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JP3295539B2 - Method of forming cured silicone - Google Patents

Method of forming cured silicone

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Publication number
JP3295539B2
JP3295539B2 JP19368894A JP19368894A JP3295539B2 JP 3295539 B2 JP3295539 B2 JP 3295539B2 JP 19368894 A JP19368894 A JP 19368894A JP 19368894 A JP19368894 A JP 19368894A JP 3295539 B2 JP3295539 B2 JP 3295539B2
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JP
Japan
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group
composition
curable silicone
silicon
ultraviolet
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JP19368894A
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Inventor
浩佳 内藤
君男 山川
勝利 峰
Original Assignee
東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はシリコーン硬化物の形成
方法に関し、詳しくは、付加反応硬化型シリコーン組成
物の一部分のみを硬化することができるシリコーン硬化
物の形成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a cured silicone product, and more particularly, to a method for forming a cured silicone material capable of curing only a part of an addition-curable silicone composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】一分子中に少なくとも2個のケイ素原子
結合アルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、一
分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有
するオルガノポリシロキサンおよびヒドロシリル化反応
用触媒からなる付加反応硬化型シリコーン組成物を硬化
してシリコーン硬化物を形成する方法としては、例え
ば、該組成物を加熱する方法、該組成物に紫外線を照射
した後、または紫外線を照射しながら、該組成物を加熱
する方法(特開昭60−177029号公報および特開
昭61−162561号公報参照)が挙げられる。
2. Description of the Related Art An organopolysiloxane having at least two silicon-bonded alkenyl groups in one molecule, an organopolysiloxane having at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule, and a catalyst for hydrosilylation reaction. Examples of the method of curing the addition reaction-curable silicone composition to form a silicone cured product include a method of heating the composition, a method of irradiating the composition with ultraviolet light, or a method of irradiating the composition with ultraviolet light. And a method of heating an object (see JP-A-60-177929 and JP-A-61-162561).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、付加反応硬化
型シリコーン組成物を加熱する方法では、該組成物の一
部分のみを硬化させることは困難であり、ましてや、パ
ターン形成されたシリコーン硬化物を形成することは一
層困難であった。また、特開昭60−177029号お
よび特開昭61−162561号の方法によっても該組
成物の一部分のみを硬化させることは困難であった。
However, it is difficult to cure only a part of the addition-curable silicone composition by the method of heating the addition-curable silicone composition. It was even more difficult to do. Also, it was difficult to cure only a part of the composition by the methods disclosed in JP-A-60-177029 and JP-A-61-162561.

【0004】本発明者らは、上記課題について鋭意検討
した結果、ケイ素原子結合アリール基を有する付加反応
硬化型シリコーン組成物に総照射量が少なくとも0.1
J/cm2の紫外線を照射することにより、もはや該組
成物は加熱により硬化しなくなるか、もしくは硬化性が
著しく低下することを見出して本発明に到達した。すな
わち、本発明の目的は、付加反応硬化型シリコーン組成
物の一部分のみを硬化することができるシリコーン硬化
物の形成方法を提供することにある。
The present inventors have conducted intensive studies on the above-mentioned problems and found that the addition-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group has a total irradiation amount of at least 0.1.
By irradiating with ultraviolet rays of J / cm 2 , it was found that the composition was no longer cured by heating or the curability was significantly reduced, and the present invention was reached. That is, an object of the present invention is to provide a method for forming a cured silicone product that can cure only a part of the addition reaction-curable silicone composition.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段およびその作用】本発明の
形成方法の一つは、ケイ素原子結合アリール基を有する
付加反応硬化型シリコーン組成物の一部分に総照射量が
少なくとも0.1J/cm2の紫外線を照射した後、該
組成物を加熱することにより紫外線未照射部分の該組成
物および/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2
未満である紫外線照射部分の該組成物のみを硬化させる
ことを特徴とし、また、別の本発明の形成方法は、ケイ
素原子結合アリール基を有する付加反応硬化型シリコー
ン組成物の一部分に総照射量が少なくとも0.1J/c
2の紫外線を照射しながら該組成物を加熱することに
より紫外線未照射部分の該組成物および/または紫外線
の総照射量が0.1J/cm2未満である紫外線照射部
分の該組成物のみを硬化させることを特徴とする。以
下、本発明のシリコーン硬化物の形成方法について詳細
に説明する。
Means for Solving the Problems and Action Thereof One of the formation methods of the present invention is that a part of an addition-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group has a total irradiation amount of at least 0.1 J / cm 2. After irradiating the composition with ultraviolet light, the composition is heated so that the total irradiation amount of the composition and / or ultraviolet light in the unirradiated part is 0.1 J / cm 2.
Curing only the UV-irradiated portion of the composition which is less than the UV-irradiated portion, and another forming method of the present invention provides a method for curing a portion of an addition-reaction-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group in a total irradiation amount. Is at least 0.1 J / c
By heating the composition while irradiating ultraviolet rays of m 2, only the composition of the ultraviolet ray non-irradiated portion and / or the ultraviolet ray-irradiated portion whose total amount of ultraviolet radiation is less than 0.1 J / cm 2 Is cured. Hereinafter, the method for forming the silicone cured product of the present invention will be described in detail.

【0006】本発明の形成方法に用いることができる付
加反応硬化型シリコーン組成物には、ケイ素原子結合ア
リール基を有することが必須である。このような付加反
応硬化型シリコーン組成物としては、例えば、(A)一分
子中に少なくとも2個のケイ素原子結合アルケニル基を
有するオルガノポリシロキサン、(B)一分子中に少なく
とも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポ
リシロキサンおよび(C)触媒量のヒドロシリル化反応用
触媒からなり、(A)成分および(B)成分の少なくとも一
方がケイ素原子結合アリール基を有する付加反応硬化型
シリコーン組成物、上記(A)成分および(B)成分のいず
れにもケイ素原子結合アリール基を有しない場合には、
上記の付加反応硬化型シリコーン組成物に、さらに、
(D)ケイ素原子結合アリール基を有する有機ケイ素化合
物を配合してなる付加反応硬化型シリコーン組成物が挙
げられる。
It is essential that the addition reaction-curable silicone composition that can be used in the formation method of the present invention has a silicon-bonded aryl group. Examples of such an addition reaction-curable silicone composition include (A) an organopolysiloxane having at least two silicon-bonded alkenyl groups in one molecule, and (B) at least two silicon atoms in one molecule. An addition reaction-curable silicone composition comprising an organopolysiloxane having a bonded hydrogen atom and a catalyst for a hydrosilylation reaction in a catalytic amount, wherein at least one of the component (A) and the component (B) has a silicon-bonded aryl group. In the case where none of the above components (A) and (B) has a silicon-bonded aryl group,
In addition to the addition reaction-curable silicone composition,
(D) An addition reaction-curable silicone composition comprising an organosilicon compound having a silicon-bonded aryl group is included.

【0007】(A)成分のオルガノポリシロキサンは一分
子中に少なくとも2個のケイ素原子結合アルケニル基を
有することが必要である。(A)成分中のケイ素原子結合
アルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、
ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル
基が挙げられ、特に、ビニル基が好ましい。(A)成分中
のアルケニル基の結合位置は特に限定されず、例えば、
分子鎖末端および/または分子鎖側鎖が挙げられる。
(A)成分中のアルケニル基以外のケイ素原子結合有機基
としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、
ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基等のア
ルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチ
ル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のア
ラルキル基;クロロメチル基、3−クロロプロピル基、
3,3,3−トリフロロプロピル基等のハロ置換アルキ
ル基が挙げられ、特に、メチル基、フェニル基が好まし
い。(A)成分の分子構造は特に限定されず、例えば、直
鎖状、分岐状、環状、網状、一部分岐を有する直鎖状が
挙げられ、特に、得られるシリコーン硬化物がエラスト
マー状となるためには(A)成分および(B)成分の少なく
とも一方が直鎖状であることが必要である。本発明の形
成方法において、(A)成分の25℃における粘度は特に
限定されないが、好ましくは1〜500,000センチ
ポイズの範囲内であり、さらに好ましくは、5〜10
0,000センチポイズの範囲内である。これは、(A)
成分の25℃における粘度が1センチポイズ未満である
と、得られるシリコーン硬化物の機械的強度が著しく低
下するためであり、また、これが500,000センチ
ポイズをこえると、得られる付加反応硬化型シリコーン
組成物の取扱作業性が著しく低下するためである。
The organopolysiloxane of the component (A) must have at least two silicon-bonded alkenyl groups in one molecule. As the silicon-bonded alkenyl group in the component (A), for example, a vinyl group, an allyl group,
Examples thereof include a butenyl group, a pentenyl group, a hexenyl group, and a heptenyl group, and a vinyl group is particularly preferable. The bonding position of the alkenyl group in the component (A) is not particularly limited.
Molecular chain ends and / or molecular chain side chains are included.
As the silicon-bonded organic group other than the alkenyl group in the component (A), for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group,
Alkyl groups such as butyl group, pentyl group, hexyl group and heptyl group; aryl groups such as phenyl group, tolyl group, xylyl group and naphthyl group; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; chloromethyl group and 3-chloropropyl Group,
Examples include a halo-substituted alkyl group such as a 3,3,3-trifluoropropyl group, and a methyl group and a phenyl group are particularly preferable. The molecular structure of the component (A) is not particularly limited, and includes, for example, linear, branched, cyclic, net-like, and partially branched linear chains. Particularly, since the obtained silicone cured product becomes elastomeric. Requires that at least one of the components (A) and (B) be linear. In the forming method of the present invention, the viscosity of the component (A) at 25 ° C is not particularly limited, but is preferably in the range of 1 to 500,000 centipoise, and more preferably 5 to 10 centipoise.
It is in the range of 000 centipoise. This is (A)
If the viscosity of the component at 25 ° C. is less than 1 centipoise, the mechanical strength of the resulting cured silicone product is significantly reduced. If it exceeds 500,000 centipoise, the resulting addition-curable silicone composition This is because the workability of handling the material is significantly reduced.

【0008】(A)成分のオルガノポリシロキサンとして
は、例えば、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジ
メチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、
分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルビニルポ
リシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖
ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチル
フェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビ
ニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両
末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシ
ロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖
ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合
体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチ
ルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニ
ルシロキサン共重合体、式:R1 3SiO1/2で示される
シロキサン単位と式:R1 22SiO1/2で示されるシロ
キサン単位と式:SiO4/2で示されるシロキサン単位
からなるオルガノポリシロキサン共重合体、R1 22
iO1/2で示されるシロキサン単位とSiO4/2で示され
るシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサン共重
合体、式:R12SiO2/2で示されるシロキサン単位
と式:R1SiO3/2で示されるシロキサン単位またはR
2SiO3/2で示されるシロキサン単位からなるオルガノ
ポリシロキサン共重合体、およびこれらのオルガノポリ
シロキサンの二種以上の混合物が挙げられる。式中、R
1はアルケニル基以外の一価炭化水素基であり、例え
ば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペン
チル基、ヘキシル基、ヘプチル基等のアルキル基;フェ
ニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリー
ル基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;ク
ロロメチル基、3−クロロプロピル基、3,3,3−ト
リフロロプロピル基等のハロ置換アルキル基が挙げられ
る。また、上式中、R2はアルケニル基であり、例え
ば、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、
ヘキセニル基、ヘプテニル基が挙げられる。
The organopolysiloxane of the component (A) includes, for example, a dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane copolymer having a trimethylsiloxy group at both ends of a molecular chain,
Methyl vinyl polysiloxane blocked with trimethylsiloxy group at both ends of molecular chain, dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer blocked at both ends of molecular chain, dimethylpolysiloxane blocked with dimethylvinylsiloxy group at both ends of molecular chain, molecular chain Methylvinylpolysiloxane with dimethylvinylsiloxy groups at both ends, dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane copolymer with dimethylvinylsiloxy groups at both ends, dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane / methylphenylsiloxane with dimethylvinylsiloxy groups at both ends copolymer, wherein: the siloxane units of the formula R 1 3 SiO 1/2: siloxane units represented by the formula R 1 2 R 2 SiO 1/2: Oruganopo consisting of siloxane units represented by SiO 4/2 Polysiloxane copolymer, R 1 2 R 2 S
An organopolysiloxane copolymer comprising a siloxane unit represented by iO 1/2 and a siloxane unit represented by SiO 4/2 , a siloxane unit represented by the formula: R 1 R 2 SiO 2/2 and a formula: R 1 SiO 3 Siloxane unit represented by / 2 or R
Examples thereof include an organopolysiloxane copolymer comprising a siloxane unit represented by 2 SiO 3/2 and a mixture of two or more of these organopolysiloxanes. Where R
1 is a monovalent hydrocarbon group other than an alkenyl group, for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group; a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, Aryl groups such as a naphthyl group; aralkyl groups such as a benzyl group and a phenethyl group; and halo-substituted alkyl groups such as a chloromethyl group, a 3-chloropropyl group and a 3,3,3-trifluoropropyl group. In the above formula, R 2 is an alkenyl group, for example, a vinyl group, an allyl group, a butenyl group, a pentenyl group,
A hexenyl group and a heptenyl group are exemplified.

【0009】(B)成分のオルガノポリシロキサンは一分
子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有す
ることが必要である。(B)成分中のケイ素原子結合水素
原子の結合位置は特に限定されず、例えば、分子鎖末端
および/または分子鎖側鎖が挙げられる。(B)成分中の
ケイ素原子結合有機基としては、例えば、メチル基、エ
チル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル
基、ヘプチル基等のアルキル基;フェニル基、トリル
基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル
基、フェネチル基等のアラルキル基;クロロメチル基、
3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフロロプロピ
ル基等のハロ置換アルキル基が挙げられ、特に、メチル
基、フェニル基が好ましい。(B)成分の分子構造は特に
限定されず、例えば、直鎖状、分岐状、環状、網状、一
部分岐を有する直鎖状が挙げられ、特に、得られるシリ
コーン硬化物がエラストマー状となるためには(A)成分
および(B)成分の少なくとも一方が直鎖状であることが
好ましい。本発明の形成方法において、(B)成分の25
℃における粘度は特に限定されないが、好ましくは、1
〜500,000センチポイズの範囲内であり、さらに
好ましくは、5〜100,000センチポイズの範囲内
である。これは、(B)成分の25℃における粘度が1セ
ンチポイズ未満であると、得られるシリコーン硬化物の
機械的強度が著しく低下するためであり、また、これが
500,000センチポイズをこえると、得られる付加
反応硬化型シリコーン組成物の取扱作業性が著しく低下
するためである。
The organopolysiloxane of the component (B) must have at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule. The bonding position of the silicon-bonded hydrogen atom in the component (B) is not particularly limited, and examples thereof include a molecular chain terminal and / or a molecular chain side chain. As the silicon-bonded organic group in the component (B), for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group; a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, Aryl groups such as naphthyl group; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; chloromethyl group;
Examples include a halo-substituted alkyl group such as a 3-chloropropyl group and a 3,3,3-trifluoropropyl group, and a methyl group and a phenyl group are particularly preferable. The molecular structure of the component (B) is not particularly limited, and includes, for example, linear, branched, cyclic, net-like, and partially branched linear chains. Particularly, since the obtained silicone cured product becomes elastomeric. It is preferable that at least one of the component (A) and the component (B) is linear. In the forming method of the present invention, 25% of the component (B)
Although the viscosity at ° C is not particularly limited,
It is within the range of 500500,000 centipoise, and more preferably within the range of 5100100,000 centipoise. This is because if the viscosity of the component (B) at 25 ° C. is less than 1 centipoise, the mechanical strength of the obtained cured silicone product is significantly reduced, and if it exceeds 500,000 centipoise. This is because the handling efficiency of the addition reaction-curable silicone composition is significantly reduced.

【0010】このような(B)成分のオルガノポリシロキ
サンとしては、例えば、分子鎖両末端トリメチルシロキ
シ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、分子鎖
両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・
メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末
端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチ
ルハイドロジェンシロキサン・メチルフェニルシロキサ
ン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロ
キシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメ
チルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン
・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジ
メチルハイドロジェンシロキシ基封鎖メチルフェニルポ
リシロキサン、式:R1 3SiO1/2で示されるシロキサ
ン単位と式:R1 2HSiO1/2で示されるシロキサン単
位と式:SiO4/2で示されるシロキサン単位からなる
オルガノポリシロキサン共重合体、R1 2HSiO1/2
示されるシロキサン単位とSiO4/2で示されるシロキ
サン単位からなるオルガノポリシロキサン共重合体、
式:R1HSiO2/2で示されるシロキサン単位と式:R
1SiO3/2で示されるシロキサン単位またはHSiO
3/2で示されるシロキサン単位からなるオルガノポリシ
ロキサン共重合体、およびこれらのオルガノポリシロキ
サンの二種以上の混合物が挙げられる。式中、R1はア
ルケニル基以外の一価炭化水素基であり、例えば、メチ
ル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、
ヘキシル基、ヘプチル基等のアルキル基;フェニル基、
トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベ
ンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;クロロメチ
ル基、3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフロロ
プロピル基等のハロ置換アルキル基が挙げられる。
Examples of the organopolysiloxane of the component (B) include, for example, methylhydrogenpolysiloxane having a trimethylsiloxy group at both ends of a molecular chain, and dimethylsiloxane having a trimethylsiloxy group at both ends of a molecular chain.
Methyl hydrogen siloxane copolymer, molecular chain terminal trimethylsiloxy group-blocked dimethyl siloxane / methyl hydrogen siloxane / methyl phenyl siloxane copolymer, molecular chain terminal dimethyl hydrogen siloxy group-blocked dimethyl polysiloxane, molecular chain terminal dimethyl hydrogen siloxy group dimethylsiloxane-methylphenylsiloxane copolymers, both molecular terminals with dimethylhydrogensiloxy groups at methylphenyl polysiloxane, formula siloxane units of the formula R 1 3 SiO 1/2: R 1 2 siloxane units of the formula HSiO 1/2: organopolysiloxane copolymers composed of siloxane units represented by SiO 4/2, represented by siloxane units and SiO 4/2 represented by R 1 2 HSiO 1/2 O consisting of siloxane units Ganoderma polysiloxane copolymer,
The siloxane unit represented by the formula: R 1 HSiO 2/2 and the formula: R
1 Siloxane unit represented by SiO 3/2 or HSiO
Examples thereof include an organopolysiloxane copolymer comprising a siloxane unit represented by 3/2 , and a mixture of two or more of these organopolysiloxanes. In the formula, R 1 is a monovalent hydrocarbon group other than an alkenyl group, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group,
Alkyl groups such as hexyl group and heptyl group; phenyl group,
Aryl groups such as tolyl, xylyl and naphthyl groups; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; and halo-substituted alkyl groups such as chloromethyl group, 3-chloropropyl group and 3,3,3-trifluoropropyl group. No.

【0011】上記の組成物において、(B)成分の配合量
は特に限定されないが、(A)成分中のケイ素原子結合ア
ルケニル基1モルに対して(B)成分中のケイ素原子結合
水素原子が0.1〜10モルの範囲内となる量であるこ
とが好ましい。これは、(A)成分中のケイ素原子結合ア
ルケニル基1モルに対して(B)成分中のケイ素原子結合
水素原子が0.1モル未満であると、紫外線未照射部分
および/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2
満である紫外線照射部分の付加反応硬化型シリコーン組
成物が加熱により十分に硬化しなくなるためであり、ま
た、これが10モルをこえると、得られるシリコーン硬
化物の物理的特性が経時的に変化するためである。
In the above composition, the amount of the component (B) is not particularly limited, but the amount of the silicon-bonded hydrogen atom in the component (B) per mole of the silicon-bonded alkenyl group in the component (A) is one. The amount is preferably in the range of 0.1 to 10 mol. This is because when the amount of the silicon-bonded hydrogen atom in the component (B) is less than 0.1 mole relative to 1 mole of the silicon-bonded alkenyl group in the component (A), the unirradiated portion and / or the total This is because the addition reaction-curable silicone composition in the UV-irradiated portion where the irradiation amount is less than 0.1 J / cm 2 is not sufficiently cured by heating. This is because physical properties change over time.

【0012】(C)成分のヒドロシリル化反応用触媒は紫
外線未照射部分および/または紫外線の総照射量が0.
1J/cm2未満である紫外線照射部の付加反応硬化型
シリコーン組成物を加熱により硬化させるための触媒で
ある。(C)成分のヒドロシリル化反応用触媒としては、
例えば、白金系触媒、ロジウム系触媒、パラジウム系触
媒が挙げられ、特に、白金系触媒が好ましい。白金系触
媒としては、例えば、白金微粉末、白金黒、白金坦持の
シリカ微粉末、白金坦持の活性炭、塩化白金酸、四塩化
白金、塩化白金酸のアルコール溶液、白金とオレフィン
との錯体、白金とジビニルテトラメチルジシロキサン等
のアルケニルシロキサンとの錯体、これらの白金または
白金系化合物を含有してなるポリスチレン樹脂、ナイロ
ン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコ
ーン樹脂等の粒子径が10μm未満の熱可塑性樹脂粉末
が挙げられる。
The catalyst for hydrosilylation reaction of the component (C) has a UV-irradiated portion and / or a total UV irradiation dose of 0.5.
It is a catalyst for curing the addition reaction-curable silicone composition of the ultraviolet ray irradiated portion, which is less than 1 J / cm 2 , by heating. As the catalyst for the hydrosilylation reaction of the component (C),
For example, a platinum-based catalyst, a rhodium-based catalyst, and a palladium-based catalyst can be mentioned, and a platinum-based catalyst is particularly preferable. Examples of the platinum-based catalyst include platinum fine powder, platinum black, fine silica powder carrying platinum, activated carbon carrying platinum, chloroplatinic acid, platinum tetrachloride, an alcohol solution of chloroplatinic acid, and a complex of platinum and an olefin. A complex of platinum and an alkenyl siloxane such as divinyltetramethyldisiloxane, a polystyrene resin, a nylon resin, an acrylic resin, a polycarbonate resin, a silicone resin or the like containing these platinum or a platinum-based compound having a particle diameter of less than 10 μm. Thermoplastic resin powder;

【0013】上記の組成物において、(C)成分の配合量
は触媒量であり、具体的には、付加反応硬化型シリコー
ン組成物において、(C)成分中の金属の含有量が重量単
位で0.1〜1000ppmの範囲内となる量であること
が好ましく、さらに1〜500ppmの範囲内となる量で
あることが好ましい。これは、付加反応硬化型シリコー
ン組成物において、(C)成分中の金属の含有量が重量単
位で0.1ppm未満である場合には、得られる組成物の
硬化速度が著しく低下するためであり、また、これが1
000ppmをこえると不経済であるからである。
In the above composition, the amount of the component (C) is a catalytic amount. Specifically, in the addition-reaction-curable silicone composition, the content of the metal in the component (C) is expressed in weight units. The amount is preferably in the range of 0.1 to 1000 ppm, and more preferably in the range of 1 to 500 ppm. This is because, in the addition reaction-curable silicone composition, when the content of the metal in the component (C) is less than 0.1 ppm by weight, the curing rate of the obtained composition is significantly reduced. And this is 1
This is because if it exceeds 000 ppm, it is uneconomical.

【0014】本発明の形成方法に用いることができる付
加反応硬化型シリコーン組成物は、上記(A)成分および
(B)成分の少なくとも一方がケイ素原子結合アリール基
を有することが必要であるが、(A)成分および(B)成分
のいずれにもケイ素原子結合アリール基を有しない場合
には、上記の組成物に、さらに、(D)ケイ素原子結合ア
リール基を有する有機ケイ素化合物を配合することが必
要となる。また、上記(A)成分および(B)成分の少なく
とも一方がケイ素原子結合アリール基を有する場合であ
っても、本発明の効果をより一層高めるため、(D)成分
を配合することができる。(D)成分の有機ケイ素化合物
としては、例えば、フェニルトリメトキシシラン、フェ
ニルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシ
シラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メチルフェ
ニルジエトキシシラン、フェニルトリメチルシラン、ジ
フェニルジメチルシラン等のシラン化合物;テトラメチ
ルジフェニルジシロキサン、ペンタメチルフェニルジシ
ロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチ
ルフェニルシロキサンオリゴマー、分子鎖両末端水酸基
封鎖メチルフェニルシロキサンオリゴマー、分子鎖両末
端ジメチルフェニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン
オリゴマー等のオルガノシロキサンオリゴマー;分子鎖
両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルフェニルシロキ
サンポリマー、分子鎖両末端水酸基封鎖メチルフェニル
シロキサンポリマー、分子鎖両末端ジメチルフェニルシ
ロキシ基封鎖ジメチルシロキサンポリマー等のオルガノ
ポリシロキサンが挙げられる。
The addition reaction-curable silicone composition which can be used in the formation method of the present invention comprises the above-mentioned component (A) and
It is necessary that at least one of the components (B) has a silicon-bonded aryl group, but when neither the component (A) nor the component (B) has a silicon-bonded aryl group, the above composition It is necessary to further blend (D) an organosilicon compound having a silicon-bonded aryl group to the product. Even when at least one of the components (A) and (B) has a silicon-bonded aryl group, the component (D) can be added in order to further enhance the effects of the present invention. Examples of the organosilicon compound (D) include silanes such as phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltriisopropoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, phenyltrimethylsilane, and diphenyldimethylsilane. Compounds: Tetramethyldiphenyldisiloxane, pentamethylphenyldisiloxane, methylphenylsiloxane oligomer having both ends of molecular chain trimethylsiloxy group, methylphenylsiloxane oligomer having both ends of hydroxyl group, and dimethylsiloxane oligomer having both ends of molecular chain dimethylphenylsiloxy group Organosiloxane oligomers such as trimethylsiloxy group-blocked methyl phenyl siloxane polymer at both ends of molecular chain, hydroxyl-blocked methyl group at both ends of molecular chain Phenyl siloxane polymers, organopolysiloxanes such as dimethylpolysiloxane with both molecular chain terminals phenyl siloxy group-blocked dimethylsiloxane polymer.

【0015】上記の組成物において、(D)成分の配合量
は(A)成分100重量部に対して0.1〜1000重量
部の範囲内であることが好ましい。これは、(A)成分お
よび(B)成分のいずれにもケイ素原子結合アリール基を
有しない場合、(D)成分の配合量が(A)成分100重量
部に対して0.1重量部未満であると、本発明の目的を
達成することができず、また、これが1000重量部を
こえると、紫外線未照射部分および/または紫外線の総
照射量が0.1J/cm2未満である紫外線照射部分の
付加反応硬化型シリコーン組成物が十分に硬化しなくな
るためである。
In the above composition, the amount of the component (D) is preferably in the range of 0.1 to 1000 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (A). This is because when neither the component (A) nor the component (B) has a silicon-bonded aryl group, the amount of the component (D) is less than 0.1 part by weight based on 100 parts by weight of the component (A). If not, the object of the present invention cannot be achieved, and if it exceeds 1000 parts by weight, the ultraviolet irradiation where the ultraviolet irradiation is not irradiated and / or the total irradiation amount of the ultraviolet is less than 0.1 J / cm 2. This is because the addition reaction-curable silicone composition at a portion cannot be sufficiently cured.

【0016】また、本発明の形成方法に用いることがで
きる付加反応硬化型シリコーン組成物には、本発明の目
的を損なわない限り、その他任意の成分として、該組成
物の貯蔵安定性および取扱作業性を向上させるための硬
化抑制剤を配合することができる。この硬化抑制剤とし
ては、例えば、3−メチル−1−ブチン−3−オール、
3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オール、フェニ
ルブチノール等のアルキンアルコール;3−メチル−3
−ペンテン−1−イン、3,5−ジメチル−3−ヘキセ
ン−1−イン等のエンイン化合物;1,3,5,7−テ
トラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテト
ラシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,
3,5,7−テトラヘキセニルシクロテトラシロキサ
ン、ベンゾトリアゾールが挙げられる。
[0016] The addition reaction-curable silicone composition which can be used in the forming method of the present invention includes, as other optional components, storage stability and handling of the composition as long as the object of the present invention is not impaired. A curing inhibitor for improving the properties can be blended. As the curing inhibitor, for example, 3-methyl-1-butyn-3-ol,
Alkyne alcohols such as 3,5-dimethyl-1-hexyn-3-ol and phenylbutynol; 3-methyl-3
Enein compounds such as -penten-1-yne and 3,5-dimethyl-3-hexen-1-yne; 1,3,5,7-tetramethyl-1,3,5,7-tetravinylcyclotetrasiloxane; 1,3,5,7-tetramethyl-1,
3,5,7-tetrahexenylcyclotetrasiloxane and benzotriazole.

【0017】さらに、本発明の形成方法に用いることが
できる付加反応硬化型シリコーン組成物には、本発明の
目的を損なわない限り、その他任意の成分として、例え
ば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ジ
メチルジメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、
メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラ
ン、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシ
ラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−
アミノプロピルトリメトキシシラン、3−(2−アミノ
エチル)−アミノプロピルトリメトキシシラン、ヘキサ
メトキシジシリルエタン、ヘキサメトキシジシリルプロ
パン等の接着付与剤;ヒュームドシリカ、沈降性シリ
カ、二酸化チタン、カーボンブラック、アルミナ、石英
粉末等の無機質充填剤、およびこれらの無機質充填剤を
オルガノアルコキシシラン、オルガノクロロシラン、オ
ルガノシラザン等の有機ケイ素化合物により表面処理し
てなる無機質充填剤;アセトフェノン、ベンゾフェノ
ン、トリメチルシリル化ベンゾフェノン、プロピオフェ
ノン、3−メチルアセトフェノン、4−メチルアセトフ
ェノン、ベンゾインエチルエーテル、(4−イソプロピ
ル)フェニル−1−ヒドロキシ−イソプロピルケトン、
4−アリルアセトフェノン、3−ベンジルアセトフェノ
ン、4−メトキシベンゾフェノン、トリフェニルアミ
ン、アゾイソブチロニトリル等の光増感剤を配合するこ
とができる。
Further, the addition reaction-curable silicone composition which can be used in the formation method of the present invention contains, as long as the object of the present invention is not impaired, other optional components such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and the like. Dimethyldimethoxysilane, methyltrimethoxysilane,
Methyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, allyltrimethoxysilane, allyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane,
3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-
Adhesives such as aminopropyltrimethoxysilane, 3- (2-aminoethyl) -aminopropyltrimethoxysilane, hexamethoxydisilylethane, hexamethoxydisilylpropane; fumed silica, precipitated silica, titanium dioxide, carbon Inorganic fillers such as black, alumina, quartz powder and the like, and inorganic fillers obtained by surface-treating these inorganic fillers with organosilicon compounds such as organoalkoxysilanes, organochlorosilanes and organosilazanes; acetophenone, benzophenone, trimethylsilylated benzophenone , Propiophenone, 3-methylacetophenone, 4-methylacetophenone, benzoin ethyl ether, (4-isopropyl) phenyl-1-hydroxy-isopropylketone,
Photosensitizers such as 4-allylacetophenone, 3-benzylacetophenone, 4-methoxybenzophenone, triphenylamine and azoisobutyronitrile can be blended.

【0018】本発明の形成方法では、初めに、ケイ素原
子結合アリール基を有する付加反応硬化型シリコーン組
成物の一部分に紫外線を照射する。上記の付加反応硬化
型シリコーン組成物に紫外線を照射するためには、該組
成物を、例えば、ガラス、セラミック、銅、鉄、アルミ
ニウム、シリコン、プラスチック等の基材上に塗布して
おくことが好ましい。また、本発明の形成方法では、紫
外線を総照射量が少なくとも0.1J/cm2となるよ
うに照射することが必要である。これは、特開昭60−
177029号および特開昭61−162561号の明
細書中に記載された実施例のように、ケイ素原子結合ア
リール基を有する付加反応硬化型シリコーン組成物に総
照射量が0.1J/cm2未満の紫外線を照射しても、
紫外線照射部分および/または紫外線の総照射量が0.
1J/cm2未満である紫外線照射部分の該組成物の硬
化性を著しく低下させることはできず、本発明の目的を
達成することができないためである。この紫外線の総照
射量は紫外線照度計により求めることができる。付加反
応硬化型シリコーン組成物の一部分に紫外線を照射する
方法は特に限定されず、例えば、紫外線を部分的に遮蔽
する板を介して照射する方法、好ましくは、紫外線を遮
蔽するようにパターン形成されたマスクを介して照射す
る方法、紫外線のスポットライト照射装置により該組成
物の任意の部分のみに紫外線を照射する方法が挙げられ
る。
In the forming method of the present invention, first, a part of the addition reaction-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group is irradiated with ultraviolet rays. In order to irradiate the addition reaction-curable silicone composition with ultraviolet light, the composition may be applied to a base material such as glass, ceramic, copper, iron, aluminum, silicon, and plastic. preferable. Further, in the forming method of the present invention, it is necessary to irradiate ultraviolet rays so that the total irradiation amount is at least 0.1 J / cm 2 . This is disclosed in
As in the examples described in JP-A-177029 and JP-A-61-162561, addition-curable silicone compositions having a silicon-bonded aryl group have a total irradiation amount of less than 0.1 J / cm 2. Irradiation of UV light,
The UV irradiation part and / or the total irradiation amount of UV light is 0.
This is because the curability of the composition in an ultraviolet-irradiated portion of less than 1 J / cm 2 cannot be significantly reduced, and the object of the present invention cannot be achieved. The total irradiation amount of the ultraviolet rays can be obtained by an ultraviolet illuminometer. The method of irradiating a part of the addition reaction-curable silicone composition with ultraviolet light is not particularly limited. For example, a method of irradiating through a plate partially shielding ultraviolet light, preferably, a pattern is formed so as to shield ultraviolet light. And a method of irradiating only an arbitrary portion of the composition with an ultraviolet ray using an ultraviolet spotlight irradiating apparatus.

【0019】本発明の形成方法に用いることができる紫
外線を照射することができる光源は特に限定されず、例
えば、水素放電管、高圧水銀灯、中圧水銀灯、低圧水銀
灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカル
ランプ、カーボンアーク灯が挙げられる。本発明の形成
方法において、紫外線の波長は特に限定されず、特に、
波長が250〜400nmの範囲内である紫外線が好ま
しい。本発明の形成方法において、付加反応硬化型シリ
コーン組成物に紫外線を照射する条件は特に限定され
ず、例えば、該組成物を冷却下、室温下もしくは加熱下
に紫外線を照射する方法、さらに、窒素ガス、アルゴン
ガス等の不活性ガス雰囲気下、空気中、真空下に照射す
る方法が挙げられる。加熱下に、付加反応硬化型シリコ
ーン組成物に紫外線を照射する場合には、総照射量が少
なくとも0.1J/cm2となる前に該組成物が硬化し
ないように注意する必要があり、このためには、該組成
物中に硬化抑制剤を十分に配合したり、該組成物が熱に
より硬化する前に紫外線の総照射量が少なくとも0.1
J/cm2となるように速やかに照射することが必要で
ある。本発明の形成方法では、上記付加反応硬化型シリ
コーン組成物に紫外線を照射しながら加熱し、紫外線照
射後、引続き加熱することにより、紫外線未照射部分お
よび/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2であ
る紫外線照射部分の該組成物のみを硬化することができ
る。
The light source capable of irradiating the ultraviolet light which can be used in the forming method of the present invention is not particularly limited. Examples thereof include a hydrogen discharge tube, a high-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, and a chemical. Lamps and carbon arc lamps. In the forming method of the present invention, the wavelength of the ultraviolet light is not particularly limited, particularly,
Ultraviolet light having a wavelength in the range of 250 to 400 nm is preferred. In the formation method of the present invention, the conditions for irradiating the addition reaction-curable silicone composition with ultraviolet light are not particularly limited. For example, a method of irradiating the composition with ultraviolet light under cooling, at room temperature or under heating, Irradiation may be performed in an atmosphere of an inert gas such as a gas or an argon gas, in air, or under vacuum. When irradiating the addition reaction-curable silicone composition with ultraviolet light while heating, it is necessary to take care not to cure the composition before the total irradiation amount becomes at least 0.1 J / cm 2. For this purpose, a sufficient amount of a curing inhibitor is incorporated into the composition, or the total irradiation amount of ultraviolet rays is at least 0.1% before the composition is cured by heat.
It is necessary to irradiate quickly so as to be J / cm 2 . In the formation method of the present invention, the addition reaction-curable silicone composition is heated while irradiating ultraviolet rays, and after irradiating the ultraviolet rays, is continuously heated, so that the ultraviolet ray non-irradiated portion and / or the total amount of ultraviolet rays is 0.1 J. / Cm 2 can cure only the composition at the UV-irradiated portion.

【0020】続いて、紫外線照射後の付加反応硬化型シ
リコーン組成物を加熱することにより、紫外線未照射部
分および/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2
未満である紫外線照射部分の該組成物のみを硬化させる
ことができる。この加熱条件は特に限定されず、例え
ば、50〜250℃の温度範囲に加熱することが好まし
く、さらに、100〜150℃の温度範囲に加熱するこ
とが好ましい。また、付加反応硬化型シリコーン組成物
を加熱するため、例えば、赤外線照射装置、熱風循環式
オーブン等の加熱装置を用いることができる。
Subsequently, the UV-irradiated addition-curable silicone composition is heated so that the UV-irradiated portion and / or the total UV irradiation amount is 0.1 J / cm 2.
Only the UV-irradiated portion of the composition which is less than the above can be cured. The heating conditions are not particularly limited, and for example, heating is preferably performed in a temperature range of 50 to 250 ° C, and more preferably in a temperature range of 100 to 150 ° C. Further, in order to heat the addition reaction-curable silicone composition, for example, a heating device such as an infrared irradiation device and a hot air circulation oven can be used.

【0021】このようにして、紫外線未照射部分および
/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2未満であ
る紫外線照射部分の付加反応硬化型シリコーン組成物の
みを加熱により硬化した後、未硬化の該組成物を有機溶
剤等により除去することによりシリコーン硬化物を現像
することができる。使用できる有機溶剤は、この付加反
応硬化型シリコーン組成物を十分に溶解できるものであ
れば特に限定されず、例えば、トルエン、キシレン、メ
チルイソブチルケトン、アセトン、メチルエチルケト
ン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、酢酸イソプロピ
ル、酢酸ブチル、酢酸イソアミルが挙げられる。
In this way, only the addition-curable silicone composition in the UV-irradiated portion and / or the UV-irradiated portion having a total UV irradiation amount of less than 0.1 J / cm 2 is cured by heating, and then cured. The cured silicone composition can be developed by removing the cured composition with an organic solvent or the like. The organic solvent that can be used is not particularly limited as long as it can sufficiently dissolve the addition reaction-curable silicone composition, and examples thereof include toluene, xylene, methyl isobutyl ketone, acetone, methyl ethyl ketone, hexane, heptane, octane, and isopropyl acetate. Butyl acetate and isoamyl acetate.

【0022】本発明の形成方法によると、パターン形成
されたシリコーン硬化物を形成することができるので、
例えば、印刷技術に応用することができ、さらに、半導
体装置の製造におけるフォトリソグラフィー技術による
絶縁層の形成方法や2層レジスト法によるパターン形成
方法として使用することができる。
According to the forming method of the present invention, it is possible to form a patterned silicone cured product.
For example, the present invention can be applied to a printing technique, and further can be used as a method for forming an insulating layer by a photolithography technique in manufacturing a semiconductor device or a pattern forming method by a two-layer resist method.

【0023】[0023]

【実施例】本発明のシリコーン硬化物の形成方法を実施
例により詳細に説明する。なお、実施例中、粘度の値は
25℃において測定した値である。
EXAMPLES The method for forming a cured silicone product of the present invention will be described in detail with reference to examples. In the examples, the value of the viscosity is a value measured at 25 ° C.

【0024】[参考例1]粘度2,000センチポイズ
の分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチル
シロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体(ビニ
ル基含有量=0.24重量%)100重量部、比表面積
が200m2/gのヒュームドシリカ10重量部、粘度
5センチポイズの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封
鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジメチルシロキサ
ン共重合体(ケイ素原子結合水素原子含有量=0.75
重量%)2.3重量部、塩化白金酸と1,1,3,3−
テトラメチル−1,3−ジビニルジシロキサンとの錯体
(本組成物中、白金金属の含有量が重量単位で2.5pp
mとなる量)および3−メチル−1−ブチン−3−オー
ル0.1重量部を均一に混合して付加反応硬化型シリコ
ーン組成物を調製した。
[Reference Example 1] 100 parts by weight of a dimethylsiloxane-methylphenylsiloxane copolymer (vinyl group content = 0.24% by weight) having a dimethylvinylsiloxy group at both ends of a molecular chain having a viscosity of 2,000 centipoise, specific surface area Is a methylhydrogensiloxane / dimethylsiloxane copolymer capped with trimethylsiloxy groups at both ends of molecular chains having a viscosity of 5 centipoise and 10 m parts of fumed silica of 200 m 2 / g (silicon-bonded hydrogen atom content = 0.75
2.3% by weight of chloroplatinic acid and 1,1,3,3-
Complex with tetramethyl-1,3-divinyldisiloxane (In this composition, the content of platinum metal is 2.5 pp by weight.
m) and 0.1 part by weight of 3-methyl-1-butyn-3-ol were uniformly mixed to prepare an addition-curable silicone composition.

【0025】この付加反応硬化型シリコーン組成物をア
ルミニウム製カップに厚さ5mmとなるように注入した
後、120W/cmの高圧水銀灯により、総照射量が
1.3J/cm2となるように紫外線を照射した。紫外
線照射後、この組成物の表面は多少増粘していたが、膜
を形成するには至っておらず、また、この組成物の底部
は増粘すらしていなかった。次いで、この組成物を15
0℃の熱風循環式オーブン中で1時間加熱したところ、
この組成物の表面は多少増粘していたものの、膜を形成
するには至っておらず、また、この組成物の底部は多少
増粘していたが、この組成物はトルエンに完全に溶解し
た。
After the addition reaction-curable silicone composition is poured into an aluminum cup so as to have a thickness of 5 mm, ultraviolet light is applied by a 120 W / cm high-pressure mercury lamp so that the total irradiation amount is 1.3 J / cm 2. Was irradiated. After irradiation with ultraviolet light, the surface of the composition was slightly thickened, but did not form a film, and the bottom of the composition was not even thickened. The composition is then added to 15
When heated in a hot air circulating oven at 0 ° C for 1 hour,
Although the surface of the composition was slightly thickened, it did not form a film, and the bottom of the composition was slightly thickened, but the composition was completely dissolved in toluene. .

【0026】[参考例2]参考例1で調製した付加反応
硬化型シリコーン組成物をアルミニウム製カップに厚さ
5mmとなるように注入した後、120W/cmの高圧水
銀灯により、総照射量が0.09J/cm2となるよう
に紫外線を照射した。紫外線照射後、この組成物は全く
増粘していなかった。次いで、この組成物を150℃の
熱風循環式オーブン中で1時間加熱したところ、表面に
多少タックがあったものの、全体が完全に硬化してエラ
ストマー状のシリコーン硬化物が形成された。このシリ
コーン硬化物はトルエンには溶解しなかった。
Reference Example 2 The addition reaction-curable silicone composition prepared in Reference Example 1 was poured into an aluminum cup so as to have a thickness of 5 mm, and the total irradiation amount was reduced to 0 by a 120 W / cm high-pressure mercury lamp. Ultraviolet irradiation was performed so as to be 0.09 J / cm 2 . After UV irradiation, the composition did not thicken at all. Next, when this composition was heated in a hot air circulating oven at 150 ° C. for 1 hour, although the surface had some tackiness, the whole was completely cured to form an elastomeric silicone cured product. The cured silicone did not dissolve in toluene.

【0027】[実施例1]参考例1で調製した付加反応
硬化型シリコーン組成物をガラス板上に厚さ2mmに塗布
した後、パターン形成されたマスクを介して、120W
/cmの高圧水銀灯により、総照射量が1.3J/cm
2となるように紫外線を照射した。紫外線照射後、15
0℃の熱風循環式オーブン中で1時間加熱した。その
後、このガラス板をトルエンにより洗浄したところ、紫
外線未照射部分の該組成物のみが硬化しており、パター
ン形成されたエラストマー状のシリコーン硬化物が現像
された。このシリコーン硬化物のパターンは、用いたマ
スクのパターンを忠実に再現していた。
Example 1 The addition reaction-curable silicone composition prepared in Reference Example 1 was applied on a glass plate to a thickness of 2 mm, and then applied through a patterned mask to 120 W.
/ Cm high-pressure mercury lamp, the total irradiation amount is 1.3 J / cm
The sample was irradiated with ultraviolet rays so as to be 2 . 15 after UV irradiation
The mixture was heated in a hot air circulating oven at 0 ° C. for 1 hour. Thereafter, when this glass plate was washed with toluene, only the portion of the composition which had not been irradiated with ultraviolet rays was cured, and the patterned silicone elastomer cured product was developed. The pattern of the cured silicone product faithfully reproduced the pattern of the mask used.

【0028】[実施例2]参考例1で調製した付加反応
硬化型シリコーン組成物をガラス板上に厚さ2mmに塗布
した後、パターン形成されたマスクを介して、120W
/cmの高圧水銀灯により、総照射量が1.3J/cm
2となるように紫外線を照射しながら160℃に加熱
し、紫外線照射後も引続き160℃で1時間加熱した。
その後、このガラス板をトルエンにより洗浄したとこ
ろ、紫外線未照射部分の該組成物のみが硬化しており、
パターン形成されたエラストマー状のシリコーン硬化物
が現像された。このシリコーン硬化物のパターンは、用
いたマスクのパターンを忠実に再現していた。
Example 2 The addition-reaction-curable silicone composition prepared in Reference Example 1 was applied on a glass plate to a thickness of 2 mm, and then applied through a patterned mask to 120 W.
/ Cm high-pressure mercury lamp, the total irradiation amount is 1.3 J / cm
It heated to 160 degreeC, irradiating ultraviolet rays so that it might become set to 2, and after irradiating ultraviolet rays, it continued heating at 160 degreeC for 1 hour.
Thereafter, when this glass plate was washed with toluene, only the composition in the unirradiated portion of the ultraviolet ray was cured,
The patterned elastomeric silicone cured product was developed. The pattern of the cured silicone product faithfully reproduced the pattern of the mask used.

【0029】[比較例1]粘度2,000センチポイズ
の分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチル
ポリシロキサン(ビニル基含有量=0.24重量%)1
00重量部、比表面積が200m2/gのヒュームドシ
リカ10重量部、粘度5センチポイズの分子鎖両末端ト
リメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサ
ン・ジメチルシロキサン共重合体(ケイ素原子結合水素
原子含有量=0.75重量%)2.3重量部、塩化白金
酸と1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ジビニル
ジシロキサンとの錯体(本組成物中、白金金属の含有量
が重量単位で2.5ppmとなる量)および3−メチル−
1−ブチン−3−オール0.1重量部を均一に混合して
付加反応硬化型シリコーン組成物を調製した。
[Comparative Example 1] Dimethylvinylsiloxane-blocked dimethylpolysiloxane having both ends of a molecular chain having a viscosity of 2,000 centipoise (vinyl group content = 0.24% by weight)
00 parts by weight, 10 parts by weight of fumed silica having a specific surface area of 200 m 2 / g, and a methyl hydrogen siloxane / dimethyl siloxane copolymer capped with trimethylsiloxy groups at both ends of a molecular chain having a viscosity of 5 centipoise (silicon-bonded hydrogen atom content = 2.3 parts by weight of a complex of chloroplatinic acid and 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-divinyldisiloxane (in the present composition, the content of platinum metal is 2.5 ppm in units) and 3-methyl-
0.1 part by weight of 1-butyn-3-ol was uniformly mixed to prepare an addition-curable silicone composition.

【0030】この付加反応硬化型シリコーン組成物をガ
ラス板上に厚さ2mmに塗布した後、パターン形成された
マスクを介して、120W/cmの高圧水銀灯により、
総照射量が0.09J/cm2となるように紫外線を照
射した。紫外線照射後、150℃の熱風循環式オーブン
中で1時間加熱したところ、該組成物の全部が硬化して
エラストマー状のシリコーン硬化物が形成された。この
シリコーン硬化物をトルエンにより洗浄したが、パター
ン形成されたシリコーン硬化物を現像することはできな
かった。
After the addition reaction-curable silicone composition is applied on a glass plate to a thickness of 2 mm, it is applied with a high-pressure mercury lamp of 120 W / cm through a patterned mask.
Ultraviolet irradiation was performed so that the total irradiation amount was 0.09 J / cm 2 . After the ultraviolet irradiation, the composition was heated for 1 hour in a hot air circulating oven at 150 ° C., whereby the entire composition was cured to form an elastomeric silicone cured product. The silicone cured product was washed with toluene, but the patterned silicone cured product could not be developed.

【0031】[比較例2(特開昭60−177029号
および特開昭61−162561号の方法)]参考例1
で調製した付加反応硬化型シリコーン組成物をガラス板
上に厚さ2mmに塗布した後、パターン形成されたマスク
を介して、120W/cmの高圧水銀灯により、総照射
量が0.01J/cm2となるように紫外線を照射し
た。紫外線照射後、150℃の熱風循環式オーブン中で
1時間加熱したところ、該組成物の全部が硬化してエラ
ストマー状のシリコーン硬化物が形成された。このシリ
コーン硬化物をトルエンにより洗浄したが、パターン形
成されたシリコーン硬化物を現像することはできなかっ
た。
Comparative Example 2 (Methods of JP-A-60-177029 and JP-A-61-162561) Reference Example 1
Is applied on a glass plate to a thickness of 2 mm, and a total irradiation amount of 0.01 J / cm 2 is applied by a high-pressure mercury lamp of 120 W / cm through a patterned mask. UV light was applied to obtain After the ultraviolet irradiation, the composition was heated for 1 hour in a hot air circulating oven at 150 ° C., whereby the entire composition was cured to form an elastomeric silicone cured product. The silicone cured product was washed with toluene, but the patterned silicone cured product could not be developed.

【0032】[実施例3]粘度2,000センチポイズ
の分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチル
ポリシロキサン(ビニル基含有量=0.24重量%)1
00重量部、比表面積が200m2/gのヒュームドシ
リカ10重量部、粘度5センチポイズの分子鎖両末端ト
リメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサ
ン・ジメチルシロキサン共重合体(ケイ素原子結合水素
原子含有量=0.75重量%)2.3重量部、フェニル
トリメトキシシラン12.5重量部、塩化白金酸と1,
1,3,3−テトラメチル−1,3−ジビニルジシロキ
サンとの錯体(本組成物中、白金金属の含有量が重量単
位で2.5ppmとなる量)および3−メチル−1−ブチ
ン−3−オール0.1重量部を均一に混合して付加反応
硬化型シリコーン組成物を調製した。
Example 3 Dimethylvinylsiloxane-endblocked dimethylpolysiloxane having a molecular weight of 2,000 centipoise at both ends of a dimethylvinylsiloxy group (vinyl content = 0.24% by weight)
00 parts by weight, 10 parts by weight of fumed silica having a specific surface area of 200 m 2 / g, and a methyl hydrogen siloxane / dimethyl siloxane copolymer capped with trimethylsiloxy groups at both ends of a molecular chain having a viscosity of 5 centipoise (silicon-bonded hydrogen atom content = (0.75% by weight) 2.3 parts by weight, phenyltrimethoxysilane 12.5 parts by weight, chloroplatinic acid and 1,
Complexes with 1,3,3-tetramethyl-1,3-divinyldisiloxane (in the present composition, the content of platinum metal is 2.5 ppm by weight) and 3-methyl-1-butyne- 0.1 part by weight of 3-ol was uniformly mixed to prepare an addition reaction-curable silicone composition.

【0033】この付加反応硬化型シリコーン組成物をガ
ラス板上に厚さ2mmに塗布した後、パターン形成された
マスクを介して、120W/cmの高圧水銀灯により、
総照射量が1.0J/cm2となるように紫外線を照射
した。紫外線照射後、150℃の熱風循環式オーブン中
で1時間加熱した。その後、このガラス板をトルエンに
より洗浄したところ、紫外線未照射部分の該組成物のみ
が硬化しており、パターン形成されたエラストマー状の
シリコーン硬化物が現像された。このシリコーン硬化物
のパターンは、用いたマスクのパターンを忠実に再現し
ていた。
After applying the addition reaction-curable silicone composition to a thickness of 2 mm on a glass plate, a 120 W / cm high-pressure mercury lamp was applied through a patterned mask.
Ultraviolet irradiation was performed so that the total irradiation amount was 1.0 J / cm 2 . After the irradiation with the ultraviolet rays, the mixture was heated in a hot air circulation oven at 150 ° C. for 1 hour. Thereafter, when this glass plate was washed with toluene, only the portion of the composition which had not been irradiated with ultraviolet rays was cured, and the patterned silicone elastomer cured product was developed. The pattern of the cured silicone product faithfully reproduced the pattern of the mask used.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明のシリコーン硬化物の形成方法
は、付加反応硬化型シリコーン組成物の一部分のみを硬
化させることができるという特徴を有し、シリコーン硬
化物によるパターンの形成方法として有用である。
The method for forming a cured silicone product of the present invention has the characteristic that only a part of the addition reaction-curable silicone composition can be cured, and is useful as a method for forming a pattern using a cured silicone product. .

フロントページの続き 審査官 ▲吉▼澤 英一 (56)参考文献 特開 平7−278328(JP,A) 特開 平1−201337(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08J 3/00 - 3/28 C08J 7/00 - 7/18 Continuation of the front page Examiner Eiichi Sawa (56) References JP-A-7-278328 (JP, A) JP-A-1-201337 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08J 3/00-3/28 C08J 7/ 00-7/18

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ケイ素原子結合アリール基を有する付加反
応硬化型シリコーン組成物の一部分に総照射量が少なく
とも0.1J/cm2の紫外線を照射した後、該組成物
を加熱することにより紫外線未照射部分の該組成物およ
び/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2未満で
ある紫外線照射部分の該組成物のみを硬化させることを
特徴とするシリコーン硬化物の形成方法。
1. A part of an addition-reaction-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group is irradiated with an ultraviolet ray having a total irradiation amount of at least 0.1 J / cm 2 , and the composition is heated so that the ultraviolet ray is not irradiated. A method for forming a cured silicone, comprising curing only the composition of the irradiated portion and / or the composition of the ultraviolet irradiated portion having a total irradiation amount of ultraviolet light of less than 0.1 J / cm 2 .
【請求項2】ケイ素原子結合アリール基を有する付加反
応硬化型シリコーン組成物の一部分に総照射量が少なく
とも0.1J/cm2の紫外線を照射しながら該組成物
を加熱することにより紫外線未照射部分の該組成物およ
び/または紫外線の総照射量が0.1J/cm2未満で
ある紫外線照射部分の該組成物のみを硬化させることを
特徴とするシリコーン硬化物の形成方法。
2. A part of the addition reaction-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group is irradiated with ultraviolet rays having a total irradiation amount of at least 0.1 J / cm 2 , thereby heating the composition to prevent irradiation with ultraviolet rays. A method of forming a cured silicone product, comprising curing only a portion of the composition and / or a portion of the ultraviolet ray irradiated with an ultraviolet ray having a total irradiation amount of less than 0.1 J / cm 2 .
【請求項3】ケイ素原子結合アリール基を有する付加反
応硬化型シリコーン組成物を基材に塗布した後、パター
ン形成されたマスクを介して総照射量が少なくとも0.
1J/cm2の紫外線を照射した後、または紫外線を照
射しながら、該組成物を加熱することにより紫外線未照
射部分の該組成物のみを硬化させることを特徴とするパ
ターン形成されたシリコーン硬化物の形成方法。
3. The method according to claim 1, wherein the addition reaction-curable silicone composition having a silicon-bonded aryl group is applied to a substrate, and then the total irradiation amount is at least 0.5 through a patterned mask.
A pattern-formed cured silicone characterized in that the composition is heated after irradiating with 1 J / cm 2 ultraviolet rays or while irradiating the ultraviolet rays, thereby curing only the unexposed parts of the composition. Formation method.
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