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JP3496033B2 - Electrodeless discharge lamp and electrodeless discharge lamp light emitting device - Google Patents

Electrodeless discharge lamp and electrodeless discharge lamp light emitting device

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Publication number
JP3496033B2
JP3496033B2 JP19276892A JP19276892A JP3496033B2 JP 3496033 B2 JP3496033 B2 JP 3496033B2 JP 19276892 A JP19276892 A JP 19276892A JP 19276892 A JP19276892 A JP 19276892A JP 3496033 B2 JP3496033 B2 JP 3496033B2
Authority
JP
Japan
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discharge lamp
electrodeless discharge
lamp
mercury
microwave
Prior art date
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JP19276892A
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Inventor
省一 間山
正美 戸賀崎
秦司 鶴崎
薫 三塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
New Japan Radio Co Ltd
Ushio Denki KK
Original Assignee
New Japan Radio Co Ltd
Ushio Denki KK
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Publication date
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  • Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、マイクロ波で励起さ
せて紫外線を発生させる無電極放電ランプ、及びその発
光装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrodeless discharge lamp which is excited by microwaves to generate ultraviolet rays, and a light emitting device thereof.

【0002】[0002]

【従来技術】近年、紫外線が、紫外線硬化型の接着剤や
インキ、あるいは紫外線硬化型の塗料の硬化に使われた
り、その他の塗料の処理プロセスや化学物質の化学反応
などにも広くに使われている。この紫外線の発光源とし
て、従来は有電極の高圧水銀ランプが使われていたが、
最近は電極を持たない、所謂、無電極放電ランプが使わ
れている。このランプは、水銀などの発光材料を封入し
ており、外部からマイクロ波を照射すると、発光材料が
励起して発光する。
2. Description of the Related Art In recent years, ultraviolet rays have been widely used for curing ultraviolet-curable adhesives and inks, ultraviolet-curable paints, and other treatment processes of paints and chemical reactions of chemical substances. ing. Conventionally, a high pressure mercury lamp with an electrode was used as a light source for this ultraviolet light.
Recently, so-called electrodeless discharge lamps having no electrodes have been used. This lamp is filled with a light emitting material such as mercury, and when irradiated with a microwave from the outside, the light emitting material is excited to emit light.

【0003】このようなマイクロ波無電極発光装置を説
明したものに、例えば、特公平2─31459号があ
る。この公報では、ランプ内に封入する水銀やヨウ素や
ハロゲンの量が規定されている。そして、この規定した
封入量によって、被照射物を処理をするための紫外線の
出力を増大させることが書かれている。
An example of such a microwave electrodeless light emitting device is described in Japanese Patent Publication No. 2-34459. In this publication, the amounts of mercury, iodine and halogen to be enclosed in the lamp are specified. Then, it is written that the output of ultraviolet rays for treating the object to be irradiated is increased by the specified enclosed amount.

【0004】一方、無電極放電ランプは、その内部に水
銀やアルゴンガスを入れ、鉄などの金属を入れない、所
謂、高圧水銀ランプとしてのものと、鉄などの金属も入
れる、所謂、メタルハライドランプとしてのものがあ
る。これらの違いは発光波長にあり、被照射物によって
好適な方が選ばれる。尚、メタルハライドランプとして
使う時は、鉄以外に、マグネシウム、錫、タリウムなど
を封入することもできる。例えば、メタルハライドラン
プと比較して、高圧水銀ランプは、紫外線波長200〜
450nmのうち、200〜300nmの紫外線強度が
高いことに特徴があり、紫外線硬化型の接着剤やワニス
の硬化乾燥といった処理に適している。一方、鉄を入れ
たメタルハライドランプは、紫外線波長200〜450
nmのうち、350〜450nmの紫外線強度が高いこ
とに特徴があり、紫外線硬化型インキなど、顔料の入っ
た樹脂の乾燥処理をするのに適している。
On the other hand, the electrodeless discharge lamp is a so-called high-pressure mercury lamp in which mercury or argon gas is put inside and metal such as iron is not put, and so-called metal halide lamp in which metal such as iron is also put. There is something like. These differences are in the emission wavelength, and a suitable one is selected depending on the object to be irradiated. When used as a metal halide lamp, magnesium, tin, thallium, etc. can be enclosed in addition to iron. For example, compared with metal halide lamps, high-pressure mercury lamps have an ultraviolet wavelength of 200-
It is characterized by having a high ultraviolet intensity of 200 to 300 nm of 450 nm, and is suitable for a treatment such as curing and drying of an ultraviolet curable adhesive or varnish. On the other hand, a metal halide lamp containing iron has an ultraviolet wavelength of 200 to 450.
It is characterized in that it has a high ultraviolet intensity of 350 to 450 nm, and is suitable for drying a resin containing a pigment such as an ultraviolet curable ink.

【0005】ところで、上記公報には、ランプ形状が球
形のものについて書かれているが、紫外線を発光する無
電極放電ランプは、球形に限らず棒状のものもある。例
えば、被照射物が、搬送ベルトによって搬送されて、順
次に照射処理されていくようなものに適用され、搬送ベ
ルトの幅方向に、ランプの長手方向を配置すれば、搬送
ベルトの幅方向では、ほぼ均一に照射処理できるという
利点がある。このような棒状のランプについて開示した
ものには、例えば、特開平2─189805号がある。
By the way, although the above publication describes a lamp having a spherical shape, the electrodeless discharge lamp which emits ultraviolet rays is not limited to a spherical shape but may have a rod shape. For example, the object to be irradiated is applied to the one that is conveyed by the conveyor belt and is sequentially irradiated. If the longitudinal direction of the lamp is arranged in the width direction of the conveyor belt, the width direction of the conveyor belt is However, there is an advantage that the irradiation treatment can be performed almost uniformly. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2-189805 discloses such a rod-shaped lamp.

【0006】ところで、このような棒状のランプは、長
時間使用していると、ランプの管壁が白濁したり、封入
ガスが外部にリークしたり、あるいは、発光管内でスネ
ーク状の異常な発光をすることがある。一般に、上記に
示したような被照射物の処理する装置としては、高圧水
銀ランプの場合3000時間、メタルハライドランプの
場合1000時間、使用しても点灯初期の70%の光出
力を維持できれば良いとされている。しかし、現実に
は、上記の原因でこの時間を点灯できないことがある。
By the way, when such a rod-shaped lamp is used for a long time, the tube wall of the lamp becomes cloudy, the enclosed gas leaks to the outside, or a snake-like abnormal light emission occurs in the arc tube. May be. Generally, as a device for treating an irradiation object as described above, it is sufficient that a high pressure mercury lamp can be used for 3000 hours, a metal halide lamp can be used for 1000 hours, and even if it is used, a light output of 70% of the initial lighting can be maintained. Has been done. However, in reality, it may not be possible to turn on this time due to the above reasons.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、所望の時間良好に点灯することができる
無電極放電ランプおよびその発光装置を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electrodeless discharge lamp and a light emitting device thereof that can be satisfactorily lit for a desired time.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】課題を解決するために、
この発明の無電極放電ランプは、内部に、50ないし1
50Torrの始動用のアルゴンガスと、ランプ内容積1cc
当たり、0.7×10 −5 グラム原子ないし7. 0×1
−5 グラム原子の水銀と、3.0×10−9ないし
6.0×10−7グラム分子のヨウ化水銀を封入して作
ったことを特徴とする。 この無電極放電ランプは高圧
水銀ランプとして働く。また、メタルハライドランプと
して働くためには、内部に、鉄を封入して、さらに、
部に、50ないし150Torrのアルゴンガスと、ランプ
内容積1cc当たり、0.7×10 −5 グラム原子ないし
7. 0×10 −5 グラム原子の水銀と、7.3×10
−5 gないし6. 0×10 −4 gの鉄と、3.0×10
−8ないし2.0×10−6グラム分子のヨウ化水銀を
封入して作ったものが提供される。一方、これら無電極
放電ランプを点灯させる発光装置としては、棒状の無電
極放電ランプと、この無電極放電ランプが配置されるマ
イクロ波空洞を構成する空洞壁と、この無電極放電ラン
プから発生する紫外線を被照射物の方向に反射させる反
射ミラーと、マイクロ波発生手段と、このマイクロ波発
生手段で発生したマイクロ波を伝送する導波管と、この
導波管内のマイクロ波を空洞壁および反射ミラーを貫通
して、無電極放電ランプに結合するアンテナと、を具備
する無電極放電ランプ発光装置において、前記無電極放
電ランプが高圧水銀ランプの場合は、内部に、50ない
し150Torrの始動用のアルゴンガスと、ランプ内容積
1cc当たり、0.7×10 −5 グラム原子ないし7. 0
×10 −5 グラム原子の水銀と、3.0×10−9ない
し6.0×10−7グラム分子のヨウ化水銀を封入して
作ったことを特徴とする。前記無電極放電ランプがメタ
ルハライドランプの場合は、内部に、50ないし150
Torrの始動用のアルゴンガスと、ランプ内容積1cc当た
り、0.7×10 −5 グラム原子ないし7. 0×10
−5 グラム原子の水銀と、7.3×10 −5 gないし
6. 0×10 −4 gの鉄と、3.0×10−8ないし
2.0×10−6グラム分子のヨウ化水銀を封入して作
ったことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the problems,
The electrodeless discharge lamp of the present invention has 50 to 1
Argon gas for starting at 50 Torr and internal volume of lamp 1cc
Per 0.7 × 10 −5 gram atom or 7.0 × 1
0 and -5 gram atoms mercury, characterized in that made by sealing 3.0 × 10 -9 to 6.0 × 10 -7 gram molecular mercury iodide. This electrodeless discharge lamp works as a high pressure mercury lamp. In addition, in order to work as a metal halide lamp, iron is enclosed inside and
50 to 150 Torr of argon gas and 0.7 × 10 −5 gram atom per 1 cc of internal volume of the lamp or
7.0 × 10 −5 gram atom of mercury and 7.3 × 10
−5 g to 6.0 × 10 −4 g of iron, 3.0 × 10
Provided is an encapsulation of -8 to 2.0 x 10 -6 gram molecules of mercury iodide. On the other hand, as a light emitting device for lighting these electrodeless discharge lamps, a rod-shaped electrodeless discharge lamp, a cavity wall forming a microwave cavity in which this electrodeless discharge lamp is arranged, and the electrodeless discharge lamp are generated. A reflection mirror for reflecting the ultraviolet rays in the direction of the object to be irradiated, a microwave generation means, a waveguide for transmitting the microwave generated by the microwave generation means, and a cavity wall and reflection of the microwave in the waveguide. In an electrodeless discharge lamp light-emitting device comprising an antenna that penetrates a mirror and is coupled to an electrodeless discharge lamp, if the electrodeless discharge lamp is a high pressure mercury lamp, there is no internal 50
Argon gas for starting at 150 Torr and 0.7 × 10 −5 g atom or 7.0 per 1 cc of internal volume of the lamp.
× and 10 -5 gram atom of mercury, 3.0 × 10 -9 to, characterized in that made by sealing 6.0 × 10 -7 gram molecular mercury iodide. When the electrodeless discharge lamp is a metal halide lamp, 50 to 150
Argon gas for starting Torr and 0.7 × 10 −5 gram atom to 7.0 × 10 per 1 cc of internal volume of the lamp
-5 gram atom mercury and 7.3 x 10 -5 g or
It is characterized by being made by encapsulating 6.0 × 10 −4 g of iron and 3.0 × 10 −8 to 2.0 × 10 −6 gram molecules of mercury iodide.

【0009】[0009]

【作用】このような構成により、高圧水銀ランプおよび
メタルハライドランプの各々に対して、所定量のヨウ化
水銀を封入して作ったランプを使うことにより、所望の
時間良好に点灯させることができる。
With such a structure, the high-pressure mercury lamp and the metal halide lamp can be satisfactorily lit for a desired time by using a lamp made by enclosing a predetermined amount of mercury iodide.

【0010】[0010]

【実施例】以下、図を用いて、この発明を具体的に説明
する。図1は、この発明の無電極放電ランプを示す。図
2、図3は、この発明の無電極放電ランプ発光装置を示
す。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an electrodeless discharge lamp of the present invention. 2 and 3 show an electrodeless discharge lamp light emitting device of the present invention.

【0011】無電極発光放電ランプ1(以下、単にラン
プと言う)は、石英ガラスよりなり、発光部1aとラン
プ支持部1bより構成される。このランプ支持部1bで
ランプを装置に保持している。ランプ1の中には、発光
材料としての水銀と始動用希ガスとしてのアルゴンが封
入してある。また、ランプ1をメタルハライドランプと
して使う時は、さらに鉄を封入する。ランプ1は、例え
ば、発光長240mm、外径8mmのものが適用され
る。そして、ランプ1の中には、後述するが、ランプ寿
命を長くするために、ヨウ化水銀も封入されている。
The electrodeless light emitting discharge lamp 1 (hereinafter, simply referred to as a lamp) is made of quartz glass and is composed of a light emitting portion 1a and a lamp supporting portion 1b. The lamp is held on the device by the lamp support portion 1b. The lamp 1 is filled with mercury as a light emitting material and argon as a rare gas for starting. Further, when the lamp 1 is used as a metal halide lamp, iron is further enclosed. As the lamp 1, for example, a lamp having a light emission length of 240 mm and an outer diameter of 8 mm is applied. And, as will be described later, in the lamp 1, mercury iodide is also enclosed in order to prolong the life of the lamp.

【0012】次に、ランプ1の製造方法について簡単に
説明する。まず、石英ガラス管の両端部を封止し、封止
部にランプ支持部となる石英棒を熔融して取り付ける。
次に、石英ガラス管の略中央部にガス導入用のチップ管
を取り付ける。このチップ管は通常外形4mm程度の細管
であり、ここから石英ガラス管の内部に充填器によって
液体状の水銀及び粒状のヨウ化水銀を入れる。また、メ
タルハライドランプの場合は、この時、ワイヤ状の小さ
な鉄も入れる。次にチップ管より真空引きを行い、希ガ
スを封入して、その後、チップ管を封止する。
Next, a method of manufacturing the lamp 1 will be briefly described. First, both ends of the quartz glass tube are sealed, and a quartz rod serving as a lamp supporting portion is melted and attached to the sealing portion.
Next, a chip tube for introducing gas is attached to the approximate center of the quartz glass tube. The tip tube is usually a thin tube having an outer diameter of about 4 mm, and liquid mercury and granular mercury iodide are put into the quartz glass tube from here by a filler. Also, in the case of a metal halide lamp, at this time, insert a small iron wire. Next, the chip tube is evacuated to seal the rare gas, and then the chip tube is sealed.

【0013】次に、無電極放電ランプ発光装置を説明す
る。10は照射部を示し、その内部にランプ1、金属材
料で形成され、ランプ1を取り囲むマイクロ波空胴壁1
1、ランプ1からの放射光を被照射物の方向に反射する
反射ミラー12、マイクロ波が良好にランプ1に結合す
るためのアンテナ13、及びマイクロ波空胴壁の一壁を
構成するとともにマイクロ波は透過せず発生した紫外線
のみを透過するメッシュ14を有する。
Next, the electrodeless discharge lamp light emitting device will be described. Reference numeral 10 denotes an irradiation part, in which the lamp 1 and the microwave cavity wall 1 formed of a metal material and surrounding the lamp 1 are provided.
1, a reflection mirror 12 for reflecting the light emitted from the lamp 1 in the direction of the object to be irradiated, an antenna 13 for favorably coupling microwaves to the lamp 1, and a microwave cavity wall and a micro wall. It has a mesh 14 that does not transmit waves but only the generated ultraviolet rays.

【0014】20はマイクロ波発生部を示し、マグネト
ロン21と導波管22より構成される。マグネトロン2
1からは2450MHzのマイクロ波が発生して、マイク
ロ波空胴壁内を電磁界としている。そして、マイクロ波
を導波管22、アンテナ13を介して、ランプ1に結合
する。30は搬送部を示し、搬送ベルト31と搬送台3
2よりなる。40は制御部を示し、搬送ベルト31の駆
動やマグネトロン21の発振を制御することができる。
また、図示略ではあるが、ランプ1を冷却するための冷
却ファンも設けられており、このファンの駆動も制御す
ることができる。50はランプ1からの放射光が照射さ
れ、所望の処理が施される被照射物を示す。
Reference numeral 20 denotes a microwave generator, which is composed of a magnetron 21 and a waveguide 22. Magnetron 2
From 1, microwave of 2450 MHz is generated, and the inside of the microwave cavity wall is used as an electromagnetic field. Then, the microwave is coupled to the lamp 1 via the waveguide 22 and the antenna 13. Reference numeral 30 denotes a transport unit, which is a transport belt 31 and a transport base 3.
It consists of 2. Reference numeral 40 denotes a control unit, which can control driving of the conveyor belt 31 and oscillation of the magnetron 21.
Although not shown, a cooling fan for cooling the lamp 1 is also provided, and the drive of this fan can also be controlled. Reference numeral 50 denotes an object to be irradiated, which is irradiated with the radiant light from the lamp 1 and is subjected to a desired process.

【0015】この発明のランプは、前述の如く、内部に
ヨウ化水銀を封入して作っている。図4は、高圧水銀ラ
ンプとしての棒状の無電極放電ランプにおいて、ヨウ化
水銀の封入量とランプの寿命の関係を示したものであ
る。ここで、この場合の寿命とは、光出力が初期の70
%になった時間と定義している。ランプ管壁が白濁した
り、発光管内でスネーク状の異常な発光をした場合は、
光出力が初期の70%になった時点で寿命とする。ま
た、封入ガスが外部にリークしたときは、通常、その時
点で不点灯となるため、結局、光出力は初期の70%以
下となり寿命ということになる。ランプの内径は8mm、
発光長240mm、内容積12cm3 の棒状のもので、水銀
は50mg、アルゴンガスは100Torr封入している。
As described above, the lamp of the present invention is made by enclosing mercury iodide inside. FIG. 4 shows the relationship between the enclosed amount of mercury iodide and the life of the lamp in a rod-shaped electrodeless discharge lamp as a high-pressure mercury lamp. Here, the life in this case means that the optical output is 70
It is defined as the time when it reaches%. If the lamp tube wall becomes cloudy or if snake-like abnormal light emission occurs in the arc tube,
The life is reached when the light output reaches 70% of the initial value. Further, when the sealed gas leaks to the outside, the light normally does not come on at that time, so that the light output is 70% or less of the initial value, which means the life. The inner diameter of the lamp is 8mm,
It has a rod-like shape with an emission length of 240 mm and an internal volume of 12 cm 3 , and contains 50 mg of mercury and 100 Torr of argon gas.

【0016】図4より、ヨウ化水銀の封入量が、ランプ
内容積1ccあたり、 3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム
分子の範囲であれば、ランプ寿命が3000時間を達成
することができる。そして、特に好ましい封入量として
は、ランプ内容積1ccあたり、2×10-8ないし1×1
-7グラム分子の範囲である。
From FIG. 4, it is possible to achieve a lamp life of 3000 hours if the amount of enclosed mercury iodide is in the range of 3.0 × 10 -9 to 6.0 × 10 -7 gram molecules per 1 cc of the internal volume of the lamp. it can. And, as a particularly preferable filling amount, 2 × 10 −8 to 1 × 1 per 1 cc of the internal volume of the lamp
It is in the range of 0-7 gram molecules.

【0017】水銀についての封入量は、従来より、ラン
プ内容積1cc当たり0.7 ×10-5グラム原子ないし7.0 ×
10-5グラム原子が所望の紫外線出力を得るために良いこ
とが知られているが、この範囲より小さい場合は光出力
が小さくなり、一方、この範囲より大きい場合は、ラン
プはスネーク状の発光をするので好ましくない。また、
アルゴンガスの封入量について、水銀の封入量がランプ
内容積1ccあたり2.1 ×10-5グラム原子、ヨウ化水銀
がランプ内容積1ccあたり9.2 ×10-8グラム分子、1
0、50、100、150、200Torrの各々で実験を
行った。アルゴンガスを10Torr封入したときは、ラン
プの点灯始動に10秒以上かかり、実用上使いものにな
らないことがわかった。また、200Torr封入したとき
には、ランプは点灯しなかった。この結果、適切な封入
量としては50〜150Torrといえる。
The amount of mercury enclosed has conventionally been 0.7 × 10 −5 gram atom to 7.0 × per 1 cc of internal volume of the lamp.
It is known that 10 -5 gram atoms are good for obtaining the desired UV output, but below this range the light output is low, while above this range the lamp emits a snake-like light. It is not preferable because Also,
Regarding the enclosed amount of argon gas, the enclosed amount of mercury is 2.1 × 10 -5 g atom per 1 cc of the lamp inner volume, and mercury iodide is 9.2 × 10 -8 g molecule per 1 cc of the lamp inner volume, 1
Experiments were carried out at 0, 50, 100, 150 and 200 Torr, respectively. It was found that, when 10 Torr of argon gas was filled, it took 10 seconds or more to start the lighting of the lamp, which was not practically usable. Moreover, when 200 Torr was sealed, the lamp did not light. As a result, it can be said that the appropriate amount of sealing is 50 to 150 Torr.

【0018】図5は、鉄を含んだメタルハライドランプ
としての無電極放電ランプにおいて、ヨウ化水銀の封入
量とランプの寿命の関係を示したものである。ランプの
寸法形状や水銀、アルゴンガスの封入量、さらには寿命
の定義は図4と同一である。図5より、ヨウ化水銀の封
入量が、ランプ内容積1ccあたり、3.0×10−8
ないし2.0×10−6グラム分子の範囲であれば、ラ
ンプ寿命が1000時間を達成することができる。そし
て、特に好ましい封入量としては、ランプ内容積1cc
あたり、3.5×10−7ないし7.0×10−7グラ
ム分子の範囲であることがわかる。尚、この実験では鉄
の封入量を7.3×10−5ないし6.0×10−4
/cc封入している。
FIG. 5 shows the relationship between the amount of mercury iodide enclosed and the life of the lamp in an electrodeless discharge lamp as a metal halide lamp containing iron. The size and shape of the lamp, the amount of mercury and argon gas enclosed, and the definition of the life are the same as in FIG. From FIG. 5, the enclosed amount of mercury iodide was 3.0 × 10 −8 per 1 cc of the internal volume of the lamp.
A lamp life of 1000 hours can be achieved in the range of from 2.0 × 10 −6 g / mole . And, as a particularly preferable filling amount, the internal volume of the lamp is 1 cc
It can be seen that the range is 3.5 × 10 −7 to 7.0 × 10 −7 gram molecules. In this experiment, the amount of iron enclosed was 7.3 × 10 −5 to 6.0 × 10 −4 g.
/ Cc is included.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、高圧水銀ランプおよびメタルハライドランプの各々
に対して、所定量のヨウ化水銀を封入して作ったランプ
を使うことにより、所望の時間良好に点灯させることが
できる。
As described above, according to the present invention, by using a lamp made by enclosing a predetermined amount of mercury iodide for each of a high pressure mercury lamp and a metal halide lamp, a desired time can be obtained. It can be turned on well.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の無電極放電ランプを示した図であ
る。
FIG. 1 is a view showing an electrodeless discharge lamp of the present invention.

【図2】この発明の無電極放電ランプ発光装置を示した
図である。
FIG. 2 is a view showing an electrodeless discharge lamp light emitting device of the present invention.

【図3】この発明の無電極放電ランプ発光装置を示した
図である。
FIG. 3 is a view showing an electrodeless discharge lamp light emitting device of the present invention.

【図4】この発明の無電極放電ランプのヨウ化水銀とラ
ンプの点灯時間の関係を示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between mercury iodide and the lighting time of the electrodeless discharge lamp of the present invention.

【図5】この発明の無電極放電ランプのヨウ化水銀とラ
ンプの点灯時間の関係を示した図である。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between mercury iodide and a lighting time of the electrodeless discharge lamp of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 無電極放電ランプ 10 照射部 11 マイクロ波空胴壁 12 反射ミラー 13 アンテナ 20 マイクロ波発生部 21 マグネトロン 22 導波管 30 搬送部 40 制御部 50 被照射物 1 electrodeless discharge lamp 10 Irradiation part 11 Microwave cavity wall 12 reflective mirror 13 antennas 20 Microwave generator 21 magnetron 22 Waveguide 30 transport section 40 control unit 50 irradiation target

フロントページの続き (72)発明者 戸賀崎 正美 神奈川県横浜市緑区元石川町6409番地 ウシオ電機株式会社内 (72)発明者 鶴崎 秦司 兵庫県姫路市別所町佐土1194 ウシオ電 機株式会社内 (72)発明者 三塚 薫 埼玉県上福岡市福岡二丁目1番1号 新 日本無線株式会社川越製作所内 (56)参考文献 特開 昭62−211851(JP,A) 特開 昭60−158544(JP,A) 特開 昭57−63768(JP,A) 特開 昭63−291351(JP,A) 特開 平2−189805(JP,A)Continued front page    (72) Inventor Masami Togasaki               6409 Motoishikawa-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture               Ushio Electric Co., Ltd. (72) Inventor Tsurusaki Hata               1194 Sado, Bessho-cho, Himeji City, Hyogo Prefecture Usioden               Machine Co., Ltd. (72) Inventor Kaoru Mitsuka               2-1, 1-1, Fukuoka, Kamifukuoka City, Saitama Prefecture               Japan Radio Co., Ltd., Kawagoe Works                (56) References Japanese Patent Laid-Open No. 62-211851 (JP, A)                 JP 60-158544 (JP, A)                 JP-A-57-63768 (JP, A)                 JP 63-291351 (JP, A)                 JP-A-2-189805 (JP, A)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀
を封入して作ったマイクロ波電磁界内で点灯される棒状
石英ガラスからなる無電極放電ランプにおいて、内部
に、50ないし150Torrのアルゴンガスと、ランプ内
容積1cc当たり、0.7×10 −5 グラム原子ないし
7.0×10 −5 グラム原子の水銀と、3.0×10
−9ないし6.0×10−7グラム分子のヨウ化水銀を
封入して作ったことを特徴とする無電極放電ランプ。
1. An electrodeless discharge lamp made of rod-shaped quartz glass which is ignited in a microwave electromagnetic field produced by enclosing a starting argon gas and mercury therein. Argon gas and 0.7 × 10 −5 gram atom per 1 cc of internal volume of the lamp
7.0 × 10 −5 gram atom mercury and 3.0 × 10
An electrodeless discharge lamp characterized by being made by encapsulating mercury iodide of -9 to 6.0 x 10 -7 gram molecules.
【請求項2】 内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀
と、鉄とを封入して作ったマイクロ波電磁界内で点灯さ
れる棒状の石英ガラスからなる無電極放電ランプにおい
て、内部に、50ないし150Torrのアルゴンガスと、
ランプ内容積1cc当たり、0.7×10 −5 グラム原子
ないし7.0×10 −5 グラム原子の水銀と、7.3×
10 −5 gないし6.0×10 −4 gの鉄と、3.0×
10−3ないし2.0×10−6グラム分子のヨウ化水
銀を封入して作ったことを特徴とする無電極放電ラン
プ。
2. An electrodeless discharge lamp made of quartz glass in the shape of a rod, which is lighted in a microwave electromagnetic field produced by enclosing a starting argon gas, mercury, and iron therein. 50 to 150 Torr argon gas,
0.7 × 10 −5 g atom per 1 cc of lamp volume
To 7.0 × 10 −5 gram atom mercury and 7.3 ×
10 −5 g to 6.0 × 10 −4 g of iron, 3.0 ×
An electrodeless discharge lamp, which is produced by enclosing mercury iodide of 10 −3 to 2.0 × 10 −6 gram molecule.
【請求項3】 棒状の石英ガラスからなる無電極放電ラ
ンプと、この無電極放電ランプが配置されるマイクロ波
空洞を構成する空洞壁と、この無電極放電ランプから発
生する紫外線を被照射物の方向に反射させる反射ミラー
と、マイクロ波発生手段と、このマイクロ波発生手段で
発生したマイクロ波を伝送する導波管と、この導波管内
のマイクロ波を空洞壁および反射ミラーを貫通して、無
電極放電ランプに結合するアンテナと、を具備する無電
極放電ランプ発光装置において、前記無電極放電ランプ
は、内部に、50ないし150Torrのアルゴンガスと、
ランプ内容積1cc当たり、0.7×10 −5 グラム原子
ないし7.0×10 −5 グラム原子の水銀と、3.0×
10−9ないし6.0×10−7グラム分子のヨウ化水
銀を封入して作ったことを特徴とする無電極放電ランプ
発光装置。
3. An electrodeless discharge lamp made of rod-shaped quartz glass, a cavity wall forming a microwave cavity in which the electrodeless discharge lamp is arranged, and ultraviolet rays generated from the electrodeless discharge lamp are irradiated with an object to be irradiated. A reflecting mirror for reflecting in a direction, a microwave generating means, a waveguide for transmitting the microwave generated by the microwave generating means, a microwave in the waveguide passing through the cavity wall and the reflecting mirror, An electrodeless discharge lamp light-emitting device, comprising: an antenna coupled to an electrodeless discharge lamp, wherein the electrodeless discharge lamp internally has an argon gas of 50 to 150 Torr,
0.7 × 10 −5 g atom per 1 cc of lamp volume
To 7.0 × 10 −5 gram atom mercury and 3.0 ×
An electrodeless discharge lamp light emitting device, characterized by being made by encapsulating 10-9 to 6.0 × 10 -7 gram molecules of mercury iodide.
【請求項4】 棒状の石英ガラスからなる無電極放電ラ
ンプと、この無電極放電ランプが配置されるマイクロ波
空洞を構成する空洞壁と、この無電極放電ランプから発
生する紫外線を被照射物の方向に反射させる反射ミラー
と、マイクロ波発生手段と、このマイクロ波発生手段で
発生したマイクロ波を伝送する導波管と、この導波管内
のマイクロ波を空洞壁および反射ミラーを貫通して、無
電極放電ランプに結合するアンテナと、を具備する無電
極放電ランプ発光装置において、前記無電極放電ランプ
は、内部に、50ないし150Torrのアルゴンガスと、
ランプ内容積1cc当たり、0.7×10 −5 グラム原子
ないし7.0×10 −5 グラム原子の水銀と、7.3×
10 −5 gないし6.0×10 −4 gの鉄と、3.0×
10−3ないし2.0×10−6グラム分子のヨウ化水
銀を封入して作ったことを特徴とする無電極放電ランプ
発光装置。
4. An electrodeless discharge lamp made of rod-shaped quartz glass, a cavity wall constituting a microwave cavity in which the electrodeless discharge lamp is arranged, and ultraviolet rays generated from the electrodeless discharge lamp to be irradiated. A reflecting mirror for reflecting in a direction, a microwave generating means, a waveguide for transmitting the microwave generated by the microwave generating means, a microwave in the waveguide passing through the cavity wall and the reflecting mirror, An electrodeless discharge lamp light-emitting device, comprising: an antenna coupled to an electrodeless discharge lamp, wherein the electrodeless discharge lamp internally has an argon gas of 50 to 150 Torr,
0.7 × 10 −5 g atom per 1 cc of lamp volume
To 7.0 × 10 −5 gram atom mercury and 7.3 ×
10 −5 g to 6.0 × 10 −4 g of iron, 3.0 ×
An electrodeless discharge lamp light-emitting device, characterized by being made by encapsulating 10 −3 to 2.0 × 10 −6 gram molecule of mercury iodide.
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