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JP3441656B2 - Optical information recording / reproducing device - Google Patents

Optical information recording / reproducing device

Info

Publication number
JP3441656B2
JP3441656B2 JP31654598A JP31654598A JP3441656B2 JP 3441656 B2 JP3441656 B2 JP 3441656B2 JP 31654598 A JP31654598 A JP 31654598A JP 31654598 A JP31654598 A JP 31654598A JP 3441656 B2 JP3441656 B2 JP 3441656B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
mirror
order diffracted
deflection mirror
diffracted light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP31654598A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11232675A (en
Inventor
俊 滝島
博 西川
Original Assignee
ペンタックス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ペンタックス株式会社 filed Critical ペンタックス株式会社
Priority to JP31654598A priority Critical patent/JP3441656B2/en
Publication of JPH11232675A publication Critical patent/JPH11232675A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3441656B2 publication Critical patent/JP3441656B2/en
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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、光情報記録再生
装置に関し、特にレーザ光束を偏向して光ディスクの微
動トラッキングを行う構成の光情報記録再生装置におい
て偏向手段の偏向量を検出する技術に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording / reproducing apparatus, and more particularly to a technique for detecting a deflection amount of a deflecting means in an optical information recording / reproducing apparatus configured to deflect a laser beam to perform fine movement tracking of an optical disk. Is.

【0002】[0002]

【発明が解決しようとする課題】近時、面記録密度が1
0Gビット/(インチ)2を越える光磁気ディスク装置の開
発が進んでいる。この装置では、光磁気ディスクのトラ
ックと交差する方向に移動する(例えば回動する)粗動
用アームの先端部に設けた対物光学系に対するレーザ光
束の入射角を、ガルバノミラー等の偏向手段により微調
整して、微動トラッキングを、例えば0.34μmという
狭いトラックピッチレベルで正確に行うようなことが考
えられている。この場合、もしもガルバノミラーの回動
量がある範囲を超えると、光学性能が著しく落ちてしま
うという問題がある。このため、ガルバノミラーの回動
量をモニターして、所定の回動範囲を超えないように制
御する必要がある。
Recently, the areal recording density is 1
Development of a magneto-optical disk device exceeding 0 Gbit / (inch) 2 is in progress. In this device, the incident angle of the laser light flux with respect to the objective optical system provided at the tip of the coarse movement arm that moves (rotates, for example) in the direction intersecting with the track of the magneto-optical disc is finely adjusted by a deflection means such as a galvano mirror. It is considered to make fine adjustments to accurately perform fine movement tracking at a narrow track pitch level of, for example, 0.34 μm. In this case, if the amount of rotation of the galvanometer mirror exceeds a certain range, there is a problem that the optical performance is significantly deteriorated. For this reason, it is necessary to monitor the amount of rotation of the galvanometer mirror and control so as not to exceed a predetermined rotation range.

【0003】[0003]

【課題を解決するための手段】上述のような背景に鑑
み、請求項1に係る光情報記録再生装置は、平行なレー
ザービームを射出するレーザー光源と、前記レーザー光
源から射出されたレーザービームを光ディスク上に収束
させる対物レンズ系と、微動トラッキング装置と、粗動
トラッキング装置と、トラッキング検出手段と、トラッ
キング制御手段とを備える。該微動トラッキング装置
は、前記レーザー光源と対物レンズ系との間に回動可能
に設けられた偏向ミラーであって、前記偏向ミラーが回
動されることにより前記対物レンズ系に入射するレーザ
ービームの入射角が変わり、前記光ディスク上に収束す
る前記レーザービームの位置が変わるよう構成された偏
向ミラーと、前記偏向ミラーと対物レンズ系との間に配
置され、少なくとも第1および第2のリレーレンズ群を
有するリレーレンズ系であって、前記偏向ミラーと前記
対物レンズ系の入射瞳とをほぼ共役にするリレーレンズ
系と、前記レーザー光源と前記偏向ミラーとの間に配置
される回折格子であって、入射する光束を、少なくとも
0次光および所定の回折角を有する±1次回折光に分離
して前記偏向ミラーに入射させる回折格子と、前記偏光
ミラーにより反射された±1次回折光を受光することに
より前記偏向ミラーの回動量を検出する回動量検出手段
と、を備える。粗動トラッキング装置は、前記対物レン
ズ系が配設され、前記光ディスクの記録面に対して平行
な方向に回動自在な回動アームを備える。上記のような
構成において、上記トラッキング検出手段が、前記光デ
ィスクからの反射光を受光することによりトラッキング
誤差信号を生成し、制御手段が、該トラッキング検出手
段によって生成されたトラッキング誤差信号と、前記回
動量検出手段によって検出された前記偏向ミラーの回動
量とに基づき、微動トラッキング後の前記偏向ミラーの
回動位置を求め、該回動位置が所定範囲内であれば前記
微動トラッキング装置を駆動させ、該回動位置が所定範
囲を超える場合には前記粗動トラッキング装置を駆動さ
せることによりトラッキングが実行されることを特徴と
している。
In view of the above background, an optical information recording / reproducing apparatus according to a first aspect of the present invention provides a laser light source for emitting parallel laser beams and a laser beam emitted from the laser light source. An objective lens system for converging on an optical disk, a fine movement tracking device, a coarse movement tracking device, a tracking detection means, and a tracking control means are provided. The fine movement tracking device is a deflection mirror rotatably provided between the laser light source and the objective lens system, and the laser beam incident on the objective lens system is rotated by rotating the deflection mirror. A deflection mirror configured to change the incident angle and the position of the laser beam converged on the optical disc, and at least first and second relay lens groups arranged between the deflection mirror and the objective lens system. A relay lens system that makes the deflection mirror and the entrance pupil of the objective lens system substantially conjugate, and a diffraction grating that is arranged between the laser light source and the deflection mirror. A diffraction grating that separates an incident light beam into at least 0th-order light and ± 1st-order diffracted light having a predetermined diffraction angle, and makes the incident light into the deflection mirror; And a rotation amount detecting means for detecting the amount of rotation of the deflection mirror by receiving the reflected ± 1-order diffracted light by the polarizing mirror. The coarse movement tracking device is provided with the objective lens system and includes a rotating arm that is rotatable in a direction parallel to the recording surface of the optical disc. In the above configuration, the tracking detection means generates a tracking error signal by receiving the reflected light from the optical disc, and the control means generates the tracking error signal generated by the tracking detection means and the tracking error signal. Based on the rotation amount of the deflection mirror detected by the movement amount detecting means, the rotation position of the deflection mirror after fine movement tracking is obtained, and if the rotation position is within a predetermined range, the fine movement tracking device is driven. When the rotation position exceeds a predetermined range, the coarse movement tracking device is driven to perform tracking.

【0004】請求項2に係る光情報記録再生装置は、前
記偏光ミラーで反射された0次回折光のみを前記対物レ
ンズ系に向けて透過させ、前記±1次回折光が前記対物
レンズ系に入射するのを防ぐ遮光手段を有することを特
徴としている。
In the optical information recording / reproducing apparatus according to a second aspect, only the 0th-order diffracted light reflected by the polarization mirror is transmitted toward the objective lens system, and the ± 1st-order diffracted light is incident on the objective lens system. It is characterized by having a light shielding means for preventing

【0005】また、請求項3に係る光情報記録再生装置
においては、前記検出手段が、前記偏向ミラーにより反
射された前記±1次回折光の光量に基づいて前記偏向ミ
ラーの回動量を検出することを特徴としている。
Further, in the optical information recording / reproducing apparatus according to the third aspect, the detecting means detects the rotation amount of the deflection mirror based on the light amount of the ± first-order diffracted light reflected by the deflection mirror. Is characterized by.

【0006】さらに、請求項4に係る光情報記録再生装
置では、前記検出手段は、前記偏向ミラーの回動軸と直
交する方向に並べられ、前記±1次回折光の少なくとも
一部をそれぞれ受光する少なくとも2つの受光領域を有
し、前記2つの受光領域により受光された前記±1次回
折光の光量差に基づいて前記偏向ミラーの回動位置を検
出することを特徴としている。
Further, in the optical information recording / reproducing apparatus according to the fourth aspect, the detecting means are arranged in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflecting mirror and receive at least a part of the ± first-order diffracted light. It is characterized in that it has at least two light receiving regions, and detects the turning position of the deflection mirror based on the difference in the amount of the ± first-order diffracted light received by the two light receiving regions.

【0007】一方、請求項5に係る光情報記録再生装置
においては、前記検出手段は、前記偏向ミラーにより反
射された前記±1次回折光の前記検出手段に対する入射
位置に基づいて前記偏向ミラーの回動量を検出すること
を特徴としている。
On the other hand, in the optical information recording / reproducing apparatus according to a fifth aspect of the present invention, the detecting means rotates the deflecting mirror based on the incident position of the ± first-order diffracted light reflected by the deflecting mirror with respect to the detecting means. It is characterized by detecting the amount of motion.

【0008】また、請求項6に係る光情報記録再生装置
は、前記回折格子が、前記偏向ミラーの回動軸と平行な
方向に延びる直線状の複数の溝を有し、前記検出手段
は、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方向に並べられ
て、前記±1次回折光の少なくとも一部をそれぞれ受光
する2つの受光領域を有し、前記2つの受光領域により
受光された前記±1次回折光の光量差に基づいて前記偏
向ミラーの回動位置を検出することを特徴としている。
According to a sixth aspect of the optical information recording / reproducing apparatus, the diffraction grating has a plurality of linear grooves extending in a direction parallel to the rotation axis of the deflecting mirror, and the detecting means includes: There are two light receiving regions that are arranged in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror and that respectively receive at least a part of the ± 1st order diffracted light, and the ± 1 next time received by the two light receiving regions is included. It is characterized in that the turning position of the deflection mirror is detected based on the difference in the amount of the folded light.

【0009】請求項13に係る光情報記録再生装置は、
前記回折格子が、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方
向に延びる直線状の複数の溝を有し、前記検出手段は、
前記偏向ミラーの回動軸と直交する方向に並べられて、
前記±1次回折光のうちの+1次回折光の少なくとも一
部を受光する第1および第2の受光領域と、前記偏向ミ
ラーの回動軸と直交する方向に並べられて、前記±1次
回折光のうちの−1次回折光の少なくとも一部を受光す
る第3および第4の受光領域とが設けられたプレート部
材を有し、前記第1及び第3の受光領域により受光され
た光の光量と前記第2及び第4の受光領域により受光さ
れた光の光量との差に基づいて前記偏向ミラーの回動位
置を検出することを特徴としている。
An optical information recording / reproducing apparatus according to a thirteenth aspect is
The diffraction grating has a plurality of linear grooves extending in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror, and the detection means,
Arranged in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror,
The first and second light receiving regions that receive at least a part of the + 1st order diffracted light of the ± 1st order diffracted light and the ± 1st order diffracted light are arranged in the direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror. A plate member provided with third and fourth light receiving regions for receiving at least a part of the minus first-order diffracted light, and the light amount of the light received by the first and third light receiving regions and the above The turning position of the deflection mirror is detected based on the difference between the light amounts of the light received by the second and fourth light receiving regions.

【0010】請求項16に係る光情報記録再生装置で
は、前記回折格子は、前記偏向ミラーの回動軸と直交す
る方向に延びる直線状の複数の溝を有し、前記検出手段
は、前記第1および第2のリレーレンズ群の間に設けら
れ、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方向に延びる少
なくとも1つの位置検出素子を備えたプレート部材を有
し、前記±1次回折光のうちの+1次回折光または−1
次回折光の少なくとも一部は前記位置検出素子上に収束
するよう構成され、前記検出手段は、前記+1次回折光
または−1次回折光の少なくとも一部の前記位置検出素
子上での位置に基づいて前記偏向ミラーの回動位置を検
出することを特徴としている。
In the optical information recording / reproducing apparatus according to the sixteenth aspect, the diffraction grating has a plurality of linear grooves extending in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror, and the detection means is the first A plate member provided between the first and second relay lens groups, the plate member having at least one position detection element extending in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror; + 1st order diffracted light or -1
At least a part of the order diffracted light is configured to be converged on the position detection element, and the detection means is based on a position of at least a part of the + 1st order diffracted light or the −1st order diffracted light on the position detection element. The feature is that the turning position of the deflection mirror is detected.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。まず、近年のコンピュータ
ーにまつわるハード、ソフトの進歩に伴う外部記憶装置
への要求、特に大記憶容量への要求の高まりに対して提
案されたニア・フィールド記録(NFR:near field reco
rding) 技術と呼ばれる記録再生方式を用いた光磁気デ
ィスク記録再生装置の概要を図1から図5を参照して説
明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, near field recording (NFR: near field recording) was proposed in response to the increasing demand for external storage devices, especially for large storage capacities, as hardware and software have advanced in recent years.
The outline of a magneto-optical disk recording / reproducing apparatus using a recording / reproducing system called “rding” technology will be described with reference to FIGS.

【0012】図1はその光ディスク装置の全体概要図で
ある。ディスクドライブ装置1には光ディスク2が図示
しないスピンドルモータの回転軸に装着されている。一
方、光ディスク2の情報を再生または記録するために回
動(粗動)アーム3が光ディスク2の記録面に対して平
行になるように取り付けられている。この回動アーム3
はボイスコイルモーター4によって回転軸5を回転中心
として回動可能となっている。この回動アーム3の光デ
ィスク2に対向する先端には、光学素子を搭載した浮上
型光学ヘッド6が搭載されている。また、回動アーム3
の回転軸5近傍には光源ユニットおよび受光ユニットを
備えた光源モジュール7が配設され、回動アーム3と一
体となって駆動する構成となっている。
FIG. 1 is an overall schematic diagram of the optical disk device. An optical disk 2 is mounted on the rotary shaft of a spindle motor (not shown) in the disk drive device 1. On the other hand, in order to reproduce or record information on the optical disc 2, a rotating (coarse movement) arm 3 is attached so as to be parallel to the recording surface of the optical disc 2. This rotating arm 3
Is rotatable by a voice coil motor 4 about a rotary shaft 5. A floating optical head 6 having an optical element is mounted on the tip of the rotating arm 3 facing the optical disk 2. Also, the rotating arm 3
A light source module 7 including a light source unit and a light receiving unit is disposed in the vicinity of the rotating shaft 5 and is configured to be driven integrally with the rotating arm 3.

【0013】図2、図3は回動アーム3の先端部を説明
するものであり、特に浮上型光学ヘッド6を詳細に説明
するものである。浮上型光学ユニット6はフレクシャー
ビーム8に取り付けられており、光ディスク2に対向し
て配置されている。また、フレクシャービーム8は他端
で回動アーム3に固着されており、フレクシャービーム
8の弾性力により先端部の浮上光学ユニット6を光ディ
スク2に接触させる方向に加圧している。
FIGS. 2 and 3 explain the tip of the rotary arm 3, and particularly the floating optical head 6 in detail. The floating optical unit 6 is attached to the flexure beam 8 and is arranged so as to face the optical disc 2. Further, the flexure beam 8 is fixed to the rotating arm 3 at the other end, and the elastic force of the flexure beam 8 presses the levitation optical unit 6 at the tip end in a direction of contacting the optical disc 2.

【0014】浮上型光学ユニット6は浮上スライダー
9、対物レンズ10、ソリッドイマージョンレンズ(S
IL)11、磁気コイル12から構成されており、光源
モジュール7から出射された平行なレーザー光束13を
光ディスク2上に収束させるはたらきをする。また、回
動アーム3の先端部には前記レーザー光束13を浮上型
光学ユニット6に導くために立ち上げミラー31が固着
されている。 立ち上げミラー31により対物レンズ1
0に入射したレーザー光束13は、対物レンズ10の屈
折作用により収束される。ソリッドイマージョンレンズ
(SIL)11は半球型のレンズで、その平らな面が光
りディスク2に対向して配置される。ソリッドイマージ
ョンレンズ(SIL)11は対物レンズ10の集光点が
ほぼ平面上に位置するよう配置されており、対物レンズ
10による収束光を更に微細なエバネッセント光15と
して光ディスク2に照射する。
The levitation type optical unit 6 comprises a levitation slider 9, an objective lens 10 and a solid immersion lens (S).
IL) 11 and a magnetic coil 12, and serves to converge the parallel laser light flux 13 emitted from the light source module 7 onto the optical disc 2. A rising mirror 31 is fixed to the tip of the rotating arm 3 for guiding the laser beam 13 to the floating optical unit 6. Objective lens 1 by the raising mirror 31
The laser light flux 13 incident on 0 is converged by the refraction of the objective lens 10. The solid immersion lens (SIL) 11 is a hemispherical lens, the flat surface of which is arranged so as to oppose the light disk 2. The solid immersion lens (SIL) 11 is arranged so that the focal point of the objective lens 10 is located on a substantially flat surface, and irradiates the optical disc 2 with the convergent light from the objective lens 10 as a finer evanescent light 15.

【0015】また、光ディスク2に面したソリッドイマ
ージョンレンズ(SIL)11の周囲には、光磁気記録
方式で記録するための磁気コイル12が形成されてお
り、記録時には必要な磁界を光ディスク2の記録面上に
印加出来るようになっている。このエバネッセント光1
5と磁気コイル12により、光ディスク2への高密度な
記録および再生が可能となる。なお、浮上型光学ユニッ
ト6は光ディスク2の回転による空気流により微小量
(約1μm)浮上するものであり、光ディスク2の面振
れ等に追従する。このため従来の光ディスク装置では必
要であった対物レンズの焦点制御(フォーカスサーボ)
が本光ディスク装置1では不要となっている。
A magnetic coil 12 for recording by the magneto-optical recording system is formed around the solid immersion lens (SIL) 11 facing the optical disc 2, and a magnetic field required for recording is recorded on the optical disc 2. It can be applied on the surface. This evanescent light 1
5 and the magnetic coil 12 enable high-density recording and reproduction on the optical disc 2. The levitation type optical unit 6 is a unit that levitates a minute amount (about 1 μm) by the air flow caused by the rotation of the optical disc 2, and follows the surface wobbling of the optical disc 2. For this reason, the focus control (focus servo) of the objective lens that was necessary in the conventional optical disk device
However, this is not required in the optical disk device 1.

【0016】以下、図4、図5を用いて回動アーム3上
に搭載された光源モジュール7および浮上型光学ユニッ
ト6へ導かれる光束に関し詳細に説明する。図4は、回
動アーム3の上面図、図5は、断面図である。回動アー
ム3は先端部に浮上型光学ユニット6を搭載し、他端に
はボイスコイルモーター4を駆動するための駆動コイル
16が固着されている。駆動コイル16は扁平状のコイ
ルであり、図示せぬ磁気回路内に空隙をおいて挿入配置
されている。回転軸5と回動アーム3はベアリング1
7、17により回動自在に締結されており、駆動コイル
に電流を印加すると磁気回路との電磁作用により回転軸
5を回転中心として回動アーム3を回動させることがで
きる。
The light beam guided to the light source module 7 mounted on the rotating arm 3 and the floating optical unit 6 will be described in detail below with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a top view of the rotating arm 3, and FIG. 5 is a sectional view. The rotary arm 3 has a floating optical unit 6 mounted at its tip, and a drive coil 16 for driving the voice coil motor 4 is fixed to the other end. The drive coil 16 is a flat coil, and is inserted and arranged in a magnetic circuit (not shown) with a gap. The rotating shaft 5 and the rotating arm 3 have a bearing 1
It is rotatably fastened by 7 and 17, and when a current is applied to the drive coil, the rotating arm 3 can be rotated about the rotating shaft 5 by the electromagnetic action with the magnetic circuit.

【0017】回動アーム3上に搭載された光源モジュー
ル7には半導体レーザー18、レーザー駆動回路19、
コリメートレンズ20、複合プリズムアッセイ21、レ
ーザーパワーモニターセンサー22、反射プリズム2
3、データ検出センサー24、およびトラッキング検出
センサー25が配置されている。半導体レーザー18か
ら射出された発散光束状態のレーザー光束は、コリメー
トレンズ20によって平行光束に変換される。この平行
光束の断面形状は半導体レーザー18の特性から長円状
であり、光ビームを光ディスク2上に微小に絞り込むに
は都合が悪いため略円形断面に変換する必要がある。こ
のためコリメートレンズ20から出射された断面長円状
の平行光束を、複合プリズムアッセイ21に入射させる
ことにより平行光束の断面形状を整形する。
The light source module 7 mounted on the rotating arm 3 includes a semiconductor laser 18, a laser drive circuit 19,
Collimating lens 20, compound prism assay 21, laser power monitor sensor 22, reflecting prism 2
3, a data detection sensor 24, and a tracking detection sensor 25 are arranged. The laser light flux in a divergent light flux state emitted from the semiconductor laser 18 is converted into a parallel light flux by the collimator lens 20. Due to the characteristics of the semiconductor laser 18, the cross-sectional shape of this parallel light flux is elliptical, and it is inconvenient to minutely narrow the light beam onto the optical disc 2, so it is necessary to convert it into a substantially circular cross section. Therefore, the cross-sectional shape of the parallel light flux is shaped by causing the parallel light flux having an elliptical cross-section emitted from the collimator lens 20 to enter the composite prism assay 21.

【0018】複合プリズムアッセイ21の入射面21a
は入射光軸に対して所定の斜面を形成しており、入射光
を屈折させることにより平行光束の断面形状を長円形状
から略円形形状に整形することが出来る。整形されたレ
ーザー光束は複合プリズムアッセイ21内を進み第1の
ハーフミラー面21bに入射する。第1のハーフミラー
面21bは光ディスク2から得られた情報を、データ検
出センサー24、およびトラッキング検出センサー25
に導くために設定されているが、往路においては半導体
レーザー18から出射されたレーザーの出力パワーを検
出するためのレーザーパワーモニターセンサー22への
光束を分離する役目を果たす。
Incident surface 21a of the composite prism assay 21
Has a predetermined slope with respect to the incident optical axis, and by refracting the incident light, the cross-sectional shape of the parallel light flux can be shaped from an elliptical shape to a substantially circular shape. The shaped laser beam advances through the complex prism assay 21 and is incident on the first half mirror surface 21b. The first half mirror surface 21b uses the information obtained from the optical disc 2 to detect data and the tracking detection sensor 25.
However, it serves to separate the light flux to the laser power monitor sensor 22 for detecting the output power of the laser emitted from the semiconductor laser 18 in the outward path.

【0019】レーザーパワーモニターセンサー22は受
光した光の強度に比例した電流を出力するため、図示せ
ぬレーザーパワーコントロール回路にこの出力を帰還さ
せることにより半導体レーザー18の出力を安定化させ
ることが出来る。
Since the laser power monitor sensor 22 outputs a current proportional to the intensity of the received light, the output of the semiconductor laser 18 can be stabilized by feeding back this output to a laser power control circuit (not shown). .

【0020】複合プリズムアッセイ21から出射された
略円形断面形状をもったレーザー光束13は偏向ミラー
26に照射され、レーザー光束13の進行方向が変えら
れる。
The laser light flux 13 having a substantially circular cross-sectional shape emitted from the composite prism assay 21 is applied to the deflection mirror 26, and the traveling direction of the laser light flux 13 is changed.

【0021】トラッキングは2つのステップ:回動アー
ム3を回動することにより行われる粗動トラッキング
と、偏向ミラー26を回動することにより行われる微動
トラッキングからなる。光ディスク2の内周/外周に渡
るアクセス動作は、ボイスコイルモーター4により回動
アーム3を回動させて行い(粗動トラッキング)、極微
小なトラッキング制御のみ偏向ミラー26を回動させて
行う(微動トラッキング)。
Tracking consists of two steps: coarse movement tracking performed by rotating the rotating arm 3 and fine movement tracking performed by rotating the deflection mirror 26. The access operation across the inner circumference / outer circumference of the optical disk 2 is performed by rotating the rotating arm 3 by the voice coil motor 4 (coarse tracking), and only the minute tracking control is rotated by rotating the deflection mirror 26 ( Fine tracking).

【0022】偏向ミラー26は図4の紙面に垂直な軸を
回動中心とするガルバノモーター27に取り付けられて
おり、レーザー光束13を図4の紙面に平行な方向に微
小角度振ることが出来るようになっている。
The deflection mirror 26 is attached to a galvanomotor 27 whose center of rotation is an axis perpendicular to the paper surface of FIG. 4 so that the laser beam 13 can be swung by a minute angle in a direction parallel to the paper surface of FIG. It has become.

【0023】偏向ミラー26で反射されたレーザー光束
13は、第1のリレーレンズ29および第2のリレーレ
ンズ(イメージングレンズ)30を経て、立ち上げミラ
ー31で反射後浮上型光学ユニット6に至る。この第1
のリレーレンズ29および第2のリレーレンズ30は、
偏向ミラー26の反射面と浮上型光学ユニット6に配置
されている対物レンズ10の瞳面(主平面)との関係を
共役関係になるようにするもので、リレーレンズ光学系
を形成するものである。すなわち光ディスク2上の集光
ビームが所定のトラックから僅かにずれた場合、偏向ミ
ラー26を僅かに回転させることにより対物レンズ10
に入射するレーザー光束13を傾かせ、光ディスク2上
のスポットを移動させて補正するものである。
The laser beam 13 reflected by the deflecting mirror 26 passes through the first relay lens 29 and the second relay lens (imaging lens) 30, and is reflected by the rising mirror 31 to reach the levitation type optical unit 6. This first
The relay lens 29 and the second relay lens 30 of
The reflecting surface of the deflecting mirror 26 and the pupil plane (main plane) of the objective lens 10 arranged in the levitation type optical unit 6 are made to have a conjugate relationship, and form a relay lens optical system. is there. That is, when the condensed beam on the optical disc 2 is slightly deviated from the predetermined track, the objective lens 10 is rotated by slightly rotating the deflection mirror 26.
The laser beam 13 incident on is tilted to move the spot on the optical disc 2 for correction.

【0024】しかしながら、この方式でスポット位置の
補正(すなわち微動トラッキング)を行う時、偏向ミラ
ー26と対物レンズ10の光学的距離が長い場合には、
対物レンズ10へ入射するレーザー光束13の移動量が
大きくなり、対物レンズ10に入射出来なくなる場合が
ある。
However, when the spot position is corrected (that is, fine movement tracking) by this method, if the optical distance between the deflection mirror 26 and the objective lens 10 is long,
In some cases, the amount of movement of the laser light flux 13 incident on the objective lens 10 becomes large and the laser light flux 13 cannot be incident on the objective lens 10.

【0025】この様な不具合を回避するため、第1のリ
レーレンズ29および第2のリレーレンズ30によっ
て、偏向ミラー26の反射面近傍と対物レンズ10の瞳
面とが共役関係になるように設定し、偏向ミラー26が
回動しても対物レンズ10に入射するレーザー光束13
の位置は移動せず入射角度のみが変わるようにして、正
確なトラッキング制御が可能となるようにしている。
In order to avoid such a problem, the first relay lens 29 and the second relay lens 30 are set so that the vicinity of the reflecting surface of the deflecting mirror 26 and the pupil plane of the objective lens 10 have a conjugate relationship. However, even if the deflection mirror 26 rotates, the laser light flux 13 that enters the objective lens 10
The position of is not moved and only the incident angle is changed so that accurate tracking control is possible.

【0026】光ディスク2から反射されて戻ってきた復
路のレーザー光束13は、往路と逆に進み偏向ミラー2
6に反射されて複合プリズムアッセイ21に入射する。
その後第1のハーフミラー面21bで反射され、第2の
ハーフミラー面21cに向かう。第2のハーフミラー面
21cは、トラッキング検出センサー25へ向かう透過
光と、データ検出センサー24へ向かう反射光を生成
し、復路のレーザー光束を分離する。第2のハーフミラ
ー面21cを透過したレーザー光束はトラッキング検出
センサー25へ照射され、トラッキング誤差信号を出力
する。
The returning laser beam 13 reflected from the optical disk 2 travels in the reverse direction of the outward path and is deflected by the deflection mirror 2.
It is reflected by 6 and enters the composite prism assay 21.
After that, the light is reflected by the first half mirror surface 21b and heads for the second half mirror surface 21c. The second half mirror surface 21c generates a transmitted light toward the tracking detection sensor 25 and a reflected light toward the data detection sensor 24, and separates the return laser light flux. The laser light flux that has passed through the second half mirror surface 21c is applied to the tracking detection sensor 25 and outputs a tracking error signal.

【0027】一方、第2のハーフミラー面21cで反射
されたレーザー光束はウォラストンプリズム32により
偏光分離され、かつ集光レンズ33によって収束光に変
換後、反射プリズム23で反射されてデータ検出センサ
ー24に照射される。データ検出センサー24は2つの
受光領域をもっており、ウォラストンプリズム32によ
り偏光分離された2つの偏光ビームをそれぞれ受光する
ことにより、光ディスク2に記録されているデータ情報
を読み取りデータ信号を出力する。なお、正確には前記
トラッキング誤差信号およびデータ信号は図示せぬヘッ
ドアンプ回路によって生成され、制御回路または情報処
理回路に送られる。
On the other hand, the laser light flux reflected by the second half mirror surface 21c is polarized and separated by the Wollaston prism 32, converted into convergent light by the condenser lens 33, and then reflected by the reflection prism 23 to be detected by the data detecting sensor. 24 is irradiated. The data detection sensor 24 has two light receiving regions, and receives the two polarized beams that are polarized and separated by the Wollaston prism 32 to read the data information recorded on the optical disc 2 and output a data signal. To be precise, the tracking error signal and the data signal are generated by a head amplifier circuit (not shown) and sent to the control circuit or the information processing circuit.

【0028】以下、上記の光情報記録再生装置に適用可
能な、偏向ミラー26の回動量を検出するための光学系
の実施例について説明する。
An embodiment of an optical system for detecting the rotation amount of the deflection mirror 26, which is applicable to the above optical information recording / reproducing apparatus, will be described below.

【0029】図6は上記のディスクドライブ装置1に適
用可能な光学系1000の構成を示す光学配置図であ
り、光束が設計中心の光軸上にある場合の図である。前
述のように、光源モジュール7から発せられた平行光束
は、偏向ミラー26に照射されその進行方向が偏向され
る。偏向ミラー26は表面に反射コートが施されてお
り、回転軸O1を回転中心として所定範囲で回動が可能
な構造になっている。この回動動作はガルバノモーター
27によって行われており、偏向ミラー26はいわゆる
ガルバノミラーの構成をなす。偏向ミラー26で反射さ
れた平行光束1は、第1のリレーレンズ29に入射し収
束光となる。
FIG. 6 is an optical layout diagram showing the configuration of an optical system 1000 applicable to the above-mentioned disk drive device 1, and is a diagram when the light beam is on the optical axis of the design center. As described above, the parallel light flux emitted from the light source module 7 is applied to the deflection mirror 26 and its traveling direction is deflected. The deflecting mirror 26 has a surface coated with a reflection coat, and has a structure capable of rotating about a rotation axis O1 within a predetermined range. This turning operation is performed by the galvano motor 27, and the deflection mirror 26 has a so-called galvano mirror configuration. The parallel light flux 1 reflected by the deflecting mirror 26 enters the first relay lens 29 and becomes convergent light.

【0030】第1のリレーレンズ29と第2のリレーレ
ンズ30は、第1のリレーレンズ26の後側焦点と、第
2のリレーレンズ30の前側焦点とが一致するよう配置
されており、偏向ミラー26の回動中心(回転軸O1)
と対物レンズ10の主平面(入射瞳位置)との関係がい
わゆる共役関係になるようなリレーレンズ系に設定され
ている。このため偏向ミラー26が回転して反射された
平行光束が傾いても、対物レンズ10に入射する平行光
束は、その入射位置はシフトせず入射角度だけが変わ
り、対物レンズ10への入射光のケラレが防止できる構
成となっている。
The first relay lens 29 and the second relay lens 30 are arranged so that the rear focal point of the first relay lens 26 and the front focal point of the second relay lens 30 coincide with each other, and the deflection is performed. Center of rotation of mirror 26 (rotation axis O1)
The relay lens system is set so that the relationship between the main plane of the objective lens 10 (the position of the entrance pupil) is a so-called conjugate relationship. Therefore, even if the deflected mirror 26 rotates and the reflected parallel light beam is inclined, the incident position of the parallel light beam entering the objective lens 10 does not shift, and only the incident angle changes, and the incident light to the objective lens 10 changes. It has a structure that can prevent vignetting.

【0031】第2のリレーレンズ30を出て平行光束に
戻った光束は、立ち上げミラー31によって反射され対
物レンズ10に入射する。対物レンズ10の集光点近傍
には半球状のソリッドイマージョンレンズ(SIL)11
が配置されており、対物レンズ10によって収束された
光束をさらに微細なエバネッセント光として光ディスク
2に照射する働きをする。
The light flux that has exited the second relay lens 30 and has returned to the parallel light flux is reflected by the rising mirror 31 and enters the objective lens 10. A hemispherical solid immersion lens (SIL) 11 is provided near the focal point of the objective lens 10.
Is arranged, and functions to irradiate the optical disc 2 with the light flux converged by the objective lens 10 as finer evanescent light.

【0032】光学系1000は、偏光ミラー26の回動
量を検出するため、以下のような構成を有する。図6に
示すように、偏向ミラー26と光源モジュール7との間
の平行光束111中に回折格子50を配置し、平行光束
111を透過させる。回折格子50は矩形断面をもった
透過型光学素子であり、直線格子方向が前記偏光面の回
動軸O1と平行となるよう配置されており、入射した平
行光束111を、そのまま直進する0次光及び所定の分
離角を持って進む±1次光に分離する。0次光と±1次
光の光量比及び分離角は、格子の深さ、ピッチによって
その設定を変えることができる。なお、方向を示すた
め、図6にはX−Y−Z直交座標軸を示した。直線格子
方向はZ方向となっている。
The optical system 1000 has the following configuration in order to detect the rotation amount of the polarization mirror 26. As shown in FIG. 6, the diffraction grating 50 is arranged in the parallel light flux 111 between the deflection mirror 26 and the light source module 7, and the parallel light flux 111 is transmitted. The diffraction grating 50 is a transmissive optical element having a rectangular cross section, and is arranged so that the direction of the linear grating is parallel to the rotation axis O1 of the polarization plane, and the incident parallel light flux 111 goes straight as it is. The light and the ± first-order light traveling with a predetermined separation angle are separated. The light quantity ratio and separation angle of the 0th order light and the ± 1st order light can be changed depending on the depth and pitch of the grating. In addition, in order to show a direction, the XYZ orthogonal coordinate axis was shown in FIG. The linear lattice direction is the Z direction.

【0033】回折格子50の配置方向は図7に示す方向
であり、偏向ミラー26によって平行光束が偏向される
面内に、±1次光を分離させる。なお、方向を示すた
め、図7にもX−Y−Z直交座標軸を示した。偏向ミラ
ー26によって反射された±1次光111a、111b
は、各々その一部が光検出器40の受光部40a、40
bに照射され、残りの一部は光検出器40の窓部40H
を透過する。
The arrangement direction of the diffraction grating 50 is the direction shown in FIG. 7, and the ± first-order light is separated in the plane in which the parallel light flux is deflected by the deflection mirror 26. In addition, in order to show a direction, the XYZ orthogonal coordinate axis was also shown in FIG. The ± first-order lights 111a and 111b reflected by the deflection mirror 26
Are light receiving parts 40a, 40 of the photodetector 40.
b, and the remaining part is the window 40H of the photodetector 40.
Through.

【0034】光検出器40はプレート部材により構成さ
れ、図8に示すように、±1次光111a、111bを
受光し受光光量を検出する受光素子40a、40bが形
成されている。偏向ミラー26が回動して、受光素子4
0a、40bに対する±1次光111a、111bの位
置が移動した場合、受光素子40a、40bに照射され
る光量に差が出る。このため、受光素子40a、40b
の差動出力により偏向された平行光束111の位置を検
出する事ができる。すなわち、偏光ミラー26の回転量
を検出することができる。光検出器40の窓部40Hを
透過した±1次光の一部は第1のリレーレンズ29に入
射し、第1のリレーレンズ29の焦点近傍に収束する。
The photodetector 40 is composed of a plate member, and as shown in FIG. 8, light receiving elements 40a and 40b for receiving the ± first-order lights 111a and 111b and detecting the amount of received light are formed. The deflection mirror 26 is rotated to move the light receiving element 4
When the positions of the ± first-order lights 111a and 111b with respect to 0a and 40b are moved, there is a difference in the amount of light emitted to the light receiving elements 40a and 40b. Therefore, the light receiving elements 40a, 40b
It is possible to detect the position of the parallel light flux 111 deflected by the differential output of. That is, the rotation amount of the polarization mirror 26 can be detected. A part of the ± first-order light that has passed through the window 40H of the photodetector 40 is incident on the first relay lens 29 and converges in the vicinity of the focus of the first relay lens 29.

【0035】この第1のリレーレンズ29を透過した±
1次光111c、111dは、第1のリレーレンズ29
に斜入射するためその収束位置は図6においては上下方
向(X方向)にずれる。±1次光111c、111dは
光ディスク2への記録再生には不要な光であり、対物レ
ンズ10へ入射させると不具合が生じるため、第1のリ
レーレンズ29と第2のリレーレンズ30の略中央の位
置に、図9に示すようなアパーチャー45Hを有する空
間フィルター45を設け、±1次光111c、111d
を遮光するようにしている。これにより必要な光束(0
次光)のみがアパーチャー45Hを透過して対物レンズ
10へ向かい、不要な光束はカットされる。
± transmitted through the first relay lens 29
The primary lights 111c and 111d are transmitted through the first relay lens 29.
Since it is obliquely incident on, the convergence position is shifted in the vertical direction (X direction) in FIG. The ± first-order lights 111c and 111d are lights that are unnecessary for recording / reproducing on / from the optical disc 2, and if they are incident on the objective lens 10, a problem occurs. Therefore, approximately the centers of the first relay lens 29 and the second relay lens 30 are included. A spatial filter 45 having an aperture 45H as shown in FIG.
It is designed to block light. As a result, the required luminous flux (0
Only the next light passes through the aperture 45H and travels toward the objective lens 10, and unnecessary light beams are cut.

【0036】図10、図11、図12は偏向ミラー26
がθだけ回動した場合の光束の位置変化を示す図であ
る。偏向ミラー26の回転角θに対して平行光束111
の反射角は2θとなり、光束は第1のリレーレンズ29
へ斜入射される。このため第1のリレーレンズ29と第
2のリレーレンズ30によって形成されたリレーレンズ
系による光束の収束点は、図10の紙面に平行な方向
(X−Y平面に平行な方向)で移動することになる。
The deflection mirror 26 is shown in FIGS.
FIG. 6 is a diagram showing a positional change of a light beam when is rotated by θ. The parallel light beam 111 with respect to the rotation angle θ of the deflection mirror 26
Has a reflection angle of 2θ, and the luminous flux is the first relay lens 29.
Is obliquely incident on. Therefore, the convergence point of the light flux by the relay lens system formed by the first relay lens 29 and the second relay lens 30 moves in the direction parallel to the paper surface of FIG. 10 (direction parallel to the XY plane). It will be.

【0037】この時、偏向ミラー26で反射された±1
次光111a、111bは偏向ミラー26の回転によっ
て移動し、光検出器40に照射される位置が変化する。
光検出器40の受光素子40a、40bを、偏向ミラー
26が図6に示す基準位置に位置している時に±1次光
111a、111bが受光素子40a、40bに等光量
当たるように設定しておけば、±1次光111a、11
1bの移動により受光素子40a、40bの出力に差が
出るため、図6に示した基準光軸に対する光束の進行方
向(偏向方向)の変化を知ることができ、それに基づい
て偏向ミラー26の回転角を検出することが可能とな
る。この場合にも、光検出器40の窓部40Hを透過し
た±1次光111c、111dは図12に示すように空
間フィルター45によって除去され、対物レンズ10へ
は、0次光のみが入射するようになっている。
At this time, ± 1 reflected by the deflection mirror 26
The secondary lights 111a and 111b move by the rotation of the deflection mirror 26, and the position irradiated on the photodetector 40 changes.
The light receiving elements 40a and 40b of the photodetector 40 are set so that the ± first-order lights 111a and 111b strike the light receiving elements 40a and 40b in equal amounts when the deflection mirror 26 is located at the reference position shown in FIG. If it says, ± 1st order light 111a, 11
Since the output of the light receiving elements 40a and 40b is different due to the movement of 1b, it is possible to know the change of the traveling direction (deflection direction) of the light beam with respect to the reference optical axis shown in FIG. It becomes possible to detect a corner. Also in this case, the ± first-order lights 111c and 111d transmitted through the window 40H of the photodetector 40 are removed by the spatial filter 45 as shown in FIG. 12, and only the 0th-order light enters the objective lens 10. It is like this.

【0038】図13は、トラッキング制御系のブロック
図である。回動アーム3および偏向ミラー26の微動ト
ラッキングの制御は、トラッキング制御系により制御さ
れる。受光部40aおよび40bの出力信号は、差動ア
ンプ160に入力される。差動アンプ160の出力信号
はCPU150に入力される。CPU150は、差動ア
ンプ160からの信号に基づいて、現在の偏向ミラー2
6の回動位置を検出する。
FIG. 13 is a block diagram of the tracking control system. The tracking control system controls the fine movement tracking of the rotating arm 3 and the deflection mirror 26. The output signals of the light receiving units 40a and 40b are input to the differential amplifier 160. The output signal of the differential amplifier 160 is input to the CPU 150. The CPU 150 uses the signal from the differential amplifier 160 to determine the current deflection mirror 2
The rotation position of 6 is detected.

【0039】微動トラッキングを行う際、CPU150
は現在の偏向ミラー26の回動位置からさらにどのくら
い偏向ミラー26を回動させるかを、トラッキング検出
センサの出力に基づいて計算し、微動トラッキングを行
った後の偏向ミラー26の回動位置を求める。もしも、
微動トラッキング後の偏向ミラー26の回動位置が、所
定の回動範囲内の位置であれば、CPU150は、ドラ
イバ127を制御してガルバノモーター27を駆動し、
偏向ミラー26を回動させて微動トラッキングを実行す
る。
When performing fine movement tracking, the CPU 150
Calculates how much the deflecting mirror 26 is further rotated from the present rotating position of the deflecting mirror 26 based on the output of the tracking detection sensor, and obtains the rotating position of the deflecting mirror 26 after performing the fine movement tracking. . If,
If the turning position of the deflection mirror 26 after the fine movement tracking is within a predetermined turning range, the CPU 150 controls the driver 127 to drive the galvano motor 27,
The deflection mirror 26 is rotated to perform fine movement tracking.

【0040】もしも、微動トラッキング後の偏向ミラー
26の回動位置が所定の回動範囲内の位置を超える場合
には、CPU150は、偏向ミラー26による微動トラ
ッキングを行わず、計算された偏向ミラー26の回動位
置を、回動アーム3の移動位置に変換する。そして、C
PU150は、ドライバ116を制御して駆動コイル1
6を駆動し、回動アーム3を回動することにより、偏向
ミラー26ではなく回動アーム3によりトラッキングを
行う。この制御により、偏向ミラー26が、所定の範囲
を超えて回動するのを防ぐことができ、光学性能の劣化
を抑えることができる。必要があれば、この後さらに偏
向ミラー26による微動トラッキングを行うことも可能
である。
If the turning position of the deflection mirror 26 after the fine movement tracking exceeds the position within the predetermined turning range, the CPU 150 does not perform the fine movement tracking by the deflection mirror 26, and the calculated deflection mirror 26. The rotation position of is converted into the movement position of the rotation arm 3. And C
The PU 150 controls the driver 116 to drive the drive coil 1
By driving 6 to rotate the rotating arm 3, tracking is performed not by the deflection mirror 26 but by the rotating arm 3. By this control, the deflection mirror 26 can be prevented from rotating beyond a predetermined range, and deterioration of optical performance can be suppressed. If necessary, it is possible to further perform fine movement tracking by the deflecting mirror 26 after this.

【0041】以上の構成により、光磁気ディスクのトラ
ックと交差する方向に移動する粗動用アームの先端部に
設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射角をガルバ
ノミラー等の偏向手段により微調整して、微動トラッキ
ングを正確に行う光情報記録再生装置において、偏向ミ
ラーの回動量を正確に検出することが可能となり、従っ
て、装置の光学性能を落とすことなく、正確にトラッキ
ングを行うことができる。
With the above structure, the incident angle of the laser beam with respect to the objective optical system provided at the tip of the coarse movement arm that moves in the direction intersecting the track of the magneto-optical disk is finely adjusted by the deflecting means such as a galvano mirror. In an optical information recording / reproducing apparatus that accurately performs fine movement tracking, it is possible to accurately detect the amount of rotation of the deflection mirror, and therefore it is possible to perform accurate tracking without deteriorating the optical performance of the apparatus.

【0042】図14は上記のディスクドライブ装置1に
適用可能な、偏光ミラー26の回動量を検出可能な光学
系2000の構成を示す光学配置図であり、光束が設計
中心の光軸上にある場合の図である。また、図15は、
光学系2000を図14に示すX−Y−Z直交座標系の
X軸方向からみた場合の側断面図である。光源部モジュ
ール7から発せられた平行光束は、偏向ミラー26で反
射され、第1のリレーレンズ29に入射し収束光とな
る。
FIG. 14 is an optical layout diagram showing the structure of an optical system 2000 which can be applied to the above-mentioned disk drive device 1 and which can detect the rotation amount of the polarization mirror 26. The light beam is on the optical axis of the design center. It is a figure of a case. In addition, FIG.
FIG. 15 is a side sectional view when the optical system 2000 is viewed from the X-axis direction of the XYZ orthogonal coordinate system shown in FIG. 14. The parallel light flux emitted from the light source module 7 is reflected by the deflection mirror 26, enters the first relay lens 29, and becomes convergent light.

【0043】第1のリレーレンズ29と第2のリレーレ
ンズ30は、第1のリレーレンズ26の後側焦点と、第
2のリレーレンズ30の前側焦点とが一致するよう配置
されており、偏向ミラー26の回動中心(回転軸O1)
と対物レンズ10の主平面(入射瞳位置)との関係がほ
ぼ共役関係になるようなリレーレンズ系に設定されてい
る。このため偏向ミラー26が図14に示す基準位置か
ら回転して、偏向ミラー26により反射された平行光束
が光軸に対して傾いても、対物レンズ10に入射する平
行光束は、その入射位置はシフトせず入射角度だけが変
わり、対物レンズ10への入射光のケラレが防止できる
構成となっている。
The first relay lens 29 and the second relay lens 30 are arranged so that the rear focal point of the first relay lens 26 and the front focal point of the second relay lens 30 coincide with each other, and the deflection is performed. Center of rotation of mirror 26 (rotation axis O1)
The relay lens system is set so that the relationship between the main plane of the objective lens 10 (the position of the entrance pupil) is substantially conjugate. Therefore, even if the deflecting mirror 26 rotates from the reference position shown in FIG. 14 and the parallel light flux reflected by the deflecting mirror 26 tilts with respect to the optical axis, the incident position of the parallel light flux entering the objective lens 10 is Only the incident angle is changed without shifting, and the vignetting of the incident light on the objective lens 10 can be prevented.

【0044】図15に示すように、第2のリレーレンズ
30を出て平行光束に戻った光束は、立ち上げミラー3
1によって反射され対物レンズ10に入射する。対物レ
ンズ10の集光点近傍には半球状のソリッドイマージョ
ンレンズ(SIL)11が配置されており、対物レンズ1
0によって収束された光束をさらに微細なエバネッセン
ト光として光ディスク2に照射する。
As shown in FIG. 15, the light flux that has exited the second relay lens 30 and has returned to the parallel light flux is directed to the rising mirror 3.
It is reflected by 1 and enters the objective lens 10. A hemispherical solid immersion lens (SIL) 11 is arranged in the vicinity of the converging point of the objective lens 10, and the objective lens 1
The optical flux converged by 0 is applied to the optical disc 2 as finer evanescent light.

【0045】上記構成の光学系2000においては、偏
向ミラー26と光源モジュール7との間の平行光束中に
回折格子150が配置される。回折格子150は矩形断
面をもった透過型光学素子であり、直線格子方向が前記
偏光面の回動軸と直交するよう(Y軸方向に延びるよ
う)配置されている。回折格子150に入射した平行光
束は、そのまま直進する0次光、及び所定の分離角をも
った±1次光に分離される。0次光と±1次光の光量比
及び分離角は、格子の深さ、ピッチによってその設定を
変えることができる。
In the optical system 2000 having the above structure, the diffraction grating 150 is arranged in the parallel light beam between the deflection mirror 26 and the light source module 7. The diffraction grating 150 is a transmissive optical element having a rectangular cross section, and is arranged so that the linear grating direction is orthogonal to the rotation axis of the polarization plane (extends in the Y-axis direction). The parallel light flux incident on the diffraction grating 150 is split into a 0th-order light that travels straight as it is and a ± 1st-order light having a predetermined separation angle. The light quantity ratio and separation angle of the 0th order light and the ± 1st order light can be changed depending on the depth and pitch of the grating.

【0046】回折格子150により、偏向ミラー26に
よって平行光束が偏向される面(X−Y平面)と直交す
る方向に、±1次光が分離させる。すなわち、回折格子
150の直線格子方向は図中Y方向であり、±1次回折
光111a、111bは図中Z方向に分離される。偏向
ミラー26によって反射された±1次光111a、11
1bは、各々その一部が光検出器140の受光素子14
0aおよび140b、受光素子140cおよび140d
に照射され、残りの一部は0次光と共に光検出器140
の窓部140Hを透過する。
The diffraction grating 150 separates the ± first-order light in the direction orthogonal to the plane (XY plane) on which the parallel light beam is deflected by the deflection mirror 26. That is, the linear grating direction of the diffraction grating 150 is the Y direction in the figure, and the ± first-order diffracted lights 111a and 111b are separated in the Z direction in the figure. The ± first-order lights 111a and 11 reflected by the deflection mirror 26
1b is a part of the light receiving element 14 of the photodetector 140.
0a and 140b, light receiving elements 140c and 140d
To the photodetector 140, and the remaining part is irradiated with the 0th-order light.
Through the window 140H.

【0047】光検出器140はプレート部材により構成
され、図16に示すように、±1次光111a、111
bを受光し受光光量に対応した信号を出力する受光素子
140aおよび140bと受光素子140cおよび14
0dとが開口部140Hを挟んで形成されている。偏向
ミラー26が回動すると、受光素子140a〜140d
に入射する±1次光111a、111bの位置がX方向
に移動し、受光素子140aおよび140cに照射され
る光量の和と、受光素子140bおよび140dに照射
される光量の和との間に差が出るため、その差動出力に
より平行光束111の位置を検出する事ができる。受光
素子からの電気信号を受光素子の番号で代表するなら
(140a+140c)−(140b+140d)によ
り、平行光束111の光検出器140に対する位置を検
出することができることになる。すなわち、偏光ミラー
26の回転量を検出することができる。光検出器140
の窓部140Hを透過した±1次光の一部は第1のリレ
ーレンズ29に入射し、第1のリレーレンズ29の焦点
近傍で収束する。
The photodetector 140 is composed of a plate member, and as shown in FIG.
Light receiving elements 140a and 140b and light receiving elements 140c and 14 that receive b and output a signal corresponding to the amount of received light.
0d are formed so as to sandwich the opening 140H. When the deflection mirror 26 rotates, the light receiving elements 140a to 140d
The positions of the ± first-order lights 111a and 111b incident on the X-direction are moved in the X direction, and the difference between the sum of the amounts of light emitted to the light receiving elements 140a and 140c and the sum of the amounts of light emitted to the light receiving elements 140b and 140d is Therefore, the position of the parallel light flux 111 can be detected by the differential output. If the electric signal from the light receiving element is represented by the number of the light receiving element, the position of the parallel light flux 111 with respect to the photodetector 140 can be detected by (140a + 140c)-(140b + 140d). That is, the rotation amount of the polarization mirror 26 can be detected. Photo detector 140
Part of the ± first-order light that has passed through the window 140H enters the first relay lens 29 and converges in the vicinity of the focal point of the first relay lens 29.

【0048】この第1のリレーレンズ29を透過した±
1次光111c、111dは、第1のリレーレンズ29
に斜入射するため、その収束位置は図15における上下
方向(X方向)にずれる。±1次光111c、111d
は光ディスク2への記録再生には不要な光であり、対物
レンズ10へ入射させると不具合が生じるため、第1の
リレーレンズ29と第2のリレーレンズ30の略中央
に、図17に示すようなアパーチャー145Hを有する
空間フィルター145を設け、±1次光111c、11
1dを遮光するようにしている。これにより必要な光束
(0次光)のみがアパーチャー145Hを透過して対物
レンズ10へ向かい、不要な光束はカットされる。
± transmitted through the first relay lens 29
The primary lights 111c and 111d are transmitted through the first relay lens 29.
Since it is obliquely incident on, the convergence position is shifted in the vertical direction (X direction) in FIG. ± 1st order light 111c, 111d
Is unnecessary light for recording / reproducing on / from the optical disc 2, and a problem occurs when it is made incident on the objective lens 10. Therefore, as shown in FIG. 17, approximately in the center of the first relay lens 29 and the second relay lens 30. With a spatial filter 145 having a large aperture 145H,
1d is shielded from light. As a result, only the necessary light flux (0th order light) passes through the aperture 145H and travels toward the objective lens 10, and the unnecessary light flux is cut.

【0049】図18、図19、図20は偏向ミラー26
がθだけ回動した場合の光束の位置変化を示す図で、そ
れぞれ図14、図16および図17に対応している。偏
向ミラー26の回転角θに対して平行光束111の反射
角は2θとなり、光束は第1のリレーレンズ29に斜入
射する。このため第1のリレーレンズ29と第2のリレ
ーレンズ30によって形成されたリレーレンズ系による
光束の収束点は、図18の紙面に平行な方向(X方向)
で移動することになる。
Deflection mirror 26 is shown in FIGS.
Is a diagram showing a position change of the light flux when is rotated by θ, and corresponds to FIGS. 14, 16 and 17, respectively. The reflection angle of the parallel light beam 111 is 2θ with respect to the rotation angle θ of the deflection mirror 26, and the light beam obliquely enters the first relay lens 29. Therefore, the convergence point of the light flux by the relay lens system formed by the first relay lens 29 and the second relay lens 30 is in the direction parallel to the paper surface of FIG. 18 (X direction).
Will be moved in.

【0050】この時、偏向ミラー26で反射された±1
次光111a、111bは偏向ミラー26の回転によっ
て移動し、光検出器140に照射される位置が変化す
る。偏光ミラー26が図14に示すように基準位置に位
置している場合において±1次光111a、111bが
受光素子140a、140cに照射する量の和と、受光
素子140b、140dに照射する量の和とが等光量と
なるように設定すれば、±1次光111a、111bの
移動により受光素子140aと140cの信号出力の和
と、受光素子140bと140dの信号出力の和とに差
が出るため、図14に示した、基準光軸からの光束の変
化を知ることができ、それに比例した偏向ミラー26の
回転角を検出することが可能となる。この場合にも、光
検出器140の窓部140Hを透過した±1次光111
c、111dは図120に示すように空間フィルター4
5によって除去され、対物レンズ10へは、0次光のみ
が入射する。
At this time, ± 1 reflected by the deflection mirror 26
The secondary lights 111a and 111b move due to the rotation of the deflection mirror 26, and the position irradiated on the photodetector 140 changes. When the polarization mirror 26 is located at the reference position as shown in FIG. 14, the sum of the amounts of the ± first-order lights 111a and 111b applied to the light receiving elements 140a and 140c and the amount of the light applied to the light receiving elements 140b and 140d. If the sum is set to have the same light quantity, the sum of the signal outputs of the light receiving elements 140a and 140c and the sum of the signal output of the light receiving elements 140b and 140d are different due to the movement of the ± first-order lights 111a and 111b. Therefore, it is possible to know the change of the light flux from the reference optical axis shown in FIG. 14, and it is possible to detect the rotation angle of the deflecting mirror 26 proportional thereto. Also in this case, the ± first-order light 111 transmitted through the window 140H of the photodetector 140
c and 111d are spatial filters 4 as shown in FIG.
Only the 0th-order light is incident on the objective lens 10 after being removed by 5.

【0051】図21は、上記光学系2000と共に用い
られるトラッキング制御系のブロック図である。回動ア
ーム3および偏向ミラー26の微動トラッキングの制御
は、トラッキング制御系により制御される。受光素子1
40aおよび140bの出力信号は加算器170Aによ
り加算され、受光素子140cおよび140dの出力信
号は加算器170Bにより加算される。加算器170A
および170Bの出力信号は、差動アンプ160に入力
され、差動アンプ160の出力信号はCPU150に入
力される。CPU150は、差動アンプ160からの信
号に基づいて、現在の偏向ミラー26の回動位置を検出
する。
FIG. 21 is a block diagram of a tracking control system used together with the optical system 2000. The tracking control system controls the fine movement tracking of the rotating arm 3 and the deflection mirror 26. Light receiving element 1
The output signals of 40a and 140b are added by adder 170A, and the output signals of light receiving elements 140c and 140d are added by adder 170B. 170A adder
The output signals of 170 and 170B are input to the differential amplifier 160, and the output signal of the differential amplifier 160 is input to the CPU 150. The CPU 150 detects the current rotation position of the deflection mirror 26 based on the signal from the differential amplifier 160.

【0052】微動トラッキングを行う際、CPU150
は現在の偏向ミラー26の回動位置からさらにどのくら
い偏向ミラー26を回動させるかを、トラッキング検出
センサの出力に基づいて計算し、微動トラッキングを行
った後の偏向ミラー26の回動位置を求める。もしも、
微動トラッキング後の偏向ミラー26の回動位置が、所
定の回動範囲内の位置であれば、CPU150は、ドラ
イバ127を制御してガルバノミラー27を駆動し、偏
向ミラー26を回動させて微動トラッキングを実行す
る。
When performing fine tracking, the CPU 150
Calculates how much the deflecting mirror 26 is further rotated from the present rotating position of the deflecting mirror 26 based on the output of the tracking detection sensor, and obtains the rotating position of the deflecting mirror 26 after performing the fine movement tracking. . If,
If the turning position of the deflecting mirror 26 after the fine movement tracking is within a predetermined turning range, the CPU 150 controls the driver 127 to drive the galvanometer mirror 27 and turn the deflecting mirror 26 to make a fine movement. Perform tracking.

【0053】もしも、微動トラッキング後の偏向ミラー
26の回動位置が所定の回動範囲内の位置を超える場合
には、CPU150は、偏向ミラー26による微動トラ
ッキングを行わず、計算された偏向ミラー26の回動位
置を、回動アーム3の移動位置に変換する。そして、C
PU150は、ドライバ116を制御して駆動コイル1
6を駆動し、回動アーム3を回動することにより、偏向
ミラー26ではなく回動アーム3によりトラッキングを
行う。この制御により、偏向ミラー26が、所定の範囲
を超えて回動するのを防ぐことができ、光学性能の劣化
を抑えることができる。必要があれば、この後さらに偏
向ミラー26による微動トラッキングを行うことも可能
である。
If the turning position of the deflection mirror 26 after the fine movement tracking exceeds the position within the predetermined turning range, the CPU 150 does not perform the fine movement tracking by the deflection mirror 26, and the calculated deflection mirror 26. The rotation position of is converted into the movement position of the rotation arm 3. And C
The PU 150 controls the driver 116 to drive the drive coil 1
By driving 6 to rotate the rotating arm 3, tracking is performed not by the deflection mirror 26 but by the rotating arm 3. By this control, the deflection mirror 26 can be prevented from rotating beyond a predetermined range, and deterioration of optical performance can be suppressed. If necessary, it is possible to further perform fine movement tracking by the deflecting mirror 26 after this.

【0054】以上の構成により、光磁気ディスクのトラ
ックと交差する方向に移動する粗動用アームの先端部に
設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射角をガルバ
ノミラー等の偏向手段により微調整して、微動トラッキ
ングを正確に行う光情報記録再生ヘッドにおいて、偏向
ミラーのミラー回動量を正確に検出することが可能とな
り、従って、光学性能を落とすことなく正確に微動トラ
ッキングを行うことができる。
With the above structure, the incident angle of the laser beam with respect to the objective optical system provided at the tip of the coarse movement arm that moves in the direction intersecting the track of the magneto-optical disk is finely adjusted by the deflecting means such as a galvanometer mirror. In the optical information recording / reproducing head that accurately performs fine movement tracking, it is possible to accurately detect the amount of mirror rotation of the deflection mirror, and thus it is possible to perform fine movement tracking accurately without degrading optical performance.

【0055】図22は上記のディスクドライブ装置1に
適用可能な、偏光ミラー26の回動量を検出する構成を
有する光学系3000の光学配置図であり、光束が設計
中心の光軸上にある場合の図である。光源部モジュール
7から発せられた平行光束は、偏向ミラー26で反射さ
れ、第1のリレーレンズ29に入射する。
FIG. 22 is an optical layout diagram of an optical system 3000 which is applicable to the above-mentioned disk drive device 1 and has a configuration for detecting the rotation amount of the polarization mirror 26. In the case where the light beam is on the optical axis of the design center. FIG. The parallel light flux emitted from the light source module 7 is reflected by the deflection mirror 26 and enters the first relay lens 29.

【0056】第1のリレーレンズ29と第2のリレーレ
ンズ30は、第1のリレーレンズ26の後側焦点と、第
2のリレーレンズ30の前側焦点とが一致するよう配置
されており、偏向ミラー26の回動中心(回転軸O1)
と対物レンズ10の主平面(入射瞳位置)との関係がい
わゆる共役関係になるようなリレーレンズ系に設定され
ている。このため偏向ミラー26が回転して反射された
平行光束が傾いても、対物レンズ10に入射する平行光
束は、その入射位置はシフトせず入射角度だけが変わ
り、対物レンズ10への入射光のケラレが防止できる構
成となっている。
The first relay lens 29 and the second relay lens 30 are arranged so that the rear focal point of the first relay lens 26 and the front focal point of the second relay lens 30 coincide with each other, and the deflection is performed. Center of rotation of mirror 26 (rotation axis O1)
The relay lens system is set so that the relationship between the main plane of the objective lens 10 (the position of the entrance pupil) is a so-called conjugate relationship. Therefore, even if the deflected mirror 26 rotates and the reflected parallel light beam is inclined, the incident position of the parallel light beam entering the objective lens 10 does not shift, and only the incident angle changes, and the incident light to the objective lens 10 changes. It has a structure that can prevent vignetting.

【0057】第2のリレーレンズ30を出て平行光束に
戻った光束は、立ち上げミラー31によって反射され対
物レンズ10に入射する。対物レンズ10の集光点近傍
には半球状のソリッドイマージョンレンズ(SIL)11
が配置されており、対物レンズ10によって収束された
光束をさらに微細なエバネッセント光として光ディスク
2に照射する。
The light flux that has exited the second relay lens 30 and has returned to the parallel light flux is reflected by the rising mirror 31 and enters the objective lens 10. A hemispherical solid immersion lens (SIL) 11 is provided near the focal point of the objective lens 10.
Are arranged and irradiate the optical disc 2 with the light flux converged by the objective lens 10 as finer evanescent light.

【0058】上記構成の光学系3000において偏光ミ
ラー26の回動量を検出するための構成は以下の通りで
ある。図22に示すように、偏向ミラー26と光源モジ
ュール7との間の平行光束中に回折格子50が配置され
る。回折格子50は矩形断面を有する透過型光学素子で
あり、直線格子方向が前記偏光面の回動軸O1と平行と
なるよう(Z方向に)配置されており、入射した平行光
束を、直進する0次光と所定の分離角を持った±1次光
とに分離する。0次光と±1次光の光量比及び分離角
は、格子の深さ、ピッチによってその設定を変えること
ができる。
The structure for detecting the rotation amount of the polarization mirror 26 in the optical system 3000 having the above structure is as follows. As shown in FIG. 22, the diffraction grating 50 is arranged in the parallel light flux between the deflection mirror 26 and the light source module 7. The diffraction grating 50 is a transmissive optical element having a rectangular cross section, and is arranged so that the linear grating direction is parallel to the rotation axis O1 of the polarization plane (in the Z direction), and the incident parallel light flux travels straight. The light is separated into 0th-order light and ± 1st-order light having a predetermined separation angle. The light quantity ratio and separation angle of the 0th order light and the ± 1st order light can be changed depending on the depth and pitch of the grating.

【0059】回折格子50の直線格子方向はZ方向であ
り、偏向ミラー26によって平行光束が偏向される面内
(X−Y平面と平行な面内)に、±1次光を分離させ
る。偏向ミラー26によって反射された±1次光111
a、111bは、各々その一部が開口制限板245の遮
光部に照射される。開口制限板245には、偏向ミラー
26が図22に示す基準位置にある時、図23に示すよ
うに±1次光111a、111bのそれぞれのほぼ半分
を透過させるような開口部245Hが形成されている。
開口制限板245に照射された±1次光はそれぞれその
一部が遮光され、±1次光111c、111dとして開
口部245Hを透過し、第1のリレーレンズ29に入射
する。この第1のリレーレンズ29を通過した±1次光
111c、111dは、第1のリレーレンズ29に斜入
射するため、その収束位置は図22における上下方向
(X方向)にずれる。
The linear grating direction of the diffraction grating 50 is the Z direction, and separates the ± first-order light in the plane in which the parallel light flux is deflected by the deflection mirror 26 (in the plane parallel to the XY plane). ± first-order light 111 reflected by the deflection mirror 26
Part of each of a and 111b is applied to the light shielding portion of the aperture limiting plate 245. In the aperture limiting plate 245, when the deflecting mirror 26 is at the reference position shown in FIG. 22, an aperture 245H is formed so as to transmit approximately half of each of the ± first-order lights 111a and 111b as shown in FIG. ing.
A part of each of the ± first-order lights emitted to the aperture limiting plate 245 is shielded, passes through the opening 245H as the ± first-order lights 111c and 111d, and enters the first relay lens 29. The ± first-order lights 111c and 111d that have passed through the first relay lens 29 are obliquely incident on the first relay lens 29, so that their converged positions are displaced in the vertical direction (X direction) in FIG.

【0060】第1のリレーレンズ29を透過した±1次
光111c、111dは、光検出器240に入射する。
光検出器240はプレート部材により構成され、図24
に示すように、中央にアパーチャー240Hが形成さ
れ、アパーチャー240Hを挟んで両側に、±1次光1
11c、111dをそれぞれ受光し受光光量に対応した
信号を出力する受光素子240a、240bが設けられ
ている。
The ± first-order lights 111c and 111d transmitted through the first relay lens 29 enter the photodetector 240.
The photodetector 240 is composed of a plate member, and
As shown in, an aperture 240H is formed in the center, and ± 1st order light 1 is formed on both sides of the aperture 240H.
Light receiving elements 240a and 240b are provided which respectively receive the light beams 11c and 111d and output signals corresponding to the received light amount.

【0061】偏光ミラー26が回動して±1次光111
a、111bがX方向に移動すると、開口部245Hを
通過する±1次光111c、111dに光量差が生ず
る。光量差のある±1次光111c、111dが受光素
子240a、240bに入射するため、受光素子240
a、240bの出力の差に基づいて、偏向された平行光
束の位置、従って、偏光ミラー26の回動位置を検出す
ることができる。
The polarization mirror 26 rotates to rotate the ± first-order lights 111.
When a and 111b move in the X direction, a light amount difference occurs between the ± first-order lights 111c and 111d passing through the opening 245H. Since the ± first-order lights 111c and 111d having the light amount difference are incident on the light receiving elements 240a and 240b, the light receiving element 240
It is possible to detect the position of the deflected parallel light beam, and thus the rotational position of the polarization mirror 26, based on the difference between the outputs of a and 240b.

【0062】図25、図26、図27は偏向ミラー26
がθだけ回動した場合の光束の位置変化を示す図であ
る。偏向ミラー26の回転角θに対して平行光束111
の反射角は2θとなり、光束は第1のリレーレンズ29
へ斜入射される。このため第1のリレーレンズ29と第
2のリレーレンズ30によって形成されたリレーレンズ
系による光束の収束点は、図25の紙面に平行な方向
(X−Y平面に平行な方向)において移動することにな
る。
25, 26, and 27 are deflection mirrors 26.
FIG. 6 is a diagram showing a positional change of a light beam when is rotated by θ. The parallel light beam 111 with respect to the rotation angle θ of the deflection mirror 26
Has a reflection angle of 2θ, and the luminous flux is the first relay lens 29.
Is obliquely incident on. Therefore, the convergence point of the light flux by the relay lens system formed by the first relay lens 29 and the second relay lens 30 moves in the direction parallel to the paper surface of FIG. 25 (direction parallel to the XY plane). It will be.

【0063】この時、偏向ミラー26で反射された±1
次光111a、111bも偏向ミラー26の回転によっ
て移動し、開口制限板245の開口部245Hを通過す
る±1次光111c、111dに光量差が生ずる。図2
2の基準位置において±1次光111c、111dが受
光素子240a、240bに等光量当たるように設定し
ておけば、±1次光111a、111bの移動による±
1次光111c、111dの光量差により受光素子24
0a、240bの信号出力に差がでるため、図22に示
した基準光軸からの光束の変化を知ることができ、従っ
て、それに基づいて偏向ミラー26の回転角を検出する
ことが可能となる。なお、光検出器240の窓部240
Hを透過した0次光のみが対物レンズ10に入射する。
At this time, ± 1 reflected by the deflection mirror 26
The secondary lights 111a and 111b also move by the rotation of the deflection mirror 26, and a light amount difference occurs between the ± first-order lights 111c and 111d passing through the opening 245H of the aperture limiting plate 245. Figure 2
If the ± first-order lights 111c and 111d are set so as to strike the light-receiving elements 240a and 240b at the reference positions of 2, the ± first-order lights 111a and 111b are moved by ±.
Due to the difference in the light amounts of the primary lights 111c and 111d, the light receiving element 24
Since there is a difference between the signal outputs of 0a and 240b, it is possible to know the change of the light flux from the reference optical axis shown in FIG. 22, and therefore it is possible to detect the rotation angle of the deflection mirror 26 based on it. . The window 240 of the photodetector 240
Only the 0th-order light that has passed through H enters the objective lens 10.

【0064】上記光学系3000に対しては、光学系1
000と共に用いられるものと同様のトラッキング制御
系を用いることができるため、ここでは説明を省略す
る。
For the above optical system 3000, the optical system 1
Since a tracking control system similar to that used with 000 can be used, description thereof will be omitted here.

【0065】以上の構成によっても、偏向ミラー26の
ミラー回動量を正確に検出することが可能となり、従っ
て、光学性能を落とすことなく正確に微動トラッキング
を行うことができる。
With the above arrangement, the mirror rotation amount of the deflecting mirror 26 can be accurately detected, so that the fine movement tracking can be accurately performed without deteriorating the optical performance.

【0066】図28は上記のディスクドライブ装置1に
適用可能な、偏光ミラー26の回動量を検出可能に構成
された光学系4000の光学配置図であり、光束が設計
中心の光軸上にある場合の図である。また、図29は図
28のX方向に沿って見た断面図である。光源部モジュ
ール7から発せられた平行光束は、偏向ミラー26で反
射され、第1のリレーレンズ29に入射する。
FIG. 28 is an optical layout diagram of an optical system 4000 applicable to the disk drive device 1 and configured to detect the rotation amount of the polarization mirror 26. The light beam is on the optical axis of the design center. It is a figure of a case. Further, FIG. 29 is a sectional view taken along the X direction in FIG. The parallel light flux emitted from the light source module 7 is reflected by the deflection mirror 26 and enters the first relay lens 29.

【0067】第1のリレーレンズ29と第2のリレーレ
ンズ30は、偏向ミラー26の回動中心(回転軸O1)
と対物レンズ10の主平面(入射瞳位置)との関係がい
わゆる共役関係になるようなリレーレンズ系に設定され
ている。このため偏向ミラー26が回転して反射された
平行光束が傾いても、対物レンズ10に入射する平行光
束は、その入射位置はシフトせずに入射角度だけが変わ
り、対物レンズ10への入射光のケラレが防止できる構
成となっている。
The first relay lens 29 and the second relay lens 30 are the center of rotation of the deflection mirror 26 (rotation axis O1).
The relay lens system is set so that the relationship between the main plane of the objective lens 10 (the position of the entrance pupil) is a so-called conjugate relationship. Therefore, even if the deflected mirror 26 rotates and the reflected parallel light beam is tilted, the incident position of the parallel light beam entering the objective lens 10 does not change, and only the incident angle changes. Vignetting can be prevented.

【0068】第2のリレーレンズ30を出て平行光束に
戻った光束は、立ち上げミラー31によって反射され、
対物レンズ10およびソリッドイマージョンレンズ(S
IL)11を介して、エバネッセント光として光ディス
ク2に照射される。
The light flux which has exited the second relay lens 30 and has returned to the parallel light flux is reflected by the rising mirror 31,
Objective lens 10 and solid immersion lens (S
The optical disc 2 is irradiated with evanescent light via the (IL) 11.

【0069】上記構成の光学系4000においては、偏
光ミラー26の回動量を検出するために以下のような構
成を有する。図28に示すように、偏向ミラー26と光
源モジュール7との間の平行光束中に回折格子150を
配置し、平行光束111を透過させる。回折格子150
は矩形断面をもった透過型光学素子であり、直線格子方
向が前記偏光面の回動軸O1と直交するよう配置されて
おり(Y方向)、入射した平行光束を、Z方向において
直進する0次光と、所定の分離角を持った±1次光とに
分離することができる。0次光と±1次光の光量比及び
分離角は、格子の深さ、ピッチによってその設定を変え
ることができる。
The optical system 4000 having the above structure has the following structure for detecting the amount of rotation of the polarization mirror 26. As shown in FIG. 28, the diffraction grating 150 is arranged in the parallel light flux between the deflection mirror 26 and the light source module 7, and the parallel light flux 111 is transmitted. Diffraction grating 150
Is a transmissive optical element having a rectangular cross section, and is arranged so that the linear grating direction is orthogonal to the rotation axis O1 of the polarization plane (Y direction), and the incident parallel light beam goes straight in the Z direction. The secondary light can be separated into ± first-order light having a predetermined separation angle. The light quantity ratio and separation angle of the 0th order light and the ± 1st order light can be changed depending on the depth and pitch of the grating.

【0070】回折格子50の配置方向はY軸方向であ
り、偏向ミラー26によって平行光束が偏向される面と
直交する方向(Z方向)に、±1次光が分離される。偏
向ミラー26によって反射された±1次光111a、1
11bは、開口制限板345に照射され、残りの一部は
±1次光111c、111dとして光検出器40へ照射
される。開口制限板345には偏向ミラー26の回動量
の検出に必要ない不要光をカットする遮光部と、0次光
および±1次光(少なくともその一部)を通過させるよ
うに開口部345Hが形成されている。開口部345H
を通過した±1次光111c、111dは第1のリレー
レンズ29に入射する。この第1のリレーレンズ29を
透過した±1次光111c、111dは、第1のリレー
レンズ29に斜入射するため、光束の収束位置は図29
において上下方向(Z方向)にずれる。この±1次光1
11c、111dを光検出器340により受光する。
The arrangement direction of the diffraction grating 50 is the Y-axis direction, and the ± first-order lights are separated in the direction (Z direction) orthogonal to the plane on which the parallel light flux is deflected by the deflection mirror 26. ± 1st order light 111a, 1a reflected by the deflection mirror 26
11b is applied to the aperture limiting plate 345, and the remaining part is applied to the photodetector 40 as ± first-order lights 111c and 111d. The aperture limiting plate 345 has a light-shielding portion that cuts unnecessary light that is not necessary for detecting the amount of rotation of the deflection mirror 26, and an opening 345H that allows the 0th-order light and the ± 1st-order light (at least a part thereof) to pass through. Has been done. Opening 345H
The ± first-order lights 111c and 111d that have passed through enter the first relay lens 29. The ± first-order lights 111c and 111d that have passed through the first relay lens 29 are obliquely incident on the first relay lens 29, so that the convergence position of the light flux is as shown in FIG.
In the vertical direction (Z direction). This ± 1st order light 1
11c and 111d are received by the photodetector 340.

【0071】図31に示すように、光検出器340には
中央にアパーチャー340H、アパーチャー340Hを
挟んで図31に於ける上下方向に2つの1次元の位置検
出素子(PSD)340a,340bが設けられてお
り、それぞれ±1次光111c、111dを受光するよ
うになっている。偏向ミラー26が回動して±1次光1
11a、111bが移動した場合、開口部345Hを通
過し、受光素子340a、340bに照射される±1次
光111c、111dの収束点もX方向に移動するた
め、1次元の位置検出素子340a、340bへの±1
次光111c、111dの入射位置が変化する。この入
射位置の変化により平行光束の位置、従って偏向ミラー
26の回動位置を検出することができる。
As shown in FIG. 31, the photodetector 340 is provided with an aperture 340H in the center and two one-dimensional position detecting elements (PSD) 340a and 340b in the vertical direction in FIG. 31 with the aperture 340H interposed therebetween. It is designed to receive the ± first-order lights 111c and 111d, respectively. The deflection mirror 26 rotates to rotate the ± 1st order light 1.
When 11a and 111b move, the convergence points of the ± first-order lights 111c and 111d that pass through the opening 345H and are irradiated onto the light receiving elements 340a and 340b also move in the X direction, so that the one-dimensional position detection element 340a ± 1 to 340b
The incident positions of the secondary lights 111c and 111d change. The position of the parallel light flux, that is, the turning position of the deflection mirror 26 can be detected by the change of the incident position.

【0072】図32、図33、図34は偏向ミラー26
がθだけ回動した場合の光束の位置の変化を示す図であ
る。偏向ミラー26の回転角θに対して平行光束の反射
角は2θとなり、第1のリレーレンズ29へ斜入射す
る。このため第1のリレーレンズ29と第2のリレーレ
ンズ30によって形成されたリレーレンズ系による光束
の収束点は、図32の紙面に平行な方向で移動すること
になる。この時、偏向ミラー26で反射された±1次光
111a、111bは偏向ミラー26の回転によって移
動し、開口制限板345の開口部345Hを通過し、±
1次光111c、111dとなって光検出器340に照
射される。図29の基準位置において設定した±1次光
111c、111dの1次元の位置検出素子340a,
340b上の位置を基準として、±1次光111a、1
11bの移動により±1次光111c、111dの入射
位置が変化するため、図6に示した基準光軸からの光束
の変化を知ることができ、それに対応した偏向ミラー2
6の回転角を検出することが可能となる。なお、光検出
器40に形成された開口340Hを透過して、0次光の
みが対物レンズ10に入射する。また、0次光以外の光
束が対物レンズ10に入射するおそれがなければ、開口
制限板345を省略することもできる。
The deflecting mirror 26 is shown in FIGS.
FIG. 6 is a diagram showing a change in position of a light beam when is rotated by θ. The reflection angle of the parallel light beam is 2θ with respect to the rotation angle θ of the deflection mirror 26, and the light beam obliquely enters the first relay lens 29. Therefore, the converging point of the light flux by the relay lens system formed by the first relay lens 29 and the second relay lens 30 moves in the direction parallel to the paper surface of FIG. At this time, the ± first-order lights 111a and 111b reflected by the deflection mirror 26 move by the rotation of the deflection mirror 26, pass through the opening 345H of the aperture limiting plate 345, and
The primary lights 111c and 111d are emitted to the photodetector 340. The one-dimensional position detection elements 340a for the ± first-order lights 111c and 111d set at the reference position in FIG.
With reference to the position on 340b, ± first-order lights 111a, 1
Since the incident positions of the ± first-order lights 111c and 111d are changed by the movement of 11b, it is possible to know the change of the light flux from the reference optical axis shown in FIG. 6, and the deflection mirror 2 corresponding thereto can be known.
The rotation angle of 6 can be detected. Only the 0th-order light is incident on the objective lens 10 through the opening 340H formed in the photodetector 40. Further, the aperture limiting plate 345 can be omitted if there is no risk that a light beam other than the zero-order light will enter the objective lens 10.

【0073】図35は、トラッキング制御系のブロック
図である。回動アーム3および偏向ミラー26の微動ト
ラッキングの制御は、トラッキング制御系により制御さ
れる。PSD340aおよび340bの出力信号は、C
PU150に入力される。CPU150は、PSD34
0aおよび340bからの信号に基づいて、現在の偏向
ミラー26の回動位置を検出する。なお、本実施形態に
おいては、PSDは1つでもよく、また、PDSが複数
有る場合には、例えば、各PDSにより検出される偏向
ミラーの回動位置の平均値を検出値とすることが考えら
れる。
FIG. 35 is a block diagram of the tracking control system. The tracking control system controls the fine movement tracking of the rotating arm 3 and the deflection mirror 26. The output signals of PSD 340a and 340b are C
It is input to the PU 150. CPU150 is PSD34
The current rotation position of the deflection mirror 26 is detected based on the signals from 0a and 340b. It should be noted that in the present embodiment, the number of PSDs may be one, and when there are a plurality of PDSs, for example, the average value of the turning positions of the deflection mirrors detected by each PDS may be used as the detection value. To be

【0074】微動トラッキングを行う際、CPU150
は現在の偏向ミラー26の回動位置からさらにどのくら
い偏向ミラー26を回動させるかを、トラッキング検出
センサの出力に基づいて計算し、微動トラッキングを行
った後の偏向ミラー26の回動位置を求める。もしも、
微動トラッキング後の偏向ミラー26の回動位置が、所
定の回動範囲内の位置であれば、CPU150は、ドラ
イバ127を制御してガルバノモータ27を駆動し、偏
向ミラー26を回動させて微動トラッキングを実行す
る。
When performing fine tracking, the CPU 150
Calculates how much the deflecting mirror 26 is further rotated from the present rotating position of the deflecting mirror 26 based on the output of the tracking detection sensor, and obtains the rotating position of the deflecting mirror 26 after performing the fine movement tracking. . If,
If the turning position of the deflecting mirror 26 after the fine movement tracking is within a predetermined turning range, the CPU 150 controls the driver 127 to drive the galvano motor 27 and turn the deflecting mirror 26 to make a fine movement. Perform tracking.

【0075】もしも、微動トラッキング後の偏向ミラー
26の回動位置が所定の回動範囲内の位置を超える場合
には、CPU150は、偏向ミラー26による微動トラ
ッキングを行わず、計算された偏向ミラー26の回動位
置を、回動アーム3の移動位置に変換する。そして、C
PU150は、ドライバ116を制御して駆動コイル1
6を駆動し、回動アーム3を回動することにより、偏向
ミラー26ではなく回動アーム3によりトラッキングを
行う。この制御により、偏向ミラー26が、所定の範囲
を超えて回動するのを防ぐことができ、光学性能の劣化
を抑えることができる。必要があれば、この後さらに偏
向ミラー26による微動トラッキングを行うことも可能
である。
If the turning position of the deflection mirror 26 after the fine movement tracking exceeds the position within the predetermined turning range, the CPU 150 does not perform the fine movement tracking by the deflection mirror 26, and the calculated deflection mirror 26. The rotation position of is converted into the movement position of the rotation arm 3. And C
The PU 150 controls the driver 116 to drive the drive coil 1
By driving 6 to rotate the rotating arm 3, tracking is performed not by the deflection mirror 26 but by the rotating arm 3. By this control, the deflection mirror 26 can be prevented from rotating beyond a predetermined range, and deterioration of optical performance can be suppressed. If necessary, it is possible to further perform fine movement tracking by the deflecting mirror 26 after this.

【0076】以上の構成により、光磁気ディスクのトラ
ックと交差する方向に移動する粗動用アームの先端部に
設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射角をガルバ
ノミラー等の偏向手段により微調整して、微動トラッキ
ングを正確に行う光情報記録装置において、偏向ミラー
のミラー回動量を正確に検出することが可能となり、従
って、光学性能を落とすことなく正確に微動トラッキン
グを実現することができる。
With the above structure, the incident angle of the laser beam with respect to the objective optical system provided at the tip of the coarse movement arm that moves in the direction intersecting the track of the magneto-optical disk is finely adjusted by the deflecting means such as a galvano mirror. In an optical information recording device that accurately performs fine movement tracking, it is possible to accurately detect the amount of mirror rotation of the deflection mirror, and therefore it is possible to accurately implement fine movement tracking without degrading optical performance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施形態の光磁気ディスク装置の基本構成を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a magneto-optical disk device according to an embodiment.

【図2】回動アームの先端部を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a tip portion of a rotating arm.

【図3】浮上型光学ユニットを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a floating type optical unit.

【図4】偏向ミラーと浮上型光学ユニットを示す平面図
である。
FIG. 4 is a plan view showing a deflection mirror and a floating optical unit.

【図5】回動アームの側断面図である。FIG. 5 is a side sectional view of a rotating arm.

【図6】偏光ミラー26の回動量を検出可能に構成され
た光学系の光学素子の配置図である。
FIG. 6 is an arrangement diagram of optical elements of an optical system configured to be able to detect the rotation amount of the polarization mirror.

【図7】回折格子の構造を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a structure of a diffraction grating.

【図8】光検出装置の構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a photodetector.

【図9】空間フィルタの構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a spatial filter.

【図10】偏光ミラーが回動された場合の光路を示す図
である。
FIG. 10 is a diagram showing an optical path when a polarization mirror is rotated.

【図11】偏光ミラーが回動された場合の、光検出装置
に入射する0次光、±1次光の光束の位置を示す図であ
る。
FIG. 11 is a diagram showing positions of light fluxes of 0th-order light and ± 1st-order light incident on the photodetector when the polarization mirror is rotated.

【図12】偏光ミラーが回動された場合の、空間フィル
タに入射する0次光、±1次光の位置を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing the positions of 0th-order light and ± 1st-order light that are incident on the spatial filter when the polarization mirror is rotated.

【図13】微動トラッキングを行うための制御系のブロ
ック図である。
FIG. 13 is a block diagram of a control system for performing fine movement tracking.

【図14】偏光ミラー26の回動量を検出可能に構成さ
れた光学系の光学素子の配置図である。
FIG. 14 is a layout diagram of optical elements of an optical system configured to be able to detect the rotation amount of the polarization mirror.

【図15】図14に示す光学系の側断面図である。FIG. 15 is a side sectional view of the optical system shown in FIG.

【図16】光検出装置の構成を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a configuration of a photodetector.

【図17】空間フィルタの構成を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a configuration of a spatial filter.

【図18】偏光ミラーが回動された場合の光路を示す図
である。
FIG. 18 is a diagram showing an optical path when a polarization mirror is rotated.

【図19】偏光ミラーが回動された場合の、光検出装置
に入射する0次光、±1次光の光束の位置を示す図であ
る。
FIG. 19 is a diagram showing the positions of light fluxes of 0th-order light and ± 1st-order light incident on the photodetector when the polarization mirror is rotated.

【図20】偏光ミラーが回動された場合の、空間フィル
タに入射する0次光、±1次光の位置を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing the positions of 0th-order light and ± 1st-order light incident on the spatial filter when the polarization mirror is rotated.

【図21】微動トラッキングを行うための制御系のブロ
ック図である。
FIG. 21 is a block diagram of a control system for performing fine movement tracking.

【図22】偏光ミラー26の回動量を検出可能に構成さ
れた光学系の光学素子の配置図である。
FIG. 22 is an arrangement diagram of optical elements of an optical system configured to be able to detect the rotation amount of the polarization mirror.

【図23】開口制限板の構造を示す図であるFIG. 23 is a diagram showing a structure of an aperture limiting plate.

【図24】光検出装置の構成を示す図である。FIG. 24 is a diagram showing a configuration of a photodetector.

【図25】偏光ミラーが回動された場合の光路を示す図
である。
FIG. 25 is a diagram showing an optical path when a polarizing mirror is rotated.

【図26】偏光ミラーが回動された場合の、開口制限板
に入射する0次光、±1次光の光束の位置を示す図であ
る。
FIG. 26 is a diagram showing positions of 0th-order light beams and ± 1st-order light beams incident on the aperture limiting plate when the polarization mirror is rotated.

【図27】偏光ミラーが回動された場合の、光検出器に
入射する0次光、±1次光の位置を示す図である。
FIG. 27 is a diagram showing positions of 0th-order light and ± 1st-order light incident on the photodetector when the polarization mirror is rotated.

【図28】偏光ミラー26の回動量を検出可能に構成さ
れた光学系の光学素子の配置図である。
FIG. 28 is a layout diagram of optical elements of an optical system configured to be able to detect the rotation amount of the polarization mirror.

【図29】偏光ミラーの回動量を検出するための検出装
置の構成を示す光学配置図である。
FIG. 29 is an optical layout diagram showing a configuration of a detection device for detecting the rotation amount of the polarization mirror.

【図30】開口制限板の構成を示す図である。FIG. 30 is a diagram showing a configuration of an aperture limiting plate.

【図31】光検出器の構成を示す図である。FIG. 31 is a diagram showing a configuration of a photodetector.

【図32】偏光ミラーが回動された場合の光路を示す図
である。
FIG. 32 is a diagram showing an optical path when a polarization mirror is rotated.

【図33】偏光ミラーが回動された場合の、開口制限板
に入射する0次光、±1次光の光束の位置を示す図であ
る。
FIG. 33 is a diagram showing the positions of the 0th-order light and ± 1st-order light beams incident on the aperture limiting plate when the polarization mirror is rotated.

【図34】偏光ミラーが回動された場合の、光検出器に
入射する0次光、±1次光の位置を示す図である。
FIG. 34 is a diagram showing the positions of 0th-order light and ± 1st-order light incident on the photodetector when the polarization mirror is rotated.

【図35】微動トラッキングを行うための制御系のブロ
ック図である。
FIG. 35 is a block diagram of a control system for performing fine movement tracking.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 光ディスク 3 回動アーム 6 浮上型光学ユニット 8 フレクシャービーム 26 偏向ミラー 29 第1のリレーレンズ 30 第2のリレーレンズ(イメージングレン
ズ) 40 光検出装置 45 空間フィルター 50 回折格子 140 光検出装置 145 空間フィルター 240 光検出装置 245 開口制限板 340 光検出装置
2 Optical Disc 3 Rotating Arm 6 Levitation Type Optical Unit 8 Flexure Beam 26 Deflection Mirror 29 First Relay Lens 30 Second Relay Lens (Imaging Lens) 40 Photodetector 45 Spatial Filter 50 Diffraction Grating 140 Photodetector 145 Space Filter 240 Photodetector 245 Aperture limiting plate 340 Photodetector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平9−322417 (32)優先日 平成9年11月8日(1997.11.8) (33)優先権主張国 日本(JP) (56)参考文献 特開 平4−315825(JP,A) 特開 平5−342609(JP,A) 特開 平7−153095(JP,A) 特開 平11−259873(JP,A) 特開 平7−14184(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/09 - 7/22 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 9-322417 (32) Priority date November 8, 1997 (November 8, 1997) (33) Priority claim country Japan (JP) (56) References JP-A-4-315825 (JP, A) JP-A-5-342609 (JP, A) JP-A-7-153095 (JP, A) JP-A-11-259873 (JP, A) Kaihei 7-14184 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 7/ 09-7/22

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 平行なレーザービームを射出するレーザ
ー光源と、 前記レーザー光源から射出されたレーザービームを光デ
ィスク上に収束させる対物レンズ系と、 前記レーザー光源と対物レンズ系との間に回動可能に設
けられた偏向ミラーであって、前記偏向ミラーが回動さ
れることにより前記対物レンズ系に入射するレーザービ
ームの入射角が変わり、前記光ディスク上に収束する前
記レーザービームの位置が変わるよう構成された偏向ミ
ラーと、該偏向ミラーと対物レンズ系との間に配置さ
れ、少なくとも第1および第2のリレーレンズ群を有す
るリレーレンズ系であって、前記偏向ミラーと前記対物
レンズ系の入射瞳とをほぼ共役にするリレーレンズ系
と、前記レーザー光源と前記偏向ミラーとの間に配置さ
れる回折格子であって、入射する光束を少なくとも0次
光および所定の回折角を有する±1次回折光に分離して
前記偏向ミラーに入射させる回折格子と、前記偏光ミラ
ーにより反射された±1次回折光を受光することにより
前記偏向ミラーの回動量を検出する回動量検出手段と、
を備える微動トラッキング装置と、 前記対物レンズ系が配設され、前記光ディスクの記録面
に対して平行な方向に回動自在な回動アームを備える粗
動トラッキング装置と、 前記光ディスクからの反射光を受光することによりトラ
ッキング誤差信号を生成するトラッキング検出手段と、 前記トラッキング検出手段によって生成されたトラッキ
ング誤差信号と、前記回動量検出手段によって検出され
た前記偏向ミラーの回動量とに基づき、微動トラッキン
グ後の前記偏向ミラーの回動位置を求め、該回動位置が
所定範囲内であれば前記微動トラッキング装置を駆動さ
せ、該回動位置が所定範囲を超える場合には前記粗動ト
ラッキング装置を駆動させるトラッキング制御手段と、
を有することを特徴とする光情報記録再生装置。
1. A laser light source that emits parallel laser beams, an objective lens system that converges the laser beam emitted from the laser light source onto an optical disc, and a rotatable lens between the laser light source and the objective lens system. A deflecting mirror provided on the optical disc, wherein the incident angle of the laser beam incident on the objective lens system is changed by rotating the deflecting mirror, and the position of the laser beam converged on the optical disc is changed. A deflecting mirror and a relay lens system disposed between the deflecting mirror and the objective lens system, the relay lens system having at least first and second relay lens groups, the entrance pupil of the deflecting mirror and the objective lens system. And a diffraction grating arranged between the laser light source and the deflecting mirror, the relay lens system making A diffraction grating that splits the luminous flux into at least 0-order light and ± 1st-order diffracted light having a predetermined diffraction angle and makes the incident light on the deflection mirror; and receives the ± 1st-order diffracted light reflected by the polarization mirror to deflect the light. Rotation amount detecting means for detecting the rotation amount of the mirror,
A fine movement tracking device provided with the objective lens system, and a coarse movement tracking device provided with a rotating arm that is rotatable in a direction parallel to the recording surface of the optical disc; Based on the tracking detection means that generates a tracking error signal by receiving light, the tracking error signal generated by the tracking detection means, and the rotation amount of the deflection mirror detected by the rotation amount detection means, after fine movement tracking The rotational position of the deflection mirror is obtained, and if the rotational position is within a predetermined range, the fine movement tracking device is driven, and if the rotational position exceeds the predetermined range, the coarse movement tracking device is driven. Tracking control means,
An optical information recording / reproducing apparatus having:
【請求項2】 前記偏光ミラーで反射された0次回折光
のみを前記対物レンズ系に向けて透過させ、前記±1次
回折光が前記対物レンズ系に入射するのを防ぐ遮光手段
を有することを特徴とする請求項1に記載の光情報記録
再生装置。
2. A light-shielding means for transmitting only the 0th-order diffracted light reflected by the polarization mirror toward the objective lens system and preventing the ± 1st-order diffracted light from entering the objective lens system. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 1.
【請求項3】 前記検出手段は、前記偏向ミラーにより
反射された前記±1次回折光の光量に基づいて前記偏向
ミラーの回動量を検出することを特徴とする請求項1ま
たは請求項2に記載の光情報記録再生装置。
3. The method according to claim 1, wherein the detecting means detects the rotation amount of the deflection mirror based on the light amount of the ± first-order diffracted light reflected by the deflection mirror. Optical information recording / reproducing device.
【請求項4】 前記検出手段は、前記偏向ミラーの回動
軸と直交する方向に並べられ、前記±1次回折光の少な
くとも一部をそれぞれ受光する少なくとも2つの受光領
域を有し、前記2つの受光領域により受光された前記±
1次回折光の光量差に基づいて前記偏向ミラーの回動位
置を検出することを特徴とする請求項1から請求項3の
いずれかに記載の光情報記録再生装置。
4. The detection means includes at least two light receiving regions arranged in a direction orthogonal to a rotation axis of the deflection mirror and receiving at least a part of the ± first-order diffracted lights, respectively. The ± received by the light receiving area
4. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the turning position of the deflecting mirror is detected based on the light amount difference of the first-order diffracted light.
【請求項5】 前記検出手段は、前記偏向ミラーにより
反射された前記±1次回折光の前記検出手段に対する入
射位置に基づいて前記偏向ミラーの回動量を検出するこ
とを特徴とする請求項1に記載の光情報記録再生装置。
5. The detection means detects the amount of rotation of the deflection mirror based on the incident position of the ± 1st-order diffracted light reflected by the deflection mirror on the detection means. The optical information recording / reproducing apparatus described.
【請求項6】 前記回折格子は、前記偏向ミラーの回動
軸と平行な方向に延びる直線状の複数の溝を有し、 前記検出手段は、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方
向に並べられて、前記±1次回折光の少なくとも一部を
それぞれ受光する2つの受光領域を有し、前記2つの受
光領域により受光された前記±1次回折光の光量差に基
づいて前記偏向ミラーの回動位置を検出することを特徴
とする請求項1に記載の光情報記録再生装置。
6. The diffraction grating has a plurality of linear grooves extending in a direction parallel to a rotation axis of the deflection mirror, and the detection means is arranged in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror. It has two light receiving regions arranged side by side to respectively receive at least a part of the ± first-order diffracted light, and based on the light amount difference of the ± first-order diffracted light received by the two light-receiving regions, the deflection mirror rotation is performed. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein a moving position is detected.
【請求項7】 前記検出手段は、前記偏向ミラーと前記
リレーレンズ系との間に設けられることを特徴とする請
求項6に記載の光情報記録再生装置。
7. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 6, wherein the detecting means is provided between the deflecting mirror and the relay lens system.
【請求項8】 前記検出手段は、前記2つの受光領域が
形成されたプレート部材を有し、前記プレート部材には
前記2つの受光領域の間に開口が形成されており、前記
±1次回折光の一部がそれぞれ前記2つの受光領域によ
り受光されると共に、前記±1次回折光の残りの部分と
前記0次光とが前記開口を透過することを特徴とする請
求項7に記載の光情報記録再生装置。
8. The detection means has a plate member having the two light receiving regions formed therein, and an opening is formed in the plate member between the two light receiving regions, and the ± first-order diffracted light is formed. 8. The optical information according to claim 7, wherein a part of the light is received by each of the two light receiving regions, and the remaining part of the ± first-order diffracted light and the zero-order light are transmitted through the opening. Recording / playback device.
【請求項9】 前記第1および第2のリレーレンズ群の
間に設けられ、前記プレート部材の開口を透過した前記
±1次回折光の残りの部分が前記対物レンズ系に入射す
るのを妨げると共に、前記0次光が前記対物レンズ系に
入射するよう構成された遮光部材をさらに備えることを
特徴とする請求項8に記載の光情報記録再生装置。
9. The first and second relay lens groups, which are provided between the first and second relay lens groups, prevent the remaining portion of the ± first-order diffracted light transmitted through the aperture of the plate member from entering the objective lens system. 9. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 8, further comprising a light blocking member configured such that the 0th-order light is incident on the objective lens system.
【請求項10】 前記検出手段は、前記第1および第2
のリレーレンズ群の間に設けられることを特徴とする請
求項6に記載の光情報記録再生装置。
10. The detection means includes the first and second detectors.
7. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 6, wherein the optical information recording / reproducing apparatus is provided between the relay lens groups.
【請求項11】 前記検出手段は、前記2つの受光領域
が形成されたプレート部材を有し、前記プレート部材に
は前記2つの受光領域の間に開口が形成されており、前
記±1次回折光の少なくとも一部がそれぞれ前記2つの
受光領域により受光されると共に、前記0次光のみが前
記開口を透過することを特徴とする請求項10に記載の
光情報記録再生装置。
11. The detecting means includes a plate member having the two light receiving regions formed therein, and an opening is formed in the plate member between the two light receiving regions, and the ± first-order diffracted light is formed. 11. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 10, wherein at least a part of the light is received by the two light receiving regions, respectively, and only the 0th order light is transmitted through the opening.
【請求項12】 前記偏向ミラーと前記リレーレンズ系
との間に設けられ、開口が形成された遮光部材を有し、
前記遮光部材は前記±1次回折光の一部を遮光し、前記
開口は前記±1次回折光の残りの部分および前記0次光
を透過させ、前記2つの受光領域は、前記遮光部材の開
口を透過した前記±1次回折光の残りの部分をそれぞれ
受光することを特徴とする請求項11に記載の光情報記
録再生装置。
12. A light blocking member provided between the deflection mirror and the relay lens system and having an opening,
The light blocking member blocks a part of the ± 1st order diffracted light, the opening allows the remaining part of the ± 1st order diffracted light and the 0th order light to pass through, and the two light receiving regions cover the opening of the light blocking member. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 11, wherein each of the remaining portions of the ± 1st-order diffracted light that has been transmitted is received.
【請求項13】 前記回折格子は、前記偏向ミラーの回
動軸と直交する方向に延びる直線状の複数の溝を有し、
前記検出手段は、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方
向に並べられて、前記±1次回折光のうちの+1次回折
光の少なくとも一部を受光する第1および第2の受光領
域と、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方向に並べら
れて、前記±1次回折光のうちの−1次回折光の少なく
とも一部を受光する第3および第4の受光領域とが設け
られたプレート部材を有し、前記第1及び第3の受光領
域により受光された光の光量と前記第2及び第4の受光
領域により受光された光の光量との差に基づいて前記偏
向ミラーの回動位置を検出することを特徴とする請求項
1に記載の光情報記録再生装置。
13. The diffraction grating has a plurality of linear grooves extending in a direction orthogonal to a rotation axis of the deflection mirror,
The detection means are arranged in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror and receive first and second light receiving regions for receiving at least a part of the + first-order diffracted light of the ± first-order diffracted light; A plate member arranged in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflection mirror and provided with third and fourth light receiving regions for receiving at least a part of the minus first order diffracted light of the ± first order diffracted light. And has a rotation position of the deflection mirror based on the difference between the light amount of the light received by the first and third light receiving regions and the light amount of the light received by the second and fourth light receiving regions. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the optical information recording / reproducing apparatus detects.
【請求項14】 前記プレート部材は、前記偏向ミラー
と前記リレーレンズ系との間に設けら、前記第1および
第2の受光領域と、前記第3および第4の受光領域は、
両者の間に形成された開口を挟んで、前記偏向ミラーの
回動軸と平行な方向に配置され、前記±1次回折光のう
ち前記第1から第4の受光領域で受光されない部分と前
記0次光とは、前記開口を透過することを特徴とする請
求項13に記載の光情報記録再生装置。
14. The plate member is provided between the deflecting mirror and the relay lens system, and the first and second light receiving regions and the third and fourth light receiving regions are formed by:
A portion of the ± 1st-order diffracted light, which is not received in the first to fourth light receiving regions, is arranged in a direction parallel to the rotation axis of the deflecting mirror with an opening formed between the two, and the zero portion. 14. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 13, wherein the next light is transmitted through the opening.
【請求項15】 前記第1および第2のリレーレンズ群
の間に設けられ、前記プレート部材の開口を透過した前
記±1次回折光の残りの部分が前記対物レンズ系に入射
するのを妨げ、前記0次光のみが前記対物レンズ系に入
射するよう構成された遮光部材をさらに備えることを特
徴とする請求項14に記載の光情報記録再生装置。
15. The remaining portion of the ± first-order diffracted light that is provided between the first and second relay lens groups and that has passed through the opening of the plate member is prevented from entering the objective lens system, 15. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 14, further comprising a light blocking member configured so that only the 0th order light is incident on the objective lens system.
【請求項16】 前記回折格子は、前記偏向ミラーの回
動軸と直交する方向に延びる直線状の複数の溝を有し、 前記検出手段は、前記第1および第2のリレーレンズ群
の間に設けられ、前記偏向ミラーの回動軸と直交する方
向に延びる少なくとも1つの位置検出素子を備えたプレ
ート部材を有し、 前記±1次回折光のうちの+1次回折光または−1次回
折光の少なくとも一部は前記位置検出素子上に収束する
よう構成され、 前記検出手段は、前記+1次回折光または−1次回折光
の少なくとも一部の前記位置検出素子上での位置に基づ
いて前記偏向ミラーの回動位置を検出することを特徴と
する請求項15に記載の光情報記録再生装置。
16. The diffraction grating has a plurality of linear grooves extending in a direction orthogonal to a rotation axis of the deflection mirror, and the detection means is provided between the first and second relay lens groups. And a plate member provided with at least one position detecting element extending in a direction orthogonal to the rotation axis of the deflecting mirror, wherein at least + 1st-order diffracted light or -1st-order diffracted light of the ± 1st-order diffracted light is included. A part is configured to converge on the position detection element, and the detection means is configured to rotate the deflection mirror based on a position of at least a part of the + 1st order diffracted light or the −1st order diffracted light on the position detection element. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 15, wherein a moving position is detected.
【請求項17】 前記少なくとも1つの位置検出素子
は、前記偏向ミラーの回動軸と平行な方向に配置された
第1および第2の位置検出素子を有し、前記+1次回折
光および−1次回折光のそれぞれの少なくとも一部が前
記第1および第2の位置検出素子上にそれぞれ収束し、 前記プレート部材は、前記第1および第2の位置検出素
子の間に開口を有しており、前記開口を介して前記0次
光のみが前記対物レンズ系に進むことを特徴とする請求
項16に記載の光情報記録再生装置。
17. The at least one position detecting element has first and second position detecting elements arranged in a direction parallel to a rotation axis of the deflecting mirror, and the + 1st-order diffracted light and the -1st-order diffracted light are arranged. At least a part of each of the folding lights converges on the first and second position detection elements, respectively, and the plate member has an opening between the first and second position detection elements. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 16, wherein only the 0th-order light travels to the objective lens system through an opening.
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