JP3320776B2 - Antireflection film and display device - Google Patents
Antireflection film and display deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、外光反射を効果的に防
止する反射防止膜およびこの反射防止膜を備えた表示装
置に関し、特に2層構造の反射防止膜に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an antireflection film for effectively preventing reflection of external light and a display device having the antireflection film, and more particularly to a two-layer antireflection film.
【0002】[0002]
【従来の技術】通常、窓ガラス、ショー・ウインドウ、
表示装置の表示面等には、基板としてガラスが用いられ
る。このガラスは、周囲の光、例えば太陽光や照明光を
鏡面反射することがあり、そのため、映り込み現象が生
じ、透明性等に支障をきたすことが多い。特に、表示装
置の場合には、表示面で鏡面反射が起こると、表示面に
表示されるべき映像と周囲から映り込んだ光源や周囲の
景観等が重なってしまい、著しい画像劣化を引き起こ
す。2. Description of the Related Art Usually, window glasses, show windows,
Glass is used as a substrate for a display surface or the like of a display device. This glass may reflect ambient light, for example, sunlight or illuminating light, in a specular manner, so that a reflection phenomenon occurs, which often impairs transparency and the like. In particular, in the case of a display device, when specular reflection occurs on the display surface, an image to be displayed on the display surface overlaps a light source reflected from the surroundings, a surrounding scenery, and the like, causing significant image degradation.
【0003】そこで、この反射を防止する方法として、
従来、基板表面上に単層もしくは多層の光学膜を形成し
て、光の干渉効果を利用することで外光反射を防止する
反射防止膜を形成する方法がある。Therefore, as a method of preventing this reflection,
Conventionally, there is a method in which a single-layer or multilayer optical film is formed on a substrate surface, and an anti-reflection film for preventing reflection of external light is formed by utilizing a light interference effect.
【0004】この反射防止膜として一般的に良く知られ
ているものに、1/4波長膜と呼ばれているものがあ
る。この1/4波長膜について説明すると次のようにな
る。すなわち、単層の反射防止膜により外光反射を防止
する場合には、空気の屈折率をn0 、薄膜の屈折率をn
1 、基板の屈折率をn2 、薄膜の膜厚をd、反射を防止
しようとする光の波長をλとするとき、以下の無反射条
件を満足しなければならない。 n1 d=λ/4 …(1) n1 2 =n0 n2 上記関係式において、薄膜の膜厚が反射を防止しようと
する光の波長の1/4の厚さになっていることから1/
4波長膜と呼ばれている。One of the anti-reflection films generally well known is a so-called quarter-wave film. The 1 / wavelength film will be described as follows. That is, when external light reflection is prevented by a single-layer antireflection film, the refractive index of air is n 0 and the refractive index of the thin film is n.
1, n 2 the refractive index of the substrate, when the film thickness of the thin film d, the wavelength of light to be prevented reflection lambda, must satisfy the following non-reflection conditions. In n 1 d = λ / 4 ... (1) n 1 2 = n 0 n 2 above relationship, the thickness of the thin film is in the thickness of 1/4 of the wavelength of light to be prevented reflection From 1 /
It is called a four-wavelength film.
【0005】上記2式を満足した場合に波長λの光の反
射を零にすることができるが、基板にガラスを用いた場
合では、n2 は1.52、空気の屈折率n0 は1.00であるか
ら、薄膜の屈折率n1 は1.23である必要がある。しかし
ながら、現在知られている中で実用上可能な低屈折率物
質はMgF2 であり、それ自体の屈折率は1.38で上記無
反射条件の屈折率(n1 =1.23)より大きいため、単層
のもので外光反射を完全に防止することは不可能であっ
た。When the above two equations are satisfied, the reflection of light of wavelength λ can be made zero. However, when glass is used for the substrate, n 2 is 1.52 and the refractive index n 0 of air is 1.00. from the refractive index n 1 of the thin film is required to be 1.23. However, the currently known low-refractive-index substance that is practically usable is MgF 2, which has a refractive index of 1.38, which is larger than the refractive index under the non-reflection condition (n 1 = 1.23). It was impossible to completely prevent the reflection of external light.
【0006】そこで、基板上に基板側の下層とその上に
形成される上層からなる2層の反射防止膜を形成して反
射を防止することも行われている。この場合、空気の屈
折率をn0 、上層の屈折率をn3 、下層の屈折率をn
4 、基板の屈折率をn2 、上層の膜厚をd1 、下層の膜
厚をd2 、反射を防止しようとする光の波長をλとする
とき、以下の無反射条件を満足しなければならない。 n3 d1 =λ/4 n4 d2 =λ/4 …(2) n2 n3 2 =n0 n4 2 Therefore, the lower layer on the substrate side and the
A two-layer anti-reflection film consisting of an upper layer
It has also been used to prevent shooting. In this case, the air
Folding rate n0 , The refractive index of the upper layer is nThree , The refractive index of the lower layer is n
Four , The refractive index of the substrate is nTwo And the thickness of the upper layer is d1 , The underlying membrane
Thickness dTwo , Where λ is the wavelength of light to be prevented from being reflected
When, The following non-reflection conditions must be satisfied. nThree d1 = Λ /4 nFour dTwo = Λ /4 ... (2) nTwo nThree Two = N0 nFour Two
【0007】上記関係式(1) から、基板がガラス板の場
合には、n2 =1.52、n0 =1.00であるから、屈折率の
比n4 /n3 が1.23になるように下層と上層の物質を選
択すればよいことになる。From the above relational expression (1), when the substrate is a glass plate, since n 2 = 1.52 and n 0 = 1.00, the lower layer and the lower layer are arranged so that the refractive index ratio n 4 / n 3 becomes 1.23. You only have to select the material in the upper layer.
【0008】この2層の反射防止膜として、特開昭61-1
0043号公報には、Ti,Zr,Siのアルコキシド等の
共縮合体からなる高屈折率膜を下層膜に、ポリフルオロ
アルキル基を含有するアルコキシシランまたはクロルシ
ランの縮合体からなる低屈折率膜を上層に用いたものが
提案されている。As the two-layer antireflection film, JP-A-61-1
[0043] Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 0043/1993 discloses a low-refractive-index film made of a condensate of an alkoxysilane or chlorosilane containing a polyfluoroalkyl group as a lower-layer film with a high-refractive-index film made of a co-condensate such as an alkoxide of Ti, Zr, or Si. The one used for the upper layer has been proposed.
【0009】このような2層反射防止膜は、特定の波長
において反射を防止することができるが、その特定波長
以外の光では、基本的に無反射条件を満足することがで
きない。屈折率1.52のガラス基板について無反射条件を
満足するように、下層、上層の屈折率を組み合わせ、波
長λ0 の光の反射を防止しようとした場合における2層
反射防止膜の分光反射率を図1に示す。図1において、
曲線1は上層の屈折率n3 =1.55、下層の屈折率n4 =
1.91の場合、曲線2は上層の屈折率n3 =1.45、下層の
屈折率n4 =1.78の場合および曲線3は上層の屈折率n
3 =1.38、下層の屈折率n4 =1.70の場合である。図1
に示すように、反射率特性は比較的急峻なカーブとな
り、反射率を基板自体のものより小さくする反射防止領
域は比較的狭くなっている。また、上下層の屈折率の低
い組み合わせほど反射防止領域は広くなっているが、前
述したように、現在知られている中で実用可能な低屈折
率物質はMgF2 であり、2層膜では曲線3に示す程度
のものしかできなかった。Although such a two-layer antireflection film can prevent reflection at a specific wavelength, it cannot basically satisfy the non-reflection condition with light other than the specific wavelength. So as to satisfy the glass substrate for anti-reflective condition of the refractive index of 1.52, lower, combining the top layer of the refractive index, the spectral reflectance of the two-layer antireflection film when an attempt is made to prevent the reflection of light of the wavelength lambda 0 Figure It is shown in FIG. In FIG.
Curve 1 shows the refractive index of the upper layer n 3 = 1.55 and the refractive index of the lower layer n 4 =
In the case of 1.91, the curve 2 represents the refractive index of the upper layer n 3 = 1.45, the refractive index of the lower layer n 4 = 1.78, and the curve 3 represents the refractive index n of the upper layer.
3 = 1.38 and the refractive index n 4 of the lower layer = 1.70. FIG.
As shown in the figure, the reflectance characteristic has a relatively steep curve, and the antireflection region where the reflectance is smaller than that of the substrate itself is relatively narrow. Further, the lower the refractive index of the upper and lower layers, the wider the antireflection area becomes. However, as described above, the currently known and practically usable low refractive index material is MgF 2. Only the degree shown in curve 3 was obtained.
【0010】なお、広帯域で反射を防止するためには、
2層膜ではなく、3層以上の反射防止膜を用いればよい
ことが知られている。つまり、反射防止膜はその膜厚を
光の波長によって決定するので、理論的には、N層の多
層膜とすることによりN個の波長の反射率を低くするこ
とができる。しかし、反射防止膜の層数を増やすこと
は、工程数の増加、歩留の低下、コストの増加等につな
がり、工業上困難であった。In order to prevent reflection in a wide band,
It is known that three or more antireflection films may be used instead of two-layer films. That is, since the thickness of the anti-reflection film is determined by the wavelength of light, the reflectance of N wavelengths can be reduced theoretically by using an N-layer multilayer film. However, increasing the number of layers of the antireflection film leads to an increase in the number of steps, a decrease in yield, an increase in cost, and the like, which is industrially difficult.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
2層反射防止膜は、比較的狭い波長領域でしか反射防止
効果を得ることができなかた。そして、反射を防止しよ
うとする特定の波長からずれた領域では、反射率が基板
自体のものより増加してしまうことがあり、ぎらつきの
原因となっていた。特に短波長側でその傾向が大きく、
表示装置の表示面の場合、青いぎらつきの原因となって
いた。As described above, the conventional two-layer antireflection film cannot obtain the antireflection effect only in a relatively narrow wavelength range. Then, in a region deviated from a specific wavelength for which reflection is to be prevented, the reflectivity may increase more than that of the substrate itself, causing glare. The tendency is particularly large on the short wavelength side,
In the case of the display surface of the display device, it causes blue glare.
【0012】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、2層構造にて従来より広い領域で反射防止が
可能な反射防止膜を提供することを目的とする。さら
に、このような反射防止膜を表示面に備えた表示装置を
提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide an antireflection film having a two-layer structure capable of preventing reflection in a wider area than the conventional one. Another object of the present invention is to provide a display device having such an antireflection film on a display surface.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、基板上に形成される第1の薄膜と、この
第1の薄膜上に形成される第2の薄膜とからなる反射防
止膜において、前記第1の薄膜は平均粒径が3〜300
nmの色素を含有し、かつ、前記反射防止膜の可視光領
域における分光反射率の最小となる波長をλr、分光透
過率の最小となる波長をλt、とするとき、 λt−50nm<λr<λt+70nm となる関係を有することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a first thin film formed on a substrate and a second thin film formed on the first thin film. In the prevention film, the first thin film has an average particle size of 3 to 300.
When the wavelength containing the dye of nm and the wavelength at which the spectral reflectance of the antireflection film in the visible light region is minimum is λr and the wavelength at which the spectral transmittance is minimum is λt, λt−50 nm <λr < λt + 70 nm.
【0014】さらに、光透過性表示部基体の外表面に、
基体上に形成される第1の薄膜とこの第1の薄膜上に形
成される第2の薄膜とからなる反射防止膜を具備する表
示装置において、前記第1の薄膜は平均粒径が3〜30
0nmの色素を含有し、かつ、前記反射防止膜の可視光
領域における分光反射率の最小となる波長をλr、分光
透過率の最小となる波長をλt、とするとき、 λt−50nm<λr<λt+70nm となる関係を有することを特徴とする。Further, on the outer surface of the light-transmitting display portion substrate,
In a display device provided with an antireflection film composed of a first thin film formed on a base and a second thin film formed on the first thin film, the first thin film has an average particle size of 3 to 30
When a wavelength containing a dye of 0 nm and having a minimum spectral reflectance in the visible light region of the antireflection film is λr, and a wavelength having a minimum spectral transmittance is λt, λt−50 nm <λr < λt + 70 nm.
【0015】[0015]
【作用】発明者等が検討した結果、2層反射防止膜の下
層膜に所定の分光透過率特性をもたせることにより、反
射防止膜に特定の分光透過率特性を与えると、従来のも
のよりも広帯域、特に短波長側の領域にわたり反射防止
効果を有する反射防止膜となることを見出した。すなわ
ち、反射防止膜の可視領域における分光透過率の最小と
なる波長と分光反射率の最小となる波長を略一致させる
ことにより、より広帯域にわたり反射防止効果を有する
反射防止膜を得ることができる。このような分光透過率
および分光反射率特性を有する反射防止膜を形成するた
めには、基板上に形成される第1の薄膜つまり下層に適
当な色素を含有させればよい。As a result of investigations by the inventors, it has been found that a specific spectral transmittance characteristic is given to the antireflection film by giving a predetermined spectral transmittance characteristic to the lower layer film of the two-layer antireflection film as compared with the conventional one. It has been found that the antireflection film has an antireflection effect over a wide band, particularly over a shorter wavelength region. That is, by making the wavelength at which the spectral transmittance of the antireflection film has a minimum in the visible region substantially coincide with the wavelength at which the spectral reflectance becomes a minimum, an antireflection film having an antireflection effect over a wider band can be obtained. In order to form an anti-reflection film having such spectral transmittance and spectral reflectance characteristics, an appropriate dye may be contained in a first thin film formed on a substrate, that is, a lower layer.
【0016】従来の2層反射防止膜は、基板上に形成さ
れる下層である第1の薄膜およびこの上に形成される上
層である第2の薄膜ともに波長に依存した分光透過率特
性を有していないため、2層反射防止膜としての分光透
過率特性は分光反射率の最小となる波長で最大となり、
本発明による反射防止膜とは全く逆の特性になってい
る。The conventional two-layer antireflection film has a wavelength-dependent spectral transmittance characteristic in both a first thin film as a lower layer formed on a substrate and a second thin film as an upper layer formed thereon. The spectral transmittance characteristic as a two-layer antireflection film is maximized at the wavelength at which the spectral reflectance is minimum,
The characteristics are completely opposite to those of the antireflection film according to the present invention.
【0017】このことを図2および図3を用いて説明す
る。図2および図3に本発明による反射防止膜と従来の
反射防止膜の分光反射率および分光透過率を示す。図2
は分光反射率の最小波長が570nmの反射防止膜の特性
を示すものであり、図2(a)は分光反射率を示し、図
2(b)は分光透過率を示す。実線10a,10bは本発明
の反射防止膜の特性を示し、破線11a,11bは従来の反
射防止膜の特性を示す。同様に図3は620nmに最小反
射率を有する反射防止膜の特性を比較して示すものであ
り、実線20a,20bは本発明、破線21a,21bは従来例
を示す。図2および図3に示すように、本発明によると
従来の反射防止膜に比べ広帯域にわたり反射防止機能を
有していることがわかる。なお、図2および図3におい
て、本発明による反射防止膜の一例として、上層膜には
Si(OC2 H5 )4 の加水分解、脱水縮合によって得
られたSiO2 膜であり、下層膜にはTi(OC
3 H7 )4 とSi(OC2 H5 )4 を加水分解、共縮合
させて得られるTiO2 −SiO2 膜に所定の分光透過
率となるように色素を含有させたものを示している。上
層の屈折率は1.45程度であり、下層の屈折率は色素
のない場合で1.8程度である。また、従来の反射防止
膜は色素を含有していないものである。This will be described with reference to FIGS. 2 and 3 show the spectral reflectance and the spectral transmittance of the antireflection film according to the present invention and the conventional antireflection film. FIG.
FIG. 2A shows the characteristics of the antireflection film having the minimum wavelength of the spectral reflectance of 570 nm. FIG. 2A shows the spectral reflectance, and FIG. 2B shows the spectral transmittance. Solid lines 10a and 10b show the characteristics of the antireflection film of the present invention, and broken lines 11a and 11b show the characteristics of the conventional antireflection film. Similarly, FIG. 3 shows the characteristics of an antireflection film having a minimum reflectance at 620 nm in comparison, and solid lines 20a and 20b show the present invention, and broken lines 21a and 21b show a conventional example. As shown in FIGS. 2 and 3, it can be seen that the present invention has an antireflection function over a wider band than the conventional antireflection film. 2 and 3, as an example of the antireflection film according to the present invention, the upper layer film is a SiO 2 film obtained by hydrolysis and dehydration condensation of Si (OC 2 H 5 ) 4 , and the lower layer film is Is Ti (OC
This shows that a TiO 2 —SiO 2 film obtained by hydrolyzing and co-condensing 3 H 7 ) 4 and Si (OC 2 H 5 ) 4 contains a dye so as to have a predetermined spectral transmittance. . The refractive index of the upper layer is about 1.45, and the refractive index of the lower layer is about 1.8 without a dye. Further, the conventional antireflection film does not contain a dye.
【0018】ところで、この反射防止膜の分光反射率の
最小となる波長は、反射防止膜の下層、上層の膜厚に依
存する。図2に示すような分光透過率特性を有する反射
防止膜の下層、上層の膜厚を薄くしていったときの分光
反射率の変化を図4に、また、下層、上層の膜厚を厚く
していったときの分光反射率の変化を図5に示す。The wavelength at which the spectral reflectance of the antireflection film is minimum depends on the thickness of the lower and upper layers of the antireflection film. FIG. 4 shows a change in spectral reflectance when the film thickness of the lower and upper layers of the antireflection film having the spectral transmittance characteristics shown in FIG. 2 is reduced, and the film thickness of the lower and upper layers is increased. FIG. 5 shows the change in the spectral reflectance when the measurement is performed.
【0019】図4において、曲線12-1は最適膜厚であ
り、分光透過率と分光反射率の最小となる波長が570
nmでほぼ一致している場合である。曲線12-2および12-3
は分光反射率が最小となる波長がそれぞれ540nm、5
20nmである。この図4からわかるように、各波長で最
低反射となる従来の2層反射防止膜に比べて反射防止領
域を拡大するものであっても、分光透過率と分光反射率
の最小波長のずれが大きくなる程、反射率の最低値が大
きくなる。また、図示していないが、これよりさらにず
れが大きくなると、さらに反射率は増大する。なお、従
来の2層反射防止膜でも下層の屈折率を下げることによ
り反射率を増加させれば反射防止効果を有する領域を広
げることはできる。曲線12-4は、下層の屈折率を下げ5
20nmが反射の最小値となるように形成された反射防止
膜の分光透過率を示す。しかし、曲線12-4の反射防止膜
の場合、下層の屈折率を変化させずに520nmが反射の
最低値となるような反射防止膜に対して最低反射率は増
加するが、可視領域(400〜700nm)の範囲で曲線
12-3とほぼ同程度の反射防止特性を示している。すなわ
ち、曲線12-3程度の最低反射率であれば従来の反射防止
膜でも充分に同様の効果を得ることができる。さらに、
曲線12-3以上に反射率の最低波長がずれた場合には、こ
の反射防止膜の分光反射率の最小値はさらに増加するか
ら従来の反射防止膜を用いた方が有効ということにな
る。In FIG. 4, a curve 12-1 indicates the optimum film thickness, and the wavelength at which the spectral transmittance and the spectral reflectance are minimized is 570.
In this case, the values are almost the same in nm. Curves 12-2 and 12-3
Are the wavelengths at which the spectral reflectance is minimum are 540 nm and 5 respectively.
20 nm. As can be seen from FIG. 4, even if the anti-reflection area is enlarged as compared with the conventional two-layer anti-reflection film having the lowest reflection at each wavelength, the difference between the spectral transmittance and the minimum wavelength of the spectral reflectance is small. The higher the value, the higher the minimum value of the reflectance. Although not shown, if the deviation is larger than this, the reflectance further increases. It should be noted that, even in the conventional two-layer antireflection film, if the reflectance is increased by lowering the refractive index of the lower layer, the region having the antireflection effect can be expanded. Curve 12-4 shows the lower layer refractive index 5
The graph shows the spectral transmittance of an antireflection film formed so that 20 nm is the minimum value of reflection. However, in the case of the antireflection film of the curve 12-4, the minimum reflectance increases with respect to the antireflection film having the minimum value of the reflection at 520 nm without changing the refractive index of the lower layer. ~ 700nm)
The antireflection characteristics are almost the same as 12-3. In other words, a similar effect can be sufficiently obtained with a conventional antireflection film as long as the reflectance is as low as about curve 12-3. further,
If the minimum wavelength of the reflectance deviates beyond the curve 12-3, the minimum value of the spectral reflectance of the antireflection film further increases, so that the use of the conventional antireflection film is more effective.
【0020】したがって、分光反射率の最小となる波長
は分光透過率の最小となる波長に比べ短波長側に50nm
以上ずれてはならない。また、反射防止効果としては最
小反射率は20%以下が好ましいので、より好ましく
は、ずれの大きさは30nm以下が望ましい。Therefore, the wavelength at which the spectral reflectance is minimum is 50 nm shorter than the wavelength at which the spectral transmittance is minimum.
It must not be shifted. In addition, since the minimum reflectance is preferably 20% or less as an antireflection effect, more preferably, the size of the deviation is 30 nm or less.
【0021】同様に、図5において、曲線12-5は最適膜
厚、曲線12-6および12-7は分光反射率の最小となる波長
がそれぞれ610nm、640nmであるが、膜厚を薄くし
ていった場合と同様に分光反射率と分光反射率の最小波
長のずれが大きくなる程、反射率の最低値が大きくなっ
ている。曲線12-8は下層の屈折率を下げ、640nmが反
射の最小値となるように形成された従来の反射防止膜で
ある。この曲線12-8の反射防止膜は可視領域において曲
線12-7で示す反射防止膜とほぼ同等の反射防止特性を有
している。また、曲線12-7以上に最小波長のずれを大き
くした場合、最低反射率がさらに増加してしまい、従来
の反射防止膜に比べ反射防止特性が劣化してしまう。Similarly, in FIG. 5, the curve 12-5 is the optimum film thickness, and the curves 12-6 and 12-7 are the wavelengths at which the spectral reflectance is minimum are 610 nm and 640 nm, respectively. As in the case described above, as the difference between the spectral reflectance and the minimum wavelength of the spectral reflectance increases, the minimum value of the reflectance increases. Curve 12-8 is a conventional anti-reflection coating formed by lowering the refractive index of the lower layer so that 640 nm has the minimum value of reflection. The antireflection film of the curve 12-8 has almost the same antireflection characteristics in the visible region as the antireflection film of the curve 12-7. When the deviation of the minimum wavelength is increased beyond the curve 12-7, the minimum reflectance further increases, and the antireflection characteristics are deteriorated as compared with the conventional antireflection film.
【0022】したがって、分光反射率の最小となる波長
は分光反射率の最小となる波長に比べ長波長側に70nm
程度以上ずれてはならない。また、最小反射率を20%
以下とするためには、そのずれは40nm以下であること
が好ましい。以上より、反射防止膜の分光透過率の最小
となる波長をλt、分光反射率の最小となる波長をλr
としたとき、 (λt−50)nm<λr<(λt+70)nm の関係を満たさすことが望まれる。また、より好ましい
範囲は (λt−30)nm<λr<(λt+40)nm である。Therefore, the wavelength at which the spectral reflectance is minimum is 70 nm longer than the wavelength at which the spectral reflectance is minimum.
It should not deviate by more than a degree. In addition, the minimum reflectance is 20%
In order to achieve the following, the shift is preferably 40 nm or less. As described above, the wavelength at which the spectral transmittance of the antireflection film is minimum is λt, and the wavelength at which the spectral reflectance is minimum is λr
In this case, it is desired that the relationship of (λt−50) nm <λr <(λt + 70) nm is satisfied. A more preferable range is (λt−30) nm <λr <(λt + 40) nm.
【0023】このように、本発明の反射防止膜が従来の
反射防止膜に比べより広い領域で反射を防止できる理由
は以下のようなものと推測される。つまり、前述したよ
うに2層反射防止膜は上記(2) 式を満足しなければなら
ない。したがって、基板が屈折率1.52のガラスであ
る場合には、下層と上層の屈折率の比は1.23とする
必要がある。上層に実用的で最も屈折率の低いMgF2
を用いた場合に屈折率は1.38であるから、下層の屈
折率は1.7でなければならない。ところで、この屈折
率の関係が満たされなければならないのは、反射を防止
しようとする特定波長λにおいてだけであり、他の波長
において屈折率が1.7である必要はない。そればかり
か、基板より屈折率の高い物質を下層に用いるために、
ある波長領域ではこの反射防止膜を設けることにより逆
に反射が大きくなってしまう。本発明の反射防止膜は、
下層に色素を含有しており、しかも、この色素を含有し
た下層の分光透過率の最小となる波長は、反射防止膜の
反射防止膜の反射率の最小となる波長と略一致してい
る。このような下層膜の屈折率は透過率の最小となる波
長域で最大となる。この部分で上述した下層、上層の比
1.23が満足され、他の波長領域では下層の屈折率は
必要以上に高くなっていない。そのため、反射を防止し
ようとする波長以外の領域でも反射を高くすることな
く、より広帯域にわたり反射防止効果を有するものと考
えられる。The reason why the antireflection film of the present invention can prevent reflection in a wider area than the conventional antireflection film is presumed to be as follows. That is, as described above, the two-layer antireflection film must satisfy the above expression (2). Therefore, when the substrate is glass having a refractive index of 1.52, the ratio of the refractive index of the lower layer to that of the upper layer needs to be 1.23. Practical and lowest refractive index MgF 2 for upper layer
Since the refractive index is 1.38 when is used, the refractive index of the lower layer must be 1.7. By the way, the relationship of the refractive index must be satisfied only at the specific wavelength λ for which reflection is to be prevented, and the refractive index does not need to be 1.7 at other wavelengths. In addition, in order to use a material with a higher refractive index than the substrate for the lower layer,
In a certain wavelength region, the provision of this anti-reflection film, on the contrary, increases the reflection. The antireflection film of the present invention,
The lower layer contains a dye, and the wavelength at which the spectral transmittance of the lower layer containing the dye is minimum substantially coincides with the wavelength at which the reflectance of the antireflection film of the antireflection film is minimum. The refractive index of such an underlayer film becomes maximum in the wavelength region where the transmittance becomes minimum. In this portion, the above-described ratio of the lower layer and the upper layer of 1.23 is satisfied, and the refractive index of the lower layer is not unnecessarily high in other wavelength regions. Therefore, it is considered that the antireflection effect is provided over a wider band without increasing the reflection even in a region other than the wavelength where the reflection is to be prevented.
【0024】また、本発明による反射防止膜はその製造
方法によらず効果を有するものであるが、色素を含有す
る下層膜は金属アルコシキド等の膜形成材料と溶媒、色
素、必要によっては触媒の混合溶液を塗布、乾燥するこ
とにより形成するのが簡便である。また、上層もこのよ
うな金属アルコキシド等を用いて形成する方法が蒸着等
の方法に比べ簡便である。また、色素には染料や顔料等
があげられるが、特に望ましいのは顔料である。The antireflection film according to the present invention has an effect regardless of the manufacturing method. However, the lower layer film containing a dye is composed of a film forming material such as a metal alkoxide and a solvent, a dye and, if necessary, a catalyst. It is simple to form by applying and drying the mixed solution. In addition, a method of forming the upper layer using such a metal alkoxide or the like is simpler than a method such as vapor deposition. Examples of the pigment include a dye and a pigment, and a pigment is particularly desirable.
【0025】膜形成用材料としては、主として金属アル
コキシドが最も適している。金属アルコキシドは一般式
M(OR)4 で表される。ここでMは金属元素、ORは
アルコキシル基である。例えば、Ti,Zr,Si,A
l,Zn,Fe,Co,Ni等を金属元素としたアルコ
キシドをそれぞれの目的により単独または混合して使用
することができる。下層膜を形成するためには、バイン
ダーとしては比較的屈折率の高いTi,Zr,Zn等の
アルコキシドの混合比を大きくし、上層形成用の材料と
してはSiのアルコキシドの比重を大きくするとよい。
さらに、上記金属アルコキシドの縮合によって生じる多
量体を用いることも可能である。また、アルコキシル基
ORのRは炭素数1〜5のアルキル基が好ましい。つま
り膜形成材料として具体的には、Ti(OC
2 H5 )4 ,Ti(OC3 H7 )4 ,Ti(OC
4 H9 )4 ,Zr(OC2 H5 )4 ,Zr(OC
3 H7 )4 ,Zr(OC4H9 )4 ,Si(OCH3 )
4 ,Si(OC2 H5 )4 ,Al(OC2 H5 )3,A
l(OC3 H7 )3 ,Al(OC4 H9 )3 ,Zn(O
C2 H5 )2 ,Zn(OC3 H7 )2 等の金属アルコキ
シド、アルコキシ基の一部を他の官能基に置換したも
の、例えば、チタネートカップリング剤、シランカップ
リング剤、また、Ti,Zrの金属キレート類、例え
ば、Ti,Zrのβ−ジケトン類(アセチルアセトネー
ト等)、またはこれらの混合物等を用いてもよい。カッ
プリング剤としては表1に示すようなシランカップリン
グ剤、表2に示すようなチタネート系カップリング剤、
化1に示すようなアルミニウム系カップリング剤があ
る。また、これらのカップリング剤を下層に添加するこ
とにより本発明の反射防止膜の反射防止領域がさらに広
がることが確認された。As a material for forming a film, a metal alkoxide is mainly most suitable. The metal alkoxide is represented by the general formula M (OR) 4 . Here, M is a metal element, and OR is an alkoxyl group. For example, Ti, Zr, Si, A
Alkoxides containing metal elements such as 1, Zn, Fe, Co, Ni, etc. can be used alone or in combination for each purpose. In order to form the lower layer film, it is preferable to increase the mixing ratio of alkoxides such as Ti, Zr, and Zn having a relatively high refractive index as a binder and increase the specific gravity of Si alkoxide as a material for forming the upper layer.
Further, it is also possible to use a polymer produced by the condensation of the metal alkoxide. Further, R of the alkoxyl group OR is preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. That is, specifically, Ti (OC
2 H 5) 4, Ti ( OC 3 H 7) 4, Ti (OC
4 H 9 ) 4 , Zr (OC 2 H 5 ) 4 , Zr (OC
3 H 7) 4, Zr ( OC 4 H 9) 4, Si (OCH 3)
4, Si (OC 2 H 5 ) 4, Al (OC 2 H 5) 3, A
l (OC 3 H 7 ) 3 , Al (OC 4 H 9 ) 3 , Zn (O
Metal alkoxides such as C 2 H 5 ) 2 and Zn (OC 3 H 7 ) 2 , and those in which part of an alkoxy group is substituted with another functional group, for example, titanate coupling agent, silane coupling agent, Ti , Zr metal chelates, for example, Ti, Zr β-diketones (such as acetylacetonate), or mixtures thereof. Examples of the coupling agent include a silane coupling agent as shown in Table 1, a titanate coupling agent as shown in Table 2,
There is an aluminum-based coupling agent as shown in Chemical formula 1. It was also confirmed that the addition of these coupling agents to the lower layer further expanded the antireflection region of the antireflection film of the present invention.
【0026】[0026]
【表1】 [Table 1]
【0027】[0027]
【表2】 [Table 2]
【0028】[0028]
【化1】 Embedded image
【0029】上述した金属アルコキシド等は加水分解、
脱水縮合反応により基板上に金属酸化物の膜を形成す
る。また、この金属アルコキシドを含む溶液に色素を混
合して塗布することにより、金属酸化物中に色素が封入
された色素含有薄膜を形成することができる。The above-mentioned metal alkoxide and the like are hydrolyzed,
A metal oxide film is formed on the substrate by a dehydration condensation reaction. Further, by mixing and applying a dye to the solution containing the metal alkoxide, a dye-containing thin film in which the dye is sealed in a metal oxide can be formed.
【0030】さらに、金属アルコキシドを溶解させるた
めの溶媒はアルコール類が適している。アルコールは炭
素数の増加とともに粘性が高くなるので、この点を考慮
して適宜選択すればよい。一般的に使用可能なアルコー
ルとしては、炭素数1〜5のアルコールが挙げられる。
具体例としては、イソプロピルアルコール、エタノー
ル、メタノール、ブタノール、ペンタノール、メトキシ
エタノール、エトキシエタノール、プロポキシエタノー
ル、ブトキシエタノール等ほとんど全てのアルコールを
用いることができる。Further, alcohols are suitable as a solvent for dissolving the metal alkoxide. Since the viscosity of alcohol increases with an increase in the number of carbon atoms, alcohol may be appropriately selected in consideration of this point. Generally usable alcohols include alcohols having 1 to 5 carbon atoms.
As specific examples, almost all alcohols such as isopropyl alcohol, ethanol, methanol, butanol, pentanol, methoxyethanol, ethoxyethanol, propoxyethanol and butoxyethanol can be used.
【0031】上述の方法で得られる膜は一般に多孔質で
ある。よって、下層に染料を用いた場合、上層を上述の
方法で形成すると、上層の溶液を塗布した時点で下層の
染料が上層の細孔部を通り抜けまだ乾燥していない上層
へと溶出してしまう場合があり、製造条件の制御が困難
となる。顔料の場合、染料に比べ大きいため、下層の細
孔部を通り抜けることはない。もちろん、上層を蒸着の
ような方法で形成した場合、このような問題は発生しな
いが、全ての方法、特に簡便なこの方法で膜を形成する
場合に適用しやすい顔料が好ましい。The membrane obtained by the above-mentioned method is generally porous. Therefore, when a dye is used for the lower layer, when the upper layer is formed by the above-described method, the dye of the lower layer passes through the pores of the upper layer and elutes into the upper layer that has not been dried yet when the solution of the upper layer is applied. In some cases, it becomes difficult to control manufacturing conditions. In the case of a pigment, since it is larger than a dye, it does not pass through the pores in the lower layer. Of course, when the upper layer is formed by a method such as vapor deposition, such a problem does not occur. However, a pigment which can be easily applied to all methods, particularly, when a film is formed by this simple method is preferable.
【0032】顔料としては、その種類の多さから、有機
顔料が好ましい。また、膜の透明性からこれらの顔料の
粒径は300nm以下が好ましい。一般的に、膜の透明性
を得るためには顔料の粒径は波長λの1/2以下つまり
可視光の場合は200nm以下である。これは顔料の粒径
が大きくなると光散乱を生じ透明性が損なわれる傾向が
あるからである。本発明では顔料は膜内部に閉じ込めら
れているので顔料と空気の屈折率差に比べ顔料と膜材料
の屈折率差は小さくなり、300nmの粒径まで透明性を
維持することができる。また、多孔質膜からの溶出を防
ぎ、かつ、十分な耐光性を有するためには、顔料の粒径
は3nm以上であることが好ましい。さらに好ましくは、
顔料の粒径は5〜200nmである。As the pigment, an organic pigment is preferable because of its variety. The particle size of these pigments is preferably 300 nm or less in view of the transparency of the film. Generally, in order to obtain the transparency of the film, the particle diameter of the pigment is 1/2 or less of the wavelength λ, that is, 200 nm or less in the case of visible light. This is because when the particle size of the pigment is large, light scattering is caused and transparency tends to be impaired. In the present invention, since the pigment is confined inside the film, the difference in the refractive index between the pigment and the film material is smaller than the difference in the refractive index between the pigment and the air, so that transparency can be maintained up to a particle size of 300 nm. In order to prevent elution from the porous film and to have sufficient light resistance, it is preferable that the pigment has a particle size of 3 nm or more. More preferably,
The pigment particle size is between 5 and 200 nm.
【0033】色素としてはほとんど全ての顔料を用いる
ことができる。有機顔料では、例えば、ベンジンエロ
ー、カーミンFB等のアゾ系黄色、赤色顔料、ペリレ
ン、ペリロン、ジオキサジン、チオインジゴ、イソイン
ドリノン、キノフタロン、キナクリドン等の縮合顔料、
フタロシアニン系顔料等がある。無機顔料では、チタン
白、ベンガラ、黄鉛、コバルトブルー等があげられる。
もちろん、これら以外の色素も本発明に用いることがで
きる。Almost any pigment can be used as the dye. In organic pigments, for example, azo yellow, red pigments such as benzene yellow, carmine FB, etc., condensed pigments such as perylene, perilone, dioxazine, thioindigo, isoindolinone, quinophthalone, quinacridone,
And phthalocyanine pigments. Inorganic pigments include titanium white, red iron, graphite, cobalt blue and the like.
Of course, dyes other than these can also be used in the present invention.
【0034】上層膜を形成する材料は、下層膜よりも相
対的に低屈折率であることが望ましく、例えば、酸化け
い素の薄膜でも十分な反射防止効果が得られるが、屈折
率制御や膜強度向上の目的でフロロアルキルシランのよ
うな物質を添加してもよい。反射防止膜全体として上述
の特性を満たすのであれば、下層膜または上層膜に補助
的に他の物質を添加することも可能である。すなわち、
本発明の反射防止膜の上層、下層、またはその両方に吸
湿性金属塩、例えば、LiNO3 、LiCl等を混合す
ることにより、反射防止膜に導電性をもたせることによ
り、帯電防止機能を付与することができる。また、Sn
O2 、ITOの微粒子を上層、下層またはその両方に導
入することにより帯電防止機能を付与することもでき
る。It is desirable that the material forming the upper layer film has a relatively lower refractive index than that of the lower layer film. For example, a silicon oxide thin film can provide a sufficient antireflection effect. A substance such as fluoroalkylsilane may be added for the purpose of improving the strength. As long as the above properties are satisfied as a whole of the antireflection film, another substance can be added to the lower layer film or the upper layer film in an auxiliary manner. That is,
By mixing a hygroscopic metal salt, for example, LiNO 3 , LiCl, or the like into the upper layer, the lower layer, or both of the antireflection film of the present invention, the antireflection film is given conductivity, thereby providing an antistatic function. be able to. Also, Sn
An antistatic function can be imparted by introducing fine particles of O 2 and ITO into the upper layer, the lower layer, or both.
【0035】また、上述のような反射防止膜は特に表示
装置等への応用が有効と考えられる。したがって、可視
光をより効率よく反射防止することが重要となる。人間
の目が最も強く光を感じる波長、すなわち視感度の高い
波長は555nmといわれているが、周囲光は可視光の中
でやや長波長に大きい分布をもつものが多い。そのよう
なことから、周囲光の反射を効果的に防止するために
は、550nm〜630nmの間の波長を重点的に防止する
ことがよい。反射防止膜の分光透過率の最小波長は、分
光反射率の最小波長と略一致する必要があるので、同様
に550nm〜630nmの間にあることが望ましい。表示
装置としては、陰極線管や液晶表示装置等の表示部基体
を通して画像を見るものがあげられる。The antireflection film as described above is considered to be particularly effective when applied to a display device or the like. Therefore, it is important to more effectively prevent reflection of visible light. The wavelength at which the human eye perceives light most strongly, that is, the wavelength with high luminosity, is said to be 555 nm, but ambient light often has a distribution that is slightly longer at longer wavelengths in visible light. Therefore, in order to effectively prevent the reflection of ambient light, it is preferable to mainly prevent wavelengths between 550 nm and 630 nm. Since the minimum wavelength of the spectral transmittance of the anti-reflection film needs to substantially coincide with the minimum wavelength of the spectral reflectance, it is similarly desirable to be between 550 nm and 630 nm. Examples of the display device include a device for viewing an image through a display base such as a cathode ray tube or a liquid crystal display device.
【0036】[0036]
【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。 (実施例1) ・下層形成溶液の調整 まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Aを調整し
た。 A:Ti(OC3 H7 )4 チタンイソプロポキシド 2.5wt% 顔料分散液1 15wt% 硝酸 0.05wt% IPA(イソプロピルアルコール) 残部Embodiments of the present invention will be described below in detail. (Example 1)-Preparation of lower layer forming solution First, a solution A having the following composition was prepared as a lower layer forming solution. A: Ti (OC 3 H 7 ) 4 titanium isopropoxide 2.5 wt% pigment dispersion 1 15 wt% nitric acid 0.05 wt% IPA (isopropyl alcohol) balance
【0037】ここで、顔料分散液1とは、平均粒径が2
0nmのホスタパームピンクEを2.5wt%の濃度でイ
ソプロピルアルコールに分散させた液である。上記組成
Aのように調整された混合液を約1時間撹拌し、反応さ
せて下層形成溶液とした。 ・上層形成溶液の調整 次に、上層形成溶液として以下の組成の溶液Bを調整し
た。 B:Si(OC2 H5 )4 シリコンテトラエトキソド 5.0wt% 水 1.0wt% 硝酸 0.05wt% IPA(イソプロピルアルコール) 残部 上記組成に調整した後、約1時間撹拌し反応させ、上層
形成用溶液とした。 ・反射防止膜の形成Here, the pigment dispersion 1 has an average particle diameter of 2
This is a liquid in which 0 nm Hosta Palm Pink E is dispersed in isopropyl alcohol at a concentration of 2.5 wt%. The mixed solution prepared as in the above composition A was stirred for about 1 hour and reacted to obtain a lower layer forming solution. Preparation of Upper Layer Forming Solution Next, a solution B having the following composition was prepared as the upper layer forming solution. B: Si (OC 2 H 5 ) 4 silicon tetraethoxide 5.0 wt% water 1.0 wt% nitric acid 0.05 wt% IPA (isopropyl alcohol) balance After adjusting to the above composition, the mixture was stirred for about 1 hour to react and react. A solution for formation was used.・ Formation of anti-reflective coating
【0038】まず、上述の下層形成用溶液を屈折率1.
52のガラス基板にディップ法により塗布し、100℃
で10分間後乾燥し、厚さ0.1μmの下層膜を形成し
た。次いで、上層形成用溶液をこの下層膜上に塗布し、
150℃の雰囲気で20分間焼成させ、膜厚が0.1μ
mの上層膜を形成した。このように得られた2層反射防
止膜の分光反射率と分光透過率は図2に示すようになっ
た。なお、この反射防止膜の分光反射率の測定は、大塚
電子(株)製MCPD−1000を用い、光源にハロゲ
ンランプを用いて入射角0°で測定し、反射防止膜を形
成していない基板の反射率を100%として表した。ま
た、分光透過率は、ミノルタカメラ製分光測色計CM−
1000を用いて行った。試料を白色板の上におき測定
し、反射防止膜を形成していない基板の値に対する比率
の平方根で表した。First, the above-mentioned solution for forming the lower layer was prepared with a refractive index of 1.
52 is applied on a glass substrate by a dipping method,
After drying for 10 minutes, a lower layer film having a thickness of 0.1 μm was formed. Next, an upper layer forming solution is applied on the lower layer film,
Baking for 20 minutes in an atmosphere of 150 ° C.
m was formed. FIG. 2 shows the spectral reflectance and spectral transmittance of the thus obtained two-layer antireflection film. The spectral reflectance of the antireflection film was measured using an MCPD-1000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd., using a halogen lamp as a light source at an incident angle of 0 °, and measuring the substrate on which the antireflection film was not formed. Is expressed as a reflectance of 100%. The spectral transmittance was measured by a Minolta Camera spectrophotometer CM-
Performed using 1000. The sample was placed on a white plate and measured, and expressed as the square root of the ratio to the value of the substrate on which the antireflection film was not formed.
【0039】図2からわかるように、本発明の反射防止
膜は、曲線10aに示す分光反射率、曲線10bに示す分光
透過率を有しており、従来の反射防止特性11aに比べ広
範囲にわたって反射防止効果を有している。 (実施例2) ・下層形成溶液の調整 まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Cを調整し
た。 C:Ti(OC3 H7 )4 チタンイソプロポキシド 2.5wt% 顔料分散液2 15wt% 硝酸 0.05wt% IPA(イソプロピルアルコール) 残部As can be seen from FIG. 2, the antireflection film of the present invention has a spectral reflectance shown by a curve 10a and a spectral transmittance shown by a curve 10b. It has a preventive effect. Example 2 Preparation of Underlayer Forming Solution First, a solution C having the following composition was prepared as the underlayer forming solution. C: Ti (OC 3 H 7 ) 4 titanium isopropoxide 2.5 wt% pigment dispersion 2 15 wt% nitric acid 0.05 wt% IPA (isopropyl alcohol) balance
【0040】ここで、顔料分散液2とは、平均粒径が1
0nmのヘリオゲンブルーEP−7Sを2.5wt%の濃
度でイソプロピルアルコールに分散させた液である。上
記組成のように調整された混合液を空気中の水で約1時
間撹拌し、反応させて下層形成溶液とした。 ・反射防止膜の形成Here, the pigment dispersion 2 has an average particle diameter of 1
This is a solution in which 0 nm Heliogen Blue EP-7S is dispersed in isopropyl alcohol at a concentration of 2.5 wt%. The mixed solution adjusted as described above was stirred with water in the air for about 1 hour, and reacted to obtain a lower layer forming solution.・ Formation of anti-reflective coating
【0041】上層形成用溶液は実施例1と同様の溶液B
を用い、基板上に反射防止膜を形成した。塗布方法、条
件、膜厚は実施例1と同様である。このようにして得ら
れた反射防止膜の特性は図3に示すようになった。曲線
20aに示す分光反射率、曲線20bに示す分光透過率を有
しており、実施例1と同様に従来に比べ広範囲な波長領
域で反射防止効果を有していることがわかる。 (実施例3) ・下層形成溶液の調整 まず、下層形成溶液として以下の組成の溶液Dを調整し
た。 D:Ti(OC3 H7 )4 チタンイソプロポキシド 2.5wt% Zr(OC4 H9 )4 ジルコニウムブトキシド 0.5wt% 顔料分散液3 15wt% 硝酸 0.01wt% IPA(イソプロピルアルコール) 残部The solution for forming the upper layer was the same as the solution B in Example 1.
Was used to form an antireflection film on the substrate. The application method, conditions, and film thickness are the same as in Example 1. The characteristics of the antireflection film thus obtained are as shown in FIG. curve
It has a spectral reflectance shown by 20a and a spectral transmittance shown by a curve 20b, and it can be seen that it has an antireflection effect in a wider wavelength range as compared with the related art, as in the first embodiment. Example 3 Preparation of Underlayer Forming Solution First, a solution D having the following composition was prepared as the underlayer forming solution. D: Ti (OC 3 H 7 ) 4 titanium isopropoxide 2.5 wt% Zr (OC 4 H 9 ) 4 zirconium butoxide 0.5 wt% Pigment dispersion 3 15 wt% Nitric acid 0.01 wt% IPA (isopropyl alcohol) balance
【0042】ここで、顔料分散液3とは、平均粒径が3
0nmのペリレン系有機顔料を2.5wt%の濃度でイソ
プロピルアルコールに分散させた液である。上記組成D
のように調整された混合液を約1時間撹拌し、反応させ
て下層形成溶液とした。 ・上層形成溶液の調整 次に、上層形成溶液として以下の組成の溶液Eを調整し
た。 E:Si(OC2 H5 )4 シリコンテトラエトキソド 4.5wt% CF3 Si(OCH3 )3 0.5wt% 水 1.0wt% 硝酸 0.05wt% IPA(イソプロピルアルコール) 残部 上記組成に調整した後、約1時間撹拌し反応させ、上層
形成用溶液とした。 ・反射防止膜の形成Here, the pigment dispersion 3 has an average particle diameter of 3
This is a liquid in which a 0 nm perylene-based organic pigment is dispersed in isopropyl alcohol at a concentration of 2.5 wt%. Composition D above
The mixture prepared as described above was stirred for about 1 hour and reacted to obtain a lower layer forming solution. Preparation of Upper Layer Forming Solution Next, a solution E having the following composition was prepared as the upper layer forming solution. E: Si (OC 2 H 5 ) 4 silicon tetraethoxide 4.5 wt% CF 3 Si (OCH 3 ) 3 0.5 wt% water 1.0 wt% nitric acid 0.05 wt% IPA (isopropyl alcohol) balance Adjusted to the above composition After that, the mixture was stirred and reacted for about 1 hour to obtain an upper layer forming solution.・ Formation of anti-reflective coating
【0043】実施例1と同様の塗布方法、条件にて基板
上に上層下層とも約0.1μmの反射防止膜を形成し
た。このようにして得られた反射防止膜の特性は図6に
示すようになった。Under the same coating method and conditions as in Example 1, an antireflection film of about 0.1 μm was formed on both the upper and lower layers on the substrate. The characteristics of the antireflection film thus obtained are as shown in FIG.
【0044】この反射防止膜は、曲線30aに示す分光反
射率、曲線30bに示す分光透過率を有しており、上述の
実施例と同様に従来のもの31aに比べ広範囲な波長領域
で反射防止効果を有していることがわかる。 (実施例4)This antireflection film has a spectral reflectance shown by a curve 30a and a spectral transmittance shown by a curve 30b, and has a wider wavelength range than the conventional film 31a as in the above-described embodiment. It turns out that it has an effect. (Example 4)
【0045】上記実施例は下層に色素を含有したもので
あるが、色素とともにカップリング剤を含有させること
により、さらに広帯域における反射防止効果を得ること
ができる。そこで、色素とカップリング剤を含有させる
例について説明する。In the above embodiment, the lower layer contains a dye, but by including a coupling agent together with the dye, an antireflection effect over a wider band can be obtained. Therefore, an example in which a dye and a coupling agent are contained will be described.
【0046】表3に示す組成で混合した溶液を室温中で
30分間静置した後、基板上に塗布して下層膜を形成
し、100℃の雰囲気で5分間焼成した。表3中の顔料
分散液は、実施例1で用いたものを使用した。A solution mixed with the composition shown in Table 3 was allowed to stand at room temperature for 30 minutes, then applied on a substrate to form a lower layer film, and baked at 100 ° C. for 5 minutes. The pigment dispersions in Table 3 used were those used in Example 1.
【0047】[0047]
【表3】 [Table 3]
【0048】続いて、以下の組成の液を調製して下層膜
の上から塗布して上層膜を形成し、150℃の雰囲気で
5分間焼成した。こうして形成された反射防止膜の特性
を図7に示す。図中、50aおよび50f〜50hは表3にお
ける組成aおよびg〜hを示す。 シリコンテトラエトキシド 4.0wt% 塩酸 1.5wt% 水 1.0wt% イソプロピルアルコール 残部 wt% (実施例5)次に、本発明の表示装置の具体例として陰
極線管を使用した例について説明する。Subsequently, a liquid having the following composition was prepared and applied from above the lower film to form an upper film, which was baked at 150 ° C. for 5 minutes. FIG. 7 shows the characteristics of the antireflection film thus formed. In the figure, 50a and 50f to 50h indicate the compositions a and g to h in Table 3, respectively. Silicon tetraethoxide 4.0 wt% Hydrochloric acid 1.5 wt% Water 1.0 wt% Isopropyl alcohol Remainder wt% (Example 5) Next, an example using a cathode ray tube as a specific example of the display device of the present invention will be described.
【0049】図8は、本発明に基づき製造された陰極線
管60を示す部分切欠側面図である。この陰極線管60は、
内部が排気された気密性のガラス外囲器61を有する。こ
の外囲器61は、ネック62およびネック62から連続するコ
ーン63を有する。さらに、外囲器61はコーン63とフリッ
トガラスにより封着されるフェースプレート64を有す
る。このフェースプレート64の側壁の外周には、防爆の
ために金属製のテンションバンド65が巻回されている。
このネック62には、電子ビームを放出する電子銃66が配
置されている。フェースプレート64の内面には、電子銃
66からの電子ビームにより励起されて発光する蛍光体層
よりなる蛍光体スクリーン67が設けられている。また、
コーン63の外側には、蛍光体スクリーン上を走査するよ
うに電子ビームを偏向させる偏向装置(図示せず)が挿
着される。FIG. 8 is a partially cutaway side view showing a cathode ray tube 60 manufactured according to the present invention. This cathode ray tube 60
It has an airtight glass envelope 61 whose interior is evacuated. The envelope 61 has a neck 62 and a cone 63 continuing from the neck 62. Further, the envelope 61 has a cone 63 and a face plate 64 sealed with frit glass. A metal tension band 65 is wound around the outer periphery of the side wall of the face plate 64 for explosion protection.
An electron gun 66 for emitting an electron beam is arranged on the neck 62. The inner surface of the face plate 64 has an electron gun
A phosphor screen 67 made of a phosphor layer that emits light when excited by the electron beam from 66 is provided. Also,
Outside the cone 63, a deflecting device (not shown) for deflecting the electron beam so as to scan on the phosphor screen is inserted.
【0050】ところで、この陰極線管60のフェースプレ
ート64の外表面には、上記実施例1の下層形成用溶液と
上層形成用溶液を塗布することにより本発明の2層構造
の反射防止膜68が形成されている。On the outer surface of the face plate 64 of the cathode ray tube 60, the lower layer forming solution and the upper layer forming solution of the first embodiment are applied to form the two-layer antireflection film 68 of the present invention. Is formed.
【0051】上記実施例1はディップ法により塗布して
いるが、本実施例では組立終了後の25インチのカラー
陰極線管のフェースプレート前面にスピンコートにより
塗布した。乾燥、焼成の条件および下層、上層の膜厚は
実施例1と同様である。In the first embodiment, the coating is performed by the dipping method. In the present embodiment, the coating is performed by spin coating on the front surface of the face plate of the 25-inch color cathode ray tube after the assembly is completed. The conditions for drying and firing and the thicknesses of the lower and upper layers are the same as in Example 1.
【0052】この反射防止膜の特性は図2に示すように
なった。この反射防止膜を形成した陰極線管は、窓や照
明等の周囲光の映り込みの影響がほとんどなく、さらに
着色のない反射光となり色再現性を妨げることなく、良
好な画像を形成することができた。The characteristics of this antireflection film are as shown in FIG. The cathode ray tube on which the antireflection film is formed is hardly affected by the reflection of ambient light such as windows and lights, and becomes a reflected light without coloring, and can form a good image without hindering color reproducibility. did it.
【0053】なお、このカラー受像管の表面に形成され
た反射防止膜の分光反射率の測定は、上記実施例と同様
に、大塚電子(株)製MCPD−1000を用い、光源
にハロゲンランプを用いて入射角0°で測定し、次い
で、反射防止膜を取り除いたときの同一部分の測定を
し、反射防止膜を取り除いたときの値を100%として
表した。また、分光透過率は、ミノルタカメラ製分光測
光計CM−1000を用い、試料を測定し、その後、試
料の反射防止膜を薬剤等で取り除き、同一部分を測定
し、反射防止膜を取り除いたときの測定値を基準として
試料の測定値の比率の平方根で表した。 (実施例6)The spectral reflectance of the anti-reflection film formed on the surface of the color picture tube was measured using an MCPD-1000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd., and a halogen lamp was used as a light source. At an incident angle of 0 °, and then the same portion when the anti-reflection film was removed was measured, and the value when the anti-reflection film was removed was expressed as 100%. The spectral transmittance was measured using a Minolta Camera spectrophotometer CM-1000, the sample was measured, and then the antireflection film of the sample was removed with a chemical or the like, the same portion was measured, and the antireflection film was removed. The measured value of the sample was used as a standard and represented by the square root of the ratio of the measured value of the sample. (Example 6)
【0054】上記実施例2に示す反射防止膜を陰極線管
のスクリーン外表面にスピンコート法により形成した。
乾燥条件、焼成条件、膜厚は実施例3と同様である。こ
の反射防止膜の特性は、図3に示すようになった。この
反射防止膜を形成した陰極線管は、実施例5と同様に良
好な特性を示した。 (実施例7)上記実施例3に示す反射防止膜を液晶表示
装置の外表面に形成したものについて以下説明する。The antireflection film shown in Example 2 was formed on the outer surface of the screen of the cathode ray tube by spin coating.
The drying conditions, firing conditions, and film thickness are the same as in Example 3. The characteristics of the antireflection film were as shown in FIG. The cathode ray tube on which the antireflection film was formed exhibited good characteristics as in Example 5. (Embodiment 7) A case where the antireflection film shown in Embodiment 3 is formed on the outer surface of a liquid crystal display device will be described below.
【0055】図9に本発明による液晶表示装置を示す。
この液晶表示装置は、相対向する一対のガラスからなる
基板71,72 と、この基板71,72 の各対向面にそれぞれ形
成されたITO(Indium Tin Oxide)からなる所定パタ
ーンの電極73,74 と、この各電極73,74 を覆うように上
記一対の基板71,72 の各対向面に形成された配向膜75,7
6 と、上記基板71,72 間に配置され配向膜75,76 に固着
し、上記一対の基板71,72 の間隔を規制する熱硬化性樹
脂からなるスペーサー77と、その基板71,72 間に充填さ
れた液晶78と、この液晶78の充填された基板71,72 の周
縁部を封止するシール剤79とから構成されている。そし
て、その表示部基体をなすその一方の基板71の外表面に
反射防止膜80が設けられている。FIG. 9 shows a liquid crystal display device according to the present invention.
This liquid crystal display device comprises a pair of substrates 71 and 72 made of glass opposed to each other, and electrodes 73 and 74 of a predetermined pattern made of ITO (Indium Tin Oxide) formed on each of the opposing surfaces of the substrates 71 and 72. The alignment films 75, 7 formed on the opposing surfaces of the pair of substrates 71, 72 so as to cover the electrodes 73, 74, respectively.
6 and a spacer 77 made of a thermosetting resin which is disposed between the substrates 71 and 72 and is fixed to the alignment films 75 and 76 to regulate the distance between the pair of substrates 71 and 72, and between the substrates 71 and 72. It is composed of a filled liquid crystal 78 and a sealing agent 79 for sealing the peripheral portions of the substrates 71 and 72 filled with the liquid crystal 78. An anti-reflection film 80 is provided on the outer surface of one of the substrates 71 constituting the display base.
【0056】この反射防止膜80は、その反射防止膜80形
成部以外の部分をシールし、実施例3の薄膜形成用コー
ティング液を膜厚が0.1μmになるように塗布して、
その後、焼成して形成したものである。この反射防止膜
の特性は実施例3に示す通りであり、従来のものに比べ
反射防止領域が拡大されている。This anti-reflection film 80 seals the portion other than the anti-reflection film 80 forming portion, and is coated with the thin film forming coating liquid of Example 3 so as to have a thickness of 0.1 μm.
Then, it is formed by firing. The characteristics of this antireflection film are as shown in Example 3, and the antireflection region is enlarged as compared with the conventional one.
【0057】以上、本発明の実施例について説明した
が、反射防止特性はその反射防止膜を形成しようとする
基体に要求される特性に合わせて適宜設定されるもので
あり、上記実施例に限定されるものではない。また、反
射防止膜と表示装置の組合せも上記例に限定されない。Although the embodiments of the present invention have been described above, the antireflection characteristics are appropriately set in accordance with the characteristics required for the substrate on which the antireflection film is to be formed. It is not something to be done. Further, the combination of the antireflection film and the display device is not limited to the above example.
【0058】[0058]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、2層反射防止膜の下層膜に色素を導入し、その分光
透過率と分光反射率を最適かすることにより、広帯域に
わたる反射防止効果を達成することが可能となった。特
に、従来ぎらつきの原因となっていた反射を防止しよう
とする特定波長からずれた領域での反射の増加を抑制す
ることが可能となる。その結果、表示特性に優れた表示
装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, a dye is introduced into the lower layer film of the two-layer antireflection film, and the spectral transmittance and the spectral reflectance thereof are optimized to thereby achieve reflection over a wide band. The prevention effect can be achieved. In particular, it is possible to suppress an increase in reflection in a region deviated from a specific wavelength in which reflection, which has conventionally caused glare, is to be prevented. As a result, a display device with excellent display characteristics can be provided.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】2層反射防止膜の屈折率と反射防止効果の関係
を示す特性図である。FIG. 1 is a characteristic diagram showing a relationship between a refractive index of a two-layer antireflection film and an antireflection effect.
【図2】本発明の反射防止膜の一実施例についての分光
反射率特性および光透過率特性を示す特性図である。FIG. 2 is a characteristic diagram showing spectral reflectance characteristics and light transmittance characteristics of an example of the antireflection film of the present invention.
【図3】本発明の反射防止膜の他の実施例についての分
光反射率特性および光透過率特性を示す特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing a spectral reflectance characteristic and a light transmittance characteristic of another example of the antireflection film of the present invention.
【図4】図2に示す反射防止膜について上下層を薄くし
ていったときの最低反射率のずれを説明するための反射
率特性図である。4 is a reflectance characteristic diagram for explaining a shift in minimum reflectance when the upper and lower layers of the antireflection film shown in FIG. 2 are made thinner.
【図5】図2に示す反射防止膜について上下層を厚くし
ていったときの最低反射率のずれを説明するための反射
率特性図である。FIG. 5 is a reflectance characteristic diagram for explaining a shift in minimum reflectance when the upper and lower layers of the antireflection film shown in FIG. 2 are made thicker.
【図6】本発明の反射防止膜の他の実施例についての分
光反射率特性および光透過率特性を示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing a spectral reflectance characteristic and a light transmittance characteristic of another example of the antireflection film of the present invention.
【図7】本発明の反射防止膜の他の実施例についての分
光反射率特性および光透過率特性を示す特性図である。FIG. 7 is a characteristic diagram showing spectral reflectance characteristics and light transmittance characteristics of another example of the antireflection film of the present invention.
【図8】本発明による陰極線管の構造を説明する一部切
り欠け図である。FIG. 8 is a partially cutaway view illustrating the structure of a cathode ray tube according to the present invention.
【図9】本発明による液晶表示装置の構造を説明する断
面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a structure of a liquid crystal display device according to the present invention.
10a,20a,30a…反射率特性 10b,20b,30b…透過率特性 10a, 20a, 30a ... Reflectance characteristics 10b, 20b, 30b ... Transmittance characteristics
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 秀三 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2号 株式会社東芝 深谷電子工場内 (56)参考文献 特開 平4−67545(JP,A) 特開 平4−334853(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Shuzo Matsuda 1-9-2 Hara-cho, Fukaya-shi, Saitama Pref. JP-A-4-3344853 (JP, A)
Claims (8)
1の薄膜上に形成される第2の薄膜とからなる反射防止
膜において、 前記第1の薄膜は平均粒径が3〜300nmの色素を含
有し、かつ、前記反射防止膜の可視光領域における分光
反射率の最小となる波長をλr、分光透過率の最小とな
る波長をλt、とするとき、 λt−50nm<λr<λt+70nm となる関係を有することを特徴とする反射防止膜。1. An anti-reflection film comprising a first thin film formed on a substrate and a second thin film formed on the first thin film, wherein the first thin film has an average particle size of 3 Λt−50 nm <λr, where λt contains a dye having a wavelength of about 300 nm and the wavelength at which the spectral reflectance in the visible light region of the antireflection film is the minimum is λr, and the wavelength at which the spectral transmittance is the minimum is λt. <Λt + 70 nm. An anti-reflection film having a relationship of:
に形成される第1の薄膜とこの第1の薄膜上に形成され
る第2の薄膜とからなる反射防止膜を具備する表示装置
において、 前記第1の薄膜は平均粒径が3〜300nmの色素を含
有し、かつ、前記反射防止膜の可視光領域における分光
反射率の最小となる波長をλr、分光透過率の最小とな
る波長をλt、とするとき、 λt−50nm<λr<λt+70nm となる関係を有することを特徴とする表示装置。2. An antireflection film comprising a first thin film formed on a substrate and a second thin film formed on the first thin film on an outer surface of the light-transmitting display portion base. In the display device, the first thin film contains a dye having an average particle diameter of 3 to 300 nm, and a wavelength at which a spectral reflectance of the antireflection film in a visible light region is minimum is λr, and a spectral transmittance is a minimum. A display device characterized by having a relationship of λt−50 nm <λr <λt + 70 nm, where λt is the wavelength that becomes.
透過率が最小となる波長λtとが、 λt−30nm<λr<λt+40nm なる関係を有することを特徴とする請求項1記載の反射
防止膜。3. The antireflection method according to claim 1, wherein the wavelength λr at which the spectral reflectance is minimum and the wavelength λt at which the spectral transmittance is minimum have a relationship of λt−30 nm <λr <λt + 40 nm. film.
50〜630nmであることを特徴とする請求項1記載
の反射防止膜。4. The wavelength λt at which the spectral transmittance is minimized is 5
The anti-reflection film according to claim 1, wherein the thickness is 50 to 630 nm.
透過率が最小となる波長λtとが、 λt−30nm<λr<λt+40nm なる関係を有することを特徴とする請求項2記載の表示
装置。5. The display device according to claim 2, wherein the wavelength λr at which the spectral reflectance is minimum and the wavelength λt at which the spectral transmittance is minimum have a relationship of λt−30 nm <λr <λt + 40 nm. .
50〜630nmであることを特徴とする請求項2記載
の表示装置。6. The wavelength λt at which the spectral transmittance is minimized is 5
The display device according to claim 2, wherein the thickness is 50 to 630 nm.
する請求項5または6に記載の表示装置。7. The display device according to claim 5 , wherein the display device is a cathode ray tube.
徴とする請求項5または6に記載の表示装置。8. The display device according to claim 5, wherein the display device is a liquid crystal display device.
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- 1992-06-18 JP JP15905592A patent/JP3320776B2/en not_active Expired - Fee Related
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