JP3393231B2 - Inspection method and inspection device for liquid crystal display panel - Google Patents
Inspection method and inspection device for liquid crystal display panelInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルに
発生する特定の構造欠陥の有無を調べる検査方法および
検査装置に関する。なお、検査対象の液晶表示パネルと
しては、例えば、画素電極の電荷保持動作を安定化する
ための補助容量(Cs)を設けた、いわゆるCs−on
−common構造のアクティブマトリクス基板を用い
るものとされる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal display panel for a specific structural defect. The liquid crystal display panel to be inspected is, for example, a so-called Cs-on provided with an auxiliary capacitance (Cs) for stabilizing the charge retention operation of the pixel electrode.
An active matrix substrate having a -common structure is used.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルは、図示しないが、通
常、二枚の基板を所要間隔の空間を隔てて平行に対向配
置して、この空間に液晶を介在した構造になっている。
この二枚の基板のうちの一方の基板はアクティブマトリ
クス基板、また、他方の基板は対向基板と呼ばれる。な
お、場合によっては対向基板にRGBまたはYMCの三
色カラーフィルタが設けられることがある。2. Description of the Related Art Although not shown, a liquid crystal display panel usually has a structure in which two substrates are arranged in parallel and opposed to each other with a space of a required interval, and liquid crystal is interposed in this space.
One of the two substrates is called an active matrix substrate, and the other substrate is called a counter substrate. In some cases, RGB or YMC three color filters may be provided on the counter substrate.
【0003】例えば、Cs−on−common構造の
アクティブマトリクス基板を用いる液晶表示パネルの一
般的な回路構成を、図5に模式的に示す。For example, FIG. 5 schematically shows a general circuit configuration of a liquid crystal display panel using an active matrix substrate having a Cs-on-common structure.
【0004】図5は、一般的な液晶表示パネルの構成を
示す回路図である。図中、1は行方向に配列される複数
の走査線としてのゲートバスライン、2は列方向に配列
される複数の信号線としてのソースバスライン、3は両
バスライン1,2のマトリクス状の交差により形成され
る矩形領域に対応して設けられる複数の画素である。画
素3は、主として画素電極4と薄膜トランジスタ(TF
T)などのスイッチング素子5とで構成されるが、ここ
では補助容量6も付設した構成としている。FIG. 5 is a circuit diagram showing the structure of a general liquid crystal display panel. In the figure, 1 is a gate bus line as a plurality of scanning lines arranged in the row direction, 2 is a source bus line as a plurality of signal lines arranged in the column direction, 3 is a matrix of both bus lines 1 and 2. And a plurality of pixels provided corresponding to a rectangular area formed by the intersection of. The pixel 3 mainly includes a pixel electrode 4 and a thin film transistor (TF).
T) and other switching elements 5, but the auxiliary capacitor 6 is also attached here.
【0005】7はゲートバスライン1に平行に配線され
る補助容量バスライン、8はコモンの対向電極、1aは
ゲートバスライン1の引出端子、2aはソースバスライ
ン2の引出端子である。スイッチング素子5のゲート電
極がゲートバスライン1に、スイッチング素子5のソー
ス電極がソースバスライン2に、スイッチング素子5の
ドレイン電極が画素電極4にそれぞれ接続される。補助
容量6は、スイッチング素子5のドレイン電極と、補助
容量バスライン7とに接続されている。Reference numeral 7 is an auxiliary capacitance bus line wired in parallel with the gate bus line 1, 8 is a common counter electrode, 1a is a lead terminal of the gate bus line 1, and 2a is a lead terminal of the source bus line 2. The gate electrode of the switching element 5 is connected to the gate bus line 1, the source electrode of the switching element 5 is connected to the source bus line 2, and the drain electrode of the switching element 5 is connected to the pixel electrode 4. The auxiliary capacitance 6 is connected to the drain electrode of the switching element 5 and the auxiliary capacitance bus line 7.
【0006】上記ゲートバスライン1、ソースバスライ
ン2、画素3、補助容量バスライン7がアクティブマト
リクス基板側に、また、上記対向電極8が対向基板側
に、それぞれ設けられる。The gate bus line 1, the source bus line 2, the pixel 3, and the auxiliary capacitance bus line 7 are provided on the active matrix substrate side, and the counter electrode 8 is provided on the counter substrate side.
【0007】このような液晶表示パネルでは、製造処理
が原因となる構造欠陥(下記〜など)が発生してい
ることがある。構造欠陥は、画素電極4とスイッチン
グ素子5との間の断線、構造欠陥は、画素電極4と補
助容量バスライン7との間の短絡、構造欠陥は、画素
電極4と対向電極8との間の短絡である。In such a liquid crystal display panel, structural defects (described below, etc.) caused by the manufacturing process may occur. The structural defect is a disconnection between the pixel electrode 4 and the switching element 5, the structural defect is a short circuit between the pixel electrode 4 and the auxiliary capacitance bus line 7, and the structural defect is between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8. Is a short circuit.
【0008】ちなみに、液晶表示パネルが例えば現在の
主流であるノーマリホワイトモードの場合、上記構造欠
陥〜がなく正常であるとき、通常の駆動信号を供給
すると、各画素3の液晶が光を透過しない状態つまり黒
点表示になる。一方、上記構造欠陥〜のいずれかが
あるときは、いずれも、画素電極4に対して適正な電圧
印加ができなくなるので、構造欠陥の画素3に対応する
領域の液晶が駆動されずに光を透過する状態のままつま
り輝点表示になる。つまり、表示品位が低下することに
なる。By the way, in the case where the liquid crystal display panel is in the normally white mode which is the current mainstream, and when the above structure defect is normal and normal, a liquid crystal of each pixel 3 transmits light when a normal drive signal is supplied. Not displayed, that is, black dots are displayed. On the other hand, when any one of the above structural defects is present, the appropriate voltage cannot be applied to the pixel electrode 4, so that the liquid crystal in the region corresponding to the pixel 3 having the structural defect is not driven and light is emitted. In other words, it remains in the transparent state, that is, the bright spot is displayed. That is, the display quality is degraded.
【0009】このようなことから、液晶表示パネルで
は、製造後において表示不良の有無を検査するようにな
っている。この検査では、実際に点灯して、各画素3の
表示状態を調べるのである。For this reason, liquid crystal display panels are inspected for display defects after manufacturing. In this inspection, the display state of each pixel 3 is checked by actually turning on the light.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】上記従来のような点灯
検査では、正常な画素3と構造欠陥のある画素3との区
別はできるものの、上記構造欠陥〜を区別すること
ができない。これらの構造欠陥〜が存在する液晶表
示パネルをそのまま不良品として取り扱うと、歩留まり
が著しく低下するなど、製品コストの高騰を余儀なくさ
れる。In the above-described conventional lighting inspection, the normal pixel 3 and the pixel 3 having the structural defect can be distinguished, but the structural defects 1 to 3 cannot be distinguished. If the liquid crystal display panel having these structural defects (1) to (3) is treated as a defective product as it is, the production cost is inevitably increased because the yield is remarkably reduced.
【0011】なお、前述の構造欠陥〜のうち構造欠
陥については修正ができるので、この修正を行えば歩
留まり向上に貢献できる。このため、少なくとも、構造
欠陥について識別することが必要となる。ちなみに、
構造欠陥の修正としては、例えば特開平6−1183
60号公報や特開平3−209422号公報に示される
ようなものが挙げられる。Since structural defects among the above structural defects can be repaired, this repair can contribute to the improvement of yield. Therefore, at least it is necessary to identify structural defects. By the way,
As the correction of the structural defect, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-18383
Examples thereof include those disclosed in JP-A-60 and JP-A-3-209422.
【0012】そこで、従来では、上記点灯検査を行うこ
とにより点灯不良が発生した画素3のすべてを見つけた
後、点灯不良が発生した画素3を、個別に、検査担当者
が顕微鏡を用いて目視検査することにより、構造欠陥の
種類を認識するようにしている。しかしながら、このよ
うな方法では、一枚の液晶表示パネルの検査に多大な手
間と時間を要するなど、無駄が多いことが指摘される。Therefore, conventionally, after finding all the pixels 3 in which the lighting failure has occurred by performing the above-described lighting inspection, the inspector visually checks the pixels 3 in which the lighting failure has occurred individually by using a microscope. By inspecting, the type of structural defect is recognized. However, it is pointed out that such a method is wasteful because it takes a lot of time and labor to inspect one liquid crystal display panel.
【0013】これに対して、本願出願人は、特開平6−
82836号公報に示すように、構造欠陥の有無を検査
し、見つけた構造欠陥部分を適宜に修正することを提案
している。この構造欠陥の検査は、要するに、ゲートバ
スライン、ソースバスライン、対向電極に対して、種々
な検査信号を入力し、各検査信号の入力時の表示状態
(黒点、輝点)をそれぞれ調べ、この表示状態の組み合
わせでもって構造欠陥の種類を区別するようにしてい
る。このような従来例では、上記構造欠陥〜を区別
できるものの、検査内容に手間がかかるとともに、検査
装置としては回路構成が複雑になることが指摘される。On the other hand, the applicant of the present invention has disclosed that Japanese Patent Laid-Open No. 6-
As disclosed in Japanese Patent No. 82836, it is proposed that the presence or absence of a structural defect be inspected and the found structural defect portion be appropriately corrected. The inspection of this structural defect is, in short, inputting various inspection signals to the gate bus line, the source bus line, and the counter electrode, and checking the display states (black spots, bright spots) at the time of inputting each inspection signal, The types of structural defects are distinguished by the combination of the display states. In such a conventional example, although it is possible to distinguish the structural defects 1 to 3, it is pointed out that the inspection content is troublesome and the circuit configuration becomes complicated as an inspection device.
【0014】したがって、本発明は、液晶表示パネルに
発生する種々な構造欠陥のうち、少なくとも修正可能な
構造欠陥つまり画素電極と対向電極との間の短絡という
構造欠陥の存在する画素を簡単かつ迅速に認識できる検
査方法の提供を目的としている。また、本発明は、液晶
表示パネルに発生する種々な構造欠陥のうち、少なくと
も修正可能な構造欠陥つまり画素電極と対向電極との短
絡という構造欠陥の存在する画素を、簡易な構成で簡単
かつ迅速に認識できる検査装置の提供を目的としてい
る。Therefore, according to the present invention, among various structural defects occurring in a liquid crystal display panel, a pixel having at least a repairable structural defect, that is, a pixel having a structural defect such as a short circuit between a pixel electrode and a counter electrode, can be simply and quickly. The purpose is to provide an inspection method that can be recognized by In addition, the present invention provides a simple and quick structure of a pixel having at least a repairable structural defect, that is, a pixel having a structural defect of a short circuit between a pixel electrode and a counter electrode, among various structural defects occurring in a liquid crystal display panel. The purpose is to provide an inspection device that can be recognized by the public.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】請求項1の検査方法は、
二枚の基板を所要間隔の空間を隔てて平行に対向配置す
るとともに該空間に液晶を介在した構造で、かつ一方基
板には走査線および信号線がマトリクス状に配設されて
いるとともに、両線の交差により生じる矩形領域に対応
して画素電極、スイッチング素子および補助容量が各々
設けられており、他方基板には前記全画素電極に対向す
るコモンの対向電極が設けられている液晶表示パネルの
検査方法であって、走査線および信号線にスイッチング
素子駆動用の信号を、また、対向電極および補助容量に
対して対向電極と画素電極との間に液晶駆動に十分な電
位差を生じさせるように互いに異なる信号をそれぞれ供
給して、そのときの各画素の表示状態を調べることによ
り画素電極と対向電極との間の短絡という構造欠陥の存
在する画素を認識する。The inspection method according to claim 1 is
The two substrates are arranged parallel to each other with a space of a required space therebetween, and the liquid crystal is interposed in the space, and the scanning lines and the signal lines are arranged in a matrix on one substrate, and both substrates are arranged. A pixel electrode, a switching element and an auxiliary capacitor are provided respectively corresponding to a rectangular area generated by the intersection of lines, and a common counter electrode facing all the pixel electrodes is provided on the other substrate of a liquid crystal display panel. An inspection method, wherein a signal for driving a switching element is generated on a scanning line and a signal line, and a potential difference sufficient for liquid crystal driving is generated between a counter electrode and an auxiliary capacitor between a counter electrode and a pixel electrode. By supplying different signals to each other and checking the display state of each pixel at that time, the pixel having the structural defect of short circuit between the pixel electrode and the counter electrode is recognized. That.
【0016】請求項2の検査方法は、二枚の基板を所要
間隔の空間を隔てて平行に対向配置するとともに該空間
に液晶を介在した構造で、かつ一方基板には走査線およ
び信号線がマトリクス状に配設されているとともに、両
線の交差により生じる矩形領域に対応して画素電極、ス
イッチング素子および補助容量が各々設けられており、
他方基板には前記全画素電極に対向するコモンの対向電
極が設けられている液晶表示パネルの検査方法であっ
て、走査線、信号線、対向電極ならびに補助容量に対し
て、通常の液晶駆動に用いる第1駆動信号を供給して、
そのときの各画素の表示状態を調べることにより、正常
な画素を認識する第1検査工程と、前記第1駆動信号の
うち対向電極および補助容量に対する供給電圧を大側に
設定した第2駆動信号を供給して、そのときの各画素の
表示状態と第1検査処理での表示状態とを対比すること
によりスイッチング素子と画素電極との間の断線という
構造欠陥の存在する画素を認識する第2検査工程と、前
記第1駆動信号のうち対向電極に対する供給電圧を大側
に設定するとともに補助容量に対する供給電圧を接地電
圧とした第3駆動信号を供給して、そのときの各画素の
表示状態と第2検査処理での表示状態とを対比すること
により画素電極と補助容量との間の短絡という構造欠陥
の存在する画素および画素電極と対向電極との間の短絡
という構造欠陥の存在する画素をそれぞれ認識する第3
検査工程とを含む。According to a second aspect of the present invention, there is provided an inspection method in which two substrates are arranged in parallel to each other with a space of a required interval therebetween and liquid crystal is interposed in the space, and one substrate is provided with a scanning line and a signal line. In addition to being arranged in a matrix, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are respectively provided in correspondence with the rectangular area generated by the intersection of both lines,
A method for inspecting a liquid crystal display panel, wherein a common counter electrode facing all the pixel electrodes is provided on the other substrate, and a normal liquid crystal drive is performed for a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitor. Supply the first drive signal to be used,
A first inspection step for recognizing a normal pixel by checking the display state of each pixel at that time, and a second drive signal in which the supply voltage to the counter electrode and the auxiliary capacitance of the first drive signal is set to the large side And a display state of each pixel at that time is compared with a display state in the first inspection process to recognize a pixel having a structural defect such as a disconnection between the switching element and the pixel electrode. In the inspection step, the supply voltage to the counter electrode of the first drive signal is set to the high side, and the third drive signal having the supply voltage to the auxiliary capacitance as the ground voltage is supplied, and the display state of each pixel at that time By comparing the display state in the second inspection process with the display state in the second inspection process, a structural defect of a pixel having a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitor and a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode is found. Recognizing a pixel standing respectively third
And an inspection process.
【0017】請求項3の検査装置は、二枚の基板を所要
間隔の空間を隔てて平行に対向配置するとともに該空間
に液晶を介在した構造で、かつ一方基板には走査線およ
び信号線がマトリクス状に配設されているとともに、両
線の交差により生じる矩形領域に対応して画素電極、ス
イッチング素子および補助容量が各々設けられており、
他方基板には前記全画素電極に対向するコモンの対向電
極が設けられている液晶表示パネルの検査装置であっ
て、液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならび
に補助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、
各検査用端子を介して走査線および信号線にスイッチン
グ素子駆動用の信号を、また、対向電極および補助容量
に対して対向電極と画素電極との間に液晶駆動に十分な
電位差を生じさせるように互いに異なる信号をそれぞれ
供給する信号出力手段とを含む。An inspection apparatus according to a third aspect of the present invention has a structure in which two substrates are opposed to each other in parallel with a space having a required space therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and a scanning line and a signal line are provided on one substrate. In addition to being arranged in a matrix, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are respectively provided in correspondence with the rectangular area generated by the intersection of both lines,
A testing device for a liquid crystal display panel, wherein a common counter electrode facing all the pixel electrodes is provided on the other substrate, which is connected to a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitor of the liquid crystal display panel. Multiple inspection terminals,
A signal for driving a switching element is generated on the scanning line and the signal line through each inspection terminal, and a potential difference sufficient for liquid crystal driving is generated between the counter electrode and the auxiliary capacitor between the counter electrode and the pixel electrode. And signal output means for supplying different signals to each other.
【0018】請求項4の検査装置は、二枚の基板を所要
間隔の空間を隔てて平行に対向配置するとともに該空間
に液晶を介在した構造で、かつ一方基板には走査線およ
び信号線がマトリクス状に配設されているとともに、両
線の交差により生じる矩形領域に対応して画素電極、ス
イッチング素子および補助容量が各々設けられており、
他方基板には前記全画素電極に対向するコモンの対向電
極が設けられている液晶表示パネルの検査装置であっ
て、液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならび
に補助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、
各検査用端子を介して走査線および信号線にスイッチン
グ素子駆動用の信号を、また、対向電極および補助容量
に対して対向電極と画素電極との間に液晶駆動に十分な
電位差を生じさせるように互いに異なる信号をそれぞれ
供給する信号出力手段と、液晶表示パネルの表示状態を
撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した表示画像に基
づいて、画素電極と対向電極との間の短絡という構造欠
陥の存在する画素を認識する認識手段とを含む。An inspection apparatus according to a fourth aspect of the present invention has a structure in which two substrates are opposed to each other in parallel with a space having a required space therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and a scanning line and a signal line are provided on one substrate. In addition to being arranged in a matrix, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are respectively provided in correspondence with the rectangular area generated by the intersection of both lines,
A testing device for a liquid crystal display panel, wherein a common counter electrode facing all the pixel electrodes is provided on the other substrate, which is connected to a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitor of the liquid crystal display panel. Multiple inspection terminals,
A signal for driving a switching element is generated on the scanning line and the signal line through each inspection terminal, and a potential difference sufficient for liquid crystal driving is generated between the counter electrode and the auxiliary capacitor between the counter electrode and the pixel electrode. , A signal output means for supplying different signals to each other, an image pickup means for picking up a display state of the liquid crystal display panel, and a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode based on the display image picked up by the image pickup means. Recognizing means for recognizing the existing pixel.
【0019】請求項5の検査装置は、二枚の基板を所要
間隔の空間を隔てて平行に対向配置するとともに該空間
に液晶を介在した構造で、かつ一方基板には走査線およ
び信号線がマトリクス状に配設されているとともに、両
線の交差により生じる矩形領域に対応して画素電極、ス
イッチング素子および補助容量が各々設けられており、
他方基板には前記全画素電極に対向するコモンの対向電
極が設けられている液晶表示パネルの検査装置であっ
て、液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならび
に補助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、
各検査用端子に対して、通常の液晶駆動に用いる第1駆
動信号、第1駆動信号のうち対向電極および補助容量に
対する供給電圧を大側に設定した第2駆動信号および第
1駆動信号のうち対向電極に対する供給電圧を大側に設
定するとともに補助容量に対する供給電圧を接地電圧と
した第3駆動信号のいずれかを選択的に出力する信号出
力手段とを含む。According to a fifth aspect of the present invention, the inspection device has a structure in which two substrates are arranged in parallel and opposite to each other with a space of a required distance therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and one substrate is provided with a scanning line and a signal line. In addition to being arranged in a matrix, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are respectively provided in correspondence with the rectangular area generated by the intersection of both lines,
A testing device for a liquid crystal display panel, wherein a common counter electrode facing all the pixel electrodes is provided on the other substrate, which is connected to a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitor of the liquid crystal display panel. Multiple inspection terminals,
Of the first drive signal used for normal liquid crystal drive and the second drive signal and the first drive signal for which the supply voltage for the counter electrode and the auxiliary capacitance is set to the large side for each inspection terminal And a signal output means for selectively outputting any of the third drive signals in which the supply voltage to the counter electrode is set to the high side and the supply voltage to the auxiliary capacitance is set to the ground voltage.
【0020】請求項6の検査装置は、二枚の基板を所要
間隔の空間を隔てて平行に対向配置するとともに該空間
に液晶を介在した構造で、かつ一方基板には走査線およ
び信号線がマトリクス状に配設されているとともに、両
線の交差により生じる矩形領域に対応して画素電極、ス
イッチング素子および補助容量が各々設けられており、
他方基板には前記全画素電極に対向するコモンの対向電
極が設けられている液晶表示パネルの検査装置であっ
て、液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならび
に補助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、
各検査用端子に対して、通常の液晶駆動に用いる第1駆
動信号、第1駆動信号のうち対向電極および補助容量に
対する供給電圧を大側に設定した第2駆動信号および第
1駆動信号のうち対向電極に対する供給電圧を大側に設
定するとともに補助容量に対する供給電圧を接地電圧と
した第3駆動信号のいずれかを選択的に出力する信号出
力手段と、第1〜第3駆動信号によってそれぞれ駆動さ
れる液晶表示パネルの各表示状態を撮像する撮像手段
と、撮像手段でそれぞれ撮像した各表示画像に基づい
て、正常な画素と、スイッチング素子と画素電極との間
の断線という構造欠陥の存在する画素と、画素電極と補
助容量との間の短絡という構造欠陥の存在する画素と、
画素電極と対向電極との間の短絡という構造欠陥の存在
する画素とをそれぞれ認識する認識手段とを含む。An inspection apparatus according to a sixth aspect of the present invention has a structure in which two substrates are arranged in parallel and opposed to each other with a space of a required interval therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and one substrate is provided with a scanning line and a signal line. In addition to being arranged in a matrix, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are respectively provided in correspondence with the rectangular area generated by the intersection of both lines,
A testing device for a liquid crystal display panel, wherein a common counter electrode facing all the pixel electrodes is provided on the other substrate, which is connected to a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitor of the liquid crystal display panel. Multiple inspection terminals,
Of the first drive signal used for normal liquid crystal drive and the second drive signal and the first drive signal for which the supply voltage for the counter electrode and the auxiliary capacitance is set to the large side for each inspection terminal A signal output means for setting the supply voltage to the counter electrode to the high side and selectively outputting one of the third drive signals in which the supply voltage to the auxiliary capacitance is the ground voltage, and the first to third drive signals, respectively. Based on the image pickup means for picking up each display state of the liquid crystal display panel and each display image picked up by the image pickup means, there is a normal pixel and a structural defect such as a disconnection between the switching element and the pixel electrode. A pixel and a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitance;
And a recognition unit that recognizes each pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode.
【0021】請求項7の検査装置は、前述の請求項4ま
たは6の管理手段について、構造欠陥の存在する画素を
認識したとき、その画素の位置を認識するようにしてい
る。According to the seventh aspect of the present invention, in the management means of the fourth or sixth aspect, when the pixel having the structural defect is recognized, the position of the pixel is recognized.
【0022】上記本発明では、要するに、Cs−on−
common構造のアクティブマトリクス基板を用いる
液晶表示パネルについての検査方法および検査装置に関
するものである。In the above invention, in short, Cs-on-
The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for a liquid crystal display panel using an active matrix substrate having a common structure.
【0023】そして、請求項1では、画素電極と対向電
極との間の短絡という構造欠陥が存在する画素のみを認
識できるようにしている。つまり、請求項1の場合、画
素電極と対向電極との間の短絡という構造欠陥が存在す
る画素について、正常な画素の表示状態と反転した表示
状態になり、スイッチング素子と画素電極との間の断線
という構造欠陥が存在する画素や画素電極と補助容量バ
スラインとの間の短絡という構造欠陥が存在する画素に
ついては、正常な画素の表示状態と同じ表示状態にな
る。そのため、表示状態の異なる画素があれば、その画
素について画素電極と対向電極との間の短絡という構造
欠陥が存在するものと考えることができるのである。Further, according to the first aspect, only the pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode can be recognized. That is, in the case of claim 1, with respect to a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode, the display state is reversed from the display state of the normal pixel, and the display state between the switching element and the pixel electrode is changed. A pixel having a structural defect such as disconnection and a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitance bus line have the same display state as that of a normal pixel. Therefore, if there is a pixel with a different display state, it can be considered that there is a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode for that pixel.
【0024】請求項2では、3段階に分けて検査を行う
ことにより、正常な画素と、画素電極と対向電極との間
の短絡という構造欠陥が存在する画素と、スイッチング
素子と画素電極との間の断線という構造欠陥が存在する
画素と、画素電極と補助容量バスラインとの間の短絡と
いう構造欠陥が存在する画素とをすべて識別できるよう
にしている。つまり、請求項2の第1検査工程では、種
々な構造欠陥の存在する画素について、正常な画素の表
示状態と反転する表示状態になるので、正常な画素のみ
を識別できるようになる。請求項2の第2検査工程で
は、スイッチング素子と画素電極との間の断線という構
造欠陥の存在する画素について、正常な画素の表示状態
と同じ表示状態になる一方、画素電極と補助容量バスラ
インとの間の短絡という構造欠陥が存在する画素および
画素電極と対向電極との間の短絡という構造欠陥が存在
する画素については、前述の正常な画素の表示状態と反
転した表示状態になる。そのため、この第2検査工程で
の表示状態と前述の第1検査工程での表示状態とを対比
すれば、スイッチング素子と画素電極との間の断線とい
う構造欠陥の存在する画素についての有無が認識でき
る。第3検査工程では、画素電極と補助容量バスライン
との間の短絡という構造欠陥が存在する画素およびスイ
ッチング素子と画素電極との間の断線という構造欠陥の
存在する画素について、正常な画素の表示状態と同じ表
示状態になり、画素電極と対向電極との間の短絡という
構造欠陥が存在する画素については、正常な画素の表示
状態と反転した表示状態になる。そのため、この第3検
査工程での表示状態と前述の第2検査工程での表示状態
とを対比すれば、画素電極と補助容量バスラインとの間
の短絡という構造欠陥が存在する画素と、画素電極と対
向電極との間の短絡という構造欠陥が存在する画素とに
ついての有無が認識できる。このように、第1~第3検査
工程により種々な構造欠陥の有無および区別が行えるよ
うになる。According to the second aspect of the present invention, the inspection is performed in three stages, so that the normal pixel, the pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode, the switching element and the pixel electrode. Pixels having a structural defect of disconnection between pixels and pixels having a structural defect of short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitance bus line can be identified. That is, in the first inspection step of the second aspect, with respect to the pixels having various structural defects, the display state is reversed from the display state of the normal pixels, so that only the normal pixels can be identified. In the second inspection step of claim 2, a pixel having a structural defect such as a disconnection between the switching element and the pixel electrode is in the same display state as a normal pixel, while the pixel electrode and the auxiliary capacitance bus line are in the same display state. Regarding a pixel having a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and a pixel having a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode, the display state is reversed from the display state of the normal pixel described above. Therefore, by comparing the display state in the second inspection process with the display state in the first inspection process, it is possible to recognize the presence or absence of a pixel having a structural defect such as a disconnection between the switching element and the pixel electrode. it can. In the third inspection step, a normal pixel is displayed for a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitance bus line and a pixel having a structural defect such as a disconnection between the switching element and the pixel electrode. The display state is the same as that of the state, and a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode has a display state that is the reverse of the display state of the normal pixel. Therefore, by comparing the display state in the third inspection step with the display state in the second inspection step, a pixel in which a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitance bus line exists, The presence or absence of a pixel having a structural defect such as a short circuit between the electrode and the counter electrode can be recognized. In this way, the presence or absence of various structural defects and their discrimination can be performed by the first to third inspection steps.
【0025】請求項3では、検査対象の液晶表示パネル
の表示状態をオペレータが目視にて認識するようになる
が、請求項4では、検査対象の液晶表示パネルの表示状
態を撮像手段で撮像して、管理手段で特定の構造欠陥の
存在する画素の有無を認識するようになる。In claim 3, the operator visually recognizes the display state of the liquid crystal display panel to be inspected, but in claim 4, the display state of the liquid crystal display panel to be inspected is imaged by the image pickup means. Then, the management means recognizes the presence or absence of a pixel having a specific structural defect.
【0026】請求項5では、検査対象の液晶表示パネル
の表示状態をオペレータが目視にて認識するようになる
が、請求項6では、検査対象の液晶表示パネルの表示状
態を撮像手段で撮像して、管理手段で正常な画素と、種
々な構造欠陥の存在する画素の有無とを認識するように
なる。In claim 5, the operator visually recognizes the display state of the liquid crystal display panel to be inspected. In claim 6, the display state of the liquid crystal display panel to be inspected is imaged by the image pickup means. Then, the management means recognizes a normal pixel and the presence or absence of a pixel having various structural defects.
【0027】請求項7では、構造欠陥が存在する画素の
位置を認識できるようになるから、構造欠陥の修正など
を行う場合に便利になる。According to the seventh aspect, the position of the pixel having the structural defect can be recognized, which is convenient when the structural defect is corrected.
【0028】[0028]
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図1ないし
図4に示す実施例に基づいて説明する。図1ないし図3
は本発明の一実施例にかかり、図1は、検査装置の回路
構成図、図2は、検査装置から出力される各検査信号を
示す信号波形図、図3は、液晶表示パネルの検査状況を
示す説明図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The details of the present invention will be described below with reference to the embodiments shown in FIGS. 1 to 3
FIG. 1 is a circuit configuration diagram of an inspection device, FIG. 2 is a signal waveform diagram showing each inspection signal output from the inspection device, and FIG. 3 is an inspection situation of a liquid crystal display panel. FIG.
【0029】この実施例では、検査対象の液晶表示パネ
ルAを、TFT方式のCs−on−Common構造の
アクティブマトリクス基板を用いたものとし、TN(ツ
イスティッドネマティック)モード、ノーマリホワイト
モードとしたものとする。この液晶表示パネルAの回路
構成は、例えば従来例での説明に用いた図5に示すよう
になっている。In this embodiment, the liquid crystal display panel A to be inspected uses an active matrix substrate having a Cs-on-Common structure of TFT type, and has a TN (twisted nematic) mode and a normally white mode. I shall. The circuit configuration of the liquid crystal display panel A is, for example, as shown in FIG. 5 used in the description of the conventional example.
【0030】ここでの検査は、液晶表示パネルAに、製
造処理が原因となる構造欠陥〜などが発生している
ことがあるので、これらの構造欠陥〜が発生してい
る画素3を検査装置Bを用いて認識できるようにしてい
る。なお、構造欠陥は、画素電極4とスイッチング素
子5との間の断線、構造欠陥は、画素電極4と補助容
量バスライン7との間の短絡、構造欠陥は、画素電極
4と対向電極8との間の短絡である。In this inspection, the liquid crystal display panel A may have structural defects (1) to (3) caused by the manufacturing process. Therefore, the pixel 3 having these structural defects (3) is inspected. B is used for recognition. The structural defect is a disconnection between the pixel electrode 4 and the switching element 5, the structural defect is a short circuit between the pixel electrode 4 and the auxiliary capacitance bus line 7, and the structural defect is between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8. Is a short circuit between.
【0031】検査装置Bは、図1に示すように、検査対
象の液晶表示パネルAに対する接続端子としての第1〜
第4の検査用端子21a〜21dと、各検査用端子21
a〜21dに対して信号S1〜S4を出力する信号出力
手段22と、下記する3種類の検査工程に応じて信号出
力手段22から出力する信号S1〜S4の組み合わせパ
ターンを指定する指定手段23と、検査対象の液晶表示
パネルAの表示状態を撮像する撮像手段24と、撮像手
段24で撮像した画像を表示する表示手段25とを含
む。As shown in FIG. 1, the inspection apparatus B includes first to third terminals as connection terminals for the liquid crystal display panel A to be inspected.
Fourth inspection terminals 21a to 21d and each inspection terminal 21
a signal output means 22 for outputting the signals S1 to S4 to a to 21d, and a designating means 23 for designating a combination pattern of the signals S1 to S4 output from the signal output means 22 according to the following three types of inspection processes. An image pickup unit 24 for picking up an image of the display state of the liquid crystal display panel A to be inspected and a display unit 25 for displaying an image picked up by the image pickup unit 24 are included.
【0032】なお、前述の3種類の検査工程とは、正常
な画素3を認識する第1検査工程と、構造欠陥の存在
する画素3を認識する第2検査工程と、構造欠陥の存
在する画素3および構造欠陥の存在する画素3をそれ
ぞれ認識する第3検査工程とである。The above-mentioned three types of inspection processes include a first inspection process for recognizing a normal pixel 3, a second inspection process for recognizing a pixel 3 having a structural defect, and a pixel having a structural defect. 3 and a pixel 3 having a structural defect.
【0033】第1検査用端子21aは、液晶表示パネル
Aのゲートバスライン1の引出端子1aに、第2検査用
端子21bは、液晶表示パネルAのソースバスライン2
の引出端子2a、第3検査用端子21dは、液晶表示パ
ネルAの対向電極8の引出端子(図示省略)に、第4検
査用端子21cは、液晶表示パネルAの補助容量バスラ
イン7の引出端子(図示省略)に、それぞれ接続され
る。The first inspection terminal 21a is connected to the lead terminal 1a of the gate bus line 1 of the liquid crystal display panel A, and the second inspection terminal 21b is connected to the source bus line 2 of the liquid crystal display panel A.
The drawing terminal 2a and the third inspection terminal 21d are drawn to the drawing terminal (not shown) of the counter electrode 8 of the liquid crystal display panel A, and the fourth checking terminal 21c is drawn to the auxiliary capacitance bus line 7 of the liquid crystal display panel A. Each is connected to a terminal (not shown).
【0034】信号出力手段22は、基準信号発生回路3
1と、基準信号発生回路31からの出力信号を分周する
分周回路32と、分周回路32からの出力信号を入力し
ゲートバスライン1に与えるオン・オフ制御用の信号S
1を発生する第1信号発生回路33と、分周回路32か
らの出力信号を入力しソースバスライン2に与えるオン
・オフ制御用の信号S2を発生する第2信号発生回路3
4と、分周回路32からの出力信号を入力し対向電極8
に与える信号S3を発生するとともに信号S3の電圧値
を所要範囲で可変する第3信号発生回路35と、GND
電位からなる信号S4を出力するGND端子36と、第
3信号発生回路35の出力端子またはGND端子36の
いずれか一方を第4検査用端子21dに接続する切替ス
イッチ37とを備えている。The signal output means 22 is a reference signal generation circuit 3
1 and a frequency dividing circuit 32 for frequency-dividing the output signal from the reference signal generating circuit 31, and a signal S for on / off control to which the output signal from the frequency dividing circuit 32 is input and given to the gate bus line 1.
1 and a second signal generation circuit 3 for generating an ON / OFF control signal S2 to which the output signal from the frequency dividing circuit 32 is input and which is applied to the source bus line 2.
4 and the output signal from the frequency dividing circuit 32 are input to the counter electrode 8
A third signal generating circuit 35 for generating a signal S3 to be supplied to the circuit and varying the voltage value of the signal S3 within a required range;
A GND terminal 36 that outputs a signal S4 having a potential and a changeover switch 37 that connects either the output terminal of the third signal generating circuit 35 or the GND terminal 36 to the fourth inspection terminal 21d are provided.
【0035】指定手段23は、第1〜第3検査工程に応
じて、切替スイッチ37を切替操作するとともに、第3
信号発生回路35から発生させる信号S3の電圧値を指
定するものである。なお、第1検査工程では、図2
(a)に示すように、信号S1〜S4の組み合わせパタ
ーンを「S1−S2−S3−S3」とし、信号S3=D
C−1〔V〕とする。この図2(a)の信号の組み合わ
せパターンは、通常の液晶駆動と全く同じにしている。
第2検査工程では、図2(b)に示すように、信号S1
〜S4の組み合わせパターンを「S1−S2−S3−S
3」とし、信号S3=DC15〔V〕とする。第3検査
工程では、図2(c)に示すように、信号S1〜S4の
組み合わせパターンを「S1−S2−S3−S4」と
し、信号S3の電圧値を第2検査工程と同じつまりDC
15〔V〕にする。The designating means 23 switches the changeover switch 37 in accordance with the first to third inspection steps, and the
The voltage value of the signal S3 generated from the signal generation circuit 35 is designated. In addition, in the first inspection process, as shown in FIG.
As shown in (a), the combination pattern of the signals S1 to S4 is "S1-S2-S3-S3", and the signal S3 = D.
C-1 [V]. The combination pattern of the signals in FIG. 2A is exactly the same as that of the normal liquid crystal driving.
In the second inspection step, as shown in FIG.
The combination pattern from S4 to S4 is "S1-S2-S3-S".
3 ”, and the signal S3 = DC15 [V]. In the third inspection step, as shown in FIG. 2C, the combination pattern of the signals S1 to S4 is set to "S1-S2-S3-S4", and the voltage value of the signal S3 is the same as that in the second inspection step, that is, DC.
Set to 15 [V].
【0036】次に、液晶表示パネルAの検査方法を説明
する。Next, a method of inspecting the liquid crystal display panel A will be described.
【0037】まず、検査を行うための準備として、検査
対象の液晶表示パネルAを実際の使用状況とほぼ同じ状
態にセットする。つまり、図3に示すように、液晶表示
パネルAの上下に偏光板41,42をそれぞれ配置し、
液晶表示パネルAのアクティブマトリクス基板側の偏光
板41の下側にバックライト43を配置し、さらに液晶
表示パネルAの対向基板側の偏光板42の上側に検査装
置Bの撮像手段24を配置する。そして、液晶表示パネ
ルAにおいてゲートバスライン1の引出端子1a、ソー
スバスライン2の引出端子2a、対向電極8の引出端
子、補助容量バスライン7の引出端子に対して、検査装
置Bの検査用端子21a〜21dをそれぞれ接続する。First, as a preparation for the inspection, the liquid crystal display panel A to be inspected is set in a state substantially the same as the actual use condition. That is, as shown in FIG. 3, the polarizing plates 41 and 42 are arranged above and below the liquid crystal display panel A, respectively.
The backlight 43 is arranged below the polarizing plate 41 on the active matrix substrate side of the liquid crystal display panel A, and the image pickup means 24 of the inspection device B is arranged above the polarizing plate 42 on the counter substrate side of the liquid crystal display panel A. . Then, in the liquid crystal display panel A, the lead-out terminal 1a of the gate bus line 1, the lead-out terminal 2a of the source bus line 2, the lead-out terminal of the counter electrode 8, and the lead-out terminal of the auxiliary capacitance bus line 7 are used for the inspection of the inspection device B. The terminals 21a to 21d are connected to each other.
【0038】この後、第1〜第3の検査工程を行う。こ
こでは、各検査工程で、液晶表示パネルAの表示状態を
表示手段25に表示して、それをオペレータが目視にて
調べるようにしている。After that, the first to third inspection steps are performed. Here, in each inspection step, the display state of the liquid crystal display panel A is displayed on the display means 25 so that the operator can visually check it.
【0039】第1検査工程では、検査装置Bから図2
(a)に示す信号つまり「S1−S2−S3−S3」を
発生させて液晶表示パネルAに供給する。但し、信号S
3はDC−1〔V〕である。これにより、液晶表示パネ
ルAの各画素3の表示状態は表1に示すようになる。In the first inspection process, the inspection device B is used as shown in FIG.
The signal shown in (a), that is, "S1-S2-S3-S3" is generated and supplied to the liquid crystal display panel A. However, the signal S
3 is DC-1 [V]. As a result, the display state of each pixel 3 of the liquid crystal display panel A becomes as shown in Table 1.
【0040】[0040]
【表1】 [Table 1]
【0041】この場合、正常な画素3では、スイッチン
グ素子5がオン状態になって画素電極4と対向電極8と
の間に電圧が正常に印加されるので、画素電極4と対向
電極8との間に所要の電位差が生じ、光を透過しない状
態つまり黒点表示になる。しかし、構造欠陥〜のい
ずれかが発生している画素3では、画素電極4と対向電
極8との間に所要の電位差が生じないので、光を透過す
る状態つまり輝点表示のままになる。したがって、表1
に示す輝点または黒点の表示に基づいて、正常な画素3
と、構造欠陥〜のいずれかが発生している画素3と
を区別することができ、正常な画素3を認識できるよう
になる。In this case, in the normal pixel 3, since the switching element 5 is turned on and the voltage is normally applied between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8, the pixel electrode 4 and the counter electrode 8 are connected. A required potential difference is generated between them, resulting in a state where no light is transmitted, that is, a black dot display. However, in the pixel 3 in which any one of structural defects (1) to (3) has occurred, a required potential difference does not occur between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8, and therefore, the state of transmitting light, that is, the bright spot display is maintained. Therefore, Table 1
Normal pixels 3 based on the display of bright or black dots shown in
And the pixel 3 in which any one of the structural defects 1 to 3 has occurred can be distinguished, and the normal pixel 3 can be recognized.
【0042】第2検査工程では、検査装置Bから図2
(b)に示す信号つまり「S1−S2−S3−S3」を
液晶表示パネルAに対して供給する。但し、信号S3は
DC15〔V〕である。これにより、液晶表示パネルA
の各画素3の表示状態は表2に示すようになる。In the second inspection step, the inspection apparatus B is used as shown in FIG.
The signal shown in (b), that is, "S1-S2-S3-S3" is supplied to the liquid crystal display panel A. However, the signal S3 is DC 15 [V]. Thereby, the liquid crystal display panel A
The display state of each pixel 3 is as shown in Table 2.
【0043】[0043]
【表2】 [Table 2]
【0044】この場合、正常な画素3では上記同様に黒
点表示になるが、信号S3をDC15〔V〕としている
ので、構造欠陥が発生している画素3つまりスイッチ
ング素子5がオン状態にならない場合でも、画素電極4
と対向電極8との間に所要の電位差が生じることにな
り、そのために、正常な場合と同様に黒点表示になる。
また、構造欠陥,のいずれかが発生している画素3
では、画素電極4と対向電極8との間に所要の電位差が
生じないので、輝点表示のままになる。したがって、表
2に示す輝点または黒点の表示に基づいて、正常な画素
3および構造欠陥の存在する画素3と、構造欠陥、
の存在する画素3とを区別することができる。そし
て、この第2検査処理での表示結果と上記第1検査処理
での表示結果とを対比すると、構造欠陥の存在する画
素3を認識できるようになる。In this case, the black dots are displayed in the normal pixel 3 similarly to the above, but since the signal S3 is set to DC 15 [V], the pixel 3 having the structural defect, that is, the switching element 5 is not turned on. But the pixel electrode 4
Therefore, a required potential difference is generated between the counter electrode 8 and the counter electrode 8, and as a result, black dots are displayed as in the normal case.
In addition, a pixel 3 in which any one of structural defects has occurred
Then, since a required potential difference does not occur between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8, the bright spot display is maintained. Therefore, based on the display of bright spots or black spots shown in Table 2, a normal pixel 3 and a pixel 3 having a structural defect, a structural defect,
Can be distinguished from the pixel 3 in which Then, by comparing the display result of the second inspection process with the display result of the first inspection process, it becomes possible to recognize the pixel 3 having the structural defect.
【0045】第3検査工程では、検査装置Bから図2
(c)に示す信号つまり「S1−S2−S3−S4」を
液晶表示パネルAに対して供給する。このとき、信号S
3は上記第2検査処理と同じDC15〔V〕としてお
り、信号S4はGND電位としている。要するに、通常
の液晶駆動と変えて、補助容量バスライン7と対向電極
8とに異なる信号を与えている。これにより、液晶表示
パネルAの各画素3の表示状態は表3に示すようにな
る。In the third inspection step, the inspection apparatus B is used as shown in FIG.
The signal shown in (c), that is, "S1-S2-S3-S4" is supplied to the liquid crystal display panel A. At this time, the signal S
3 is the same DC15 [V] as in the second inspection process, and the signal S4 is the GND potential. In short, different signals are applied to the auxiliary capacitance bus line 7 and the counter electrode 8 instead of the normal liquid crystal driving. As a result, the display state of each pixel 3 of the liquid crystal display panel A becomes as shown in Table 3.
【0046】[0046]
【表3】 [Table 3]
【0047】この場合、構造欠陥の存在する画素3で
は、画素電極4と対向電極8との間に電位差が生じる。
例えば、液晶表示パネルAについて、液晶容量:補助容
量=2:1に設定した場合、画素電極4の電位V1=1
0〔V〕、対向電極8の電位V2=15〔V〕、補助容
量バスラインの電位V3=0〔V〕となり、構造欠陥
の存在する画素3の液晶が正常な画素3と同様、光を透
過しない状態つまり黒点表示となる。また、構造欠陥
の存在する画素3では、画素電極4と対向電極8との間
に電位差が生じるので、V1=V3=0〔V〕、V2=
15〔V〕となり、構造欠陥の存在する画素3の液晶
が正常な画素3と同様、光を透過しない状態つまり黒点
表示となる。さらに、構造欠陥の存在する画素3で
は、画素電極4と対向電極8との間に電位差が生じない
ので、V1=V2=V3=0〔V〕となり、構造欠陥
の存在する画素3の液晶が、光を透過する状態つまり輝
点表示となる。したがって、表3に示す輝点または黒点
の表示に基づいて、正常な画素3および構造欠陥,
の存在する画素3と、構造欠陥の存在する画素3とを
区別することができる。そして、この第3検査処理での
表示結果と上記第2検査処理での表示結果とを対比する
と、構造欠陥、の存在する画素3を認識できるよう
になる。In this case, in the pixel 3 having the structural defect, a potential difference is generated between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8.
For example, in the case of the liquid crystal display panel A, when the liquid crystal capacity: the auxiliary capacity = 2: 1 is set, the potential V1 of the pixel electrode 4 is V1 = 1.
0 [V], the potential V2 of the counter electrode 8 = 15 [V], and the potential V3 of the auxiliary capacitance bus line V3 = 0 [V], and the liquid crystal of the pixel 3 having the structural defect emits light as in the normal pixel 3. It is in a non-transparent state, that is, a black dot is displayed. In the pixel 3 having a structural defect, a potential difference is generated between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8, so V1 = V3 = 0 [V], V2 =
The voltage becomes 15 [V], and the liquid crystal of the pixel 3 having a structural defect does not transmit light, that is, the black dot display, as in the normal pixel 3. Further, in the pixel 3 having the structural defect, since no potential difference is generated between the pixel electrode 4 and the counter electrode 8, V1 = V2 = V3 = 0 [V], and the liquid crystal of the pixel 3 having the structural defect is generated. , A state of transmitting light, that is, a bright spot display. Therefore, based on the display of bright spots or black spots shown in Table 3, normal pixels 3 and structural defects,
It is possible to distinguish the pixel 3 in which the defect exists and the pixel 3 in which the structural defect exists. Then, by comparing the display result of the third inspection process with the display result of the second inspection process, it becomes possible to recognize the pixel 3 in which the structural defect exists.
【0048】このように、上記第1〜第3検査工程の各
結果を総合判断することにより、構造欠陥〜の有無
および区別を行うことができる。なお、各検査処理での
表示状態を表示手段25で目視するようにしているけれ
ども、従来のように、オペレータが顕微鏡にて液晶表示
パネルAを目視して構造欠陥〜の種類を識別する場
合に比べて、はるかに簡単で検査に要する時間を短縮で
きるようになる。As described above, by comprehensively judging the respective results of the first to third inspection steps, the presence or absence of structural defects can be distinguished. Although the display state in each inspection process is visually checked by the display means 25, when the operator visually checks the liquid crystal display panel A with a microscope and identifies the types of structural defects 1 to 3, as in the conventional case. In comparison, it is much easier and can shorten the inspection time.
【0049】そして、上記検査結果に基づいて、検査し
た液晶表示パネルAを修正する処理へ移したり、あるい
は不良品として処分する処理へ移したりすればよい。し
たがって、検査および構造欠陥の修正を完了するまで
のトータル時間を短縮できるようになり、液晶表示パネ
ルAの製造コストの低減に貢献できるようになる。Then, based on the above inspection result, the inspection liquid crystal display panel A may be moved to a process for correcting it or to be disposed of as a defective product. Therefore, the total time required to complete the inspection and the correction of the structural defect can be shortened, and the manufacturing cost of the liquid crystal display panel A can be reduced.
【0050】図4は、本発明の他の実施例にかかる検査
装置の回路構成図である。この実施例では、液晶表示パ
ネルAの構造欠陥〜の有無および区別をオペレータ
の目視によらず、自動的に行えるようにしている。FIG. 4 is a circuit configuration diagram of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention. In this embodiment, the presence / absence of the structural defect of the liquid crystal display panel A and its distinction can be automatically performed without the operator's visual observation.
【0051】検査装置Bは、検査対象の液晶表示パネル
Aに対する接続端子としての第1〜第4の検査用端子2
1a〜21dと、各検査用端子21a〜21dに対して
信号S1〜S4を出力する信号出力手段22と、信号出
力手段22から出力する信号S1〜S4の組み合わせパ
ターンを第1〜第3検査処理に応じて指定する指定手段
23と、検査対象の液晶表示パネルAの表示状態を撮像
する撮像手段24と、撮像手段24で撮像した画像を表
示する表示手段25と、表示手段25の表示画像に基づ
いて構造欠陥〜の有無および区別を行うとともに構
造欠陥〜の存在する画素3の位置を認識する管理手
段26とを含む。The inspection apparatus B includes the first to fourth inspection terminals 2 as connection terminals for the liquid crystal display panel A to be inspected.
1a to 21d, signal output means 22 for outputting signals S1 to S4 to the inspection terminals 21a to 21d, and combination patterns of signals S1 to S4 output from the signal output means 22 for the first to third inspection processing. According to the designation means, an image pickup means 24 for picking up the display state of the liquid crystal display panel A to be inspected, a display means 25 for displaying the image picked up by the image pickup means 24, and a display image of the display means 25. And a management unit 26 for recognizing the position of the pixel 3 in which the structural defect is present and determining the presence or absence of the structural defect.
【0052】この検査装置Bでは、上記実施例での第1
〜第3検査工程を所要時間ごとに順次行い、各検査結果
の液晶表示パネルAの表示画像を取り込み、上述した実
施例での各検査工程で説明したような対比を行って総合
判断することにより、構造欠陥〜の有無および区別
を行うとともに構造欠陥〜の存在する画素3の位置
を認識するようになっている。In this inspection apparatus B, the first inspection in the above embodiment is performed.
~ By sequentially performing the third inspection step for each required time, capturing the display image of the liquid crystal display panel A of each inspection result, and performing a comprehensive judgment by performing the comparison as described in each inspection step in the above-mentioned embodiment The presence / absence of the structural defect-is distinguished and the position of the pixel 3 in which the structural defect-is present is recognized.
【0053】この実施例のように、液晶表示パネルAの
構造欠陥〜の有無および区別を検査装置Bで自動的
に行うようにすれば、表示手段25の表示に基づいて人
為的に行う上記実施例に比べて検査効率を向上できるよ
うになる。しかも、検査結果に基づいて、自動搬送ユニ
ットにより、検査した液晶表示パネルAを修正する処理
へ移したり、あるいは不良品として処分する処理へ移し
たりすることができるようになるなど、検査から必要に
応じた構造欠陥の修正に至るまでの工程を自動化するこ
とができる。このような自動化を行えば、液晶表示パネ
ルAの製造コストの低減により一層貢献できるようにな
る。As in this embodiment, if the inspection apparatus B automatically determines whether or not the liquid crystal display panel A has a structural defect (1) to be distinguished from the other, the above-mentioned operation is performed artificially based on the display of the display means 25. The inspection efficiency can be improved compared to the example. Moreover, based on the inspection result, it becomes possible to move to the processing for correcting the inspected liquid crystal display panel A or to the processing for disposing as a defective product by the automatic transport unit. It is possible to automate the process up to the correction of the structural defect corresponding to the process. Such automation can further contribute to the reduction in the manufacturing cost of the liquid crystal display panel A.
【0054】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、種々な応用や変形が考えられる。The present invention is not limited to the above embodiment, and various applications and modifications can be considered.
【0055】(1) 上記実施例では、液晶表示パネル
Aの構造欠陥〜の存在する画素3をすべて識別でき
るようにしているが、構造欠陥のみを認識するように
してもよい。この場合、上記実施例での第3検査工程の
みを行えばよいのである。(1) In the above-described embodiment, all the pixels 3 having the structural defects 3 to 3 of the liquid crystal display panel A can be identified, but only the structural defects may be recognized. In this case, only the third inspection step in the above embodiment needs to be performed.
【0056】(2) 検査対象とする液晶表示パネルA
についての種類は特に限定されない。つまり、液晶表示
パネルAは、ツイステッドネマティックモード、電界制
御複屈折型、ゲストホストモード、その他の各種のモー
ドのものなど、いずれの形態であってもかまわない。ま
た、液晶表示パネルAのアクティブマトリクス基板のス
イッチング素子は、アモルファスシリコンを用いた逆ス
タガ構造の薄膜トランジスタ(TFT)、ポリシリコン
や単結晶シリコンを用いた薄膜トランジスタ、スタガ構
造、プレーナ構造の三端子タイプあるいはバリスタ、ダ
イオードなどの二端子タイプのいずれの形態であっても
かまわない。(2) Liquid crystal display panel A to be inspected
The type of is not particularly limited. That is, the liquid crystal display panel A may be in any form such as twisted nematic mode, electric field control birefringence type, guest-host mode, and other various modes. The switching element of the active matrix substrate of the liquid crystal display panel A is a three-terminal type of a reverse staggered thin film transistor (TFT) using amorphous silicon, a thin film transistor using polysilicon or single crystal silicon, a staggered structure, a planar structure. It does not matter whether it is a two-terminal type such as a varistor or a diode.
【0057】[0057]
【発明の効果】請求項1,3では、従来のように、オペ
レータが顕微鏡にて液晶表示パネルを目視して構造欠陥
の種類を識別するというような面倒で時間のかかる作業
を行わなくとも、液晶表示パネルに発生する種々な構造
欠陥のうち、少なくとも修正可能な構造欠陥つまり画素
電極と対向電極との短絡を簡単かつ迅速に認識すること
ができ、従来に比べて検査能率を大幅に向上できるよう
になる。したがって、検査ならびに必要に応じた構造欠
陥の修正を完了するまでのトータル時間を短縮すること
ができて、液晶表示パネルの製造コストの低減に貢献で
きるようになる。請求項2,5では、請求項1,3で認
識する構造欠陥だけでなく、スイッチング素子と画素電
極との間の断線という構造欠陥が存在する画素および画
素電極と補助容量バスラインとの間の短絡という構造欠
陥が存在する画素についても認識することができ、より
有効な検査を行うことができる。According to the first and third aspects of the present invention, the operator does not have to perform the troublesome and time-consuming work of visually observing the liquid crystal display panel with a microscope to identify the type of structural defect as in the conventional case. Among various structural defects that occur in the liquid crystal display panel, at least a structural defect that can be corrected, that is, a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode can be easily and quickly recognized, and the inspection efficiency can be significantly improved compared to the conventional one. Like Therefore, it is possible to shorten the total time required to complete the inspection and, if necessary, the correction of the structural defect, which can contribute to the reduction of the manufacturing cost of the liquid crystal display panel. In Claims 2 and 5, not only the structural defect recognized in Claims 1 and 3, but also a pixel having a structural defect called disconnection between the switching element and the pixel electrode and between the pixel electrode and the auxiliary capacitance bus line are present. A pixel having a structural defect such as a short circuit can be recognized, and more effective inspection can be performed.
【0058】請求項4,6では、構造欠陥の認識をオペ
レータの目視で行うのでなく、自動的に行うようにして
いるから、検査効率をより一層向上できるようになる。According to the fourth and sixth aspects, the structural defect is recognized automatically not by the operator's visual recognition, but the inspection efficiency can be further improved.
【0059】請求項7では、構造欠陥の有無の認識だけ
でなく、構造欠陥の存在する画素の位置までも認識でき
るようにしているから、修正を行う場合において便利に
なり、検査から修正まで連続した自動化処理を行えるよ
うになる。According to the present invention, not only the presence or absence of the structural defect can be recognized but also the position of the pixel in which the structural defect exists can be recognized. The automated processing can be performed.
【0060】このように、本発明では、検査を効率よく
行うことができて、製造コストの低減に貢献できるよう
になる。As described above, according to the present invention, the inspection can be carried out efficiently and the manufacturing cost can be reduced.
【図1】本発明の一実施例の検査装置の回路構成図FIG. 1 is a circuit configuration diagram of an inspection device according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1の検査装置から出力される検査信号を示す
信号波形図FIG. 2 is a signal waveform diagram showing an inspection signal output from the inspection device of FIG.
【図3】同実施例の検査状況を示す説明図FIG. 3 is an explanatory view showing an inspection situation of the embodiment.
【図4】本発明の他の実施例の検査装置の回路構成図FIG. 4 is a circuit configuration diagram of an inspection device according to another embodiment of the present invention.
【図5】一般的な液晶表示パネルの構成を示す回路図FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a general liquid crystal display panel.
A 液晶表示パネル 1 ゲートバスライン 2 ソースバスライン 3 画素 4 画素電極 5 スイッチング素子 6 補助容量 7 補助容量バスライン 8 対向電極 B 検査装置 21a〜21d 第1〜第4検査用端子 22 信号出力手段 23 指定手段 24 撮像手段 25 表示手段 26 管理手段 31 信号出力手段の基準信号発生回路 32 信号出力手段の分周回路 33 信号出力手段の第1信号発生回路 34 信号出力手段の第2信号発生回路 35 信号出力手段の第3信号発生回路 36 信号出力手段のGND端子 37 信号出力手段の切替スイッチ 41,42 偏光板 43 バックライト A liquid crystal display panel 1 gate bus line 2 Source bus line 3 pixels 4 pixel electrodes 5 switching elements 6 auxiliary capacity 7 auxiliary capacity bus line 8 Counter electrode B inspection device 21a to 21d First to fourth inspection terminals 22 Signal output means 23 Designation method 24 Imaging means 25 Display means 26 Management means 31 Reference signal generating circuit of signal output means 32 Frequency dividing circuit of signal output means 33 First signal generation circuit of signal output means 34 Second signal generation circuit of signal output means 35 Third signal generation circuit of signal output means 36 GND terminal of signal output means 37 Signal output means changeover switch 41,42 Polarizing plate 43 Backlight
Claims (7)
行に対向配置するとともに該空間に液晶を介在した構造
で、かつ一方基板には走査線および信号線がマトリクス
状に配設されているとともに、両線の交差により生じる
矩形領域に対応して画素電極、スイッチング素子および
補助容量が各々設けられており、他方基板には前記全画
素電極に対向するコモンの対向電極が設けられている液
晶表示パネルの検査方法であって、 走査線および信号線にスイッチング素子駆動用の信号
を、また、対向電極および補助容量に対して対向電極と
画素電極との間に液晶駆動に十分な電位差を生じさせる
ように互いに異なる信号をそれぞれ供給して、そのとき
の各画素の表示状態を調べることにより画素電極と対向
電極との間の短絡という構造欠陥の存在する画素を認識
する、ことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。1. A structure in which two substrates are opposed to each other in parallel with a space having a required space therebetween and liquid crystal is interposed in the space, and scanning lines and signal lines are arranged in a matrix on one substrate. In addition, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are provided respectively corresponding to the rectangular area generated by the intersection of both lines, and the other substrate is provided with a common counter electrode facing all the pixel electrodes. A method for inspecting a liquid crystal display panel, wherein a signal for driving a switching element is applied to a scanning line and a signal line, and a potential difference sufficient for driving a liquid crystal between the counter electrode and the auxiliary capacitor is applied between the counter electrode and the pixel electrode. Existence of structural defects such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode by supplying different signals to each other and checking the display state of each pixel at that time. Recognizes pixels that, the inspection method of the liquid crystal display panel, characterized in that.
行に対向配置するとともに該空間に液晶を介在した構造
で、かつ一方基板には走査線および信号線がマトリクス
状に配設されているとともに、両線の交差により生じる
矩形領域に対応して画素電極、スイッチング素子および
補助容量が各々設けられており、他方基板には前記全画
素電極に対向するコモンの対向電極が設けられている液
晶表示パネルの検査方法であって、 走査線、信号線、対向電極ならびに補助容量に対して、
通常の液晶駆動に用いる第1駆動信号を供給して、その
ときの各画素の表示状態を調べることにより、正常な画
素を認識する第1検査工程と、 前記第1駆動信号のうち対向電極および補助容量に対す
る供給電圧を大側に設定した第2駆動信号を供給して、
そのときの各画素の表示状態と第1検査処理での表示状
態とを対比することによりスイッチング素子と画素電極
との間の断線という構造欠陥の存在する画素を認識する
第2検査工程と、 前記第1駆動信号のうち対向電極に対する供給電圧を大
側に設定するとともに補助容量に対する供給電圧を接地
電圧とした第3駆動信号を供給して、そのときの各画素
の表示状態と第2検査処理での表示状態とを対比するこ
とにより画素電極と補助容量との間の短絡という構造欠
陥の存在する画素および画素電極と対向電極との間の短
絡という構造欠陥の存在する画素をそれぞれ認識する第
3検査工程と、 を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。2. A structure in which two substrates are arranged in parallel and opposite to each other with a space of a required space therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and scanning lines and signal lines are arranged in a matrix on one substrate. In addition, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are provided respectively corresponding to the rectangular area generated by the intersection of both lines, and the other substrate is provided with a common counter electrode facing all the pixel electrodes. A method for inspecting a liquid crystal display panel, comprising:
A first inspection step of recognizing a normal pixel by supplying a first driving signal used for normal liquid crystal driving and checking a display state of each pixel at that time, and a counter electrode of the first driving signal By supplying the second drive signal in which the supply voltage for the auxiliary capacitance is set to the high side,
A second inspection step for recognizing a pixel having a structural defect such as a disconnection between the switching element and the pixel electrode by comparing the display state of each pixel at that time with the display state in the first inspection process; Of the first drive signal, the supply voltage to the counter electrode is set to the high side, and the third drive signal in which the supply voltage to the auxiliary capacitance is set to the ground voltage is supplied, and the display state of each pixel at that time and the second inspection process A pixel having a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and the auxiliary capacitance and a pixel having a structural defect of a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode by recognizing the display state in FIG. A method for inspecting a liquid crystal display panel, comprising:
行に対向配置するとともに該空間に液晶を介在した構造
で、かつ一方基板には走査線および信号線がマトリクス
状に配設されているとともに、両線の交差により生じる
矩形領域に対応して画素電極、スイッチング素子および
補助容量が各々設けられており、他方基板には前記全画
素電極に対向するコモンの対向電極が設けられている液
晶表示パネルの検査装置であって、 液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならびに補
助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、 各検査用端子を介して走査線および信号線にスイッチン
グ素子駆動用の信号を、また、対向電極および補助容量
に対して対向電極と画素電極との間に液晶駆動に十分な
電位差を生じさせるように互いに異なる信号をそれぞれ
供給する信号出力手段と、 を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。3. A structure in which two substrates are opposed to each other in parallel with a space having a required space therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and scanning lines and signal lines are arranged in a matrix on one substrate. In addition, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are provided respectively corresponding to the rectangular area generated by the intersection of both lines, and the other substrate is provided with a common counter electrode facing all the pixel electrodes. A liquid crystal display panel inspecting device, comprising: a plurality of inspection terminals connected to a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitance of the liquid crystal display panel, and a scanning line and a scanning line via each inspection terminal. A signal for driving the switching element is supplied to the signal line, and a signal different from each other is generated between the counter electrode and the auxiliary capacitor so that a potential difference sufficient for driving the liquid crystal is generated between the counter electrode and the pixel electrode. The inspection device of a liquid crystal display panel, which comprises a signal output means for supplying, respectively, the.
行に対向配置するとともに該空間に液晶を介在した構造
で、かつ一方基板には走査線および信号線がマトリクス
状に配設されているとともに、両線の交差により生じる
矩形領域に対応して画素電極、スイッチング素子および
補助容量が各々設けられており、他方基板には前記全画
素電極に対向するコモンの対向電極が設けられている液
晶表示パネルの検査装置であって、 液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならびに補
助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、 各検査用端子を介して走査線および信号線にスイッチン
グ素子駆動用の信号を、また、対向電極および補助容量
に対して対向電極と画素電極との間に液晶駆動に十分な
電位差を生じさせるように互いに異なる信号をそれぞれ
供給する信号出力手段と、 液晶表示パネルの表示状態を撮像する撮像手段と、 撮像手段で撮像した表示画像に基づいて、画素電極と対
向電極との間の短絡という構造欠陥の存在する画素の有
無を認識する管理手段と、 を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。4. A structure in which two substrates are opposed to each other in parallel with a space having a required space therebetween and liquid crystal is interposed in the space, and scanning lines and signal lines are arranged in a matrix on one substrate. In addition, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are provided respectively corresponding to the rectangular area generated by the intersection of both lines, and the other substrate is provided with a common counter electrode facing all the pixel electrodes. A liquid crystal display panel inspecting device, comprising: a plurality of inspection terminals connected to a scanning line, a signal line, a counter electrode and an auxiliary capacitance of the liquid crystal display panel, and a scanning line and a scanning line via each inspection terminal. A signal for driving the switching element is supplied to the signal line, and a signal different from each other is generated between the counter electrode and the auxiliary capacitor so that a potential difference sufficient for driving the liquid crystal is generated between the counter electrode and the pixel electrode. A signal output means for supplying the liquid crystal display panel, an image pickup means for picking up a display state of the liquid crystal display panel, and a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode on the basis of the display image picked up by the image pickup means. An inspection device for a liquid crystal display panel, comprising: management means for recognizing the presence or absence of.
行に対向配置するとともに該空間に液晶を介在した構造
で、かつ一方基板には走査線および信号線がマトリクス
状に配設されているとともに、両線の交差により生じる
矩形領域に対応して画素電極、スイッチング素子および
補助容量が各々設けられており、他方基板には前記全画
素電極に対向するコモンの対向電極が設けられている液
晶表示パネルの検査装置であって、 液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならびに補
助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、 各検査用端子に対して、通常の液晶駆動に用いる第1駆
動信号、第1駆動信号のうち対向電極および補助容量に
対する供給電圧を大側に設定した第2駆動信号および第
1駆動信号のうち対向電極に対する供給電圧を大側に設
定するとともに補助容量に対する供給電圧を接地電圧と
した第3駆動信号のいずれかを選択的に出力する信号出
力手段と、 を含む、ことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。5. A structure in which two substrates are arranged in parallel and opposite to each other with a space of a required interval therebetween, and liquid crystal is interposed in the space, and scanning lines and signal lines are arranged in a matrix on one substrate. In addition, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are provided respectively corresponding to the rectangular area generated by the intersection of both lines, and the other substrate is provided with a common counter electrode facing all the pixel electrodes. An inspection device for a liquid crystal display panel, comprising: a plurality of inspection terminals connected to the scanning lines, signal lines, counter electrodes and auxiliary capacitors of the liquid crystal display panel; The first drive signal used for driving the liquid crystal, the second drive signal in which the supply voltage to the counter electrode and the auxiliary capacitor of the first drive signal is set to the large side, and the supply voltage to the counter electrode of the first drive signal. The containing, and signal output means for outputting selectively one of a supply voltage third driving signal and a ground voltage for the auxiliary capacitor and sets the larger side, the inspection device of a liquid crystal display panel, characterized in that.
行に対向配置するとともに該空間に液晶を介在した構造
で、かつ一方基板には走査線および信号線がマトリクス
状に配設されているとともに、両線の交差により生じる
矩形領域に対応して画素電極、スイッチング素子および
補助容量が各々設けられており、他方基板には前記全画
素電極に対向するコモンの対向電極が設けられている液
晶表示パネルの検査装置であって、 液晶表示パネルの走査線、信号線、対向電極ならびに補
助容量とに対して接続される複数の検査用端子と、 各検査用端子に対して、通常の液晶駆動に用いる第1駆
動信号、第1駆動信号のうち対向電極および補助容量に
対する供給電圧を大側に設定した第2駆動信号および第
1駆動信号のうち対向電極に対する供給電圧を大側に設
定するとともに補助容量に対する供給電圧を接地電圧と
した第3駆動信号のいずれかを選択的に出力する信号出
力手段と、 第1〜第3駆動信号によってそれぞれ駆動される液晶表
示パネルの各表示状態を撮像する撮像手段と、 撮像手段でそれぞれ撮像した各表示画像に基づいて、正
常な画素と、スイッチング素子と画素電極との間の断線
という構造欠陥の存在する画素と、画素電極と補助容量
との間の短絡という構造欠陥の存在する画素と、画素電
極と対向電極との間の短絡という構造欠陥の存在する画
素とをそれぞれ区別して認識する管理手段と、 を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。6. A structure in which two substrates are opposed to each other in parallel with a space having a required space therebetween and liquid crystal is interposed in the space, and scanning lines and signal lines are arranged in a matrix on one substrate. In addition, pixel electrodes, switching elements and auxiliary capacitors are provided respectively corresponding to the rectangular area generated by the intersection of both lines, and the other substrate is provided with a common counter electrode facing all the pixel electrodes. An inspection device for a liquid crystal display panel, comprising: a plurality of inspection terminals connected to the scanning lines, signal lines, counter electrodes and auxiliary capacitors of the liquid crystal display panel; The first drive signal used for driving the liquid crystal, the second drive signal in which the supply voltage to the counter electrode and the auxiliary capacitor of the first drive signal is set to the large side, and the supply voltage to the counter electrode of the first drive signal. And a liquid crystal display panel which is driven by each of the first to third drive signals, and which selectively outputs one of the third drive signals whose ground voltage is the supply voltage to the auxiliary capacitance. Image pickup means for picking up each display state of, a normal pixel, a pixel having a structural defect of disconnection between the switching element and the pixel electrode, and a pixel electrode based on each display image picked up by the image pickup means. And a storage capacitor having a structural defect such as a short circuit between the storage capacitor and a storage capacitor, and a pixel having a structural defect such as a short circuit between the pixel electrode and the counter electrode. Liquid crystal display panel inspection device.
素を認識したとき、その画素の位置を認識するものであ
る、請求項4または6に記載の検査装置。7. The inspection apparatus according to claim 4, wherein when the management unit recognizes a pixel having a structural defect, the management unit recognizes the position of the pixel.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20574996A JP3393231B2 (en) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | Inspection method and inspection device for liquid crystal display panel |
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JPH1048092A JPH1048092A (en) | 1998-02-20 |
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