[go: up one dir, main page]

JP3509627B2 - Pressure detector - Google Patents

Pressure detector

Info

Publication number
JP3509627B2
JP3509627B2 JP14532899A JP14532899A JP3509627B2 JP 3509627 B2 JP3509627 B2 JP 3509627B2 JP 14532899 A JP14532899 A JP 14532899A JP 14532899 A JP14532899 A JP 14532899A JP 3509627 B2 JP3509627 B2 JP 3509627B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
pressure
main body
protrusion
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP14532899A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000337988A (en
Inventor
正寿 徳永
精一郎 大竹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP14532899A priority Critical patent/JP3509627B2/en
Priority to FR0006498A priority patent/FR2794240B1/en
Priority to DE2000125322 priority patent/DE10025322A1/en
Publication of JP2000337988A publication Critical patent/JP2000337988A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3509627B2 publication Critical patent/JP3509627B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061Electrical connection means
    • G01L19/0084Electrical connection means to the outside of the housing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • G01L19/142Multiple part housings
    • G01L19/143Two part housings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力検出用のセン
サ素子が配設された樹脂製の第1のケースに第2のケー
スを接続してなる圧力検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure detecting device in which a second case is connected to a first case made of resin in which a sensor element for detecting pressure is arranged.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、この種の圧力検出装置としては、
図3に概略断面構成として示すような圧力センサが実用
化されており、主に自動車用のエアコン冷媒圧力やパワ
ーステアリング油圧など、おおよそ検出圧力が0〜10
MPaの範囲で使用されている。
2. Description of the Related Art Currently, as a pressure detecting device of this kind,
A pressure sensor as shown in FIG. 3 as a schematic cross-sectional structure has been put into practical use, and the detected pressure is approximately 0 to 10 such as the pressure of air conditioner refrigerant for automobiles and power steering hydraulic pressure.
Used in the MPa range.

【0003】このものは、信号取り出し用のターミナル
J1がインサート成形された樹脂ケース(第1のケー
ス)J2と金属製のハウジング(第2のケース)J3と
を接続して一体に組み付けるとともに、樹脂ケース(第
1のケース)J2内に圧力検出用のセンサ素子J4を収
納保持した構成を有する。また、ハウジングJ3の圧力
導入孔J32は、センサ素子J4に印加するための高圧
の測定圧力をセンサ内に導入するための孔である。
In this case, a resin case (first case) J2 in which a signal taking-out terminal J1 is insert-molded and a metal housing (second case) J3 are connected and assembled together, and a resin The case (first case) J2 has a structure in which a sensor element J4 for pressure detection is housed and held. Further, the pressure introduction hole J32 of the housing J3 is a hole for introducing a high measurement pressure to be applied to the sensor element J4 into the sensor.

【0004】ここで、樹脂ケースJ2とハウジングJ3
の接続は、かしめ固定によりなされている。樹脂ケース
J2は、図3中の上下方向に延びる略柱状の本体部(セ
ンサ素子配設部)J21とこの本体部J21の外周側面
から突出する突出部(接続部)J22とを備え、ハウジ
ングJ3の端部J31が、この突出部J22の側面J2
3に係止するように、折り曲げられかしめられている。
Here, the resin case J2 and the housing J3
The connection is made by caulking. The resin case J2 includes a substantially columnar main body portion (sensor element disposition portion) J21 extending in the vertical direction in FIG. 3 and a protrusion portion (connection portion) J22 protruding from the outer peripheral side surface of the main body portion J21, and a housing J3. The end portion J31 of the side surface J2 of the protruding portion J22.
It is bent and crimped so as to be locked at 3.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来構
成の圧力検出装置(圧力センサ)においては、樹脂ケー
スJ2は、測定圧力によってハウジングJ3から離れる
方向(図3の上方向)に押される。このとき、樹脂ケー
スJ2における突出部J22の根元部J25に対して応
力が加わる。
By the way, in the pressure detecting device (pressure sensor) of the above-mentioned conventional structure, the resin case J2 is pushed by the measured pressure in the direction away from the housing J3 (upward direction in FIG. 3). At this time, stress is applied to the root portion J25 of the protruding portion J22 in the resin case J2.

【0006】上記圧力センサの樹脂ケースJ2において
は、本体部J21の外周側面J24と突出部J22の上
記側面J23との成す角度θ1が、図3の様に直角にな
っているため、その根元部J25に、応力が集中する。
In the resin case J2 of the pressure sensor, the angle θ1 formed by the outer peripheral side surface J24 of the main body portion J21 and the side surface J23 of the protruding portion J22 is a right angle as shown in FIG. The stress concentrates on J25.

【0007】この集中した応力は、樹脂ケースJ2の根
元部J25付近の変形を招き、樹脂ケースJ2側に配設
され、しかも比較的根元部J25近くに位置するセンサ
素子J4のセンサ特性に悪影響を与える恐れがある。更
に、場合によっては、この集中した応力によって樹脂ケ
ースJ2自身の破壊に至ることがある。
The concentrated stress causes deformation of the resin case J2 in the vicinity of the root portion J25, which adversely affects the sensor characteristics of the sensor element J4 disposed on the resin case J2 side and located relatively near the root portion J25. May give. Further, in some cases, the concentrated stress may lead to the destruction of the resin case J2 itself.

【0008】特に、上記従来の圧力センサを、ブレーキ
油圧や高圧力の燃料圧といった別の用途に使用すること
を考えた場合、検出圧力が0〜20MPaといったより
高い圧力まで使用されるため、これらの問題はより生じ
易い。
In particular, when the conventional pressure sensor is considered to be used for another application such as a brake oil pressure or a high fuel pressure, the detected pressure is used up to a higher pressure such as 0 to 20 MPa. Is more likely to occur.

【0009】また、樹脂ケースJ2は、コネクタとし
て、ターミナルJ1を介して外部の配線部材に接続され
ることになるが、この外部配線部材からのセンサ取り外
し時に、上記直角な根元部J25に応力集中が発生し、
それによる樹脂ケースJ2自身の破壊や、センサ特性へ
の悪影響の可能性がある。更に、外部からセンサの特に
樹脂ケースJ2に衝撃が加わった場合にも同様の問題が
生じ得る。
Further, the resin case J2 is connected as a connector to an external wiring member via the terminal J1. When the sensor is detached from the external wiring member, stress concentration occurs at the right angle root portion J25. Occurs,
This may damage the resin case J2 itself or adversely affect the sensor characteristics. Further, the same problem may occur when an impact is applied to the sensor, especially the resin case J2, from the outside.

【0010】このように、センサ素子が配設された本体
部の一面から突出する突出部を有する樹脂製の第1のケ
ースに対して、少なくとも該突出部を介して第2のケー
スを接続してなる圧力検出装置においては、突出部の根
元部が直角であるが故に、応力集中による上記の諸問題
が生じる。
As described above, the second case is connected to at least the resin-made first case having the projecting part projecting from one surface of the main body part on which the sensor element is arranged, through the projecting part. In the pressure detecting device formed as described above, since the root portion of the protruding portion has a right angle, the above-mentioned problems due to stress concentration occur.

【0011】そこで、本発明は上記問題に鑑み、圧力検
出装置において、センサ素子が配設された樹脂製の第1
のケースにおける突出部の根元部への応力集中を抑制す
ることにより、上記諸問題を生じ難くすることを目的と
する。
In view of the above problems, the present invention is directed to a pressure detection device, in which a first resin-made first sensor element is provided.
It is an object of the present invention to prevent the above-mentioned problems from occurring by suppressing the stress concentration on the root portion of the projecting portion in the case.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】第1のケースにおける突
出部の根元部に応力が集中しにくくするためには、第2
のケース側から導入された測定圧力を受ける第1のケー
スの受圧面積を小さくすることが考えられる。例えば、
上記図3に示す従来品においては、樹脂ケースJ2の本
体部J21の径を細くすることが考えられるが、樹脂ケ
ースJ2内にはセンサ素子J4やターミナルJ1等が収
納されているため、細くするにも限界がある。
[Means for Solving the Problems] In order to prevent stress from being concentrated on the root portion of the protrusion in the first case,
It is conceivable to reduce the pressure receiving area of the first case that receives the measurement pressure introduced from the case side. For example,
In the conventional product shown in FIG. 3, the diameter of the main body portion J21 of the resin case J2 may be reduced, but since the sensor element J4, the terminal J1 and the like are housed in the resin case J2, the diameter is reduced. There is also a limit.

【0013】そのため、圧力検出装置において、測定圧
力をより高圧化しようとしても、使用可能な圧力範囲が
制限されてしまう。
Therefore, in the pressure detecting device, even if an attempt is made to increase the measurement pressure, the usable pressure range is limited.

【0014】そこで、本発明者等は、第1のケースの受
圧面積を小さくするのとは別に、第1のケースにおける
突出部の根元部構成を工夫することで、応力集中を発生
しにくくさせ得ることに着目し、本発明を創出するに至
った。
Therefore, the inventors of the present invention have made it possible to prevent stress concentration from occurring by devising the root part structure of the protruding portion in the first case, in addition to reducing the pressure receiving area of the first case. Focusing on obtaining the present invention, the present invention has been created.

【0015】即ち、請求項1記載の発明では、圧力検出
用のセンサ素子(1)が配設された本体部(31)及び
該本体部の一面(32)から突出する突出部(33)を
有する樹脂製の第1のケース(3)と、少なくとも該突
出部を介して該第1のケースに接続された第2のケース
(7)とを備え、圧力測定時に前記第2のケース側から
導入される測定圧力によって前記第1のケースが前記第
2のケースから離れる方向に押圧を受ける圧力検出装置
において、該本体部の一面と該本体部の一面から突出方
向に延びる該突出部の側面(34)との成す角度(θ
1)を鈍角としたことを特徴としている。
That is, according to the first aspect of the invention, the body portion (31) on which the sensor element (1) for pressure detection is arranged and the protrusion portion (33) protruding from one surface (32) of the body portion are provided. A first case (3) made of resin and a second case (7) connected to the first case through at least the protrusion, and from the second case side at the time of pressure measurement.
The first case causes the
In the pressure detection device that receives a pressure in the direction away from the case , the angle (θ) formed by one surface of the main body and the side surface (34) of the projection extending from the one surface of the main body in the projection direction.
The feature is that 1) is an obtuse angle.

【0016】本発明によれば、第1のケース(3)にお
ける本体部(31)の一面(32)と該本体部の一面か
ら突出方向に延びる突出部(33)の側面(34)との
成す角度(θ1)を鈍角としているため、該第1のケー
スにおける該突出部の根元部を鈍角なものとでき、従来
の直角である構成に比べて、該根元部への応力集中を抑
制することができる。
According to the present invention, the one surface (32) of the main body portion (31) in the first case (3) and the side surface (34) of the protruding portion (33) extending from the one surface of the main body portion in the protruding direction. Since the formed angle (θ1) is an obtuse angle, the root portion of the protruding portion in the first case can be an obtuse angle, and stress concentration on the root portion can be suppressed as compared with the conventional configuration having a right angle. be able to.

【0017】また、第2のケース(7)を突出部(3
3)を介して第1のケース(3)に接続する構成として
は、請求項2記載の発明のように、該第2のケースの一
部(75)を、該突出部の突出方向における先端面(3
5)から側面(34)に渡って、該先端面と該側面とが
成す角部の形状に沿って折り曲げ、かしめたものとする
ことができる。
Further, the second case (7) is provided with a protrusion (3
As a structure for connecting to the first case (3) via the third part (3), as in the invention according to claim 2, a part (75) of the second case is provided at the tip end in the projecting direction of the projecting portion. Surface (3
From 5) to the side surface (34), it can be bent and crimped along the shape of the corner formed by the tip surface and the side surface.

【0018】また、請求項3記載の発明では、請求項2
の圧力検出装置において、第1のケース(3)、第2の
ケース(7)及びこれら両ケース(3、7)の接続につ
いての具体的構成を提供するものである。
According to the invention described in claim 3, claim 2
In the pressure detecting device, the first case (3), the second case (7), and a specific configuration for connecting the both cases (3, 7) are provided.

【0019】ここで、請求項2及び請求項3の圧力検出
装置のように、第1及び第2のケース(3、7)の接続
をかしめ固定により行うものとした場合において、本発
明者等は、このかしめの折り曲げ角度(θ2)の好適な
範囲を探求した。その結果、通常のかしめに用いられる
材料の降伏応力を考慮すると、図2に示す様に、該かし
めの折り曲げ角度は103°〜133°であれば、かし
め部分に加わる応力を該降伏応力以下とでき、好ましい
こと(請求項4、5の発明)がわかった。
Here, when the first and second cases (3, 7) are connected by caulking and fixing, as in the pressure detecting device according to the second and third aspects, the present inventors Searched for a suitable range of the bending angle (θ2) of this caulking. As a result, considering the yield stress of the material used for ordinary caulking, as shown in FIG. 2, if the bending angle of the caulking is 103 ° to 133 °, the stress applied to the caulking portion is equal to or less than the yield stress. It was found that it was possible and preferable (the inventions of claims 4 and 5 ).

【0020】この範囲を逸脱すると、上述の応力集中に
より、第1のケース(3)の突出部(33)の根元部自
身が破壊する前に、第2のケース(7)においてかしめ
部分が外れたり、破損しやすくなる。また、図2に示す
様に、かしめの折り曲げ角度(θ2)が116°の時、
かしめ部に加わる応力が最も小さく好ましいのである
が、このような応力集中の傾向は、該第1のケースを構
成する樹脂の成形精度等により、幅を持つ。この幅を考
慮すると、より好ましいかしめの折り曲げ角度(θ2)
としては111°〜121°である(請求項の発
明)。
If it deviates from this range, the caulked portion comes off in the second case (7) before the root portion itself of the protrusion (33) of the first case (3) is broken due to the above-mentioned stress concentration. It is also easy to be damaged. In addition, as shown in FIG. 2, when the crimping bending angle (θ2) is 116 °,
Although the stress applied to the caulked portion is the smallest and preferable, such a tendency of stress concentration has a width depending on the molding accuracy of the resin forming the first case and the like. Considering this width, a more preferable crimping bending angle (θ2)
Is 111 ° to 121 ° (the invention of claim 6 ).

【0021】また、上記のように、本体部(31)の一
面(32)と突出部(33)の側面(34)との成す角
度(θ1)は鈍角であるが、その度合は、請求項記載
の発明のように、請求項4〜6に記載のかしめの折り曲
げ角度(θ2)と同じ角度とすることができる。
Further, as described above, the angle (θ1) formed by the one surface (32) of the main body portion (31) and the side surface (34) of the protruding portion (33) is an obtuse angle. As in the invention described in Item 7, it is possible to set the same angle as the bending angle (θ2) of the caulking described in Claims 4 to 6 .

【0022】また、第2のケース(7)としては鉄鋼材
料よりなるものを用いることができ、第1のケース
(3)としてはポリフェニレンサルファイドよりなるも
のを用いることができる。
The second case (7) can be made of a steel material, and the first case (3) can be made of polyphenylene sulfide.

【0023】以上本発明によれば、センサ素子が配設さ
れた樹脂製の第1のケースにおいて、従来直角であった
角度(θ1)を鈍角にするといった非常に簡単な構成を
採用することで、第1のケースにおける突出部の根元部
への応力集中を抑制し、センサ素子への応力の影響抑制
及びケースの破壊防止が可能となる。
As described above, according to the present invention, in the first case made of resin in which the sensor element is arranged, a very simple structure in which the angle (θ1) which has been a right angle in the past is made an obtuse angle is adopted. It is possible to suppress the stress concentration on the root portion of the protruding portion in the first case, suppress the influence of the stress on the sensor element, and prevent the case from being broken.

【0024】なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述
する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一
例である。
The reference numerals in parentheses of the above-mentioned means are examples showing the correspondence with the concrete means described in the embodiments described later.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施形態
について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係
る圧力検出装置(圧力センサ)100の全体概略を示す
断面図である。圧力検出装置100は例えば車両に搭載
されブレーキ油圧や高圧力の燃料圧を検出するものとし
て適用可能である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention shown in the drawings will be described. FIG. 1 is a sectional view showing an overall outline of a pressure detection device (pressure sensor) 100 according to the first embodiment of the present invention. The pressure detection device 100 is applicable, for example, as a device mounted on a vehicle to detect a brake hydraulic pressure or a high pressure fuel pressure.

【0026】圧力信号を電気信号に変換するための圧力
検出用のセンサ素子(集積化センサ素子)1は、ガラス
製の台座2に陽極接合されコネクタケース(本発明でい
う第1のケース)3の一端側に形成された凹部30にシ
リコンゴム等の接着剤にて固定されている。
A sensor element (integrated sensor element) 1 for pressure detection for converting a pressure signal into an electric signal is anodically bonded to a pedestal 2 made of glass, and a connector case (first case in the present invention) 3 Is fixed to the concave portion 30 formed on one end side by an adhesive such as silicon rubber.

【0027】コネクタケース3は、樹脂(本例ではPP
S(ポリフェニレンサルファイド))の型成形により作
られたもので、その内部には、電気信号を出力するため
のコネクタピン4がインサートモールドにより一体成形
されて保持されている。コネクタケース3は、コネクタ
ピン4の一端側を例えばワイヤハーネス(外部配線部
材)(図示せず)を介して外部回路(車両のECU等)
(図示せず)に電気的に接続するための接続部3aを有
し、コネクタピン4の他端側はコネクタケース3の凹部
30にてシリコンゴム等の界面シール剤5にて封止され
ている。
The connector case 3 is made of resin (PP in this example).
It is made by S (polyphenylene sulfide) molding, and the connector pin 4 for outputting an electric signal is integrally molded and held therein by insert molding. The connector case 3 has one end of the connector pin 4 connected to an external circuit (e.g., ECU of a vehicle) via, for example, a wire harness (external wiring member) (not shown).
(Not shown) has a connecting portion 3a for electrical connection, and the other end of the connector pin 4 is sealed in the recess 30 of the connector case 3 with an interface sealant 5 such as silicon rubber. There is.

【0028】また、コネクタケース3の凹部30におい
て、センサ素子1は、コネクタピン4の他端側とワイヤ
ボンディング等により形成されたボンディングワイヤ6
を介して電気的に接続され、センサ素子1からの電気信
号は、ボンディングワイヤ6からコネクタピン4を介し
て、上記外部回路へ伝達されるようになっている。
In the recess 30 of the connector case 3, the sensor element 1 is bonded to the other end side of the connector pin 4 by a bonding wire 6 formed by wire bonding or the like.
, And the electric signal from the sensor element 1 is transmitted from the bonding wire 6 to the external circuit via the connector pin 4.

【0029】ハウジング(本発明でいう第2のケース)
7は、被測定圧(検出圧力)が導入される圧力導入孔7
2と装置を適所に固定するためのネジ部73とを有する
鉄鋼材料等よりなる(例えば炭素鋼にめっきを施したも
の等)の本体部71を備える。
Housing (second case in the present invention)
Reference numeral 7 is a pressure introduction hole 7 through which the measured pressure (detection pressure) is introduced.
2 and a main body 71 made of a steel material (for example, carbon steel plated) having a screw portion 73 for fixing the device in place.

【0030】更に、ハウジング7は、薄い金属(例えば
SUS等)製のシールダイヤフラム8と金属(例えばS
US等)製の押さえ部材(リングウェルド)9が本体部
71に全周溶接され、圧力導入孔72の一端に気密接合
されたものとなっている。
Further, the housing 7 includes a sealing diaphragm 8 made of a thin metal (for example, SUS) and a metal (for example, S).
A pressing member (ring weld) 9 made of US or the like is welded all around the main body portion 71, and hermetically joined to one end of the pressure introducing hole 72.

【0031】コネクタケース3とハウジング7とは、か
しめにて接続固定されており、コネクタケース3の凹部
とハウジング7のシールダイヤフラム8との間で、圧力
検出室10が構成されている。この圧力検出室10には
圧力伝達媒体であり封入液であるオイル11が封入さ
れ、シールダイヤフラム8及び上記界面シール剤5によ
り液封構造を構成している。
The connector case 3 and the housing 7 are connected and fixed by caulking, and a pressure detection chamber 10 is formed between the recess of the connector case 3 and the seal diaphragm 8 of the housing 7. The pressure detection chamber 10 is filled with oil 11, which is a pressure transmission medium and is a filled liquid, and the seal diaphragm 8 and the interface sealant 5 form a liquid-sealed structure.

【0032】ここで、コネクタケース3、ハウジング
7、及びこれら両部材3、7の接続構成について、より
詳細に述べる。
Now, the connector case 3, the housing 7, and the connection structure of these two members 3, 7 will be described in more detail.

【0033】図1に示す様に、コネクタケース3は、セ
ンサ素子1及びコネクタピン4が配設された略柱状の本
体部31、及び本体部31における一端側(凹部30
側)の外周側面(本発明でいう本体部の一面)32か
ら、全周に渡って突出する突出部33を有した構成とな
っている。そして、本体部31の外周側面32と本体部
31の外周側面32から突出方向に延びる突出部33の
側面34との成す角度θ1は、90°よりも大きい鈍角
としている。
As shown in FIG. 1, the connector case 3 has a substantially columnar main body 31 on which the sensor element 1 and the connector pin 4 are arranged, and one end side of the main body 31 (recess 30).
The outer peripheral side surface (one side of the main body portion in the present invention) 32 on the side) has a projecting portion 33 that projects over the entire circumference. The angle θ1 formed by the outer peripheral side surface 32 of the main body 31 and the side surface 34 of the protruding portion 33 extending in the protruding direction from the outer peripheral side surface 32 of the main body 31 is an obtuse angle larger than 90 °.

【0034】また、ハウジング7におけるコネクタケー
ス3との接続側(本発明でいう第2のケースの一端側)
には開口部74が設けられ、この開口部74を塞ぐよう
にコネクタケース3の突出部33が挿入されている。こ
こで、開口部74の開口縁部75が、突出部33の突出
方向における先端面35から側面34に渡って、両面3
4、35が成す角部の形状に沿って折り曲げられ、かし
められている。
The connection side of the housing 7 with the connector case 3 (one end side of the second case in the present invention)
An opening 74 is provided in the opening, and the protruding portion 33 of the connector case 3 is inserted so as to close the opening 74. Here, the opening edge portion 75 of the opening portion 74 extends from the front end surface 35 to the side surface 34 in the projecting direction of the projecting portion 33 to the both sides 3
It is bent and crimped along the shape of the corners formed by 4 and 35.

【0035】このかしめの折り曲げ角度θ2は、後述す
る如く103°〜133°であることが好ましく、より
好ましくは111°〜121°である。
The crimping bending angle θ2 is preferably 103 ° to 133 °, and more preferably 111 ° to 121 °, as described later.

【0036】なお、本実施形態では、図1に示す様に、
突出部33の側面34が、根元部から先端面35との角
部に渡って直線状となっており、上記角度θ1とこの折
り曲げ角度θ2とは略同一としているため、上記角度θ
1の好適な範囲も、折り曲げ角度θ2と同じ範囲であ
る。
In this embodiment, as shown in FIG.
The side surface 34 of the protruding portion 33 is linear from the root portion to the corner portion with the tip end surface 35, and the angle θ1 and the bending angle θ2 are substantially the same, so the angle θ is the same.
The preferable range of 1 is also the same as the bending angle θ2.

【0037】また、コネクタケース3の凹部30とハウ
ジング7のシールダイヤフラム8との間で構成される圧
力検出室10の外周囲には、圧力検出室10を気密封止
するためのOリング12が、コネクタケース3の端面の
うち圧力検出室10の外周囲に位置する部位に形成され
た溝部(Oリング溝)13内に収納され、配設されてい
る。溝部13は、Oリング12の外周形状に対応した形
状を有するリング状のもので、Oリング12は、この溝
部13内に収納され、コネクタケース3とハウジング7
の押さえ部材9とにより挟まれて押圧されている。
An O-ring 12 for hermetically sealing the pressure detecting chamber 10 is provided around the outer periphery of the pressure detecting chamber 10 formed between the recess 30 of the connector case 3 and the seal diaphragm 8 of the housing 7. The connector case 3 is housed and disposed in a groove portion (O-ring groove) 13 formed in a portion of the end surface of the connector case 3 located outside the pressure detection chamber 10. The groove portion 13 has a ring shape having a shape corresponding to the outer peripheral shape of the O-ring 12, and the O-ring 12 is housed in the groove portion 13, and the connector case 3 and the housing 7 are provided.
It is sandwiched by the pressing member 9 and is pressed.

【0038】かかる構成を有する圧力検出装置100の
製造方法について説明する。まず、コネクタケース3を
例えばPPS(ポリフェニレンサルファイド)等の熱可
塑性樹脂を用いて、複数の分割された成形型を用いて成
形する。
A method of manufacturing the pressure detecting device 100 having the above structure will be described. First, the connector case 3 is molded using a plurality of divided molding dies using a thermoplastic resin such as PPS (polyphenylene sulfide).

【0039】次に、成形されたコネクタケース3の凹部
に台座2、センサ素子1を配設し、センサ素子1とコネ
クタピン4とをボンディングワイヤ6により結線した
後、Oリング12を溝部13内部に配置する。そして、
コネクタケース3のセンサ素子1側を上にして、コネク
タケース3の凹部の上方から、ディスペンサ等によりオ
イル11を一定量注入する。
Next, the pedestal 2 and the sensor element 1 are arranged in the recess of the molded connector case 3, the sensor element 1 and the connector pin 4 are connected by the bonding wire 6, and then the O-ring 12 is inserted into the groove portion 13. To place. And
With the sensor element 1 side of the connector case 3 facing upward, a certain amount of oil 11 is injected from above the concave portion of the connector case 3 using a dispenser or the like.

【0040】そして、シールダイヤフラム8が全周溶接
されたハウジング7を、上から水平を保ったままコネク
タケース3に嵌合するように降ろし、コネクタケース3
とハウジング7の押さえ部材9とが十分接するまで押さ
え、ハウジング7の開口部74における開口縁部75を
全周かしめて固定する。こうして、コネクタケース3と
ハウジング7とが組み付けられ、Oリング12によって
シールされた圧力検出室10が形成される。こうして、
図1に示す圧力検出装置100が完成する。
Then, the housing 7 to which the seal diaphragm 8 has been welded all around is lowered from above so that the housing 7 is fitted into the connector case 3 while keeping the same horizontal.
And the pressing member 9 of the housing 7 are sufficiently contacted, and the opening edge portion 75 of the opening portion 74 of the housing 7 is fixed by caulking the entire circumference. In this way, the connector case 3 and the housing 7 are assembled, and the pressure detection chamber 10 sealed by the O-ring 12 is formed. Thus
The pressure detection device 100 shown in FIG. 1 is completed.

【0041】この圧力検出装置100の作動について述
べる。該装置100は、例えば、ハウジング7のネジ部
73及びネジ部73に取り付けられたOリング14によ
って、車両のブレーキオイル配管系の適所に、該配管系
内部と連通するように取り付けられる。そして、該配管
系内の油圧がハウジング7の圧力導入孔72より装置1
00内に導入される。
The operation of the pressure detecting device 100 will be described. The device 100 is mounted, for example, by a threaded portion 73 of the housing 7 and an O-ring 14 mounted on the threaded portion 73 at a proper position of a brake oil piping system of a vehicle so as to communicate with the inside of the piping system. The hydraulic pressure in the piping system is supplied from the pressure introduction hole 72 of the housing 7 to the device 1
It is introduced in 00.

【0042】すると、この油圧がシールダイヤフラム8
から圧力検出室10内のオイル11を介して、センサ素
子1に伝達される。該油圧に応じた圧力(検出圧力)を
受圧したセンサ素子1は、圧力信号を電気信号に変換す
る。この電気信号は、センサ素子1からボンディングワ
イヤ6、コネクタピン4を介して、上記外部回路(車両
のECU等)へ伝達され、ブレーキ油圧が検出される。
Then, this hydraulic pressure is applied to the seal diaphragm 8
Is transmitted to the sensor element 1 via the oil 11 in the pressure detection chamber 10. The sensor element 1 that has received the pressure (detection pressure) corresponding to the hydraulic pressure converts the pressure signal into an electric signal. This electric signal is transmitted from the sensor element 1 to the external circuit (ECU of the vehicle or the like) via the bonding wire 6 and the connector pin 4, and the brake hydraulic pressure is detected.

【0043】ところで、本実施形態によれば、コネクタ
ケース(第1のケース)3における本体部31の外周側
面32と突出部33の側面34との成す角度θ1を鈍角
としているため、コネクタケース3における突出部33
の根元部を鈍角なものとでき、従来の直角である該根元
部の構成に比べて、該根元部への応力集中を抑制するこ
とができる。
By the way, according to the present embodiment, the angle θ1 formed by the outer peripheral side surface 32 of the main body 31 and the side surface 34 of the protruding portion 33 in the connector case (first case) 3 is an obtuse angle. Protrusion 33 at
The root portion can be made obtuse, and stress concentration on the root portion can be suppressed as compared with the conventional configuration of the root portion having a right angle.

【0044】また、本実施形態では、ハウジング(第2
のケース)7を突出部33を介してコネクタケース3に
接続する構成として、ハウジング7の一部である開口部
74における開口縁部75を、突出部33における先端
面35から側面34に渡って、両面34、35が成す角
部の形状に沿って折り曲げ、かしめたものとしているか
ら、特に、別体の接続部材を用いることなく簡単な接続
構成とできる。
Further, in this embodiment, the housing (second
The case) 7 is connected to the connector case 3 via the protrusion 33, and the opening edge 75 of the opening 74, which is a part of the housing 7, extends from the tip surface 35 of the protrusion 33 to the side surface 34. Since they are bent and crimped along the shape of the corners formed by the both surfaces 34, 35, a simple connection configuration can be achieved without using a separate connecting member.

【0045】また、本実施形態では、このかしめ部にお
ける折り曲げ角度θ2の好ましい範囲として103°〜
133°、より好ましい範囲として111°〜121°
としているため、装置の使用時(圧力印加時)及び取り
扱い時(外部配線部材からの取り外しなど)等に、かし
め部分におけるハウジング7に集中する応力を、ハウジ
ング7の降伏応力以下にできる。
Further, in the present embodiment, the preferable range of the bending angle θ2 at the crimped portion is from 103 ° to
133 °, more preferably 111 ° to 121 °
Therefore, the stress concentrated on the housing 7 in the caulked portion can be set to be equal to or lower than the yield stress of the housing 7 when the device is used (when pressure is applied) and when it is handled (removal from the external wiring member).

【0046】よって、本実施形態の如くセンサ素子1が
コネクタケース3側に配設され、しかも突出部33にお
ける根元部近くに位置していても、センサ特性への悪影
響を回避できる。また、装置の使用中に、突出部33の
根元部自身を破壊させることなく、また、かしめ部分の
ゆるみや外れを生じさせることなく、比較的高い圧力
(例えば20MPa)を印加させることが出来る。更に
は、コネクタピン4を介したコネクタケース3と外部配
線部材(図示せず)との着脱時においても、また、外部
からセンサの特にコネクタケース3に衝撃が加わった場
合においても、センサ特性の悪影響やコネクタケース3
の破壊が十分回避できる。
Therefore, even if the sensor element 1 is arranged on the connector case 3 side and is located near the root of the projecting portion 33 as in this embodiment, it is possible to avoid adverse effects on the sensor characteristics. Further, during use of the device, a relatively high pressure (for example, 20 MPa) can be applied without destroying the root portion itself of the protrusion 33 and without causing loosening or disengagement of the caulked portion. Furthermore, even when the connector case 3 and the external wiring member (not shown) are attached / detached via the connector pin 4, and when the sensor, especially the connector case 3 is impacted from the outside, the sensor characteristic Adverse effects and connector case 3
The destruction of can be avoided sufficiently.

【0047】ここで、上記折り曲げ角度θ2における好
ましい範囲を決定した根拠を、図2を参照して述べる。
図2は、本発明者等が、測定圧力の導入時やコネクタケ
ース3の外部配線部材から取り外し時などに、コネクタ
ケース3における突出部33の根元部に加わる荷重(図
1の上方向)を装置100の使用圧力範囲とした場合
の、FEMによるシミュレーション結果である。このシ
ミュレーションにおける材質は、コネクタケース3がP
PS、ハウジング7が鉄鋼材料としてのS10Cであ
る。
Here, the basis for determining the preferable range of the bending angle θ2 will be described with reference to FIG.
FIG. 2 shows the load (upward direction in FIG. 1) applied to the root of the projecting portion 33 in the connector case 3 when the present inventors introduce the measurement pressure or remove the connector case 3 from the external wiring member. 6 is a simulation result by FEM when the operating pressure range of the device 100 is set. The material used in this simulation is P for the connector case 3.
The PS and the housing 7 are S10C as a steel material.

【0048】図2において、横軸は上記折り曲げ角度θ
2(単位:deg)であるが、上述のように、本実施形
態では、上記角度θ1とこの折り曲げ角度θ2とを略同
一としているため、横軸は上記角度θ1の値でもある。
また、縦軸は上記ハウジング7のかしめ部に加わる応力
(単位:MPa)である。また、図2中に示すハッチン
グ付きラインL1は、通常用いられるかしめ材料(本例
ではS10C)の降伏応力である。
In FIG. 2, the horizontal axis represents the bending angle θ.
Although it is 2 (unit: deg), as described above, in the present embodiment, since the angle θ1 and the bending angle θ2 are substantially the same, the horizontal axis is also the value of the angle θ1.
The vertical axis represents the stress (unit: MPa) applied to the crimped portion of the housing 7. The hatched line L1 shown in FIG. 2 is the yield stress of the caulking material (S10C in this example) that is normally used.

【0049】この図2からわかるように、折り曲げ角度
θ2が103°〜133°であれば、該降伏応力L1以
下とでき、かしめ部分の外れや破損を防止することがで
きる。また、かしめの折り曲げ角度θ2が116°の
時、かしめ部に加わる応力が最も小さいのであるが、こ
のような応力集中の傾向はコネクタケース3を構成する
樹脂の成形精度等により、幅を持ち、この幅を考慮する
と、より好ましいかしめの折り曲げ角度θ2としては1
11°〜121°である。
As can be seen from FIG. 2, when the bending angle θ2 is 103 ° to 133 °, the yield stress L1 or less can be achieved, and the caulked portion can be prevented from being detached or damaged. Further, when the bending angle θ2 of the caulking is 116 °, the stress applied to the caulking portion is the smallest, but such a tendency of stress concentration has a width due to the molding accuracy of the resin forming the connector case 3, and the like. Considering this width, a more preferable crimping bending angle θ2 is 1
It is 11 ° to 121 °.

【0050】このような図2に示す傾向は、センサ素子
1が配設された略柱状の本体部31の外周側面32から
突出する突出部33を有してなる樹脂製のコネクタケー
ス3に対し、突出部33を介して(突出部33を利用し
て)ハウジング7をかしめ固定してなる圧力検出装置1
00を想定した場合、この圧力検出装置100全般に言
えるものである。
The tendency shown in FIG. 2 is compared with the resin-made connector case 3 having the protruding portion 33 protruding from the outer peripheral side surface 32 of the substantially columnar main body 31 in which the sensor element 1 is arranged. A pressure detecting device 1 in which the housing 7 is caulked and fixed via the protrusion 33 (using the protrusion 33).
If 00 is assumed, this can be said for the entire pressure detection device 100.

【0051】(他の実施形態)なお、コネクタケース3
とハウジング7との突出部33を介した接続は、かしめ
ではなく、接着剤等を用いた接合により行ってもよい。
また、コネクタケース3は、PPS以外の樹脂であって
もよい。
(Other Embodiments) The connector case 3
The connection between the housing 7 and the housing 7 via the protrusion 33 may be performed by joining using an adhesive or the like, instead of caulking.
The connector case 3 may be made of resin other than PPS.

【0052】要するに、本発明は、センサ素子が配設さ
れた樹脂製の第1のケースにおいて、従来直角であった
上記角度θ1を鈍角にすることで、該第1のケースにお
ける突出部の根元部への応力集中を抑制し、センサ素子
への応力の影響抑制及びケースの破損防止を図ることを
主たる特徴としており、他の構成部分は適宜設計変更し
て良いことは勿論である。
In short, according to the present invention, in the first case made of resin in which the sensor element is arranged, the angle θ1 which has been a right angle in the past is made to be an obtuse angle so that the root of the protruding portion in the first case can be reduced. The main feature is to suppress the stress concentration on the part, to suppress the influence of the stress on the sensor element, and to prevent the case from being damaged. Of course, the other components may be appropriately designed and modified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態に係る圧力検出装置の全体概
略断面図である。
FIG. 1 is an overall schematic cross-sectional view of a pressure detection device according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記実施形態においてかしめ部における折り曲
げ角度θ2と応力との関係を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship between a bending angle θ2 and a stress in a crimped portion in the above embodiment.

【図3】従来の圧力検出装置の全体概略断面図である。FIG. 3 is an overall schematic cross-sectional view of a conventional pressure detection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…センサ素子、3…コネクタケース、7…ハウジン
グ、30…コネクタケースの凹部、31…コネクタケー
スの本体部、32…本体部の外周側面、33…コネクタ
ケースの突出部、34…突出部の側面、35…突出部の
先端面、74…ハウジングの開口部、75…開口部の開
口縁部、θ1…本体部の外周側面と突出部の側面との成
す角度、θ2…かしめの折り曲げ角度。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sensor element, 3 ... Connector case, 7 ... Housing, 30 ... Connector case recessed part, 31 ... Connector case main body part, 32 ... Main body part outer peripheral side surface, 33 ... Connector case projected part, 34 ... Projected part Side surface, 35 ... Tip surface of protruding portion, 74 ... Housing opening portion, 75 ... Opening edge portion of opening portion, θ1 ... Angle formed by outer peripheral side surface of main body portion and side surface of protruding portion, θ2 ... Bending angle of caulking.

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 19/06 G01L 9/04 G12B 17/08 Front page continuation (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01L 19/06 G01L 9/04 G12B 17/08

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧力検出用のセンサ素子(1)が配設さ
れた本体部(31)及び前記本体部の一面(32)から
突出する突出部(33)を有する樹脂製の第1のケース
(3)と、 少なくとも前記突出部を介して前記第1のケースに接続
された第2のケース(7)とを備え、圧力測定時に前記
第2のケース側から導入される測定圧力によって前記第
1のケースが前記第2のケースから離れる方向に押圧を
受ける圧力検出装置において、 前記本体部の前記一面と前記本体部の前記一面から突出
方向に延びる前記突出部の側面(34)との成す角度
(θ1)が鈍角であることを特徴とする圧力検出装置。
1. A first case made of resin having a main body (31) on which a sensor element (1) for pressure detection is arranged and a protrusion (33) protruding from one surface (32) of the main body. (3) and a second case (7) connected to the first case via at least the protrusion ,
According to the measurement pressure introduced from the second case side,
Press the case 1 away from the second case.
In the received pressure detection device, the angle (θ1) formed by the one surface of the main body and the side surface (34) of the projection extending from the one surface of the main body in the projection direction is an obtuse angle. apparatus.
【請求項2】 前記第2のケース(7)の一部(75)
が、前記突出部(33)の突出方向における先端面(3
5)から前記側面(34)に渡って、前記先端面と前記
側面とが成す角部の形状に沿って折り曲げられ、かしめ
られることにより、前記第1のケース(3)に接続され
ていることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装
置。
2. A part (75) of the second case (7).
Is the end surface (3) in the protruding direction of the protruding portion (33).
5) is connected to the first case (3) by being bent and crimped along the shape of the corner formed by the tip end surface and the side surface from the side surface (34) to the side surface (34). The pressure detecting device according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記第1のケース(3)において、前記
本体部(31)は略柱状であり、前記突出部(33)は
前記本体部の一端側にて前記本体部の外周側面(32)
から突出するものであり、 前記センサ素子(1)は、前記本体部の一端側に形成さ
れた凹部(30)に収納固定されたものであり、 前記第2のケース(7)の一端側には開口部(74)が
設けられ、この開口部を塞ぐように前記突出部(33)
が挿入されており、 前記開口部の開口縁部(75)が、前記突出部の前記先
端面(35)から前記側面(34)に渡って、前記先端
面と前記側面とが成す角部の形状に沿って折り曲げら
れ、かしめられていることを特徴とする請求項2に記載
の圧力検出装置。
3. In the first case (3), the body portion (31) has a substantially columnar shape, and the protruding portion (33) is located at one end side of the body portion and has an outer peripheral side surface (32). )
The sensor element (1) is housed and fixed in a recess (30) formed on one end side of the main body portion, and is attached to one end side of the second case (7). Is provided with an opening (74), and the protrusion (33) is provided so as to close the opening.
Is inserted, and the opening edge portion (75) of the opening extends from the tip end surface (35) of the protrusion to the side surface (34), and a corner portion formed by the tip end surface and the side surface is formed. The pressure detection device according to claim 2, wherein the pressure detection device is bent along a shape and crimped.
【請求項4】 前記かしめの折り曲げ角度(θ2)が1
03°〜133°であることを特徴とする請求項2また
は3に記載の圧力検出装置。
4. The bending angle (θ2) of the caulking is 1
It is 03 to 133 degrees, The pressure detection apparatus of Claim 2 or 3 characterized by the above-mentioned.
【請求項5】 圧力検出用のセンサ素子(1)が自身の
凹部(30)内に配設された本体部(31)、及び前記
本体部の一面(32)から突出するとともに突出方向に
おける先端面(35)並びに前記先端面と前記一面とを
接続する側面(34)を含む突出部(33)を有する樹
脂製の第1のケース(3)と、 前記突出部の前記先端面から前記側面に沿って一部(7
5)が折り曲げられ、かしめられることにより、少なく
とも前記突出部を介して前記第1のケースに接続された
第2のケース(7)と を備え、圧力測定時に前記第2の
ケース側から導入される測定圧力によって前記第1のケ
ースが前記第2のケースから離れる方向に押圧を受ける
圧力検出装置において、 前記本体部の前記一面と前記本体部の前記一面から突出
方向に延びる前記突出部の側面(34)との成す角度
(θ1)が鈍角であり、さらに前記かしめの折り曲げ角
度(θ2)が103°〜133°であることを特徴とす
る圧力検出装置。
5. A sensor element (1) for detecting pressure is provided by itself.
A body portion (31) disposed in the recess (30), and
It protrudes from one surface (32) of the main body and
The front end surface (35) and the front end surface and the one surface.
Tree with protrusions (33) including connecting sides (34)
A first case (3) made of oil and a part (7 ) from the tip end surface of the protrusion along the side surface.
Because 5) is bent and crimped,
Both were connected to the first case through the protrusion.
A second case (7) is provided, and the second case (7) is used for pressure measurement.
The first case is measured by the measurement pressure introduced from the case side.
The base is pressed in a direction away from the second case
In the pressure detection device, the one surface of the main body portion and the one surface of the main body portion are projected.
Angle with the side surface (34) of the protrusion extending in the direction
(Θ1) is an obtuse angle, and the bending angle of the caulking is also
The degree (θ2) is 103 ° to 133 °
Pressure detector.
【請求項6】 前記かしめの折り曲げ角度(θ2)が1
11°〜121°であることを特徴とする請求項4また
は5に記載の圧力検出装置。
6. The bending angle (θ2) of the caulking is 1
4. Further, characterized in that it is 11 ° to 121 °
Is a pressure detection device described in 5 .
【請求項7】 前記本体部(31)の前記一面(32)
と前記突出部(33)の前記側面(34)との成す角度
(θ1)が、前記かしめの折り曲げ角度(θ2)と略同
じ角度となっていることを特徴とする請求項4ないし6
のいずれか1つに記載の圧力検出装置。
7. The one surface (32) of the body portion (31)
Said protrusion (33) an angle (.theta.1) formed between the side surface (34) of, for 4 to claim, characterized in that it substantially a same angle as the bending angle of the swaging (.theta.2) and 6
The pressure detection device according to any one of 1 .
【請求項8】 前記第2のケース(7)は鉄鋼材料より
なることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1つ
に記載の圧力検出装置。
Wherein said second casing (7) is a pressure detecting apparatus according to any one of claims 1 to 7, characterized in that consists of steel material.
【請求項9】 前記第1のケース(3)はポリフェニレ
ンサルファイドよりなることを特徴とする請求項1ない
のいずれか1つに記載の圧力検出装置。
Wherein said first casing (3) is a pressure detecting apparatus according to any one of claims 1 <br/> to 8, characterized in that consists of polyphenylene sulfide.
JP14532899A 1999-05-25 1999-05-25 Pressure detector Expired - Fee Related JP3509627B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14532899A JP3509627B2 (en) 1999-05-25 1999-05-25 Pressure detector
FR0006498A FR2794240B1 (en) 1999-05-25 2000-05-22 PRESSURE DETECTION DEVICE
DE2000125322 DE10025322A1 (en) 1999-05-25 2000-05-23 Pressure detection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14532899A JP3509627B2 (en) 1999-05-25 1999-05-25 Pressure detector

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000337988A JP2000337988A (en) 2000-12-08
JP3509627B2 true JP3509627B2 (en) 2004-03-22

Family

ID=15382636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14532899A Expired - Fee Related JP3509627B2 (en) 1999-05-25 1999-05-25 Pressure detector

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP3509627B2 (en)
DE (1) DE10025322A1 (en)
FR (1) FR2794240B1 (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002181649A (en) * 2000-12-15 2002-06-26 Toyoda Mach Works Ltd Pressure sensor and its manufacturing method
JP2003121284A (en) * 2001-10-09 2003-04-23 Toyoda Mach Works Ltd Semiconductor pressure detection device
JP5292687B2 (en) 2006-10-12 2013-09-18 株式会社デンソー Pressure sensor
DE102008046515A1 (en) 2008-09-10 2010-03-18 Continental Automotive Gmbh Sensor housing, particularly for retaining sensor element, has housing body, which comprises recess with two axial ends for penetrating housing body to retain sensor element
DE102010048859A1 (en) * 2010-10-19 2012-05-10 Gm Global Technology Operations Llc (N.D.Ges.D. Staates Delaware) Cooling system for an internal combustion engine, internal combustion engine and motor vehicle with an internal combustion engine
JP2018048964A (en) * 2016-09-23 2018-03-29 株式会社鷺宮製作所 Pressure sensor
CN107907262A (en) * 2017-12-20 2018-04-13 深圳瑞德感知科技有限公司 A kind of MEMS oil-filled pressure transducers for negative pressure measurement

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3198779B2 (en) * 1994-03-04 2001-08-13 株式会社デンソー Manufacturing method of semiconductor pressure detector
CA2145696A1 (en) * 1994-04-15 1995-10-16 Michael F. Mattes Pressure sensor assembly and method of producing the pressure sensor assembly
DE19612964A1 (en) * 1996-04-01 1997-10-02 Bosch Gmbh Robert Pressure sensor and method for manufacturing a pressure sensor
EP0905496A3 (en) * 1997-09-30 1999-10-13 Matsushita Electric Works, Ltd. Pressure sensor

Also Published As

Publication number Publication date
FR2794240B1 (en) 2003-07-04
JP2000337988A (en) 2000-12-08
FR2794240A1 (en) 2000-12-01
DE10025322A1 (en) 2001-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6871546B2 (en) Pressure sensor module with sensor cell and adapter
US6227055B1 (en) Pressure sensor assembly with direct backside sensing
JP2005249595A (en) Pressure sensor
JP3976015B2 (en) Pressure sensor
JP2001296198A (en) Pressure sensor
JP2003294558A (en) Pressure sensor
JP3509627B2 (en) Pressure detector
US6757960B2 (en) Method for manufacturing hermetically sealed pressure detecting apparatus
US6494099B1 (en) Pressure detection apparatus having first and second cases defining pressure detection chamber there between and method of manufacturing the same
KR101297141B1 (en) Pressure sensor and attachment structure of pressure sensor
JP3603772B2 (en) Pressure sensor
US20180003582A1 (en) Device for sensing a pressure of a fluid medium
JP2006145468A (en) Sealing structure of sensor, and sealing method of sensor
JP4747922B2 (en) Welding method
JP3871430B2 (en) Pressure sensor
JP2002098552A (en) Sensor
JP3567877B2 (en) Sensor device
JP3976014B2 (en) Pressure sensor
JP2005214780A (en) Pressure sensor
JP4848909B2 (en) Pressure sensor
JP4442399B2 (en) Pressure sensor and its assembly structure
JP4155204B2 (en) Pressure sensor
JP2005207875A (en) Pressure sensor
JP4412127B2 (en) Manufacturing method of pressure sensor
JP2003294564A (en) Manufacturing method of pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20031209

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20031222

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees