JP3494343B2 - 五フッ化リンの製造方法 - Google Patents
五フッ化リンの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種ヘキサフルオ
ロリン酸塩、その中でも特に、リチウム電池およびリチ
ウムイオン電池用の電解質として有用なヘキサフルオロ
リン酸リチウムの原料として有用な五フッ化リンの製造
方法に関する。 【０００２】 【従来技術】五フッ化リン（ＰＦ5）は、各種ヘキサフ
ルオロリン酸塩、その中でも特に、リチウム電池および
リチウムイオン電池用の電解質として有用なヘキサフル
オロリン酸リチウムの原料として、また、ポリマーの重
合触媒や半導体用ドーピング剤としても使用され、有用
な化合物である。 【０００３】五フッ化リンを製造する方法としては、フ
ッ素（Ｆ2）とリン（Ｐ）を直接反応させる方法や五塩
化リン（ＰＣｌ5）を三フッ化砒素（ＡｓＦ3）やフッ化
水素（ＨＦ）等のフッ素化剤と反応させる方法などが知
られている。 【０００４】 【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、フッ
素とリンを直接反応させる方法は、反応速度が大きいた
め反応を制御するのが非常に難しいという問題がある。
さらに、高価なフッ素ガスを使用するため、当然ことな
がら得られる五フッ化リンも高価なものになってしま
う。 【０００５】一方、五塩化リンを三フッ化砒素やフッ化
水素等のフッ素化剤と反応させる方法は、原料である五
塩化リンが吸湿性の大きな固体であるため取り扱いが難
しく、特に、製造設備への原料投入等においてその作業
性が悪く、機械化も図りにくいという問題がある。ま
た、五塩化リンが大気中の水分と容易に反応するため、
作業中にしばしば有毒な塩化水素ガスが発生し作業環境
を悪化させている。 【０００６】 【問題点を解決するための具体的手段】本発明者は上記
問題に対し、検討を重ねた結果、三塩化リン（ＰＣ
ｌ3）とフッ化水素を反応させてガス状の三フッ化リン
（ＰＦ3）を生成させた後、三フッ化リンと塩素（Ｃ
ｌ2）を反応させてガス状の二塩化三フッ化リン（ＰＣ
ｌ2Ｆ3）を生成させ、さらに、二塩化三フッ化リンとフ
ッ化水素を反応させて五フッ化リンを得ることにより、
上記した従来技術の問題点を解決できることを見出し本
発明に到達したものである。 【０００７】 すなわち本発明は、三塩化リンとフッ化
水素を反応させてガス状の三フッ化リンを生成（第一フ
ッ素化工程）させ、第一フッ素化工程で生成した三フッ
化リンと塩素を反応させてガス状の二塩化三フッ化リン
を生成（塩素化工程）させ、さらに、二塩化三フッ化リ
ンとフッ化水素を反応させて五フッ化リンを生成（第二
フッ素化工程）させて五フッ化リンを製造するに際し、
第一フッ素化工程において、フッ化水素と三塩化リンの
供給が、フッ化水素の三塩化リンに対するモル比が３〜
５の場合は、塩素化工程において、塩素の供給を、塩素
の三塩化リンに対するモル比が１〜１０となるように供
給し、全工程（第一フッ素化工程、塩素化工程および第
二フッ素化工程）におけるフッ化水素の三塩化リンに対
するモル比が５〜３０となるように、不足分のフッ化水
素を第二フッ素化工程で供給することを特徴とする五フ
ッ化リンの製造方法を提供するものである。 【０００８】本発明において、三塩化リンとフッ化水素
を反応させてガス状の三フッ化リンを生成させた後、三
フッ化リンと塩素を反応させてガス状の二塩化三フッ化
リンを生成させ、さらに、二塩化三フッ化リンとフッ化
水素を反応させて五フッ化リンを得るのが望ましい。 【０００９】出発原料に室温で液体である三塩化リンを
用いるため、五塩化リンを原料に使用する場合と比較し
て、製造設備への原料投入等においてその作業性が飛躍
的に向上し、機械化も容易に図れるというメリットを有
する。 【００１０】以下、本発明を詳細に説明する。まず始め
に、三塩化リンとフッ化水素を反応させてガス状の三フ
ッ化リンを生成させ、その後、三フッ化リンと塩素を反
応させてガス状の二塩化三フッ化リンを生成させるのが
特に重要である。最初に、三塩化リンと塩素を反応させ
ると、固体の五塩化リンが生成、析出し、配管などを閉
塞するなどの問題が生じる。本発明では、最初に三塩化
リンとフッ化水素を反応させてガス状の三フッ化リンを
生成させた後、塩素と反応させるため、ガス状のものし
か生成せず、このため、配管などが閉塞する等の問題は
全く生じない。 【００１１】第一フッ素化工程において、三塩化リンと
フッ化水素の混合方法としては、窒素やアルゴンなどの
不活性ガスのキャリアーに同伴させた三塩化リンガスと
フッ化水素ガスを接触させる方法、不活性ガスのキャリ
アーに同伴させた三塩化リンガスを無水フッ酸液と接触
させる方法、フッ化水素ガスを三塩化リンの液体と接触
させる方法、三塩化リンの液体と無水フッ酸液を接触さ
せる方法などを挙げることができる。この中で、フッ化
水素ガスを三塩化リンの液体と接触させる方法が、フッ
化水素と三塩化リンの供給量を制御しやすいことから最
も好適である。フッ化水素ガスの供給量はマスフローコ
ントローラーで、三塩化リン液の供給量は送液ポンプで
それぞれ容易に制御できる。 【００１２】三塩化リンとフッ化水素の供給は、フッ化
水素の三塩化リンに対するモル比（ＨＦ／ＰＣｌ3）が
５〜３０の範囲が好ましくは、最適には、モル比が５〜
２０の範囲であることが望ましい。モル比が５以下にな
ると後述するように追加のフッ化水素を必要とする。モ
ル比の上限については特に限定はされないが、モル比が
３０以下であることが望ましい。またモル比を３０より
大きくしても、効果はほとんど期待できないだけでな
く、逆に、第二フッ素化工程後、生成ガスを精製する場
合には多大な労力が必要となり不都合が生じる。 【００１３】なお、第一フッ素化工程におけるフッ化水
素と三塩化リンの供給が、フッ化水素の三塩化リンに対
するモル比で５〜３０であると、塩素化工程後新たにフ
ッ化水素を供給しなくても第二フッ素化工程で完遂さ
れ、その結果、作業が簡素化するのでより好ましい。 【００１４】塩素化工程における塩素の供給量は、塩素
の供給した三塩化リンに対するモル比（Ｃｌ2／ＰＣ
ｌ3）が１〜１０であることが望ましい。モル比が１未
満であると第一フッ素化工程で生成した三フッ化リンが
完全に二塩化三フッ化リンに変わらず一部残ってしまい
好ましくない。残った三フッ化リンは、第二フッ素化工
程に送られても五フッ化リンにはならない。モル比の上
限については特に限定はされないが、モル比が１０以下
であることが望ましい。モル比を１０より大きくして
も、効果はほとんど期待できないだけでなく、逆に、第
二フッ素化工程後、生成ガスを精製する場合には多大な
労力が必要となる等不都合が生じる。 【００１５】なお、第一フッ素化工程において、フッ化
水素と三塩化リンの供給を、フッ化水素の三塩化リンに
対するモル比が３〜５の場合には、全工程（第一フッ素
化工程＋塩素化工程＋第二フッ素化工程）におけるフッ
化水素の三塩化リンに対するモル比で５〜３０となるよ
うに、不足分のフッ化水素を新たに第二フッ素化工程で
供給することにより特に問題はない。モル比が３未満で
あると未反応の三塩化リンが残ってしまい好ましくな
い。生成物に三塩化リンが残っていると次の塩素化工程
で固体である五塩化リンが生成、析出し、配管の閉塞な
どの問題が生じる。 【００１６】第一フッ素化工程、塩素化工程及び第二フ
ッ素化工程の各工程の操作圧力は、特に限定されない
が、操作及び設備が最も簡素される大気圧が最も好適で
ある。第一フッ素化工程、塩素化工程及び第二フッ素化
工程の各工程において、反応させる温度は、０〜１２０
℃の範囲が好ましく、最適には、２０〜１００℃が望ま
しい。０℃以下の温度で反応させるとフッ化水素が配管
内に凝集しやすくなり安定した反応ができなくなり、ま
た、付帯設備も高価なものになる等不都合が生じる。一
方、温度の上限については特に限定されないが、１２０
℃以下であることが望ましい。１２０℃より高い温度で
反応させても効果はほとんど期待できず、逆に、操作が
煩雑となり、また、付帯設備も高価なものになる等不都
合が生じ好ましくない。 【００１７】本発明による五フッ化リンの製造方法によ
れば、第二フッ素化工程後に得られる生成ガスは、五フ
ッ化リン、フッ化水素、塩化水素および塩素の混合ガス
となる。フッ化水素、塩化水素および塩素等の不純物ガ
スが問題にならない場合にはそのまま使用してもよい
し、純度の高い五フッ化リンが必要な場合は、既知の方
法でフッ化水素、塩化水素および塩素等の不純物ガスを
除去した後使用すればよい。 【００１８】 【実施例】以下、実施例により本発明を詳述するが、か
かる実施例に限定されるものではない。 【００１９】なお、実施例で示した反応は、先端、先端
から３００ｍｍ及び先端から６００ｍｍの３カ所にガス
導入管を具備したステンレス製反応管（直径：１インチ
φ、長さ＝１，０００ｍｍ）を使用して行った。以下、
３本のガス導入管は先端から、導入管１、導入管２及び
導入管３と呼ぶ。 【００２０】実施例１ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、６５０ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣ
ｌ3）＝３．９９］で導入管１から反応管に供給した
（第一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガス
を２００ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝
１．２３］で（塩素化工程）、導入管３からフッ化水素
ガスを２００ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣ
ｌ3）＝５．２２］で（第二フッ素化工程）それぞれ反
応管に供給した。なお、反応圧力は大気圧、反応温度は
２５℃である。 【００２１】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、フ
ッ化水素および塩化水素のピークが認められた。また、
ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析したところ、
ガス組成は、五フッ化リン：１５ｖｏｌ％、フッ化水
素：３ｖｏｌ％、塩化水素：７８ｖｏｌ％、塩素：４ｖ
ｏｌ％であった。 【００２２】実施例２ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、１５００ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣｌ
3）＝９．２０］で導入管１から反応管に供給した（第
一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガスを３
００ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝１．
８４］で反応管に供給した（塩素化工程）。なお、反応
圧力は大気圧、反応温度は３５℃である。 【００２３】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、フ
ッ化水素および塩化水素のピークが認められた。また、
ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析したところ、
ガス組成は、五フッ化リン：９ｖｏｌ％、フッ化水素：
３８ｖｏｌ％、塩化水素：４５ｖｏｌ％、塩素：８ｖｏ
ｌ％であった。 【００２４】実施例３ 三塩化リン液の中に窒素ガス（Ｎ2）を吹き込んで得た
窒素と三塩化リンの混合ガス（ＰＣｌ3の含有量：１０
ｖｏｌ％）とフッ化水素ガスをそれぞれ５００ＳＣＣＭ
の速度［モル比（ＨＦ／ＰＣｌ3）＝１０．０］で導入
管１から反応管に供給した（第一フッ素化工程）。その
後、導入管２から塩素ガスを１００ＳＣＣＭの速度［モ
ル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝１．８４］で反応管に供給し
た（塩素化工程）。なお、反応圧力は大気圧、反応温度
は５０℃である。 【００２５】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、フ
ッ化水素および塩化水素のピークが認められた。また、
ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析したところ、
ガス組成は、五フッ化リン：５ｖｏｌ％、フッ化水素：
２３ｖｏｌ％、塩化水素：２４ｖｏｌ％、塩素：４ｖｏ
ｌ％、窒素：４４ｖｏｌ％であった。 【００２６】実施例４ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、６５０ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣ
ｌ3）＝３．９９］で導入管１から反応管に供給した
（第一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガス
を２００ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝
１．２３］で反応管に供給した（塩素化工程）。なお、
反応圧力は大気圧、反応温度は２５℃である。 【００２７】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、二
塩化三フッ化リンおよび塩化水素のピークが認められ
た。また、ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析し
たところ、ガス組成は、五フッ化リン：９ｖｏｌ％、二
塩化三フッ化リン：１０ｖｏｌ％、塩化水素：７６ｖｏ
ｌ％、塩素：５ｖｏｌ％であった。 【００２８】実施例５ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、１５００ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣｌ
3）＝９．２０］で導入管１から反応管に供給した（第
一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガスを５
０ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝０．３
１］で反応管に供給した（塩素化工程）。なお、反応圧
力は大気圧、反応温度は３５℃である。 【００２９】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、三
フッ化リン、フッ化水素および塩化水素のピークが認め
られた。また、ガス組成をガスクロマトグラフィーで分
析したところ、ガス組成は、五フッ化リン：３ｖｏｌ
％、三フッ化リン：７ｖｏｌ％、フッ化水素：５５ｖｏ
ｌ％、塩化水素：３５ｖｏｌ％であった。 【００３０】 【発明の効果】本発明の方法により、容易に反応を制御
でき、安全かつ安価に五フッ化リンを製造することがで
きる。
ロリン酸塩、その中でも特に、リチウム電池およびリチ
ウムイオン電池用の電解質として有用なヘキサフルオロ
リン酸リチウムの原料として有用な五フッ化リンの製造
方法に関する。 【０００２】 【従来技術】五フッ化リン（ＰＦ5）は、各種ヘキサフ
ルオロリン酸塩、その中でも特に、リチウム電池および
リチウムイオン電池用の電解質として有用なヘキサフル
オロリン酸リチウムの原料として、また、ポリマーの重
合触媒や半導体用ドーピング剤としても使用され、有用
な化合物である。 【０００３】五フッ化リンを製造する方法としては、フ
ッ素（Ｆ2）とリン（Ｐ）を直接反応させる方法や五塩
化リン（ＰＣｌ5）を三フッ化砒素（ＡｓＦ3）やフッ化
水素（ＨＦ）等のフッ素化剤と反応させる方法などが知
られている。 【０００４】 【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、フッ
素とリンを直接反応させる方法は、反応速度が大きいた
め反応を制御するのが非常に難しいという問題がある。
さらに、高価なフッ素ガスを使用するため、当然ことな
がら得られる五フッ化リンも高価なものになってしま
う。 【０００５】一方、五塩化リンを三フッ化砒素やフッ化
水素等のフッ素化剤と反応させる方法は、原料である五
塩化リンが吸湿性の大きな固体であるため取り扱いが難
しく、特に、製造設備への原料投入等においてその作業
性が悪く、機械化も図りにくいという問題がある。ま
た、五塩化リンが大気中の水分と容易に反応するため、
作業中にしばしば有毒な塩化水素ガスが発生し作業環境
を悪化させている。 【０００６】 【問題点を解決するための具体的手段】本発明者は上記
問題に対し、検討を重ねた結果、三塩化リン（ＰＣ
ｌ3）とフッ化水素を反応させてガス状の三フッ化リン
（ＰＦ3）を生成させた後、三フッ化リンと塩素（Ｃ
ｌ2）を反応させてガス状の二塩化三フッ化リン（ＰＣ
ｌ2Ｆ3）を生成させ、さらに、二塩化三フッ化リンとフ
ッ化水素を反応させて五フッ化リンを得ることにより、
上記した従来技術の問題点を解決できることを見出し本
発明に到達したものである。 【０００７】 すなわち本発明は、三塩化リンとフッ化
水素を反応させてガス状の三フッ化リンを生成（第一フ
ッ素化工程）させ、第一フッ素化工程で生成した三フッ
化リンと塩素を反応させてガス状の二塩化三フッ化リン
を生成（塩素化工程）させ、さらに、二塩化三フッ化リ
ンとフッ化水素を反応させて五フッ化リンを生成（第二
フッ素化工程）させて五フッ化リンを製造するに際し、
第一フッ素化工程において、フッ化水素と三塩化リンの
供給が、フッ化水素の三塩化リンに対するモル比が３〜
５の場合は、塩素化工程において、塩素の供給を、塩素
の三塩化リンに対するモル比が１〜１０となるように供
給し、全工程（第一フッ素化工程、塩素化工程および第
二フッ素化工程）におけるフッ化水素の三塩化リンに対
するモル比が５〜３０となるように、不足分のフッ化水
素を第二フッ素化工程で供給することを特徴とする五フ
ッ化リンの製造方法を提供するものである。 【０００８】本発明において、三塩化リンとフッ化水素
を反応させてガス状の三フッ化リンを生成させた後、三
フッ化リンと塩素を反応させてガス状の二塩化三フッ化
リンを生成させ、さらに、二塩化三フッ化リンとフッ化
水素を反応させて五フッ化リンを得るのが望ましい。 【０００９】出発原料に室温で液体である三塩化リンを
用いるため、五塩化リンを原料に使用する場合と比較し
て、製造設備への原料投入等においてその作業性が飛躍
的に向上し、機械化も容易に図れるというメリットを有
する。 【００１０】以下、本発明を詳細に説明する。まず始め
に、三塩化リンとフッ化水素を反応させてガス状の三フ
ッ化リンを生成させ、その後、三フッ化リンと塩素を反
応させてガス状の二塩化三フッ化リンを生成させるのが
特に重要である。最初に、三塩化リンと塩素を反応させ
ると、固体の五塩化リンが生成、析出し、配管などを閉
塞するなどの問題が生じる。本発明では、最初に三塩化
リンとフッ化水素を反応させてガス状の三フッ化リンを
生成させた後、塩素と反応させるため、ガス状のものし
か生成せず、このため、配管などが閉塞する等の問題は
全く生じない。 【００１１】第一フッ素化工程において、三塩化リンと
フッ化水素の混合方法としては、窒素やアルゴンなどの
不活性ガスのキャリアーに同伴させた三塩化リンガスと
フッ化水素ガスを接触させる方法、不活性ガスのキャリ
アーに同伴させた三塩化リンガスを無水フッ酸液と接触
させる方法、フッ化水素ガスを三塩化リンの液体と接触
させる方法、三塩化リンの液体と無水フッ酸液を接触さ
せる方法などを挙げることができる。この中で、フッ化
水素ガスを三塩化リンの液体と接触させる方法が、フッ
化水素と三塩化リンの供給量を制御しやすいことから最
も好適である。フッ化水素ガスの供給量はマスフローコ
ントローラーで、三塩化リン液の供給量は送液ポンプで
それぞれ容易に制御できる。 【００１２】三塩化リンとフッ化水素の供給は、フッ化
水素の三塩化リンに対するモル比（ＨＦ／ＰＣｌ3）が
５〜３０の範囲が好ましくは、最適には、モル比が５〜
２０の範囲であることが望ましい。モル比が５以下にな
ると後述するように追加のフッ化水素を必要とする。モ
ル比の上限については特に限定はされないが、モル比が
３０以下であることが望ましい。またモル比を３０より
大きくしても、効果はほとんど期待できないだけでな
く、逆に、第二フッ素化工程後、生成ガスを精製する場
合には多大な労力が必要となり不都合が生じる。 【００１３】なお、第一フッ素化工程におけるフッ化水
素と三塩化リンの供給が、フッ化水素の三塩化リンに対
するモル比で５〜３０であると、塩素化工程後新たにフ
ッ化水素を供給しなくても第二フッ素化工程で完遂さ
れ、その結果、作業が簡素化するのでより好ましい。 【００１４】塩素化工程における塩素の供給量は、塩素
の供給した三塩化リンに対するモル比（Ｃｌ2／ＰＣ
ｌ3）が１〜１０であることが望ましい。モル比が１未
満であると第一フッ素化工程で生成した三フッ化リンが
完全に二塩化三フッ化リンに変わらず一部残ってしまい
好ましくない。残った三フッ化リンは、第二フッ素化工
程に送られても五フッ化リンにはならない。モル比の上
限については特に限定はされないが、モル比が１０以下
であることが望ましい。モル比を１０より大きくして
も、効果はほとんど期待できないだけでなく、逆に、第
二フッ素化工程後、生成ガスを精製する場合には多大な
労力が必要となる等不都合が生じる。 【００１５】なお、第一フッ素化工程において、フッ化
水素と三塩化リンの供給を、フッ化水素の三塩化リンに
対するモル比が３〜５の場合には、全工程（第一フッ素
化工程＋塩素化工程＋第二フッ素化工程）におけるフッ
化水素の三塩化リンに対するモル比で５〜３０となるよ
うに、不足分のフッ化水素を新たに第二フッ素化工程で
供給することにより特に問題はない。モル比が３未満で
あると未反応の三塩化リンが残ってしまい好ましくな
い。生成物に三塩化リンが残っていると次の塩素化工程
で固体である五塩化リンが生成、析出し、配管の閉塞な
どの問題が生じる。 【００１６】第一フッ素化工程、塩素化工程及び第二フ
ッ素化工程の各工程の操作圧力は、特に限定されない
が、操作及び設備が最も簡素される大気圧が最も好適で
ある。第一フッ素化工程、塩素化工程及び第二フッ素化
工程の各工程において、反応させる温度は、０〜１２０
℃の範囲が好ましく、最適には、２０〜１００℃が望ま
しい。０℃以下の温度で反応させるとフッ化水素が配管
内に凝集しやすくなり安定した反応ができなくなり、ま
た、付帯設備も高価なものになる等不都合が生じる。一
方、温度の上限については特に限定されないが、１２０
℃以下であることが望ましい。１２０℃より高い温度で
反応させても効果はほとんど期待できず、逆に、操作が
煩雑となり、また、付帯設備も高価なものになる等不都
合が生じ好ましくない。 【００１７】本発明による五フッ化リンの製造方法によ
れば、第二フッ素化工程後に得られる生成ガスは、五フ
ッ化リン、フッ化水素、塩化水素および塩素の混合ガス
となる。フッ化水素、塩化水素および塩素等の不純物ガ
スが問題にならない場合にはそのまま使用してもよい
し、純度の高い五フッ化リンが必要な場合は、既知の方
法でフッ化水素、塩化水素および塩素等の不純物ガスを
除去した後使用すればよい。 【００１８】 【実施例】以下、実施例により本発明を詳述するが、か
かる実施例に限定されるものではない。 【００１９】なお、実施例で示した反応は、先端、先端
から３００ｍｍ及び先端から６００ｍｍの３カ所にガス
導入管を具備したステンレス製反応管（直径：１インチ
φ、長さ＝１，０００ｍｍ）を使用して行った。以下、
３本のガス導入管は先端から、導入管１、導入管２及び
導入管３と呼ぶ。 【００２０】実施例１ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、６５０ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣ
ｌ3）＝３．９９］で導入管１から反応管に供給した
（第一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガス
を２００ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝
１．２３］で（塩素化工程）、導入管３からフッ化水素
ガスを２００ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣ
ｌ3）＝５．２２］で（第二フッ素化工程）それぞれ反
応管に供給した。なお、反応圧力は大気圧、反応温度は
２５℃である。 【００２１】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、フ
ッ化水素および塩化水素のピークが認められた。また、
ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析したところ、
ガス組成は、五フッ化リン：１５ｖｏｌ％、フッ化水
素：３ｖｏｌ％、塩化水素：７８ｖｏｌ％、塩素：４ｖ
ｏｌ％であった。 【００２２】実施例２ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、１５００ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣｌ
3）＝９．２０］で導入管１から反応管に供給した（第
一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガスを３
００ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝１．
８４］で反応管に供給した（塩素化工程）。なお、反応
圧力は大気圧、反応温度は３５℃である。 【００２３】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、フ
ッ化水素および塩化水素のピークが認められた。また、
ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析したところ、
ガス組成は、五フッ化リン：９ｖｏｌ％、フッ化水素：
３８ｖｏｌ％、塩化水素：４５ｖｏｌ％、塩素：８ｖｏ
ｌ％であった。 【００２４】実施例３ 三塩化リン液の中に窒素ガス（Ｎ2）を吹き込んで得た
窒素と三塩化リンの混合ガス（ＰＣｌ3の含有量：１０
ｖｏｌ％）とフッ化水素ガスをそれぞれ５００ＳＣＣＭ
の速度［モル比（ＨＦ／ＰＣｌ3）＝１０．０］で導入
管１から反応管に供給した（第一フッ素化工程）。その
後、導入管２から塩素ガスを１００ＳＣＣＭの速度［モ
ル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝１．８４］で反応管に供給し
た（塩素化工程）。なお、反応圧力は大気圧、反応温度
は５０℃である。 【００２５】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、フ
ッ化水素および塩化水素のピークが認められた。また、
ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析したところ、
ガス組成は、五フッ化リン：５ｖｏｌ％、フッ化水素：
２３ｖｏｌ％、塩化水素：２４ｖｏｌ％、塩素：４ｖｏ
ｌ％、窒素：４４ｖｏｌ％であった。 【００２６】実施例４ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、６５０ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣ
ｌ3）＝３．９９］で導入管１から反応管に供給した
（第一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガス
を２００ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝
１．２３］で反応管に供給した（塩素化工程）。なお、
反応圧力は大気圧、反応温度は２５℃である。 【００２７】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、二
塩化三フッ化リンおよび塩化水素のピークが認められ
た。また、ガス組成をガスクロマトグラフィーで分析し
たところ、ガス組成は、五フッ化リン：９ｖｏｌ％、二
塩化三フッ化リン：１０ｖｏｌ％、塩化水素：７６ｖｏ
ｌ％、塩素：５ｖｏｌ％であった。 【００２８】実施例５ 三塩化リン液とフッ化水素ガスをそれぞれ１．０ｇ／ｍ
ｉｎ、１５００ＳＣＣＭの速度［モル比（ＨＦ／ＰＣｌ
3）＝９．２０］で導入管１から反応管に供給した（第
一フッ素化工程）。その後、導入管２から塩素ガスを５
０ＳＣＣＭの速度［モル比（Ｃｌ2／ＰＣｌ3）＝０．３
１］で反応管に供給した（塩素化工程）。なお、反応圧
力は大気圧、反応温度は３５℃である。 【００２９】しばらくして反応管から出てきたガスの赤
外線吸収（ＩＲ）を測定したところ、五フッ化リン、三
フッ化リン、フッ化水素および塩化水素のピークが認め
られた。また、ガス組成をガスクロマトグラフィーで分
析したところ、ガス組成は、五フッ化リン：３ｖｏｌ
％、三フッ化リン：７ｖｏｌ％、フッ化水素：５５ｖｏ
ｌ％、塩化水素：３５ｖｏｌ％であった。 【００３０】 【発明の効果】本発明の方法により、容易に反応を制御
でき、安全かつ安価に五フッ化リンを製造することがで
きる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 辻岡 章一
山口県宇部市大字沖宇部5253番地 セン
トラル硝子株式会社化学研究所内
(72)発明者 高畑 満夫
山口県宇部市大字沖宇部5253番地 セン
トラル硝子株式会社化学研究所内
(56)参考文献 特開 平10−245211（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−56413（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C01B 25/00 - 25/46
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 三塩化リンとフッ化水素を反応させてガ
ス状の三フッ化リンを生成（第一フッ素化工程）させ、
第一フッ素化工程で生成した三フッ化リンと塩素を反応
させてガス状の二塩化三フッ化リンを生成（塩素化工
程）させ、さらに、二塩化三フッ化リンとフッ化水素を
反応させて五フッ化リンを生成（第二フッ素化工程）さ
せて五フッ化リンを製造するに際し、第一フッ素化工程
において、フッ化水素と三塩化リンの供給が、フッ化水
素の三塩化リンに対するモル比が３〜５の場合は、塩素
化工程において、塩素の供給を、塩素の三塩化リンに対
するモル比が１〜１０となるように供給し、全工程（第
一フッ素化工程、塩素化工程および第二フッ素化工程）
におけるフッ化水素の三塩化リンに対するモル比が５〜
３０となるように、不足分のフッ化水素を第二フッ素化
工程で供給することを特徴とする五フッ化リンの製造方
法。
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1997
- 1997-12-08 JP JP33734597A patent/JP3494343B2/ja not_active Expired - Fee Related
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