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JP3433603B2 - Display device defect repair method - Google Patents

Display device defect repair method

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Publication number
JP3433603B2
JP3433603B2 JP06207496A JP6207496A JP3433603B2 JP 3433603 B2 JP3433603 B2 JP 3433603B2 JP 06207496 A JP06207496 A JP 06207496A JP 6207496 A JP6207496 A JP 6207496A JP 3433603 B2 JP3433603 B2 JP 3433603B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pixel
microlens
defect
display device
energy beam
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP06207496A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH09230325A (en
Inventor
正文 国井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP06207496A priority Critical patent/JP3433603B2/en
Publication of JPH09230325A publication Critical patent/JPH09230325A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3433603B2 publication Critical patent/JP3433603B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はスイッチング素子と
画素電極とからなる画素を行列状に形成したアクティブ
マトリクス型の表示装置の画素欠陥を修正する技術に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for correcting a pixel defect in an active matrix type display device in which pixels composed of switching elements and pixel electrodes are formed in a matrix.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5を参照して従来のアクティブマトリ
クス型表示装置の一例を簡潔に説明する。この表示装置
はガラス等からなる一対の基板71,72を互いに対面
配置させ、その間隙に液晶73等からなる電気光学物質
を封入した構成となっている。下側の基板(駆動基板)
71の上にはマトリクス状に配置された信号線74とゲ
ート線75及びそれらの交点に配置された薄膜トランジ
スタ76と画素電極77が形成されている。薄膜トラン
ジスタ76はゲート線75により線順次選択されると共
に、信号線74から供給される画像信号を対応する画素
電極77に書き込むスイッチング素子として機能する。
一方、上側の基板(対向基板)72の内表面には対向電
極78及びカラーフィルタ79が形成されている。カラ
ーフィルタ79は各画素電極77に対応したR(赤)、
G(緑)、B(青)のセグメントに分割されている。こ
の様な構成を有するアクティブマトリクス表示装置を2
枚の偏光板80,81で挟み、白色光を入射させると所
望のフルカラー画像表示が得られる。
2. Description of the Related Art An example of a conventional active matrix type display device will be briefly described with reference to FIG. This display device has a structure in which a pair of substrates 71 and 72 made of glass or the like are arranged so as to face each other, and an electro-optical substance made of a liquid crystal 73 or the like is sealed in a gap therebetween. Lower board (driving board)
Signal lines 74 and gate lines 75 arranged in a matrix, and thin film transistors 76 and pixel electrodes 77 arranged at the intersections thereof are formed on 71. The thin film transistor 76 is line-sequentially selected by the gate line 75 and functions as a switching element for writing the image signal supplied from the signal line 74 into the corresponding pixel electrode 77.
On the other hand, a counter electrode 78 and a color filter 79 are formed on the inner surface of the upper substrate (counter substrate) 72. The color filter 79 is R (red) corresponding to each pixel electrode 77,
It is divided into G (green) and B (blue) segments. Two active matrix display devices having such a configuration are provided.
A desired full-color image display can be obtained by sandwiching it between the polarizing plates 80 and 81 and allowing white light to enter.

【0003】近年、アクティブマトリクス型表示装置の
高解像度化が顕著であり、106 個のオーダーの画素数
をもつ様になってきている。この為、無欠陥の表示装置
を高歩留りで製造する事は極めて困難である。この為、
従来から欠陥画素を修正し良品の表示装置を作成する欠
陥修正技術が提案されてきた。従来の画素欠陥対策に
は、1つの画素に対して直列接続された2個の薄膜トラ
ンジスタからなるスイッチング素子を設ける冗長構成が
提案されている。又画素の欠陥には輝点欠陥(白点欠
陥)と滅点欠陥(黒点欠陥)の2種類がある。画品位に
最も悪影響を与えるのは全黒表示で目立つ輝点欠陥画素
である。この為、例えば米国特許5,142,386号
等に示す様に、白点欠陥画素に対応するカラーフィルタ
あるいは液晶にレーザ等を直接照射し加熱する事で輝点
欠陥画素を不透明にし滅点化して目立たなくする方法等
がとられてきた。
In recent years, the resolution of active matrix type display devices has been remarkably increased, and the number of pixels is on the order of 10 6 . Therefore, it is extremely difficult to manufacture a defect-free display device with high yield. Therefore,
Conventionally, a defect correction technique for correcting defective pixels to create a non-defective display device has been proposed. As a conventional countermeasure against pixel defects, a redundant configuration has been proposed in which a switching element formed of two thin film transistors connected in series to one pixel is provided. There are two types of pixel defects: bright spot defects (white spot defects) and dark spot defects (black spot defects). The bright spot defect pixels that are noticeable in all black display have the greatest adverse effect on the image quality. Therefore, as shown in US Pat. No. 5,142,386, for example, the color filter or the liquid crystal corresponding to the white spot defective pixel is directly irradiated with a laser or the like and heated to make the bright spot defective pixel opaque. Have been taken to make it inconspicuous.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、直列接
続された2個の薄膜トランジスタをスイッチング素子と
する冗長構成では、画素構造の複雑化を招くので有利な
方法とはいえない。又、カラーフィルタあるいは液晶に
レーザ等を直接照射して加熱する方法は、レーザのエネ
ルギーを正確に制御しないと隣接する正常な画素をも加
熱する為逆に欠陥を増やす事になる。又、例え正確に照
射エネルギーを制御できてもカラーフィルタや液晶の材
質及び物性によっては適切に滅点化できずにムラ等が生
じ、かえって画品位を落とす事になる。又、この方法は
表示装置自体にもダメージを与えるので、信頼性が劣化
するという課題がある。本発明は以上の課題を解決する
もので、その目的は表示装置に直接ダメージを与えず
に、画品位を落とす事なく容易に輝点欠陥画素を滅点化
できる欠陥修正方法を提供する事にある。
However, a redundant configuration in which two thin film transistors connected in series are used as switching elements is not an advantageous method because it complicates the pixel structure. Further, in the method of directly irradiating a color filter or liquid crystal with a laser or the like for heating, if the energy of the laser is not accurately controlled, the adjacent normal pixels are also heated, which conversely increases defects. In addition, even if the irradiation energy can be controlled accurately, it may not be possible to properly create a defect depending on the material and physical properties of the color filter or the liquid crystal, and unevenness may occur, rather degrading the image quality. In addition, this method also damages the display device itself, and thus has a problem that reliability is deteriorated. The present invention is to solve the above problems, and an object thereof is to provide a defect correction method that can easily make a bright spot defective pixel a dark dot without degrading the image quality without directly damaging the display device. is there.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明にかかる欠陥修正
方法の対象となる表示装置は、所定の間隔を介して接合
した一対の基板と該間隙に保持された電気光学物質とを
備えたパネル構造を有する。一方の基板側にはマトリク
ス状に配列した画素電極及びこれを駆動するスイッチン
グ素子が形成され、他方の基板には電気光学物質を介し
て画素電極に対面して画素を構成する対向電極及び個々
の画素に対応したマイクロレンズが形成されている。か
かる表示装置において、本発明の欠陥修正方法は白色欠
陥を有する欠陥画素に対応したマイクロレンズに対して
エネルギービームを選択的に照射し、該マイクロレンズ
を無能化して欠陥画素を正常画素に対して相対的に黒点
化する事を特徴とする。具体的には、エネルギービーム
を集中的に照射してマイクロレンズを物理的に破壊、変
形又は不透明にする事で該マイクロレンズを無能化す
る。あるいは、前記マイクロレンズは非可視光に対して
感光性を有し黒化する感光材料を含有しており、非可視
光のエネルギービームを選択的に照射して感光材料を黒
化する事でマイクロレンズを無能化する様にしても良
い。さらには、対向電極と各画素電極との間に電圧を印
加して正常画素を黒点表示する一方欠陥画素を白点表示
した状態で、該一方の基板(駆動基板)側から非可視光
のエネルギービームを全面的に照射し、白点表示された
画素に対応したマイクロレンズのみを選択的に感光して
無能化を図る。
A display device which is a target of a defect repairing method according to the present invention is a panel provided with a pair of substrates bonded to each other with a predetermined gap and an electro-optical material held in the gap. Have a structure. Pixel electrodes arranged in a matrix and switching elements for driving the pixel electrodes are formed on one substrate side, and on the other substrate, the counter electrodes facing the pixel electrodes through the electro-optical material and forming the pixels and the individual electrodes are formed. Microlenses corresponding to the pixels are formed. In such a display device, the defect repairing method of the present invention selectively irradiates a microlens corresponding to a defective pixel having a white defect with an energy beam, and disables the microlens so that the defective pixel becomes a normal pixel. It is characterized by making a black spot relatively. Specifically, the microlenses are rendered ineffective by intensively irradiating them with an energy beam to physically destroy, deform, or make them opaque. Alternatively, the microlens contains a photosensitive material which is sensitive to invisible light and blackens, and the microlens is blackened by selectively irradiating the energy beam of invisible light to blacken the photosensitive material. The lens may be disabled. Furthermore, a voltage is applied between the counter electrode and each pixel electrode to display a normal pixel as a black dot and a defective pixel as a white dot, and the energy of non-visible light from the one substrate (driving substrate) side. The beam is radiated over the entire surface, and only the microlenses corresponding to the pixels displayed as white dots are selectively exposed to disable them.

【0006】本発明によれば、各画素に1対1で対応し
たマイクロレンズを有するアクティブマトリクス型の表
示装置において、白点欠陥の画素に対応したマイクロレ
ンズのみをレーザ等のエネルギービームで破壊あるいは
変形させる。あるいは、感光材料を含むマイクロレンズ
を可視光以外のレーザービームで裏面側から選択的に感
光させる。これにより、白点欠陥に対応したマイクロレ
ンズはハーフトーン化され、白点欠陥を黒点化できる。
According to the present invention, in an active matrix type display device having a microlens corresponding to each pixel on a one-to-one basis, only the microlens corresponding to a pixel having a white dot defect is destroyed or destroyed by an energy beam such as a laser. Transform it. Alternatively, the microlens containing the photosensitive material is selectively exposed from the back surface side with a laser beam other than visible light. As a result, the microlens corresponding to the white point defect is halftoned, and the white point defect can be turned into a black point.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の最良
な実施形態を詳細に説明する。図1は本発明にかかる表
示装置欠陥修正方法の一実施形態を示す模式的な部分断
面図である。(A)は欠陥修正前を示し、(B)は欠陥
修正後の状態を表わしている。図示する様に、本発明に
かかる欠陥修正方法の対象となる表示装置はアクティブ
マトリクス型であり、所定の間隙を介して接合した一対
の駆動基板1及び対向基板2とこの間隙に保持された液
晶3等の電気光学物質とを備えたパネル構造を有する。
一方の駆動基板1側にはマトリクス状に配列した画素電
極4及びこれを駆動するスイッチング素子5が形成され
ている。このスイッチング素子5は例えば石英基材又は
ガラス基材6の上に形成された薄膜トランジスタからな
る。他方の対向基板2側には対向電極7とマイクロレン
ズ8が形成されている。対向電極7と画素電極4は液晶
3を介して互いに対面しており画素を構成する。図では
理解を容易にする為個々の画素を点線で区切ってある。
マイクロレンズ8は個々の画素に対応して設けられてお
り、入射光を収束して画素の開口部に集中させ、光の利
用効率の改善を図っている。なお、対向基板2は上側の
ガラス基材9と下側のガラス基材10を、接着剤11で
貼り合わせた積層構造を有している。前述したマイクロ
レンズ8は上側のガラス基材9の上に例えばエッチング
法で形成される。又、下側のガラス基材10には各画素
に対応してカラーフィルタR,G,Bが設けられてい
る。これらのカラーフィルタR,G,Bは平坦化膜12
で被覆されており、その上に前述した対向電極7が全面
的に形成されている。上側のガラス基材9と下側のガラ
ス基材10を互いに接合する中間の接着剤11は透明で
あり、その屈折率が略上下のガラス基材と等しい材料が
選択されており、境界面における反射を防いでいる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The best mode for carrying out the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view showing an embodiment of a display device defect correcting method according to the present invention. (A) shows the state before the defect correction, and (B) shows the state after the defect correction. As shown in the figure, the display device which is the target of the defect repairing method according to the present invention is an active matrix type, and includes a pair of drive substrate 1 and counter substrate 2 bonded via a predetermined gap, and a liquid crystal held in this gap. And a panel structure including an electro-optic material such as 3.
Pixel electrodes 4 arranged in a matrix and switching elements 5 for driving the pixel electrodes 4 are formed on one drive substrate 1 side. The switching element 5 is, for example, a thin film transistor formed on a quartz base material or a glass base material 6. A counter electrode 7 and a microlens 8 are formed on the other counter substrate 2 side. The counter electrode 7 and the pixel electrode 4 face each other via the liquid crystal 3 and form a pixel. In the figure, individual pixels are separated by dotted lines for easy understanding.
The microlens 8 is provided corresponding to each pixel, and converges the incident light and concentrates it in the opening of the pixel to improve the light utilization efficiency. The counter substrate 2 has a laminated structure in which an upper glass base material 9 and a lower glass base material 10 are bonded with an adhesive 11. The above-mentioned microlens 8 is formed on the upper glass substrate 9 by, for example, an etching method. The lower glass substrate 10 is provided with color filters R, G, B corresponding to each pixel. These color filters R, G and B are used as the flattening film 12
The counter electrode 7 described above is entirely formed on it. The intermediate adhesive 11 that joins the upper glass substrate 9 and the lower glass substrate 10 to each other is transparent, and a material whose refractive index is substantially the same as that of the upper and lower glass substrates is selected, and the boundary surface Prevents reflection.

【0008】今仮に、中央の画素に白点欠陥が存在して
いると仮定する。この場合、(B)に示す様に白点欠陥
を有する欠陥画素に対応したマイロレンズ8に対してエ
ネルギービーム15を選択的に照射し、このマイクロレ
ンズ8を無能化して欠陥画素を正常画素に対して相対的
に黒点化する。即ち、エネルギービーム15を集中的に
照射してマイクロレンズ8を物理的に破壊、変形又は不
透明にする事で、このマイクロレンズ8を無能化する。
これにより、マイクロレンズ8の集光機能が失われるの
で、中央の画素は隣の画素に比較し入射光量が低減化す
る。従って、隣の正常画素に対して相対的に中央の欠陥
画素は黒点化する事になる。本来、白点欠陥であった画
素が黒点化する為、目立たなくなりパネル自体としては
良品として取り扱う事が可能になる。YAGレーザ等の
エネルギービーム15を欠陥画素に対応するマイクロレ
ンズ8にフォーカスさせ、このマイクロレンズ8のみを
破壊あるいは変形させている。この様な状態になれば、
対向基板2側あるいは駆動基板1側のどちらから入射し
た光も変形したマイクロレンズ8によって散乱、拡散、
吸収され画素濃度がハーフトーン化される。エネルギー
ビーム15はマイクロレンズ8によりほとんど吸収され
るので、液晶3にはダメージが全く入らない。具体的な
エネルギービームの照射条件としては、例えば波長53
2nmのYAGレーザから出力されたビームスポットを、
アパーチャ等を介して3×3μm2 〜5×5μm2 の大
きさに絞る。最大エネルギー10mj、ビーム継続時間4
nsecの条件でエネルギー照射を行なう。この際、アッテ
ネーターにより照射エネルギーを2.0〜4.0mjの範
囲で調節し、直径30μmのマイクロレンズ8に対し、
1〜数ショット照射する事により、1画素分のマイクロ
レンズを効果的に破壊できる。
Now, suppose that the central pixel has a white spot defect. In this case, as shown in (B), the energy beam 15 is selectively irradiated to the mylo lens 8 corresponding to the defective pixel having the white spot defect, and the micro lens 8 is disabled to make the defective pixel a normal pixel. On the other hand, it becomes a black dot relatively. That is, the energy beam 15 is intensively applied to physically destroy, deform or make the microlens 8 ineffective.
As a result, the condensing function of the microlens 8 is lost, so that the amount of incident light in the central pixel is smaller than that in the adjacent pixel. Therefore, the defective pixel at the center relatively to the adjacent normal pixel becomes a black dot. Originally, a pixel that was a white spot defect becomes a black spot, so that it becomes inconspicuous and can be handled as a good product as the panel itself. An energy beam 15 such as a YAG laser is focused on the microlens 8 corresponding to the defective pixel, and only this microlens 8 is destroyed or deformed. If this happens,
Light incident from either the counter substrate 2 side or the drive substrate 1 side is scattered or diffused by the deformed microlens 8,
The pixel density is absorbed and halftoned. Since the energy beam 15 is almost absorbed by the microlens 8, the liquid crystal 3 is not damaged at all. As a specific irradiation condition of the energy beam, for example, the wavelength 53
The beam spot output from the 2 nm YAG laser is
Through an aperture such as squeezing the size of 3 × 3μm 2 ~5 × 5μm 2 . Maximum energy 10 mj, beam duration 4
Energy irradiation is performed under the condition of nsec. At this time, the irradiation energy is adjusted by an attenuator in the range of 2.0 to 4.0 mj, and the microlens 8 having a diameter of 30 μm is
By irradiating one to several shots, the microlens for one pixel can be effectively destroyed.

【0009】図2は本発明にかかる表示装置欠陥修正方
法の第2実施形態を示す断面図である。(A)は欠陥修
正前の状態を表わし、(B)は欠陥修正後の状態を表わ
している。基本的には、図1に示した第1実施形態と同
様であり、対応する部分には対応する参照番号を付して
理解を容易にしている。異なる点は、マイクロレンズ8
aが非可視光に対して感光性を有し黒化する感光材料を
含有している事である。非可視光のエネルギービームを
選択的に照射して感光材料を黒化する事でマイクロレン
ズ8aを選択的に無能化している。例えば、非可視光の
エネルギービームとして紫外線を用いた場合、感光材料
としては銀塩化合物を用いる事ができる。この銀塩化合
物は例えば白色フィルムの乳剤に用いられており、紫外
光領域の波長のみに感光性を備えている。
FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the display device defect correcting method according to the present invention. (A) shows the state before the defect correction, and (B) shows the state after the defect correction. Basically, it is the same as that of the first embodiment shown in FIG. 1, and corresponding parts are designated by corresponding reference numerals to facilitate understanding. The difference is that the micro lens 8
That is, a contains a photosensitive material which is sensitive to invisible light and blackens. The microlenses 8a are selectively disabled by blackening the photosensitive material by selectively irradiating the energy beam of invisible light. For example, when ultraviolet rays are used as the energy beam of invisible light, a silver salt compound can be used as the photosensitive material. This silver salt compound is used, for example, in an emulsion of a white film, and is sensitive to only wavelengths in the ultraviolet light region.

【0010】(B)に示す様に、欠陥修正を行なう場合
先ず対向電極7と各画素電極4との間にスイッチング素
子5を介して黒レベルの信号電圧を印加し、左右の正常
画素を黒点表示する一方、中央の欠陥画素を白点表示さ
せる。即ち、本例の場合アクティブマトリクス型の表示
装置はノーマリホワイトモードである。黒レベルの信号
電圧を印加した場合、正常の画素は黒表示される一方、
欠陥画素は白表示のままで残され光透過状態にある。こ
の状態で駆動基板1側から非可視光のエネルギービーム
15aを全面的に照射し、白点表示された画素に対応し
たマイクロレンズ8aのみを選択的に感光して無能化を
図る。即ち、全黒表示でバックライトの代わりに紫外光
を駆動基板1側から照射する事で、欠陥画素上のマイク
ロレンズ8aのみが感光し、ハーフトーン化される。こ
の様な方法ならば欠陥修正に要する時間を著しく短縮さ
せる事ができる。又、紫外光の強度を調節する事によ
り、欠陥画素の黒化度を自由に制御する事が可能であ
る。なお、予め検査で欠陥画素を特定し、対向基板2側
からエネルギービームをスポット状にして選択的且つ集
中的に欠陥画素に対応したマイクロレンズに照射してこ
れを無能化する様にしても良い。
As shown in (B), when a defect is repaired, first, a black level signal voltage is applied between the counter electrode 7 and each pixel electrode 4 via the switching element 5, and the right and left normal pixels are subjected to black dots. While displaying, the defective pixel at the center is displayed as a white dot. That is, in this example, the active matrix type display device is in the normally white mode. When a black level signal voltage is applied, normal pixels are displayed in black while
The defective pixel remains in white display and is in a light transmitting state. In this state, the energy beam 15a of invisible light is entirely radiated from the drive substrate 1 side, and only the microlenses 8a corresponding to the pixels displayed as white dots are selectively exposed to inactivate. That is, by irradiating ultraviolet light from the side of the drive substrate 1 instead of the backlight in the all black display, only the microlens 8a on the defective pixel is exposed and halftoned. Such a method can significantly reduce the time required for defect correction. Also, by adjusting the intensity of ultraviolet light, it is possible to freely control the degree of blackening of defective pixels. The defective pixel may be specified in advance by inspection, and the energy beam may be made spot-like from the counter substrate 2 side to selectively and intensively irradiate the microlens corresponding to the defective pixel to disable it. .

【0011】図3は本発明にかかる欠陥修正方法の対象
となるアクティブマトリクス型表示装置の別の構造を示
す模式的な断面図である。図1及び図2に示した表示装
置と異なる点は、マイクロレンズとカラーフィルタの位
置が上下逆転している事である。かかる構造では、駆動
基板1側からエネルギービームを照射してマイクロレン
ズを選択的に無能化する場合に照射効率が良くなる。即
ち、カラーフィルタを介する事なくマイクロレンズにエ
ネルギービームを駆動基板1側から直接照射する事が可
能になる。以下、参考までに本表示装置の具体的な構造
を詳細に説明する。本カラー表示装置は光源側に面し入
射光を受け入れる対向基板2と、所定の間隙を介して対
向基板2に接合し出射光を放出する駆動基板1と、該間
隙に保持された液晶3等からなる電気光学物質とを備え
たフラットパネル構造を有している。駆動基板1の内面
にはマトリクス状に配列した無数の画素が集積形成され
ており、入射光を電気光学的に変調して出射光に変換す
る。個々の画素は透明導電膜からなる画素電極4とこれ
を駆動する薄膜トランジスタ等からなるスイッチング素
子5とで構成されている。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing another structure of an active matrix type display device which is a target of the defect repairing method according to the present invention. The difference from the display device shown in FIGS. 1 and 2 is that the positions of the microlens and the color filter are vertically inverted. With such a structure, the irradiation efficiency is improved when the energy beam is irradiated from the drive substrate 1 side to selectively disable the microlens. That is, it is possible to directly irradiate the microlens with the energy beam from the drive substrate 1 side without passing through the color filter. Hereinafter, a specific structure of the display device will be described in detail for reference. This color display device includes a counter substrate 2 facing the light source side and receiving incident light, a drive substrate 1 bonded to the counter substrate 2 through a predetermined gap and emitting emitted light, a liquid crystal 3 held in the gap, and the like. And a flat panel structure including an electro-optic material. Innumerable pixels arranged in a matrix are integrated and formed on the inner surface of the drive substrate 1, and the incident light is electro-optically modulated and converted into the emitted light. Each pixel is composed of a pixel electrode 4 made of a transparent conductive film and a switching element 5 made of a thin film transistor for driving the pixel electrode 4.

【0012】一方、対向基板2側には入射光を個々の画
素に集光するマイクロレンズ8と、個々の画素をRGB
三原色別に着色するカラーフィルタ(R,G,B)とが
集積形成されている。カラーフィルタは対向基板2の外
面側に形成され、マイクロレンズ8は対向基板2の内面
側に形成されている。入射光は先ず対向基板2の外面側
に配置したカラーフィルタを通過する。カラーフィルタ
を通過した後入射光はマイクロレンズ8により集光され
画素を照射する。画素は電気光学的に入射光を変調し、
出射光を放射して所望のカラー画像表示を行なう。な
お、対向基板2の内面側には透明導電膜からなる対向電
極7が形成されており、実際にはこの対向電極7と画素
電極4との間に保持された液晶3とで個々の画素が形成
される。対向電極7と画素電極4との間に印加される電
圧により液晶3の透過率が変化し、所望の電気光学変調
が行なわれる。又、個々の画素の周囲を縁取る様にブラ
ックマスク20が、対向基板2の内面側にパタニング形
成されている。このブラックマスク20は個々の画素の
開口部を規定する。
On the other hand, on the side of the counter substrate 2, a microlens 8 for condensing incident light into individual pixels and RGB pixels for the individual pixels are provided.
Color filters (R, G, B) for coloring the three primary colors are integrated and formed. The color filter is formed on the outer surface side of the counter substrate 2, and the microlens 8 is formed on the inner surface side of the counter substrate 2. The incident light first passes through a color filter arranged on the outer surface side of the counter substrate 2. After passing through the color filter, the incident light is condensed by the microlens 8 and illuminates the pixel. The pixel electro-optically modulates the incident light,
The emitted light is emitted to display a desired color image. A counter electrode 7 made of a transparent conductive film is formed on the inner surface side of the counter substrate 2, and in reality, each pixel is formed by the counter electrode 7 and the liquid crystal 3 held between the pixel electrode 4. It is formed. The voltage applied between the counter electrode 7 and the pixel electrode 4 changes the transmittance of the liquid crystal 3, and desired electro-optical modulation is performed. Further, a black mask 20 is patterned on the inner surface side of the counter substrate 2 so as to frame the periphery of each pixel. The black mask 20 defines the opening of each pixel.

【0013】ここで、マイクロレンズ8の形成方法を説
明する。本例ではエッチング法を採用しており、ガラス
基材21の表面をレジストで被覆した後、離散的に微小
な開口を設ける。このレジストをマスクとして弗酸等に
よりガラス基材21を等方的にエッチングする。エッチ
ングは微小な開口を中心として等方的に進行するので、
個々の開口の内部に凹面がエッチング形成される。この
凹面にエポキシ樹脂等の透明材料を充填してマイクロレ
ンズ8を作成する。なお、この際同時に透明材料中に感
光材料を含有させておく。前述した様に、この感光材料
は紫外光等の非可視光に対して感光性を有し黒化するも
のである。ガラス基材21の屈折率と透明エポキシ樹脂
の屈折率が異なる為、マイクロレンズ8が形成できる。
屈折率及び凹面の曲率半径を適宜設定する事により、所
望の焦点距離を有するマイクロレンズ8が得られる。画
素に対して焦点距離を合わせる為、ガラス基材21には
所定の厚みを有するガラスシート22が貼着されてい
る。このガラスシート22の表面に、前述した対向電極
7とブラックマスク20が形成される。なお、ブラック
マスク20は必ずしも対向基板2側に設ける必要はな
く、場合によっては駆動基板1側にパタニング形成して
も良い。
Here, a method of forming the microlens 8 will be described. In this example, the etching method is adopted, and after the surface of the glass base material 21 is covered with a resist, discrete minute openings are provided. Using this resist as a mask, the glass substrate 21 is isotropically etched with hydrofluoric acid or the like. Since the etching proceeds isotropically around the minute opening,
Concave surfaces are etched within the individual openings. The concave surface is filled with a transparent material such as epoxy resin to form the microlens 8. At this time, at the same time, the transparent material contains a photosensitive material. As described above, this light-sensitive material is sensitive to invisible light such as ultraviolet light and blackens. Since the refractive index of the glass base material 21 is different from that of the transparent epoxy resin, the microlens 8 can be formed.
By appropriately setting the refractive index and the radius of curvature of the concave surface, the microlens 8 having a desired focal length can be obtained. A glass sheet 22 having a predetermined thickness is attached to the glass base material 21 in order to adjust the focal length to the pixel. The counter electrode 7 and the black mask 20 described above are formed on the surface of the glass sheet 22. The black mask 20 does not necessarily have to be provided on the counter substrate 2 side, and may be patterned on the drive substrate 1 side in some cases.

【0014】最後に図4を参照して、図1に示したマイ
クロレンズの形成方法を参考の為に説明する。先ず工程
(A)で、ガラス基材9の上に感光性樹脂30を所定の
厚みで塗布する。この感光性樹脂30は透明でありその
屈折率はガラス基材9と異なっている。次に工程(B)
に進み、所定のマスクを介して感光性樹脂30を露光現
像し、個々に分離した円柱状のパタンに加工する。最後
に工程(C)で加熱処理を施し所謂リフローを行なっ
て、円柱状にパタニングされた感光性樹脂をマイクロレ
ンズ8の形状に変換する。これにより、ガラス基材9の
表面に個々の画素に対応したマイクロレンズ8が集積形
成される。
Finally, with reference to FIG. 4, a method of forming the microlens shown in FIG. 1 will be described for reference. First, in step (A), the photosensitive resin 30 is applied on the glass substrate 9 to a predetermined thickness. This photosensitive resin 30 is transparent and its refractive index is different from that of the glass base material 9. Next step (B)
Then, the photosensitive resin 30 is exposed and developed through a predetermined mask, and processed into individual separated columnar patterns. Finally, in step (C), heat treatment is performed and so-called reflow is performed to convert the photosensitive resin that has been patterned into a cylindrical shape into the shape of the microlens 8. As a result, the microlenses 8 corresponding to individual pixels are integrated and formed on the surface of the glass base material 9.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、白
点欠陥を有する欠陥画素に対応したマイクロレンズに対
してエネルギービームを選択的に照射し、このマイクロ
レンズを無能化して欠陥画素を正常画素に対して相対的
に黒点化している。これによれば、従来の方法で問題と
なっていた欠陥修正に伴なう画品位の低下やパネルに与
えるダメージがない。しかも感光材料を含有したマイク
ロレンズに対して裏面から白点画素を通して一括露光を
行なえば、白点画素の修正に要する時間を著しく短縮す
る事ができ、修正作業のスループットが劇的に向上す
る。この様に、本発明によればアクティブマトリクス型
表示装置の画品位や信頼性に全く影響を与える事なく欠
陥画素を迅速に修復可能である。
As described above, according to the present invention, a microlens corresponding to a defective pixel having a white spot defect is selectively irradiated with an energy beam, and the microlens is disabled to make the defective pixel defective. Are black dots relative to normal pixels. According to this, there is no deterioration of image quality and damage to the panel due to the defect correction which has been a problem in the conventional method. Moreover, if the microlenses containing the photosensitive material are collectively exposed from the back surface through the white spot pixels, the time required for the correction of the white spot pixels can be significantly shortened, and the throughput of the repair work is dramatically improved. As described above, according to the present invention, a defective pixel can be quickly repaired without affecting the image quality and reliability of the active matrix display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかる表示装置欠陥修正方法の第1実
施形態を示す模式的な断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of a display device defect correcting method according to the present invention.

【図2】本発明にかかる表示装置欠陥修正方法の第2実
施形態を示す模式的な部分断面図である。
FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view showing a second embodiment of a display device defect correcting method according to the present invention.

【図3】本発明にかかる欠陥修正方法が適用されるアク
ティブマトリクス型表示装置の他の例を示す模式的な部
分断面図である。
FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing another example of an active matrix type display device to which the defect repairing method according to the present invention is applied.

【図4】アクティブマトリクス型表示装置に設けられる
マイクロレンズの形成方法の一例を示す工程図である。
FIG. 4 is a process chart showing an example of a method for forming a microlens provided in an active matrix display device.

【図5】従来のアクティブマトリクス型表示装置の一例
を示す模式的な斜視図である。
FIG. 5 is a schematic perspective view showing an example of a conventional active matrix display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…駆動基板、2…対向基板、3…液晶、4…画素電
極、5…スイッチング素子、7…対向電極、8…マイク
ロレンズ、15…エネルギービーム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Driving substrate, 2 ... Counter substrate, 3 ... Liquid crystal, 4 ... Pixel electrode, 5 ... Switching element, 7 ... Counter electrode, 8 ... Microlens, 15 ... Energy beam

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1335 G02F 1/13 101 G02F 1/1362 G02F 1/1343 G09F 9/00 - 9/46 Front page continued (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1335 G02F 1/13 101 G02F 1/1362 G02F 1/1343 G09F 9/00-9/46

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 所定の間隔を介して接合した一対の基板
と該間隙に保持された電気光学物質とを備えたパネル構
造を有し、一方の基板側にはマトリクス状に配列した画
素電極及びこれを駆動するスイッチング素子が形成さ
れ、他方の基板側には電気光学物質を介して画素電極に
対面して画素を構成する対向電極及び個々の画素に対応
したマイクロレンズが形成された表示装置の欠陥修正方
法であって、 白点欠陥を有する欠陥画素に対応したマイクロレンズに
対してエネルギービームを選択的に照射し、該マイクロ
レンズを無能化して欠陥画素を正常画素に対して相対的
に黒点化する事を特徴とする表示装置の欠陥修正方法。
1. A panel structure comprising a pair of substrates bonded at a predetermined interval and an electro-optical material held in the gap, and one substrate side having pixel electrodes arranged in a matrix. A switching element that drives this is formed, and on the other substrate side, a counter electrode that faces the pixel electrode via an electro-optical material and forms a pixel, and a microlens corresponding to each pixel is formed. A defect correction method, wherein a microlens corresponding to a defective pixel having a white dot defect is selectively irradiated with an energy beam, and the microlens is disabled to make the defective pixel a black dot relative to a normal pixel. A method for correcting a defect in a display device, which comprises:
【請求項2】 エネルギービームを集中的に照射してマ
イクロレンズを物理的に破壊、変形又は不透明にする事
で該マイクロレンズを無能化する事を特徴とする請求項
1記載の表示装置の欠陥修正方法。
2. The defect of the display device according to claim 1, wherein the microlenses are rendered ineffective by intensively irradiating the energy beams to physically destroy, deform or make the microlenses ineffective. How to fix.
【請求項3】 前記マイクロレンズは非可視光に対して
感光性を有し黒化する感光材料を含有しており、非可視
光のエネルギービームを選択的に照射して感光材料を黒
化する事でマイクロレンズを無能化する事を特徴とする
請求項1記載の表示装置の欠陥修正方法。
3. The microlens contains a photosensitive material that is sensitive to invisible light and blackens, and selectively irradiates an energy beam of invisible light to blacken the photosensitive material. 2. The method for correcting a defect in a display device according to claim 1, wherein the microlens is disabled.
【請求項4】 対向電極と各画素電極との間に電圧を印
加して正常画素を黒点表示する一方欠陥画素を白点表示
した状態で、該一方の基板側から非可視光のエネルギー
ビームを全面的に照射し、白点表示された画素に対応し
たマイクロレンズのみを選択的に感光して無能化を図る
事を特徴とする請求項3記載の表示装置の欠陥修正方
法。
4. An energy beam of invisible light is applied from one of the substrates while a voltage is applied between the counter electrode and each pixel electrode to display a normal pixel as a black dot and a defective pixel as a white dot. 4. The defect repairing method for a display device according to claim 3, wherein the entire surface is illuminated and only the microlens corresponding to the pixels displayed as white dots is selectively exposed to make it ineffective.
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