JP3498213B2 - 熱処理炉 - Google Patents
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
- F27B5/06—Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/0043—Muffle furnaces; Retort furnaces
-
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- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に、セラミック
製電子部品を脱脂または本焼成する等の加熱処理に供さ
れる熱処理炉に関し、詳しくは、少なくとも、炉本体
と、炉本体の内部に配置されたヒータと、このヒータの
内側に配置されて被処理物が収納される加熱室を構成す
るマッフルとを含む熱処理炉に関する。
製電子部品を脱脂または本焼成する等の加熱処理に供さ
れる熱処理炉に関し、詳しくは、少なくとも、炉本体
と、炉本体の内部に配置されたヒータと、このヒータの
内側に配置されて被処理物が収納される加熱室を構成す
るマッフルとを含む熱処理炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の熱処理炉としては、例え
ば特開平１０−１４１８５９号公報に開示されている構
造のものが知られている。
ば特開平１０−１４１８５９号公報に開示されている構
造のものが知られている。
【０００３】この構造のものでは、セラミック製電子部
品を加熱処理するときのマッフル内の雰囲気を所定状態
に保持するために、マッフルを気密状態に維持し、その
雰囲気ガスをマッフル内に供給できるよう、ガス供給管
がマッフルに接続されている。これにより、加熱室内が
所定の雰囲気に維持された状態で加熱処理できる。
品を加熱処理するときのマッフル内の雰囲気を所定状態
に保持するために、マッフルを気密状態に維持し、その
雰囲気ガスをマッフル内に供給できるよう、ガス供給管
がマッフルに接続されている。これにより、加熱室内が
所定の雰囲気に維持された状態で加熱処理できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、加熱処理工
程が終了した後、被処理物ならびにマッフルを例えば常
温まで冷却する冷却工程があり、この冷却のために、マ
ッフルを炉本体内に残したまま、処理物をマッフルから
取り出して外気に露出する方法が考えられる。
程が終了した後、被処理物ならびにマッフルを例えば常
温まで冷却する冷却工程があり、この冷却のために、マ
ッフルを炉本体内に残したまま、処理物をマッフルから
取り出して外気に露出する方法が考えられる。
【０００５】しかしながら、このように被処理物を高温
のまま外気に晒すと、被処理物表面が外気と不当に反応
して、そのため処理物が劣化する虞れがある。従って、
所定の雰囲気中で冷却することが望ましいにも関わら
ず、処理物が外気と触れる状態となるため処理物を良質
に保つことができないという欠点を有している。
のまま外気に晒すと、被処理物表面が外気と不当に反応
して、そのため処理物が劣化する虞れがある。従って、
所定の雰囲気中で冷却することが望ましいにも関わら
ず、処理物が外気と触れる状態となるため処理物を良質
に保つことができないという欠点を有している。
【０００６】そこで、この点を回避するため、従来にお
いては、マッフル内を気密状態で所定雰囲気に維持した
まま冷却できるように、炉体内にマッフルを残したま
ま、自然冷却していた。しかしながら、このように自然
冷却するものでは、断熱構造の炉体内にマッフルを残し
たままであるので、被処理物が所望温度まで冷却される
のに長時間かかることになって、生産性が低くなるとい
う問題がある。
いては、マッフル内を気密状態で所定雰囲気に維持した
まま冷却できるように、炉体内にマッフルを残したま
ま、自然冷却していた。しかしながら、このように自然
冷却するものでは、断熱構造の炉体内にマッフルを残し
たままであるので、被処理物が所望温度まで冷却される
のに長時間かかることになって、生産性が低くなるとい
う問題がある。
【０００７】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であって、熱処理物の冷却効率を高めて生産性を向上で
きる熱処理炉の提供を目的とする。
であって、熱処理物の冷却効率を高めて生産性を向上で
きる熱処理炉の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
熱処理炉は、少なくとも、炉本体と、炉本体の内部に配
置されたヒータと、このヒータの内側に配置されて被処
理物が収納される加熱室を構成するマッフルとを含み、
前記加熱室を冷却するときに、前記マッフルを当該加熱
室内の雰囲気を保持した状態で外気に対して露出させら
れる構造を有している熱処理炉であって、前記炉本体を
複数の炉体部分に分離可能に構成し、前記加熱室内部の
冷却に際しては、前記炉体部分の１ないしは複数を他の
炉体部分から分離することにより前記マッフルを外気に
露出可能としていることを特徴とする。
熱処理炉は、少なくとも、炉本体と、炉本体の内部に配
置されたヒータと、このヒータの内側に配置されて被処
理物が収納される加熱室を構成するマッフルとを含み、
前記加熱室を冷却するときに、前記マッフルを当該加熱
室内の雰囲気を保持した状態で外気に対して露出させら
れる構造を有している熱処理炉であって、前記炉本体を
複数の炉体部分に分離可能に構成し、前記加熱室内部の
冷却に際しては、前記炉体部分の１ないしは複数を他の
炉体部分から分離することにより前記マッフルを外気に
露出可能としていることを特徴とする。
【０００９】 本発明の請求項１に係る構成によれば、
加熱処理を行ったときの雰囲気をマッフルの加熱室内に
保ち、かつその加熱室に被処理物を収納したままで、マ
ッフルは炉本体内に閉じ込められた状態から外気に対し
て露出される状態にできるので、それにより加熱室を短
時間で冷却できるとともに、冷却時に被処理物が直接外
気に晒されることがないので、冷却時の外気との接触に
よる処理物の劣化を回避でき、被処理物を高品質に保つ
ことができる。また、マッフルを炉本体内に収納させた
まま、外気に晒さずに冷却できるようにする特別な冷却
装置を設けなくても良いので、熱処理炉全体としての構
造は簡単になものにできることに加え、マッフルの外気
への露出は、複数に分離可能に構成された炉本体を、炉
体部分の１ないしは複数を他の炉体部分から分離するこ
とで実現するから、マッフルの周りにおける断熱構造が
解除されて、それによりマッフルが外気に晒されること
になって、加熱室つまりマッフルおよび被処理物の冷却
が促進され、それにより、その冷却工程を短時間にでき
る。
加熱処理を行ったときの雰囲気をマッフルの加熱室内に
保ち、かつその加熱室に被処理物を収納したままで、マ
ッフルは炉本体内に閉じ込められた状態から外気に対し
て露出される状態にできるので、それにより加熱室を短
時間で冷却できるとともに、冷却時に被処理物が直接外
気に晒されることがないので、冷却時の外気との接触に
よる処理物の劣化を回避でき、被処理物を高品質に保つ
ことができる。また、マッフルを炉本体内に収納させた
まま、外気に晒さずに冷却できるようにする特別な冷却
装置を設けなくても良いので、熱処理炉全体としての構
造は簡単になものにできることに加え、マッフルの外気
への露出は、複数に分離可能に構成された炉本体を、炉
体部分の１ないしは複数を他の炉体部分から分離するこ
とで実現するから、マッフルの周りにおける断熱構造が
解除されて、それによりマッフルが外気に晒されること
になって、加熱室つまりマッフルおよび被処理物の冷却
が促進され、それにより、その冷却工程を短時間にでき
る。
【００１０】 本発明の請求項２に係る熱処理炉は、請
求項１に記載の熱処理炉において、前記炉本体が、筒状
でかつ底部が開口した炉体と、該炉体の底部開口部側に
位置するとともに前記加熱室内において被処理物を支持
する炉床部とを含むことを特徴とする。
求項１に記載の熱処理炉において、前記炉本体が、筒状
でかつ底部が開口した炉体と、該炉体の底部開口部側に
位置するとともに前記加熱室内において被処理物を支持
する炉床部とを含むことを特徴とする。
【００１１】
【００１２】
【００１３】 本発明の請求項２に係る構成によれば、
断熱構造を構成する炉本体が炉体と加熱室内において被
処理物を支持する炉床部とを含むものであるから、焼成
時における炉体と炉床部とが一体またはほぼ一体となる
ように図ることにより、炉本体としての断熱性が高いも
のとなるとともに、炉体と炉床部とを分離できるように
すれば、その炉床部に被処理物を支持したまま加熱室を
外気に露出できるようにして冷却を図ることができる。
断熱構造を構成する炉本体が炉体と加熱室内において被
処理物を支持する炉床部とを含むものであるから、焼成
時における炉体と炉床部とが一体またはほぼ一体となる
ように図ることにより、炉本体としての断熱性が高いも
のとなるとともに、炉体と炉床部とを分離できるように
すれば、その炉床部に被処理物を支持したまま加熱室を
外気に露出できるようにして冷却を図ることができる。
【００１４】 本発明の請求項３に係る熱処理炉は、請
求項２に記載の熱処理炉において、前記加熱室の冷却に
際しては、前記炉体に対して前記炉床部を相対下降させ
てマッフルを炉外の外気に露出可能にしていることを特
徴構成とする。
求項２に記載の熱処理炉において、前記加熱室の冷却に
際しては、前記炉体に対して前記炉床部を相対下降させ
てマッフルを炉外の外気に露出可能にしていることを特
徴構成とする。
【００１５】 本発明の請求項３に係る構成によれば、
マッフルの外気への露出は、炉体に対して炉床部を、相
対的に下降させることで実現するから、マッフルの周り
における断熱構造が解除されて、それによりマッフルが
外気に晒されることになって、加熱室つまりマッフルお
よび被処理物の冷却が促進され、それにより、その冷却
工程を短時間にできる。また、炉体等を複数個に分離し
てマッフルを外気に露出するもののように、炉体を分離
および結合する特別な構造としなくても良いので、構造
的に簡単なものとなる。
マッフルの外気への露出は、炉体に対して炉床部を、相
対的に下降させることで実現するから、マッフルの周り
における断熱構造が解除されて、それによりマッフルが
外気に晒されることになって、加熱室つまりマッフルお
よび被処理物の冷却が促進され、それにより、その冷却
工程を短時間にできる。また、炉体等を複数個に分離し
てマッフルを外気に露出するもののように、炉体を分離
および結合する特別な構造としなくても良いので、構造
的に簡単なものとなる。
【００１６】 本発明の請求項４に係る熱処理炉は、請
求項２または３に記載の熱処理炉において、内部空間を
前記加熱室とする前記マッフルを、底部が開口した筒状
部分と、この筒状部分と別体構造とされその底部開口周
縁に沿って径方向外向きのフランジ状に構成されたベー
ス部分とで構成し、前記筒状部分の下端開口と前記ベー
ス部分との間に環状のパッキンを介在していることを特
徴とする。
求項２または３に記載の熱処理炉において、内部空間を
前記加熱室とする前記マッフルを、底部が開口した筒状
部分と、この筒状部分と別体構造とされその底部開口周
縁に沿って径方向外向きのフランジ状に構成されたベー
ス部分とで構成し、前記筒状部分の下端開口と前記ベー
ス部分との間に環状のパッキンを介在していることを特
徴とする。
【００１７】 本発明の請求項４に係る構成によれば、
マッフルは、特に金属製のものの場合、予め筒状部分と
ベース部分とを溶接により一体化して気密状態を保つよ
うにしたものが知られているが、その溶接箇所には筒状
部分の荷重による応力が集中し易くなっているから、そ
の溶接箇所でひびが生じ易く耐久性が低くくなるという
問題が生じるのであるが、筒状部分とベース部分とに分
離される構造となっていること、および筒状部分とベー
ス部分とはパッキンを介して圧着されていることから、
筒状部分とベース部分とが分離しているにもかかわら
ず、マッフル内の気密性を保つことができるものとなっ
ている。
マッフルは、特に金属製のものの場合、予め筒状部分と
ベース部分とを溶接により一体化して気密状態を保つよ
うにしたものが知られているが、その溶接箇所には筒状
部分の荷重による応力が集中し易くなっているから、そ
の溶接箇所でひびが生じ易く耐久性が低くくなるという
問題が生じるのであるが、筒状部分とベース部分とに分
離される構造となっていること、および筒状部分とベー
ス部分とはパッキンを介して圧着されていることから、
筒状部分とベース部分とが分離しているにもかかわら
ず、マッフル内の気密性を保つことができるものとなっ
ている。
【００１８】 本発明の請求項５に係る熱処理炉は、請
求項４に記載の熱処理炉において、前記パッキンを前記
マッフルの筒状部分またはこれと一体とされた押圧部材
により前記ベース部分側に押圧可能としていることを特
徴構成とする。
求項４に記載の熱処理炉において、前記パッキンを前記
マッフルの筒状部分またはこれと一体とされた押圧部材
により前記ベース部分側に押圧可能としていることを特
徴構成とする。
【００１９】 本発明の請求項５に係る構成によれば、
パッキンが筒状部分の自重による下向きの荷重又は押圧
部材によりベース部分側に押圧可能としているから、そ
の押圧力によりパッキンの筒状部分とベース部分とに対
する密着性が高められ、マッフル内の気密性を高くでき
る。
パッキンが筒状部分の自重による下向きの荷重又は押圧
部材によりベース部分側に押圧可能としているから、そ
の押圧力によりパッキンの筒状部分とベース部分とに対
する密着性が高められ、マッフル内の気密性を高くでき
る。
【００２０】 本発明の請求項６に係る熱処理炉は、請
求項５に記載の熱処理炉において、前記マッフルの筒状
部分またはこれと一体とされた押圧部材を前記パッキン
に対して押圧する押圧機構を有することを特徴とする。
求項５に記載の熱処理炉において、前記マッフルの筒状
部分またはこれと一体とされた押圧部材を前記パッキン
に対して押圧する押圧機構を有することを特徴とする。
【００２１】 本発明の請求項６に係る構成によれば、
押圧機構により押圧することで、例えばマッフルの筒状
部分の自重のみでパッキンを押圧するものと比較して、
筒状部分の姿勢保持等の安定性を高めるとともに、マッ
フル内の気密性を十分高めることができる。
押圧機構により押圧することで、例えばマッフルの筒状
部分の自重のみでパッキンを押圧するものと比較して、
筒状部分の姿勢保持等の安定性を高めるとともに、マッ
フル内の気密性を十分高めることができる。
【００２２】 本発明の請求項７に係る熱処理炉は、請
求項６に記載の熱処理炉において、前記押圧機構は、前
記パッキンを押圧する押圧作用部と、該押圧作用部に動
力伝達部を介して押圧力を付与する駆動装置とからなる
とともに、前記駆動装置を前記押圧箇所より外方に離し
て配置していることを特徴構成とする。
求項６に記載の熱処理炉において、前記押圧機構は、前
記パッキンを押圧する押圧作用部と、該押圧作用部に動
力伝達部を介して押圧力を付与する駆動装置とからなる
とともに、前記駆動装置を前記押圧箇所より外方に離し
て配置していることを特徴構成とする。
【００２３】 本発明の請求項７に係る構成によれば、
駆動装置が押圧箇所、すなわちマッフルの筒状部の下端
周縁個所から外方に離れて配置されているから、マッフ
ルからの熱的影響を駆動装置が受け難くなっており、駆
動装置、具体的にはエアシリンダあるいは油圧シリンダ
等のアクチュエータに対する熱的環境を良好に維持でき
る。
駆動装置が押圧箇所、すなわちマッフルの筒状部の下端
周縁個所から外方に離れて配置されているから、マッフ
ルからの熱的影響を駆動装置が受け難くなっており、駆
動装置、具体的にはエアシリンダあるいは油圧シリンダ
等のアクチュエータに対する熱的環境を良好に維持でき
る。
【００２４】 本発明の請求項８に係る熱処理炉は、請
求項７に記載の熱処理炉において、前記動力伝達部は、
両端が背反的に上下揺動するように中間箇所で軸支され
た揺動アームの一端部に前記駆動装置から上向きの力を
入力させ他端部に前記押圧作用部に下向きの力を作用さ
せるように構成していることを特徴構成とする。
求項７に記載の熱処理炉において、前記動力伝達部は、
両端が背反的に上下揺動するように中間箇所で軸支され
た揺動アームの一端部に前記駆動装置から上向きの力を
入力させ他端部に前記押圧作用部に下向きの力を作用さ
せるように構成していることを特徴構成とする。
【００２５】 本発明の請求項８に係る構成によれば、
揺動アームを利用した簡易な構成によって、マッフルの
気密性を良好に保つことができる。
揺動アームを利用した簡易な構成によって、マッフルの
気密性を良好に保つことができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。
て、図面を用いて詳細に説明する。
【００２７】（実施の形態１）図６は、本発明に係る熱
処理炉の一例を示す図である。この熱処理炉は、圧電素
子や磁気素子等のセラミック製電子部品の焼成や、脱脂
処理等を行うための加熱処理する熱処理炉である。
処理炉の一例を示す図である。この熱処理炉は、圧電素
子や磁気素子等のセラミック製電子部品の焼成や、脱脂
処理等を行うための加熱処理する熱処理炉である。
【００２８】図６に示すように、この熱処理炉は、セラ
ミック材からなる断熱材で構成される炉体１と、断熱材
で構成される炉床部２とで構成される炉本体３を備え、
この炉本体３内の後述する炉室Ｌ内にマッフルМの筒状
部分４を配置し、炉室Ｌ内においてマッフルМの筒状部
分４と炉体１内壁との間の空間部に高熱を発生する熱源
としてのヒータ５を備えて構成している。
ミック材からなる断熱材で構成される炉体１と、断熱材
で構成される炉床部２とで構成される炉本体３を備え、
この炉本体３内の後述する炉室Ｌ内にマッフルМの筒状
部分４を配置し、炉室Ｌ内においてマッフルМの筒状部
分４と炉体１内壁との間の空間部に高熱を発生する熱源
としてのヒータ５を備えて構成している。
【００２９】図６に示すように、炉体１は天井部を有す
る筒状に構成され、この炉体１の底部は開口している。
この炉体１における筒状構造の内部空間が前記マッフル
Мの筒状部分４を配置する炉室Ｌであって、耐熱性金属
（例えばステンレス鋼、インコネル６０１など）よりな
る円筒形のこの筒状部分４は、その炉室Ｌと同心となる
よう配置している。この筒状部分４は、天井部４ａを有
し、かつ底部を開口しており、その筒状部分４の下端は
炉体１の底部の開口よりも下方に延出されているととも
に、その下端は、後述するベース部６に載置された状態
となっている。
る筒状に構成され、この炉体１の底部は開口している。
この炉体１における筒状構造の内部空間が前記マッフル
Мの筒状部分４を配置する炉室Ｌであって、耐熱性金属
（例えばステンレス鋼、インコネル６０１など）よりな
る円筒形のこの筒状部分４は、その炉室Ｌと同心となる
よう配置している。この筒状部分４は、天井部４ａを有
し、かつ底部を開口しており、その筒状部分４の下端は
炉体１の底部の開口よりも下方に延出されているととも
に、その下端は、後述するベース部６に載置された状態
となっている。
【００３０】そして、この筒状部分４の底部の開口箇所
に対して、昇降自在に構成される炉床部２の載置台部分
２Ａが入り込むようになっている。すなわち、炉床部２
は、円盤状基部２Ｂとその中央部に上方に円柱状に突出
するよう形成された載置台部分２Ａとを一体に断熱材で
構成しているとともに、筒状部分４の内径とほぼ同じ外
径の載置台部分２Ａが炉床部２の上昇により筒状部分４
内に入り込むようになっている。載置台部分２Ａには、
被処理物７としての多数のセラミック電子部品を加熱処
理に適した状態で格納配備しておくための耐熱材製の棚
台８を設けている。
に対して、昇降自在に構成される炉床部２の載置台部分
２Ａが入り込むようになっている。すなわち、炉床部２
は、円盤状基部２Ｂとその中央部に上方に円柱状に突出
するよう形成された載置台部分２Ａとを一体に断熱材で
構成しているとともに、筒状部分４の内径とほぼ同じ外
径の載置台部分２Ａが炉床部２の上昇により筒状部分４
内に入り込むようになっている。載置台部分２Ａには、
被処理物７としての多数のセラミック電子部品を加熱処
理に適した状態で格納配備しておくための耐熱材製の棚
台８を設けている。
【００３１】炉床部２は、図示しない昇降装置に支持さ
れた状態で昇降および昇降停止可能に構成されるととも
に、炉床部２と共に昇降される電動モータ等からなる駆
動装置９によって縦軸心Ｐ周りで回転駆動されるように
構成している。従って、図７に示すように、炉体１や筒
状部分４が配備された箇所よりも下方の所定位置に炉床
部２を下降させて棚台８や被処理物７が外部に臨む状態
にしたときには、被処理物７を棚台８に対して出し入れ
する作業がそこで行える。一方、載置台部分２Ａが筒状
部分４内に入り込むように炉床部２を所定位置まで上昇
させた状態では、筒状部分４内および炉床部２を囲む空
間が密閉状態（詳細は後述する）となるので、その状態
でヒータ５からの放射熱により筒状部分４を加熱し、ひ
いては筒状部分４内の密閉空間である加熱室Ｋに位置す
る被処理物７を加熱する加熱処理が行えることになる。
れた状態で昇降および昇降停止可能に構成されるととも
に、炉床部２と共に昇降される電動モータ等からなる駆
動装置９によって縦軸心Ｐ周りで回転駆動されるように
構成している。従って、図７に示すように、炉体１や筒
状部分４が配備された箇所よりも下方の所定位置に炉床
部２を下降させて棚台８や被処理物７が外部に臨む状態
にしたときには、被処理物７を棚台８に対して出し入れ
する作業がそこで行える。一方、載置台部分２Ａが筒状
部分４内に入り込むように炉床部２を所定位置まで上昇
させた状態では、筒状部分４内および炉床部２を囲む空
間が密閉状態（詳細は後述する）となるので、その状態
でヒータ５からの放射熱により筒状部分４を加熱し、ひ
いては筒状部分４内の密閉空間である加熱室Ｋに位置す
る被処理物７を加熱する加熱処理が行えることになる。
【００３２】さらに、棒状のヒータ５は、筒状部分４と
炉体１内壁との間の空間部に、筒状部分４と同心の円周
に沿って複数のものが所定の間隔をおいて配列されてい
る。これらヒータ５は炉体１の外部から電力供給され
て、加熱処理時の熱源となる。また、筒状部分４の天井
部４ａには、ガス供給管１０と排気管１１とが気密状態
で接続されている。このガス供給管１０を通して脱脂工
程や本焼成工程に適した雰囲気に加熱室４を保つための
ガス、例えば窒素ガスやアルゴンガス等の雰囲気ガスが
図示しないガス供給源から加熱室４内に供給される。
炉体１内壁との間の空間部に、筒状部分４と同心の円周
に沿って複数のものが所定の間隔をおいて配列されてい
る。これらヒータ５は炉体１の外部から電力供給され
て、加熱処理時の熱源となる。また、筒状部分４の天井
部４ａには、ガス供給管１０と排気管１１とが気密状態
で接続されている。このガス供給管１０を通して脱脂工
程や本焼成工程に適した雰囲気に加熱室４を保つための
ガス、例えば窒素ガスやアルゴンガス等の雰囲気ガスが
図示しないガス供給源から加熱室４内に供給される。
【００３３】マッフルМは、前述のように、天井部４ａ
を備える円筒形の筒状部分４と、ベース部６とで構成さ
れている。ベース部６は、筒状部分４を載置状態で支持
するものであって、このベース部６は、さらに固定支持
部１２によって固定支持されているとともに、前記炉床
部２を昇降装置に対して支持するための円板状の支持台
１３で下方側が閉止される。すなわち、図６乃至図８に
示すように、ベース部６は、中心に上下に貫通するとと
もに筒状部分４の外径とほぼ同径の孔１４を備える円板
状部材１５と、この円板状部材１５の下面に一体に溶接
された筒状体１６とで構成されており、支持台１３上に
設けたリング状のシリコンスポンジからなるシール部材
１７が、支持台１３の上昇に伴って筒状体１６の下縁に
密着することにより、ベース部６、支持台１３等で囲ま
れる空間が密閉状態に閉止される。
を備える円筒形の筒状部分４と、ベース部６とで構成さ
れている。ベース部６は、筒状部分４を載置状態で支持
するものであって、このベース部６は、さらに固定支持
部１２によって固定支持されているとともに、前記炉床
部２を昇降装置に対して支持するための円板状の支持台
１３で下方側が閉止される。すなわち、図６乃至図８に
示すように、ベース部６は、中心に上下に貫通するとと
もに筒状部分４の外径とほぼ同径の孔１４を備える円板
状部材１５と、この円板状部材１５の下面に一体に溶接
された筒状体１６とで構成されており、支持台１３上に
設けたリング状のシリコンスポンジからなるシール部材
１７が、支持台１３の上昇に伴って筒状体１６の下縁に
密着することにより、ベース部６、支持台１３等で囲ま
れる空間が密閉状態に閉止される。
【００３４】そして、マッフルМの筒状部分４は、リン
グ状に構成される耐熱性のパッキン１８（例えばシリコ
ン樹脂パッキン、シート状のセラミックパッキン、カー
ボンパッキン等である）を介在させてベース部６におけ
る円板状部材１５の上面に載置支持されている。詳述す
ると、筒状部分４の下端で径方向外側へ拡径された縁部
分には、その全周にわたってリング状フランジ部１９が
載せられ、該リング状フランジ部１９は、筒状部分４下
端の縁部分に溶接されている。そして、筒状部分４の下
端縁部分が全周にわたってパッキン１８上に載置されて
いる。パッキン１８は、円板状部材１５における孔１４
の縁に沿ってリング状に設けられている。このように筒
状部分４がパッキン１８を介してベース部６に支持さ
れ、このベース部６がシール部材１７を介して支持台１
３に載置支持されることによって、加熱室４および炉床
部２の配置される空間部の気密性が保たれることにな
る。ここで、パッキン１８に対して筒状部分４の下端縁
部が直接接触して押圧するものを上述したが、筒状部分
４とは別体の押圧部材、例えば上記リング状フランジ１
９のような筒状部分４と一体となった部材でパッキンを
押圧するようにしても良い。
グ状に構成される耐熱性のパッキン１８（例えばシリコ
ン樹脂パッキン、シート状のセラミックパッキン、カー
ボンパッキン等である）を介在させてベース部６におけ
る円板状部材１５の上面に載置支持されている。詳述す
ると、筒状部分４の下端で径方向外側へ拡径された縁部
分には、その全周にわたってリング状フランジ部１９が
載せられ、該リング状フランジ部１９は、筒状部分４下
端の縁部分に溶接されている。そして、筒状部分４の下
端縁部分が全周にわたってパッキン１８上に載置されて
いる。パッキン１８は、円板状部材１５における孔１４
の縁に沿ってリング状に設けられている。このように筒
状部分４がパッキン１８を介してベース部６に支持さ
れ、このベース部６がシール部材１７を介して支持台１
３に載置支持されることによって、加熱室４および炉床
部２の配置される空間部の気密性が保たれることにな
る。ここで、パッキン１８に対して筒状部分４の下端縁
部が直接接触して押圧するものを上述したが、筒状部分
４とは別体の押圧部材、例えば上記リング状フランジ１
９のような筒状部分４と一体となった部材でパッキンを
押圧するようにしても良い。
【００３５】さらに、筒状部分４とベース部６との間の
気密性を高くするために、筒状部分４を、パッキン１８
を介してベース部６側に押圧する押圧機構２０を設けて
いる。この押圧機構２０は、図６乃至図８に示すよう
に、４個のもの（うち２個は図示していない）を軸心Ｐ
を中心として対称位置に配置しており、軸心Ｐに対する
周方向で均等に筒状部分４に対して下方に押圧する力が
作用するようにしている。図８に示すように、それぞれ
の押圧機構２０は、円板状部材１５の上面に一体に設け
たステー２１に水平軸心Ｘ周りで揺動自在に支持された
動力伝達部としての揺動アーム２２と、軸心Ｐに対して
径方向に沿った該揺動アーム２２の径方向内側端部にお
いて水平軸心Ｘと平行な軸心周りでほぼ揺動可能に支持
されて前記リング状フランジ部１９を上方から下向きに
接当状態で押し下げ力を付与する押圧作用部２３と、揺
動アーム２２の径方向外側端部を上方に押し上げる力を
作用させる駆動装置としてのエアシリンダ２４とを備え
て構成している。このエアシリンダ２４のロッド端部は
揺動アーム２２の径方向外側端部に水平軸心Ｘと平行な
軸心周りでほぼ揺動可能に支持されている。なお、この
エアシリンダ２４にかえて油圧シリンダ等のリニアアク
チュエータで駆動装置を構成しても良い。エアシリンダ
２４は揺動アーム２２を軸心Ｘ周りで上下動可能に操作
するものであって、被処理物を焼成処理等の加熱処理す
るとき、ならびにその加熱処理後において被処理物の冷
却を行う際には、筒状部分４とベース部６との間の気密
性を高めるために、筒状部分４をパッキン１８に強く押
圧させるよう揺動アーム２２の外側端を上方に持ち上げ
る力を付与する。
気密性を高くするために、筒状部分４を、パッキン１８
を介してベース部６側に押圧する押圧機構２０を設けて
いる。この押圧機構２０は、図６乃至図８に示すよう
に、４個のもの（うち２個は図示していない）を軸心Ｐ
を中心として対称位置に配置しており、軸心Ｐに対する
周方向で均等に筒状部分４に対して下方に押圧する力が
作用するようにしている。図８に示すように、それぞれ
の押圧機構２０は、円板状部材１５の上面に一体に設け
たステー２１に水平軸心Ｘ周りで揺動自在に支持された
動力伝達部としての揺動アーム２２と、軸心Ｐに対して
径方向に沿った該揺動アーム２２の径方向内側端部にお
いて水平軸心Ｘと平行な軸心周りでほぼ揺動可能に支持
されて前記リング状フランジ部１９を上方から下向きに
接当状態で押し下げ力を付与する押圧作用部２３と、揺
動アーム２２の径方向外側端部を上方に押し上げる力を
作用させる駆動装置としてのエアシリンダ２４とを備え
て構成している。このエアシリンダ２４のロッド端部は
揺動アーム２２の径方向外側端部に水平軸心Ｘと平行な
軸心周りでほぼ揺動可能に支持されている。なお、この
エアシリンダ２４にかえて油圧シリンダ等のリニアアク
チュエータで駆動装置を構成しても良い。エアシリンダ
２４は揺動アーム２２を軸心Ｘ周りで上下動可能に操作
するものであって、被処理物を焼成処理等の加熱処理す
るとき、ならびにその加熱処理後において被処理物の冷
却を行う際には、筒状部分４とベース部６との間の気密
性を高めるために、筒状部分４をパッキン１８に強く押
圧させるよう揺動アーム２２の外側端を上方に持ち上げ
る力を付与する。
【００３６】これにより、加熱処理工程ならびに冷却工
程において、揺動アーム２２の内側端部の押圧作用部２
３が、リング状フランジ２０を一定の力で押し下げる状
態を維持し、パッキン１８と筒状部分４及びベース部６
との密着性を高めて気密性を高いものにする。尚、図
中、２５は、揺動アーム２２の外側端とエアシリンダ２
４とを連結する構造であって、エアシリンダ２４のロッ
ドの横方向での変位を許すことのできるフローティング
ジョイントである。また、図中、２６は、パッキン１８
の収納空間を形成するために円板状部材１５に立設した
リング状の縦フランジ部である。
程において、揺動アーム２２の内側端部の押圧作用部２
３が、リング状フランジ２０を一定の力で押し下げる状
態を維持し、パッキン１８と筒状部分４及びベース部６
との密着性を高めて気密性を高いものにする。尚、図
中、２５は、揺動アーム２２の外側端とエアシリンダ２
４とを連結する構造であって、エアシリンダ２４のロッ
ドの横方向での変位を許すことのできるフローティング
ジョイントである。また、図中、２６は、パッキン１８
の収納空間を形成するために円板状部材１５に立設した
リング状の縦フランジ部である。
【００３７】上記のようにマッフルМを筒状部分４とベ
ース部６とで構成し、気密構造を得るようにした理由
は、熱処理作業に伴いマッフルМの温度が上がると、マ
ッフルМの筒状部分４には上方に膨張しようとする力が
かかって、マッフル全体が持ち上げられるようになるの
で、熱処理炉本体に対して固定状態となっているベース
部と筒状部分との溶接部に応力がかかり、この部分に亀
裂が入ったりして気密性を保てなくなる虞れがあるため
である。このため、上記実施の形態では、筒状部分４の
リング状フランジ１９を押さえつけているが、筒状部分
４に上向きの力がかかったときには、エアシリンダ２４
が押し戻されることによって、この上向きの力を相殺す
ることになる。また、マッフルМにおける筒状部分４は
径方向にも膨張するが、この膨張による揺動アーム２２
等の変位は、フローティングジョイントによって相殺す
る。これにより、リング状フランジ１９には必要以上の
荷重がかからないようになっている。
ース部６とで構成し、気密構造を得るようにした理由
は、熱処理作業に伴いマッフルМの温度が上がると、マ
ッフルМの筒状部分４には上方に膨張しようとする力が
かかって、マッフル全体が持ち上げられるようになるの
で、熱処理炉本体に対して固定状態となっているベース
部と筒状部分との溶接部に応力がかかり、この部分に亀
裂が入ったりして気密性を保てなくなる虞れがあるため
である。このため、上記実施の形態では、筒状部分４の
リング状フランジ１９を押さえつけているが、筒状部分
４に上向きの力がかかったときには、エアシリンダ２４
が押し戻されることによって、この上向きの力を相殺す
ることになる。また、マッフルМにおける筒状部分４は
径方向にも膨張するが、この膨張による揺動アーム２２
等の変位は、フローティングジョイントによって相殺す
る。これにより、リング状フランジ１９には必要以上の
荷重がかからないようになっている。
【００３８】次に、加熱処理後の被処理物７やマッフル
Мの冷却を迅速に行うための構造について説明する。図
１乃至図５に示すように、前記炉体１は、前記ガス供給
管１０や排気管１１を挿通するための上下貫通孔を通る
分割境界面Ｆにおいて左右または前後に２分割できる構
造となっている。そして、炉体１を構成するそれぞれの
分割炉部分１Ａ，１Ｂは互いに遠近移動可能かつマッフ
ルМの筒状部分４に対しても遠近移動可能に設けられて
いるとともに、この移動を行うための移動用駆動手段を
設けている。なお、図３は炉体１の加熱処理時の平面視
を示すものであって、分割炉部分１Ａ，１Ｂが一体化し
ている状態を示している。図２は、マッフルМひいては
被処理物７の冷却時の炉体１を平面視で示すものであっ
て、炉体１は分割炉部分１Ａ，１Ｂが互いに離間した状
態を示している。また、図１は、上記冷却時の炉体１等
の概略を示す斜視図である。
Мの冷却を迅速に行うための構造について説明する。図
１乃至図５に示すように、前記炉体１は、前記ガス供給
管１０や排気管１１を挿通するための上下貫通孔を通る
分割境界面Ｆにおいて左右または前後に２分割できる構
造となっている。そして、炉体１を構成するそれぞれの
分割炉部分１Ａ，１Ｂは互いに遠近移動可能かつマッフ
ルМの筒状部分４に対しても遠近移動可能に設けられて
いるとともに、この移動を行うための移動用駆動手段を
設けている。なお、図３は炉体１の加熱処理時の平面視
を示すものであって、分割炉部分１Ａ，１Ｂが一体化し
ている状態を示している。図２は、マッフルМひいては
被処理物７の冷却時の炉体１を平面視で示すものであっ
て、炉体１は分割炉部分１Ａ，１Ｂが互いに離間した状
態を示している。また、図１は、上記冷却時の炉体１等
の概略を示す斜視図である。
【００３９】詳述すると、各分割炉部分１Ａ，１Ｂは、
それぞれ、機台２７Ａ，２７Ｂに一体に載置状態で固定
されているとともに、炉体１及び機台２７Ａ，２７Ｂ等
を囲む状態で固定枠Ｗが設けられている。各機台２７
Ａ，２７Ｂは、床に対して相対的にスライド移動可能に
設けられている。そして、床に対して固定された状態の
この固定枠Ｗには、図４に示すように、電動モータ２８
が設けられているとともに、この電動モータ２８からの
動力が伝達されて回動駆動される一対の螺子軸２９，２
９のそれぞれは両端を固定枠Ｗに回動自在に支持されて
いる。そして、各螺子軸２９，２９は、図４及び図５
（マッフル等の図示を省略している）に示すように、各
機台２７Ａ，２７Ｂに立設した螺子案内部３０Ａ，３０
Ｂに螺合している。各螺子軸２９において、機台２７Ａ
の螺子案内部３０Ａへの螺合と、機台２７Ｂの螺子案内
部３０Ｂへの螺合とが相反する螺子進行状態となるよう
に、螺子軸２９の中央部から一方側と他方側とのそれぞ
れに形成される螺子山の螺刻向きを反対向きに構成して
いる。また、それぞれの螺子軸２９，２９は、その螺子
回転軸心方向が各分割炉部分１Ａ，１Ｂの分割境界面Ｆ
に対して直交する状態で、各分割炉部分１Ａ，１Ｂの下
部の脇箇所に配置している。そして、電動モータ２８に
近い側の螺子軸２９にチェーン伝動で動力伝達するとと
もに、この螺子軸２９から他方の螺子軸２９に対して固
定枠Ｗ内に配したチェーン伝動装置を介して動力伝達す
るようにしている。ここで、電動モータ２８、螺子軸２
９，２９、螺子案内部３０Ａ，３０Ｂおよびチェーン伝
動機構等は移動用駆動手段を構成している。
それぞれ、機台２７Ａ，２７Ｂに一体に載置状態で固定
されているとともに、炉体１及び機台２７Ａ，２７Ｂ等
を囲む状態で固定枠Ｗが設けられている。各機台２７
Ａ，２７Ｂは、床に対して相対的にスライド移動可能に
設けられている。そして、床に対して固定された状態の
この固定枠Ｗには、図４に示すように、電動モータ２８
が設けられているとともに、この電動モータ２８からの
動力が伝達されて回動駆動される一対の螺子軸２９，２
９のそれぞれは両端を固定枠Ｗに回動自在に支持されて
いる。そして、各螺子軸２９，２９は、図４及び図５
（マッフル等の図示を省略している）に示すように、各
機台２７Ａ，２７Ｂに立設した螺子案内部３０Ａ，３０
Ｂに螺合している。各螺子軸２９において、機台２７Ａ
の螺子案内部３０Ａへの螺合と、機台２７Ｂの螺子案内
部３０Ｂへの螺合とが相反する螺子進行状態となるよう
に、螺子軸２９の中央部から一方側と他方側とのそれぞ
れに形成される螺子山の螺刻向きを反対向きに構成して
いる。また、それぞれの螺子軸２９，２９は、その螺子
回転軸心方向が各分割炉部分１Ａ，１Ｂの分割境界面Ｆ
に対して直交する状態で、各分割炉部分１Ａ，１Ｂの下
部の脇箇所に配置している。そして、電動モータ２８に
近い側の螺子軸２９にチェーン伝動で動力伝達するとと
もに、この螺子軸２９から他方の螺子軸２９に対して固
定枠Ｗ内に配したチェーン伝動装置を介して動力伝達す
るようにしている。ここで、電動モータ２８、螺子軸２
９，２９、螺子案内部３０Ａ，３０Ｂおよびチェーン伝
動機構等は移動用駆動手段を構成している。
【００４０】この構造により、両螺子軸２９，２９は同
期する状態で回転駆動される。そして、分割炉部分１
Ａ，１Ｂ同士を互いに離間させる場合には、図示しない
スイッチ操作により人為的な指令が与えられて電動モー
タ２８が正転駆動され、それに連動して両螺子軸２９，
２９が回転し、その回転に伴って螺子案内部３０Ａ，３
０Ｂ同士が互いに離間するように操作されるので、機台
２７Ａ，２７Ｂが互いに離間するように作動し、ひいて
は分割炉部分１Ａ，１Ｂが互いに離間するように作動さ
れる。例えばフォトセンサ等のリミットスイッチ（図示
せず）により、分割炉部分１Ａあるいは分割炉部分１Ｂ
が最大離間位置にあるか否か検出し、最大離間位置にあ
ると検出されると、電動モータ２８を自動的に停止する
ように制御している。一方、開放状態にある分割炉部分
１Ａ，１Ｂ同士を加熱処理を行うために合体させる場合
には、合体に向けて閉じ動作を開始するための開始指令
を人為的に入力させることで、電動モータ２８が逆転駆
動させられ、それに連動して両螺子軸２９，２９が開き
時とは逆向きに回転し、その回転に伴って螺子案内部３
０Ａ，３０Ｂ同士が互いに近づくように操作されるの
で、機台２７Ａ，２７Ｂが互いに近接するように作動
し、ひいては分割炉部分１Ａ，１Ｂが互いに近接ように
作動され、分割炉部分１Ａ，１Ｂが合体することにな
る。この合体に伴う電動モータ２８の過負荷状態等の検
出あるいはリミットスイッチ等による合体状態の検出に
より電動モータ２８を停止するように制御している。な
お、この移動用駆動装置の駆動制御は、図示しない制御
装置によって行われるとともに、分割炉部分１Ａ，１Ｂ
を互いに分離状態に離間させたり合体させたりする制御
は人為的に開始指令や停止指令等を入力したりするもの
に限らず、所定の焼成プロセスの完了に応じて、自動的
に制御装置によって作動開始したり停止できるようにし
ても良い。また、各ヒータ５は分割炉部分１Ａ，１Ｂに
取り付けられた状態のまま共に移動するが、分割炉部分
１Ａ，１Ｂを分割する際にヒータ５を分割炉部分１Ａ，
１Ｂから離脱できるように構成しても良い。
期する状態で回転駆動される。そして、分割炉部分１
Ａ，１Ｂ同士を互いに離間させる場合には、図示しない
スイッチ操作により人為的な指令が与えられて電動モー
タ２８が正転駆動され、それに連動して両螺子軸２９，
２９が回転し、その回転に伴って螺子案内部３０Ａ，３
０Ｂ同士が互いに離間するように操作されるので、機台
２７Ａ，２７Ｂが互いに離間するように作動し、ひいて
は分割炉部分１Ａ，１Ｂが互いに離間するように作動さ
れる。例えばフォトセンサ等のリミットスイッチ（図示
せず）により、分割炉部分１Ａあるいは分割炉部分１Ｂ
が最大離間位置にあるか否か検出し、最大離間位置にあ
ると検出されると、電動モータ２８を自動的に停止する
ように制御している。一方、開放状態にある分割炉部分
１Ａ，１Ｂ同士を加熱処理を行うために合体させる場合
には、合体に向けて閉じ動作を開始するための開始指令
を人為的に入力させることで、電動モータ２８が逆転駆
動させられ、それに連動して両螺子軸２９，２９が開き
時とは逆向きに回転し、その回転に伴って螺子案内部３
０Ａ，３０Ｂ同士が互いに近づくように操作されるの
で、機台２７Ａ，２７Ｂが互いに近接するように作動
し、ひいては分割炉部分１Ａ，１Ｂが互いに近接ように
作動され、分割炉部分１Ａ，１Ｂが合体することにな
る。この合体に伴う電動モータ２８の過負荷状態等の検
出あるいはリミットスイッチ等による合体状態の検出に
より電動モータ２８を停止するように制御している。な
お、この移動用駆動装置の駆動制御は、図示しない制御
装置によって行われるとともに、分割炉部分１Ａ，１Ｂ
を互いに分離状態に離間させたり合体させたりする制御
は人為的に開始指令や停止指令等を入力したりするもの
に限らず、所定の焼成プロセスの完了に応じて、自動的
に制御装置によって作動開始したり停止できるようにし
ても良い。また、各ヒータ５は分割炉部分１Ａ，１Ｂに
取り付けられた状態のまま共に移動するが、分割炉部分
１Ａ，１Ｂを分割する際にヒータ５を分割炉部分１Ａ，
１Ｂから離脱できるように構成しても良い。
【００４１】上記構成により、被処理物７をマッフルМ
の加熱室Ｋ内に収容した状態で加熱処理するときには、
炉体１は一体化した状態にしておき、加熱処理が終了し
て、被処理物７を冷却するときには、人為的な指令等に
より、各分割炉部分１Ａ，１Ｂをそれぞれ移動用駆動装
置によって互いに離間させることになる。それによっ
て、マッフルМは加熱室Ｋを気密状態に維持したままで
外気に晒されるよう外部に露出することになるから、外
気との熱交換により、マッフルМが迅速に冷却される。
従って、被処理物５の例えば常温までの冷却を比較的短
時間で行え、冷却工程ひいては全体的な工程の短縮が図
れることになる。
の加熱室Ｋ内に収容した状態で加熱処理するときには、
炉体１は一体化した状態にしておき、加熱処理が終了し
て、被処理物７を冷却するときには、人為的な指令等に
より、各分割炉部分１Ａ，１Ｂをそれぞれ移動用駆動装
置によって互いに離間させることになる。それによっ
て、マッフルМは加熱室Ｋを気密状態に維持したままで
外気に晒されるよう外部に露出することになるから、外
気との熱交換により、マッフルМが迅速に冷却される。
従って、被処理物５の例えば常温までの冷却を比較的短
時間で行え、冷却工程ひいては全体的な工程の短縮が図
れることになる。
【００４２】上記実施の形態では、炉体を２分割する構
造について示したが、３分割以上に構成し各分割炉部分
が相対的に互いに離間できるようにしても良い。
造について示したが、３分割以上に構成し各分割炉部分
が相対的に互いに離間できるようにしても良い。
【００４３】上記実施の形態では、分割炉部分がそれぞ
れ互いに離間するものを示したが、分割炉の一部を固定
したままにして、他の部分のみマッフルが外気に晒され
るよう固定分割炉から離間する側に移動する構成にして
も良い。また、その移動の仕方も、上記実施の形態のよ
うにスライドさせる構造に限定されず、例えばいわゆる
観音開きのように上下軸心周りで分割炉部分が他の分割
炉部分に対して相対的に揺動開閉できるようにすること
でマッフルを外部に露出できる構成にしても良い。ま
た、分割炉部分を他の炉部分から離間させるのにクレー
ンやフォークリフトを利用して移動させるようにしても
良い。また、炉体を分離できる構成としては水平面を分
割面として炉体を上下に分割できるようにしても良い。
具体的例としては、炉体の天井部をヒータ等と共にまた
はヒータ等を残した状態で炉体の側壁部分から分離して
上昇させることで、マッフルМを外気に晒すよう外部に
露出させても良い。
れ互いに離間するものを示したが、分割炉の一部を固定
したままにして、他の部分のみマッフルが外気に晒され
るよう固定分割炉から離間する側に移動する構成にして
も良い。また、その移動の仕方も、上記実施の形態のよ
うにスライドさせる構造に限定されず、例えばいわゆる
観音開きのように上下軸心周りで分割炉部分が他の分割
炉部分に対して相対的に揺動開閉できるようにすること
でマッフルを外部に露出できる構成にしても良い。ま
た、分割炉部分を他の炉部分から離間させるのにクレー
ンやフォークリフトを利用して移動させるようにしても
良い。また、炉体を分離できる構成としては水平面を分
割面として炉体を上下に分割できるようにしても良い。
具体的例としては、炉体の天井部をヒータ等と共にまた
はヒータ等を残した状態で炉体の側壁部分から分離して
上昇させることで、マッフルМを外気に晒すよう外部に
露出させても良い。
【００４４】上記実施の形態では、リング状フランジ部
１９を筒状部分４の下端縁に溶接して一体化したものを
示したが、溶接することなく鋳造時や切削加工等により
マッフル本体部と一体化された状態で形成されるように
しても良い。
１９を筒状部分４の下端縁に溶接して一体化したものを
示したが、溶接することなく鋳造時や切削加工等により
マッフル本体部と一体化された状態で形成されるように
しても良い。
【００４５】上記実施の形態では、マッフルを筒状部分
に鍔状のベース部を設けた構造を示したが、このような
鍔状のものがない構造でも良い。
に鍔状のベース部を設けた構造を示したが、このような
鍔状のものがない構造でも良い。
【００４６】上記実施の形態では、押圧機構２０でマッ
フルの筒状部分４をベース部６に押圧する構成を示した
が、特別な押圧機構を設けずに、筒状部分の自重でパッ
キンを介在させてベース部に押圧するようにしても良
い。
フルの筒状部分４をベース部６に押圧する構成を示した
が、特別な押圧機構を設けずに、筒状部分の自重でパッ
キンを介在させてベース部に押圧するようにしても良
い。
【００４７】なお、押圧機構は、マッフルの筒状部分を
ベース部に確実に押圧するために２個以上設けることが
好ましいが、ベース部に対し周方向で均等に荷重をかけ
るという点から３個以上とすることがさらに好ましい。
ベース部に確実に押圧するために２個以上設けることが
好ましいが、ベース部に対し周方向で均等に荷重をかけ
るという点から３個以上とすることがさらに好ましい。
【００４８】上記実施の形態では、炉体に対して炉床部
を備える炉本体構造を示したが炉体のみで炉床部の無い
構造でも良い。 （別の実施の形態）次に別の実施の形態について図９に
基づいて説明する。尚、上記実施の形態と同様の構造に
ついてはその説明を省略するとともに、同一の符号を付
す。図９に示すように、マッフルМ内の加熱室を焼成時
の雰囲気ガスがそのままとなっている気密状態を維持し
ながら、マッフルМに対して、炉体１が上昇できるよう
にして、マッフルМを外気に晒す構成にしている。これ
により、加熱室Ｋ内を焼成時の所定の雰囲気に維持した
ままマッフルМの迅速な冷却ひいては被処理物７の迅速
な冷却が行えるものとなっている。尚、炉体１の上昇に
対してガス供給管１０等が邪魔にならないように構成し
ている。
を備える炉本体構造を示したが炉体のみで炉床部の無い
構造でも良い。 （別の実施の形態）次に別の実施の形態について図９に
基づいて説明する。尚、上記実施の形態と同様の構造に
ついてはその説明を省略するとともに、同一の符号を付
す。図９に示すように、マッフルМ内の加熱室を焼成時
の雰囲気ガスがそのままとなっている気密状態を維持し
ながら、マッフルМに対して、炉体１が上昇できるよう
にして、マッフルМを外気に晒す構成にしている。これ
により、加熱室Ｋ内を焼成時の所定の雰囲気に維持した
ままマッフルМの迅速な冷却ひいては被処理物７の迅速
な冷却が行えるものとなっている。尚、炉体１の上昇に
対してガス供給管１０等が邪魔にならないように構成し
ている。
【００４９】尚、マッフル内を所定雰囲気に保つように
気密状態を維持したままマッフルを外気に晒すことがで
きるようにするために、炉体に対してマッフルの方を下
降させたり、あるいは炉体の上昇とマッフルの下降とを
同時に行うようにしても良い。
気密状態を維持したままマッフルを外気に晒すことがで
きるようにするために、炉体に対してマッフルの方を下
降させたり、あるいは炉体の上昇とマッフルの下降とを
同時に行うようにしても良い。
【００５０】
【発明の効果】本発明の請求項１に係る構成によれば、
加熱処理を行ったときの雰囲気をマッフル内に保ったま
まで、マッフルは外気に対して露出できるので、加熱室
を短時間で冷却できて、生産性を向上できるとともに、
冷却時に被処理物が直接外気に晒されることがないの
で、冷却時の外気との接触による処理物の劣化を回避で
き、高品質に保つことができることに加え、マッフルの
外気への露出は、複数に分離可能に構成された炉本体
を、炉体部分の１ないしは複数を他の炉体部分から分離
することで実現するから、マッフルの周りにおける断熱
構造が解除されて、それによりマッフルが外気に晒され
ることになって、加熱室つまりマッフルおよび被処理物
の冷却が促進され、それにより、その冷却工程を短時間
にできる。
加熱処理を行ったときの雰囲気をマッフル内に保ったま
まで、マッフルは外気に対して露出できるので、加熱室
を短時間で冷却できて、生産性を向上できるとともに、
冷却時に被処理物が直接外気に晒されることがないの
で、冷却時の外気との接触による処理物の劣化を回避で
き、高品質に保つことができることに加え、マッフルの
外気への露出は、複数に分離可能に構成された炉本体
を、炉体部分の１ないしは複数を他の炉体部分から分離
することで実現するから、マッフルの周りにおける断熱
構造が解除されて、それによりマッフルが外気に晒され
ることになって、加熱室つまりマッフルおよび被処理物
の冷却が促進され、それにより、その冷却工程を短時間
にできる。
【００５１】
【００５２】 本発明の請求項２に係る構成によれば、
断熱構造を構成する炉本体が炉体と加熱室内において被
処理物を支持する炉床部とを含むものであるから、焼成
時における炉体と炉床部とが一体またはほぼ一体となる
ように図ることにより、炉本体としての断熱性が高いも
のとなるとともに、炉体と炉床部とを分離できるように
すれば、その炉床部に被処理物を支持したまま加熱室を
外気に露出できるように冷却を図ることができる。
断熱構造を構成する炉本体が炉体と加熱室内において被
処理物を支持する炉床部とを含むものであるから、焼成
時における炉体と炉床部とが一体またはほぼ一体となる
ように図ることにより、炉本体としての断熱性が高いも
のとなるとともに、炉体と炉床部とを分離できるように
すれば、その炉床部に被処理物を支持したまま加熱室を
外気に露出できるように冷却を図ることができる。
【００５３】 本発明の請求項３に係る構成によれば、
マッフルの外気への露出は、炉体に対して炉床部を、相
対的に下降させることで実現するから、マッフルの周り
における断熱構造が解除されて、それによりマッフルが
外気に晒されることになって、加熱室つまりマッフルお
よび被処理物の冷却が促進され、それにより、その冷却
工程を短時間にできる。
マッフルの外気への露出は、炉体に対して炉床部を、相
対的に下降させることで実現するから、マッフルの周り
における断熱構造が解除されて、それによりマッフルが
外気に晒されることになって、加熱室つまりマッフルお
よび被処理物の冷却が促進され、それにより、その冷却
工程を短時間にできる。
【００５４】 本発明の請求項４に係る構成によれば、
マッフルは、特に金属製のものの場合、予め筒状部分と
ベース部分とを溶接により一体化して気密状態を保つよ
うにしたものが知られているが、その溶接箇所には筒状
部分の荷重による応力が集中し易くなっているから、そ
の溶接箇所でひびが生じ易く耐久性が低くくなるという
問題が生じるのであるが、筒状部分とベース部分とに分
離される構造となっていること、および筒状部分とベー
ス部分とはパッキンを介して圧着されていることから、
筒状部分とベース部分とが分離しているにもかかわら
ず、マッフル内の気密性を保つことができるものとなっ
ている。
マッフルは、特に金属製のものの場合、予め筒状部分と
ベース部分とを溶接により一体化して気密状態を保つよ
うにしたものが知られているが、その溶接箇所には筒状
部分の荷重による応力が集中し易くなっているから、そ
の溶接箇所でひびが生じ易く耐久性が低くくなるという
問題が生じるのであるが、筒状部分とベース部分とに分
離される構造となっていること、および筒状部分とベー
ス部分とはパッキンを介して圧着されていることから、
筒状部分とベース部分とが分離しているにもかかわら
ず、マッフル内の気密性を保つことができるものとなっ
ている。
【００５５】 本発明の請求項５に係る構成によれば、
パッキンが筒状部分又は押圧部材によりベース部分側に
押圧可能としているから、その押圧力によりパッキンの
筒状部分とベース部分とに対する密着性が高められ、マ
ッフル内の気密性を高くできる。
パッキンが筒状部分又は押圧部材によりベース部分側に
押圧可能としているから、その押圧力によりパッキンの
筒状部分とベース部分とに対する密着性が高められ、マ
ッフル内の気密性を高くできる。
【００５６】 本発明の請求項６に係る構成によれば、
押圧機構により押圧することで、例えばマッフルの筒状
部分の自重のみでパッキンを押圧するものと比較して、
筒状部分の安定性を高めるとともに、マッフル内の気密
性を十分高めることができる。
押圧機構により押圧することで、例えばマッフルの筒状
部分の自重のみでパッキンを押圧するものと比較して、
筒状部分の安定性を高めるとともに、マッフル内の気密
性を十分高めることができる。
【００５７】 本発明の請求項７に係る構成によれば、
駆動装置が押圧箇所、すなわちマッフルの筒状部の下端
周縁個所から外方に離れて配置されているから、マッフ
ルからの熱的影響を駆動装置が受け難くなっており、駆
動装置、具体的にはエアシリンダあるいは油圧シリンダ
等のアクチュエータに対する熱的環境を良好に維持でき
る。
駆動装置が押圧箇所、すなわちマッフルの筒状部の下端
周縁個所から外方に離れて配置されているから、マッフ
ルからの熱的影響を駆動装置が受け難くなっており、駆
動装置、具体的にはエアシリンダあるいは油圧シリンダ
等のアクチュエータに対する熱的環境を良好に維持でき
る。
【００５８】 本発明の請求項８に係る構成によれば、
揺動アームを利用した簡易な構成によって、マッフルの
気密性を良好に保つことができる。
揺動アームを利用した簡易な構成によって、マッフルの
気密性を良好に保つことができる。
【図１】一実施の形態においてマッフルを外気に露出す
るよう炉体を分離させた状態の概略斜視図
るよう炉体を分離させた状態の概略斜視図
【図２】一実施の形態においてマッフルを外気に露出す
るよう炉体を分離させた状態の概略平面図
るよう炉体を分離させた状態の概略平面図
【図３】一実施の形態において加熱処理時の炉体等を示
す概略平面図
す概略平面図
【図４】一実施の形態において分離状態の炉体と炉体を
分離する機構等を示す平面図
分離する機構等を示す平面図
【図５】一実施の形態において分離状態の炉体と炉体を
分離する機構等を示す側面図
分離する機構等を示す側面図
【図６】一実施の形態において加熱又は冷却処理時の熱
処理炉装置を示す縦断正面図
処理炉装置を示す縦断正面図
【図７】一実施の形態において炉床部を下降させた状態
の熱処理炉装置を示す縦断正面図
の熱処理炉装置を示す縦断正面図
【図８】一実施の形態において押圧機構等を示す縦断正
面図
面図
【図９】別の実施の形態において加熱処理時の炉体等を
示す縦断面図
示す縦断面図
【図１０】別の実施の形態において冷却処理時の炉体等
を示す縦断面図
を示す縦断面図
１ 炉体
２ 炉床部
３ 炉本体
５ ヒータ
６ ベース部分
１８ パッキン
２０ 押圧機構
２２ 揺動アーム（動力伝達部）
２３ 押圧作用部
２４ 駆動装置
Ｋ 加熱室
М マッフル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｆ２７Ｄ 11/02 Ｆ２７Ｄ 11/02 Ｚ
15/02 15/02 Ｈ
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F27B 5/04
F27B 5/06
F27B 5/13
F27B 17/00
F27D 7/06
F27D 11/02
F27D 15/02
Claims (8)
- 【請求項１】 少なくとも、炉本体と、炉本体の内部に
配置されたヒータと、このヒータの内側に配置されて被
処理物が収納される加熱室を構成するマッフルとを含
み、前記加熱室を冷却するときに、前記マッフルを当該
加熱室内の雰囲気を保持した状態で外気に対して露出さ
せられる構造を有している熱処理炉であって、前記炉本体を複数の炉体部分に分離可能に構成し、前記
加熱室内部の冷却に際しては、前記炉体部分の１ないし
は複数を他の炉体部分から分離することにより前記マッ
フルを外気に露出可能としている、 ことを特徴とする熱
処理炉。 - 【請求項２】 請求項１に記載の熱処理炉において、 前記炉本体が、筒状でかつ底部が開口した炉体と、該炉
体の底部開口部側に位置するとともに前記加熱室内にお
いて被処理物を支持する炉床部とを含む、 ことを特徴と
する熱処理炉。 - 【請求項３】 請求項２に記載の熱処理炉において、前記加熱室の冷却に際しては、前記炉体に対して前記炉
床部を相対下降させてマッフルを炉外の外気に露出可能
にしている、 ことを特徴とする熱処理炉。 - 【請求項４】 請求項２または３に記載の熱処理炉にお
いて、内部空間を前記加熱室とする前記マッフルを、底部が開
口した筒状部分と、この筒状部分と別体構造とされその
底部開口周縁に沿って径方向外向きのフランジ状に構成
されたベース部分とで構成し、前記筒状部分の下端開口
と前記ベース部分との間に環状のパッキンを介在してい
る、 ことを特徴とする熱処理炉。 - 【請求項５】 請求項４に記載の熱処理炉において、前記パッキンを前記マッフルの筒状部分またはこれと一
体とされた押圧部材により前記ベース部分側に押圧可能
としている、 ことを特徴とする熱処理炉。 - 【請求項６】 請求項５に記載の熱処理炉において、前記マッフルの筒状部分またはこれと一体とされた押圧
部材を前記パッキンに対して押圧する押圧機構を有す
る、 ことを特徴とする熱処理炉。 - 【請求項７】 請求項６に記載の熱処理炉において、前
記押圧機構は、前記パッキンを押圧する押圧作用部と、
該押圧作用部に動力伝達部を介して押圧力を付与する駆
動装置とからなるとともに、前記駆動装置を前記押圧箇
所より外方に離して配置している、ことを特徴とする熱
処理炉。 - 【請求項８】 請求項７に記載の熱処理炉において、前
記動力伝達部は、両端が背反的に上下揺動するように中
間箇所で軸支された揺動アームの一端部に前記駆動装置
から上向きの力を入力させ他端部に前記押圧作用部に下
向きの力を作用させるように構成している、ことを特徴
とする熱処理炉。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000344980A JP3498213B2 (ja) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | 熱処理炉 |
| KR10-2001-0064001A KR100454046B1 (ko) | 2000-11-13 | 2001-10-17 | 열처리로 |
| CNB011374454A CN1226588C (zh) | 2000-11-13 | 2001-11-13 | 热处理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000344980A JP3498213B2 (ja) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | 熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002147961A JP2002147961A (ja) | 2002-05-22 |
| JP3498213B2 true JP3498213B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=18819096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000344980A Expired - Lifetime JP3498213B2 (ja) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | 熱処理炉 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3498213B2 (ja) |
| KR (1) | KR100454046B1 (ja) |
| CN (1) | CN1226588C (ja) |
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| JP5492540B2 (ja) * | 2009-12-17 | 2014-05-14 | 株式会社アルバック | 熱処理炉 |
| JP5706633B2 (ja) * | 2010-06-18 | 2015-04-22 | 日新技研株式会社 | 誘導炉 |
| CN102788502A (zh) * | 2011-05-16 | 2012-11-21 | 钱佼佼 | 一种热处理炉结构 |
| CN106524765B (zh) * | 2016-12-26 | 2019-01-11 | 重庆长江工业炉制造有限公司 | 反应加热炉 |
| CN107321278A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-07 | 江苏维尔炉业有限公司 | 一种便于维修式罐体加热炉 |
| CN107335393A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-10 | 江苏维尔炉业有限公司 | 一种分体式反应釜加热炉 |
| CN107321279A (zh) * | 2017-09-01 | 2017-11-07 | 江苏维尔炉业有限公司 | 一种移动式反应釜加热炉体 |
| CN110594760B (zh) * | 2019-09-04 | 2021-03-09 | 扬州成威涂装设备有限公司 | 一种便于移动的全金属换热式氧化炉 |
| JP7373517B2 (ja) * | 2021-03-24 | 2023-11-02 | 日本碍子株式会社 | バッチ式熱処理炉及び熱処理炉システム |
| JP7432548B2 (ja) * | 2021-03-24 | 2024-02-16 | 日本碍子株式会社 | バッチ式熱処理装置 |
| JP7432549B2 (ja) * | 2021-03-24 | 2024-02-16 | 日本碍子株式会社 | バッチ式熱処理炉 |
| JP2022159851A (ja) * | 2021-04-05 | 2022-10-18 | 修 杉澤 | 熱分解装置及びこれを用いた油化処理装置 |
| CN113277535B (zh) * | 2021-05-20 | 2022-11-18 | 萍乡市华顺环保化工填料有限公司 | 一种新型氧化铝生产用沉降槽加热装置 |
| CN114593606A (zh) * | 2022-03-17 | 2022-06-07 | 中国航发沈阳发动机研究所 | 一种对开式立式转子加温装置 |
Family Cites Families (5)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS60101697U (ja) * | 1983-12-19 | 1985-07-11 | 東洋電機製造株式会社 | 真空炉 |
| JPH04268186A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-24 | Murata Mfg Co Ltd | 焼成炉 |
| JP3526980B2 (ja) * | 1995-08-16 | 2004-05-17 | 株式会社アルバック | 真空・ガス雰囲気熱処理炉 |
| JP3875322B2 (ja) * | 1996-09-25 | 2007-01-31 | 株式会社アルバック | 真空熱処理炉 |
-
2000
- 2000-11-13 JP JP2000344980A patent/JP3498213B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-10-17 KR KR10-2001-0064001A patent/KR100454046B1/ko active IP Right Grant
- 2001-11-13 CN CNB011374454A patent/CN1226588C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002147961A (ja) | 2002-05-22 |
| KR100454046B1 (ko) | 2004-10-26 |
| CN1355412A (zh) | 2002-06-26 |
| CN1226588C (zh) | 2005-11-09 |
| KR20020037256A (ko) | 2002-05-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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