JP3428877B2 - Thin film magnetic head - Google Patents
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- Magnetic Heads (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば浮上式磁気
ヘッドなどに使用されるインダクティブ型の薄膜磁気ヘ
ッドに係り、特にライトフリンジングの発生を抑制でき
るようにした薄膜磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inductive thin film magnetic head used in, for example, a floating magnetic head, and more particularly to a thin film magnetic head capable of suppressing the occurrence of write fringing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４（ａ）は、従来の薄膜ヘッドを記録
媒体の対向部側から示した部分正面図である。2. Description of the Related Art FIG. 4 (a) is a partial front view showing a conventional thin film head from the side facing a recording medium.
【０００３】図４（ａ）に示す薄膜磁気ヘッドは、浮上
式ヘッドを構成するスライダのトレーリング側端部に形
成されたものであり、読み出しヘッドと記録用のインダ
クティブヘッドとが積層されたものとなっている。The thin film magnetic head shown in FIG. 4 (a) is formed at the trailing end of a slider which constitutes a flying head, and has a read head and a recording inductive head laminated on each other. Has become.
【０００４】符号１は、ＮｉＦｅ系合金（パーマロイ）
またはセンダストなどの高透磁率の磁性材料で形成され
た下部コア層である。磁気抵抗効果素子を利用した読出
しヘッドにインダクティブヘッドが連続して積層された
複合型薄膜磁気ヘッドでは、前記下部コア層１が、イン
ダクティブヘッドのコア層として機能するだけでなく、
読出しヘッドの上部シールド層としても機能している。Reference numeral 1 is a NiFe alloy (permalloy).
Alternatively, the lower core layer is made of a magnetic material having a high magnetic permeability such as sendust. In a composite thin-film magnetic head in which an inductive head is continuously stacked on a read head using a magnetoresistive effect element, the lower core layer 1 not only functions as a core layer of the inductive head,
It also functions as the upper shield layer of the read head.
【０００５】下部コア層１の上には、Ａｌ2Ｏ3（アルミ
ナ）などの非磁性材料で形成されたギャップ層１０が設
けられている。ギャップ層１０の上には、例えばレジス
ト材料や他の有機材料で形成された絶縁層（図示しな
い）が形成されている。前記絶縁層の上には、Ｃｕなど
の電気抵抗の低い導電材料によりコイル層（図示しな
い）が螺旋状に形成されている。A gap layer 10 made of a non-magnetic material such as Al 2 O 3 (alumina) is provided on the lower core layer 1. An insulating layer (not shown) made of, for example, a resist material or another organic material is formed on the gap layer 10. On the insulating layer, a coil layer (not shown) is spirally formed of a conductive material having a low electric resistance such as Cu.
【０００６】前記コイルの上には、有機樹脂材料などの
絶縁層（図示しない）が形成され、前記絶縁層の上に、
磁性材料の上部コア層６が形成されている。An insulating layer (not shown) such as an organic resin material is formed on the coil, and the insulating layer is formed on the insulating layer.
An upper core layer 6 of magnetic material is formed.
【０００７】前記上部コア層６の先端部６ａは、図４
（ａ）に示すように、下部コア層１の上にギャップ層１
０を介して接合され、ギャップ長Ｇｌの記録用磁気ギャ
ップが形成されている。なお前記先端部６ａの幅寸法
は、トラック幅Ｔｗとほぼ同じ幅寸法にて形成されてい
る。The tip portion 6a of the upper core layer 6 is shown in FIG.Four
As shown in (a), the gap layer 1 is formed on the lower core layer 1.
And a recording magnetic gap with a gap length Gl.
Is formed. The width of the tip 6a
Is formed with a width dimension almost the same as the track width Tw.
It
【０００８】この記録用のインダクティブヘッドでは、
コイル層に記録電流が与えられると、下部コア層１およ
び上部コア層６に記録磁界が誘導され、下部コア層１と
上部コア層６の先端部６ａとの磁気ギャップ部分からの
漏れ磁界により、ハードディスクなどの記録媒体に記録
信号が記録される。In this inductive head for recording,
When a recording current is applied to the coil layer, a recording magnetic field is induced in the lower core layer 1 and the upper core layer 6, and a leakage magnetic field from a magnetic gap portion between the lower core layer 1 and the tip portion 6a of the upper core layer 6 causes A recording signal is recorded on a recording medium such as a hard disk.
【０００９】インダクティブヘッドの下に形成されてい
る読出しヘッドは、図に示すように、下部シールド層１
１の上に下部ギャップ層１２ａを介して磁気抵抗効果素
子層１３が設けられ、さらにこの磁気抵抗効果素子層１
３の上に上部ギャップ層１２ｂを介して前記下部コア層
１が形成されている。前述したように、読出しヘッドで
は、前記下部コア層１は上部シールド層として機能して
いる。The read head formed under the inductive head has a lower shield layer 1 as shown in FIG.
1, a magnetoresistive effect element layer 13 is provided via a lower gap layer 12a, and the magnetoresistive effect element layer 1 is further provided.
3, the lower core layer 1 is formed via the upper gap layer 12b. As described above, in the read head, the lower core layer 1 functions as the upper shield layer.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】最近では、高密度記録
化に伴いトラック幅Ｔｗが小さくなる傾向にあるが、ト
ラック幅Ｔｗを小さくすると、下部コア層１と上部コア
層６の先端部６ａとの間で発生するトラック幅Ｔｗ内で
の漏れ磁界強度が低下するといった問題が発生してしま
う。Recently, the track width Tw tends to become smaller as the recording density becomes higher. However, when the track width Tw is made smaller, the lower core layer 1 and the tip portion 6a of the upper core layer 6 are separated from each other. There arises a problem that the strength of the leakage magnetic field within the track width Tw is reduced.
【００１１】図５は、トラック幅Ｔｗと漏れ磁界強度と
の関係を示すグラフであるが、図に示すように、トラッ
ク幅Ｔｗが約３μｍ以下になると、漏れ磁界強度が急激
に低下するのがわかる。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the track width Tw and the leakage magnetic field strength. As shown in FIG. 5 , when the track width Tw becomes about 3 μm or less, the leakage magnetic field strength sharply decreases. Recognize.
【００１２】このようにトラック幅Ｔｗの狭小化に伴
い、前記トラック幅Ｔｗ内における漏れ磁界強度（記録
磁界強度）が低下してしまうのは、下部コア層１と上部
コア層６間の漏れ磁界が前記トラック幅Ｔｗ内のみに収
まらず、トラック幅Ｔｗ外に漏れやすくなるからであ
る。As described above, the leakage magnetic field strength (recording magnetic field strength) within the track width Tw is reduced as the track width Tw is narrowed, because the leakage magnetic field between the lower core layer 1 and the upper core layer 6 is reduced. Is not contained only within the track width Tw and easily leaks outside the track width Tw.
【００１３】図４（ｂ）は、図４（ａ）に示したインダ
クティブヘッドを用いて記録媒体に磁気データを記録し
たときの記録パターン１４を示している。トラック幅Ｔ
ｗが小さくなると、前記記録パターン１４の両側部に、
本来のトラック幅Ｔｗからはみ出るライトフリンジング
（書込み滲み）が発生しやすくなり、その結果、前記の
ようにトラック幅Ｔｗ内での漏れ磁界強度が低下し、且
つ記録媒体に書込まれた記録パターン１４の実質的な幅
Ｔｆが、前記トラック幅Ｔｗよりも広くなる。[0013] FIG. 4 (b) shows a recording pattern 14 when the recording magnetic data on a recording medium using the inductive head shown in Figure 4 (a). Track width T
When w becomes small, both sides of the recording pattern 14 are
Write fringing (writing bleeding) protruding from the original track width Tw is likely to occur, and as a result, the leakage magnetic field strength within the track width Tw is reduced as described above, and the recording pattern written on the recording medium is reduced. The substantial width Tf of 14 becomes wider than the track width Tw.
【００１４】ライトフリンジングが発生すると、書込ま
れた記録媒体でのトラック位置検出を正確に行うことが
できず、トラッキングサーボエラーを引き起こしやすく
なる。When the write fringing occurs, the track position on the written recording medium cannot be accurately detected, and a tracking servo error is likely to occur.
【００１５】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、表皮効果によりライトフリンジングを十分
に抑制できるようにし、しかも漏れ磁界強度の低下を極
力抑えることができるようにした薄膜磁気ヘッドを提供
することを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and it is possible to sufficiently suppress the light fringing by the skin effect and to suppress the decrease of the leakage magnetic field strength as much as possible. The purpose is to provide a head.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明は、磁性材料の下
部コア層と、所定の幅Ｔｗを有する上部コア層との間
に、非磁性材料のギャップ層が形成され、さらに前記下
部コア層及び上部コア層に記録磁界を誘導する磁気発生
手段が設けられて成る薄膜磁気ヘッドにおいて、前記ギ
ャップ層が、ギャップ深さＧｄと同じ長さでかつ上部コ
ア層と同じ幅寸法Ｔｗで形成され、非磁性導電層が下部
コア層の上面から前記ギャップ層および上部コア層の両
側面にかけて形成され、且つこの非磁性導電層が下部コ
ア層の上面、ギャップ層の前記ギャップ深さ方向の後方
端面、および上部コア層の前記ギャップ深さ方向の後方
端面にも接していることを特徴とするものである。According to the present invention, a gap layer made of a non-magnetic material is formed between a lower core layer made of a magnetic material and an upper core layer having a predetermined width Tw. and the thin film magnetic head comprising a magnetic generating means for inducing a recording magnetic field to the upper core layer is provided, the gap layer is, and upper co the same length as the gap depth Gd
Formed with the same width Tw and A layer, a nonmagnetic conductive layer is lower
From the top surface of the core layer to both the gap layer and the upper core layer
It is formed over the side surface and upper surface of the nonmagnetic conductive layer is lower core layer, the rear end surface of the gap depth direction of the gap layer, and the gap depth direction of the upper core layer that is also in contact with the rear end surface It is a feature.
【００１７】[0017]
【００１８】[0018]
【００１９】また前記下部コア層には、前記ギャップ層
と接する部分に、前記幅寸法Ｔｗと同じ幅寸法Ｔ２を有
する隆起部が設けられており、前記非磁性導電層が前記
下部コア層の上面から前記隆起部、前記ギャップ層、お
よび上部コア層の両側面にかけて形成され、且つ前記非
磁性導電層が前記下部コア層の上面、前記隆起部の前記
ギャップ深さ方向の後方端面、前記ギャップ層のギャッ
プ深さ方向の後方端面、および上部コア層のギャップ深
さ方向の後方端面にも接しているものであってもよい。Further the lower core layer, the portion in contact with the gap layer, wherein and the raised portion is provided having the same width dimension T2 and width Tw, the nonmagnetic conductive layer is the
From the upper surface of the lower core layer, the ridge, the gap layer, and
And the non-magnetic conductive layer formed on both side surfaces of the upper core layer, the non-magnetic conductive layer is an upper surface of the lower core layer, a rear end surface of the raised portion in the gap depth direction, a rear end surface of the gap layer in the gap depth direction, and it may be shall also contacts the rear end surface of the gap depth direction of the upper core layer.
【００２０】[0020]
【００２１】本発明では、前記非磁性導電層の膜厚は、
０．３〜２．０μｍの範囲内であり、しかも少なくとも
薄膜磁気ヘッド駆動時の記録周波数における表皮厚さＳ
以上で形成されていることが好ましい。In the present invention, the thickness of the non-magnetic conductive layer is
Within the range of 0.3 to 2.0 μm, and at least the skin thickness S at the recording frequency when the thin film magnetic head is driven.
It is preferably formed as described above.
【００２２】また本発明では、前記非磁性導電層が、Ａ
ｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｔのいずれか１種または２種以上の
元素により形成されていることが好ましい。In the present invention, the nonmagnetic conductive layer is A
It is preferably formed of one or more of u, Ag, Cu, and Pt.
【００２３】本発明では、下部コア層の上面から上部コ
ア層の両側面にかけて比抵抗の低い非磁性導電層を成膜
し、表皮効果により、トラック幅Ｔｗから滲み出る漏れ
磁界を抑え込み、ライトフリンジングを抑制すると同時
に漏れ磁界強度の低下を極力抑えるものである。 According to the present invention, a non-magnetic conductive layer having a low specific resistance is formed from the upper surface of the lower core layer to both side surfaces of the upper core layer, and the skin effect suppresses the leakage magnetic field oozing out from the track width Tw to prevent the write fringe. And the reduction of the leakage magnetic field strength as much as possible.
【００２４】ここで表皮効果とは、高周波電流や電磁波
が導体の表面層に局限されて内部に入らない現象をい
う。The skin effect is a phenomenon in which high-frequency current and electromagnetic waves are confined to the surface layer of the conductor and do not enter the inside.
【００２５】つまり本発明でいうならば、例えば図１に
示す下部コア層１と上部コア層６との間で発生する漏れ
磁界のうち、トラック幅Ｔｗ内に収まらない漏れ磁界
が、表皮効果により非磁性導電層７の表面層しか伝わら
ず、従って従来に比べて十分にライトフリンジングを抑
制することができ、しかも漏れ磁界強度も従来に比べて
低下しない。That is, according to the present invention, of the leakage magnetic fields generated between the lower core layer 1 and the upper core layer 6 shown in FIG. 1, for example, the leakage magnetic field that does not fall within the track width Tw is caused by the skin effect. Only the surface layer of the non-magnetic conductive layer 7 is transmitted, so that write fringing can be suppressed sufficiently as compared with the conventional case, and the leakage magnetic field strength does not decrease as compared with the conventional case.
【００２６】なお前記非磁性導電層７の厚さ寸法Ｔ1
は、表皮厚さ（skin depth）と同じかあるいはそれ以上
の寸法で決められている。The thickness T1 of the non-magnetic conductive layer 7 is
Is determined to be equal to or greater than the skin depth.
【００２７】ここで表皮厚さとは、磁界の強さが表面の
１／ｅの強さになる厚さをいう。表皮厚さはできる限り
薄い方が、ライトフリンジング量をより小さくすること
ができる点で好ましい。表皮厚さをできる限り薄くする
には、比抵抗ρの小さい材料を選択することが必要であ
り、また使用する磁界の周波数ｆが高いほど効果があ
る。 Here, the skin depth means the thickness at which the strength of the magnetic field is 1 / e of the surface strength . Table KawaAtsu of the thinner as possible, preferably in that it is possible to further reduce the write fringing amount. To thin as possible table KawaAtsu is, it is necessary to select a material having a small specific resistance [rho, also has the effect higher the frequency f of the magnetic field to be used.
【００２８】つまり本発明によれば、記録周波数がより
高周波数帯域になるほど、より表皮効果を発揮すること
ができ、ライトフリンジング量を小さく抑えることがで
きる。That is, according to the present invention, the higher the recording frequency is, the more the skin effect can be exhibited, and the write fringing amount can be suppressed small.
【００２９】[0029]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１実施形態の
薄膜磁気ヘッドの構造を示す部分正面図、図２は、図１
に示す薄膜磁気ヘッドの縦断面図、図３は本発明の第２
実施形態の薄膜磁気ヘッドの構造を示す部分正面図であ
る。1 is a partial front view showing the structure of a thin film magnetic head according to a first embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the thin film magnetic head shown in FIG.
FIG. 3 is a partial front view showing the structure of the thin film magnetic head of the embodiment.
【００３０】図１、図３に示す薄膜磁気ヘッドは、書込
み用のいわゆるインダクティブヘッドであり、このイン
ダクティブヘッドの下には、図４に示す磁気抵抗効果素
子層１３と下部シールド層１１とを有する読出しヘッド
が設けられている。The thin film magnetic head shown in FIGS. 1 and 3 is a so-called inductive head for writing, and the magnetoresistive effect element layer 13 and the lower shield layer 11 shown in FIG. 4 are provided under the inductive head. A read head is provided.
【００３１】図１に示す符号１は、ＮｉＦｅ系合金（パ
ーマロイ）などの高透磁率の軟磁性材料で形成された下
部コア層１である。この下部コア層１は、前述した読出
しヘッドの上部シールド層としても機能している。Reference numeral 1 shown in FIG. 1 is a lower core layer 1 made of a soft magnetic material having a high magnetic permeability such as a NiFe alloy (permalloy). The lower core layer 1 also functions as the upper shield layer of the read head described above.
【００３２】前記下部コア層１の上には、絶縁材料で形
成されたギャップ層２が形成されている。このギャップ
層２の幅寸法は、後述する上部コア層６の幅寸法（＝ト
ラック幅Ｔｗ）とほぼ同じ幅寸法にて形成されている。A gap layer 2 made of an insulating material is formed on the lower core layer 1. The width dimension of the gap layer 2 is substantially the same as the width dimension (= track width Tw) of the upper core layer 6 described later.
【００３３】また図２に示すように、前記ギャップ層２
の長さ寸法は、磁気ギャップ深さＧｄとほぼ同じ長さ寸
法になっている。Further, as shown in FIG. 2, the gap layer 2
Is approximately the same as the magnetic gap depth Gd.
【００３４】さらに図２に示すように前記下部コア層１
上には、有機樹脂材料例えばレジスト材料の絶縁層３が
形成されており、この絶縁層の上に、Ｃｕなどの電気抵
抗の小さい導電性材料により螺旋状のコイル層４が形成
されている。さらに前記コイル層４の上には、有機樹脂
材料の絶縁層５が形成されている。Further, as shown in FIG. 2, the lower core layer 1
An insulating layer 3 made of an organic resin material such as a resist material is formed on the upper side, and a spiral coil layer 4 is formed on the insulating layer with a conductive material having a low electric resistance such as Cu. Further, an insulating layer 5 made of an organic resin material is formed on the coil layer 4.
【００３５】そして、前記絶縁層５の上には、パーマロ
イなどの磁性材料製の上部コア層６が形成されている。An upper core layer 6 made of a magnetic material such as permalloy is formed on the insulating layer 5.
【００３６】前記上部コア層６の先端部６ａは、図１に
示すように、下部コア層１の対向面上に、ギャップ層２
を介して接合され、ギャップ長Ｇｌの磁気ギャップが形
成されている。The tip portion 6a of the upper core layer 6 is formed on the facing surface of the lower core layer 1 as shown in FIG.
To form a magnetic gap having a gap length Gl.
【００３７】また前記上部コア層６の先端部６ａの幅寸
法は、トラック幅Ｔｗと同じ寸法で決められている。The width of the tip portion 6a of the upper core layer 6 is determined to be the same as the track width Tw.
【００３８】図１に示すように、下部コア層１の上面か
ら、ギャップ層２および上部コア層６の両側面、および
上部コア層６の上面にかけて非磁性導電層７が成膜され
ている。As shown in FIG. 1, a nonmagnetic conductive layer 7 is formed from the upper surface of the lower core layer 1 to both side surfaces of the gap layer 2 and the upper core layer 6 and the upper surface of the upper core layer 6.
【００３９】本発明では、前記非磁性導電層７の膜厚Ｔ
1は、０．３〜２．０μｍの範囲内であることが好まし
い。In the present invention, the thickness T of the nonmagnetic conductive layer 7 is T.
1 is preferably in the range of 0.3 to 2.0 μm.
【００４０】前記非磁性導電層７の膜厚Ｔ1が、２．０
μｍ以上になると、膜応力により、前記非磁性導電層７
が膜剥がれを起こす可能性が高くなるので好ましくな
い。The thickness T1 of the nonmagnetic conductive layer 7 is 2.0.
When the thickness is more than μm, the non-magnetic conductive layer 7 is formed due to the film stress.
Is likely to cause film peeling, which is not preferable.
【００４１】また前記非磁性導電層７の膜厚Ｔ1が、
０．３μｍ以下になると、特に図１に示すギャップ層２
の両側面に前記非磁性導電層７が成膜されにくく、ライ
トフリンジングを適性に抑制することができなくなり好
ましくない。 The thickness T1 of the nonmagnetic conductive layer 7 is
When the thickness is 0.3 μm or less, the gap layer 2 shown in FIG.
The nonmagnetic conductive layer 7 is difficult to be formed on both side surfaces of the above, and it is not preferable because the write fringing cannot be properly suppressed .
【００４２】さらに本発明では、前記非磁性導電層７の
膜厚Ｔ1は、薄膜磁気ヘッド駆動時の記録周波数におけ
る表皮厚さ以上で形成されている必要がある。表皮厚さ
Ｓは、非磁性導電層７とギャップ層２と境界面を非磁性
導電層７の表面７ａとしたときに、非磁性導電層７内に
おいて磁界の強さが表面７ａの強さの１／ｅになる位置
の前記表面７ａからの深さを意味する。なおｅは自然対
数の底である。Further, in the present invention, the film thickness T1 of the non-magnetic conductive layer 7 needs to be formed to be equal to or larger than the skin thickness at the recording frequency when the thin film magnetic head is driven . Table KawaAtsu of S, when the non-magnetic conductive layer 7 and the gap layer 2 and the boundary surface and the surface 7a of the nonmagnetic conductive layer 7, the intensity of the magnetic field in the non-magnetic conductive layer 7 is surface 7a strength It means the depth from the surface 7a at the position of 1 / e. Note that e is the base of natural logarithm.
【００４３】少なくとも前記非磁性導電層７の膜厚Ｔ1
が、表皮厚さＳ以上で形成されていないと、トラック幅
Ｔｗからはみ出る漏れ磁界を抑え込み、十分にライトフ
リンジングの発生を抑制する効果を期待できない。At least the thickness T1 of the nonmagnetic conductive layer 7
However, if it is not formed with the skin thickness S or more, the effect of suppressing the leakage magnetic field protruding from the track width Tw and sufficiently suppressing the occurrence of write fringing cannot be expected.
【００４４】できる限り比抵抗ρの小さい材質を使用
し、記録周波数ｆが高い領域で使用することで、前記表
皮厚さを薄くすることができ、よりライトフリンジング
量を小さくすることができる。 [0044] Unless that can be used with smaller material resistivity [rho, by recording the frequency f is used in a high region, the it is possible to reduce the skin depth can be reduced more write fringing amount .
【００４５】また本発明では、図２に示すように、前記
非磁性導電層７が、下部コア層１上面からギャップ層２
および上部コア層６の裏面にかけて形成されていてもよ
い。In the present invention, as shown in FIG. 2, the nonmagnetic conductive layer 7 is formed from the upper surface of the lower core layer 1 to the gap layer 2.
It may also be formed on the back surface of the upper core layer 6.
【００４６】なおこの場合の前記非磁性導電層７の膜厚
Ｔ1も、０．３〜２．０μｍの範囲内で形成され、且つ
前記膜厚Ｔ1は、少なくとも表皮厚さＳ以上で形成され
ている必要がある。The film thickness T1 of the non-magnetic conductive layer 7 in this case is also formed within the range of 0.3 to 2.0 μm, and the film thickness T1 is formed to be at least the skin depth S or more. Need to be
【００４７】下部コア層１上面から上部コア層６の裏面
にかけて非磁性導電層７を成膜する方法は、まずギャッ
プ層２が形成される下部コア層１上に、長さ寸法が磁気
ギャップ深さＧｄと同程度のレジスト層を形成し、前記
レジスト層の後側に、非磁性導電層７を成膜する。なお
前記非磁性導電層７の高さ寸法ｈ1は、ギャップ長Ｇｌ
よりも大きくなるようにしておく必要がある。In the method of forming the nonmagnetic conductive layer 7 from the upper surface of the lower core layer 1 to the back surface of the upper core layer 6, first, the length dimension is the magnetic gap depth on the lower core layer 1 where the gap layer 2 is formed. A resist layer having the same thickness as Gd is formed, and the nonmagnetic conductive layer 7 is formed behind the resist layer. The height h1 of the nonmagnetic conductive layer 7 is determined by the gap length Gl.
Needs to be larger than
【００４８】さらに、前記非磁性導電層７の上面、およ
び前記非磁性導電層７の後側の下部コア層１の上面にか
けて絶縁層３を形成し、前記絶縁層３の上に、コイル層
４、および絶縁層５を成膜する。Further, an insulating layer 3 is formed on the upper surface of the nonmagnetic conductive layer 7 and the upper surface of the lower core layer 1 on the rear side of the nonmagnetic conductive layer 7, and the coil layer 4 is formed on the insulating layer 3. , And the insulating layer 5 are formed.
【００４９】そして、前記レジスト層を除去し、前記レ
ジスト層を除去した部分に、ギャップ層２を形成し、さ
らに前記ギャップ層２上から絶縁層５上面にかけて上部
コア層６を形成する。Then, the resist layer is removed, a gap layer 2 is formed in the portion where the resist layer is removed, and an upper core layer 6 is formed from the gap layer 2 to the upper surface of the insulating layer 5.
【００５０】以上のように、下部コア層１上面から上部
コア層６の裏面にかけて前記非磁性導電層７が形成され
ることで、裏側から漏れる記録磁界を抑え込むことがで
き、漏れ磁界強度をより強くすることが可能になる。As described above, by forming the non-magnetic conductive layer 7 from the upper surface of the lower core layer 1 to the rear surface of the upper core layer 6, it is possible to suppress the recording magnetic field leaking from the back side and to further increase the leakage magnetic field strength. It becomes possible to strengthen.
【００５１】本発明では、前記非磁性導電層７を構成す
る材質としてＡｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｔを提示することが
できる。ただし本発明では、これらの材質に限定するも
のではなく、非磁性の導電材料でしかも比抵抗がある程
度低い材料であれば前記非磁性導電層７として使用する
ことができる。In the present invention, Au, Ag, Cu and Pt can be presented as the material for the non-magnetic conductive layer 7. However, the present invention is not limited to these materials, and any non-magnetic conductive material having a low specific resistance can be used as the non-magnetic conductive layer 7.
【００５２】本発明では、下部コア層１の上面から上部
コア層６の両側面にかけて非磁性導電層７を成膜し、前
記非磁性導電層７の膜厚Ｔ1を、少なくともその記録周
波数における表皮厚さ以上で形成しているので、トラッ
ク幅Ｔｗから滲み出る漏れ磁界を表皮効果により抑え込
み、十分にライトフリンジングの発生を抑制することが
可能となる。In the present invention, the nonmagnetic conductive layer 7 is formed from the upper surface of the lower core layer 1 to both side surfaces of the upper core layer 6, and the film thickness T1 of the nonmagnetic conductive layer 7 is at least the skin at the recording frequency. Since it is formed with a thickness or more, it is possible to suppress the leakage magnetic field oozing out from the track width Tw by the skin effect and sufficiently suppress the occurrence of write fringing.
【００５３】また最近では高記録密度化に対応するため
に、トラック幅Ｔｗを小さくすると同時に、記録周波数
を高める傾向にあるが、特に本発明では、高周波数帯域
になるほど、表皮厚さを薄くすることができるので、よ
りライトフリンジング量を小さくすることが可能とな
る。Recently, in order to cope with the increase in recording density, the track width Tw tends to be made smaller and the recording frequency tends to be made higher at the same time. In particular, in the present invention, the skin thickness becomes thinner as the frequency becomes higher. Therefore, the amount of light fringing can be further reduced.
【００５４】また前述したように、トラック幅Ｔｗから
滲み出る漏れ磁界を表皮効果により抑え込んでいるの
で、漏れ磁界強度の低下を極力抑えることが可能であ
る。Further, as described above, since the leakage magnetic field oozing out from the track width Tw is suppressed by the skin effect, it is possible to suppress the reduction of the leakage magnetic field strength as much as possible.
【００５５】さらに本発明では、下部コア層１上面から
上部コア層６の裏面にかけて非磁性導電層７を成膜して
もよく、裏側に非磁性導電層７を成膜することで、より
漏れ磁界強度を強めることが可能になる。Further, in the present invention, the non-magnetic conductive layer 7 may be formed from the upper surface of the lower core layer 1 to the back surface of the upper core layer 6, and by forming the non-magnetic conductive layer 7 on the back side, more leakage occurs. It is possible to increase the magnetic field strength.
【００５６】図３に示す薄膜磁気ヘッドは、図１に示す
薄膜磁気ヘッドと比較すると、下部コア層１の形状が異
なっているだけで、それ以外の部分の形状は全く同じと
なっている。The thin-film magnetic head shown in FIG. 3 is different from the thin-film magnetic head shown in FIG. 1 only in the shape of the lower core layer 1, but the shape of the other portions is exactly the same.
【００５７】図２に示すように下部コア層１には、ギャ
ップ層２と接する部分に、幅寸法Ｔ2を有する隆起部１
ａが形成されている。なおこの隆起部１ａは前記下部コ
ア層１と一体となって形成されていてもよいし、あるい
は前記下部コア層１の上に積層されたものであってもよ
い。As shown in FIG. 2, in the lower core layer 1, a raised portion 1 having a width dimension T2 is provided at a portion in contact with the gap layer 2.
a is formed. The raised portion 1a may be formed integrally with the lower core layer 1, or may be laminated on the lower core layer 1.
【００５８】またこの隆起部１ａの幅寸法Ｔ2は、上部
コア層６の先端部６ａおよびギャップ層２の幅寸法とほ
ぼ同じトラック幅Ｔｗ寸法で形成されている。The width T2 of the raised portion 1a is formed to have the same track width Tw as the widths of the tip portion 6a of the upper core layer 6 and the gap layer 2.
【００５９】そして、非磁性導電層７が、下部コア層１
の上面から、隆起部１ａ、ギャップ層２、および先端部
６ａの両側面、および前記先端部６ａの上面にかけて成
膜されている。The non-magnetic conductive layer 7 is used as the lower core layer 1
From the upper surface to the side surfaces of the raised portion 1a, the gap layer 2 and the tip portion 6a, and the upper surface of the tip portion 6a.
【００６０】この非磁性導電層７の幅寸法Ｔ1は、前述
したように、０．３〜２．０μｍの範囲内で形成され、
しかも少なくとも薄膜磁気ヘッド駆動時の記録周波数に
おける表皮厚さ以上で形成されている。従って表皮効果
により、十分にライトフリンジングの発生を抑制するこ
とができる。As described above, the width T1 of the nonmagnetic conductive layer 7 is formed within the range of 0.3 to 2.0 μm.
Moreover, it is formed to have at least the skin thickness at the recording frequency when the thin film magnetic head is driven. Therefore, the occurrence of light fringing can be sufficiently suppressed by the skin effect.
【００６１】なお図３に示す薄膜磁気ヘッドでは、ほぼ
トラック幅Ｔｗと同じ幅寸法Ｔ2を有する隆起部１ａと
上部コア層６の先端部６ａとの間で漏れ磁界が発生する
ので、元々、非磁性導電層７が成膜されなくても、フリ
ンジング量は、図１に示す薄膜磁気ヘッドに比べて小さ
いものと推測されるが、図３に示すように前記非磁性導
電層７を成膜することで、よりライトフリンジング量の
小さい薄膜磁気ヘッドを製造することが可能となってい
る。In the thin film magnetic head shown in FIG. 3, a leakage magnetic field is generated between the raised portion 1a having a width dimension T2 substantially equal to the track width Tw and the tip portion 6a of the upper core layer 6, so that the leakage magnetic field is originally non- Even if the magnetic conductive layer 7 is not formed, the fringing amount is presumed to be smaller than that of the thin film magnetic head shown in FIG. 1, but the nonmagnetic conductive layer 7 is formed as shown in FIG. By doing so, it is possible to manufacture a thin film magnetic head with a smaller amount of write fringing.
【００６２】また本発明では、下部コア層１上面から隆
起部１ａ、ギャップ層２、上部コア層６の裏面に前記非
磁性導電層７を成膜してもよく、これにより、漏れ磁界
強度をより強くすることが可能になる。Further, in the present invention, the non-magnetic conductive layer 7 may be formed on the upper surface of the lower core layer 1 to the rear surface of the raised portion 1a, the gap layer 2 and the upper core layer 6, whereby the leakage magnetic field strength is increased. It becomes possible to be stronger.
【００６３】さらに本発明では、図４に示す薄膜磁気ヘ
ッドの下部コア層１の上面から上部コア層６の先端部６
ａの両側面、および前記先端部６ａの上面にかけて非磁
性導電層７を成膜してもよく、これにより、ライトフリ
ンジングの発生を抑制することが可能である。[0063] Further, in the present invention, the tip portion of the upper core layer 6 from the upper surface of the lower core layer 1 of a thin film magnetic head shown in FIG. 4 6
The non-magnetic conductive layer 7 may be formed on both side surfaces of a and the upper surface of the tip portion 6a, whereby it is possible to suppress the occurrence of write fringing.
【００６４】[0064]
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、下部コア
層の上面から上部コア層の両側面にかけて非磁性導電層
を成膜することで、トラック幅から滲み出る漏れ磁界を
表皮効果により抑え込み、ライトフリンジングの発生を
抑制することが可能となり、同時に漏れ磁界強度の低下
を極力抑えることができる。According to the present invention described in detail above, by forming a nonmagnetic conductive layer from the upper surface of the lower core layer to both side surfaces of the upper core layer, the leakage magnetic field oozing out from the track width is caused by the skin effect. It is possible to suppress the occurrence of light fringing and suppress the decrease of the leakage magnetic field strength as much as possible.
【００６５】特に本発明では、よりライトフリンジング
の発生を抑制するために、表皮厚さを薄くすることが好
ましく、そのために、前記非磁性導電層として、できる
限り比抵抗の低い非磁性導電材料を使用し、しかも記録
周波数を高くすることが好ましい。In particular, in the present invention, in order to further suppress the occurrence of write fringing, it is preferable to reduce the skin thickness. Therefore, as the nonmagnetic conductive layer, a nonmagnetic conductive material having a resistivity as low as possible is used. It is preferable to use a recording medium and to increase the recording frequency.
【００６６】また本発明では、下部コア層上面から上部
コア層の裏面にかけて前記非磁性導電層を成膜してもよ
く、これにより、より漏れ磁界強度を強めることが可能
になる。Further, in the present invention, the nonmagnetic conductive layer may be formed from the upper surface of the lower core layer to the rear surface of the upper core layer, whereby the leakage magnetic field strength can be further enhanced.
【図１】本発明の第１実施形態の薄膜磁気ヘッドの構造
を示す正面図、FIG. 1 is a front view showing the structure of a thin film magnetic head according to a first embodiment of the invention,
【図２】図１に示す薄膜磁気ヘッドの縦断面図、2 is a longitudinal sectional view of the thin film magnetic head shown in FIG.
【図３】本発明の第２実施形態の薄膜磁気ヘッドの構造
を示す正面図、FIG. 3 is a front view showing the structure of a thin film magnetic head according to a second embodiment of the invention,
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの構造を示す正面図、FIG. 4 is a front view showing the structure of a conventional thin film magnetic head,
【図５】トラック幅Ｔｗと漏れ磁界強度との関係を示す
グラフ、FIG. 5 is a graph showing the relationship between the track width Tw and the leakage magnetic field strength,
１ 下部コア層 １ａ 隆起部 ２ ギャップ層 ３、５ 絶縁層 ４ コイル層 ６ 上部コア層 ６ａ 先端部 ７ 非磁性導電層 Ｔ1 （非磁性導電層の）膜厚 1 Lower core layer 1a Raised part 2 Gap layer 3,5 insulating layer 4 coil layers 6 Upper core layer 6a Tip 7 Non-magnetic conductive layer T1 (non-magnetic conductive layer) film thickness
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/31 G11B 5/39 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 5/31 G11B 5/39
Claims (5)
を有する上部コア層との間に、非磁性材料のギャップ層
が形成され、さらに前記下部コア層及び上部コア層に記
録磁界を誘導する磁気発生手段が設けられて成る薄膜磁
気ヘッドにおいて、 前記ギャップ層が、ギャップ深さＧｄと同じ長さでかつ
上部コア層と同じ幅寸法Ｔｗで形成され、非磁性導電層
が下部コア層の上面から前記ギャップ層および上部コア
層の両側面にかけて形成され、且つこの非磁性導電層が
下部コア層の上面、ギャップ層の前記ギャップ深さ方向
の後方端面、および上部コア層の前記ギャップ深さ方向
の後方端面にも接していることを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。1. A lower core layer of magnetic material and a predetermined width Tw
A gap layer made of a non-magnetic material is formed between the gap layer and the upper core layer, and the gap generating layer is provided in the lower core layer and the upper core layer. The layer has the same length as the gap depth Gd and
Formed with the same width Tw and the upper core layer, the gap layer and the upper core nonmagnetic conductive layer from the upper surface of the lower core layer
The nonmagnetic conductive layer is formed on both side surfaces of the layer, and the nonmagnetic conductive layer is formed on the upper surface of the lower core layer, the rear end surface of the gap layer in the gap depth direction, and the rear end surface of the upper core layer in the gap depth direction. A thin film magnetic head characterized in that it is also in contact with.
接する部分に、前記幅寸法Ｔｗと同じ幅寸法Ｔ２を有す
る隆起部が設けられており、前記非磁性導電層が前記下
部コア層の上面から前記隆起部、前記ギャップ層、およ
び上部コア層の両側面にかけて形成され、且つ前記非磁
性導電層が前記下部コア層の上面、前記隆起部の前記ギ
ャップ深さ方向の後方端面、前記ギャップ層のギャップ
深さ方向の後方端面、および上部コア層のギャップ深さ
方向の後方端面にも接している請求項１に記載の薄膜磁
気ヘッド。2. The lower core layer is provided with a raised portion having a width dimension T2 that is the same as the width dimension Tw at a portion in contact with the gap layer, and the non-magnetic conductive layer is provided on the lower portion.
From the upper surface of the core layer to the ridge, the gap layer, and
And the non-magnetic conductive layer formed on both side surfaces of the upper core layer, the non-magnetic conductive layer is the upper surface of the lower core layer, the rear end surface of the ridge in the gap depth direction, the rear end surface of the gap layer in the gap depth direction, and thin film magnetic head according to claim 1 to the rear end surface of the gap depth direction of the upper core layer that in contact.
２．０μｍの範囲内である請求項１または２に記載の薄
膜磁気ヘッド。3. The non-magnetic conductive layer has a thickness of 0.3 to
Thin-film magnetic head according to claim 1 or 2 in the range of 2.0 .mu.m.
薄膜磁気ヘッド駆動時の記録周波数における表皮厚さＳ
以上で形成されている請求項３記載の薄膜磁気ヘッド。4. The film thickness of the non-magnetic conductive layer is at least a skin thickness S at a recording frequency when a thin film magnetic head is driven.
The thin film magnetic head according to claim 3, which is formed as described above.
ｕ，Ｐｔのいずれか１種または２種以上の元素により形
成されている請求項１ないし請求項４のいずれかに記載
の薄膜磁気ヘッド。5. The non-magnetic conductive layer is Au, Ag, C
u, any one or claims is formed by two or more elements 1 to the thin film magnetic head according to claim 4 of Pt.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP27863097A JP3428877B2 (en) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27863097A JP3428877B2 (en) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | Thin film magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11120512A JPH11120512A (en) | 1999-04-30 |
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| Country | Link |
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|---|---|---|---|---|
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