は、超音波流速計においても
適用できるものである。
【００３９】以上のように前記した実施例の効果を総括
的に述べてば以下の通りとなる。
的に述べてば以下の通りとなる。
【００４０】（１）矩形断面をした流量測定部の長辺方
向が水平になるように配置し、また、超音波振動子を、
その超音波伝搬路が水平方向になるよう対向配置するこ
とにより、対流による流れが生じても上昇気流による流
速ベクトルが超音波伝搬路と直交するため、その速度成
分を誤計測することはない。
向が水平になるように配置し、また、超音波振動子を、
その超音波伝搬路が水平方向になるよう対向配置するこ
とにより、対流による流れが生じても上昇気流による流
速ベクトルが超音波伝搬路と直交するため、その速度成
分を誤計測することはない。
【００４１】（２）流量測定部の長辺方向を水平になる
よう配置し、また、流量測定部断面の高さを流路内で生
じる対流が測定に影響を与えない様な値に設定すること
により、測定すべき流れが生じていないときに対流によ
る流れが発生しても、測定される流速値が計測最小流速
以下となるため、対流誤差として排除される。
よう配置し、また、流量測定部断面の高さを流路内で生
じる対流が測定に影響を与えない様な値に設定すること
により、測定すべき流れが生じていないときに対流によ
る流れが発生しても、測定される流速値が計測最小流速
以下となるため、対流誤差として排除される。
【００４２】（３）流量測定部の断面積として、その測
定最小流量時の流速が対流により生じる流速よりも大き
くなるように設定することにより、測定すべき流れが生
じていないときに、対流による流れが発生しても測定さ
れる流速値は計測最小流速以下となるため対流誤差とし
て排除される。
定最小流量時の流速が対流により生じる流速よりも大き
くなるように設定することにより、測定すべき流れが生
じていないときに、対流による流れが発生しても測定さ
れる流速値は計測最小流速以下となるため対流誤差とし
て排除される。
【００４３】（４）流量測定部の外周全体を断熱材で覆
うことにより、流量測定部内において対流が生じにくい
状態になり対流の発生が抑制され、対流誤差を生じる恐
れがない。
うことにより、流量測定部内において対流が生じにくい
状態になり対流の発生が抑制され、対流誤差を生じる恐
れがない。
【００４４】（５）流量測定部に配置された少なくとも
２個の温度センサと、前記温度センサからの信号により
対流生成の判定を行う判定部を設置することにより、対
流による影響が大きいと判断されるデータを棄却するこ
とができる。
２個の温度センサと、前記温度センサからの信号により
対流生成の判定を行う判定部を設置することにより、対
流による影響が大きいと判断されるデータを棄却するこ
とができる。
【００４５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、対流に起
因する誤計測をなくし、信頼性の高い超音波式の計測計
を提供できるものである。
因する誤計測をなくし、信頼性の高い超音波式の計測計
を提供できるものである。
【図１】本発明の第１の実施例の超音波流量計の斜視図
【図２】同流量計を組込んだ装置の垂直断面図
【図３】同流量計における流量演算部の制御ブロック図
【図４】（ａ）本発明の第２の実施例の超音波流量計に
おける垂直断面図 （ｂ）同流量計における水平断面図
おける垂直断面図 （ｂ）同流量計における水平断面図
【図５】本発明の第３の実施例の超音波流量計における
水平断面図
水平断面図
【図６】本発明の第４の実施例の超音波流量計における
断面図
断面図
【図７】本発明の第５の実施例の超音波流量計における
斜視図
斜視図
【図８】同流量計における流量演算部の制御ブロック図
【図９】本発明の第６の実施例の超音波流量計における
一部切欠斜視図
一部切欠斜視図
【図１０】従来の超音波流量計の一部切欠斜視図
４ 流量測定部
４ａ 長辺
６ 第一の超音波振動子
７ 第二の超音波振動子
８ 流量演算部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平６−249690（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−105776（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−80130（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01F 1/00 - 9/02
Claims (5)
- 【請求項１】 流路を有する流量測定部と、前記流量測
定部を流れる流体の流速を測定する一対の超音波振動子
と、前記超音波振動子で測定された流速を基に流量を算
出する流量演算部とを具備し、前記流量測定部は、扁平
な矩形断面であって、長辺側が水平になるように位置設
定し、前記超音波振動子を前記流量測定部の短辺側に設
け、前記流路を通過する流れに対してほぼ垂直方向の対
流による測定への影響を抑制する超音波式流量計。 - 【請求項２】 対流が生じたときの流体の流速が計測最
小流速以下になるように設定した請求項１記載の超音波
式流量計。 - 【請求項３】 対流が生じたときの流体の流速が計測最
小流速以下になるように流量測定部の断面積を設定した
請求項１記載の超音波式流量計。 - 【請求項４】 流量測定部の上下の温度により対流判定
を行うようにした請求項１記載の超音波式流量計。 - 【請求項５】 流路を有する流量測定部と、前記流量測
定部を流れる流体の流速を測定する一対の超音波振動子
と、前記超音波振動子で測定された流速を基に流量を算
出する流量演算部とを具備し、前記流量測定部は、扁平
な矩形断面であって、長辺側が水平になるように位置設
定し、前記超音波振動子を前記流量測定部の短辺側に設
け、前記流路を通過する流れに対してほぼ垂直方向の対
流による測定への影響を抑制する超音波式流速計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16919296A JP3528436B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 超音波式流量計及び流速計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16919296A JP3528436B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 超音波式流量計及び流速計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1019618A JPH1019618A (ja) | 1998-01-23 |
| JP3528436B2 true JP3528436B2 (ja) | 2004-05-17 |
Family
ID=15881939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16919296A Expired - Lifetime JP3528436B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 超音波式流量計及び流速計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3528436B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4697212B2 (ja) * | 2007-10-22 | 2011-06-08 | パナソニック株式会社 | 超音波流量計 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2895704B2 (ja) * | 1993-03-01 | 1999-05-24 | 株式会社オーバル | 超音波流量計 |
| JP2589318Y2 (ja) * | 1993-04-24 | 1999-01-27 | 株式会社エステック | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
| JP3229138B2 (ja) * | 1994-10-06 | 2001-11-12 | 日本エム・ケー・エス株式会社 | 質量流量センサ |
-
1996
- 1996-06-28 JP JP16919296A patent/JP3528436B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1019618A (ja) | 1998-01-23 |
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