JP3298538B2 - 端面反射縦結合型saw共振子フィルタ - Google Patents
端面反射縦結合型saw共振子フィルタInfo
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Description
機器などにおいて帯域フィルタとして用いられるSAW
共振子フィルタに関し、より詳細には、単一の表面波基
板を用いて複数の端面反射型の縦結合型共振子フィルタ
部が構成されている複数段構成の端面反射縦結合型SA
W共振子フィルタに関する。
タとして、種々の表面波フィルタが提案されている。
利用した縦結合SAW共振子フィルタは、インターデジ
タルトランスデューサ(以下、IDT)により励振され
る対称モードと非対称モードの2種の共振モードを結合
させることにより、フィルタ特性を得ている。
過帯域外に高次モードなどの他のモードによる振動がス
プリアスとなって表れる。これらのスプリアスは、表面
波伝搬方向のIDTの形状によって異なるように表れ
る。
減衰量が十分に大きくならない場合には、複数のSAW
共振子フィルタを直列接続する方法が用いられている。
しかしながら、接続されている複数のSAW共振子フィ
ルタの形状が全く同じである場合には、各SAW共振子
フィルタ部における周波数特性が等しくなる。従って、
上述したスプリアスが表れる周波数位置も変わらないた
め、上記スプリアスを十分に減衰させることができな
い。
として、特開平9−294049号公報には、図5に示
すSAW共振子フィルタが開示されている。SAW共振
子フィルタ51では、表面波基板52上に、2個のSA
W共振子フィルタ部53,54が構成されている。SA
W共振子フィルタ部53では、2個のIDT55,56
が表面波伝搬方向に並べられている。また、IDT5
5,56が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に
反射器57,58が配置されている。
子フィルタ部53と同様に構成されており、IDT5
9,60が設けられている領域の両側に反射器61,6
2が形成されている。
3により電気的に接続されている。もっとも、SAW共
振子フィルタ部53の電極指の対数は、SAW共振子フ
ィルタ部54の電極指の対数と異ならされている。
は、2個の縦結合型SAW共振子フィルタ部53,54
が直列に接続されているが、SAW共振子フィルタ部5
3,54間においてIDTの電極指の対数が異なってい
る。従って、SAW共振子フィルタ部53の周波数特性
において表される帯域外スプリアスと、SAW共振子フ
ィルタ部54の周波数特性上に表れる帯域外スプリアス
とは、周波数位置が異なるように構成されている。よっ
て、SAW共振子フィルタ51全体の周波数特性では、
スプリアスの大きさを小さくすることが可能とされてい
る。
94049号公報に記載のSAW共振子フィルタ51
は、表面波の中でもレイリー波を利用したものである。
近年、レイリー波に代わり、BGS波やラブ波などのS
Hタイプの表面波を利用した端面反射型表面波装置が注
目されている。すなわち、端面反射型の表面波装置で
は、IDTの両側に反射器を形成する必要がないため、
表面波装置の小型化を図り得る。
ルタ部を直列接続してなるSAW共振子フィルタを、端
面反射型表面波装置において構成すれば、小型のSAW
共振子フィルタを得ることができる。
複数の端面反射型SAW共振子フィルタ部を構成し、か
つ特開平9−294049号公報に記載のようにIDT
の電極指の対数をSAW共振子フィルタ部によって異な
らせることは非常に難しい。すなわち、端面反射型SA
W共振子では、IDTの両端に表面波を反射させる端面
を構成する必要があるが、複数のSAW共振子フィルタ
部においてIDTの電極指の対数を異ならせた場合、S
AW共振子フィルタ部によって端面の位置が異なること
になる。従って、表面波基板の加工が困難となり、かつ
端面の精度が低下し、フィルタ特性が劣化するおそれが
ある。
う端面反射型のSAW共振子フィルタの利点を損なうこ
となく、帯域外スプリアスを効果的に抑圧することがで
き、従って良好なフィルタ特性を得ることができる端面
反射縦結合型SAW共振子フィルタを提供することにあ
る。
合型SAW共振子フィルタは、対向し合う第1,第2の
端面を有する表面波基板と、前記表面波基板の第1,第
2の端面間で表面波が反射されるように構成された端面
反射型の複数の縦結合型共振子フィルタ部とを備え、各
縦結合型共振子フィルタ部が、表面波伝搬方向に並べら
れた複数のIDTを有し、かつ複数の縦結合型共振子フ
ィルタ部の電極指の対数が等しくされており、複数の縦
結合型共振子フィルタ部を電気的に接続している接続導
電部をさらに備え、前記複数の縦結合型共振子フィルタ
部において、少なくとも1つの縦結合型共振子フィルタ
部の複数のIDT間の電極指の対数比が、他の縦結合型
共振子フィルタ部の複数のIDT間の電極指の対数比と
異なっていることを特徴とする。
共振子フィルタ部が、第1,第2のIDTを有し、少な
くとも1つの縦結合型共振子フィルタ部における第1,
第2のIDT間の電極指の対数比が、他の縦結合型共振
子フィルタ部における第1,第2のIDT間の電極指の
対数比と異なっている。
記複数の縦結合型共振子フィルタ部は、第1,第2の縦
結合型共振子フィルタ部を有する。さらに、本発明の別
の特定の局面によれば、前記各縦結合型共振子フィルタ
部が、第1〜第3のIDTを有し、少なくとも1つの縦
結合型共振子フィルタ部における3つのIDT間の電極
指の対数比が、残りの縦結合型共振子フィルタ部におけ
る3つのIDT間の電極指の対数比と異なっている。
は、好ましくは、前記複数の縦結合型共振子フィルタ部
が第1〜第3の縦結合型共振子フィルタ部であり、第
1,第3の縦結合型共振子フィルタ部における3つのI
DT間の電極指の対数比が、第2の縦結合型共振子フィ
ルタ部における3つのIDT間の電極指の対数比と異な
っている。
子フィルタでは、表面波としてSHタイプの表面波が好
適に用いられ、該SHタイプの表面波としては、BGS
波、ラブ波、リーキー波などを挙げることができる。
の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明ら
かにする。
反射縦結合型SAW共振子フィルタを示す平面図であ
る。SAW共振子フィルタ1は、矩形の表面波基板2を
用いて構成されている。
O3 、水晶などの圧電単結晶、またはチタン酸ジルコン
酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスにより構
成することができる。また、表面波基板2は、絶縁性基
板や圧電基板上に、ZnO薄膜などの圧電薄膜を積層す
ることにより構成してもよい。
圧電薄膜の上面及び下面のいずれに形成されてもよい。
表面波基板2は、対向し合う第1,第2の端面2a,2
bを有する。表面波基板2の上面2c上には、IDT3
〜6が形成されている。
向であり、IDT3,4は表面波伝搬方向に並べられて
いる。IDT3,4により、第1の縦結合型共振子フィ
ルタ部7が構成されている。
並べて配置されており、該IDT5,6により第2の縦
結合型共振子フィルタ部8が構成されている。第1,第
2の縦結合型共振子フィルタ部7,8は、いずれも、S
Hタイプの表面波としてのリーキー波を用いた端面反射
型の縦結合型SAW共振子フィルタを構成しているもの
である。
は、IDT3は、一対のくし歯電極3a,3bを有す
る。くし歯電極3a,3bは複数本の電極指をそれぞれ
有し、互いの電極指が間挿し合うように配置されてい
る。同様に、IDT4も、一対のくし歯電極4a,4b
を有する。
電極指3cは、残りの電極指の幅よりも狭く、約λ/8
の幅寸法を有する。IDT3の残りの電極指の幅寸法は
λ/4とされており、電極指間のギャップの表面波伝搬
方向に沿う寸法もλ/4とされている。IDT4におい
ても、表面波伝搬方向外側の電極指4cの幅がλ/8と
されており、残りの電極指及び電極指間ギャップの幅は
λ/4とされている。
の縦結合型共振子フィルタ部7と同様に構成されてい
る。すなわち、IDT5は、くし歯電極5a,5bを有
し、IDT6はくし歯電極6a,6bを有する。また、
縦結合型共振子フィルタ部8において表面波伝搬方向最
外側の電極指5c,6cの幅はλ/8とされており、残
りの電極指の幅及び電極指間ギャップの幅はλ/4とさ
れている。そして、第1の縦結合型共振子フィルタ部7
のくし歯電極5bが、第2の縦結合型共振子フィルタ部
8のIDT5のくし歯電極5aに接続導電部9により電
気的に接続されている。
電極3aに入力信号が加えられ、第2の縦結合型共振子
フィルタ部8のIDT6のくし歯電極6bから出力信号
が取り出される。なお、IDT4のくし歯電極4a及び
IDT5のくし歯電極5bが基準電位に接続される。
フィルタ1では、第1,第2の縦結合型共振子フィルタ
部7,8の電極指の対数は等しくされている。従って、
表面波を反射させる端面2a,2bの位置は、第1,第
2の縦結合型共振子フィルタ部7,8で等しくされてい
るので、表面波基板2の加工に際し、端面2a,2bを
容易に切り出すことができる。
部7におけるIDT3,4間の電極指の対数比が、第2
の縦結合型共振子フィルタ部8におけるIDT5,6間
の電極指の対数比と異ならされているため、縦結合型共
振子フィルタ部7において周波数特性に表れるスプリア
スの位置と、第2の縦結合型共振子フィルタ部8の周波
数特性において表れるスプリアスの位置が異ならされて
いる。
8により表れる帯域外スプリアスの位置が異ならされて
いるので、SAW共振子フィルタ1の周波数特性におい
て帯域外スプリアスを効果的に抑圧することが可能とさ
れている。よって、良好なフィルタ特性を得ることがで
きる。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
型SAW共振子フィルタを用意した。端面反射縦結合型
SAW共振子フィルタ21では、矩形の表面波基板22
上に、IDT23〜26が形成されている。IDT2
3,24により、第1の縦結合型共振子フィルタ部27
が構成されており、IDT25,26により第2の縦結
合型共振子フィルタ部28が構成されている。
1においても、第1,第2の縦結合型共振子フィルタ部
27,28の電極指の対数は等しくされている。従っ
て、表面波基板22から端面22a,22bを容易に切
り出すことができる。
電極指の対数は等しくされている。その他の点について
は、第1の実施例の端面反射縦結合型SAW共振子フィ
ルタ1と同様に構成されている。
子フィルタ1及び比較のために用意した端面反射縦結合
型SAW共振子フィルタ21の減衰量周波数特性を図3
に示す。なお、表面波基板2,22としては、LiTa
O3 からなり、1.4×2.0×0.35mmの寸法の
ものを用いた。また、各共振子フィルタ部の電極指の対
数は34対とした。
ルタ1の特性を、破線Bが比較のために用意した端面反
射縦結合型SAW共振子フィルタ21の減衰量周波数特
性を示す。
に、本実施例によれば、帯域外に表れるスプリアスを効
果的に抑圧することができ、従って良好なフィルタ特性
の得られることがわかる。これは、IDT3,4間の電
極指の対数比と、IDT5,6間の電極指の対数比とを
異ならせたことにより、スプリアスの表れる位置が縦結
合型共振子フィルタ部7,8で異なっているためと考え
られる。
反射縦結合型SAW共振子フィルタを示す平面図であ
る。SAW共振子フィルタ31は、矩形の表面波基板3
2を用いて構成されている。表面波基板32の上面32
c上には、表面波伝搬方向に並べられた3個のIDTを
有する縦結合型共振子フィルタ部が3個形成されてい
る。
部は、表面波伝搬方向に並べられた第1〜第3のIDT
33〜35を有する。また、第2の縦結合型共振子フィ
ルタ部は、表面波伝搬方向に並べられた第1〜第3のI
DT36〜38を有する。さらに、第3の縦結合型共振
子フィルタ部は、表面波伝搬方向に並べられた第1〜第
3のIDT39〜41を有する。
は、いずれも、SHタイプの表面波を利用した端面反射
型の縦結合型共振子フィルタ部である。すなわち、表面
波基板32の対向し合っている第1,第2の端面32
a,32bを結ぶ方向が表面波伝搬方向であり、端面3
2a,32b間で表面波が反射されるように構成されて
いる。
電極指の対数は全て等しくされている。従って、第1の
実施例の端面反射縦結合型SAW共振子フィルタ1と同
様に、矩形の表面波基板32を用いて、容易に端面反射
縦結合型SAW共振子フィルタ31を製造することがで
きる。すなわち、大きな表面波基板上にIDT33〜4
1を形成した後、端面32a,32bを容易に切り出す
ことができる。
ルタ部及び第3の縦結合型共振子フィルタ部において、
第1〜第3のIDT間の電極指の対数比は等しくされて
いるが、第1,第3の縦結合型共振子フィルタ部におけ
る第1〜第3のIDT間の電極指の対数比は、第2の縦
結合型共振子フィルタ部におけるIDT間の電極指の対
数比と異ならされている。
ィルタ部におけるIDT33〜35の電極指の対数比
は、27対35対27とされている。同様に、第3の縦
結合型共振子フィルタ部における第1〜第3のIDT3
9〜41の電極指の対数比は、27対35対27とされ
ている。
ルタ部における第1〜第3のIDT36〜38間の電極
指の対数比は、33対23対33とされている。従っ
て、第1の実施例の場合と同様に、端面反射縦結合型S
AW共振子フィルタ31全体の周波数特性において、第
1,第3の縦結合型共振子フィルタ部の周波数特性上に
表れるスプリアスと、第2の縦結合型共振子フィルタ部
の周波数特性上に表れるスプリアスとが異なる位置に表
れる。よって、端面反射縦結合型SAW共振子フィルタ
31の周波数特性においてスプリアスが分散されるの
で、スプリアスの大きさを低減することができ、良好な
フィルタ特性を得ることができる。
1,第2の縦結合型共振子フィルタ部を電気的に接続す
るために、IDT33のくし歯電極33bが、IDT3
6のくし歯電極36aに接続導電部42aにより電気的
に接続されている。同様に、IDT35のくし歯電極3
5bと、IDT38のくし歯電極38aとが接続導電部
42bにより電気的に接続されている。さらに、IDT
37のくし歯電極37bと、IDT40のくし歯電極4
0aとが接続導電部42cにより電気的に接続されてい
る。
36aに入力信号が加えられ、IDT39,41のくし
歯電極39b,41bから出力信号が取り出される。な
お、他のくし歯電極33a,34b,35a,36b,
37a,38b,39a,40b,41aは、基準電位
に接続される。
W共振子フィルタにおける縦結合型共振子フィルタ部の
数については、図示の実施例のものに限定されない。す
なわち、4以上の縦結合型共振子フィルタ部が同一の表
面波基板上に構成されていてもよい。
るIDTの数についても、図示の実施例の数に限定され
ず、4以上のIDTを有するものであってもよい。すな
わち、縦結合型共振子フィルタ部の数が複数であり、各
縦結合型共振子フィルタ部が複数のIDTを有する場
合、本発明に従って、少なくとも1つの縦結合型共振子
フィルタ部における複数のIDTの電極指の対数比を、
残りの縦結合型共振子フィルタ部における複数のIDT
間の電極指の対数比と異ならせれば、第1,第2の実施
例の場合と同様に、スプリアスを分散させることがで
き、良好なフィルタ特性を得ることができる。
振子フィルタでは、単一の表面波基板において複数の縦
結合型共振子フィルタ部が構成されているが、複数の縦
結合型共振子フィルタ部の電極指の対数が等しくされて
いるので、各縦結合型共振子フィルタ部における表面波
を反射させる第1,第2の端面間の距離が等しくされて
いる。従って、単一の表面波基板において、複数の縦結
合型共振子フィルタ部を構成したとしても、切断等によ
り第1,第2の端面を容易に形成することができる。
の内の少なくとも1つの縦結合型共振子フィルタ部の複
数のIDT間の電極指の対数比が、他の縦結合型共振子
フィルタ部の複数のIDT間の電極指の対数比と異なっ
ているので、各縦結合型共振子フィルタ部の周波数特性
において表れるスプリアスが分散されることになる。よ
って、大きなスプリアスを抑圧することができ、良好な
フィルタ特性を有する端面反射縦結合型SAW共振子フ
ィルタを提供することができる。
1,第2のIDTを有し、少なくとも1つの縦結合型共
振子フィルタ部における第1,第2のIDT間の電極指
の対数比が、他の縦結合型共振子フィルタ部における第
1,第2のIDT間の電極指の対数比と異なっている場
合には、上記のようにスプリアスの表れる位置が異なら
されるので、大きなスプリアスを抑圧することができ
る。また、2個のIDTを有するように各縦結合型共振
子フィルタ部が構成されているので、小型の端面反射縦
結合型SAW共振子フィルタを構成することができる。
部が、第1,第2の縦結合型共振子フィルタ部である場
合には、共振子フィルタ部の数も2個と少なくなるた
め、より一層小型の端面反射縦結合型SAW共振子フィ
ルタを構成することができる。
フィルタが、第1〜第3のIDTを有し、少なくとも1
つの縦結合型共振子フィルタ部における3つのIDT間
の電極指の対数比が、残りの縦結合型共振子フィルタ部
における3つのIDT間の電極指の対数比と異なってい
るように構成されている場合には、上記のように、各縦
結合型共振子フィルタ部の周波数特性において表れるス
プリアスが分散されることになるので、大きなスプリア
スを効果的に抑圧することができ、良好なフィルタ特性
を得ることができる。
結合型共振子フィルタ部が構成されているので、上記I
DT間の電極指の対数比を広い範囲にわたり異ならせる
ことができ、それによってスプリアスをより効果的に分
散させることができる。
部が第1〜第3の縦結合型共振子フィルタ部とされてい
る場合には、表面波伝搬方向と直交する方向に3個の縦
結合型共振子フィルタ部が構成されいるだけであるた
め、小型の端面反射縦結合型SAW共振子フィルタを構
成することができる。
フィルタを提供するものであるが、この場合、表面波と
しては、BGS波やラブ波などのSHタイプの表面波が
好適に用いられ、それによって小型のSAW共振子フィ
ルタを提供することが可能となる。
SAW共振子フィルタを示す平面図。
共振子フィルタを示す平面図。
射縦結合型SAW共振子フィルタの減衰量周波数特性を
示す図。
SAW共振子フィルタを示す平面図。
振子フィルタを示す平面図。
Claims (6)
- 【請求項1】 対向し合う第1,第2の端面を有する表
面波基板と、 前記表面波基板の第1,第2の端面間で表面波が反射さ
れるように構成された端面反射型の複数の縦結合型共振
子フィルタ部とを備え、 各縦結合型共振子フィルタ部が、表面波伝搬方向に並べ
られた複数のインターデジタルトランスデューサを有
し、かつ複数の縦結合型共振子フィルタ部の電極指の対
数が等しくされており、 複数の縦結合型共振子フィルタ部を電気的に接続してい
る接続導電部をさらに備え、 前記複数の縦結合型共振子フィルタ部において、少なく
とも1つの縦結合型共振子フィルタ部の複数のインター
デジタルトランスデューサ間の電極指の対数比が、他の
縦結合型共振子フィルタ部の複数のインターデジタルト
ランスデューサ間の電極指の対数比と異なっていること
を特徴とする、端面反射縦結合型SAW共振子フィル
タ。 - 【請求項2】 前記各縦結合型共振子フィルタ部が、第
1,第2のインターデジタルトランスデューサを有し、
少なくとも1つの縦結合型共振子フィルタ部における第
1,第2のインターデジタルトランスデューサ間の電極
指の対数比が、他の縦結合型共振子フィルタ部における
第1,第2のインターデジタルトランスデューサ間の電
極指の対数比と異なっている、請求項1に記載の端面反
射縦結合型SAW共振子フィルタ。 - 【請求項3】 前記複数の縦結合型共振子フィルタ部
が、第1,第2の縦結合型共振子フィルタ部である、請
求項2に記載の端面反射縦結合型SAW共振子フィル
タ。 - 【請求項4】 前記各縦結合型共振子フィルタ部が、第
1〜第3のインターデジタルトランスデューサを有し、
少なくとも1つの縦結合型共振子フィルタ部における3
つのインターデジタルトランスデューサ間の電極指の対
数比が、残りの縦結合型共振子フィルタ部における3つ
のインターデジタルトランスデューサ間の電極指の対数
比と異なっている、請求項1に記載の端面反射縦結合型
SAW共振子フィルタ。 - 【請求項5】 前記複数の縦結合型共振子フィルタ部が
第1〜第3の縦結合型共振子フィルタ部であり、第1,
第3の縦結合型共振子フィルタ部における3つのインタ
ーデジタルトランスデューサ間の電極指の対数比が、第
2の縦結合型共振子フィルタ部における3つのインター
デジタルトランスデューサ間の電極指の対数比と異なっ
ている、請求項4に記載の端面反射縦結合型SAW共振
子フィルタ。 - 【請求項6】 表面波が、SHタイプの表面波である、
請求項1〜5のいずれかに記載の端面反射縦結合型SA
W共振子フィルタ。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03716599A JP3298538B2 (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | 端面反射縦結合型saw共振子フィルタ |
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