JP3477284B2 - Optical disc manufacturing method and apparatus - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、音楽用、ビデオ用、コ
ンピュータなどの記録媒体用として使用される光ディス
クの製造法及び製造装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an optical disc used for recording media such as music, video and computers.
【0002】[0002]
【従来技術】従来の光ディスクの製造時のディスク同士
の貼り合わせ方法の内、ディスクを高速回転させその遠
心力を利用して接着剤を広げる方法としては、例えば図
14に示すようなものがあった。従来例を図14に従っ
て説明すると、まず同図(a)に示すように、回転ステ
ージ2上に第1のディスク1が接着面を上向きにして載
置され、その中心穴の周囲に接着剤の液膜64が吐出さ
れる。その後同図(b)に示すように、接着面を下向き
にして第2のディスク41がその上に重ねられた後、同
図(c)に示すように、回転ステージ2が高速回転し、
第1のディスク1と第2のディスク41の間にある接着
剤の液膜64を遠心力により広げ振り切る。高速回転終
了後に、図示しない硬化装置にて接着剤を硬化させ、2
枚のディスクの貼り合わせを完了させる。2. Description of the Related Art Among the conventional methods for laminating disks at the time of manufacturing optical disks, one method for spreading the adhesive by rotating the disks at high speed and utilizing the centrifugal force thereof is shown in FIG. It was A conventional example will be described with reference to FIG. 14. First, as shown in FIG. 14A, the first disk 1 is placed on the rotary stage 2 with the adhesive surface facing upward, and the adhesive is applied around the center hole. The liquid film 64 is discharged. After that, as shown in FIG. 3B, the second disc 41 is placed on the adhesive surface downward, and then the rotary stage 2 rotates at high speed as shown in FIG.
The liquid film 64 of the adhesive between the first disk 1 and the second disk 41 is spread by a centrifugal force and shaken off. After the high speed rotation is completed, the adhesive is cured by a curing device (not shown), and
Complete the bonding of the discs.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のディスク貼り合わせ方法にあっては、下記のような
問題点があった。図14において第1のディスク1上に
吐出された接着剤の液膜64の形状が、第2のディスク
41を重ねたときに乱れやすく、図15に示すように、
ディスク表面における液膜64の輪郭線はいりくみやす
い、つまりに輪郭凹凸を生じやすい。However, such a conventional disc bonding method has the following problems. In FIG. 14, the shape of the adhesive liquid film 64 discharged onto the first disc 1 is easily disturbed when the second disc 41 is stacked, and as shown in FIG.
The contour line of the liquid film 64 on the surface of the disc is easy to draw, that is, contour irregularities are likely to occur.
【0004】その液膜の輪郭凹部では、液膜64とディ
スク表面の間の境界線が長くなり、その間の界面張力が
強いので、高速回転に伴って液膜64に遠心力が作用し
ても、境界線の中でこの液膜の輪郭凹部だけ動きにくく
なる。したがって、図16に示すように、この液膜凹部
の両側の液が先に外周方向に広がってしまい、この液膜
凹部を液で包んで気泡を残留させやすい。In the concave portion of the contour of the liquid film, the boundary line between the liquid film 64 and the disk surface becomes long and the interfacial tension between them becomes strong. Therefore, even if centrifugal force acts on the liquid film 64 due to high speed rotation. In the boundary line, only the contour concave portion of the liquid film becomes difficult to move. Therefore, as shown in FIG. 16, the liquid on both sides of the liquid film concave portion first spreads in the outer peripheral direction, and it is easy to wrap the liquid film concave portion with the liquid and leave bubbles.
【0005】このような作用は一般的な回転塗布時にも
発生するが、図14に示すような両側をディスクで挟ま
れた部位では、気泡の逃げ道がなく、より顕著に現れ
る。このような接着剤の層の中に残留する気泡は、実質
的な接着面積の減少を生じるばかりでなく、周囲温度の
変化に伴い膨張あるいは収縮をすることで、ディスクに
ストレスを生じさせるなどの悪影響を及ぼす。Although this kind of action occurs even in general spin coating, there is no escape route for bubbles in the region where both sides are sandwiched by disks as shown in FIG. The bubbles remaining in the adhesive layer not only cause a substantial decrease in the adhesion area, but also expand or contract with the change in the ambient temperature to cause stress on the disk. Adversely affect.
【0006】[0006]
【発明の目的】したがって、本発明は、液体状の接着剤
を使用して光ディスクを貼り合わせる場合に、遠心力だ
けでなく、貼り合わされるディスク間に回転方向の機械
的力も与えることで、ディスク間又は接着層への気泡の
混入を抑制し、高品位の貼り合わを行うことを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, according to the present invention, when an optical disk is bonded by using a liquid adhesive, not only centrifugal force but also mechanical force in the rotating direction is applied between the bonded disks, The purpose is to suppress air bubbles from entering the space or the adhesive layer and perform high-quality bonding.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段及び作用】請求項1に記載
の発明は、前記課題を解決するために、接着剤の液膜が
供給された第1のディスクの上方に、液膜のみに接触さ
せて第2のディスクを保持し、第1と第2のディスクの
間に相対的に回転速度差が生じるように第1及び第2の
ディスクの一方又は双方を継続させて回転させること
で、2枚のディスクに挟まれた液膜をきれいな円環状に
ならしながら広げ、接着剤の余剰液滴の飛散がなく、第
1と第2のディスクの間および接着剤層に気泡が形成さ
れない光ディスクの製造方法を提供するものである。According to a first aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, only the liquid film is contacted above the first disk to which the liquid film of the adhesive is supplied. By holding the second disk and continuously rotating one or both of the first and second disks so that a rotational speed difference is relatively generated between the first and second disks, An optical disc in which a liquid film sandwiched between two discs is spread while forming a clean annular shape, and no excess liquid droplets of the adhesive are scattered and bubbles are not formed between the first and second discs and in the adhesive layer. The present invention provides a method for manufacturing the same.
【0008】請求項2に記載の発明は、前記課題を解決
するために、接着剤の液膜が吐出された第1のディスク
の上方に、その液膜のみに接触させて第2のディスクを
保持し、第1と第2のディスクの間に相対的に回転速度
差が生じるように第1及び第2のディスクの一方又は双
方を回転させることで2枚のディスクに挟まれた液膜を
きれいな円環状にならしながら広げた後、第1と第2の
ディスクを高速回転させることで、余分な接着剤を遠心
力により広げ振り切ることにより、2枚のディスク間全
面に均一の液膜を形成すると共に、第1と第2のディス
クの間および接着剤層に気泡が形成されない光ディスク
の製造方法を提案するものである。In order to solve the above-mentioned problems, the second aspect of the present invention is to provide a second disc above the first disc on which the liquid film of the adhesive has been discharged so as to contact only the liquid film. The liquid film sandwiched between the two discs is held by holding and rotating one or both of the first and second discs so that a relative rotational speed difference is generated between the first and second discs. After spreading while forming a clean annular shape, by rotating the first and second disks at high speed, the excess adhesive is spread and shaken off by centrifugal force to form a uniform liquid film on the entire surface between the two disks. The present invention proposes a method for manufacturing an optical disc in which bubbles are not formed between the first and second discs and in the adhesive layer while being formed.
【0009】請求項3に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項2に記載の方法において、高速回転
時に第2のディスクを開放して第1のディスク上に載せ
て高速回転させることで、第1と第2のディスクの間の
接着剤の層の厚さを均一に形成できる光ディスクの製造
方法を提案するものである。この方法は、接着剤の粘度
及び表面張力が小さ過ぎる場合を除いて使用でき、装置
の構造を簡単にできる利点がある。In order to solve the above-mentioned problems, a third aspect of the present invention is the method according to the second aspect, wherein at the time of high speed rotation, the second disk is opened and placed on the first disk for high speed rotation. By doing so, a method for manufacturing an optical disc is proposed in which the thickness of the adhesive layer between the first and second discs can be made uniform. This method can be used unless the viscosity and surface tension of the adhesive are too low, and has the advantage of simplifying the structure of the device.
【0010】請求項4に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項2に記載の方法において、高速回転
時に第2のディスクを保持し、かつ第1のディスクと同
期をとって回転させることで、第1と第2のディスクの
間および接着剤層に気泡が形成されないのは勿論のこ
と、第1と第2のディスクの間の接着剤の層の厚さを所
定値に近づけるのに有利な光ディスクの製造方法を提案
するものである。また、この方法は使用する接着剤が粘
度及び表面張力が小さいものである場合にも有効であ
る。In order to solve the above-mentioned problems, a fourth aspect of the present invention is the method according to the second aspect, wherein the second disc is held during high-speed rotation and synchronized with the first disc. By rotating, no bubbles are formed between the first and second discs and in the adhesive layer, and the thickness of the adhesive layer between the first and second discs is set to a predetermined value. The present invention proposes a method of manufacturing an optical disc that is advantageous in bringing it closer. This method is also effective when the adhesive used has low viscosity and surface tension.
【0011】請求項5に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項1に記載の方法の後で、第1のディ
スクと第2のディスクとを異なる速度で同方向に高速回
転させることで、第1と第2のディスクの間および接着
剤層に気泡が形成されないのは勿論のこと、第1と第2
のディスクの間の接着剤の層の厚さを所定値に近づける
のに有利な光ディスクの製造方法を提案するものであ
る。また、この方法は比較的厚い接着剤の層を形成する
場合に有効である。According to a fifth aspect of the present invention, in order to solve the above problems, after the method according to the first aspect, the first disk and the second disk are rotated at the same speed at different speeds. By doing so, it is a matter of course that air bubbles are not formed between the first and second disks and in the adhesive layer.
The present invention proposes a method for manufacturing an optical disk, which is advantageous for bringing the thickness of the adhesive layer between the disks close to a predetermined value. This method is also effective when forming a relatively thick adhesive layer.
【0012】請求項6に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項1に記載の方法において、第1と第
2のディスクの間に回転速度差が生じるように回転させ
る際に、第1と第2のディスクが逆方向に回転すること
で、第1と第2のディスクの間および接着剤層に気泡が
形成されないのは勿論のこと、第1と第2のディスクの
間の接着剤の層のをより短時間で均一化するのに有利な
光ディスクの製造方法を提案するものである。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 6 is the method according to claim 1, wherein when the first and second disks are rotated so that a rotation speed difference is generated between them. , By rotating the first and second discs in opposite directions, no bubbles are formed between the first and second discs and between the first and second discs, and between the first and second discs. The present invention proposes a method for manufacturing an optical disk, which is advantageous for uniformizing the layer of the adhesive in a shorter time.
【0013】請求項7に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項1に記載の方法において、第1と第
2のディスクの間に回転速度差が生じるように回転させ
る際に、第1と第2のディスクの間の接着剤の液膜が広
がって行くことに起因する駆動トルクの値の変化を検出
し、その駆動トルク値の変化に応じて第1と第2のディ
スクの間の回転速度差を変化させるように制御する光デ
ィスク貼り合わせ方法を提案するものである。第1と第
2のディスクの間および接着剤層に気泡が形成されない
のは勿論のこと、ディスクの反りなどの変形具合を駆動
トルク値から推測して、ディスクの変形を矯正する方向
に作用するような回転速度差になるよう制御するので、
高速回転可能な状態に至るまでの時間を短縮できる他、
貼り合わせ後のディスクの変形も抑制できる。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 7 is the method according to claim 1, wherein when rotating so that there is a difference in rotational speed between the first and second disks. , A change in the drive torque value due to the spreading of the liquid film of the adhesive between the first and second disks is detected, and the first and second disks are detected according to the change in the drive torque value. The present invention proposes an optical disk laminating method that controls so as to change the rotational speed difference between the two. Air bubbles are not formed between the first and second disks and in the adhesive layer, and the degree of deformation such as warpage of the disk is estimated from the driving torque value, and the disk deformation is corrected. Since it is controlled so that there is a difference in rotation speed,
In addition to shortening the time to reach a state where high-speed rotation is possible,
It is also possible to suppress the deformation of the disc after the attachment.
【0014】請求項8に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項2ないし請求項4に記載の方法にお
いて、第1と第2のディスクの間に回転速度差が生じる
ように回転させているとき、第1と第2のディスクの間
の接着剤の液膜が広がって行くことに起因する駆動トル
クの値の変化を検出し、その駆動トルク値が所定の値に
なるとき第1及び第2のディスクを高速回転させる光デ
ィスクの製造方法をを提案するものである。第1と第2
のディスクの間および接着剤層に気泡が形成されないの
は勿論のこと、貼り合わせるディスクに反りなどの変形
があって接着剤の液膜が広がって行く速度にディスク毎
のばらつきが生じ、高速回転可能な状態になるまでの所
要時間が一定しないような場合に有効である。According to an eighth aspect of the present invention, in order to solve the above problem, in the method according to the second to fourth aspects, a rotational speed difference is generated between the first and second disks. When the drive torque value reaches a predetermined value by detecting a change in the drive torque value due to the spreading of the liquid film of the adhesive between the first and second disks during rotation. The present invention proposes a method for manufacturing an optical disc in which the first and second discs are rotated at high speed. First and second
Air bubbles are not formed between the disks and in the adhesive layer, and the speed at which the liquid film of the adhesive spreads varies depending on the disk due to deformation such as warping of the disks to be bonded, and high-speed rotation. This is effective when the time required to reach a possible state is not constant.
【0015】請求項9に記載の発明は、前記課題を解決
するために、請求項1ないし請求項8に記載の方法にお
いて、前記第1と第2のディスクの間の接着剤の液膜の
広がりに伴い変化する駆動トルク値がほぼ一定の値にな
った後、前記第1と第2のディスクの回転を停止するこ
とを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の光デ
ィスクの製造方法を提案するものであり、第1と第2の
ディスクの間に接着剤層が全面に広がったとき自動的に
第1と第2のディスクの回転を停止することができる。According to a ninth aspect of the present invention, in order to solve the above problems, in the method according to the first to eighth aspects, a liquid film of an adhesive agent between the first and second disks is formed. 9. The optical disc manufacturing method according to claim 1, wherein the rotation of the first and second discs is stopped after the driving torque value which changes with the spread becomes almost constant. The method is proposed, and the rotation of the first and second disks can be automatically stopped when the adhesive layer spreads over the entire surface between the first and second disks.
【0016】請求項10に記載の発明は、前記課題を解
決するために、請求項1ないし請求項9に記載の方法に
おいて、前記第1と第2のディスクの間の接着剤の液膜
の広がりに合わせて、前記第1と第2のディスクとの間
の微小間隙を狭めることを特徴とする請求項1乃至9の
いずれかに記載の光ディスクの製造方法を提案するもの
であり、第1と第2のディスクの間および接着剤層に気
泡が形成されないのは勿論のこと、接着剤の液膜が広が
るのを助ける圧力を加えることができる。According to a tenth aspect of the invention, in order to solve the above-mentioned problems, in the method according to the first to ninth aspects, a liquid film of an adhesive agent between the first and second disks is formed. 10. A method of manufacturing an optical disc according to claim 1, wherein a minute gap between the first and second discs is narrowed in accordance with the spread. No air bubbles are formed between the first and second disks and in the adhesive layer, and pressure can be applied to help the liquid film of the adhesive spread.
【0017】請求項11に記載の発明は、前記課題を解
決するために、請求項1ないし請求項9に記載の方法に
おいて、大気圧よりも低い低圧の雰囲気で第1と第2の
ディスクの間に回転速度差が生じるように回転させて、
接着剤の液膜を第1と第2のディスクの間にほぼ均一に
広げる光ディスク貼り合わせ方法を提案するものであ
り、第1と第2のディスクの間の接着剤の液膜を押して
いる空気の圧力を小さくして、その液膜が広がるのを容
易にして、第1と第2のディスクの間および接着剤層に
気泡がより形成されなようにする。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 11 is the method according to any one of claims 1 to 9, wherein the first and second discs are in an atmosphere of a low pressure lower than atmospheric pressure. Rotate so that there is a difference in rotation speed between them,
The present invention proposes a method for laminating an optical disk in which a liquid film of an adhesive is spread substantially evenly between a first disk and a second disk, and air for pressing the liquid film of the adhesive between the first and second disks is proposed. The pressure is reduced to facilitate the spreading of the liquid film and prevent more bubbles from forming between the first and second discs and in the adhesive layer.
【0018】請求項12に記載の発明は、前記課題を解
決するために、第1のディスクと第2のディスクとを貼
り合わせて光ディスクを製作する装置において、前記第
1のディスクを、その中心軸と自身の中心軸を合わせて
保持できる回転ステージと、該回転ステージ上に保持さ
れる前記第1のディスクの中心穴の周囲に接着剤を供給
できる接着剤供給装置と、前記第2のディスクを保持し
て回転ステージの中心軸と前記第2のディスクの中心軸
を合わせ、かつ前記第2のディスクが前記第1のディス
クには接触しないが、前記第1のディスク上に供給され
た前記接着剤の液膜には接触する位置に静止させること
ができるディスク保持装置と、を備え、前記ディスク保
持装置を静止した状態に保ち、前記回転ステージを回転
させることで、前記第1及び前記第2のディスクの間に
回転速度差を生じさせることを特徴とする光ディスクの
製造装置。According to a twelfth aspect of the present invention, in order to solve the above problems, a first disc and a second disc are attached.
In an apparatus for manufacturing an optical disc by laminating the first disc, a rotary stage capable of holding the first disc with its central axis aligned with its own central axis, and a central hole of the first disc held on the rotary stage. An adhesive supply device capable of supplying an adhesive to the periphery of the second disk, the second disk is held and the central axis of the rotary stage is aligned with the central axis of the second disk, and the second disk is the first disk. A disk holding device that does not come into contact with the disk, but can be stopped at a position where it comes into contact with the liquid film of the adhesive supplied on the first disk.
Hold the holding device stationary and rotate the rotary stage
By doing so, between the first and second disks
An optical disk manufacturing apparatus characterized by producing a rotational speed difference .
【0019】請求項13に記載の発明は、前記課題を解
決するために、前記ディスク保持装置が、前記第2のデ
ィスクを回転駆動させることができる請求項12に記載
の光ディスクの製造装置を提案するものである。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 13 proposes an apparatus for manufacturing an optical disk according to claim 12 , wherein the disk holding device can drive the second disk to rotate. To do.
【0020】請求項14に記載の発明は、前記課題を解
決するために、貼り合わせる2枚のディスクの周囲を大
気圧より低い圧力の雰囲気中に保持し得る外囲器を備え
る請求項12又は請求項13のいずれかに記載の光ディ
スクの製造装置を提案するものである。[0020] The invention according to claim 14, in order to solve the above problems, according to claim 12 comprising an envelope capable of retaining the periphery of two disks to be bonded in the atmosphere of subatmospheric pressure or An optical disk manufacturing apparatus according to claim 13 is proposed.
【0021】請求項15に記載の発明は、前記課題を解
決するために、前記第1と第2のディスクの回転駆動源
の一方又は双方からの駆動トルク値に基づいて、前記第
1と第2のディスクの回転状態を変える機能を有するこ
とを特徴とする請求項12ないし請求項14のいずれか
に記載の光ディスクの製造装置を提案するものである。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 15 is based on the driving torque value from one or both of the rotary drive sources for the first and second disks. An optical disk manufacturing apparatus according to any one of claims 12 to 14 , which has a function of changing the rotation state of the second disk.
【0022】請求項16に記載の発明は、前記課題を解
決するために、前記ディスク保持装置が、前記第1と第
2のディスクとの間の間隙を調整できる機構を有するこ
とを特徴とする請求項12ないし請求項15のいずれか
に記載の光ディスク製造装置を提案するものである。According to a sixteenth aspect of the present invention, in order to solve the above problems, the disc holding device has a mechanism capable of adjusting a gap between the first and second discs. An optical disk manufacturing apparatus according to any one of claims 12 to 15 is proposed.
【0023】[0023]
【実施例】図1ないし図5は、本発明の光ディスクの製
造装置の一実施例を説明するための図であり、まず構成
を説明した後に、これら装置を用いて行われる製造方法
について説明する。1 to 5 are views for explaining an embodiment of an optical disk manufacturing apparatus of the present invention. First, the structure will be described, and then a manufacturing method carried out using these apparatuses will be described. .
【0024】貼り合わされるべき2枚のディスクの内、
第1のディスク1は回転ステージ2上に接着面を上に向
けて載置される。回転ステージ2はスピンドルユニット
3に連結され、スピン駆動モータ4により回転駆動され
る。回転ステージ2の周囲には、高速回転時に飛散する
接着剤の液滴を捕集するための回収ハウジング5が設置
される。この部分の詳細を図2に示す。Of the two disks to be laminated,
The first disk 1 is placed on the rotary stage 2 with the adhesive surface facing upward. The rotary stage 2 is connected to a spindle unit 3 and is rotationally driven by a spin drive motor 4. A collection housing 5 for collecting the droplets of the adhesive that scatters during high-speed rotation is installed around the rotary stage 2. Details of this portion are shown in FIG.
【0025】図2において、第1のディスク1は緩衝シ
ート7を介して回転ステージ2上に載置される。そのと
き、第1のディスク1の穴に回転ステージ2の位置決め
突起8が挿入される。回転ステージ2はスピン軸9に連
結される。スピン軸9は軸受10を介してハウジング1
1に、回転自在に支持される。緩衝シート7と回転ステ
ージ2には、第1のディスク1を吸着保持するための真
空穴13、14があいている。真空穴13、14はスピ
ン軸9の真空穴15とつながり、ハウジング11の内部
空間16とつながっている。この内部空間16からは、
配管継手17及び真空配管18を介して、図示しない真
空源と接続される。In FIG. 2, the first disk 1 is placed on the rotary stage 2 via the buffer sheet 7. At that time, the positioning protrusion 8 of the rotary stage 2 is inserted into the hole of the first disk 1. The rotary stage 2 is connected to the spin shaft 9. The spin shaft 9 is mounted on the housing 1 via a bearing 10.
1, rotatably supported. The buffer sheet 7 and the rotary stage 2 are provided with vacuum holes 13 and 14 for sucking and holding the first disk 1. The vacuum holes 13 and 14 are connected to the vacuum hole 15 of the spin shaft 9 and to the internal space 16 of the housing 11. From this internal space 16,
It is connected to a vacuum source (not shown) via the pipe joint 17 and the vacuum pipe 18.
【0026】内部空間16の両側にラビリンスシール1
9を備える。ラビリンスシール19は、空気のような圧
縮性を有する流体がそれの持つ凹凸部を通過するとき、
高い流動抵抗を示す現象を利用した非接触式シールで、
スピン軸9との隙間を0.1mm以下とすることで真空の洩
れ量を微少に抑えられる。これにより実用上問題ない程
度の真空流量にて、摩擦によるモータのトルク損失や温
度上昇のないシール機構が得られる。前記の部材にてス
ピンドルユニット3が構成される。The labyrinth seals 1 are provided on both sides of the internal space 16.
9 is provided. The labyrinth seal 19 is provided when a fluid having compressibility such as air passes through the uneven portion of the labyrinth seal 19.
A non-contact type seal that utilizes the phenomenon of high flow resistance,
By setting the gap with the spin shaft 9 to be 0.1 mm or less, the amount of vacuum leakage can be suppressed to a minimum. As a result, it is possible to obtain a seal mechanism that does not cause torque loss or temperature rise of the motor due to friction at a vacuum flow rate that is practically unproblematic. The above-mentioned members constitute the spindle unit 3.
【0027】スピン軸9の下端は軸継手21を介してス
ピン駆動モータ4に接続される。スピン駆動モータ4に
は、回転制御を高精度で行うため、サーボモータが使用
される場合が多い。またサーボモータを使用すれば、駆
動トルクの検出も容易にできる。The lower end of the spin shaft 9 is connected to the spin drive motor 4 via a shaft joint 21. A servo motor is often used for the spin drive motor 4 in order to perform rotation control with high accuracy. If a servo motor is used, the drive torque can be easily detected.
【0028】回転ステージ2の周囲は、回収ハウジング
5で囲まれる。回収ハウジング5の底には、配管継手2
2を介して排液配管23及び図示しない排液タンクが接
続される。高速回転時に飛散する余剰の接着剤は、ここ
を通って排出される。また、回収ハウジング5には排気
口24が設置される。これは、回収ハウジング5内部に
半径方向外向きの気流を発生させ、高速回転時に飛散す
る余剰接着剤の液滴を効率良く回収すると共に、ディス
クに液滴が付着するのを防止するためである。同様の目
的で整流板25も設置される。なお、ディスクへの液滴
付着防止の目的では、回転ステージ2に防滴板26も設
置され、ディスクと共に回転する。The rotation stage 2 is surrounded by a recovery housing 5. At the bottom of the recovery housing 5, the pipe joint 2
A drainage pipe 23 and a drainage tank (not shown) are connected via 2. Excess adhesive that scatters at high speed rotation is discharged through this. Further, an exhaust port 24 is installed in the recovery housing 5. This is to generate an airflow outward in the radial direction inside the recovery housing 5 to efficiently collect the droplets of the surplus adhesive scattered at the time of high-speed rotation and prevent the droplets from adhering to the disc. . A current plate 25 is also installed for the same purpose. For the purpose of preventing droplets from adhering to the disc, a drip-proof plate 26 is also installed on the rotary stage 2 and rotates together with the disc.
【0029】ここで再び図1に戻って説明すると、回転
ステージ2の左側横に接着剤吐出装置30が配置され
る。接着剤吐出装置30は、吐出ノズル31及び吐出バ
ルブ32、吐出配管33、34が、水平移動機構35と
垂直移動機構36の上に載った形で構成される。接着剤
の吐出制御は、図示しない接着剤供給源から吐出配管3
4を通って圧送されて来る接着剤を、吐出バルブ32の
開閉により、希望するタイミングに吐出配管33を通し
て吐出ノズル31へ送ることで行われる。Now, returning to FIG. 1 again, the adhesive discharging device 30 is arranged on the left side of the rotary stage 2. The adhesive discharge device 30 is configured such that the discharge nozzle 31, the discharge valve 32, and the discharge pipes 33 and 34 are placed on the horizontal movement mechanism 35 and the vertical movement mechanism 36. The discharge control of the adhesive is performed from the adhesive supply source (not shown) to the discharge pipe 3
The adhesive that is pressure-fed through 4 is sent to the discharge nozzle 31 through the discharge pipe 33 at a desired timing by opening and closing the discharge valve 32.
【0030】水平移動機構35は、ここでは直線送り機
構であり、駆動源にエアーシリンダまたは単軸ロボット
が用いられる。垂直移動機構36は、直線送り機構であ
り、駆動源にエアーシリンダが用いられる。なお、水平
移動機構には旋回式送り機構が使用されることもある。
その例を図3に示す。図3により説明すると、吐出バル
ブ32を支持するアーム37は軸受ケース38に回転自
在に支持され、軸継手39を介してサーボモータ40に
連結している。サーボモータ40の代わりに旋回式エア
ーシリンダが使用される場合もある。この水平移動機構
35が垂直移動機構36に支持される。垂直移動機構3
6は図1と同様である。The horizontal movement mechanism 35 is a linear feed mechanism here, and an air cylinder or a single axis robot is used as a drive source. The vertical movement mechanism 36 is a linear feed mechanism, and an air cylinder is used as a drive source. A swing type feed mechanism may be used as the horizontal movement mechanism.
An example thereof is shown in FIG. Explaining with reference to FIG. 3, an arm 37 supporting the discharge valve 32 is rotatably supported by a bearing case 38 and connected to a servomotor 40 via a shaft coupling 39. A swing type air cylinder may be used instead of the servo motor 40. The horizontal movement mechanism 35 is supported by the vertical movement mechanism 36. Vertical movement mechanism 3
6 is the same as in FIG.
【0031】回転ステージ2の右側には、第2のディス
ク41を載置するステージ42と、第2のディスク41
を第1のディスク1に重ねるディスク保持装置43が設
置される。ステージ42上には、第2のディスク41が
接着面を下向きにして載置される。ディスク保持装置4
3は、ディスク保持ヘッド44が水平移動機構45と垂
直移動機構46の上に載った形で構成される。水平移動
機構45は、ここでは直線送り機構であり、駆動源には
エアーシリンダが用いられる。垂直移動機構46は直線
送り機構であり、駆動源にはエアーシリンダが用いられ
る。On the right side of the rotary stage 2, a stage 42 on which a second disc 41 is placed and a second disc 41 are mounted.
A disc holding device 43 is installed to stack the disc on the first disc 1. The second disk 41 is placed on the stage 42 with the adhesive surface facing downward. Disk holding device 4
3 has a disk holding head 44 mounted on a horizontal moving mechanism 45 and a vertical moving mechanism 46. The horizontal movement mechanism 45 is a linear feed mechanism here, and an air cylinder is used as a drive source. The vertical movement mechanism 46 is a linear feed mechanism, and an air cylinder is used as a drive source.
【0032】なお、水平移動機構には旋回式送り機構が
使用されることもあり、その例を図4に示す。図4によ
り説明すると、ディスク保持ヘッド44を支持するアー
ム47は軸受ケース38に水平方向に回転自在に支持さ
れ、軸継手39を介して旋回式エアーシリンダ48に連
結している。この水平移動機構45が垂直移動機構46
に支持される。垂直移動機構46は図1と同様である。A swivel type feed mechanism may be used as the horizontal movement mechanism, and an example thereof is shown in FIG. Referring to FIG. 4, an arm 47 that supports the disk holding head 44 is rotatably supported in the bearing case 38 in the horizontal direction, and is connected to a revolving air cylinder 48 via a shaft coupling 39. This horizontal movement mechanism 45 is a vertical movement mechanism 46.
Supported by. The vertical movement mechanism 46 is the same as in FIG.
【0033】ディスク保持ヘッド44については、図5
を使用して説明する。図5はディスク保持ヘッド44部
分の断面図である。保持ヘッドブロック49は、直径の
異なる2つの円筒を同心状に付けたような形であり、小
径の部分が滑り軸受51を介して支持ブロック52に挿
入されている。この部分にはキー50も挿入されてお
り、保持ヘッドブロック49は上下方向のみに可動で、
回転方向には動けない状態で支持される。また保持ヘッ
ドブロック49の上端には、落下防止のため、ストッパ
53がねじ込まれており、ストッパ53はコイルばね5
4により下方の可動限界位置に押し付けられている。The disk holding head 44 is shown in FIG.
To explain. FIG. 5 is a sectional view of the disk holding head 44 portion. The holding head block 49 has a shape in which two cylinders having different diameters are concentrically attached, and a small-diameter portion is inserted into the support block 52 via a slide bearing 51. A key 50 is also inserted in this portion, and the holding head block 49 is movable only in the vertical direction,
It is supported immovably in the direction of rotation. Further, a stopper 53 is screwed into the upper end of the holding head block 49 to prevent it from falling, and the stopper 53 is the coil spring 5.
It is pressed to the lower movable limit position by 4.
【0034】保持ヘッドブロック49下端部には、すべ
り軸受55を介して吸着ピン56が挿入されている。吸
着ピン56の装備数は、ディスクの寸法、形状に応じて
4ないし8本程度である。各吸着ピン56の中ほどには
ストッパ突起56aが設けられ、上端には、落下防止の
ため、ストッパ57がねじ込まれている。ストッパ57
はコイルばね58により上方へ押し上げられ、ストッパ
突起56aが上方の可動限界位置に押し付けられてい
る。それぞれの吸着ピン56の下端には、吸着パッド5
9が挿入されている。吸着パッド59はディスクより硬
度が低いが変形しにくい硬目のシリコンゴムなどの材質
でできており、吸着ピン56にしっかりと圧入されてい
る。At the lower end of the holding head block 49, a suction pin 56 is inserted via a slide bearing 55. The number of suction pins 56 provided is about 4 to 8 depending on the size and shape of the disc. A stopper protrusion 56a is provided in the middle of each suction pin 56, and a stopper 57 is screwed into the upper end of the suction pin 56 to prevent it from falling. Stopper 57
Is pushed upward by the coil spring 58, and the stopper protrusion 56a is pushed to the upper movable limit position. At the lower end of each suction pin 56, the suction pad 5
9 has been inserted. The suction pad 59 is made of a material such as hard silicone rubber which has a lower hardness than the disc but is hard to be deformed, and is firmly press-fitted into the suction pin 56.
【0035】吸着パッド59、吸着ピン56、保持ヘッ
ドブロック49及び支持ブロック52は、すべて内部に
真空排気用の穴があけてあり、それらはすべてつながっ
ており、支持ブロック上端部の配管継手60、真空配管
61を介して図示しない真空源に接続される。前記の構
造により、ディスク保持ヘッド44は、吸着パッド59
をディスクに接触させて、真空吸着にて保持できる。そ
の際、しっかりと吸着させるためにディスクに対しディ
スク保持ヘッド44を強く押し付けても、コイルばね5
4、58の収縮作用によれディスクに過大な押付力は作
用しない。また、保持するディスクに接着剤の液膜を介
して回転トルクが作用しても、キー50の回り止め作用
により、ディスク保持ヘッド44は勿論のこと、それに
保持されたディスクが回ってしまうこともない。The suction pad 59, the suction pin 56, the holding head block 49, and the support block 52 all have holes for vacuum evacuation inside, and they are all connected, and a pipe joint 60 at the upper end of the support block, It is connected to a vacuum source (not shown) via a vacuum pipe 61. Due to the above structure, the disc holding head 44 has the suction pad 59.
Can be held by vacuum suction by contacting with the disk. At this time, even if the disc holding head 44 is strongly pressed against the disc to firmly attract the coil spring 5,
The excessive pressing force does not act on the disk due to the contracting action of Nos. 4 and 58. Further, even if a rotational torque acts on the disc to be held via the liquid film of the adhesive, the rotation preventing action of the key 50 may cause the disc holding head 44 as well as the disc held by the disc to rotate. Absent.
【0036】さらには、コイルばね58のばね定数を低
いものとし、コイルばね58全数の初期ばね力の総和が
ディスク1枚の重さより若干強い程度に設定されている
ため、ディスクを保持したときにディスクの自重でコイ
ルばね58に下向きに引く力が作用すると、その力が弱
くてもコイルばね58が収縮して吸着ピン56が下方へ
引き出される。この機能により、第2のディスク41を
接着剤の液膜に接触させたときに、液膜が広がって厚さ
が薄くなるのに伴い、液膜の表面張力に引かれて第2の
ディスク41が下がって行くため、第2のディスク41
が液膜から離れてしまうことを防止できる。Further, since the spring constant of the coil spring 58 is set to be low and the sum of the initial spring forces of all the coil springs 58 is set to be slightly stronger than the weight of one disk, when the disk is held. When a downward pulling force acts on the coil spring 58 due to the weight of the disc, the coil spring 58 contracts and the suction pin 56 is pulled out even if the pulling force is weak. With this function, when the second disk 41 is brought into contact with the liquid film of the adhesive, the liquid film spreads and becomes thinner, so that the surface tension of the liquid film attracts the second disk 41. Second disc 41 as
Can be prevented from leaving the liquid film.
【0037】次に、前述のような装置を用いて実現され
る光ディスクの製造方法の第1の実施例について説明す
る。まず、最初に人手または図示しない搬送装置によっ
て、第1のディスク1を回転ステージ2上に接着面を上
に向けて載置すると共に、第2のディスク41をステー
ジ42上に接着面を下に向けて載置する。Next, a first embodiment of a method of manufacturing an optical disc realized by using the above-mentioned device will be described. First, first, the first disk 1 is placed on the rotary stage 2 with the adhesive surface facing upward, and the second disk 41 is placed on the stage 42 with the adhesive surface facing downward, either manually or by a transfer device (not shown). Place it facing.
【0038】次に、回転ステージ2にて第1のディスク
1を吸着保持した後、回転ステージ2が低速回転を始め
ると共に、接着剤吐出装置30が吐出位置に移動させ
て、図7(a)で示すように第1のディスク1上に接着
剤を吐出する。吐出が終了すると接着剤吐出装置30は
元の位置へ戻ると共に回転ステージ2も停止する。Next, after the first disc 1 is sucked and held by the rotary stage 2, the rotary stage 2 starts to rotate at a low speed, and the adhesive discharge device 30 is moved to the discharge position, as shown in FIG. The adhesive is discharged onto the first disk 1 as shown by. When the discharging is completed, the adhesive discharging device 30 returns to the original position and the rotary stage 2 is stopped.
【0039】次に、ディスク保持装置43が起動し、デ
ィスク保持ヘッド44が第2のディスク41を吸着し
て、図7(b)に示すように第1のディスク1の上方へ
運び、下降運動を行って接着剤の液膜には接触するが、
第1のディスク1には接触しない位置に保持する。この
状態を示すのが図6である。このことは、前述のように
コイルばね58全数の初期ばね力の総和がディスク1枚
の重さより若干強い程度に設定されていることから、容
易に実現される。ここで、64は接着剤の液膜である。Next, the disc holding device 43 is activated, and the disc holding head 44 attracts the second disc 41 and carries it to the upper side of the first disc 1 as shown in FIG. And contact the liquid film of the adhesive,
The first disc 1 is held at a position where it does not come into contact with it. FIG. 6 shows this state. This is easily realized because the sum of the initial spring forces of all the coil springs 58 is set to be slightly stronger than the weight of one disc as described above. Here, 64 is a liquid film of an adhesive.
【0040】次に、回転ステージ2が回転を始める。こ
のとき、上側の第2のディスク41もディスク保持装置
43により回転を始めるが、これら2枚のディスクの間
に回転速度差が生じるようにそれぞれの回転数はあらか
じめ定められる。これを示すのが図7(c)である。こ
の回転速度差は接着剤の粘度など種々の要因で変わるの
で一概に言えないが、10〜100rpmが一般的であ
る。その状態で双方のディスクが回転を行い、それらデ
ィスク間の接着剤がほぼディスク外周近傍まで広げられ
る所定の時間が経過すると、双方のディスクの回転が停
止する。このとき、それらディスク間の接着剤がほぼデ
ィスク外周近傍まで広げられる所定の時間は双方のディ
スクの回転速度に依存する。Next, the rotary stage 2 starts to rotate. At this time, the upper second disk 41 also starts to rotate by the disk holding device 43, but the respective rotation speeds are predetermined so that a difference in rotation speed occurs between these two disks. This is shown in FIG. 7 (c). This difference in rotation speed varies depending on various factors such as the viscosity of the adhesive and cannot be generally stated, but is generally 10 to 100 rpm. In that state, both discs rotate, and after a predetermined period of time during which the adhesive between the discs is spread to approximately the periphery of the discs, the rotation of both discs stops. At this time, the predetermined period of time during which the adhesive between the disks is spread almost to the vicinity of the outer circumference of the disks depends on the rotation speeds of both disks.
【0041】しかる後に、回転ステージ2における第1
のディスク1の真空吸着を解除すると共に、ディスク保
持装置43のディスク保持ヘッド44による第2のディ
スク1の真空吸着も解除する。最後に、人手または図示
しない搬送装置にて、前記2枚のディスクを硬化装置ま
で運び、接着剤を硬化させ、貼り合わせを完了させる。
この実施例では、ディスク間の接着剤を均一に広げられ
るのは勿論のこと、遠心力で外部へ振り切ることがほと
んどないので、接着剤の使用量を節約できると共に、そ
の飛散を防止する機構を簡略化できる。なお、前述説明
では大気圧中でデイスクを回転させたが、後述するよう
に、大気圧よりも低い気圧の雰囲気で行うこともでき
る。Thereafter, the first stage in the rotary stage 2 is
The vacuum suction of the disk 1 is released, and the vacuum suction of the second disk 1 by the disk holding head 44 of the disk holding device 43 is also released. Finally, the two disks are carried to a curing device by hand or by a transport device (not shown) to cure the adhesive and complete the bonding.
In this embodiment, the adhesive between the discs can be spread evenly, and since it is hardly shaken off by the centrifugal force, the amount of the adhesive used can be saved and a mechanism for preventing the scattering of the adhesive can be provided. Can be simplified. Although the disk is rotated under the atmospheric pressure in the above description, it may be performed in an atmosphere having a pressure lower than the atmospheric pressure as described later.
【0042】次に第2の実施例では、前記第1の実施例
よりもその所要時間を短くするために、第1と第2のデ
ィスクを回転速度差をもって回転させ、それらディスク
間の接着剤がほぼ均一にある程度広がった時点で、図7
(d)に示すように、ディスク保持装置43は第2のデ
ィスク41を開放して第1のディスク1上に置くと共
に、元の位置へ戻る。その直後に、図7(e)で示すよ
うに、回転ステージ2の回転が低速から高速へ切り換わ
り、それら2枚のディスクを実質的に同一速度で高速回
転させる。その状態を所定の時間が保持した後、回転ス
テージ2を停止させ、回転ステージ2における第1のデ
ィスク1の真空吸着も解除する。この高速回転により、
ディスク間の接着剤は強い遠心力で急速に広げられ、振
り切られるので、この実施例では2枚のディスクの張り
合わせの所要時間を短縮できるのは勿論のこと、2枚の
ディスク間全面に均一に、かつ後述するように気泡のな
い接着剤層を形成することができる。Next, in the second embodiment, in order to make the required time shorter than in the first embodiment, the first and second disks are rotated with a difference in rotational speed, and the adhesive between the disks is rotated. Is almost evenly spread to some extent,
As shown in (d), the disc holding device 43 releases the second disc 41 and places it on the first disc 1, and returns to the original position. Immediately after that, as shown in FIG. 7E, the rotation of the rotary stage 2 is switched from low speed to high speed, and the two disks are rotated at high speed at substantially the same speed. After holding that state for a predetermined time, the rotary stage 2 is stopped and the vacuum suction of the first disk 1 on the rotary stage 2 is also released. By this high speed rotation,
Since the adhesive between the discs is rapidly spread by a strong centrifugal force and shaken off, the time required for bonding the two discs can be shortened in this embodiment, and the entire surface between the two discs can be made uniform. Further, as described later, it is possible to form a bubble-free adhesive layer.
【0043】なお、この実施例では最後に2枚のディス
クを実質的に同一速度で高速回転させているので、第1
と第2のディスクを回転速度差をもって回転させる工程
では、第1と第2のディスクのいずれか一方だけを低速
回転させても良く、また双方のディスクを回転させた場
合でも、あらかじめ決められた回転速度差を呈するよう
に双方とも低い回転速度で回転することができる。In this embodiment, the two discs are finally rotated at a high speed at substantially the same speed.
In the step of rotating the first and second discs at a rotational speed difference, only one of the first and second discs may be rotated at a low speed, or even if both discs are rotated, it is determined in advance. Both can rotate at a low rotational speed so as to exhibit a rotational speed difference.
【0044】図8は本発明における第1と第2のディス
クを回転速度差をもって回転させる工程の効果を説明す
るための図である。同図(a)は2枚のディスクを重ね
た直後の状態を上方から見た図であり、第1のディスク
1上に、きれいな円環状に接着剤の液膜64を吐出でき
たとしても、第2のディスク41を重ねた段階で、同図
(a)に示すような液膜64に輪郭線のいりくみ、つま
り輪郭凹凸ができてしまう。この液膜64の広がりの輪
郭凹凸が気泡混入の原因となることは前述の通りであ
る。同図(a)のような状態が発生することは、図14
に示すような従来例でも、本実施例でも同じである。FIG. 8 is a view for explaining the effect of the step of rotating the first and second disks with a difference in rotational speed according to the present invention. FIG. 2A is a view of the state immediately after the two discs are overlapped and is viewed from above. Even if the liquid film 64 of the adhesive can be ejected onto the first disc 1 in a clean annular shape, At the stage of stacking the second disks 41, the contour of the liquid film 64, as shown in FIG. 4A, is formed, that is, the contour is uneven. As described above, the unevenness of the contour of the liquid film 64 causes the bubbles to be mixed. The occurrence of the state as shown in FIG.
The same applies to the conventional example as shown in FIG.
【0045】それに対し、同図(b)は第2のディスク
41を、接着剤の液膜64には接触するが第1のディス
ク1には接触しないレベルに位置させ、第1のディスク
1と第2のディスクとの間に回転速度差を生じさせ、そ
の状態にて所定の時間だけ回転させた後の状態を、上方
から見た図である。On the other hand, in FIG. 2B, the second disk 41 is positioned at a level where it contacts the liquid film 64 of the adhesive but does not contact the first disk 1, FIG. 6 is a view of the state after the rotation speed difference is generated between the second disc and the second disc and the disc is rotated for a predetermined time in that state, as viewed from above.
【0046】これら2枚のディスクの相対的な回転運動
により、その遠心力に加えて、機械的な作用も働くた
め、液膜64は周方向にずらされて行き、液膜64の輪
郭凹部は輪郭凸部によりつぶされてきれいな円環状にな
り、かつ液膜64の輪郭線のいずれの箇所をとってもほ
ぼ同一径で外周方向に広がる。したがって、本実施例で
は第2のディスク41を第1のディスク1上に置く際に
第2のディスク41は液膜64に接触する程度まで第1
のディスク1に既に接近しているので、ディスク載置時
に液膜64の形を乱すこともないということもあって、
ディスク間及び接着剤中に気泡が形成されない。また、
液膜64とディスク1及び41の表面との接触面積及び
輪郭線の長さが十分大きくなるので、ディスク1及び4
1の間の密着力が強くなり、第1のディスク1の上に第
2のディスク41を載せただけでも、高速回転時のディ
スク飛びなどの問題は発生しない。Due to the relative rotational movement of these two discs, in addition to the centrifugal force, a mechanical action also acts, so that the liquid film 64 is displaced in the circumferential direction, and the contour concave portion of the liquid film 64 is displaced. It is crushed by the contour convex portion to form a clean annular shape, and the contour of the liquid film 64 spreads in the outer peripheral direction with almost the same diameter at any position. Therefore, in the present embodiment, when the second disc 41 is placed on the first disc 1, the second disc 41 does not contact the liquid film 64 until the first disc
Since it is already close to the disk 1 of No. 1, it does not disturb the shape of the liquid film 64 when the disk is placed,
No bubbles are formed between the disks and in the adhesive. Also,
Since the contact area between the liquid film 64 and the surfaces of the disks 1 and 41 and the length of the contour line become sufficiently large, the disks 1 and 4
The adhesion between No. 1 and No. 1 becomes strong, and even if the second disk 41 is placed on the first disk 1, problems such as disk jumping at high speed rotation do not occur.
【0047】前述実施例では、第1、第2のディスク4
1とを高速回転するときに、ディスク保持装置43が第
2のディスク41を開放して第1のディスク1の上に第
2のディスク41を載せたが、ディスク保持装置43が
第2のディスク41を開放しないで、第2のディスク1
を吸着保持して高速回転させることもでき、双方のディ
スクを同一回転速度で回転させるだけでなく、回転速度
差が狭い範囲、例えば100rpm以下で異なる回転速
度で回転させても同様な効果を得ることができる。これ
は、所定の膜厚値が厚く、液の表面張力によってその輪
郭線を規定する作用が比較的低い場合の気泡購入防止に
有効である。In the above embodiment, the first and second disks 4
When the first disc 1 and the second disc 41 are rotated at a high speed, the disc holding device 43 releases the second disc 41 and puts the second disc 41 on the first disc 1. Second disc 1 without opening 41
Can be adsorbed and held and rotated at a high speed, and the same effect can be obtained not only by rotating both disks at the same rotation speed, but also by rotating them at different rotation speeds within a narrow rotation speed difference range, for example, 100 rpm or less. be able to. This is effective for preventing the purchase of bubbles when the predetermined film thickness value is large and the action of defining the contour line by the surface tension of the liquid is relatively low.
【0048】次に図9は、本発明の実施例を実現するた
めの機構を示す図で、ディスク保持装置43の先端部を
示す図である。この実施例は、ディスク保持装置43に
より第2のディスク41を保持しながら回転駆動できる
ようにしたものである。図9に従って説明すると、ディ
スク保持ヘッド44の支持ブロック54の上部が、スピ
ン軸66と同心になるように連結され、スピン軸66は
軸受10を介してハウジング11に回転自在に支持され
る。スピン軸66の内部には真空穴15が明けられてお
り、ディスク保持ヘッド44内部の真空排気用の穴と接
続され、内部空間16へとつながり、配管継手17、真
空配管18を介して図示しない真空源に接続される。内
部空間16の両側はラビリンスシール19が備えられ
る。以上の部材にてスピンドルユニット67が構成され
る。スピンドルユニット67の構成、機能は図2に示す
ものと同様である。Next, FIG. 9 is a view showing a mechanism for realizing the embodiment of the present invention, and is a view showing a tip end portion of the disk holding device 43. In this embodiment, the disk holding device 43 allows the second disk 41 to be rotated while being held. Referring to FIG. 9, the upper part of the support block 54 of the disk holding head 44 is connected so as to be concentric with the spin shaft 66, and the spin shaft 66 is rotatably supported by the housing 11 via the bearing 10. A vacuum hole 15 is formed inside the spin shaft 66, which is connected to a vacuum exhaust hole inside the disk holding head 44, is connected to the internal space 16, and is not shown via a pipe joint 17 and a vacuum pipe 18. Connected to a vacuum source. Labyrinth seals 19 are provided on both sides of the internal space 16. The above-mentioned members constitute the spindle unit 67. The structure and function of the spindle unit 67 are the same as those shown in FIG.
【0049】スピン軸66の上端は軸継手21を介して
スピン駆動モータ4に接続される。スピン駆動モータ4
には、回転制御を高精度で行うため、サーボモータが使
用される場合が多い。またサーボモータを使用すれば、
駆動トルクの検出も容易にできる。スピンドルユニット
67とスピン駆動モータ4は、ベースブロック68を介
してアーム47に固定される。この構造のディスク保持
装置43を用いることにより、第2のディスク41を上
方から保持したまま、回転させることができる。この
際、前述のように接着剤の液膜64が広がり、薄くなっ
ても第2のディスク41が液膜64から離れることはな
い。The upper end of the spin shaft 66 is connected to the spin drive motor 4 via the shaft joint 21. Spin drive motor 4
In many cases, a servomotor is used for high-precision rotation control. If you use a servo motor,
The drive torque can be easily detected. The spindle unit 67 and the spin drive motor 4 are fixed to the arm 47 via a base block 68. By using the disc holding device 43 having this structure, the second disc 41 can be rotated while being held from above. At this time, as described above, the liquid film 64 of the adhesive spreads, and the second disk 41 does not separate from the liquid film 64 even if it becomes thin.
【0050】したがって、この構造のディスク保持装置
43によれば、第2のディスク41を第1のディスク1
の回転速度と異なる回転速度で、あるいは逆方向に回転
させることができ、必要な場合にはほぼ同一速度で双方
のディスクを回転させることができる。このことは低速
回転時でも、高速回転時でも同じであり、この機構は種
々の製造方法を可能にする。そして、これは2枚のディ
スクを重ねたときに生じやすい接着剤の液膜64の凹凸
の内、特に液膜64と第2のディスク41との境界線の
輪郭凹凸の解消に有効となるので、2枚のディスク間や
接着層中に気泡が形成されない。Therefore, according to the disc holding device 43 having this structure, the second disc 41 is replaced by the first disc 1.
It is possible to rotate both discs at a rotational speed different from the rotational speed of, or in the opposite direction, and both disks can be rotated at substantially the same speed if necessary. This is the same during low speed rotation and high speed rotation, and this mechanism enables various manufacturing methods. Then, this is effective in eliminating the unevenness of the contour of the boundary line between the liquid film 64 and the second disk 41, among the unevenness of the liquid film 64 of the adhesive that tends to occur when two disks are stacked. No bubbles are formed between the two disks or in the adhesive layer.
【0051】図10は、本発明の別の実施例を実現する
ためのディスク保持装置43の先端部の別の構造を示す
図である。この実施例は、第2のディスク41の静止位
置の高さを任意に設定できるようにしたものである。FIG. 10 is a view showing another structure of the tip end portion of the disk holding device 43 for realizing another embodiment of the present invention. In this embodiment, the height of the stationary position of the second disc 41 can be set arbitrarily.
【0052】図10に従って説明すると、ディスク保持
ヘッド69は緩衝機構のない単純な構造で先端に吸着パ
ッド70を備えると共に、内部に真空穴71を備え、配
管継手60と真空配管61を介して図示しない真空源に
接続される。また、ディスク保持ヘッド69は、可動ベ
ース72に固定される。可動ベース72は、スライド軸
受73を介して、ガイドロッド74に上下方向に可動な
状態で取付られる。また、ボールナット75を介してボ
ールネジ76にも取付られる。これにより、ボールネジ
76の回転に従ってディスク保持ヘッド69は上下動作
する。ガイドロッド74は剛的に、ボールネジ76は軸
受10を介して回転自在に、下側ベース78と上側ベー
ス79に支持される。ボールネジ76の上端は、軸継手
21を介してサーボモータ80に接続される。Referring to FIG. 10, the disk holding head 69 has a simple structure without a cushioning mechanism, has a suction pad 70 at its tip, has a vacuum hole 71 inside, and is illustrated via a pipe joint 60 and a vacuum pipe 61. Not connected to a vacuum source. The disk holding head 69 is fixed to the movable base 72. The movable base 72 is attached to the guide rod 74 via a slide bearing 73 in a vertically movable state. It is also attached to the ball screw 76 via the ball nut 75. As a result, the disk holding head 69 moves up and down according to the rotation of the ball screw 76. The guide rod 74 is rigidly supported, and the ball screw 76 is rotatably supported by the lower base 78 and the upper base 79 via the bearing 10. The upper end of the ball screw 76 is connected to the servomotor 80 via the shaft coupling 21.
【0053】第2のディスク41の静止高さの信号をサ
ーボモータ80に指令することで、ボールネジ76を回
転させ、ディスク保持ヘッド69を設定高さへ移動させ
る。この実施例では、2枚のディスクが回転速度差をも
って回転する際に、接着剤の液膜64が広がり薄くなる
につれて、2枚のディスク間の間隔を狭めることによ
り、第2のディスク41を適当量押し付けることになる
ので、液膜64がきれいな円環状に広がろうとするのを
助ける。By commanding a signal of the stationary height of the second disk 41 to the servomotor 80, the ball screw 76 is rotated and the disk holding head 69 is moved to the set height. In this embodiment, when the two discs rotate with a rotational speed difference, the gap between the two discs is narrowed as the liquid film 64 of the adhesive spreads and becomes thinner. Since the liquid film 64 is pressed by a certain amount, it helps the liquid film 64 to spread in a clean annular shape.
【0054】図11は、本発明の別の実施例を実現する
ためのディスク保持装置43の先端部の別の構造を示す
図である。この実施例は、図9及び図10に示す実施例
の複合したものである。同図において、ディスク保持ヘ
ッド69を回転自在に支持するスピンドルユニット67
とスピン駆動モータ4が可動ベース72に固定され、可
動ベース72は、スライド軸受73を介してガイドロッ
ド74に、ボールナット75を介してボールネジ76
に、それぞれ支持されており、サーボモータ80の回転
に応じてボールネジ76が回転することにより上下動し
て、ディスク保持ヘッド69の高さを任意のレベルにす
る。この実施例では、図9及び図10に示す機構の作
用、効果を合わせた作用及び効果を発揮できる。FIG. 11 is a view showing another structure of the tip end portion of the disk holding device 43 for realizing another embodiment of the present invention. This embodiment is a combination of the embodiments shown in FIGS. 9 and 10. In the figure, a spindle unit 67 that rotatably supports a disk holding head 69.
The spin drive motor 4 is fixed to the movable base 72. The movable base 72 is attached to the guide rod 74 via the slide bearing 73 and the ball screw 76 via the ball nut 75.
Are respectively supported, and the ball screw 76 rotates in accordance with the rotation of the servo motor 80 to move up and down, and the height of the disk holding head 69 is set to an arbitrary level. In this embodiment, the combined action and effect of the mechanisms shown in FIGS. 9 and 10 can be exhibited.
【0055】図12は、本発明の別の実施例を実現する
ための機構を示し、回転ステージ2の周囲を、蓋のでき
る密閉容器84で囲んでいる。ディスク保持装置43の
先端部には、密閉容器84の蓋85が装着される。ま
た、ディスク保持装置43の垂直移動機構46により、
蓋85が密閉容器84に装着されるOリング86に押し
付けられ、密閉容器84が密閉される。また密閉容器8
4の密閉とは独立して第2のディスク41の上下動作を
行うために、ディスク保持ヘッド昇降装置87が装備さ
れる。密閉容器66とスピンドルユニット3の隙間はO
リング88でシールされる。また排液配管系には排液バ
ルブ89が装備される。なお、前記以外の図示されない
部分は図1と同様である。FIG. 12 shows a mechanism for realizing another embodiment of the present invention, in which the rotary stage 2 is surrounded by a closed container 84 which can be covered. The lid 85 of the closed container 84 is attached to the tip of the disk holding device 43. Further, by the vertical movement mechanism 46 of the disc holding device 43,
The lid 85 is pressed against the O-ring 86 mounted on the closed container 84 to close the closed container 84. Also a closed container 8
In order to perform the vertical movement of the second disk 41 independently of the sealing of No. 4, the disk holding head lifting device 87 is equipped. The gap between the closed container 66 and the spindle unit 3 is O
It is sealed with a ring 88. Further, the drainage piping system is equipped with a drainage valve 89. The parts other than the above, which are not shown, are the same as those in FIG.
【0056】密閉容器84を密閉した状態で排気口24
からその中の空気を吸引することで、密閉容器84内を
大気圧より低圧の雰囲気にできる。なお、回収された余
剰な接着剤の液は、蓋85が開いたときに、排液バルブ
89も同時に開放することで排出できる。この機構を用
いて2枚のディスクを重ね合わせた後、密閉容器84内
を大気圧より低圧の雰囲気にし、その状態で2枚のディ
スクを相対的に回転速度差をもって回転させるか、ある
いは同一回転速度又は相対的に回転速度差をもって高速
回転させる。この方法によれば、2枚のディスクの間の
接着剤の液膜の均一な広がりを助ける効果がある。Exhaust port 24 with hermetically sealed container 84 sealed
By sucking the air therein, the inside of the closed container 84 can be made to have an atmosphere at a pressure lower than atmospheric pressure. The collected excess adhesive liquid can be discharged by opening the drain valve 89 at the same time when the lid 85 is opened. After stacking two disks using this mechanism, the inside of the closed container 84 is made to have an atmosphere at a pressure lower than atmospheric pressure, and in that state, the two disks are rotated with a relative rotational speed difference, or they are rotated at the same speed. Rotate at a high speed with a speed or a relative rotational speed difference. According to this method, there is an effect of helping to uniformly spread the liquid film of the adhesive between the two disks.
【0057】図13は、ディスクを回転駆動するスピン
駆動モータの駆動トルクによりディスクの回転を制御す
るための機構を示す。この実施例は次のような知見に基
づくものである。第1及び第2のディスク1、41が前
述のように相対的に回転速度差をもって回転していると
きには、図7又は図8に示すようにこれらディスクはそ
れらの間の接着剤の液膜64を擦りながら、つまり液膜
64を剪断しながら回転することになり、スピン駆動モ
ータ4としては液膜64に生じる剪断応力に抗して回転
するためのトルクに相当する駆動トルクが余分に必要と
なる。この剪断応力に抗して回転するためのトルク値
は、液膜64とディスクの接触面積が増えるにつれて増
加するので、そのトルク値がわかれば液膜64とディス
クの接触面積が求められる。また、デイスク1上に滴下
される接着剤の量はあらかじめ設定されており、既知で
あるから、液膜64の高さも求められる。したがって、
あらかじめ用いる接着剤の液膜64の粘性などの各特
性、ディスクの回転数、及びディスク間の間隔をパラメ
ータにして、そのトルク値と、液膜64とディスクの接
触面積との関係、あるいは液膜64の高さとの関係を求
めておくことにより、汎用性をもたせることが可能にな
る。なお、この駆動トルク値に周期的な変動があれば、
ディスクの変形に起因するものであるので、それを解消
するように回転状態やディスクの押しつけ量の制御を行
うこともできる。FIG. 13 shows a mechanism for controlling the rotation of the disk by the drive torque of the spin drive motor which rotationally drives the disk. This example is based on the following findings. When the first and second discs 1 and 41 are rotating with a relative rotational speed difference as described above, as shown in FIG. 7 or FIG. Therefore, the spin drive motor 4 needs an extra drive torque corresponding to the torque for rotating against the shear stress generated in the liquid film 64. Become. Since the torque value for rotating against the shear stress increases as the contact area between the liquid film 64 and the disk increases, if the torque value is known, the contact area between the liquid film 64 and the disk can be obtained. Further, since the amount of the adhesive dropped on the disk 1 is set in advance and is known, the height of the liquid film 64 is also required. Therefore,
The relationship between the torque value and the contact area between the liquid film 64 and the disc, or the liquid film 64 of the adhesive, which is used in advance as parameters such as the viscosity of the liquid film 64, the rotational speed of the disc, and the gap between the discs, By obtaining the relationship with the height of 64, it becomes possible to have versatility. If there is a periodic fluctuation in this drive torque value,
Since it is caused by the deformation of the disc, it is possible to control the rotation state and the pressing amount of the disc so as to eliminate it.
【0058】このことを踏まえてこの実施例では、第1
及び第2のディスク1、41をそれぞれ回転駆動する二
つのスピン駆動モータ4としてサーボモータを用いてお
り、それらの駆動源となるサーボドライバのうち、第1
のディスク1を回転駆動するスピン駆動モータ4用の第
1のサーボドライバ93、第2のディスク41を回転駆
動するスピン駆動モータ4用の第2のサーボドライバ9
4から、それぞれのスピン駆動モータ4の駆動トルク値
を演算処理ユニット95へ送信するようになっている。
なお、スピンドル機構にて費やされるトルク値はあらか
じめ演算処理ユニット95に入力してあり、駆動トルク
値からそのトルク値を減算した差のトルク値を液の粘性
抵抗によるトルク値と認識する。Based on this, in this embodiment, the first
Servo motors are used as the two spin drive motors 4 for rotationally driving the first and second disks 1 and 41, respectively.
First servo driver 93 for the spin drive motor 4 that rotationally drives the disk 1, and the second servo driver 9 for the spin drive motor 4 that rotationally drives the second disk 41.
4, the driving torque value of each spin drive motor 4 is transmitted to the arithmetic processing unit 95.
The torque value consumed by the spindle mechanism is input to the arithmetic processing unit 95 in advance, and the difference torque value obtained by subtracting the torque value from the drive torque value is recognized as the torque value due to the viscous resistance of the liquid.
【0059】演算処理ユニット95は、第1及び第2の
ディスク1、41をそれぞれ回転駆動する二つのスピン
駆動モータ4を設定回転数で回転させるために、第1の
サーボドライバ93、第2のサーボドライバ94が出力
している駆動トルク値に対応する信号ををそれぞれ受
け、演算処理して液膜64とディスクとの接触面積、つ
まり液膜64の広がり状態を求め、その駆動トルク値が
第1の設定値に達するとき、ディスク1、41の回転速
度差を小さくないしはゼロとなるように、サーボドライ
バ93、94へ運転指令を送信する。このようにするこ
とにより、ディスク1、41の向き合っている面が摩擦
によって傷つく可能性を除去できる。The arithmetic processing unit 95 has a first servo driver 93 and a second servo driver 93 for rotating the two spin drive motors 4 for rotationally driving the first and second disks 1 and 41, respectively, at a set rotational speed. The signals corresponding to the drive torque values output by the servo driver 94 are respectively received and arithmetic processing is performed to obtain the contact area between the liquid film 64 and the disk, that is, the spread state of the liquid film 64. When the set value of 1 is reached, an operation command is transmitted to the servo drivers 93 and 94 so that the rotational speed difference between the disks 1 and 41 becomes small or zero. By doing so, it is possible to eliminate the possibility that the facing surfaces of the disks 1 and 41 are damaged by friction.
【0060】演算処理ユニット95は、第1及び第2の
ディスク1、41をそれぞれ回転駆動する二つのスピン
駆動モータ4を設定回転数で回転させるために、第1の
サーボドライバ93、第2のサーボドライバ94が出力
している駆動トルク値に対応する信号ををそれぞれ受
け、演算処理して液膜64とディスクとの接触面積、つ
まり液膜64の広がり状態を求め、その駆動トルク値が
第2の設定値に達するとき、ディスク1、41を高速回
転に切り換えるように、サーボドライバ93、94へ運
転指令を送信する。The arithmetic processing unit 95 operates the first servo driver 93 and the second servo driver 93 in order to rotate the two spin drive motors 4 for rotationally driving the first and second disks 1 and 41, respectively, at a set rotational speed. The signals corresponding to the drive torque values output by the servo driver 94 are respectively received and arithmetic processing is performed to obtain the contact area between the liquid film 64 and the disk, that is, the spread state of the liquid film 64. When the set value of 2 is reached, an operation command is transmitted to the servo drivers 93 and 94 to switch the disks 1 and 41 to high speed rotation.
【0061】また、演算処理ユニット95は、第1及び
第2のディスク1、41をそれぞれ回転駆動する二つの
スピン駆動モータ4を設定回転数で回転させるために、
第1のサーボドライバ93、第2のサーボドライバ94
が出力している駆動トルク値に対応する信号をそれぞれ
受けて、液膜64の高さを求め、駆動トルク値の増大に
より液膜64の高さが減少するとき、その駆動トルク値
に応じてディスク間の微小間隔を狭めるよう、サーボモ
ータ80の駆動源である第3のサーボドライバ96へ運
転指令を与える。In addition, the arithmetic processing unit 95 rotates the two spin drive motors 4 that rotate and drive the first and second disks 1 and 41, respectively, at the set rotation speed.
First servo driver 93, second servo driver 94
When the height of the liquid film 64 decreases due to the increase of the driving torque value, the height of the liquid film 64 is reduced by receiving the signal corresponding to the driving torque value output by the An operation command is given to the third servo driver 96, which is the drive source of the servo motor 80, so as to narrow the minute gap between the disks.
【0062】さらにまた、演算処理ユニット95は、第
1のサーボドライバ93、第2のサーボドライバ94か
ら駆動トルク値に対応する信号をそれぞれ受け、液膜6
4がデイスク間の全面に広がるとその駆動トルク値がほ
ぼ一定値になることから、前記信号の変化がある設定値
以下になるとき、ディスクの回転駆動を停止するよう
に、第1のサーボドライバ93、第2のサーボドライバ
94へ運転停止指令を送出する。Furthermore, the arithmetic processing unit 95 receives the signals corresponding to the driving torque values from the first servo driver 93 and the second servo driver 94, respectively, and the liquid film 6
When 4 spreads over the entire surface of the disk, the driving torque value becomes substantially constant. Therefore, when the change of the signal becomes less than a certain set value, the rotation driving of the disk is stopped. 93, an operation stop command is sent to the second servo driver 94.
【0063】なお、ディスク保持ヘッド44が図5に示
すような構造でない場合には、ディスク間の液膜64の
広がりで液膜64が薄くなることにより、第1のディス
ク1が液膜64から離れてしまうこともあるので、この
場合には演算処理ユニット95は、第1のサーボドライ
バ93、第2のサーボドライバ94からトルク値に対応
する信号をそれぞれ受け、駆動トルク値があらかじめ求
めておいた特性曲線に従って増大するように、サーボモ
ータ80の駆動源である第3のサーボドライバ96へ運
転指令を与えて、ディスク間の微小間隔を徐々に狭め
る。If the disk holding head 44 does not have the structure shown in FIG. 5, the liquid film 64 becomes thin due to the spread of the liquid film 64 between the disks, so that the first disk 1 is separated from the liquid film 64. In this case, the arithmetic processing unit 95 receives signals corresponding to the torque values from the first servo driver 93 and the second servo driver 94, respectively, and the drive torque value is obtained in advance. An operation command is given to the third servo driver 96 which is the drive source of the servo motor 80 so as to increase according to the characteristic curve, and the minute interval between the disks is gradually narrowed.
【0064】[0064]
【発明の効果】本発明は以上述べたような特徴を有して
いるので、液体状の接着剤を使用し光ディスクを高速回
転させて貼り合わせる場合に、ディスク間および接着層
への気泡の混入を抑制でき、貼り合わせによる高品位の
光ディスクを得ることが可能である。EFFECTS OF THE INVENTION Since the present invention has the above-mentioned characteristics, when liquid disks are used and the optical disks are rotated at a high speed for bonding, bubbles are mixed between the disks and in the adhesive layer. And it is possible to obtain a high-quality optical disc by bonding.
【図1】 本発明にかかるディスク製造装置の一実施例
を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a disk manufacturing apparatus according to the present invention.
【図2】 図1の実施例の細部構造を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a detailed structure of the embodiment of FIG.
【図3】 図1の実施例の一部構造の変形例を示す図で
ある。FIG. 3 is a diagram showing a modification of the partial structure of the embodiment of FIG.
【図4】 図1の実施例の一部構造の変形例を示す図で
ある。FIG. 4 is a diagram showing a modification of the partial structure of the embodiment of FIG.
【図5】 図1の実施例の細部構造を示す図である。5 is a diagram showing a detailed structure of the embodiment of FIG.
【図6】 図1の実施例の動作を説明するための図であ
る。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the embodiment of FIG.
【図7】 本発明の一実施例を説明するための図であ
る。FIG. 7 is a diagram for explaining an example of the present invention.
【図8】 本発明の実施例の作用と効果を説明するため
の図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the operation and effect of the embodiment of the present invention.
【図9】 本発明にかかる別の実施例を説明するための
図である。FIG. 9 is a diagram for explaining another embodiment according to the present invention.
【図10】 本発明にかかる別の実施例を説明するため
の図である。FIG. 10 is a diagram for explaining another embodiment according to the present invention.
【図11】 本発明にかかる別の実施例を説明するため
の図である。FIG. 11 is a diagram for explaining another embodiment according to the present invention.
【図12】 本発明にかかる別の実施例を説明するため
の図である。FIG. 12 is a diagram for explaining another embodiment according to the present invention.
【図13】 本発明にかかる別の実施例を説明するため
の図である。FIG. 13 is a diagram for explaining another embodiment according to the present invention.
【図14】 従来の光ディスク貼り合わせ方法の一例を
示す図である。FIG. 14 is a diagram showing an example of a conventional optical disc bonding method.
【図15】 従来のディスク製造方法を説明するための
図である。FIG. 15 is a diagram for explaining a conventional disc manufacturing method.
【図16】 従来のディスク製造方法を説明するための
図である。FIG. 16 is a diagram for explaining a conventional disc manufacturing method.
1…第1のディスク 2…回転ステ
ージ
3…スピンドルユニット 4…スピン駆
動モータ
5…回収ハウジング 7…緩衝シー
ト
8…位置決め突起 9…スピン軸
10…軸受 11…ハウジ
ング
13…真空穴 14…真空穴
15…真空穴 16…内部空
間
17…配管継手 18…真空配
管
19…ラビリンスシール 21…軸継手
22…配管継手 23…排液配
管
24…排気口 25…整流板
26…防滴板 30…接着剤
吐出装置
31…吐出ノズル 32…吐出バ
ルブ
33…吐出配管 34…吐出配
管
35…水平移動装置 36…垂直移
動装置
37…アーム 38…軸受ケ
ース
39…軸継手 40…サーボ
モータ
41…第2のディスク 42…ステー
ジ
43…ディスク保持装置 44…ディス
ク保持ヘッド
45…水平移動機構 46…垂直移
動機構
47…アーム 48…旋回式
エアーシリンダ
49…保持ヘッドブロック 50…キー
51…滑り軸受 52…支持ブ
ロック
53…ストッパ 54…コイル
ばね
55…滑り軸受 56…吸着ピ
ン
56a…ストッパ突起 57…ストッ
パ
58…コイルばね 59…吸着パ
ッド
60…配管継手 61…真空配
管
64…接着剤の液膜 66…スピン
軸
67…スピンドルユニット 68…ベース
ブロック
69…ディスク保持ヘッド 70…吸着パ
ッド
71…真空穴 72…可動ベ
ース
73…スライド軸受 74…ガイド
ロッド
75…ボールナット 76…ボール
ネジ
78…下側ベース 79…上側ベ
ース
80…サーボモータ 84…密閉容
器
85…蓋 86…Oリン
グ
87…ディスク保持ヘッド昇降装置 88…Oリン
グ
89…排液バルブ 93…第1の
サーボドライバ
94…第2のサーボドライバ 95…演算処
理ユニット
96…第3のサーボドライバDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... 1st disc 2 ... Rotation stage 3 ... Spindle unit 4 ... Spin drive motor 5 ... Recovery housing 7 ... Buffer sheet 8 ... Positioning protrusion 9 ... Spin shaft 10 ... Bearing 11 ... Housing 13 ... Vacuum hole 14 ... Vacuum hole 15 ... Vacuum hole 16 ... Internal space 17 ... Piping joint 18 ... Vacuum pipe 19 ... Labyrinth seal 21 ... Shaft joint 22 ... Piping joint 23 ... Drainage pipe 24 ... Exhaust port 25 ... Rectifier plate 26 ... Dripproof plate 30 ... Adhesive discharge Device 31 ... Discharge nozzle 32 ... Discharge valve 33 ... Discharge pipe 34 ... Discharge pipe 35 ... Horizontal movement device 36 ... Vertical movement device 37 ... Arm 38 ... Bearing case 39 ... Shaft coupling 40 ... Servo motor 41 ... Second disk 42 ... Stage 43 ... Disk holding device 44 ... Disk holding head 45 ... Horizontal moving mechanism 46 ... Vertical moving mechanism 47 ... Arm 48 ... Swivel type Ar cylinder 49 ... Holding head block 50 ... Key 51 ... Sliding bearing 52 ... Support block 53 ... Stopper 54 ... Coil spring 55 ... Sliding bearing 56 ... Adsorption pin 56a ... Stopper protrusion 57 ... Stopper 58 ... Coil spring 59 ... Adsorption pad 60 ... Piping joint 61 ... Vacuum piping 64 ... Adhesive liquid film 66 ... Spin shaft 67 ... Spindle unit 68 ... Base block 69 ... Disk holding head 70 ... Adsorption pad 71 ... Vacuum hole 72 ... Movable base 73 ... Slide bearing 74 ... Guide rod 75 ... Ball nut 76 ... Ball screw 78 ... Lower base 79 ... Upper base 80 ... Servo motor 84 ... Sealed container 85 ... Lid 86 ... O-ring 87 ... Disk holding head lifting device 88 ... O-ring 89 ... Drain valve 93 ... 1st servo driver 94 ... 2nd servo driver 95 ... Processing unit 96 ... third servo driver
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 7/26
Claims (16)
合わせて光ディスクを製作する方法において、 接着面を上に向けた状態にて第1のディスクを回転ステ
ージ上に保持する工程と、 前記第1のディスクの中心穴の周囲に液体状の接着剤を
供給する工程と、 前記第1及び第2のディスクが同心で、かつ前記第2の
ディスクが前記第1のディスク上の前記接着剤には接触
するが前記第1のディスクには接触しない位置に保持す
る工程と、 前記後第1及び第2のディスクの間に回転速度差が生じ
るように、前記第2のディスクを前述位置に保持しなが
ら、前記第1及び第2のディスクの一方又は双方を回転
させる工程と、を備えることを特徴とする光ディスクの
製造方法。1. A method of manufacturing an optical disk by bonding a first disk and a second disk together, the step of holding the first disk on a rotary stage with the bonding surface facing upward, Supplying a liquid adhesive around the central hole of the first disc, the first and second discs being concentric, and the second disc being the adhesive on the first disc A step of holding the second disk in a position where it contacts the agent but does not contact the first disk; and a difference in rotational speed between the rear first and second disks. And a step of rotating one or both of the first and second discs while holding the optical disc.
合わせて光ディスクを製作する方法において、 接着面を上に向けた状態にて第1のディスクを回転ステ
ージ上に保持する工程と、 前記第1のディスクの中心穴の周囲に液体状の接着剤を
供給する工程と、 前記第1及び第2のディスクが同心で、かつ前記第2の
ディスクが前記第1のディスク上の前記接着剤には接触
するが前記第1のディスクには接触しない位置に保持す
る工程と、 前記後第1及び第2のディスクの間に回転速度差が生じ
るように、前記第2のディスクを前述位置に保持しなが
ら、前記第1及び第2のディスクの一方又は双方を低回
転速度で回転させる工程と、 前記第1のディスクと前記第2のディスクを前記工程の
回転速度よりも大きい速度で高速回転する工程と、を備
えることを特徴とする光ディスクの製造方法。2. A method of manufacturing an optical disk by bonding a first disk and a second disk together, the step of holding the first disk on a rotary stage with the adhesive surface facing upward, Supplying a liquid adhesive around the central hole of the first disc, the first and second discs being concentric, and the second disc being the adhesive on the first disc A step of holding the second disk in a position where it contacts the agent but does not contact the first disk; and a difference in rotational speed between the rear first and second disks. Rotating one or both of the first and second disks at a low rotation speed while holding the first disk and the second disk at a low speed, and rotating the first disk and the second disk at a speed higher than the rotation speed of the step. With the process of rotating Optical disk manufacturing method which is characterized in that it comprises.
を高速回転させる前記工程において、前記第2のディス
クを前記第1のディスク上に載せて同一速度で高速回転
させることを特徴とする請求項2に記載の光ディスクの
製造方法。3. The step of rotating the first disk and the second disk at a high speed, the second disk is placed on the first disk and rotated at a high speed at the same speed. The optical disc manufacturing method according to claim 2.
を高速回転させる前記工程において、前記第2のディス
クを上方より保持したまま高速回転させることを特徴と
する請求項2に記載の光ディスクの製造方法。4. The optical disk according to claim 2, wherein in the step of rotating the first disk and the second disk at a high speed, the second disk is rotated at a high speed while holding the second disk from above. Manufacturing method.
を高速回転させる前記工程において、前記第1及び第2
のディスクの間に回転速度差が生じるように、前記第2
のディスクを保持しながら、前記双方のディスクを異な
る回転速度で同一方向に高速回転させることを特徴とす
る請求項2に記載の光ディスクの製造方法。5. In the step of rotating the first disc and the second disc at a high speed, the first and second discs are rotated.
So that a difference in rotational speed occurs between the discs of the second
3. The method for manufacturing an optical disc according to claim 2, wherein the two discs are rotated at high speeds in different directions at the same time while holding the disc.
度差が生じるように、前記第1及び第2のディスクの一
方又は双方を回転させる前記工程において、前記第1及
び第2のディスクが相対的に逆方向に回転することを特
徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の光
ディスクの製造方法。6. In the step of rotating one or both of the first and second disks so that a rotational speed difference is generated between the first and second disks, the first and second disks are rotated. 6. The method for manufacturing an optical disc according to claim 1, wherein the disc rotates in a relatively opposite direction.
度差が生じるように、前記第1及び第2のディスクの一
方又は双方を回転させる前記工程において、前記第1と
第2のディスクの間の接着剤の液膜の広がりに伴う駆動
トルク値の変化に応じて、前記第1と第2のディスクの
間の前記回転速度差を変化させるように制御することを
特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の
光ディスクの製造方法。7. In the step of rotating one or both of the first and second disks so that a rotation speed difference is generated between the first and second disks, the first and second disks are rotated. The control is performed so as to change the rotational speed difference between the first and second disks in accordance with a change in a drive torque value accompanying the spread of the liquid film of the adhesive between the disks. Item 7. A method of manufacturing an optical disc according to any one of items 1 to 6.
度差が生じるように、前記第1及び第2のディスクの一
方又は双方を回転させる前記工程において、前記第1と
第2のディスクの間の接着剤の液膜の広がりに伴い駆動
トルク値が設定値に達するとき、1と第2のディスクを
高速回転させる前記工程に切り換えることを特徴とする
請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の光ディスク
の製造方法。8. In the step of rotating one or both of the first and second disks so that a rotation speed difference is generated between the first and second disks, the first and second disks are rotated. 5. When the drive torque value reaches a set value as the liquid film of the adhesive agent spreads between the disks, the process is switched to the step of rotating the first and second disks at a high speed. A method for manufacturing an optical disc according to any one of the above.
液膜の広がりに伴い変化する駆動トルク値がほぼ一定の
値になった後、前記第1と第2のディスクの回転を停止
することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載
の光ディスクの製造方法。9. The rotation of the first and second disks after the driving torque value which changes with the spread of the liquid film of the adhesive between the first and second disks becomes a substantially constant value. 9. The method for manufacturing an optical disc according to claim 1, wherein the optical disc is stopped.
の液膜の広がりに合わせて、前記第1と第2のディスク
との間の微小間隙を狭めることを特徴とする請求項1乃
至9のいずれかに記載の光ディスクの製造方法。10. The minute gap between the first and second disks is narrowed in accordance with the spread of the liquid film of the adhesive between the first and second disks. 10. The method for manufacturing an optical disc according to any one of 1 to 9.
1と第2のディスクの間に回転速度差が生じるように、
前記第1及び第2のディスクの一方又は双方を回転させ
ることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか
に記載の光ディスクの製造方法。11. A rotating speed difference between the first and second disks in an atmosphere at a pressure lower than atmospheric pressure,
10. The method of manufacturing an optical disc according to claim 1, wherein one or both of the first and second discs are rotated.
り合わせて光ディスクを製作する装置において、 前記第1のディスクを、その中心軸と自身の中心軸を合
わせて保持できる回転ステージと、 該回転ステージ上に保持される前記第1のディスクの中
心穴の周囲に接着剤を供給できる接着剤供給装置と、 前記第2のディスクを保持して回転ステージの中心軸と
前記第2のディスクの中心軸を合わせ、かつ前記第2の
ディスクが前記第1のディスクには接触しないが、前記
第1のディスク上に供給された前記接着剤の液膜には接
触する位置に静止させることができるディスク保持装置
と、 を備え、前記ディスク保持装置を静止した状態に保ち、
前記回転ステージを回転させることで、前記第1及び前
記第2のディスクの間に回転速度差を生じさせることを
特徴とする光ディスクの製造装置。12. The method according to claim 12,Attach the first disc and the second disc
In the device for producing optical disks by combining Align the center axis of the first disc with its own center axis.
A rotating stage that can be held together In the first disk held on the rotating stage
An adhesive supply device capable of supplying adhesive around the core hole, The second disc is held and the central axis of the rotary stage is
The central axes of the second disks are aligned and the second disks are
Although the disc does not contact the first disc,
The liquid film of the adhesive supplied on the first disk is not contacted.
Disk holding device that can be stopped at the position to touch
When, Equipped withKeep the disk holding device stationary,
By rotating the rotary stage, the first and front
A difference in rotational speed is generated between the second disks.That
Characteristic optical disc manufacturing equipment.
ィスクを回転駆動させることができることを特徴とする
請求項12に記載の光ディスクの製造装置。13. The optical disk manufacturing apparatus according to claim 12 , wherein the disk holding device can drive the second disk to rotate.
気圧より低い圧力の雰囲気中に保持し得る外囲器を備え
ることを特徴とする請求項12又は請求項13のいずれ
かに記載の光ディスクの製造装置。Optical disk according to claim 12 or claim 13 around the two disks 14. adhered, characterized in that it comprises an envelope which may be held in an atmosphere of subatmospheric pressure Manufacturing equipment.
の一方又は双方からの駆動トルク値に基づいて、前記第
1と第2のディスクの回転状態を変える機能を有するこ
とを特徴とする請求項12ないし請求項14のいずれか
に記載の光ディスクの製造装置。15. A function of changing the rotational states of the first and second disks based on a drive torque value from one or both of the rotational drive sources of the first and second disks. The optical disk manufacturing apparatus according to any one of claims 12 to 14 .
2のディスクとの間の間隙を調整できる機構を有するこ
とを特徴とする請求項12ないし請求項15のいずれか
に記載の光ディスク製造装置。16. The disk holding device, producing an optical disk according to any one of claims 12 to claim 15, characterized in that it has a mechanism capable of adjusting a gap between the first and second disk apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP23337995A JP3477284B2 (en) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | Optical disc manufacturing method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0963127A JPH0963127A (en) | 1997-03-07 |
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1995
- 1995-08-18 JP JP23337995A patent/JP3477284B2/en not_active Expired - Fee Related
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