JP3394972B2 - 自動工作機械 - Google Patents
自動工作機械Info
- Publication number
- JP3394972B2 JP3394972B2 JP04233294A JP4233294A JP3394972B2 JP 3394972 B2 JP3394972 B2 JP 3394972B2 JP 04233294 A JP04233294 A JP 04233294A JP 4233294 A JP4233294 A JP 4233294A JP 3394972 B2 JP3394972 B2 JP 3394972B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- reflector
- automatic machine
- coordinates
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】本発明は自動工作機械に係り、特
に、大型の自動工作機械の加工精度の改良に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、マシンニングセンタやＮＣ工作機
械等の自動工作機械は、Ｘ、Ｙの２軸、又はＸ、Ｙ、Ｚ
の３軸に備えた測長スケールで工具取付け軸の先端部に
取り付けられた工具の２次元又は３次元の座標を検出
し、その検出結果から工具の現在位置を確認すると共
に、確認した工具の現在位置と予め工具移動経路に従っ
て指令された指令位置とを比較補正しながら前記工具を
ワークに対して相対的に指令位置に移動させることによ
りワークを加工していく。従って、自動工作機械の加工
精度は、工具の座標を検出する測長スケールの精度が重
要になる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
自動工作機械に備えられる測長スケールの場合、測長ス
ケールが通常取り付けられる各軸の案内面の精度や、測
長スケールと案内面の材質の違いによる熱伸縮差、或い
は、各軸の静的変形や動的変形等の検出誤差要因の影響
を受け易く、工具の座標を高精度に検出することが難し
いという欠点があった。特に、大型の自動工作機械で
は、工具の位置と測長スケールとの距離が大きくなるの
で、所謂アッベの原理から外れて測長スケールでの検出
誤差が拡大し易い。 【０００４】従って、特に大型の自動工作機械の場合、
加工精度を向上させることが難しかった。本発明は、こ
のような事情に鑑みてなされたもので、各軸の案内面の
精度や材質に影響されず、大型でも高精度な加工精度を
得ることのできる自動工作機械を提供することを目的と
する。 【０００５】 【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、工具取付け軸に取付けた工具の座標を検出手
段で検出し、その検出結果から前記工具の現在位置を確
認すると共に、確認した工具の現在位置と予め工具移動
経路に従って指令された指令位置とを比較補正しながら
前記工具をワークに対して相対的に指令位置に移動させ
ることによりワークを加工していく自動工作機械に於い
て、前記検出手段は、前記工具取付け軸に取付けられた
反射体と、前記反射体を追尾して、その追尾する反射体
の移動量を測定すると共に、反射体の移動量から前記工
具の座標を検出する４基のレーザ追尾式測定装置と、か
ら成り、前記４基のレーザ追尾式測定装置で前記工具の
３次元座標を測定すると共に、前記レーザ追尾式測定装
置の基準点間距離４基の相互距離の検定を行うことを特
徴とする。 【０００６】 【作用】本発明によれば、工具の座標を検出する検出手
段を、工具取付け軸に取付けられた反射体と、前記反射
体を追尾して、その追尾する反射体の移動量を測定する
と共に、反射体の移動量から前記工具の座標を検出する
レーザ追尾式測定装置と、から構成した。これにより、
自動工作機械の各軸の案内面とは別のところに測定基準
が設けられるので、案内面とは無関係に工具の座標を検
出することができる。 【０００７】 【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る自動工作
機械の好ましい実施例について詳説する。図１は、本発
明の自動工作機械の一例で門型マシンニングセンタ１０
の斜視図である。 【０００８】図１に示すように、門型マシンニングセン
タ１０は、Ｘ軸方向に移動自在なＸキャリッジ１２、Ｘ
キャリッジ１２の中をＺ軸方向に移動自在な工具取付け
軸１４及び基台１６上を前後方向、即ちＹ軸方向にスラ
イドするＹ軸テーブル１８を有すると共に、工具取付け
軸１４の先端部に工具１４Ａが取付けられる。そして、
制御部１５からの工具移動経路を指令する指令情報に従
ってサーボモータ等の図示しない駆動手段がＸキャリッ
ジ１２、Ｙ軸テーブル１８及び工具取付け軸１４を図中
Ｘ−Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向、Ｚ−Ｚ方向に駆動して工具１
４Ａを移動させると共に、工具１４Ａの座標が後記する
検出手段により検出されて制御部１５に逐次フィードバ
ックされる。 【０００９】次に、工具１４Ａの座標を検出する検出手
段について説明する。検出手段は、主として工具取付け
軸１４に取付けられた反射体２４と、反射体２４を追尾
して、その追尾する反射体２４の移動量を測定すると共
に、反射体２４の移動量データから工具１４Ａの座標を
検出するレーザ追尾式の測定装置２０とで構成される。
また、レーザ追尾式の測定装置２０はＹ軸テーブル１８
の後端に設けられ、測定装置２０はその前面４隅に追尾
式レーザ干渉計２２、２２…が図示しない回転支持機構
を介して夫々設けられる。この回転支持機構により反射
レーザ光を追尾できるようになっている。一方、工具取
付け軸１４の先端部近傍には、反射体２４が前記追尾式
レーザ干渉計側２２に向けて取付けられている。これに
より、工具取付け軸１４の移動と共に移動する反射体２
４に各追尾式レーザ干渉計２２からレーザ光を照射し
て、反射体２４から反射した反射レーザ光を追尾するこ
とにより反射体２４の移動量を測定する。そして、測定
された反射体２４の移動量データは、測定装置２０内の
演算処理部で演算されて反射体２４の基準点から所定距
離だけ離れた工具１４Ａのヘッド部１４ａの座標として
表されるようになっている。尚、Ｙ軸テーブル１８の移
動においては、反射体２４はＹ軸テーブル１６と共に移
動する追尾式レーザ干渉計２２に対して相対的に変位す
る。 【００１０】次に、上記の如く構成された本発明の自動
工作機械の一例である門型マシンニングセンタ１０でワ
ーク（図示せず）を加工する方法を説明する。ワークを
加工する場合、先ず、ワークをＹ軸テーブル１８の所定
位置に固定する。次に、制御部１５からの工具移動経路
を指令する指令情報に従ってＸキャリッジ１２、Ｙ軸テ
ーブル１８及び工具取付け軸１４を駆動して工具１４Ａ
を移動させる。これにより、工具取付け軸１４に取付け
られた反射体２４も工具１４Ａの移動に伴われて移動す
るので、レーザ追尾式の測定装置２０の追尾式レーザ干
渉計２２により反射体２４を追尾して反射体２４の移動
量を測定し、測定した反射体２４の移動量データを測定
装置２０内の演算処理部で演算して工具１４Ａのヘッド
部１４ａの座標として表わす。 【００１１】次に、レーザ追尾式の測定装置２０で検出
された工具１４Ａの座標は制御部１５にフィードバック
される。制御部１５では、測定装置２０で検出された座
標から工具１４Ａの現在位置を確認すると共に、確認し
た工具１４Ａの現在位置と前記指令情報で指令された指
令位置とを比較してＸキャリッジ１２、Ｙ軸テーブル１
８及び工具取付け軸１４の駆動を補正し、工具１４Ａを
ワークに対して相対的に指令位置に移動させることによ
りワークを加工していく。これにより、工具１４Ａの移
動補正を自動的に行いながらワークを加工することがで
きる。 【００１２】次に、工具１４Ａのヘッド部１４ａの座標
を検出する検出手段を、工具取付け軸１４に取付けられ
た反射体２４と、反射体２４を追尾して、その追尾する
反射体２４の移動量を測定すると共に、反射体２４の移
動量データから工具１４Ａの座標を検出するレーザ追尾
式の測定装置２０とで構成したことによる作用効果を説
明する。 【００１３】上記のように検出手段を構成したので、前
述したワークの加工方法から分かるように、門型マシン
ニングセンタ１０のＸ、Ｙ、Ｚの各軸の案内面とは無関
係に工具１４Ａの座標を検出することができる。これに
より、従来の門型マシンニングセンタの検出手段である
測長スケールのように案内面の精度や材質に影響を受け
ることがないと共に、各軸の静的な構造や移動に伴う動
的変形にも影響されることがなく、更には、測定基準が
レーザであり、レーザは測長スケールの精度検定に用い
られるものであるから、測長スケールに比べて測長精度
そのものを向上させることができる。また、追尾式レー
ザ干渉計２２で反射体２４を追尾する方式は、広い範囲
に渡って精度良く反射体の移動量を測定でき、工具１４
Ａの座標の検出精度が良くなる。従って、工具１４Ａの
座標を検出する検出精度を向上させることができるの
で、門型マシンニングセンタ１０の加工精度を向上で
き、特に大型の門型マシンニングセンタ１０でも高精度
の加工精度を得ることができる。 【００１４】尚、本実施例では、３次元の自動工作機械
の例で説明したが、２次元の自動工作機械にも適用で
き、この場合は図２に示すように、レーザ追尾式の測定
装置２０を門型マシンニングセンタ１０を設置する床に
固定することによって、Ｘキャリッジ１２と工具取付け
軸１４の座標を検出する。また、３基の追尾式レーザ干
渉計２２があれば反射体２４の移動量を測定することは
可能であるが、本実施例のように４基の追尾式レーザ干
渉計２２を使用すれば、追尾式レーザ干渉計２２の基準
点間距離４基の相互距離の検定を行うことができると共
に、１基の追尾式レーザ干渉計２２と反射体２４の間の
光路に障害物があっても測定を行うことができる。ま
た、本発明の自動工作機械は、門型マシンニングセンタ
１０に限定されることはなく、縦型或いは横型のマシン
ニングセンタにも適用することができる。更には、自動
工作機械でも特に２軸以上の直線運動または円弧運動
（回転運動は除く）する構造のものに適用することがで
きる。また、工具取付け軸１４に固定する反射体の数は
１個に限定するものではない。 【００１５】 【発明の効果】以上説明したように、本発明の自動工作
機械によれば、工具の座標を検出する検出手段を、工具
取付け軸に取付けられた反射体と、前記反射体を追尾し
て、その追尾する反射体の移動量を測定すると共に、反
射体の移動量から前記工具の座標を検出するレーザ追尾
式の測定装置と、から構成したので、自動工作機械の各
軸の案内面とは無関係に工具の座標を検出できる。 【００１６】これにより、従来の自動工作機械の検出手
段である測長スケールのように案内面の精度や材質に影
響を受けることがないと共に、各軸の静的な構造や移動
に伴う動的変形にも影響されることがなく、更には、測
長スケールに比べて測長精度そのものを向上させること
ができる。また、レーザ追尾式の場合、広い範囲に渡っ
て精度良く工具の座標を検出できる。 【００１７】従って、工具の座標を検出する検出精度を
向上させることができるので、自動工作機械の加工精度
を向上でき、特に大型の自動工作機械でも高精度の加工
精度を得ることができる。また、４基のレーザ追尾式測
定装置を使用するので、レーザ追尾式測定装置の基準点
間距離４基の相互距離の検定を行うことができると共
に、１基のレーザ追尾式測定装置と反射体の間の光路に
障害物があっても測定を行うことができる。
に、大型の自動工作機械の加工精度の改良に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、マシンニングセンタやＮＣ工作機
械等の自動工作機械は、Ｘ、Ｙの２軸、又はＸ、Ｙ、Ｚ
の３軸に備えた測長スケールで工具取付け軸の先端部に
取り付けられた工具の２次元又は３次元の座標を検出
し、その検出結果から工具の現在位置を確認すると共
に、確認した工具の現在位置と予め工具移動経路に従っ
て指令された指令位置とを比較補正しながら前記工具を
ワークに対して相対的に指令位置に移動させることによ
りワークを加工していく。従って、自動工作機械の加工
精度は、工具の座標を検出する測長スケールの精度が重
要になる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
自動工作機械に備えられる測長スケールの場合、測長ス
ケールが通常取り付けられる各軸の案内面の精度や、測
長スケールと案内面の材質の違いによる熱伸縮差、或い
は、各軸の静的変形や動的変形等の検出誤差要因の影響
を受け易く、工具の座標を高精度に検出することが難し
いという欠点があった。特に、大型の自動工作機械で
は、工具の位置と測長スケールとの距離が大きくなるの
で、所謂アッベの原理から外れて測長スケールでの検出
誤差が拡大し易い。 【０００４】従って、特に大型の自動工作機械の場合、
加工精度を向上させることが難しかった。本発明は、こ
のような事情に鑑みてなされたもので、各軸の案内面の
精度や材質に影響されず、大型でも高精度な加工精度を
得ることのできる自動工作機械を提供することを目的と
する。 【０００５】 【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、工具取付け軸に取付けた工具の座標を検出手
段で検出し、その検出結果から前記工具の現在位置を確
認すると共に、確認した工具の現在位置と予め工具移動
経路に従って指令された指令位置とを比較補正しながら
前記工具をワークに対して相対的に指令位置に移動させ
ることによりワークを加工していく自動工作機械に於い
て、前記検出手段は、前記工具取付け軸に取付けられた
反射体と、前記反射体を追尾して、その追尾する反射体
の移動量を測定すると共に、反射体の移動量から前記工
具の座標を検出する４基のレーザ追尾式測定装置と、か
ら成り、前記４基のレーザ追尾式測定装置で前記工具の
３次元座標を測定すると共に、前記レーザ追尾式測定装
置の基準点間距離４基の相互距離の検定を行うことを特
徴とする。 【０００６】 【作用】本発明によれば、工具の座標を検出する検出手
段を、工具取付け軸に取付けられた反射体と、前記反射
体を追尾して、その追尾する反射体の移動量を測定する
と共に、反射体の移動量から前記工具の座標を検出する
レーザ追尾式測定装置と、から構成した。これにより、
自動工作機械の各軸の案内面とは別のところに測定基準
が設けられるので、案内面とは無関係に工具の座標を検
出することができる。 【０００７】 【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る自動工作
機械の好ましい実施例について詳説する。図１は、本発
明の自動工作機械の一例で門型マシンニングセンタ１０
の斜視図である。 【０００８】図１に示すように、門型マシンニングセン
タ１０は、Ｘ軸方向に移動自在なＸキャリッジ１２、Ｘ
キャリッジ１２の中をＺ軸方向に移動自在な工具取付け
軸１４及び基台１６上を前後方向、即ちＹ軸方向にスラ
イドするＹ軸テーブル１８を有すると共に、工具取付け
軸１４の先端部に工具１４Ａが取付けられる。そして、
制御部１５からの工具移動経路を指令する指令情報に従
ってサーボモータ等の図示しない駆動手段がＸキャリッ
ジ１２、Ｙ軸テーブル１８及び工具取付け軸１４を図中
Ｘ−Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向、Ｚ−Ｚ方向に駆動して工具１
４Ａを移動させると共に、工具１４Ａの座標が後記する
検出手段により検出されて制御部１５に逐次フィードバ
ックされる。 【０００９】次に、工具１４Ａの座標を検出する検出手
段について説明する。検出手段は、主として工具取付け
軸１４に取付けられた反射体２４と、反射体２４を追尾
して、その追尾する反射体２４の移動量を測定すると共
に、反射体２４の移動量データから工具１４Ａの座標を
検出するレーザ追尾式の測定装置２０とで構成される。
また、レーザ追尾式の測定装置２０はＹ軸テーブル１８
の後端に設けられ、測定装置２０はその前面４隅に追尾
式レーザ干渉計２２、２２…が図示しない回転支持機構
を介して夫々設けられる。この回転支持機構により反射
レーザ光を追尾できるようになっている。一方、工具取
付け軸１４の先端部近傍には、反射体２４が前記追尾式
レーザ干渉計側２２に向けて取付けられている。これに
より、工具取付け軸１４の移動と共に移動する反射体２
４に各追尾式レーザ干渉計２２からレーザ光を照射し
て、反射体２４から反射した反射レーザ光を追尾するこ
とにより反射体２４の移動量を測定する。そして、測定
された反射体２４の移動量データは、測定装置２０内の
演算処理部で演算されて反射体２４の基準点から所定距
離だけ離れた工具１４Ａのヘッド部１４ａの座標として
表されるようになっている。尚、Ｙ軸テーブル１８の移
動においては、反射体２４はＹ軸テーブル１６と共に移
動する追尾式レーザ干渉計２２に対して相対的に変位す
る。 【００１０】次に、上記の如く構成された本発明の自動
工作機械の一例である門型マシンニングセンタ１０でワ
ーク（図示せず）を加工する方法を説明する。ワークを
加工する場合、先ず、ワークをＹ軸テーブル１８の所定
位置に固定する。次に、制御部１５からの工具移動経路
を指令する指令情報に従ってＸキャリッジ１２、Ｙ軸テ
ーブル１８及び工具取付け軸１４を駆動して工具１４Ａ
を移動させる。これにより、工具取付け軸１４に取付け
られた反射体２４も工具１４Ａの移動に伴われて移動す
るので、レーザ追尾式の測定装置２０の追尾式レーザ干
渉計２２により反射体２４を追尾して反射体２４の移動
量を測定し、測定した反射体２４の移動量データを測定
装置２０内の演算処理部で演算して工具１４Ａのヘッド
部１４ａの座標として表わす。 【００１１】次に、レーザ追尾式の測定装置２０で検出
された工具１４Ａの座標は制御部１５にフィードバック
される。制御部１５では、測定装置２０で検出された座
標から工具１４Ａの現在位置を確認すると共に、確認し
た工具１４Ａの現在位置と前記指令情報で指令された指
令位置とを比較してＸキャリッジ１２、Ｙ軸テーブル１
８及び工具取付け軸１４の駆動を補正し、工具１４Ａを
ワークに対して相対的に指令位置に移動させることによ
りワークを加工していく。これにより、工具１４Ａの移
動補正を自動的に行いながらワークを加工することがで
きる。 【００１２】次に、工具１４Ａのヘッド部１４ａの座標
を検出する検出手段を、工具取付け軸１４に取付けられ
た反射体２４と、反射体２４を追尾して、その追尾する
反射体２４の移動量を測定すると共に、反射体２４の移
動量データから工具１４Ａの座標を検出するレーザ追尾
式の測定装置２０とで構成したことによる作用効果を説
明する。 【００１３】上記のように検出手段を構成したので、前
述したワークの加工方法から分かるように、門型マシン
ニングセンタ１０のＸ、Ｙ、Ｚの各軸の案内面とは無関
係に工具１４Ａの座標を検出することができる。これに
より、従来の門型マシンニングセンタの検出手段である
測長スケールのように案内面の精度や材質に影響を受け
ることがないと共に、各軸の静的な構造や移動に伴う動
的変形にも影響されることがなく、更には、測定基準が
レーザであり、レーザは測長スケールの精度検定に用い
られるものであるから、測長スケールに比べて測長精度
そのものを向上させることができる。また、追尾式レー
ザ干渉計２２で反射体２４を追尾する方式は、広い範囲
に渡って精度良く反射体の移動量を測定でき、工具１４
Ａの座標の検出精度が良くなる。従って、工具１４Ａの
座標を検出する検出精度を向上させることができるの
で、門型マシンニングセンタ１０の加工精度を向上で
き、特に大型の門型マシンニングセンタ１０でも高精度
の加工精度を得ることができる。 【００１４】尚、本実施例では、３次元の自動工作機械
の例で説明したが、２次元の自動工作機械にも適用で
き、この場合は図２に示すように、レーザ追尾式の測定
装置２０を門型マシンニングセンタ１０を設置する床に
固定することによって、Ｘキャリッジ１２と工具取付け
軸１４の座標を検出する。また、３基の追尾式レーザ干
渉計２２があれば反射体２４の移動量を測定することは
可能であるが、本実施例のように４基の追尾式レーザ干
渉計２２を使用すれば、追尾式レーザ干渉計２２の基準
点間距離４基の相互距離の検定を行うことができると共
に、１基の追尾式レーザ干渉計２２と反射体２４の間の
光路に障害物があっても測定を行うことができる。ま
た、本発明の自動工作機械は、門型マシンニングセンタ
１０に限定されることはなく、縦型或いは横型のマシン
ニングセンタにも適用することができる。更には、自動
工作機械でも特に２軸以上の直線運動または円弧運動
（回転運動は除く）する構造のものに適用することがで
きる。また、工具取付け軸１４に固定する反射体の数は
１個に限定するものではない。 【００１５】 【発明の効果】以上説明したように、本発明の自動工作
機械によれば、工具の座標を検出する検出手段を、工具
取付け軸に取付けられた反射体と、前記反射体を追尾し
て、その追尾する反射体の移動量を測定すると共に、反
射体の移動量から前記工具の座標を検出するレーザ追尾
式の測定装置と、から構成したので、自動工作機械の各
軸の案内面とは無関係に工具の座標を検出できる。 【００１６】これにより、従来の自動工作機械の検出手
段である測長スケールのように案内面の精度や材質に影
響を受けることがないと共に、各軸の静的な構造や移動
に伴う動的変形にも影響されることがなく、更には、測
長スケールに比べて測長精度そのものを向上させること
ができる。また、レーザ追尾式の場合、広い範囲に渡っ
て精度良く工具の座標を検出できる。 【００１７】従って、工具の座標を検出する検出精度を
向上させることができるので、自動工作機械の加工精度
を向上でき、特に大型の自動工作機械でも高精度の加工
精度を得ることができる。また、４基のレーザ追尾式測
定装置を使用するので、レーザ追尾式測定装置の基準点
間距離４基の相互距離の検定を行うことができると共
に、１基のレーザ追尾式測定装置と反射体の間の光路に
障害物があっても測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の自動工作機械の門型マシンニ
ングセンタの一例で、測定装置をＹ軸テーブル上に配置
した斜視図 【図２】図２は、本発明の自動工作機械の門型マシンニ
ングセンタの一例で、測定装置を床上に配置した斜視図 【符号の説明】 １０…門型マシンニングセンタ １２…Ｘキャリッジ １４…工具取付け軸 １４Ａ…工具 １５…制御部 １６…基台 １８…Ｙ軸テーブル ２０…測定装置 ２２…追尾式レーザ干渉計 ２４…反射体
ングセンタの一例で、測定装置をＹ軸テーブル上に配置
した斜視図 【図２】図２は、本発明の自動工作機械の門型マシンニ
ングセンタの一例で、測定装置を床上に配置した斜視図 【符号の説明】 １０…門型マシンニングセンタ １２…Ｘキャリッジ １４…工具取付け軸 １４Ａ…工具 １５…制御部 １６…基台 １８…Ｙ軸テーブル ２０…測定装置 ２２…追尾式レーザ干渉計 ２４…反射体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 後藤 充夫
茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業
技術院 計量研究所内
(72)発明者 中村 収
茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業
技術院 計量研究所内
(72)発明者 谷村 吉久
茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業
技術院 計量研究所内
(72)発明者 辻 幹男
東京都三鷹市下連雀九丁目７番１号 株
式会社東京精密内
(56)参考文献 特開 平２−249909（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−119120（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−239209（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−239217（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B23Q 17/00 - 23/00
G01B 9/02
G01B 11/00 - 11/30
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 工具取付け軸に取付けた工具の座標を検
出手段で検出し、その検出結果から前記工具の現在位置
を確認すると共に、確認した工具の現在位置と予め工具
移動経路に従って指令された指令位置とを比較補正しな
がら前記工具をワークに対して相対的に指令位置に移動
させることによりワークを加工していく自動工作機械に
於いて、 前記検出手段は、 前記工具取付け軸に取付けられた反射体と、 前記反射体を追尾して、その追尾する反射体の移動量を
測定すると共に、反射体の移動量から前記工具の座標を
検出する４基のレーザ追尾式測定装置と、から成り、 前記４基のレーザ追尾式測定装置で前記工具の３次元座
標を測定すると共に、前記レーザ追尾式測定装置の基準
点間距離４基の相互距離の検定を行う ことを特徴とする
自動工作機械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04233294A JP3394972B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 自動工作機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04233294A JP3394972B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 自動工作機械 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07246547A JPH07246547A (ja) | 1995-09-26 |
| JP3394972B2 true JP3394972B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=12633060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04233294A Expired - Lifetime JP3394972B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 自動工作機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3394972B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102056493B1 (ko) * | 2012-12-04 | 2019-12-16 | 두산공작기계 주식회사 | 정적 처짐에 의한 공작기계의 위치 오차 보정장치 및 보정방법 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5541713B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-07-09 | キヤノン株式会社 | レーザ干渉測長器、それを用いた加工装置および部品の製造方法 |
| CN102062575B (zh) * | 2010-11-10 | 2012-07-04 | 西安交通大学 | 基于激光多路分时测量的数控机床几何精度检测方法 |
| JP5745646B2 (ja) * | 2011-11-30 | 2015-07-08 | 株式会社牧野フライス製作所 | 誤差測定方法及び工作機械 |
| TWI786221B (zh) * | 2017-12-22 | 2022-12-11 | 瑞士商謹觀股份公司 | 具有用於工具夾具及工件夾具間之三維對齊的光學測量裝置的工具機 |
| WO2019123057A1 (fr) * | 2017-12-22 | 2019-06-27 | Watch Out Sa | Cible tridimensionnelle avec double structure, dispositif et procédé de mesure optique avec une telle cible |
| CH714501B1 (fr) * | 2017-12-22 | 2024-01-31 | Watchoutcorp Sa | Cible tridimensionnelle avec double structure, dispositif et procédé de mesure optique avec une telle cible. |
| CH714503A1 (fr) * | 2017-12-22 | 2019-06-28 | Watch Out Sa | Machine-outil avec un dispositif de mesure optique pour le repérage tridimensionnel entre le porte-outil et le support de pièce. |
| CH716246A1 (fr) * | 2019-06-03 | 2020-12-15 | Watch Out Sa | Module d'usinage et machine-outil comprenant une unité de suivi de l'usure de l'outil, et procédés de détection de la position, du profil et de l'usure de l'outil. |
-
1994
- 1994-03-14 JP JP04233294A patent/JP3394972B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102056493B1 (ko) * | 2012-12-04 | 2019-12-16 | 두산공작기계 주식회사 | 정적 처짐에 의한 공작기계의 위치 오차 보정장치 및 보정방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07246547A (ja) | 1995-09-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10209107B2 (en) | Geometric error identification method of multi-axis machine tool and multi-axis machine tool | |
| US5467289A (en) | Method of and an apparatus for measuring surface contour | |
| KR101906942B1 (ko) | 공구 중심점에 있는 보정 레이저 헤드를 사용하는 좌표 측정 기계의 보정 방법 | |
| US6973738B2 (en) | Measuring method and device, machine tool having such device, and work processing method | |
| JP2018106604A (ja) | 工作機械の計測校正補償システム及び方法 | |
| CN101352817A (zh) | 测量机床中位置检测误差的方法 | |
| JPS5916202B2 (ja) | 干渉縞による測定および位置決め装置 | |
| CN109318059A (zh) | 数控机床平动轴几何误差的检定装置和方法 | |
| JP4571256B2 (ja) | 逐次２点法による形状精度測定装置および逐次２点法による形状精度測定用レーザ変位計間隔測定方法 | |
| JP3394972B2 (ja) | 自動工作機械 | |
| CN108801146A (zh) | 一种机床五自由度误差测量装置及误差模型建立方法 | |
| US4714344A (en) | Laser apparatus for monitoring geometric errors | |
| JP2001518606A (ja) | ２つの対象物の位置を検出するための装置 | |
| JP6747151B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計による位置決め機械の検査方法及び装置 | |
| JPH038683B2 (ja) | ||
| CN208720994U (zh) | 一种机床五自由度误差测量装置 | |
| JP6830997B1 (ja) | 多軸加工装置及びその補償方法 | |
| JP2755346B2 (ja) | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 | |
| US6351313B1 (en) | Device for detecting the position of two bodies | |
| JP2858926B2 (ja) | 機械の静的精度計測用のマスター計測装置 | |
| JPH0123041B2 (ja) | ||
| JPH04140691A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2539097B2 (ja) | 加工誤差補正方法及び工作機械 | |
| JP7448895B2 (ja) | 送り装置 | |
| EP2754992A1 (en) | Optical profilometer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090207 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130207 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140207 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |